JPH09220686A - レーザ印字方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザヘッドのレーザ光出射軸と同軸で観察
可能な撮像光学系を配置することで、被印字物を移動さ
せることなくレーザ印字直後の印字面の観察及び印字結
果の良否判定を可能とし、印字不良の迅速な発見を可能
とするとともに、レーザ印字の後工程で独立した検査手
段による検査を不要とする。 【解決手段】 レーザ発振器１からのレーザ光をレーザ
ヘッド４０で走査して被印字物２０の印字面にレーザ印
字する場合に、前記レーザヘッド４０のレーザ光出射軸
と同軸の撮像光学系を通して撮像カメラにより前記被印
字物２０を移動させることなくレーザ印字後の印字面を
撮像し、画像処理装置４２で画像処理する構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品等の被印
字物に非接触でレーザ印字（マーキング）を行うための
レーザ印字方法及び装置に係り、とくに被印字物を移動
させることなくレーザ印字面を観察可能とし、レーザ印
字の良否を直ちに判別可能としたレーザ印字方法及び装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子部品等の被印字物に対して印
字（文字以外のマークのマーキングも含むものとする）
する方法として、一般的な印刷インクを用いる印刷法、
捺印による方法、ＵＶ硬化樹脂等を用いる方法、レーザ
による印字方法等が知られている。なかでも、レーザの
持つ安定した加工性、非接触加工、自動化容易等の特徴
を活かし、レーザ印字方法が近年実施されるようになっ
てきている。とくに、ガルバノミラー系を用いたスキャ
ン光学系による一筆書きによるレーザ印字方法は、プロ
グラムにより簡単に印字内容を変更可能なため、各種レ
ーザ印字方法の中でも最も多く使用されてきた。

【０００３】図７はスキャン光学系による従来のレーザ
印字装置及びこれとは別に設けた検査装置を示し、図８
はレーザヘッド内部のレーザ光学系を示す。これらの図
において、１はレーザ光を発生するレーザ発振器、２は
レーザヘッド（ＸＹガルバノミラー系及びスキャンレン
ズを有するスキャン光学系を含む）であってレーザ発振
器１からのレーザ光を受けてこれを走査するものであ
る。レーザ発振器１は、第１制御器（コントローラ）３
でそのオン、オフ等の制御が行われる。この図７では、
被印字物（ワーク）２０は半導体集積回路のプラスチッ
ク、セラミック等のパッケージであり、間欠搬送ベルト
２１上に位置決め、載置されて間欠移送されるようにな
っている。

【０００４】高精度ガルバノミラー系とスキャンレンズ
とを有するスキャン光学系を用いてレーザ光を走査する
レーザヘッド２は、間欠搬送ベルト２１上の印字ステー
ジＰで停止状態となっている被印字物２０に対しレーザ
光を照射するものである。そのレーザヘッド２の内部構
造を図８に示す。この図８のように、レーザヘッド２
は、レーザ発振器１からのレーザ光のビームを広げた平
行光とするビームエキスパンダ１０と、ビームエキスパ
ンダ１０からのレーザ光を反射するＸ軸スキャナミラー
Ｍ１と、該Ｘ軸スキャナミラーＭ１を回転させてレーザ
光をＸ方向に走査するＸ軸オプティカルスキャナ１１
と、Ｘ軸スキャナミラーＭ１で反射されたレーザ光をさ
らに反射するＹ軸スキャナミラーＭ２と、該Ｙ軸スキャ
ナミラーＭ２を回転させてレーザ光をＹ方向（Ｘ方向に
直交）に走査するＹ軸オプティカルスキャナ１２と、Ｙ
軸スキャナミラーＭ２を出射したレーザ光を収束させる
ための高精度スキャンレンズとしてのｆθレンズ１３
と、ｆθレンズ１３を通って収束されたレーザ光を被印
字物２０上の印字面に向けて全反射する全反射ミラーＭ
３とをレーザヘッド筐体内部に有している。前記被印字
物２０の印字面にレーザ光を照射するためのレーザヘッ
ド筐体の開口は、シールドガラス１４で閉塞されてお
り、このシールドガラス１４でレーザヘッド筐体内部を
保護している。なお、ｆθレンズ１３をスキャナミラー
Ｍ１，Ｍ２の下方に配置して、下方に向けてレーザ光路
をとることができれば、全反射ミラーＭ３は不要とな
る。

