JPH09277522A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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- JPH09277522A JPH09277522A JP8090812A JP9081296A JPH09277522A JP H09277522 A JPH09277522 A JP H09277522A JP 8090812 A JP8090812 A JP 8090812A JP 9081296 A JP9081296 A JP 9081296A JP H09277522 A JPH09277522 A JP H09277522A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】各電極間を絶縁することができ、インク滴の吐
出不良が発生することがないようにする。 【解決手段】表面に複数の第1の溝を備え、該各第1の
溝間に第1の電極36が形成された圧電体ベース12
と、表面に前記第1の溝と対応する複数の第2の溝を備
え、該各第2の溝間に第2の電極30が形成されるとと
もに、前記圧電体ベース12と接合され、前記第1の溝
及び第2の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体14と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート
層と、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面
に接着されたオリフィスプレート25とを有する。そし
て、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14の各表面
における端面の近傍に非電極部50が形成される。
出不良が発生することがないようにする。 【解決手段】表面に複数の第1の溝を備え、該各第1の
溝間に第1の電極36が形成された圧電体ベース12
と、表面に前記第1の溝と対応する複数の第2の溝を備
え、該各第2の溝間に第2の電極30が形成されるとと
もに、前記圧電体ベース12と接合され、前記第1の溝
及び第2の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体14と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート
層と、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面
に接着されたオリフィスプレート25とを有する。そし
て、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14の各表面
における端面の近傍に非電極部50が形成される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェトプリ
ンタに使用されるインクジェットヘッド及びその製造方
法に関するものである。
ンタに使用されるインクジェットヘッド及びその製造方
法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、サーマルジェット方式のインクジ
ェットプリンタにおいては、インク加圧室内に配設され
た発熱体によって気泡を発生させ、該気泡の圧力によっ
てオリフィスからインク滴を噴出させて印刷を行うよう
になっている(特公昭61−59914号公報参照)。
ェットプリンタにおいては、インク加圧室内に配設され
た発熱体によって気泡を発生させ、該気泡の圧力によっ
てオリフィスからインク滴を噴出させて印刷を行うよう
になっている(特公昭61−59914号公報参照)。
【0003】ところが、インクが発熱体の発熱によって
劣化してしまうので、印刷にとって最適な状態でインク
を使用することができないだけでなく、気泡の圧力が不
安定であるので、インクがオリフィスに詰まったり、イ
ンク流路内に気泡が進入したりしてしまう。したがっ
て、印字品位が低下してしまう。また、インクジェット
ヘッドの構成部品が熱応力を受けてクラックを発生させ
てしまう。
劣化してしまうので、印刷にとって最適な状態でインク
を使用することができないだけでなく、気泡の圧力が不
安定であるので、インクがオリフィスに詰まったり、イ
ンク流路内に気泡が進入したりしてしまう。したがっ
て、印字品位が低下してしまう。また、インクジェット
ヘッドの構成部品が熱応力を受けてクラックを発生させ
てしまう。
【0004】そこで、圧電体ブロックにインク加圧室と
しての溝を形成し、溝壁の剪(せん)断モードの変形に
よってインクを加圧し、オリフィスからインク滴を噴出
させるようにした圧電剪断モード方式のインクジェット
ヘッドが提案されている(特開平5−338156号公
報、特開平6−8426号公報参照)。この場合、圧電
体の機械的な変形を利用しているので、インクが劣化す
ることがない。また、電圧を変化させると、圧電体の変
形量が変化するようになっているので、インク加圧室の
圧力を容易に制御することができる。したがって、イン
クがオリフィスに詰まったり、インク流路内に気泡が進
入したりすることがなくなる。その結果、印字品位を向
上させることができる。
しての溝を形成し、溝壁の剪(せん)断モードの変形に
よってインクを加圧し、オリフィスからインク滴を噴出
させるようにした圧電剪断モード方式のインクジェット
ヘッドが提案されている(特開平5−338156号公
報、特開平6−8426号公報参照)。この場合、圧電
体の機械的な変形を利用しているので、インクが劣化す
ることがない。また、電圧を変化させると、圧電体の変
形量が変化するようになっているので、インク加圧室の
圧力を容易に制御することができる。したがって、イン
クがオリフィスに詰まったり、インク流路内に気泡が進
入したりすることがなくなる。その結果、印字品位を向
上させることができる。
【0005】さらに、インク加圧室の圧力を制御するこ
とによって、インク滴の径を調整することができるの
で、階調印刷を容易に行うことができる。次に、圧電剪
断モード方式のインクジェットヘッドの製造方法につい
て説明する。図2は従来の圧電体ベースの溝加工前の状
態図、図3は従来の上部圧電体の溝加工前の状態図、図
4は従来のインクジェットヘッドの組立状態図、図5は
従来のインクジェットヘッドの側面図、図6は従来のイ
ンクジェットヘッドの断面図である。
とによって、インク滴の径を調整することができるの
で、階調印刷を容易に行うことができる。次に、圧電剪
断モード方式のインクジェットヘッドの製造方法につい
て説明する。図2は従来の圧電体ベースの溝加工前の状
態図、図3は従来の上部圧電体の溝加工前の状態図、図
4は従来のインクジェットヘッドの組立状態図、図5は
従来のインクジェットヘッドの側面図、図6は従来のイ
ンクジェットヘッドの断面図である。
【0006】図において、12Aは矢印P方向に分極さ
れ、表面にベタ電極11が形成された圧電体ブロック、
14Aは矢印P方向に分極され、表面にベタ電極13が
形成された圧電体ブロックである。前記圧電体ブロック
12Aは、表面に図示しないダイシングソー等の切削手
段を使用して等間隔でかつ等幅な第1の溝16を形成す
ることによって圧電体ベース12になる。一方、前記圧
電体ブロック14Aは、表面に前記切削手段を使用して
等間隔でかつ等幅な第2の溝17を形成することによっ
て上部圧電体14になる。
れ、表面にベタ電極11が形成された圧電体ブロック、
14Aは矢印P方向に分極され、表面にベタ電極13が
形成された圧電体ブロックである。前記圧電体ブロック
