JPH09258043A - ポリイミド光学導波管構造体 - Google Patents

ポリイミド光学導波管構造体

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JPH09258043A
JPH09258043A JP8333681A JP33368196A JPH09258043A JP H09258043 A JPH09258043 A JP H09258043A JP 8333681 A JP8333681 A JP 8333681A JP 33368196 A JP33368196 A JP 33368196A JP H09258043 A JPH09258043 A JP H09258043A
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polyimide
core
clad
mol
bis
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Douglas E Fjare
ダグラス・イー・フジャー
David A Wargowski
デービッド・エイ・ワーゴースキー
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BP Corp North America Inc
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【解決手段】 コア及びクラッドのうち少なくとも一つ
が６ＦＤＡ含有ポリイミドであり、導波路構造体の相補
部分がコア又はクラッド組成の６ＦＤＡをＢＰＤＡで部
分置換したポリイミドであり、コア及びクラッドの複屈
折率の差が屈折率の差より小さいポリイミド光導波路構
造体であり、また、６ＦＤＡ及びＢＰＤＡ部分と少なく
とも一つのジアミンとを含むコポリイミド。有用なコポ
リイミドコア／クラッド導波路構造体を形成するために
６ＦＤＡ／ＢＰＤＡ比を制御することにより屈折率を調
整する。 【効果】低光学損失、低吸光度、高熱安定性溶媒耐性を
有し、さらに屈折率、複屈折率が調整制御可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】発明の分野 本発明は光学導波管構造体に有用なポリイミドに関す
る。詳細には本発明は、コア／クラッド対が低い光学損
失、低い吸光度、および高い熱安定性のほかに、調節可
能な屈折率および制御された複屈折をもつポリイミド光
学導波管、ならびにコア／クラッド対として有用なポリ
イミドおよびポリイミドコポリマー組成物を選択および
製造する方法に関する。
【０００２】発明の背景 電気信号を用いて得られるデータ速度は、信号路が長く
なり、またデータ伝送速度が大きくなるほど達成が困難
になる。１つの解決策は、信号の伝達を電子の伝達から
光子の伝達に変換することであり、これによって高速か
つ高いデータ速度の処理信号（数百メガヘルツないしギ
ガヘルツの周波数）をエレクトロニクスにより達成でき
る長距離にわたって運搬できる。これらの接続はチップ
−チップ、モジュール−モジュール、ボード−ボード、
バックプレーン（ｂａｃｋｐｌａｎｅ）の一部、または
ボックス−ボックスのいずれであってもよい。さらに、
信号の統合性を維持するためにも電子より光子の使用が
望ましい。
【０００３】光学データ伝達は、クラッド材料に埋封し
た光搬送コア材料を備えた光学導波管により達成でき
る。光信号は全内部反射によりコア材料を通って伝送さ
れる。光学導波管はプリント配線板レベルでクロックの
分布およびシングルチップパッケージの接続のために用
いられる。光学導波管はバックプレーン、ボードおよび
ＭＣＭレベルでクロックおよび信号の分布を達成するた
めに使用できる。光学導波管はシリコンその他の基板上
でチップ−チップ接続を達成するためにも使用できる。
【０００４】導波管構成部品の他の用途は、より大型の
システムに特殊な機能を付与することである。結合器、
スプリッター、コンバイナーなどのデバイスは一般にフ
ァイバーオプティクス工業全般に用いられる。
【０００５】有用な光学導波管は、低い光伝送損失、低
い吸光度、ならびに制御された屈折率および複屈折をも
たなければならない。
【０００６】有用な光学導波管構造体は、光搬送コア材
料およびクラッドからなる。導波管構造体に対する要件
の１つは、クラッド材料の屈折率がコア材料の屈折率よ
り小さいことである。受動導波管のためにはクラッドは
空気であってもよいが、コア材料がいかなる導電（金属
化）層からも隔離されるように、ポリマークラッドの方
が一般に好ましい。ポリマー製のコアおよびクラッド層
を用いると、コア材料とクラッド材料の間で特定の屈折
率比が得られるように屈折率を調整できる。
【０００７】プレーナ導波管はコアおよびクラッドの両
方につき２つのモード（ＴＥおよびＴＭ）をもち、両モ
ードともコアの屈折率の方がクラッドの屈折率より大き
い。平坦な表面にコーティングされた導波管はすべてＴ
ＥおよびＴＭモードをもつであろう。ＴＭモード（ｎi
とも呼ばれる）は平坦な表面に対して垂直であり、ＴＥ
モード（ｎiiとも呼ばれる）は平坦な表面に対して平行
である。導波管により搬送された光波はＴＥおよびＴＭ
モードで偏光した、すなわち基板表面に対して垂直およ
び平行に偏光した２成分で表示できる。コアの屈折率の
方がクラッドの屈折率より大きい場合（そのモード内
で）、光波は１モード内に限定される。“限定される”
とは光が導波管から逃散しないことを意味し、“限定さ
れない”とは光が分散することを意味する。
【０００８】複屈折はプレーナ導波管に存在する２種の
偏光ＴＥおよびＴＭについての屈折率の差の尺度であ
る。複屈折は多数の原因により生じる可能性があり、そ
れらのうちの多くは導波管に用いられるポリマーの化学
構造に関係すると思われる。複屈折の２つの一般的原因
はポリマーの配向、および導波管を形成する過程で誘発
されるひずみである。一般に、大きな複屈折は２偏光を
異なる特性のものにするので、導波管の性能にとって有
害である。複屈折によって最も大きく影響される特性は
モードサイズおよび伝播速度である。モードサイズの相
異は、ファイバー（円形モードをもつ）への導波管の結
合効率を低下させる。伝播速度の相異は分散をもたら
し、データがそのデバイスによって効果的に伝送される
速度に対して上限を設定する。複屈折は連続目盛りで測
定され、０．０が理想的である。約−０．０５〜約＋
０．０５の数値は導波管として用いるための許容できる
ポリイミドを提供し、−０．０２５〜約＋０．０２５の
複屈折が好ましい。
【０００９】プレーナ導波管のコア材およびクラッド材
の両方の複屈折をできるだけ小さくすることが望ましい
けれども、コアとクラッドとの複屈折の差をできるだけ
小さくすることも、同様に望ましい。以下の考察は、コ
ア材とクラッド材との複屈折の差がどのように導波管の
性能に影響を及ぼすかを説明する。ＴＥまたはＴＭモー
ドのいずれかにおいて、コアの屈折率がクラッドの屈折
率よりも大きい場合には、そのモードは常に閉じ込めら
れて、導波がそのモードに存在する。ＴＥおよびＴＭモ
ードの両方を同様に閉じ込めるか、または等しく複屈折
させることが望ましい。しかし、複屈折の状況には、い
くつかのコア／クラッドの屈折率の関係が存在する。Ｔ
Ｅが閉じ込められる場合、すなわちＴＥモードにおい
て、コアの屈折率がクラッドの屈折率よりも大きい場合
を考えて見よう。ＴＥとＴＭとの屈折率の差が等しい場
合には、導波管モードは、一次まで、ＴＥおよびＴＭモ
ードのいずれにおいても同じである。これは、コア材と
クラッド材との複屈折の差がゼロとなるもっとも好まし
い場合を示す。ＴＭの屈折率の差がＴＥの場合よりも大
きくかつＴＭのコアの屈折率がクラッドの屈折率よりも
大きい場合には、ＴＭモードの場合よりも小さなモード
の直径をもたらすＴＥモードよりもＴＭモードの方がす
き間なく閉じこめられる。ＴＭの屈折率の差がＴＥの場
合よりも小さくかつＴＭのコアの屈折率がクラッドの屈
折率よりも大きい場合には、ＴＭモードの場合より大き
なモードの直径をもたらすＴＥモードほどにはＴＭモー
ドは閉じ込められない。ＴＭのコアの屈折率がＴＭのク
ラッドの屈折率よりも小さい場合には、ＴＭモードは全
く閉じ込められず、かなりの量の光学出力が導波管から
放散されることがある。したがって、コアおよびクラッ
ドの屈折率と複屈折との両方を制御する能力はプレーナ
光学導波管においてはとくに重要である。前記考察にお
いてＴＥとＴＭとを置き換える場合、すなわちＴＭモー
ドを閉じ込めてＴＥの屈折率を考える場合にも同じ関係
があてはまる。
【００１０】光学ファイバ−・プレーナ導波管結合用途
の場合には、プレーナ導波管のコア材およびクラッド材
の屈折率と複屈折とが制御可能であること、ならびにプ
レーナ導波管をファイバ−に接続するか、または散乱に
よって引き起される損失を減少させるようにコアとクラ
ッドとの複屈折を正確に一致させることが重要である。
【００１１】光学導波管における望ましい特性はすぐれ
た熱安定性であって、これは導波管が製造時に用いられ
る電子的パッケージングおよびアセンブリプロセスに耐
えるために必要である。光学マルチチップモジュール
は、ダイアタッチ、金属化やワイヤボンディングのよう
な半導体アセンブリプロセスに耐えなければならないで
あろう。印刷回路板はリフローソルダリングや再加工に
耐えなければならないであろう。光学カプラーはファイ
バーアタッチやアセンブリ操作に耐えなければならない
であろう。
【００１２】光学導波管のコアまたはクラッドを平滑な
側壁を有するチャネルやリッジ内に湿式エッチングする
能力も、ポリイミド層を他の層でオーバーコートして、
最初の層がオーバーコート層に用いられる溶剤によって
冒されずに多層構造物を形成する能力と同様に、光学導
波管の望ましい性質である。
【００１３】ポリイミドがエレクトロニクスや半導体の
用途に必要とされる熱安定性を有することは公知である
が、多くの半導体グレードのポリイミドは近赤外可視領
域において高吸光度を示す。典型的な商用のレーザーや
光源は近赤外可視領域(350nmないし2,000nm）で放射を
行うので、この領域に高吸光度を有するポリマーは光学
導波管として用いるには概して望ましくない。
【００１４】米国特許第5,304,626号は、すぐれた耐溶
剤性を有する。６ＦＤＡおよびＡＰＢＰ、ＣＯＤＡ、Ｏ
ＤＡ、ＢＤＡＦ、ＢＡＡＦならびにＦＡＰＢを混合した
ものを含めたＢＰＤＡのコポリイミドを開示している。
具体的に例示されている唯一のジアミンはＡＰＢＰおよ
びＣＯＤＡである。この参考資料は、そのコポリマーの
光学導波材料としての使用を示唆してもいないし、また
該ポリイミドの光学的性質を開示してもいない。
【００１５】米国特許第 5,317,082号は、６ＦＤＡ／Ｂ
ＴＤＡ酸二無水物成分、アミンに対してオルト位に大き
なメチル基を有する芳香族ジアミン成分、および複屈折
を減らすためのフッ素化コジアミン成分を有する光を限
定しうる（photodefinable）感光性コポリイミドおよび
その導波管構造物を開示している。そのコポリマー構造
物中には前記コジアミンが含まれているので、多くの用
途に対して、これらポリマーをコア／クラッド対として
は不適当なものにする屈折率の変化よりは、複屈折の変
化の方が大きい。さらに、感光性コポリイミドは比較的
大きな複屈折を有し、そのため該ポリイミドは本発明の
ポリイミドよりも光学導波管用としては、不適当にな
る。
【００１６】米国特許第 5,108,201号は、２,２’−ビ
ス（トリフルオロメチル)−４,４’−ジアミノビフェニ
ル（ＴＦＭＢ）を含むポリイミドおよびコポリイミドな
らびに制御可能なコア／クラッド屈折率比を有する光学
導波管としての使用を開示している。６ＦＤＡ／ＰＭＤ
Ａ／ＴＦＭＢコポリマーを用いて、屈折率を１.５５ない
し１.６５に制御することを実証する実施例が示されて
いる。しかし、６ＦＤＡ／ＢＰＤＡ／ＴＦＭＢポリイミ
ドの具体的な例はなく、またコア／クラッド対の複屈折
を一致させることまたは適当なコポリマー組成物を選ぶ
ことによって、どのようにそれが得られるであろうかに
ついては考察されていない。
【００１７】米国特許第 5,344,916号は、液晶ディスプ
レーに使用する負の複屈折を有するポリイミドおよびコ
ポリイミドフィルムならびに負の複屈折を制御する方法
を開示している。ＢＰＤＡ／ＰＭＤＡ／ＴＦＭＢコポリ
マーを用いて、ポリマーの酸二無水物組成物を変えるこ
とによる負の複屈折を変化させる能力を例示している。
酸二無水物成分中のＰＭＤＡの量が増すと、負の複屈折
