JPH09236618A - Contact probe - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器等の検査
を行う際に、電子機器の電極と電気的に接続するために
用いられるコンタクトプローブに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact probe used for electrically connecting to an electrode of an electronic device when inspecting the electronic device or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、電子機器等の検査を行う場合、針
状の端子を有するコンタクトプローブを用いて、前記電
子機器等の電極と電気的に接続している。そして、この
コンタクトプローブを介して検査用の電圧を印加した
り、出力電圧を計測している。2. Description of the Related Art In recent years, when inspecting an electronic device or the like, a contact probe having a needle-shaped terminal is used to electrically connect to an electrode of the electronic device or the like. Then, an inspection voltage is applied and the output voltage is measured through the contact probe.
【０００３】このようなコンタクトプローブの従来例を
図７に示す。図７に示すようにコンタクトプローブ１１
０は、固定ブロック１１１に固定され、針状の端子１１
３が挿入される円筒状のプローブ本体１１５内に、コイ
ルばね１１７を設け、このコイルばね１１７によって被
検査体（電極）１２０に対して付勢するように構成され
ている。尚、端子１１３とプローブ本体１１３の数は、
被検査体の電極１２０の数と位置に対応させて設けられ
ている。FIG. 7 shows a conventional example of such a contact probe. As shown in FIG. 7, the contact probe 11
0 is fixed to the fixed block 111 and has a needle-shaped terminal 11
A coil spring 117 is provided in a cylindrical probe main body 115 into which 3 is inserted, and the coil spring 117 is configured to urge the object to be inspected (electrode) 120. The number of terminals 113 and probe bodies 113 is
It is provided so as to correspond to the number and positions of the electrodes 120 of the device under test.
【０００４】このコンタクトプローブ１１０を用いて電
子機器等の検査を行う場合、電子機器の電極１２０と端
子１１３の位置を合わせ、電極１２０に端子１１３が押
し当てられるように、固定ブロック１１１を配置させ
る。When inspecting an electronic device or the like using this contact probe 110, the electrode 120 and the terminal 113 of the electronic device are aligned with each other, and the fixed block 111 is arranged so that the terminal 113 is pressed against the electrode 120. .
【０００５】また、図８に示すコンタクトプローブ１３
０のように、リジッド基板（ＲＰＣ）１３１の先端部か
ら、ばね性を有する針状の端子１３３を突設させ、端子
１３１の先端を確認し易くしたものも開発されている。Further, the contact probe 13 shown in FIG.
No. 0, a needle-like terminal 133 having a spring property is projected from the tip of the rigid substrate (RPC) 131 so that the tip of the terminal 131 can be easily confirmed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コンタ
クトプローブ１１０は、端子１１３がプローブ本体１１
５を介して固定ブロック１１１に固定され、また、コン
タクトプローブ１３０は、端子１３３が半田１３５を介
して固定されるので、いずれも微細化には適さないとい
う問題がある（約１５０（μｍ）の端子間隔が限度）。
また、端子１１３，端子１３３は、手作業によって設け
られているので、手間が掛かり、特に、電極１２０の間
隔が狭い場合には、熟練を要するという問題がある。However, in the contact probe 110, the terminal 113 has the probe main body 11
5, the contact probe 130 is fixed to the fixed block 111, and the terminal 133 is fixed via the solder 135. Therefore, there is a problem that they are not suitable for miniaturization (about 150 (μm)). (Terminal spacing is the limit).
In addition, since the terminals 113 and 133 are provided by hand, there is a problem in that it takes time and labor, and particularly when the distance between the electrodes 120 is small, skill is required.
【０００７】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、被検査体の電極と電気的に接続されるコンタクト部
分の配列間隔を狭くすることが可能なコンタクトプロー
ブを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a contact probe capable of narrowing the arrangement interval of the contact portions electrically connected to the electrodes of the device under test. To do.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、所定の弾性力を有する保持体と、この保持体
の側面に所定の間隔でその一部を巻回するように配列さ
れ、かつ、導電性を有する複数のワイヤとを有し、この
複数のワイヤの外周面で被検査体とのコンタクトを取る
ことを要旨とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a holder having a predetermined elastic force and a side surface of the holder arranged so as to wind a part thereof at a predetermined interval. In addition, the gist of the present invention is to have a plurality of electrically conductive wires, and to make contact with the device under test on the outer peripheral surfaces of the plurality of wires.