【０００５】前記した高精度ＸＹガルバノミラー系は、
Ｘ軸スキャナミラーＭ１と、Ｘ軸オプティカルスキャナ
１１と、Ｙ軸スキャナミラーＭ２と、Ｙ軸オプティカル
スキャナ１２とからなっている。Ｘ軸オプティカルスキ
ャナ１１はＸ軸スキャナミラーＭ１を取り付けたＹ方向
に平行な回転軸を高精度で回転駆動するものであり、Ｙ
軸オプティカルスキャナ１２は、Ｙ軸スキャナミラーＭ
２を取り付けたＸ方向に平行な回転軸を高精度で回転駆
動するものである。

【０００６】図７に示すように、前記ＸＹガルバノミラ
ー系を制御するための制御手段として、制御器３に加え
てスキャナコントローラ（ビームポジショナ・コントロ
ールユニット）４及びスキャナドライバ５が設けられて
おり、前記制御器３は所要の文字、符号、その他のマー
クを印字するためのプログラムに従ってＸ方向及びＹ方
向の走査用出力信号を前記スキャナコントローラ４に加
えるようにしている。スキャナドライバ５は、Ｘ軸スキ
ャナドライバとＹ軸スキャナドライバとからなってお
り、それぞれＸ軸オプティカルスキャナ１１，Ｙ軸オプ
ティカルスキャナ１２に回転動作を行わせるための出力
信号を、前記スキャナコントローラ４のＸ軸走査信号及
びＹ軸走査信号に従って作成して印加するものである。

【０００７】図７の印字ステージＰよりも下流側の検査
ステージＱで停止状態となっている印字終了後の被印字
物２０を検査するために、撮像カメラ３１、画像処理装
置３２、ＴＶモニタ３４及び第２制御器３３が設けられ
ている。

【０００８】この従来装置において、間欠搬送ベルト２
１の間欠移送により印字ステージＰに到着して停止状態
の被印字物２０の印字面に対し、予めプログラムで規定
された通りにレーザヘッド２内のＸ軸及びＹ軸オプティ
カルスキャナ１１，１２を作動させてレーザ光をＸ軸及
びＹ軸方向に走査し、被印字物２０の印字面に所要の文
字、符号、その他のマークを印字する。その後、間欠搬
送ベルト２１の間欠移送により印字済みの被印字物２０
は検査ステージＱに送られ、検査ステージＱ上の撮像カ
メラ３１で停止状態の被印字物２０の印字面が撮像され
る。撮像カメラ３１による被印字物２０の印字面の撮像
信号（ビデオ信号）は画像処理装置３２に加えられ、さ
らに画像処理装置３２による検査結果（欠け、かすれ、
印字面の高さ不良）が第２制御器３３に出力され、これ
と同時にＴＶモニタ３４で撮像カメラ３１による撮像画
像（印字面）が表示され、目視検査が可能となってい
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記図７に
示した従来装置では、わざわざ印字ステージＰでの印字
処理の後に、その下流側に位置する検査ステージＱに印
字結果を検査するための検査工程を設けている。

