JPH09298256A - 電子部品とその製造方法及びそれに用いるリードフレームと金型 - Google Patents

電子部品とその製造方法及びそれに用いるリードフレームと金型

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JPH09298256A
JPH09298256A JP9045347A JP4534797A JPH09298256A JP H09298256 A JPH09298256 A JP H09298256A JP 9045347 A JP9045347 A JP 9045347A JP 4534797 A JP4534797 A JP 4534797A JP H09298256 A JPH09298256 A JP H09298256A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プリント基板への高密度実装を実現でき、か
つ実装の際にリード変形が生じにくい樹脂封止パッケー
ジ型の電子部品を提供する。 【解決手段】 厚さ0.2mmの厚肉部11aと、厚さ
0.1mmの薄片部11bとを備えたリード11を採用
する。封止樹脂18からのリード11の抜け出しを防止
するように、薄片部11bは厚肉部11aより幅広に形
成される。半導体チップ15が薄片部11bの上に導電
性接着剤14を用いて固定される。厚肉部11aの側面
は、樹脂18の一側面の切断と同時に該樹脂側面の下端
部に同切断により形成されて、該樹脂側面と同等面に露
出する。厚肉部11aの底面は、リードスタンドオフ規
格を満たすように、樹脂底面18cから0.03〜0.
05mmだけ突出する。半導体チップ15の上の電極に
Auワイヤーで接続された他のリードの厚肉部13aも
同様に、樹脂側面において露出し、かつ樹脂底面18c
から突出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止パッケー
ジ型の電子部品に関し、特に表面実装技術に適合した電
子部品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】表面実装型の電子部品が知られている。
図22は、半導体チップ(電子素子)を内蔵した従来の
表面実装型電子部品の外観を示している。図22の電子
部品70は、薄くかつ細長い第1〜第3リード71,7
2,73を有するものである。これら3本のリード7
1,72,73は、半導体チップを封止した直方体状の
樹脂74の対向二側面からそれぞれ水平方向に延出し、
かつ折り曲げ加工が施されてL字型に屈曲している。樹
脂74の底面寸法は1.6mm×0.8mmであり、樹
脂74からの3本のリード71,72,73の水平方向
の突出寸法は各々0.4〜0.6mmである。リードス
タンドオフ規格は、プリント基板への電子部品70の実
装の際のリード71,72,73の半田付け不良(半田
未付着)を防止すべく、樹脂74の底面がプリント基板
から0〜0.1mmだけ浮くことを要求している。
【0003】図23は、上記電子部品70の製造に用い
られる従来のリードフレームの平面図である。図23の
リードフレーム80は、均一な厚みを有する矩形の金属
板で構成されており、リード形成部81を外枠82で囲
んだものである。外枠82の対向二辺を連結するように
桟部83が形成され、かつ複数組のリード部71,7
2,73が外枠82の対向二辺からそれぞれ延出してい
る。該複数組のリード部71,72,73は、リードフ
レーム80の長手方向に沿って3.0〜4.0mmピッ
チで一次元配置されている。
【0004】上記電子部品70の製造方法すなわち組み
立てプロセスは、ダイ・ボンディング工程と、ワイヤー
・ボンディング工程と、モールド封止工程と、バリ取り
工程と、外装処理工程と、トリミング工程と、フォーミ
ング工程とを含むものである。ダイ・ボンディング工程
では、図23のリードフレーム80のうちの個々の第1
リード部71の先端部上に、半導体チップが導電性接着
剤を用いて固定される。ワイヤー・ボンディング工程で
は、個々の半導体チップ上の2電極と第2及び第3リー
ド部72,73の各々の先端部との間がAuワイヤー
(金細線)で電気的に接続される。モールド封止工程で
は、トランスファ・モールドのための金型を用いて、個
々の半導体チップと、Auワイヤーと、リード部71,
72,73の先端部とが樹脂74で一体的に封止され
る。このモールド封止工程において上型と下型との間に
形成される複数のキャビティは、リードフレーム80の
長手方向に沿って一次元配置され、かつ互いに隔絶され
ている。すなわち、共通のランナーから個別のゲートを
介して各キャビティへ樹脂が注入される。モールド封止
工程完了後のリードフレーム80を図24に示す。バリ
取り工程では、モールド封止工程で金型とリードフレー
ム80との微細な隙間からリード部71,72,73の
上にはみ出した樹脂のバリが除去される。外装処理工程
では、個々の樹脂74から延出したリード部71,7
2,73に半田メッキ処理が施される。その前工程のバ
リ取りは、半田メッキ処理が円滑に行なわれるために不
可欠である。トリミング工程では、個々の電子部品70
を取り分けるように、リード部71,72,73が切断
される。フォーミング工程では、図22に示すように、
個々のリード71,72,73に所要の折り曲げ加工が
施される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の電子部品7
0は、樹脂74の側面から突出した細長いリード71,
72,73を有していた。したがって、個々の電子部品
70が半導体チップ(電子素子)に比べてかなり大きな
面積を占める結果、プリント基板への実装密度をあまり
上げられない問題があった。また、樹脂74から突出し
たリード71,72,73が脆弱であるため、プリント
基板への電子部品70の実装の際に予期しないリード変
形が生じ、その結果半田付け不良が発生することがあっ
た。
【0006】上記従来の電子部品70の製造方法は、バ
リ取り工程と、フォーミング工程とを必要とした。バリ
取り工程は、製品に何の付加価値をも生み出さないもの
であるので、省略が望まれる工程である。フォーミング
工程では、樹脂74から突出したリード71,72,7
3が脆弱であるため、予期しないリード変形や、リード
切れが発生する問題があった。また、フォーミング工程
でリードスタンドオフ規格を常に満たすことは難しく、
歩留まりの低下が問題となっていた。
【0007】上記従来のリードフレーム80は、複数組
のリード部71,72,73が大きいピッチで一次元配
置されていたので、1枚のリードフレーム80から取れ
る電子部品70の数が少なく、リードフレーム80を構
成する金属材料の利用効率が悪いという問題があった。
【0008】上記従来の金型は、上記リードフレーム8
0に対応した大きいピッチで一次元配置された複数のキ
