JPH09225924A - Device for stacking raw ceramic sheets - Google Patents
Device for stacking raw ceramic sheetsInfo
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- JPH09225924A JPH09225924A JP3245496A JP3245496A JPH09225924A JP H09225924 A JPH09225924 A JP H09225924A JP 3245496 A JP3245496 A JP 3245496A JP 3245496 A JP3245496 A JP 3245496A JP H09225924 A JPH09225924 A JP H09225924A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック生シー
トの積層装置に関し、詳しくは、セラミック生シートの
複数枚を搬入毎に高圧にて積層するものでありながら、
搬入毎のセラミック生シートの位置ずれを補正するため
の構成を合理的な手段によって簡素化し、微少な補正を
可能にするとともに、装置全体を大幅に小型化し、コス
トダウンを図ろうとする技術に係るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic green sheet laminating apparatus, and more particularly, to a method for laminating a plurality of ceramic green sheets at a high pressure every time they are loaded.
According to the technology for simplifying the configuration for correcting the displacement of the ceramic raw sheet for each carry-in by rational means, enabling minute correction, and significantly reducing the size of the entire apparatus and reducing costs. Things.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、セラミックシートの多層体となっ
ているセラミック積層コンデンサーや、多層配線基板を
製造するのに際して、一つの方法は、表面に所定のパタ
ーンで電極や配線回路が印刷されたセラミック生シート
を所定の形状に切断し、それらを所定の位置において電
極や配線回路がずれないように精度よく位置合わせをし
た上で、加圧して密着させる積層方法がある。2. Description of the Related Art Conventionally, in manufacturing a ceramic multilayer capacitor or a multilayer wiring board which is a multilayer body of ceramic sheets, one method is to use a ceramic having electrodes and wiring circuits printed on a surface in a predetermined pattern. There is a laminating method in which a raw sheet is cut into a predetermined shape, and the raw sheets are precisely positioned so that electrodes and wiring circuits do not shift at predetermined positions, and then pressed and adhered.
【0003】この積層方法において使用されるセラミッ
ク生シートは、長尺な保持シートに塗工されて形成され
たうえで電極や位置決めマーク等の印刷パターンが予め
印刷されている。この二層体シートを機械に装着して送
り出し、二層体シートのセラミック生シートのみをカッ
ターにて所定の幅に切断しながら前記印刷パターンが、
剥離テーブル上の所定の位置で止まるように間欠駆動さ
れる。[0003] The ceramic raw sheet used in this laminating method is formed by coating a long holding sheet and then printing a printing pattern such as electrodes and positioning marks in advance. This bilayer sheet is attached to a machine and sent out, while the printing pattern is obtained while cutting only the ceramic green sheet of the bilayer sheet into a predetermined width with a cutter,
It is intermittently driven to stop at a predetermined position on the peeling table.
【0004】この剥離テーブル上に位置決めされた印刷
パターンを位置検出用カメラにて撮影し、同パターン内
の位置決めマークを基準にして位置ずれを検出するので
ある。一方、上押さえ台は、上記位置の検出結果に基づ
いて制御信号にて駆動されるサーボモータにより、例え
ば、ボールネジ及びネジ軸を介して水平(X方向)にそ
の移動距離が補正されるのである。そして、剥離テーブ
ル上のセラミック生シートの上記X方向とは直交するY
方向及び回転(θ)方向の位置ずれに対する補正は下押
さえ台側においておこなわれるものである。The print pattern positioned on the peeling table is photographed by a position detecting camera, and a positional shift is detected with reference to a positioning mark in the pattern. On the other hand, the moving distance of the upper holding table is corrected horizontally (X direction) via, for example, a ball screw and a screw shaft by a servomotor driven by a control signal based on the detection result of the position. . Then, Y that is orthogonal to the X direction of the ceramic green sheet on the peeling table
The positional deviation in the rotational direction and the rotational (θ) direction is corrected on the side of the lower presser base.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上下押さえ
台はセラミック生シートの積層に際して、数トンから数
十トンの荷重を掛けておこなれるのであり、このような
大きな積層荷重が掛かる積層装置においては、セラミッ
ク生シートの位置ずれを補正するための構成にも多大な
荷重が掛かり、位置補正のめの構成も堅牢なものが必要
となり、そのためのサーボモータのような原動部も大型
なものが必要になり、装置が大型化し、コストも上が
り、微少な補正もおこない難くなる等という問題があ
る。By the way, the upper and lower presser bases are applied with a load of several tons to several tens of tons when stacking the ceramic green sheets. In such a stacking apparatus to which a large stacking load is applied, Also, a large load is applied to the structure for correcting the positional deviation of the ceramic green sheet, and a robust structure for the position correction is also required. Therefore, a large driving part such as a servo motor is also required. Therefore, there are problems that the device becomes large, the cost increases, and it becomes difficult to perform minute correction.