12Aは、表面に図示しないダイシングソー等の切削手
段を使用して等間隔でかつ等幅な第1の溝16を形成す
ることによって圧電体ベース12になる。一方、前記圧
電体ブロック14Aは、表面に前記切削手段を使用して
等間隔でかつ等幅な第2の溝17を形成することによっ
て上部圧電体14になる。
【0007】そして、圧電体ベース12と上部圧電体1
4とが導電接合部材19を介して接合され、前記溝1
6、17によってインク加圧室24a、24b、…が形
成される。また、圧電体ベース12及び上部圧電体14
の一方の端面にはオリフィスプレート25が接着され、
他方の端面には封止材26が配設される。したがって、
オリフィスプレート25に形成されたオリフィス28
a、28b、…及び上部圧電体14の端部に形成された
共通インク室29以外の部分において、インク加圧室2
4a、24b、…は密封される。
4とが導電接合部材19を介して接合され、前記溝1
6、17によってインク加圧室24a、24b、…が形
成される。また、圧電体ベース12及び上部圧電体14
の一方の端面にはオリフィスプレート25が接着され、
他方の端面には封止材26が配設される。したがって、
オリフィスプレート25に形成されたオリフィス28
a、28b、…及び上部圧電体14の端部に形成された
共通インク室29以外の部分において、インク加圧室2
4a、24b、…は密封される。
【0008】なお、31、31a、31b、…は、前記
ベタ電極11を溝16によって分割することにより形成
された電極、20、20a、20b、…は、前記ベタ電
極13を溝17によって分割することにより形成された
電極である。また、32a、32b、…は、圧電体ベー
ス12側において前記インク加圧室24a、24b、…
を区画する壁部、33a、33b、…は、上部圧電体1
4側において前記インク加圧室24a、24b、…を区
画する壁部である。
ベタ電極11を溝16によって分割することにより形成
された電極、20、20a、20b、…は、前記ベタ電
極13を溝17によって分割することにより形成された
電極である。また、32a、32b、…は、圧電体ベー
ス12側において前記インク加圧室24a、24b、…
を区画する壁部、33a、33b、…は、上部圧電体1
4側において前記インク加圧室24a、24b、…を区
画する壁部である。
【0009】次に、前記構成のインクジェットヘッドに
おいて、図示しない駆動回路によって、電極31aに正
の電圧+Vを、電極31bに負の電圧−Vをそれぞれ印
加すると、圧電体ベース12及び上部圧電体14にそれ
ぞれ矢印E方向に電界が形成され、壁部32a、33a
と壁部32b、33bとに図6の破線で示すような互い
に逆の剪断モード変形を発生させ、インク加圧室24a
内の図示しないインクを加圧する。その結果、オリフィ
ス28aからインク滴が噴出させられる。
おいて、図示しない駆動回路によって、電極31aに正
の電圧+Vを、電極31bに負の電圧−Vをそれぞれ印
加すると、圧電体ベース12及び上部圧電体14にそれ
ぞれ矢印E方向に電界が形成され、壁部32a、33a
と壁部32b、33bとに図6の破線で示すような互い
に逆の剪断モード変形を発生させ、インク加圧室24a
内の図示しないインクを加圧する。その結果、オリフィ
ス28aからインク滴が噴出させられる。
【0010】ところで、前記インクとしては、一般に水
溶性のものが使用されるが、水溶性のインクは、油性の
インクに比べて電気抵抗が小さいので、電極31a、3
1b間にリーク電流が流れると、所期の剪断モード変形
を発生させることができなくなるだけでなく、前記駆動
回路に損傷を与えてしまうことがある。そこで、インク
加圧室24a、24b、…の内面に、電気的な絶縁被膜
から成るコート層35が形成される。該コート層35を
形成するためのコーティング法としては、ディップ法、
スピンコート法、化学蒸着法(CVD)等がある。
溶性のものが使用されるが、水溶性のインクは、油性の
インクに比べて電気抵抗が小さいので、電極31a、3
1b間にリーク電流が流れると、所期の剪断モード変形
を発生させることができなくなるだけでなく、前記駆動
回路に損傷を与えてしまうことがある。そこで、インク
加圧室24a、24b、…の内面に、電気的な絶縁被膜
から成るコート層35が形成される。該コート層35を
形成するためのコーティング法としては、ディップ法、
スピンコート法、化学蒸着法(CVD)等がある。
【0011】前記ディップ法においては、圧電体ベース
12と上部圧電体14とを接合し、オリフィスプレート
25を接着してインク加圧室24a、24b、…を形成
した後、インクジェットヘッドを図示しない絶縁溶液中
に浸漬(せき)する。このとき、絶縁溶液が、オリフィ
ス28a、28b、…を介して毛細管現象によってイン
ク加圧室24a、24b、…に吸い上げられ、該インク
加圧室24a、24b、…の内面に付着する。したがっ
て、インク加圧室24a、24b、…の内面に付着した
絶縁溶液を硬化させることによって、コート層35を形
成することができる。
12と上部圧電体14とを接合し、オリフィスプレート
25を接着してインク加圧室24a、24b、…を形成
した後、インクジェットヘッドを図示しない絶縁溶液中
に浸漬(せき)する。このとき、絶縁溶液が、オリフィ
ス28a、28b、…を介して毛細管現象によってイン
ク加圧室24a、24b、…に吸い上げられ、該インク
加圧室24a、24b、…の内面に付着する。したがっ
て、インク加圧室24a、24b、…の内面に付着した
絶縁溶液を硬化させることによって、コート層35を形
成することができる。
【0012】また、スピンコート法においては、ディッ
プ法又は他の方法によってインク加圧室24a、24
b、…に進入させられた絶縁溶液を、回転による遠心力
で飛ばすようになっている。したがって、インク加圧室
24a、24b、…の内面に残った薄い液層を硬化させ
ることによって、コート層35を形成することができ
る。
プ法又は他の方法によってインク加圧室24a、24
b、…に進入させられた絶縁溶液を、回転による遠心力
で飛ばすようになっている。したがって、インク加圧室
24a、24b、…の内面に残った薄い液層を硬化させ
ることによって、コート層35を形成することができ
る。
【0013】さらに、化学蒸着法においては、インクジ
ェットヘッドを入れた炉中で絶縁物質を気化させて蒸着
させるようになっている。
ェットヘッドを入れた炉中で絶縁物質を気化させて蒸着
させるようになっている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のインクジェットヘッドにおいては、前記オリフィス
28a、28b、…の径は30〔μm〕前後であって非
常に小さいので、絶縁溶液がオリフィス28a、28
b、…を通過してインク加圧室24a、24b、…の壁
面に一様に行きわたるのは困難であるだけでなく、絶縁
溶液がオリフィス28a、28b、…を塞(ふさ)いだ
まま硬化してしまうことがある。
来のインクジェットヘッドにおいては、前記オリフィス
28a、28b、…の径は30〔μm〕前後であって非
常に小さいので、絶縁溶液がオリフィス28a、28
b、…を通過してインク加圧室24a、24b、…の壁
面に一様に行きわたるのは困難であるだけでなく、絶縁
溶液がオリフィス28a、28b、…を塞(ふさ)いだ
まま硬化してしまうことがある。
【0015】そこで、以下のような二つのインクジェッ
トヘッドの製造方法が考えられる。まず、第1の製造方
法は、前記圧電体ベース12と上部圧電体14とを接合
した状態でコート層35を形成し、その後、オリフィス
プレート25を接着するという方法である。図7は従来
のインクジェットヘッドの第1の製造方法を示す図、図
8は図7のX−X断面図である。