ャビティを上型と下型との間に形成するものであったの
で、1回のモールド封止工程で取れる電子部品70の数
が少なく、生産性が悪いという問題があった。
【0009】本発明の目的は、従来に比べてプリント基
板への高密度実装を実現でき、かつ実装の際にリード変
形が生じにくい樹脂封止パッケージ型の電子部品を提供
することにある。
【0010】本発明の他の目的は、バリ取り工程とフォ
ーミング工程とを省略できる生産性の高い樹脂封止パッ
ケージ型電子部品の製造方法を提供することにある。
【0011】本発明の更に他の目的は、樹脂封止パッケ
ージ型電子部品の製造に用いられるリードフレームを、
従来に比べて多数の電子部品を効率良く取れるように改
善することにある。
【0012】本発明の更に他の目的は、樹脂封止パッケ
ージ型電子部品の製造に用いられる金型の生産性を向上
させることにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電子部品は、電子素子と、該電子素子に電
気的に接続されたリードと、電子素子とリードとを封止
した樹脂とを備えたものであって、前記リードの側面
は、樹脂側面の切断と同時に該樹脂側面の下端部に同切
断により形成されて該樹脂側面と同等面に露出している
構成を採用したものである。この構成によれば、切断に
より形成されたリードの側面が樹脂側面の下端部に露出
する。つまり、本発明の電子部品がプリント基板上に占
める面積は、樹脂の底面積と同等である。したがって、
本発明の電子部品によれば、細長いリードが樹脂側面か
ら突出していた従来の電子部品に比べて、プリント基板
への実装密度を高めることができる。また、プリント基
板への実装の際にリード変形が生じるおそれもない。リ
ードの底面を樹脂底面からわずかに突出させれば、リー
ドスタンドオフ規格を容易に満たすことができる。
【0014】更に具体的には、本発明の電子部品のリー
ドは、電子素子に電気的に接続された薄片部と、底面側
に段差ができるように薄片部より厚く形成された厚肉部
とを備えることとしたものである。しかも、厚肉部の側
面は、樹脂側面の切断と同時に該樹脂側面の下端部に同
切断により形成されて、該樹脂側面と同等面に露出す
る。厚肉部の底面は、樹脂底面から露出する。この構成
によれば、プリント基板への高密度実装に際して、リー
ド厚肉部の側面と底面とで構成された角部が外部接続に
供される。リードの薄片部と厚肉部との厚みの差より小
さい寸法だけ厚肉部の底面を樹脂底面から突出させれ
ば、リード薄片部とプリント基板との間の絶縁を保ちな
がら、リードスタンドオフ規格を容易に満たすことがで
きる。また、薄片部の上面を厚肉部より幅広にしたり、
薄片部に切り欠きを設けたりすれば、樹脂からのリード
抜けを防止できる。電子素子は、リード薄片部の上に固
定される。
【0015】本発明の電子部品の製造方法は、リード部
を有する板状のリードフレームの上に電子素子を固定す
る工程と、電子素子をリード部に電気的に接続する工程
と、電子素子とリード部とを樹脂で一体的に封止する工
程と、電子部品のパッケージ側面に樹脂切断面とリード
切断面とが同時に形成されるようにリードフレームを樹
脂とともに切断する工程とを備えた構成を採用したもの
である。この構成によれば、パッケージ側面に樹脂切断
面とリード切断面とが同時に形成されるので、バリ取り
工程を省略できる。また、従来とは違って細長いリード
に折り曲げ加工を施すフォーミング工程は不要であるか
ら、歩留まりが向上する。
【0016】更に具体的には、樹脂封止パッケージ型の
複数の電子部品を効率良く製造するための本発明の方法
では、格子状に形成された桟部と、該桟部により縦横に
二次元配置された複数の格子空間の各々へ延出する複数
組のリード部とを有する板状のリードフレームが用いら
れる。本発明によれば、該リードフレームの上において
複数の電子素子を各々複数の格子空間のうちの対応する
格子空間に固定する工程と、複数の電子素子の各々を複
数組のリード部のうちの対応するリード部に電気的に接
続する工程と、複数の電子素子と複数組のリード部とを
少なくとも一方向に連続するように樹脂で封止する工程
と、リードフレームの複数組のリード部が桟部からそれ
ぞれ切り離されるように、かつ複数の電子部品の個々の
パッケージ側面に樹脂切断面とリード切断面とが同時に
形成されるようにリードフレームを樹脂とともに切断す
る工程とを備えた方法が採用される。この方法によれ
ば、バリ取り工程とフォーミング工程とを省略できるだ
けでなく、生産性が向上する。封止工程では、複数の電
子素子と複数組のリード部とが一括して樹脂封止される
ように、複数の電子素子に対応して縦横に二次元配置さ
れかつ少なくとも一方向に互いに連結された複数のキャ
ビティへ共通のゲートから樹脂を注入する。切断工程で
は、互いに隣接する2個の電子素子に対応した2個の電
子部品の各々のパッケージ側面に樹脂切断面とリード切
断面とが同時に形成されるように、リードフレームの桟
部の幅より広い幅でリードフレームを樹脂とともに切断
する。
【0017】本発明のリードフレームは、矩形の外枠
と、該外枠の1組の対向二辺と他の1組の対向二辺とを
それぞれ連結するように格子状に形成された桟部と、該
桟部により縦横に二次元配置された複数の格子空間の各
々へ延出する複数組のリード部とを備えた構成を採用し
たものである。この構成によれば、1枚のリードフレー
ムの上に複数組のリード部を密に二次元配置することが
できる。したがって、1枚のリードフレームから取れる
電子部品の数が増加し、リードフレームを構成する金属
材料の利用効率が向上する。
【0018】本発明の金型は、縦横に二次元配置された
複数の電子素子を搭載したリードフレームが載置される
下型と、複数の電子素子に対応して縦横に二次元配置さ
れかつ少なくとも一方向に互いに連結された複数のキャ
ビティを形成するための上型と、互いに連結された複数
のキャビティへの樹脂注入のための共通のゲートとを備
えた構成を採用したものである。この構成によれば、複
数のキャビティを上型と下型との間に密に二次元配置す
ることができるので、1回のモールド封止工程で取れる
電子部品の数が増加し、生産性が向上する。しかも、複
数のキャビティが互いに連結されているので、共通のゲ
ートを介して各キャビティへ樹脂が効率良く注入され
る。硬化した樹脂のうちの不要部分は、後にリードフレ
ームのうちの不要部分とともに切り捨てられる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の具体例を詳細に説明する。
【0020】図1〜図4は、本発明に係る表面実装型電
子部品の外観及び内部構造を示している。図1は平面
図、図2は正面図、図3はIII−III断面図、図4
はIV−IV断面図である。図1〜図4の電子部品10
は、第1〜第3リード11,12,13と、半導体チッ
プ(電子素子)15と、樹脂18とを有するものであ
る。直方体状の樹脂18の底面寸法は1.6mm×0.
