JPH09257944A - Radiation detector - Google Patents
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Classifications
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- G—PHYSICS
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- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
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- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、対象物に放射線を
照射し、対象物の放射線像を得る放射線検出器に関し、
詳細には、基板上に２次元状に形成された固体光検出素
子と放射線を光に変換するシンチレータを組み合わせた
放射線検出器に関し、さらに詳細には、シンチレータと
基板上に２次元状に形成された固体光検出素子の密着に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a radiation detector for irradiating an object with radiation to obtain a radiation image of the object,
More specifically, the present invention relates to a radiation detector in which a solid-state photodetector formed two-dimensionally on a substrate and a scintillator that converts radiation into light are combined, and more specifically, it is formed two-dimensionally on the scintillator and the substrate. It also relates to the close contact of the solid-state photodetector.
【０００２】[0002]
【従来の技術】対象物に放射線を照射し、対象物を透過
した放射線の強度分布を検出し、対象物の放射線画像を
得る方法は、工業用の非破壊検査や医療診断の場で広く
一般に利用されている。2. Description of the Related Art A method of irradiating an object with radiation and detecting the intensity distribution of the radiation transmitted through the object to obtain a radiation image of the object is widely used in industrial nondestructive inspection and medical diagnosis. It's being used.
【０００３】対象物の放射線画像を得るための具体的な
撮影方法で最も一般的な方法は、放射線で蛍光を発する
いわゆる蛍光板（もしくは、増感紙）と銀塩フィルムを
組み合わせ、放射線を対象物を介して照射し、蛍光板で
放射線を可視光に変え、銀塩フィルム上に潜像を形成し
た後、この銀塩フィルムを化学処理し、放射線画像を得
る方法である。この撮影方法で得られた放射線画像は、
いわゆるアナログ写真である。The most general method of taking a radiation image of an object is to combine the so-called fluorescent plate (or intensifying screen), which emits fluorescence with radiation, with a silver salt film to expose the object to radiation. It is a method of obtaining a radiation image by chemically irradiating the silver salt film after the latent image is formed on the silver salt film by irradiating it via a fluorescent plate to convert the radiation into visible light. The radiation image obtained by this imaging method is
So-called analog photography.
【０００４】一方、近年のディジタル技術の進歩によ
り、放射線画像を電気信号（画像信号）に変換し、この
電気信号（画像信号）に画像処理を施した後に可視像と
してＣＲＴ等に再生することにより、診断能の高い、高
画質の放射線画像を得ることが行われている。On the other hand, due to recent advances in digital technology, a radiation image is converted into an electric signal (image signal), and the electric signal (image signal) is subjected to image processing and then reproduced as a visible image on a CRT or the like. Therefore, a high-quality radiation image with high diagnostic ability is obtained.
【０００５】放射線画像を電気信号に変換する方法の一
例として、たとえば、前述のように蛍光板と銀塩フィル
ムを組み合わせて撮影して、得られた放射線写真フィル
ムに記録された放射線画像に光を照射し、放射線写真フ
ィルムを透過した光をＣＣＤ等で光電的に読み取り、電
気信号に変換する方法があり、装置としては、いわゆる
フィルムディジタイザがある。As an example of a method of converting a radiographic image into an electric signal, for example, a fluorescent plate and a silver salt film are combined and photographed as described above, and the radiographic image recorded on the obtained radiographic film is irradiated with light. However, there is a method of photoelectrically reading the light transmitted through the radiographic film with a CCD or the like and converting it into an electric signal, and there is a so-called film digitizer as an apparatus.
【０００６】また、近年の半導体プロセス技術の進歩に
より、石英ガラスからなる基板上にアモルファス半導体
膜を挟んで、透明導電膜と導電膜からなる固体光検出素
子をマトリクス状に配列した固体光検出器の製作が可能
になり、この固体光検出器と放射線を可視光に変換する
シンチレータを積層した、放射線検出器が提案されてい
る。Further, due to recent progress in semiconductor process technology, a solid-state photodetector in which a transparent conductive film and solid-state photodetection devices made of a conductive film are arranged in a matrix on a substrate made of quartz glass with an amorphous semiconductor film sandwiched therebetween. A radiation detector has been proposed in which this solid-state photodetector and a scintillator for converting radiation into visible light are laminated.
【０００７】この放射線検出器に対象物を透過した放射
線を照射することにより、放射線がシンチレータで可視
光に変換され、この可視光が固体光検出素子の光電変換
部により電気信号として検出される。この電気信号は、
各固体光検出素子から所定の読み出し方法により読み出
され、この信号をＡ／Ｄ変換し、放射線画像信号を得
る。この放射線画像信号は、後段の画像信号処理装置に
より種々の信号処理がなされた後に、ＣＲＴ等の再生手
段により放射線画像として再生され医者によって読影、
診断される。By irradiating the radiation detector with the radiation that has passed through the object, the radiation is converted into visible light by the scintillator, and this visible light is detected as an electric signal by the photoelectric conversion portion of the solid-state photodetector. This electrical signal is
The signal is read from each solid-state photodetector by a predetermined reading method, and this signal is A / D converted to obtain a radiation image signal. This radiation image signal is subjected to various signal processing by an image signal processing device at a subsequent stage, and then reproduced as a radiation image by a reproducing means such as a CRT and read by a doctor.
To be diagnosed.
【０００８】例えば、特開平５−３１２９６１号公報で
は、固体光検出器とシンチレータの組み合わせ方法が開
示されている。ここでは、固体光検出器とシンチレータ
は、別々の工程で製造した後、直径１０〜２０μｍのガ
ラスビーズをスペーサとして固体光検出器とシンチレー
タの間に分散し、周辺をシールするとともに内部を真空
化している。こうして、ｎｉｐダイオード等の固体光検
出器とアルミ等の基板上にデポジットされたヨウ化セシ
ウム層との間に離散的絶縁スぺーサ部材を設けて真空絶
縁空間を形成して電気的分離を付与している。For example, Japanese Patent Laid-Open No. 5-312961 discloses a method of combining a solid-state photodetector and a scintillator. Here, the solid-state photodetector and the scintillator are manufactured in separate steps, and then glass beads having a diameter of 10 to 20 μm are dispersed as spacers between the solid-state photodetector and the scintillator to seal the periphery and vacuum the inside. ing. Thus, a discrete insulating spacer member is provided between the solid-state photodetector such as a nip diode and the cesium iodide layer deposited on the substrate such as aluminum to form a vacuum insulating space to provide electrical isolation. are doing.
【０００９】また、特開平７−２７８６４号公報では、
固体光検出器とシンチレータを組み合わせ、具体的には
Ｘ線源からのＸ線が被写体を透過し、固体光検出器を透
過してシンチレータに到達し、シンチレータがＸ線の強
度に応じた強度の可視光を発光し、この可視光の発光強
度に応じて固体光検出器のアモルファスシリコン層の抵
抗が変化して光電変換するという放射線検出器が開示さ
れているが、シンチレータと固体光検出素子の具体的な
密着方法は開示されていない。Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 7-27864,
A solid-state photodetector and a scintillator are combined. Specifically, X-rays from an X-ray source pass through a subject, pass through the solid-state photodetector and reach the scintillator, and the scintillator has an intensity corresponding to the intensity of the X-rays. A radiation detector that emits visible light and photoelectrically converts by changing the resistance of the amorphous silicon layer of the solid-state photodetector according to the emission intensity of this visible light is disclosed, but the scintillator and the solid-state photodetector No specific contact method is disclosed.
【００１０】胸部疾患診断を目的とする胸部撮影は、現
在、増感紙とフィルムを組み合わせた、いわゆるスクリ
ーン／フィルム系で撮影されている。胸部撮影において
は、大面積のフィルムが必要であり、一般的には、１４
インチ×１４インチもしくは１４インチ×１７インチと
いう大型のフィルムが使用されている。したがって、シ
ンチレータと固体光検出素子を組み合わせた放射線検出
器をもちいて胸部撮影を行う際も、同様に大面積の放射
線検出器が必要になる。Chest photography for the purpose of diagnosing chest disease is currently performed by a so-called screen / film system in which an intensifying screen and film are combined. A chest film requires a large area of film, typically 14
A large film of inch × 14 inch or 14 inch × 17 inch is used. Therefore, when a chest radiograph is performed using a radiation detector in which a scintillator and a solid-state light detecting element are combined, a large-area radiation detector is also required.
【００１１】米国特許５,３８１,０１４では、石英ガラ
スからなる基板上にアモルファス半導体膜を挟んで透明
導電膜と導電膜からなる固体検出素子をマトリクス状に
配列した固体検出器を１枚の基台上に複数枚接合するこ
とによって、１４インチ×１７インチの大型のセンサを
実現し、縮小レンズの介在もなく胸部Ｘ線撮像画像を電
気信号に変換することを開示している。In US Pat. No. 5,381,014, a solid-state detector in which a transparent conductive film and solid-state detecting elements made of a conductive film are arranged in a matrix on a substrate made of quartz glass with an amorphous semiconductor film sandwiched therebetween is used as one substrate. It is disclosed that a large sensor of 14 inches × 17 inches is realized by joining a plurality of pieces on a table, and a chest X-ray imaged image is converted into an electric signal without the intervention of a reduction lens.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】固体光検出素子とシン
チレータを組み合わせた放射線検出器において、鮮鋭度
の高い画像を得るためには、シンチレータと固体光検出
素子が全面にわたってすき間なく均一に密着しているこ
とが望ましい。In a radiation detector in which a solid-state photodetector and a scintillator are combined, in order to obtain an image with high sharpness, the scintillator and the solid-state photodetector are in close contact with each other evenly over the entire surface. Is desirable.
【００１３】シンチレータと固体光検出素子の間に、空
隙があると鮮鋭度の低下を招くという課題を有する。ま
た、空隙層の厚さにばらつきがあると、空隙層の厚いと
ころでは、鮮鋭度が著しく低下し、センサー面での鮮鋭
度のばらつきが生ずるという課題を有する。If there is a gap between the scintillator and the solid-state light detecting element, there is a problem that sharpness is lowered. In addition, if the thickness of the void layer varies, the sharpness of the thick void layer significantly decreases, and the sharpness of the sensor surface varies.
【００１４】上記特開平５−３１２９６１号公報では、
固体光検出器とシンチレータは、別々の工程で製造した
後、直径１０〜２０μｍのガラスビーズをスペーサとし
て、固体光検出器とシンチレータの間に分散しているた
め、例え固体光検出器とシンチレータの間を真空化して
接着剤でシールしても、鮮鋭度の低下を招いている。In the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 5-312961,
Since the solid-state photodetector and the scintillator are manufactured in separate steps, the glass beads having a diameter of 10 to 20 μm are dispersed as spacers between the solid-state photodetector and the scintillator. Even if the space is evacuated and sealed with an adhesive, the sharpness is lowered.
【００１５】シート状のものを接着する技術として、一
般的に考えられる方法としては、接着層を薄く塗布する
とともに、接着層に含まれる空気を真空脱泡して互いに
貼り合わせるという方法が考えられるが、１４インチ×
１７インチという大面積の全面にわたり接着層の厚みを
均一にしながら、残留気泡をまったくなくして均一に貼
り合わせるのは、困難である。この場合、接着剤は、シ
ンチレータ、固体光検出素子の両方に影響を及ぼさない
ものを選択しなければならないし、仮に均一に接着でき
たとしても接着層が鮮鋭度の低下を招くという課題を有
する。As a generally conceivable method for adhering sheet-like materials, a method of applying a thin adhesive layer and defoaming the air contained in the adhesive layer and adhering them together is conceivable. But 14 inches ×
It is difficult to make the thickness of the adhesive layer uniform over the entire surface of a large area of 17 inches, to eliminate the residual bubbles at all and to bond them uniformly. In this case, the adhesive has to be selected so that it does not affect both the scintillator and the solid-state photodetector, and even if the adhesive can be adhered uniformly, the adhesive layer has a problem that the sharpness is lowered. .
