JPH09257944A

JPH09257944A - 放射線検出器

Info

Publication number: JPH09257944A
Application number: JP8072502A
Authority: JP
Inventors: Akira Tago; 晃多胡; Toshikazu Tamura; 敏和田村; Eiichi Takami; 栄一高見; Shinichi Hayashi; 眞一林; Shinichi Takeda; 慎市竹田; Chiori Mochizuki; 千織望月; Akira Funakoshi; 章冨名腰; Tadao Endo; 忠夫遠藤; Masakazu Morishita; 正和森下
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-03-27
Filing date: 1996-03-27
Publication date: 1997-10-03

Abstract

(57)【要約】【課題】放射線検出器においてシンチレータと固体光
検出素子が均一に密着し、空隙を除去し、センサー面で
の鮮鋭度のばらつきを防止すること。【解決手段】放射線源から発せられ、対象物を透過し
た放射線の強度分布を検出する放射線検出器であって、
基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全周にわ
たり配置されたシール手段と、前記シール手段を挟んで
前記固体光検出手段と相対する側に配され、前記固体光
検出手段および前記シール手段とともに密閉空間を形成
するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシンチレ
ータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カ
バー手段により形成される密閉空間の内部を排気するた
めの排気手段と、有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、対象物に放射線を
照射し、対象物の放射線像を得る放射線検出器に関し、
詳細には、基板上に２次元状に形成された固体光検出素
子と放射線を光に変換するシンチレータを組み合わせた
放射線検出器に関し、さらに詳細には、シンチレータと
基板上に２次元状に形成された固体光検出素子の密着に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】対象物に放射線を照射し、対象物を透過
した放射線の強度分布を検出し、対象物の放射線画像を
得る方法は、工業用の非破壊検査や医療診断の場で広く
一般に利用されている。

【０００３】対象物の放射線画像を得るための具体的な
撮影方法で最も一般的な方法は、放射線で蛍光を発する
いわゆる蛍光板（もしくは、増感紙）と銀塩フィルムを
組み合わせ、放射線を対象物を介して照射し、蛍光板で
放射線を可視光に変え、銀塩フィルム上に潜像を形成し
た後、この銀塩フィルムを化学処理し、放射線画像を得
る方法である。この撮影方法で得られた放射線画像は、
いわゆるアナログ写真である。

【０００４】一方、近年のディジタル技術の進歩によ
り、放射線画像を電気信号（画像信号）に変換し、この
電気信号（画像信号）に画像処理を施した後に可視像と
してＣＲＴ等に再生することにより、診断能の高い、高
画質の放射線画像を得ることが行われている。

【０００５】放射線画像を電気信号に変換する方法の一
例として、たとえば、前述のように蛍光板と銀塩フィル
ムを組み合わせて撮影して、得られた放射線写真フィル
ムに記録された放射線画像に光を照射し、放射線写真フ
ィルムを透過した光をＣＣＤ等で光電的に読み取り、電
気信号に変換する方法があり、装置としては、いわゆる
フィルムディジタイザがある。

【０００６】また、近年の半導体プロセス技術の進歩に
より、石英ガラスからなる基板上にアモルファス半導体
膜を挟んで、透明導電膜と導電膜からなる固体光検出素
子をマトリクス状に配列した固体光検出器の製作が可能
になり、この固体光検出器と放射線を可視光に変換する
シンチレータを積層した、放射線検出器が提案されてい
る。

【０００７】この放射線検出器に対象物を透過した放射
線を照射することにより、放射線がシンチレータで可視
光に変換され、この可視光が固体光検出素子の光電変換
部により電気信号として検出される。この電気信号は、
各固体光検出素子から所定の読み出し方法により読み出
され、この信号をＡ／Ｄ変換し、放射線画像信号を得
る。この放射線画像信号は、後段の画像信号処理装置に
より種々の信号処理がなされた後に、ＣＲＴ等の再生手
段により放射線画像として再生され医者によって読影、
診断される。

【０００８】例えば、特開平５−３１２９６１号公報で
は、固体光検出器とシンチレータの組み合わせ方法が開
示されている。ここでは、固体光検出器とシンチレータ
は、別々の工程で製造した後、直径１０〜２０μｍのガ
ラスビーズをスペーサとして固体光検出器とシンチレー
タの間に分散し、周辺をシールするとともに内部を真空
化している。こうして、ｎｉｐダイオード等の固体光検
出器とアルミ等の基板上にデポジットされたヨウ化セシ
ウム層との間に離散的絶縁スぺーサ部材を設けて真空絶
縁空間を形成して電気的分離を付与している。

【０００９】また、特開平７−２７８６４号公報では、
固体光検出器とシンチレータを組み合わせ、具体的には
Ｘ線源からのＸ線が被写体を透過し、固体光検出器を透
過してシンチレータに到達し、シンチレータがＸ線の強
度に応じた強度の可視光を発光し、この可視光の発光強
度に応じて固体光検出器のアモルファスシリコン層の抵
抗が変化して光電変換するという放射線検出器が開示さ
れているが、シンチレータと固体光検出素子の具体的な
密着方法は開示されていない。

【００１０】胸部疾患診断を目的とする胸部撮影は、現
在、増感紙とフィルムを組み合わせた、いわゆるスクリ
ーン／フィルム系で撮影されている。胸部撮影において
は、大面積のフィルムが必要であり、一般的には、１４
インチ×１４インチもしくは１４インチ×１７インチと
いう大型のフィルムが使用されている。したがって、シ
ンチレータと固体光検出素子を組み合わせた放射線検出
器をもちいて胸部撮影を行う際も、同様に大面積の放射
線検出器が必要になる。

【００１１】米国特許５,３８１,０１４では、石英ガラ
スからなる基板上にアモルファス半導体膜を挟んで透明
導電膜と導電膜からなる固体検出素子をマトリクス状に
配列した固体検出器を１枚の基台上に複数枚接合するこ
とによって、１４インチ×１７インチの大型のセンサを
実現し、縮小レンズの介在もなく胸部Ｘ線撮像画像を電
気信号に変換することを開示している。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】固体光検出素子とシン
チレータを組み合わせた放射線検出器において、鮮鋭度
の高い画像を得るためには、シンチレータと固体光検出
素子が全面にわたってすき間なく均一に密着しているこ
とが望ましい。

