JPH09266336A - 固体レーザ発振器及びこの固体レーザ発振器を用いた加工機械 - Google Patents
固体レーザ発振器及びこの固体レーザ発振器を用いた加工機械Info
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- JPH09266336A JPH09266336A JP8072829A JP7282996A JPH09266336A JP H09266336 A JPH09266336 A JP H09266336A JP 8072829 A JP8072829 A JP 8072829A JP 7282996 A JP7282996 A JP 7282996A JP H09266336 A JPH09266336 A JP H09266336A
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
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- Lenses (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロッド状固体素子が１本の構成の固体レーザ
発振器において、モード次数が低くても、品質の良い高
出力のレーザビームを安定して得ること。 【解決手段】 レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱
レンズを伴う固体素子１と、この固体素子１の両側に光
軸を一致させて向い合うように配置された反射ミラー３
１、３２と、を備えた共振形の固体レーザ発振器におい
て、固体素子１の屈折率ｎ０及び長さＬと、反射ミラー
３１、３２の曲率半径Ｒ１、Ｒ２と、固体素子１と反射
ミラー３１、３２との距離Ｌ１、Ｌ２と、固体素子１の
複屈折による複数の熱レンズの差との間に所定の関係を
持たせ、複数の熱レンズの各々の熱レンズによる発振領
域を互いに分離させた。
発振器において、モード次数が低くても、品質の良い高
出力のレーザビームを安定して得ること。 【解決手段】 レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱
レンズを伴う固体素子１と、この固体素子１の両側に光
軸を一致させて向い合うように配置された反射ミラー３
１、３２と、を備えた共振形の固体レーザ発振器におい
て、固体素子１の屈折率ｎ０及び長さＬと、反射ミラー
３１、３２の曲率半径Ｒ１、Ｒ２と、固体素子１と反射
ミラー３１、３２との距離Ｌ１、Ｌ２と、固体素子１の
複屈折による複数の熱レンズの差との間に所定の関係を
持たせ、複数の熱レンズの各々の熱レンズによる発振領
域を互いに分離させた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、高出力で高品質
なレーザビームを、安定に発生させることができる固体
レーザ発振器及びこの固体レーザ発振器を用いた加工機
械に関するものである。
なレーザビームを、安定に発生させることができる固体
レーザ発振器及びこの固体レーザ発振器を用いた加工機
械に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は、高品質のレーザビームを発振す
るために用いられてきた従来の固体レーザ装置用の発振
器部の概略を示す構成図である。図において、１はロッ
ド状の固体素子であり、例えばヤグレーザの場合ではＮ
ｄをドーピングしたＮｄ：ＹＡＧ（Ｎｄ：Ｙｔｔｒｉｕ
ｍ Ａｌｕｍｉｎｕｍ Ｇａｒｎｅｔ）等である。２は
励起光源であり、例えばクリプトンアークランプやキセ
ノンフラッシュランプ等である。４は集光器であり、固
体素子１と励起光源２を包み込むように形成されてい
る。３１は部分反射ミラー、３２は全反射ミラーであ
る。
るために用いられてきた従来の固体レーザ装置用の発振
器部の概略を示す構成図である。図において、１はロッ
ド状の固体素子であり、例えばヤグレーザの場合ではＮ
ｄをドーピングしたＮｄ：ＹＡＧ（Ｎｄ：Ｙｔｔｒｉｕ
ｍ Ａｌｕｍｉｎｕｍ Ｇａｒｎｅｔ）等である。２は
励起光源であり、例えばクリプトンアークランプやキセ
ノンフラッシュランプ等である。４は集光器であり、固
体素子１と励起光源２を包み込むように形成されてい
る。３１は部分反射ミラー、３２は全反射ミラーであ
る。
【０００３】また、図６は高品質のレーザ発振器を安定
化するための従来技術の一例を示すレーザ発振器であ
り、例えばＳｏｌｉｄ−Ｓｔａｔｅ Ｌａｓｅｒ Ｅｎ
ｇｉーｎｅｅｒｉｎｇ，２ｎｄ Ｅｄｉｔｉｏｎ，Ｓｐ
ｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｇ，１９２〜１９３頁に記載
された装置の断面図である。１１、１２は第一、第二の
ロッド状固体素子、２１、２２は第一、第二の励起光源
である。３１は部分反射ミラー、３２は全反射ミラー。
６０は９０°水晶旋光子、６１はブリュースターウィン
ドーである。
化するための従来技術の一例を示すレーザ発振器であ
り、例えばＳｏｌｉｄ−Ｓｔａｔｅ Ｌａｓｅｒ Ｅｎ
ｇｉーｎｅｅｒｉｎｇ，２ｎｄ Ｅｄｉｔｉｏｎ，Ｓｐ
ｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｇ，１９２〜１９３頁に記載
された装置の断面図である。１１、１２は第一、第二の
ロッド状固体素子、２１、２２は第一、第二の励起光源
である。３１は部分反射ミラー、３２は全反射ミラー。
６０は９０°水晶旋光子、６１はブリュースターウィン
ドーである。
【０００４】まず、図５に示す従来のレーザ発振器につ
いて説明する。一般にレーザビームの品質は、固体素子
の直径と固体素子中に理論的に計算されるガウスビーム
の直径の比が小さいほど良くなることが知られている。
このため、固体素子中の計算上のガウスビームの直径が
大きくなるよう共振器長を長めにしたり、共振器内にア
パーチャを設置して固体素子以外の部分で横モード次数
を制限する等の処置がとられる。具体的には、曲率半径
の小さい、例えば曲率半径１ｍ以下、典型的には０．１
〜０．５ｍの反射ミラーを用いて、反射ミラー前面で小
さいスポットに集光するとともに、凸状の部分反射ミラ
ーを固体素子近傍に配置し、固体素子の凸状の熱レンズ
と併せて、実質数ｍの曲率半径の大きな反射ミラーを構
成した、いわゆる片寄りのあるレーザ共振器を用いて実
現できる。
いて説明する。一般にレーザビームの品質は、固体素子
の直径と固体素子中に理論的に計算されるガウスビーム
の直径の比が小さいほど良くなることが知られている。
このため、固体素子中の計算上のガウスビームの直径が
大きくなるよう共振器長を長めにしたり、共振器内にア