が大きくなる。しかし、複屈折の変化は屈折率の変化よ
りも大きく、プレーナ光学導波管のコア／クラッド用と
しては望ましくないと思われる。これらポリマーの光学
導波管としての使用に関する示唆はない。
【００１８】A.J．Beuhlerらの「Fabrication of Low L
oss Polyimide Optical WaveguidesUsing Thin-Film Mu
ltichip Module Process Technology」、IEEE Transactio
nsonComponents、Packaging、and Manufactuing Techno
logy--Part B、Vol.18、No.２、May 1995 は、低濃度の
光増感剤およびアルキル化光架橋基をポリマー主鎖中に
共重合させることにより光結像可能となった６ＦＤＡお
よびＢＡＡＦの感光性ポリイミドを用いる低損失導波管
の湿式化学的パターン化加工法を開示している。ポリイ
ミド中の脂肪族水素原子をフッ素原子と置き換えて、反
応混合物中のメチル化ジアミン対フルオロメチル化ジア
ミンの比を変えることによって、コア／クラッド対用の
ポリイミドの屈折率を変えることができる。
【００１９】T.C．Kowalczykらの「Loss Mechanisms in
Polyimide Waveguides」、J. Appl.Phys．76（4）: 25
05（15 August 1994）は、６ＦＤＡ／ＡＰＢＰ、６ＦＤ
Ａ／ＢＤＡＦ、および６ＦＤＡ／ＢＡＡＦ／Ｒ（Ｒ＝ア
ルキル化光架橋基）のポリイミドの硬化サイクルおよび
構造の関数としての薄膜ポリイミドにおける導波管損失
を開示している。フッ素化を増しても複屈折に対して予
想通りの効果は得られなかった。Ｒ基を有しないポリイ
ミドの場合には、フッ素化を増すと屈折率のみならず複
屈折も減少すると報じられたが、６ＦＤＡ／ＢＤＡＦ／
Ｒポリイミドは非アルキル化ポリイミドよりも屈折率は
小さいが複屈折は大きかった。
【００２０】A.J．Beuhlerらの「Optical Polyimide fo
r Single Mode Waveguides」、SPIE、Vol．1849、Optoe
lectronic Interconnects、pp.92-103（1993）は受動導
波管や電気光学装置に用いられる可能性があるフッ素化
ポリイミド系の合成および光学特性を開示し、また光学
的性能の必要性から見て屈折率、複屈折および近赤外吸
光度のような光学的特性に対するフッ素化の影響を再検
討している。適当なコア／クラッド差を得るためにパラ
メータおよび屈折率を調整する綜合的方法が検討されて
いる。開示されているポリイミドはＢＰＤＡ／ｐＰＤ
Ａ；ＢＰＤＡ／ＡＰＢＰ、ＢＰＤＡ／ＦＡＰＢ；６ＦＤ
Ａ／ＡＰＢＰ；および６ＦＤＡ／ＢＤＡＦである。この
フッ素化ポリイミドは耐溶剤性が悪く、加工しにくいと
いう欠点がある。耐溶剤性を高め、フッ素化ポリイミド
にパターン化能力（patternability)を導入させるため
に、光化学架橋を採用した。前書きの第３節には、ビフ
ェニル酸二無水物を原料とするような硬質ロッドポリイ
ミドは異方性であり、かつ分子内電荷移動錯体により甚
しく着色する傾向があること、およびこれらの性質は実
質的な光学的吸収および散乱損失をもたらすことが述べ
られている。
【００２１】T.C．Kowakczykらの「Guest-Host Crossli
nked Polyimides」、J.Appl．Phys．78（10）：5876（1
5 November 1955）は、ＤＡＤＣまたはＤＣＭをドーピ
ングした６ＦＤＡ／ＢＡＡＦ／Ｒコアとのクラッドとし
て６ＦＤＡ／ＢＡＡＦ／Ｒを用いる導波管を開示し、ま
たＮＬＯドーパントを含有させることによってコア材の
屈折率がどのように高められるかについて述べている。
このドーパントは散乱部位および吸収テイルの形を取っ
た損失を生じることがある。
【００２２】ほそかわ T.C．Kowaiczyk らの「Guest-H
ost Crosslinked Polyimides forintcgrated Optic
s」、ACS Symp. ser.（1996）、601（Polymers Second-
Order Non-Linear Optics）p．381−400は、ＥＦＤＡ／
ＢＡＡＦ／Ｒを含む多層フィルムに関するポーリング問
題（poling issue）を報じ、また発色団中の長い吸収テ
イルによる光学損失増大の問題を指摘している。
【００２３】Beuhler らの「Optical Waveguides from
Photosensitive Polyimides」、Extended Abstracts、5
th International Conference Polyimides、Nov．2-4、
1994をも参照されたい。
【００２４】Meinhardtらの「Characterization of Ther
mally Stable Dye-Dopid PolyimideBased Electrooptic
Materials」、Mater、Res．Soc．Symp．Proc.（1994）
328（Electrical，Optical and Magnetic Propertics o
f Organic Solid Statc Materials)、p 467-475。６Ｆ
ＤＡ／ＢＡＡＦ／Ｒおよび６ＦＤＡ／ＴＦＭＢ／Ｒ（式
中、Ｒは構造が開示されていないアルキル化芳香族架橋
種である）にオキサゾール類をドーピングして、その吸
収損失を測定した。オキサゾールをドーピングしたある
種のポリイミドの熱分解はドーピングしなかったポリイ
ミドの場合よりも大きかった。
【００２５】Meinhardtらの「Characterization of Cro
sslinked Electrooptic Polyimides」、Proc、SPIE-1n
t．Soc．Opt．Eng．（1994)、2143（Organic．Metallo-
Organic and Polymeric Materials for Nonlinear Opti
cal Appli-cations)p110−16は、ＤＣＭおよびＤＡＤ
Ｃ、ＤＣＭのビス（カルバゾール）類似体、ならびに２
種のオキサゾール類をドーピングした６ＦＤＡ／ＢＡＡ
Ｆ／Ｒポリイミドの電気光学特性を検討している。これ
ら種々のドーパントによる吸収損失を報じている。
【００２６】P.A．Cahill らの「Polyimide-based Elec
trooptic Materials」、NonlinearOptical Properties
of Organic Materials VI、SPIE Vol.2025、pp.48-55(19
93)。ドーピングした６ＦＤＡ／ＢＡＡＦ／Ｒおよび６
ＦＤＡ／ＴＦＭＢ／Ｒポリイミド（Ｒ＝アルキル化光架
橋基）の、該ポリイミドの比誘導体、屈折率および熱膨
張係数に体する影響が示されている。ドーパントとして
アゾール染料が用いられた。
【００２７】Beuhler らの「Polyimide Optical Wavegu
ides」、Organic Thin Films ForPhotonic Application
s、1993 Technical Digest Series、Vol．7、p．254-25
7。この論文はポリイミドからプレーナ導波管をつくる
ことに興味を示し、光学的損失の少ない芳香族ポリイミ
ド組成物はほとんど６ＦＤＡを原料とするものであるこ
とを指摘している。該論文は、また、ビフェニル酸二無
水物を原料とするポリイミドのような硬質ロッド・ポリ
イミドが、低熱膨張や高ガラス転移点のような、該ポリ
イミドを半導体コーティング用として好ましいものにす
る顕著な熱機械特性を示すこと、しかし該硬質ロッドポ
リイミドの多くは極めて異方性であり、また電子の豊富
なジアミンと実質的な光学的損失をもたらす電子が不足
する酸二無水物とから生じる分子内電荷移動錯体によっ
て本質的に着色するという欠点があることを述べてい
る。複屈折に対するポリイミド構造の影響は図１のＢＰ
ＤＡ／ｐＰＤＡ；ＢＰＤＡ／ＡＰＢＰ；ＢＰＤＰ／ＦＡ
ＰＢ；６ＦＤＡ／ＡＰＢＰ；ならびに６ＦＤＡ／ＢＤＡ
Ｆおよび６ＦＤＡ／ＢＡＡＦ／Ｒに示してある。該論文
は、第２頁の第２節において、６ＦＤＡ／ＢＤＡＦおよ
び６ＦＤＡ／ＢＡＡＦ／Ｒが近赤外可視部において最高
の透明度を有し、散乱損失が少なければ、最小減衰の導
波管を生成するはずであるが、該ポリイミドは耐溶剤性
が悪くかつ熱機械特性に劣る点で不利な場合があると述
べている。該論文は、このような場合に、熱機械的特性
を向上させるのに硬質モノマーとの共重合を採用しうる
ことを述べている。このことは論文の最後の文章にも繰
返されているが、このようなポリイミドをつくって試験
したという実施例はない。
【００２８】C.Feger らの「Polyimide Waveguiding at
830nm」、Ann．Tech．Soc．Conf．Soc．Plast．Eng．4
9th．p．1594-1597（1991）は、主鎖中に１個または２
個のヘキサフルオロイソプロピリデン基を含有する、Ｐ
ＭＤＡ−６ＦＤＡｍ、ＢＴＤＡ−６ＦＤＡｍ、およびＢ
ＰＤＡ−６ＦＤＡｍ（６ＦＤＡｍは本明細書でＢＡＡＦ
というジアミンである）を含む若干のポリイミドの導波
特性を述べている。種々の波長および温度における該ポ
リイミドの複屈折によって生じる散乱損失のような光学
的損失の挙動が測定された。
【００２９】NASA Technical Support Package LAR-135
39 ならびに米国特許第4,595,548号および同第4,603,06
1号は、６ＦＤＡ、ＯＤＰＡおよびＢＤＳＤＡ、ならび
にエーテルまたはチオエーテル架橋ジアミンを含む柔軟
な「セパレータ」部分で架橋させた種々の酸二無水物か
ら誘導した透明な芳香族ポリイミドを開示しているが、
ＢＰＤＡや他の未架橋の酸二水物またはジアミンの使用
は開示されていない。該ポリイミドは温度制御装置の裏
面ミラーコーティングとして評価された。
【００３０】Stoakleyらは J．Appl.Polym. Sci、Vol.5
1、1479-83（1994）で、フッ素化酸二無水物およびＢＰ
ＤＡとフッ素化ジアミンとのコポリマーであるＤＡＢＴ
Ｆを航空機母材樹脂として使用するフィルムや複合積層
品として調製したことを述べている。ＢＰＤＡの添加は
ＵＶのカットオフを増し、透過率を僅かに低下させるけ
れども、該コポリマーは溶解度とすぐれた光学的透明性
を低下させたことが認められた。
【００３１】米国特許第 4,952,669号は、ＢＰＤＡ／６
ＦＤＡ／３,４’−６Ｆジアミンを含むジアミン上のア
ミノ基のメタ／パラ位置に決めの結果として、すぐれた
溶解性、底比誘電率、およびすぐれた熱流動性を示す、
２−（３−アミノフェニル）２−（４−アミノフェニ
ル）ヘキサフルオロプロパン（３,４’−６Ｆジアミ
ン）を含むコポリイミドおよびコポリアミド酸を開示し
ている。該参考資料は前記コポリマーの光学的導波材料
としての利用については開示も示唆もしていない。
【００３２】米国特許第 4,978,738号は、ＢＡＡＦジア
ミンと、場合により適当量の６ＦＤＡ を含むＢＰＤ
Ａ、ＯＤＰＡおよびＢＴＤＡ酸二無水物との高分子量
（90,000)を上回る）ポリイミドを開示しているが、導
波材料としての該ポリイミドの使用または導波構造物中
で有用な性質を有するポリマー組成物がどのように選べ
るであろうかについては示唆していない。
【００３３】米国特許第 4,954,609号は、制御可能な分
子量および分子量分布を有するポリアミド酸およびポリ
イミドを生成させ、さらに該ジアミンまたは酸二無水物
の少なくとも１種にフッ素化架橋基を含有させる方法を
開示している。該ポリイミドの導波管として、または導
波管構造物中での考えられる使用についての示唆はな
い。
【００３４】米国特許第 5,025,089号は、ＢＡＡＦおよ
び少なくとも１種の他のジアミンとピロメリット酸二無
水物（ＰＭＤＡ）およびジアリール核を有する少なくと
も１種の他の酸二無水物とのコポリイミドであって、メ
チルエチルケトンやＮメチルピロリドン（ＮＭＰ）のよ
うな有機溶剤に可溶で、すぐれた機械的および電気的特
性を示すコポリイミドを開示している。これらポリイミ
ドを光学導波管として用いるという示唆はない。さら
に、コポリイミド中のＰＭＤＡの使用は複屈折に望まし
くない変化を生じて、該コポリマーを光学導波管構造物
としては不適当なものにする。
【００３５】米国特許第 5,049,649号は、ＢＡＡＦまた
はそのメタ異性体と６ＦＤＡとより本質的になる高分子
量の無色で光学的に透明なフィルムを開示している。導
