JPH09265738A - ヘッド支持機構及び情報記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高記録密度、特に高トラック密度の情報記録
装置および、それに適したヘッド支持機構を実現する。
また、サスペンションを安価に製造し、情報記録再生装
置を低価格化する。 【解決手段】 サスペンション３の両脇に圧電アクチュ
エ−タ７を配しこれらを別個に動作させてサスペンショ
ン３を捩じる。サスペンション３を捩じらせるために発
生させる圧電アクチュエ−タ７の先端部８の変位を縮小
しヘッド素子１のトラック幅方向の微小な位置決めを行
う。圧電アクチュエ−タ７を両脇に配したサスペンショ
ン３はバッチプロセスにより、一括で製作する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置を
はじめとする情報記録装置およびそれらの装置に適用さ
れるヘッド支持機構に関する。特に磁気ディスク装置の
高記録密度化を実現するのに最適なヘッド支持機構の構
造に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、磁気ディスク装置に適用される磁
気ヘッドは、一般にスライダと呼ばれる部位に形成さ
れ、磁気ディスク装置は、磁気ディスク上に記録されて
いるサ−ボ情報を利用し、スライダ上に形成された磁気
ヘッドを磁気ディスク上の任意の位置に位置付ける制御
を行う。上記のように用いられる磁気ヘッドは、小型化
が進み、薄膜で形成されているものもある。薄膜で形成
された磁気ヘッドは、大きく二つのタイプがあり、記録
／再生兼用の素子からなる磁気ヘッドと、記録素子と再
生素子が独立して形成された複合型磁気ヘッドがある。
これらの薄膜磁気ヘッドは、通常、基材となりかつヘッ
ド支持機構に保持されるスライダ本体に形成されてい
る。

【０００３】磁気ヘッドを搭載するスライダは、磁気デ
ィスク装置内に設けられたアクチュエ−タにヘッド支持
機構を介し固定され、そのアクチュエ−タを制御するこ
とによって磁気ディスク上の任意の位置に位置付けられ
ており、将来の高記録密度化に対し、磁気ヘッドの高精
度な位置決め技術について種々の提案がなされている。
従来技術の一例として日本応用磁気学会誌第１８巻４
号（１９９４）、８６７頁、Ｆｉｇ．８に示されるもの
がある。ここには図５に示すようにヘッドスライダ（図
示なし）が固定されるヘッド支持機構（サスペンション
３１）が磁気ディスク装置の粗動アクチュエ−タ（図示
なし）に対して揺動する構造が記載されている。この論
文では、記録密度を上げるために、磁気ディスク装置の
トラック密度の向上に着目しており、図５ではヘッドス
ライダが固定されているヘッド支持機構（サスペンショ
ン３１）の粗動アクチュエ−タとの固定部であるヘッド
マウントブロック（マウント部６１）の回転中心をはさ
んで一対のプレ−ナ−型ピエゾ素子１９を組み込み、そ
れらを差動させることによりヘッド支持機構（サスペン
ション３１）を微小に揺動させ、ヘッド支持機構の先端
に固定されたヘッドスライダ及びヘッド素子を微小変位
させることができるようにしたものである。プレ−ナ−
型ピエゾ素子１９は大きな変位を発生することができな
いが、サスペンション３１を中央ヒンジ２０中心に微小
回転させることにより、プレ−ナ−型ピエゾ素子１９の
変位をヘッド素子位置では８倍に拡大している。この論
文では粗動アクチュエ−タの位置決めとヘッド支持機構
の微小な揺動によるヘッドスライダ及びヘッド素子の微
小な位置決めを連動して行うことにより、ヘッド素子の
トラック幅方向の位置決め精度が向上し、トラック密度
を高くできると記載されている。また、この位置決め機
構は、サスペンション３１、マウント部６１、プレ−ナ
−型ピエゾ素子１９が別々に形成された後、組み立てら
れたことが図５から容易に推察できる。

【０００４】さらに日本応用磁気学会誌第１８巻４号
（１９９４）、８６６〜８６７頁、Ｆｉｇ．７，１１に
はこの他に、ヘッド素子のトラック幅方向の位置決め精
度を向上し、トラック密度を高くするために、ヘッド素
子の微小な位置決めを行う他の手段を設けアクチュエ−
タと連動して位置決めすること及びヘッド素子の微小な
位置決め機構が記載されている。

