JPH09218066A - 流量センサ - Google Patents
流量センサInfo
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- JPH09218066A JPH09218066A JP8025547A JP2554796A JPH09218066A JP H09218066 A JPH09218066 A JP H09218066A JP 8025547 A JP8025547 A JP 8025547A JP 2554796 A JP2554796 A JP 2554796A JP H09218066 A JPH09218066 A JP H09218066A
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- Japan
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- heating
- heating resistor
- flow rate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】周期的または所望の時に発熱用抵抗体を高温に
加熱することにより、発熱用抵抗体に付着した異物を焼
却除去する流量センサを提供する。 【解決手段】流体の流路となる管２０内にセンサ素子と
なる発熱用抵抗体ＲHと温度補償用抵抗体ＲTとが配設さ
れ、抵抗Ｒ１、Ｒ２とともに抵抗ブリッジ回路が形成さ
れ、該ブリッジ回路、差動増幅器ＯＰＡ及びトランジス
タＴｒ１からなる流量検出の信号処理回路において、発
熱用抵抗体ＲHには、前記信号処理回路の電源電圧Ｖｃ
ｃとは別にスイッチング用のトランジスタＴｒ２を介し
て電源電圧Ｖｃｃが直接印加され、トランジスタＴｒ２
のベースにパルス信号Ｐｓが入力された時に、パルス信
号Ｐｓのパルス幅の時間だけ発熱用抵抗体ＲHを高温に
加熱するように構成されている。
加熱することにより、発熱用抵抗体に付着した異物を焼
却除去する流量センサを提供する。 【解決手段】流体の流路となる管２０内にセンサ素子と
なる発熱用抵抗体ＲHと温度補償用抵抗体ＲTとが配設さ
れ、抵抗Ｒ１、Ｒ２とともに抵抗ブリッジ回路が形成さ
れ、該ブリッジ回路、差動増幅器ＯＰＡ及びトランジス
タＴｒ１からなる流量検出の信号処理回路において、発
熱用抵抗体ＲHには、前記信号処理回路の電源電圧Ｖｃ
ｃとは別にスイッチング用のトランジスタＴｒ２を介し
て電源電圧Ｖｃｃが直接印加され、トランジスタＴｒ２
のベースにパルス信号Ｐｓが入力された時に、パルス信
号Ｐｓのパルス幅の時間だけ発熱用抵抗体ＲHを高温に
加熱するように構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、給湯器、空調機等
に使用される流量センサに関し、詳しくは、発熱用抵抗
体に付着した異物を焼却除去するようにした流量センサ
に関する。
に使用される流量センサに関し、詳しくは、発熱用抵抗
体に付着した異物を焼却除去するようにした流量センサ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】給湯器、空調機等の空気の流量（流速）
を測定する流量センサとして、発熱させた抵抗体を流体
の流れにさらし、その放熱作用の大きさから流体の流量
を検出するようにした熱式の流量センサがある。
を測定する流量センサとして、発熱させた抵抗体を流体
の流れにさらし、その放熱作用の大きさから流体の流量
を検出するようにした熱式の流量センサがある。
【０００３】図４は、このような流量センサのいわゆる
定温度差法と称される基本回路構成を示す図である。こ
の流量センサは、流体の流路となる管２０内にセンサ素
子となる発熱用抵抗体ＲHと温度補償用抵抗体ＲTとが配
設され、抵抗Ｒ１、Ｒ２とともに抵抗ブリッジ回路が形
成され、発熱用抵抗体ＲHと抵抗Ｒ１との接続点と、温
度補償用抵抗体ＲTと抵抗Ｒ２との接続点はそれぞれ差
動増幅器（オペアンプ）ＯＰＡの入力端に接続され、差
