JPH0921622A - 検査システムのノイズの影響を最小化するゾーン解析方法 - Google Patents
検査システムのノイズの影響を最小化するゾーン解析方法Info
- Publication number
- JPH0921622A JPH0921622A JP8172001A JP17200196A JPH0921622A JP H0921622 A JPH0921622 A JP H0921622A JP 8172001 A JP8172001 A JP 8172001A JP 17200196 A JP17200196 A JP 17200196A JP H0921622 A JPH0921622 A JP H0921622A
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- Japan
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- zone
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- interference fringes
- optical fiber
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 2つの表面の不連続を測定する検査システム
において、ノイズの影響を最小にし、測定速度を最適に
するゾーン解析システムと方法を提供する。 【解決手段】 本発明のゾーン解析システムと方法21
1は、どちらかが突出しているような2つの表面(光フ
ァイバ26とその光ファイバの周囲材料36)の不連続
を無接触で測定する自動検査システム90で実現され
る。本発明の自動検査システム90は、不連続を決定す
るために画像内の対象物25′の干渉縞113′のオフ
セット(ずれ)を測定する。本発明の校正の検査システ
ム90は、不連続の程度を決定するために機械監視シス
テム92により制御される干渉計98を有する測定装置
91を有する。
において、ノイズの影響を最小にし、測定速度を最適に
するゾーン解析システムと方法を提供する。 【解決手段】 本発明のゾーン解析システムと方法21
1は、どちらかが突出しているような2つの表面(光フ
ァイバ26とその光ファイバの周囲材料36)の不連続
を無接触で測定する自動検査システム90で実現され
る。本発明の自動検査システム90は、不連続を決定す
るために画像内の対象物25′の干渉縞113′のオフ
セット(ずれ)を測定する。本発明の校正の検査システ
ム90は、不連続の程度を決定するために機械監視シス
テム92により制御される干渉計98を有する測定装置
91を有する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は一般的には測定装
置、試験装置及び品質管理装置に関し、特に、2面間の
隔たり即ち不連続の程度を非接触で測定する自動検査装
置及び方法に関する。本装置及び方法は特に光ファイバ
終端装置の端面における包囲支持材料に対する光ファイ
バの陥入或いは突出の幅を非接触で測定するのに適する
が、それに限定されるものではない。
置、試験装置及び品質管理装置に関し、特に、2面間の
隔たり即ち不連続の程度を非接触で測定する自動検査装
置及び方法に関する。本装置及び方法は特に光ファイバ
終端装置の端面における包囲支持材料に対する光ファイ
バの陥入或いは突出の幅を非接触で測定するのに適する
が、それに限定されるものではない。
【0002】
【従来の技術】通信に使用される光ファイバは、コア及
び該コアを同軸的に包囲するクラッド 〔発明の名称〕 干渉縞を画像の目標物の上に配置する
自動オートフォーカスシステムと方法とを包含する。そ
のような光ファイバが約125μm(10-6m)の外径
を有し、且つ代表的なコアの径が20乃至50μmであ
ることを考えると、2本の光ファイバをそれらのコア同
士が整列するように接続することはうんざりする仕事で
ある。光ファイバ間にそのような精密な接続を確立する
ために、幾つかの異なるコネクタ構成が開発されてい
る。
び該コアを同軸的に包囲するクラッド 〔発明の名称〕 干渉縞を画像の目標物の上に配置する
自動オートフォーカスシステムと方法とを包含する。そ
のような光ファイバが約125μm(10-6m)の外径
を有し、且つ代表的なコアの径が20乃至50μmであ
ることを考えると、2本の光ファイバをそれらのコア同
士が整列するように接続することはうんざりする仕事で
ある。光ファイバ間にそのような精密な接続を確立する
ために、幾つかの異なるコネクタ構成が開発されてい
る。
【0003】その1つの既知のコネクタ構成は双円錐コ
ネクタと呼ばれている。双円錐コネクタの一例は Lyons
らの米国特許第4,787,698号に図示及び記載
がなされている。このコネクタは2個の、各々が光ファ
イバを終端し、且つそれらが各々円錐状端面を有するプ
ラグを保持するための装置を包含している。その光ファ
イバはプラグの端面から伸びているペデスタル内で終端
している。2個のプラグはハウジング内にマウントされ
ているスリーブの両端に受容されている。そのスリーブ
は、それらプラグを受容し、且つ、光ファイバの端面を
互いに係合させ且つそれら光ファイバを精密に整列させ
るようにな方法でそれらプラグと対向する、円錐形キャ
ビティを包含している。
ネクタと呼ばれている。双円錐コネクタの一例は Lyons
らの米国特許第4,787,698号に図示及び記載
がなされている。このコネクタは2個の、各々が光ファ
イバを終端し、且つそれらが各々円錐状端面を有するプ
ラグを保持するための装置を包含している。その光ファ
イバはプラグの端面から伸びているペデスタル内で終端
している。2個のプラグはハウジング内にマウントされ
ているスリーブの両端に受容されている。そのスリーブ
は、それらプラグを受容し、且つ、光ファイバの端面を
互いに係合させ且つそれら光ファイバを精密に整列させ
るようにな方法でそれらプラグと対向する、円錐形キャ
ビティを包含している。
【0004】光ファイバ間の接続を確立するためのもう
1つの既知のコネクタ構成はフェルール型コネクタと呼
ばれている。フェルール型コネクタの一例は Palmquist
の米国特許第4,738,508号と第4,738,
507号との双方に図示及び記載がなされている。この
フェルール型コネクタはその各端部にプラグ受容筒状部
を有するカプラを包含している。各筒状部には長手方向
軸が具備されている。上記カプラ内にはスリーブが浮設
され、このスリーブが2個のプラグを同軸に受容するよ
うに適用され、それら各プラグは光ファイバを終端する
ように適用されている。各プラグは光ファイバを受容す
るためのそのプラグを長手方向に貫通して伸びる通路を
有し、そのプラグから径方向に突出する位置合せピンを
有するコネクタ体内にマウントされている。そのコネク
タ体がカプラの筒状部内に受容されるとき、上記位置合
せピンは筒状部に沿って伸びているスロット内に受容さ
れる。
1つの既知のコネクタ構成はフェルール型コネクタと呼
ばれている。フェルール型コネクタの一例は Palmquist
の米国特許第4,738,508号と第4,738,
507号との双方に図示及び記載がなされている。この
フェルール型コネクタはその各端部にプラグ受容筒状部
を有するカプラを包含している。各筒状部には長手方向
軸が具備されている。上記カプラ内にはスリーブが浮設
され、このスリーブが2個のプラグを同軸に受容するよ
うに適用され、それら各プラグは光ファイバを終端する
ように適用されている。各プラグは光ファイバを受容す
るためのそのプラグを長手方向に貫通して伸びる通路を
有し、そのプラグから径方向に突出する位置合せピンを
有するコネクタ体内にマウントされている。そのコネク
タ体がカプラの筒状部内に受容されるとき、上記位置合
せピンは筒状部に沿って伸びているスロット内に受容さ
れる。
【0005】上記コネクタの双方においては、別個の光
ファイバ終端装置の端面が接続構造によって結合されて
いる。更に、最適特性を可能にするため、上記接続構造
は、コアとクラッドとが実質的に連続的となり、且つ整
列されるように上記終端端面同士を結合させる必要があ
る。カップラー装置を用い、このような方法で光ファイ
バ終端装置を結合するために、終端端面は代表的には光
ファイバ(即ち、コア及びクラッド)包囲終端支持材を
包含しており、実質的に連続的に湾曲されるか或いは球
面湾曲を示す必要がある。この構成を達成するために、
終端端面は代表的には研磨によって加工されている。
ファイバ終端装置の端面が接続構造によって結合されて
いる。更に、最適特性を可能にするため、上記接続構造
は、コアとクラッドとが実質的に連続的となり、且つ整
列されるように上記終端端面同士を結合させる必要があ
る。カップラー装置を用い、このような方法で光ファイ
バ終端装置を結合するために、終端端面は代表的には光
ファイバ(即ち、コア及びクラッド)包囲終端支持材を
包含しており、実質的に連続的に湾曲されるか或いは球
面湾曲を示す必要がある。この構成を達成するために、
終端端面は代表的には研磨によって加工されている。
【0006】もし光ファイバが包囲終端支持材内に引っ
込んでいる場合、その終端端面は「陥入」と呼ばれる。
この状況では、終端端面同士がカップラー装置によって
結合された後では、信号がカップラー装置を横切るとき
この信号がエア・ギャップを横切らなければならないた
め、動作中に反射が生じる。対照的に、光ファイバが包
囲終端支持材から突出するとき、その光ファイバはカッ
プラー装置によって結合されるときの変動的なダメージ
に敏感である。
込んでいる場合、その終端端面は「陥入」と呼ばれる。
この状況では、終端端面同士がカップラー装置によって
結合された後では、信号がカップラー装置を横切るとき
この信号がエア・ギャップを横切らなければならないた
め、動作中に反射が生じる。対照的に、光ファイバが包
囲終端支持材から突出するとき、その光ファイバはカッ
プラー装置によって結合されるときの変動的なダメージ
に敏感である。
【0007】終端装置の陥入或いは突出の量は光学干渉
計に設置されているマイクロスコープを介して終端端面
を成される視認検査によって手動的に判定することが可
能である。しかし、この技術では陥入/突出を精密に且
つ迅速に定量する方法が無い。更に、視認検査は終了に
達するまでに不適確な長時間が必要である。
計に設置されているマイクロスコープを介して終端端面
を成される視認検査によって手動的に判定することが可
能である。しかし、この技術では陥入/突出を精密に且
つ迅速に定量する方法が無い。更に、視認検査は終了に
達するまでに不適確な長時間が必要である。
【0008】陥入/突出の程度を判定するためのもう1
つの既知の技術は、終端端面の3次元(3D)面画像モ
デルの構成に関する。3D面画像モデルが構成された
後、陥入/突出の幅がその画像をディスプレィ上で視認
で検査し、且つ、評価及び計算を行うことによって判定
される。上述の方法を実行するための市販の装置の一例
には米国の WYKO社製の WYKO位置測定装置が指
名されている。しかし、この技術は3D面画像モデルを
構成するために多数の画像面のサンプリング及び測定を
必要とし、その結果、やはり時間が掛かる計算上綿密な
動作になる。事実、この3D画像モデルは代表的に生成
するまでに数分間の時間が掛かる。
つの既知の技術は、終端端面の3次元(3D)面画像モ
デルの構成に関する。3D面画像モデルが構成された
後、陥入/突出の幅がその画像をディスプレィ上で視認
で検査し、且つ、評価及び計算を行うことによって判定
される。上述の方法を実行するための市販の装置の一例
には米国の WYKO社製の WYKO位置測定装置が指
名されている。しかし、この技術は3D面画像モデルを
構成するために多数の画像面のサンプリング及び測定を
必要とし、その結果、やはり時間が掛かる計算上綿密な
動作になる。事実、この3D画像モデルは代表的に生成
するまでに数分間の時間が掛かる。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、要するに、2
面間の隔たりまたは不連続の程度を非接触で、極めて正
確に、且つ、高い信頼性を持ち、所要コストを低く抑
え、最小限の時間で、完全に自動的に行う自動検査装置
及び方法を提供することを目的とする。本発明の検査装
置及び方法は特に、光ファイバ終端装置における包囲支
持材料に対する光ファイバの陥入または突出の程度を測
定するのに適しているが、それに限定されるものではな
い。
面間の隔たりまたは不連続の程度を非接触で、極めて正
確に、且つ、高い信頼性を持ち、所要コストを低く抑
え、最小限の時間で、完全に自動的に行う自動検査装置
及び方法を提供することを目的とする。本発明の検査装
置及び方法は特に、光ファイバ終端装置における包囲支
持材料に対する光ファイバの陥入または突出の程度を測
定するのに適しているが、それに限定されるものではな
い。
【0010】本発明の検査方法は通常次のステップ、即
ち、第1及び第2の面をそれぞれ表す第1及び第2の画
像領域に重ね合わされた干渉縞を有するそれら第1及び
第2の面の画像を生成するステップと、前記第1及び第
2画像領域の間の前記干渉縞のオフセットに基づいて前
記第1及び第2の面の間の隔たりを判定するステップと
から構成される。
ち、第1及び第2の面をそれぞれ表す第1及び第2の画
像領域に重ね合わされた干渉縞を有するそれら第1及び
第2の面の画像を生成するステップと、前記第1及び第
2画像領域の間の前記干渉縞のオフセットに基づいて前
記第1及び第2の面の間の隔たりを判定するステップと
から構成される。
【0011】上記方法を実行するために、自動検査シス
テムが具備される。この自動検査システムは、測定され
るターゲットの面に対して或る角度Φ(好ましくは3
°)で配置された干渉計を具備する。この角度Φのせい
で、上記面が干渉計に配置されるとき、干渉計によって
捕捉された画像に或る干渉縞が重ね合わされる。カメラ
が、上記画像を捕捉し且つ符号化するために上記干渉計
に接続される。そのカメラに接続された機械視覚システ
ムが上記画像を受信し、第1の面上の第1の領域内の上
記干渉縞と第2の面上の第2の領域内の上記干渉縞との
間のオフセットを測定し、更に、そのオフセットに基づ
いてそれら面間の隔たりを判定する。最後に、ディスプ
レィのような、上記機械視覚装置によって制御される出
力装置が上記画像に関する隔たり情報をユーザへ知らせ
る。
テムが具備される。この自動検査システムは、測定され
るターゲットの面に対して或る角度Φ(好ましくは3
°)で配置された干渉計を具備する。この角度Φのせい
で、上記面が干渉計に配置されるとき、干渉計によって
捕捉された画像に或る干渉縞が重ね合わされる。カメラ
が、上記画像を捕捉し且つ符号化するために上記干渉計
に接続される。そのカメラに接続された機械視覚システ
ムが上記画像を受信し、第1の面上の第1の領域内の上
記干渉縞と第2の面上の第2の領域内の上記干渉縞との
間のオフセットを測定し、更に、そのオフセットに基づ
いてそれら面間の隔たりを判定する。最後に、ディスプ
レィのような、上記機械視覚装置によって制御される出
力装置が上記画像に関する隔たり情報をユーザへ知らせ
る。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の検査装置及び方法は、特
定の用途に限定されるものではないが、特に、光ファイ
バ終端装置、例えば双円錐終端装置またはフェルール終
端装置に関連する隣接包囲型終端プラグに対する光ファ
イバの陥入/突出の量を判定するのに適している。明確
化のため、フェルール終端装置に関連するフェルール型
コネクタを図面に示し、且つ、以下において説明する。
なお、以下に記述されるフェルール型コネクタは詳細に
は Pulmquist の米国特許第4,738,508号と米
国特許第4,738,507号とに開示されている。
定の用途に限定されるものではないが、特に、光ファイ
バ終端装置、例えば双円錐終端装置またはフェルール終
端装置に関連する隣接包囲型終端プラグに対する光ファ
イバの陥入/突出の量を判定するのに適している。明確
化のため、フェルール終端装置に関連するフェルール型
コネクタを図面に示し、且つ、以下において説明する。
なお、以下に記述されるフェルール型コネクタは詳細に
は Pulmquist の米国特許第4,738,508号と米
国特許第4,738,507号とに開示されている。
【0013】I.フェルール型コネクタ:図1乃至図3
に、2本の光ファイバ・ケーブル22、24を相互に結
合するための光ファイバ・コネクタ21を示す。図1B
及び図1Cに示されるように、光ファイバ・ケーブル2
2、24は各々、ファイバ・コア25と被覆28中に包
含されたクラッド27とを有し、且つ、周囲に押し出し
成型された通常では塩化ポリビニール(PVC)材質の
チューブ31を有する1本の光ファイバ26を包含して
いる。チューブ31はしばしば例えば Kevlar(登録商
標)光ファイバ材料から成る補強部材33、及びPVC
で構成し得る外被35で被覆されている。
に、2本の光ファイバ・ケーブル22、24を相互に結
合するための光ファイバ・コネクタ21を示す。図1B
及び図1Cに示されるように、光ファイバ・ケーブル2
2、24は各々、ファイバ・コア25と被覆28中に包
含されたクラッド27とを有し、且つ、周囲に押し出し
成型された通常では塩化ポリビニール(PVC)材質の
チューブ31を有する1本の光ファイバ26を包含して