【０００９】本発明のコンタクトプローブにあっては、
所定の弾性力を有する保持体の側面に導電性を有する複
数のワイヤ所定の間隔でその一部を巻回するように配列
し、この複数のワイヤの外周面で被検査体とのコンタク
トを取るようにしている。これにより、被検査体の電極
と電気的に接続されるコンタクト部分の配列間隔を狭く
することができる。In the contact probe of the present invention,
A plurality of wires having conductivity are arranged on a side surface of a holder having a predetermined elastic force so as to wind a part thereof at predetermined intervals, and the outer peripheral surface of the plurality of wires makes contact with the object to be inspected. I am trying. As a result, the arrangement interval of the contact portions electrically connected to the electrodes of the device under test can be narrowed.
【００１０】また、前記保持体は、所定間隔の溝を有す
る固定ブロックに固定され、前記ワイヤは、この溝に添
って配列されることが望ましい。この場合、前記ワイヤ
はこの溝に添って配列されるので、前記コンタクト部分
の接地位置は調整不要となる。 さらに、前記ワイヤ
は、電気信号を伝送する導線と、この導線を覆い、か
つ、絶縁性を有する被覆とから成り、前記コンタクトは
当該被覆の除去部分で行われることが望ましい。またこ
のとき、前記ワイヤの外周に添って施される被覆の除去
部分は、当該ワイヤの被覆除去部分の外周長がその直径
を越えないようにする。これにより、隣接するワイヤ同
士が接触してもその導線が電気的に導通となることがな
く、このため、コンタクト部分の配列間隔をより狭くす
ることができる。Further, it is preferable that the holding body is fixed to a fixed block having grooves at predetermined intervals, and the wires are arranged along the grooves. In this case, since the wires are arranged along the groove, the grounding position of the contact portion does not need to be adjusted. Further, it is preferable that the wire is composed of a conductive wire that transmits an electric signal and a coating that covers the conductive wire and has an insulating property, and the contact is performed in a removed portion of the coating. Further, at this time, in the removed portion of the coating applied along the outer periphery of the wire, the outer peripheral length of the coating removed portion of the wire does not exceed its diameter. As a result, even if the adjacent wires come into contact with each other, the conducting wire does not become electrically conductive, and therefore the arrangement interval of the contact portions can be made narrower.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態を
図面を参照して説明する。図１は本発明に係るコンタク
トプローブの一実施形態を示した斜視図、図２はその側
面図、図３はその上面図、図４はワイヤ部分の断面図で
ある。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a perspective view showing an embodiment of a contact probe according to the present invention, FIG. 2 is a side view thereof, FIG. 3 is a top view thereof, and FIG. 4 is a sectional view of a wire portion.
【００１２】図１〜図４に示すように、本実施形態のコ
ンタクトプローブ１は、２つの固定ブロック３ａ，３ａ
と、２つの固定ブロック３ｂ，３ｂと、保持体としての
弾性体５と、ワイヤ７とを有する。As shown in FIGS. 1 to 4, the contact probe 1 of this embodiment has two fixed blocks 3a, 3a.
It has two fixed blocks 3b and 3b, an elastic body 5 as a holding body, and a wire 7.
【００１３】固定ブロック３ａ，３ａは、角柱状の絶縁
体であり、互いに接着される。また、固定ブロック３
ａ，３ａの上面に弾性体５が固定される。The fixed blocks 3a, 3a are prismatic insulators and are adhered to each other. Also, the fixed block 3
The elastic body 5 is fixed to the upper surfaces of a and 3a.