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明の放射線検出器
は、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてな
る固体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全周
にわたり配置されたシール手段と、前記シール手段を挟
んで前記固体光検出手段と相対する側に配され、前記固
体光検出手段および前記シール手段とともに密閉空間を
形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシン
チレータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と前
記カバー手段により形成される密閉空間の内部を排気す
る排気手段を備えたことを特徴とし、前記排気手段を介
し、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー
手段により形成される密閉空間の内部を排気し、前記シ
ンチレータと前記固体光検出素子の密着を大気圧によっ
て行うようにしたものである。A radiation detector according to the present invention comprises a solid-state light detecting means having a two-dimensionally arranged solid-state light detecting element on a substrate, and an entire circumference of the outer circumference of the solid-state light detecting means. A sealing means disposed over the sealing means, a cover means disposed on the side facing the solid-state light detecting means with the sealing means sandwiched therebetween, and forming a closed space together with the solid-state light detecting means and the sealing means; And a scintillator disposed in the solid light detection means, the sealing means, and an exhaust means for exhausting the inside of a sealed space formed by the cover means, the solid light through the exhaust means. The inside of the closed space formed by the detection means, the sealing means, and the cover means may be evacuated, and the scintillator and the solid-state photodetector may be brought into close contact with each other by atmospheric pressure. It is.
【００１７】また、本発明による放射線検出器は、放射
線源から発せられ、対象物を透過した放射線の強度分布
を検出する放射線検出器であって、基板の上に２次元状
に固体光検出素子が配されてなる固体光検出手段と、前
記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシー
ル手段と、前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段
と相対する側に配され、前記固体光検出手段および前記
シール手段とともに密閉空間を形成するカバー手段と、
前記密閉空間内に配されたシンチレータと、前記固体光
検出手段と前記シール手段と前記カバー手段により形成
される密閉空間の内部を排気するための排気手段と、前
記排気手段に接続された排気源とを有し、前記排気源に
より、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバ
ー手段とにより形成される密閉空間の内部の空気を排出
し、前記シンチレータと前記固体光検出素子とを密着す
ることを特徴とし、密閉空間の内部の空気を排出するこ
とで、シンチレータと固体光検出素子とを密着して、解
像度の良い、バラツキの少ない画像品質を得ることがで
きる。The radiation detector according to the present invention is a radiation detector for detecting the intensity distribution of radiation emitted from a radiation source and transmitted through an object, and is a two-dimensional solid-state photodetector on a substrate. A solid-state light detection means, a sealing means arranged around the entire circumference of the solid-state light detection means, and a solid-state detection means arranged on the side opposite to the solid-state light detection means with the sealing means interposed therebetween. Cover means forming a closed space together with the light detection means and the sealing means,
A scintillator arranged in the closed space, an exhaust means for exhausting the inside of the closed space formed by the solid light detecting means, the sealing means and the cover means, and an exhaust source connected to the exhaust means. The exhaust source discharges air inside a closed space formed by the solid-state light detecting means, the sealing means, and the cover means, and brings the scintillator and the solid-state light detecting element into close contact with each other. By discharging the air inside the closed space, the scintillator and the solid-state photodetector can be brought into close contact with each other, and image quality with good resolution and less variation can be obtained.
【００１８】さらに、本発明は、放射線源から発せら
れ、対象物を透過した放射線の強度分布を検出する放射
線検出器であって、基板上に２次元状に固体光検出素子
が配されてなる固体光検出手段を複数個端面を接して構
成した基台と、前記基台の外周に全周にわたり配置され
たシール手段と、前記シール手段を挟んで前記基台と相
対する側に配され、前記基台および前記シール手段とと
もに密閉空間を形成するカバー手段と、前記密閉空間内
に配されたシンチレータと、前記基台と前記シール手段
と前記カバー手段により形成される密閉空間の内部を排
気するための排気手段と、を有することを特徴とし、大
画面の撮像を行なう場合においても、画像解像度のよい
高品質撮像画像を得ることができる。Furthermore, the present invention is a radiation detector for detecting the intensity distribution of radiation emitted from a radiation source and transmitted through an object, in which solid-state photodetection elements are two-dimensionally arranged on a substrate. A base formed by contacting a plurality of end faces of the solid-state light detecting means, a sealing means arranged over the entire circumference of the base, and arranged on the side facing the base with the sealing means interposed therebetween, Cover means that forms a closed space together with the base and the sealing means, a scintillator arranged in the closed space, and exhaust the inside of the closed space formed by the base, the sealing means and the cover means. And a high-quality picked-up image with good image resolution can be obtained even when picking up an image on a large screen.
【００１９】加えて、放射線源から発せられ、対象物を
透過した放射線の強度分布を検出する放射線検出器であ
って、基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されて
なる固体光検出手段と、前記固体光検出手段の外周に全
周にわたり配置されたシール手段と、前記シール手段を
挟んで前記固体光検出手段と相対する側に配され、前記
固体光検出手段および前記シール手段とともに密閉空間
を形成するカバー手段と、前記密閉空間内に配されたシ
ンチレータと、前記固体光検出手段と前記シール手段と
前記カバー手段により形成される密閉空間の内部を排気
するための排気手段と、前記排気手段に接続される吸湿
材を含むタンクと、前記タンクに接続された弁と、前記
弁に接続された排気源と、を有し、前記排気源の作動に
より、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバ
ー手段とにより形成される密閉空間の内部の空気を排出
し、シンチレータと前記固体光検出素子の密着を行うこ
と、を特徴とし、排気源の駆動により撮像時には放射線
検出器内を密着し、撮像後には排気源をオフとするがタ
ンクを密封した状態で、シンチレータの吸湿を防止でき
る。In addition, a radiation detector for detecting the intensity distribution of radiation emitted from a radiation source and transmitted through an object, the solid-state light comprising two-dimensionally arranged solid-state photodetection elements on a substrate. Detecting means, sealing means arranged around the entire circumference of the solid-state light detecting means, and a side opposite to the solid-state light detecting means with the sealing means sandwiched between the solid-state light detecting means and the sealing means. Together with a cover means forming a closed space, a scintillator arranged in the closed space, an exhaust means for exhausting the inside of the closed space formed by the solid light detecting means, the sealing means and the cover means. A tank including a hygroscopic material connected to the exhaust means, a valve connected to the tank, and an exhaust source connected to the valve, and the solid light is activated by the operation of the exhaust source. The air inside the closed space formed by the discharging means, the sealing means, and the cover means is discharged, and the scintillator and the solid-state photodetector are brought into close contact with each other. It is possible to prevent the scintillator from absorbing moisture when the inside of the detector is closely attached and the exhaust source is turned off after imaging, but the tank is sealed.
【００２０】［作用］作用面で詳細に述べれば、本発明
の放射線検出器によれば、基板の上に２次元状に固体光
検出素子が配されてなる固体光検出手段と、前記固体光
検出手段の外周に全周にわたり配置されたシール手段
と、前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対
する側に配され、前記固体光検出手段および前記シール
手段とともに密閉空間を形成するカバー手段と、前記密
閉空間内に配されたシンチレータと、前記固体光検出手
段と前記シール手段と前記カバー手段により形成される
密閉空間の内部を排気する排気手段を有し、前記排気手
段を介し、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記
カバー手段により形成される密閉空間の内部を排気し、
前記シンチレータと前記固体光検出素子の密着を大気圧
によって行うようにしたため、放射線検出器の全面にわ
たって、シンチレータと固体光検出素子の密着を接着剤
等の介在物や、空隙を一切介さずに均一に行うことがで
きるため、鮮鋭度の高い放射線検出器を得ることができ
る。[Operation] To describe in detail in terms of operation, according to the radiation detector of the present invention, solid-state light detecting means in which solid-state light-detecting elements are two-dimensionally arranged on a substrate, and the solid-state light detecting means. Sealing means arranged around the entire circumference of the detecting means, and a cover which is arranged on the side facing the solid-state light detecting means with the sealing means interposed therebetween and which forms a closed space together with the solid-state light detecting means and the sealing means. Means, a scintillator arranged in the closed space, an exhaust means for exhausting the inside of a closed space formed by the solid light detecting means, the sealing means and the cover means, through the exhaust means, Exhausting the inside of the closed space formed by the solid-state light detecting means, the sealing means, and the cover means,
Since the contact between the scintillator and the solid-state photodetection element is performed by atmospheric pressure, the adhesion between the scintillator and the solid-state photodetection element is uniform over the entire surface of the radiation detector without any inclusions such as adhesives or voids. Therefore, a radiation detector with high sharpness can be obtained.
【００２１】また、排気手段を介し、前記固体光検出手
段と前記シール手段と前記カバー手段により形成される
密閉空間の内部を排気し、大気圧を利用するという簡単
な構造でシンチレータと固体光検出素子の理想的な密着
が実現できるため、高鮮鋭度の放射線検出器が、コンパ
クトに達成できる。Further, the scintillator and the solid-state light detecting device have a simple structure in which the inside of the closed space formed by the solid-state light detecting device, the sealing device and the cover device is exhausted through the exhausting device and the atmospheric pressure is utilized. Since it is possible to realize ideal contact between the elements, a radiation detector with high sharpness can be achieved compactly.
【００２２】また、本発明の放射線検出器は、シンチレ
ータの交換が容易に行えるとともに、シンチレータ交換
後もシンチレータと固体光検出素子を全面にわたり均一
に密着できるため、撮影部位、撮影目的に最適なシンチ
レータを選択し交換できる放射線検出器を達成できる。Further, in the radiation detector of the present invention, the scintillator can be easily replaced, and the scintillator and the solid-state photodetector can be evenly adhered to each other even after the scintillator is replaced. It is possible to achieve a radiation detector that can be selected and replaced.
【００２３】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる放射線検出
器の実施の形態を、図面を用いて詳細に説明する。ただ
し、この実施形態は、本発明を説明するためのあくまで
一態様であり、本発明の権利範囲を何ら限定するもので
はない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a radiation detector according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. However, this embodiment is merely one mode for explaining the present invention, and does not limit the scope of rights of the present invention in any way.
【００２４】（実施形態１）図４は、本発明の放射線検
出器を用いた放射線撮影の一実施様態を示す図であり、
胸部放射線像を撮影する態様を示したものである。(Embodiment 1) FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of radiation imaging using the radiation detector of the present invention.
It shows a mode of capturing a chest radiographic image.
【００２５】図４中、１０１はＸ線である放射線を発生
する放射線源、１０２は放射線診断を受ける被検体、１
０３は放射線検出器を内蔵したケースである。In FIG. 4, 101 is a radiation source for generating X-ray radiation, 102 is a subject to be subjected to radiation diagnosis, 1
Reference numeral 03 is a case having a built-in radiation detector.
【００２６】本発明の放射線検出器は、支持手段Ｓに支
持され光漏れのない光密に保たれたケース１０３内に配
されている。通常このケースの１０３放射線入射面１０
３ａは、放射線透過性に優れる炭素繊維強化樹脂（いわ
ゆるＣ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）が多く使用されている。The radiation detector of the present invention is arranged in a case 103 which is supported by the supporting means S and is kept light tight without light leakage. Normally 103 radiation incident surface 10 of this case
For 3a, a carbon fiber reinforced resin (so-called CFR P) having excellent radiation transmittance is often used.
【００２７】図２は、本発明の放射線検出器の斜視図で
あり、図１は、図２に示す本発明による放射線検出器の
Ａ−Ａ断面図である。放射線を発生する放射線源１０１
から照射されたＸ線は、被検体１０２を透過した後、図
中Ｘの方向から放射線検出器１に入射する。FIG. 2 is a perspective view of the radiation detector of the present invention, and FIG. 1 is a sectional view taken along the line AA of the radiation detector of the present invention shown in FIG. Radiation source 101 for generating radiation
After passing through the subject 102, the X-rays emitted from the laser beam enter the radiation detector 1 from the X direction in the figure.
【００２８】図１および図２中、１は、本発明による放
射線検出器である。２は、ガラス基板であり、ガラス基
板２上には、フォトリソグラフィー法により固体光検出
素子３ａを２次元状に配列形成し、固体光検出手段３を
構成している。1 and 2, reference numeral 1 is a radiation detector according to the present invention. Reference numeral 2 denotes a glass substrate, and solid-state light detecting elements 3a are two-dimensionally arranged and formed on the glass substrate 2 by a photolithography method to form a solid-state light detecting means 3.