【0006】本発明はこのような問題を解消しようとす
るもので、セラミック生シートの複数枚を高圧にて積層
するものでありながら、セラミック生シートを所定の位
置にセットする時に基準位置に対して生じている位置ず
れを補正するための構成を簡素化し、微少な補正を可能
にし、装置全体を大幅に小型化し、コストダウンを図る
ことができるセラミック生シートの積層装置を提供する
ことを課題とするものである。[0006] The present invention is intended to solve such a problem, and while laminating a plurality of ceramic green sheets at a high pressure, when the ceramic green sheets are set at a predetermined position, the position of the ceramic green sheets relative to the reference position is reduced. It is an object of the present invention to provide a ceramic green sheet laminating apparatus which simplifies a configuration for correcting a positional displacement caused by the above, enables a minute correction, greatly reduces the size of the entire apparatus, and can reduce the cost. It is assumed that.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1においては、上
押さえ台1と下押さえ台2との間にセラミック生シート
Sa…を一枚づつ搬入するとともに搬入毎に上下押さえ
台1,2を稼働させて多層積層体を製造するのに、下押
さえ台2側に、セラミック生シートSaの位置の検出結
果に基づいて下押さえ台2の水平面内における位置を補
正する位置補正手段Dが設けられたセラミック生シート
の積層装置であって、下押さえ台2が上下に複数に分割
され、対向する分割体2x,2xが上記位置補正のため
に相対位置変更可能に構成され、対向する分割体2x,
2x間に上記位置補正手段Dが設けられ、上下押さえ台
1,2を加圧してセラミック生シートSa…を積層する
ための加圧力が上記位置補正手段Dにおよぶのを回避す
る加圧力吸収手段Fが設けられて成ることを特徴とする
ものである。According to the first aspect of the present invention, the ceramic raw sheets Sa are loaded one by one between the upper holding table 1 and the lower holding table 2 and the upper and lower holding tables 1 and 2 are loaded each time the ceramic raw sheets Sa are loaded. In order to operate and manufacture the multilayer laminate, the lower holding table 2 is provided with position correcting means D for correcting the position of the lower holding table 2 in the horizontal plane based on the detection result of the position of the ceramic green sheet Sa. The lower holding table 2 is divided into a plurality of upper and lower parts, and the opposing divided bodies 2x, 2x are configured to be capable of changing relative positions for the above-described position correction, and the opposing divided bodies 2x ,
The position correcting means D is provided between 2x and the pressing force absorbing means for pressing the upper and lower holding tables 1 and 2 to prevent the pressing force for stacking the ceramic green sheets Sa. F is provided.
【0008】請求項2においては、加圧力吸収手段F
は、セラミック生シートSa…を積層する加圧力にて弾
性変形するバネ板Bで構成されていることを特徴とする
ものである。請求項3においては、位置補正手段Dは水
平面内の直線移動をおこなうものであることを特徴とす
るものである。In the second aspect, the pressing force absorbing means F
Is characterized by being constituted by a spring plate B elastically deformed by a pressing force for laminating the ceramic raw sheets Sa. According to a third aspect of the present invention, the position correcting means D performs a linear movement in a horizontal plane.