8mmであり、第1〜第3リード11,12,13の長
さはいずれも0.65mmである。
【0021】第1リード11は、長さ0.15mm、幅
0.2mm、厚さ0.2mmの厚肉部11aと、長さ
0.5mm、幅0.5mm、厚さ0.1mmの薄片部1
1bとを備えている。0.1mmの段差は第1リード1
1の底面側に形成されており、該第1リード11の上面
は平坦である。樹脂18からの第1リード11の抜け出
しを防止するように、薄片部11bの上面(0.5mm
×0.5mm)は、厚肉部11aより幅広に形成されて
おり、かつ半導体チップ15より大きい面積を有する。
薄片部11bの上には、半導体チップ15が導電性接着
剤14を用いて固定されている。これにより、半導体チ
ップ15の裏面が第1リード11に電気的に接続されて
いる。厚肉部11aの側面(0.2mm×0.2mm)
は、樹脂18の一側面の切断と同時に該樹脂側面の下端
部に同切断により形成されて、該樹脂側面と同等面に露
出している。
【0022】第2リード12は、長さ0.15mm、幅
0.2mm、厚さ0.2mmの厚肉部12aと、長さ
0.5mm、幅0.3mm、厚さ0.1mmの薄片部1
2bとを備えている。第3リード13も同様に、長さ
0.15mm、幅0.2mm、厚さ0.2mmの厚肉部
13aと、長さ0.5mm、幅0.3mm、厚さ0.1
mmの薄片部13bとを備えている。0.1mmの段差
は第2及び第3リード12,13の底面側にそれぞれ形
成されており、該第2及び第3リード12,13の上面
は平坦である。樹脂18からの第2及び第3リード1
2,13の抜け出しを防止するように、第2及び第3リ
ードの各々の薄片部12b,13bの上面は、厚肉部1
2a,13aより幅広に形成されている。更に、薄片部
12b,13bは、樹脂18からのリード抜け防止手段
となる切り欠き12c,13cをそれぞれ有する。両切
り欠き12c,13cの深さは0.08mmである。厚
肉部12a,13aの側面(0.2mm×0.2mm)
は、樹脂18の他の側面の切断と同時に該樹脂側面の下
端部に同切断により形成されて、該樹脂側面と同等面に
それぞれ露出している。また、半導体チップ15の上の
2電極と第2及び第3リードの各々の薄片部12b,1
3bとの間がAuワイヤー16,17で電気的に接続さ
れている。なお、第1〜第3リード11,12,13
は、いずれも切断が容易な柔らかい材料、例えばFeN
i合金、Cu、Alのうちのいずれかで構成されてい
る。
【0023】樹脂18は、第1〜第3リード11,1
2,13の大部分と、半導体チップ15と、Auワイヤ
ー16,17とを封止している。樹脂上面の周縁部18
aには、面取り成形が施されている。また、樹脂上面の
一隅には、直径0.2〜0.3mmの凹部が極性マーク
18bとして形成されている。第1〜第3リードの各々
の厚肉部11a,12a,13aの底面(0.15mm
×0.2mm)は、いずれも樹脂底面18cから露出
し、かつリードスタンドオフ規格を満たすように0.0
3〜0.05mmだけ突出している。この突出寸法は個
々のリードの厚肉部11a,12a,13aと薄片部1
1b,12b,13bとの厚みの差、すなわち0.1m
mより小さいので、第1〜第3リードの各々の薄片部1
1b,12b,13bの底面は樹脂18で完全に覆われ
ている。なお、第1〜第3リード11,12,13の各
々の露出面には半田メッキ処理が施されている。半田の
メッキ膜厚は、4〜15μmが適当である。
【0024】上記電子部品10によれば、プリント基板
への実装に際して、個々のリードの厚肉部11a,12
a,13aの側面と底面とで構成された角部が外部接続
に供される。この角部には半田メッキ処理が施されてい
るので、実装の際の半田濡れ性が良い。また、この電子
部品10がプリント基板上に占める面積は、樹脂底面1
8cの面積と同等である。したがって、プリント基板へ
の実装密度を高めることができる。しかも、実装の際に
リード変形が生じるおそれもない。
【0025】図5〜図8は、上記電子部品10の製造に
用いられるリードフレームを示している。図5は平面
図、図6は拡大平面図、図7はVII−VII断面図、
図8はVIII−VIII断面図である。図5〜図8の
リードフレーム30は、矩形の金属板で構成されてお
り、リード形成部31を外枠32で囲んだものである。
外枠32の寸法は、縦20mm、横50mm、厚さ0.
2mmである。外枠32は、図5に示すように、直径1
mmの位置決め用の穴33を四隅に、直径2mmの7個
の送り穴34を一長辺にそれぞれ備えている。
【0026】リード形成部31は、図6〜図8に詳細を
示すように、外枠32の上下二長辺を連結する縦桟部3
5と、該外枠32の左右二短辺を連結する横桟部36と
を備えている。縦桟部35及び横桟部36の寸法は、幅
0.2mm、厚さ0.2mmである。これら縦桟部35
及び横桟部36は、11行20列に二次元配置された2
20個の格子空間を形成している。格子空間のピッチ
は、縦1.3mm、横2.1mmである。該220個の
格子空間の各々へ、第1〜第3リード部11,12,1
3がそれぞれ延出している。つまり、220組のリード
部11,12,13が、縦1.3mm、横2.1mmの
ピッチで二次元配置されている。このリードピッチは、
従来の1/2〜1/3である。第1リード部11は外枠
32及び横桟部36から下方へ、第2及び第3リード部
12,13は外枠32及び横桟部36から上方へそれぞ
れ0.8mmだけ延出している。
【0027】個々の第1リード部11は、長さ0.3m
m、幅0.2mm、厚さ0.2mmの基端部11aと、
長さ0.5mm、幅0.5mm、厚さ0.1mmの先端
部11bとを備えている。0.1mmの段差は、第1リ
ード部11の底面側に形成されている。先端部11bの
上面(0.5mm×0.5mm)は、基端部11aの上
面より幅広に形成されている。
【0028】個々の第2リード部12は、長さ0.3m
m、幅0.2mm、厚さ0.2mmの基端部12aと、
長さ0.5mm、幅0.3mm、厚さ0.1mmの先端
部12bとを備えている。個々の第3リード部13も同
様に、長さ0.3mm、幅0.2mm、厚さ0.2mm
の基端部13aと、長さ0.5mm、幅0.3mm、厚
さ0.1mmの先端部13bとを備えている。0.1m
mの段差は、第2及び第3リード部12,13の底面側
にそれぞれ形成されている。第2及び第3リード部の各
々の先端部12b,13bの上面は、基端部12a,1
3aの上面より幅広に形成されている。しかも、第2及
び第3リード部の各々の先端部12b,13bは、深さ
0.08mmの切り欠き12c,13cをそれぞれ有す
る。
【0029】上記第1〜第3リード部11,12,13
の底面側の段差は、コイニング、エッチング又はプレス
により形成可能である。上記7個の送り穴34は、11
行20列の格子空間の左から第2、5、8、11、1
3、16及び19番目の列に対応する位置に設けられて
いる(図5参照)。
【0030】上記リードフレーム30の構成によれば、
1枚のリードフレーム30の上に220組のリード部1