【００２９】ここで、固体光検出手段３を構成する固体
光検出素子の一例として、構造の一例を図３に示す。Here, an example of the structure is shown in FIG. 3 as an example of the solid-state light detecting element constituting the solid-state light detecting means 3.
【００３０】図３において、固体光検出手段３を構成す
る固体光検出素子３ａは、ガラス基板２の上面にフォト
リソグラフィー法によりパターン形成した導電膜からな
る信号線１１，１７があり、アモルファスシリコン１２
と透明電極１３からなる光電変換部としてのフォトダイ
オード１４、アモルファスシリコン１５内に転送電極１
８を有する転送部としての薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）
１６により構成されている。In FIG. 3, the solid-state light detecting element 3 a constituting the solid-state light detecting means 3 has signal lines 11 and 17 made of a conductive film patterned by a photolithography method on the upper surface of the glass substrate 2, and the amorphous silicon 12
Photodiode 14 as a photoelectric conversion part including transparent electrode 13 and transfer electrode 1 in amorphous silicon 15
Thin film transistor (TFT) as a transfer unit having 8
It is composed of 16.
【００３１】ここで、転送電極１８は、ゲートであり図
示しない走査線に接続され、信号線１７はドレインであ
り図示しない信号線に接続されている。そして、このよ
うに構成された固体光検出素子３ａをガラス基板２にマ
トリクス状に複数個配置することにより固体光検出手段
３が構成されている。ここで、転送電極１８、信号線１
１，１７は、透明な電極でも、不透明な電極でもよい。Here, the transfer electrode 18 is a gate and is connected to a scanning line (not shown), and the signal line 17 is a drain and is connected to a signal line (not shown). Then, the solid-state light detecting means 3 is configured by arranging a plurality of the solid-state light detecting elements 3a thus configured on the glass substrate 2 in a matrix. Here, the transfer electrode 18 and the signal line 1
1, 17 may be transparent electrodes or opaque electrodes.
【００３２】この固体光検出素子３ａの作用は、放射線
の照射により発光したシンチレータ７の光がフォトダイ
オード部１４に入射し、フォトダイオード部１４におい
て、入射した光の強度に対応した量の信号電荷が発生
し、蓄積される。次に、走査線に接続された図示しない
信号読み出し回路から走査線に所定の走査信号が送ら
れ、走査線に接続されたゲートとしての転送電極１８に
電圧がかかり、信号線１１／１７間を電流が流れる状態
となる。すなわち、フォトダイオード部１４で発生し
た、信号電荷は、薄膜トランジスタ１６を通じて、図示
しない転送レジスタに、転送されて出力される。The action of the solid-state photodetector 3a is that the light of the scintillator 7 emitted by the irradiation of radiation is incident on the photodiode section 14, and the photodiode section 14 has an amount of signal charge corresponding to the intensity of the incident light. Occurs and is accumulated. Next, a predetermined scanning signal is sent to the scanning line from a signal reading circuit (not shown) connected to the scanning line, a voltage is applied to the transfer electrode 18 as a gate connected to the scanning line, and the signal line 11/17 is connected. The current flows. That is, the signal charge generated in the photodiode section 14 is transferred and output to the transfer register (not shown) through the thin film transistor 16.
【００３３】図３では、固体光検出手段３を構成する固
体光検出素子３ａの一例として、ｐｉｎ型フォトダイオ
ードのセンサ構造を示したが、本発明に用いられる固体
光検出素子としては、ショットキー型の固体光検出素
子、また、本出願人が提案している、特願平５−３３１
６９０の様な固体光検出素子でもよく、シンチレータ７
と組み合わせて使用されるすべての光検出素子を含む。In FIG. 3, a pin type photodiode sensor structure is shown as an example of the solid-state light detecting element 3a constituting the solid-state light detecting means 3. However, the solid-state light detecting element used in the present invention is a Schottky. Type solid-state photodetector, and Japanese Patent Application No. 5-331 proposed by the present applicant
A solid-state photodetector such as 690 may be used, and the scintillator 7
Includes all photodetectors used in combination with.
【００３４】つぎに、４は、その一面４ａをガラス基板
２上に形成された固体光検出手段３の外周部に全周にわ
たり接着等の手段で取り付けられた弾性のある（可撓
性）シール手段であり、シリコンゲル、シリコンゴム、
ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材料が好ましい。シー
ル手段４の厚さは、シンチレータ７の厚さと同等かもし
くは、シンチレータ７の厚さよりわずかに厚い厚さが適
当である。また、固体光検出素子３ａに外来光が入らな
いようにするためには、シール部材４が遮光性も有する
ことが望ましい。Next, 4 is an elastic (flexible) seal whose one surface 4a is attached to the outer peripheral portion of the solid-state light detecting means 3 formed on the glass substrate 2 over the entire circumference by means such as adhesion. Means, silicone gel, silicone rubber,
Materials such as neoprene rubber and butyl rubber are preferred. It is suitable that the thickness of the sealing means 4 is equal to or slightly larger than the thickness of the scintillator 7. Further, in order to prevent extraneous light from entering the solid-state light detection element 3a, it is desirable that the seal member 4 also has a light shielding property.
【００３５】固体光検出手段３と接する面４ａと反対の
面４ｂは、カバー手段５の外周部に全周にわたり接着等
の手段で取り付けられており、このカバー手段５とシー
ル手段４と固体光検出素子３ａを形成したガラス基板２
を含む固体光検出手段３によって密閉空間を形成してい
る。カバー手段５は、放射線入射側の面であるため、放
射線透過性に優れる材質が好ましく、具体的には、炭素
繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）、ＰＥＴ樹脂シートのＸ
線透過性に優れるシート状の材料が好適である。炭素繊
維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）は、機械的強度、低放射線
吸収性と、遮光性の両特性を持ち合わせるために特に望
ましい。シンチレータ７として、ＣｓＩを用いた場合
は、ＣｓＩは、一般的にアルミ基板に蒸着によって形成
されるため、カバー手段５の材質は、アルミニウムが好
適である。A surface 4b opposite to the surface 4a contacting the solid-state light detecting means 3 is attached to the outer peripheral portion of the cover means 5 over the entire circumference by means such as adhesion, and the cover means 5, the sealing means 4 and the solid-state light. Glass substrate 2 on which the detection element 3a is formed
The closed space is formed by the solid-state light detecting means 3 including the. Since the cover means 5 is the surface on the radiation incident side, it is preferably made of a material having excellent radiation transparency, and specifically, carbon fiber reinforced resin (CFRP), X of PET resin sheet.
A sheet-shaped material having excellent line transparency is suitable. Carbon fiber reinforced resin (CFRP) is particularly desirable because it has both mechanical strength, low radiation absorption and light shielding properties. When CsI is used as the scintillator 7, since CsI is generally formed by vapor deposition on an aluminum substrate, aluminum is suitable for the material of the cover means 5.
【００３６】このカバー手段５のシンチレータ７と接す
る側の面５ａは、Ｘ線を透過するが、光反射層もしく
は、光吸収層であることが望ましく、光反射層、光吸収
層の形成方法としては、蒸着、鍍金（メッキ）に、薄い
金属箔、印刷等、が適当である。The surface 5a of the cover means 5 on the side in contact with the scintillator 7 transmits X-rays, but is preferably a light reflection layer or a light absorption layer. As a method of forming the light reflection layer and the light absorption layer, Is suitable for vapor deposition, plating (plating), thin metal foil, printing, etc.
【００３７】カバー手段５のシンチレータ７と接する側
の面５ａが、光反射層の場合は、放射線の照射により発
光したシンチレータ７の光が、反射層で反射し、固体光
検出素子３ａへ向かうため光を効率良く取り出すことが
可能になり感度が高くなる。When the surface 5a of the cover means 5 which is in contact with the scintillator 7 is a light reflection layer, the light of the scintillator 7 emitted by irradiation of radiation is reflected by the reflection layer and goes to the solid-state photodetection element 3a. It is possible to extract light efficiently and the sensitivity is increased.
【００３８】一方、カバー手段５のシンチレータ７と接
する側の面５ａが、光吸収層である場合は、放射線の照
射により発光したシンチレータ７の光のうち、固体光検
出素子３ａと反対の方向に向かう光すなわちカバー手段
５に向かう光が、光吸収層で吸収されるため、固体光検
出素子３ａで検出される光は、シンチレータ７で発光し
た光のうち、固体光検出素子３ａの方向へ向かう成分だ
けになるため、鮮鋭度が高くなる。このように、カバー
手段５のシール手段４と接する側の面５ａを光反射層も
しくは光吸収層にすることによって、放射線検出器の特
性を最適にすることが可能になる。On the other hand, when the surface 5a of the cover means 5 which is in contact with the scintillator 7 is a light absorption layer, the light of the scintillator 7 emitted by the irradiation of radiation is directed in the direction opposite to the solid-state photodetector 3a. Since the light going toward, that is, the light going to the cover means 5 is absorbed by the light absorption layer, the light detected by the solid-state photodetection element 3a goes toward the solid-state photodetection element 3a among the light emitted by the scintillator 7. The sharpness is high because it contains only the ingredients. In this way, by making the surface 5a of the cover means 5 on the side in contact with the sealing means 4 a light reflecting layer or a light absorbing layer, the characteristics of the radiation detector can be optimized.
【００３９】また、６は、ガラス基板２に開けられた排
気手段である排気穴であり配管のためにニップル８が取
り付けてある、カバー手段５、シール手段４と固体光検
出手段３によって形成された密閉空間は、この排気手段
６のみにより大気と導通する事ができるこの密閉空間は
図示せぬ配管により、図示せぬ排気源に接続されてい
る。排気源の一例としては、真空ポンプが好適である。
本実施形態では、排気手段６は、ガラス基板２に取り付
けられているが、シール手段４または、カバー手段５の
いずれに取り付けられていてもよい。Further, 6 is an exhaust hole which is an exhaust means opened in the glass substrate 2 and is formed by a cover means 5, a sealing means 4 and a solid light detecting means 3 to which a nipple 8 is attached for piping. The closed space can communicate with the atmosphere only by the exhaust means 6, and the closed space is connected to an exhaust source (not shown) by a pipe (not shown). A vacuum pump is suitable as an example of the exhaust source.
In the present embodiment, the exhaust means 6 is attached to the glass substrate 2, but it may be attached to either the seal means 4 or the cover means 5.
【００４０】さらに、７は、カバー手段５、シール手段
４と固体光検出手段３によって形成された密閉空間内の
カバー手段５に配置された、シンチレータであり、放射
線源１０１から出射され被検体１０２に照射され、被検
体１０２を透過し、本発明の放射線検出器に入射したＸ
線である放射線により発光する。シンチレータ７の具体
的な例としては、Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ4 等の
蛍光体、蛍光体をフィバープレート中にドーピングした
いわゆるシンチレーションファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：
Ｔｌ等種々のものがある。Further, 7 is a scintillator which is arranged in the cover means 5 in the closed space formed by the cover means 5, the seal means 4 and the solid-state light detection means 3 and which is emitted from the radiation source 101 to be inspected 102. X, which is irradiated to the X-ray, passes through the object 102, and enters the radiation detector of the present invention.
It emits light with a line of radiation. Specific examples of the scintillator 7 include phosphors such as Gd 2 O 2 S: Tb and CaWO 4 , so-called scintillation fibers doped with phosphor in a fiber plate, CsI and CsI:
There are various types such as Tl.
