JPH0921957A - Microscope equipped with optical system for automatically controlled illumination - Google Patents
Microscope equipped with optical system for automatically controlled illuminationInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、自動制御式照明光
学系を備えた顕微鏡に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a microscope having an automatically controlled illumination optical system.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に顕微鏡の光学的性能を決定する最
大要因は対物レンズ自体の光学的性能であるが、この対
物レンズに入射する照明光が適切でないと、対物レンズ
の性能が十分に活され得ない。従って、高性能顕微鏡の
場合、照明光学系のコンデンサーレンズの切換や開口絞
り、視野絞りの調整等によって、対物レンズの変換に伴
って照明光を適性に補正することが必要である。2. Description of the Related Art Generally, the biggest factor that determines the optical performance of a microscope is the optical performance of the objective lens itself. If the illumination light incident on the objective lens is not appropriate, the performance of the objective lens can be fully utilized. I can't get it. Therefore, in the case of a high-performance microscope, it is necessary to appropriately correct the illumination light along with the conversion of the objective lens by switching the condenser lens of the illumination optical system, adjusting the aperture stop, and the field stop.
【０００３】ここでコンデンサーレンズの切換は、照野
と開口数の両方を満たさなければならないので極低倍か
ら高倍までの照明をするためにステップ切換やズーム式
切換により行われる。また開口絞りは、開きすぎると物
体像のコントラストが低下し、絞りすぎると解像力が低
下するが、一般的には対物レンズの瞳よりやや絞り込ん
だ程度が最良とされており、写真撮影時には観察時より
少し絞り込んだ方が良い結果が得られる。Here, the switching of the condenser lens is performed by step switching or zoom switching in order to illuminate from extremely low magnification to high magnification since both the illumination field and the numerical aperture must be satisfied. When the aperture stop is too open, the contrast of the object image decreases, and when the aperture stop is too narrow, the resolving power decreases.However, it is generally considered that the aperture stop is slightly narrower than the pupil of the objective lens. A better result can be obtained by narrowing down a little.
【０００４】さらに視野絞りは、絞り込んだ方が中心の
コントラストが向上するので、視野がケラレない程度に
できるだけ絞り込まれる。視野の明るさも使用される対
物レンズの倍率や照明光学系により大きく変化してしま
うので、光源電圧の調整やＮＤフィルターの挿入によっ
て調光が行われなければならない。Further, when the field stop is stopped down, the contrast at the center is improved, so that the field stop is stopped down as far as possible without vignetting. Since the brightness of the field of view also changes greatly depending on the magnification of the objective lens used and the illumination optical system, light control must be performed by adjusting the light source voltage or inserting an ND filter.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】かくして使用する顕微
鏡の性能を活用するためには、上記のような複雑で且つ
面倒な操作が対物レンズの変換の度に必要になるととも
に、対物レンズの切換え後に照明光学系の切換え作業及
び調整作業が行われるために、その作業に時間を要し効
率的に試料観察が行えなくなる問題が生ずる。尚、先行
技術としては特公昭５５−４４９２３号公報よる「ケー
レル装置を使用した透過型光学顕微鏡照明装置」がある
が、これは対物レンズの変換と照明レンズ系の連動のみ
を行うものであり、顕微鏡全体の操作の簡略化には殆ど
貢献しない。In order to utilize the performance of the microscope thus used, complicated and troublesome operations as described above are required every time the objective lens is converted, and after the objective lens is switched, Since the switching operation and the adjustment operation of the illumination optical system are performed, there is a problem that the operation takes time and the sample observation cannot be performed efficiently. As a prior art, there is a "transmission optical microscope illuminating device using a Kerrell device" disclosed in Japanese Patent Publication No. 55-44923, which only performs conversion of an objective lens and interlocking of an illumination lens system. It hardly contributes to simplifying the operation of the entire microscope.
【０００６】本発明は、以上の点に鑑み、対物レンズの
倍率変換や光路切換に伴う一連の複雑な操作を必要とす
る顕微鏡に対して、少なくとも開口絞りを含む照明光学
要素の調整を自動化して操作性を簡略化し、且つ照明光
学系の切換え操作時間を短縮できる自動制御式照明光学
系を備えた顕微鏡を提供することを目的とする。本願発
明は、上記目的を達成するために次のような手段を講じ
た。In view of the above points, the present invention automates the adjustment of illumination optical elements including at least an aperture stop for a microscope which requires a series of complicated operations associated with magnification conversion of an objective lens and optical path switching. It is an object of the present invention to provide a microscope equipped with an automatically controlled illumination optical system that simplifies operability and shortens the switching operation time of the illumination optical system. The present invention has taken the following means in order to achieve the above object.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の自動制御式照明
光学系を備えた顕微鏡は、光路中に選択挿入された対物
レンズを認識する対物レンズ認識手段と、光路中に選択
挿入される夫々の対物レンズに対応させて倍率または種
別を入力する対物レンズデータ入力部と、該対物レンズ
データ入力部からの入力データに基づいて前記認識され
た対物レンズの諸元データを記憶すると共に、使用対象
となる対物レンズに関する諸元データベースが記憶され
る記憶部と、照明光学系による観察条件を調整可能な少
なくとも開口絞りを含む照明光学系要素と、該照明光学
系要素を電動制御する電動制御手段と、前記対物レンズ
認識手段により認識された対物レンズに対応する諸元デ
ータと諸元データベースを前記記憶部より読みだし、該
諸元データと諸元データベースに基づいて前記照明光学
系要素による観察条件を決定する処理手段とを備え、該
処理手段の決定結果に基づいて前記光路中に挿入選択さ
れた対物レンズに対して前記照明光学系要素による観察
条件が適正になるように前記電動制御手段を制御するこ
とを特徴とするものである。A microscope equipped with an automatically controlled illumination optical system according to the present invention includes an objective lens recognizing means for recognizing an objective lens selectively inserted in an optical path, and an objective lens recognizing means selectively inserted in an optical path. The objective lens data input section for inputting the magnification or the type corresponding to the objective lens, and the data of the recognized objective lens based on the input data from the objective lens data input section are stored and used. A storage unit for storing a specification database relating to the objective lens, an illumination optical system element including at least an aperture stop capable of adjusting observation conditions by the illumination optical system, and an electric control means for electrically controlling the illumination optical system element. , Specifications data and specifications database corresponding to the objective lens recognized by the objective lens recognition means are read from the storage unit, and the specifications data and specifications are read. Processing means for determining an observation condition by the illumination optical system element based on a database, and observation by the illumination optical system element with respect to the objective lens inserted and selected in the optical path based on the determination result of the processing means. The electric control means is controlled so that the conditions are appropriate.
【０００８】また、前記照明光学系要素に視野絞り及び
複数のコンデンサーレンズが含まれることを特徴とする
ものである。また、前記コンデンサーレンズが前記対物
レンズ認識手段により認識された対物レンズに対応する
諸元データと諸元データベースに基づいて選択されると
共に、前記光路中に選択挿入された対物レンズの開口数
とコンデンサーレンズの焦点距離のデータ及び絞り込み
係数に基づいて前記開口絞りの絞り径が決定され、かつ
前記光路中に選択挿入された対物レンズの倍率とコンデ
ンサレンズによる絞り像の投影倍率のデータに基づいて
前記視野絞りの絞り径が決定されることを特徴とするも
のである。Further, the illumination optical system element includes a field stop and a plurality of condenser lenses. The condenser lens is selected based on the specification data and the specification database corresponding to the objective lens recognized by the objective lens recognition means, and the numerical aperture and the condenser of the objective lens selectively inserted in the optical path. The aperture diameter of the aperture stop is determined based on the data of the focal length of the lens and the aperture reduction coefficient, and based on the data of the magnification of the objective lens selectively inserted in the optical path and the projection magnification of the aperture image by the condenser lens. It is characterized in that the diaphragm diameter of the field diaphragm is determined.
【０００９】また、前記照明光学系要素に更にＮＤフィ
ルターが含まれ、該ＮＤフィルターは前記光路中に選択
挿入された対物レンズの諸元データと諸元データベース
に基づいて調光量が制御されることを特徴とするもので
ある。本発明は、以上のような手段を講じたことにより
次のような作用を奏する。所望する対物レンズを選択す
ると同時に、選択された対物レンズの諸元データと諸元
データベースに基づいて開口絞りを含む照明光学系要素
による観察条件が自動的に制御される。Further, the illumination optical system element further includes an ND filter, and the ND filter controls the dimming amount based on the specification data of the objective lens selectively inserted in the optical path and the specification database. It is characterized by that. The present invention has the following effects by taking the above measures. At the same time that the desired objective lens is selected, the observation condition by the illumination optical system element including the aperture stop is automatically controlled based on the specification data and the specification database of the selected objective lens.