いる。チューブ31はしばしば例えば Kevlar(登録商
標)光ファイバ材料から成る補強部材33、及びPVC
で構成し得る外被35で被覆されている。
【0014】図1及び図2から分かるように、光ファイ
バ・コネクタ21は2個の終端部37を具備している。
この光ファイバ・コネクタ21はそれら終端部37の長
手軸38が同軸である。光ファイバ26の端部には光フ
ァイバ終端装置、即ち通路41(図3参照)を有し、代
表的にはセラミック材料で作成されているプラグ36が
付設されている。このプラグ36は約2500mmの外径
を有する。プラグ36の端面39には通路41の開口が
形成されている。
バ・コネクタ21は2個の終端部37を具備している。
この光ファイバ・コネクタ21はそれら終端部37の長
手軸38が同軸である。光ファイバ26の端部には光フ
ァイバ終端装置、即ち通路41(図3参照)を有し、代
表的にはセラミック材料で作成されているプラグ36が
付設されている。このプラグ36は約2500mmの外径
を有する。プラグ36の端面39には通路41の開口が
形成されている。
【0015】チューブ31、補強部材33及び外被35
と同様に、被覆28もまたそれがプラグ36で終端され
る前に光ファイバ26の端部から除去される。次に、光
ファイバ26の端部がプラグ36の通路41に挿入さ
れ、光ファイバ26の端面位置がプラグ36の端面39
を僅か越えた位置へ延伸される。裸の光ファイバ26は
約125mmの外径を有し、その一方で通路41の径は約
127mmである。次に、光ファイバ26の端部がプラグ
36の通路41内に固定され、光ファイバ26の端面と
プラグ36の端面39とが研磨される。
と同様に、被覆28もまたそれがプラグ36で終端され
る前に光ファイバ26の端部から除去される。次に、光
ファイバ26の端部がプラグ36の通路41に挿入さ
れ、光ファイバ26の端面位置がプラグ36の端面39
を僅か越えた位置へ延伸される。裸の光ファイバ26は
約125mmの外径を有し、その一方で通路41の径は約
127mmである。次に、光ファイバ26の端部がプラグ
36の通路41内に固定され、光ファイバ26の端面と
プラグ36の端面39とが研磨される。
【0016】各終端装置はまた、代表的にはプラスチッ
ク材料或いは金属材料で成るコネクタ・ボディ42、圧
縮スプリング44、及び金属材料で成る筒状ハウジング
45を包含する。図面から分かるように、プラグ36、
コネクタ・ボディ42及び筒状ハウジング45は各々円
筒断面を有している。コネクタ・ボディ42は、本発明
に従い無数の位置のどこかで設置することが可能な、長
手軸38から径方向に突出する別個の定位ピン43を包
含している。
ク材料或いは金属材料で成るコネクタ・ボディ42、圧
縮スプリング44、及び金属材料で成る筒状ハウジング
45を包含する。図面から分かるように、プラグ36、
コネクタ・ボディ42及び筒状ハウジング45は各々円
筒断面を有している。コネクタ・ボディ42は、本発明
に従い無数の位置のどこかで設置することが可能な、長
手軸38から径方向に突出する別個の定位ピン43を包
含している。
【0017】コネクタ・ボディ42は、開口部47を通
り筒状ハウジング45内に配置されたカラー48内に伸
びる小径部46(図2参照)を包含している。小径部4
6はカラー48の外部で抑えワッシャ49によって固定
されている。コネクタ・ボディ42の小径部46の周り
にはカラー48と大径部51との間で圧縮スプリング4
4が配置されている。このような構成の結果、圧縮スプ
リング44はコネクタ・ボディ42を光ファイバ・ケー
ブル22から外方向に付勢してコネクタ・ボディ42を
筒状ハウジング45中に保持せしめる。
り筒状ハウジング45内に配置されたカラー48内に伸
びる小径部46(図2参照)を包含している。小径部4
6はカラー48の外部で抑えワッシャ49によって固定
されている。コネクタ・ボディ42の小径部46の周り
にはカラー48と大径部51との間で圧縮スプリング4
4が配置されている。このような構成の結果、圧縮スプ
リング44はコネクタ・ボディ42を光ファイバ・ケー
ブル22から外方向に付勢してコネクタ・ボディ42を
筒状ハウジング45中に保持せしめる。
【0018】再び、図1から分かるように、筒状ハウジ
ング45は長手方向に伸びるスロット55を包含し、そ
の内部端縁は周方向に伸びるスロット57と通じてい
る。スロット57はこのスロット57を画定する筒状ハ
ウジング45の筒状壁部が掛け留め突起58を包含する
ように形成されている。これらのスロット55、57は
終端部37を光ファイバ・コネクタ21の他の個所に固
定させるために使用されている。
ング45は長手方向に伸びるスロット55を包含し、そ
の内部端縁は周方向に伸びるスロット57と通じてい
る。スロット57はこのスロット57を画定する筒状ハ
ウジング45の筒状壁部が掛け留め突起58を包含する
ように形成されている。これらのスロット55、57は
終端部37を光ファイバ・コネクタ21の他の個所に固
定させるために使用されている。
【0019】終端部37は、筒状ハウジング45から光
ファイバ・ケーブル22に沿いそれが光ファイバ・ケー
ブル22の概略断面を呈するまで円錐形構成で伸びる部
分59で完結している。光ファイバ・コネクタ21の上
記円錐状部分59は終端部37に抗張力を具備し、光フ
ァイバ26に不当なストレスが加えられること無しに、
光ファイバ・ケーブル22が他のケーブルと相互接続さ
れた後の使用中の反復曲げ運動に確実に耐えることがで
きるようにしている。
ファイバ・ケーブル22に沿いそれが光ファイバ・ケー
ブル22の概略断面を呈するまで円錐形構成で伸びる部
分59で完結している。光ファイバ・コネクタ21の上
記円錐状部分59は終端部37に抗張力を具備し、光フ
ァイバ26に不当なストレスが加えられること無しに、
光ファイバ・ケーブル22が他のケーブルと相互接続さ
れた後の使用中の反復曲げ運動に確実に耐えることがで
きるようにしている。
【0020】各コネクタ・ボディ42及びプラグ36は
カプラ60内に受容されるように適用されている。カプ
ラ60は端部64及び66を有する筒状部材62を包含
し、各コネクタ・ボディ42は長手方向に伸びるスロッ
ト67を包含している。光ファイバ・コネクタ21をパ
ネル取り付け可能にするため、カプラ60は引出され、
パネル内の孔(図示せず)に挿入されるように適用され
ている中央部68を包含している。ナット71が中央部
68へ螺入されることにより、カプラ60がパネルへ固
定される。同様にカプラ60の各端部64及び66には
各端部のスロット67から周方向に変位されている組立
てピン73が包含されている。
カプラ60内に受容されるように適用されている。カプ
ラ60は端部64及び66を有する筒状部材62を包含
し、各コネクタ・ボディ42は長手方向に伸びるスロッ
ト67を包含している。光ファイバ・コネクタ21をパ
ネル取り付け可能にするため、カプラ60は引出され、
パネル内の孔(図示せず)に挿入されるように適用され
ている中央部68を包含している。ナット71が中央部
68へ螺入されることにより、カプラ60がパネルへ固
定される。同様にカプラ60の各端部64及び66には
各端部のスロット67から周方向に変位されている組立
てピン73が包含されている。
【0021】図1乃至図3に示されている光ファイバ・
コネクタ21を組立てる際、一般的には取り付け装置が
カプラ60をマウントするか、さもなければ終端部37
を受容させるようにカプラ60を位置させる。このカプ
ラ60内にはスリーブ75がマウントされる(図2参
照)。スリーブ75は終端部37のプラグ36を受容す
るように適用されており、それはプラグ36の外面を整
列する手段である。このスリーブ75はカプラ60内に
配置され、それらがカプラ60内に挿入されるときスリ
ーブ75がプラグ36の動きを許容するために浮設して
いる。更に、スリーブ75はその内部にマウントされて
いるプラグ36の長手軸38同士が同軸となるようにし
ている。
コネクタ21を組立てる際、一般的には取り付け装置が
カプラ60をマウントするか、さもなければ終端部37
を受容させるようにカプラ60を位置させる。このカプ
ラ60内にはスリーブ75がマウントされる(図2参
照)。スリーブ75は終端部37のプラグ36を受容す
るように適用されており、それはプラグ36の外面を整
列する手段である。このスリーブ75はカプラ60内に
配置され、それらがカプラ60内に挿入されるときスリ
ーブ75がプラグ36の動きを許容するために浮設して
いる。更に、スリーブ75はその内部にマウントされて
いるプラグ36の長手軸38同士が同軸となるようにし
ている。
【0022】II.隔たり(例えば陥入/突出)の測
定:2面間の隔たり即ち不連続が本発明の装置及び方法
によって測定される方法を、以下、図4を参照して述べ
る。図4はプラグ36と光ファイバ26との組合せの断
面を模式的に示す図である。図4中の円形曲線81は所
望の3D球面状終端端面の2D断面を表している。隔た
りdは円形曲線81と光ファイバ26との間の、光ファ
イバ26(更にはファイバ・コア25)の中心を通り長
手方向に延びる長手方向軸a1に沿う、ずれを表してい
る。
定:2面間の隔たり即ち不連続が本発明の装置及び方法
によって測定される方法を、以下、図4を参照して述べ
る。図4はプラグ36と光ファイバ26との組合せの断
面を模式的に示す図である。図4中の円形曲線81は所
望の3D球面状終端端面の2D断面を表している。隔た
りdは円形曲線81と光ファイバ26との間の、光ファ
イバ26(更にはファイバ・コア25)の中心を通り長
手方向に延びる長手方向軸a1に沿う、ずれを表してい
る。
【0023】もし光ファイバ26の端面26’が、図4
に示されているように隣接するプラグ36の端面36’
以下に引っ込んでいる場合は、光ファイバ26は終端部
端面79に関して「陥入」状態であると呼ばれる。対照
的に、もし光ファイバ26の端面26’が、隣接するプ
ラグ36の端面36’から外方へ突出している場合(即
ち、光ファイバ端面26’が図4中の円形曲線81の上
方に存在している場合)は、その光ファイバ26は終端
部端面79に関して「突出」状態を示していると呼ばれ
る。説明を簡略にするため、陥入構成のみが図4に示さ
れているが、言うまでもなく、隔たりdを測定する方法
は突出構成にも同様に当て嵌まる。
に示されているように隣接するプラグ36の端面36’
以下に引っ込んでいる場合は、光ファイバ26は終端部
端面79に関して「陥入」状態であると呼ばれる。対照
的に、もし光ファイバ26の端面26’が、隣接するプ
ラグ36の端面36’から外方へ突出している場合(即
ち、光ファイバ端面26’が図4中の円形曲線81の上
方に存在している場合)は、その光ファイバ26は終端
部端面79に関して「突出」状態を示していると呼ばれ
る。説明を簡略にするため、陥入構成のみが図4に示さ
れているが、言うまでもなく、隔たりdを測定する方法
は突出構成にも同様に当て嵌まる。
【0024】上記何れのケースにおいても、隔たりdが
本発明のシステムによって自動的に測定され、品質管理
或いはその他の目的のために使用することが可能であ
る。この点に関し、もし隔たりdが許容しきい値以内に
入っている場合は、終端部端面79は適切である。さも
なく、もし隔たりdが相当に大きく許容しきい値以上に
入っている場合は、終端部端面79は不適確であり、そ
の関連する終端部37は不適切であり、棄却する必要が
ある。更に、一連の終端部37から本システムによって
生成され所定の装置、プロセス或いはオペレータによっ
て処理された量的データがその装置、プロセス或いはオ
ペレータの安定性を測定するため、或いはその装置、プ
ロセス或いはオペレータが管理範囲外になる時期を予測
するために使用することが可能である。
本発明のシステムによって自動的に測定され、品質管理
或いはその他の目的のために使用することが可能であ
る。この点に関し、もし隔たりdが許容しきい値以内に
入っている場合は、終端部端面79は適切である。さも
なく、もし隔たりdが相当に大きく許容しきい値以上に
入っている場合は、終端部端面79は不適確であり、そ
の関連する終端部37は不適切であり、棄却する必要が
ある。更に、一連の終端部37から本システムによって
生成され所定の装置、プロセス或いはオペレータによっ
て処理された量的データがその装置、プロセス或いはオ
ペレータの安定性を測定するため、或いはその装置、プ
ロセス或いはオペレータが管理範囲外になる時期を予測
するために使用することが可能である。
【0025】III.自動検査システム:図5は本発明
による自動検査装置90を図示している。この自動検査
装置90は2面間の相対隔たり、特に光ファイバ26及
びその光ファイバ26と隣接する同軸的に包囲している
プラグ36間の相対隔たりを判定するために使用するこ
とができる。
による自動検査装置90を図示している。この自動検査
装置90は2面間の相対隔たり、特に光ファイバ26及
びその光ファイバ26と隣接する同軸的に包囲している
プラグ36間の相対隔たりを判定するために使用するこ
とができる。
【0026】構成に関しては、自動検査装置90は、適
当なターゲット面、即ち、光ファイバ端面26’及びプ
ラグ端面36’を観測するための軸a2に沿って長手方
向に延びる測定装置91、測定装置91の制御及び監視
を行う機械視覚システム92、機械視覚システム92に
よって送出されユーザにプラグ36及び光ファイバ26
に対する隔たり情報を提供する出力装置93、及びユー
ザが機械視覚システム92へ制御・構成情報を入力でき
るようにする入力装置94を具備する。
当なターゲット面、即ち、光ファイバ端面26’及びプ
ラグ端面36’を観測するための軸a2に沿って長手方
向に延びる測定装置91、測定装置91の制御及び監視
を行う機械視覚システム92、機械視覚システム92に
よって送出されユーザにプラグ36及び光ファイバ26
に対する隔たり情報を提供する出力装置93、及びユー
ザが機械視覚システム92へ制御・構成情報を入力でき
るようにする入力装置94を具備する。
【0027】測定装置91は上記適当なターゲット面、
即ち、光ファイバ端面26’、プラグ端面36’に光を
照射する対物レンズ96を具備する。光ファイバ端面2
6’及びプラグ端面36’とを包含する終端部端面79
を捕捉するために、対物レンズ96が軸a2に沿って存
在し、且つ、軸a1、a2が交差するターゲット82(図
4参照)方向に突出している。好適な実施例では、対物
レンズ96には、日本のニコンから市販されているモデ
ル;MPlan 20DI323270が使用される。
即ち、光ファイバ端面26’、プラグ端面36’に光を
照射する対物レンズ96を具備する。光ファイバ端面2
6’及びプラグ端面36’とを包含する終端部端面79
を捕捉するために、対物レンズ96が軸a2に沿って存
在し、且つ、軸a1、a2が交差するターゲット82(図
4参照)方向に突出している。好適な実施例では、対物
レンズ96には、日本のニコンから市販されているモデ
ル;MPlan 20DI323270が使用される。
【0028】焦点調節機構97は対物レンズ96を支持
し、且つ、対物レンズ96を軸a2に沿って移動させる
ように適用されている。この焦点調節機構97に適する
市販品としては、フランスの Physik Instrumente 社製
のモデル P721.00圧電素子が使用される。この
圧電素子は、0から100ボルトの電圧入力を受信する
閉ループ制御に基づいて対物レンズ96を選択的に約1
00mmの距離を移動させる。0ボルトの電圧が圧電素子
97に供給されると、対物レンズ96は軸a2に沿って
そのターゲットから最大距離の位置に維持され、完全に
引き込まれ、100ボルトの電圧が圧電素子97に供給
されると、対物レンズ96は軸a2に沿ってそのターゲ
ットに最も近い位置、即ち完全伸出状態の位置になる。
し、且つ、対物レンズ96を軸a2に沿って移動させる
ように適用されている。この焦点調節機構97に適する
市販品としては、フランスの Physik Instrumente 社製
のモデル P721.00圧電素子が使用される。この
圧電素子は、0から100ボルトの電圧入力を受信する
閉ループ制御に基づいて対物レンズ96を選択的に約1
00mmの距離を移動させる。0ボルトの電圧が圧電素子
97に供給されると、対物レンズ96は軸a2に沿って
そのターゲットから最大距離の位置に維持され、完全に
引き込まれ、100ボルトの電圧が圧電素子97に供給
されると、対物レンズ96は軸a2に沿ってそのターゲ
ットに最も近い位置、即ち完全伸出状態の位置になる。
【0029】干渉計98は圧電素子97を支持し軸a2
に沿って置かれる。この干渉計98には米国の Micro E
nterprises 社製の市販モデル ME-3000 が適す
る。干渉計98は光源98a及び光反射装置98bを有
する。干渉計98を既知の波長の光を使用してことは当
該技術分野で周知である微小距離及び微小厚みを測定す
るために使用することができる。一般的には、干渉計9
8内では光源98aからの光ビームは光反射装置98b
での部分反射によって2つの対向するビーム部分に分離
される。一方のビーム部分はターゲットに照射され、干
渉計98へ戻されて、光反射装置98bで他方のビーム
部分と再結合される。それらビームは別々の光路を進行
した後であるので、それら2つのビーム成分はターゲッ
トの画像中で干渉を生じる。更に、その干渉は微小距離
及び微小厚みを測定するために使用することができる。