動増幅器ＯＰＡの出力端はトランジスタＴｒ１のベース
に接続され、トランジスタＴｒ１のエミッタは抵抗Ｒ
１，Ｒ２の接続点に接続され、トランジスタＴｒ１のコ
レクタに電源電圧Ｖｃｃが印加されて構成されている。
定温度差法と称される基本回路構成を示す図である。こ
の流量センサは、流体の流路となる管２０内にセンサ素
子となる発熱用抵抗体ＲHと温度補償用抵抗体ＲTとが配
設され、抵抗Ｒ１、Ｒ２とともに抵抗ブリッジ回路が形
成され、発熱用抵抗体ＲHと抵抗Ｒ１との接続点と、温
度補償用抵抗体ＲTと抵抗Ｒ２との接続点はそれぞれ差
動増幅器（オペアンプ）ＯＰＡの入力端に接続され、差
動増幅器ＯＰＡの出力端はトランジスタＴｒ１のベース
に接続され、トランジスタＴｒ１のエミッタは抵抗Ｒ
１，Ｒ２の接続点に接続され、トランジスタＴｒ１のコ
レクタに電源電圧Ｖｃｃが印加されて構成されている。
【０００４】発熱用抵抗体ＲHは、流体の温度より一定
温度、たとえば自動車のエアーフローセンサでは２００
℃〜２５０℃、給湯器や空調機等の用途では２０℃〜３
０℃高くなるように加熱制御されており、温度補償用抵
抗体ＲTは、流体そのものの温度を検知し、流体温度の
影響を補償するためのものである。
温度、たとえば自動車のエアーフローセンサでは２００
℃〜２５０℃、給湯器や空調機等の用途では２０℃〜３
０℃高くなるように加熱制御されており、温度補償用抵
抗体ＲTは、流体そのものの温度を検知し、流体温度の
影響を補償するためのものである。
【０００５】流量の変化による発熱用抵抗体ＲHの放熱
量に応じた抵抗値の変化に対して、ブリッジ回路の平衡
状態を保つようにブリッジ回路への供給電流が変化し、
差動増幅器ＯＰＡの出力端には流量に応じた出力電圧Ｖ
oが出力される。
量に応じた抵抗値の変化に対して、ブリッジ回路の平衡
状態を保つようにブリッジ回路への供給電流が変化し、
差動増幅器ＯＰＡの出力端には流量に応じた出力電圧Ｖ
oが出力される。
【０００６】発熱用抵抗体ＲH及び温度補償用抵抗体ＲT
としては、アルミナ等の絶縁基板上に白金等の金属膜か
らなる抵抗パターンが形成された感温抵抗体が用いら
れ、上記ブリッジ回路及び差動増幅器等で構成される信
号処理回路が形成された回路基板にはんだ付け等により
取り付けられる。
としては、アルミナ等の絶縁基板上に白金等の金属膜か
らなる抵抗パターンが形成された感温抵抗体が用いら
れ、上記ブリッジ回路及び差動増幅器等で構成される信
号処理回路が形成された回路基板にはんだ付け等により
取り付けられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような流量センサ
においては、センサ素子である両抵抗体ＲH，ＲTは、常
に空気の流れの中にさらされており、使用しているうち
に、その表面に油、塵、埃等の異物が付着して、測定精
度が低下するという問題があった。特に、発熱用抵抗体
ＲHに異物が付着すると、発熱用抵抗体ＲHの空気への熱
伝達率、熱放射率及び発熱用抵抗体ＲHの熱容量が変化
し、流量の測定（検出）精度及び応答性が大幅に劣化す
るという問題があった。台所等で使用される給湯器、空
調機、換気扇等の用途に用いられる場合は、油分の異物
が付着やすく、これらの用途での異物付着に対する対策
が強く要求されている。
においては、センサ素子である両抵抗体ＲH，ＲTは、常
に空気の流れの中にさらされており、使用しているうち
に、その表面に油、塵、埃等の異物が付着して、測定精
度が低下するという問題があった。特に、発熱用抵抗体
ＲHに異物が付着すると、発熱用抵抗体ＲHの空気への熱
伝達率、熱放射率及び発熱用抵抗体ＲHの熱容量が変化
し、流量の測定（検出）精度及び応答性が大幅に劣化す
るという問題があった。台所等で使用される給湯器、空
調機、換気扇等の用途に用いられる場合は、油分の異物
が付着やすく、これらの用途での異物付着に対する対策
が強く要求されている。
【０００８】この異物付着の対策として発熱用抵抗体Ｒ
Hを常時２００℃〜２５０℃の高い温度に設定すれば、
異物付着はおこりにくくなるが、安全性への配慮が必要
となる、消費電力が大きくなる等の問題が生じ、さら