【００４１】このシンチレータ７は、図１（ａ）に示す
ごとく、光反射層もしくは、光吸収層を有するカバー手
段５に直接、塗布、蒸着、貼り付け等の手段で形成して
もよいし、図１（ｂ）に示すようにあらかじめＸ線透過
性に優れる樹脂シート等の基板９にシンチレータ７を形
成したものでもよい。あらかじめＸ線透過性に優れる樹
脂シート等の基板９にシンチレータ７を形成したもの
を、シンチレータとして用いる場合は、樹脂シート等の
基板９のシンチレータ７と接する面９ａを光反射面もし
くは、光吸収面とするのが良く、このときは、カバー手
段５のシンチレータ７と接する面５ａは、特に光吸収
面、光反射面等の処理をする必要はない。As shown in FIG. 1A, the scintillator 7 may be directly formed on the cover means 5 having a light reflection layer or a light absorption layer by means such as coating, vapor deposition, and sticking. As shown in FIG. 1B, the scintillator 7 may be formed in advance on a substrate 9 such as a resin sheet having excellent X-ray transparency. When a scintillator 7 formed on a substrate 9 such as a resin sheet having excellent X-ray transparency in advance is used as a scintillator, a surface 9a of the substrate 9 such as a resin sheet which is in contact with the scintillator 7 is a light reflecting surface or a light absorbing surface. In this case, the surface 5a of the cover means 5 that is in contact with the scintillator 7 does not need to be treated as a light absorbing surface or a light reflecting surface.
【００４２】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
５、シール手段４と固体光検出手段３によって形成され
た密閉空間内の空気は、排気手段６を介して、外部に排
出され、密閉空間内の圧力が低下する。大気圧によりカ
バー手段５は固体光検出手段３の方向に、固体光検出手
段３はカバー手段５の方向に各々押つけられる。その結
果、シンチレータ７と固体光検出素子３ａの密着は、シ
ール手段４が変形しながら徐々に進行し、最終的にシン
チレータ７と固体光検出素子３ａの間の空気がほぼ完全
に排出され、理想的な密着が全面にわたって達成でき
る。In the radiation detector having the above structure, when a vacuum pump, which is an exhaust source (not shown), is driven, the air in the closed space formed by the cover means 5, the sealing means 4 and the solid-state light detecting means 3 is exhausted. It is discharged to the outside via the means 6 and the pressure in the closed space is reduced. Due to the atmospheric pressure, the cover means 5 is pressed toward the solid-state light detecting means 3 and the solid-light detecting means 3 is pressed toward the cover means 5. As a result, the close contact between the scintillator 7 and the solid-state photodetection element 3a gradually progresses while the sealing means 4 is deformed, and finally the air between the scintillator 7 and the solid-state photodetection element 3a is almost completely discharged. Adhesion can be achieved over the entire surface.
【００４３】真空源の駆動は、撮影装置の電源と同期
し、撮影装置に電源が投入されている間は、駆動を継続
してもよいし、実際の撮影タイミングに同期し、撮影時
のみ真空源を駆動してもよい。The driving of the vacuum source is synchronized with the power supply of the photographing apparatus, and the driving may be continued while the power of the photographing apparatus is turned on. The source may be driven.
【００４４】（実施形態２）図５（ａ），（ｂ）は、本
発明の第２の実施形態である放射線検出器断面図であ
る。(Embodiment 2) FIGS. 5A and 5B are sectional views of a radiation detector according to a second embodiment of the present invention.
【００４５】図５中、２１は第２の実施形態の放射線検
出器である。２２はガラス基板であり、ガラス基板２２
上には、フォトリソグラフィー法により固体光検出素子
を２次元状に配列形成した光検出手段２３が配されてい
る。In FIG. 5, reference numeral 21 is a radiation detector of the second embodiment. 22 is a glass substrate, and the glass substrate 22
A photodetecting means 23 in which solid-state photodetecting elements are two-dimensionally arranged and formed by a photolithography method is arranged on the top.
【００４６】また、２４はその一面２４ａをガラス基板
２２上に形成された固体光検出素子２３ａの外周に全周
にわたり接着等の手段で取り付けられたシール手段であ
り、シール手段２４の厚さは、シンチレータ２７の厚さ
と略同等の厚さが適当である。また、固体光検出素子２
３ａに外来光が入らないようにするためには、シール手
段２４が遮光性も有することが望ましい。Further, reference numeral 24 is a sealing means whose one surface 24a is attached to the outer periphery of the solid-state photodetecting element 23a formed on the glass substrate 22 over the entire circumference by means such as adhesion, and the thickness of the sealing means 24 is A thickness approximately equal to the thickness of the scintillator 27 is suitable. In addition, the solid-state photodetector 2
In order to prevent extraneous light from entering the 3a, it is desirable that the sealing means 24 also has a light shielding property.
【００４７】シール手段２４の固体光検出素子２３ａと
接する面と反対の面２４ｂは、カバー手段２５の外周に
全周にわたり接着等の手段で取り付けられており、この
カバー手段２５とシール手段２４と固体光検出素子２３
ａを形成したガラス基板２２によって密閉空間を形成し
ている。A surface 24b of the sealing means 24 opposite to the surface in contact with the solid-state light detecting element 23a is attached to the outer periphery of the cover means 25 over the entire circumference by means such as adhesion. Solid-state photodetector 23
A closed space is formed by the glass substrate 22 on which a is formed.
【００４８】カバー手段２５は、クロロプレンゴム、シ
リコンゴム、ＰＥＴ樹脂、等のシート状の可撓性の薄板
材料でできている。このカバー手段２５のシンチレータ
２７と接する側の面２５ａは、光反射層もしくは、光吸
収層であることが望ましく、光反射層、光吸収層の形成
方法としては、蒸着、鍍金、薄い金属箔、印刷等、が適
当である。The cover means 25 is made of a sheet-like flexible thin plate material such as chloroprene rubber, silicon rubber, PET resin or the like. The surface 25a of the cover means 25 on the side in contact with the scintillator 27 is preferably a light reflecting layer or a light absorbing layer. The light reflecting layer and the light absorbing layer are formed by vapor deposition, plating, a thin metal foil, Printing or the like is suitable.
【００４９】カバー手段２５のシンチレータ２７と接す
る側の面２５ａが、光反射層の場合は、放射線の照射に
より発光したシンチレータ２７の光が、反射層で反射
し、固体光検出素子２３ａへ向かうため光を効率良く取
り出すことが可能になり感度が高くなる。When the surface 25a of the cover means 25 on the side in contact with the scintillator 27 is a light reflecting layer, the light of the scintillator 27 emitted by irradiation of radiation is reflected by the reflecting layer and goes to the solid-state photodetecting element 23a. It is possible to extract light efficiently and the sensitivity is increased.
【００５０】一方、カバー手段２５のシンチレータ２７
と接する側の面２５ａが、光吸収層である場合は、放射
線の照射により発光したシンチレータ７の光のうち、固
体光検出素子２３ａと反対の方向に向かう光すなわちカ
バー手段２５に向かう光が、光吸収層で吸収されるた
め、固体光検出素子２３ａで検出される光は、シンチレ
ータ２７で発光した光のうち、固体光検出素子２３ａの
方向へ向かう成分だけになるため、鮮鋭度が高くなる。
このように、カバー手段２５のシール手段２４と接する
側の面２５ａを光反射層もしくは光吸収層にすることに
よって、放射線検出器の特性を最適にすることが可能に
なる。On the other hand, the scintillator 27 of the cover means 25
When the surface 25a on the side in contact with is a light absorption layer, among the light of the scintillator 7 emitted by irradiation of radiation, the light traveling in the direction opposite to the solid-state photodetection element 23a, that is, the light traveling toward the cover means 25 is Since the light is absorbed by the light absorption layer, the light detected by the solid-state photodetection element 23a is only the component of the light emitted by the scintillator 27 that is directed toward the solid-state photodetection element 23a, and therefore the sharpness is increased. .
In this way, by making the surface 25a of the cover means 25, which is in contact with the sealing means 24, the light reflecting layer or the light absorbing layer, the characteristics of the radiation detector can be optimized.
【００５１】つぎに、２６はガラス基板２２に開けられ
た排気手段である排気穴であり、配管のためにニップル
２８が取り付けてある、カバー手段２５、シール手段２
４と固体光検出手段２３によって形成された密閉空間
は、この排気手段２６のみにより大気と導通する事がで
きる。この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排
気源に接続されている。排気源の一例としては、真空ポ
ンプが好適である。Next, 26 is an exhaust hole which is an exhaust means opened in the glass substrate 22, and a cover means 25 and a sealing means 2 to which a nipple 28 is attached for piping.
The airtight space formed by 4 and the solid-state light detecting means 23 can be electrically connected to the atmosphere only by the exhaust means 26. This closed space is connected to an exhaust source (not shown) by a pipe (not shown). A vacuum pump is suitable as an example of the exhaust source.
【００５２】本実施形態では、排気手段２６は、ガラス
基板２２に取り付けられているが、シール手段２４また
は、カバー手段２５のいずれに取り付けられていてもよ
い。Although the exhaust means 26 is attached to the glass substrate 22 in this embodiment, it may be attached to either the seal means 24 or the cover means 25.
【００５３】また、２７は、カバー手段２５、シール手
段２４と固体光検出手段２３によって形成された密閉空
間内のカバー手段２５に配置されたシンチレータであ
り、放射線源から出射され被検体に照射され、被検体を
透過し、本発明の放射線検出器に入射した放射線により
発光する。シンチレータ２７の具体的な例としては、Ｇ
ｄ2 Ｏ2Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ4 等の蛍光体、蛍光体をフ
ィバープレート中にドーピングしたいわゆるシンチレー
ションファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものが
ある。Further, 27 is a scintillator arranged in the cover means 25 in the closed space formed by the cover means 25, the seal means 24 and the solid-state light detection means 23, which is emitted from the radiation source and irradiated to the subject. Emits light by the radiation that has passed through the subject and entered the radiation detector of the present invention. As a specific example of the scintillator 27, G
There are various phosphors such as d 2 O 2 S: Tb, CaWO 4, etc., so-called scintillation fibers doped with phosphor in a fiber plate, CsI, CsI: Tl, and the like.
【００５４】このシンチレータ２７は、図５に示すごと
く、光反射層もしくは、光吸収層を有するカバー手段２
５に直接、塗布、蒸着、貼り付け等の手段で形成しても
よいし、図５（ｂ）に示すようにあらかじめＸ線透過性
に優れる樹脂シート等の基板２９にシンチレータ２７を
形成したものでもよい。As shown in FIG. 5, the scintillator 27 has a cover means 2 having a light reflecting layer or a light absorbing layer.
5 may be formed directly by means of coating, vapor deposition, pasting or the like, or as shown in FIG. 5B, a scintillator 27 is previously formed on a substrate 29 such as a resin sheet having excellent X-ray transparency. But it's okay.
【００５５】あらかじめＸ線透過性に優れる樹脂シート
等の基板２９にシンチレータ２７を形成したものを、シ
ンチレータとして用いる場合は、樹脂シート等の基板２
９のシンチレータ２７と接する面を光反射面もしくは、
光吸収面とするのが良く、このときは、カバー手段２５
のシンチレータ２７と接する面２５ａは、特に光吸収
面、光反射面等の処理をする必要はない。When a scintillator 27 formed on a substrate 29 such as a resin sheet having excellent X-ray transparency in advance is used as a scintillator, the substrate 2 such as a resin sheet is used.
9 is a light reflecting surface or a surface in contact with the scintillator 27.
A light absorbing surface is preferable, and at this time, the cover means 25
The surface 25a in contact with the scintillator 27 does not need to be treated as a light absorbing surface or a light reflecting surface.
【００５６】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
２５、シール手段２４と固体光検出素子２３ａを形成し
たガラス基板２２によって形成された密閉空間内の空気
は、排気手段２６を介して、外部に排出され密閉空間内
の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段２５はガラス
基板２２の方向に、ガラス基板２２はカバー手段２５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ２７
と固体光検出素子２３の密着は、可撓性のカバー手段２
５が変形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ
２７と固体光検出素子２３の間の空気がほぼ完全に排出
され、理想的な密着が全面にわたって達成できる。In the radiation detector having the above-described structure, when a vacuum pump, which is an exhaust source (not shown), is driven, a closed space formed by the glass substrate 22 on which the cover means 25, the sealing means 24 and the solid-state light detecting element 23a are formed. The air inside is discharged to the outside via the exhaust means 26, and the pressure in the closed space is reduced. Due to the atmospheric pressure, the cover means 25 is directed toward the glass substrate 22, and the glass substrate 22 is directed toward the cover means 25. It is pressed. As a result, the scintillator 27
The close contact between the solid-state light detecting element 23 and the solid-state light detecting element 23 is achieved by the flexible cover means 2
5 gradually progresses while deforming, and finally the air between the scintillator 27 and the solid-state photodetection element 23 is almost completely discharged, and ideal adhesion can be achieved over the entire surface.