パーチャを設置して固体素子以外の部分で横モード次数
を制限する等の処置がとられる。具体的には、曲率半径
の小さい、例えば曲率半径１ｍ以下、典型的には０．１
〜０．５ｍの反射ミラーを用いて、反射ミラー前面で小
さいスポットに集光するとともに、凸状の部分反射ミラ
ーを固体素子近傍に配置し、固体素子の凸状の熱レンズ
と併せて、実質数ｍの曲率半径の大きな反射ミラーを構
成した、いわゆる片寄りのあるレーザ共振器を用いて実
現できる。
【０００５】本発明者らの実験でも、このように構成す
ることで、固体素子近傍での理論的に計算されるガウス
ビームの直径が、例えば固体素子の直径の１／５倍程度
までに大きくなるように共振器を構成したところ、ビー
ム品質は回折限界の１／２０倍程度、すなわち横モード
次数として２０次程度と、一般の発振器に比べ約１／１
０の横モード次数の高品質のレーザビームを得ることが
できた。
ることで、固体素子近傍での理論的に計算されるガウス
ビームの直径が、例えば固体素子の直径の１／５倍程度
までに大きくなるように共振器を構成したところ、ビー
ム品質は回折限界の１／２０倍程度、すなわち横モード
次数として２０次程度と、一般の発振器に比べ約１／１
０の横モード次数の高品質のレーザビームを得ることが
できた。
【０００６】しかしながら、このようにすると、同時に
発振効率の低下とレーザ出力のふらつきが生じるといっ
た問題があった。これは、特に固体素子の歪みが大きく
なると思われる１００Ｗ以上の高出力で動作させる場合
において顕著であり、ビーム品質を向上させるほどに強
くなる傾向があった。
発振効率の低下とレーザ出力のふらつきが生じるといっ
た問題があった。これは、特に固体素子の歪みが大きく
なると思われる１００Ｗ以上の高出力で動作させる場合
において顕著であり、ビーム品質を向上させるほどに強
くなる傾向があった。
【０００７】図７は、従来の固体レーザ発振器におい
て、実験で得られた発振特性の一例を模式的に示したも
のである。図中、直線Ａで示すものがビーム品質が悪い
特性、例えば理論限界の１／２００倍程度、すなわち横
モード次数として２００次のビーム品質を持つレーザビ
ームの発振特性、又Ｂで示すものが、横モード次数とし
て２０次程度の高品質のレーザビームの発振特性であ
る。又曲線Ｂで示すものは、直線的な発振特性とはなら
ず、いくつかのピークを持つ特性となっている。そし
て、この中で発振特性の谷の部分、すなわち出力が低め
に出る条件において、特に出力のふらつきが顕著になる
傾向があった。
て、実験で得られた発振特性の一例を模式的に示したも
のである。図中、直線Ａで示すものがビーム品質が悪い
特性、例えば理論限界の１／２００倍程度、すなわち横
モード次数として２００次のビーム品質を持つレーザビ
ームの発振特性、又Ｂで示すものが、横モード次数とし
て２０次程度の高品質のレーザビームの発振特性であ
る。又曲線Ｂで示すものは、直線的な発振特性とはなら
ず、いくつかのピークを持つ特性となっている。そし
て、この中で発振特性の谷の部分、すなわち出力が低め
に出る条件において、特に出力のふらつきが顕著になる
傾向があった。
【０００８】一方、図６に示す従来例においては、第
１、第２のロッド状固体素子１１、１２を２本タンデム
に配置して、その中央に９０°水晶旋光子６０を置き、
一方の固体素子で生じた複屈折の影響をもう一方の固体
素子で擬似的にキャンセルすると、高効率で安定した出
力のレーザビームが得られることが知られている。すな
わち、複屈折とは固体素子内に生じる熱ストレスに起因
して、直交する２つの偏光成分で別々の屈折率を感じさ
せる効果であり、このため複屈折のある固体素子に入射
したレーザビームはその偏光方向によって２種類の内の
どちらかの熱レンズを感じることになる。９０°水晶旋
光子６０は第一の固体素子１１を通過してきたレーザビ
ームの偏光を９０°回転させ、第二の固体素子１２に入
射させるため、第一の固体素子１１に入射したレーザビ
ームは両固体素子を通過した時点で２種類の熱レンズを
両方均等に感じることになる。従って、固体素子の複屈
折で規定される偏光方向のどちらに偏光したレーザビー
ムにおいても、両固体素子を併せると等しい熱レンズを
感じることになるため、２つの偏光ビームはほぼ同じ条
件で発振し、複屈折による偏光の分離がちょうどキャン
セルされたかのような効果が得られる。
１、第２のロッド状固体素子１１、１２を２本タンデム
に配置して、その中央に９０°水晶旋光子６０を置き、
一方の固体素子で生じた複屈折の影響をもう一方の固体
素子で擬似的にキャンセルすると、高効率で安定した出
力のレーザビームが得られることが知られている。すな
わち、複屈折とは固体素子内に生じる熱ストレスに起因
して、直交する２つの偏光成分で別々の屈折率を感じさ
せる効果であり、このため複屈折のある固体素子に入射
したレーザビームはその偏光方向によって２種類の内の
どちらかの熱レンズを感じることになる。９０°水晶旋
光子６０は第一の固体素子１１を通過してきたレーザビ
ームの偏光を９０°回転させ、第二の固体素子１２に入
射させるため、第一の固体素子１１に入射したレーザビ
ームは両固体素子を通過した時点で２種類の熱レンズを
両方均等に感じることになる。従って、固体素子の複屈
折で規定される偏光方向のどちらに偏光したレーザビー
ムにおいても、両固体素子を併せると等しい熱レンズを
感じることになるため、２つの偏光ビームはほぼ同じ条
件で発振し、複屈折による偏光の分離がちょうどキャン
セルされたかのような効果が得られる。
【０００９】図６に示した従来例は本来直線偏光を効率
よく、安定してとり出すためにとられた方法であるが、
本発明者らの実験では、特に直線偏光にこだわらずブリ
ュースターウィンドーを取り去った共振器においても同
様に、９０°水晶旋光子６０を２本の固体素子１１、１
２間に注意深く挿入し複屈折の影響をキャンセルするこ
とで、レーザ発振の効率が上がることを確認している。
そして、発振特性は図６の曲線Ｃで示すようになり、効
率良く、ほとんど揺らぎのない発振波形が得られてい
る。
よく、安定してとり出すためにとられた方法であるが、
本発明者らの実験では、特に直線偏光にこだわらずブリ
ュースターウィンドーを取り去った共振器においても同
様に、９０°水晶旋光子６０を２本の固体素子１１、１
２間に注意深く挿入し複屈折の影響をキャンセルするこ
とで、レーザ発振の効率が上がることを確認している。
そして、発振特性は図６の曲線Ｃで示すようになり、効
率良く、ほとんど揺らぎのない発振波形が得られてい
る。
【００１０】次に、これらの図５に示す従来例と図６に
示す従来例の差異について理論的に説明する。先ず、図
５に示す従来例においては、固体素子は周囲から励起さ
れて熱変形し、例えば丸い断面形状の固体素子の場合で