に、発熱用抵抗体ＲHの回路基板への取付部も高温にな
るため、発熱用抵抗体ＲHの取付（保持）方法に制約が
でき、センサー全体の小形化、低コスト化が困難である
という問題があった。
Hを常時２００℃〜２５０℃の高い温度に設定すれば、
異物付着はおこりにくくなるが、安全性への配慮が必要
となる、消費電力が大きくなる等の問題が生じ、さら
に、発熱用抵抗体ＲHの回路基板への取付部も高温にな
るため、発熱用抵抗体ＲHの取付（保持）方法に制約が
でき、センサー全体の小形化、低コスト化が困難である
という問題があった。
【０００９】そこで、本発明の目的は、周期的または所
望の時に発熱用抵抗体を高温に加熱することにより、発
熱用抵抗体に付着した異物を焼却除去する流量センサを
提供することにある。
望の時に発熱用抵抗体を高温に加熱することにより、発
熱用抵抗体に付着した異物を焼却除去する流量センサを
提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、絶縁基板上に薄膜抵抗パタ
ーンが形成された発熱用抵抗体及び温度補償用抵抗体と
を流体中に配設し、前記各抵抗体からの信号を処理する
信号処理回路とを備え、前記発熱用抵抗体の放熱を利用
して流体の流量を検知する流量センサにおいて、周期的
または所望の時に所定の時間、前記発熱用抵抗体に、直
接電源電圧を印加するスイッチング手段が設けられ、前
記発熱用抵抗体を３００℃〜５００℃に加熱することに
より、前記発熱用抵抗体に付着した異物を焼却除去する
ことを特徴とするものである。
に、請求項１に係る発明は、絶縁基板上に薄膜抵抗パタ
ーンが形成された発熱用抵抗体及び温度補償用抵抗体と
を流体中に配設し、前記各抵抗体からの信号を処理する
信号処理回路とを備え、前記発熱用抵抗体の放熱を利用
して流体の流量を検知する流量センサにおいて、周期的
または所望の時に所定の時間、前記発熱用抵抗体に、直
接電源電圧を印加するスイッチング手段が設けられ、前
記発熱用抵抗体を３００℃〜５００℃に加熱することに
より、前記発熱用抵抗体に付着した異物を焼却除去する
ことを特徴とするものである。
【００１１】請求項２に係る発明は、請求項１に係る流
量センサにおいて、 前記スイッチング手段がトランジ
スタで構成され、前記発熱用抵抗体が前記トランジスタ
を介して電源に接続されていることを特徴とするもので
ある。
量センサにおいて、 前記スイッチング手段がトランジ
スタで構成され、前記発熱用抵抗体が前記トランジスタ
を介して電源に接続されていることを特徴とするもので
ある。
【００１２】請求項３に係る発明は、請求項１または請
求項２に係る流量センサにおいて、前記発熱用抵抗体の
抵抗パターン形成部の長さが前記絶縁基板の長さの１／
３以下であることを特徴とするものである。
求項２に係る流量センサにおいて、前記発熱用抵抗体の
抵抗パターン形成部の長さが前記絶縁基板の長さの１／
３以下であることを特徴とするものである。
【００１３】なお、上記発熱抵抗体の異物焼却のための
加熱時は、流量の検出は行われない。
加熱時は、流量の検出は行われない。
【００１４】上記の構成によれば、発熱用抵抗体は３０
０℃〜５００℃の高温に加熱されるため、発熱用抵抗体
に付着した油等の異物を焼却除去することができる。こ
の加熱は周期的あるいは所望の時に短時間行われるだけ
であり、消費電力の増加を抑えることができるととも
に、その熱による他の部品及び部材へ影響は少なく、か
つ安全性が損なわれることもない。また、発熱用抵抗体
の取付部の温度上昇を抑えることができる。
０℃〜５００℃の高温に加熱されるため、発熱用抵抗体
に付着した油等の異物を焼却除去することができる。こ
の加熱は周期的あるいは所望の時に短時間行われるだけ
であり、消費電力の増加を抑えることができるととも
に、その熱による他の部品及び部材へ影響は少なく、か
つ安全性が損なわれることもない。また、発熱用抵抗体
の取付部の温度上昇を抑えることができる。
【００１５】また、発熱用抵抗体の抵抗パターン形成部
の長さを絶縁基板の長さの１／３以下とすることによ