トヘッドの製造方法が考えられる。まず、第1の製造方
法は、前記圧電体ベース12と上部圧電体14とを接合
した状態でコート層35を形成し、その後、オリフィス
プレート25を接着するという方法である。図7は従来
のインクジェットヘッドの第1の製造方法を示す図、図
8は図7のX−X断面図である。
【0016】図において、12は圧電体ベース、14は
上部圧電体、25はオリフィスプレート、24a、24
b、…はインク加圧室、28a、28b、…はオリフィ
ス、31a、31b、…は電極、35はコート層、37
はインクである。この場合、圧電体ベース12と上部圧
電体14とを接合した後、圧電体ベース12及び上部圧
電体14にコーティングが施され、コート層35が形成
される。そして、圧電体ベース12と上部圧電体14と
を接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベース
12の端面と上部圧電体14の端面とが面一になるよう
に図示しないラッピングペーパによってラップが施され
る。その後、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14
の端面にオリフィスプレート25が接着される。
上部圧電体、25はオリフィスプレート、24a、24
b、…はインク加圧室、28a、28b、…はオリフィ
ス、31a、31b、…は電極、35はコート層、37
はインクである。この場合、圧電体ベース12と上部圧
電体14とを接合した後、圧電体ベース12及び上部圧
電体14にコーティングが施され、コート層35が形成
される。そして、圧電体ベース12と上部圧電体14と
を接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベース
12の端面と上部圧電体14の端面とが面一になるよう
に図示しないラッピングペーパによってラップが施され
る。その後、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14
の端面にオリフィスプレート25が接着される。
【0017】ところが、圧電体ベース12及び上部圧電
体14の端面にラップを施す際に、コート層35が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート25の近傍においてコート層35が剥(は
く)離してしまう。したがって、インク加圧室24a、
24b、…にインク37を注入すると、該インク37と
電極31a、31b、…とが直接接触してしまい、各電
極31a、31b、…間を絶縁することができない。
体14の端面にラップを施す際に、コート層35が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート25の近傍においてコート層35が剥(は
く)離してしまう。したがって、インク加圧室24a、
24b、…にインク37を注入すると、該インク37と
電極31a、31b、…とが直接接触してしまい、各電
極31a、31b、…間を絶縁することができない。
【0018】一方、第2の製造方法は、圧電体ベース1
2及び上部圧電体14の端面にラップを施した後、コー
ティングを施し、その後、オリフィスプレート25を接
着する方法である。図9は従来のインクジェットヘッド
の第2の製造方法を示す図である。図において、12は
圧電体ベース、14は上部圧電体、20、31は電極、
25はオリフィスプレート、19は導電接合部材、40
はコート層、41は接着剤である。
2及び上部圧電体14の端面にラップを施した後、コー
ティングを施し、その後、オリフィスプレート25を接
着する方法である。図9は従来のインクジェットヘッド
の第2の製造方法を示す図である。図において、12は
圧電体ベース、14は上部圧電体、20、31は電極、
25はオリフィスプレート、19は導電接合部材、40
はコート層、41は接着剤である。
【0019】この場合、圧電体ベース12と上部圧電体
14とを接合した後、圧電体ベース12の端面と上部圧
電体14の端面とが面一になるように図示しないラッピ
ングペーパによってラップが施される。次に、圧電体ベ
ース12及び上部圧電体14にコーティングが施され、
コート層40が形成される。なお、該コート層40は、
圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面だけでな
く、前記インク加圧室24a、24b、…(図8)の内
面の全体にも施される。
14とを接合した後、圧電体ベース12の端面と上部圧
電体14の端面とが面一になるように図示しないラッピ
ングペーパによってラップが施される。次に、圧電体ベ
ース12及び上部圧電体14にコーティングが施され、
コート層40が形成される。なお、該コート層40は、
圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面だけでな
く、前記インク加圧室24a、24b、…(図8)の内
面の全体にも施される。
【0020】続いて、前記圧電体ベース12及び上部圧
電体14の端面にオリフィスプレート25が接着され
る。ところで、一般に、絶縁材料は化学的に非常に安定
しているので、電気的な絶縁性及び前記インク37に対
する耐食性は高いが、その反面、接着剤41によって前
記圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面にオリフ
ィスプレート25を接着する際に、コート層40が接着
剤41に対して撥(はつ)水性を有しているので、接着
強度が低下してしまう。
電体14の端面にオリフィスプレート25が接着され
る。ところで、一般に、絶縁材料は化学的に非常に安定
しているので、電気的な絶縁性及び前記インク37に対
する耐食性は高いが、その反面、接着剤41によって前
記圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面にオリフ
ィスプレート25を接着する際に、コート層40が接着
剤41に対して撥(はつ)水性を有しているので、接着
強度が低下してしまう。
【0021】その結果、前記インク加圧室24a、24
b、…の気密性が低くなり、インク滴の吐出不良が発生
してしまう。本発明は、前記従来のインクジェットヘッ
ドの問題点を解決して、各電極間を絶縁することがで
き、インク滴の吐出不良が発生することがないインクジ
ェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的と
する。
b、…の気密性が低くなり、インク滴の吐出不良が発生
してしまう。本発明は、前記従来のインクジェットヘッ
ドの問題点を解決して、各電極間を絶縁することがで
き、インク滴の吐出不良が発生することがないインクジ
ェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的と
する。
【0022】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明のイ
ンクジェットヘッドにおいては、表面に複数の第1の溝
を備え、該各第1の溝間に第1の電極が形成された圧電
体ベースと、表面に前記第1の溝と対応する複数の第2
の溝を備え、該各第2の溝間に第2の電極が形成される
とともに、前記圧電体ベースと接合され、前記第1の溝
及び第2の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート層
と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接着され
たオリフィスプレートとを有する。
ンクジェットヘッドにおいては、表面に複数の第1の溝