は、断面内の直径方向と動径方向で、結晶の伸び、屈折
率変化に差異が生じる。そして、この２つの伸びの方向
は直行しており、それぞれの方向で２つのレンズ作用を
持つように作用する。従って、例えば図８（ａ）で示す
偏光成分を持つレーザビームと図８（ｂ）で示す示す偏
光成分を持つレーザビームとの２つの基本偏光モードを
持つレーザビームに対して、固体素子を通過した場合に
受けるレンズ作用の大きさがそれぞれ異なる。このため
に、例えば、励起光源の出力に対する固体素子内の理論
的に計算されるガウスビームの直径をプロットすると、
図９（ｂ）で示すように、図８（ａ）、（ｂ）で示すそ
れぞれの基本偏光モードレーザビームに対して、Ｂ１、
Ｂ２の２つの曲線で表されることになる。このガウスビ
ームの直径Ｂ１、Ｂ２の２つの曲線で表される部分が、
それぞれの基本偏光モードに対して計算される発振可能
領域であり、これ以外の部分では、共振器の損失が大き
く発振が起きない。
示す従来例の差異について理論的に説明する。先ず、図
５に示す従来例においては、固体素子は周囲から励起さ
れて熱変形し、例えば丸い断面形状の固体素子の場合で
は、断面内の直径方向と動径方向で、結晶の伸び、屈折
率変化に差異が生じる。そして、この２つの伸びの方向
は直行しており、それぞれの方向で２つのレンズ作用を
持つように作用する。従って、例えば図８（ａ）で示す
偏光成分を持つレーザビームと図８（ｂ）で示す示す偏
光成分を持つレーザビームとの２つの基本偏光モードを
持つレーザビームに対して、固体素子を通過した場合に
受けるレンズ作用の大きさがそれぞれ異なる。このため
に、例えば、励起光源の出力に対する固体素子内の理論
的に計算されるガウスビームの直径をプロットすると、
図９（ｂ）で示すように、図８（ａ）、（ｂ）で示すそ
れぞれの基本偏光モードレーザビームに対して、Ｂ１、
Ｂ２の２つの曲線で表されることになる。このガウスビ
ームの直径Ｂ１、Ｂ２の２つの曲線で表される部分が、
それぞれの基本偏光モードに対して計算される発振可能
領域であり、これ以外の部分では、共振器の損失が大き
く発振が起きない。
【００１１】次に、図７の曲線Ｂで示す発振特性と、図
９（ｂ）に示す発振領域とを比較してみる。図７の曲線
Ｂで示す発振特性には３つの出力の山が存在するが、こ
の山の位置はそれぞれ図９（ｂ）の発振領域Ｂ１１，Ｂ
１２，Ｂ２２に一致することが実験の結果判明してい
る。すなわち２つの偏光の両方が完全に重なって発振す
るか、又は一方のみが安定型発振し他方の偏光モードは
不安定発振領域にあるような条件下でのみ、高い出力と
安定性が得られるといえる。この原因については、例え
ば図９（ｂ）のＢ１１とＢ１２との間にあるような境界
の条件では、固体素子の熱レンズの揺らぎ、歪みの不均
一性等により、基本偏光モードから他方の偏光への遷移
が起きる等により、一部で損失の大きい偏光モードでの
共振も起こり固体素子のゲインを食い合うため、全体的
に見ると共振器の損失が増加し、レーザ出力を低下、不
安定にすることによると考えられる。
９（ｂ）に示す発振領域とを比較してみる。図７の曲線
Ｂで示す発振特性には３つの出力の山が存在するが、こ
の山の位置はそれぞれ図９（ｂ）の発振領域Ｂ１１，Ｂ
１２，Ｂ２２に一致することが実験の結果判明してい
る。すなわち２つの偏光の両方が完全に重なって発振す
るか、又は一方のみが安定型発振し他方の偏光モードは
不安定発振領域にあるような条件下でのみ、高い出力と
安定性が得られるといえる。この原因については、例え
ば図９（ｂ）のＢ１１とＢ１２との間にあるような境界
の条件では、固体素子の熱レンズの揺らぎ、歪みの不均
一性等により、基本偏光モードから他方の偏光への遷移
が起きる等により、一部で損失の大きい偏光モードでの
共振も起こり固体素子のゲインを食い合うため、全体的
に見ると共振器の損失が増加し、レーザ出力を低下、不
安定にすることによると考えられる。
【００１２】一方、図６に示す従来例においては、発振
器は２つの固体素子１１、１２の間に挿入した偏光旋光
子（９０°水晶旋光子６０）により偏光モードの変換を
行い、２種類の偏光モードの共振状態の差異を無くして
おり、発振領域は図９（ａ）の様になり、両方の偏光モ
ードの発振領域Ａ１，Ａ２がほぼ重なっている。このよ
うに両偏光モードが一様に低損失で発振するため、図７
の曲線Ｃに見られるような、高効率で安定した発振を得
ることができるものである。
器は２つの固体素子１１、１２の間に挿入した偏光旋光
子（９０°水晶旋光子６０）により偏光モードの変換を
行い、２種類の偏光モードの共振状態の差異を無くして
おり、発振領域は図９（ａ）の様になり、両方の偏光モ
ードの発振領域Ａ１，Ａ２がほぼ重なっている。このよ
うに両偏光モードが一様に低損失で発振するため、図７
の曲線Ｃに見られるような、高効率で安定した発振を得
ることができるものである。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】以上の様に、従来はレ
ーザビームの品質を上げるために、固体素子の直径と固
体素子中に理論的に計算されるガウスビームの直径の比
が小さくなるように共振器を構成してきたが、レーザ出
力が１００Ｗ以上の高出力においては、固体素子の複屈
折の影響で発振効率の悪化と出力のふらつきを招いてい
た。そして、これを解決するために、タンデムに配置し
た２つの固体素子の間に水晶旋光子を挿入した複屈折解
消技術を使用していた。しかし、このためには２本のほ
ぼ同質の固体素子が必要となり、かつ光軸上に精度良く
素子を配置するという技術が必要であった。
ーザビームの品質を上げるために、固体素子の直径と固
体素子中に理論的に計算されるガウスビームの直径の比
が小さくなるように共振器を構成してきたが、レーザ出
力が１００Ｗ以上の高出力においては、固体素子の複屈
折の影響で発振効率の悪化と出力のふらつきを招いてい
た。そして、これを解決するために、タンデムに配置し
た２つの固体素子の間に水晶旋光子を挿入した複屈折解
消技術を使用していた。しかし、このためには２本のほ
ぼ同質の固体素子が必要となり、かつ光軸上に精度良く
素子を配置するという技術が必要であった。
【００１４】この発明は、かかる問題点を解決するため
になされたものであり、ロッド状固体素子が１本のみの
構成の場合においても、高品質かつ高出力のレーザビー
ムを安定して得ることのできる固体レーザ発振器を得る
ことを目的とする。
になされたものであり、ロッド状固体素子が１本のみの
構成の場合においても、高品質かつ高出力のレーザビー
ムを安定して得ることのできる固体レーザ発振器を得る
ことを目的とする。
【００１５】更に、この様な固体レーザ発振器を用いた
高性能な固体レーザ発振器を用いた加工機械を得ること
を目的とする。