1,12,13を密に二次元配置することができる。し
たがって、1枚のリードフレーム30から取れる電子部
品10の数が従来に比べて増加し、リードフレーム30
を構成する金属材料の利用効率が向上する。
【0031】上記電子部品10の製造方法すなわち組み
立てプロセスは、ダイ・ボンディング工程と、ワイヤー
・ボンディング工程と、モールド封止工程と、ダイシン
グ工程(切断工程)と、外装処理工程とを含むものであ
る。ダイ・ボンディング工程では、上記リードフレーム
30のうちの第1リード部11の先端部11bの上に、
半導体チップ15が導電性接着剤14を用いて固定され
る。ワイヤー・ボンディング工程では、半導体チップ1
5の上の2電極と第2及び第3リード部12,13の各
々の先端部12b,13bとの間がAuワイヤー16,
17で電気的に接続される。これらダイ・ボンディング
工程及びワイヤー・ボンディング工程では、220個の
半導体チップ15を1枚のリードフレーム30の上に搭
載すべく、該リードフレームの外枠32に設けられた送
り穴34が用いられる。モールド封止工程では、トラン
スファ・モールドのための金型を用いて、リード部1
1,12,13の大部分と、半導体チップ15と、Au
ワイヤー16,17とが樹脂18で一体的に封止され
る。
【0032】図9〜図12は、上記リードフレーム30
のモールド封止工程完了後の状態を示している。図9は
平面図、図10は拡大平面図、図11はXI−XI断面
図、図12はXII−XII断面図である。図9におい
て、41は樹脂注入のための10個の共通ゲートを、4
2は上下金型により成形されたモールド部をそれぞれ示
している。10個の共通ゲート41は、リードフレーム
30の11行20列の格子空間の左から第1、3、5、
7、9、12、14、16、18及び20番目の列に対
応する位置に設けられる。
【0033】モールド部42では、図10〜図12に詳
細を示すように、リード部11,12,13の大部分
と、半導体チップ15と、Auワイヤー16,17とを
封止した樹脂18が個々の格子空間に成形されるのと同
時に、縦桟部35及び横桟部36の上に付加的な樹脂4
3,44,45が成形される。付加的な樹脂43,4
4,45は、封止樹脂18と同等の高さを有するもので
ある。個々の封止樹脂18は、付加的な樹脂43,4
4,45を介して縦横に互いに連結されており、周縁部
18aに面取り成形が施され、かつ上平面の一隅に直径
0.2〜0.3mmの極性マーク18bが形成されてい
る。縦桟部35の上に凸条として形成された付加的な樹
脂43は、周縁部に面取り成形が施され、かつ上平面の
幅が縦桟部35の幅(0.2mm)と一致するようにな
っている。つまり、付加的な樹脂43を挟んで互いに隣
接する2個の封止樹脂18の間には、各々溝底幅より広
い上溝幅を有する2本の溝が縦桟部35に沿って形成さ
れている。横桟部36の上に凸条として形成された付加
的な樹脂44も同様に、周縁部に面取り成形が施され、
かつ上平面の幅が横桟部36の幅(0.2mm)と一致
するようになっている。つまり、付加的な樹脂44を挟
んで互いに隣接する2個の封止樹脂18の間には、各々
溝底幅より広い上溝幅を有する2本の溝が横桟部36に
沿って形成されている。縦桟部35と横桟部36との交
差箇所の上に形成された付加的な樹脂45は、周縁部に
面取り成形が施され、上平面の寸法が0.2mm×0.
2mmとなっている。なお、図10〜図12は、リード
フレームの外枠32の上にも一連の付加的な樹脂43,
44,45が成形された例を示している。
【0034】図11及び図12には、モールド封止工程
に用いられる上型51及び下型52が示されている。下
型52は、縦横に二次元配置された220個の半導体チ
ップ15を搭載したリードフレーム30が載置されるも
のである。この下型52の成形面には、第1〜第3リー
ド部の各々の基端部11a,12a,13aの底面
(0.3mm×0.2mm)と、外枠32、縦桟部35
及び横桟部36の各々の底面とが樹脂底面18cから
0.03〜0.05mmだけ突出できるように、多数の
凹部が設けられている。上型51と下型52との間に
は、封止樹脂18の成形のための縦横に二次元配置され
た220個のキャビティと、付加的な樹脂43,44,
45の成形のための該キャビティと同等の高さを有する
空間とが形成される。これらの空間を介して、220個
のキャビティは縦横に互いに連結されている。上型51
の成形面には、個々のキャビティの大部分と該キャビテ
ィの連結空間の大部分とを形成できる深さをそれぞれ有
する多数の凹部が設けられている。共通のランナーから
前記10個の共通ゲート41を介して注入された樹脂
は、全てのキャビティ及び該キャビティの連結空間に容
易に充填される。個々の共通ゲート41は、角度30
°、寸法0.4mm×0.2mmである。なお、上型5
1及び下型52のうちの少なくとも一方は、リードフレ
ームの外枠32に設けられた位置決め用の穴33に嵌入
されるピン(不図示)を備えている。これにより、金型
に対するリードフレーム30の位置ずれを防止できる。
【0035】上記金型の構成によれば、220個の半導
体チップ15と220組の第1〜第3リード部11,1
2,13とが一括して樹脂封止される。したがって、1
回のモールド封止工程で取れる電子部品10の数が従来
に比べて増加し、生産性が向上する。なお、上型51を
取り替えるだけで、封止樹脂18の大部分の外観を任意
に変更できる。
【0036】ダイシング工程では、互いに隣接する2個
の半導体チップ15に対応した2個の電子部品10の各
々のパッケージ側面に樹脂切断面とリード切断面とが同
時に形成されるように、0.5mmの幅を有する1枚の
刃でリードフレーム30が樹脂18,43,44,45
とともに切断される。刃の幅は、リードフレームの縦桟
部35及び横桟部36の幅(0.2mm)より0.3m
mだけ広くなっている。図10〜図12中のW1及びW
2は、0.5mmのカット幅を示している。リードフレ
ームの外枠32に設けられた位置決め用の穴33は、カ
ット位置の認識に用いられる。また、付加的な樹脂4
3,44,45の各々の上面(幅0.2mm)はカット
幅W1,W2の中心に位置しており、面取りによって縦
横に形成された溝がダイシングのための刃をその進行方
向にガイドする。その結果、1.6mm×0.8mmの
底面寸法を有する直方体状の樹脂18と、各々0.65
mmの長さを有する第1〜第3リード11,12,13
とを備えた個々の電子部品10が取り分けられる。この
際、リードフレーム30において、個々のリード部の基
端部11a,12a,13aのうちの長さ0.15mm
の基部はそれぞれ切り捨てられる。したがって、樹脂1
8の一側面の下端部に第1リード11の切断面(0.2
mm×0.2mm)が該側面と同等面に露出し、かつ該
樹脂18の対向側面の下端部に第2及び第3リード1
2,13の各々の切断面(0.2mm×0.2mm)が
該対向側面と同等面に露出する。また、パッケージ底面
には、第1〜第3リード11,12,13の各々の突出
面(0.15mm×0.2mm)がそれぞれ形成され