り、取付部の温度をはんだが溶融しない温度以下に抑え
ることが可能となる。
の長さを絶縁基板の長さの１／３以下とすることによ
り、取付部の温度をはんだが溶融しない温度以下に抑え
ることが可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施例を示す
図面に基づいて説明する。以下の図において、従来例と
同一または同一機能のものについては同一符号を付し、
その説明を省略する。
図面に基づいて説明する。以下の図において、従来例と
同一または同一機能のものについては同一符号を付し、
その説明を省略する。
【００１７】図１は本発明の一実施例に係る流量センサ
の回路図である。本実施例の流量センサは、図１に示す
ように、従来例の図４で説明した基本回路にスイッチン
グ用のトランジスタＴｒ２を付加して構成されている。
具体的には、抵抗ブリッジ回路の発熱用抵抗体ＲHと抵
抗Ｒ１の接続点にトランジスタＴｒ２のコレクタが接続
され、トランジスタＴｒ２のエミッタは電源Ｖｃｃに接
続され、トランジスタＴｒ２のベースは信号入力端ａに
接続され、信号入力端ａに印加されるパルス信号Ｐｓに
より、トランジスタＴｒ２がＯＮ／ＯＦＦするように構
成されている。
の回路図である。本実施例の流量センサは、図１に示す
ように、従来例の図４で説明した基本回路にスイッチン
グ用のトランジスタＴｒ２を付加して構成されている。
具体的には、抵抗ブリッジ回路の発熱用抵抗体ＲHと抵
抗Ｒ１の接続点にトランジスタＴｒ２のコレクタが接続
され、トランジスタＴｒ２のエミッタは電源Ｖｃｃに接
続され、トランジスタＴｒ２のベースは信号入力端ａに
接続され、信号入力端ａに印加されるパルス信号Ｐｓに
より、トランジスタＴｒ２がＯＮ／ＯＦＦするように構
成されている。
【００１８】すなわち、本実施例の流量センサでは、発
熱用抵抗体ＲHには、流量を検出するための信号処理回
路の電源電圧Ｖｃｃとは別にトランジスタＴｒ２を介し
て電源電圧Ｖｃｃが直接印加され、トランジスタＴｒ２
のベースにパルス信号Ｐｓが入力された時に、パルス信
号Ｐｓのパルス幅の時間だけ発熱用抵抗体ＲHを高温に
加熱するように構成されている。
熱用抵抗体ＲHには、流量を検出するための信号処理回
路の電源電圧Ｖｃｃとは別にトランジスタＴｒ２を介し
て電源電圧Ｖｃｃが直接印加され、トランジスタＴｒ２
のベースにパルス信号Ｐｓが入力された時に、パルス信
号Ｐｓのパルス幅の時間だけ発熱用抵抗体ＲHを高温に
加熱するように構成されている。
【００１９】そして、この加熱により、発熱用抵抗体Ｒ
Hの抵抗パターン部に付着した油分、塵、埃等の異物は
焼却除去される。上記パルス信号Ｐｓのパルス幅すなわ
ち加熱時間は、使用される場所、付着する異物の種類を
考慮して、発熱用抵抗体ＲHの抵抗パターン形成部の温
度が付着した異物を焼却して飛散させることができる温
度３００℃〜５００℃の範囲に設定される。
Hの抵抗パターン部に付着した油分、塵、埃等の異物は
焼却除去される。上記パルス信号Ｐｓのパルス幅すなわ
ち加熱時間は、使用される場所、付着する異物の種類を
考慮して、発熱用抵抗体ＲHの抵抗パターン形成部の温
度が付着した異物を焼却して飛散させることができる温
度３００℃〜５００℃の範囲に設定される。
【００２０】パルス信号Ｐｓの印加は、１日〜数日に一
回の周期でに自動的に、あるいは所望の時に手動で行わ
れる。すなわち、異物焼却の周期は使用環境に応じて設
定され、多量の異物の無機塵埃化により８００℃まで焼
却温度を上昇させないと除去できない事態を回避する。
回の周期でに自動的に、あるいは所望の時に手動で行わ
れる。すなわち、異物焼却の周期は使用環境に応じて設
定され、多量の異物の無機塵埃化により８００℃まで焼
却温度を上昇させないと除去できない事態を回避する。
【００２１】パルス信号Ｐｓの波形は矩形状に限定され
るものではなく、トランジスタＴｒ２のベースにトラン
ジスタをＯＮ状態とする０．６〜０．７Ｖ以上の電圧が
所定の時間印加されるような波形であればよい。
るものではなく、トランジスタＴｒ２のベースにトラン
ジスタをＯＮ状態とする０．６〜０．７Ｖ以上の電圧が
所定の時間印加されるような波形であればよい。
【００２２】次に、上記回路構成を具現化した流量セン
サ及び発熱用抵抗体ＲHの構造を図２及び図３に示す。
サ及び発熱用抵抗体ＲHの構造を図２及び図３に示す。
【００２３】図２に示すように、この流量センサは、縦
長の窓部２が形成された回路基板１、窓部２を跨ぐよう
に実装された発熱用抵抗体ＲH及び温度補償用抵抗体Ｒ
T、回路基板１上に配設された差動増幅器４、電流増幅
用のトランジスタ５、ブリッジ回路等を構成する抵抗
（チップ抵抗）６・・、スイッチング用のトランジスタ
７及び入出力端子８・・を備えて構成されている。複数
の抵抗６のうち２つが図１に示す回路のＲ１，Ｒ２に対
応するのものであり、実際の回路においては、温度調整
用や出力オフセット調整用の抵抗等が付加される。発熱
用抵抗体ＲHと温度補償用抵抗体ＲTとは所望の熱分離を
得るために、窓部２を跨ぐようにかつ所定の距離をおい
てはんだ付けされ、実装強度を高めるためにはんだ付部
を覆うようにエポキシ樹脂等の補強材９が塗布されてい
る。
長の窓部２が形成された回路基板１、窓部２を跨ぐよう
に実装された発熱用抵抗体ＲH及び温度補償用抵抗体Ｒ
T、回路基板１上に配設された差動増幅器４、電流増幅
用のトランジスタ５、ブリッジ回路等を構成する抵抗
（チップ抵抗）６・・、スイッチング用のトランジスタ
７及び入出力端子８・・を備えて構成されている。複数
の抵抗６のうち２つが図１に示す回路のＲ１，Ｒ２に対
応するのものであり、実際の回路においては、温度調整
用や出力オフセット調整用の抵抗等が付加される。発熱
用抵抗体ＲHと温度補償用抵抗体ＲTとは所望の熱分離を
得るために、窓部２を跨ぐようにかつ所定の距離をおい
てはんだ付けされ、実装強度を高めるためにはんだ付部
を覆うようにエポキシ樹脂等の補強材９が塗布されてい
る。
【００２４】発熱用抵抗体ＲH及び温度補償用抵抗体ＲT
は、図３に示すように、アルミナ等の長方形の絶縁基板
１１上に白金等の金属膜からなる抵抗パターン１４が形
成され、取付部となる絶縁基板１１の両端側であって、
抵抗パターン１４の回路上での両端部に端子電極１５、
１５が形成され、チップ型の感温抵抗体として構成され
ている。抵抗パターン１４は絶縁基板１１の長手方向の
中央部の金属膜１２をエッチング、レーザートリマー等
で削除して溝１３を形成することにより形成されてい
る。
は、図３に示すように、アルミナ等の長方形の絶縁基板
１１上に白金等の金属膜からなる抵抗パターン１４が形
成され、取付部となる絶縁基板１１の両端側であって、
抵抗パターン１４の回路上での両端部に端子電極１５、
１５が形成され、チップ型の感温抵抗体として構成され
ている。抵抗パターン１４は絶縁基板１１の長手方向の
中央部の金属膜１２をエッチング、レーザートリマー等
で削除して溝１３を形成することにより形成されてい
る。
【００２５】発熱用抵抗体ＲHの抵抗パターン形成部の
長さＡは絶縁基板１１の長さＢの１／３以下となるよう
に形成されている。絶縁基板１１の厚み０．１５ｍｍ〜
０．３ｍｍ、長さ２．０ｍｍ〜３．０ｍｍ、抵抗約１０
Ωの上記構成の発熱用抵抗体ＲHを用いて実験した結
果、電源電圧ＶｃｃＤＣ５．０Ｖを約１分間〜２分間印
加して、抵抗パターン形成部の温度を３００℃〜５００
℃に加熱した場合、端子電極１５の形成部すなわち取付
部の温度をはんだの融点である約１８０℃以下に抑えら
れることが確認できた。
長さＡは絶縁基板１１の長さＢの１／３以下となるよう
に形成されている。絶縁基板１１の厚み０．１５ｍｍ〜
０．３ｍｍ、長さ２．０ｍｍ〜３．０ｍｍ、抵抗約１０
Ωの上記構成の発熱用抵抗体ＲHを用いて実験した結
果、電源電圧ＶｃｃＤＣ５．０Ｖを約１分間〜２分間印
加して、抵抗パターン形成部の温度を３００℃〜５００
℃に加熱した場合、端子電極１５の形成部すなわち取付
部の温度をはんだの融点である約１８０℃以下に抑えら
れることが確認できた。
【００２６】上記の構成においては、発熱用抵抗体ＲH
に付着した異物焼却除去の加熱は周期的あるいは所望の
時に短時間（数十秒〜数分）行われるだけであり、消費
電力の増加を抑えることができるとともに、その熱によ
る他の部品及び部材へ影響は少なくかつ安全性が損なわ
れることもない。
に付着した異物焼却除去の加熱は周期的あるいは所望の
時に短時間（数十秒〜数分）行われるだけであり、消費
電力の増加を抑えることができるとともに、その熱によ
る他の部品及び部材へ影響は少なくかつ安全性が損なわ
れることもない。
【００２７】また、発熱用抵抗体ＲHの抵抗パターン形
成部の長さＡを絶縁基板１１の長さＢの１／３以下とす
ることにより、取付部の温度の温度上昇を抑え、はんだ
の溶融や補強剤９の劣化が防止される。
成部の長さＡを絶縁基板１１の長さＢの１／３以下とす
ることにより、取付部の温度の温度上昇を抑え、はんだ
の溶融や補強剤９の劣化が防止される。
【００２８】なお、上記実施例の発熱用抵抗体ＲHにお
いては、端子電極１５は絶縁基板の両端部に配置されて
いるが、これに限るものではなく、絶縁基板１１の一方
側に配置したものでもよい。この場合は、取付部の温度
をより低く抑えることができる。
いては、端子電極１５は絶縁基板の両端部に配置されて
いるが、これに限るものではなく、絶縁基板１１の一方
側に配置したものでもよい。この場合は、取付部の温度
をより低く抑えることができる。
【００２９】また、ブリッジ回路及び差動増幅器で構成
される信号処理回路も上記実施例に限定されるものでは
ない。
される信号処理回路も上記実施例に限定されるものでは
ない。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る流量
センサによれば、発熱用抵抗体は３００℃〜５００℃の
高温に加熱され、発熱用抵抗体に付着した油等の異物を
焼却除去することができるので、発熱用抵抗体への異物
付着による流量検出精度の劣化を防止することができ
る。
センサによれば、発熱用抵抗体は３００℃〜５００℃の
高温に加熱され、発熱用抵抗体に付着した油等の異物を
焼却除去することができるので、発熱用抵抗体への異物
付着による流量検出精度の劣化を防止することができ
る。
【００３１】この加熱は周期的あるいは所望の時に短時
間行われるだけであり、消費電力の増加を抑えることが
できるとともに、その熱による他の部品及び部材へ影響
は少なくかつ安全性が損なわれることもない。また、発
熱用抵抗体の取付部の温度上昇を抑えることができる。
間行われるだけであり、消費電力の増加を抑えることが
できるとともに、その熱による他の部品及び部材へ影響
は少なくかつ安全性が損なわれることもない。また、発
熱用抵抗体の取付部の温度上昇を抑えることができる。
【００３２】さらに、発熱用抵抗体の抵抗パターン形成
部の長さを絶縁基板の長さの１／３以下とすることによ
り、取付部の温度をはんだが溶融しない温度以下に抑え
ることができる。
部の長さを絶縁基板の長さの１／３以下とすることによ
り、取付部の温度をはんだが溶融しない温度以下に抑え
ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る流量センサの回路図で
ある。
ある。
【図２】図１に示す回路の流量センサの平面図である。
【図３】本発明に用いられる発熱用抵抗体の一実施例を
示す斜示図である。
示す斜示図である。
【図４】従来の流量センサの回路図である。
１ 回路基板 ２ 窓部 ＲH 発熱用抵抗体 ＲT 温度補償用抵抗体 ４、ＯＰＡ 差動増幅器 ５，Ｔｒ１ トランジスタ ６，Ｒ１，Ｒ２ 抵抗 ７，Ｔｒ２ スイッチング用トランジスタ ８ 入出力端子 ９ 補強剤 １１ 絶縁基板 １２ 金属膜 １３ 溝 １４ 抵抗パターン １５ 端子電極 Ｖｃｃ 電源（電圧） Ｐｓ パルス信号
Claims (3)
- 【請求項１】 絶縁基板上に薄膜抵抗パターンが形成さ
れた発熱用抵抗体及び温度補償用抵抗体とを流体中に配
設し、前記各抵抗体からの信号を処理する信号処理回路
とを備え、前記発熱用抵抗体の放熱を利用して流体の流
量を検知する流量センサにおいて、 周期的または所望の時に所定の時間、前記発熱用抵抗体
に、直接電源電圧を印加するスイッチング手段が設けら
れ、前記発熱用抵抗体を３００℃〜５００℃に加熱する
ことにより、前記発熱用抵抗体に付着した異物を焼却除
去することを特徴とする流量センサ。 - 【請求項２】 前記スイッチング手段がトランジスタで
構成され、前記発熱用抵抗体が前記トランジスタを介し
て電源に接続されていることを特徴とする請求項１に記
載の流量センサ。 - 【請求項３】 前記発熱用抵抗体の抵抗パターン形成部
の長さが前記絶縁基板の長さの１／３以下であることを
特徴とする請求項１または請求項２に記載の流量セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8025547A JPH09218066A (ja) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | 流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8025547A JPH09218066A (ja) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | 流量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09218066A true JPH09218066A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=12169006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8025547A Pending JPH09218066A (ja) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | 流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09218066A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006502392A (ja) * | 2002-10-07 | 2006-01-19 | ワグナー アラーム− ウント ジッヒャルンクスシャテム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 流体のフローパラメータ決定装置およびその動作方法 |
| JP2006300805A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Yokogawa Electric Corp | フローセンサと赤外線ガス分析計 |
| JP2007057404A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Yokogawa Electric Corp | 赤外線ガス分析計 |
-
1996
- 1996-02-13 JP JP8025547A patent/JPH09218066A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006502392A (ja) * | 2002-10-07 | 2006-01-19 | ワグナー アラーム− ウント ジッヒャルンクスシャテム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 流体のフローパラメータ決定装置およびその動作方法 |
| JP2006300805A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Yokogawa Electric Corp | フローセンサと赤外線ガス分析計 |
| JP2007057404A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Yokogawa Electric Corp | 赤外線ガス分析計 |
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