高性能な固体レーザ発振器を用いた加工機械を得ること
を目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる固体レ
ーザ発振器においては、レーザ活性媒質を含み励起時に
複数の熱レンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側
に光軸を一致させて向い合うように配置された反射ミラ
ーと、を備えた共振形の固体レーザ発振器において、前
記固体素子の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率
半径と、前記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固
体素子の複屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所
定の関係を持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レン
ズによる発振領域を互いに分離させたものである。
ーザ発振器においては、レーザ活性媒質を含み励起時に
複数の熱レンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側
に光軸を一致させて向い合うように配置された反射ミラ
ーと、を備えた共振形の固体レーザ発振器において、前
記固体素子の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率
半径と、前記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固
体素子の複屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所
定の関係を持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レン
ズによる発振領域を互いに分離させたものである。
【００１７】又、前記固体素子は、ロッド状のヤグ固体
素子としたものである。
素子としたものである。
【００１８】更に、前記所定の関係は、発振を生じさせ
る熱レンズ範囲を前記複数の熱レンズの中心値の２０％
以下としたものである。
る熱レンズ範囲を前記複数の熱レンズの中心値の２０％
以下としたものである。
【００１９】そして、固体レーザ発振器を用いた加工機
械においては、レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱
レンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側に光軸を
一致させて向い合うように配置された反射ミラーと、を
備えた共振形の固体レーザ発振器において、前記固体素
子の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率半径と、
前記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固体素子の
複屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所定の関係
を持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レンズによる
発振領域を互いに分離させた固体レーザ発振器を用いた
ものであり、又更に前記固体素子を、ロッド状のヤグ固
体素子とした固体レーザ発振器を用いたものであり、そ
して更に前記所定の関係を、発振を生じさせる熱レンズ
範囲を前記複数の熱レンズの中心値の２０％以下とした
固体レーザ発振器を用いたものである。
械においては、レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱
レンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側に光軸を
一致させて向い合うように配置された反射ミラーと、を
備えた共振形の固体レーザ発振器において、前記固体素
子の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率半径と、
前記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固体素子の
複屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所定の関係
を持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レンズによる
発振領域を互いに分離させた固体レーザ発振器を用いた
ものであり、又更に前記固体素子を、ロッド状のヤグ固
体素子とした固体レーザ発振器を用いたものであり、そ
して更に前記所定の関係を、発振を生じさせる熱レンズ
範囲を前記複数の熱レンズの中心値の２０％以下とした
固体レーザ発振器を用いたものである。
【００２０】
実施の形態１．まず、図１〜図３に基づいて第１の実施
の形態を説明する。図１はこの発明の一実施の形態を示
す発振器部の概略を示す構成図であるが、１、２、４、
５は図５の従来例と同じものである。図５の従来例と異
なる点は、部分反射ミラー３１と全反射ミラー３２のそ
れぞれの曲率Ｒ１、Ｒ２と、固体素子１の端部からの距
離Ｌ１、Ｌ２とが、ある条件を満たしている点にある。
の形態を説明する。図１はこの発明の一実施の形態を示
す発振器部の概略を示す構成図であるが、１、２、４、
５は図５の従来例と同じものである。図５の従来例と異
なる点は、部分反射ミラー３１と全反射ミラー３２のそ
れぞれの曲率Ｒ１、Ｒ２と、固体素子１の端部からの距
離Ｌ１、Ｌ２とが、ある条件を満たしている点にある。
【００２１】即ち、一般に入力（即ち、励起光源の出
力）に対して熱レンズが変化するような固体素子を含む
発振器では、発振可能な固体素子の熱レンズの範囲が存
在する。この熱レンズ範囲の広さと共振器の構成値には
相関があり、なるべく曲率半径の短いミラーを用い共振
器長を長くとれば、この熱レンズ範囲は狭まっていく。
力）に対して熱レンズが変化するような固体素子を含む
発振器では、発振可能な固体素子の熱レンズの範囲が存
在する。この熱レンズ範囲の広さと共振器の構成値には
相関があり、なるべく曲率半径の短いミラーを用い共振
器長を長くとれば、この熱レンズ範囲は狭まっていく。
【００２２】一方、複屈折性を有する固体素子では、そ
れぞれの偏光モードに対して別々の熱レンズ値を示すた
め、図５の従来例などでは２つの偏光モードのビームが
別々の励起光源出力で発振し始めるため、図７の曲線Ｂ
の様な出力特性となった。この２つの偏光モードの発振