【0009】請求項4においては、位置補正手段Dは水
平面内の回転移動をおこなうものであることを特徴とす
るものである。請求項1においては、上下押さえ台1,
2が加圧されている状態では、加圧力吸収手段Fにて上
記加圧力を吸収することができ、上下の分割体2x,2
x間に装填した位置補正手段Dに積層時の加圧力が掛か
るのを回避することができ、したがって、位置補正手段
Dは大きな加圧力を見越しての頑丈な構成のものは必要
でなく、直線方向及び回転方向の補正をおこなうための
軸受(ベアリング)を小型化し、かつ、比較的小型のサ
ーボモータで、上の分割体2xの微細な位置補正制御を
おこなうことができ、位置ずれを補正する構成を簡素化
でき、装置全体を小型化でき、コウトダウンできる。According to a fourth aspect of the present invention, the position correcting means D performs a rotational movement in a horizontal plane. In claim 1, the upper and lower holding tables 1,
2 is pressurized, the pressing force can be absorbed by the pressing force absorbing means F, and the upper and lower divided bodies 2x, 2x
It is possible to prevent the pressing force at the time of lamination from being applied to the position correcting means D loaded between x and x. Therefore, the position correcting means D does not need to have a strong structure in anticipation of a large pressing force. The size of the bearing for correcting the direction and rotation direction can be reduced, and a relatively small servomotor can be used to perform fine position correction control of the upper divided body 2x, thereby correcting a position shift. The configuration can be simplified, the entire apparatus can be reduced in size, and down-counting can be achieved.
【0010】換言すれば、通常では、上下に複数に分割
した分割体2x,2x,2x等を公差を伴う機械加工に
て製作し、このように製作された多くの部品を組立てた
場合に、上記製作上の公差と、組立て誤差にて、直線方
向及び回転方向の補正をおこなうための軸受(ベアリン
グ)に直接的に加圧力が掛かるような組立状態になる場
合が生じるのであるが、本発明においては、上記軸受
(ベアリング)に加圧力が掛かるのを回避する加圧力吸
収手段Fを設けることによって、上記公差及び組立誤差
の範囲内で組立られた場合に、上記軸受(ベアリング)
を確実に保護することができ、しかして、軸受(ベアリ
ング)を小型化し、補正制御をおこなう駆動部も小型化
し、微少な補正を可能にするものである。In other words, normally, when the divided bodies 2x, 2x, 2x, etc., which are divided into a plurality of upper and lower parts, are manufactured by machining with tolerances and many parts manufactured in this manner are assembled, Due to the above manufacturing tolerances and assembly errors, an assembly state may occur in which a pressing force is directly applied to a bearing (bearing) for correcting the linear direction and the rotation direction. In the above, by providing a pressing force absorbing means F for preventing the pressing force from being applied to the bearing (bearing), when the bearing is assembled within the above-mentioned tolerance and assembly error, the bearing (bearing)
Therefore, the bearing can be downsized, and the drive unit for performing the correction control can also be downsized to enable minute correction.
【0011】請求項2においては、セラミック生シート
Saの積層のための加圧力を吸収する手段としてバネ板
Bの弾性変形を利用したもので、部品構成が極めて簡素
で、製作が容易でありながら、請求項1において詳述し
た作用効果を充分に奏することができるものである。According to the second aspect, the elastic deformation of the spring plate B is used as a means for absorbing the pressing force for laminating the ceramic green sheets Sa, so that the component configuration is extremely simple and the production is easy. Thus, the function and effect described in detail in claim 1 can be sufficiently obtained.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の一形態を図面
に基づいて詳述する。図3(a)は積層装置の全体正面
図を示し、図4は全体平面図を示している。セラミック
生シートSbは長尺な保持シート11に塗工されて成形
されたうえで、さらに電極及び位置決めマーク19が予
め印刷されている。この二層体を成すシート12が巻出
装置13に装着され、カッター15にてセラミック生シ
ートSbのみを所定の幅に切断しながらサクションロー
ル14などの駆動により前記印刷パターンが剥離テーブ
ル16の所定の位置で止まるように間欠駆動されるよう
にしている。剥離テーブル16上に停止したセラミック
生シートSbの印刷パターンがここで撮影され、同パタ
ーン内の位置決めマーク19の位置を基準位置と比較し
て、同上パターンの停止位置のずれを検出するようにし
ている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 3A shows an overall front view of the laminating apparatus, and FIG. 4 shows an overall plan view. The ceramic raw sheet Sb is applied to a long holding sheet 11 and molded, and further, electrodes and positioning marks 19 are printed in advance. The sheet 12 forming the two-layer body is mounted on the unwinding device 13, and while the cutter 15 is used to cut only the ceramic green sheet Sb into a predetermined width, the printing pattern is driven by the suction roll 14 or the like so that the printing pattern is fixed on the release table 16. Is intermittently driven so as to stop at the position. The print pattern of the ceramic raw sheet Sb stopped on the peeling table 16 is photographed here, and the position of the positioning mark 19 in the pattern is compared with a reference position to detect a shift of the stop position of the pattern. I have.