【００１４】固定ブロック３ｂ，３ｂは、角柱状の絶縁
体であり、固定ブロック３ａ，３ａのワイヤ固定面側に
それぞれ接着され、ワイヤ７を固定ブロック３ａとの間
に挟み込む。また、固定ブロック３ｂ，３ｂの固定ブロ
ック３ａ，３ａとの接合面に溝Ｄが設けられている。こ
の溝Ｄに添ってワイヤ７が配列される。尚、固定ブロッ
ク３ａ，３ａ，３ｂ，３ｂは、ワイヤ７が固定されるた
め絶縁体が望ましいが、ワイヤ７は絶縁性の被覆を有す
るので導体を用いても良い。The fixed blocks 3b and 3b are prismatic insulators, which are adhered to the wire fixing surfaces of the fixed blocks 3a and 3a, respectively, and the wire 7 is sandwiched between the fixed blocks 3a and 3a. Further, a groove D is provided on the joint surface between the fixed blocks 3b and 3b and the fixed blocks 3a and 3a. The wires 7 are arranged along the groove D. The fixed blocks 3a, 3a, 3b, 3b are preferably made of an insulator because the wire 7 is fixed thereto. However, since the wire 7 has an insulating coating, a conductor may be used.
【００１５】弾性体５は、断面が略半円状の棒体で、そ
の湾曲面と対向する面が固定ブロック３ａ，３ａと接着
される。この弾性体５としては、硬度ＨＣ７０程度のシ
リコーン樹脂を用いることが望ましいが、他の樹脂を用
いても良い。また、前記先端部分の径は、ワイヤ径が約
５０（μｍ）の場合、１．５（ｍｍ）程度が望ましい。
尚、弾性体５の硬度を変えることにより、接点荷重を調
整することができる。The elastic body 5 is a rod body having a substantially semicircular cross section, and the surface facing the curved surface is bonded to the fixed blocks 3a, 3a. It is desirable to use a silicone resin having a hardness of about HC70 as the elastic body 5, but other resins may be used. The diameter of the tip portion is preferably about 1.5 (mm) when the wire diameter is about 50 (μm).
The contact point load can be adjusted by changing the hardness of the elastic body 5.
【００１６】ワイヤ７は、導線と、この導線を覆い、か
つ絶縁性を有する被覆と、前記導線を露出させた端子部
７ａとから成り、固定ブロック３ａ，３ａの対向する２
つの側面と弾性体５に、溝Ｄに添って固定される。尚、
導線としては、例えば金メッキ導線、被覆としてはウレ
タン樹脂を用いる。The wire 7 is composed of a conductive wire, a coating covering the conductive wire and having an insulating property, and a terminal portion 7a exposing the conductive wire, and the fixed blocks 3a and 3a are opposed to each other.
It is fixed to one side surface and the elastic body 5 along the groove D. still,
For example, a gold-plated conductive wire is used as the conductive wire, and urethane resin is used as the coating.
【００１７】次に、本実施形態のコンタクトプローブ１
の製造方法の一例を図５と図６を参照して説明する。Next, the contact probe 1 of this embodiment
An example of the manufacturing method will be described with reference to FIGS.
【００１８】コンタクトプローブ１を製造する場合、予
め、被検査体の電極の間隔と電極数に合わせて固定ブロ
ック３ｂ，３ｂに溝Ｄをそれぞれ設けておく。尚、溝Ｄ
は、例えば半導体ウェ−ハ等を切断する時に用いられる
レーザーカッターやダイシングソーによって設ける。こ
の状態で、２つの固定ブロック３ｂ，３ｂを、対応する
それぞれの溝Ｄ，Ｄが直線上に位置するように溝Ｄを上
面に向けて配置する。When the contact probe 1 is manufactured, the grooves D are provided in advance in the fixed blocks 3b and 3b according to the distance between the electrodes of the object to be inspected and the number of electrodes. The groove D
Is provided by, for example, a laser cutter or a dicing saw used when cutting a semiconductor wafer or the like. In this state, the two fixed blocks 3b, 3b are arranged with the groove D facing the upper surface such that the corresponding grooves D, D are located on a straight line.