波管または導波管構造物生成に対する考察も、適当なコ
ポリマーをつくることによる屈折率や複屈折の調整に対
する考察も行われていない。
【００３６】米国特許第 5,089,593号は、４,４’−ビ
ス（４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキ
シビフェニルを含む、超小型電子デバイスに有用なポリ
イミドを開示している。該参考資料はこれらポリイミド
の光学的特性を開示もしなければ、これらポリイミドの
光学導波材料としての使用を示唆していない。
【００３７】米国特許第 5,354,839号は、フッ素化ビス
（３−アミノフェノキシ）アレン部分を含むポリイミド
を開示している。６ＦＤＡ／ＢＰＤＡコポリマーの例は
挙げてあるが、導波材料としての該コポリマーの使用の
示唆もなければ、また該コポリマーが導波材料のコア／
クラッド対の有用成分となるであろうという示唆もな
い。
【００３８】米国特許第 5,326,600号は、置換ジアミノ
ビフェニル部分を含むポリイミドおよび液晶装置におけ
る配向フィルムとしての該ポリイミドの使用を開示して
いる。コポリマーをつくるのが有利であろうという示唆
もなければ、また開示されたポリマーが光学的導波管と
して、または導波材料のコア／クラッド対の一成分とし
て役に立つかもしれないという示唆もない。
【００３９】本発明は、熱的に安定で、光学的損失が少
なく、吸光度の小さいポリイミド導波管を提供する。
【００４０】本発明のポリイミドは、コアおよびクラッ
ドの屈折率と複屈折との両方を制御することができる６
ＦＤＡ／ＤＩＡＭＩＮＥ、ＢＰＤＡ／ＤＩＡＭＩＮＥ、
および６ＦＤＡ／ＢＰＤＡ／ＤＩＡＭＩＮＥポリイミド
光学導波管はコア／クラッドポリマー対を提供する。複
屈折は光学的異方性（すなわち、一方向、たとえば面内
と他方向、たとえば面外では性質が異なる）の尺度であ
る。半導体用に一般に好まれる典型的な硬質ロッドポリ
イミドはコーティングの面内で著しく配向しており、し
たがって複屈折が大きい。複屈折の大きい測定値は大き
な光学的散乱損失および屈折率の非再現性に対応し、光
学導波管としては望ましくない（理想的複屈折は０.
０)。したがって、複屈折が比較的小さく、プレーナ導
波管用として好ましくは複屈折が約０.０２５未満のポ
リイミドを選ぶのが望ましい。
【００４１】また、実質的に複屈折を変えず、また光の
散乱を増すことのない光学信号を含むようにコアとクラ
ッドの屈折率を調整しうることも望ましい。本発明のポ
リイミドの屈折率は、ポリイミド組成物中の６ＦＤＡを
ＢＰＤＡに取り替えることによって調整することができ
る。これによって、所望の導波条件をもたらすようにコ
アとクラッドの屈折率が調整され、またコアとクラッド
の複屈折が制御されるコア−クラッド対が提供される。
【００４２】コアおよびクラッドのポリイミドの複屈折
の変化が、コアおよびクラッドのそれぞれのＴＭ屈折率
の差よりも小さいように、コアおよびクラッド中の６Ｆ
ＤＡをＢＰＤＡに取り替えることによって、６ＦＤＡ／
ＢＰＤＡ／ＤＩＡＭＩＮＥ光学導波管コアまたはクラッ
ドの屈折率および複屈折を制御できようとは驚くべきほ
ど予期されないことである。ＢＰＤＡを含有するポリイ
ミドは一般に複屈折が大きいと考えられている。したが
って、ポリイミド中の６ＦＤＡをＢＰＤＡと取り替える
ことが、導波管の用途にとって望ましくないと思われる
複屈折レベルを生じないことは思いもかけないことであ
る。
【００４３】本発明のＢＰＤＡ含有ポリイミドは、耐溶
剤性があり、かつポリイミドの１層を他層の上にオーバ
ーコートすることによって、ポリイミドまたは他の材料
の１層を上塗りするのに用いる溶剤によって冒されるか
もしれない溶剤感受性ポリイミドに勝る利点を備えてい
る多層構造物に加工することができる。
【００４４】本発明の目的は、物理的および機械的特性
と厳密に一致させた導波管を生成させる材料のコア／ク
ラッド対を提供することにある。典型的な導波管操作条
件は、温度および湿度が広範囲にわたって変動する要求
の厳しい用途において、外界条件から著しく逸脱するこ
とがある。導波管が、種々の操作条件下で、最適の性能
を示すためには、コア材およびクラッド材のガラス転移
点、吸湿性、熱膨張係数、およびモジュラスを厳密に一
致させることが必要である。コポリマーをつくることに
よって屈折率を変えることは公知であるが、物理的およ
び機械的特性を保持した状態ではこのことは実証されて
いない。本発明は、物理的および機械的特性を厳密に一
致させた材料のコア／クラッド対を提供する。
【００４５】
【課題を解決するための手段】本発明は、コアーとクラ
ッドの両方の屈折率と複屈折が制御可能であるような光
学導波管に関する。本発明はさらに、光学損失が低く、
光学吸光度が低く、耐溶剤性が高く、そして熱安定性の
高い光学導波管を提供する。
【００４６】本発明は、（ａ） 式（Ｉ）
【化１３】 で示される反復構造単位を有するポリイミドを含んだ光
伝送用コア； （上記式中、Ｒは約０〜約１００モル％の
【化１４】 および約１００〜約０モル％の
【化１５】 を含む）、および（ｂ） 式（ＩＩ）
【化１６】 で示される反復構造単位を有するポリイミドを含んだク
ラッド； （式中、Ｒ2は約０〜約１００モル％の
【化１７】 および約１００〜約０モル％の
【化１８】 を含む）で構成されるプレーナ光学導波管を提供する。
上記式中、Ｒ1とＲ3は二価の炭化水素基から独立的に選
ばれ；コアーポリイミド（Ｉ）とクラッドポリイミド
（ＩＩ）が異なっていて、コアーポリイミド（Ｉ）とク
ラッドポリイミド（ＩＩ）の少なくとも一方が、少なく
とも約１モル％の３，３’，４，４’−テトラカルボキ
シビフェニル・二無水物部分を含んだコポリマーである
という条件にて、コアーの屈折率のほうがクラッドの屈
折率より大きく、そしてコアーの複屈折とクラッドの複
屈折との差のほうが、コアーのＴＭ屈折率とクラッドの
ＴＭ屈折率との差より小さい。
【００４７】本発明は、（ａ） 式（Ｉ）
【化１９】 で示される反復構造単位を有するポリイミドを含んだ光
伝送用コア； （式中、Ｒは、約０〜約１００モル％の
【化２０】 および約１００〜約０モル％の
【化２１】 を含む）、及び（ｂ） 式（ＩＩ）
【化２２】 で示される反復構造単位を有するポリイミドを含んだク
ラッド； （式中、Ｒ2は約０〜約１００モル％の
【化２３】 および約１００〜約０モル％の
【化２４】 を含む）で構成されるプレーナー光学導波管を含み、こ
のとき、Ｒ1は少なくとも１種の芳香族ジアミンであっ
て、Ｒ3はＲ1と同じでも異なっていてもよい少なくとも
１種の芳香族ジアミンであり；コアーポリイミド（Ｉ）
とクラッドポリイミド（ＩＩ）が異なっていて、コアー
ポリイミド（Ｉ）とクラッドポリイミド（ＩＩ）の少な
くとも一方が、少なくとも約１０モル％の３，３’，
４，４’−テトラカルボキシビフェニル・二無水物部分
を含んだコポリマーであるという条件にて、コアーの屈
折率のほうがクラッドの屈折率より大きく、そしてコア
ーの複屈折とクラッドの複屈折との差のほうが、コアー
のＴＭ屈折率とクラッドのＴＭ屈折率との差より小さ
い。
【００４８】本発明はさらに、コアーポリイミド（Ｉ）
とクラッドポリイミド（ＩＩ）の少なくとも一方が、少
なくとも約２５モル％の３，３’，４，４’−テトラカ
ルボキシビフェニル・二無水物部分を含んだコポリマー
である、という前述のプレーナー光学導波管を含む。
【００４９】本発明はさらに、コアーポリイミド（Ｉ）
とクラッドポリイミド（ＩＩ）の少なくとも一方が、約
１モル％〜約７５モル％の３，３’，４，４’−テトラ
カルボキシビフェニル・二無水物部分を含んだコポリマ
ーである、という前述のプレーナー光学導波管を含む。
【００５０】本発明はさらに、コアーポリイミド（Ｉ）
とクラッドポリイミド（ＩＩ）の少なくとも一方が、約
１０モル％〜約９０モル％の３，３’，４，４’−テト
ラカルボキシビフェニル・二無水物部分を含んだコポリ
マーである、という前述のプレーナー光学導波管を含
む。
【００５１】本発明はさらに、コアーポリイミド（Ｉ）
とクラッドポリイミド（ＩＩ）の少なくとも一方が、約
１０モル％〜約７５モル％の３，３’，４，４’−テト
ラカルボキシビフェニル・二無水物部分を含んだコポリ
マーである、という前述のプレーナー光学導波管を含
む。
【００５２】本発明はさらに、コアーポリイミド（Ｉ）
とクラッドポリイミド（ＩＩ）の少なくとも一方が、約
２５モル％〜約７５モル％の３，３’，４，４’−テト
ラカルボキシビフェニル・二無水物部分を含んだコポリ
マーである、という前述のプレーナー光学導波管を含
む。
【００５３】好ましい実施態様においては、Ｒ1とＲ
3は、４，４’−ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ビフェ
ニル（ＡＰＢＰ）；２，２−ビス（４−アミノフェニ
ル）ヘキサフルオロプロパン（ＢＡＡＦ）；４，４’−
オキシジアニリン（ＯＤＡ）；１，３−ビス（４−アミ
ノフェノキシ）ベンゼン（１，３，４−ＡＰＢ）；２，
２’−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］
ヘキサフルオロプロパン（ＢＤＡＦ）；４，４’−ビス
［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキ
シ］ビフェニル（ＦＡＰＢ）；２，２’−ビス［４−
［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキ
シ］フェニル］ヘキサフルオロプロパン（ＢＩＳＡＦ−
ＯＦＡ）；および２，２’−ビス（トリフルオロメチ
ル）ベンジジン（ＴＦＭＢ）；からなる群から選ばれる
少なくとも１種のジアミンである。
【００５４】本発明はさらに、６ＦＤＡ／ＤＩＡＭＩＮ
Ｅポリイミドまたは６ＦＤＡ／ＢＰＤＡ／ＤＩＡＭＩＮ
Ｅポリイミドを含んだポリイミドコアーまたはポリイミ
ドクラッドにおける屈折率と複屈折を制御する方法を提
供し、このとき前記方法は、コアーポリイミドとクラッ
ドポリイミドの個々の複屈折の変化が、コアーとクラッ
ドの個々のＴＭ屈折率の差より小さくなるよう、コアー
またはクラッドにおいて６ＦＤＡの一部または全部をＢ
ＰＤＡで置き換える工程を含む。
【００５５】本発明は、（ａ） ６ＦＤＡとＢＰＤＡの
少なくとも一方と少なくとも１種の芳香族ジアミンとの
縮合生成物であるポリイミドを含んだポリイミドコア
ー；および（ｂ） ６ＦＤＡとＢＰＤＡの少なくとも一
方と少なくとも１種の芳香族ジアミンとの縮合生成物で
あるポリイミドを含んだポリイミドコアー；で構成され
る光学導波管における屈折率と複屈折を制御する方法を
含み、このときコアーポリイミドとクラッドポリイミド
が異なっていて、コアーポリイミドとクラッドポリイミ
ドの少なくとも一方が少なくとも約１モル％のＢＰＤＡ
を含有し、このとき前記方法は、コアーの屈折率のほう
がクラッドの屈折率より大きくなるよう、またコアーの
複屈折とクラッドの複屈折との差のほうが、コアーのＴ
Ｍ屈折率とクラッドのＴＭ屈折率との差より小さくなる
よう、コアーポリイミドまたはクラッドポリイミド中の
６ＦＤＡを、あるいはコアーポリイミドとクラッドポリ
イミドの両方中の６ＦＤＡを、コアーとクラッドの個々
の屈折率変化および複屈折変化をもたらすのに有効な量
のＢＰＤＡで置き換える工程を含む。
【００５６】本発明はさらに、コアーポリイミド中の芳
香族ジアミンおよびクラッドポリイミド中の芳香族ジア
ミンが、ＡＰＢＰ、ＢＡＡＦ、ＯＤＡ、１，３，４−Ａ
ＰＢ、ＢＤＡＦ、ＦＡＰＢ、Ｂｉｓ−ＡＦ−ＯＦＡ、お
よびＴＦＭＢからなる群から独立的に選ばれる少なくと
も１種のジアミンである、という前述の方法を含む。
【００５７】本発明の光学導波管は、熱安定性が高く、
光学損失が少なく、また光学吸光度が低い。
【００５８】本発明は、式Ｉと式ＩＩのポリイミドに対
するポリアミド酸（ｐｏｌｙａｍｉｃ ａｃｉｄ）前駆
体を含む。
【００５９】本発明は、本発明のポリイミドの塩前駆
体、カルボン酸前駆体、またはエステル前駆体を含む。
本発明はさらに、本発明のポリイミドをそのポリアミド
酸前駆体、塩前駆体、またはエステル前駆体と組み合わ
せて含んだ組成物を含む。
【００６０】本発明はさらに、６ＦＤＡとＢＰＤＡの少
なくとも一方と少なくとも１種の芳香族ジアミンとの縮
合物であるポリイミドを含んだポリイミドコアー、およ
び６ＦＤＡとＢＰＤＡの少なくとも一方と少なくとも１
種の芳香族ジアミンとの縮合物であるポリイミドを含ん
だポリイミドクラッドで構成される光学導波管における
屈折率と複屈折を制御する方法を含み、このとき前記方