【００１３】シンチレータと固体光検出素子の間に、空
隙があると鮮鋭度の低下を招くという課題を有する。ま
た、空隙層の厚さにばらつきがあると、空隙層の厚いと
ころでは、鮮鋭度が著しく低下し、センサー面での鮮鋭
度のばらつきが生ずるという課題を有する。

【００１４】上記特開平５−３１２９６１号公報では、
固体光検出器とシンチレータは、別々の工程で製造した
後、直径１０〜２０μｍのガラスビーズをスペーサとし
て、固体光検出器とシンチレータの間に分散しているた
め、例え固体光検出器とシンチレータの間を真空化して
接着剤でシールしても、鮮鋭度の低下を招いている。

【００１５】シート状のものを接着する技術として、一
般的に考えられる方法としては、接着層を薄く塗布する
とともに、接着層に含まれる空気を真空脱泡して互いに
貼り合わせるという方法が考えられるが、１４インチ×
１７インチという大面積の全面にわたり接着層の厚みを
均一にしながら、残留気泡をまったくなくして均一に貼
り合わせるのは、困難である。この場合、接着剤は、シ
ンチレータ、固体光検出素子の両方に影響を及ぼさない
ものを選択しなければならないし、仮に均一に接着でき
たとしても接着層が鮮鋭度の低下を招くという課題を有
する。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の放射線検出器
は、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてな
る固体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全周
にわたり配置されたシール手段と、前記シール手段を挟
んで前記固体光検出手段と相対する側に配され、前記固
体光検出手段および前記シール手段とともに密閉空間を
形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシン
チレータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と前
記カバー手段により形成される密閉空間の内部を排気す
る排気手段を備えたことを特徴とし、前記排気手段を介
し、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー
手段により形成される密閉空間の内部を排気し、前記シ
ンチレータと前記固体光検出素子の密着を大気圧によっ
て行うようにしたものである。

【００１７】また、本発明による放射線検出器は、放射
線源から発せられ、対象物を透過した放射線の強度分布
を検出する放射線検出器であって、基板の上に２次元状
に固体光検出素子が配されてなる固体光検出手段と、前
記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシー
ル手段と、前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段
と相対する側に配され、前記固体光検出手段および前記
シール手段とともに密閉空間を形成するカバー手段と、
前記密閉空間内に配されたシンチレータと、前記固体光
検出手段と前記シール手段と前記カバー手段により形成
される密閉空間の内部を排気するための排気手段と、前
記排気手段に接続された排気源とを有し、前記排気源に
より、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバ
ー手段とにより形成される密閉空間の内部の空気を排出
し、前記シンチレータと前記固体光検出素子とを密着す
ることを特徴とし、密閉空間の内部の空気を排出するこ
とで、シンチレータと固体光検出素子とを密着して、解
像度の良い、バラツキの少ない画像品質を得ることがで
きる。

【００１８】さらに、本発明は、放射線源から発せら
れ、対象物を透過した放射線の強度分布を検出する放射
線検出器であって、基板上に２次元状に固体光検出素子
が配されてなる固体光検出手段を複数個端面を接して構
成した基台と、前記基台の外周に全周にわたり配置され
たシール手段と、前記シール手段を挟んで前記基台と相
対する側に配され、前記基台および前記シール手段とと
もに密閉空間を形成するカバー手段と、前記密閉空間内
に配されたシンチレータと、前記基台と前記シール手段
と前記カバー手段により形成される密閉空間の内部を排
気するための排気手段と、を有することを特徴とし、大
画面の撮像を行なう場合においても、画像解像度のよい
高品質撮像画像を得ることができる。

【００１９】加えて、放射線源から発せられ、対象物を
透過した放射線の強度分布を検出する放射線検出器であ
って、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されて
なる固体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全
周にわたり配置されたシール手段と、前記シール手段を
挟んで前記固体光検出手段と相対する側に配され、前記
固体光検出手段および前記シール手段とともに密閉空間
を形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシ
ンチレータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と
前記カバー手段により形成される密閉空間の内部を排気
するための排気手段と、前記排気手段に接続される吸湿
材を含むタンクと、前記タンクに接続された弁と、前記
弁に接続された排気源と、を有し、前記排気源の作動に
より、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバ
ー手段とにより形成される密閉空間の内部の空気を排出
し、シンチレータと前記固体光検出素子の密着を行うこ
と、を特徴とし、排気源の駆動により撮像時には放射線
検出器内を密着し、撮像後には排気源をオフとするがタ
ンクを密封した状態で、シンチレータの吸湿を防止でき
る。

【００２０】［作用］作用面で詳細に述べれば、本発明
の放射線検出器によれば、基板の上に２次元状に固体光
検出素子が配されてなる固体光検出手段と、前記固体光
検出手段の外周に全周にわたり配置されたシール手段
と、前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対
する側に配され、前記固体光検出手段および前記シール
手段とともに密閉空間を形成するカバー手段と、前記密
閉空間内に配されたシンチレータと、前記固体光検出手
段と前記シール手段と前記カバー手段により形成される
密閉空間の内部を排気する排気手段を有し、前記排気手
段を介し、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記
カバー手段により形成される密閉空間の内部を排気し、
前記シンチレータと前記固体光検出素子の密着を大気圧
によって行うようにしたため、放射線検出器の全面にわ
たって、シンチレータと固体光検出素子の密着を接着剤
等の介在物や、空隙を一切介さずに均一に行うことがで
きるため、鮮鋭度の高い放射線検出器を得ることができ
る。

【００２１】また、排気手段を介し、前記固体光検出手
段と前記シール手段と前記カバー手段により形成される
密閉空間の内部を排気し、大気圧を利用するという簡単
な構造でシンチレータと固体光検出素子の理想的な密着
が実現できるため、高鮮鋭度の放射線検出器が、コンパ
クトに達成できる。

【００２２】また、本発明の放射線検出器は、シンチレ
ータの交換が容易に行えるとともに、シンチレータ交換
後もシンチレータと固体光検出素子を全面にわたり均一
に密着できるため、撮影部位、撮影目的に最適なシンチ
レータを選択し交換できる放射線検出器を達成できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる放射線検出
器の実施の形態を、図面を用いて詳細に説明する。ただ
し、この実施形態は、本発明を説明するためのあくまで
一態様であり、本発明の権利範囲を何ら限定するもので
はない。