【０００５】情報記録装置の高記録密度化を実現する手
段としては、前述の磁気ヘッドの高精度位置決めの他に
磁気ヘッドの浮上量を低下させ、磁気ディスクの周方向
の記録密度を向上させることも極めて重要である。磁気
ヘッドの低浮上量を実現する手段の一つとして磁気ディ
スクの表面粗さを小さくする方法が一般的にとられてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例ではいずれ
の構造においても、ヘッド素子の変位はアクチュエ−タ
の変位をそのままかまたは拡大して伝えており、ヘッド
素子の位置決め精度はアクチュエ−タの精度またはそれ
以下になってしまい、十分な精度が出せないという問題
点がある。

【０００７】また、詳細な記述はなされていないが、図
や説明文に記載されているアクチュエ−タおよびヘッド
支持機構の構造から、ピエゾ素子とヘッド支持機構本体
またはガイドア−ムからなるヘッド微小位置決め機構
は、これらの部品を組み立てることにより作製されてい
ると推測できる。ところが、磁気ディスク装置の場合、
高記録密度化が進むに従いヘッド支持機構は小形化が進
み、組み立てによる構造の作製が困難になってくるとい
う問題点が発生する。

【０００８】さらに、ピエゾ素子は一般に発生変位／素
子サイズが小さく、前述の図面を用いて説明した公知例
においても、ピエゾ素子の発生変位を８倍に拡大してい
るにもかかわらず、４．６μｍの変位を発生するのに約
５ｍｍの長さのピエゾ素子を必要としており、記録媒体
面と水平方向に発生する変位をそのまま磁気ヘッドの変
位に用いたのではアクチュエ−タサイズが大きくなると
いう問題点も発生する。 磁気ディスクの表面粗さを小
さくすることについても問題点がある。磁気ディスク装
置は装置停止時に磁気ディスクとスライダが接触してお
り、磁気ディスク回転に伴う空気流の発生により浮上す
るのが一般である。ところが、磁気ディスクの表面粗さ
を小さくすると磁気ディスクとスライダとが吸着または
粘着を発生し、磁気ディスク回転開始時のトルクが大き
くなるという問題点が発生する。ところが、公知例にお
いてはこの問題を解決する手段について言及がなされて
いなかった。

【０００９】そこで、本発明の目的は、ヘッド素子の位
置決め精度を十分に出せ、磁気ディスクの表面粗さを小
さくすることによる磁気ディスクとスライダとの吸着ま
たは粘着減少を防ぎ、小型化したヘッド支持機構を実現
することである。さらに、このようなヘッド支持機構を
適用することにより高記録密度の情報記録装置を実現す
ることである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】位置決め精度をあげる必
要があるという問題点については、大きなストロ−クを
稼げるアクチュエ−タを駆動源とし、変位縮小機構によ
りヘッド素子を保持する部位を駆動させる。具体的に
は、ヘッド支持機構の両脇にアクチュエ−タを配し、そ
の両方を差動させるか、一方を動作させることによりヘ
ッド支持機構をねじる。ヘッド素子をねじりの中心軸を
通り、ねじりの中心軸とアクチュエ−タの作用点とを結
ぶ線上付近に配し、アクチュエ−タとねじりの中心軸と
の距離をねじりの中心軸とヘッド素子との距離より大き
くする。

【００１１】組み立てによる構造の作製が困難になって
くるという問題点については、ヘッド支持機構作製時に
素子を微小に位置決めする手段を一括して作成する。具
体的には、前述のヘッド支持機構をねじるアクチュエ−
タを平行平板型の静電アクチュエ−タや水熱加法による
バイモルフ型アクチュエ−タなど、バッチプロセスによ
り一括して作製可能なアクチュエ−タとする。ヘッド支
持機構を半導体製造技術に立脚したマイクロマシ−ニン
グなどによるバッチプロセスで作製し、その際アクチュ
エ−タも一括で作製する。