【００１９】次いで、溝Ｄと同一数のワイヤ７を溝Ｄに
添って並べる。溝Ｄに添ってワイヤ７を並べる方法とし
ては、例えば細線をロールに巻き付けるために用いられ
る図２に示すような巻線器２０のロール上に２つの固定
ブロック３ｂ，３ｂを、対応するそれぞれの溝Ｄ，Ｄが
直線上に位置するように溝Ｄを上面に向けて配置し、巻
線器２０を用いてワイヤ７を溝Ｄのピッチに合わせて前
記ロールに巻き付け、所定の位置で、巻き付け方向に対
し直交する線上で全ワイヤ７を切断することによって行
う。この時、巻線器２０の巻き付け位置が多少ずれても
溝Ｄがあるため、溝Ｄに添って正確な間隔でワイヤ７を
巻き付けることができる。Next, the same number of wires 7 as the grooves D are arranged along the groove D. As a method of arranging the wires 7 along the groove D, for example, two fixing blocks 3b, 3b are provided on the rolls of the winding device 20 as shown in FIG. The groove D is arranged so that the grooves D and D are located on a straight line, and the wire 7 is wound around the roll according to the pitch of the groove D by using the winding device 20 and wound at a predetermined position. This is done by cutting all the wires 7 on a line orthogonal to the direction. At this time, even if the winding position of the winding device 20 is slightly deviated, since the groove D exists, the wires 7 can be wound along the groove D at accurate intervals.
【００２０】次いで、固定ブロック３ａ，３ａを固定ブ
ロック３ｂ，３ｂにそれぞれ接着する。これにより、ワ
イヤ７が固定ブロック３ａ，３ａと固定ブロック３ｂ，
３ｂの間に挟み込まれて固定される。Next, the fixed blocks 3a, 3a are bonded to the fixed blocks 3b, 3b, respectively. Thereby, the wire 7 is fixed to the fixed blocks 3a, 3a and the fixed block 3b,
It is fixed by being sandwiched between 3b.
【００２１】次いで、固定ブロック３ａ，３ｂと固定ブ
ロック３ａ，３ｂとの間に弾性体５を位置させ、その湾
曲面に添ってワイヤ７をＵ字型に曲げる。そして、２つ
の固定ブロック３ａ，３ａを接合する。この時、固定ブ
ロック３ａ，３ａの弾性体５との接合部分と弾性体５の
湾曲部に予め接着剤を塗布しておき、２つの固定ブロッ
ク３ａ，３ａを接合する時、同時に弾性体５を固定ブロ
ック３ａ，３ａに接着すると共に、ワイヤ７を弾性体５
の湾曲面に固定する。Next, the elastic body 5 is positioned between the fixed blocks 3a and 3b and the fixed blocks 3a and 3b, and the wire 7 is bent into a U shape along the curved surface thereof. Then, the two fixed blocks 3a, 3a are joined. At this time, an adhesive is applied in advance to the joint portion of the fixed blocks 3a, 3a with the elastic body 5 and the curved portion of the elastic body 5, and when the two fixed blocks 3a, 3a are joined, the elastic body 5 is simultaneously attached. The wire 7 is bonded to the fixed blocks 3a, 3a, and the wire 7 is elastic body 5.
Fixed to the curved surface of.
【００２２】次いで、図６に示すように、弾性体に固定
されたワイヤ７の頂点部分の被覆を、例えばエキシマレ
ーザを用いて除去し、導線を露出させて端子部７ａを設
ける。この時、ワイヤ７同士が接触しても導線は接触し
ないように、前記除去部分の外周長がワイヤ７の直径を
越えないようにする。例えば、端子部７ａの径方向を２
０（μｍ）〜３０（μｍ）にする。この場合、被覆が両
側共１０（μｍ）程度残るのでワイヤ７同士が接触して
も導線は接触しない。こうして、本実施形態のコンタク
トプローブ１が製造される。Next, as shown in FIG. 6, the coating of the apex portion of the wire 7 fixed to the elastic body is removed using, for example, an excimer laser, and the conductor wire is exposed to provide the terminal portion 7a. At this time, the outer peripheral length of the removed portion does not exceed the diameter of the wire 7 so that the conductive wire does not contact even if the wires 7 contact each other. For example, if the radial direction of the terminal portion 7a is 2
It is set to 0 (μm) to 30 (μm). In this case, the coating remains on both sides at about 10 (μm), so that even if the wires 7 come into contact with each other, the conducting wires do not come into contact with each other. Thus, the contact probe 1 of this embodiment is manufactured.