を備え、該各第1の溝間に第1の電極が形成された圧電
体ベースと、表面に前記第1の溝と対応する複数の第2
の溝を備え、該各第2の溝間に第2の電極が形成される
とともに、前記圧電体ベースと接合され、前記第1の溝
及び第2の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート層
と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接着され
たオリフィスプレートとを有する。
【0023】そして、前記圧電体ベース及び上部圧電体
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、
第1の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面におけ
る端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、第2の圧電
体ブロックの表面にベタ電極を、表面における端面の近
傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第1の圧電体ブロ
ックに複数の溝を形成して圧電体ベースとし、前記第2
の圧電体ブロックに複数の溝を形成して上部圧電体とす
る。
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、
第1の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面におけ
る端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、第2の圧電
体ブロックの表面にベタ電極を、表面における端面の近
傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第1の圧電体ブロ
ックに複数の溝を形成して圧電体ベースとし、前記第2
の圧電体ブロックに複数の溝を形成して上部圧電体とす
る。
【0024】次に、前記圧電体ベースと上部圧電体とを
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
第1の実施の形態におけるインクジェットヘッドの側面
図、図10は本発明の第1の実施の形態におけるインク
ジェットヘッドの斜視図、図11は本発明の第1の実施
の形態における圧電体ベースの溝加工前の状態図、図1
2は本発明の第1の実施の形態における上部圧電体の溝
加工前の状態図、図13は本発明の第1の実施の形態に
おけるインクジェットヘッドの組立状態図である。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
第1の実施の形態におけるインクジェットヘッドの側面
図、図10は本発明の第1の実施の形態におけるインク
ジェットヘッドの斜視図、図11は本発明の第1の実施
の形態における圧電体ベースの溝加工前の状態図、図1
2は本発明の第1の実施の形態における上部圧電体の溝
加工前の状態図、図13は本発明の第1の実施の形態に
おけるインクジェットヘッドの組立状態図である。
【0026】図において、12Aは矢印P方向に分極さ
れ、表面にベタ電極51が形成された第1の圧電体ブロ
ック、14Aは矢印P方向に分極され、表面にベタ電極
53が形成された第2の圧電体ブロックである。そし
て、前記圧電体ブロック12Aの一方の端面の近傍に
は、前記ベタ電極51が形成されず、非電極部50Aが
形成される。また、前記圧電体ブロック14Aの表面に
おける一方の端面の近傍には、前記ベタ電極53が形成
されず、非電極部50Aが形成される。
れ、表面にベタ電極51が形成された第1の圧電体ブロ
ック、14Aは矢印P方向に分極され、表面にベタ電極
53が形成された第2の圧電体ブロックである。そし
て、前記圧電体ブロック12Aの一方の端面の近傍に
は、前記ベタ電極51が形成されず、非電極部50Aが
形成される。また、前記圧電体ブロック14Aの表面に
おける一方の端面の近傍には、前記ベタ電極53が形成
されず、非電極部50Aが形成される。
【0027】なお、ベタ電極51、53は、通常、スパ
ッタリング法、蒸着法等によって形成されるが、このと
き、圧電体ブロック12A、14Aの表面における端面
の近傍にマスキングをすることによって、前記非電極部
50Aを形成することができる。そして、前記圧電体ブ
ロック12Aは、表面に図示しないダイシングソー等の
切削手段を使用して等間隔でかつ等幅な第1の溝16を
形成することによって圧電体ベース12になる。一方、
前記圧電体ブロック14Aは、表面に前記切削手段を使
用して等間隔でかつ等幅な第2の溝17を形成すること
によって上部圧電体14になる。
ッタリング法、蒸着法等によって形成されるが、このと
き、圧電体ブロック12A、14Aの表面における端面
の近傍にマスキングをすることによって、前記非電極部
50Aを形成することができる。そして、前記圧電体ブ
ロック12Aは、表面に図示しないダイシングソー等の
切削手段を使用して等間隔でかつ等幅な第1の溝16を
形成することによって圧電体ベース12になる。一方、
前記圧電体ブロック14Aは、表面に前記切削手段を使
用して等間隔でかつ等幅な第2の溝17を形成すること
によって上部圧電体14になる。
【0028】次に、圧電体ベース12と上部圧電体14
とが導電接合部材19を介して接合され、前記溝16、
17によってインク加圧室24a、24b、…が形成さ
れる。なお、圧電体ベース12と上部圧電体14とは、
各非電極部50Aを互いに対向させて接合される。ま
た、圧電体ベース12及び上部圧電体14の一方の端面
にはオリフィスプレート25が接着され、他方の端面に
は封止材26が配設される。したがって、オリフィスプ
レート25に形成されたオリフィス28a、28b、
…、及び上部圧電体14の端部に形成された共通インク
室29以外の部分において、インク加圧室24a、24
b、…は密封される。
とが導電接合部材19を介して接合され、前記溝16、
17によってインク加圧室24a、24b、…が形成さ
れる。なお、圧電体ベース12と上部圧電体14とは、
各非電極部50Aを互いに対向させて接合される。ま
た、圧電体ベース12及び上部圧電体14の一方の端面
にはオリフィスプレート25が接着され、他方の端面に
は封止材26が配設される。したがって、オリフィスプ
レート25に形成されたオリフィス28a、28b、
…、及び上部圧電体14の端部に形成された共通インク
室29以外の部分において、インク加圧室24a、24
b、…は密封される。
【0029】なお、35はコート層、36、36a、3
6b、…は、前記ベタ電極51を溝16によって分割す
ることにより形成された第1の電極、30は前記ベタ電
極53を溝17によって分割することにより形成された
第2の電極である。また、32a、32b、…は圧電体
ベース12側において前記インク加圧室24a、24
b、…を区画する壁部、33a、33b、…は上部圧電
体14側において前記インク加圧室24a、24b、…
を区画する壁部である。
6b、…は、前記ベタ電極51を溝16によって分割す
ることにより形成された第1の電極、30は前記ベタ電
極53を溝17によって分割することにより形成された
第2の電極である。また、32a、32b、…は圧電体
ベース12側において前記インク加圧室24a、24
b、…を区画する壁部、33a、33b、…は上部圧電
体14側において前記インク加圧室24a、24b、…
を区画する壁部である。
【0030】ところで、前述したように、前記ベタ電極
51、53の各表面における端面の近傍には、非電極部
50Aが形成されるので、圧電体ベース12と上部圧電