法は、コアーの屈折率のほうがクラッドの屈折率より大
きくなるよう、またコアーの複屈折とクラッドの複屈折
との差のほうが、コアーのＴＭ屈折率とクラッドのＴＭ
屈折率との差より小さくなるよう、コアーまたはクラッ
ド中の６ＦＤＡを、あるいはコアーとクラッドの両方中
の６ＦＤＡを、コアーポリイミドとクラッドポリイミド
の個々の屈折率変化および複屈折変化をもたらすのに有
効な量のＢＰＤＡで置き換える工程を含む。
【００６１】必要に応じて、式Ｉにおける二無水物成分
Ｒおよび式ＩＩにおける二無水物成分Ｒ2はそれぞれ、
最大約５０モル％までの追加の二無水物を含むことがで
きるが、好ましいのは最大約２５モル％までである。好
ましい追加二無水物は３，３’，４，４’−テトラカル
ボキシベンゾフェノン（ＢＴＤＡ）である。
【００６２】二価の炭化水素基（式ＩのＲ1および式Ｉ
ＩのＲ3）は同じであっても異なっていてもよい。二価
の炭化水素基（式ＩのＲ1および式ＩＩのＲ3）は、脂肪
族基または芳香族基から独立的に選ばれる。ここで言う
脂肪族基は直鎖または枝分かれ鎖の炭化水素であること
を特徴とし、例えばメチレン、エチレン、プロピレン、
テトラメチレン、ヘキサメチレン、オクタメチレン、ノ
ナメチレン、デカメチレン、およびドデカメチレンなど
があり、これらは非置換であっても、１種以上のハロゲ
ン（例えばフッ素）で置換されていても、あるいは低級
アルキル基で置換されていてもよい（例えば、２，２，
４−トリメチルヘキサメチレンや２，２−ジメチルプロ
ピレンなど）。脂肪族基はさらに、例えばキシレンジア
ミンやビス（アミノプロピル）−末端ポリジメチルシロ
キサン等のセグメントを導入してもよい。
【００６３】ここで言う芳香族基は、単一の芳香環、あ
るいは縮合しているかもしくは１つ以上の安定な結合
（例えば、炭素−炭素共有結合、オキシ、スルホニル、
カルボニル、アルキレン、およびフルオロアルキレンな
ど）によって繋がった２つ以上の芳香環であることを特
徴とする。芳香族基としては、ベンゼン、ナフタレン、
フェナントレン、およびアントラセンなどの二価部分が
挙げられる。芳香環はさらに、非置換であっても、ある
いは例えば１つ以上のハロゲン、低級アルキル、フルオ
ロアルキル、もしくは芳香族基で置換されていてもよ
い。式Ｉと式ＩＩで示されるポリイミドのポリアミド酸
前駆体は一般に、芳香族二無水物（これらのエステル形
と酸形も含む）と少なくとも１種の芳香族ジアミンから
造られる。適切な芳香族ジアミンとしては、例えば４，
４’−ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ビフェニル（ＡＰ
ＢＰ）、２，２−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフ
ルオロプロパン（ＢＡＡＦ）、４，４’−オキシジアニ
リン（ＯＤＡ）、１，３−ビス（４−アミノフェノキ
シ）ベンゼン（１，３，４−ＡＰＢ）、２，２’−ビス
［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ヘキサフル
オロプロパン（ＢＤＡＦ）、４，４’−ビス［４−アミ
ノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキシ］フェニ
ル］ヘキサフルオロプロパン（ＦＡＰＢ）、２，２’−
ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン（ＴＦＭＢ）、
２，３，５，６−テトラメチル−１，４−フェニレンジ
アミン（ＤＭＤＥ）、２，４，６−トリメチル−１，３
−フェニレンジアミン（ＭＥＤＡ）、および３，３’，
５，５’−テトラメチルベンジジン（ＴＭＢ）などがあ
る。
【００６４】本発明のポリイミドは、６ＦＤＡおよび／
またはＢＰＤＡと少なくとも１種のジアミンとを含んだ
成分のポリ縮合生成物として製造することができる。
【００６５】本明細書にて使用している略語は次のよう
に定義される。
【００６６】略語：フルネーム ６ＦＤＡ：２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニ
ル）ヘキサフルオロプロパン・二無水物 ＢＰＤＡ：３，３’，４，４’−テトラカルボキシビフ
ェニル・二無水物 ＡＰＢＰ：４，４’−ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ビ
フェニル ＢＴＤＡ：３，３’，４，４’−テトラカルボキシベン
ゾフェノン・二無水物 ＢＡＡＦ：２，２’−ビス（４−アミノフェニル）ヘキ
サフルオロプロパン ＯＤＡ：４，４’−オキシジアニリン、４，４’−ジア
ミノフェニルエーテルとも呼ばれる １，３，４−ＡＰＢ：１，３−ビス（４−アミノフェノ
キシ）ベンゼン ＢＤＡＦ：２，２’−ビス［４−（４−アミノフェノキ
シ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン ＦＡＰＢ：４，４’−ビス［４−アミノ−２−（トリフ
ルオロメチル）フェノキシ］ビフェニル Ｂｉｓ−ＡＦ−０ＦＡ：２，２’−ビス［４−［４−ア
ミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキシ］フェニ
ル］ヘキサフルオロプロパン ＴＦＭＢ：２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ベン
ジジン、ＡＢＬ−２１とも呼ばれる ＤＭＤＥ：ジアミノジュレンまたは２，３，５，６−テ
トラメチル１，４−フェニレンジアミン ＭＥＤＡ：２，４，６−トリメチル−１，３−フェニレ
ンジアミン ＴＢＭ：３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジン ＰＭＤＡ：ピロメリト酸二無水物 ＧＢＬ：γ−ブチロラクトン ＮＭＰ：Ｎ−メチルピロリドン 本明細書にて使用している本発明のポリアミド酸は、本
発明の硬化ポリイミドの前駆体である。さらに、本発明
の組成物は幾つかの形態を採ることができる。先ず最初
にポリマーを作製する場合、本発明の組成物は実質的に
ポリアミド酸形態である。しかしながら、ポリマーは動
的状態（ｄｙｎａｍｉｃ ｓｔａｔｅ）にあり、幾らか
のポリイミドが存在することがある。同様に、ポリアミ
ド酸をキュアーしてポリイミド形にした後も、幾らかの
ポリアミド酸が存在することがある。したがって、理解
しておかなければならないことは、ポリマーはいずれか
の形を主として採っているけれども、両方の形がある程
度は存在することがあるということである。
【００６７】本発明のポリアミド酸は一般に、“ポリイ
ミド−熱安定性ポリマー，プレナム・パプリッシング
（１９８７）”において詳細に説明されている公知のポ
リ縮合法にしたがって作製される（該文献を参照のこ
と）。トータルのジアミン成分とトータルの二無水物成
分は、約１：１の比にて存在する。しかしながら、反応
混合物において過剰のジアミンまたは二無水物を使用す
ることによって（好ましくは、約０．９：１〜約１．
１：１．０の範囲）、生成物の鎖長を調節することがで
きる。さらに、所定量のモノアミンまたはジカルボン酸
無水物を反応混合物に加えることによって鎖長を制限す
ることができる。反応は一般に、約−１０℃〜約１００
℃の温度にて行う。
【００６８】ポリアミド酸の溶液を支持体（例えばシリ
コンウエハー）上にスピンコーティングする。支持体に
塗布する前に、ポリアミド酸溶液を希釈してもよい。ポ
リアミド酸溶液の希釈の程度は、最終的な被膜の厚さ要
件、溶液の粘度と固形分、およびポリアミド酸のスピン
曲線データに基づいて決める。スピンコーティングによ
って支持体に塗布するための適切な粘度にするために
は、ポリアミド酸溶液の濃度は、分子量に応じて一般に
は約５〜約５０重量％の範囲、好ましくは約１０〜約４
０重量％の範囲である。
【００６９】スピン曲線データは、ポリアミド酸を種々
のスピン速度で支持体上にスピンコーティングし、ポリ
アミド酸をキュアーし、得られた厚さを測定し、そして
厚さ対スピン速度をプロットすることによって得られ
る。希釈した溶液は、一般には、さらなる処理に付す前
に濾過する。
【００７０】ポリアミド酸溶液は、静的操作でも動的操
作でも塗布することができる。静的塗布においては、回
転していない支持体にポリアミド酸溶液を施し、そして
回転させることによって表面に広げる。動的塗布におい
ては、回転している支持体にポリアミド酸溶液を施す。
いずれの場合も、スピン曲線から求められるスピン速度
にて支持体を回転し、必要とする最終的な被膜厚さを得
る。
【００７１】これとは別に、ポリアミド酸は、他の公知
の従来法によって適切なキャリヤーまたは支持体に塗布
することもできる。従来法としては、浸漬、刷毛塗り、
バーを使用したキャスティング、ローラー塗り、吹き付
け塗り、浸漬被覆、ワーラー塗り（ｗｈｉｒｌｅｒ−ｃ
ｏａｔｉｎｇ）、カスケード塗り、および流し塗りなど
があるが、これらに限定されない。
【００７２】支持体は、プロセシングに必要とされる高
温において分解しない材料であれば、いかなる材料でも
よい。適切なキャリヤーまたは支持体の例としては、プ
ラスチック；金属と合金（例えば、アルミニウムや銅な
ど）；半金属；半導体（例えばＳｉ、Ｇｅ、およびＧａ
Ａｓなど）；ガラス；セラミック；および他の無機材料
（例えば酸化ケイ素、窒化ケイ素、および酸化インジウ
ム錫など）；などがある。さらに、支持体を乾燥（脱
水）処理して、ポリアミド酸を塗布する前に支持体表面
の水分を除去することができる。
【００７３】ポリイミドは一般に、ジアミン成分と二無
水物成分とを相溶性のある溶媒中でミキシングして、ポ
リアミド酸の溶液を形成させることによって作製され
る。次いで、化学的もしくは熱的方法によってポリアミ
ド酸をイミド化してポリイミドを形成させ、これを単離
する。
【００７４】本発明のポリイミド組成物の溶液を支持体
上に広げて、被膜を形成させる。多層のポリイミドを使
用して、多層の導波管を含んだ構造物を形成させる。
【００７５】本発明の光学導波管構造体は、クラッド材
料内に配置された、コアーガイディング材料（ｃｏｒｅ
ｇｕｉｄｉｎｇ ｍａｔｅｒｉａｌ）を含んだ少なく
とも１つの層を有する。単一のプリント回路基板上に多
層の導波管を組み付けることができる。本発明のポリイ
ミドは、コアー材料のほうがクラッド材料より高い屈折
率を有している限り、（１）コアー材料として；（２）
クラッド材料として；または（３）コアー材料およびク
ラッド材料として光学導波管に有用である。さらに、ポ
リイミドの組成を変えることによって、本発明のポリイ
ミドの屈折率と複屈折を調節して、所望の光学特性を付
与することができる。
【００７６】式Ｉのポリイミドコアーと式ＩＩのポリイ
ミドクラッドは、光学導波管におけるコアー／クラッド
対として使用することができ、あるいは他の導波管材料
と組み合わせて、コアーまたはクラッドとして個別に使
用することもできる。言い換えると、例えば、ポリマ
ー、ガラス、ＳｉＯ2、シリコーンゲル、およびエポキ
シ樹脂などがコアー材料となりうる。こうした場合、コ
アー材料より低い屈折率を有する本発明のポリイミドが
クラッド材料となりうる。一方、コアー材料が本発明の
ポリイミドであってもよく、このときはより低い屈折率
を有する別の材料（例えば他のポリマー、空気、真空、
ガラス、シリコーンゲル、エポキシ樹脂、ＰＭＭＡ、お
よびＳｉＯ2など）がクラッド材料となりうる。これと
は別に、コアー材料とクラッド材料の両方が本発明のポ
リイミドであってもよく、このとき個々のポリイミドの
組成は、コアーポリイミドのほうがクラッドポリイミド
より高い屈折率を有する、というような組成である。
【００７７】前述したように、本発明のポリイミドは、
米国特許第５，３０４，６２６号に開示のフォトレジス
ト・リトグラフィー法によってエッチングできるという
利点を有する（該特許を参照のこと）。コアーまたはク
ラッドを湿式エッチングして、必要に応じてチャンネル
やリッジにすることができる。
【００７８】本発明のポリイミドにはさらに、ゲスト／
ホスト法（すなわち、ポリイミドが活性ドーパントに対
する不活性マトリックスとして作用する）を使用して、
電気光学発色団または非線形光学発色団をドーピングす
ることができる。ドーパントの効果は２倍になる。ドー
パントが屈折率を増大させ、したがって選択的な導波が
行われる。すなわち、ドーピングされた区域は導波し、
ドーピングされていない区域はクラッドとして作用す
る。ドーパントはさらに、電気光学活性または非線形光
学活性を付与し、したがってドーピングされたポリマー
の電磁場に対するレスポンスは二次または非線形であ