【００２４】（実施形態１）図４は、本発明の放射線検
出器を用いた放射線撮影の一実施様態を示す図であり、
胸部放射線像を撮影する態様を示したものである。

【００２５】図４中、１０１はＸ線である放射線を発生
する放射線源、１０２は放射線診断を受ける被検体、１
０３は放射線検出器を内蔵したケースである。

【００２６】本発明の放射線検出器は、支持手段Ｓに支
持され光漏れのない光密に保たれたケース１０３内に配
されている。通常このケースの１０３放射線入射面１０
３ａは、放射線透過性に優れる炭素繊維強化樹脂（いわ
ゆるＣ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）が多く使用されている。

【００２７】図２は、本発明の放射線検出器の斜視図で
あり、図１は、図２に示す本発明による放射線検出器の
Ａ−Ａ断面図である。放射線を発生する放射線源１０１
から照射されたＸ線は、被検体１０２を透過した後、図
中Ｘの方向から放射線検出器１に入射する。

【００２８】図１および図２中、１は、本発明による放
射線検出器である。２は、ガラス基板であり、ガラス基
板２上には、フォトリソグラフィー法により固体光検出
素子３ａを２次元状に配列形成し、固体光検出手段３を
構成している。

【００２９】ここで、固体光検出手段３を構成する固体
光検出素子の一例として、構造の一例を図３に示す。

【００３０】図３において、固体光検出手段３を構成す
る固体光検出素子３ａは、ガラス基板２の上面にフォト
リソグラフィー法によりパターン形成した導電膜からな
る信号線１１，１７があり、アモルファスシリコン１２
と透明電極１３からなる光電変換部としてのフォトダイ
オード１４、アモルファスシリコン１５内に転送電極１
８を有する転送部としての薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）
１６により構成されている。

【００３１】ここで、転送電極１８は、ゲートであり図
示しない走査線に接続され、信号線１７はドレインであ
り図示しない信号線に接続されている。そして、このよ
うに構成された固体光検出素子３ａをガラス基板２にマ
トリクス状に複数個配置することにより固体光検出手段
３が構成されている。ここで、転送電極１８、信号線１
１，１７は、透明な電極でも、不透明な電極でもよい。

【００３２】この固体光検出素子３ａの作用は、放射線
の照射により発光したシンチレータ７の光がフォトダイ
オード部１４に入射し、フォトダイオード部１４におい
て、入射した光の強度に対応した量の信号電荷が発生
し、蓄積される。次に、走査線に接続された図示しない
信号読み出し回路から走査線に所定の走査信号が送ら
れ、走査線に接続されたゲートとしての転送電極１８に
電圧がかかり、信号線１１／１７間を電流が流れる状態
となる。すなわち、フォトダイオード部１４で発生し
た、信号電荷は、薄膜トランジスタ１６を通じて、図示
しない転送レジスタに、転送されて出力される。

【００３３】図３では、固体光検出手段３を構成する固
体光検出素子３ａの一例として、ｐｉｎ型フォトダイオ
ードのセンサ構造を示したが、本発明に用いられる固体
光検出素子としては、ショットキー型の固体光検出素
子、また、本出願人が提案している、特願平５−３３１
６９０の様な固体光検出素子でもよく、シンチレータ７
と組み合わせて使用されるすべての光検出素子を含む。

【００３４】つぎに、４は、その一面４ａをガラス基板
２上に形成された固体光検出手段３の外周部に全周にわ
たり接着等の手段で取り付けられた弾性のある（可撓
性）シール手段であり、シリコンゲル、シリコンゴム、
ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材料が好ましい。シー
ル手段４の厚さは、シンチレータ７の厚さと同等かもし
くは、シンチレータ７の厚さよりわずかに厚い厚さが適
当である。また、固体光検出素子３ａに外来光が入らな
いようにするためには、シール部材４が遮光性も有する
ことが望ましい。

【００３５】固体光検出手段３と接する面４ａと反対の
面４ｂは、カバー手段５の外周部に全周にわたり接着等
の手段で取り付けられており、このカバー手段５とシー
ル手段４と固体光検出素子３ａを形成したガラス基板２
を含む固体光検出手段３によって密閉空間を形成してい
る。カバー手段５は、放射線入射側の面であるため、放
射線透過性に優れる材質が好ましく、具体的には、炭素
繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）、ＰＥＴ樹脂シートのＸ
線透過性に優れるシート状の材料が好適である。炭素繊
維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）は、機械的強度、低放射線
吸収性と、遮光性の両特性を持ち合わせるために特に望
ましい。シンチレータ７として、ＣｓＩを用いた場合
は、ＣｓＩは、一般的にアルミ基板に蒸着によって形成
されるため、カバー手段５の材質は、アルミニウムが好
適である。

【００３６】このカバー手段５のシンチレータ７と接す
る側の面５ａは、Ｘ線を透過するが、光反射層もしく
は、光吸収層であることが望ましく、光反射層、光吸収
層の形成方法としては、蒸着、鍍金（メッキ）に、薄い
金属箔、印刷等、が適当である。

【００３７】カバー手段５のシンチレータ７と接する側
の面５ａが、光反射層の場合は、放射線の照射により発
光したシンチレータ７の光が、反射層で反射し、固体光
検出素子３ａへ向かうため光を効率良く取り出すことが
可能になり感度が高くなる。

【００３８】一方、カバー手段５のシンチレータ７と接
する側の面５ａが、光吸収層である場合は、放射線の照
射により発光したシンチレータ７の光のうち、固体光検
出素子３ａと反対の方向に向かう光すなわちカバー手段
５に向かう光が、光吸収層で吸収されるため、固体光検
出素子３ａで検出される光は、シンチレータ７で発光し
た光のうち、固体光検出素子３ａの方向へ向かう成分だ
けになるため、鮮鋭度が高くなる。このように、カバー
手段５のシール手段４と接する側の面５ａを光反射層も
しくは光吸収層にすることによって、放射線検出器の特
性を最適にすることが可能になる。

