JPH09281094A

JPH09281094A - 自動検査装置

Info

Publication number: JPH09281094A
Application number: JP8090800A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Kajiyama; 茂梶山
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-04-12
Filing date: 1996-04-12
Publication date: 1997-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】検査面に追従して検査プローブ（探触子）の姿
勢を変えることを可能にし、種々の形状の検査面を検査
できる検査装置を提供する。【解決手段】検査プローブ（探触子）を支持点を中心に
回転可能とし、かつ弾性体により回転復帰動作を可能と
し、かつ停止機構により原点復帰を可能とする。さらに
検査プローブの両側を独立懸架の伸縮機構で支持するこ
とにより、回転方向と直交した方向の傾斜にも追従可能
にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は自動検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の装置は、特開昭57−125846号公報
のように検査用探触子２２を円筒状の検査外面に接触あ
るいは近接させた状態で走査し、検査をするものであ
る。また特開昭58−129252号のように配管１の曲率に超
音波探触子３６を追従させるため、アーム１６を回転軸
１１中心に回転できるようにして配管１の曲率に倣うよ
うにするとともに押圧機構３２により超音波探触子３６
を配管１の表面に押し付け、配管１の溶接線の外周に沿
って周回して検査をするものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術は、前
者の課題が円筒外面の直管部の検査に利用できるだけ
で、下部曲面あるいは内面の検査にこのままでは適用で
きない。また後者の課題が配管の曲面に追従し、全周を
走査ができるが、連続した走査面だけの適用に留まる。

【０００４】本発明の目的は、検査面に追従して検査用
探触子の姿勢を変えることを可能にし、種々の形状の検
査面を検査できる自動検査装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】検査用探触子を支持点を
中心に回転可能とし、かつ弾性体により回転復帰動作を
可能とし、かつ停止機構により原点復帰を可能とする。
さらに検査用探触子の両側を独立懸架の伸縮機構で支持
することにより、回転方向と直交した方向の傾斜にも追
従可能にする。

【０００６】本発明によれば、検査用探触子の姿勢を検
査面に応じて追従させることが可能になるため、種々の
形状の検査面に探触子を自動追従させた走査ができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の自動検査装置の主要部の
探触子追従機構は、図１の側面図、図２の正面図で示さ
れ、図３はその構成部品である戻し機構の内部構造であ
る。

【０００８】図１の側面図で示すように超音波プローブ
（探触子）２０の検査面への追従機構は、上部の走行台
車からのシャフト１７で支持され、かつこれに併設され
た２本のエアシリンダ２３のシャフト１８により両側に
設けた回転軸１９を介して取り付けられている。また超
音波プローブ２０は、回転軸１９を中心に回転可能に取
り付けられ、検査面１Ａの角度の変化(１Ｂ，１Ｃ)に応
じて、それぞれ２０Ｂ，２０Ｃの姿勢に変化し追従す
る。この場合は、シャフト１８に取り付けた戻し機構２
２内の渦巻ばねにより、図１の左回転方向に回転力が与
えられている。この回転力を所定の角度で超音波プロー
ブ２０を停止するためのストッパ２１が設けられ、定常
時は図１に示す超音波プローブ２０の角度に維持され
る。また回転軸１９は、超音波プローブ２０の中心から
変心した状態で取り付けられる。図１を検査面側から見
た正面図は図２になる。シャフト１７に支持された２本
のエアシリンダ２３のシャフト１８は回転軸１９を支持
し、超音波プローブ２０が回転軸１９を中心にして回転
自在に取り付けられている。戻し機構２２内部の詳細
は、図３に示すように渦巻ばね２６の一端が回転軸１９
にねじ２８で固定され、他端が戻し機構２２のケース２
５にねじ２７で固定されている。さらにケース２５は、
図２に示すようにホルダ２９によりシャフト１８に固定
されている。この例の戻り機構２２では、図２に示す超
音波プローブ２０の検査面が垂直の状態で、ストッパ２
１がシャフト１８に当たるように予め設定される。