【００２３】また、本実施形態のコンタクトプローブ１
を用いて被検査体の検査を行う場合、ワイヤ７の端部を
検査装置に直接接続し、コンタクトプローブ１の端子部
７ａを下方に向け、被検査体の電極に接触させる。この
時、弾性体５により、端子部７ａが適度に前記電極に付
勢されるので、適確に端子部７ａと前記電極とが導通さ
れる。また、ワイヤ７は、図４に矢印Ｍで示す部分、即
ち弾性体５の湾曲面と固定ブロック３ａ，３ｂとの間の
部分は固定されていないため、コンタクトプローブ１の
端子部７ａを被検査体の電極に接触させた際、ワイヤ７
の前記矢印Ｍの部分が若干弛み、ワイヤ７に掛かる負担
が軽減される。Further, the contact probe 1 of this embodiment
When inspecting the inspected object using, the end of the wire 7 is directly connected to the inspecting device, the terminal portion 7a of the contact probe 1 is directed downward, and brought into contact with the electrode of the inspected object. At this time, the elastic body 5 appropriately urges the terminal portion 7a toward the electrode, so that the terminal portion 7a and the electrode are properly conducted. Further, since the wire 7 is not fixed at a portion indicated by an arrow M in FIG. 4, that is, a portion between the curved surface of the elastic body 5 and the fixed blocks 3a and 3b, the terminal portion 7a of the contact probe 1 is inspected. Wire 7 when contacted with body electrodes
The portion indicated by the arrow M is slightly loosened, and the load applied to the wire 7 is reduced.
【００２４】このように、本実施形態のコンタクトプロ
ーブ１では、ワイヤ７を固定ブロック３ｂ，３ｂの溝Ｄ
に添って配列し、弾性体５の湾曲面に添って曲げ、弾性
体５と共に固定ブロック３ａ，３ａに固定しているの
で、溝Ｄに添って正確に端子部７ａを設けることがで
き、微細化を行うことが可能となる。例えば、ワイヤ７
の径が約５０（μｍ）の場合、従来、端子間隔の限界は
約１５０（μｍ）であったが、本実施形態のコンタクト
プローブ１では、隣接するワイヤ７同士を接触させても
導通しないため、端子間隔の限界は約５０（μｍ）とな
る。As described above, in the contact probe 1 of this embodiment, the wire 7 is fixed to the groove D of the fixed blocks 3b and 3b.
Since they are arranged along the curved surface of the elastic body 5 and fixed to the fixing blocks 3a and 3a together with the elastic body 5, the terminal portion 7a can be accurately provided along the groove D, and Can be made. For example, wire 7
When the diameter of the wire is about 50 (μm), the limit of the terminal spacing has been about 150 (μm) in the past. The limit of the terminal spacing is about 50 (μm).
【００２５】また、本実施形態のコンタクトプローブ１
では、端子部７ａの間隔は溝Ｄの間隔で決まるので、端
子部７ａの位置調整は不要となる。Further, the contact probe 1 of this embodiment
Since the distance between the terminal portions 7a is determined by the distance between the grooves D, the position adjustment of the terminal portions 7a becomes unnecessary.
【００２６】尚、本実施携帯のコンタクトプローブ１で
は、固定ブロック３ａと固定ブロック３ｂの間にワイヤ
７を挟み込むことにより、ワイヤ７を固定ブロック３ａ
と固定ブロック３ｂに固定しているが、本発明はこれに
限定されること無く、固定ブロック３ｂは用いずに固定
ブロック３ａの側面に直接固定するようにしても良い。
この場合、固定ブロック３ａの側面に溝を設け、この溝
に添ってワイヤ７を配列する。In the contact probe 1 of the present embodiment, the wire 7 is sandwiched between the fixed block 3a and the fixed block 3b so that the wire 7 is fixed.
However, the present invention is not limited to this and may be directly fixed to the side surface of the fixed block 3a without using the fixed block 3b.