る。なお、第1〜第3リード部11,12,13を含む
リードフレーム30に前記のような切断が容易な柔らか
い材料を採用すれば、ダイシングのための刃の磨耗が軽
減される結果、カット幅の変動やカット速度の低減が抑
制される。
【0037】外装処理工程では、第1〜第3リード1
1,12,13の各々の露出面に、膜厚4〜15μmの
半田メッキ処理が施される。この結果、パッケージ側面
に形成された第1〜第3リード11,12,13の各々
の切断面(0.2mm×0.2mm)と、パッケージ底
面に形成された第1〜第3リード11,12,13の各
々の突出面(0.15mm×0.2mm)とにそれぞれ
半田膜が形成される。なお、半田メッキ処理に代えて他
の種類のメッキ処理を採用してもよい。また、リードフ
レーム30の材質によっては、メッキ処理を省略でき
る。
【0038】上記電子部品10の製造方法によれば、パ
ッケージ側面に樹脂切断面とリード切断面とが同時に形
成されるので、バリ取り工程を省略できる。また、従来
とは違って細長いリードに折り曲げ加工を施すフォーミ
ング工程は不要であるから、歩留まりが向上する。
【0039】本発明に係る他の表面実装型電子部品の外
観を図13及び図14に示す。図13の電子部品20
は、樹脂上面の周縁部18aに面取りに代えて段差を設
けたものである。前述のように、モールド封止工程にお
いて上型51を取り替えるだけで、樹脂18の外観を任
意に変更できる。図14の電子部品21は、樹脂18を
完全な直方体形状とし、かつ個々のリードの厚肉部11
a,12a,13aの底面を樹脂底面18cと同等面に
それぞれ露出させたものである。この場合には、下型5
2の成形面は平坦でよい。図14の構成でも、第1〜第
3リード11,12,13の各々の露出面に膜厚4〜1
5μmの半田メッキ処理を施せば、リードスタンドオフ
規格を満たすことができる。ただし、図1〜図4の電子
部品10又は図13の電子部品20によれば、樹脂上面
の周縁部18aに面取り又は段差が設けられているの
で、樹脂18の4側面の切断に際し、図14の電子部品
21の場合に比べて切断すべき樹脂厚が小さく、好都合
である。
【0040】なお、図14の電子部品21のようにリー
ド厚肉部11a,12a,13aの底面を樹脂底面18
cと同等面にそれぞれ露出させることとする場合には、
特にリードフレームの中央部において、モールド封止工
程で注入された樹脂が下型の平坦な成形面とリード厚肉
部11a,12a,13aの底面との間に侵入するおそ
れがある。図15及び図16は、その解決策の例を示し
ている。図15の電子部品22は、樹脂底面18cにT
字状の溝18dを設けたものである。図16の電子部品
23は、樹脂底面18cに3個のU字溝18e,18
f,18gを設けたものである。これらの溝18e,1
8f,18gは、個々のリード厚肉部11a,12a,
13aの露出底面を取り囲むようにそれぞれ形成されて
いる。これらの例によれば、モールド封止工程におい
て、溝18d,18e,18f,18gの各々に対応し
た下型の凸条が樹脂圧力を低減するので、上記樹脂の侵
入を防止できる。
【0041】図17〜図19は、本発明に係る更に他の
表面実装型電子部品の外観及び内部構造を示している。
図17は正面図、図18はXVIII−XVIII断面
図、図19はXIX−XIX断面図である。図17〜図
19の電子部品24は、樹脂上面の周縁部18aに面取
り成形を施し、かつ個々のリード厚肉部11a,12
a,13aの底面を樹脂底面18cと同等面にそれぞれ
露出させたものである。この電子部品24の樹脂側面
は、ダイシング工程で該樹脂側面の下端部にリード切断
面と同時に形成された切断面18xと、モールド封止工
程で形成された非切断面18yとで構成されている。樹
脂側面の切断面18xは樹脂底面18cに対して垂直で
あり、かつその一部は共通ゲート切断面18zである。
共通ゲート切断面18zは、第2及び第3リード厚肉部
12a,13aの各々の切断側面の間に位置している。
樹脂側面の非切断面18yは、金型から封止樹脂18を
容易に抜き出せるように、樹脂底面18cに対して3°
だけ傾斜がつけられている。なお、第1〜第3リード1
1,12,13の各々の露出面には半田メッキ処理が施
されている。図5〜図8のリードフレーム30は、この
電子部品24の製造にも用いられる。
【0042】図20及び図21は、上記電子部品24に
係るモールド封止工程完了後の状態を示しており、図1
1及び図12にそれぞれ対応している。図20及び図2
1において、51は上型を、52は下型を、41は樹脂
注入のための共通ゲートをそれぞれ示している。上型5
1と下型52との間には、封止樹脂18の成形のための
縦横に二次元配置された220個のキャビティが形成さ
れる。ただし、これらのキャビティは、共通ゲート41
を介して列方向にのみ互いに連結されている。共通ゲー
ト41は、11行20列のキャビティの各列に対応する
位置に設けられるのである。下型52の成形面は平坦で
ある。したがって、注入樹脂の侵入を防止してリード底
面を保護するために、下型52とリードフレームとの間
に弾性シート53が挟み込まれる。この際、個々の電子
部品の第2及び第3リード部の基端部12a,13a
が、共通ゲート41から離れた位置で上型51により押
さえられる。したがって、樹脂圧力によっては、弾性シ
ート53を使用しなくても注入樹脂の侵入を防止でき
る。
【0043】上記電子部品24では、樹脂18の一側面
の下端部に第1リード11の切断面が樹脂切断面18x
と同等面に露出し、かつ該樹脂18の対向側面の下端部
に第2及び第3リード12,13の各々の切断面が樹脂
切断面18xと同等面に露出している。また、第1〜第
3リード11,12,13の各々の底面が樹脂底面18
cと同等面に露出するように、モールド封止がなされて
いる。しかも、各リード11,12,13の露出切断面
と露出底面とが連続しており、ここに外部接続のための
リード角部が形成されている。したがって、上記電子部
品24は表面実装技術に最適な超小型の部品である。
【0044】なお、上記各例において、半導体チップ
(電子素子)15と第2及び第3リード12,13との
電気接続は、Auワイヤー16,17による接続に限ら
ない。板状のリードフレーム30に代えて、同様のリー
ド部を絶縁性基板にパターニングしたものを使用しても
よい。上記各例において、第1〜第3リード11,1
2,13の各々の露出底面にのみ半田メッキ処理を施す
こととしてもよい。
【0045】また、リードの数は上記の例に限らない。
半導体チップ15に代えて、任意の電子素子を本発明の
電子部品10,20,21,22,23,24に内蔵さ
せることもできる。
【0046】
【発明の効果】以上説明してきたとおり、本発明の電子
部品によれば、樹脂とリードとの同時切断により形成さ
れたリードの側面が樹脂側面の下端部に露出する構成を
採用したので、従来に比べてプリント基板への実装密度
を高めることができる。また、プリント基板への実装の
際にリード変形が生じるおそれもない。
【0047】本発明の電子部品の製造方法によれば、電
子部品のパッケージ側面に樹脂切断面とリード切断面と