に対応したそれぞれの励起光源出力の範囲を仮に発振領
域と呼ぶことにする。この状態では２つの発振領域が中
途半端に重なり合ってるため、偏光モードの選択性が悪
く、レーザ出力が不安定となっている。そこで、更に発
振領域の幅を狭くし２つの偏光モードの発振領域の重な
りを小さくしていけば、途中までは発振領域の幅が狭く
なるにつれ発振の損失が増えてレーザ出力が低下し、不
安定性も増大していくが、発振領域の幅が十分狭くなり
２つの偏光モードの発振領域が完全に分離した状態にな
ると、突如、損失が少ない高効率なレーザ出力が安定し
て発振する条件が現れる。
れぞれの偏光モードに対して別々の熱レンズ値を示すた
め、図５の従来例などでは２つの偏光モードのビームが
別々の励起光源出力で発振し始めるため、図７の曲線Ｂ
の様な出力特性となった。この２つの偏光モードの発振
に対応したそれぞれの励起光源出力の範囲を仮に発振領
域と呼ぶことにする。この状態では２つの発振領域が中
途半端に重なり合ってるため、偏光モードの選択性が悪
く、レーザ出力が不安定となっている。そこで、更に発
振領域の幅を狭くし２つの偏光モードの発振領域の重な
りを小さくしていけば、途中までは発振領域の幅が狭く
なるにつれ発振の損失が増えてレーザ出力が低下し、不
安定性も増大していくが、発振領域の幅が十分狭くなり
２つの偏光モードの発振領域が完全に分離した状態にな
ると、突如、損失が少ない高効率なレーザ出力が安定し
て発振する条件が現れる。
【００２３】この場合の発振領域と発振特性のグラフを
図２（ａ），（ｂ）に示す。発振領域が２つに別れ、そ
れぞれの発振領域の幅は図７の発振特性を示す曲線Ｂ，
Ｃに比べ狭くなってはいるが、それぞれの発振領域での
出力のピークでは、非常に効率の高い安定した出力が得
られている。これは、２つの偏光モードの発振領域が完
全に分離されることにより、固体素子の熱レンズ不安定
性を加味しても一方の偏光モードへの選択性が十分高ま
り、一方の偏光モードへのみ固体素子のゲインが安定し
て集中するようになったためである。この方法は、両方
の偏光モードの発振領域を完全に合致させてレーザ出力
の安定化を図った図６の従来例とは逆の方法とである。
図２（ａ），（ｂ）に示す。発振領域が２つに別れ、そ
れぞれの発振領域の幅は図７の発振特性を示す曲線Ｂ，
Ｃに比べ狭くなってはいるが、それぞれの発振領域での
出力のピークでは、非常に効率の高い安定した出力が得
られている。これは、２つの偏光モードの発振領域が完
全に分離されることにより、固体素子の熱レンズ不安定
性を加味しても一方の偏光モードへの選択性が十分高ま
り、一方の偏光モードへのみ固体素子のゲインが安定し
て集中するようになったためである。この方法は、両方
の偏光モードの発振領域を完全に合致させてレーザ出力
の安定化を図った図６の従来例とは逆の方法とである。
【００２４】ここで、図２（ａ）において、２つの発振
領域の幅をΔ（１／ｆ）として表現しているのは、励磁
光源の出力と（１／ｆ）の値とは１対１の対応関係にあ
るためである。
領域の幅をΔ（１／ｆ）として表現しているのは、励磁
光源の出力と（１／ｆ）の値とは１対１の対応関係にあ
るためである。
【００２５】例えば、ロッド型のヤグレーザの場合、本
発明者らの実験では、この２つの偏光モードに対する、
焦点距離（ｆ）の逆数である熱レンズ（１／ｆ）の差
は、この熱レンズ（１／ｆ）の約２０％程度の値であっ
た。この熱レンズの差よりも狭い熱レンズ範囲で発振す
る発振器として、具体的には、一方の共振器ミラーは曲
率Ｒ１＝１００ｍｍ、固体素子端部からの距離Ｌ１＝４
５０ｍｍとかなり短い曲率半径のものを離れた位置に配
置し、他方の共振器ミラーはＲ２＝−１０００ｍｍ、Ｌ
２＝５５０ｍｍとすることにより、固体素子の熱レンズ
の焦点距離（ｆ）の値が約２４０〜２８０ｍｍの範囲で
レーザ発振することになる。
発明者らの実験では、この２つの偏光モードに対する、
焦点距離（ｆ）の逆数である熱レンズ（１／ｆ）の差
は、この熱レンズ（１／ｆ）の約２０％程度の値であっ
た。この熱レンズの差よりも狭い熱レンズ範囲で発振す
る発振器として、具体的には、一方の共振器ミラーは曲
率Ｒ１＝１００ｍｍ、固体素子端部からの距離Ｌ１＝４
５０ｍｍとかなり短い曲率半径のものを離れた位置に配
置し、他方の共振器ミラーはＲ２＝−１０００ｍｍ、Ｌ
２＝５５０ｍｍとすることにより、固体素子の熱レンズ
の焦点距離（ｆ）の値が約２４０〜２８０ｍｍの範囲で
レーザ発振することになる。
【００２６】従って、この発振器では、熱レンズ（１／
ｆ）の中心＝１／２６０（ｍｍ-1）となり、この値の約
２０％である固体素子の熱レンズ差は、 ０．２（１／ｆ）＝０．０００７７（ｍｍ-1） となる。他方、発振する熱レンズの範囲は、 １／２４０−１／２８０＝０．００６０（ｍｍ-1） となる。このように、固体素子の熱レンズ差よりも発振
する熱レンズ範囲の方が狭くなり、その結果、各偏光モ
ードに対応した発振領域がそれぞれ分離されている。
ｆ）の中心＝１／２６０（ｍｍ-1）となり、この値の約
２０％である固体素子の熱レンズ差は、 ０．２（１／ｆ）＝０．０００７７（ｍｍ-1） となる。他方、発振する熱レンズの範囲は、 １／２４０−１／２８０＝０．００６０（ｍｍ-1） となる。このように、固体素子の熱レンズ差よりも発振
する熱レンズ範囲の方が狭くなり、その結果、各偏光モ
ードに対応した発振領域がそれぞれ分離されている。
【００２７】又、上述のことを、図３に示す熱レンズ
（１／ｆ）と励起光源の出力（Ｗ）との関係を示したグ
ラフを用いて説明する。例えば、複屈折により２種類の
熱レンズ（即ち、熱レンズ１と熱レンズ２）が混在した
場合、ある熱レンズ（１／ｆ）を中心にした熱レンズ範
囲（Δ（１／ｆ））に対して、熱レンズ１によって生じ
る発振領域１と熱レンズ２によって生じる発振領域２と
は重なりを持たないように設定されることになる。ここ
では、熱レンズ１と熱レンズ２との差が（１／ｆ）の約
２０％になっているものであることを示している。
（１／ｆ）と励起光源の出力（Ｗ）との関係を示したグ
ラフを用いて説明する。例えば、複屈折により２種類の
熱レンズ（即ち、熱レンズ１と熱レンズ２）が混在した
場合、ある熱レンズ（１／ｆ）を中心にした熱レンズ範
囲（Δ（１／ｆ））に対して、熱レンズ１によって生じ
る発振領域１と熱レンズ２によって生じる発振領域２と
は重なりを持たないように設定されることになる。ここ
では、熱レンズ１と熱レンズ２との差が（１／ｆ）の約
２０％になっているものであることを示している。
【００２８】次に、このような共振器条件についての解
析的な説明をする。即ち、この共振器ではそれぞれの偏
光モードに対応する発振領域を完全に分離するために、
それぞれの発振領域の幅が、２つの偏光モードの発振領