【００５７】真空源の駆動は、撮影装置の電源と同期
し、撮影装置に電源が投入されている間は、駆動を継続
してもよいし、実際の撮影タイミングに同期し、撮影時
のみ真空源を駆動してもよい。The driving of the vacuum source is synchronized with the power source of the photographing apparatus, and may be continued while the photographing apparatus is powered on, or it may be synchronized with the actual photographing timing, and the vacuum source may be used only during photographing. The source may be driven.
【００５８】（実施形態３）図６は、本発明の放射線検
出器の第３の実施形態を示す断面図である。第３の実施
形態は、シンチレータの交換を目的とした放射線検出器
のシンチレータと光検出素子の密着に関するものであ
り、撮影部位、撮影目的に最適なシンチレータを選択し
交換できるようにしたものである。(Embodiment 3) FIG. 6 is a sectional view showing a third embodiment of the radiation detector of the present invention. The third embodiment relates to the close contact between the scintillator and the photodetector of the radiation detector for the purpose of exchanging the scintillator, and the scintillator most suitable for the imaging site and the imaging purpose can be selected and replaced. .
【００５９】放射線を発生する放射線源から照射され、
被検体を透過したる放射線は、図中Ｘの方向から放射線
検出器３１に入射する。Is irradiated from a radiation source that produces radiation,
Radiation passing through the subject enters the radiation detector 31 from the X direction in the figure.
【００６０】図６中、３１は本発明による放射線検出器
である。３２はガラス基板であり、ガラス基板３２上に
は、フォトリソグラフィー法により固体光検出素子３３
ａを２次元状に配列形成した光検出手段３３が配されて
いる。In FIG. 6, reference numeral 31 is a radiation detector according to the present invention. Reference numeral 32 denotes a glass substrate, and the solid-state photodetector 33 is formed on the glass substrate 32 by photolithography.
Photodetection means 33 in which a is formed in a two-dimensional array is arranged.
【００６１】また、３４はその一面３４ａをガラス基板
３２上に形成された固体光検出素子３２ａの外周に全周
にわたり接着等の手段で取り付けられた弾性のある（可
撓性）シール手段であり、シリコンゲル、シリコンゴ
ム、ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材料が好ましい。
シール手段３４の厚さは、シンチレータ３７の厚さと同
等かもしくは、シンチレータ３７の厚さよりわずかに厚
い厚さが適当である。また、固体光検出素子３３ａに外
来光が入らないようにするためには、シール手段３４が
遮光性も有することが望ましい。Further, 34 is an elastic (flexible) sealing means whose one surface 34a is attached to the outer periphery of the solid-state photodetection element 32a formed on the glass substrate 32 over the entire circumference by means such as adhesion. Materials such as silicone gel, silicone rubber, neoprene rubber and butyl rubber are preferred.
It is suitable that the thickness of the sealing means 34 is equal to or slightly larger than the thickness of the scintillator 37. Further, in order to prevent extraneous light from entering the solid-state light detecting element 33a, it is desirable that the sealing means 34 also has a light shielding property.
【００６２】固体光検出素子３３ａと接する面と反対の
面３４ｂは、カバー手段３５の外周に全周にわたり着脱
自在であるが、空気密に接合されている。このカバー手
段３５とシール手段３４と固体光検出素子３３ａを形成
したガラス基板３２によって密閉空間を形成している。
カバー手段３５は、放射線入射側の面であるため、放射
線透過性に優れる材質が好ましく、具体的には、炭素繊
維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）が好適である。この炭素繊
維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）は、機械的強度、低放射線
吸収性と、遮光性の両特性を持ち合わせるために特に望
ましい。The surface 34b opposite to the surface in contact with the solid-state light detecting element 33a is detachably attached to the outer circumference of the cover means 35 over the entire circumference, but is airtightly joined. The cover means 35, the sealing means 34, and the glass substrate 32 on which the solid-state light detecting element 33a is formed form a closed space.
Since the cover means 35 is a surface on the radiation incident side, it is preferably made of a material having excellent radiation permeability, and specifically, carbon fiber reinforced resin (CFRPP) is suitable. This carbon fiber reinforced resin (CFRP) is particularly desirable because it has both mechanical strength, low radiation absorption and light shielding properties.
【００６３】このカバー手段３５のシール手段３４と接
する側の面３５ａは、光反射層もしくは、光吸収層であ
ることが望ましく、光反射層、光吸収層の形成方法とし
ては、蒸着、鍍金、薄い金属箔、印刷等、が適当であ
る。The surface 35a of the cover means 35 which is in contact with the sealing means 34 is preferably a light reflecting layer or a light absorbing layer. As the method for forming the light reflecting layer and the light absorbing layer, vapor deposition, plating, Thin metal foil, printing, etc. are suitable.
【００６４】カバー手段３５のシール手段３４と接する
側の面３５ａが、光反射層の場合は、放射線の照射によ
り発光したシンチレータ３７の光が、反射層で反射し、
固体光検出素子３３ａへ向かうため光を効率良く取り出
すことが可能になり感度が高くなる。When the surface 35a of the cover means 35 which is in contact with the sealing means 34 is a light reflection layer, the light of the scintillator 37 emitted by irradiation of radiation is reflected by the reflection layer,
Since the light is directed to the solid-state photodetector 33a, light can be efficiently extracted and sensitivity is increased.
【００６５】一方、カバー手段３５のシール手段３４と
接する側の面３５ａが、光吸収層である場合は、放射線
の照射により発光したシンチレータ３７の光のうち、固
体光検出素子３３ａと反対の方向に向かう光が、光吸収
層で吸収されるため、固体光検出素子３３ａで検出され
る光は、シンチレータ３７で発光した光のうち、固体光
検出素子３３ａの方向へ向かう成分だけになるため、鮮
鋭度が高くなる。このように、カバー手段３５のシール
手段３４と接する側の面３５ｂを光反射層もしくは光吸
収層にすることによって、放射線検出器３１の特性を最
適にすることが可能になる。On the other hand, when the surface 35a of the cover means 35 which is in contact with the sealing means 34 is a light absorption layer, the light of the scintillator 37 emitted by the irradiation of radiation is in the direction opposite to the solid-state photodetection element 33a. Since the light directed to the solid absorption layer is absorbed by the light absorption layer, the light detected by the solid-state photodetection element 33a is only the component of the light emitted by the scintillator 37 that is directed toward the solid-state photodetection element 33a. Sharpness increases. In this way, by making the surface 35b of the cover means 35, which is in contact with the sealing means 34, the light reflecting layer or the light absorbing layer, the characteristics of the radiation detector 31 can be optimized.
【００６６】また図６において、３０はバネ材等で作ら
れた着脱自在な押圧部材であり放射線検出器３１の外周
部に、ガラス基板３２、シール手段３４、カバー手段３
５を空気密に挟持しており、ガラス基板３２、シール手
段３４、カバー手段３５で密閉空間を構成している。押
圧部材３０の役割りは、ガラス基板３２、シール手段３
４、カバー手段３５の接合面を互いに押しつけることで
ある。従って、押圧部材３０は、ガラス基板３２、シー
ル手段３４、カバー手段３５を互いに押圧することので
きる構造であれば良い。Further, in FIG. 6, reference numeral 30 is a detachable pressing member made of a spring material or the like, and a glass substrate 32, a sealing means 34 and a cover means 3 are provided on the outer peripheral portion of the radiation detector 31.
5 is airtightly sandwiched, and the glass substrate 32, the sealing means 34, and the cover means 35 form a sealed space. The pressing member 30 plays a role of the glass substrate 32 and the sealing means 3.
4, pressing the joint surfaces of the cover means 35 against each other. Therefore, the pressing member 30 may have a structure capable of pressing the glass substrate 32, the sealing means 34, and the cover means 35 against each other.
【００６７】また、３６は、ガラス基板３２に開けられ
た排気手段である排気穴であり、配管のためにニップル
３８が取り付けてある、カバー手段３５、シール手段３
４と固体光検出手段３３によって形成された密閉空間
は、この排気手段３６のみにより大気と導通する事がで
きる。この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排
気源に接続されている。排気源の一例としては、真空ポ
ンプが好適である。Reference numeral 36 is an exhaust hole which is an exhaust means opened in the glass substrate 32, and a cover means 35 and a sealing means 3 to which a nipple 38 is attached for piping.
The closed space formed by 4 and the solid-state light detecting means 33 can be connected to the atmosphere only by the exhaust means 36. This closed space is connected to an exhaust source (not shown) by a pipe (not shown). A vacuum pump is suitable as an example of the exhaust source.
【００６８】本実施形態では、排気手段３６は、ガラス
基板３２に取り付けられているが、シール手段３４また
は、カバー手段３５のいずれに取り付けられていてもよ
い。In this embodiment, the exhaust means 36 is attached to the glass substrate 32, but it may be attached to either the seal means 34 or the cover means 35.
【００６９】さらに、３７は、カバー手段３５、シール
手段３４と固体光検出素子３３ａを形成したガラス基板
３２によって形成された密閉空間内に配置されたシンチ
レータであり、放射線源から出射され被検体に照射さ
れ、被検体を透過した放射線により発光する。シンチレ
ータ３７の具体的な例としては、Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ，
ＣａＷＯ4等の蛍光体、蛍光体をフィバープレート中に
ドーピングしたいわゆるシンチレーションファイバ、Ｃ
ｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものがある。Further, 37 is a scintillator arranged in a closed space formed by the glass substrate 32 on which the cover means 35, the sealing means 34 and the solid-state photodetecting element 33a are formed. The scintillator 37 is emitted from the radiation source to the subject. It is emitted and emits light by the radiation that has passed through the subject. Specific examples of the scintillator 37 include Gd 2 O 2 S: Tb,
A phosphor such as CaWO 4, a so-called scintillation fiber in which a phosphor is doped into the fiber plate, C
There are various types such as sI and CsI: Tl.
【００７０】このシンチレータ３７は、図６に示すごと
く、光反射層もしくは、光吸収層を有するカバー手段３
５に直接、塗布、蒸着、貼り付け等の手段で形成しても
よいし、図６のカバー手段３５の内部側にあらかじめＸ
線透過性に優れる樹脂シート等の基板３９を設け、基板
３９の固体光検出素子３３ａやガラス基板３２側にシン
チレータ３７を形成したものでもよい。As shown in FIG. 6, the scintillator 37 has a cover means 3 having a light reflecting layer or a light absorbing layer.
5 may be formed directly by means such as coating, vapor deposition, and pasting, or X may be previously formed inside the cover means 35 in FIG.
A substrate 39 such as a resin sheet having excellent line transparency may be provided, and the scintillator 37 may be formed on the substrate 39 side of the solid-state photodetector 33a or the glass substrate 32.
【００７１】あらかじめＸ線透過性に優れる樹脂シート
等の基板３９にシンチレータ３７を形成したものを、シ
ンチレータとして用いる場合は、樹脂シート等の基板３
９のシンチレータ３７と接する面を光反射面もしくは、
光吸収面とするのが良く、このときは、カバー手段３５
のシンチレータ３７と接する面３５ａは、特に光吸収
面、光反射面等の処理をする必要はない。When a scintillator 37 is formed on a substrate 39 such as a resin sheet having excellent X-ray transparency in advance, the substrate 3 such as a resin sheet is used.
9 is a light reflecting surface or a surface in contact with the scintillator 37.
A light absorbing surface is preferable, and at this time, the cover means 35
The surface 35a contacting the scintillator 37 does not need to be treated as a light absorbing surface or a light reflecting surface.