【００１０】従来からの印刷法や捺印、ＵＶ硬化樹脂等
を用いた印字等と比較して、非接触で安定印字が可能な
レーザ印字の後工程に検査工程が必要な主な理由は、第
１に装置側の問題、第２に被印字物側の問題を有するか
らである。前者は、レーザ印字装置におけるレーザ発振
器の構成部品（共振器ミラー、共振器内のＹＡＧロッド
やガス等のレーザ励起媒体）の劣化、及び光学系部品で
あるスキャンレンズ（焦点レンズ）やガルバノミラー
（Ｘ，Ｙ軸のスキャナミラー）やビームエキスパンダ等
の汚れや劣化が挙げられ、後者は被印字物の寸法不良
（特に印字面の高さ異常）、被印字物の位置決め不良
（所定の印字位置にない、極端な反り）、材質や表面状
態が異なるといった被印字物のロット管理不良等が挙げ
られる。これらは、使用環境や使用時間により変化する
ため、印字不良を省く前述の検査工程が必要となってい
た。

【００１１】さらに、従来装置では、レーザ印字を実行
する印字ステージＰとは別の位置にある検査ステージＱ
で被印字物のレーザ印字結果を検査するため、検査のた
めに被印字物の移動を伴い、検査結果が判るまで時間が
かかり、レーザ印字直後にレーザ印字状態を観察、検査
することはできない問題もある。

【００１２】本発明は、上記の点に鑑み、レーザヘッド
のレーザ光出射軸と同軸で観察可能な撮像光学系を配置
することで、被印字物を移動させることなくレーザ印字
直後の印字面の観察及び印字結果の良否判定を可能と
し、印字不良の迅速な発見を可能とするとともに、レー
ザ印字の後工程で独立した検査手段による検査を不要と
することのできるレーザ印字方法及び装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１３】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のレーザ印字方法は、レーザ発振器からのレ
ーザ光をレーザヘッドで走査して被印字物の印字面にレ
ーザ印字する場合において、前記レーザヘッドのレーザ
光出射軸と同軸の撮像光学系を通して撮像カメラにより
前記被印字物を移動させることなくレーザ印字後の印字
面を撮像することを特徴としている。

【００１５】また、上記レーザ印字方法において、前記
撮像カメラの撮像信号を画像処理手段で画像処理するこ
とでレーザ印字の良否を判別することができる。

【００１６】本発明のレーザ印字装置は、レーザ光を発
生するレーザ発振器と、該レーザ発振器からのレーザ光
を受けてこれを走査し被印字物の印字面にレーザ印字す
るレーザヘッドとを有する構成において、前記レーザヘ
ッド内のスキャン光学系の少なくとも一部を共通に利用
することで前記レーザヘッドのレーザ光出射軸と同軸の
撮像光学系を構成し、該撮像光学系を通して前記印字面
を撮像する撮像カメラを設けるとともに、前記撮像カメ
ラの撮像信号を受けてレーザ印字の良否を判別する画像
処理手段を設けている。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るレーザ印字方
法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。

【００１８】図１は本発明の第１の実施の形態に係るレ
ーザ印字装置の全体構成を示し、図２はスキャン光学系
と撮像光学系の両方を含むレーザヘッドのスキャン光学
系を主として示し、図３はスキャン光学系と同期したレ
ーザ光出射軸と同軸の撮像光学系を示している。

【００１９】これらの図において、１はレーザ光を発生
するレーザ発振器、４０はレーザヘッド（スキャン光学
系と撮像光学系の両方を含む）であってレーザ発振器１
からのレーザ光を受けてこれを走査すると同時にレーザ
光出射軸と同軸で被印字物２０の印字面を撮像するもの
である。レーザ発振器１は、制御器（コントローラ）４
１でそのオン、オフ等の制御が行われる。この図１で
は、被印字物（ワーク）２０は半導体集積回路のプラス
チック、セラミック等のパッケージであり、間欠搬送ベ
ルト２１上に位置決め、載置されて間欠移送されるよう
になっている。