域の差よりも狭くなるようにすることが目安となる。こ
の発振領域の幅と共振器の寸法値との関係は、理論的に
はＶ．Ｍａｇｎｉらの報告によって以下の様に計算でき
ることが知られている。
析的な説明をする。即ち、この共振器ではそれぞれの偏
光モードに対応する発振領域を完全に分離するために、
それぞれの発振領域の幅が、２つの偏光モードの発振領
域の差よりも狭くなるようにすることが目安となる。こ
の発振領域の幅と共振器の寸法値との関係は、理論的に
はＶ．Ｍａｇｎｉらの報告によって以下の様に計算でき
ることが知られている。
【００２９】ここで、固体素子の熱レンズの焦点距離を
ｆとし、発振領域の幅を固体素子の熱レンズ範囲Δ（１
／ｆ）で置き換えて評価すると、図１の共振器の各設計
値Ｒ１，Ｒ２，Ｌ１，Ｌ２及び固体素子の長さＬと屈折
率ｎ０を使って以下のように表すことができる。 Δ（１／ｆ）＝１／（ｍａｘ（｜ｕ１｜，｜ｕ２｜）） ここで， ｕ１＝（Ｌ１＋Ｌ／２・ｎ０）（１−（Ｌ１＋Ｌ／２・
ｎ０）／Ｒ１） ｕ２＝（Ｌ２＋Ｌ／２・ｎ０）（１−（Ｌ２＋Ｌ／２・
ｎ０）／Ｒ２）
ｆとし、発振領域の幅を固体素子の熱レンズ範囲Δ（１
／ｆ）で置き換えて評価すると、図１の共振器の各設計
値Ｒ１，Ｒ２，Ｌ１，Ｌ２及び固体素子の長さＬと屈折
率ｎ０を使って以下のように表すことができる。 Δ（１／ｆ）＝１／（ｍａｘ（｜ｕ１｜，｜ｕ２｜）） ここで， ｕ１＝（Ｌ１＋Ｌ／２・ｎ０）（１−（Ｌ１＋Ｌ／２・
ｎ０）／Ｒ１） ｕ２＝（Ｌ２＋Ｌ／２・ｎ０）（１−（Ｌ２＋Ｌ／２・
ｎ０）／Ｒ２）
【００３０】今、発振器が動作する固体素子の熱レンズ
の中心値を１／ｆ（ここで、熱レンズの最小値を１／ｆ
１、最大値を１／ｆ２とすると、１／ｆ＝（１／ｆ１＋
１／ｆ２）／２となる。）とすると、複屈折による固体
素子の熱レンズの差は上述のことから２０％程度である
ことから、所望の発振を得るための熱レンズ範囲（Δ
（１／ｆ））はこの値よりも狭いことが要求され、結局
共振器の条件は以下の様になる。 １／（ｍａｘ（｜ｕ１｜，｜ｕ２｜）） ≦ ０．２
（１／ｆ） 即ち、この条件を満たすように共振器の各寸法値Ｒ１，
Ｒ２，Ｌ１，Ｌ２を決定すれば良いことになる。
の中心値を１／ｆ（ここで、熱レンズの最小値を１／ｆ
１、最大値を１／ｆ２とすると、１／ｆ＝（１／ｆ１＋
１／ｆ２）／２となる。）とすると、複屈折による固体
素子の熱レンズの差は上述のことから２０％程度である
ことから、所望の発振を得るための熱レンズ範囲（Δ
（１／ｆ））はこの値よりも狭いことが要求され、結局
共振器の条件は以下の様になる。 １／（ｍａｘ（｜ｕ１｜，｜ｕ２｜）） ≦ ０．２
（１／ｆ） 即ち、この条件を満たすように共振器の各寸法値Ｒ１，
Ｒ２，Ｌ１，Ｌ２を決定すれば良いことになる。
【００３１】更に、上述の共振器の条件を、｜ｕ１｜≧
｜ｕ２｜の仮定の下に、簡略化すると、 Ｒ１≧（Ｌ１＋Ｌ／２・ｎ０）2／（Ｌ１＋Ｌ／２・ｎ
０ーｆ／０．２） となり、他方、｜ｕ１｜≦｜ｕ２｜の仮定の下に、簡略
化すると、 Ｒ２≧（Ｌ２＋Ｌ／２・ｎ０）2／（Ｌ２＋Ｌ／２・ｎ
０ーｆ／０．２） となる。
｜ｕ２｜の仮定の下に、簡略化すると、 Ｒ１≧（Ｌ１＋Ｌ／２・ｎ０）2／（Ｌ１＋Ｌ／２・ｎ
０ーｆ／０．２） となり、他方、｜ｕ１｜≦｜ｕ２｜の仮定の下に、簡略
化すると、 Ｒ２≧（Ｌ２＋Ｌ／２・ｎ０）2／（Ｌ２＋Ｌ／２・ｎ
０ーｆ／０．２） となる。
【００３２】以上述べたように、固体素子の屈折率ｎ０
及び長さＬと、反射ミラーの曲率半径Ｒ１、Ｒ２と、固
体素子と反射ミラーとの距離Ｌ１、Ｌ２と、固体素子の
複屈折による２つの熱レンズの差、例えばロッド型のヤ
グレーザの場合は０．２（１／ｆ）、との間に所定の関
係を持たせて発振器を構成したので、２つの発振領域を
完全に分離させることができ、発振中のレーザビームの
偏光モードが常にどちらか一方の熱レンズ範囲に限定さ
れることになり、発振時の偏光モードの選択性が高めら
れ、モード次数が低くても品質や効率の良い安定した出
力のレーザビームを得ることのできる効果がある。
及び長さＬと、反射ミラーの曲率半径Ｒ１、Ｒ２と、固
体素子と反射ミラーとの距離Ｌ１、Ｌ２と、固体素子の
複屈折による２つの熱レンズの差、例えばロッド型のヤ
グレーザの場合は０．２（１／ｆ）、との間に所定の関
係を持たせて発振器を構成したので、２つの発振領域を
完全に分離させることができ、発振中のレーザビームの
偏光モードが常にどちらか一方の熱レンズ範囲に限定さ
れることになり、発振時の偏光モードの選択性が高めら
れ、モード次数が低くても品質や効率の良い安定した出
力のレーザビームを得ることのできる効果がある。
【００３３】又、ヤグ固体素子は、他の固体素子と比較
して複屈折はあまり大きくない。従って、ロッド形状に
することによって熱レンズ差をより大きくして発振領域
を分離させ易くすると、より好ましい効果が得られるこ
とになる。
して複屈折はあまり大きくない。従って、ロッド形状に
することによって熱レンズ差をより大きくして発振領域
を分離させ易くすると、より好ましい効果が得られるこ
とになる。
【００３４】実施の形態２．次に、上述の共振器条件を
備えた固体レーザ発振器を加工機械に適用した場合の一
実施の形態を図４を用いて説明する。図において、７０
は実施の形態１で説明した固体レーザ発振器、８０はレ
ーザ加工のための加工機械で、加工テーブル８１と加工
ヘッド８２を備えている。固体レーザ発振器７０からは
高品質なレーザビーム１０が出射される。そして、この
レーザビーム１０は、例えば光ファイバー３３又はベン
ドミラー３４で加工ヘッド８２まで導かれ、加工ワーク
８３上に集光される。ここで、加工ワーク８３は加工テ
ーブル８１上に固定されており、加工ヘッド８２又は加
工テーブル８１が移動することにより、切断、溶接、マ
ーキング等のレーザ加工が行われる。
備えた固体レーザ発振器を加工機械に適用した場合の一
実施の形態を図４を用いて説明する。図において、７０
は実施の形態１で説明した固体レーザ発振器、８０はレ
ーザ加工のための加工機械で、加工テーブル８１と加工
ヘッド８２を備えている。固体レーザ発振器７０からは
高品質なレーザビーム１０が出射される。そして、この
レーザビーム１０は、例えば光ファイバー３３又はベン
ドミラー３４で加工ヘッド８２まで導かれ、加工ワーク
８３上に集光される。ここで、加工ワーク８３は加工テ
ーブル８１上に固定されており、加工ヘッド８２又は加
工テーブル８１が移動することにより、切断、溶接、マ
ーキング等のレーザ加工が行われる。
【００３５】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果を奏する。
れているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００３６】レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱レ
ンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側に光軸を一
致させて向い合うように配置された反射ミラーと、を備
えた共振形の固体レーザ発振器において、前記固体素子
の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率半径と、前
記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固体素子の複
屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所定の関係を
持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レンズによる発
振領域を互いに分離させたので、発振中のレーザビーム
の偏光モードが常にどちらか一方の熱レンズに限定され
ることになり、発振時の偏光モードの選択性が高めら
れ、モード次数が低くても品質や効率の良い安定した出
力のレーザビームを得ることのできる効果がある。
ンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側に光軸を一
致させて向い合うように配置された反射ミラーと、を備
えた共振形の固体レーザ発振器において、前記固体素子
の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率半径と、前
記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固体素子の複
屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所定の関係を
持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レンズによる発
振領域を互いに分離させたので、発振中のレーザビーム
の偏光モードが常にどちらか一方の熱レンズに限定され
ることになり、発振時の偏光モードの選択性が高めら
れ、モード次数が低くても品質や効率の良い安定した出
力のレーザビームを得ることのできる効果がある。
【００３７】又、前記固体素子は、ロッド状のヤグ固体
素子としたので、複屈折の小さいヤグ固体素子において
もロッド形状として熱レンズ差を大きくし易くすること
になり、発振時の偏光モードの選択性が高められ、モー
ド次数が低くても品質や効率の良い安定した出力のレー
ザビームを得ることのできる効果がある。
素子としたので、複屈折の小さいヤグ固体素子において
もロッド形状として熱レンズ差を大きくし易くすること
になり、発振時の偏光モードの選択性が高められ、モー
ド次数が低くても品質や効率の良い安定した出力のレー
ザビームを得ることのできる効果がある。
【００３８】更に、前記所定の関係は、発振を生じさせ
る熱レンズ範囲を前記複数の熱レンズの中心値の２０％
以下としたので、発振中のレーザビームの偏光モードが
常にどちらか一方の熱レンズ範囲に限定されることにな
り、発振時の偏光モードの選択性が高められ、モード次
数が低くても品質や効率の良い安定した出力のレーザビ
ームを得ることのできる効果がある。
る熱レンズ範囲を前記複数の熱レンズの中心値の２０％
以下としたので、発振中のレーザビームの偏光モードが
常にどちらか一方の熱レンズ範囲に限定されることにな
り、発振時の偏光モードの選択性が高められ、モード次
数が低くても品質や効率の良い安定した出力のレーザビ
ームを得ることのできる効果がある。
【００３９】そして、固体レーザ発振器を用いた加工機
械においては、レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱
レンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側に光軸を
一致させて向い合うように配置された反射ミラーと、を
備えた共振形の固体レーザ発振器において、前記固体素
子の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率半径と、
前記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固体素子の
複屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所定の関係
を持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レンズによる
発振領域を互いに分離させた固体レーザ発振器を用い、
又更に前記固体素子を、ロッド状のヤグ固体素子とした
固体レーザ発振器を用い、そして更に前記所定の関係
を、発振を生じさせる熱レンズ範囲を前記複数の熱レン
ズの中心値の２０％以下とした固体レーザ発振器を用い
たので、それぞれ品質や効率の良い安定した出力のレー
ザビームを発生する固体レーザ発振器を機械に組み込む
ことになり、機械の調整が容易になったり加工品質を向
上させる効果がある。
械においては、レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱
レンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側に光軸を
一致させて向い合うように配置された反射ミラーと、を
備えた共振形の固体レーザ発振器において、前記固体素
子の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率半径と、
前記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固体素子の
複屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所定の関係
を持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レンズによる
発振領域を互いに分離させた固体レーザ発振器を用い、
又更に前記固体素子を、ロッド状のヤグ固体素子とした
固体レーザ発振器を用い、そして更に前記所定の関係
を、発振を生じさせる熱レンズ範囲を前記複数の熱レン
ズの中心値の２０％以下とした固体レーザ発振器を用い
たので、それぞれ品質や効率の良い安定した出力のレー
ザビームを発生する固体レーザ発振器を機械に組み込む
ことになり、機械の調整が容易になったり加工品質を向
上させる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１を示す発振器部の概