【００３９】また、６は、ガラス基板２に開けられた排
気手段である排気穴であり配管のためにニップル８が取
り付けてある、カバー手段５、シール手段４と固体光検
出手段３によって形成された密閉空間は、この排気手段
６のみにより大気と導通する事ができるこの密閉空間は
図示せぬ配管により、図示せぬ排気源に接続されてい
る。排気源の一例としては、真空ポンプが好適である。
本実施形態では、排気手段６は、ガラス基板２に取り付
けられているが、シール手段４または、カバー手段５の
いずれに取り付けられていてもよい。

【００４０】さらに、７は、カバー手段５、シール手段
４と固体光検出手段３によって形成された密閉空間内の
カバー手段５に配置された、シンチレータであり、放射
線源１０１から出射され被検体１０２に照射され、被検
体１０２を透過し、本発明の放射線検出器に入射したＸ
線である放射線により発光する。シンチレータ７の具体
的な例としては、Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ₄等の
蛍光体、蛍光体をフィバープレート中にドーピングした
いわゆるシンチレーションファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：
Ｔｌ等種々のものがある。

【００４１】このシンチレータ７は、図１（ａ）に示す
ごとく、光反射層もしくは、光吸収層を有するカバー手
段５に直接、塗布、蒸着、貼り付け等の手段で形成して
もよいし、図１（ｂ）に示すようにあらかじめＸ線透過
性に優れる樹脂シート等の基板９にシンチレータ７を形
成したものでもよい。あらかじめＸ線透過性に優れる樹
脂シート等の基板９にシンチレータ７を形成したもの
を、シンチレータとして用いる場合は、樹脂シート等の
基板９のシンチレータ７と接する面９ａを光反射面もし
くは、光吸収面とするのが良く、このときは、カバー手
段５のシンチレータ７と接する面５ａは、特に光吸収
面、光反射面等の処理をする必要はない。

【００４２】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
５、シール手段４と固体光検出手段３によって形成され
た密閉空間内の空気は、排気手段６を介して、外部に排
出され、密閉空間内の圧力が低下する。大気圧によりカ
バー手段５は固体光検出手段３の方向に、固体光検出手
段３はカバー手段５の方向に各々押つけられる。その結
果、シンチレータ７と固体光検出素子３ａの密着は、シ
ール手段４が変形しながら徐々に進行し、最終的にシン
チレータ７と固体光検出素子３ａの間の空気がほぼ完全
に排出され、理想的な密着が全面にわたって達成でき
る。

【００４３】真空源の駆動は、撮影装置の電源と同期
し、撮影装置に電源が投入されている間は、駆動を継続
してもよいし、実際の撮影タイミングに同期し、撮影時
のみ真空源を駆動してもよい。

【００４４】（実施形態２）図５（ａ），（ｂ）は、本
発明の第２の実施形態である放射線検出器断面図であ
る。

【００４５】図５中、２１は第２の実施形態の放射線検
出器である。２２はガラス基板であり、ガラス基板２２
上には、フォトリソグラフィー法により固体光検出素子
を２次元状に配列形成した光検出手段２３が配されてい
る。

【００４６】また、２４はその一面２４ａをガラス基板
２２上に形成された固体光検出素子２３ａの外周に全周
にわたり接着等の手段で取り付けられたシール手段であ
り、シール手段２４の厚さは、シンチレータ２７の厚さ
と略同等の厚さが適当である。また、固体光検出素子２
３ａに外来光が入らないようにするためには、シール手
段２４が遮光性も有することが望ましい。

【００４７】シール手段２４の固体光検出素子２３ａと
接する面と反対の面２４ｂは、カバー手段２５の外周に
全周にわたり接着等の手段で取り付けられており、この
カバー手段２５とシール手段２４と固体光検出素子２３
ａを形成したガラス基板２２によって密閉空間を形成し
ている。

【００４８】カバー手段２５は、クロロプレンゴム、シ
リコンゴム、ＰＥＴ樹脂、等のシート状の可撓性の薄板
材料でできている。このカバー手段２５のシンチレータ
２７と接する側の面２５ａは、光反射層もしくは、光吸
収層であることが望ましく、光反射層、光吸収層の形成
方法としては、蒸着、鍍金、薄い金属箔、印刷等、が適
当である。

【００４９】カバー手段２５のシンチレータ２７と接す
る側の面２５ａが、光反射層の場合は、放射線の照射に
より発光したシンチレータ２７の光が、反射層で反射
し、固体光検出素子２３ａへ向かうため光を効率良く取
り出すことが可能になり感度が高くなる。

【００５０】一方、カバー手段２５のシンチレータ２７
と接する側の面２５ａが、光吸収層である場合は、放射
線の照射により発光したシンチレータ７の光のうち、固
体光検出素子２３ａと反対の方向に向かう光すなわちカ
バー手段２５に向かう光が、光吸収層で吸収されるた
め、固体光検出素子２３ａで検出される光は、シンチレ
ータ２７で発光した光のうち、固体光検出素子２３ａの
方向へ向かう成分だけになるため、鮮鋭度が高くなる。
このように、カバー手段２５のシール手段２４と接する
側の面２５ａを光反射層もしくは光吸収層にすることに
よって、放射線検出器の特性を最適にすることが可能に
なる。

【００５１】つぎに、２６はガラス基板２２に開けられ
た排気手段である排気穴であり、配管のためにニップル
２８が取り付けてある、カバー手段２５、シール手段２
４と固体光検出手段２３によって形成された密閉空間
は、この排気手段２６のみにより大気と導通する事がで
きる。この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排
気源に接続されている。排気源の一例としては、真空ポ
ンプが好適である。

【００５２】本実施形態では、排気手段２６は、ガラス
基板２２に取り付けられているが、シール手段２４また
は、カバー手段２５のいずれに取り付けられていてもよ
い。

【００５３】また、２７は、カバー手段２５、シール手
段２４と固体光検出手段２３によって形成された密閉空
間内のカバー手段２５に配置されたシンチレータであ
り、放射線源から出射され被検体に照射され、被検体を
透過し、本発明の放射線検出器に入射した放射線により
発光する。シンチレータ２７の具体的な例としては、Ｇ
ｄ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ₄等の蛍光体、蛍光体をフ
ィバープレート中にドーピングしたいわゆるシンチレー
ションファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものが
ある。

