JPH09230370A - 光変調素子及び光ヘッド装置 - Google Patents
光変調素子及び光ヘッド装置Info
- Publication number
- JPH09230370A JPH09230370A JP8036920A JP3692096A JPH09230370A JP H09230370 A JPH09230370 A JP H09230370A JP 8036920 A JP8036920 A JP 8036920A JP 3692096 A JP3692096 A JP 3692096A JP H09230370 A JPH09230370 A JP H09230370A
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- Japan
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- liquid crystals
- optical
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Abstract
(57)【要約】
【課題】光の利用効率が高く、安価に製造できる２重焦
点レンズ効果を有する光変調素子及び光ヘッド装置を得
る。 【解決手段】ガラス基板４の表面にＩＴＯ膜の電極６を
形成し、その上にポリイミド膜５を形成し、ガラス基板
４の中心領域から周辺領域に向かって液晶７のツイスト
角が０°、１２０°、２４０°である３つの領域を１周
期とする、周期的な配向状態を形成した。
点レンズ効果を有する光変調素子及び光ヘッド装置を得
る。 【解決手段】ガラス基板４の表面にＩＴＯ膜の電極６を
形成し、その上にポリイミド膜５を形成し、ガラス基板
４の中心領域から周辺領域に向かって液晶７のツイスト
角が０°、１２０°、２４０°である３つの領域を１周
期とする、周期的な配向状態を形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＤ（コンパクト
・ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ、ビデオディスク等の光デ
ィスク及び光磁気ディスク等に光学的情報を書き込んだ
り、光学的情報を読み取るための光ヘッド装置、及び光
ヘッド装置用として適した光変調素子に関する。
・ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ、ビデオディスク等の光デ
ィスク及び光磁気ディスク等に光学的情報を書き込んだ
り、光学的情報を読み取るための光ヘッド装置、及び光
ヘッド装置用として適した光変調素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ディスク等に光学的情報を書き
込んだり、光学的情報を読み取る光ヘッド装置におい
て、ＣＤ及びＣＤ−ＲＯＭとＤＶＤディスクのように、
異なった厚みの光記録媒体に対して、信号の読み書きを
１つの光ヘッド装置で行うことがしばしば必要になる。
込んだり、光学的情報を読み取る光ヘッド装置におい
て、ＣＤ及びＣＤ−ＲＯＭとＤＶＤディスクのように、
異なった厚みの光記録媒体に対して、信号の読み書きを
１つの光ヘッド装置で行うことがしばしば必要になる。
【０００３】このような目的の光ヘッド装置を実現する
ために、従来は例えばレンズの表面にフレネルレンズタ
イプのブレーズホログラムを形成したレンズ素子を用い
ていた。半導体レーザからレンズ素子に入射した光のう
ち、例えば約半分をブレーズホログラムによってビーム
が拡がる方向に回折し、残り半分はそのまま透過せしめ
る。その後レンズ素子本体によって各々を収束せしめる
ことによって、２つの焦点を持つ光を一つの光ヘッド装
置によって発生させることが行われてきた。
ために、従来は例えばレンズの表面にフレネルレンズタ
イプのブレーズホログラムを形成したレンズ素子を用い
ていた。半導体レーザからレンズ素子に入射した光のう
ち、例えば約半分をブレーズホログラムによってビーム
が拡がる方向に回折し、残り半分はそのまま透過せしめ
る。その後レンズ素子本体によって各々を収束せしめる
ことによって、２つの焦点を持つ光を一つの光ヘッド装
置によって発生させることが行われてきた。