【００１０】また、照明光学系要素に視野絞りと複数の
コンデンサーレンズを含ませ、更にＮＤフィルターを含
ませることにより、対物レンズの切換時に必要な照明倍
率の切換、開口絞り及び視野絞り等による一連の観察条
件の調整が自動的に制御され、更に色温度と観察系の明
るさが最適な一定値に自動的に制御される。Further, by including a field stop and a plurality of condenser lenses in the illumination optical system element, and further including an ND filter, a series of switching of the illumination magnification required when switching the objective lens, a series of aperture stop and field stop, etc. The observation conditions are automatically adjusted, and the color temperature and the brightness of the observation system are automatically controlled to the optimum constant values.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下図面に基づき本発明の概略に
ついて説明する。図１は本発明の基礎となる顕微鏡の光
学系を示しており、１は例えばハロゲンランプの如き光
源、２はコレクターレンズ、３は光源１の色温度を変え
ずに調光するためのＮＤフィルター、４は視野絞り、５
は開口絞り、６は光路中に選択的に挿入され得る複数の
ユニット６ａ，６ｂ，６ｃから成るコンデンサーレン
ズ、７はステージ、８は各々レボルバー９に取り付けら
れたユニット８ａ，８ｂから成る対物レンズである。こ
こで選択された対物レンズ８ａ，８ｂの倍率により、コ
ンデンサーレンズ６ａ，６ｂ，６ｃが選択され、光路に
挿入された対物レンズ及びコンデンサーレンズに基づき
視野絞り４及び開口絞り５の絞り径が調整される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The outline of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an optical system of a microscope on which the present invention is based. 1 is a light source such as a halogen lamp, 2 is a collector lens, 3 is an ND filter for dimming the light source 1 without changing the color temperature. 4 is a field stop, 5
Is an aperture stop, 6 is a condenser lens composed of a plurality of units 6a, 6b and 6c that can be selectively inserted into the optical path, 7 is a stage, and 8 is an objective lens composed of units 8a and 8b each attached to a revolver 9. is there. The condenser lenses 6a, 6b, 6c are selected according to the magnification of the objective lenses 8a, 8b selected here, and the aperture diameters of the field stop 4 and the aperture stop 5 are adjusted based on the objective lens and the condenser lens inserted in the optical path. You.
【００１２】１０は光路中に挿脱可能に配置された観察
プリズムで挿入状態において接眼レンズを介して観察が
行われ得、退避状態では反射プリズム１１、撮影ンズ１
２、ハーフミラー１３、反射ミラー１４を通り再び接眼
レンズを介して観察が行われ、同時に写真撮影が行われ
るようになっている。ここで、撮影レンズ１２は光路中
に選択的に挿入可能な複数のユニット１２ａ，１２ｂか
ら成る。Reference numeral 10 denotes an observation prism which is removably arranged in the optical path so that observation can be performed via an eyepiece in an inserted state, and a reflection prism 11 and a photographing lens 1 in a retracted state.
2. Observation is performed again through the eyepiece through the half mirror 13 and the reflection mirror 14, and photographing is performed at the same time. Here, the photographing lens 12 includes a plurality of units 12a and 12b that can be selectively inserted into the optical path.
【００１３】次に図２には図１の光学系を有する顕微鏡
の制御システムのブロック図が示されている。１６はレ
ボルバー制御部で、レボルバーの穴位置を検出するこ
と、または対物レンズ外側の表示を直接読み取る等の方
法により光路中に挿入されている対物レンズのデータを
読み出す。対物レンズのデータとしては倍率の他に例え
ば同倍率で開口数の異なる対物レンズが使用される場合
（アクロマートとアポクロマートとがあるような場合）
には開口数も含まれる得る。FIG. 2 is a block diagram showing a control system of the microscope having the optical system shown in FIG. Reference numeral 16 denotes a revolver control unit which reads data of the objective lens inserted in the optical path by a method such as detecting a hole position of the revolver or directly reading a display outside the objective lens. As the data of the objective lens, for example, when an objective lens having the same magnification but a different numerical aperture is used in addition to the magnification (when there is an achromat and an apochromat)
May also include the numerical aperture.
【００１４】１７はＣＰＵ、１９は演算装置、２０はコ
ンデンサーレンズ制御部、２１は開口絞り制御部、２１
は開口絞り制御部、２２は観察プリズム制御部、２３は
視野絞り制御部、２４は撮影レンズ制御部である。この
ように構成された光学系と制御システムを有する顕微鏡
について次に制御システムの動作について説明する。Reference numeral 17 denotes a CPU; 19, an arithmetic unit; 20, a condenser lens control unit; 21, an aperture stop control unit;
Denotes an aperture stop control unit, 22 denotes an observation prism control unit, 23 denotes a field stop control unit, and 24 denotes a photographing lens control unit. Next, the operation of the control system of the microscope having the optical system and the control system configured as described above will be described.
【００１５】先ず、レボルバー制御部１６により光路中
に挿入された対物レンズ８ａのデータが読み出され、そ
の信号がＣＰＵ１７に入力される。ＣＰＵ１７におい
て、入力されたデータ信号により、記憶装置１８から予
め入力されている対物レンズの倍率及び開口数が読み出
され、演算装置１９に入力される。ここで各制御部１
６，２０，２１，２２，２３，２４に出力すべき信号の
演算が行われる。例えば照明倍率の切換えについては、
挿入されている対物レンズの倍率によってコンデンサー
レンズ６ａ，６ｂ，６ｃのうちのどれが光路中に挿入さ
れるべきかが決定されて、コンデンサーレンズ制御部２
０に信号が出力され、選択された最適なコンデンサー６
ａ，６ｂまたは６ｃが光路中に挿入される。開口絞りの
大きさは、対物レンズの開口数とコンデンサーレンズの
焦点距離の関数であるから演算装置１９内で計算され
て、開口絞り制御部２１に信号が出力され、最適値に調
整されるが、絞り込み係数は一般には対物レンズの瞳の
７０〜８０％が適当とされ、さらに写真撮影時は観察時
よりもやや絞り込んだ方が良い像が得られるため、観察
プリズム制御部２２から光路が観察状態にあるか写真撮
影状態にあるかの信号がＣＰＵ１７に入力されているこ
とにより、絞り込み係数が補正され得る。First, the data of the objective lens 8a inserted into the optical path is read by the revolver control unit 16, and the signal is input to the CPU 17. In the CPU 17, the magnification and numerical aperture of the objective lens which are input in advance from the storage device 18 are read out from the storage device 18 according to the input data signal, and are input to the arithmetic unit 19. Here, each control unit 1
Calculations of signals to be output to 6, 20, 21, 22, 23, and 24 are performed. For example, for switching the illumination magnification,
Which of the condenser lenses 6a, 6b and 6c is to be inserted into the optical path is determined by the magnification of the inserted objective lens, and the condenser lens controller 2
0 is output and the selected optimal capacitor 6
a, 6b or 6c is inserted into the optical path. Since the size of the aperture stop is a function of the numerical aperture of the objective lens and the focal length of the condenser lens, it is calculated in the arithmetic unit 19, and a signal is output to the aperture stop control unit 21 to be adjusted to the optimum value. In general, the aperture coefficient is set to be 70 to 80% of the pupil of the objective lens. Further, a better image can be obtained at the time of taking a photograph than at the time of observation. Since the signal indicating whether the camera is in the photographing state or in the photographing state is input to the CPU 17, the refinement coefficient can be corrected.
【００１６】視野絞りの大きさは、対物レンズの倍率と
コンデンサーレンズによる絞り像の投影倍率の関数であ
るから同様に計算されて、視野絞り制御部２３に信号が
出力され、視野絞り制御部２３の信号が出力され、最適
値に調整されるが、観察の場合には観察プリズム１０が
挿入位置にあることを検知して、即ち観察プリズム制御
部２２からの信号に基づいて接眼レンズの視野にほぼ外
接する大きさに調整され、また写真撮影の場合には撮影
レンズ制御部２４で挿入されている撮影レンズの倍率を
検知してＣＰＵ１７に信号が入力されることにより、光
路中に挿入された撮影レンズの視野にほぼ外接する大き
さに調整される。Since the size of the field stop is a function of the magnification of the objective lens and the projection magnification of the stop image by the condenser lens, the size of the field stop is calculated in the same manner, and a signal is output to the field stop control unit 23. Is output and adjusted to the optimal value. In the case of observation, the observation prism 10 detects that the observation prism 10 is at the insertion position, that is, based on a signal from the observation prism control unit 22, the observation prism 10 In the case of photographing, the lens is inserted into the optical path by detecting the magnification of the inserted photographic lens by the photographic lens control unit 24 and inputting a signal to the CPU 17. It is adjusted to a size that almost circumscribes the field of view of the taking lens.
【００１７】尚、ＮＤフィルター３の制御は公知の方法
で演算装置１９からの出力信号に基づいて行われる。ま
た、開口絞り５及び視野絞り４の絞り込み係数は標本の
状態に応じて変更した方が良い場合もあるため手動操作
も可能になっている。この場合、絞りの大きさを変更す
ると、そのときの絞り込み係数が記憶された対物レンズ
の倍率を変えた際にも同じ絞り込み係数に絞りの大きさ
が調整され得る。The control of the ND filter 3 is performed based on an output signal from the arithmetic unit 19 by a known method. In some cases, it may be better to change the aperture stop coefficients of the aperture stop 5 and the field stop 4 according to the state of the sample, so that manual operation is also possible. In this case, when the size of the aperture is changed, the size of the aperture can be adjusted to the same aperture factor even when the magnification of the objective lens in which the aperture factor at that time is stored is changed.
【００１８】さらに明るさについても、観察者の好みや
標本の状態に応じて変更され得るように、手動操作可能
になっている。かくして制御システムの動作は完了する
が、倍率変換の終了後にこれらの動作が行われると明る
さや像の過度状態が観察者に不快感を与えることになる
ので、コンデンサーレンズの切換え、絞りの調整及びＮ
Ｄフィルターの駆動はレボルバーの回転動作中に完全に
実施されるようになっている。Further, the brightness can be manually operated so that it can be changed according to the preference of the observer and the state of the specimen. Thus, the operation of the control system is completed.However, if these operations are performed after the completion of the magnification conversion, an excessive state of brightness and an image will cause discomfort to the observer. N
The driving of the D filter is completely performed during the rotation operation of the revolver.