が同時に形成されるようにリードフレームを樹脂ととも
に切断する構成を採用したので、従来のバリ取り工程と
フォーミング工程とを省略でき、生産性が向上する。
【0048】本発明のリードフレームによれば、二次元
配置された複数の格子空間の各々へ延出する複数組のリ
ード部を備えた構成を採用したので、従来に比べて1枚
のリードフレームから取れる電子部品の数が増加し、リ
ードフレームを構成する金属材料の利用効率が向上す
る。
【0049】本発明の金型によれば、縦横に二次元配置
されかつ少なくとも一方向に互いに連結された複数のキ
ャビティへ共通のゲートから樹脂を注入する構成を採用
したので、従来に比べて1回のモールド封止工程で取れ
る電子部品の数が増加し、かつ生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電子部品の平面図である。
【図2】図1の電子部品の正面図である。
【図3】図1のIII−III断面図である。
【図4】図1のIV−IV断面図である。
【図5】図1の電子部品の製造に用いられるリードフレ
ームの平面図である。
【図6】図5中のリード形成部の詳細を示す拡大平面図
である。
【図7】図6のVII−VII断面図である。
【図8】図6のVIII−VIII断面図である。
【図9】図5のリードフレームのモールド封止工程完了
後の平面図である。
【図10】図9中のモールド部の詳細を示す拡大平面図
である。
【図11】図10のXI−XI断面図である。
【図12】図10のXII−XII断面図である。
【図13】本発明に係る他の電子部品の正面図である。
【図14】本発明に係る更に他の電子部品の正面図であ
る。
【図15】本発明に係る更に他の電子部品の底面図であ
る。
【図16】本発明に係る更に他の電子部品の底面図であ
る。
【図17】本発明に係る更に他の電子部品の正面図であ
る。
【図18】図17のXVIII−XVIII断面図であ
る。
【図19】図17のXIX−XIX断面図である。
【図20】図11に対応した、図17の電子部品に係る
断面図である。
【図21】図12に対応した、図17の電子部品に係る
断面図である。
【図22】従来の電子部品の斜視図である。
【図23】従来のリードフレームの平面図である。
【図24】図23のリードフレームのモールド封止工程
完了後の平面図である。
【符号の説明】
10 電子部品 11 第1リード(第1リード部) 11a 第1リードの厚肉部(第1リード部の基端部) 11b 第1リードの薄片部(第1リード部の先端部) 12 第2リード(第2リード部) 12a 第2リードの厚肉部(第2リード部の基端部) 12b 第2リードの薄片部(第2リード部の先端部) 12c 第2リードの切り欠き(第2リード部の切り欠
き) 13 第3リード(第3リード部) 13a 第3リードの厚肉部(第3リード部の基端部) 13b 第3リードの薄片部(第3リード部の先端部) 13c 第3リードの切り欠き(第3リード部の切り欠
き) 14 導電性接着剤 15 半導体素子(電子素子) 16,17 Auワイヤー 18 樹脂 18a 樹脂上面の周縁部 18b 樹脂上面の極性マーク 18c 樹脂底面 18d,18e,18f,18g 樹脂底面の溝 18x 樹脂側面の切断面 18y 樹脂側面の非切断面 18z 樹脂側面の共通ゲート切断面 20,21,22,23,24 電子部品 30 リードフレーム 31 リード形成部 32 外枠 33 位置決め用の穴 34 送り穴 35 縦桟部 36 横桟部 41 共通ゲート 42 モールド部 43,44,45 ダイシング刃のガイド用樹脂 51 上型 52 下型 53 弾性シート 70 電子部品 71 第1リード(第1リード部) 72 第2リード(第2リード部) 73 第3リード(第3リード部) 74 樹脂 80 リードフレーム 81 リード形成部 82 外枠 83 桟部 W1,W2 カット幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // B29L 31:34

Claims (54)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂封止パッケージ型の電子部品であっ
    て、 電子素子と、 前記電子素子に電気的に接続されたリードと、 前記電子素子と前記リードとを封止した樹脂とを備え、 前記リードの側面は、前記樹脂の側面の切断と同時に該
    樹脂の側面の下端部に同切断により形成されて、該樹脂
    の側面と同等面に露出していることを特徴とする電子部
    品。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の電子部品において、 前記リードは、切断が容易な柔らかい材料で構成された
    ことを特徴とする電子部品。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の電子部品において、 前記リードの露出側面にメッキ処理が施されたことを特
    徴とする電子部品。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の電子部品において、 前記リードの底面は、少なくとも一部が前記樹脂の底面
    から露出していることを特徴とする電子部品。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の電子部品において、 前記リードの露出底面にのみメッキ処理が施されている
    ことを特徴とする電子部品。
  6. 【請求項6】 請求項4記載の電子部品において、 前記リードの露出底面は、前記リードの露出側面と連続
    していることを特徴とする電子部品。
  7. 【請求項7】 請求項6記載の電子部品において、 前記リードの露出底面及び前記リードの露出側面に連続
    的にメッキ処理が施されていることを特徴とする電子部
    品。
  8. 【請求項8】 請求項4記載の電子部品において、 前記リードの露出底面は、前記樹脂の底面からわずかに
    突出していることを特徴とする電子部品。
  9. 【請求項9】 請求項4記載の電子部品において、 前記樹脂の底面は、前記リードの露出底面の周囲に溝を
    有することを特徴とする電子部品。
  10. 【請求項10】 請求項1記載の電子部品において、 前記樹脂の上面は、周縁部に面取り又は段差を有するこ
    とを特徴とする電子部品。
  11. 【請求項11】 請求項1記載の電子部品において、 前記樹脂の4側面は、いずれも少なくとも一部が切断に
    より形成されたことを特徴とする電子部品。
  12. 【請求項12】 請求項1記載の電子部品において、 前記樹脂の側面は、前記リードの切断時に形成された切
    断面と、前記封止の際に形成された非切断面とを有する
    ことを特徴とする電子部品。
  13. 【請求項13】 請求項12記載の電子部品において、 前記樹脂側面の切断面は該樹脂の底面に対して垂直であ
    り、かつ前記樹脂側面の非切断面は該樹脂の底面に対し