に沿って置かれる。この干渉計98には米国の Micro E
nterprises 社製の市販モデル ME-3000 が適す
る。干渉計98は光源98a及び光反射装置98bを有
する。干渉計98を既知の波長の光を使用してことは当
該技術分野で周知である微小距離及び微小厚みを測定す
るために使用することができる。一般的には、干渉計9
8内では光源98aからの光ビームは光反射装置98b
での部分反射によって2つの対向するビーム部分に分離
される。一方のビーム部分はターゲットに照射され、干
渉計98へ戻されて、光反射装置98bで他方のビーム
部分と再結合される。それらビームは別々の光路を進行
した後であるので、それら2つのビーム成分はターゲッ
トの画像中で干渉を生じる。更に、その干渉は微小距離
及び微小厚みを測定するために使用することができる。
【0030】本発明の優れた特徴により、対物レンズ9
6及び干渉計98はその組合せがターゲットを角度Φで
視認するようにマウントされる。上記の別の方法では、
その組合せは、図4及び図5に示されているように軸a
1、a2が交差するようにマウントされる。好適な実施例
では、その角度Φは約3°であるが、しかし、少なくと
もほぼ2°乃至9°の範囲の間で変化させることができ
る。この傾斜角度Φは、干渉縞を包含する干渉縞パター
ン112(図6A乃至図6C参照)が干渉計98によっ
て生成された画像上に重ね合わされ、且つ、対物レンズ
96によって視認されることを可能にする。なお、従来
技術での干渉計98の使用は、本発明の如くターゲット
像を角度Φで位置させるものでなく、且つ、複数の干渉
縞113を有する干渉縞パターン112を生成するもの
でもない。事実、従来技術の使用は、いわゆるブルズ・
アイ形状の干渉パターンを生成している。
6及び干渉計98はその組合せがターゲットを角度Φで
視認するようにマウントされる。上記の別の方法では、
その組合せは、図4及び図5に示されているように軸a
1、a2が交差するようにマウントされる。好適な実施例
では、その角度Φは約3°であるが、しかし、少なくと
もほぼ2°乃至9°の範囲の間で変化させることができ
る。この傾斜角度Φは、干渉縞を包含する干渉縞パター
ン112(図6A乃至図6C参照)が干渉計98によっ
て生成された画像上に重ね合わされ、且つ、対物レンズ
96によって視認されることを可能にする。なお、従来
技術での干渉計98の使用は、本発明の如くターゲット
像を角度Φで位置させるものでなく、且つ、複数の干渉
縞113を有する干渉縞パターン112を生成するもの
でもない。事実、従来技術の使用は、いわゆるブルズ・
アイ形状の干渉パターンを生成している。
【0031】ビデオ・アダプタ99は干渉計98に軸a
1に沿ってマウントされており、干渉計98から投影さ
れた画像の調節を可能にする1個または2個以上の光学
レンズの組合せを包含する。本質において、ビデオ・ア
ダプタ99は画像の干渉縞の明確な合焦を可能にする。
好適な実施例では、ビデオ・アダプタ99はまた干渉計
98からの画像を25倍に拡大する。一旦測定装置91
がマウントされると、ビデオ・アダプタ99に関連する
レンズが固定状態で配列されることができる。ビデオ・
アダプタ99に適する装置は日本のニコンから市販され
ているモデルNikon 30255である。
1に沿ってマウントされており、干渉計98から投影さ
れた画像の調節を可能にする1個または2個以上の光学
レンズの組合せを包含する。本質において、ビデオ・ア
ダプタ99は画像の干渉縞の明確な合焦を可能にする。
好適な実施例では、ビデオ・アダプタ99はまた干渉計
98からの画像を25倍に拡大する。一旦測定装置91
がマウントされると、ビデオ・アダプタ99に関連する
レンズが固定状態で配列されることができる。ビデオ・
アダプタ99に適する装置は日本のニコンから市販され
ているモデルNikon 30255である。
【0032】ビデオ・カメラ101はビデオ・アダプタ
99に固定され、ビデオ・アダプタ99から、本源的に
は干渉計98からそのビデオ・カメラ101へ投影され
る画像を受信して符号化する。ビデオ・カメラ101
は、例えば、日本の日立から市販されているモデル K
PM1のような電荷結合装置(CCD)であるが、それ
に限定されるものではない。このCCDビデオ・カメラ
101は光を受光するための画素アレイを具備する。更
に、従来技術で周知な如く、その画素アレイは画像を符
号化してそのCCDの各画素で光の輝度に比例するアナ
ログ電圧信号を生成する。
99に固定され、ビデオ・アダプタ99から、本源的に
は干渉計98からそのビデオ・カメラ101へ投影され
る画像を受信して符号化する。ビデオ・カメラ101
は、例えば、日本の日立から市販されているモデル K
PM1のような電荷結合装置(CCD)であるが、それ
に限定されるものではない。このCCDビデオ・カメラ
101は光を受光するための画素アレイを具備する。更
に、従来技術で周知な如く、その画素アレイは画像を符
号化してそのCCDの各画素で光の輝度に比例するアナ
ログ電圧信号を生成する。
【0033】機械視覚システム92は圧電制御信号10
2を介して圧電素子97を制御する。好適な実施例で
は、圧電制御信号102は、圧電素子97によって対物
レンズ96を軸a2に沿って移動させる0乃至100ボ
ルトの間の電圧信号である。更に機械視覚システム92
は機械視覚システム92によって使用されるビデオ・カ
メラ101からアナログ電圧信号103を受信してフレ
ーム・バッファ(図示せず)内にディジタル画像を構成
する。この画像は、512画素×480画素のサイズの
ような、出力装置93を駆動するために適した何らかの
サイズを持つことが可能であり、その画像の中の各画素
に対応する画素値即ち輝度は256個の有望な値のうち
の何れか一つを示すことができる。
2を介して圧電素子97を制御する。好適な実施例で
は、圧電制御信号102は、圧電素子97によって対物
レンズ96を軸a2に沿って移動させる0乃至100ボ
ルトの間の電圧信号である。更に機械視覚システム92
は機械視覚システム92によって使用されるビデオ・カ
メラ101からアナログ電圧信号103を受信してフレ
ーム・バッファ(図示せず)内にディジタル画像を構成
する。この画像は、512画素×480画素のサイズの
ような、出力装置93を駆動するために適した何らかの
サイズを持つことが可能であり、その画像の中の各画素
に対応する画素値即ち輝度は256個の有望な値のうち
の何れか一つを示すことができる。
【0034】機械視覚システム92は何らかの適当なロ
ジックか処理機構或いはそれらの組合せを用いて実行す
ることが可能である。一つの適切な機械視覚システム9
2は機械視覚プロセッサに設置された、米国のNCR社
から市販されているモデルNCR3333コンピュータ
を用いて実行することができる。上記機械視覚プロセッ
サには、例えば米国の Microdisc 社から市販されてい
るモデルITI ITEX OFG(overlay frame grab
ber)を使用することが可能であるが、しかしそれに限
定されるものではない。更に、好適な実施例では、機械
視覚システム92は更にNCR3333コンピュータか
ら受信された制御信号から上述の0乃至100ボルトの
電圧範囲内圧電制御信号102を生成する増幅器を包含
する。適切な増幅器はフランスの Physik Instrumente
社製のモデル E860.10 増幅器である。
ジックか処理機構或いはそれらの組合せを用いて実行す
ることが可能である。一つの適切な機械視覚システム9
2は機械視覚プロセッサに設置された、米国のNCR社
から市販されているモデルNCR3333コンピュータ
を用いて実行することができる。上記機械視覚プロセッ
サには、例えば米国の Microdisc 社から市販されてい
るモデルITI ITEX OFG(overlay frame grab
ber)を使用することが可能であるが、しかしそれに限
定されるものではない。更に、好適な実施例では、機械
視覚システム92は更にNCR3333コンピュータか
ら受信された制御信号から上述の0乃至100ボルトの
電圧範囲内圧電制御信号102を生成する増幅器を包含
する。適切な増幅器はフランスの Physik Instrumente
社製のモデル E860.10 増幅器である。
【0035】出力装置93はオプションであり、ユーザ
へ情報を供給するのに適当な何らかの機構であることが
できる。例えば、出力装置93は従来のディスプレィま
たはプリンタであることができる。診断パラメータ及び
動作パラメータ、更に場合によってはユーザからの開始
信号を受信する外に、本自動検査装置90は完全に自動
的である。事実、自動検査装置90は他の自動装置と完
全に自動的に通じるように設定可能である。
へ情報を供給するのに適当な何らかの機構であることが
できる。例えば、出力装置93は従来のディスプレィま
たはプリンタであることができる。診断パラメータ及び
動作パラメータ、更に場合によってはユーザからの開始
信号を受信する外に、本自動検査装置90は完全に自動
的である。事実、自動検査装置90は他の自動装置と完
全に自動的に通じるように設定可能である。
【0036】入力装置94もまたオプションであり、矢
印106によって示されているように、ユーザからのプ
ロンプト或いは情報を受信し、その情報を機械視覚シス
テム92へ知らせるのに適当な何らかの機構であること
ができる。例として、入力装置94は従来のコンピュー
タのキーボードやマウス等であることができる。
印106によって示されているように、ユーザからのプ
ロンプト或いは情報を受信し、その情報を機械視覚シス
テム92へ知らせるのに適当な何らかの機構であること
ができる。例として、入力装置94は従来のコンピュー
タのキーボードやマウス等であることができる。
【0037】図5の自動検査装置90は、終端部37の
品質管理を監視するために商業規模の光ファイバ製造装
置内にマウントすることができる。終端部37は、手動
操作により或いは自動化機構によって対物レンズ96の
視野内に配置することができる。一例として、終端部3
7は場合によっては多数の他の終端部37と共にコンベ
ヤ上に位置し、測定が自動検査装置90によって自動的
に実行可能となるように対物レンズ96の前方へ移動さ
せることができる。
品質管理を監視するために商業規模の光ファイバ製造装
置内にマウントすることができる。終端部37は、手動
操作により或いは自動化機構によって対物レンズ96の
視野内に配置することができる。一例として、終端部3
7は場合によっては多数の他の終端部37と共にコンベ
ヤ上に位置し、測定が自動検査装置90によって自動的
に実行可能となるように対物レンズ96の前方へ移動さ
せることができる。
【0038】IV.表示画像:図6A乃至図6Cは、好
適な実施例の機械視覚システム92(図5参照)によっ
て 生成し、出力装置93へ送出することが可能な個々
の画像111a乃至111cを示す。画像111a乃至
111c中に図示されている特徴は、ユーザへ提供する
ことができるタイプの情報の単に一例である。正しい操
作中、画像111a乃至111cは、好ましくは少なく
とも終端部端面79の一部である光ファイバ端面26’
及び少なくともプラグ36の一部である端面36’を示
している。更に、画像111a乃至111cは、光ファ
イバ端面26’及びプラグの端面36’の少なくとも一
部を横切る、通常水平方向の低輝度の干渉縞即ち113
の干渉縞パターン112を示している。これらの図面で
は、一例として且つ分かり易くするため、5本の干渉縞
113のみが干渉縞パターン112中に示されている。
しかし、実際には5本を超える数の干渉縞113が測定
装置91に(図5参照)よって生成されるようにするこ
とができる。
適な実施例の機械視覚システム92(図5参照)によっ
て 生成し、出力装置93へ送出することが可能な個々
の画像111a乃至111cを示す。画像111a乃至
111c中に図示されている特徴は、ユーザへ提供する
ことができるタイプの情報の単に一例である。正しい操
作中、画像111a乃至111cは、好ましくは少なく
とも終端部端面79の一部である光ファイバ端面26’
及び少なくともプラグ36の一部である端面36’を示
している。更に、画像111a乃至111cは、光ファ
イバ端面26’及びプラグの端面36’の少なくとも一
部を横切る、通常水平方向の低輝度の干渉縞即ち113
の干渉縞パターン112を示している。これらの図面で
は、一例として且つ分かり易くするため、5本の干渉縞
113のみが干渉縞パターン112中に示されている。
しかし、実際には5本を超える数の干渉縞113が測定
装置91に(図5参照)よって生成されるようにするこ
とができる。
【0039】画像111の広がりの中での干渉縞パター
ン112の位置は対物レンズ96(図5参照)とターゲ
ット82(図4参照)との間の距離の関数である。
ン112の位置は対物レンズ96(図5参照)とターゲ
ット82(図4参照)との間の距離の関数である。
【0040】干渉縞113同士の間の間隔は、(a)対
物レンズ96及び干渉計98(図5参照)の組合せのタ
ーゲット82に対する傾斜角度Φ、及び(b)光源98
aからの光の波長との関数であり、上記傾斜角度Φは好
ましくは好適な実施例内ではほぼ3°に固定される。
物レンズ96及び干渉計98(図5参照)の組合せのタ
ーゲット82に対する傾斜角度Φ、及び(b)光源98
aからの光の波長との関数であり、上記傾斜角度Φは好
ましくは好適な実施例内ではほぼ3°に固定される。
【0041】画像111内の干渉縞113の曲率は終端
部端面79(図4参照)の曲率の関数である。換言する
と、終端部端面79の曲率半径は画像111内の干渉縞
113の曲率半径と直接的に比例している。
部端面79(図4参照)の曲率の関数である。換言する
と、終端部端面79の曲率半径は画像111内の干渉縞
113の曲率半径と直接的に比例している。
【0042】特に重要な点として、深度情報及び特に隔
たりd(図4参照)が、干渉縞パターン112内の1つ
以上の干渉縞113から干渉をその1つ以上の干渉縞1
13内のずれの形で分析することによって見えるように
され且つ定量的に判定される。とりわけ、干渉縞113
が画像111を水平方向に交差して延びているときのそ
れら干渉縞113の連続性の視認可能な変化は隔たりd
の変化を示す。図6Aは光ファイバ26及びプラグ36
が連続的に湾曲されて円形曲線81(図4参照)と適合
する筋書きを示している。図6Bは光ファイバ26がプ
ラグ36に対して陥入状態であるケースを示している。
図6Bに示されているように、干渉縞113はオフセッ
トされ、プラグ36と光ファイバ26との間の領域で僅
かに下方へ変位されている。図6Cは光ファイバ26が
プラグ36の端面36’(図4参照)から外方向へ突出
しているケースを示している。図6Cに示されているよ
うに、干渉縞113はやはりプラグ36と光ファイバ2
6との間の領域で変位されている。しかし、図6Bとは
違って、図6C中の干渉縞113はプラグ36と光ファ
イバ26との間の領域で僅かに上方へ変位されている。
たりd(図4参照)が、干渉縞パターン112内の1つ
以上の干渉縞113から干渉をその1つ以上の干渉縞1
13内のずれの形で分析することによって見えるように
され且つ定量的に判定される。とりわけ、干渉縞113
が画像111を水平方向に交差して延びているときのそ
れら干渉縞113の連続性の視認可能な変化は隔たりd
の変化を示す。図6Aは光ファイバ26及びプラグ36
が連続的に湾曲されて円形曲線81(図4参照)と適合
する筋書きを示している。図6Bは光ファイバ26がプ
ラグ36に対して陥入状態であるケースを示している。
図6Bに示されているように、干渉縞113はオフセッ
トされ、プラグ36と光ファイバ26との間の領域で僅
かに下方へ変位されている。図6Cは光ファイバ26が
プラグ36の端面36’(図4参照)から外方向へ突出
しているケースを示している。図6Cに示されているよ
うに、干渉縞113はやはりプラグ36と光ファイバ2
6との間の領域で変位されている。しかし、図6Bとは
違って、図6C中の干渉縞113はプラグ36と光ファ
イバ26との間の領域で僅かに上方へ変位されている。
【0043】図6B及び図6Cのケースでは、陥入及び
突出の幅が自動検査装置90(図5参照)により、光源
98aからの光の波長及び干渉縞113同士の間の間隔
を規制している固定の角度Φを考慮して、何れかの干渉
縞113のずれの距離を測定することによって自動的且
つ正確に判定される。
突出の幅が自動検査装置90(図5参照)により、光源
98aからの光の波長及び干渉縞113同士の間の間隔
を規制している固定の角度Φを考慮して、何れかの干渉
縞113のずれの距離を測定することによって自動的且
つ正確に判定される。
【0044】好適な実施例内では、干渉計98はターゲ
ット82へ照射される白色光(〜600nm波長)を生成
する光源98aを有する。白色光は画像111a乃至1
11cを生成するために使用されるので、干渉縞パター
ン112は暗さの強さの程度が変化する干渉縞113を
有することとなる(なお、明るい縞は一般的には輝度の
変化を生じない)。ノイズに起因する悪影響を削減する
ために、本発明の自動検査装置90(図5参照)は干渉
縞パターン112の最も濃い干渉縞113’が光ファイ
バ端面26’並びにコア端面25’の中心を横切るよう
にし、且つ、隔たり測定が実質的に最も濃い干渉縞11
3’に基づいている。更に、白色光が使用されるとき
は、干渉縞113同士は所定の角度Φ = 3°において