【０００４】また、レンズは従来と同様の形状とし、ブ
レーズホログラムをプレート上に形成したフレネルレン
ズホログラムプレートを別途分離して設置させることも
試みられている。
レーズホログラムをプレート上に形成したフレネルレン
ズホログラムプレートを別途分離して設置させることも
試みられている。
【０００５】しかし、これらの方式の大きな欠点は、上
記ブレーズホログラムによって、光の１回の通過で光量
が半分になってしまうことである。したがって、往方向
（光源側から光記録媒体側へ向かう方向）と復方向（光
記録媒体側から光源側及び光検出器側へ向かう方向）の
２回の通過で光量が１／４になってしまうという問題が
ある。このため、特に大きな出力を得るのが困難である
赤色の半導体レーザを利用した光ヘッド装置の場合、大
出力を得ようとして光源に対する負荷が大きくなり、コ
ストの上昇、信頼性の低下をもたらすことになる。
記ブレーズホログラムによって、光の１回の通過で光量
が半分になってしまうことである。したがって、往方向
（光源側から光記録媒体側へ向かう方向）と復方向（光
記録媒体側から光源側及び光検出器側へ向かう方向）の
２回の通過で光量が１／４になってしまうという問題が
ある。このため、特に大きな出力を得るのが困難である
赤色の半導体レーザを利用した光ヘッド装置の場合、大
出力を得ようとして光源に対する負荷が大きくなり、コ
ストの上昇、信頼性の低下をもたらすことになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述の問題
を解消し、光の利用効率を高め、安価に製造できる、２
重焦点レンズ効果を有する光変調素子及び光ヘッド装置
を提供することを目的とする。
を解消し、光の利用効率を高め、安価に製造できる、２
重焦点レンズ効果を有する光変調素子及び光ヘッド装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、略平行な２つ
の透明基板とその間に挟持される液晶とを備え、液晶が
同心円状に分布する複数の領域を有し、２つの透明基板
の液晶側の面に電極が形成され、液晶は電界印加時には
配向方向が透明基板に対して略垂直であり、電界非印加
時には配向方向が中心領域から周辺領域に向かって周期
的に変化しかつその周期が中心領域から周辺領域に向か
って変化するよう設定され、１周期において液晶の配向
方向が基板に略平行な領域と液晶の配向方向が一方の透
明基板から他方の透明基板に向かって螺旋状に変化して
いる領域とを含むことを特徴とする光変調素子を提供す
る。
の透明基板とその間に挟持される液晶とを備え、液晶が
同心円状に分布する複数の領域を有し、２つの透明基板
の液晶側の面に電極が形成され、液晶は電界印加時には
配向方向が透明基板に対して略垂直であり、電界非印加
時には配向方向が中心領域から周辺領域に向かって周期
的に変化しかつその周期が中心領域から周辺領域に向か
って変化するよう設定され、１周期において液晶の配向
方向が基板に略平行な領域と液晶の配向方向が一方の透
明基板から他方の透明基板に向かって螺旋状に変化して
いる領域とを含むことを特徴とする光変調素子を提供す
る。
【０００８】本発明の好ましい態様は、電界非印加時に
配向方向が螺旋状に変化している液晶のツイスト角が、
中心領域から周辺領域に向かって周期的に変化している
ことである。このような構成により、光学的にフレネル
レンズと等価な構造を液晶のツイスト角の分布によって
つくりだすことが容易になる。
配向方向が螺旋状に変化している液晶のツイスト角が、
中心領域から周辺領域に向かって周期的に変化している
ことである。このような構成により、光学的にフレネル
レンズと等価な構造を液晶のツイスト角の分布によって
つくりだすことが容易になる。
【０００９】本発明の好ましい他の態様は、１周期の長
さが中心領域から周辺領域に向かうにつれて小さくなる
ことである。このような構成により、フレネルレンズと
しての機能を容易に付与できる。
さが中心領域から周辺領域に向かうにつれて小さくなる
ことである。このような構成により、フレネルレンズと
しての機能を容易に付与できる。
【００１０】本発明の好ましい他の態様は、１周期にお
ける液晶のツイスト角の分布が、中心領域から周辺領域
に向かう方向において非対称であることである。このよ
