JPH0927540A - 基板の保持装置 - Google Patents
基板の保持装置Info
- Publication number
- JPH0927540A JPH0927540A JP17307395A JP17307395A JPH0927540A JP H0927540 A JPH0927540 A JP H0927540A JP 17307395 A JP17307395 A JP 17307395A JP 17307395 A JP17307395 A JP 17307395A JP H0927540 A JPH0927540 A JP H0927540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holder
- gas
- mounting
- holding device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板保持装置周辺の空間が狭く、除電装置を
設置することができない場合でも、効率的に基板の除電
を行うことのできる基板保持装置を提供する。 【構成】 基板1を載置して保持するホルダ2の載置面
と電磁弁7とを連通する配管3に、配管に供給される気
体をイオン化するイオン化装置6を設ける。基板のホル
ダに対する吸着を解除する際、電磁弁をフロー系に切り
換えるとともにホルダの載置面に供給する気体をイオン
化し、イオン化した気体で基板の吸着を解除する。これ
により、基板がホルダから除去される際の帯電が防止さ
れる。
設置することができない場合でも、効率的に基板の除電
を行うことのできる基板保持装置を提供する。 【構成】 基板1を載置して保持するホルダ2の載置面
と電磁弁7とを連通する配管3に、配管に供給される気
体をイオン化するイオン化装置6を設ける。基板のホル
ダに対する吸着を解除する際、電磁弁をフロー系に切り
換えるとともにホルダの載置面に供給する気体をイオン
化し、イオン化した気体で基板の吸着を解除する。これ
により、基板がホルダから除去される際の帯電が防止さ
れる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は基板の保持装置に関
し、例えば半導体素子や液晶表示基板等の製造用の露光
装置の基板ステージや基板搬送装置に適用できるもので
ある。
し、例えば半導体素子や液晶表示基板等の製造用の露光
装置の基板ステージや基板搬送装置に適用できるもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の保持装置は、以下のよう
な構成であった。即ち、基板を載置するホルダと、この
ホルダに対して上下動して基板を設置するとともにホル
ダ上から基板を除去する上下動ピンと、ホルダ上に開口
した配管を介して気体を真空吸引、及び大気開放する電
磁弁とを備えていた。また、この保持装置上に基板を搬
入し、保持装置から基板を搬出する搬送装置として、基
板を載置して移動する搬送アームと、搬送アーム上に開
口した配管を介して気体を真空吸引、及び大気開放する
電磁弁とを備えたものもある。
な構成であった。即ち、基板を載置するホルダと、この
ホルダに対して上下動して基板を設置するとともにホル
ダ上から基板を除去する上下動ピンと、ホルダ上に開口
した配管を介して気体を真空吸引、及び大気開放する電
磁弁とを備えていた。また、この保持装置上に基板を搬
入し、保持装置から基板を搬出する搬送装置として、基
板を載置して移動する搬送アームと、搬送アーム上に開
口した配管を介して気体を真空吸引、及び大気開放する
電磁弁とを備えたものもある。
【0003】そして、搬送装置の搬送アーム上に基板を
載置して吸着し、基板を露光する位置である保持装置上
方に搬送する。基板が保持装置上方まで搬送されると、
搬送アームの吸着を解除するとともに、保持装置側の上
下動ピンによってホルダ上に基板を受け渡す。ホルダ上
に載置された基板はホルダ上に吸着され、露光処理が施
される。
載置して吸着し、基板を露光する位置である保持装置上
方に搬送する。基板が保持装置上方まで搬送されると、
搬送アームの吸着を解除するとともに、保持装置側の上
下動ピンによってホルダ上に基板を受け渡す。ホルダ上
に載置された基板はホルダ上に吸着され、露光処理が施
される。
【0004】一方、露光処理の終了した基板は、ホルダ
に対する吸着が解除されて上下動ピンによってホルダ上
から除去され、搬送アームに受け渡される。基板を受け
取った搬送アームは、基板を吸着して保持装置上方から
基板を搬出する。
に対する吸着が解除されて上下動ピンによってホルダ上
から除去され、搬送アームに受け渡される。基板を受け
取った搬送アームは、基板を吸着して保持装置上方から
基板を搬出する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
においては、基板の吸着を解除して搬送アームまたはホ
ルダから基板を除去する際に、基板が帯電していた。こ
のため従来では、イオン化した気体を吹き出す装置(イ