はほぼ300nm離れて存在する。
ット82へ照射される白色光(〜600nm波長)を生成
する光源98aを有する。白色光は画像111a乃至1
11cを生成するために使用されるので、干渉縞パター
ン112は暗さの強さの程度が変化する干渉縞113を
有することとなる(なお、明るい縞は一般的には輝度の
変化を生じない)。ノイズに起因する悪影響を削減する
ために、本発明の自動検査装置90(図5参照)は干渉
縞パターン112の最も濃い干渉縞113’が光ファイ
バ端面26’並びにコア端面25’の中心を横切るよう
にし、且つ、隔たり測定が実質的に最も濃い干渉縞11
3’に基づいている。更に、白色光が使用されるとき
は、干渉縞113同士は所定の角度Φ = 3°において
はほぼ300nm離れて存在する。
【0045】ノイズに起因する悪影響を更に削減し、且
つ、機械視覚システム92(図5参照)の速度を最適化
するために、複数のゾーン116a乃至116dが実行
される。これらのゾーン116a乃至116dは、デー
タが分析され隔たり(陥入/突出)の判定に関する計算
を行う際に使用される画像111a乃至111cの領域
を画定している。好適な実施例内では、ゾーン116a
乃至116dは、出力装置93によって個々のゾーン1
16a乃至116d内の曲率に関する情報と共にユーザ
へ示される。
つ、機械視覚システム92(図5参照)の速度を最適化
するために、複数のゾーン116a乃至116dが実行
される。これらのゾーン116a乃至116dは、デー
タが分析され隔たり(陥入/突出)の判定に関する計算
を行う際に使用される画像111a乃至111cの領域
を画定している。好適な実施例内では、ゾーン116a
乃至116dは、出力装置93によって個々のゾーン1
16a乃至116d内の曲率に関する情報と共にユーザ
へ示される。
【0046】図6A乃至図6Cに図示されている特徴に
加えて、好適な実施例では、画像111は更に隔たりd
に関する具体的な数値情報、例えばそれに限定されるも
のではないが、図6Aに有るような「陥入/突出無
し」、図6Bに有るような「陥入量 = 0.22ミクロ
ン」、及び図6Cに有るような「突出量 = 0.15ミ
クロン」を包含する。更に、明らかに表示画像は多くの
適当な図形を取ることが可能であり、且つ、画像111
中のどこかに実質的に空間的に位置させることが可能で
ある。
加えて、好適な実施例では、画像111は更に隔たりd
に関する具体的な数値情報、例えばそれに限定されるも
のではないが、図6Aに有るような「陥入/突出無
し」、図6Bに有るような「陥入量 = 0.22ミクロ
ン」、及び図6Cに有るような「突出量 = 0.15ミ
クロン」を包含する。更に、明らかに表示画像は多くの
適当な図形を取ることが可能であり、且つ、画像111
中のどこかに実質的に空間的に位置させることが可能で
ある。
【0047】V.検査制御アルゴリズム:検査制御アル
ゴリズム120の総合構成及び機能が図7のフロー・チ
ャートに記述されている。この検査制御アルゴリズム1
20は、ソフトウエア、ハードウエア或いはそれらの組
合せで実行することが可能である。この検査制御アルゴ
リズム120は、好ましくは、好適な実施例ではコンピ
ュータである機械視覚システム92に関連するメモリ
(図示せず)に格納され、その機械視覚システム92に
関連するプロセッサ(図示せず)によって実行される実
行インストラクションのリストを包含するコンピュータ
・プログラムを介して実行される。
ゴリズム120の総合構成及び機能が図7のフロー・チ
ャートに記述されている。この検査制御アルゴリズム1
20は、ソフトウエア、ハードウエア或いはそれらの組
合せで実行することが可能である。この検査制御アルゴ
リズム120は、好ましくは、好適な実施例ではコンピ
ュータである機械視覚システム92に関連するメモリ
(図示せず)に格納され、その機械視覚システム92に
関連するプロセッサ(図示せず)によって実行される実
行インストラクションのリストを包含するコンピュータ
・プログラムを介して実行される。
【0048】検査制御アルゴリズム120において、最
初にフローチャート・ブロック121に記述されている
ようなトリガ・アルゴリズムが実行される。基本的には
機械視覚システム92はユーザにより促されるまで待機
して隔たり測定を実行する。トリガ・アルゴリズム12
1は以下図8を参照して更に説明されている。
初にフローチャート・ブロック121に記述されている
ようなトリガ・アルゴリズムが実行される。基本的には
機械視覚システム92はユーザにより促されるまで待機
して隔たり測定を実行する。トリガ・アルゴリズム12
1は以下図8を参照して更に説明されている。
【0049】次に、フローチャート・ブロック122に
記述されるようなしきい値/コントラスト検査アルゴリ
ズムが実行される。通常、このしきい値/コントラスト
検査アルゴリズム122は光ファイバ26の位置を捜す
ために画像111に十分なコントラストがあるかどうか
を判定する。この点で、このしきい値/コントラスト検
査アルゴリズム122は背景のグレイ・レベルを光ファ
イバ26のグレイ・レベルと比較する。しきい値/コン
トラスト検査アルゴリズム122については更に図9に
関連して後で説明される。
記述されるようなしきい値/コントラスト検査アルゴリ
ズムが実行される。通常、このしきい値/コントラスト
検査アルゴリズム122は光ファイバ26の位置を捜す
ために画像111に十分なコントラストがあるかどうか
を判定する。この点で、このしきい値/コントラスト検
査アルゴリズム122は背景のグレイ・レベルを光ファ
イバ26のグレイ・レベルと比較する。しきい値/コン
トラスト検査アルゴリズム122については更に図9に
関連して後で説明される。
【0050】自動検査装置90は新規な2段階自動合焦
アルゴリズムを使用して、光ファイバ端面26’を表示
画像の中心に位置させ、且つ、最も濃い干渉縞113’
を光ファイバ26のコア端面25’の上に位置させる。
この2段階自動合焦プロセスは計算回数が最小限であ
り、高速であり、人の特性を遥かに超える反復性を有す
る特徴がある。この点で、フローチャート・ブロック1
23に記述されているような粗自動合焦アルゴリズムが
しきい値/コントラスト検査アルゴリズム122の後で
実行される。この粗自動合焦アルゴリズム123は画像
111内での光ファイバ26の位置を検出する。光ファ
イバ26は不正確な支持構造のせいで画像111の中心
に位置されないことがある。一般的には、粗自動合焦ア
ルゴリズム123により、圧電素子97が初期化され、
その結果対物レンズ96がそのターゲットh1から最も
遠い距離に位置する。次に、圧電素子97が機械視覚シ
ステム92(図5参照)によって起動され、その結果対
物レンズ96がそのターゲットターゲット82(図4参
照)に最も近い位置へ移動される。この動作の間、干渉
縞パターン112(図7参照)が画像111を交差して
垂直に上下に移動される。干渉縞パターン112が画像
111内で垂直方向の中心に位置された後、干渉縞パタ
ーン112が所定距離だけ垂直方向の中心から僅か遠ざ
けられ、続いて、光ファイバ26が機械視覚システム9
2のフレーム構成の x-y座標系(図6A参照)に関係
して位置される。この粗自動合焦アルゴリズム123は
図10を参照して更に詳細に説明される。
アルゴリズムを使用して、光ファイバ端面26’を表示
画像の中心に位置させ、且つ、最も濃い干渉縞113’
を光ファイバ26のコア端面25’の上に位置させる。
この2段階自動合焦プロセスは計算回数が最小限であ
り、高速であり、人の特性を遥かに超える反復性を有す
る特徴がある。この点で、フローチャート・ブロック1
23に記述されているような粗自動合焦アルゴリズムが
しきい値/コントラスト検査アルゴリズム122の後で
実行される。この粗自動合焦アルゴリズム123は画像
111内での光ファイバ26の位置を検出する。光ファ
イバ26は不正確な支持構造のせいで画像111の中心
に位置されないことがある。一般的には、粗自動合焦ア
ルゴリズム123により、圧電素子97が初期化され、
その結果対物レンズ96がそのターゲットh1から最も
遠い距離に位置する。次に、圧電素子97が機械視覚シ
ステム92(図5参照)によって起動され、その結果対
物レンズ96がそのターゲットターゲット82(図4参
照)に最も近い位置へ移動される。この動作の間、干渉
縞パターン112(図7参照)が画像111を交差して
垂直に上下に移動される。干渉縞パターン112が画像
111内で垂直方向の中心に位置された後、干渉縞パタ
ーン112が所定距離だけ垂直方向の中心から僅か遠ざ
けられ、続いて、光ファイバ26が機械視覚システム9
2のフレーム構成の x-y座標系(図6A参照)に関係
して位置される。この粗自動合焦アルゴリズム123は
図10を参照して更に詳細に説明される。
【0051】次にフローチャート・ブロック124に記
述されているような精密自動合焦アルゴリズムが実行さ
れる。この精密自動合焦アルゴリズム124は基本的に
は干渉縞113を正確に光ファイバ端面26’上の中心
に位置させ、その結果最も濃い干渉縞113’がコア端
面25’(図6A参照)を横切る。この精密自動合焦ア
ルゴリズム124は図11乃至図13を参照して後で更
に詳細に説明される。
述されているような精密自動合焦アルゴリズムが実行さ
れる。この精密自動合焦アルゴリズム124は基本的に
は干渉縞113を正確に光ファイバ端面26’上の中心
に位置させ、その結果最も濃い干渉縞113’がコア端
面25’(図6A参照)を横切る。この精密自動合焦ア
ルゴリズム124は図11乃至図13を参照して後で更
に詳細に説明される。
【0052】次にフローチャート・ブロック125に記
述されているような自己校正アルゴリズムが実行され
る。この自己校正アルゴリズム125は隔たりdを判定
する際に最終的に使用される干渉縞113同士の間の間
隔を画素の単位で判定する。特に重要な点として、自己
校正アルゴリズム125は干渉計98(図5参照)のみ
ならず対物レンズ96(図5参照)のターゲット82
(図4参照)の長手方向軸に対する角度Φの変化、即ち
光ファイバ端面26’及びプラグ端面36’の視界を追
求する。更に、自己校正アルゴリズム125は光ファイ
バ26の曲率半径の変化を追求する。この自己校正アル
ゴリズム125は図14及び図15を参照して詳細に説
明される。
述されているような自己校正アルゴリズムが実行され
る。この自己校正アルゴリズム125は隔たりdを判定
する際に最終的に使用される干渉縞113同士の間の間
隔を画素の単位で判定する。特に重要な点として、自己
校正アルゴリズム125は干渉計98(図5参照)のみ
ならず対物レンズ96(図5参照)のターゲット82
(図4参照)の長手方向軸に対する角度Φの変化、即ち
光ファイバ端面26’及びプラグ端面36’の視界を追
求する。更に、自己校正アルゴリズム125は光ファイ
バ26の曲率半径の変化を追求する。この自己校正アル
ゴリズム125は図14及び図15を参照して詳細に説
明される。
【0053】自己校正アルゴリズム125が実行された
後、フローチャート・ブロック126に記述されている
ようなデータ分析アルゴリズムが使用される。このデー
タ分析アルゴリズム126は画像処理、データ分析、及
び該データ分析の解釈を実行することによって隔たりd
(図4の陥入/突出)を判定する。通常、第1の円周カ
ーブは数学的にプラグ端面36’に当て嵌められ、且
つ、第2円周カーブが光ファイバ端面26’に当て嵌め
られる。更に、ファイバ・コア25の中心と交差する点
で光ファイバ端面26’とほぼ垂直な線に沿って測定さ
れる(即ち、ファイバ・コア25の中心のx座標で測定
される)第1円周カーブと第2円周カーブの位置の間の
差が、計算される。更に、隔たりd(図4参照)が、上
述の差、測定された 干渉縞間隔(画素の単位で)、及
び干渉計の光(好適な実施例では白色光)の既知の波長
に基づいて計算される。このデータ分析アルゴリズム1
26は図16乃至図22を参照して後で詳細に説明され
る。
後、フローチャート・ブロック126に記述されている
ようなデータ分析アルゴリズムが使用される。このデー
タ分析アルゴリズム126は画像処理、データ分析、及
び該データ分析の解釈を実行することによって隔たりd
(図4の陥入/突出)を判定する。通常、第1の円周カ
ーブは数学的にプラグ端面36’に当て嵌められ、且
つ、第2円周カーブが光ファイバ端面26’に当て嵌め
られる。更に、ファイバ・コア25の中心と交差する点
で光ファイバ端面26’とほぼ垂直な線に沿って測定さ
れる(即ち、ファイバ・コア25の中心のx座標で測定
される)第1円周カーブと第2円周カーブの位置の間の
差が、計算される。更に、隔たりd(図4参照)が、上
述の差、測定された 干渉縞間隔(画素の単位で)、及
び干渉計の光(好適な実施例では白色光)の既知の波長
に基づいて計算される。このデータ分析アルゴリズム1
26は図16乃至図22を参照して後で詳細に説明され
る。
【0054】最後に、フローチャート・ブロック127
に示されているように、データ分析アルゴリズム126
によって生成された、隔たりd(陥入/突出)を包含す
る結果が、機械視覚システム92(図5参照)により何
らかの適当な表示構成で出力装置93へ送出され、デー
タ格納装置及び他の自動装置の何れか一方或いは双方へ
提供される。好適な実施例では、図6A乃至図6Cに示
される画像のうちの一つと類似する、画像111が機械
視覚システム92(図5参照)によって生成され、出力
装置93(図5参照)へパスされる。
に示されているように、データ分析アルゴリズム126
によって生成された、隔たりd(陥入/突出)を包含す
る結果が、機械視覚システム92(図5参照)により何
らかの適当な表示構成で出力装置93へ送出され、デー
タ格納装置及び他の自動装置の何れか一方或いは双方へ
提供される。好適な実施例では、図6A乃至図6Cに示
される画像のうちの一つと類似する、画像111が機械
視覚システム92(図5参照)によって生成され、出力
装置93(図5参照)へパスされる。
【0055】A.トリガ・アルゴリズム:トリガ・アル
ゴリズム121はユーザがターゲット82(図4参照)
の検査を開始できるようにし、且つ、正確度を向上する
ために動作パラメータを変更するできるようにする。最
初、トリガ・アルゴリズム121はこのトリガ・アルゴ
リズム121がユーザからの合図について入力装置94
(図5参照)を監視するキーボード検査ループを実行す
る。好適な実施例では、トリガ・アルゴリズム121は
従来の入力装置94のキー操作を監視し、トリガ・アル
ゴリズム121によって一旦キーの押し下げが検出され
ると、トリガ・アルゴリズム121は特定のキーが既に
押圧されているかどうかを判定する。
ゴリズム121はユーザがターゲット82(図4参照)
の検査を開始できるようにし、且つ、正確度を向上する
ために動作パラメータを変更するできるようにする。最
初、トリガ・アルゴリズム121はこのトリガ・アルゴ
リズム121がユーザからの合図について入力装置94
(図5参照)を監視するキーボード検査ループを実行す
る。好適な実施例では、トリガ・アルゴリズム121は
従来の入力装置94のキー操作を監視し、トリガ・アル
ゴリズム121によって一旦キーの押し下げが検出され
ると、トリガ・アルゴリズム121は特定のキーが既に
押圧されているかどうかを判定する。
【0056】トリガ・アルゴリズム121はスペース・
バーが、フローチャート・ブロック132に示されてい
るように、既に押圧されているかどうかを判定する。も
し入力装置94(図5参照)上でスペース・バーが既に
押圧されている場合は、トリガ・アルゴリズム121は
フローチャート・ブロック133に示されているよう
に、そのテスト・シーケンスを開始する。もしスペース
・バーが未だ押圧されていないことが判定されると、ト
リガ・アルゴリズム121はフローチャート・ブロック
134に示されているように、[a]キーが押圧されて
いるかどうかを判定する。ユーザによって[a]キーが
押し下げられると、トリガ・アルゴリズム121は診断
レベルを許容するモードに入る。
バーが、フローチャート・ブロック132に示されてい
るように、既に押圧されているかどうかを判定する。も
し入力装置94(図5参照)上でスペース・バーが既に
押圧されている場合は、トリガ・アルゴリズム121は
フローチャート・ブロック133に示されているよう
に、そのテスト・シーケンスを開始する。もしスペース
・バーが未だ押圧されていないことが判定されると、ト
リガ・アルゴリズム121はフローチャート・ブロック
134に示されているように、[a]キーが押圧されて
いるかどうかを判定する。ユーザによって[a]キーが
押し下げられると、トリガ・アルゴリズム121は診断
レベルを許容するモードに入る。
【0057】もし[a]キーが既に押圧されていればト
リガ・アルゴリズム121は安全保証機能を実行し、フ
ローチャート・ブロック136に示されているように、
ユーザへパスワードを入力するように要求する。もしそ
のパスワードが先に存在する格納パスワードと整合しな
い場合、トリガ・アルゴリズム121はフローチャート
・ブロック137に示されているように、フローチャー
ト・ブロック131のキーボード検査ループへ戻る。も
し入力された格納パスワードと整合する場合は、トリガ
・アルゴリズム121はフローチャート・ブロック13
8に示されているように、ユーザへ診断レベルを入力す
るように促す。
リガ・アルゴリズム121は安全保証機能を実行し、フ