うな構成により、高い効率で光変調素子に入射した光束
をひろげたり（遠焦点用とする）、狭めたり（近焦点用
とする）することができる。
ける液晶のツイスト角の分布が、中心領域から周辺領域
に向かう方向において非対称であることである。このよ
うな構成により、高い効率で光変調素子に入射した光束
をひろげたり（遠焦点用とする）、狭めたり（近焦点用
とする）することができる。
【００１１】また本発明は、光源からの光を回折素子を
通して光記録媒体に照射することにより、情報を読み取
り及び／又は書き込む光ヘッド装置において、回折素子
が前記光変調素子であることを特徴とする光ヘッド装置
を提供する。
通して光記録媒体に照射することにより、情報を読み取
り及び／又は書き込む光ヘッド装置において、回折素子
が前記光変調素子であることを特徴とする光ヘッド装置
を提供する。
【００１２】本発明の光ヘッド装置は、非球面レンズ
（対物レンズ）と分離された別個のフレネルレンズホロ
グラムプレート（回折素子）を設け、フレネルレンズホ
ログラムプレートに電圧を印加することによって、２つ
の焦点を切り替えることを可能にし、光利用効率の高い
光ヘッド装置を提供できる。
（対物レンズ）と分離された別個のフレネルレンズホロ
グラムプレート（回折素子）を設け、フレネルレンズホ
ログラムプレートに電圧を印加することによって、２つ
の焦点を切り替えることを可能にし、光利用効率の高い
光ヘッド装置を提供できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の光変調素子を上方からみ
た平面図を図２に示す。ただし、図２では中心領域から
２周期分のみ描いてあり、３周期以上は省略した。上下
の透明基板間で、各領域毎にラビング（配向処理）方向
を変えることによって、領域間で液晶のツイスト角を周
期的に変化させる。例えば、領域１では上下の透明基板
のラビング方向を一致させ、領域２では上下の透明基板
のラビング方向が所定の角度をなすようにし、領域３で
は上下の透明基板のラビング方向がより大きな角度をな
すようにする。
た平面図を図２に示す。ただし、図２では中心領域から
２周期分のみ描いてあり、３周期以上は省略した。上下
の透明基板間で、各領域毎にラビング（配向処理）方向
を変えることによって、領域間で液晶のツイスト角を周
期的に変化させる。例えば、領域１では上下の透明基板
のラビング方向を一致させ、領域２では上下の透明基板
のラビング方向が所定の角度をなすようにし、領域３で
は上下の透明基板のラビング方向がより大きな角度をな
すようにする。
【００１４】このようなラビング方向の制御は、フォト
リソグラフィ法とラビング法を併用するマスクラビング
法等によって実現できる。
リソグラフィ法とラビング法を併用するマスクラビング
法等によって実現できる。
【００１５】図２の光変調素子を、その中心を通るＡ１
−Ａ２線で切った断面図は、図１のようになる。この場
合、電界非印加時には液晶はフレネルレンズとして機能
し、液晶の各領域のツイスト角を適切に選ぶと、入射光
が円偏光のとき入射光を高い効率で回折させうる。例え
ば、１周期が３領域からなる場合は約６８％の回折効率
が得られ、１周期が４領域からなる場合は約８１％の回
折効率が得られる。
−Ａ２線で切った断面図は、図１のようになる。この場
合、電界非印加時には液晶はフレネルレンズとして機能
し、液晶の各領域のツイスト角を適切に選ぶと、入射光
が円偏光のとき入射光を高い効率で回折させうる。例え
ば、１周期が３領域からなる場合は約６８％の回折効率
が得られ、１周期が４領域からなる場合は約８１％の回
折効率が得られる。
【００１６】電界印加時には液晶は垂直に配向し、液晶
は回折格子として機能せず、光はほぼ全て透過する。こ
の場合の光変調素子の断面図を図３に示す。ほぼ全ての
光（円偏光）はそのまま透過し、非球面レンズ等を通し
て光記録媒体に焦点を結ぶ。光記録媒体からの反射光は
そのままの経路を戻り、やはりほぼ１００％の透過率で
通過する。
は回折格子として機能せず、光はほぼ全て透過する。こ
の場合の光変調素子の断面図を図３に示す。ほぼ全ての
光（円偏光）はそのまま透過し、非球面レンズ等を通し
て光記録媒体に焦点を結ぶ。光記録媒体からの反射光は
そのままの経路を戻り、やはりほぼ１００％の透過率で
通過する。
【００１７】電界非印加時には、光変調素子を通過した