【０００９】本発明の自動検査装置の探触子追従機構を
容器の自動検査に適用した実施例について説明する。図
４は円筒状の容器１の上部フランジ２に超音波検査装置
を取り付けた実施例で、容器１の内面に沿って超音波プ
ローブ（探触子）２０を走査し、板厚，内部欠陥などを
検査する。超音波プローブ２０は、架台１１上のＹＺ駆
動部１２に内蔵したＹ駆動機構により横行台車１４ごと
Ｙ方向に旋回可能のため容器１内面の円周に沿って移動
できる。またＹＺ駆動部１２には別のＺ駆動機構が内蔵
されて、この駆動により駆動軸１３を昇降させることに
より、先端に取り付けられている超音波プローブ２０を
容器１内面の上下方向に移動できる。また容器１底部の
検査の場合は、超音波プローブ２０を底部まで下げると
ともにＸ駆動部１６でボールねじ１５を回転させること
によりＸ方向に横行可能である。このため、例えば、超
音波プローブを２０Ｂ，２０Ｃのような位置にも自由に
移動させることができる。さらに、これらの位置でＹ駆
動機構により旋回が可能なため、容器１底部の全面にも
移動できる。超音波プローブ２０は、Ｘ駆動部１６にシ
ャフト１７，エアシリンダ２３，シャフト１８を介して
取り付けられ、図１に示す追従機構により容器１内面の
これらの変化に追従して変化する。すなわち、超音波プ
ローブ２０は、回転軸１９を中心に回転可能で、かつ超
音波プローブ２０の状態に復元できる力が図１の追従機
構により働いているため、容器１内面の変化に追従して
超音波プローブ２０Ｂ，２０Ｃの状態にも変化できる。
また逆に超音波プローブ２０の状態に戻ることもでき
る。なお、図１４に示す超音波プローブ２０の内部に
は、容器１内面と接するプローブ２０の平坦部８１から
容器１内面に向けて超音波ビームが入射できるように１
つまたは複数個の超音波振動子８０が配置されている。

【００１０】図４に示す超音波プローブ２０Ｂ，２０Ｃ
の位置に移動する場合は、駆動部１６をその位置まで駆
動するとともに駆動部１２内のＺ駆動機構により横行台
車１４をその高さまで下げる必要がある。この操作方法
は、大きく分ければ２つある。まず容器１の内面形状が
既知であれば、予め検査位置の位置データを操作装置
（図示せず）に記憶させておき、このデータに基づいて
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸を動作させる方法がある。また容器１
の内面形状が分からないときは、監視用テレビカメラ
（図示せず）で内面形状を見ながら各軸を操作する方法
がある。いずれの方法でも容器１の例のように、その内
面形状が連続的に変わる場合は、超音波プローブ２０の
姿勢が検査面の形状に追従して自動的に変わる。さらに
超音波プローブ２０Ｂ，２０Ｃの位置の場合の押付力の
制御は、Ｚ駆動機構だけでは難しいため、これに加えて
エアシリンダ２３を動作させることが有効である。この
ように超音波プローブ２０を容器１内面に追従させて移
動できるため、容器１の全内面を超音波検査できる。

【００１１】図４の実施例は、容器全内面について超音
波プローブを旋回する例について説明したが、他の実施
例として容器内面を局部的に超音波プローブを走査させ
る場合もあり、これに本発明を適用した例について図
５，図６，図７によって説明する。図５は容器１のフラ
ンジ２上にレール６４を設置するとともにこれに別のレ
ール６１を走行自在に乗せ、駆動部６５によりレール６
４上をＹ０方向に走行できる。またレール６１には別の
駆動部６０が取り付けられレール６１上をＹ０と直交し
たＸ０方向に走行できる。また駆動部６０には支持部６
３を介して走査装置６２が取り付けられ、シャフト１
３，横行台車１４，駆動部１６，シャフト１７，エアシ
リンダ２３，シャフト１８を介し、この先端に超音波プ
ローブ20Ｂが取り付けられている。検査時は、駆動部６
０，６５を操作して目標の位置に移動させた後、ＹＺ駆
動部１２内のＺ駆動機構を駆動し、超音波プローブ２０
Ｂが容器１内面に接触する位置まで下げられる。この
後、エアシリンダ２３を駆動し、シャフト１８を押し出
すことにより、超音波プローブ２０Ｂの状態になり、検
査できる姿勢になる。