In this case, a groove is provided on the side surface of the fixed block 3a, and the wires 7 are arranged along the groove.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、所定の弾
性力を有する保持体の側面に導電性を有する複数のワイ
ヤ所定の間隔でその一部を巻回するように配列し、この
複数のワイヤの外周面で被検査体とのコンタクトを取る
ようにしているので、被検査体の電極と電気的に接続さ
れるコンタクト部分の配列間隔を狭くすることができ
る。As described above, according to the present invention, a plurality of conductive wires are arranged on a side surface of a holder having a predetermined elastic force so as to wind a part thereof at predetermined intervals. Since the outer peripheral surface of the wire is contacted with the object to be inspected, the arrangement interval of the contact portions electrically connected to the electrodes of the object to be inspected can be narrowed.
【図１】本発明に係るコンタクトプローブの一実施形態
を示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a contact probe according to the present invention.
【図２】図１に示したコンタクトプローブのワイヤ部分
の側面図である。FIG. 2 is a side view of a wire portion of the contact probe shown in FIG.
【図３】図１に示したコンタクトプローブのワイヤ部分
の上面図である。3 is a top view of a wire portion of the contact probe shown in FIG. 1. FIG.
【図４】図１に示したコンタクトプローブのワイヤ部分
の断面図である。4 is a cross-sectional view of a wire portion of the contact probe shown in FIG.
【図５】図１に示した固定ブロックにワイヤを整列配置
させる場合の一例を示した図である。5 is a view showing an example of a case where wires are aligned and arranged on the fixed block shown in FIG.
【図６】図１に示したコンタクトプローブの端子部を拡
大した図である。6 is an enlarged view of a terminal portion of the contact probe shown in FIG.
【図７】従来のコンタクトプローブを示した断面図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a conventional contact probe.
【図８】従来の他のコンタクトプローブを示した断面図
である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing another conventional contact probe.
１ コンタクトプローブ ３ａ，３ｂ 固定ブロック ５ 弾性体 ７ ワイヤ ７ａ 端子部 ２０ 巻線器 Ｄ 溝 1 Contact probe 3a, 3b Fixed block 5 Elastic body 7 Wire 7a Terminal part 20 Winder D groove
Claims (4)
うに配列され、かつ、導電性を有する複数のワイヤと、 を有し、この複数のワイヤの外周面で被検査体とのコン
タクトを取ることを特徴とするコンタクトプローブ。1. A holding body having a predetermined elastic force, and a plurality of electrically conductive wires arranged so as to wind a part of the holding body on a side surface of the holding body at predetermined intervals. Then, the contact probe is characterized in that the outer peripheral surfaces of the plurality of wires are brought into contact with the object to be inspected.
定ブロックに固定され、前記ワイヤは、この溝に添って
配列されることを特徴とする請求項１記載のコンタクト
プローブ。2. The contact probe according to claim 1, wherein the holding body is fixed to a fixing block having grooves at predetermined intervals, and the wires are arranged along the grooves.
と、この導線を覆い、かつ、絶縁性を有する被覆とから
成り、前記コンタクトは当該被覆の除去部分で行われる
ことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか記
載のコンタクトプローブ。3. The wire comprises a conductive wire for transmitting an electric signal and a coating covering the conductive wire and having an insulating property, and the contact is made in a removed portion of the coating. The contact probe according to claim 1 or 2.
の除去部分は、当該ワイヤの被覆除去部分の外周長がそ
の直径を越えないことを特徴とする請求項３記載のコン
タクトプローブ。4. The contact probe according to claim 3, wherein, in the removed portion of the coating applied along the outer circumference of the wire, the outer peripheral length of the removed coating portion of the wire does not exceed its diameter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4486796A JPH09236618A (en) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | Contact probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4486796A JPH09236618A (en) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | Contact probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236618A true JPH09236618A (en) | 1997-09-09 |
Family
ID=12703456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4486796A Pending JPH09236618A (en) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | Contact probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236618A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2009156875A (en) * | 2005-04-14 | 2009-07-16 | Korea Advanced Inst Of Science & Technology | Probe card and manufacturing method therefor |
-
1996
- 1996-03-01 JP JP4486796A patent/JPH09236618A/en active Pending
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