【００１２】アクチュエ−タサイズが大きくなるという
問題点については、前記２つの問題点の解決手段に記述
のようにヘッド支持機構の構造部をそのまま駆動源の一
部として用いると同時に、ヘッド支持機構のねじり動作
をヘッド素子の変位に変換する。

【００１３】磁気ディスクの表面粗さを小さくすること
により磁気ディスクとスライダとが吸着または粘着を発
生し、磁気ディスク回転開始時のトルクが大きくなると
いう問題点については、磁気ディスクの回転開始直前
に、ヘッド支持機構を繰り返しねじり、スライダを磁気
ディスクから引き剥がす。

【００１４】ヘッド素子をねじりの中心軸を通り、ねじ
りの中心軸とアクチュエ−タの作用点とを結ぶ線上付近
に配し、アクチュエ−タとねじりの中心軸との距離がね
じりの中心軸とヘッド素子との距離より大きいので、ヘ
ッド素子をアクチュエ−タの動作精度より高い精度で動
作させることができる。さらに、このアクチェ−タを光
ディスク装置のような２段アクチュエ−タの微動アクチ
ュエ−タに用いることにより、高い記録密度をもつ磁気
ディスク装置を実現できる。

【００１５】また、ヘッド支持機構を従来の複数の部品
を組立てることにより作製するのではなく、半導体製造
技術に立脚したマイクロマシ−ニングなどによるバッチ
プロセスで一括して作製するので、アクチュエ−タがヘ
ッド支持機構に付帯し構造が複雑になっても容易にヘッ
ド支持機構を実現できる。また、同様にヘッド支持機構
が小形化されても、容易に作製できる。

【００１６】さらに、上記により実現されるヘッド支持
機構は、その構造故、本来のサイズを越えることはな
い。

【００１７】加えて、上記により実現されるヘッド支持
機構を磁気ディスクの回転開始直前に繰り返しねじり、
スライダを磁気ディスクから引き剥がすことにより、粘
着や吸着が解除され、スライダと磁気ディスク間の摩擦
係数が小さくなり、磁気ディスクの回転開始時のトルク
も小さくなる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を用い
て説明する。

【００１９】図１は本発明の一実施例を示したヘッド支
持機構の斜視図であり、図２は図１をＡ方向から見た動
作説明図である。ヘッド支持機構はヘッド素子１を搭載
し回転または走行する記録媒体上を飛行または滑走する
スライダ２とそれを支持するサスペンション３およびヘ
ッド素子１と情報記録装置の記録再生回路を電気的に接
合する信号系（図示なし)により構成され、その一部ま
たは全体が一体で形成される。信号系はリ-ド線やサス
ペンション３上に直接または間接的に配されたプリント
回路により構成される。サスペンション３は、スライダ
２が記録媒体上の垂直方向（図中の上下方向）の変動に
追従できかつ記録媒体上の水平方向（図中の左右方向）
に精密に位置決めできるよう剛性のバランスをとってス
ライダ２を保持するジンバル部４（図中斜線範囲）、こ
のジンバル部４を介しスライダ２に図中下方向に加重を
与えるロ−ドア−ム部５、ロ−ドア−ム部５を情報記録
装置の粗動アクチュエ−タに結合するマウント部６より
構成され、これらの部位が一体または個別に形成されて
いる。ロ−ドア−ム部５の両脇には先端が図中の上下方
向に動作するバイモルフ型の圧電アクチュエ−タ７が配
されている。