【００１９】以上が本発明の概略であるが、次に本発明
の一実施例を図面に基づき詳しく説明する。図３は本発
明による顕微鏡の制御装置５０を示しており、５１はＣ
ＰＵ、５２はバッテリー５３により電源遮断時にバック
アップされるＲＡＭ、５４はプログラムメモリとしてＲ
ＯＭ、５５は演算精度及び時間短縮のために使用される
演算器、５６は制御装置５０のコントロールを外部から
行なう外部制御装置５７のためのインターフェース、５
８は写真撮影装置５９のためのインターフェース、６０
は光路切換やレボルバー等のすべての駆動部とＣＰＵ５
１とのデータ及び信号の受渡しを行なうＩ／Ｏポート、
６１は自動焦点合せのための一次元イメージセンサを使
用した撮像素子、６２は撮像素子６１の駆動回路、６３
はＡ／Ｄ変換器、６４は操作スイッチ及び表示器を含む
操作パネルで、対物レンズに関するデータの入出力信
号、各駆動部への切換信号等をインターフェース６５を
介してＩ／Ｏポート６０に入出力する。６６は撮影レン
ズ６７を切換えるための駆動部、６８は観察系と写真撮
影系に光路を切換えるビームスプリッタ６９の駆動部
で、同時に光路が何れであるかを検出し得る。７０はレ
ボルバー７１を回転させる対物レンズ切換駆動部で、同
時にレボルバーの位置を検出し得る。７２はステージ７
３は上下動させる焦準ステージ駆動部、７４はコンデン
サーレンズ７５を対物レンズの倍率に応じて切換える切
換駆動部、７６は開口絞り７７の絞り径を制御する制御
駆動部、７８は視野絞り７９の絞り径を制御する制御駆
動部、８０は調光のための使用するＮＤフィルターユニ
ット８１を切換駆動する切換駆動部、８２は光源８３の
調光回路、８４は自動焦点合せのために使用される瞳分
割用チョッパ８５のための駆動部である。The above is an outline of the present invention. Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 3 shows a control device 50 for a microscope according to the present invention,
PU and 52 are RAMs that are backed up by a battery 53 when power is turned off.
OM, 55, an arithmetic unit used for calculation accuracy and time reduction; 56, an interface for an external control device 57 for externally controlling the control device 50;
8 is an interface for the photographing device 59, 60
Are all drive units such as optical path switching and revolver and CPU5
An I / O port for transferring data and signals to and from
61 is an image sensor using a one-dimensional image sensor for automatic focusing, 62 is a drive circuit of the image sensor 61, 63
Denotes an A / D converter, 64 denotes an operation panel including operation switches and a display, and inputs and outputs an input / output signal of data relating to the objective lens, a switching signal to each drive unit, etc. to the I / O port 60 via the interface 65. Output. Reference numeral 66 denotes a drive unit for switching the photographing lens 67, and reference numeral 68 denotes a drive unit for the beam splitter 69 for switching the optical path between the observation system and the photographing system, and can simultaneously detect the optical path. Reference numeral 70 denotes an objective lens switching drive for rotating the revolver 71, which can simultaneously detect the position of the revolver. 72 is stage 7
Numeral 3 denotes a focusing stage drive for moving up and down, 74 denotes a switching drive for switching the condenser lens 75 according to the magnification of the objective lens, 76 denotes a control drive for controlling the aperture diameter of the aperture stop 77, and 78 denotes a field stop 79. A control drive unit for controlling the aperture diameter, 80 is a switching drive unit for switching and driving an ND filter unit 81 used for dimming, 82 is a dimming circuit of a light source 83, and 84 is used for automatic focusing. This is a drive unit for the pupil division chopper 85.
【００２０】図４は操作パネル６４の一例を示してお
り、８６は操作パネル、８７は対物レンズの倍率及び種
別（ＳＰＬＡＮ，ＳＰＬＡＮ ＡＰＯ，ＤＰＬＡＮ等）
を入力するためのスイッチ、８８は対物レンズの倍率表
示器、８９は対物レンズの種別表示器、９０は光路を観
察系、写真撮影光学系等に切換えるためのスイッチ、９
１は使用状態に切換えられている光路の種別を示す表示
器、９２，９３は各視野絞り７９、開口絞り７７を手動
により適当な絞り径に調整するためのスイッチ、９４は
調光用のＮＤフィルター８１を切換えるためのスイッ
チ、９５は撮影レンズ６７の倍率切換スイッチ、９６は
撮影レンズの倍率表示器、９７は焦準ステージ駆動のた
めのスイッチ、９８はレボルバー起動スイッチ、９９は
自動焦点合せ起動スイッチである。FIG. 4 shows an example of the operation panel 64, 86 is an operation panel, 87 is the magnification and type of the objective lens (SPLAN, SPLAN APO, DPLAN, etc.).
, 88 is an objective lens magnification indicator, 89 is an objective lens type indicator, 90 is a switch for switching the optical path to an observation system, a photographing optical system, or the like.
Reference numeral 1 denotes a display for indicating the type of the optical path switched to the use state, 92 and 93 are switches for manually adjusting the field stop 79 and the aperture stop 77 to appropriate stop diameters, and 94 is an ND for light control. A switch for switching the filter 81, a switch 95 for changing the magnification of the photographing lens 67, a display 96 for a magnification of the photographing lens, a switch 97 for driving the focusing stage, a switch 98 for starting the revolver, and a switch 99 for starting automatic focusing Switch.
【００２１】本実施例は以上のように構成されており、
最初に対物レンズのデータセット及び対物レンズのデー
タセット及びそれに関連する動作について説明する。こ
こで一例としてレボルバー７１の光路上に対物レンズＳ
ＰＬＡＮ１０Ｘが切換挿入されている場合について説明
すれば、操作パネル８６上においてスイッチ８７により
倍率１０Ｘ、種別ＳＰＬＡＮを選択しセット入力する
と、この情報はインターフェース６５及びＩ／Ｏポート
６０を介してＣＰＵ５１に入力される。ＣＰＵ５１はレ
ボルバー７１の光路上の対物レンズ位置を対物レンズ切
換駆動部７０により読みだし、そのレボルバー位置と操
作パネル８６からの情報とにより対物データテーブル１
００（図５）を作成しＲＡＭ５２に記憶させる。この対
物データテーブル１００は、レボルバー位置データに対
応して対物レンズの倍率及び種別を含み、図５の場合６
ケ所のレボルバー位置に関して対物データテーブル１０
０が作成されるようになっている。そしてＣＰＵ５１は
常に対物データテーブル１００をモニターとして次の演
算及び制御を行なう。即ち、ＣＰＵ５１は対物データテ
ーブル１００により図６のテーブルからコンデンサーレ
ンズ７５の倍率を決定してコンデンサーレンズ切換駆動
部７４へ切換データを出力し、適正なコンデンサーレン
ズへの切換が行われる。ここでコンデンサーレンズ７０
は対物レンズの倍率によって三段階に切換えられる。This embodiment is configured as described above.
First, the data set of the objective lens, the data set of the objective lens, and the operation related thereto will be described. Here, as an example, the objective lens S is placed on the optical path of the revolver 71.
Explaining the case where the PLAN 10X is switched and inserted, when a magnification of 10X and a type SPLAN are selected and set and input by the switch 87 on the operation panel 86, this information is input to the CPU 51 via the interface 65 and the I / O port 60. Is done. The CPU 51 reads the position of the objective lens on the optical path of the revolver 71 by the objective lens switching drive unit 70, and uses the information from the operation panel 86 and the revolver position to read the objective data table 1
00 (FIG. 5) is stored in the RAM 52. The objective data table 100 includes the magnification and type of the objective lens corresponding to the revolver position data.
Data table 10 for the revolver positions
0 is created. Then, the CPU 51 always performs the following calculation and control using the objective data table 100 as a monitor. That is, the CPU 51 determines the magnification of the condenser lens 75 from the table of FIG. 6 based on the objective data table 100, outputs the switching data to the condenser lens switching drive unit 74, and switches to the appropriate condenser lens. Here, the condenser lens 70
Is switched among three stages according to the magnification of the objective lens.
【００２２】その後、さらに最良の観察条件を設定する
ために、対物データテーブル１００から視野絞り７９、
開口絞り７７の絞り径が決定されるが、先ず視野絞り７
９の絞り７９の絞り径の求め方を説明する。視野絞りの
絞り径ｄ1 は次式により演算される。Thereafter, in order to further set the best observation conditions, the field stop 79,
The aperture diameter of the aperture stop 77 is determined.
A method for obtaining the aperture diameter of the 9th aperture 79 will be described. The aperture diameter d1 of the field stop is calculated by the following equation.
【００２３】 [0023]
【００２４】ここで、ＦＮＯ．（視野数）は図７のテー
ブルに示されているように光路が観察系（Ｂｉ）である
かまたは写真撮影系（ＦＫ）光路における撮影レンズ６
７の倍率により決まり、ＦＳ投影倍率は前記の図６のテ
ーブルに示されているようにコンデンサーレンズ７５の
倍率により決まる。また、Ｋ1 は視野に対する比率で、
Ｋ1 ＝１ならば(1) 式で演算された値ｄ1 は視野外接の
絞り径を与えるが、本実施例では対物レンズのデータセ
ット時及び電源投入時はＫ1 ＝１として視野絞り７９の
絞り径ｄ1 が決定されるようになっており、従って光路
が観察系であっても写真撮影系であっても視野絞りは常
に(1) 式により視野外接の絞り径ｄ1 に設定されること
になる。Here, FNO. As shown in the table of FIG. 7, the (field number) field indicates whether the optical path is the observation system (Bi) or the photographing lens 6 in the photographing system (FK).