光（円偏光、例えば入射方向からみた場合右回りの円偏
光）の大部分は回折し拡がる。このとき、セルギャップ
に依存して偏光状態が変化するが、適切なセルギャップ
の厚みに選ぶと、右回りの円偏光が左回りの円偏光に変
化する。その後、非球面レンズ等によって、非球面レン
ズの焦点よりもやや遠いところに集光する。光記録媒体
からの反射光は偏光状態が変化し、再び右回りの円偏光
に戻る。そして全く同様の経路を逆にたどって回折し、
再び光変調素子を通過することによって左回りの円偏光
に戻る。
光（円偏光、例えば入射方向からみた場合右回りの円偏
光）の大部分は回折し拡がる。このとき、セルギャップ
に依存して偏光状態が変化するが、適切なセルギャップ
の厚みに選ぶと、右回りの円偏光が左回りの円偏光に変
化する。その後、非球面レンズ等によって、非球面レン
ズの焦点よりもやや遠いところに集光する。光記録媒体
からの反射光は偏光状態が変化し、再び右回りの円偏光
に戻る。そして全く同様の経路を逆にたどって回折し、
再び光変調素子を通過することによって左回りの円偏光
に戻る。
【００１８】すなわち右回りの円偏光からスタートし、
左回りの円偏光になって元の光路に戻る。このとき、入
射光は左回りの円偏光でもよく、左回りの円偏光からス
タートして右回りの円偏光に戻る。
左回りの円偏光になって元の光路に戻る。このとき、入
射光は左回りの円偏光でもよく、左回りの円偏光からス
タートして右回りの円偏光に戻る。
【００１９】液晶の配向方向の制御は、透明基板の液晶
側の面に配向膜（ポリイミド膜）を形成し、ラビング処
理することによって行いうる。また、透明基板の表面に
比較的浅い格子状の溝を直接設け、その溝の配向力によ
って液晶を配向させることもできる。
側の面に配向膜（ポリイミド膜）を形成し、ラビング処
理することによって行いうる。また、透明基板の表面に
比較的浅い格子状の溝を直接設け、その溝の配向力によ
って液晶を配向させることもできる。
【００２０】本発明の光源としては半導体レーザ、ＹＡ
Ｇレーザ等の固体レーザ、Ｈｅ−Ｎｅ等の気体レーザ等
の各種の固体、気体レーザが使用でき、半導体レーザが
小型軽量化、連続発振、保守点検等の点で好ましい。ま
た、光源部に半導体レーザ等と非線形光学素子を組み込
んだ高調波発生装置（ＳＨＧ）を使用し、青色レーザ等
の短波長レーザを用いると、高密度の情報の読み取り及
び／又は書き込みが可能になる。
Ｇレーザ等の固体レーザ、Ｈｅ−Ｎｅ等の気体レーザ等
の各種の固体、気体レーザが使用でき、半導体レーザが
小型軽量化、連続発振、保守点検等の点で好ましい。ま
た、光源部に半導体レーザ等と非線形光学素子を組み込
んだ高調波発生装置（ＳＨＧ）を使用し、青色レーザ等
の短波長レーザを用いると、高密度の情報の読み取り及
び／又は書き込みが可能になる。
【００２１】本発明の光記録媒体は、光により情報を読
み取り及び／又は書き込みできる媒体である。その例と
してはＣＤ（コンパクト ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ、
ビデオディスク、ＤＶＤ（デジタル ビデオ ディス
ク）等の光ディスク、及び光磁気ディスク、相変化型光
ディスク等が使用できる。
み取り及び／又は書き込みできる媒体である。その例と
してはＣＤ（コンパクト ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ、
ビデオディスク、ＤＶＤ（デジタル ビデオ ディス
ク）等の光ディスク、及び光磁気ディスク、相変化型光
ディスク等が使用できる。
【００２２】
【実施例】本発明の実施例を図１〜５を用いて以下に説
明する。厚さ０. ５ｍｍ、１０ｍｍ×１０ｍｍ角、屈折
率１．５２のガラス基板４の表面に、ＩＴＯ膜の電極６
を形成し、その上にポリイミド膜５を形成した。フォト
リソグラフィ法を利用したマスクラビング法により、ガ
ラス基板４の中心領域から周辺領域に向かって、液晶の
ツイスト角が０°、１２０°、２４０°である３つの領
域を１周期とする、周期的な配向状態（フレネルレンズ
ホログラム構造１４）を形成した。ここで、フレネルレ
ンズホログラム構造１４を形成したのは、ガラス基板４
の中心部の直径２. ５ｍｍの円形部分である。
明する。厚さ０. ５ｍｍ、１０ｍｍ×１０ｍｍ角、屈折