【００２０】ロ−ドア−ム部５の両脇の圧電アクチュエ
−タ７は差動するように制御する。すなわち、図中左側
の圧電アクチュエ−タ７ａの先端が図中下方向に動くと
同時に、図中右側の圧電アクチュエ−タ７ｂの先端が図
中上方向に動くというようにサスペンション３の両端に
配された圧電アクチュエ−タ７ａ，７ｂが別個に動作す
る。すると、圧電アクチュエ−タ７の先端部８は右上上
がりに傾く。圧電アクチュエ−タ７の先端部８とジンバ
ル部４の保持部９に段差を設けておくと、ジンバル部４
の保持部９は圧電アクチュエ−タ７の先端部８と平行に
右上上がりに傾くと同時に右側に移動し、それに連なり
ジンバル部４、スライダ２、ヘッド素子１も右側に移動
する。ジンバル部４のロ−ル方向１７の剛性はスライダ
２と媒体間の媒体面に垂直方向の空気膜剛性に比べ、通
常１／１０００から１／２０００と十分柔らかくしてい
るため、ジンバル部４の保持部９が傾いてもスライダ取
付け面１０は傾かず、スライダ２の姿勢にほとんど影響
しない。以下に実施例を定量的に示す。左側の圧電アク
チュエ−タ７ａの先端と右側の圧電アクチュエ−タ７ｂ
の先端間の距離を２ｍｍ、圧電アクチュエ−タ７の先端
部８とジンバル部４の保持部９の段差を０．２ｍｍとし
たとき、圧電アクチュエ−タ７の先端が±５μｍ動作す
るとき、圧電アクチュエ−タ７の先端部８およびジンバ
ル部４の保持部９は±０．２９度傾き、それに連なりジ
ンバル部４、スライダ２、ヘッド素子１は図中の水平方
向に±１μｍ動く。スライダ２の傾きは、ジンバル部４
のロ−ル方向１７の剛性とスライダ２と媒体間の媒体面
に垂直方向の空気膜剛性の比が１／１５００の場合、±
２．９／１５０００度であり、スライダ２の幅が１ｍｍ
のピコスライダの場合、スライダ２の端での浮上量の変
化はわずか、１．７ｎｍである。また、素子１が搭載さ
れているスライダ２の中央部の浮上量変化は１ｎｍ以下
である。なお、この場合のヘッド素子１の移動距離１１
は圧電アクチュエ−タ７の動作距離の１／５であり、精
度は５倍である。

【００２１】サスペンション３の製造方法の一例を図面
を用いて説明する。図３は図１のＢ−Ｂ断面図のプロセ
スチャ−トである。以下、順を追って説明する。母材１
２を成形する（図３（ａ））。母材１２の材料がシリコ
ンの場合はウェットまたはドライエッチングで、材料が
ステレンレス材の場合はエッチングまたはレ−ザ−加工
またはプレスにより外形をくり抜いた後プレス成形す
る。次に母材１２に絶縁膜１３を形成する（図３
（ｂ））。母材１２の材料がシリコンの場合は熱酸化、
または窒化シリコン、酸化シリコンをたい積する。母材
１２の材料がステンレス材の場合はポリイミドを塗布
し、焼固める。ＴｉスパッタによりＴｉ膜１４を形成す
る（図３（ｃ））。シャドウマスク法またはリフトオフ
法により、チタン酸ジルコン酸鉛を、成長させたい領域
にだけＴｉ膜１４をつける。さらにこの上に水熱加法に
よりチタン酸ジルコン酸鉛膜１５を成長させる（図３
（ｄ））。水熱加法によるチタン酸ジルコン酸鉛膜１５
を成長させる方法は、例えば、ＦＣ Ｒｅｐｏｒｔ １
３（１９９５）Ｎｏ８の２１４頁図１に記載されてい
る。めっきなどにより、配線１６を形成する（図３
（ｅ））。以上でサスペンション３が完成する。

【００２２】以上で説明した微動アクチュエ−タ付きヘ
ッド支持機構２１を磁気ディスク装置に搭載した例を、
図面を用いて説明する。図４は微動アクチュエ−タ付き
ヘッド支持機構２１を用いた磁気ディスク装置の機構部
のエンクロ−ジャ２２内部を示した斜視図である。ヘッ
ド素子１は微動アクチュエ−タ付きヘッド支持機構２１
および粗動アクチュエ−タ２３により情報記録媒体２４
上の任意の位置に位置決めされる。粗動アクチュエ−タ
２３は、一般の磁気ディスク装置に多用されているボイ
ス・コイル・モ−タ２５により駆動される。微動アクチ
ュエ−タ付きヘッド支持機構２１の微動アクチュエ−タ
および粗動アクチュエ−タ２３の制御は、例えば光ディ
スク装置の２段サ−ボ方式と同様に行えばよい。