オナイザ)を設け、このイオン化した気体を帯電した基
板に吹きつけることにより基板を除電していた。
においては、基板の吸着を解除して搬送アームまたはホ
ルダから基板を除去する際に、基板が帯電していた。こ
のため従来では、イオン化した気体を吹き出す装置(イ
オナイザ)を設け、このイオン化した気体を帯電した基
板に吹きつけることにより基板を除電していた。
【0006】しかしながら、ホルダの周辺は空間が狭
く、イオナイザを設置するだけの余裕がない。また、搬
送アームによる搬送経路中に設けたとしても、除電する
ための時間が必要となり、装置のスループットが低下す
る。本発明は上記問題点に鑑み、除電のための装置を設
ける空間がない場合でも、効率的に基板の帯電を防ぐ、
あるいは除電することが可能な基板保持装置を提供する
ことを目的とする。
く、イオナイザを設置するだけの余裕がない。また、搬
送アームによる搬送経路中に設けたとしても、除電する
ための時間が必要となり、装置のスループットが低下す
る。本発明は上記問題点に鑑み、除電のための装置を設
ける空間がない場合でも、効率的に基板の帯電を防ぐ、
あるいは除電することが可能な基板保持装置を提供する
ことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明では、基板(1)を載置する載置手段(2)
と、載置手段の表面に開口した孔と連通した通気手段
(3)と、通気手段を介して基板と載置手段との間の気
体を吸引することにより、基板を載置手段上に吸着する
吸引手段(7)と、通気手段を介して基板と載置手段と
の間に気体を供給する気体供給手段(7)と、通気手段
に設けられ、気体供給手段から供給される気体をイオン
化するイオン化手段(6)とを備えることとした。
め本発明では、基板(1)を載置する載置手段(2)
と、載置手段の表面に開口した孔と連通した通気手段
(3)と、通気手段を介して基板と載置手段との間の気
体を吸引することにより、基板を載置手段上に吸着する
吸引手段(7)と、通気手段を介して基板と載置手段と
の間に気体を供給する気体供給手段(7)と、通気手段
に設けられ、気体供給手段から供給される気体をイオン
化するイオン化手段(6)とを備えることとした。
【0008】また、通気手段(3)は絶縁体で構成され
ていることとする。さらに、上記基板の保持装置は、基
板を載置手段(2)から分離する基板分離手段(4)
と、基板分離手段によって基板を載置手段から分離する
際に、気体供給手段(7)とイオン化手段(6)とによ
って、イオン化された気体を供給する制御手段(9)と
をさらに備えることとした。
ていることとする。さらに、上記基板の保持装置は、基
板を載置手段(2)から分離する基板分離手段(4)
と、基板分離手段によって基板を載置手段から分離する
際に、気体供給手段(7)とイオン化手段(6)とによ
って、イオン化された気体を供給する制御手段(9)と
をさらに備えることとした。
【0009】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施例による基
板保持装置の概略的な構成を示す図である。ガラス基板
等の感光基板1を載置するためのホルダ2には空圧系の
配管3(ホルダ2内はホルダに設けられた穴を配管とす
る)が設けられ、この配管3を介して電磁弁7とホルダ
2の載置面とが連通している。また、配管3はポリウレ
タン、ナイロン等の絶縁体で構成され、配管3と接続し
たホルダ2内の穴の部分も絶縁体となっている。さら
に、配管3にはイオナイザ6が設けられ、配管3を通過
する気体をイオン化する。このイオナイザ6は主制御装
置9からの制御信号によって動作するものである。
板保持装置の概略的な構成を示す図である。ガラス基板
等の感光基板1を載置するためのホルダ2には空圧系の
配管3(ホルダ2内はホルダに設けられた穴を配管とす
る)が設けられ、この配管3を介して電磁弁7とホルダ
2の載置面とが連通している。また、配管3はポリウレ
タン、ナイロン等の絶縁体で構成され、配管3と接続し
たホルダ2内の穴の部分も絶縁体となっている。さら
に、配管3にはイオナイザ6が設けられ、配管3を通過
する気体をイオン化する。このイオナイザ6は主制御装
置9からの制御信号によって動作するものである。
【0010】電磁弁7は、バキューム系とフロー系とを
切り換えて用いる構成であり、主制御装置9からの制御
信号に基づいてバキューム系とフロー系とを切り換え
る。ホルダ2には載置面2aに開口を有する穿孔が設け
られ、この穿孔内を移動可能に、また載置面2aに対し
て上下動可能な支持部4aを有する3点支持用の支持ピ
ン4が挿入されている。この支持ピン4は、駆動装置5
によってホルダ2の載置面2aに対して上下動する。駆
動装置5は、主制御装置9からの制御信号に基づいて支
持ピン4を駆動する。
切り換えて用いる構成であり、主制御装置9からの制御
信号に基づいてバキューム系とフロー系とを切り換え
る。ホルダ2には載置面2aに開口を有する穿孔が設け
られ、この穿孔内を移動可能に、また載置面2aに対し