【0013】上押さえ台1は、上記位置の検出結果に基
づいて制御信号を受けて駆動されるサーボモータ17に
よりネジ軸10を介して水平(X方向)にその移動距離
が補正されて剥離テーブル16上のセラミック生シート
Sbのパターン上に正確に位置決されるのである。この
時、カメラ20は剥離テーブル16上から移動して上押
さえ台1に邪魔にならない場所に退避している。その
後、上押さえ台1に付設されているカッターにて長尺な
セラミック生シートSbのみを所定の長さに切断し、こ
のように所定の形状に切断されたセラミック生シートS
aを上押さえ台1にエアーの吸引による吸着作用で保持
し、積層装置Aにおける下押さえ台2の上方に移動され
る。The moving distance of the upper holding table 1 is corrected in the horizontal direction (X direction) via the screw shaft 10 by a servomotor 17 driven by receiving a control signal based on the detection result of the position. 16 is accurately positioned on the pattern of the ceramic raw sheet Sb on the substrate 16. At this time, the camera 20 moves from above the peeling table 16 and retreats to a place where it does not interfere with the upper holding table 1. Thereafter, only the long ceramic raw sheet Sb is cut into a predetermined length by a cutter attached to the upper holding table 1, and the ceramic raw sheet S thus cut into a predetermined shape is cut.
a is held on the upper holding table 1 by suction action of air suction, and is moved above the lower holding table 2 in the laminating apparatus A.
【0014】一方、剥離テーブル16上のセラミック生
シートSbの撮影されたパターンに対して、前記X方向
と直交するY方向及び回転(θ)方向の位置ずれの補正
は下押さえ台2の側においておこなうようにしてあり、
これによって積層される位置が正確に位置決めされる。
その後、下押さえ台2の上方に移動して来た上押さえ台
1と下押さえ台2の間においてセラミック生シートSa
を正確な位置に順次積層して、セラミック積層体Lを連
続的に生産するのである。セラミック生シートSaが剥
離された保持シート11は巻取装置18に巻取られるの
である。On the other hand, with respect to the photographed pattern of the raw ceramic sheet Sb on the peeling table 16, the positional deviation in the Y direction and the rotation (θ) direction orthogonal to the X direction is corrected on the side of the lower holding table 2. To do it,
As a result, the position where the layers are stacked is accurately determined.
Thereafter, the ceramic raw sheet Sa is moved between the upper holding table 1 and the lower holding table 2 that have moved above the lower holding table 2.
Are sequentially laminated at accurate positions, and the ceramic laminate L is continuously produced. The holding sheet 11 from which the ceramic raw sheet Sa has been peeled off is wound up by the winding device 18.
【0015】以下、位置補正構成と上下押さえ台1,2
を備えている積層装置Aを詳述する。図2に示すよう
に、サーボモータ17にてネジ軸10が制御回転自在に
設けられ、ネジ軸10にボールネジ31が螺合され、ボ
ールネジ31に上押さえ台1が保持され、X方向の信号
が入力されてネジ軸10が制御回転されて、上押さえ台
1を所定の位置に駆動移動できるようにしている。上押
さえ台1には多数個の孔が形成され、エアー供給・吸引
部(図示せず)に接続され、エアーの吸引作用にてセラ
ミック生シートSaを吸引して搬送し、また、搬送後に
おいてエアーを噴出してセラミック生シートSaを上押
さえ台1から剥離することができるようにしている。Hereinafter, the position correction structure and the upper and lower holding tables 1 and 2 will be described.
Will be described in detail. As shown in FIG. 2, the screw shaft 10 is rotatably controlled by the servo motor 17, a ball screw 31 is screwed to the screw shaft 10, the upper holding table 1 is held by the ball screw 31, and a signal in the X direction is transmitted. When the input is input, the screw shaft 10 is controlled and rotated so that the upper holding table 1 can be driven and moved to a predetermined position. A large number of holes are formed in the upper holding table 1 and connected to an air supply / suction unit (not shown) to suck and transport the ceramic raw sheet Sa by the suction action of air. Air is blown out so that the ceramic raw sheet Sa can be peeled from the upper holding table 1.