【００２０】レーザヘッド４０は、間欠搬送ベルト２１
上の印字ステージＰで停止状態となっている被印字物２
０に対しレーザ光を照射するものであり、レーザ光を走
査する機能とレーザ光出射軸と同軸に印字面を撮像する
機能を具備している。そのレーザヘッド４０の内部構造
を図２及び図３に示す。この図２のように、レーザヘッ
ド４０は、レーザ発振器１からのレーザ光のビームを広
げた平行光とするビームエキスパンダ１０と、ビームエ
キスパンダ１０からのレーザ光は全反射するが自然光の
波長は透過させる特殊コーティングを施した４５°反射
固定ミラーＭ４と、４５°反射固定ミラーＭ４で全反射
されたレーザ光を反射するＸ軸スキャナミラーＭ１と、
該Ｘ軸スキャナミラーＭ１を回転させてレーザ光をＸ方
向に走査するＸ軸オプティカルスキャナ１１と、Ｘ軸ス
キャナミラーＭ１で反射されたレーザ光をさらに反射す
るＹ軸スキャナミラーＭ２と、該Ｙ軸スキャナミラーＭ
２を回転させてレーザ光をＹ方向（Ｘ方向に直交）に走
査するＹ軸オプティカルスキャナ１２と、Ｙ軸スキャナ
ミラーＭ２を出射したレーザ光を収束させるための高精
度スキャンレンズとしてのｆθレンズ１３と、ｆθレン
ズ１３を通って収束されたレーザ光を被印字物２０上の
印字面に向けて全反射する全反射ミラーＭ３とをレーザ
ヘッド筐体内部に有している。なお、被印字物の印字面
にレーザ光を照射するためのレーザヘッド筐体の開口
は、シールドガラス１４で閉塞されており、このシール
ドガラス１４でレーザヘッド筐体内部を保護している。

【００２１】前記高精度ＸＹガルバノミラー系は、Ｘ軸
スキャナミラーＭ１と、Ｘ軸オプティカルスキャナ１１
と、Ｙ軸スキャナミラーＭ２と、Ｙ軸オプティカルスキ
ャナ１２とからなっている。Ｘ軸及びＹ軸オプティカル
スキャナ１１，１２は例えばパルスモータを内蔵してお
り、Ｘ軸オプティカルスキャナ１１はＸ軸スキャナミラ
ーＭ１を取り付けたＹ方向に平行な回転軸を高精度で回
転駆動するものであり、Ｙ軸オプティカルスキャナ１２
は、Ｙ軸スキャナミラーＭ２を取り付けたＸ方向に平行
な回転軸を高精度で回転駆動するものである。

【００２２】図１に示すように、前記ＸＹガルバノミラ
ー系を制御するための制御手段として、制御器４１に加
えてスキャナコントローラ（ビームポジショナ・コント
ロールユニット）４及びスキャナドライバ５が設けられ
ており、前記制御器４１は所要の文字、符号、その他の
マークを印字するためのプログラムに従ってＸ方向及び
Ｙ方向の走査用出力信号を前記スキャナコントローラ４
に加えるようにしている。スキャナドライバ５は、Ｘ軸
スキャナドライバとＹ軸スキャナドライバとからなって
おり、それぞれＸ軸オプティカルスキャナ１１，Ｙ軸オ
プティカルスキャナ１２に回転動作を行わせるための出
力パルス信号を、前記スキャナコントローラ４のＸ軸走
査信号及びＹ軸走査信号に従って作成して印加するもの
である。

【００２３】前記レーザヘッド４０の撮像光学系は、ス
キャン光学系の前記ＸＹガルバノミラー系及びスキャン
レンズとしてのｆθレンズ１３等を共用するものであ
り、さらに図３のように前記４５°反射固定ミラーＭ４
を通過した自然光をレーザヘッド４０内の撮像カメラ
（ＣＣＤカメラ等のＴＶカメラ）５０に導くために、倍
率調整機能を有するリレーレンズ５１、全反射ミラーＭ
５、Ｍ６を備えている。

【００２４】図３の撮像カメラ５０の撮像信号（ビデオ
信号）は図１の如くＴＶモニタ４３に出力され、このＴ
Ｖモニタ４３にて目視で観察できるようになっていると
ともに、画像処理手段としての画像処理装置４２に出力
される。なお、印字ステージＰ上の被印字物２０の印字
面を明るく照らすために照明装置４４が配置されてい
る。