て上下動可能な支持部4aを有する3点支持用の支持ピ
ン4が挿入されている。この支持ピン4は、駆動装置5
によってホルダ2の載置面2aに対して上下動する。駆
動装置5は、主制御装置9からの制御信号に基づいて支
持ピン4を駆動する。
【0011】一方、基板保持装置の外部には、感光基板
をホルダ2上に搬送するため、またホルダ2から感光基
板を搬出するための、搬送アーム8を含む搬送装置が設
けられ、ホルダ2の載置面2aから上昇した支持ピン4
(支持部4a)との間で感光基板1の受け渡しを行う。
上記の構成の装置において感光基板1をホルダ2上に載
置する際には、先ず不図示の搬送アーム8によって感光
基板1をホルダ2の上方に搬送する。そして、駆動装置
5によって支持ピン4を上昇する。これによって、支持
ピン4の支持部4aが載置面2aから突出して感光基板
1の裏面に当接し、搬送アーム8から感光基板1を受け
取る。
をホルダ2上に搬送するため、またホルダ2から感光基
板を搬出するための、搬送アーム8を含む搬送装置が設
けられ、ホルダ2の載置面2aから上昇した支持ピン4
(支持部4a)との間で感光基板1の受け渡しを行う。
上記の構成の装置において感光基板1をホルダ2上に載
置する際には、先ず不図示の搬送アーム8によって感光
基板1をホルダ2の上方に搬送する。そして、駆動装置
5によって支持ピン4を上昇する。これによって、支持
ピン4の支持部4aが載置面2aから突出して感光基板
1の裏面に当接し、搬送アーム8から感光基板1を受け
取る。
【0012】その後、駆動装置5によって感光基板1を
載置した支持ピン4が降下してホルダ2の載置面2a上
に感光基板1を載置する。感光基板1が載置面2a上に
載置される(支持部4aが載置面2aの面と同じ位置又
は載置面の下方に位置する)のと同時に主制御装置9に
よって電磁弁7をバキューム系に切り換える。一方、露
光等の処理が終了して感光基板1を交換する際には、主
制御装置9からの信号に基づいて、電磁弁7がフロー系
に切り換えられるとともにイオナイザ6が動作し、イオ
ン化した気体を配管3内に送風する。これにより、ホル
ダ2内の配管3を介して感光基板1と載置面2aの間に
イオン化された圧空が入り込み、感光基板1と載置面2
aとの間を真空状態から大気開放にする。そして、主制
御装置9からの信号に基づいて駆動装置5によって支持
ピン4が上昇する。
載置した支持ピン4が降下してホルダ2の載置面2a上
に感光基板1を載置する。感光基板1が載置面2a上に
載置される(支持部4aが載置面2aの面と同じ位置又
は載置面の下方に位置する)のと同時に主制御装置9に
よって電磁弁7をバキューム系に切り換える。一方、露
光等の処理が終了して感光基板1を交換する際には、主
制御装置9からの信号に基づいて、電磁弁7がフロー系
に切り換えられるとともにイオナイザ6が動作し、イオ
ン化した気体を配管3内に送風する。これにより、ホル
ダ2内の配管3を介して感光基板1と載置面2aの間に
イオン化された圧空が入り込み、感光基板1と載置面2
aとの間を真空状態から大気開放にする。そして、主制
御装置9からの信号に基づいて駆動装置5によって支持
ピン4が上昇する。
【0013】以上のように、感光基板1をホルダ2から
分離する(即ち、感光基板が帯電する)際にイオン化し
た気体を送風して基板の吸着を解除するため、感光基板
が帯電することなく載置面2aから持ち上がる。また、
イオン化した気体を送風する配管3を絶縁体としたた
め、効率的に基板の除電を行うことができる。
分離する(即ち、感光基板が帯電する)際にイオン化し
た気体を送風して基板の吸着を解除するため、感光基板
が帯電することなく載置面2aから持ち上がる。また、
イオン化した気体を送風する配管3を絶縁体としたた
め、効率的に基板の除電を行うことができる。
【0014】上記実施例では、本発明を感光基板を載置
して移動するステージ装置の基板ホルダに適用した例を
示したが、これに限らず、例えば、感光基板を吸着して
搬送する搬送アームにも適用できることは言うまでもな
い。
して移動するステージ装置の基板ホルダに適用した例を
示したが、これに限らず、例えば、感光基板を吸着して
搬送する搬送アームにも適用できることは言うまでもな
い。
【図1】本発明の実施例による基板保持装置の概略的な
構成を示す図。
構成を示す図。
2 ホルダ 3 配管 4 支持ピン 6 イオナイザ 7 電磁弁 8 搬送アーム 9 主制御装置
Claims (3)
- 【請求項1】 基板を載置する載置手段と、 前記載置手段の表面に開口した孔と連通した通気手段
と、 前記通気手段を介して前記基板と前記載置手段との間の
気体を吸引することにより、前記基板を前記載置手段上
に吸着する吸引手段と、 前記通気手段を介して前記基板と前記載置手段との間に
気体を供給する気体供給手段と、 前記通気手段に設けられ、前記気体供給手段から供給さ
れる気体をイオン化するイオン化手段とを備えることを
特徴とする基板の保持装置。 - 【請求項2】 前記通気手段は絶縁体で構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板の保持装置。 - 【請求項3】 前記基板の保持装置は、前記基板を前記