【0016】下押さえ台2は加圧機器6としての油圧シ
リンダー7のシリンダーロッド8に後述するY方向の補
正手段及び回転(θ)方向の補正手段を介して搭載さ
れ、下押さえ台2がY方向の制御信号及び回転(θ)方
向の制御信号にて各々の方向の補正がおこなわれ、その
後、油圧シリンダー7の伸縮で昇降されて、上押さえ台
1との間においてセラミック生シートSaを一枚毎に積
層してゆくのである。The lower presser base 2 is mounted on a cylinder rod 8 of a hydraulic cylinder 7 as a pressurizing device 6 through Y-direction correction means and rotation (θ) direction correction means, which will be described later. Each direction is corrected by the control signal of the direction and the control signal of the rotation (θ) direction, and then the hydraulic cylinder 7 is moved up and down to move up and down, and the ceramic green sheet Sa is removed from the upper holding table 1. They are stacked one by one.
【0017】図1及び図2に示すように、下押さえ台2
とシリンダーロッド8との間には、Y方向の補正手段及
び回転(θ)方向の補正手段が介装されている。即ち、
シリンダーロッド8の上端に固定受台33が連結され、
固定受台33には昇降台34が昇降ガイド手段52を介
して支持枠53に垂直にガイド移動できるように構成し
ている。昇降台34には回転(θ)方向の位置修正手段
Dを構成する軸受35を介して軸36が回転自在に保持
され、回転台54は加圧力吸収手段Fとしての板バネ4
4(バネ板B)を介して軸36に接合されている。回転
台54には加圧力吸収手段Fとしての板バネ材43(バ
ネ板B)を介してY方向の補正をおこなうためにY方向
に伸びる一対のレール37,37が付設され、このレー
ル37,37にスライド自在に支持されていて、位置修
正手段Dを構成するボールスライド軸受38,38を介
してY方向の移動が自在なY方向移動台39が搭載され
ている。As shown in FIG. 1 and FIG.
A Y-direction correction means and a rotation (θ) direction correction means are provided between the cylinder rod 8 and the cylinder rod 8. That is,
A fixed support 33 is connected to the upper end of the cylinder rod 8,
The fixed receiving table 33 is configured such that the lifting table 34 can be guided vertically by a supporting frame 53 via a lifting guide means 52. A shaft 36 is rotatably held on the elevating table 34 via a bearing 35 constituting a position correcting means D in the rotation (θ) direction, and the rotating table 54 is a leaf spring 4 as a pressing force absorbing means F.
4 (spring plate B) is connected to the shaft 36. The turntable 54 is provided with a pair of rails 37 extending in the Y direction for performing correction in the Y direction via a leaf spring material 43 (spring plate B) as a pressing force absorbing means F. A Y-direction moving table 39 slidably supported by 37 and movable in the Y-direction via ball slide bearings 38, 38 constituting the position correcting means D is mounted.
【0018】更に、昇降台34にウォーム40がサーボ
モータ41の駆動にて制御回転自在に設けられ、軸36
にはウォームギヤ42が設けられ、ウォーム40がウォ
ームギヤ42に螺合し、しかして、回転(θ)方向の制
御信号にて駆動されるサーボモータ41にてウォーム4
0が駆動回転され、ウォームギヤ42を介して軸36を
従動回転し、回転台54を回転させてセラミック生シー
トSaの回転(θ)方向の位置ずれを補正することがで
きるようにしている。Further, a worm 40 is provided on the elevating table 34 so as to be controllably rotatable by driving a servomotor 41, and a shaft 36 is provided.
Is provided with a worm gear 42. The worm 40 is screwed to the worm gear 42, and the worm 4 is driven by a servo motor 41 driven by a control signal in the rotation (θ) direction.
0 is driven to rotate, the shaft 36 is driven to rotate via the worm gear 42, and the turntable 54 is rotated to correct the displacement of the ceramic raw sheet Sa in the rotational (θ) direction.
【0019】また、回転台54にはサーボモータ62が
搭載され、Y方向の補正信号にてサーボモータ62が制
御回転される。この動力はネジ軸63に伝達される。ネ
ジ軸63にはボールネジ64が備えられているY方向移
動台39が螺合されていてY方向移動台39が駆動移動
されて、セラミック生シートSaのY方向の位置ずれを
補正することができるようにしている。A servo motor 62 is mounted on the turntable 54, and the servo motor 62 is controlled and rotated by a Y-direction correction signal. This power is transmitted to the screw shaft 63. A Y-direction moving table 39 provided with a ball screw 64 is screwed to the screw shaft 63, and the Y-direction moving table 39 is driven and moved to correct the displacement of the ceramic raw sheet Sa in the Y direction. Like that.