略を示す構成図である。
略を示す構成図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による発振器の発振
領域と発振特性のグラフを示す説明図である。
領域と発振特性のグラフを示す説明図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による発振器の熱レ
ンズと励起光源出力の関係を示す説明図である。
ンズと励起光源出力の関係を示す説明図である。
【図４】 この発明の実施の形態２による固体レーザ発
振器を用いた加工機械の構成図である。
振器を用いた加工機械の構成図である。
【図５】 従来の一例の発振器部の概略を示す構成図で
ある。
ある。
【図６】 従来の他の例の発振器部の概略を示す構成図
である。
である。
【図７】 従来の発振器部の発振特性のグラフを示す説
明図である。
明図である。
【図８】 従来の発振器部の偏光特性を示す説明図であ
る。
る。
【図９】 従来の発振器部の発信領域のグラフを示す説
明図である。
明図である。
１ 固体素子、３１ 部分反射ミラー、３２ 全反射ミ
ラー、７０ 発振器、８０ 加工機。
ラー、７０ 発振器、８０ 加工機。
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ活性媒質を含み励起時に複数の熱
レンズを伴う固体素子と、この固体素子の両側に光軸を
一致させて向い合うように配置された反射ミラーと、を
備えた共振形の固体レーザ発振器において、前記固体素
子の屈折率及び長さと、前記反射ミラーの曲率半径と、
前記固体素子と反射ミラーとの距離と、前記固体素子の
複屈折による複数の熱レンズの差と、の間に所定の関係
を持たせ、前記複数の熱レンズの各々の熱レンズによる
発振領域を互いに分離させたことを特徴とする固体レー
ザ発振器。 - 【請求項２】 前記固体素子は、ロッド状のヤグ固体素
子であることを特徴とする請求項１に記載の固体レーザ
発振器。 - 【請求項３】 前記所定の関係は、発振を生じさせる熱
レンズ範囲を前記複数の熱レンズの中心値の２０％以下
としたことを特徴とする請求項１又は２に記載の固体レ
ーザ発振器。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の固体レ
ーザ発振器を用いた加工機械。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8072829A JPH09266336A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 固体レーザ発振器及びこの固体レーザ発振器を用いた加工機械 |
| TW085110888A TW355858B (en) | 1996-03-27 | 1996-09-06 | Solid laser oscillator and a processing machine using such oscillator |
| US08/721,229 US5905749A (en) | 1996-03-27 | 1996-09-26 | Solid state laser oscillator and machining apparatus using the same |
| CA002186676A CA2186676C (en) | 1996-03-27 | 1996-09-27 | Solid-state laser oscillator and machining apparatus using the same |
| DE19644315A DE19644315A1 (de) | 1996-03-27 | 1996-10-24 | Festkörperlaseroszillator und mit diesem versehene Bearbeitungsvorrichtung |
| US09/313,355 US6285705B1 (en) | 1996-03-27 | 1999-05-18 | Solid-state laser oscillator and machining apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8072829A JPH09266336A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 固体レーザ発振器及びこの固体レーザ発振器を用いた加工機械 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09266336A true JPH09266336A (ja) | 1997-10-07 |
Family
ID=13500704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8072829A Pending JPH09266336A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 固体レーザ発振器及びこの固体レーザ発振器を用いた加工機械 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5905749A (ja) |
| JP (1) | JPH09266336A (ja) |
| CA (1) | CA2186676C (ja) |
| DE (1) | DE19644315A1 (ja) |
| TW (1) | TW355858B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11126934A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-11 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ装置並びにその光共振器の設計方法 |
| JP2001320114A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Inst Of Physical & Chemical Res | レーザー共振器 |
| KR100697915B1 (ko) * | 2004-03-30 | 2007-03-20 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 고체 레이저 장치 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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