ローチャート・ブロック136に示されているように、
ユーザへパスワードを入力するように要求する。もしそ
のパスワードが先に存在する格納パスワードと整合しな
い場合、トリガ・アルゴリズム121はフローチャート
・ブロック137に示されているように、フローチャー
ト・ブロック131のキーボード検査ループへ戻る。も
し入力された格納パスワードと整合する場合は、トリガ
・アルゴリズム121はフローチャート・ブロック13
8に示されているように、ユーザへ診断レベルを入力す
るように促す。
【0058】好適な実施例では、検査制御アルゴリズム
120(図7参照)が診断レベル0,1或いは2で表さ
れるされる3個の有望な診断モードのうちの一つで動作
する。診断レベル0は陥入/突出の結果を示す最も圧縮
された形態に対応し、且つ、図6A乃至図6Cに示され
ている状態に対応する。診断レベル1は診断レベル0に
対応する全ての情報を示すが、更に球面への曲率の整合
に関する統計情報を包含する。要するにその情報は上記
陥入/突出の結果の信頼度を示す。最後に、検査制御ア
ルゴリズム120(図7参照)が診断レベル2で動作さ
れると、陥入/突出の測定に関する極めて詳細な情報が
ユーザへ提供される。更に、ユーザは計算中に促され、
その結果、もし望まれる場合にはその計算はユーザによ
って処理される。ユーザによって診断レベルが入力され
た後、トリガ・アルゴリズム121はフローチャート・
ブロック131に示されているように、その初期状態へ
戻る。
120(図7参照)が診断レベル0,1或いは2で表さ
れるされる3個の有望な診断モードのうちの一つで動作
する。診断レベル0は陥入/突出の結果を示す最も圧縮
された形態に対応し、且つ、図6A乃至図6Cに示され
ている状態に対応する。診断レベル1は診断レベル0に
対応する全ての情報を示すが、更に球面への曲率の整合
に関する統計情報を包含する。要するにその情報は上記
陥入/突出の結果の信頼度を示す。最後に、検査制御ア
ルゴリズム120(図7参照)が診断レベル2で動作さ
れると、陥入/突出の測定に関する極めて詳細な情報が
ユーザへ提供される。更に、ユーザは計算中に促され、
その結果、もし望まれる場合にはその計算はユーザによ
って処理される。ユーザによって診断レベルが入力され
た後、トリガ・アルゴリズム121はフローチャート・
ブロック131に示されているように、その初期状態へ
戻る。
【0059】もし[a]キーが押圧されていない場合
は、トリガ・アルゴリズム121は[b]キーが押圧さ
れているかどうかを判定する。もし[b]キーが押圧さ
れていればフローチャート・ブロック141、142に
示されているように開発設定ルーチンに入る。この開発
設定ルーチンは検査制御アルゴリズム120が計算を自
動的に実行する方法をユーザが変更できるようにする。
この特徴は、陥入/突出が急激であり、その結果、光フ
ァイバ端面26’とプラグ端面36’との間の遷移領域
内で干渉縞113同士がオーバラップするか或いはオー
バラップに近い状態になっている状況で望ましい。
は、トリガ・アルゴリズム121は[b]キーが押圧さ
れているかどうかを判定する。もし[b]キーが押圧さ
れていればフローチャート・ブロック141、142に
示されているように開発設定ルーチンに入る。この開発
設定ルーチンは検査制御アルゴリズム120が計算を自
動的に実行する方法をユーザが変更できるようにする。
この特徴は、陥入/突出が急激であり、その結果、光フ
ァイバ端面26’とプラグ端面36’との間の遷移領域
内で干渉縞113同士がオーバラップするか或いはオー
バラップに近い状態になっている状況で望ましい。
【0060】フローチャート・ブロック141、142
に示されているように、ユーザはバイアス・モードへ入
るように促される。好適な実施例では、3つのバイアス
・モード、即ち、高レベル・バイアス・モード、低レベ
ル・バイアス・モード及び自己バイアス・モードが利用
可能である。高レベル・バイアス・モードでは、検査制
御アルゴリズム120(図7参照)は、50/50判定
の事態が起きたときに高順位オプションを選択すること
となる。低レベル・バイアス・モードでは、該検査制御
アルゴリズム120は、50/50判定の事態が起きた
ときに高順位オプションを選択することとなる。50/
50判定の事態が起きたときに低順位オプションを選択
することとなる。最後に、自己バイアス・モードでは、
検査制御アルゴリズム120は標準の動作を行い、予め
為された設定に基づいて判定を行うこととなる。そのバ
イアス・モードがユーザによって入力された後、図11
のトリガ・アルゴリズム121はフローチャート・ブロ
ック131に示されているように、キーボード検査ルー
プへ戻る。
に示されているように、ユーザはバイアス・モードへ入
るように促される。好適な実施例では、3つのバイアス
・モード、即ち、高レベル・バイアス・モード、低レベ
ル・バイアス・モード及び自己バイアス・モードが利用
可能である。高レベル・バイアス・モードでは、検査制
御アルゴリズム120(図7参照)は、50/50判定
の事態が起きたときに高順位オプションを選択すること
となる。低レベル・バイアス・モードでは、該検査制御
アルゴリズム120は、50/50判定の事態が起きた
ときに高順位オプションを選択することとなる。50/
50判定の事態が起きたときに低順位オプションを選択
することとなる。最後に、自己バイアス・モードでは、
検査制御アルゴリズム120は標準の動作を行い、予め
為された設定に基づいて判定を行うこととなる。そのバ
イアス・モードがユーザによって入力された後、図11
のトリガ・アルゴリズム121はフローチャート・ブロ
ック131に示されているように、キーボード検査ルー
プへ戻る。
【0061】もし、トリガ・アルゴリズム121で
[b]キーが押圧されていないことが判定されると、ト
リガ・アルゴリズム121はフローチャート・ブロック
143に示されているように、外部トリガが存在するか
どうかを判定する。外部トリガは、例えば、プログラマ
ブル・ロジック・コントローラ(PLC)からの接触ク
ロージャであることができる。もし、外部トリガが存在
することが判定されると、フローチャート・ブロック1
33に示されているように、上記テスト・シーケンスを
開始する。しかし、もし外部トリガが存在しないことが
判定されると、フローチャート・ブロック131に示さ
れているように、トリガ・アルゴリズム121はキーボ
ード検査ループへ戻る。
[b]キーが押圧されていないことが判定されると、ト
リガ・アルゴリズム121はフローチャート・ブロック
143に示されているように、外部トリガが存在するか
どうかを判定する。外部トリガは、例えば、プログラマ
ブル・ロジック・コントローラ(PLC)からの接触ク
ロージャであることができる。もし、外部トリガが存在
することが判定されると、フローチャート・ブロック1
33に示されているように、上記テスト・シーケンスを
開始する。しかし、もし外部トリガが存在しないことが
判定されると、フローチャート・ブロック131に示さ
れているように、トリガ・アルゴリズム121はキーボ
ード検査ループへ戻る。
【0062】B.しきい値/コントラスト検査アルゴリ
ズム:既に述べたように、しきい値/コントラスト検査
アルゴリズム122は基本的にプラグ36に関して光フ
ァイバ26を分析するために画像に十分なコントラスト
が確実に有るようにする。当初、測定装置91は画像1
11内の光ファイバ26を捕捉するために極めて高い倍
率に設定され、画像111は非合焦状態となっている。
光ファイバ26は見えており、検出可能であるが、この
とき干渉縞パターン112(図6A参照)は必ずしも見
えており、検出可能である必要は無いことは留意する価
値が有る。
ズム:既に述べたように、しきい値/コントラスト検査
アルゴリズム122は基本的にプラグ36に関して光フ
ァイバ26を分析するために画像に十分なコントラスト
が確実に有るようにする。当初、測定装置91は画像1
11内の光ファイバ26を捕捉するために極めて高い倍
率に設定され、画像111は非合焦状態となっている。
光ファイバ26は見えており、検出可能であるが、この
とき干渉縞パターン112(図6A参照)は必ずしも見
えており、検出可能である必要は無いことは留意する価
値が有る。
【0063】フローチャート・ブロック151に示され
ているように、画像111は測定装置91(図5参照)
によってサンプルされ、機械視覚システム92(図5参
照)へ送出される。画像111がサンプルされた後、光
ファイバ端面26’とプラグ端面36’との双方にまた
がる水平ライン及び垂直ラインが分析のため検索され、
且つ、分離される。画像111が高倍率であるため、所
定のサーチ領域内の何れかの水平ラインと何れかの垂直
ラインとを実質的に画像111から検索することが可能
である。
ているように、画像111は測定装置91(図5参照)
によってサンプルされ、機械視覚システム92(図5参
照)へ送出される。画像111がサンプルされた後、光
ファイバ端面26’とプラグ端面36’との双方にまた
がる水平ライン及び垂直ラインが分析のため検索され、
且つ、分離される。画像111が高倍率であるため、所
定のサーチ領域内の何れかの水平ラインと何れかの垂直
ラインとを実質的に画像111から検索することが可能
である。
【0064】次に、フローチャート・ブロック152に
従って、水平ラインと垂直ラインとが各々フィルタに掛
けられてノイズを除去される。この事については、移動
平均フィルタが各ラインに沿う輝度データを平滑するた
めに使用される。より具体的には、各ラインに沿う画素
値が、特定の数の隣接画素値を平均することによって計
算された平均画素値と置換される。
従って、水平ラインと垂直ラインとが各々フィルタに掛
けられてノイズを除去される。この事については、移動
平均フィルタが各ラインに沿う輝度データを平滑するた
めに使用される。より具体的には、各ラインに沿う画素
値が、特定の数の隣接画素値を平均することによって計
算された平均画素値と置換される。
【0065】次に、各ラインに沿う最小画素値及び最大
画素値が、フローチャート・ブロック153に示されて
いるように、確認される。この操作はそれらのラインに
沿う画素値を互いに比較することによって達成される。
画素値が、フローチャート・ブロック153に示されて
いるように、確認される。この操作はそれらのラインに
沿う画素値を互いに比較することによって達成される。
【0066】フローチャート・ブロック154に従い、
明るい領域と暗い領域とを判定するためのトリガ・ポイ
ントとして作用するしきい値Toが判定される。この手
順は「区画化」と呼ばれることもある。好適な実施例で
は、上記しきい値の値はTo= min + 0.25(min
− max)で与えられる。なお、max は最も明るい画素の
グレー・スケール値(0 − 255)であり、min は最
も暗い画素のグレー・スケール値である。
明るい領域と暗い領域とを判定するためのトリガ・ポイ
ントとして作用するしきい値Toが判定される。この手
順は「区画化」と呼ばれることもある。好適な実施例で
は、上記しきい値の値はTo= min + 0.25(min
− max)で与えられる。なお、max は最も明るい画素の
グレー・スケール値(0 − 255)であり、min は最
も暗い画素のグレー・スケール値である。
【0067】フローチャート・ブロック155に示され
ているように、上記により計算されたしきい値Toが許
容範囲内にあるかどうかの判定が為される。本質的に
は、この事については、しきい値Toが2つの予め定め
られた値xt、ytの間にあるかどうかが判定される。し
きい値Toがそれら予め定められた値xt、ytの間に無
いことが判定されると、しきい値/コントラスト検査ア
ルゴリズム122は機械視覚システム92(図5参照)
が、フローチャート・ブロック156に示されているよ
うに適用可能な光の増減が必要であることを示すために
出力装置93(図5参照)上でユーザへ促すようにさせ
る。更に、ユーザへの上記プロンプトの後、しきい値/
コントラスト検査アルゴリズム122が終了する。反対
に、もし上記しきい値Toが許容範囲xt、ytの間にあ
ることが判定されると、フローチャート・ブロック15
7に示されているように、特定のコントラストCが計算
される。
ているように、上記により計算されたしきい値Toが許
容範囲内にあるかどうかの判定が為される。本質的に
は、この事については、しきい値Toが2つの予め定め
られた値xt、ytの間にあるかどうかが判定される。し
きい値Toがそれら予め定められた値xt、ytの間に無
いことが判定されると、しきい値/コントラスト検査ア
ルゴリズム122は機械視覚システム92(図5参照)
が、フローチャート・ブロック156に示されているよ
うに適用可能な光の増減が必要であることを示すために
出力装置93(図5参照)上でユーザへ促すようにさせ
る。更に、ユーザへの上記プロンプトの後、しきい値/
コントラスト検査アルゴリズム122が終了する。反対
に、もし上記しきい値Toが許容範囲xt、ytの間にあ
ることが判定されると、フローチャート・ブロック15
7に示されているように、特定のコントラストCが計算
される。
【0068】そのコントラストCは最大画素値から最小
画素値を減ずることによって計算される。コントラスト
Cの計算の後、そのコントラストCが許容範囲内に入っ
ているかどうかが判定される。この操作を行う理由は画
素値の範囲が上記しきい値To以上及び以下で利用可能
となることを確保するためである。特に、コントラスト
Cが予め定められたコントラスト値xc、ycの間にある
かどうかが判定される。もしコントラストCが上記予め
定められたコントラスト値xc、ycの間に無いことが判
定されると、しきい値/コントラスト検査アルゴリズム
122は機械視覚システム92が出力装置93を介して
ユーザへ促すようにさせる。このプロンプトは、フロー
チャート・ブロック159に示されているように、ユー
ザに光輝度の調整、再合焦或いはサンプルの取り消しを
行うように指示する。ユーザへの上記プロンプトの後、
しきい値/コントラスト検査アルゴリズム122及び検
査制御アルゴリズム120が終了する。もしコントラス
トCが上記許容範囲xc、ycの間に入っていることが判
定されると、しきい値/コントラスト検査アルゴリズム
122は図10の粗自動合焦アルゴリズム123へ進
む。
画素値を減ずることによって計算される。コントラスト
Cの計算の後、そのコントラストCが許容範囲内に入っ
ているかどうかが判定される。この操作を行う理由は画
素値の範囲が上記しきい値To以上及び以下で利用可能
となることを確保するためである。特に、コントラスト
Cが予め定められたコントラスト値xc、ycの間にある
かどうかが判定される。もしコントラストCが上記予め
定められたコントラスト値xc、ycの間に無いことが判
定されると、しきい値/コントラスト検査アルゴリズム
122は機械視覚システム92が出力装置93を介して
ユーザへ促すようにさせる。このプロンプトは、フロー
チャート・ブロック159に示されているように、ユー
ザに光輝度の調整、再合焦或いはサンプルの取り消しを
行うように指示する。ユーザへの上記プロンプトの後、
しきい値/コントラスト検査アルゴリズム122及び検
査制御アルゴリズム120が終了する。もしコントラス
トCが上記許容範囲xc、ycの間に入っていることが判
定されると、しきい値/コントラスト検査アルゴリズム
122は図10の粗自動合焦アルゴリズム123へ進
む。
【0069】ここで、コントラストを判定するために1
本の水平ラインのみと1本の垂直ラインのみとを使用す
ることのよって実行を要する計算の数が最適に縮小され
ることが注目されるべきである。なお、更に他のプロセ
スがコントラストを判定するために知られている。一例
として、画像111の全体が値の範囲、特に最大値及び
最小値を判定するようにヒストグラムを介して分析可能
である。しかし、上記手順は好適な実施例に比較して計
算が強力である。
本の水平ラインのみと1本の垂直ラインのみとを使用す
ることのよって実行を要する計算の数が最適に縮小され
ることが注目されるべきである。なお、更に他のプロセ
スがコントラストを判定するために知られている。一例
として、画像111の全体が値の範囲、特に最大値及び
最小値を判定するようにヒストグラムを介して分析可能
である。しかし、上記手順は好適な実施例に比較して計
算が強力である。
【0070】C.粗自動合焦アルゴリズム:ここで図1
0を参照して粗自動合焦アルゴリズム123を詳細に説
明する。粗自動合焦アルゴリズム123は本質的には干
渉縞パターン112を画像111の中心へ移動し、続い
て干渉縞パターン112を画像111から所定距離移動
し、続いて干渉縞パターン112に対する光ファイバ端
面26’の位置を判定する。
0を参照して粗自動合焦アルゴリズム123を詳細に説
明する。粗自動合焦アルゴリズム123は本質的には干
渉縞パターン112を画像111の中心へ移動し、続い
て干渉縞パターン112を画像111から所定距離移動
し、続いて干渉縞パターン112に対する光ファイバ端
面26’の位置を判定する。
【0071】最初、フローチャート・ブロック161に
示されているように、圧電素子97が自動検査装置90
によって脱焦され、その結果、対物レンズ96がターゲ
ット82から最も遠い距離になる。次に、圧電素子97
は、フローチャート・ブロック162に示されているよ
うに、対物レンズ96をターゲットへ向かってステップ