【００５４】このシンチレータ２７は、図５に示すごと
く、光反射層もしくは、光吸収層を有するカバー手段２
５に直接、塗布、蒸着、貼り付け等の手段で形成しても
よいし、図５（ｂ）に示すようにあらかじめＸ線透過性
に優れる樹脂シート等の基板２９にシンチレータ２７を
形成したものでもよい。

【００５５】あらかじめＸ線透過性に優れる樹脂シート
等の基板２９にシンチレータ２７を形成したものを、シ
ンチレータとして用いる場合は、樹脂シート等の基板２
９のシンチレータ２７と接する面を光反射面もしくは、
光吸収面とするのが良く、このときは、カバー手段２５
のシンチレータ２７と接する面２５ａは、特に光吸収
面、光反射面等の処理をする必要はない。

【００５６】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
２５、シール手段２４と固体光検出素子２３ａを形成し
たガラス基板２２によって形成された密閉空間内の空気
は、排気手段２６を介して、外部に排出され密閉空間内
の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段２５はガラス
基板２２の方向に、ガラス基板２２はカバー手段２５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ２７
と固体光検出素子２３の密着は、可撓性のカバー手段２
５が変形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ
２７と固体光検出素子２３の間の空気がほぼ完全に排出
され、理想的な密着が全面にわたって達成できる。

【００５７】真空源の駆動は、撮影装置の電源と同期
し、撮影装置に電源が投入されている間は、駆動を継続
してもよいし、実際の撮影タイミングに同期し、撮影時
のみ真空源を駆動してもよい。

【００５８】（実施形態３）図６は、本発明の放射線検
出器の第３の実施形態を示す断面図である。第３の実施
形態は、シンチレータの交換を目的とした放射線検出器
のシンチレータと光検出素子の密着に関するものであ
り、撮影部位、撮影目的に最適なシンチレータを選択し
交換できるようにしたものである。

【００５９】放射線を発生する放射線源から照射され、
被検体を透過したる放射線は、図中Ｘの方向から放射線
検出器３１に入射する。

【００６０】図６中、３１は本発明による放射線検出器
である。３２はガラス基板であり、ガラス基板３２上に
は、フォトリソグラフィー法により固体光検出素子３３
ａを２次元状に配列形成した光検出手段３３が配されて
いる。

【００６１】また、３４はその一面３４ａをガラス基板
３２上に形成された固体光検出素子３２ａの外周に全周
にわたり接着等の手段で取り付けられた弾性のある（可
撓性）シール手段であり、シリコンゲル、シリコンゴ
ム、ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材料が好ましい。
シール手段３４の厚さは、シンチレータ３７の厚さと同
等かもしくは、シンチレータ３７の厚さよりわずかに厚
い厚さが適当である。また、固体光検出素子３３ａに外
来光が入らないようにするためには、シール手段３４が
遮光性も有することが望ましい。

【００６２】固体光検出素子３３ａと接する面と反対の
面３４ｂは、カバー手段３５の外周に全周にわたり着脱
自在であるが、空気密に接合されている。このカバー手
段３５とシール手段３４と固体光検出素子３３ａを形成
したガラス基板３２によって密閉空間を形成している。
カバー手段３５は、放射線入射側の面であるため、放射
線透過性に優れる材質が好ましく、具体的には、炭素繊
維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）が好適である。この炭素繊
維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）は、機械的強度、低放射線
吸収性と、遮光性の両特性を持ち合わせるために特に望
ましい。

【００６３】このカバー手段３５のシール手段３４と接
する側の面３５ａは、光反射層もしくは、光吸収層であ
ることが望ましく、光反射層、光吸収層の形成方法とし
ては、蒸着、鍍金、薄い金属箔、印刷等、が適当であ
る。

【００６４】カバー手段３５のシール手段３４と接する
側の面３５ａが、光反射層の場合は、放射線の照射によ
り発光したシンチレータ３７の光が、反射層で反射し、
固体光検出素子３３ａへ向かうため光を効率良く取り出
すことが可能になり感度が高くなる。

【００６５】一方、カバー手段３５のシール手段３４と
接する側の面３５ａが、光吸収層である場合は、放射線
の照射により発光したシンチレータ３７の光のうち、固
体光検出素子３３ａと反対の方向に向かう光が、光吸収
層で吸収されるため、固体光検出素子３３ａで検出され
る光は、シンチレータ３７で発光した光のうち、固体光
検出素子３３ａの方向へ向かう成分だけになるため、鮮
鋭度が高くなる。このように、カバー手段３５のシール
手段３４と接する側の面３５ｂを光反射層もしくは光吸
収層にすることによって、放射線検出器３１の特性を最
適にすることが可能になる。

【００６６】また図６において、３０はバネ材等で作ら
れた着脱自在な押圧部材であり放射線検出器３１の外周
部に、ガラス基板３２、シール手段３４、カバー手段３
５を空気密に挟持しており、ガラス基板３２、シール手
段３４、カバー手段３５で密閉空間を構成している。押
圧部材３０の役割りは、ガラス基板３２、シール手段３
４、カバー手段３５の接合面を互いに押しつけることで
ある。従って、押圧部材３０は、ガラス基板３２、シー
ル手段３４、カバー手段３５を互いに押圧することので
きる構造であれば良い。

【００６７】また、３６は、ガラス基板３２に開けられ
た排気手段である排気穴であり、配管のためにニップル
３８が取り付けてある、カバー手段３５、シール手段３
４と固体光検出手段３３によって形成された密閉空間
は、この排気手段３６のみにより大気と導通する事がで
きる。この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排
気源に接続されている。排気源の一例としては、真空ポ
ンプが好適である。

【００６８】本実施形態では、排気手段３６は、ガラス
基板３２に取り付けられているが、シール手段３４また
は、カバー手段３５のいずれに取り付けられていてもよ
い。

【００６９】さらに、３７は、カバー手段３５、シール
手段３４と固体光検出素子３３ａを形成したガラス基板
３２によって形成された密閉空間内に配置されたシンチ
レータであり、放射線源から出射され被検体に照射さ
れ、被検体を透過した放射線により発光する。シンチレ
ータ３７の具体的な例としては、Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ，
ＣａＷＯ₄等の蛍光体、蛍光体をフィバープレート中に
ドーピングしたいわゆるシンチレーションファイバ、Ｃ
ｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものがある。