【００２５】前記画像処理装置４２は画像メモリ及び画
像同士の比較演算手段を内蔵しており、予めプログラム
で規定された所要の文字、符号、その他のマークについ
て、被印字物２０に正しくレーザ印字した印字面を予め
撮像した基本画像（マスター画像）を前記画像メモリに
取り込んであり、前記撮像カメラ５０で撮像した新規の
被印字物２０のレーザ印字後の印字面の画像と前記基本
画像とを前記比較演算手段で比較演算して、レーザ印字
の良否を判別可能なものである。

【００２６】この第１の実施の形態では、間欠搬送ベル
ト２１の間欠移送により印字ステージＰに到着して停止
状態の被印字物２０の印字面に対し、予めプログラムで
規定された通りにレーザヘッド４０のスキャン光学系で
レーザ光を走査し、被印字物２０の印字面に所要の文
字、符号、その他のマークを印字すると同時にレーザヘ
ッド２のレーザ光出射軸と同軸の撮像光学系を通して撮
像カメラ５０で被印字物２０及びその印字面を撮像す
る。すなわち、レーザ発振器１から出たレーザ光はビー
ムエキスパンダ１０を通過してビームを広げた平行光と
なって４５°反射固定ミラーＭ４で全反射され、Ｘ軸ス
キャナミラーＭ１、Ｙ軸スキャナミラーＭ２で反射さ
れ、高精度スキャンレンズとしてのｆθレンズ１３で絞
られ（収束され）かつ全反射ミラーＭ３で反射され、さ
らにシールドガラス１４を通過して被印字物２０の印字
面に照射される。そして、被印字物２０の印字面に対
し、予めプログラムで規定された通りにＸ軸及びＹ軸オ
プティカルスキャナ１１，１２を作動させることでレー
ザ光をＸ軸及びＹ軸方向に走査し、被印字物２０の印字
面に所要の文字、符号、その他のマークを印字すること
ができる。

【００２７】一方、レーザヘッド４０の撮像光学系は、
レーザ光を走査するスキャン光学系とＸ軸スキャナミラ
ーＭ１、Ｙ軸スキャナミラーＭ２、ｆθレンズ１３及び
全反射ミラーＭ３を共用しており、照明装置４４で照ら
された印字ステージＰの被印字物２０の印字直後の印字
面の画像がレーザ光とは逆の経路を通り、４５°反射固
定ミラーＭ４を通過して撮像カメラ５０に至る。すなわ
ち、前記印字面の画像を構成する自然光はシールドガラ
ス１４を通過し、全反射ミラーＭ３で反射され、さらに
ｆθレンズ１３を通りＹ軸スキャナミラーＭ２、Ｘ軸ス
キャナミラーＭ１の順に反射されて４５°反射固定ミラ
ーＭ４に入射するが、４５°反射固定ミラーＭ４は自然
光を透過させる特性であるため、倍率調整機能を有する
リレーレンズ５１に入り、全反射ミラーＭ５、Ｍ６で反
射されて撮像カメラ５０に入る。撮像カメラ５０で撮像
された前記印字面の画像はＴＶモニタ４３で目視で観察
可能に表示されるとともに、画像処理装置４２により画
像メモリに格納されている正しい印字状態を示す基本画
像（マスター画像）と前記印字面の画像とを比較演算手
段で比較演算してレーザ印字の良否を判別する。

【００２８】なお、観察する印字の大きさにより、４５
°反射固定ミラーＭ４からカメラ５０までの長さや、リ
レーレンズ５１の倍率を変更してカメラ視野を適切に設
定できる。