載置手段から分離する基板分離手段と、 前記基板分離手段によって前記基板を前記載置手段から
分離する際に、前記気体供給手段と前記イオン化手段と
によって、イオン化された気体を供給する制御手段とを
さらに備えることを特徴とする基板の保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17307395A JPH0927540A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | 基板の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17307395A JPH0927540A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | 基板の保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0927540A true JPH0927540A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=15953711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17307395A Pending JPH0927540A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | 基板の保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0927540A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006310588A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Nikon Corp | 基板保持装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP2007184572A (ja) * | 2005-12-29 | 2007-07-19 | Au Optronics Corp | 基板を処理する機器及びそのベース |
JP2008087075A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Trinc:Kk | イオナイザー付電磁弁、イオナイザーを配置した真空チャック、およびイオナイザーを配置した受台 |
WO2009013799A1 (ja) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Hirata Corporation | 基板の吸着ステージ装置 |
JP2009064950A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Omron Corp | 基板保持装置および基板リリース方法 |
JP2014116480A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
-
1995
- 1995-07-10 JP JP17307395A patent/JPH0927540A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006310588A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Nikon Corp | 基板保持装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP2007184572A (ja) * | 2005-12-29 | 2007-07-19 | Au Optronics Corp | 基板を処理する機器及びそのベース |
JP2008087075A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Trinc:Kk | イオナイザー付電磁弁、イオナイザーを配置した真空チャック、およびイオナイザーを配置した受台 |
WO2009013799A1 (ja) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Hirata Corporation | 基板の吸着ステージ装置 |
JP2009064950A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Omron Corp | 基板保持装置および基板リリース方法 |
JP2014116480A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
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