【００２３】以上の通り本実施例では、２段サ−ボ用の
アクチュエ−タを構成でき、情報記録装置のヘッド素子
１の位置決め精度を高精度にでき、情報記録装置の記録
密度を向上できるという効果がある。本実施例において
はさらに、ヘッド素子１の水平方向の変位は圧電アクチ
ュエ−タ７の上方向の変位が５分の１に縮小されている
ので、圧電アクチュエ−タ７の５倍の精度でヘッド素子
１の位置決めが可能であり、公知例に比べて高い位置決
め精度が実現でき、情報記録装置の記録密度を大幅に向
上できるという効果がある。また、サスペンション３を
バッチプロセスにより一括して生産できるので、安価な
ヘッド支持機構を実現できるという効果もある。

【００２４】以上、磁気ディスク装置について記載した
が、ＳＮＯＭやＡＦＭ（原子間力顕微鏡）をエンハンス
した形態の情報記録装置についても本実施例と同様の構
造をとることにより、２段サ−ボ用アクチュエ−タを構
成でき、本実施例と同様な効果を得ることができる。

【００２５】以上においては本実施例におけるヘッド素
子１の位置決めについて説明を行ったが、次に記録媒体
２４の回転開始時における、記録媒体２４とスライダ２
との粘着解除について説明をする。図４の磁気ディスク
装置において、記録媒体２４が回転しないときスライダ
２は記録媒体２４に接触している。そのため、ある程度
長時間わたって、記録媒体２４を停止しておくと、記録
媒体２４とスライダ２が粘着又は吸着を起こす。粘着又
は吸着が発生した状態で記録媒体２４を回転させようと
すると多大なトルクが必要となり、記録媒体２４を電磁
モ−タ回転させる場合には多大な電力が必要となる。ま
た、電力が不足した場合には記録媒体２４が回転しない
こともありうる。このような問題点を解決するため、記
録媒体２４の回転開始直前にサスペンション３を前述の
駆動原理で繰り返しねじる。サスペンション３をねじる
ことにより、図１に示すようにスライダ２にロ−ル方向
１７の力が加わり、記録媒体２４からわずか剥がれよう
とする。その動作を繰り返し行う事によりスライダ２は
記録媒体２４から剥がれる。いったんスライダ２と記録
媒体２４を剥がすと、両者の間の摩擦係数は小さくなる
ので、記録媒体２４を回転させるときに必要なトルクが
小さくなる。サスペンション３のねじりの繰り返しの周
波数はサスペンション３のねじの固有振動数と一致させ
ると、圧電アクチュエ−タ７の入力電圧に対するスライ
ダ２を記録媒体２４から引き剥がす力の比を大きくする
ことができる。

【００２６】

【発明の効果】本発明のヘッド支持機構によると、圧電
アクチュエ−タ７の精度より高い精度でヘッド素子１の
位置決めが可能であり、ヘッド素子の位置決め精度を十
分に出せる。そこで、従来の２段アクチュエ−タの微動
アクチュエ−タより高い精度でヘッド素子１の位置決め
を行うことが可能である。

【００２７】本発明の情報記録装置によると、情報記録
装置のトラック幅方向の記録密度を向上できる。また、
高記録密度の情報記録装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示したヘッド支持機構の斜
視図である。

【図２】図１をＡ方向から見た動作説明図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ断面図のプロセスチャ−トであ
る。