【００７０】このシンチレータ３７は、図６に示すごと
く、光反射層もしくは、光吸収層を有するカバー手段３
５に直接、塗布、蒸着、貼り付け等の手段で形成しても
よいし、図６のカバー手段３５の内部側にあらかじめＸ
線透過性に優れる樹脂シート等の基板３９を設け、基板
３９の固体光検出素子３３ａやガラス基板３２側にシン
チレータ３７を形成したものでもよい。

【００７１】あらかじめＸ線透過性に優れる樹脂シート
等の基板３９にシンチレータ３７を形成したものを、シ
ンチレータとして用いる場合は、樹脂シート等の基板３
９のシンチレータ３７と接する面を光反射面もしくは、
光吸収面とするのが良く、このときは、カバー手段３５
のシンチレータ３７と接する面３５ａは、特に光吸収
面、光反射面等の処理をする必要はない。

【００７２】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
３５、シール手段３４と固体光検出素子３３ａを形成し
たガラス基板３２によって形成された密閉空間内の空気
は、排気手段３６を介して、外部に排出され密閉空間内
の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段３５はガラス
基板３２の方向に、ガラス基板３２はカバー手段３５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ３７
と固体光検出素子３３ａの密着は、シール手段３４が変
形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ３７と
固体光検出素子３３ａの間の空気がほぼ完全に排出さ
れ、理想的な密着が全面にわたって達成できる。

【００７３】シンチレータ３７を交換する際は、図示せ
ぬ真空源の駆動を停止し、カバー手段３５、シール手段
３４と固体光検出素子３３ａを形成したガラス基板３２
によって形成された密閉空間を大気解放し、押圧部材３
０をはずす。シンチレータ３７がカバー手段３５に直接
形成されている場合は、カバー手段３５とともにシンチ
レータ３７の交換を行う。

【００７４】図６に示すカバー手段３５と固体光検出素
子３３ａ間にシンチレータ３７が、あらかじめＸ線透過
性に優れる樹脂シート等の基板３９に形成されている場
合は、樹脂シート等の基板３９とともにシンチレータ３
７の交換を行いカバー手段３５を取り付ける。

【００７５】その後、押圧部材３０を取り付け、カバー
手段３５、シール手段３４と固体光検出素子３３ａを形
成したガラス基板３２によって密閉空間を再度形成す
る。交換したシンチレータ３７と固体光検出素子３３ａ
の密着は、再び真空源を駆動して行う。

【００７６】（実施形態４）図７は、本発明の第４の実
施形態の放射線検出器の断面図である。放射線を発生す
る放射線源から照射され、被検体を透過した放射線は、
図中Ｘの方向から放射線検出器４１に入射する。

【００７７】図７（ａ）中、４１は実施形態４の放射線
検出器である。４２は、ガラス基板でありガラス基板上
には、フォトリソグラフィー法により固体光検出素子４
３ａを２次元状に配列形成した光検出手段４３が配され
ている。

【００７８】また、４４はその一面４４ａをガラス基板
４２上に形成された固体光検出素子４３ａの外周に全周
にわたり接着等の手段で取り付けられた弾性のある（可
撓性）シール手段であり、シリコンゲル、シリコンゴ
ム、ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材料が好ましい。
シール手段４４の厚さは、シンチレータ４７の厚さと同
等かもしくは、シンチレータ４７の厚さよりわずかに厚
い厚さが適当である。また、固体光検出素子４３ａに外
来光が入らないようにするためには、シール手段４４が
遮光性も有することが望ましい。

【００７９】固体光検出素子４３と接する面と反対の面
４４ｂは、カバー手段４５の外周に全周にわたり接着等
の手段で取り付けられており、このカバー手段４５とシ
ール手段４４と固体光検出素子４３ａを形成したガラス
基板４２によって密閉空間を形成している。カバー手段
４５は、放射線入射側の面であるため、放射線透過性に
優れる材質が好ましく、具体的には、炭素繊維強化樹脂
（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）、ＰＥＴ樹脂シートが好適である。こ
の炭素繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）は、機械的強度、
低放射線吸収性と、遮光性の両特性を持ち合わせるため
に特に望ましい。シンチレータ４７として、ＣｓＩを用
いた場合は、ＣｓＩは、一般的にアルミ基板に蒸着によ
って形成されるため、カバー手段４５の材質は、アルミ
ニウム等が用いられる。

【００８０】また、４６はガラス基板４２に開けられた
排気手段である排気穴であり、配管のためにニップル４
８が取り付けてある、カバー手段４５、シール手段４４
と固体光検出手段４３によって形成された密閉空間は、
この排気手段４６のみにより大気と導通する事ができ
る。この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排気
源に接続されている。排気源の一例としては、真空ポン
プが好適である。

【００８１】本実施形態では、排気手段４６は、ガラス
基板４２に取り付けられているが、シール手段４４また
は、カバー手段４５のいずれに取り付けられていてもよ
い。

【００８２】また、４７はカバー手段４５、シール手段
４４と固体光検出素子４３ａを形成したガラス基板４２
によって形成された密閉空間内のカバー手段４５に配置
されたシンチレータであり、放射線源から出射され被検
体に照射され、被検体を透過した放射線により発光す
る。シンチレータ４７の具体的な例としては、Ｇｄ₂Ｏ
₂Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ₄等の蛍光体、蛍光体をフィバー
プレート中にドーピングしたいわゆるシンチレーション
ファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものがある。

【００８３】また、７１はタンクであり、配管７２によ
り排気手段４６に取り付けられたニップル４８に接続さ
れている。タンク７１内には吸湿材７３であるシリカゲ
ルおよび、圧力検出手段７４が配置されており、タンク
７１は配管７５より更に電磁弁７６に接続されている。
電磁弁７６は三方弁が最適である。電磁弁７６は、排気
源である真空ポンプ７７に配管７８で接続されている。

【００８４】また、７９はタンク７１内の圧力検出手段
７４に接続された圧力検出回路であり、８０は排気源制
御手段であり、圧力検出回路７９の出力に基づいて排気
源である真空ポンプ７７の駆動を制御する手段である。