幅no(好適な実施例では200nm)を持つステップだ
け移動する。対物レンズ96がnoのステップだけ移動
された後、ターゲット82の画像111が分析される。
2次元(2D)粗自動合焦格子が、光ファイバ端面2
6’の中心にではなく、画像111の中心に位置され
る。更に、フローチャート・ブロック163に示されて
いるように、その粗自動合焦格子上に位置する画素の全
輝度値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
示されているように、圧電素子97が自動検査装置90
によって脱焦され、その結果、対物レンズ96がターゲ
ット82から最も遠い距離になる。次に、圧電素子97
は、フローチャート・ブロック162に示されているよ
うに、対物レンズ96をターゲットへ向かってステップ
幅no(好適な実施例では200nm)を持つステップだ
け移動する。対物レンズ96がnoのステップだけ移動
された後、ターゲット82の画像111が分析される。
2次元(2D)粗自動合焦格子が、光ファイバ端面2
6’の中心にではなく、画像111の中心に位置され
る。更に、フローチャート・ブロック163に示されて
いるように、その粗自動合焦格子上に位置する画素の全
輝度値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
【0072】フローチャート・ブロック164に記述さ
れているように、粗自動合焦アルゴリズム123は次に
上記階調度和に基づいて画像111中で干渉縞パターン
112が垂直方向にセンタリングされているかどうかの
判定を行う。もし干渉縞パターン112がセンタリング
されていない場合は、粗自動合焦アルゴリズム123が
再び対物レンズ96をnoのステップだけ移動させ、干
渉縞パターン112がセンタリングされるまで上述の分
析が続行する。
れているように、粗自動合焦アルゴリズム123は次に
上記階調度和に基づいて画像111中で干渉縞パターン
112が垂直方向にセンタリングされているかどうかの
判定を行う。もし干渉縞パターン112がセンタリング
されていない場合は、粗自動合焦アルゴリズム123が
再び対物レンズ96をnoのステップだけ移動させ、干
渉縞パターン112がセンタリングされるまで上述の分
析が続行する。
【0073】干渉縞パターン112が画像111中で垂
直方向にセンタリングされた後、フローチャート・ブロ
ック165に記述されているように、画像を脱焦するた
めに対物レンズ96が所定の距離だけそのターゲット8
2から遠ざけられる。上述の操作によって、干渉縞パタ
ーン112は画像111の中心から所定の距離だけ離さ
れる。
直方向にセンタリングされた後、フローチャート・ブロ
ック165に記述されているように、画像を脱焦するた
めに対物レンズ96が所定の距離だけそのターゲット8
2から遠ざけられる。上述の操作によって、干渉縞パタ
ーン112は画像111の中心から所定の距離だけ離さ
れる。
【0074】ここで、フローチャート・ブロック166
に記述されているように、必ずしも画像111の中心に
は無いことがある光ファイバ端面26’の位置のサーチ
が実行される。光ファイバ端面26’の光ファイバ境界
のグレイ・レベル・サーチが実行される。隣接領域の輝
度値間の隔たりは上記光ファイバ境界を示す。次に、或
る円周カーブが収集された境界点に当て嵌められ、その
円周カーブの中心が判定される。円周カーブの中心を判
定するために知られている多数の従来技術が有る。好適
な実施例では、ハフ変換がその閉ループ制御の位置、同
様にコア端面25’の位置を判定するために使用され
る。閉ループ制御の位置を判定するためにハフ変換を使
用することは Palmquistらの米国特許第5,179,4
19号の特に第10カラムに詳細に記載されている。ハ
フ変換の使用は、それがノイズを消去するのに役立つの
で好適であり、より強力なシステムが得られる。
に記述されているように、必ずしも画像111の中心に
は無いことがある光ファイバ端面26’の位置のサーチ
が実行される。光ファイバ端面26’の光ファイバ境界
のグレイ・レベル・サーチが実行される。隣接領域の輝
度値間の隔たりは上記光ファイバ境界を示す。次に、或
る円周カーブが収集された境界点に当て嵌められ、その
円周カーブの中心が判定される。円周カーブの中心を判
定するために知られている多数の従来技術が有る。好適
な実施例では、ハフ変換がその閉ループ制御の位置、同
様にコア端面25’の位置を判定するために使用され
る。閉ループ制御の位置を判定するためにハフ変換を使
用することは Palmquistらの米国特許第5,179,4
19号の特に第10カラムに詳細に記載されている。ハ
フ変換の使用は、それがノイズを消去するのに役立つの
で好適であり、より強力なシステムが得られる。
【0075】コア端面25’の位置及び光ファイバ境界
に基づき、2D精密合焦格子が画像111中で画定さ
れ、その結果、コア端面25’がその格子内の中心に位
置される。その2D精密合焦格子に属するフォーカス・
パラメータ(即ち、圧電素子97の最新の電圧励起状
態)及び上記2D格子内のコア端面25’の新しく判定
された位置(x-y座標)が、フローチャート・ブロッ
ク167に示されているように、機械視覚システム92
に関連するバッファ・メモリに格納される上述のパラメ
ータは次の自動合焦段階で図11乃至図13の精密自動
合焦アルゴリズム124によって使用される。上述の操
作の結果、粗自動合焦アルゴリズム123の操作が完了
する。
に基づき、2D精密合焦格子が画像111中で画定さ
れ、その結果、コア端面25’がその格子内の中心に位
置される。その2D精密合焦格子に属するフォーカス・
パラメータ(即ち、圧電素子97の最新の電圧励起状
態)及び上記2D格子内のコア端面25’の新しく判定
された位置(x-y座標)が、フローチャート・ブロッ
ク167に示されているように、機械視覚システム92
に関連するバッファ・メモリに格納される上述のパラメ
ータは次の自動合焦段階で図11乃至図13の精密自動
合焦アルゴリズム124によって使用される。上述の操
作の結果、粗自動合焦アルゴリズム123の操作が完了
する。
【0076】D.精密自動合焦アルゴリズム:精密自動
合焦アルゴリズム124の構成及び機能は図11乃至図
13に詳細に記述されている。精密自動合焦アルゴリズ
ム124は本質的に干渉縞パターン112を正確に現時
点で画像111の中心に有る光ファイバ端面26’の上
に再合焦する。
合焦アルゴリズム124の構成及び機能は図11乃至図
13に詳細に記述されている。精密自動合焦アルゴリズ
ム124は本質的に干渉縞パターン112を正確に現時
点で画像111の中心に有る光ファイバ端面26’の上
に再合焦する。
【0077】好適な実施例では、干渉縞パターン112
は光ファイバ端面26’上に位置され、その結果、最も
濃い干渉縞113’(図6A参照)がコア端面25’を
横切り、且つ、隔たりdが最も濃い干渉縞113’の分
析に基づき、データ分析アルゴリズム126(図7参
照)によって最終的に計算される。なお、前述の如く、
干渉縞113は干渉計98中で白色光が使用されている
結果、変動輝度を有している。最も濃い干渉縞113’
をコア端面25’上に位置させ、且つ、最も濃い干渉縞
113’に基づいて隔たり測定を行うことにより、最も
濃い干渉縞113’がエラーを生成する傾向が最も低い
干渉縞113であるので、より信頼性の有る結果が得ら
れる。しかし、干渉縞113のうちの何れかが上述のよ
うにして位置され、所望の隔たり判定を行うためのベー
スとして使用される。
は光ファイバ端面26’上に位置され、その結果、最も
濃い干渉縞113’(図6A参照)がコア端面25’を
横切り、且つ、隔たりdが最も濃い干渉縞113’の分
析に基づき、データ分析アルゴリズム126(図7参
照)によって最終的に計算される。なお、前述の如く、
干渉縞113は干渉計98中で白色光が使用されている
結果、変動輝度を有している。最も濃い干渉縞113’
をコア端面25’上に位置させ、且つ、最も濃い干渉縞
113’に基づいて隔たり測定を行うことにより、最も
濃い干渉縞113’がエラーを生成する傾向が最も低い
干渉縞113であるので、より信頼性の有る結果が得ら
れる。しかし、干渉縞113のうちの何れかが上述のよ
うにして位置され、所望の隔たり判定を行うためのベー
スとして使用される。
【0078】最初、精密自動合焦アルゴリズム124に
おいて、フローチャート・ブロック171に記述されて
いるように、光ファイバ・センタに属するx-y座標及
び上記2D精密合焦格子(即ち、圧電素子97の最新電
圧励起状態)が自動検査装置90内のバッファ・メモリ
から検索される。更に、上記精密合焦格子は光ファイバ
端面26’上にセンタリングされ、その結果、コア端面
25’がその格子の中心に存在する。
おいて、フローチャート・ブロック171に記述されて
いるように、光ファイバ・センタに属するx-y座標及
び上記2D精密合焦格子(即ち、圧電素子97の最新電
圧励起状態)が自動検査装置90内のバッファ・メモリ
から検索される。更に、上記精密合焦格子は光ファイバ
端面26’上にセンタリングされ、その結果、コア端面
25’がその格子の中心に存在する。
【0079】次に、フローチャート・ブロック172に
記述されているように、対物レンズ96が圧電素子97
によってn1(好適な実施例では200nm)の大きさを
持つステップだけ移動される。対物レンズ96の移動に
よって干渉縞パターン112の垂直移動が引き起こされ
る。
記述されているように、対物レンズ96が圧電素子97
によってn1(好適な実施例では200nm)の大きさを
持つステップだけ移動される。対物レンズ96の移動に
よって干渉縞パターン112の垂直移動が引き起こされ
る。
【0080】フローチャート・ブロック173に記述さ
れているように、上記精密合焦格子上に位置されている
画素値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
れているように、上記精密合焦格子上に位置されている
画素値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
【0081】フローチャート・ブロック174に記述さ
れているように、ここで干渉縞パターン112が光ファ
イバ端面26’のコア端面25’にオーバラップし始め
たかどうかの判定が上記階調度和に基づいて為される。
もしそのオーバラップが開始していない場合は精密自動
合焦アルゴリズム124が再び対物レンズ96をn1の
ステップだけ移動させ、上述の分析が続行する。
れているように、ここで干渉縞パターン112が光ファ
イバ端面26’のコア端面25’にオーバラップし始め
たかどうかの判定が上記階調度和に基づいて為される。
もしそのオーバラップが開始していない場合は精密自動
合焦アルゴリズム124が再び対物レンズ96をn1の
ステップだけ移動させ、上述の分析が続行する。
【0082】干渉縞パターン112の干渉縞113のう
ちの1つがコア端面25’とオーバラップし始めたこと
が判定されると、より正確な位置決めを提供し、且つ、
コア端面25’上への最も濃い干渉縞113’の概ね正
確な位置付けを可能にするために、干渉縞パターン11
2の合焦動作が或る範囲に減速される。この事に関し
て、ここで対物レンズ96が前記n1のステップより小
さいn2(好適な実施例では100nm)のステップだけ
移動される。対物レンズ96がn2のステップだけ移動
された後、画像111がサンプルされる。上述のステッ
プは図11のフローチャート・ブロック175に示され
ている。
ちの1つがコア端面25’とオーバラップし始めたこと
が判定されると、より正確な位置決めを提供し、且つ、
コア端面25’上への最も濃い干渉縞113’の概ね正
確な位置付けを可能にするために、干渉縞パターン11
2の合焦動作が或る範囲に減速される。この事に関し
て、ここで対物レンズ96が前記n1のステップより小
さいn2(好適な実施例では100nm)のステップだけ
移動される。対物レンズ96がn2のステップだけ移動
された後、画像111がサンプルされる。上述のステッ
プは図11のフローチャート・ブロック175に示され
ている。
【0083】フローチャート・ブロック176に示され
ているように、上記精密合焦格子上に位置されている画
素値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
ているように、上記精密合焦格子上に位置されている画
素値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
【0084】フローチャート・ブロック177に従い、
上記階調度和に基づいて最も濃い干渉縞113’がコア
端面25’の境界にオーバラップしたかどうかに関する
判定が為される。もしオーバラップしていない場合は、
フローチャート・ブロック175に記述されているよう
に、精密自動合焦アルゴリズム124が対物レンズ96
を再び上記n2のステップだけ移動させる。
上記階調度和に基づいて最も濃い干渉縞113’がコア
端面25’の境界にオーバラップしたかどうかに関する
判定が為される。もしオーバラップしていない場合は、
フローチャート・ブロック175に記述されているよう
に、精密自動合焦アルゴリズム124が対物レンズ96
を再び上記n2のステップだけ移動させる。
【0085】フローチャート・ブロック177での上述
の判定の答えが肯定応答であるときは、対物レンズ96
がターゲット82へ向かって移動されるステップの大き
さが再び縮小される。フローチャート・ブロック178
に記述されているように、この流れに沿い、対物レンズ
96が前記n2のステップより小さいn3(好適な実施例
では50nm)の大きさのステップで移動するように制御
され、続いて画像111がサンプルされる。
の判定の答えが肯定応答であるときは、対物レンズ96
がターゲット82へ向かって移動されるステップの大き
さが再び縮小される。フローチャート・ブロック178
に記述されているように、この流れに沿い、対物レンズ
96が前記n2のステップより小さいn3(好適な実施例
では50nm)の大きさのステップで移動するように制御
され、続いて画像111がサンプルされる。
【0086】フローチャート・ブロック179に示され
ているように、上記精密合焦格子上に位置されている画
素値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
ているように、上記精密合焦格子上に位置されている画
素値が収集され、それらの階調度の和が計算される。
【0087】フローチャート・ブロック181記述され
ているように、上記階調度和に基づいて最も濃い干渉縞
113’がコア端面25’の中心に正確にオーバラップ
しているかどうかに関する判定が為される。ここで、幾
つかの干渉縞113がコア端面25’を横切ることが可
能であることが注目される必要がある。もしオーバラッ
プしていない場合は、フローチャート・ブロック178
に記述されているように、精密自動合焦アルゴリズム1
24が対物レンズ96を再び上記n3のステップだけ移
動させ、上述の分析が続行する。
ているように、上記階調度和に基づいて最も濃い干渉縞
113’がコア端面25’の中心に正確にオーバラップ
しているかどうかに関する判定が為される。ここで、幾
つかの干渉縞113がコア端面25’を横切ることが可
能であることが注目される必要がある。もしオーバラッ
プしていない場合は、フローチャート・ブロック178
に記述されているように、精密自動合焦アルゴリズム1
24が対物レンズ96を再び上記n3のステップだけ移
動させ、上述の分析が続行する。
【0088】最も濃い干渉縞113’がコア端面25’
の中心と目される個所へ正確に合焦された後、合焦結果
の完全性及び正確度を確保するために完全性検査手順が
実行される。この手順はフローチャート・ブロック18
2乃至184に示されているように実行される。この完
全性検査手順はノイズ状態が最も濃い干渉縞113’と
して不注意で確認されていないことを確保する。本質的
に、この完全性検査手順は他の干渉縞113が有るに違
いないと思われる最も濃い干渉縞113’から所定の距
離で別の位置の画像111をスキャンし、且つ、上記他
の干渉縞113がその位置に有るかどうかを判定するこ
とに関する。この流れに沿い、固定の角度Φ = 3°及
び干渉計の白色光の波長、約600nmに基づいて、干渉
縞113同士はほぼ300nmだけ開けられる必要があ
る。
の中心と目される個所へ正確に合焦された後、合焦結果
の完全性及び正確度を確保するために完全性検査手順が
実行される。この手順はフローチャート・ブロック18
2乃至184に示されているように実行される。この完
全性検査手順はノイズ状態が最も濃い干渉縞113’と
して不注意で確認されていないことを確保する。本質的
に、この完全性検査手順は他の干渉縞113が有るに違
いないと思われる最も濃い干渉縞113’から所定の距
離で別の位置の画像111をスキャンし、且つ、上記他
の干渉縞113がその位置に有るかどうかを判定するこ
とに関する。この流れに沿い、固定の角度Φ = 3°及
び干渉計の白色光の波長、約600nmに基づいて、干渉
縞113同士はほぼ300nmだけ開けられる必要があ
る。
【0089】フローチャート・ブロック182に示され
ているように、対物レンズ96はターゲット82に向か
ってn4のステップ幅を持つ所定のフォーカシング・ス
テップだけ伸長される。好適な実施例では、上記所定の