体14とを接合したとき、電極30、36は、圧電体ベ
ース12及び上部圧電体14の端面には至らず、端面の
近傍に非電極部50、50a、50b、…が形成され
る。
51、53の各表面における端面の近傍には、非電極部
50Aが形成されるので、圧電体ベース12と上部圧電
体14とを接合したとき、電極30、36は、圧電体ベ
ース12及び上部圧電体14の端面には至らず、端面の
近傍に非電極部50、50a、50b、…が形成され
る。
【0031】次に、前記構成のインクジェットヘッドの
製造方法について説明する。図14は本発明の第1の実
施の形態におけるインクジェットヘッドの製造方法を示
す図である。図において、25はオリフィスプレート、
24a、24b、…はインク加圧室、28a、28b、
…はオリフィス、36a、36b、…は電極、35はコ
ート層、37はインク、50a、50b、…は非電極部
である。
製造方法について説明する。図14は本発明の第1の実
施の形態におけるインクジェットヘッドの製造方法を示
す図である。図において、25はオリフィスプレート、
24a、24b、…はインク加圧室、28a、28b、
…はオリフィス、36a、36b、…は電極、35はコ
ート層、37はインク、50a、50b、…は非電極部
である。
【0032】この場合、圧電体ベース12(図1)と上
部圧電体14とを接合した後、圧電体ベース12及び上
部圧電体14にコーティングが施され、コート層35が
形成される。そして、圧電体ベース12と上部圧電体1
4とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベ
ース12の端面と上部圧電体14の端面とが面一になる
ように図示しないラッピングペーパによってラップが施
される。その後、前記圧電体ベース12及び上部圧電体
14の表面における端面にオリフィスプレート25が接
着される。
部圧電体14とを接合した後、圧電体ベース12及び上
部圧電体14にコーティングが施され、コート層35が
形成される。そして、圧電体ベース12と上部圧電体1
4とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベ
ース12の端面と上部圧電体14の端面とが面一になる
ように図示しないラッピングペーパによってラップが施
される。その後、前記圧電体ベース12及び上部圧電体
14の表面における端面にオリフィスプレート25が接
着される。
【0033】ところで、圧電体ベース12及び上部圧電
体14の端面にラップを施す際に、コート層35が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート25の近傍においてコート層35が剥離し
てしまう。ところが、前記圧電体ベース12の表面にお
ける端面の近傍には非電極部50a、50b、…が形成
されるので、コート層35の剥離部分は電極36a、3
6b、…には到達しない。したがって、インク加圧室2
4a、24b、…にインク37を注入したときに、該イ
ンク37と電極36a、36b、…とが直接接触するの
を防止することができるので、各電極36a、36b、
…間を絶縁することができる。
体14の端面にラップを施す際に、コート層35が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート25の近傍においてコート層35が剥離し
てしまう。ところが、前記圧電体ベース12の表面にお
ける端面の近傍には非電極部50a、50b、…が形成
されるので、コート層35の剥離部分は電極36a、3
6b、…には到達しない。したがって、インク加圧室2
4a、24b、…にインク37を注入したときに、該イ
ンク37と電極36a、36b、…とが直接接触するの
を防止することができるので、各電極36a、36b、
…間を絶縁することができる。
【0034】なお、上部圧電体14の端面の近傍にも図
示しない非電極部が形成されるので、コート層35の剥
離部分は電極30には到達しない。したがって、インク
37と電極30とが直接接触するのを防止することがで
きるので、各電極30間を絶縁することができる。ま
た、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面に
ラップが施された後、コート層を介することなくオリフ
ィスプレート25が接着されるので、接着強度が低下す
るのを防止することができる。
示しない非電極部が形成されるので、コート層35の剥
離部分は電極30には到達しない。したがって、インク
37と電極30とが直接接触するのを防止することがで
きるので、各電極30間を絶縁することができる。ま
た、前記圧電体ベース12及び上部圧電体14の端面に
ラップが施された後、コート層を介することなくオリフ
ィスプレート25が接着されるので、接着強度が低下す
るのを防止することができる。
【0035】したがって、前記インク加圧室24a、2
4b、…の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。次に、本
発明の第2の実施の形態について説明する。図15は本
発明の第2の実施の形態における非電極部の形成方法を
示す図である。
4b、…の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。次に、本
発明の第2の実施の形態について説明する。図15は本
発明の第2の実施の形態における非電極部の形成方法を
示す図である。
【0036】図において、12Aは圧電体ブロック、5
0Aは非電極部、51はベタ電極である。この場合、圧
電体ブロック12Aの表面にベタ電極51を形成した
後、圧電体ブロック12Aの表面における端面の近傍に
エキシマレーザ加工を矢印方向に施し、ベタ電極51を
除去することによって非電極部50Aが形成される。
0Aは非電極部、51はベタ電極である。この場合、圧
電体ブロック12Aの表面にベタ電極51を形成した
後、圧電体ブロック12Aの表面における端面の近傍に
エキシマレーザ加工を矢印方向に施し、ベタ電極51を
除去することによって非電極部50Aが形成される。
【0037】次に、本発明の第3の実施の形態について
説明する。図16は本発明の第3の実施の形態における
非電極部の形成方法を示す図、図17は本発明の第3の
実施の形態における非電極部の拡大図である。図におい
て、12Cは圧電体ブロック、50Aは非電極部、71
はベタ電極である。
説明する。図16は本発明の第3の実施の形態における
非電極部の形成方法を示す図、図17は本発明の第3の
実施の形態における非電極部の拡大図である。図におい
て、12Cは圧電体ブロック、50Aは非電極部、71
はベタ電極である。
【0038】この場合、寸法の大きな圧電体ブロック1
2Cの表面にベタ電極71を形成した後、前記圧電体ブ
ロック12Cを所定の大きさにカットするようになって
いる。そして、カット時に図示しないカッティング装置
によって圧電体ブロック12Cの所定箇所にカッティン
グ加工が施され、ベタ電極71を除去することによって
非電極部50Aが形成される。
2Cの表面にベタ電極71を形成した後、前記圧電体ブ
ロック12Cを所定の大きさにカットするようになって
いる。そして、カット時に図示しないカッティング装置
によって圧電体ブロック12Cの所定箇所にカッティン
グ加工が施され、ベタ電極71を除去することによって
非電極部50Aが形成される。
【0039】なお、ダイシングソー等の前記カッティン
グ装置は、サブミクロンレベルの加工精度を有する。と
ころで、本実施の形態においては、前記非電極部50A
を形成するためにダイシングソーのカッティングブレー
ドを走査するようにしているが、通常、非電極部50A
の幅はカッティングブレードの厚さの数倍であるので、