【００７２】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
３５、シール手段３４と固体光検出素子３３ａを形成し
たガラス基板３２によって形成された密閉空間内の空気
は、排気手段３６を介して、外部に排出され密閉空間内
の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段３５はガラス
基板３２の方向に、ガラス基板３２はカバー手段３５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ３７
と固体光検出素子３３ａの密着は、シール手段３４が変
形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ３７と
固体光検出素子３３ａの間の空気がほぼ完全に排出さ
れ、理想的な密着が全面にわたって達成できる。In the radiation detector having the above-described structure, when a vacuum pump, which is an exhaust source (not shown), is driven, a closed space formed by the glass substrate 32 on which the cover means 35, the sealing means 34 and the solid-state photodetecting element 33a are formed. The air inside is discharged to the outside through the exhaust means 36, and the pressure in the closed space is reduced. Due to the atmospheric pressure, the cover means 35 is directed toward the glass substrate 32, and the glass substrate 32 is directed toward the cover means 35. It is pressed. As a result, the scintillator 37
The contact between the solid-state light detecting element 33a and the solid-state light detecting element 33a gradually progresses while the sealing means 34 is deformed, and finally the air between the scintillator 37 and the solid-state light detecting element 33a is almost completely discharged, so that the ideal close contact is achieved. Can be achieved over.
【００７３】シンチレータ３７を交換する際は、図示せ
ぬ真空源の駆動を停止し、カバー手段３５、シール手段
３４と固体光検出素子３３ａを形成したガラス基板３２
によって形成された密閉空間を大気解放し、押圧部材３
０をはずす。シンチレータ３７がカバー手段３５に直接
形成されている場合は、カバー手段３５とともにシンチ
レータ３７の交換を行う。When replacing the scintillator 37, the driving of a vacuum source (not shown) is stopped, and the glass substrate 32 on which the cover means 35, the sealing means 34 and the solid-state light detecting element 33a are formed.
The closed space formed by
Remove 0. When the scintillator 37 is directly formed on the cover means 35, the scintillator 37 is replaced together with the cover means 35.
【００７４】図６に示すカバー手段３５と固体光検出素
子３３ａ間にシンチレータ３７が、あらかじめＸ線透過
性に優れる樹脂シート等の基板３９に形成されている場
合は、樹脂シート等の基板３９とともにシンチレータ３
７の交換を行いカバー手段３５を取り付ける。When the scintillator 37 is previously formed on the substrate 39 such as a resin sheet having excellent X-ray transparency between the cover means 35 and the solid-state light detecting element 33a shown in FIG. 6, together with the substrate 39 such as the resin sheet. Scintillator 3
7 is replaced and the cover means 35 is attached.
【００７５】その後、押圧部材３０を取り付け、カバー
手段３５、シール手段３４と固体光検出素子３３ａを形
成したガラス基板３２によって密閉空間を再度形成す
る。交換したシンチレータ３７と固体光検出素子３３ａ
の密着は、再び真空源を駆動して行う。After that, the pressing member 30 is attached, and the hermetically sealed space is formed again by the cover means 35, the sealing means 34, and the glass substrate 32 on which the solid-state light detecting element 33a is formed. Replaced scintillator 37 and solid-state photodetector 33a
The close contact is performed by driving the vacuum source again.
【００７６】（実施形態４）図７は、本発明の第４の実
施形態の放射線検出器の断面図である。放射線を発生す
る放射線源から照射され、被検体を透過した放射線は、
図中Ｘの方向から放射線検出器４１に入射する。(Fourth Embodiment) FIG. 7 is a sectional view of a radiation detector according to a fourth embodiment of the present invention. Radiation emitted from a radiation source that emits radiation and transmitted through the subject is
It enters the radiation detector 41 from the direction of X in the figure.
【００７７】図７（ａ）中、４１は実施形態４の放射線
検出器である。４２は、ガラス基板でありガラス基板上
には、フォトリソグラフィー法により固体光検出素子４
３ａを２次元状に配列形成した光検出手段４３が配され
ている。In FIG. 7A, reference numeral 41 is a radiation detector according to the fourth embodiment. 42 is a glass substrate, and the solid-state photodetector 4 is formed on the glass substrate by photolithography
A light detecting means 43 in which 3a is formed in a two-dimensional array is arranged.
【００７８】また、４４はその一面４４ａをガラス基板
４２上に形成された固体光検出素子４３ａの外周に全周
にわたり接着等の手段で取り付けられた弾性のある（可
撓性）シール手段であり、シリコンゲル、シリコンゴ
ム、ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材料が好ましい。
シール手段４４の厚さは、シンチレータ４７の厚さと同
等かもしくは、シンチレータ４７の厚さよりわずかに厚
い厚さが適当である。また、固体光検出素子４３ａに外
来光が入らないようにするためには、シール手段４４が
遮光性も有することが望ましい。Reference numeral 44 is an elastic (flexible) sealing means, one surface 44a of which is attached to the outer circumference of the solid-state photodetecting element 43a formed on the glass substrate 42 over the entire circumference by means such as bonding. Materials such as silicone gel, silicone rubber, neoprene rubber and butyl rubber are preferred.
The thickness of the sealing means 44 is preferably equal to or slightly larger than the thickness of the scintillator 47. Further, in order to prevent extraneous light from entering the solid-state light detecting element 43a, it is desirable that the sealing means 44 also has a light shielding property.
【００７９】固体光検出素子４３と接する面と反対の面
４４ｂは、カバー手段４５の外周に全周にわたり接着等
の手段で取り付けられており、このカバー手段４５とシ
ール手段４４と固体光検出素子４３ａを形成したガラス
基板４２によって密閉空間を形成している。カバー手段
４５は、放射線入射側の面であるため、放射線透過性に
優れる材質が好ましく、具体的には、炭素繊維強化樹脂
（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）、ＰＥＴ樹脂シートが好適である。こ
の炭素繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）は、機械的強度、
低放射線吸収性と、遮光性の両特性を持ち合わせるため
に特に望ましい。シンチレータ４７として、ＣｓＩを用
いた場合は、ＣｓＩは、一般的にアルミ基板に蒸着によ
って形成されるため、カバー手段４５の材質は、アルミ
ニウム等が用いられる。The surface 44b opposite to the surface in contact with the solid-state light detecting element 43 is attached to the outer circumference of the cover means 45 by means such as adhesion over the entire circumference. The cover means 45, the sealing means 44, and the solid-state light detecting element. A closed space is formed by the glass substrate 42 on which 43a is formed. Since the cover means 45 is the surface on the radiation incident side, it is preferably made of a material having excellent radiation transparency, and specifically, carbon fiber reinforced resin (CFRPP) or PET resin sheet is suitable. This carbon fiber reinforced resin (CFR P) has mechanical strength,
It is particularly desirable because it has both low radiation absorption and light shielding properties. When CsI is used as the scintillator 47, since CsI is generally formed by vapor deposition on an aluminum substrate, aluminum or the like is used as the material of the cover means 45.
【００８０】また、４６はガラス基板４２に開けられた
排気手段である排気穴であり、配管のためにニップル４
８が取り付けてある、カバー手段４５、シール手段４４
と固体光検出手段４３によって形成された密閉空間は、
この排気手段４６のみにより大気と導通する事ができ
る。この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排気
源に接続されている。排気源の一例としては、真空ポン
プが好適である。Further, numeral 46 is an exhaust hole which is an exhaust means opened in the glass substrate 42, and for the nipple 4 for piping.
8 is attached, cover means 45, sealing means 44
And the closed space formed by the solid-state light detecting means 43,
Only the exhaust means 46 can connect to the atmosphere. This closed space is connected to an exhaust source (not shown) by a pipe (not shown). A vacuum pump is suitable as an example of the exhaust source.
【００８１】本実施形態では、排気手段４６は、ガラス
基板４２に取り付けられているが、シール手段４４また
は、カバー手段４５のいずれに取り付けられていてもよ
い。In this embodiment, the exhaust means 46 is attached to the glass substrate 42, but it may be attached to either the seal means 44 or the cover means 45.
【００８２】また、４７はカバー手段４５、シール手段
４４と固体光検出素子４３ａを形成したガラス基板４２
によって形成された密閉空間内のカバー手段４５に配置
されたシンチレータであり、放射線源から出射され被検
体に照射され、被検体を透過した放射線により発光す
る。シンチレータ４７の具体的な例としては、Ｇｄ2 Ｏ
2 Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ4 等の蛍光体、蛍光体をフィバー
プレート中にドーピングしたいわゆるシンチレーション
ファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものがある。Further, 47 is a cover means 45 and a sealing means.
Glass substrate 42 on which solid-state photodetector element 43a and 44 are formed
Located on the cover means 45 in an enclosed space formed by
Scintillator, which is emitted from the radiation source
Irradiates the body and emits light by the radiation that has passed through the subject.
You. As a specific example of the scintillator 47, GdTwoO
TwoS: Tb, CaWOFourSuch as fluorescent substance, fluorescent substance
So-called scintillation doped in the plate
There are various types such as fiber, CsI, and CsI: Tl.
【００８３】また、７１はタンクであり、配管７２によ
り排気手段４６に取り付けられたニップル４８に接続さ
れている。タンク７１内には吸湿材７３であるシリカゲ
ルおよび、圧力検出手段７４が配置されており、タンク
７１は配管７５より更に電磁弁７６に接続されている。
電磁弁７６は三方弁が最適である。電磁弁７６は、排気
源である真空ポンプ７７に配管７８で接続されている。A tank 71 is connected to a nipple 48 attached to the exhaust means 46 by a pipe 72. A silica gel, which is a hygroscopic material 73, and a pressure detecting means 74 are arranged in the tank 71, and the tank 71 is further connected to a solenoid valve 76 via a pipe 75.
The solenoid valve 76 is most preferably a three-way valve. The solenoid valve 76 is connected to a vacuum pump 77, which is an exhaust source, by a pipe 78.
【００８４】また、７９はタンク７１内の圧力検出手段
７４に接続された圧力検出回路であり、８０は排気源制
御手段であり、圧力検出回路７９の出力に基づいて排気
源である真空ポンプ７７の駆動を制御する手段である。Further, 79 is a pressure detection circuit connected to the pressure detection means 74 in the tank 71, 80 is an exhaust source control means, and a vacuum pump 77 which is an exhaust source based on the output of the pressure detection circuit 79. Is a means for controlling the drive of the.
【００８５】上述の構成の放射線検出器４１において、
排気源である真空ポンプ７７を駆動するとともに電磁弁
７６を図示せぬ電磁弁駆動手段により、図７（ｂ）のご
とく切り換えるとタンク７１と真空ポンプ７７は導通状
態になり、カバー手段４５、シール手段４４と固体光検
出素子４３ａを形成したガラス基板４２によって形成さ
れた密閉空間内の空気は、排気手段４６及び、配管７
２，７５，７８を介して、外部に排出され、密閉空間内
の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段４５はガラス
基板４２の方向に、ガラス基板４２はカバー手段４５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ４７
と固体光検出素子４３ａの密着は、シール手段４４が変
形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ４７と
固体光検出素子４３ａの間の空気がほぼ完全に排出さ
れ、理想的な密着が全面にわたって達成できる。In the radiation detector 41 having the above structure,
When the vacuum pump 77, which is the exhaust source, is driven and the solenoid valve 76 is switched by a solenoid valve drive means (not shown) as shown in FIG. 7B, the tank 71 and the vacuum pump 77 are brought into conduction, and the cover means 45 and the seal The air in the closed space formed by the means 44 and the glass substrate 42 on which the solid-state light detecting element 43a is formed is exhausted by the exhaust means 46 and the pipe 7.
2, 75, 78 are discharged to the outside, the pressure in the closed space is reduced, and the atmospheric pressure causes the cover means 45 to be pressed toward the glass substrate 42 and the glass substrate 42 to be pressed toward the cover means 45. To be As a result, the scintillator 47
The contact between the solid-state light detecting element 43a and the solid-state light detecting element 43a gradually progresses while the sealing means 44 is deformed, and finally the air between the scintillator 47 and the solid-state light detecting element 43a is almost completely discharged, so that the ideal close contact is achieved. Can be achieved over.