【００８５】上述の構成の放射線検出器４１において、
排気源である真空ポンプ７７を駆動するとともに電磁弁
７６を図示せぬ電磁弁駆動手段により、図７（ｂ）のご
とく切り換えるとタンク７１と真空ポンプ７７は導通状
態になり、カバー手段４５、シール手段４４と固体光検
出素子４３ａを形成したガラス基板４２によって形成さ
れた密閉空間内の空気は、排気手段４６及び、配管７
２，７５，７８を介して、外部に排出され、密閉空間内
の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段４５はガラス
基板４２の方向に、ガラス基板４２はカバー手段４５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ４７
と固体光検出素子４３ａの密着は、シール手段４４が変
形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ４７と
固体光検出素子４３ａの間の空気がほぼ完全に排出さ
れ、理想的な密着が全面にわたって達成できる。

【００８６】排気源である真空ポンプ７７の駆動は、タ
ンク７１内の圧力検出回路７９の出力をもとに行う。す
なわち、タンク７１内の圧力が予め設定した設定圧力よ
り高くなった場合のみ、圧力検出回路７９から排気源制
御手段８０に信号を出力する。排気源制御手段８０は、
圧力検出回路７９の信号を元に排気源である真空ポンプ
７７の駆動を行い、タンク７１内の圧力が設定値より低
くなったら真空ポンプ７７の駆動を停止する。

【００８７】撮影終了後、図７（ｃ）に示すように、外
部からタンク７１内に空気が入らないように電磁弁７６
を切り換えておく。このように外部の空気がタンク７１
内に入らないようにすることは、吸湿性を有するＣｓＩ
等のシンチレータ４７を用いるときに特に有効である。
この電磁弁７６と同様の機能は、いわゆる逆止弁を用い
ても達成できる。微量の空気漏れが生じても、水分はタ
ンク７１内の吸湿材７３で吸収されるため、シンチレー
タ４７に害を及ぼすことはない。

【００８８】（実施形態５）図８は、本発明の第５の実
施形態の放射線検出器の断面図であり、複数の固体光検
出手段を接合することによって、たとえば１４×１７イ
ンチの大面積放射線検出器を構成する際の例である。

【００８９】図８中、５１は本発明による放射線検出器
である。５０は基台であり、基台５０上には、ガラス基
板５２上に、フォトリソグラフィー法により固体光検出
素子５３ａを２次元状に配列形成した光検出手段５３が
複数個端面を接して接着等の手段により配されている。

【００９０】また、５４は、その一面５４ａを基台５０
上の外周に全周にわたり接着等の手段で取り付けられた
弾性のある（可撓性）シール手段であり、シリコンゲ
ル、シリコンゴム、ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材
料が好ましい。シール手段５４の厚さは、シンチレータ
５７と固体光検出手段５３の厚さを合わせた厚さと同等
かもしくは、わずかに厚い厚さが適当である。また、固
体光検出素子５３ａに外来光が入らないようにするため
には、シール手段５４が遮光性も有することが望まし
い。

【００９１】シール手段５４の基台５０と接する面と反
対の面４５ｂは、カバー手段５５の外周に全周にわたり
接着等の手段で取り付けられており、このカバー手段５
５とシール手段５４と基台５０によって密閉空間を形成
している。カバー手段５５は、放射線入射側の面である
ため、放射線透過性に優れる材質が好ましく、具体的に
は、炭素繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）、ＰＥＴ樹脂シ
ートが好適である。炭素繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）
は、機械的強度、低放射線吸収性と、遮光性の両特性を
持ち合わせるために特に望ましい。シンチレータ５７と
して、ＣｓＩを用いた場合は、ＣｓＩは、一般的にアル
ミ基板に蒸着によって形成されるため、カバー手段５５
の材質は、アルミニウムである。

【００９２】このカバー手段５５のシール手段５４と接
する側の面５５ａは、光反射層もしくは、光吸収層であ
ることが望ましく、光反射層、光吸収層の形成方法とし
ては、蒸着、鍍金、薄い金属箔、印刷等、が考えられ
る。

【００９３】カバー手段５５のシール手段５４と接する
側の面５５ｂが、光反射層の場合は、放射線の照射によ
り発光したシンチレータ５７の光が、反射層で反射し、
固体光検出素子５３ａへ向かうため光を効率良く取り出
すことが可能になり感度が高くなる。

【００９４】一方、カバー手段５５のシール手段５４と
接する側の面５５ｂが、光吸収層である場合は、放射線
の照射により発光したシンチレータ５７の光のうち、固
体光検出素子５３ａと反対の方向に向かう光が、光吸収
層で吸収されるため、固体光検出素子５３ａで検出され
る光は、シンチレータ５７ａで発光した光のうち、固体
光検出素子５３ａの方向へ向かう成分だけになるため、
鮮鋭度が高くなる。このようにカバー手段５５のシール
手段５４と接する側の面５５ｂを光反射層もしくは光吸
収層にすることによって、放射線検出器の特性を最適に
することが可能になる。

【００９５】さらに、５６は、基台５０に開けられた排
気手段である排気穴であり、配管のためにニップル５８
が取り付けてある。カバー手段５５、シール手段５４と
固体光検出手段５３によって形成された密閉空間は、こ
の排気手段５６のみにより大気と導通する事ができる。
この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排気源に
接続されている。排気源の一例としては、真空ポンプが
好適である。本実施形態では、排気手段５６は、基台５
０に取り付けられているが、シール手段５４または、カ
バー手段５５のいずれに取り付けられていてもよい。

【００９６】また、５７は、カバー手段５５、シール手
段５４と基台５０によって形成された密閉空間内に配置
されたシンチレータであり、放射線源から出射され被検
体に照射され、被検体を透過した放射線により発光す
る。シンチレータ５７の具体的な例としては、Ｇｄ₂Ｏ
₂Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ₄等の蛍光体、蛍光体をフィバー
プレート中にドーピングしたいわゆるシンチレーション
ファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものがある。

【００９７】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
５５、シール手段４と基台５０によって形成された密閉
空間内の空気は、排気手段５６を介して、外部に排出さ
れ密閉空間内の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段
５５は基台５０の方向に、基台５０はカバー手段５５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ５７
と固体光検出素子５３ａの密着は、シール手段５４が変
形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ５７と
固体光検出素子５３ａの間の空気がほぼ完全に排出さ
れ、理想的な密着が全面にわたって達成できる。