該カッティングブレードを複数回走査する必要があり、
処理時間が長くなってしまう。
グ装置は、サブミクロンレベルの加工精度を有する。と
ころで、本実施の形態においては、前記非電極部50A
を形成するためにダイシングソーのカッティングブレー
ドを走査するようにしているが、通常、非電極部50A
の幅はカッティングブレードの厚さの数倍であるので、
該カッティングブレードを複数回走査する必要があり、
処理時間が長くなってしまう。
【0040】そこで、処理時間を短くすることができる
ようにした本発明の第4の実施の形態について説明す
る。図18は本発明の第4の実施の形態における非電極
部の形成方法を示す図、図19は本発明の第4の実施の
形態における非電極部の要部拡大図である。図におい
て、12Cは圧電体ブロック、25はオリフィスプレー
ト、24a、24b、…はインク加圧室、28a、28
b、…はオリフィス、35はコート層、37はインク、
38a、38b、…は第1の電極、39a、39b、…
は電極残留部、50B、72a、72b、…は非電極
部、71はベタ電極である。
ようにした本発明の第4の実施の形態について説明す
る。図18は本発明の第4の実施の形態における非電極
部の形成方法を示す図、図19は本発明の第4の実施の
形態における非電極部の要部拡大図である。図におい
て、12Cは圧電体ブロック、25はオリフィスプレー
ト、24a、24b、…はインク加圧室、28a、28
b、…はオリフィス、35はコート層、37はインク、
38a、38b、…は第1の電極、39a、39b、…
は電極残留部、50B、72a、72b、…は非電極
部、71はベタ電極である。
【0041】この場合、圧電体ベース12(図1)及び
上部圧電体14にラップを施す際、コート層35の剥離
部分よりも内側の部分、すなわち、カット後の圧電体ブ
ロック12Cの端面から設定距離だけ離れた部分の電極
38a、38b、…を除去することによって非電極部7
2a、72b、…が形成される。そして、前記非電極部
72a、72b、…の幅は、図示しないカッティングブ
レードの厚さと等しく設定されるので、該カッティング
ブレードを1回走査するだけで前記非電極部72a、7
2b、…を形成することができる。したがって、処理時
間を短くすることができる。
上部圧電体14にラップを施す際、コート層35の剥離
部分よりも内側の部分、すなわち、カット後の圧電体ブ
ロック12Cの端面から設定距離だけ離れた部分の電極
38a、38b、…を除去することによって非電極部7
2a、72b、…が形成される。そして、前記非電極部
72a、72b、…の幅は、図示しないカッティングブ
レードの厚さと等しく設定されるので、該カッティング
ブレードを1回走査するだけで前記非電極部72a、7
2b、…を形成することができる。したがって、処理時
間を短くすることができる。
【0042】また、前記電極残留部39a、39b、…
はインク37と接触するが、電圧が印加される電極38
a、38b、…と、前記電極残留部39a、39b、…
とは非電極部72a、72b、…によって電気的に遮断
されるので、各電極38a、38b、…間を絶縁するこ
とができる。なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させ
ることが可能であり、これらを本発明の範囲から排除す
るものではない。
はインク37と接触するが、電圧が印加される電極38
a、38b、…と、前記電極残留部39a、39b、…
とは非電極部72a、72b、…によって電気的に遮断
されるので、各電極38a、38b、…間を絶縁するこ
とができる。なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させ
ることが可能であり、これらを本発明の範囲から排除す
るものではない。
【0043】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、インクジェットヘッドにおいては、表面に複数の
第1の溝を備え、該各第1の溝間に第1の電極が形成さ
れた圧電体ベースと、表面に前記第1の溝と対応する複
数の第2の溝を備え、該各第2の溝間に第2の電極が形
成されるとともに、前記圧電体ベースと接合され、前記
第1の溝及び第2の溝によってインク加圧室を形成する
上部圧電体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコ
ート層と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接
着されたオリフィスプレートとを有する。
れば、インクジェットヘッドにおいては、表面に複数の
第1の溝を備え、該各第1の溝間に第1の電極が形成さ
れた圧電体ベースと、表面に前記第1の溝と対応する複
数の第2の溝を備え、該各第2の溝間に第2の電極が形
成されるとともに、前記圧電体ベースと接合され、前記
第1の溝及び第2の溝によってインク加圧室を形成する
上部圧電体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコ
ート層と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接
着されたオリフィスプレートとを有する。
【0044】そして、前記圧電体ベース及び上部圧電体
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
この場合、圧電体ベースと上部圧電体とを接合した後、
圧電体ベース及び上部圧電体にコーティングが施され、
コート層が形成される。そして、圧電体ベースと上部圧
電体とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体
ベースの端面と上部圧電体の端面とが面一になるように
ラップが施される。
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
この場合、圧電体ベースと上部圧電体とを接合した後、
圧電体ベース及び上部圧電体にコーティングが施され、
コート層が形成される。そして、圧電体ベースと上部圧
電体とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体
ベースの端面と上部圧電体の端面とが面一になるように
ラップが施される。
【0045】このとき、オリフィスプレートの近傍にお
いてコート層が剥離してしまう。ところが、前記圧電体
ベースの表面における端面の近傍には非電極部が形成さ
れるので、コート層の剥離部分は電極には到達しない。
したがって、インク加圧室にインクを注入したときに、
該インクと第1、第2の電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各第1の電極間及び第2の電極
間を絶縁することができる。
いてコート層が剥離してしまう。ところが、前記圧電体
ベースの表面における端面の近傍には非電極部が形成さ
れるので、コート層の剥離部分は電極には到達しない。
したがって、インク加圧室にインクを注入したときに、
該インクと第1、第2の電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各第1の電極間及び第2の電極
間を絶縁することができる。
【0046】また、前記圧電体ベース及び上部圧電体の
端面にラップが施された後、コート層を介することなく
オリフィスプレートが接着されるので、接着強度が低下
するのを防止することができる。したがって、前記イン
ク加圧室の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。
端面にラップが施された後、コート層を介することなく