【００８６】排気源である真空ポンプ７７の駆動は、タ
ンク７１内の圧力検出回路７９の出力をもとに行う。す
なわち、タンク７１内の圧力が予め設定した設定圧力よ
り高くなった場合のみ、圧力検出回路７９から排気源制
御手段８０に信号を出力する。排気源制御手段８０は、
圧力検出回路７９の信号を元に排気源である真空ポンプ
７７の駆動を行い、タンク７１内の圧力が設定値より低
くなったら真空ポンプ７７の駆動を停止する。The vacuum pump 77, which is the exhaust source, is driven based on the output of the pressure detection circuit 79 in the tank 71. That is, a signal is output from the pressure detection circuit 79 to the exhaust source control means 80 only when the pressure in the tank 71 becomes higher than the preset set pressure. The exhaust source control means 80 is
The vacuum pump 77, which is an exhaust source, is driven based on the signal of the pressure detection circuit 79, and when the pressure in the tank 71 becomes lower than a set value, the driving of the vacuum pump 77 is stopped.
【００８７】撮影終了後、図７（ｃ）に示すように、外
部からタンク７１内に空気が入らないように電磁弁７６
を切り換えておく。このように外部の空気がタンク７１
内に入らないようにすることは、吸湿性を有するＣｓＩ
等のシンチレータ４７を用いるときに特に有効である。
この電磁弁７６と同様の機能は、いわゆる逆止弁を用い
ても達成できる。微量の空気漏れが生じても、水分はタ
ンク７１内の吸湿材７３で吸収されるため、シンチレー
タ４７に害を及ぼすことはない。After the photographing is completed, as shown in FIG. 7C, the solenoid valve 76 is provided so that air does not enter the tank 71 from the outside.
Switch. In this way, the outside air is
Keeping inside does not absorb the hygroscopic CsI
It is particularly effective when using the scintillator 47 such as.
The function similar to that of the solenoid valve 76 can also be achieved by using a so-called check valve. Even if a small amount of air leaks, the moisture is absorbed by the hygroscopic material 73 in the tank 71 and therefore does not harm the scintillator 47.
【００８８】（実施形態５）図８は、本発明の第５の実
施形態の放射線検出器の断面図であり、複数の固体光検
出手段を接合することによって、たとえば１４×１７イ
ンチの大面積放射線検出器を構成する際の例である。(Fifth Embodiment) FIG. 8 is a cross-sectional view of a radiation detector according to a fifth embodiment of the present invention. By joining a plurality of solid-state light detecting means, for example, a large area of 14 × 17 inches can be obtained. It is an example when constructing a radiation detector.
【００８９】図８中、５１は本発明による放射線検出器
である。５０は基台であり、基台５０上には、ガラス基
板５２上に、フォトリソグラフィー法により固体光検出
素子５３ａを２次元状に配列形成した光検出手段５３が
複数個端面を接して接着等の手段により配されている。In FIG. 8, reference numeral 51 is a radiation detector according to the present invention. Reference numeral 50 denotes a base, and on the base 50, a plurality of light detection means 53 in which solid-state light detection elements 53a are two-dimensionally arrayed by a photolithography method on a glass substrate 52 are contacted with their end faces and bonded. It is arranged by means of.
【００９０】また、５４は、その一面５４ａを基台５０
上の外周に全周にわたり接着等の手段で取り付けられた
弾性のある（可撓性）シール手段であり、シリコンゲ
ル、シリコンゴム、ネオプレンゴム、ブチルゴム等の材
料が好ましい。シール手段５４の厚さは、シンチレータ
５７と固体光検出手段５３の厚さを合わせた厚さと同等
かもしくは、わずかに厚い厚さが適当である。また、固
体光検出素子５３ａに外来光が入らないようにするため
には、シール手段５４が遮光性も有することが望まし
い。In addition, 54 is one surface 54a of the base 50
It is an elastic (flexible) sealing means that is attached to the upper outer circumference all around by means such as adhesion, and materials such as silicone gel, silicone rubber, neoprene rubber and butyl rubber are preferable. The thickness of the sealing means 54 is appropriately equal to or slightly larger than the total thickness of the scintillator 57 and the solid-state light detecting means 53. Further, in order to prevent extraneous light from entering the solid-state light detection element 53a, it is desirable that the sealing means 54 also has a light shielding property.
【００９１】シール手段５４の基台５０と接する面と反
対の面４５ｂは、カバー手段５５の外周に全周にわたり
接着等の手段で取り付けられており、このカバー手段５
５とシール手段５４と基台５０によって密閉空間を形成
している。カバー手段５５は、放射線入射側の面である
ため、放射線透過性に優れる材質が好ましく、具体的に
は、炭素繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）、ＰＥＴ樹脂シ
ートが好適である。炭素繊維強化樹脂（Ｃ.Ｆ.Ｒ.Ｐ）
は、機械的強度、低放射線吸収性と、遮光性の両特性を
持ち合わせるために特に望ましい。シンチレータ５７と
して、ＣｓＩを用いた場合は、ＣｓＩは、一般的にアル
ミ基板に蒸着によって形成されるため、カバー手段５５
の材質は、アルミニウムである。The surface 45b of the sealing means 54, which is opposite to the surface in contact with the base 50, is attached to the outer circumference of the cover means 55 by means such as adhesion over the entire circumference.
5, the sealing means 54 and the base 50 form a closed space. Since the cover means 55 is the surface on the radiation incident side, it is preferably made of a material having excellent radiation permeability, and specifically, carbon fiber reinforced resin (CFRPP) or PET resin sheet is suitable. Carbon fiber reinforced resin (CFRP)
Is particularly desirable because it has both mechanical strength, low radiation absorption and light shielding properties. When CsI is used as the scintillator 57, since CsI is generally formed by vapor deposition on an aluminum substrate, the cover means 55 is used.
Is made of aluminum.
【００９２】このカバー手段５５のシール手段５４と接
する側の面５５ａは、光反射層もしくは、光吸収層であ
ることが望ましく、光反射層、光吸収層の形成方法とし
ては、蒸着、鍍金、薄い金属箔、印刷等、が考えられ
る。The surface 55a of the cover means 55 on the side in contact with the sealing means 54 is preferably a light reflecting layer or a light absorbing layer. As a method for forming the light reflecting layer and the light absorbing layer, vapor deposition, plating, Thin metal foil, printing, etc. are conceivable.
【００９３】カバー手段５５のシール手段５４と接する
側の面５５ｂが、光反射層の場合は、放射線の照射によ
り発光したシンチレータ５７の光が、反射層で反射し、
固体光検出素子５３ａへ向かうため光を効率良く取り出
すことが可能になり感度が高くなる。When the surface 55b of the cover means 55 which is in contact with the sealing means 54 is a light reflecting layer, the light of the scintillator 57 emitted by irradiation of radiation is reflected by the reflecting layer,
Since the light goes toward the solid-state photodetector 53a, light can be efficiently extracted, and the sensitivity is increased.
【００９４】一方、カバー手段５５のシール手段５４と
接する側の面５５ｂが、光吸収層である場合は、放射線
の照射により発光したシンチレータ５７の光のうち、固
体光検出素子５３ａと反対の方向に向かう光が、光吸収
層で吸収されるため、固体光検出素子５３ａで検出され
る光は、シンチレータ５７ａで発光した光のうち、固体
光検出素子５３ａの方向へ向かう成分だけになるため、
鮮鋭度が高くなる。このようにカバー手段５５のシール
手段５４と接する側の面５５ｂを光反射層もしくは光吸
収層にすることによって、放射線検出器の特性を最適に
することが可能になる。On the other hand, when the surface 55b of the cover means 55 which is in contact with the sealing means 54 is a light absorbing layer, the light of the scintillator 57 emitted by the irradiation of radiation is in the opposite direction to the solid-state light detecting element 53a. Since the light toward the solid-state photodetector 53a is absorbed by the light absorption layer, the light detected by the solid-state photodetector 53a is only the component of the light emitted by the scintillator 57a that is directed toward the solid-state photodetector 53a.
Sharpness increases. By thus forming the surface 55b of the cover means 55 on the side in contact with the sealing means 54 with the light reflecting layer or the light absorbing layer, the characteristics of the radiation detector can be optimized.
【００９５】さらに、５６は、基台５０に開けられた排
気手段である排気穴であり、配管のためにニップル５８
が取り付けてある。カバー手段５５、シール手段５４と
固体光検出手段５３によって形成された密閉空間は、こ
の排気手段５６のみにより大気と導通する事ができる。
この密閉空間は図示せぬ配管により、図示せぬ排気源に
接続されている。排気源の一例としては、真空ポンプが
好適である。本実施形態では、排気手段５６は、基台５
０に取り付けられているが、シール手段５４または、カ
バー手段５５のいずれに取り付けられていてもよい。Further, numeral 56 is an exhaust hole which is an exhaust means opened in the base 50, and has a nipple 58 for piping.
Is attached. The closed space formed by the cover means 55, the sealing means 54, and the solid-state light detecting means 53 can be connected to the atmosphere only by the exhaust means 56.
This closed space is connected to an exhaust source (not shown) by a pipe (not shown). A vacuum pump is suitable as an example of the exhaust source. In the present embodiment, the exhaust means 56 is the base 5
Although it is attached to No. 0, it may be attached to either the sealing unit 54 or the cover unit 55.
【００９６】また、５７は、カバー手段５５、シール手
段５４と基台５０によって形成された密閉空間内に配置
されたシンチレータであり、放射線源から出射され被検
体に照射され、被検体を透過した放射線により発光す
る。シンチレータ５７の具体的な例としては、Ｇｄ2 Ｏ
2 Ｓ：Ｔｂ，ＣａＷＯ4 等の蛍光体、蛍光体をフィバー
プレート中にドーピングしたいわゆるシンチレーション
ファイバ、ＣｓＩ，ＣｓＩ：Ｔｌ等種々のものがある。Reference numeral 57 denotes a scintillator arranged in a closed space formed by the cover means 55, the sealing means 54 and the base 50, which is emitted from the radiation source and irradiated on the subject, and passes through the subject. It emits radiation. A specific example of the scintillator 57 is Gd 2 O.
There are various phosphors such as 2 S: Tb and CaWO 4 , so-called scintillation fibers doped with phosphor in a fiber plate, and CsI and CsI: Tl.
【００９７】上述の構成の放射線検出器において、図示
せぬ排気源である真空ポンプを駆動すると、カバー手段
５５、シール手段４と基台５０によって形成された密閉
空間内の空気は、排気手段５６を介して、外部に排出さ
れ密閉空間内の圧力が低下し、大気圧によりカバー手段
５５は基台５０の方向に、基台５０はカバー手段５５の
方向に各々押つけられる。その結果、シンチレータ５７
と固体光検出素子５３ａの密着は、シール手段５４が変
形しながら徐々に進行し、最終的にシンチレータ５７と
固体光検出素子５３ａの間の空気がほぼ完全に排出さ
れ、理想的な密着が全面にわたって達成できる。In the radiation detector having the above-described structure, when a vacuum pump (not shown) which is an exhaust source is driven, the air in the closed space formed by the cover means 55, the sealing means 4 and the base 50 is exhausted by the exhaust means 56. The pressure in the sealed space is discharged to the outside through the cover 50 and the cover 50 is pressed toward the base 50 and the base 50 toward the cover 55 by the atmospheric pressure. As a result, the scintillator 57
The contact between the solid-state light detecting element 53a and the solid-state light detecting element 53a gradually progresses while the sealing means 54 deforms, and finally the air between the scintillator 57 and the solid-state light detecting element 53a is almost completely discharged, so that the ideal close contact is achieved over the entire surface. Can be achieved over.
【００９８】真空源の駆動は、撮影装置の電源と同期
し、撮影装置に電源が投入されている間は、駆動を継続
してもよいし、実際の撮影タイミングに同期し、撮影時
のみ真空源を駆動してもよい。The driving of the vacuum source is synchronized with the power supply of the photographing apparatus, and the driving may be continued while the power of the photographing apparatus is turned on. The source may be driven.