【0020】ところで、上下押さえ台1,2は数トンか
ら数十トンの加圧力にて加圧されるのであり、この時の
高荷重に耐えられる構造でなければならない。一方、上
記加圧力が加圧されていない時にY方向及び回転(θ)
方向共に位置ずれ補正のために軽く動く必要がある。そ
こで回転台54と軸36との接合部材に板バネ44のよ
うな弾性体を介在させ、また、回転台54とレール3
7,37との間の接合部材に板バネ材43のような弾性
体を介在させることによって、軸受35やボールスライ
ド軸受38に板バネの弾性力以上の高荷重がかかるのを
防いでいる。The upper and lower holding tables 1 and 2 are pressurized with a pressing force of several to several tens of tons, and must have a structure capable of withstanding a high load at this time. On the other hand, when the pressing force is not applied, the Y direction and the rotation (θ)
It is necessary to move lightly in both directions to correct the displacement. Therefore, an elastic body such as a leaf spring 44 is interposed in the joining member between the turntable 54 and the shaft 36, and the turntable 54 and the rail 3
An elastic body such as a leaf spring material 43 is interposed between the joining members 7 and 37 to prevent the bearing 35 and the ball slide bearing 38 from being subjected to a high load greater than the elastic force of the leaf spring.
【0021】即ち、上記板バネ材43は、間座65,6
5にて支持され、間座65,65間において弾性変形す
るものである。また、板バネ44は、取付けビス66に
て回転台54に取付けられるとともに取付けビス67に
て軸36の上端のフランジに取付けられ、板バネ44は
空所H内において弾性変形するものである。しかして、
部品加工精度や組立誤差によって分割体2xとしての昇
降台34と回転台54が強い力で直接接触して回転
(θ)方向に動かなくなるのを板バネ44のような弾性
体が介在することによって防ぎ、また、分割体2xとし
ての回転台54とY方向移動台39が強い力で直接接触
して、Y方向に動かなくなるのを板バネ材43のような
弾性体が介在することによって防いでいる。That is, the leaf spring member 43 is provided with the spacers 65 and 6.
5, and elastically deforms between the spacers 65, 65. The leaf spring 44 is attached to the turntable 54 by an attachment screw 66 and is attached to a flange at the upper end of the shaft 36 by an attachment screw 67. The leaf spring 44 is elastically deformed in the hollow space H. Then
The elastic body such as the leaf spring 44 prevents the lift table 34 and the turntable 54 as the divided body 2x from coming into direct contact with a strong force and not moving in the rotation (θ) direction due to the component processing accuracy or assembly error due to direct contact with strong force. In addition, the rotation table 54 as the divided body 2x and the Y-direction moving table 39 are prevented from coming into direct contact with a strong force and becoming unable to move in the Y direction by the interposition of an elastic body such as the leaf spring material 43. I have.
【0022】しかして、上下押さえ台1,2が加圧され
ている状態では、上下に分割された昇降台34、回転台
54;回転台54、Y方向移動台39(分割体2x,2
x)間に装填された板バネ44及び板バネ材43(バネ
板B、即ち加圧力吸収手段F)によって、セラミック生
シートSa…の積層時の加圧力を吸収することができ、
軸受35やボールスライド軸受38,38に加圧力が掛
かるのをのを回避することができるのである。したがっ
て、軸受35やボールスライド軸受38は大きな加圧力
を見越しての頑丈な構成のものは必要でなく、比較的小
型のサーボモータのような簡易な制御機器を使用して、
回転台54及びY方向移動台39の微細な位置補正制御
をおこなうことができ、位置ずれを補正する構成を簡素
化でき、装置全体を小型化でき、コウトダウンできるの
である。In the state where the upper and lower holding tables 1 and 2 are pressurized, the vertically movable lifting table 34 and the rotating table 54; the rotating table 54 and the Y-direction moving table 39 (the divided bodies 2x and 2).
x), the leaf spring 44 and the leaf spring member 43 (spring plate B, that is, the pressure absorbing means F) can absorb the pressure at the time of stacking the ceramic green sheets Sa.
Applying a pressing force to the bearing 35 and the ball slide bearings 38, 38 can be avoided. Therefore, the bearing 35 and the ball slide bearing 38 do not need to have a strong structure in anticipation of a large pressing force, and use a simple control device such as a relatively small servomotor.