【００１２】この原理を図６から説明する。容器１内面
に接触する前の超音波プローブの姿勢は、実線で示す２
０の状態である。この状態からさらにシャフト１８を押
し下げると、シャフト１８の支持点と超音波プローブ２
０の中心点間がＬだけ芯ずれし、かつ超音波プローブ２
０の外面曲率により、容器１内面上を滑りながら転動
し、平坦面であれば超音波プローブの姿勢は破線で示す
２０Ｃの状態で安定する。

【００１３】図５の駆動部１６を駆動し、Ｘ１方向の位
置決めを行った後、ＹＺ駆動部１２内のＹ駆動機構を駆
動してシャフト１３を中心に旋回させ、この部分の検査
をする。この場合の超音波プローブ２０Ｃの検査面への
姿勢の追従状態は、図７に示すようになる。すなわち、
図７は傾斜をもつ検査面１Ｙの線３０を中心（図５のシ
ャフト１３の中心）に超音波プローブ２０Ｂを旋回させ
たものである。シャフト１８Ｂの位置から中心線３０を
中心に、１８０度旋回させると、シャフト18Ｄの状態に
半回転し、戻り機構２２が見える状態になり、姿勢は検
査面１Ｙに追従して回転軸１９を中心に回転するため、
超音波プローブ２０Ｄの状態になる。

【００１４】また１８０度旋回前の９０度旋回時の超音
波プローブとエアシリンダの状態は、図８になる。超音
波プローブ２０Ｅは、容器１内面の傾斜部に倣って傾く
が、回転軸１９がユニバーサルジョイント３１によって
支持されているので、シャフト１８と所定の角度で連結
した状態になる。この場合、２本のエアシリンダ２３は
各々圧力調整器３２で一定圧力に常に自動調整されてい
る。すなわち、シャフト１８が収縮する場合は、ライン
３４を経由して圧力調整器３２の内圧が上がるため排気
ライン３５から排気し、所定の圧力に自動調整する。逆
に伸長する場合は、内圧が下がるため圧力供給ライン３
３から吸気し、ライン３４を経由してエアシリンダ２３
にエアーを供給し、一定圧力に自動調整する。このよう
に検査面の傾斜に応じてシャフト１８が伸縮することに
より、超音波プローブ２０Ｅは、この方向の検査面の変
化にも追従して姿勢を変えることができる。ユニバーサ
ルジョイント３１と回転軸１９の外面にはスプリング５
９が取り付けられて、定常状態への復元力を大きくして
いる。

【００１５】次の実施例は、図９に示すように、容器１
にノズル５が取り付けられ、そのノズル５の内外面に超
音波プローブを適用した場合である。ノズル５上面に超
音波プローブ２０Ｃを倣わせる方法は、前記した転動方
式の他にもあり、その方法は、図５の走査装置６２のシ
ャフト１３の中心とノズル５の中心の位置を合わせると
ともに、ＹＺ駆動部１２のＺ方向の高さと駆動部１６の
Ｘ１方向の位置を図９の超音波プローブ２０Ｈの状態に
する。この後、駆動部１６を駆動して図９の矢印の方向
に移動させれば超音波プローブ２０Ｃの状態にできる。
この状態からＹＺ駆動部１２内のＹ駆動機構により旋回
させれば、超音波プローブ２０Ｃをノズル５の上面に沿
って走査できる。同様な位置決め手段により、ノズル５
の内外面に追従させた超音波プローブ２０Ｆ，２０Ｇの
状態にもできる。この状態からＹＺ駆動部１２により旋
回させれば、ノズル５の内周，外周の方向に走査でき、
ＹＺ駆動部１２によりＺ方向に駆動すれば上下方向に走
査できる。