【００２９】図４はＴＶモニタ４３上に映し出されたレ
ーザ印字直後の被印字物２０の印字面の画像を例示した
ものであり、同図（Ａ）は被印字物２０の輪郭（外形）
ａ及び印字マークｂともに明瞭であり、正常にレーザ印
字が終了したことを示している。同図（Ｂ）は輪郭ａは
明瞭であるが、印字マークｂの一部が欠けており、文字
欠け不良である。同図（Ｃ）は輪郭ａは明瞭であるが、
印字マークｂが薄くてかすれており、文字かすれ不良で
ある。どの程度のかすれ具合で不良とするかはプログラ
ムで適宜設定することができる。同図（Ｄ）は輪郭ａ及
び印字マークｂ共に不明瞭であり、ワーク高さ不良であ
る。

【００３０】このように、撮像カメラ５０によるレーザ
印字済みの被印字物２０の印字面の画像信号をＴＶモニ
タ４３で目視すること、あるいは前記画像信号を画像処
理装置４２で画像処理することで、レーザ印字の不良を
見つけ出すことができ（レーザ印字装置の自己診断が可
能で）、不良の発生が見つかり次第、画像処理装置４２
からの出力信号を受けた制御器４１により警報等を発し
てレーザ印字装置を停止したり、あるいは不良が複数個
連続したときに同様に警報等を発してレーザ印字装置を
停止する動作等が可能である。

【００３１】この第１の実施の形態によれば、次の通り
の効果を得ることができる。

【００３２】(1) レーザヘッド４０のレーザ光出射軸
と同軸の撮像光学系を通して撮像カメラ５０により被印
字物２０を移動させることなくレーザ印字後の印字面を
撮像することができ、レーザ印字直後の印字状態を画像
処理装置４２で画像処理、検査が可能であり、その結果
からレーザ印字装置の自己診断を行うことができるとと
もに、被印字物２０の状態をも観察可能で、レーザ印字
不良の迅速な又は早期発見が可能であり、不良品の発生
を防止することができる。

【００３３】(2) 画像処理装置４２においては、プロ
グラムで規定された所要の文字、符号、その他のマーク
について、被印字物２０に正しくレーザ印字した印字面
を予め撮像した基本画像（マスター画像）を画像メモリ
に取り込んであるから、前記撮像カメラ５０で撮像した
新規の被印字物２０のレーザ印字後の印字面の画像と前
記基本画像とを比較演算手段で比較演算することによっ
て、各種印字不良（文字欠け不良、文字かすれ不良、ワ
ーク高さ不良）の判別が可能である。

【００３４】(3) 被印字物２０の印字面を撮像するた
めに設けられたレーザ光出射軸と同軸の撮像光学系は、
レーザヘッド４０のスキャン光学系の構成の大部分（Ｘ
軸スキャナミラーＭ１、Ｙ軸スキャナミラーＭ２、ｆθ
レンズ１３及び全反射ミラーＭ３）を共用しており、機
構の簡素化を図ることができる。また、印字ステージＰ
とは別の位置に検査装置を設けることは不要となり、こ
の点でも機構の簡素化がはかれる。

【００３５】図５は本発明の第２の実施の形態を示す。
この場合、レーザ印字装置自体の構造は第１の実施の形
態と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して
説明は省略するが、印字位置に位置決めされたパレット
６０内の複数個の被印字物２０（パレットにより位置決
めされている）に対しレーザヘッド４０で順次レーザ光
を走査して一度にレーザ印字処理を実行している。

【００３６】図６（Ａ）は第２の実施の形態において１
個の被印字物２０にレーザ印字した直後のＴＶモニタ４
３の印字面の画像であり、１個分についてレーザ印字が
正常に終了していることを示す。また、同図（Ｂ），
（Ｃ）は１パレット分の全ての被印字物２０にレーザ印
字が行われた後の画像処理装置４２による画像処理結果
であり、画像処理装置４２内の画像メモリに記憶されて
いるものである。同図（Ｂ）はパレット６０内の全ての
被印字物２０のレーザ印字が良好であることを示し、同
図（Ｃ）はパレットの右側に不良品がかたまっており、
パレットの傾き不良（パレットが水平に置かれていな
い）、スキャン光学系の片側の汚れ、傷等があることを
示す。