The FS projection magnification is determined by the magnification of the condenser lens 75 as shown in the table of FIG. K1 is the ratio to the field of view,
If K1 = 1, the value d1 calculated by the equation (1) gives the aperture diameter circumscribing the field of view. d1 is determined, so that the field stop is always set to the stop diameter d1 circumscribed by the formula (1) regardless of whether the optical path is an observation system or a photographing system.
【００２５】次に開口絞り７７の絞り径ｄ2 は次式によ
り演算される。 ｄ1 ＝ＮＡ×２×ｆ×Ｋ2 ………(2) ここでＮＡは図６のテーブルに示したように対物レンズ
の倍率及び種別により決まる開口値、ｆは同様に図６の
テーブルから求められるコンデンサーレンズ７５の焦点
距離である。またＫ2 は瞳径に対する比率で、Ｋ2 ＝１
ならば(2) 式から得られた値ｄ2 は瞳径の１００％の絞
り径を与えるが、本実施例では対物レンズのデータセッ
ト時及び電源投入時はＫ2 ＝０．８として開口絞り７７
の絞り径ｄ2 が観察時に最適とされている対物レンズの
瞳径８０％に初期設定されるようになっている。尚、図
６及び図７のテーブルはＲＯＭ５４に記憶されている。Next, the aperture diameter d2 of the aperture stop 77 is calculated by the following equation. d1 = NA × 2 × f × K2 (2) where NA is an aperture value determined by the magnification and type of the objective lens as shown in the table of FIG. 6, and f is similarly obtained from the table of FIG. This is the focal length of the condenser lens 75. K2 is the ratio to the pupil diameter, and K2 = 1
Then, the value d2 obtained from the equation (2) gives an aperture diameter of 100% of the pupil diameter. In this embodiment, at the time of data setting of the objective lens and at the time of power-on, the aperture stop 77 is set as K2 = 0.8.
The aperture diameter d2 is initially set to 80% of the pupil diameter of the objective lens which is optimized for observation. The tables of FIGS. 6 and 7 are stored in the ROM 54.
【００２６】ここで対物レンズがＳＰＬＡＮ１０Ｘで光
路が観察系である場合、自動設定される絞り径ｄ1,ｄ2
は以下のように演算される。図６及び図７のテーブルよ
りＦＯＮ．＝２８，ＦＳ投影倍率＝０．１３３が得ら
れ、またＫ1 ＝１とすれば(1)式よりIf the objective lens is SPLAN10X and the optical path is an observation system, the aperture diameters d1, d2 automatically set are set.
Is calculated as follows. From the tables of FIGS. 6 and 7, FON. = 28, FS projection magnification = 0.133, and if K1 = 1, from equation (1)
【００２７】 [0027]
【００２８】となり、同様にして図６のテーブルからＮ
Ａ＝０．３，ｆ＝１２が得られ、またＫ2 ＝０．８とす
れば(2) 式から、 ｄ2 ＝０．３×２×１２×０．８＝５．８（mm) が求められる。以上の演算はＣＰＵ５１及び演算器５５
によって行われ、その演算結果により視野絞り制御駆動
部７８及び開口絞り制御駆動部７６を介して視野絞り７
９及び開口絞り７７が前記絞り径ｄ1 ，ｄ2 に設定され
る。In the same manner, from the table in FIG.
A = 0.3 and f = 12 are obtained. If K2 = 0.8, d2 = 0.3 × 2 × 12 × 0.8 = 5.8 (mm) is obtained from the equation (2). Can be The above operation is performed by the CPU 51 and the arithmetic unit 55.
According to the calculation result, the field stop 7 is controlled via the field stop control drive unit 78 and the aperture stop control drive unit 76.
9 and the aperture stop 77 are set to the stop diameters d1 and d2.
【００２９】図８は照野絞り７９または開口絞り７７の
制御を示すブロック図であり、１１０はＤ／Ａ変換器、
１１１，１１２はアンプ、１１３はモータ駆動回路、１
１４はモータ、１１５はギヤを介してモータ１１４によ
り開閉される絞り機構、１１６は絞り機構１１５の位置
をギヤにより検出するポテンションメータである。前述
のように演算された絞り径はデジタル変換されるが、こ
こで８ビットのデジタル変換を行なう場合に絞り径の範
囲を０〜３４mmとすると、分解能は０．１３mm／ビット
となる。絞り径のデジタル変換は、次式により行われ
る。FIG. 8 is a block diagram showing the control of the illumination field stop 79 or the aperture stop 77. Reference numeral 110 denotes a D / A converter.
111 and 112 are amplifiers, 113 is a motor drive circuit, 1
Reference numeral 14 denotes a motor, 115 denotes a diaphragm mechanism that is opened and closed by a motor 114 via a gear, and 116 denotes a potentiometer that detects the position of the diaphragm mechanism 115 by a gear. The aperture diameter calculated as described above is digitally converted. Here, when performing 8-bit digital conversion, if the range of the aperture diameter is 0 to 34 mm, the resolution is 0.13 mm / bit. The digital conversion of the aperture diameter is performed by the following equation.
【００３０】Ｄ／Ａデータ＝視野絞り径×７．５D / A data = field stop diameter × 7.5
【００３１】 [0031]
【００３２】ここで、(3) 式中７．５は、デジタルデー
タに変換するための定数である。８ビットにデジタル変
換されたデータはＣＰＵ５１からＩ／Ｏポート６０を介
してＤ／Ａ変換器１１０に入力され、ここでアナログ信
号に変換されアンプ１１１により増幅されてモータ駆動
回路１１３によってモータ１１４を駆動する。従って、
絞り機構１１５が開閉され得るが、その位置がポテンシ
ョンメータ１１６により常にモニターされアンプ１１２
を介してアンプ１１１にフィードバックされているの
で、所定の絞り径に制御される。Here, 7.5 in the equation (3) is a constant for converting into digital data. The 8-bit digitally converted data is input from the CPU 51 to the D / A converter 110 via the I / O port 60, where it is converted to an analog signal, amplified by the amplifier 111, and the motor drive circuit 113 controls the motor 114. Drive. Therefore,
Although the aperture mechanism 115 can be opened and closed, its position is constantly monitored by the potentiometer 116 and the
The aperture is fed back to the amplifier 111 through the control unit, so that the aperture diameter is controlled to a predetermined value.
【００３３】次に、対物レンズデータセット時の観察に
対して最適な明るさにするための自動設定の動作につい
て説明する。観察光の像面における照度Ｌは次のように
表される。 Ｌ＝ＬＡ×ＮＤ×ＡＳ×Ｏｂ×Ｂｉ （ｌｘ） …………(4) ここでＮＤは例えば図９に示されているような複数枚
（ここでは４枚）のＮＤフィルターＮＤ0,ＮＤ1,ＤＮ3
の組合わせにより透過率を変更するようにしたＮＤフィ
ルターユニット１２０（実開昭５７−３４６４５号）に
よって与えられる光量比で、各ＮＤフィルターがモータ
１２１により駆動されるカム１２２によりレバー１２３
を介して光路に挿脱されることにより図１０に示すよう
に１１段階に制御され、図９ではＮＤ0 及びＮＤ2 が光
路中に挿入されており図１０より光路比ＮＤ＝１／１６
が与えられている。Next, a description will be given of an operation of automatic setting for obtaining an optimum brightness for observation at the time of objective lens data setting. The illuminance L of the observation light on the image plane is expressed as follows. L = LA × ND × AS × Ob × Bi (lx) (4) where ND is a plurality (four in this case) of ND filters ND0, ND1, for example, as shown in FIG. DN3
Each of the ND filters is controlled by a cam 122 driven by a motor 121 to control a lever 123 at a light amount ratio given by an ND filter unit 120 (Japanese Utility Model Laid-Open No. 57-34645) whose transmittance is changed by a combination of
10, the ND0 and ND2 are inserted in the optical path as shown in FIG. 10, and the optical path ratio ND = 1/16 is shown in FIG.
Is given.
【００３４】ＡＳは開口絞り７７の明るさ比で、瞳径の
８０％を標準値とすると明るさ比ＡＳは０．８2 ＝０．
６４となる。Ｂｉは図１１に示されているようにＢｉ１
００％の光路を１としたときの光量比、Ｏｂは図１２で
示されているように対物レンズの倍率及び種別から参照
する光量比であり、対物レンズＳＰＬＡＮ１０×を基準
として１にとっている。ＬＡは対物レンズＳＰＬＡＮ１
０×、光量比Ｎ＝１、Ｂｉ１００％の光路における像面
照度であり、本実施例ではＬＡ＝１８９ｌｘを定数とし
て使用する。この状態で像面照度Ｌを常に０．５〜１ｌ
ｘの範囲に維持するには、 Ｌ＝０．５×√２×２±1/2 ＝０．７０７×２±1/2 （ｌｘ） なる目標値により(4) 式から Ｌ＝１８９×０．６４×ＮＤ×Ｏｂ×Ｂｉ ＝０．７０７×２±1/2 従って、AS is the brightness ratio of the aperture stop 77. When the standard value is 80% of the pupil diameter, the brightness ratio AS is 0.8 2 = 0.