【００１６】これまでの実施例は、超音波プローブを一
定の姿勢で検査対象に挿入し、検査対象の形状に自動追
従させるもので、その姿勢も検出していない。しかしこ
れに限定されるものでなく、目的に応じて挿入前の超音
波プローブの姿勢を目標の検査面に近い姿勢にしてから
検査対象に挿入したり、検査面の近くで超音波プローブ
の姿勢を検出しながら、検査面に合うように駆動するこ
ともできる。図１０はその一例である。超音波プローブ
２０は、回転軸１９に固定され、エアシリンダ２３のシ
ャフト１８と回転自在に取り付けられる。回転軸１９に
はエンコーダ５３が連結され、回転角度が検出され、こ
の信号が遠隔に設置された操作装置（図示せず）にケー
ブルを介して送られるので、超音波プローブ２０の姿勢
（角度）が分かる。またこれと直交した方向の姿勢検出
が必要な場合は、超音波プローブ２０に傾斜角センサ
（図示せず）搭載すれば可能である。また超音波プロー
ブ２０にはストッパ２１が固定され、戻り機構２２の回
転力で定常時はホルダ５５に当たった状態にある。ホル
ダ５５は回転軸５４に固定され、回転軸５４を減速器５
１を介して遠隔の操作装置から操作されるモータ５０で
回転でき、この回転角度も別のエンコーダ５２により検
出される。したがって超音波プローブ２０の定常時の姿
勢を自由に設定できる。

【００１７】この他に水中検査の場合は、図１０の戻り
機構２２，ストッパ２１及びホルダ５５を設けずに回転
軸５４と回転軸１９を連結し、モータ５０で超音波プロ
ーブ２０を回転させることも目的により有効である。こ
の場合の超音波プローブ２０の姿勢制御の方法は、超音
波プローブ２０内に検査面に対して垂直に超音波ビーム
を発する振動子を設け、このビームの検査面からの反射
波が常に超音波プローブ２０に戻るような角度に、超音
波プローブ２０の角度（姿勢）をモータ５０駆動で常に
制御する方法でも、検査面への追従が可能である。

【００１８】図３の実施例では、スットパ２１をシャフ
ト１８に直接当てる方法について説明したが、これに限
定されるものでなく、例えば、図１１に示すように、シ
ャフト１８にホルダ７０を固定し、これに圧縮ばね７１
を固定する。超音波プローブ２０に固定したストッパ２
１は戻り機構２２により、回転軸１９が回転し圧縮ばね
７１に接触する。この停止位置は、ホルダ２９に取り付
けた戻り機構２２内の渦巻ばねと圧縮ばね７１の力がバ
ランスした位置である。このため予めこれらをバランス
させるように調整しておくことが必要である。これによ
り超音波プローブ２０は、検査面への倣いに応じて圧縮
ばね７１を圧縮する方向の力が与えられると、ホルダ７
０側にも可動できる。したがって検査面への追従範囲を
さらに広くできる。

【００１９】実施例の図３，図８では２本のシャフト１
８で超音波プローブ２０を支持する方式で説明したが、
これに限定されるものでなく、図１２，図１３に示すよ
うに１本のシャフト１８だけで支持することも可能であ
る。図１２は側面図で、図１３は正面図である。図１２
からシャフト１８に支持された超音波プローブ２０は、
回転軸１９を介して回転自在に取り付けられるとともに
ホルダ２９を介してシャフト１８に固定された戻し機構
２２により回転力が与えられ、図１３のストッパ２１に
よって停止できる。回転軸１９は自在軸６７によって連
結されているためシャフト１８と超音波プローブ２０の
角度が変わる。したがって回転軸１９に沿った回転だけ
でなく、これと直交した検査面の方向にも追従する。ま
た図１２の超音波プローブ２０の外面は円弧状のため走
査する面に突っ込む現象は少ないが、この現象をなくし
より走査性能を向上させるためには、超音波プローブ２
０の先端に車輪６５を設け、これを回転軸６６を中心に
回転させることもできる。この車輪６５は図１３に示す
ように両側面に配置しても有効である。さらに走査時
は、前進だけでなく後進もあるため、車輪６５を後部に
も取り付けることも有効である。

【００２０】図５の実施例では容器１のフランジ２に駆
動部６０，６５を設置したが、これに替えて天井クレー
ンを利用し、走査装置６２を吊り下ろしても同様の効果
が得られる。また走査装置６２を吊り下ろした後に、周
辺の構造材に走査装置６２を取り付けても同様に検査を
することができる。

【００２１】図８の実施例では、回転軸１９と直交した
方向の追従にユニバーサルジョイント３１を使用した
が、これに限定されるものでなく、例えば図１３に示す
自在軸６７のような弾性体でも同様に適用できる。