る。これらのタイプのゲスト／ホスト・ドーピングポリ
マーは当業界に公知であり、光変調器や電気光学スイッ
チの製造に使用されている。電気光学ドーパントの例と
しては、ディスパース・レッド１、エリオクローム・ブ
ラックＴ、エリスロシン、ｐ−ニトロアニリン、ＤＡＤ
Ｃ、およびＤＣＭなどがあるが、これらに限定されな
い。
【００７９】以下の実施例は、本発明の特定の実施態様
を例証するためのものである。しかしながら、これらの
実施例によって本発明の範囲が限定されることはなく、
当業者にとっては、本発明の精神を逸脱することなく多
くの変形が可能である。
【００８０】実施例 特に指摘がない限り、ポリイミド組成％はモル％であ
る。ポリマーのインヘレント粘度は、ポリマーのＮＭＰ
中０．５％ｗ／ｖ溶液から２５℃で測定した。
【００８１】ガラス転移温度の測定 実施例に従って製造したポリマーをガラス板上に流延
し、窒素雰囲気下３５０℃で硬化させた。ポリマーフィ
ルムを剥がし、示差走査熱量測定によってポリマーのガ
ラス転移温度（Ｔg）を測定した。特に指摘がない限
り、いずれの測定にも２０℃／分の温度勾配を使用し
た。
【００８２】屈折率の測定 Ｈｅ−Ｎｅ（６３３ｎｍ）及びＡｍｏｃｏ ＹＡＧ Ｍ
ｉｃｒｏｌａｓｅｒ（１０６４ｎｍ）で修正したＭｅｔ
ｒｉｃｏｎ ＰＣ−２０００プリズムカップラを用い
て、総てのポリマーコーティングの屈折率を測定した。
レーザー光を方向づける偏光子を用いて、面内（ｉｎ
ｐｌａｎｅ、ＴＥ）及び面外（ｏｕｔ ｏｆ ｐｌａｎ
ｅ、ＴＭ）屈折率を測定した。ＴＭ測定は、精度を高め
るために、計器の手動モードで実施した。
【００８３】複屈折率はＴＥ屈折率とＴＭ屈折率との差
である。
【００８４】実施例１６ＦＤＡ／ＡＰＢＰ （６ＦＤＡ／ＡＰＢＰ）アミド酸溶液（イリノイ州Ｎａ
ｐｅｒｖｉｌｌｅのＡｍｏｃｏ Ｃｈｅｍｉｃａｌから
入手し得るＵｌｔｒａｄｅｌ ４２１２（登録商標））
をスピンコーティングによってシリコンウェーハ上に流
延し、最高温度３００℃までの熱処理によりイミド化し
て、厚さ５．２ミクロンのコーティングを形成した。プ
リズムカップリングによって測定した屈折率は、ＴＥモ
ードの場合が１．６１３、ＴＭモードの場合が１．６０
４であり、従って複屈折率は０．００９であった。屈折
率及び複屈折率は表１に示す。
【００８５】実施例２０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／ＡＰＢＰ ０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／ＡＰＢＰアミ
ド酸溶液（ＡｍｏｃｏＣｈｅｍｉｃａｌから入手し得る
Ｕｌｔｒａｄｅｌ ３３１２（登録商標））をスピンコ
ーティングによってシリコンウェーハ上に流延し、最高
温度３００℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ
２．３ミクロンのコーティングを形成した。実施例１と
同じ方法で屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【００８６】実施例３０．５−６ＦＤＡ／０．５ＢＰＤＡ／ＡＰＢＰ ３．０１４ｇの２，２’−ビス（３，４−ジカルボキシ
フェニル）−ヘキサフルオロプロパン二無水物（６ＦＤ
Ａ）、１．９９４ｇの３，３’，４，４’−テトラカル
ボキシビフェニル二無水物（ＢＰＤＡ）、５．０９５ｇ
の４，４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル
（ＡＰＢＰ）及び５６．７ｇのＮ−メチルピロリドン
（ＮＭＰ）を十分に混合して、室温でポリアミド酸溶液
を調製した。該アミド酸をスピンコーティングによって
シリコンウェーハ上に流延し、最高温度３００℃までの
熱処理によりイミド化して、厚さ２．５ミクロンのコー
ティングを形成した。実施例１と同じ方法で屈折率を測
定した。結果は表１に示す。
【００８７】実施例４０．２５−６ＦＤＡ／０．７５ＢＰＤＡ／ＡＰＢＰ ２．４４９ｇの６ＦＤＡ、４．７２８ｇのＢＰＤＡ、
７．８９３ｇのＡＰＢＰ及び６０．７ｇのＮＭＰを十分
に混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製した。該ア
ミド酸溶液の一部を９％固形分まで希釈し、次いでスピ
ンコーティングでシリコンウェーハ上に流延し、最高温
度３００℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ２．
２ミクロンのコーティングを形成した。実施例１と同じ
方法で屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【００８８】実施例５ＢＰＤＡ／ＡＰＢＰ ４．７２８ｇのＢＰＤＡ、７．８９３ｇのＡＰＢＰ及び
６０．７ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポリアミド
酸溶液を調製した。該アミド酸溶液の一部を９％固形分
まで希釈し、次いでスピンコーティングでシリコンウェ
ーハ上に流延し、最高温度３００℃までの熱処理により
イミド化して、厚さ４．６ミクロンのコーティングを形
成した。実施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果
は表１に示す。
【００８９】実施例６０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／ＯＤＡ ５．４９０ｇの６ＦＤＡ、１．２１２ｇのＢＰＤＡ、
３．３６５ｇの４，４’−オキシジアニリン（ＯＤＡ）
及び５６．７ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポリア
ミド酸溶液を調製した。該アミド酸溶液を１３％固形分
まで希釈し、次いでスピンコーティングでシリコンウェ
ーハ上に流延し、最高温度３００℃までの熱処理により
イミド化して、厚さ２．４ミクロンのコーティングを形
成した。実施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果
は表１に示す。
【００９０】実施例７０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／０．５ＡＰＢ
Ｐ／０．５ＯＤＡ ４．８２１ｇの６ＦＤＡ、１．０６４ｇのＢＰＤＡ、
１．４４９ｇのＯＤＡ、２．７７２ｇのＡＰＢＰ及び６
６．８ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポリアミド酸
溶液を調製した。該アミド酸をスピンコーティングによ
ってシリコンウェーハ上に流延し、最高温度３００℃ま
での熱処理によりイミド化して、厚さ２．６ミクロンの
コーティングを形成した。実施例１と同じ方法で屈折率
を測定した。結果は表１に示す。
【００９１】実施例８０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／１，３，４−
ＡＰＢ ５．４９０ｇの６ＦＤＡ、１．２１２ｇのＢＰＤＡ、
４．９１３ｇの１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）
ベンゼン（１，３，４−ＡＰＢ）及び６５．８ｇのＮＭ
Ｐをよく混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製す
る。該アミド酸溶液を１３％固形分まで希釈し、次いで
スピンコーティングでシリコンウェーハ上に流延し、最
高温度３００℃までの熱処理によりイミド化してコーテ
ィングを形成した。
【００９２】実施例９０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／ＢＤＡＥ ５．４１６ｇの６ＦＤＡ、１．１９３ｇのＢＰＤＡ、
８．４０６ｇの２，２’−ビス［４−（４−アミノフェ
ノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン（ＢＤＡ
Ｆ）及び６０．２ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポ
リアミド酸溶液を調製した。該アミド酸溶液をスピンコ
ーティングによってシリコンウェーハ上に流延し、最高
温度３００℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ
３．２ミクロンのコーティングを形成した。実施例１と
同じ方法で屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【００９３】実施例１００．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／ＦＡＰＢ ５．４９９ｇの６ＦＤＡ、１．２１１ｇのＢＰＤＡ、
８．３０４ｇの４，４’−ビス［４−アミノ−２−（ト
リフルオロメチル）フェノキシ］ビフェニル（ＦＡＰ
Ｂ）及び６０．４ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポ
リアミド酸溶液を調製した。該アミド酸溶液をスピンコ
ーティングによってシリコンウェーハ上に流延し、最高
温度３００℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ
２．９ミクロンのコーティングを形成した。実施例１と
同じ方法で屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【００９４】実施例１１０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／Ｂｉｓ−ＡＦ
−ＯＦＡ ４．７２２ｇの６ＦＤＡ、１．０４０ｇのＢＰＤＡ、
９．２５１ｇの２，２’−ビス［４−［４−アミノ−２
−（トリフルオロメチル）フェノキシ］フェニル］ヘキ
サフルオロプロパン（Ｂｉｓ−ＡＦ−ＯＦＡ）及び５
６．７ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポリアミド酸
溶液を調製した。該アミド酸溶液を１３％固形分まで希
釈し、次いでスピンコーティングでシリコンウェーハ上
に流延し、最高温度３００℃までの熱処理でイミド化し
て、厚さ２．７ミクロンのコーティングを形成した。実
施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果は表１に示
す。
【００９５】実施例１２６ＦＤＡ／ＢＡＡＦ ８．５７７ｇの６ＦＤＡ、６．４４１ｇの２，２’−ビ
ス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン（Ｂ
ＡＡＦ）及び６０．６ｇのＮＭＰをよく混合して、室温
でポリアミド酸溶液を調製した。該アミド酸溶液をスピ
ンコーティングによってシリコンウェーハ上に流延し、
最高温度３００℃までの熱処理によりイミド化して、厚
さ２．５ミクロンのコーティングを形成した。実施例１
と同じ方法で屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【００９６】実施例１３０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／ＢＡＡＦ ６．７６２ｇの６ＦＤＡ、１．４９０ｇのＢＰＤＡ、
６．７６６ｇのＢＡＡＦ及び６２．１ｇのＮＭＰをよく
混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製した。該アミ
ド酸溶液をスピンコーティングによってシリコンウェー
ハ上に流延し、最高温度３００℃までの熱処理によりイ
ミド化して、厚さ２．２ミクロンのコーティングを形成
した。実施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果は
表１に示す。
【００９７】実施例１４０．５−６ＦＤＡ／０．５ＢＰＤＡ／ＢＡＡＦ ４．７５５ｇの６ＦＤＡ、３．１３８ｇのＢＰＤＡ、
７．１２７ｇのＢＡＡＦ及び６０．７ｇのＮＭＰをよく
混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製した。該アミ
ド酸溶液をスピンコーティングによってシリコンウェー
ハ上に流延し、最高温度３００℃までの熱処理によりイ
ミド化して、厚さ２．４ミクロンのコーティングを形成
した。実施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果は
表１に示す。