64. Bi is Bi1 as shown in FIG.
The light quantity ratio Ob when the optical path of 00% is 1 is the light quantity ratio referred to from the magnification and type of the objective lens as shown in FIG. 12, and is set to 1 with the objective lens SPLAN10 × as a reference. LA is the objective lens SPLAN1
This is the image plane illuminance in the optical path of 0 ×, the light amount ratio N = 1, and Bi 100%. In this embodiment, LA = 189 lx is used as a constant. In this state, the image plane illuminance L is always 0.5 to 1 l.
In order to maintain the range of x, L = 0.5 × √2 × 2 ± 1/2 = 0.707 × 2 ± 1/2 (lx) According to the target value, L = 189 × 0 .64 × ND × Ob × Bi = 0.707 × 2 ± 1/2
【００３５】 [0035]
【００３６】が得られ、ＮＤフィルターの光量比の目標
値が与えられる。ところで、ＮＤフィルターユニット１
２０は４枚のＮＤフィルターの組合わせで構成されてい
るので、(5) 式によるとＮＤの目標値は２1/4 の分解能
で与えられなけばならない。そこで(5) 式において２
1/4 を底ａとする対数をとると、 ｌｏｇａＮＤ＝−３０−ｌｏｇａＯｂ−ｌｏｇａＢｉ…………(6) となる。Is obtained, and a target value of the light amount ratio of the ND filter is given. By the way, ND filter unit 1
Since 20 is composed of a combination of four ND filters, the target value of ND must be given with a resolution of 2 1/4 according to equation (5). Therefore, in equation (5), 2
Taking the logarithm with 1/4 as the base a, log ND = −30−logaOb−loga Bi... (6)
【００３７】従って、実祭のＮＤフィルターの組合わせ
を求めるには、図１２のテーブルから対物レンズに対応
してｌｏｇａＯｂを求め、また図１１のテーブルからｌ
ｏｇａＢｉを求め(5) 式よりｌｏｇａＮＤが得られる。
かくして、このｌｏｇａＮＤに対応して図１３に示され
ているテーブルに基づき光量比ＮＤが得られ、この光量
比ＮＤを与えるようなＮＤフィルターの制御が図１０に
従ってＮＤフィルター切換駆動部８０により行われる。
尚、図１０乃至図１３のテーブルは必要に応じて読み出
されるデータとしてＲＯＭ５４に記憶されている。Therefore, in order to obtain the combination of the ND filters of the actual festival, logOb is obtained from the table of FIG. 12 corresponding to the objective lens, and llogOb is obtained from the table of FIG.
OgaBi is obtained, and logAND is obtained from equation (5).
Thus, the light amount ratio ND is obtained based on the table shown in FIG. 13 corresponding to the log ND, and the control of the ND filter that gives the light amount ratio ND is performed by the ND filter switching drive unit 80 according to FIG. .
The tables shown in FIGS. 10 to 13 are stored in the ROM 54 as data to be read as needed.
【００３８】ここで、対物レンズＳＰＬＡＮ１０×，Ｂ
ｉ２０％の光路の場合には図１１及び図１２よりｌｏｇ
ａＢｉ＝−９，ｌｏｇａＯｂ＝０となり(6) 式から ｌｏｇａＮＤ＝−３０−０−（−９）＝−２１ が得られ、図１３のテーブルよりＮＤ＝１／３２とな
り、図１０のテーブルによればＮＤ０及びＮＤ３が光路
に挿入されれば適正な明るさが得られる。従って、ＣＰ
Ｕ５１はＮＤフィルター切換駆動部８０に信号を出力し
てＮＤフィルターＮＤ０及びＮＤ３を光路内に挿入せし
め、観察系の明るさが最適にしかも一定に設定され得
る。Here, the objective lens SPLAN10 ×, B
In the case of i20% optical path, log is shown from FIGS. 11 and 12.
aBi = -9, logaOb = 0, and logND = -30-0-(-9) =-21 is obtained from the equation (6). ND = 1/32 from the table in FIG. For example, if ND0 and ND3 are inserted in the optical path, appropriate brightness can be obtained. Therefore, CP
U51 outputs a signal to the ND filter switching drive unit 80 to insert the ND filters ND0 and ND3 into the optical path, so that the brightness of the observation system can be set optimally and constantly.
【００３９】かくして、対物レンズのデータセット時の
一連の関連動作が行われるが、複数の対物レンズのデー
タセットをする場合、対物レンズについて上記動作が行
われる。また一度セットされた対物レンズのデータは図
５の対物レンズテーブル１００としてレボルバー位置と
共にＲＡＭ５２に記憶され、ＲＡＭ５２はバッテリー５
３により電源遮断時にもバックアップされているので、
最初に一回だけセット操作すればよい。さらに、対物デ
ータテーブル１００が記憶されているから、例えばレボ
ルバー７１を切換えると、そのレボルバー位置が検出さ
れ、対物データテーブル１００により対物レンズの倍率
及び種別が読み出され、ＣＰＵ５１が前述の如く演算
し、またＲＯＭに記憶されたテーブルのデータを参照し
て自動的に最適なコンデンサーレンズ７５、視野絞り７
９及び開口絞り７７の絞り径、ＮＤフィルターユニット
８１の組合わせを決定して各駆動部に信号を出力し自動
設定を行なう。As described above, a series of related operations are performed at the time of data setting of the objective lens. When performing data setting of a plurality of objective lenses, the above operation is performed for the objective lens. The data of the objective lens once set is stored in the RAM 52 together with the revolver position as the objective lens table 100 in FIG.
Because it is backed up even when the power is turned off by 3,
The set operation only needs to be performed once at first. Further, since the objective data table 100 is stored, when the revolver 71 is switched, for example, the position of the revolver is detected, the magnification and type of the objective lens are read out from the objective data table 100, and the CPU 51 calculates as described above. Also, the optimum condenser lens 75 and the field stop 7 are automatically determined by referring to the data in the table stored in the ROM.
9 and the combination of the aperture diameter of the aperture stop 77 and the ND filter unit 81 are determined, a signal is output to each drive unit, and automatic setting is performed.
【００４０】尚、対物レンズの切換時だけでなく、観察
系（Ｂｉ）光路の切換、撮影レンズ６７の切換等の場合
にも全く同様に上記自動設定が行われているので、観察
者は顕微鏡の複雑な操作から解放され、且つ操作ミスの
ない検鏡を行なうことができる。以上のようにデータセ
ット及びその関連動作が行われた後に、自動焦点合せの
ための光学系バックグランドデータが入力されるが、こ
れはステージ７３の試料面に何も置かない状態で撮像素
子６１に投影される像の照明ムラ及び光学系のムラ並び
に撮像素子６１に固定的に存在するノイズパターンを自
動焦点合せに対して補正するために行われる。しかも、
この補正データ入力シーケンスはＲＡＭ５２の対物デー
タテーブル１００により最適な投影像データとして入力
するようにＮＤフィルターユニット８１、視野絞り７
９、開口絞り７７のデータを設定する。瞳分割用チョッ
パ８５により瞳分割された二つの投影像データＡ，Ｂは
撮像素子６１により図１４の如く得られ、このデータが
補正データとして使用される。The automatic setting is performed not only at the time of switching the objective lens but also at the time of switching the optical path of the observation system (Bi), switching of the photographing lens 67, and the like. It is possible to perform a microscopy free of complicated operations and without operation errors. After the data set and its related operations are performed as described above, optical system background data for automatic focusing is input. This is performed in order to correct the illumination unevenness and the optical system unevenness of the image projected on the image pickup device and the noise pattern fixedly existing in the image sensor 61 for the automatic focusing. Moreover,
The ND filter unit 81 and the field stop 7 are used to input the correction data input sequence as optimal projection image data from the objective data table 100 of the RAM 52.
9. Set the data of the aperture stop 77. Two pieces of projection image data A and B obtained by pupil division by the pupil division chopper 85 are obtained as shown in FIG. 14 by the image sensor 61, and this data is used as correction data.
【００４１】ここで、横（ｘ）軸は撮像素子のビットを
（ｙ）軸は撮像素子の各ビットの出力信号、即ち光量の
補正データを示している。このデータに基づき各ビット
の補正係数を求めると、補正データＡ，Ｂに対する補正
係数Ａ´，Ｂ´は図１５のように表され、該補正係数Ａ
´，Ｂ´をＲＡＭ５２に入力して対物データテーブル１
００と低比させることにより、レボルバー７１に接続さ
れる対物レンズの各々についての補正係数を順次ＲＡＭ
５２に記憶させて、自動焦点合せの際に撮像素子６１か
らの撮像データが入力されるときには該撮影像データを
補正係数演算して、投影像データの精度が向上せしめら
れる。この補正データ入力シーケンスの後、ＮＤフィル
ター８１、視野絞り７９、開口絞り７７は各々観察に対
して最良の条件を示すように決定された前述の値に設定
される。Here, the horizontal (x) axis indicates the bit of the image sensor, and the (y) axis indicates the output signal of each bit of the image sensor, that is, the light amount correction data. When the correction coefficient of each bit is obtained based on this data, the correction coefficients A 'and B' for the correction data A and B are represented as shown in FIG.
'And B' are input to the RAM 52 and the objective data table 1
00, the correction coefficient for each of the objective lenses connected to the revolver 71 is sequentially stored in the RAM.
When the image data is input from the image sensor 61 at the time of automatic focusing, the correction coefficient calculation is performed on the image data to improve the accuracy of the projection image data. After the correction data input sequence, the ND filter 81, the field stop 79, and the aperture stop 77 are set to the above-described values determined so as to show the best conditions for observation.
【００４２】対物レンズのデータセット及びそれに関連
する動作は以上のように行われるが、これを纏めと図１
６のフローチャートに示す通りである。次に、絞り及び
明るさが観察者により手動操作で設定される場合につい
て説明する。視野絞り、開口絞り、明るさ設定のための
ＮＤフィルターは前述の如く対物レンズデータセット時
及び電源投入時には初期値（代表値）に設定される。こ
の場合、視野絞り７９は(1) 式においてＫ1 ＝１として
視野外接に、開口絞り７７は(2) 式においてＫ2 ＝０．
８として瞳径の８０％に、ＮＤフィルターは(6) 式にお
いて定数を−３０として像面での明るさを０．５〜１ｌ
ｘに、各々設定される。このように初期値の設定が行わ
れた後に、手動操作が行われる。The data set of the objective lens and the operation related thereto are performed as described above.
6 is as shown in the flowchart of FIG. Next, a case where the aperture and the brightness are set manually by the observer will be described. As described above, the field stop, the aperture stop, and the ND filter for setting the brightness are set to the initial values (representative values) when the objective lens data is set and when the power is turned on. In this case, the field stop 79 circumscribes the field of view as K1 = 1 in the equation (1), and the aperture stop 77 is K2 = 0.0 in the equation (2).
8 as 80% of the pupil diameter, and the ND filter sets the constant at -30 in the equation (6) and sets the brightness on the image plane to 0.5 to 1 l.
x, respectively. After the initial values are set in this way, a manual operation is performed.
【００４３】先ず、視野絞り７９の手動操作による補正
シーケンスを説明すれば、図４の操作パネル８６のスイ
ッチ９２により信号が入力されると、図３において操作
パネル６４からインターフェース６５、Ｉ／Ｏポート６
０を介してＣＰＵ５１に信号が送られる。ＣＰＵ５１は
スイッチ９２が押され続けているか否かをモニターしな
がら時間管理しつつデジタルデータをＩ／Ｏポート６０
を介してＤ／Ａ変換器１１０（図８）に出力する。図１
７はスイッチ９２のＯＮ時間とＤ／Ａデータの出力との
関係を示しており、Ｄ／Ａデータを時間に対して指数関
数的に変化させることによりスイッチＯＮから数秒間は
高分解能での制御を可能にし、さらにＯＮ時間が経過す
ると急速に絞りの開閉を行ない得るという人間の操作に
対応した制御がなされる。First, a correction sequence by manual operation of the field stop 79 will be described. When a signal is inputted by the switch 92 of the operation panel 86 in FIG. 4, the interface 65 and the I / O port are transmitted from the operation panel 64 in FIG. 6
A signal is sent to the CPU 51 via 0. The CPU 51 manages time while monitoring whether or not the switch 92 is kept pressed, and outputs digital data to the I / O port 60.
To the D / A converter 110 (FIG. 8). FIG.
Reference numeral 7 denotes a relationship between the ON time of the switch 92 and the output of the D / A data, and the D / A data is changed exponentially with respect to time to control with high resolution several seconds after the switch is turned on. And a control corresponding to a human operation such that the aperture can be quickly opened and closed after the ON time elapses.
【００４４】本実施例では、全閉から全開またはその逆
の絞り駆動の所要時間を約５秒とし、スイッチ９２のＯ
Ｎ直後の分解能を１ビット／０．３秒に設定している。
ここで、手動操作による補正係数の求める方を説明すれ
ば、スイッチ９２が押されたとき、1.) 予めＲＡＭ５２
に記憶されているＤ／Ａデータを直接変化させ出力す
る。（変化量は図１７に示された時間との関係によ
る。） 2.) (3) 式におけるＫ1 の値を1.) で変化させたＤ／Ａ
データから逆算し、得られたＫ1 をＲＡＭ５２に記憶さ
せて、これ以後、すべての演算においてこのＫ1の値を
使用することにより、対物レンズ切換時および光路切換
時には補正された比率を維持しながら絞り径が決定され
る。In this embodiment, the time required for driving the diaphragm from fully closed to fully opened or vice versa is approximately 5 seconds,
The resolution immediately after N is set to 1 bit / 0.3 second.
Here, the method of calculating the correction coefficient by manual operation will be described. When the switch 92 is pressed, 1.)
Directly changes and outputs the D / A data stored in. (The amount of change depends on the relationship with the time shown in FIG. 17.) 2.) D / A obtained by changing the value of K1 in equation (3) by 1.)
The K1 is back calculated from the data and the obtained K1 is stored in the RAM 52. Thereafter, by using the value of K1 in all the calculations, the aperture ratio is maintained while maintaining the corrected ratio when the objective lens is switched and when the optical path is switched. The diameter is determined.
【００４５】このとき、Ｋ1 は次のようにして求められ
る。Ｋ1 ＝１のときの視野絞り７９の絞り径（視野外
接）のデータをＦＵＬＬＦＳ（ビット）とすればAt this time, K1 is obtained as follows. If the data of the aperture diameter (circumscribed field of view) of the field stop 79 when K1 = 1 is FULLFS (bit),
【００４６】 [0046]
【００４７】となり、Ｄ／Ａデータを１ビット変化させ
たときの係数Ｋ1 の変化分をΔＫ1 とすればΔＫ1 ＝１
／ＦＵＬＬＦＳである。従って、Ｄ／Ａデータをｎビッ
ト変化させたときの係数Ｋ1 は次式で与えられる。If the change in the coefficient K1 when the D / A data is changed by one bit is ΔK1, ΔK1 = 1
/ FULLFS. Therefore, the coefficient K1 when the D / A data is changed by n bits is given by the following equation.
【００４８】 Ｋ1 ＝Ｋ1 ＋（ΔＫ1 ×ｎ） …………（7) 但し、ｎは操作パネル８６のスイッチ９２の「開」また
は「閉」の選択によりプラスまたはマイナスの値として
ＣＰＵ５１により認識される。かくして、視野絞り７９
の手動操作による補正及びその比率の維持が行われ得
る。次に、開口絞り７７の手動操作による補正シーケン
スは、視野絞り７９の場合と全く同様である。このとき
の補正係数の求め方も基本的には同様である。開口絞り
７７の絞り径の分解能を０．１mm／ビット、Ｄ／Ａデー
タと絞り径の関係を Ｄ／Ａデータ＝開口絞りの絞り径×１０ とすれば(2) 式より Ｄ／Ａデータ＝ＮＡ×２×ｆ×Ｋ2 ×１０ ………(8) となり、視野絞りと同様に手動操作による補正係数は次
のようにして求められる。スイッチ９３がおされると 1.) 予めＲＡＭ５２に記憶されているＤ／Ａデータを直
接変化させ出力する。（変化量は図１７に示されたと同
様の時間との関係による。） 2.) (8) 式におけるＫ2 の値を1.) で変化させたＤ／Ａ
データから逆算し、得られたＫ2 をＲＡＭ５２に記憶さ
せて、これ以後すべての演算においてこのＫ2 の値を使
用することにより、対物レンズ切換時及び光路切換時に
は補正された比率を維持しながら絞り径が決定される。K1 = K1 + (ΔK1 × n) (7) However, n is recognized by the CPU 51 as a positive or negative value by selecting "open" or "closed" of the switch 92 of the operation panel 86. It Thus, the field stop 79
Can be corrected manually and the ratio can be maintained. Next, the correction sequence by manual operation of the aperture stop 77 is exactly the same as that of the field stop 79. The method of obtaining the correction coefficient at this time is basically the same. If the resolution of the aperture diameter of the aperture stop 77 is 0.1 mm / bit, and the relationship between the D / A data and the aperture diameter is D / A data = the aperture diameter of the aperture stop × 10, the D / A data = NA × 2 × f × K2 × 10 (8), and the correction coefficient by manual operation is obtained as follows in the same manner as in the field stop. When the switch 93 is turned on: 1.) The D / A data stored in the RAM 52 is directly changed and output. (The amount of change depends on the same relationship with time as shown in FIG. 17.) 2.) D / A obtained by changing the value of K2 in equation (8) by 1.)
Back-calculated from the data, the obtained K2 is stored in the RAM 52, and the value of K2 is used in all calculations thereafter, so that when the objective lens is switched and the optical path is switched, the aperture ratio is maintained while maintaining the corrected ratio. Is determined.
【００４９】このとき、Ｋ2 は次の用にして求められ
る。Ｋ2 ＝１のときの開口絞り７７の絞り径（瞳径に対
して１００％）のデータをＦＵＬＬＡＳ（ビット）とす
れば、 ＦＵＬＬＡＳ＝ＮＡ×２×ｆ×１０ …………(9) となりＤ／Ａデータを１ビット変化させたときの係数Ｋ
2 の変化分をΔＫ2 とすれば、ΔＫ2 ＝１／ＦＵＬＬＡ
Ｓである。従って、Ｄ／Ａデータをｎビット変化させた
ときの係数Ｋ2 は次式で与えられる。 Ｋ2 ＝Ｋ2 ＋（ΔＫ2 ×ｎ） …………(10) 但し、ｎは操作パネル８６のスイッチ９３の「開」また
は「閉」の選択によりプラスまたはマイナスの値として
ＣＰＵ５１により認識される。ここで、開口絞り７７の
手動操作を実際例により説明する。 1.) 対物レンズＳＰＬＡＮ４×でデータセットした場
合、図６のテーブルよりＮＡ＝０．１３，ｆ＝６１．５
が読み出され(9) 式より ＦＵＬＬＡＳ＝０．１３×２×６１．５×１０＝１５
９．９（ビット） となり、(8) 式において初期値Ｋ2 ＝０．８を入れる
と、 Ｄ／Ａデタ＝１５９．９×０．８＝１２８（ビット） が得られ、Ｄ／Ａ変換器１１０に出力されると共にＲＡ
Ｍ５２に記憶される。尚、このとき開口絞り７７の絞り
径は１２．８mmに設定される。At this time, K2 is obtained as follows. If the data of the aperture diameter (100% of the pupil diameter) of the aperture stop 77 when K2 = 1 is FULLAS (bit), FULLAS = NA × 2 × f × 10 (9) / K coefficient when data is changed by 1 bit
2 is ΔK2, ΔK2 = 1 / FULLLA
S. Therefore, the coefficient K2 when the D / A data is changed by n bits is given by the following equation. K2 = K2 + (. DELTA.K2.times.n) (10) where n is recognized by the CPU 51 as a plus or minus value by selecting "open" or "close" of the switch 93 of the operation panel 86. Here, the manual operation of the aperture stop 77 will be described with a practical example. 1.) When data is set with the objective lens SPLAN4 ×, NA = 0.13, f = 61.5 from the table in FIG.
Is read, and from equation (9), FULLAS = 0.13 × 2 × 61.5 × 10 = 15
9.9 (bits), and when the initial value K2 = 0.8 is inserted in equation (8), D / A data = 159.9 × 0.8 = 128 (bits) is obtained, and the D / A converter 110 and RA
It is stored in M52. At this time, the aperture diameter of the aperture stop 77 is set to 12.8 mm.
【００５０】この状態から手動操作によりスイッチ９３
で５ビット分だけ絞ると、ＲＡＭ５２から前記Ｄ／Ａデ
ータが読み出される。 Ｄ／Ａデータ＝１２８−５＝１２３（ビット） なる演算が行われ、この補正されたＤ／ＡデータがＤ／
Ａ変換器１１０に出力され、開口絞り径が１２．３mmに
設定される。また、このときの係数Ｋ2 は(10)式から、 Ｋ2 ＝０．８−５／１５９．９＝０．７７ と演算され、これがＲＡＭ５２に記憶される。In this state, the switch 93 is manually operated.
The D / A data is read from the RAM 52 when the number of bits is reduced by 5 bits. D / A data = 128−5 = 123 (bits), and the corrected D / A data is calculated as D / A data
The output is output to the A converter 110, and the aperture stop diameter is set to 12.3 mm. The coefficient K2 at this time is calculated from the equation (10) as K2 = 0.8-5 / 159.9 = 0.77, and this is stored in the RAM 52.
【００５１】次に、レボルバー７１により対物レンズの
切換が行われて光路上に対物レンズＳＰＬＡＮ ＡＰＯ
４０×が挿入されると、図６のテーブルよりＮＡ＝０．
９５，ｆ＝６．５が読み出され、またＲＡＭ５２からＫ
2 ＝０．７７が読み出されるので、(8) 式より Ｄ／Ａデータ＝０．９５×２×６．５×０．７７×１０
＝９５（ビット） が得られ、Ｄ／Ａ変換器１１０に出力されると同時にＲ
ＡＭ５２に記憶される。かくして、開口絞り７７の絞り
径は９．５mmに設定される。Next, the objective lens is switched by the revolver 71, and the objective lens SPLAN APO is placed on the optical path.
When 40 × is inserted, NA = 0.
95, f = 6.5 is read, and K
Since 2 = 0.77 is read, D / A data = 0.95 × 2 × 6.5 × 0.77 × 10
= 95 (bits), and is output to the D / A converter 110 and simultaneously R
It is stored in the AM 52. Thus, the aperture diameter of the aperture stop 77 is set to 9.5 mm.
【００５２】さらに、調光用のＮＤフィルターの手動操
作による補正を説明すれば、これは操作パネル８６のス
イッチによりＣＰＵ５１に入力され、同様にしてＮＤフ
ィルター切換駆動部８０によってＮＤフィルターの切換
が行われる。この場合、手動操作による補正係数は(6)
式において定数（−３０）を以下の如く変化させること
により求められる。 1.) 明るくする場合（−３０）＋４×ｎ 2.) 暗くする場合（−３０）−４×ｎ ここでｎは図１０における光量比のステップ数に相当す
る。Further, the correction by manual operation of the ND filter for light control will be described. The correction is input to the CPU 51 by a switch on the operation panel 86, and the ND filter is switched by the ND filter switching drive unit 80 in the same manner. Will be In this case, the correction coefficient by manual operation is (6)
It is determined by changing the constant (-30) in the equation as follows. 1.) Brightening (−30) + 4 × n 2.) Darkening (−30) −4 × n Here, n corresponds to the number of steps of the light amount ratio in FIG.
【００５３】以上のように視野絞り、開口絞り及びＮＤ
フィルターにより調光は手動操作により任意に補正さ
れ、一度補正がおこなわれるとそのときの補正係数が記
憶されるので、その後対物レンズの切換等がおこなわれ
ても常に同じ補正の比率が維持され得る。尚、補正係数
は好ましくは適宜手段により初期値にセットされ得る。
また、対物レンズの他に、光路が観察系か写真撮影系か
を検出して照明光学系を自動的に制御するようにしたこ
とにより、この光路切換による照明光学系の調整操作か
らも解放され得る。As described above, the field stop, the aperture stop, and the ND
The light control is arbitrarily corrected by the filter by manual operation, and once the correction is performed, the correction coefficient at that time is stored, so that the same correction ratio can be always maintained even if the objective lens is switched thereafter. . Note that the correction coefficient can be preferably set to an initial value by appropriate means.
In addition to the objective lens, by detecting whether the optical path is an observation system or a photographing system and automatically controlling the illumination optical system, the operation of adjusting the illumination optical system by switching the optical path is released. obtain.
【００５４】また、自動制御以外に、マニュアル操作も
可能にしてあることにより、標本の状態や観察者の好み
により絞り径及び明るさが任意に調整され得る。また、
前記手動操作により補正された絞り径及び明るさが対物
レンズの切換、光路の切換等の場合に同じ補正の比率で
自動制御されるようにしたことにより、常に標本の状態
や観察者の好みに適した観察が得られる。In addition to the automatic control, manual operation is also possible, so that the aperture diameter and brightness can be arbitrarily adjusted according to the state of the sample and the preference of the observer. Also,
The aperture diameter and brightness corrected by the manual operation are automatically controlled at the same correction ratio in the case of switching of the objective lens, switching of the optical path, etc., so that the state of the specimen and the preference of the observer are always maintained. Suitable observations are obtained.
【００５５】さらに、手動操作により決定され且つ記憶
された補正係数が適宜な手段により初期値にリセットさ
れるようにしたことにより、再補正を行う場合に操作が
容易になる。Further, since the correction coefficient determined and stored by the manual operation is reset to the initial value by an appropriate means, the operation becomes easy when re-correction is performed.
【００５６】[0056]
【発明の効果】上述の如く発明の実施の形態で説明した
ように本発明による顕微鏡は、対物レンズの倍率と種別
（開口数）に基づいて観察条件を調整可能な照明光学系
要素を自動的に制御するようにしたことにより、対物レ
ンズの切換に伴う一連の複雑な調整操作から観察者が解
放され、さらに操作ミス及び操作忘れが防止され得る、
操作性及び作業性に優れた顕微鏡を提供することができ
る。この場合、実施形態に示すように、照明光学要素に
開口絞りの他に視野絞り及び複数のコンデンサーレン
ズ、更にＮＤフィルターを含めることにより、対物レン
ズの切換に伴う上記照明光学要素による観察条件の調整
を完全自動化することができる。As described above in the embodiments of the invention, the microscope according to the present invention automatically adjusts the illumination optical system element capable of adjusting the observation condition based on the magnification and type (numerical aperture) of the objective lens. By doing so, the observer is freed from a series of complicated adjustment operations accompanying the switching of the objective lens, and further operation mistakes and forgetting operations can be prevented.
A microscope having excellent operability and workability can be provided. In this case, as shown in the embodiment, by including a field stop, a plurality of condenser lenses, and an ND filter in addition to the aperture stop in the illumination optical element, the observation conditions are adjusted by the illumination optical element according to the switching of the objective lens. Can be fully automated.
【図１】図１は顕微鏡の光学系の一例を示す概略図FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an optical system of a microscope.
【図２】図１の顕微鏡のための本発明による制御システ
ムのブロック図FIG. 2 is a block diagram of a control system according to the invention for the microscope of FIG. 1;
【図３】本発明による顕微鏡の一実施例の制御装置を示
す詳細なブロック図FIG. 3 is a detailed block diagram showing a control device of an embodiment of the microscope according to the present invention.
【図４】図３の制御装置における操作パネルの一例を示
す正面図FIG. 4 is a front view showing an example of an operation panel in the control device shown in FIG. 3;
【図５】対物データテーブルを示す図表FIG. 5 is a chart showing an objective data table.
【図６】対物レンズとコンデンサーレンズの対照を示す
図表FIG. 6 is a table showing a contrast between an objective lens and a condenser lens.