It is possible to perform fine position correction control of the turntable 54 and the Y-direction moving table 39, simplify the configuration for correcting the position shift, downsize the entire apparatus, and reduce the weight.
【0023】[0023]
【発明の効果】請求項1においては、下押さえ台が上下
に複数に分割され、対向する分割体が上記位置補正のた
めに相対位置変更可能に構成され、対向する分割体間に
上記位置補正手段が設けられ、上下押さえ台を加圧して
セラミック生シートを積層するための加圧力が上記位置
補正手段におよぶのを回避する加圧力吸収手段が設けら
れているから、上下押さえ台が加圧されている状態で
は、加圧力吸収手段にて上記加圧力を吸収することがで
き、上下の分割体間に装填した位置補正手段に積層時の
加圧力が掛かるのを回避することができる。したがっ
て、位置補正手段は大きな加圧力を見越しての頑丈な構
成のものは必要でなく、直線方向の補正及び回転方向の
補正をおこなうための軸受(ベアリング)を小型化し、
かつ比較的小型のサーボモータで位置補正制御をおこな
うことができる。又、位置ずれを補正する構成を簡素化
でき、装置全体を小型化して、コウトダウンできるとい
う利点がある。According to the first aspect of the present invention, the lower holding table is vertically divided into a plurality of parts, and the opposing divided bodies can be changed in relative position for the position correction, and the position correction between the opposing divided bodies is performed. Means is provided, and a pressing force absorbing means is provided to prevent the pressing force for laminating the ceramic green sheets by pressing the upper and lower holding tables from being applied to the position correcting means. In this state, the pressing force can be absorbed by the pressing force absorbing means, and the pressing force at the time of lamination can be prevented from being applied to the position correcting means loaded between the upper and lower divided bodies. Therefore, it is not necessary for the position correcting means to have a rugged configuration in anticipation of a large pressing force, and the bearing (bearing) for performing the correction in the linear direction and the correction in the rotation direction is downsized.
In addition, position correction control can be performed with a relatively small servomotor. In addition, there is an advantage that the configuration for correcting the displacement can be simplified, the entire apparatus can be reduced in size, and a down can be achieved.
【0024】即ち、セラミック生シートの複数枚を搬入
毎に高圧にて積層するものでありながら、搬入毎のセラ
ミック生シートの位置ずれを補正するための構成を簡素
化し、装置全体を大幅に小型化し、コストダウンを図る
点に発明性を見出すものである。請求項2においては、
加圧力吸収手段は、セラミック生シートを積層する加圧
力にて弾性変形するバネ板で構成されているから、つま
り、セラミック生シートの積層のための加圧力を吸収す
る手段としてバネ板の弾性変形を利用したものであっ
て、部品構成が極めて簡素で、製作が容易でありなが
ら、請求項1において詳述した作用効果を充分に奏する
ことができるものである。That is, although a plurality of ceramic green sheets are laminated at high pressure each time they are loaded, the structure for correcting the positional deviation of the ceramic green sheets for each loading is simplified, and the entire apparatus is greatly reduced in size. Inventiveness is found in the point of reducing the cost and reducing the cost. In claim 2,
Since the pressing force absorbing means is composed of the spring plate that is elastically deformed by the pressing force for stacking the ceramic green sheets, that is, the elastic deformation of the spring plate is used as a means for absorbing the pressing force for stacking the ceramic green sheets. It is possible to sufficiently exert the operational effect described in detail in claim 1 while utilizing the above, and the component structure is extremely simple and the manufacturing is easy.
【0025】ところで、位置補正手段は、請求項3のよ
うに、水平面内の直線移動をおこなうものであってもよ
く、また、請求項4のように、水平面内の回転移動をお
こなうものであってもよいものである。The position correcting means may perform a linear movement in a horizontal plane as in claim 3, or may perform a rotational movement in a horizontal plane as in claim 4. It may be.
【図1】本発明の実施の一形態を示し、(a)は積層装
置の側断面図、(b)は部分拡大断面図である。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in which (a) is a side sectional view of a laminating apparatus, and (b) is a partially enlarged sectional view.
【図2】(a)は積層装置の一部破断した側面図、
(b)は部分拡大側面図である。FIG. 2A is a side view of the laminating apparatus with a part broken away,
(B) is a partial enlarged side view.