【００９８】真空源の駆動は、撮影装置の電源と同期
し、撮影装置に電源が投入されている間は、駆動を継続
してもよいし、実際の撮影タイミングに同期し、撮影時
のみ真空源を駆動してもよい。

【００９９】

【発明の効果】本発明による、特に実施形態１および実
施形態２によれば、放射線検出器の全面にわたって、シ
ンチレータと固体光検出素子の密着を接着剤等の介在物
や、空隙を一切介さずに均一に行うことができるため、
鮮鋭度の高い放射線検出器を得ることができる。

【０１００】また、排気手段を介し、ガラス基板とカバ
ー手段とシール手段により形成される密閉空間の内部を
排気し、大気圧を利用するという簡単な構造でシンチレ
ータと固体光検出素子の理想的な密着が実現できるた
め、高鮮鋭度の放射線検出器が、コンパクトに達成でき
る。

【０１０１】また本発明による実施形態３によれば、固
体光検出素子を用いた放射線検出器において撮影部位、
撮影目的に最適なシンチレータを選択し交換でき、シン
チレータの交換後も放射線検出器の全面にわたって、シ
ンチレータと固体光検出素子の密着を接着剤等の介在物
や、空隙を一切介さずに均一に行うことができるため、
鮮鋭度の高い放射線検出器を得ることができる。

【０１０２】さらに、本発明による実施形態４によれ
ば、放射線検出器の全面にわたって、シンチレータと固
体光検出素子の密着を接着剤等の介在物や、空隙を一切
介さずに均一に行うことができるため、鮮鋭度の高い放
射線検出器を得ることができるとともに吸湿性のあるシ
ンチレータの防湿を行うことができる。

【０１０３】また本発明による実施形態５によれば、複
数の固体光検出手段を接合することによって、たとえば
１４×１７インチの大面積においても放射線検出器の全
面にわたって、シンチレータと固体光検出素子の密着を
接着剤等の介在物や、空隙を一切介さずに均一に行うこ
とができるため、鮮鋭度の高い放射線検出器を得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態を示す断面図である。

【図２】本発明の第１の実施形態の斜視図である。

【図３】固体光検出手段および、光検出手段を構成する
固体光検出素子の構造図である。

【図４】本発明の放射線検出器を用いた放射線撮影の一
実施様態を示す図である。

【図５】本発明の第２の実施形態を示す断面図である。

【図６】本発明の第３の実施形態を示す断面図である。

【図７】本発明の第４の実施形態を示す断面図と電磁弁
の概念図である。

【図８】本発明の第５の実施形態を示す断面図である。

【符号の説明】

１，２１，３１，４１，５１放射線検出器３，２３，３３，４３，５３固体光検出手段４，２４，３４，４４，５４シール手段５，２５，３５，４５，５５カバー手段６，２６，３６，４６，５６排気手段７，２７，３７，４７，５７シンチレータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者林眞一東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者竹田慎市東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者望月千織東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者冨名腰章東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者遠藤忠夫東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者森下正和東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】放射線源から発せられ、対象物を透過し
た放射線の強度分布を検出する放射線検出器であって、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシ
ール手段と、前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対する
側に配され、前記固体光検出手段および前記シール手段
とともに密閉空間を形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシンチレータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー手段
により形成される密閉空間の内部を排気するための排気
手段と、を有することを特徴とする放射線検出器。
【請求項２】前記シール手段もしくは前記カバー手段
の少なくともいずれか一方が、可撓性の部材で構成され
ることを特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項３】前記カバー手段が、Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐもしく
は、樹脂シートであることを特徴とする請求項１又は２
に記載の放射線検出器。
【請求項４】前記シンチレータの前記カバー側の面と
接する面が、光吸収面もしくは、光反射面であることを
特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項５】前記シンチレータが着脱自在であること
を特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項６】放射線源から発せられ、対象物を透過し
た放射線の強度分布を検出する放射線検出器であって、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシ
ール手段と、前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対する
側に配され、前記固体光検出手段および前記シール手段
とともに密閉空間を形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシンチレータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー手段
により形成される密閉空間の内部を排気するための排気
手段と、前記排気手段に接続された排気源とを有し、前記排気源により、前記固体光検出手段と前記シール手
段と前記カバー手段とにより形成される密閉空間の内部
の空気を排出し、前記シンチレータと前記固体光検出素子とを密着するこ
とを特徴とする放射線検出器。
【請求項７】前記シール手段もしくは、前記カバー手
段の少なくともいずれか一方が、可撓性の部材で構成さ
れることを特徴とする請求項６に記載の放射線検出器。
【請求項８】前記カバー手段が、Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐもしく
は、樹脂シートであることを特徴とする請求項６若しく
は７に記載の放射線検出器
【請求項９】前記シンチレータの前記カバー側の面と
接する面が、光吸収面もしくは、光反射面であることを
特徴とする請求項６に記載の放射線検出器。
【請求項１０】前記シンチレータが着脱自在であるこ
とを特徴とする請求項６に記載の放射線検出器。
【請求項１１】放射線源から発せられ、対象物を透過
した放射線の強度分布を検出する放射線検出器であっ
て、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段を複数個、端面を接して構成した基台と、前記基台の外周に全周にわたり配置されたシール手段
と、前記シール手段を挟んで前記基台と相対する側に配さ
れ、前記基台および前記シール手段とともに密閉空間を
形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシンチレータと、前記基台と前記シール手段と前記カバー手段により形成
される密閉空間の内部を排気するための排気手段と、を
有することを特徴とする放射線検出器。
【請求項１２】放射線源から発せられ、対象物を透過
した放射線の強度分布を検出する放射線検出器であっ
て、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシ
ール手段と、前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対する
側に配され、前記固体光検出手段および前記シール手段
とともに密閉空間を形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシンチレータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー手段
により形成される密閉空間の内部を排気するための排気
手段と、前記排気手段に接続される吸湿材を含むタンクと、前記タンクに接続された弁と、前記弁に接続された排気源と、を有し、前記排気源の作
動により、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記
カバー手段とにより形成される密閉空間の内部の空気を
排出し、前記シンチレータと前記固体光検出素子の密着
を行うこと、を特徴とする放射線検出器。