【図４】本発明におけるヘッド支持機構を用いた磁気デ
ィスク装置の斜視図である。

【図５】従来例であるヘッド支持機構を示す図である。

【符号の説明】

１…ヘッド素子 ２…スライダ ３、３１…サスペンション ４…ジンバル部 ５…ロ−ドア−ム部 ６、６１…マウント部 ７…圧電アクチュエ−タ ８…圧電アクチュエ−タの先端部 ９…ジンバル部の保持部 １０…スライダ取付け面 １１…ヘッド素子の移動距離 １２…母材 １３…絶縁膜 １４…Ｔｉ膜 １５…ＰＺＴ膜 １６…配線 １７…ロ−ル方向 ２２…エンクロ−ジャ ２３…微動アクチュエ−タ ２４…記録媒体 ２５…ボイス・コイル・モ−タ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 健次 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ディスク状記録媒体と該記録媒体の記録ト
   ラックに対向して配置される記録／再生用ヘッドを具備
   する情報記録装置において、記録／再生用ヘッドを保持
   し記録媒体上を滑走または飛行するスライダと、該スラ
   イダと当該装置のアクチュエ−タを接合するヘッド支持
   機構と、前記スライダとヘッド支持機構のアクチュエ−
   タとの接合部とを結ぶ直線を含む平面内の一直線を軸に
   該ヘッド支持機構の一部または全体をねじる手段と、該
   ヘッド支持機構のねじり運動により記録／再生用ヘッド
   のトラック幅方向の微小な位置決めを行う位置決め手段
   を有することを特徴とする情報記録装置。
2. 【請求項２】ヘッド支持機構をねじる手段の変位を縮小
   し記録／再生用ヘッドのトラック幅方向の微小な変位を
   発生することを特徴とする請求項１記載のヘッド支持機
   構。
3. 【請求項３】前記位置決め機構と１本または複数本のヘ
   ッド支持機構を搭載する装置の主アクチュエ−タの位置
   決め機構とにより２段アクチュエ−タを構成したことを
   特徴とする請求項１または２記載の情報記録装置。
4. 【請求項４】記録／再生用ヘッドを搭載し記録媒体上を
   滑走または飛行するスライダを保持するヘッド支持機構
   において、ヘッド支持機構にスライダ浮上面に対して上
   下方向に変位を発生させるアクチュエ−タをヘッド支持
   機構の両側端に配し、一方のアクチュエ−タを動作させ
   るまたは両方のアクチュエ−タを差動させることによ
   り、ヘッド支持機構のアクチュエ−タの先端に設けられ
   た部位をスライダとヘッド支持機構のアクチュエ−タと
   の接合部とを結ぶ直線を含む平面内の一直線を軸にねじ
   ることを特徴とするヘッド支持機構。
5. 【請求項５】前記アクチュエ−タを動作させるまたは両
   方のアクチュエ−タを差動させることにより、ヘッド支
   持機構をねじる変位を縮小し記録／再生用ヘッドのトラ
   ック幅方向の微小な変位を発生することを特徴とする請
   求項４記載のヘッド支持機構。
6. 【請求項６】記録／再生用ヘッドを搭載し記録媒体上を
   滑走または飛行するスライダを保持するヘッド支持機構
   において、ヘッド支持機構に記録媒体面に垂直な変位を
   発生させる手段と、記録媒体面に垂直な変位を記録媒体
   面に水平な変位に変換する手段とを有し、記録媒体面に
   水平な変位により記録／再生用ヘッドのトラック幅方向
   の位置決めを行うことを特徴とするヘッド支持機構。
7. 【請求項７】ヘッド支持機構に記録媒体面に垂直な変位
   を発生する手段と、記録媒体面に垂直な変位を記録媒体
   面に水平な変位に変換する手段を有し、記録媒体面に水
   平な変位により記録／再生用ヘッドのトラック幅方向の
   位置決めを行うヘッド支持機構において、記録媒体面に
   垂直な変位が記録媒体面に水平な変位に変換される際縮
   小され、変位発生手段の精度よりトラック幅方向の位置
   決めを高くしたことを特徴とする請求項６記載のヘッド
   支持機構。
8. 【請求項８】ディスク状記録媒体と該記録媒体の記録ト
   ラックに対向して配置される記録／再生用ヘッドを具備
   する情報記録装置において、請求項４乃至７記載のヘッ
   ド支持機構を用い、記録／再生用ヘッドのトラック幅方
   向の微小な位置決めを行うことを特徴とする情報記録装
   置。
9. 【請求項９】ディスク状記録媒体と該記録媒体の記録ト
   ラックに対向して配置される記録／再生用ヘッドを具備
   し、装置の停止時に該記録媒体と該ヘッドが接触した状
   態である情報記録装置において、請求項４乃至７記載の
   ヘッド支持機構を用い、該装置の該記録媒体回転開始直
   前に、該ヘッド支持機構を繰り返しねじり、該ヘッドと
   該記録媒体の吸着又は粘着を解除することを特徴とした
   情報記録装置。
10. 【請求項１０】ヘッド支持機構の繰り返しねじる周波数
    を、該ヘッド支持機構のねじりの固有振動数と略一致さ
    せたことを特徴とする請求項９記載の情報記録装置。