フォーカシング・ステップの大きさn4はほぼ300nm
である。
ているように、対物レンズ96はターゲット82に向か
ってn4のステップ幅を持つ所定のフォーカシング・ス
テップだけ伸長される。好適な実施例では、上記所定の
フォーカシング・ステップの大きさn4はほぼ300nm
である。
【0090】対物レンズ96がn4のステップだけ移動
した後、フローチャート・ブロック183に示されてい
るように、階調度和の最新の値に関するデータ・ベース
情報が検索される。更に、フローチャート・ブロック1
84に示されているように、最大階調度の位置に基づい
て最適焦点位置(最も濃い干渉縞113’がコア端面2
5’の中心を横切るときの位置)を通過したかどうかに
関する判定が為される。もし最適焦点位置を通過してい
ない場合は、フローチャート・ブロック178に示され
ているように、精密自動合焦アルゴリズム124が対物
レンズ96を上記n3のステップだけ移動させて、再
度、上述のフローチャート・ブロック178乃至184
に記述されている機能を実行する。
した後、フローチャート・ブロック183に示されてい
るように、階調度和の最新の値に関するデータ・ベース
情報が検索される。更に、フローチャート・ブロック1
84に示されているように、最大階調度の位置に基づい
て最適焦点位置(最も濃い干渉縞113’がコア端面2
5’の中心を横切るときの位置)を通過したかどうかに
関する判定が為される。もし最適焦点位置を通過してい
ない場合は、フローチャート・ブロック178に示され
ているように、精密自動合焦アルゴリズム124が対物
レンズ96を上記n3のステップだけ移動させて、再
度、上述のフローチャート・ブロック178乃至184
に記述されている機能を実行する。
【0091】最適焦点位置を通過したことが判定された
後、フローチャート・ブロック185に示されているよ
うに、最大階調度和を生成するために圧電素子97へ送
出された励起電圧値が検索され、且つ、圧電素子97が
この励起電圧値によって制御され、対物レンズ96を上
記確認された最適焦点位置(即ち、最も濃い干渉縞11
3’が257の中心を正確に横切る位置)へ戻される。
後、フローチャート・ブロック185に示されているよ
うに、最大階調度和を生成するために圧電素子97へ送
出された励起電圧値が検索され、且つ、圧電素子97が
この励起電圧値によって制御され、対物レンズ96を上
記確認された最適焦点位置(即ち、最も濃い干渉縞11
3’が257の中心を正確に横切る位置)へ戻される。
【0092】最後に、フローチャート・ブロック186
に記述されているように、干渉縞パターン112が光フ
ァイバ端面26’上にセンタリングされ、且つ、最も濃
い干渉縞113’がコア端面25’の中心を横切る状態
に残したままで、フローチャート・ブロック186に示
されているように、最適合焦位置を見出すための精密合
焦格子が取り除かれる。続いて、上述の手順が終了した
とき、上記精密自動合焦アルゴリズム124は自己校正
アルゴリズム125へ進む。
に記述されているように、干渉縞パターン112が光フ
ァイバ端面26’上にセンタリングされ、且つ、最も濃
い干渉縞113’がコア端面25’の中心を横切る状態
に残したままで、フローチャート・ブロック186に示
されているように、最適合焦位置を見出すための精密合
焦格子が取り除かれる。続いて、上述の手順が終了した
とき、上記精密自動合焦アルゴリズム124は自己校正
アルゴリズム125へ進む。
【0093】E.自己校正アルゴリズム:ここで図14
及び図15を参照して自己校正アルゴリズム125を詳
細に説明する。自己校正アルゴリズム125は本質的に
は画素の観点で干渉縞間隔を測定する。自己校正アルゴ
リズム125はターゲット82を横切る長手方向軸a1
に対する干渉計98と対物レンズ96との組合せの角度
Φの変化を追求する。更に、自己校正アルゴリズム12
5は光ファイバ端面26’とプラグ端面36’とを包含
する終端部端面79の曲率半径の変化を追求する。その
変化は、必ずしもそうである必要はないが、約10乃至
25ミリメータ(mm)であることが期待される。
及び図15を参照して自己校正アルゴリズム125を詳
細に説明する。自己校正アルゴリズム125は本質的に
は画素の観点で干渉縞間隔を測定する。自己校正アルゴ
リズム125はターゲット82を横切る長手方向軸a1
に対する干渉計98と対物レンズ96との組合せの角度
Φの変化を追求する。更に、自己校正アルゴリズム12
5は光ファイバ端面26’とプラグ端面36’とを包含
する終端部端面79の曲率半径の変化を追求する。その
変化は、必ずしもそうである必要はないが、約10乃至
25ミリメータ(mm)であることが期待される。
【0094】当初、自己校正アルゴリズム125におい
て、画像111がサンプルされ、且つ、干渉縞パターン
112が画像111の垂直軸に沿ってサーチされる。好
適な実施例では、その垂直ラインはそれが遷移ゾーン1
17a、117bを横切らないように選択される。フロ
ーチャート・ブロック191に示されているように、干
渉縞パターン112は垂直ライン内の階調度の絶対値の
和を取ることによってサーチすることが可能である。上
記階調度は或る画素値と所定の方向に沿う隣接画素の値
との間の差である。
て、画像111がサンプルされ、且つ、干渉縞パターン
112が画像111の垂直軸に沿ってサーチされる。好
適な実施例では、その垂直ラインはそれが遷移ゾーン1
17a、117bを横切らないように選択される。フロ
ーチャート・ブロック191に示されているように、干
渉縞パターン112は垂直ライン内の階調度の絶対値の
和を取ることによってサーチすることが可能である。上
記階調度は或る画素値と所定の方向に沿う隣接画素の値
との間の差である。
【0095】フローチャート・ブロック192に示され
ているように、干渉縞パターン112が存在するかどう
かに関する判定が為される。もし干渉縞パターン112
が存在しない場合は、階調度は小さい。しかし、もし干
渉縞パターン112が存在する場合は、階調度は極めて
大きい。もし干渉縞パターン112が存在しない場合
は、フローチャート・ブロック193に示されているよ
うに、画質不足を示すメッセージが機械視覚システム9
2によってディスプレイ93(図5参照)へ送出され、
自己校正アルゴリズム125、検査制御アルゴリズム1
20が終了する。
ているように、干渉縞パターン112が存在するかどう
かに関する判定が為される。もし干渉縞パターン112
が存在しない場合は、階調度は小さい。しかし、もし干
渉縞パターン112が存在する場合は、階調度は極めて
大きい。もし干渉縞パターン112が存在しない場合
は、フローチャート・ブロック193に示されているよ
うに、画質不足を示すメッセージが機械視覚システム9
2によってディスプレイ93(図5参照)へ送出され、
自己校正アルゴリズム125、検査制御アルゴリズム1
20が終了する。
【0096】干渉縞パターン112が存在することが判
定されると、ノイズによって引き起こされる可能性があ
る悪影響を最小化するために、垂直ラインに沿う輝度デ
ータが移動平均フィルタを使用して平滑される。ノイズ
は、例えば、終端部端面79(図4参照)上の塵や、接
着剤(例えば、エポキシ)、或るいは他の何らかの異物
によって生じることがある。上記移動平均フィルタは本
質的に画素値を隣接画素値同士を平均することによって
生成された平均画素値と置換することによって局部バラ
ツキを消去する。
定されると、ノイズによって引き起こされる可能性があ
る悪影響を最小化するために、垂直ラインに沿う輝度デ
ータが移動平均フィルタを使用して平滑される。ノイズ
は、例えば、終端部端面79(図4参照)上の塵や、接
着剤(例えば、エポキシ)、或るいは他の何らかの異物
によって生じることがある。上記移動平均フィルタは本
質的に画素値を隣接画素値同士を平均することによって
生成された平均画素値と置換することによって局部バラ
ツキを消去する。
【0097】次に、フローチャート・ブロック195に
従い、最も濃い干渉縞113’とその隣接干渉縞11
3”(図6A参照)のうちの1つの位置が判定される。
最小の輝度値を持つ垂直ラインに沿う画素が最も濃い干
渉縞113’の中心に位置することとなる。更に、隣接
局部最小値は隣接干渉縞113”の位置を示す。
従い、最も濃い干渉縞113’とその隣接干渉縞11
3”(図6A参照)のうちの1つの位置が判定される。
最小の輝度値を持つ垂直ラインに沿う画素が最も濃い干
渉縞113’の中心に位置することとなる。更に、隣接
局部最小値は隣接干渉縞113”の位置を示す。
【0098】最も濃い干渉縞113’と隣接干渉縞11
3”との間の実際の間隔は、フローチャート・ブロック
196に従って計算される。干渉縞間の間隔は次のステ
ップ、即ち、(1)画素値の、干渉縞パターン112の
干渉縞113を横切って延びる多数の直線プロフィール
を分析するステップ;(2)各プロフィールに関連する
最も暗い干渉縞の位置を判定するステップ;(3)隣接
プロフィールの最も暗い画素間の画素距離を定量するス
テップ;及び(5)画素の観点での上記測定された間隔
を作成するために上記画素距離を平均するステップで計
算される。
3”との間の実際の間隔は、フローチャート・ブロック
196に従って計算される。干渉縞間の間隔は次のステ
ップ、即ち、(1)画素値の、干渉縞パターン112の
干渉縞113を横切って延びる多数の直線プロフィール
を分析するステップ;(2)各プロフィールに関連する
最も暗い干渉縞の位置を判定するステップ;(3)隣接
プロフィールの最も暗い画素間の画素距離を定量するス
テップ;及び(5)画素の観点での上記測定された間隔
を作成するために上記画素距離を平均するステップで計
算される。
【0099】次に、完全性検査手順が干渉計98の角度
Φ及び端面26’、36’(図4参照)に関連する曲率
半径の適切性を確保するために実行される。換言する
と、好ましくは3°に設定されている角度Φが変化した
可能性が有り、且つ、代表的には10乃至25mmである
曲率半径もまた変化した可能性が有る。更に、上記角度
Φ及び曲率半径は干渉縞間隔に影響し、もしそれらの変
化が十分に急激である場合は、上記測定された干渉縞間
隔が隔たりdを正確に判定するのに十分な解を持たない
こととなる。従って、フローチャート・ブロック197
において、フローチャート・ブロック196で判定が為
されたときの上記測定された干渉縞間隔が最新の測定で
の干渉縞間隔と比較される。、もしそれらが整合すると
自己校正アルゴリズム125は直ちに検査制御アルゴリ
ズム120(図7参照)へ進み、干渉計98の角度Φ及
び端面26’、36’(図4参照)に関連する曲率半径
が適切であることを示し、且つ、隔たりdの先々の計算
のために十分な解(画素数)を持つ測定された干渉縞間
隔を提供する。
Φ及び端面26’、36’(図4参照)に関連する曲率
半径の適切性を確保するために実行される。換言する
と、好ましくは3°に設定されている角度Φが変化した
可能性が有り、且つ、代表的には10乃至25mmである
曲率半径もまた変化した可能性が有る。更に、上記角度
Φ及び曲率半径は干渉縞間隔に影響し、もしそれらの変
化が十分に急激である場合は、上記測定された干渉縞間
隔が隔たりdを正確に判定するのに十分な解を持たない
こととなる。従って、フローチャート・ブロック197
において、フローチャート・ブロック196で判定が為
されたときの上記測定された干渉縞間隔が最新の測定で
の干渉縞間隔と比較される。、もしそれらが整合すると
自己校正アルゴリズム125は直ちに検査制御アルゴリ
ズム120(図7参照)へ進み、干渉計98の角度Φ及
び端面26’、36’(図4参照)に関連する曲率半径
が適切であることを示し、且つ、隔たりdの先々の計算
のために十分な解(画素数)を持つ測定された干渉縞間
隔を提供する。
【0100】もしそれらが整合しない場合は、フローチ
ャート・ブロック198に示されているように、上記測
定された干渉縞間隔が許容できる予め定められた間隔の
範囲に入るかどうか、即ち、干渉計98の角度Φの累積
変化及び光ファイバの曲率半径が許容範囲に入るかどう
かに関する判定が為される。もし上記測定された干渉縞
間隔が予め定められた間隔の範囲に入る場合は、上記測
定された干渉縞間隔が、フローチャート・ブロック20
1、202に示されているように、隔たりdの最終判定
の際に自動検査装置90によって使用されることとな
り、自己校正アルゴリズム125は検査制御アルゴリズ
ム120(図7参照)へ戻る。もし上記測定された干渉
縞間隔が予め定められた間隔の範囲に入らない場合は、
上記測定された干渉縞間隔が棄却され、且つ、検査制御
アルゴリズム120、自己校正アルゴリズム125がフ
ローチャート・ブロック199に記述されているよう
に、画質不足を示す校正エラー信号を伴って終了する。
ャート・ブロック198に示されているように、上記測
定された干渉縞間隔が許容できる予め定められた間隔の
範囲に入るかどうか、即ち、干渉計98の角度Φの累積
変化及び光ファイバの曲率半径が許容範囲に入るかどう
かに関する判定が為される。もし上記測定された干渉縞
間隔が予め定められた間隔の範囲に入る場合は、上記測
定された干渉縞間隔が、フローチャート・ブロック20
1、202に示されているように、隔たりdの最終判定
の際に自動検査装置90によって使用されることとな
り、自己校正アルゴリズム125は検査制御アルゴリズ
ム120(図7参照)へ戻る。もし上記測定された干渉
縞間隔が予め定められた間隔の範囲に入らない場合は、
上記測定された干渉縞間隔が棄却され、且つ、検査制御
アルゴリズム120、自己校正アルゴリズム125がフ
ローチャート・ブロック199に記述されているよう
に、画質不足を示す校正エラー信号を伴って終了する。
【0101】F.データ分析アルゴリズム:ここで図1
6及び図17を参照してデータ分析アルゴリズム126
を詳細に説明する。通常、データ分析アルゴリズム12
6は陥入/突出の程度に対応する隔たりd(図5参照)
を判定する。
6及び図17を参照してデータ分析アルゴリズム126
を詳細に説明する。通常、データ分析アルゴリズム12
6は陥入/突出の程度に対応する隔たりd(図5参照)
を判定する。
【0102】当初、フローチャート・ブロック211に
従い、多数のゾーン116a乃至116dが、後程、図
18を参照して詳細に述べられるゾーン生成アルゴリズ
ムを介して生成される。ゾーン形状だけでなく他の数の
ゾーン116を使用することが可能であるが、好適な実
施例では、図7に図示されているように配列された、ゾ
ーン116a、116d及びそれらより面積が小さいゾ
ーン116b、116cとの4個の方形ゾーンが使用さ
れる。とりわけ、ゾーン116a乃至116dの使用に
より、必要な計算量が最小になり、且つ、データ分析ア
ルゴリズム126の速度が顕著に向上する。
従い、多数のゾーン116a乃至116dが、後程、図
18を参照して詳細に述べられるゾーン生成アルゴリズ
ムを介して生成される。ゾーン形状だけでなく他の数の
ゾーン116を使用することが可能であるが、好適な実
施例では、図7に図示されているように配列された、ゾ
ーン116a、116d及びそれらより面積が小さいゾ
ーン116b、116cとの4個の方形ゾーンが使用さ
れる。とりわけ、ゾーン116a乃至116dの使用に
より、必要な計算量が最小になり、且つ、データ分析ア
ルゴリズム126の速度が顕著に向上する。
【0103】ゾーン116a乃至116d(図6A参
照)が発生された後、フローチャート・ブロック212
に従い、最も濃い干渉縞113’がオーバラップしてい
る干渉縞113の組合せではないことを確実にするため
に、干渉縞トレース・アルゴリズムが使用される。特
に、プラグ端面36’と光ファイバ端面26’との間の
遷移ゾーンのうちの1つにおける最も濃い干渉縞11
3’のずれが、光ファイバ端面26’上の最も濃い干渉
縞113’がプラグ端面36’上の隣接干渉縞113”
と整列するために重要である。好ましくは干渉縞トレー
ス・アルゴリズム212が最終正確度を持つ逆状態を検
出する。干渉縞トレース・アルゴリズム212は後で図
19を参照して説明される。
照)が発生された後、フローチャート・ブロック212
に従い、最も濃い干渉縞113’がオーバラップしてい
る干渉縞113の組合せではないことを確実にするため
に、干渉縞トレース・アルゴリズムが使用される。特
に、プラグ端面36’と光ファイバ端面26’との間の
遷移ゾーンのうちの1つにおける最も濃い干渉縞11
3’のずれが、光ファイバ端面26’上の最も濃い干渉
縞113’がプラグ端面36’上の隣接干渉縞113”
と整列するために重要である。好ましくは干渉縞トレー
ス・アルゴリズム212が最終正確度を持つ逆状態を検
出する。干渉縞トレース・アルゴリズム212は後で図
19を参照して説明される。
【0104】フローチャート・ブロック213a、21
3bに従い、次に、隔たりd(陥入/突出)を計算する
ために使用される最も濃い干渉縞113’の不連続を充
足するために、干渉縞整合アルゴリズム及び遷移ゾーン
・アルゴリズムが同時に使用され、その結果、次に行わ
れる曲線当て嵌め計算及び隔たり計算が最適化される。
フローチャート・ブロック213aに示されている干渉
縞整合アルゴリズムはゾーン116a乃至116d内の
データに対してのみ実行され、フローチャート・ブロッ
ク213bの遷移ゾーン・アルゴリズムは遷移ゾーン1
17a、117b内のデータに対してのみ実行される。
フローチャート・ブロック213aの干渉縞整合アルゴ