【００９８】実施例１５０．２５−６ＦＤＡ／０．７５ＢＰＤＡ／ＢＡＡＦ ２．５２１ｇの６ＦＤＡ、４．９７０ｇのＢＰＤＡ、
７．５２９ｇのＢＡＡＦ及び６０．９ｇのＮＭＰをよく
混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製した。該アミ
ド酸溶液をスピンコーティングによってシリコンウェー
ハ上に流延し、最高温度３００℃までの熱処理によりイ
ミド化して、厚さ２．５ミクロンのコーティングを形成
した。実施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果は
表１に示す。
【００９９】実施例１６ＢＰＤＡ／ＢＡＡＦ ７．０３６ｇのＢＰＤＡ、７．９７８ｇのＢＡＡＦ及び
６０．３ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポリアミド
酸溶液を調製した。該アミド酸溶液をスピンコーティン
グによってシリコンウェーハ上に流延し、最高温度３０
０℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ３．０ミク
ロンのコーティングを形成した。実施例１と同じ方法で
屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【０１００】実施例１７６ＦＤＡ／ＴＦＭＢ ８．７１６ｇの６ＦＤＡ、６．２８３ｇの２，２’−ビ
ス（トリフルオロメチル）ベンズイジン（ＴＦＭＢ）及
び６０．５ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポリアミ
ド酸溶液を調製した。該アミド酸溶液をスピンコーティ
ングによってシリコンウェーハ上に流延し、最高温度３
００℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ２．８ミ
クロンのコーティングを形成した。実施例１と同じ方法
で屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【０１０１】実施例１８０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＰＤＡ／ＴＦＭＢ ６．８９３ｇの６ＦＤＡ、１．５１８ｇのＢＰＤＡ、
６．６０８ｇのＴＦＭＢ及び６１．１ｇのＮＭＰをよく
混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製した。該アミ
ド酸溶液を１０．９％固形分まで希釈し、次いでスピン
コーティングでシリコンウェーハ上に流延し、最高温度
３００℃までの熱処理でイミド化して、厚さ２．１ミク
ロンのコーティングを形成した。実施例１と同じ方法で
屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【０１０２】実施例１９０．５−６ＦＤＡ／０．５ＢＰＤＡ／ＴＦＭＢ ４．８５３ｇの６ＦＤＡ、３．２００ｇのＢＰＤＡ、
６．９６７ｇのＴＦＭＢ及び６２．１ｇのＮＭＰをよく
混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製した。該アミ
ド酸溶液を１０．９％固形分まで希釈し、次いでスピン
コーティングでシリコンウェーハ上に流延し、最高温度
３００℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ２．１
ミクロンのコーティングを形成した。実施例１と同じ方
法で屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【０１０３】実施例２００．２５ ６ＦＤＡ／０．７５ＢＰＤＡ／ＴＦＭＢ １．２１５ｇの６ＦＤＡ、２．３９５ｇのＢＰＤＡ、
３．４７６ｇのＴＦＭＢ及び２８．７ｇのＮＭＰをよく
混合して、室温でポリアミド酸溶液を調製した。該アミ
ド酸溶液を１０％固形分まで希釈し、次いでスピンコー
ティングでシリコンウェーハ上に流延し、最高温度３０
０℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ１．９ミク
ロンのコーティングを形成した。実施例１と同じ方法で
屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【０１０４】実施例２１ＢＰＤＡ／ＴＦＭＢ ７．１９７ｇのＢＰＤＡ、７．８１８ｇのＴＦＭＢ及び
６０．６ｇのＮＭＰをよく混合して、室温でポリアミド
酸溶液を調製した。該アミド酸溶液をスピンコーティン
グによってシリコンウェーハ上に流延し、最高温度３０
０℃までの熱処理によりイミド化して、厚さ２．６ミク
ロンのコーティングを形成した。実施例１と同じ方法で
屈折率を測定した。結果は表１に示す。
【０１０５】実施例２２０．７５−６ＦＤＡ／０．２５ＢＴＤＡ／ＤＭＤＥ ポリアミド酸を生成すべく４６．０ｇの６ＦＤＡ、１
１．１ｇのＢＴＤＡ、２２．７ｇのＤＭＤＥ及び３１９
ｇのＮＭＰをよく混合して室温でポリアミド酸溶液を調
製した。該ポリアミド酸を無水酢酸及びピリジンを用い
て化学的にイミド化し、沈殿させ、乾燥して、インヘレ
ント粘度（ＩＶ）１．１ｄｌ／ｇのポリイミド沈殿物を
得た。
【０１０６】ポリイミド溶液（ＧＢＬ中１２％固形分）
をスピンコーティングによってシリコンウェーハ上に流
延し、最高温度３００℃までの熱処理によりイミド化し
て、厚さ４．６ミクロンのコーティングを形成した。実
施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果は表１に示
す。
【０１０７】実施例２３０．６−６ＦＤＡ／０．１５ＢＰＤＡ／０．２５ＢＴＤ
Ａ／ＤＭＤＥ ポリアミド酸を生成すべく４８．０７ｇの６ＦＤＡ、
７．９３０ｇのＢＰＤＡ、１４．４８ｇのＢＴＤＡ、２
９．５５ｇのＤＭＤＥ及び４１６ｇのＮＭＰをよく混合
して室温でポリアミド溶液を調製した。該ポリアミド酸
溶液に、無水酢酸５８．７ｇ、ピリジン２５．２ｇ、ト
ルエン５３．４ｇ及びＮＭＰ４６．３ｇを加えて、ポリ
アミド酸を化学的にイミド化した。ポリイミドをメタノ
ールで沈殿させ、窒素でパージしながら６０℃の真空炉
で乾燥した。ポリイミド沈殿物のＩＶは１．７１ｄｌ／
ｇであった。
【０１０８】ポリイミド溶液をＧＢＬ中９％固形分で調
製し、スピンコーティングによってシリコンウェーハ上
に流延し、最高温度３００℃までの熱処理によりイミド
化して、厚さ３．４ミクロンのコーティングを形成し
た。実施例１と同じ方法で屈折率を測定した。結果は表
１に示す。
【０１０９】
【表１】 表１ ６３３ｎｍにおける屈折率測定値 実施例 ＴＥモード ＴＭモード 複屈折 Ｔｇ（℃） １ １．６１３ １．６０４ ０．００９ ２８２ ２ １．６３５ １．６２５ ０．０１０ ２８５ ３ １．６５７ １．６４０ ０．０１７ ２７３ ４ １．６８５ １．６５９ ０．０２６ ２７９ ５ １．７４１ １．６７３ ０．０６８ 観察されず ６ １．６１４ １．６０３ ０．０１１ ３０７ ７ １．６２６ １．６１４ ０．０１２ ２９０ ９ １．５７５ １．５６８ ０．００７ ２６２ １０ １．５８６ １．５７７ ０．００９ ２７０ １１ １．５４２ １．５３７ ０．００６ ２３５ １２ １．５３３ １．５２８ ０．００５ ３１３ １３ １．５５０ １．５４３ ０．００７ ３２１ １４ １．５６７ １．５５９ ０．００８ ３２７ １５ １．５８９ １．５８１ ０．００８ ３３７ １６ １．６１３ １．６０４ ０．００９ ３４９ １７ １．５４１ １．５３３ ０．００８ ３４１ １８ １．５５８ １．５４９ ０．００９ ３３８ １９ １．５７８ １．５６６ ０．０１２ ３４７ ２０ １．６０２ １．５８１ ０．０２２ ３３４ ２１ １．６４２ １．５９０ ０．０５２ 観察されず ２２ １．５７４ １．５４５ ０．０２９ 観察されず ２３ １．５６７ １．５２６ ０．０４１ 観察されず
【０１１０】ＢＡＦＦ含有ポリマーを用いるスラブ導波
路の製造 実施例２４ 実施例１６のポリマーをスピンコーティングによってシ
リコンウェーハ基板上にコーティングし、３５０℃に加
熱して厚さ５ミクロンのコアを形成した。次いで、実施
例１５のポリマーをスピンコーティングし且つ３５０℃
に加熱することによりクラッド用ポリマー層を適用し
て、コア上に厚さ１０ミクロンのクラッド層を形成し
た。これは、ＢＰＤＡ／ＢＡＡＦからなるコアと０．７
５ＢＰＤＡ／０．２５−６ＦＤＡ／ＢＡＡＦからなる上
方クラッドとを含む、シリコン上二層型スラブ導波路の
製造方法である。
【０１１１】実施例２５ 実施例１５のポリマーをスピンコーティングによってシ
リコンウェーハ基板上にコーティングし、３５０℃に加
熱して、厚さ１０ミクロンのクラッドを形成した。次い
で、実施例１６のポリマーをスピンコーティングし且つ
３５０℃に加熱することによりコア用ポリマー層を適用
して、前記クラッド上に厚さ５ミクロンのコア層を形成
した。その後、実施例１５のポリマーをスピンコーティ
ングし且つ３５０℃に加熱することにより上方クラッド
用ポリマー層を適用して、厚さ１０ミクロンのクラッド
層を前記コア上に形成した。これは、ＢＰＤＡ／ＢＡＡ
Ｆからなるコアと、０．７５ＢＰＤＡ／０．２５−６Ｆ
ＤＡ／ＢＡＡＦからなる上方及び下方クラッド層とを含
む、シリコン上三層型スラブ導波路の製造方法である。
【０１１２】以上、特定実施例を詳述して本発明を説明
してきたが、これらの実施例は本発明を明らかにするた
めのものにすぎず、本発明の範囲は必ずしもこれらの実
施例に限定されない。当業者には明らかなように、特許
請求の範囲の精神及び範囲に包含される種々の変形例は
本明細書の開示から容易に想到されよう。

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 （ａ）式（Ｉ）の反復単位を有するポリ
    イミドを含む光伝送用コア： 【化１】 ［式中、Ｒは約０〜約１００モル％の 【化２】 および約１００〜約０モル％の 【化３】 を含む］（ｂ）式（ＩＩ）の反復単位を有するポリイミ
    ドを含むクラッド： 【化４】 ［式中、Ｒ2は約０〜約１００モル％の 【化５】 および約１００〜約０モル％の 【化６】 を含む］を含み、これらの式中のＲ1およびＲ3は独立し
    て二価の炭化水素基から選ばれ；コアの屈折率はクラッ
    ドの屈折率より大きく、かつコアの複屈折とクラッドの
    複屈折の差はコアのＴＭ屈折率とクラッドのＴＭ屈折率
    の差より小さく、ただしコアポリイミド（Ｉ）とクラッ
    ドポリイミド（ＩＩ）は異なり；かつコアポリイミド
    （Ｉ）およびクラッドポリイミド（ＩＩ）のうち少なく
    とも一方は少なくとも約１モル％の３，３′，４，４′
    −テトラカルボキシビフェニル二無水物部分を含有する
    コポリマーであるプレーナ光学導波管。
  2. 【請求項２】 （ａ）式（Ｉ）の反復単位を有するポリ
    イミドを含む光伝送用コア： 【化７】 ［式中、Ｒは約０〜約１００モル％の 【化８】 および約１００〜約０モル％の 【化９】 を含む］（ｂ）式（ＩＩ）の反復単位を有するポリイミ
    ドを含むクラッド： 【化１０】 ［式中、Ｒ2は約０〜約１００モル％の 【化１１】 および約１００〜約０モル％の 【化１２】 を含む］を含み、これらの式中のＲ1は少なくとも１種
    の芳香族ジアミンであり、Ｒ3はＲ1と同じかまたは異な
    る少なくとも１種の芳香族ジアミンであり；コアの屈折
    率はクラッドの屈折率より大きく、かつコアの複屈折と
    クラッドの複屈折の差はコアのＴＭ屈折率とクラッドの
    ＴＭ屈折率の差より小さく、ただしコアポリイミド
    （Ｉ）とクラッドポリイミド（ＩＩ）は異なり；かつコ
    アポリイミド（Ｉ）およびクラッドポリイミド（ＩＩ）
    のうち少なくとも一方は少なくとも約１０モル％の３，
    ３′，４，４′−テトラカルボキシビフェニル二無水物
    部分を含有するコポリマーである、請求項１に記載のプ
    レーナ光学導波管。
  3. 【請求項３】 コアポリイミド（Ｉ）およびクラッドポ
    リイミド（ＩＩ）のうち少なくとも一方が、少なくとも
    約２５モル％の３，３′，４，４′−テトラカルボキシ
    ビフェニル二無水物部分を含有するコポリマーである、
    請求項２に記載のプレーナ光学導波管。
  4. 【請求項４】 コアポリイミド（Ｉ）およびクラッドポ
    リイミド（ＩＩ）のうち少なくとも一方が、約１〜約７
    ５モル％の３，３′，４，４′−テトラカルボキシビフ
    ェニル二無水物部分を含有するコポリマーである、請求