オリフィスプレートが接着されるので、接着強度が低下
するのを防止することができる。したがって、前記イン
ク加圧室の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。
【0047】本発明のインクジェットヘッドの製造方法
においては、第1の圧電体ブロックの表面にベタ電極
を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成
し、第2の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面に
おける端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第
1の圧電体ブロックに複数の溝を形成して圧電体ベース
とし、前記第2の圧電体ブロックに複数の溝を形成して
上部圧電体とする。
においては、第1の圧電体ブロックの表面にベタ電極
を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成
し、第2の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面に
おける端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第
1の圧電体ブロックに複数の溝を形成して圧電体ベース
とし、前記第2の圧電体ブロックに複数の溝を形成して
上部圧電体とする。
【0048】次に、前記圧電体ベースと上部圧電体とを
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。この場合、前記圧電体ベースの端面
の近傍には非電極部が形成されるので、ラップに伴って
コート層が剥離しても、剥離部分は電極には到達しな
い。
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。この場合、前記圧電体ベースの端面
の近傍には非電極部が形成されるので、ラップに伴って
コート層が剥離しても、剥離部分は電極には到達しな
い。
【0049】したがって、インク加圧室にインクを注入
したときに、該インクと電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各電極間を絶縁することができ
る。また、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面にラ
ップが施された後、コート層を介することなくオリフィ
スプレートが接着されるので、接着強度が低下するのを
防止することができる。
したときに、該インクと電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各電極間を絶縁することができ
る。また、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面にラ
ップが施された後、コート層を介することなくオリフィ
スプレートが接着されるので、接着強度が低下するのを
防止することができる。
【0050】したがって、前記インク加圧室の気密性を
高くすることができ、インク滴の吐出不良が発生するの
を防止することができる。
高くすることができ、インク滴の吐出不良が発生するの
を防止することができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態におけるインクジェ
ットヘッドの側面図である。
ットヘッドの側面図である。
【図2】従来の圧電体ベースの溝加工前の状態図であ
る。
る。
【図3】従来の上部圧電体の溝加工前の状態図である。
【図4】従来のインクジェットヘッドの組立状態図であ
る。
る。
【図5】従来のインクジェットヘッドの側面図である。
【図6】従来のインクジェットヘッドの断面図である。
【図7】従来のインクジェットヘッドの第1の製造方法
を示す図である。
を示す図である。
【図8】図7のX−X断面図である。
【図9】従来のインクジェットヘッドの第2の製造方法
を示す図である。
を示す図である。
【図10】本発明の第1の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの斜視図である。
ェットヘッドの斜視図である。
【図11】本発明の第1の実施の形態における圧電体ベ
ースの溝加工前の状態図である。
ースの溝加工前の状態図である。
【図12】本発明の第1の実施の形態における上部圧電
体の溝加工前の状態図である。
体の溝加工前の状態図である。
【図13】本発明の第1の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの組立状態図である。
ェットヘッドの組立状態図である。
【図14】本発明の第1の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの製造方法を示す図である。
ェットヘッドの製造方法を示す図である。
【図15】本発明の第2の実施の形態における非電極部
の形成方法を示す図である。
の形成方法を示す図である。
【図16】本発明の第3の実施の形態における非電極部
の形成方法を示す図である。
の形成方法を示す図である。
【図17】本発明の第3の実施の形態における非電極部
の拡大図である。
の拡大図である。
【図18】本発明の第4の実施の形態における非電極部
の形成方法を示す図である。
の形成方法を示す図である。
【図19】本発明の第4の実施の形態における非電極部
の要部拡大図である。
の要部拡大図である。
12 圧電体ベース 12A、12C、14A 圧電体ブロック 14 上部圧電体 16、17 溝 24a、24b、… インク加圧室 25 オリフィスプレート 30、36、36a、36b、38a、38b、…
電極 35 コート層 50、50A、50B、50a、50b、72a、72
b、… 非電極部 51、53、71 ベタ電極
電極 35 コート層 50、50A、50B、50a、50b、72a、72
b、… 非電極部 51、53、71 ベタ電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 潔是 東京都港区芝浦四丁目11番地22号 株式会 社沖データ内 (72)発明者 下杉 優彦 東京都港区芝浦四丁目11番地22号 株式会 社沖データ内
Claims (5)
- 【請求項1】 (a)表面に複数の第1の溝を備え、該
各第1の溝間に第1の電極が形成された圧電体ベース
と、(b)表面に前記第1の溝と対応する複数の第2の
溝を備え、該各第2の溝間に第2の電極が形成されると
ともに、前記圧電体ベースと接合され、前記第1の溝及
び第2の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電体
と、(c)前記インク加圧室の内面に形成されたコート
層と、(d)前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に
接着されたオリフィスプレートとを有するとともに、
(e)前記圧電体ベース及び上部圧電体の各表面におけ
る端面の近傍に非電極部が形成されることを特徴とする
インクジェットヘッド。 - 【請求項2】 (a)第1の圧電体ブロックの表面にベ
タ電極を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞ
れ形成し、(b)第2の圧電体ブロックの表面にベタ電
極を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞれ形
成し、(c)前記第1の圧電体ブロックに複数の溝を形