【図3】(a)は同上の積層装置の全体側面図、(b)
は長尺なセラミック生シートを保持シートに塗工した二
層体シートの拡大断面図である。FIG. 3A is an overall side view of the laminating apparatus according to the first embodiment, and FIG.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a two-layer sheet obtained by applying a long ceramic raw sheet to a holding sheet.
【図4】同上の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the same.
【図5】(a)は二層体シートの斜視図、(b)はセラ
ミック積層体の説明のための斜視図である。FIG. 5A is a perspective view of a two-layer body sheet, and FIG. 5B is a perspective view for explaining a ceramic laminate.
【図6】一部破断した概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view partially broken.
【図7】同上の部分拡大斜視図である。FIG. 7 is a partially enlarged perspective view of the same.
【図8】(a)(b)は同上の動作を示す説明図であ
る。FIGS. 8A and 8B are explanatory diagrams showing the operation of the above.
1 上押さえ台 2 下押さえ台 2x 分割体 B バネ板 D 位置補正手段 F 加圧力吸収手段 L 積層体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Upper holding stand 2 Lower holding stand 2x Division body B Spring plate D Position correction means F Pressing force absorption means L Stacked body
Claims (4)
ック生シートを一枚づつ搬入するとともに搬入毎に上下
押さえ台を稼働させて多層積層体を製造するのに、下押
さえ台側に、セラミック生シートの位置の検出結果に基
づいて下押さえ台の水平面内における位置を補正する位
置補正手段が設けられたセラミック生シートの積層装置
であって、下押さえ台が上下に複数に分割され、対向す
る分割体が上記位置補正のために相対位置変更可能に構
成され、対向する分割体間に上記位置補正手段が設けら
れ、上下押さえ台を加圧してセラミック生シートを積層
するための加圧力が上記位置補正手段におよぶのを回避
する加圧力吸収手段が設けられて成ることを特徴とする
セラミック生シートの積層装置。1. When manufacturing a multilayer laminate by loading ceramic raw sheets one by one between an upper holding base and a lower holding base and operating the upper and lower holding bases every time the loading is carried out, the lower holding base side is manufactured. A ceramic raw sheet laminating apparatus is provided with position correcting means for correcting the position of the lower pressing table in the horizontal plane based on the detection result of the position of the ceramic green sheet, wherein the lower pressing table is vertically divided into a plurality of parts. , The opposing divided bodies are configured to be able to change their relative positions for the above-mentioned position correction, and the position correcting means is provided between the opposing divided bodies, and a pressure is applied to the upper and lower pressing bases to stack the ceramic green sheets. A ceramic green sheet laminating apparatus comprising: a pressing force absorbing means for preventing the pressure from reaching the position correcting means.
を積層する加圧力にて弾性変形するバネ板で構成されて
いることを特徴とする請求項1記載のセラミック生シー
トの積層装置。2. The ceramic raw sheet laminating apparatus according to claim 1, wherein the pressing force absorbing means is constituted by a spring plate elastically deformed by a pressing force for laminating the ceramic raw sheets.
こなうものであることを特徴とする請求項1記載のセラ
ミック生シートの積層装置。3. The apparatus according to claim 1, wherein the position correcting means performs a linear movement in a horizontal plane.
こなうものであることを特徴とする請求項1記載のセラ
ミック生シートの積層装置。4. The apparatus according to claim 1, wherein the position correcting means performs a rotational movement in a horizontal plane.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3245496A JP2829911B2 (en) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | Laminating equipment for ceramic raw sheets |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3245496A JP2829911B2 (en) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | Laminating equipment for ceramic raw sheets |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09225924A true JPH09225924A (en) | 1997-09-02 |
JP2829911B2 JP2829911B2 (en) | 1998-12-02 |
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ID=12359428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP3245496A Expired - Fee Related JP2829911B2 (en) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | Laminating equipment for ceramic raw sheets |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2829911B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6514372B1 (en) * | 1999-08-10 | 2003-02-04 | New Create Corporation | Manufacturing method and manufacturing apparatus of thin film laminated article |
-
1996
- 1996-02-20 JP JP3245496A patent/JP2829911B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6514372B1 (en) * | 1999-08-10 | 2003-02-04 | New Create Corporation | Manufacturing method and manufacturing apparatus of thin film laminated article |
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Publication number | Publication date |
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JP2829911B2 (en) | 1998-12-02 |
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