    項１に記載のプレーナ光学導波管。
  5. 【請求項５】 コアポリイミド（Ｉ）およびクラッドポ
    リイミド（ＩＩ）のうち少なくとも一方が、約１０〜約
    ７５モル％の３，３′，４，４′−テトラカルボキシビ
    フェニル二無水物部分を含有するコポリマーである、請
    求項２に記載のプレーナ光学導波管。
  6. 【請求項６】 コアポリイミド（Ｉ）およびクラッドポ
    リイミド（ＩＩ）のうち少なくとも一方が、約２５〜約
    ７５モル％の３，３′，４，４′−テトラカルボキシビ
    フェニル二無水物部分を含有するコポリマーである、請
    求項３に記載のプレーナ光学導波管。
  7. 【請求項７】 Ｒ1およびＲ3が独立して、４，４′−ビ
    ス（ｐ−アミノフェノキシ）ビフェニル；２，２−ビス
    （４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン；４，
    ４′−オキシジアニリン；１，３−ビス（４−アミノフ
    ェノキシ）ベンゼン；２，２′−ビス［４−（４−アミ
    ノフェノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン；
    ４，４′−ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチ
    ル）フェノキシ］ビフェニル；２，２′−ビス［４−
    ［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキ
    シ］フェニル］ヘキサフルオロプロパン；および２，
    ２′−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジンよりなる
    群から選ばれる少なくとも１種のジアミンである、請求
    項１に記載のプレーナ光学導波管。
  8. 【請求項８】 Ｒ1およびＲ3が独立して、４，４′−ビ
    ス（ｐ−アミノフェノキシ）ビフェニル；２，２−ビス
    （４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン；４，
    ４′−オキシジアニリン；１，３−ビス（４−アミノフ
    ェノキシ）ベンゼン；２，２′−ビス［４−（４−アミ
    ノフェノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン；
    ４，４′−ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチ
    ル）フェノキシ］ビフェニル；２，２′−ビス［４−
    ［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキ
    シ］フェニル］ヘキサフルオロプロパン；および２，
    ２′−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジンよりなる
    群から選ばれる少なくとも１種のジアミンである、請求
    項２に記載のプレーナ光学導波管。
  9. 【請求項９】 Ｒ1およびＲ3が独立して、４，４′−ビ
    ス（ｐ−アミノフェノキシ）ビフェニル；２，２−ビス
    （４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン；４，
    ４′−オキシジアニリン；１，３−ビス（４−アミノフ
    ェノキシ）ベンゼン；２，２′−ビス［４−（４−アミ
    ノフェノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン；
    ４，４′−ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチ
    ル）フェノキシ］ビフェニル；２，２′−ビス［４−
    ［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノキ
    シ］フェニル］ヘキサフルオロプロパン；および２，
    ２′−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジンよりなる
    群から選ばれる少なくとも１種のジアミンである、請求
    項３に記載のプレーナ光学導波管。
  10. 【請求項１０】 Ｒ1およびＲ3が独立して、２，２−ビ
    ス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン；
    ２，２′−ビス［４−［４−アミノ−２−（トリフルオ
    ロメチル）フェノキシ］フェニル］ヘキサフルオロプロ
    パン；２，２′−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）
    フェニル］ヘキサフルオロプロパン；および４，４′−
    ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェノ
    キシ］ビフェニルよりなる群から選ばれる少なくとも１
    種のジアミンである、請求項２に記載のプレーナ光学導
    波管。
  11. 【請求項１１】 Ｒ1およびＲ3が独立して、４，４′−
    ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ビフェニル；４，４′−
    オキシジアニリン；１，３−ビス（４−アミノフェノキ
    シ）ベンゼン；および２，２′−ビス（トリフルオロメ
    チル）ベンジジンよりなる群から選ばれる少なくとも１
    種のジアミンである、請求項３に記載のプレーナ光学導
    波管。
  12. 【請求項１２】 Ｒ1およびＲ3が２，２−ビス（４−ア
    ミノフェニル）ヘキサフルオロプロパンである、請求項
    １０に記載のプレーナ光学導波管。
  13. 【請求項１３】 Ｒ1およびＲ3が独立して、４，４′−
    ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ビフェニル；および４，
    ４′−オキシジアニリンよりなる群から選ばれる少なく
    とも１種のジアミンである、請求項１１に記載のプレー
    ナ光学導波管。
  14. 【請求項１４】 ＲおよびＲ2がそれぞれ独立して、所
    望によりさらに最高約２５モル％の３，３′，４，４′
    −テトラカルボキシベンゾフェノン部分を含有してもよ
    い、請求項１に記載のプレーナ光学導波管。
  15. 【請求項１５】 コアポリイミド（Ｉ）およびクラッド
    ポリイミド（ＩＩ）がそれぞれ独立して、所望によりさ
    らにドーパントを含有してもよい、請求項１に記載のプ
    レーナ光学導波管。
  16. 【請求項１６】 ６ＦＤＡ、ＢＰＤＡ、ならびにＡＰＢ
    Ｐ、ＢＡＡＦおよびＯＤＡよりなる群から選ばれる少な
    くとも１種のジアミンの縮合物を含むポリイミドを含む
    光学導波管用ポリイミドクラッド。
  17. 【請求項１７】 ポリイミドが６ＦＤＡ約７５モル％、
    ＢＰＤＡ約２５モル％、ならびにＡＰＢＰおよびＯＤＡ
    よりなる群から選ばれる少なくとも１種のジアミン約１
    ００モル％の縮合物を含む、請求項１６に記載のクラッ
    ド。
  18. 【請求項１８】 ポリイミドが６ＦＤＡ約５０モル％、
    ＢＰＤＡ約５０モル％、ならびにＡＰＢＰおよびＯＤＡ
    よりなる群から選ばれる少なくとも１種のジアミン約１
    ００モル％の縮合物を含む、請求項１６に記載のクラッ
    ド。
  19. 【請求項１９】 ポリイミドが６ＦＤＡ約２５モル％、
    ＢＰＤＡ約７５モル％、ならびにＡＰＢＰおよびＯＤＡ
    よりなる群から選ばれる少なくとも１種のジアミン約１
    ００モル％の縮合物を含む、請求項１６に記載のクラッ
    ド。
  20. 【請求項２０】 ６ＦＤＡ約１００〜０モル％、ＢＰＤ
    Ａ約０〜１００モル％、およびＢＡＡＦ約１００モル％
    の縮合物を含むポリイミドを含む光学導波管用ポリイミ
    ドクラッド。
  21. 【請求項２１】 ポリイミドが６ＦＤＡ約７５モル％、
    ＢＰＤＡ約２５モル％、およびＢＡＡＦ約１００モル％
    の縮合物を含む、請求項２０に記載のクラッド。
  22. 【請求項２２】 ポリイミドが６ＦＤＡ約５０モル％、
    ＢＰＤＡ約５０モル％、およびＢＡＡＦ約１００モル％
    の縮合物を含む、請求項２０に記載のクラッド。
  23. 【請求項２３】 ポリイミドが６ＦＤＡ約２５モル％、
    ＢＰＤＡ約７５モル％、およびＢＡＡＦ約１００モル％
    の縮合物を含む、請求項２０に記載のクラッド。
  24. 【請求項２４】 （ａ）６ＦＤＡおよびＢＰＤＡのうち
    少なくとも１種と少なくとも１種の芳香族ジアミンとの
    縮合物であるポリイミドを含むポリイミドコア、ならび
    に（ｂ）６ＦＤＡおよびＢＰＤＡのうち少なくとも１種
    と少なくとも１種の芳香族ジアミンとの縮合物であるポ
    リイミドを含むポリイミドクラッドを有し；コアポリイ
    ミドとクラッドポリイミドが異なり、コアポリイミドお
    よびクラッドポリイミドのうち少なくとも一方が少なく
    とも約１モル％のＢＰＤＡを含有する光学導波管におけ
    る屈折率および複屈折を制御する方法であって、コアポ
    リイミドもしくはクラッドポリイミド、またはコアポリ
    イミドおよびクラッドポリイミドの両方における６ＦＤ
    Ａを、コアの屈折率がクラッドの屈折率より大きく、か
    つコアの複屈折とクラッドの複屈折の差がコアのＴＭ屈
    折率とクラッドのＴＭ屈折率の差より小さくなるような
    コアおよびクラッドそれぞれの屈折率および複屈折の変
    化をもたらすのに有効な量のＢＰＤＡで置換することを
    含む方法。
  25. 【請求項２５】 コアポリイミド中の芳香族ジアミンお
    よびクラッドポリイミド中の芳香族ジアミンが独立し
    て、ＡＰＢＰ、ＢＡＡＦ、ＯＤＡ、１，３，４−ＡＰ
    Ｂ、ＢＤＡＦ、ＦＡＰＢ、ビス−ＡＦ−ＯＦＡおよびＴ
    ＦＭＢよりなる群から選ばれる少なくとも１種のジアミ
    ンである、請求項２４に記載の方法。
  26. 【請求項２６】 コアポリイミド中の芳香族ジアミンお
    よびクラッドポリイミド中の芳香族ジアミンが独立し
    て、ＡＰＢＰ、ＢＡＡＦ、およびＯＤＡよりなる群から
    選ばれる少なくとも１種のジアミンである、請求項２４
    に記載の方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012503701A (ja) * 2008-09-26 2012-02-09 コーロン インダストリーズ インク ポリイミドフィルム
JP2013117015A (ja) * 2011-11-01 2013-06-13 Solpit Industries Ltd ポリイミド、ポリイミド繊維、及びそれらの製造方法
JP5235136B2 (ja) * 2006-07-13 2013-07-10 新日鉄住金化学株式会社 可とう性光導波路及び光−電気複合配線板用積層板
WO2015008643A1 (ja) * 2013-07-16 2015-01-22 ソマール株式会社 透明ポリイミド共重合体、ポリイミド樹脂組成物及び成形体、並びにこの共重合体の製造方法
JP2018508625A (ja) * 2015-02-11 2018-03-29 コーロン インダストリーズ インク ポリアミック酸、ポリイミド樹脂およびポリイミドフィルム
JP2020523427A (ja) * 2017-05-23 2020-08-06 デリム コーポレイション カンパニー リミテッド 光特性及び位相遅延特性に優れた高透明性のポリイミド前駆体樹脂組成物、これを用いたポリイミド樹脂フィルムの製造方法、及びこれによって製造されたポリイミド樹脂フィルム

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6139771A (en) * 1997-04-04 2000-10-31 Displaytech, Inc. Mesogenic materials with anomalous birefringence dispersion and high second order susceptibility (X.sup.(2)).