成して圧電体ベースとし、(d)前記第2の圧電体ブロ
ックに複数の溝を形成して上部圧電体とし、(e)前記
圧電体ベースと上部圧電体とを接合してインク加圧室を
形成し、(f)前記圧電体ベース及び上部圧電体にコー
ティングを施し、(g)前記圧電体ベース及び上部圧電
体の端面にラップを施した後、オリフィスプレートを接
着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項3】 前記非電極部は、ベタ電極が形成された
圧電体ブロックの表面における端面の近傍にエキシマレ
ーザ加工を施すことによって形成される請求項2に記載
のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項4】 前記非電極部は、ベタ電極が形成された
圧電体ブロックの表面における端面の近傍にカッティン
グ加工を施すことによって形成される請求項2に記載の
インクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項5】 前記カッティング加工は、圧電体ブロッ
クの端面から設定距離だけ離れた部分に施される請求項
4に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8090812A JPH09277522A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
US08/835,335 US6113227A (en) | 1996-04-12 | 1997-04-07 | Ink jet head having electrode and non-electrode areas |
EP97105812A EP0800919A3 (en) | 1996-04-12 | 1997-04-08 | Ink jet head and method of manufacturing the ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8090812A JPH09277522A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09277522A true JPH09277522A (ja) | 1997-10-28 |
Family
ID=14009019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8090812A Withdrawn JPH09277522A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6113227A (ja) |
EP (1) | EP0800919A3 (ja) |
JP (1) | JPH09277522A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008201022A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Sii Printek Inc | ヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7383014B2 (en) * | 2005-06-10 | 2008-06-03 | Lexmark International, Inc. | Auger for use within an image forming device |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5320887A (en) * | 1976-08-11 | 1978-02-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator |
JPS6159914A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-27 | Fujitsu Ltd | デイジタル圧縮装置 |
JP3139511B2 (ja) * | 1990-11-09 | 2001-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
JPH04284253A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタおよびヘッド |
CA2075786A1 (en) * | 1991-08-16 | 1993-02-17 | John R. Pies | Method of manufacturing a high density ink jet printhead array |
US5406319A (en) * | 1991-08-16 | 1995-04-11 | Compaq Computer Corporation | Enhanced U type ink jet printheads |
US5235352A (en) * | 1991-08-16 | 1993-08-10 | Compaq Computer Corporation | High density ink jet printhead |
US5227813A (en) * | 1991-08-16 | 1993-07-13 | Compaq Computer Corporation | Sidewall actuator for a high density ink jet printhead |
JPH06218918A (ja) * | 1993-01-25 | 1994-08-09 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置 |
GB9318985D0 (en) * | 1993-09-14 | 1993-10-27 | Xaar Ltd | Passivation of ceramic piezoelectric ink jet print heads |
JP3120638B2 (ja) * | 1993-10-01 | 2000-12-25 | ブラザー工業株式会社 | インク噴射装置 |
JP3135800B2 (ja) * | 1994-10-20 | 2001-02-19 | 株式会社沖データ | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-04-12 JP JP8090812A patent/JPH09277522A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-04-07 US US08/835,335 patent/US6113227A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-08 EP EP97105812A patent/EP0800919A3/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008201022A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Sii Printek Inc | ヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6113227A (en) | 2000-09-05 |
EP0800919A2 (en) | 1997-10-15 |
EP0800919A3 (en) | 1998-12-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |