JPH09218128A - Target positioning device and diode characteristic testing device - Google Patents
Target positioning device and diode characteristic testing deviceInfo
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- JPH09218128A JPH09218128A JP1865095A JP1865095A JPH09218128A JP H09218128 A JPH09218128 A JP H09218128A JP 1865095 A JP1865095 A JP 1865095A JP 1865095 A JP1865095 A JP 1865095A JP H09218128 A JPH09218128 A JP H09218128A
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ターゲット位置決め
装置及びダイオード特性試験装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a target positioning device and a diode characteristic testing device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】最近、目覚ましく各分野で使用され始め
た例えばファイバー付き通信用レーザダイオード等は、
その生産にあたって品質管理が要求され、レーザダイオ
ード等の電気的特性及び光スペクトル特性等を測定する
ことが行なわれる。2. Description of the Related Art Recently, for example, laser diodes for communication with fibers, which have been remarkably used in various fields,
Quality control is required in the production, and electrical characteristics and optical spectrum characteristics of laser diodes and the like are measured.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このようなダイオード
特性試験は、例えば超低温から高温域の温度環境下で行
なわれるが、このダイオード特性試験においては、特に
レーザダイオード等のターゲットの位置決めが重要であ
る。特に、多数のレーザダイオード等のターゲットの試
験を行なう場合には、迅速に、しかも高精度に位置決め
を行なう必要がある。Such a diode characteristic test is carried out, for example, in a temperature environment from ultra-low temperature to high temperature region. In this diode characteristic test, positioning of a target such as a laser diode is particularly important. . In particular, when testing a large number of targets such as laser diodes, it is necessary to perform positioning quickly and with high accuracy.
【０００４】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、請求項１記載の発明は、迅速に、しかも高
精度にターゲットの位置決めを行なうことができるター
ゲット位置決め装置を提供することを目的としている。
また、請求項２記載の発明は、迅速に、しかも高精度に
ダイオードの試験を行なうことができるダイオード特性
試験装置を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of such circumstances, and the invention according to claim 1 provides a target positioning device capable of positioning a target quickly and with high accuracy. Has an aim.
It is another object of the present invention to provide a diode characteristic test device capable of quickly and highly accurately testing a diode.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決し、かつ
目的を達成するために、請求項１記載の発明のターゲッ
ト位置決め装置は、移動ステージと、この移動ステージ
に移動可能に支持されたフローテイング機構とを備え、
固定側にセットされた第１のターゲットに挿入可能なテ
ーパ孔を前記フローテイング機構に形成し、このテーパ
孔に対応させて第２のターゲットを有し、前記移動ステ
ージを移動させて前記テーパ孔を前記第１のターゲット
に挿入し前記第１のターゲットと第２のターゲットの位
置決めを行なう移動手段を備えることを特徴としてい
る。In order to solve the above-mentioned problems and to achieve the object, a target positioning apparatus according to the present invention comprises a moving stage and a flow movably supported by the moving stage. With a towing mechanism,
A taper hole that can be inserted into the first target set on the fixed side is formed in the floating mechanism, and a second target is provided corresponding to the taper hole, and the moving stage is moved to move the taper hole. Is inserted into the first target to position the first target and the second target.
【０００６】請求項２記載の発明のダイオード特性試験
装置は、移動ステージと、この移動ステージに移動可能
に支持されたフローテイング機構とを備え、固定側にセ
ットされたレーザダイオードに挿入可能なテーパ孔を前
記フローテイング機構に形成し、このテーパ孔に対応さ
せてフォトダイオードを有し、さらに前記移動ステージ
を移動させて前記テーパ孔を前記レーザダイオードに挿
入し前記レーザダイオードとフォトダイオードの位置決
めを行なう移動手段と、前記レーザダイオードとフォト
ダイオードとで信号の伝達を行なう試験手段とを備える
ことを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a diode characteristic testing device comprising a moving stage and a floating mechanism movably supported by the moving stage, and a taper insertable into a laser diode set on a fixed side. A hole is formed in the floating mechanism, a photodiode is provided corresponding to the tapered hole, and the moving stage is further moved to insert the tapered hole into the laser diode to position the laser diode and the photodiode. It is characterized in that it is provided with a moving means for carrying out and a testing means for carrying out signal transmission between the laser diode and the photodiode.
【０００７】[0007]
【作用】請求項１の発明では、移動ステージを移動させ
て、フローテイング機構のテーパ孔を、固定側の第１の
ターゲットに挿入する。このとき、フローテイング機構
が挿入に従って移動して、テーパ孔に対応させた第２の
ターゲットと第１のターゲットの位置決めを行ない、迅
速に、しかも高精度に位置決めを行なうことができる。According to the first aspect of the invention, the moving stage is moved to insert the tapered hole of the floating mechanism into the first target on the fixed side. At this time, the floating mechanism moves according to the insertion to position the second target and the first target corresponding to the tapered hole, and the positioning can be performed quickly and highly accurately.
【０００８】また、請求項２の発明では、移動ステージ
を移動させて、フローテイング機構のテーパ孔を、固定
側のレーザダイオードに挿入する。このとき、フローテ
イング機構が挿入に従って移動して、テーパ孔に対応さ
せたフォトダイオードとレーザダイオードの位置決め
を、迅速に、しかも高精度に行なうことができる。そし
て、レーザダイオードとフォトダイオードとで信号の伝
達を行ない、正確なダイオード特性試験を行なうことが
できる。According to the second aspect of the present invention, the movable stage is moved to insert the tapered hole of the floating mechanism into the fixed laser diode. At this time, the floating mechanism moves as it is inserted, and the photodiode and laser diode corresponding to the tapered hole can be positioned quickly and with high accuracy. Then, signals can be transmitted between the laser diode and the photodiode to perform an accurate diode characteristic test.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、ターゲット位置決め装置及びダイオー
ド特性試験装置の実施例を説明する。図１はダイオード
特性試験装置の斜視図である。Embodiments of the target positioning device and the diode characteristic testing device will be described below. FIG. 1 is a perspective view of a diode characteristic testing device.
【００１０】ダイオード特性試験装置１は、例えばファ
イバー付き通信用レーザダイオード等の電気的特性及び
光スペクトル特性等を測定するものである。ダイオード
特性試験装置１の移動ステージ２は、ベースステージ
３、シリンダ４及びスライドベース５から構成されてい
る。ベースステージ３は水平方向Ｘ及び鉛直方向Ｙに移
動可能に設けられ、移動手段６により駆動される。ベー
スステージ３には、シリンダ４が設けられ、このシリン
ダ４によりスライドベース５が固定側に設けられた第１
のターゲットＷ１を構成するレーザダイオードＬＤの方
向Ｚに前後進する。レーザダイオードＬＤは試験される
もので、試験プレート７に所定間隔で複数配置して保持
されている。The diode characteristic tester 1 measures the electrical characteristics and optical spectrum characteristics of a communication laser diode with a fiber, for example. The moving stage 2 of the diode characteristic testing apparatus 1 is composed of a base stage 3, a cylinder 4 and a slide base 5. The base stage 3 is provided so as to be movable in the horizontal direction X and the vertical direction Y, and is driven by the moving means 6. A cylinder 4 is provided on the base stage 3, and a slide base 5 is provided on the fixed side by the cylinder 4.
Of the laser diode LD constituting the target W1 of FIG. A plurality of laser diodes LD are tested, and a plurality of laser diodes LD are arranged and held on the test plate 7 at predetermined intervals.
【００１１】シリンダ４の後側には、スライドベース５
が後退端に位置するときに信号を出力するＯＦＦセンサ
８が設けられ、またシリンダ４の前側にはスライドベー
ス５が前進端に位置するときに信号を出力するＯＮセン
サ９が設けられている。このＯＦＦセンサ８及びＯＮセ
ンサ９の信号が制御手段１０に送られ、この信号に基づ
いて制御手段１０が移動手段６を介してシリンダ４の駆
動を行なう。A slide base 5 is provided on the rear side of the cylinder 4.
An OFF sensor 8 that outputs a signal when the slide base 5 is located at the backward end is provided, and an ON sensor 9 that outputs a signal when the slide base 5 is located at the forward end is provided on the front side of the cylinder 4. The signals of the OFF sensor 8 and the ON sensor 9 are sent to the control means 10, and the control means 10 drives the cylinder 4 via the moving means 6 based on these signals.
【００１２】スライドベース５には、ヒンジ台１１がノ
ブねじ１２により固定され、メンテナンス時にノブねじ
１２を取り外すことでヒンジ台１１をあおり上げするこ
とができる。ヒンジ台１１には光コンタクトヘッド１３
が設けられ、この光コンタクトヘッド１３は固定側に設
けられた第１のターゲットＷ１であるレーザダイオード
ＬＤからの信号を光スペクトルアナライザ１４ヘ接続す
るものである。光コンタクトヘッド１３は光ケーブル１
５が設けられ、この光ケーブル１５によりレーザダイオ
ードＬＤからの信号を光スペクトルアナライザ１４ヘ送
る。光スペクトルアナライザ１４によりレーザダイオー
ドＬＤの光スペクトル特性を測定する。A hinge base 11 is fixed to the slide base 5 by a knob screw 12, and the hinge base 11 can be lifted up by removing the knob screw 12 for maintenance. The hinge base 11 has an optical contact head 13
The optical contact head 13 connects the signal from the laser diode LD, which is the first target W1 provided on the fixed side, to the optical spectrum analyzer 14. The optical contact head 13 is the optical cable 1
5 is provided, and a signal from the laser diode LD is sent to the optical spectrum analyzer 14 by this optical cable 15. The optical spectrum analyzer 14 measures the optical spectrum characteristics of the laser diode LD.
【００１３】光コンタクトヘッド１３には、受光ヘッド
１６が設けられ、この受光ヘッド１６には第２のターゲ
ットＷ２であるフォトダイオードＰＤが設けられ、受光
ヘッド１６にはエアーブロースピコン１７を介してエア
ホース１８が接続されている。エアホース１８は、不図
示の電磁弁、フィルターを通り、フォトダイオードＰＤ
へブロー用エアーを送る。エアーブロースピコン１７は
フォトダイオードＰＤの前面のゴミを取りのぞくための
エアー量を調整する。The optical contact head 13 is provided with a light receiving head 16, the light receiving head 16 is provided with a photodiode PD which is a second target W2, and the light receiving head 16 is provided with an air hose via an air blow speed controller 17. 18 is connected. The air hose 18 passes through a solenoid valve (not shown), a filter, and a photodiode PD.
Blow air to blow. The air blow speed controller 17 adjusts the amount of air for removing dust on the front surface of the photodiode PD.
【００１４】ヒンジ台１１には受光アンプ１９が設けら
れ、この受光アンプ１９とフォトダイオードＰＤが接続
ケーブル２０を介して接続されている。受光アンプ１９
は、フォトダイオードＰＤの受光信号を増幅する。受光
アンプ１９には、アンプ制御ケーブル２１及び受光信号
ケーブル２２が接続されている。アンプ制御ケーブル２
１により受光アンプ１９の電源及びゲインコントロール
信号を送る。また、受光信号ケーブル２２により受光ア
ンプ１９の出力信号を、計測ラック２３に送る。計測ラ
ック２３によりレーザダイオードＬＤの電気的特性を測
定する。A light receiving amplifier 19 is provided on the hinge base 11, and the light receiving amplifier 19 and the photodiode PD are connected via a connection cable 20. Light receiving amplifier 19
Amplifies the received light signal of the photodiode PD. An amplifier control cable 21 and a light receiving signal cable 22 are connected to the light receiving amplifier 19. Amplifier control cable 2
1 sends the power supply and gain control signal of the light receiving amplifier 19. Further, the output signal of the light receiving amplifier 19 is sent to the measurement rack 23 by the light receiving signal cable 22. The measurement rack 23 measures the electrical characteristics of the laser diode LD.
【００１５】ダイオード特性試験装置１には、ターゲッ
ト位置決め装置が備えられており、このターゲット位置
決め装置により固定側にセットされた第１のターゲット
のレーザダイオードＬＤに対して第２のターゲットのフ
ォトダイオードＰＤの位置決めを行なう。The diode characteristic testing device 1 is provided with a target positioning device, and the laser diode LD of the first target set to the fixed side by the target positioning device is opposed to the photodiode PD of the second target. Position.
【００１６】このターゲット位置決め装置を、図２及び
図３に示す。 図２はターゲット位置決め装置の概略構
成図、図３は図２のIII-III線に沿う断面図である。This target positioning device is shown in FIGS. 2 is a schematic configuration diagram of the target positioning device, and FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III of FIG.
【００１７】ターゲット位置決め装置は、移動ステージ
２を有しており、この移動ステージ２のスライドベース
５に設けられたヒンジ台１１には、光コンタクトヘッド
１３が設けられ、光コンタクトヘッド１３の受光ヘッド
１６には移動可能に支持されたフローテイング機構Ａが
備えられている。The target positioning device has a moving stage 2. An optical contact head 13 is provided on a hinge base 11 provided on a slide base 5 of the moving stage 2, and a light receiving head of the optical contact head 13 is provided. A floating mechanism A movably supported is provided at 16.
【００１８】このフローテイング機構Ａは、ホルダ３０
と、スプリング３１及び支持ピン３２とから構成されて
いる。ホルダ３０のツバ部３０ａは、受光ヘッド１６に
形成された環状凹部３３に移動可能に設けられ、３方向
から支持ピン３２により支持され、この支持ピン３２は
スプリング３１により中心の初期位置に位置するように
保持されている。ホルダ３０には、第１のターゲットＷ
１のレーザダイオードＬＤが挿入可能なテーパ孔３０ｂ
が形成され、このテーパ孔３０ｂの先端部にテーパ面３
０ｃが形成され、後部には第２のターゲットＷ２のフォ
トダイオードＰＤが取り付けられる。This floating mechanism A includes a holder 30.
And a spring 31 and a support pin 32. The brim portion 30a of the holder 30 is movably provided in an annular recess 33 formed in the light receiving head 16, and is supported by a support pin 32 from three directions. The support pin 32 is located at an initial center position by a spring 31. Is held as. The holder 30 has a first target W
1 taper hole 30b into which the laser diode LD can be inserted
Is formed, and the tapered surface 3 is formed at the tip of the tapered hole 30b.
0c is formed, and the photodiode PD of the second target W2 is attached to the rear portion.
【００１９】このターゲット位置決め装置は、固定側に
セットされた第１のターゲットＷ１のレーザダイオード
ＬＤに第２のターゲットＷ２のフォトダイオードＰＤの
位置決めを行なう場合に、固定側の所定位置のレーザダ
イオードＬＤに対向させて、移動ステージ２を移動さ
せ、ラフな位置決めを行なう。例えば、固定側にセット
されたレーザダイオードＬＤと、移動ステージ２のフォ
トダイオードＰＤの位置が１００μｍ程度ずれた状態
で、固定側にセットされたレーザダイオードＬＤの方向
へ移動ステージ２のスライドベース５を移動させても、
このスライドベース５の移動によってホルダ３０のテー
パ孔３０ｂの先端部に形成されたテーパ面３０ｃが、レ
ーザダイオードＬＤに当接する。これにより、ホルダ３
０がスプリング３１の収縮によって移動が許容されて移
動し、レーザダイオードＬＤの中心に向かって移動が行
なわれて、レーザダイオードＬＤにホルダ３０のテーパ
孔３０ｂを挿入し、移動ステージ２のフォトダイオード
ＰＤの中心軸を、例えば±２μｍ以内で円滑に挿入結合
することができる。This target positioning device, when positioning the photodiode PD of the second target W2 on the laser diode LD of the first target W1 set on the fixed side, fixes the laser diode LD at the predetermined position on the fixed side. The movable stage 2 is moved so as to face the above, and rough positioning is performed. For example, with the position of the laser diode LD set on the fixed side and the photodiode PD of the moving stage 2 displaced by about 100 μm, the slide base 5 of the moving stage 2 is moved in the direction of the laser diode LD set on the fixed side. Even if you move
By this movement of the slide base 5, the tapered surface 30c formed at the tip of the tapered hole 30b of the holder 30 comes into contact with the laser diode LD. As a result, the holder 3
0 is allowed to move due to the contraction of the spring 31, and is moved toward the center of the laser diode LD, the tapered hole 30b of the holder 30 is inserted into the laser diode LD, and the photodiode PD of the moving stage 2 is moved. It is possible to smoothly insert and connect the central axis of the device within ± 2 μm.
【００２０】このように、移動ステージ２を第１のター
ゲットＷ１のレーザダイオードＬＤに向かって移動さ
せ、フローテイング機構Ａのテーパ孔３０ｂを、固定側
の第１のターゲットＷ１のレーザダイオードＬＤに挿入
させるとき、フローテイング機構Ａのホルダ３０が挿入
に従って移動して、テーパ孔３０ｂに対応させた第２の
ターゲットＷ２のフォトダイオードＰＤと第１のターゲ
ットＷ１のレーザダイオードＬＤの位置決めを行ない、
迅速に、しかも高精度に位置決めを行なうことができ
る。そして、レーザダイオードＬＤとフォトダイオード
ＰＤとで信号の伝達を行ない、ダイオード特性試験を行
なう。In this way, the moving stage 2 is moved toward the laser diode LD of the first target W1, and the taper hole 30b of the floating mechanism A is inserted into the laser diode LD of the first target W1 on the fixed side. At this time, the holder 30 of the floating mechanism A moves in accordance with the insertion, and positions the photodiode PD of the second target W2 and the laser diode LD of the first target W1 corresponding to the tapered hole 30b.
Positioning can be performed quickly and with high accuracy. Then, a signal is transmitted between the laser diode LD and the photodiode PD to perform a diode characteristic test.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明
は、移動ステージを移動させてフローテイング機構のテ
ーパ孔を、固定側の第１のターゲットに挿入するとき、
フローテイング機構が挿入に従って移動して、テーパ孔
に対応させた第２のターゲットと第１のターゲットの位
置決めを行なうから、迅速に、しかも高精度に位置決め
を行なうことができる。As described above, according to the invention of claim 1, when the moving stage is moved to insert the taper hole of the floating mechanism into the first target on the fixed side,
Since the floating mechanism moves according to the insertion to position the second target and the first target corresponding to the tapered hole, the positioning can be performed quickly and with high accuracy.
【００２２】また、請求項２の発明は、移動ステージを
移動させてフローテイング機構のテーパ孔を、固定側の
レーザダイオードに挿入するとき、フローテイング機構
が挿入に従って移動して、テーパ孔に対応させたフォト
ダイオードとレーザダイオードの位置決めを、迅速に、
しかも高精度に行なうことができ、レーザダイオードと
フォトダイオードとで信号の伝達を行なうことで、正確
なダイオード特性試験を行なうことができる。According to the second aspect of the present invention, when the moving stage is moved to insert the taper hole of the floating mechanism into the laser diode on the fixed side, the floating mechanism moves in accordance with the insertion and corresponds to the taper hole. Quickly position the photodiode and laser diode
Moreover, it can be performed with high accuracy, and an accurate diode characteristic test can be performed by transmitting a signal between the laser diode and the photodiode.
【図１】ダイオード特性試験装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a diode characteristic testing device.
【図２】ターゲット位置決め装置の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a target positioning device.
【図３】図２のIII-III線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. 2;
２ 移動ステージ ６ 移動手段 ３０ｂ テーパ孔 Ａ フローテイング機構 Ｗ１ 第１のターゲット Ｗ２ 第２のターゲット 2 moving stage 6 moving means 30b taper hole A floating mechanism W1 first target W2 second target
Claims (2)
可能に支持されたフローテイング機構とを備え、固定側
にセットされた第１のターゲットに挿入可能なテーパ孔
を前記フローテイング機構に形成し、このテーパ孔に対
応させて第２のターゲットを有し、前記移動ステージを
移動させて前記テーパ孔を前記第１のターゲットに挿入
し前記第１のターゲットと第２のターゲットの位置決め
を行なう移動手段を備えることを特徴とするターゲット
位置決め装置。1. A moving stage and a floating mechanism movably supported by the moving stage, wherein a taper hole that can be inserted into a first target set on a fixed side is formed in the floating mechanism. A movement for moving the moving stage to insert the tapered hole into the first target to position the first target and the second target in correspondence with the tapered hole. A target positioning device comprising means.
可能に支持されたフローテイング機構とを備え、固定側
にセットされたレーザダイオードに挿入可能なテーパ孔
を前記フローテイング機構に形成し、このテーパ孔に対
応させてフォトダイオードを有し、さらに前記移動ステ
ージを移動させて前記テーパ孔を前記レーザダイオード
に挿入し前記レーザダイオードとフォトダイオードの位
置決めを行なう移動手段と、前記レーザダイオードとフ
ォトダイオードとで信号の伝達を行なう試験手段とを備
えることを特徴とするダイオード特性試験装置。2. A moving stage and a floating mechanism movably supported by the moving stage, wherein a taper hole that can be inserted into a laser diode set on a fixed side is formed in the floating mechanism. A moving device having a photodiode corresponding to the tapered hole, further moving the moving stage to insert the tapered hole into the laser diode to position the laser diode and the photodiode, and the laser diode and the photodiode. A diode characteristic test device, comprising: a test means for transmitting a signal by and.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1865095A JPH09218128A (en) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | Target positioning device and diode characteristic testing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1865095A JPH09218128A (en) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | Target positioning device and diode characteristic testing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09218128A true JPH09218128A (en) | 1997-08-19 |
Family
ID=11977499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1865095A Pending JPH09218128A (en) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | Target positioning device and diode characteristic testing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09218128A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190066097A (en) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | 김진환 | Moving stage for female and male connection |
-
1995
- 1995-01-11 JP JP1865095A patent/JPH09218128A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190066097A (en) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | 김진환 | Moving stage for female and male connection |
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