【図７】光路のＦＮｏ．（視野数）を示す図表FIG. 7 shows the FNo. Chart showing (number of fields of view)
【図８】絞り制御のブロック図FIG. 8 is a block diagram of aperture control;
【図９】ＮＤフィルターユニットの一例を示す図FIG. 9 is a diagram illustrating an example of an ND filter unit.
【図１０】ＮＤフィルターの組合わせによる光量比を示
す図表FIG. 10 is a table showing a light amount ratio by a combination of ND filters.
【図１１】光路による光量比Ｂｉを示す図表FIG. 11 is a table showing a light amount ratio Bi by an optical path.
【図１２】対物レンズによる光量比Ｏｂを示す図表FIG. 12 is a table showing a light amount ratio Ob by an objective lens.
【図１３】ＮＤフィルターによる光量比ＮＤを示す図表FIG. 13 is a table showing a light amount ratio ND by an ND filter.
【図１４】撮像素子上の投影像の補正データを示すグラ
フFIG. 14 is a graph showing correction data of a projection image on an image sensor.
【図１５】撮像素子上の投影像の補正係数を示すグラフFIG. 15 is a graph showing a correction coefficient of a projected image on an image sensor.
【図１６】本発明による自動制御のフローチャートFIG. 16 is a flowchart of automatic control according to the present invention.
【図１７】手動操作の際のスイッチ９２，９３の出力を
示すグラフFIG. 17 is a graph showing outputs of switches 92 and 93 at the time of manual operation.
１ 光源 ２ コレクターレンズ ３ ＮＤフィルター ４ 視野絞り ５ 開口絞り ６ コンデンサユニット ６ａ〜６ｃ ユニット ７ ステージ ８ａ，８ｂ 対物レンズ ９ レボルバー １０ 観察プリズム １１ 反射プリズム １２ 撮影レンズ １２ａ，１２ｂ ユニット １３ ハーフミラー １４ 反射ミラー １６ レボルバー制御部 １７ ＣＰＵ １８ 記憶装置 １９ 演算装置 ２０ コンデンサーレンズ制御部 ２１ 開口絞り制御部 ２２ 観察プリズム制御部 ２３ 視野絞り制御部 ２４ 撮影レンズ制御部 ５０ 制御装置 ５１ ＣＰＵ ５２ ＲＡＭ ５３ バッテリー ５４ ＲＯＭ ５５ 演算器 ５６ インターフェース ５７ 外部制御装置 ５８ インターフェース ５９ 写真撮影装置 ６０ Ｉ／Ｏポート ６１ 撮像素子 ６２ 駆動回路 ６３ Ａ／Ｄ変換器 ６４ 操作パネル ６５ インターフェース ６６ 駆動部 ６７ 撮影レンズ ６８ 駆動部 ６９ ビームスプリッタ ７０ 対物レンズ切換駆動部 ７１ レボルバー ７２ 焦準ステージ駆動部 ７３ ステージ ７４ 切換駆動部 ７５ コンデンサーレンズ ７６ 制御駆動部 ７７ 開口絞り ７８ 制御駆動部 ７９ 視野絞り ８０ 切換駆動部 ８１ ＮＤフィルターユニット ８２ 調光回路 ８３ 光源 ８４ 駆動部 ８５ 瞳分割用チョッパ ８６ 操作パネル ８７ スイッチ ８８ 倍率表示器 ８９ 種別表示器 ９０ 観察系 ９１ 表示器 ９２，９３ スイッチ ９４ スイッチ ９５ 倍率切換スイッチ ９６ 倍率表示器 ９７ スイッチ ９８ レボルバー起動スイッチ ９９ 自動焦点合せ起動スイッチ １００ 対物データテーブル １１１，１１２ Ｄ／Ａ変換器 １１３ モータ駆動回路 １１４ モータ １１５ 絞り機構 １１６ ポテンションメータ １２１ モータ １２２ カム １２３ レバー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 light source 2 collector lens 3 ND filter 4 field stop 5 aperture stop 6 condenser unit 6a to 6c unit 7 stage 8a, 8b objective lens 9 revolver 10 observation prism 11 reflection prism 12 taking lens 12a, 12b unit 13 half mirror 14 reflection mirror 16 Revolver control unit 17 CPU 18 Storage device 19 Computing device 20 Condenser lens control unit 21 Aperture stop control unit 22 Observation prism control unit 23 Field stop control unit 24 Photographing lens control unit 50 Control device 51 CPU 52 RAM 53 Battery 54 ROM 55 Computing unit 56 Interface 57 External Control Device 58 Interface 59 Photographing Device 60 I / O Port 61 Imaging Device 62 Drive Circuit 63 A / D Converter 64 Operation Panel 65 a Interface 66 drive unit 67 photographing lens 68 drive unit 69 beam splitter 70 objective lens switching drive unit 71 revolver 72 focusing stage drive unit 73 stage 74 switching drive unit 75 condenser lens 76 control drive unit 77 aperture stop 78 control drive unit 79 visual field Aperture 80 Switching drive unit 81 ND filter unit 82 Light control circuit 83 Light source 84 Drive unit 85 Pupil division chopper 86 Operation panel 87 Switch 88 Magnification display 89 Classification display 90 Observation system 91 Display 92, 93 Switch 94 Switch 95 Magnification Changeover switch 96 Magnification indicator 97 Switch 98 Revolver start switch 99 Automatic focusing start switch 100 Objective data table 111, 112 D / A converter 113 Motor drive circuit 114 Motor 115 diaphragm machine 116 potentiometer 121 motor 122 cam 123 lever
Claims (4)
識する対物レンズ認識手段と、光路中に選択挿入される
夫々の対物レンズに対応させて倍率または種別を入力す
る対物レンズデータ入力部と、該対物レンズデータ入力
部からの入力データに基づいて前記認識された対物レン
ズの諸元データを記憶すると共に、使用対象となる対物
レンズに関する諸元データベースが記憶される記憶部
と、照明光学系による観察条件を調整可能な少なくとも
開口絞りを含む照明光学系要素と、該照明光学系要素を
電動制御する電動制御手段と、前記対物レンズ認識手段
により認識された対物レンズに対応する諸元データと諸
元データベースを前記記憶部より読みだし、該諸元デー
タと諸元データベースに基づいて前記照明光学系要素に
よる観察条件を決定する処理手段とを備え、該処理手段
の決定結果に基づいて前記光路中に挿入選択された対物
レンズに対して前記照明光学系要素による観察条件が適
正になるように前記電動制御手段を制御することを特徴
とする自動制御式照明光学系を備えた顕微鏡。1. An objective lens recognizing means for recognizing an objective lens selectively inserted in an optical path, and an objective lens data input section for inputting a magnification or a type corresponding to each objective lens selectively inserted in an optical path. A storage unit for storing the data of the recognized objective lens based on the input data from the objective lens data input unit, and a data database for the objective lens to be used, and an illumination optical system. An illumination optical system element including at least an aperture stop capable of adjusting the observation condition, an electric control means for electrically controlling the illumination optical system element, and specification data corresponding to the objective lens recognized by the objective lens recognition means. The specification database is read from the storage unit, and the observation condition by the illumination optical system element is determined based on the specification data and the specification database. Processing means for controlling the electric control means so that the observation condition by the illumination optical system element becomes appropriate for the objective lens inserted and selected in the optical path based on the determination result of the processing means. A microscope equipped with an automatically controlled illumination optical system characterized by the above.
のコンデンサーレンズが含まれることを特徴とする請求
項１記載の自動制御式照明光学系を備えた顕微鏡。2. The microscope with an automatically controlled illumination optical system according to claim 1, wherein the illumination optical system element includes a field stop and a plurality of condenser lenses.
ズ認識手段により認識された対物レンズに対応する諸元
データに基づいて選択されると共に、前記光路中に選択
挿入された対物レンズの開口数とコンデンサーレンズの
焦点距離のデータ及び絞り込み係数に基づいて前記開口
絞りの絞り径が決定され、かつ前記光路中に選択挿入さ
れた対物レンズの倍率とコンデンサレンズによる絞り像
の投影倍率のデータに基づいて前記視野絞りの絞り径が
決定されることを特徴とする請求項２記載の自動制御式
照明光学系を備えた顕微鏡。3. The numerical aperture of the objective lens which is selected and inserted into the optical path and the condenser lens is selected based on the specification data corresponding to the objective lens recognized by the objective lens recognition means. The aperture diameter of the aperture stop is determined based on the data of the focal length and the aperture coefficient, and the field of view is based on the data of the magnification of the objective lens selectively inserted in the optical path and the projection magnification of the aperture image by the condenser lens. The microscope with an automatically controlled illumination optical system according to claim 2, wherein the aperture diameter of the aperture is determined.
ーが含まれ、該ＮＤフィルターは前記光路中に選択挿入
された対物レンズの諸元データに基づいて調光量が制御
されることを特徴とする請求項１記載の自動制御式照明
光学系を備えた顕微鏡。4. The illumination optical system element further includes an ND filter, and the ND filter has a dimming amount controlled on the basis of specification data of an objective lens selectively inserted in the optical path. A microscope provided with the automatically controlled illumination optical system according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8011632A JP2675290B2 (en) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | Microscope with automatically controlled illumination optics |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58047649A Division JPS59172617A (en) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | Microscope equipped with automatic control type optical lighting system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0921957A true JPH0921957A (en) | 1997-01-21 |
| JP2675290B2 JP2675290B2 (en) | 1997-11-12 |
Family
ID=11783326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8011632A Expired - Lifetime JP2675290B2 (en) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | Microscope with automatically controlled illumination optics |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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