    て傾斜していることを特徴とする電子部品。
  14. 【請求項14】 請求項12記載の電子部品において、 前記樹脂側面の切断面は、該樹脂の側面下端部において
    該樹脂の底面に対して垂直に形成されたことを特徴とす
    る電子部品。
  15. 【請求項15】 請求項12記載の電子部品において、 前記樹脂の4側面下端部は、いずれも切断により該樹脂
    の底面に対して垂直に形成されたことを特徴とする電子
    部品。
  16. 【請求項16】 請求項1記載の電子部品において、 前記リードは、前記電子素子に電気的に接続された薄片
    部と、底面側に段差ができるように前記薄片部より厚く
    形成された厚肉部とを備え、 前記厚肉部の側面は、前記樹脂の側面の切断と同時に該
    樹脂の側面の下端部に同切断により形成されて、該樹脂
    の側面と同等面に露出し、 前記厚肉部の底面は、前記樹脂の底面から露出している
    ことを特徴とする電子部品。
  17. 【請求項17】 請求項16記載の電子部品において、 前記厚肉部の露出底面は、前記薄片部と前記厚肉部との
    厚みの差より小さい寸法だけ前記樹脂の底面から突出し
    ていることを特徴とする電子部品。
  18. 【請求項18】 請求項16記載の電子部品において、 前記薄片部の上面は、前記厚肉部の上面より幅広である
    ことを特徴とする電子部品。
  19. 【請求項19】 請求項16記載の電子部品において、 前記薄片部の上面は前記電子素子より大きい面積を有
    し、かつ前記電子素子は前記薄片部の上に固定されてい
    ることを特徴とする電子部品。
  20. 【請求項20】 請求項16記載の電子部品において、 前記薄片部は、前記樹脂からのリード抜け防止手段とな
    る切り欠きを有することを特徴とする電子部品。
  21. 【請求項21】 樹脂封止パッケージ型の電子部品を製
    造するための方法であって、 リード部を有する板状のリードフレームの上に電子素子
    を固定する工程と、 前記電子素子を前記リード部に電気的に接続する工程
    と、 前記電子素子と前記リード部とを樹脂で一体的に封止す
    る工程と、 前記電子部品のパッケージ側面に樹脂切断面とリード切
    断面とが同時に形成されるように、前記リードフレーム
    を前記樹脂とともに切断する工程とを備えたことを特徴
    とする電子部品の製造方法。
  22. 【請求項22】 請求項21記載の電子部品の製造方法
    において、 前記封止工程は、前記リード部の底面が前記樹脂の底面
    から露出するように前記リード部を封止する工程を備え
    たことを特徴とする電子部品の製造方法。
  23. 【請求項23】 請求項22記載の電子部品の製造方法
    において、 前記封止工程は、下型と前記リード部との間に弾性シー
    トを挟み込む工程を備えたことを特徴とする電子部品の
    製造方法。
  24. 【請求項24】 請求項21記載の電子部品の製造方法
    において、 前記切断工程における刃のガイドのための溝を前記樹脂
    の表面に形成する工程を備えたことを特徴とする電子部
    品の製造方法。
  25. 【請求項25】 請求項21記載の電子部品の製造方法
    において、 前記切断工程における刃の位置決めのための凸条を前記
    樹脂の表面に形成する工程を備えたことを特徴とする電
    子部品の製造方法。
  26. 【請求項26】 請求項21記載の電子部品の製造方法
    において、 前記電子部品のパッケージ側面に形成されたリード切断
    面にメッキ処理を施す工程を更に備えたことを特徴とす
    る電子部品の製造方法。
  27. 【請求項27】 樹脂封止パッケージ型の複数の電子部
    品を製造するための方法であって、 格子状に形成された桟部と、該桟部により縦横に二次元
    配置された複数の格子空間の各々へ延出する複数組のリ
    ード部とを有する板状のリードフレームの上において、
    複数の電子素子を各々前記複数の格子空間のうちの対応
    する格子空間に固定する工程と、 前記複数の電子素子の各々を前記複数組のリード部のう
    ちの対応するリード部に電気的に接続する工程と、 前記複数の電子素子と、前記複数組のリード部とを少な
    くとも一方向に共通ゲートを介して連続するように樹脂
    で封止する工程と、 前記リードフレームの前記複数組のリード部が前記桟部
    からそれぞれ切り離されるように、かつ前記複数の電子
    部品の個々のパッケージ側面に樹脂切断面とリード切断
    面とが同時に形成されるように、前記リードフレームを
    前記樹脂とともに切断する工程とを備えたことを特徴と
    する電子部品の製造方法。
  28. 【請求項28】 請求項27記載の電子部品の製造方法
    において、 前記封止工程は、前記リードフレームのうちの前記リー
    ド部を前記共通ゲートから離れた位置で上型により押さ
    える工程を備えたことを特徴とする電子部品の製造方
    法。
  29. 【請求項29】 請求項27記載の電子部品の製造方法
    において、 前記封止工程は、前記複数組のリード部の各々の底面が
    前記樹脂の底面から露出するように、前記複数組のリー
    ド部を封止する工程を備えたことを特徴とする電子部品
    の製造方法。
  30. 【請求項30】 請求項27記載の電子部品の製造方法
    において、 前記切断工程における刃のガイドのための複数の溝を前
    記リードフレームの桟部に沿って前記樹脂の表面に形成
    する工程を備えたことを特徴とする電子部品の製造方
    法。
  31. 【請求項31】 請求項30記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の溝は、少なくとも前記複数の電子部品の前記
    樹脂切断面とリード切断面との同時形成位置にそれぞれ
    形成されることを特徴とする電子部品の製造方法。
  32. 【請求項32】 請求項30記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の溝は、少なくとも互いに隣接する2個の電子
    素子の間にそれぞれ形成されることを特徴とする電子部
    品の製造方法。
  33. 【請求項33】 請求項30記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の溝は、前記リードフレームの桟部に沿って縦
    横に形成されることを特徴とする電子部品の製造方法。
  34. 【請求項34】 請求項30記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の溝の各々は、溝底幅より広い上溝幅を有する
    ことを特徴とする電子部品の製造方法。