率１．５２のガラス基板４の表面に、ＩＴＯ膜の電極６
を形成し、その上にポリイミド膜５を形成した。フォト
リソグラフィ法を利用したマスクラビング法により、ガ
ラス基板４の中心領域から周辺領域に向かって、液晶の
ツイスト角が０°、１２０°、２４０°である３つの領
域を１周期とする、周期的な配向状態（フレネルレンズ
ホログラム構造１４）を形成した。ここで、フレネルレ
ンズホログラム構造１４を形成したのは、ガラス基板４
の中心部の直径２. ５ｍｍの円形部分である。
【００２３】このとき、中心領域での１周期は２８５μ
ｍ、最周辺領域での１周期は３３μｍとした。１周期
は、ツイスト角が０°、１２０°、２４０°の３つの領
域からなり、各々の領域は１周期の１／３の幅とした。
ｍ、最周辺領域での１周期は３３μｍとした。１周期
は、ツイスト角が０°、１２０°、２４０°の３つの領
域からなり、各々の領域は１周期の１／３の幅とした。
【００２４】このようなガラス基板４を上下用に２枚作
成した後、液晶注入用の開口部を除いて２枚のガラス基
板４の周辺部にシール部８を印刷し、セルギャップが約
１２μｍになるようにして重ね合わせた。その後、常光
屈折率が約１. ５、Δｎが約０. １のネマチック液晶７
を、液晶注入用の開口部から真空注入した。そして、液
晶注入用の開口部をエポキシ樹脂で封止し、光変調素子
１３を作製した。
成した後、液晶注入用の開口部を除いて２枚のガラス基
板４の周辺部にシール部８を印刷し、セルギャップが約
１２μｍになるようにして重ね合わせた。その後、常光
屈折率が約１. ５、Δｎが約０. １のネマチック液晶７
を、液晶注入用の開口部から真空注入した。そして、液
晶注入用の開口部をエポキシ樹脂で封止し、光変調素子
１３を作製した。
【００２５】図５に示すように、半導体レーザ（図示せ
ず）、フレネルレンズホログラム構造１４を有する光変
調素子１３、非球面レンズ（対物レンズ）１２、光ディ
スク１０を設けて光ヘッド装置を作製した。電界非印加
時には焦点距離は長くなり、半導体レーザからの波長７
８０ｎｍの入射光に対して、往方向の回折効率は約６０
％で、復方向の回折効率は約６０％で、往復効率は約３
６％であった。
ず）、フレネルレンズホログラム構造１４を有する光変
調素子１３、非球面レンズ（対物レンズ）１２、光ディ
スク１０を設けて光ヘッド装置を作製した。電界非印加
時には焦点距離は長くなり、半導体レーザからの波長７
８０ｎｍの入射光に対して、往方向の回折効率は約６０
％で、復方向の回折効率は約６０％で、往復効率は約３
６％であった。
【００２６】一方、電界印加時（電圧５Ｖ印加）には焦
点距離は短くなり、往方向の回折効率は約９０％で、復
方向の回折効率も約９０％で、約８１％の往復効率が得
られた。
点距離は短くなり、往方向の回折効率は約９０％で、復
方向の回折効率も約９０％で、約８１％の往復効率が得
られた。
【００２７】
【発明の効果】本発明により、光の利用効率が高く、安
価に製造できる２重焦点レンズ効果を有する光変調素子
と、それを利用した光ヘッド装置が得られた。２重焦点
レンズ効果を有することにより、ＣＤ及びＣＤ−ＲＯＭ
とＤＶＤディスクのように、異なった厚みの光ディスク
に対して信号の読み書きを１つの光ヘッド装置で行うこ
とができる。
価に製造できる２重焦点レンズ効果を有する光変調素子
と、それを利用した光ヘッド装置が得られた。２重焦点
レンズ効果を有することにより、ＣＤ及びＣＤ−ＲＯＭ
とＤＶＤディスクのように、異なった厚みの光ディスク
に対して信号の読み書きを１つの光ヘッド装置で行うこ
とができる。
【図１】本発明の実施例を示し、図２のＡ１−Ａ２線に
おける光変調素子の部分側断面図。
おける光変調素子の部分側断面図。
【図２】本発明の実施例を示し、光変調素子の中心部の
平面図。
平面図。
【図３】本発明の実施例を示し、電界印加時の液晶の配
向状態を説明する光変調素子の部分側断面図。
向状態を説明する光変調素子の部分側断面図。
【図４】本発明の実施例を示し、光変調素子の基本構成
の側断面図。
の側断面図。
【図５】本発明の実施例を示し、光ヘッド装置の側面
図。
図。
１：領域 ２：領域 ３：領域 ４：ガラス基板 ５：ポリイミド膜 ６：電極 ７：液晶 ８：シール部 １０：光ディスク １２：非球面レンズ １３：光変調素子 １４：フレネルレンズホログラム構造