US6144795A (en) * 1996-12-13 2000-11-07 Corning Incorporated Hybrid organic-inorganic planar optical waveguide device
US5850498A (en) * 1997-04-08 1998-12-15 Alliedsignal Inc. Low stress optical waveguide having conformal cladding and fixture for precision optical interconnects
US5930439A (en) * 1997-10-01 1999-07-27 Northern Telecom Limited Planar optical waveguide
JP3728398B2 (ja) * 1997-11-05 2005-12-21 サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド 高分子光導波路の作製方法
KR100310092B1 (ko) * 1998-11-18 2001-11-07 윤종용 광통신용 폴리이미드, 그 제조방법 및 그것을 이용한 다층 폴리이미드막의 형성방법
KR100319299B1 (ko) * 1999-04-14 2002-01-05 윤종용 광통신용 폴리이미드
US6389215B1 (en) 1999-10-28 2002-05-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Low birefringent polyimides for optical waveguides statement regarding federally sponsored research or development
JP2002090559A (ja) * 2000-09-13 2002-03-27 Minolta Co Ltd ポリイミド光導波路
US20030012539A1 (en) * 2001-04-30 2003-01-16 Tony Mule' Backplane, printed wiring board, and/or multi-chip module-level optical interconnect layer having embedded air-gap technologies and methods of fabrication
US6599957B2 (en) 2001-05-07 2003-07-29 Corning Incorporated Photosensitive material suitable for making waveguides and method of making waveguides utilizing this photosensitive optical material
WO2002090401A2 (en) * 2001-05-07 2002-11-14 Corning Incorporated Photosensitive material suitable for making waveguides and method of making waveguides utilizing this photosensitive optical material
US6711308B2 (en) * 2001-12-26 2004-03-23 Lucent Technologies Inc. Electro-optical modulators
JP3867705B2 (ja) * 2001-12-28 2007-01-10 日立化成工業株式会社 ポリマー光導波路フィルム
KR100409223B1 (ko) * 2002-02-01 2003-12-12 주식회사 효성 불소치환 폴리이미드를 이용한 광도파로
JP3947457B2 (ja) * 2002-11-29 2007-07-18 日東電工株式会社 ポリイミド光導波路の製造方法
JP4181921B2 (ja) * 2003-05-19 2008-11-19 日東電工株式会社 ポリマー光導波路
US7550194B2 (en) * 2005-08-03 2009-06-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Low color polyimide compositions useful in optical type applications and methods and compositions relating thereto
US20090226642A1 (en) * 2005-08-03 2009-09-10 E. I. Du Pont De Nemours And Company Low color polyimide compositions useful in optical type applications and methods and compositions relating thereto
EP1760114A3 (en) * 2005-08-22 2008-05-14 Nippon Shokubai Co., Ltd. Halogenated polyamide acid composition and its applications
TWI259287B (en) * 2005-10-27 2006-08-01 Optimax Tech Corp Fabrication method of optical compensation film
JP2010512449A (ja) * 2006-12-12 2010-04-22 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 結晶性封入剤
US7518730B2 (en) * 2007-02-27 2009-04-14 Honeywell International Inc. Apparatus and method for chemical sensing
US7671325B2 (en) * 2007-02-27 2010-03-02 Honeywell International Inc. Biological Agent Signature Detector With an Optical Fiber Cladding Combined With a Bio-Indicator
KR101227317B1 (ko) * 2007-07-31 2013-01-28 코오롱인더스트리 주식회사 열안정성이 개선된 폴리이미드 필름
US8173045B2 (en) 2008-05-28 2012-05-08 University Of Washington Diels-Alder crosslinkable dendritic nonlinear optic chromophores and polymer composites
KR101328838B1 (ko) * 2010-03-30 2013-11-13 코오롱인더스트리 주식회사 폴리이미드 필름
US8853723B2 (en) 2010-08-18 2014-10-07 E. I. Du Pont De Nemours And Company Light emitting diode assembly and thermal control blanket and methods relating thereto
US20160266313A1 (en) * 2013-10-22 2016-09-15 Empire Technology Development Llc Thermally printed optic circuits
JP2019162565A (ja) * 2016-07-25 2019-09-26 富士フイルム株式会社 ガス分離膜、ガス分離膜モジュールおよびガス分離装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4603061A (en) * 1984-08-23 1986-07-29 The United States Of America As Represented By The National Aeronautics And Space Administration Process for preparing highly optically transparent/colorless aromatic polyimide film
US4595548A (en) * 1984-08-23 1986-06-17 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Process for preparing essentially colorless polyimide film containing phenoxy-linked diamines
US5304626A (en) * 1988-06-28 1994-04-19 Amoco Corporation Polyimide copolymers containing 3,3',4,4'-tetracarboxybiphenyl dianhydride (BPDA) moieties
US4876329A (en) * 1988-06-28 1989-10-24 Amoco Corporation Polyimide polymers and copolymers using 3,5-diaminobenzotrifluoride
KR910000832A (ko) * 1988-06-28 1991-01-30 랄프 챨스 메더스트 인터레벨 유전체 및 기질 피복물용의 저유전상수 및 저수분흡수율을 갖는 폴리이미드 및 코폴리이미드
US5025089A (en) * 1988-07-12 1991-06-18 Hoechst Celanese Corp. Copolyimides derived from 2,2-bis (amino phenyl) hexafluoropropane
US5049649A (en) * 1988-07-12 1991-09-17 Hoechst Celanese Corp. Colorless films formed from fluorinated polyimides
US4978738A (en) * 1988-07-12 1990-12-18 Hoechst Celanese Corp. High molecular weight, thermally soluble polyimides
US4952669A (en) * 1988-09-30 1990-08-28 Hoechst Celanese Corp. Copolyimides prepared from 2-(3-aminophenyl)-2-(4-aminophenyl) Hexafluoro propane
US4954609A (en) * 1989-02-28 1990-09-04 Hoechst Celanese Corp. Intermediate molecular weight fluorine containing polymide and method for preparation
US5183534A (en) * 1990-03-09 1993-02-02 Amoco Corporation Wet-etch process and composition
US5137751A (en) * 1990-03-09 1992-08-11 Amoco Corporation Process for making thick multilayers of polyimide
CA2041133C (en) * 1990-04-27 1995-01-03 Toru Matsuura Polymide optical waveguide
US5449741A (en) * 1990-09-28 1995-09-12 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Polyimide optical material
JP2814157B2 (ja) * 1991-11-08 1998-10-22 キヤノン株式会社 カイラルスメクチック液晶素子
US5354839A (en) * 1992-04-07 1994-10-11 Mitsui Toatsu Chemicals, Incorporated Polyimide and preparation process of same
JPH06234917A (ja) * 1992-12-14 1994-08-23 Mitsubishi Electric Corp 高誘電性樹脂組成物、並びにそれを用いたマルチチップモジュール、圧力センサー、感湿センサー、コンデンサー、光フィルター、光導波路およびプラズマディスプレイ
US5317082A (en) * 1992-12-22 1994-05-31 Amoco Corporation Photodefinable optical waveguides
EP0616234B1 (en) * 1993-03-18 1999-06-02 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Method of manufacturing a polyimide optical waveguide
US5344916A (en) * 1993-04-21 1994-09-06 The University Of Akron Negative birefringent polyimide films
US5470943A (en) * 1994-01-07 1995-11-28 Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. Polyimide
JP3296458B2 (ja) * 1994-03-01 2002-07-02 日本電信電話株式会社 高分子フィルム光導波路及びその製造方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5235136B2 (ja) * 2006-07-13 2013-07-10 新日鉄住金化学株式会社 可とう性光導波路及び光−電気複合配線板用積層板
JP2012503701A (ja) * 2008-09-26 2012-02-09 コーロン インダストリーズ インク ポリイミドフィルム
JP2013117015A (ja) * 2011-11-01 2013-06-13 Solpit Industries Ltd ポリイミド、ポリイミド繊維、及びそれらの製造方法
WO2015008643A1 (ja) * 2013-07-16 2015-01-22 ソマール株式会社 透明ポリイミド共重合体、ポリイミド樹脂組成物及び成形体、並びにこの共重合体の製造方法
US20160168328A1 (en) 2013-07-16 2016-06-16 Somar Corporation Transparent polyimide copolymer, polyimide resin composition and molded article, and production method of said copolymer
US10189949B2 (en) 2013-07-16 2019-01-29 Somar Corporation Transparent polyimide copolymer, polyimide resin composition and molded article, and production method of said copolymer
JP2018508625A (ja) * 2015-02-11 2018-03-29 コーロン インダストリーズ インク ポリアミック酸、ポリイミド樹脂およびポリイミドフィルム
JP2020523427A (ja) * 2017-05-23 2020-08-06 デリム コーポレイション カンパニー リミテッド 光特性及び位相遅延特性に優れた高透明性のポリイミド前駆体樹脂組成物、これを用いたポリイミド樹脂フィルムの製造方法、及びこれによって製造されたポリイミド樹脂フィルム

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US5649045A (en) 1997-07-15

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