【００２２】図４，図５，図９の実施例では、容器の内
面あるいはノズルの内，外面に適用する例について説明
したが、これに限定されるものでなく、特に本発明の検
査面への探触子追従機構は、容器の外面，配管の内，外
面、その他の構造材などの検査装置に広く適用できるも
のである。さらに実施例では、駆動機構の下に超音波プ
ローブを配置する例について説明したが、これに限定さ
れるものでなく、駆動機構の横あるいは上に超音波プロ
ーブを配置しても何ら問題なく適用できる。

【００２３】実施例では、１方向の回転軸１９を設ける
機構について説明したが、これに限定されるものでな
く、いわゆるジンバル機構のように直交した２軸に自由
度を持たせることもできる。図２に示す戻し機構２２，
ストッパ２１を具備した超音波プローブ２０の追従機構
の回転軸１９を、シャフト１８と異なる新たに設けたシ
ャフトを介し、新たなリングを保持する。ストッパ２１
はこの新たなシャフトと干渉し超音波プローブ２０の角
度が規制される。このリングに回転軸１９と直交した方
向に新たな回転軸を設け、この回転軸を中心にリングが
回転できるようにする。この回転軸に新たな戻し機構と
ストッパをつけ、これをエアシリンダ２３のシャフト１
８で支持すれば、２軸の自由度のある追従機構ができ
る。なおこの場合、シャフト１８とリングの連結は、球
面軸受などのように検査面の変化に対して角度が変化す
る機構を介することが必要である。

【００２４】上記の実施例によれば、以下の効果があ
る。

【００２５】（１）超音波プローブ２０を戻り機構２２
とストッパ２１などで構成される探触子の追従機構によ
り、側面から底面までの検査面に対して追従させること
ができる。

【００２６】（２）ストッパ２１を圧縮ばねで受けるこ
とにより、回転方向とは逆な方向にも回転可能になるた
め、逆方向の検査面の変化にも追従することができる（３）２軸の自由度をもたせた追従機構により、検査面
の変化に対して追従性能がさらに向上する。

【００２７】（４）探触子追従機構をモータ駆動するこ
とにより、超音波プローブの姿勢（角度）を予め検査面
の角度に合わせることができる。また角度を検出できる
ので、遠隔から超音波プローブの姿勢を目的の姿勢（角
度）に操作できる。

【００２８】（５）昇降駆動部，旋回駆動部及び横行駆
動部により探触子追従機構を走査することにより、容器
の全内面に追従した超音波検査ができる。

【００２９】（６）容器ノズルの上面，内外側面に追従
して超音波プローブを走査できるので、この個所の超音
波検査ができる。

【００３０】（７）探触子の追従機構を２本のエアシリ
ンダで支持あるいは超音波プローブを自在軸を介して支
持するなどにより、超音波プローブの回転方向と直交し
た方向などの検査面にも倣うことができる。

【００３１】（８）超音波プローブの定常時の姿勢をモ
ータ駆動で変更でき、かつその姿勢をエンコーダにより
検出できるので、定常時の姿勢を遠隔操作できる。

【００３２】（９）超音波プローブの外面曲率と超音波
プローブの支持位置により、押し下げだけで超音波プロ
ーブの姿勢を側面方向から下面方向に転動させることが
できる。

【００３３】（１０）検査表面を検出し、その信号によ
り超音波プローブの姿勢をモータ駆動で自動追従させる
ことができる。

【００３４】上記実施例の超音波検査の方法は、水中で
行う水浸検査法，気中で被検査体と超音波プローブの間
に水などの接触媒質を入れて行う部分水浸法が代表的で
あるが、本発明はいずれに対しても適用可能である。ま
た超音波検査の目的は、板厚検査，内部欠陥検査（体積
検査），表面欠陥検査などがあるが、これらは超音波プ
ローブ内の振動子の配置によって決まるもので、本発明
はいずれの目的の検査に対しても問題なく適用できる。

【００３５】また超音波検査に限定されるものでなく、
例えば超音波プローブに替えて渦電流プローブを取り付
ければ、渦電流検査をすることも可能である。さらに電
極間の電気抵抗の差から表面欠陥を検出するポテンシャ
ルドロップ法の検査プローブを同様に取り付け、検査を
することもできる。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、検査面に追従して検査
用探触子の姿勢を変えることが可能になり、種々の検査
面を検査できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の探触子と追従機構の側面図。