【００９９】[0099]
【発明の効果】本発明による、特に実施形態１および実
施形態２によれば、放射線検出器の全面にわたって、シ
ンチレータと固体光検出素子の密着を接着剤等の介在物
や、空隙を一切介さずに均一に行うことができるため、
鮮鋭度の高い放射線検出器を得ることができる。EFFECTS OF THE INVENTION According to the first and second embodiments of the present invention, the scintillator and the solid-state photodetector are adhered to each other over the entire surface of the radiation detector without any inclusions such as adhesives or voids. Can be done evenly,
A radiation detector with high sharpness can be obtained.
【０１００】また、排気手段を介し、ガラス基板とカバ
ー手段とシール手段により形成される密閉空間の内部を
排気し、大気圧を利用するという簡単な構造でシンチレ
ータと固体光検出素子の理想的な密着が実現できるた
め、高鮮鋭度の放射線検出器が、コンパクトに達成でき
る。Further, the inside of the closed space formed by the glass substrate, the cover means and the sealing means is evacuated through the exhausting means, and the atmospheric pressure is utilized to make the scintillator and the solid-state photodetector ideal. Since close contact can be achieved, a radiation detector with high sharpness can be achieved compactly.
【０１０１】また本発明による実施形態３によれば、固
体光検出素子を用いた放射線検出器において撮影部位、
撮影目的に最適なシンチレータを選択し交換でき、シン
チレータの交換後も放射線検出器の全面にわたって、シ
ンチレータと固体光検出素子の密着を接着剤等の介在物
や、空隙を一切介さずに均一に行うことができるため、
鮮鋭度の高い放射線検出器を得ることができる。Further, according to the third embodiment of the present invention, in the radiation detector using the solid-state light detecting element,
You can select and replace the scintillator most suitable for the purpose of imaging, and even after replacing the scintillator, the scintillator and the solid-state photodetector can be attached uniformly over the entire surface of the radiation detector without any inclusions such as adhesives or voids. Because you can
A radiation detector with high sharpness can be obtained.
【０１０２】さらに、本発明による実施形態４によれ
ば、放射線検出器の全面にわたって、シンチレータと固
体光検出素子の密着を接着剤等の介在物や、空隙を一切
介さずに均一に行うことができるため、鮮鋭度の高い放
射線検出器を得ることができるとともに吸湿性のあるシ
ンチレータの防湿を行うことができる。Further, according to the fourth embodiment of the present invention, the scintillator and the solid-state photodetector can be uniformly attached to the entire surface of the radiation detector without any inclusions such as adhesives or voids. Therefore, a radiation detector with high sharpness can be obtained, and moisture absorption of a hygroscopic scintillator can be performed.
【０１０３】また本発明による実施形態５によれば、複
数の固体光検出手段を接合することによって、たとえば
１４×１７インチの大面積においても放射線検出器の全
面にわたって、シンチレータと固体光検出素子の密着を
接着剤等の介在物や、空隙を一切介さずに均一に行うこ
とができるため、鮮鋭度の高い放射線検出器を得ること
ができる。Further, according to the fifth embodiment of the present invention, by bonding a plurality of solid-state light detecting means, the scintillator and the solid-state light detecting element can be formed over the entire surface of the radiation detector even in a large area of, for example, 14 × 17 inches. Since the close contact can be performed uniformly without any inclusions such as adhesives or voids, a radiation detector with high sharpness can be obtained.
【図１】本発明の第１の実施形態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施形態の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the first embodiment of the present invention.
【図３】固体光検出手段および、光検出手段を構成する
固体光検出素子の構造図である。FIG. 3 is a structural diagram of solid-state light detection means and a solid-state light detection element forming the light detection means.
【図４】本発明の放射線検出器を用いた放射線撮影の一
実施様態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of radiation imaging using the radiation detector of the present invention.
【図５】本発明の第２の実施形態を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３の実施形態を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a third embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第４の実施形態を示す断面図と電磁弁
の概念図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a fourth embodiment of the present invention and a conceptual diagram of a solenoid valve.
【図８】本発明の第５の実施形態を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing a fifth embodiment of the present invention.
１，２１，３１，４１，５１ 放射線検出器 ３，２３，３３，４３，５３ 固体光検出手段 ４，２４，３４，４４，５４ シール手段 ５，２５，３５，４５，５５ カバー手段 ６，２６，３６，４６，５６ 排気手段 ７，２７，３７，４７，５７ シンチレータ 1, 21, 31, 41, 51 Radiation detector 3, 23, 33, 43, 53 Solid-state light detecting means 4, 24, 34, 44, 54 Sealing means 5, 25, 35, 45, 55 Covering means 6, 26 , 36, 46, 56 Exhaust means 7, 27, 37, 47, 57 Scintillator
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 眞一 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 竹田 慎市 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 望月 千織 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 冨名腰 章 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 遠藤 忠夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 森下 正和 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shinichi Hayashi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Shin City Takeda 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Kya Non-Incorporated (72) Inventor Chiori Mochizuki 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Tomoki Koshi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Tadao Endo 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Masakazu Morishita 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc.
Claims (12)
た放射線の強度分布を検出する放射線検出器であって、 基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段と、 前記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシ
ール手段と、 前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対する
側に配され、前記固体光検出手段および前記シール手段
とともに密閉空間を形成するカバー手段と、 前記密閉空間内に配されたシンチレータと、 前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー手段
により形成される密閉空間の内部を排気するための排気
手段と、を有することを特徴とする放射線検出器。1. A radiation detector for detecting an intensity distribution of radiation emitted from a radiation source and transmitted through an object, comprising: a solid-state photodetector comprising a substrate and two-dimensionally arranged solid-state photodetectors. Means, a sealing means arranged around the entire circumference of the solid-state light detecting means, and a sealing means arranged on the side opposite to the solid-state light detecting means, and together with the solid-state light detecting means and the sealing means. Cover means for forming a closed space, scintillator arranged in the closed space, exhaust means for exhausting the inside of the closed space formed by the solid-state light detection means, the sealing means and the cover means, A radiation detector comprising:
の少なくともいずれか一方が、可撓性の部材で構成され
ることを特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。2. The radiation detector according to claim 1, wherein at least one of the sealing unit and the cover unit is made of a flexible member.
は、樹脂シートであることを特徴とする請求項１又は２
に記載の放射線検出器。3. The cover means is a CFRP or a resin sheet, and the cover means is a resin sheet.
The radiation detector according to.
接する面が、光吸収面もしくは、光反射面であることを
特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。4. The radiation detector according to claim 1, wherein the surface of the scintillator in contact with the surface on the cover side is a light absorbing surface or a light reflecting surface.
を特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。5. The radiation detector according to claim 1, wherein the scintillator is detachable.
た放射線の強度分布を検出する放射線検出器であって、 基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段と、 前記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシ
ール手段と、 前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対する
側に配され、前記固体光検出手段および前記シール手段
とともに密閉空間を形成するカバー手段と、 前記密閉空間内に配されたシンチレータと、 前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー手段
により形成される密閉空間の内部を排気するための排気
手段と、 前記排気手段に接続された排気源とを有し、 前記排気源により、前記固体光検出手段と前記シール手
段と前記カバー手段とにより形成される密閉空間の内部
の空気を排出し、 前記シンチレータと前記固体光検出素子とを密着するこ
とを特徴とする放射線検出器。6. A radiation detector for detecting an intensity distribution of radiation emitted from a radiation source and transmitted through an object, the solid-state light detection comprising a two-dimensionally arranged solid-state photodetection element on a substrate. Means, a sealing means arranged around the entire circumference of the solid-state light detecting means, and a sealing means arranged on the side opposite to the solid-state light detecting means, and together with the solid-state light detecting means and the sealing means. Cover means for forming a closed space, scintillator arranged in the closed space, exhaust means for exhausting the inside of the closed space formed by the solid-state light detection means, the sealing means and the cover means, An exhaust source connected to the exhaust unit, the air inside the closed space formed by the solid light detection unit, the sealing unit, and the cover unit by the exhaust source. A radiation detector, characterized in that discharged, to close contact with the scintillator and the solid-state photodetector element.
段の少なくともいずれか一方が、可撓性の部材で構成さ
れることを特徴とする請求項６に記載の放射線検出器。7. The radiation detector according to claim 6, wherein at least one of the sealing unit and the cover unit is made of a flexible member.
は、樹脂シートであることを特徴とする請求項６若しく
は７に記載の放射線検出器8. The radiation detector according to claim 6, wherein the cover means is CFRP or a resin sheet.
接する面が、光吸収面もしくは、光反射面であることを
特徴とする請求項６に記載の放射線検出器。9. The radiation detector according to claim 6, wherein the surface of the scintillator in contact with the cover-side surface is a light absorbing surface or a light reflecting surface.
とを特徴とする請求項６に記載の放射線検出器。10. The radiation detector according to claim 6, wherein the scintillator is removable.
した放射線の強度分布を検出する放射線検出器であっ
て、 基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段を複数個、端面を接して構成した基台と、 前記基台の外周に全周にわたり配置されたシール手段
と、 前記シール手段を挟んで前記基台と相対する側に配さ
れ、前記基台および前記シール手段とともに密閉空間を
形成するカバー手段と、 前記密閉空間内に配されたシンチレータと、 前記基台と前記シール手段と前記カバー手段により形成
される密閉空間の内部を排気するための排気手段と、を
有することを特徴とする放射線検出器。11. A radiation detector for detecting an intensity distribution of radiation emitted from a radiation source and transmitted through an object, wherein the solid-state light detection comprises a substrate and two-dimensionally arranged solid-state light detecting elements. A plurality of means, a base formed by contacting the end faces, a sealing means arranged all around the outer circumference of the base, and a base arranged to face the base with the sealing means interposed therebetween, Cover means for forming a closed space together with the base and the sealing means, a scintillator arranged in the closed space, and for exhausting the inside of the closed space formed by the base, the sealing means and the cover means. A radiation detector comprising: an exhaust unit.
した放射線の強度分布を検出する放射線検出器であっ
て、 基板の上に２次元状に固体光検出素子が配されてなる固
体光検出手段と、 前記固体光検出手段の外周に全周にわたり配置されたシ
ール手段と、 前記シール手段を挟んで前記固体光検出手段と相対する
側に配され、前記固体光検出手段および前記シール手段
とともに密閉空間を形成するカバー手段と、 前記密閉空間内に配されたシンチレータと、 前記固体光検出手段と前記シール手段と前記カバー手段
により形成される密閉空間の内部を排気するための排気
手段と、 前記排気手段に接続される吸湿材を含むタンクと、 前記タンクに接続された弁と、 前記弁に接続された排気源と、を有し、前記排気源の作
動により、前記固体光検出手段と前記シール手段と前記
カバー手段とにより形成される密閉空間の内部の空気を
排出し、前記シンチレータと前記固体光検出素子の密着
を行うこと、を特徴とする放射線検出器。12. A radiation detector for detecting an intensity distribution of radiation emitted from a radiation source and transmitted through an object, comprising: a solid-state photodetector comprising a substrate and two-dimensionally arranged solid-state photodetection elements. Means, a sealing means arranged around the entire circumference of the solid-state light detecting means, and a sealing means arranged on the side opposite to the solid-state light detecting means, and together with the solid-state light detecting means and the sealing means. Cover means for forming a closed space, scintillator arranged in the closed space, exhaust means for exhausting the inside of the closed space formed by the solid-state light detection means, the sealing means and the cover means, A tank including a hygroscopic material connected to the exhaust unit, a valve connected to the tank, and an exhaust source connected to the valve, and by operating the exhaust source, the solid light is emitted. Radiation detector inside air of the sealed space formed by the detecting means and said sealing means and said cover means to discharge, to perform adhesion of the scintillator and the solid-state photodetector element, and wherein.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8072502A JPH09257944A (en) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | Radiation detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8072502A JPH09257944A (en) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | Radiation detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257944A true JPH09257944A (en) | 1997-10-03 |
Family
ID=13491187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8072502A Pending JPH09257944A (en) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | Radiation detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09257944A (en) |
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