【００３７】この第２の実施の形態においても、画像処
理装置４２の画像処理結果、ＴＶモニタ４３の画像観察
によりレーザ印字装置の自己診断や被印字物２０の状態
検査が可能である。

【００３８】なお、各実施の形態において、図２のレー
ザヘッド４０内のｆθレンズ１３をスキャナミラーＭ
１，Ｍ２の下方に配置して、下方に向けてレーザ光路を
とることができれば、全反射ミラーＭ３は不要となる。

【００３９】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザ発振器からのレーザ光をレーザヘッドで走査して
被印字物の印字面にレーザ印字する場合に、前記レーザ
ヘッドのレーザ光出射軸と同軸の撮像光学系を通して撮
像カメラにより前記被印字物を移動させることなくレー
ザ印字後の印字面を撮像することができ、従来必要であ
ったレーザ印字とは別位置での検査工程が不要となり、
被印字物を移動させることなく直ちにレーザ印字装置の
自己診断及び被印字物の印字状態検査が可能であり、印
字不良を後工程に出さない印字工程の実現が可能で、レ
ーザ印字装置の異常や被印字物の状態異常等の早期発見
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るレーザ印字方法及び装置の第１の
実施の形態を示す斜視図である。

【図２】第１の実施の形態におけるレーザヘッドのスキ
ャン光学系を示す斜視図である。

【図３】第１の実施の形態におけるレーザヘッドのレー
ザ光出射軸と同軸の撮像光学系のスキャン光学系と共用
しない部分を示す側面図である。

【図４】第１の実施の形態におけるＴＶモニタ上の被印
字物の撮像画面を示す説明図である。

【図５】本発明に係るレーザ印字方法及び装置の第２の
実施の形態を示す斜視図である。

【図６】第２の実施の形態による撮像信号の画像処理結
果を示す説明図である。

【図７】従来のレーザ印字装置及び検査装置の構成を示
す斜視図である。

【図８】従来のレーザ印字装置のレーザヘッドのスキャ
ン光学系を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ レーザ発振器 ２，４０ レーザヘッド ３，３３，４１ 制御器 ４ スキャナコントローラ ５ スキャナドライバ １０ ビームエキスパンダ １１，１２ オプティカルスキャナ １３ ｆθレンズ １４ シールドガラス ２０ 被印字物 ２１ 間欠搬送ベルト ３１，５０ 撮像カメラ ３２，４２ 画像処理装置 ３４，４３ ＴＶモニタ ４４ 照明装置 ５１ リレーレンズ ６０ パレット Ｍ１，Ｍ２ スキャナミラー Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６ 全反射ミラー Ｍ４ ４５°反射固定ミラー

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ発振器からのレーザ光をレーザヘ
   ッドで走査して被印字物の印字面にレーザ印字するレー
   ザ印字方法において、前記レーザヘッドのレーザ光出射
   軸と同軸の撮像光学系を通して撮像カメラにより前記被
   印字物を移動させることなくレーザ印字後の印字面を撮
   像することを特徴とするレーザ印字方法。
2. 【請求項２】 前記撮像カメラの撮像信号を画像処理手
   段で画像処理することでレーザ印字の良否を判別する請
   求項１記載のレーザ印字方法。
3. 【請求項３】 レーザ光を発生するレーザ発振器と、該
   レーザ発振器からのレーザ光を受けてこれを走査し被印
   字物の印字面にレーザ印字するレーザヘッドとを有する
   レーザ印字装置において、前記レーザヘッド内のスキャ
   ン光学系の少なくとも一部を共通に利用することで前記
   レーザヘッドのレーザ光出射軸と同軸の撮像光学系を構
   成し、該撮像光学系を通して前記印字面を撮像する撮像
   カメラを設けるとともに、前記撮像カメラの撮像信号を
   受けてレーザ印字の良否を判別する画像処理手段を設け
   たことを特徴とするレーザ印字装置。