Claims (5)
- 【請求項１】略平行な２つの透明基板とその間に挟持さ
れる液晶とを備え、液晶が同心円状に分布する複数の領
域を有し、２つの透明基板の液晶側の面に電極が形成さ
れ、液晶は電界印加時には配向方向が透明基板に対して
略垂直であり、電界非印加時には配向方向が中心領域か
ら周辺領域に向かって周期的に変化しかつその周期が中
心領域から周辺領域に向かって変化するよう設定され、
１周期において液晶の配向方向が基板に略平行な領域と
液晶の配向方向が一方の透明基板から他方の透明基板に
向かって螺旋状に変化している領域とを含むことを特徴
とする光変調素子。 - 【請求項２】電界非印加時に配向方向が螺旋状に変化し
ている液晶のツイスト角が、中心領域から周辺領域に向
かって周期的に変化している請求項１記載の光変調素
子。 - 【請求項３】１周期の長さが中心領域から周辺領域に向
かうにつれて小さくなる請求項１又は２記載の光変調素
子。 - 【請求項４】１周期における液晶のツイスト角の分布
が、中心領域から周辺領域に向かう方向において非対称
である請求項１、２又は３いずれかに記載の光変調素
子。 - 【請求項５】光源からの光を回折素子を通して光記録媒
体に照射することにより、情報を読み取り及び／又は書
き込む光ヘッド装置において、回折素子が請求項１、
２、３又は４に記載の光変調素子であることを特徴とす
る光ヘッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8036920A JPH09230370A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 光変調素子及び光ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8036920A JPH09230370A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 光変調素子及び光ヘッド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09230370A true JPH09230370A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=12483206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8036920A Pending JPH09230370A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 光変調素子及び光ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09230370A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100693002B1 (ko) * | 2000-09-01 | 2007-03-12 | 삼성전자주식회사 | 광픽업장치 |
| CN109946857A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-06-28 | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 | 一种基于宽带隙无机二维液晶材料的紫外及深紫外磁光调制装置 |
-
1996
- 1996-02-23 JP JP8036920A patent/JPH09230370A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100693002B1 (ko) * | 2000-09-01 | 2007-03-12 | 삼성전자주식회사 | 광픽업장치 |
| CN109946857A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-06-28 | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 | 一种基于宽带隙无机二维液晶材料的紫外及深紫外磁光调制装置 |
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