【図２】図１の正面図。

【図３】戻し機構の側面図。

【図４】走査装置を容器に取り付けた断面図。

【図５】他の走査装置を容器に取り付けた側断面図。

【図６】探触子の動作を説明する側面図。

【図７】探触子の動作を説明する側面図。

【図８】検査面への追従動作の説明図。

【図９】検査面への追従動作の説明図。

【図１０】探触子のモータ駆動，姿勢検出を付加した場
合の追従機構の正面図。

【図１１】他の追従機構の部分断面の平面図。

【図１２】他の追従機構の側面図。

【図１３】図１２の正面図。

【図１４】超音波プローブの内部構造の側面図。

【符号の説明】

１…容器、１７，１８…シャフト、１９…回転軸、２０
…超音波プローブ、２１…ストッパ、２２…戻り機構、
２３…エアシリンダ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】構造材の板厚，欠陥などを検査する装置に
おいて、回転軸を中心に回転自在な検査用探触子と、前
記回転軸を回転自在に支持する支持機構と、前記検査用
探触子に回転力を与える弾性体と、前記検査用探触子の
回転角度を規制する機構とからなることを特徴とする自
動検査装置。
【請求項２】構造材の板厚，欠陥などを検査する装置に
おいて、回転軸を中心に回転自在な検査用探触子と、前
記回転軸を回転自在に支持する２本の伸縮機構からなる
支持機構と、前記２本の伸縮機構の動きをそれぞれ独立
して制御する２つの圧力調整器と、前記検査用探触子に
回転力を与える弾性体と、前記検査用探触子の回転角度
を規制する機構とからなることを特徴とする自動検査装
置。
【請求項３】構造材の板厚，欠陥などを検査する装置に
おいて、第一回転軸を中心に回転自在な検査用探触子
と、前記第一回転軸を回転自在に支持する第一支持機構
と、前記支持機構に固定されるリング状の保持機構と、
前記検査用探触子に回転力を与える第一弾性体と、前記
検査用探触子の回転角度を規制する機構と、前記保持機
構に前記第一回転軸の直交方向に回転自在に支持される
第二回転軸と、前記第二回転軸に回転力を与える第二弾
性体と、前記保持機構の回転角度を規制する機構と、前
記保持機構を変角自由に支持する第二支持機構とからな
ることを特徴とする自動検査装置。
【請求項４】請求項１または２において、前記検査用探
触子の外面形状を円弧状にし、かつ披検査面との接触面
に平坦部を設けるとともに前記検査用探触子の中心から
変位した位置を支持した自動検査装置。
【請求項５】請求項１または２において、前記検査用探
触子の回転角度を規制する機構に弾性体を設けた自動検
査装置。
【請求項６】請求項１または２において、前記検査用探
触子の回転角度を検出する検出機構を設けた自動検査装
置。
【請求項７】請求項１または２において、前記検査用探
触子を回転軸を中心に回転させる駆動機構を設けた自動
検査装置。
【請求項８】請求項５において、前記検査装置の検査用
探触子を回転させる駆動機構と、前記自動検査装置と前
記駆動機構とを連結する連結機構と、前記駆動機構の回
転角度を検出する検出機構とからなる自動検査装置。
【請求項９】請求項１または２において、前記自動検査
装置を支持する前記第一支持機構と、前記第一支持機構
を横行する第一駆動機構と、前記第一駆動機構を支持す
る第二支持機構と、前記第二支持機構を昇降させる第二
駆動機構と、前記第二支持機構を旋回させる第三駆動機
構と、前記第二，第三駆動機構を被検査体に取り付ける
第三支持機構とからなる自動検査装置。
【請求項１０】請求項１または２において、前記自動検
査装置を支持する前記第一支持機構と、前記第一支持機
構を横行する第四駆動機構と、前記第四駆動機構を支持
する前記第二支持機構と、前記第二支持機構を昇降させ
る第二駆動機構と、前記第二支持機構を旋回させる第三
駆動機構と、前記第二，第三駆動機構を支持する第四支
持機構と、前記第四支持機構をＸ０方向に移動させるＸ
０駆動機構と、前記第三支持機構をＹ０方向に移動させ
るＹ０駆動機構とからなる自動検査装置。