  35. 【請求項35】 請求項30記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の溝の各々は、少なくとも2本の互いに並行な
    細溝であることを特徴とする電子部品の製造方法。
  36. 【請求項36】 請求項27記載の電子部品の製造方法
    において、 前記切断工程における刃の位置決めのための複数の凸条
    を前記リードフレームの桟部に沿って前記樹脂の表面に
    形成する工程を備えたことを特徴とする電子部品の製造
    方法。
  37. 【請求項37】 請求項36記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の凸条は、前記リードフレームの桟部に沿って
    縦横に形成されることを特徴とする電子部品の製造方
    法。
  38. 【請求項38】 請求項36記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の凸条の各々の最大幅は、前記桟部の幅より広
    いことを特徴とする電子部品の製造方法。
  39. 【請求項39】 請求項27記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の電子部品の各々のパッケージ側面に形成され
    たリード切断面にメッキ処理を施す工程を更に備えたこ
    とを特徴とする電子部品の製造方法。
  40. 【請求項40】 樹脂封止パッケージ型の複数の電子部
    品を製造するための方法であって、 矩形の外枠と、該外枠の1組の対向二辺と他の1組の対
    向二辺とをそれぞれ連結するように格子状に形成された
    桟部と、該桟部により縦横に二次元配置された複数の格
    子空間の各々へ延出する複数組のリード部とを有する板
    状のリードフレームの上において、複数の電子素子を各
    々前記複数の格子空間のうちの対応する格子空間に固定
    する工程と、 前記複数の電子素子の各々を前記複数組のリード部のう
    ちの対応するリード部に電気的に接続する工程と、 前記複数の電子素子と、前記複数組のリード部とを樹脂
    で一体的に封止する工程と、 前記複数の電子部品の個々のパッケージ側面に樹脂切断
    面とリード切断面とが同時に形成されるように、前記リ
    ードフレームを前記樹脂とともに切断する工程とを備え
    たことを特徴とする電子部品の製造方法。
  41. 【請求項41】 請求項40記載の電子部品の製造方法
    において、 前記封止工程は、前記複数の電子素子と前記複数組のリ
    ード部とが一括して樹脂封止されるように、前記複数の
    電子素子に対応して縦横に二次元配置されかつ少なくと
    も一方向に互いに連結された複数のキャビティへ共通の
    ゲートから樹脂を注入する工程を備えたことを特徴とす
    る電子部品の製造方法。
  42. 【請求項42】 請求項40記載の電子部品の製造方法
    において、 前記切断工程は、互いに隣接する2個の電子素子に対応
    した2個の電子部品の各々のパッケージ側面に樹脂切断
    面とリード切断面とが同時に形成されるように、前記リ
    ードフレームの桟部の幅より広い幅で前記リードフレー
    ムを前記樹脂とともに切断する工程を備えたことを特徴
    とする電子部品の製造方法。
  43. 【請求項43】 請求項42記載の電子部品の製造方法
    において、 前記切断工程は、前記リードフレームの桟部の幅より広
    い幅を有する1枚の刃で前記リードフレームを前記樹脂
    とともに切断する工程を備えたことを特徴とする電子部
    品の製造方法。
  44. 【請求項44】 請求項40記載の電子部品の製造方法
    において、 前記複数の電子部品の各々のパッケージ側面に形成され
    たリード切断面にメッキ処理を施す工程を更に備えたこ
    とを特徴とする電子部品の製造方法。
  45. 【請求項45】 樹脂封止パッケージ型の電子部品の製
    造に用いられる板状のリードフレームであって、 矩形の外枠と、 前記外枠の1組の対向二辺と他の1組の対向二辺とをそ
    れぞれ連結するように格子状に形成された桟部と、 前記桟部により縦横に二次元配置された複数の格子空間
    の各々へ延出する複数組のリード部とを備えたことを特
    徴とするリードフレーム。
  46. 【請求項46】 請求項45記載のリードフレームにお
    いて、 前記複数組のリード部を構成する個々のリード部は、 前記外枠及び前記桟部と同等の厚みを有する基端部と、 前記基端部より幅広に、かつ底面側に段差ができるよう
    に前記基端部より薄く形成された先端部とを備えたこと
    を特徴とするリードフレーム。
  47. 【請求項47】 請求項46記載のリードフレームにお
    いて、 前記複数組のリード部のうちの特定のリード部の先端部
    は、その上に固定される電子素子より大きい面積を有す
    る上面を備えたことを特徴とするリードフレーム。
  48. 【請求項48】 請求項46記載のリードフレームにお
    いて、 前記複数組のリード部のうちの特定のリード部の先端部
    は、樹脂封止後に樹脂からのリード抜け防止手段となる
    切り欠きを備えたことを特徴とするリードフレーム。
  49. 【請求項49】 請求項45記載のリードフレームにお
    いて、 前記外枠は、樹脂封止及び前記複数組のリード部の切断
    の際に用いられる位置決め用の穴を四隅に備えたことを
    特徴とするリードフレーム。
  50. 【請求項50】 請求項45記載のリードフレームにお
    いて、 前記外枠は複数の送り穴を一辺に備えたことを特徴とす
    るリードフレーム。
  51. 【請求項51】 樹脂封止パッケージ型の電子部品の製
    造に用いられる金型であって、 縦横に二次元配置された複数の電子素子を搭載したリー
    ドフレームが載置される下型と、 前記複数の電子素子に対応して縦横に二次元配置され、
    かつ少なくとも一方向に互いに連結された複数のキャビ
    ティを形成するための上型と、 前記互いに連結された複数のキャビティへの樹脂注入の
    ための共通のゲートとを備えたことを特徴とする金型。
  52. 【請求項52】 請求項51記載の金型において、 前記複数のキャビティは、該複数のキャビティと同等の
    高さを有する空間を介して互いに連結されていることを
    特徴とする金型。
  53. 【請求項53】 請求項51記載の金型において、 前記上型は、前記複数のキャビティの各々の大部分を形
    成できる深さをそれぞれ有する複数の凹部を備えたこと
    を特徴とする金型。
  54. 【請求項54】 請求項51記載の金型において、 前記上型及び下型のうちの少なくとも一方は、前記リー
    ドフレームの外枠に設けられた位置決め用の穴に嵌入さ
    れるピンを備えたことを特徴とする金型。
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