リズム及びフローチャート・ブロック213bの遷移ゾ
ーン・アルゴリズムはそれぞれ、後で図20及び図2
1、図22を参照して説明される。
3bに従い、次に、隔たりd(陥入/突出)を計算する
ために使用される最も濃い干渉縞113’の不連続を充
足するために、干渉縞整合アルゴリズム及び遷移ゾーン
・アルゴリズムが同時に使用され、その結果、次に行わ
れる曲線当て嵌め計算及び隔たり計算が最適化される。
フローチャート・ブロック213aに示されている干渉
縞整合アルゴリズムはゾーン116a乃至116d内の
データに対してのみ実行され、フローチャート・ブロッ
ク213bの遷移ゾーン・アルゴリズムは遷移ゾーン1
17a、117b内のデータに対してのみ実行される。
フローチャート・ブロック213aの干渉縞整合アルゴ
リズム及びフローチャート・ブロック213bの遷移ゾ
ーン・アルゴリズムはそれぞれ、後で図20及び図2
1、図22を参照して説明される。
【0105】次に、フローチャート・ブロック214に
記述されているように、円周カーブ当て嵌め処理が第1
円周カーブをゾーン116a、116d中の最も濃い干
渉縞113’に当て嵌め、且つ、第2円周カーブをゾー
ン116b、116c中の最も濃い干渉縞113’に当
て嵌めるために使用される。第1円周カーブはプラグ端
面36’のレベルに対応し、第2円周カーブは光ファイ
バ端面26’のレベルに対応する。好適な実施例では、
第1及び第2円周カーブは Palmquistらの米国特許第
5,179,419号に記載されているようなハフ変換
に基づいて判定されるが、他の多くの適当なアルゴリズ
ムが使用可能である。
記述されているように、円周カーブ当て嵌め処理が第1
円周カーブをゾーン116a、116d中の最も濃い干
渉縞113’に当て嵌め、且つ、第2円周カーブをゾー
ン116b、116c中の最も濃い干渉縞113’に当
て嵌めるために使用される。第1円周カーブはプラグ端
面36’のレベルに対応し、第2円周カーブは光ファイ
バ端面26’のレベルに対応する。好適な実施例では、
第1及び第2円周カーブは Palmquistらの米国特許第
5,179,419号に記載されているようなハフ変換
に基づいて判定されるが、他の多くの適当なアルゴリズ
ムが使用可能である。
【0106】フローチャート・ブロック215に従い、
最小二乗エラー処理法が円周カーブ当て嵌め処理に対す
る使用不能な点の全数を抽出するために使用される。更
に、フローチャート・ブロック216に示されているよ
うに、上記使用不能な点の全数が所定のしきい値T1を
超えているかどうかに関する判定が為される。もし使用
不能な点の数が余りに大きい場合、即ちT1より上であ
る場合、フローチャート・ブロック217に示されてい
るように、データ分析アルゴリズム126はセラミック
突き合わせエラー或いは光ファイバ突き合わせエラーを
示すメッセージが出力装置93へ送出されるようにし、
検査制御アルゴリズム120(図7参照)が終了する。
最小二乗エラー処理法が円周カーブ当て嵌め処理に対す
る使用不能な点の全数を抽出するために使用される。更
に、フローチャート・ブロック216に示されているよ
うに、上記使用不能な点の全数が所定のしきい値T1を
超えているかどうかに関する判定が為される。もし使用
不能な点の数が余りに大きい場合、即ちT1より上であ
る場合、フローチャート・ブロック217に示されてい
るように、データ分析アルゴリズム126はセラミック
突き合わせエラー或いは光ファイバ突き合わせエラーを
示すメッセージが出力装置93へ送出されるようにし、
検査制御アルゴリズム120(図7参照)が終了する。
【0107】上記数の使用不能な画素値が所定のしきい
値T1未満に低下すると、円周カーブ当て嵌めは適切に
正確であるとみなされ、データ分析アルゴリズム126
は隔たりdを計算する。この隔たりdは、フローチャー
ト・ブロック218に従い、ゾーン116a及び116
d或いはそれらの間に中心のx座標が当て嵌められた第
1円周カーブのy座標と、ゾーン116b及び116c
或いはそれらの間に中心のx座標が当て嵌められた第2
円周カーブのy座標との差を計算することによって判定
される。
値T1未満に低下すると、円周カーブ当て嵌めは適切に
正確であるとみなされ、データ分析アルゴリズム126
は隔たりdを計算する。この隔たりdは、フローチャー
ト・ブロック218に従い、ゾーン116a及び116
d或いはそれらの間に中心のx座標が当て嵌められた第
1円周カーブのy座標と、ゾーン116b及び116c
或いはそれらの間に中心のx座標が当て嵌められた第2
円周カーブのy座標との差を計算することによって判定
される。
【0108】フローチャート・ブロック219に記述さ
れているように、隔たりdが正数値であるかどうかに関
する判定が為される。隔たりdが正数値である場合は、
フローチャート・ブロック221aに示されているよう
に、この隔たりdはプラグ端面36’に対して光ファイ
バ端面26’が突出であるとして解釈され、隔たりdが
正数値でない場合は、フローチャート・ブロック221
bに示されているように、この隔たりdは負であり、こ
の隔たりdはプラグ端面36’に対して光ファイバ端面
26’が陥入であるとして解釈される。
れているように、隔たりdが正数値であるかどうかに関
する判定が為される。隔たりdが正数値である場合は、
フローチャート・ブロック221aに示されているよう
に、この隔たりdはプラグ端面36’に対して光ファイ
バ端面26’が突出であるとして解釈され、隔たりdが
正数値でない場合は、フローチャート・ブロック221
bに示されているように、この隔たりdは負であり、こ
の隔たりdはプラグ端面36’に対して光ファイバ端面
26’が陥入であるとして解釈される。
【0109】突出の結果が得られると、更にフローチャ
ート・ブロック221aに示されているように、終端部
37が適切であるかどうかの判定を得るために、隔たり
dが所定の突出合否規準値と比較される。更に、陥入の
結果が得られると、フローチャート・ブロック221b
に示されているように、終端部37が適切であるかどう
かを判定するために、隔たりdが所定の陥入合否規準値
と比較される。
ート・ブロック221aに示されているように、終端部
37が適切であるかどうかの判定を得るために、隔たり
dが所定の突出合否規準値と比較される。更に、陥入の
結果が得られると、フローチャート・ブロック221b
に示されているように、終端部37が適切であるかどう
かを判定するために、隔たりdが所定の陥入合否規準値
と比較される。
【0110】最後に、フローチャート・ブロック222
に従い、ゾーン116a及び116d或いはそれらのデ
ータ間に当て嵌められた第1円周カーブに基づき、プラ
グ端面36’の曲率半径が計算される。この曲率半径は
それが許容範囲内にあることを確認するために検査され
る。好適な実施例では、好ましい曲率半径は約10乃至
25mmである。
に従い、ゾーン116a及び116d或いはそれらのデ
ータ間に当て嵌められた第1円周カーブに基づき、プラ
グ端面36’の曲率半径が計算される。この曲率半径は
それが許容範囲内にあることを確認するために検査され
る。好適な実施例では、好ましい曲率半径は約10乃至
25mmである。
【0111】この時点で、プラグ端面36’に対する光
ファイバ端面26’の陥入/突出に対応する隔たりdの
測定が完了し、フローチャート・ブロック127(図6
A参照)に示されているように、データ分析アルゴリズ
ム126がそれらの結果の表示或いはメモリへの格納の
何れかまたは双方を行うルーチンに進む。
ファイバ端面26’の陥入/突出に対応する隔たりdの
測定が完了し、フローチャート・ブロック127(図6
A参照)に示されているように、データ分析アルゴリズ
ム126がそれらの結果の表示或いはメモリへの格納の
何れかまたは双方を行うルーチンに進む。
【0112】1.ゾーン生成アルゴリズム:ゾーン生成
アルゴリズム211の構成及び機能は図18に詳細に記
述されている。このゾーン生成アルゴリズム211は画
像111内にゾーン116a乃至116dを生成する。
アルゴリズム211の構成及び機能は図18に詳細に記
述されている。このゾーン生成アルゴリズム211は画
像111内にゾーン116a乃至116dを生成する。
【0113】最初、フローチャート・ブロック251に
示されているように、画像111から光ファイバの中心
及び光ファイバ端面26’の径の座標がセグメント化さ
れる。
示されているように、画像111から光ファイバの中心
及び光ファイバ端面26’の径の座標がセグメント化さ
れる。
【0114】次に、フローチャート・ブロック252に
示されているように、適切な数の点がゾーン116a乃
至116d内で生成されるようにするため、光ファイバ
・センタが許容境界内に有るかどうかに関する判定が為
される。光ファイバ・センタが許容空間境界内に無い場
合は、ゾーン生成アルゴリズム211は、フローチャー
ト・ブロック255に示されているように、画質不足を
示すメッセージ或いは終端部37及び光ファイバ26を
支持する機械的固定装置の再合焦即ち再調整を促すリコ
メンデーションの何れか一方または双方を示すメッセー
ジが出力装置93へ送出されるようにする。
示されているように、適切な数の点がゾーン116a乃
至116d内で生成されるようにするため、光ファイバ
・センタが許容境界内に有るかどうかに関する判定が為
される。光ファイバ・センタが許容空間境界内に無い場
合は、ゾーン生成アルゴリズム211は、フローチャー
ト・ブロック255に示されているように、画質不足を
示すメッセージ或いは終端部37及び光ファイバ26を
支持する機械的固定装置の再合焦即ち再調整を促すリコ
メンデーションの何れか一方または双方を示すメッセー
ジが出力装置93へ送出されるようにする。
【0115】光ファイバ・センタの周囲に許容空間境界
が有ることが判定された後、光ファイバ・センタの位置
及び先に知得した光ファイバ径と遷移ゾーン・サイズの
データに基づき、フローチャート・ブロック253に従
って、ゾーン生成アルゴリズム211がゾーン116a
乃至116dの上部左隅の位置を計算する。
が有ることが判定された後、光ファイバ・センタの位置
及び先に知得した光ファイバ径と遷移ゾーン・サイズの
データに基づき、フローチャート・ブロック253に従
って、ゾーン生成アルゴリズム211がゾーン116a
乃至116dの上部左隅の位置を計算する。
【0116】フローチャート・ブロック254に従い、
先に知得した光ファイバ径と遷移ゾーン・サイズのデー
タに基づいて、ゾーン116a乃至116d(図5参
照)の下部右隅の位置が計算される。フローチャート・
ブロック253、254に記述されているように、ゾー
ン生成アルゴリズム211によって計算されたゾーン1
16a乃至116dの左右隅部に基づいてゾーン116
a乃至116dが完全に定められる。続いてゾーン生成
アルゴリズム211は干渉縞トレース・アルゴリズム2
12(図16参照)へ進む。
先に知得した光ファイバ径と遷移ゾーン・サイズのデー
タに基づいて、ゾーン116a乃至116d(図5参
照)の下部右隅の位置が計算される。フローチャート・
ブロック253、254に記述されているように、ゾー
ン生成アルゴリズム211によって計算されたゾーン1
16a乃至116dの左右隅部に基づいてゾーン116
a乃至116dが完全に定められる。続いてゾーン生成
アルゴリズム211は干渉縞トレース・アルゴリズム2
12(図16参照)へ進む。
【0117】2.干渉縞トレース・アルゴリズム:ここ
で図19を参照して干渉縞トレース・アルゴリズム21
2を説明する。干渉縞トレース・アルゴリズム212
は、遷移ゾーン117a、117b(図6A参照)にお
いて最も濃い干渉縞113’が他の干渉縞113、多分
その隣接干渉縞113”にオーバラップしないことを確
保することによって隔たり判定の完全性を確保する。
で図19を参照して干渉縞トレース・アルゴリズム21
2を説明する。干渉縞トレース・アルゴリズム212
は、遷移ゾーン117a、117b(図6A参照)にお
いて最も濃い干渉縞113’が他の干渉縞113、多分
その隣接干渉縞113”にオーバラップしないことを確
保することによって隔たり判定の完全性を確保する。
【0118】干渉縞トレース・アルゴリズム212は、
フローチャート・ブロック261に従い、最も濃い干渉
縞113’を画像111内で左から右方向へゾーン11
6a乃至116bに渡ってトレースし、コア端面25’
の左端の開始点における画素位置118a(図6A参
照)で停止する。
フローチャート・ブロック261に従い、最も濃い干渉
縞113’を画像111内で左から右方向へゾーン11
6a乃至116bに渡ってトレースし、コア端面25’
の左端の開始点における画素位置118a(図6A参
照)で停止する。
【0119】フローチャート・ブロック262に従い、
干渉縞トレース・アルゴリズム212は最も濃い干渉縞
113’を画像111内で右から左方向へゾーン116
d乃至116cに渡ってトレースし、コア端面25’の
右端の開始点における画素位置118b(図6A参照)
で停止する。
干渉縞トレース・アルゴリズム212は最も濃い干渉縞
113’を画像111内で右から左方向へゾーン116
d乃至116cに渡ってトレースし、コア端面25’の
右端の開始点における画素位置118b(図6A参照)
で停止する。
【0120】フローチャート・ブロック263に示され
るように、各画素位置118a、118bでのトレース
113a’の右端及びトレース113b’の左端の光フ
ァイバ端面とのインターセプトが計算される。
るように、各画素位置118a、118bでのトレース
113a’の右端及びトレース113b’の左端の光フ
ァイバ端面とのインターセプトが計算される。
【0121】フローチャート・ブロック264に記述さ
れているように、所定のライン整合規準に基づき、トレ
ース113a’、113b’に対応するインターセプト
が整合するかどうかに関する判定が為される。好適な実
施例では、上記ライン整合規準は画素位置118a、1
18bでの上記計算された干渉縞間隔の1/2以下のy
座標差である。この判定の答えが肯定応答であれば、干
渉縞トレース・アルゴリズム212が終了し、データ分
析アルゴリズム126が図16に示されるように続行す
る。
れているように、所定のライン整合規準に基づき、トレ
ース113a’、113b’に対応するインターセプト
が整合するかどうかに関する判定が為される。好適な実
施例では、上記ライン整合規準は画素位置118a、1
18bでの上記計算された干渉縞間隔の1/2以下のy
座標差である。この判定の答えが肯定応答であれば、干
渉縞トレース・アルゴリズム212が終了し、データ分
析アルゴリズム126が図16に示されるように続行す
る。
【0122】上記判定の答えが否定応答であれば、干渉
縞トレース・アルゴリズム212はフローチャート・ブ
ロック265に記述されているように、正負符号の不整
合及び強度に基づき、トレース113b’の新たなトレ
ース開始位置を選択する。この場合、干渉縞トレース・
アルゴリズム212はフローチャート・ブロック266
に示されるように、別の干渉縞113をゾーン116d
及び116c内で右から左方向へトレースし、コア端面
25’で停止する。更に、干渉縞トレース・アルゴリズ
ム212は図19のフローチャート・ブロック223、
224に示されているステップを実行する。上記プロセ
スはライン整合規準が満たされるまで続行する。
縞トレース・アルゴリズム212はフローチャート・ブ
ロック265に記述されているように、正負符号の不整
合及び強度に基づき、トレース113b’の新たなトレ
ース開始位置を選択する。この場合、干渉縞トレース・
アルゴリズム212はフローチャート・ブロック266
に示されるように、別の干渉縞113をゾーン116d
及び116c内で右から左方向へトレースし、コア端面
25’で停止する。更に、干渉縞トレース・アルゴリズ
ム212は図19のフローチャート・ブロック223、
224に示されているステップを実行する。上記プロセ
スはライン整合規準が満たされるまで続行する。
【0123】3.干渉縞整合アルゴリズム:干渉縞整合
アルゴリズム213aの構成及び機能は図20に詳細に
記述されている。記述されているように、干渉縞整合ア
ルゴリズム213aは曲線当て嵌めの正確度を最適化す
るためにゾーン116a乃至116d(図6A参照)内
の最も濃い干渉縞113’の不連続を充足する。
アルゴリズム213aの構成及び機能は図20に詳細に
記述されている。記述されているように、干渉縞整合ア
ルゴリズム213aは曲線当て嵌めの正確度を最適化す
るためにゾーン116a乃至116d(図6A参照)内
の最も濃い干渉縞113’の不連続を充足する。
【0124】最初、好適な実施例では、最も濃い干渉縞
113’が左から右方向へ画素毎の方法で分析される。
この操作は図20中の、最も濃い干渉縞113’に沿う
i個の画素が検討されることを示している、フローチャ
ート・ブロック231で開始するループで図示されてい
る。
113’が左から右方向へ画素毎の方法で分析される。
この操作は図20中の、最も濃い干渉縞113’に沿う
i個の画素が検討されることを示している、フローチャ
ート・ブロック231で開始するループで図示されてい
る。
【0125】画素値をサンプルした後、干渉縞整合アル
ゴリズム213aはフローチャート・ブロック232に
示されるように、画素が現在ゾーン116a乃至116
d内或いは遷移ゾーン117a、117b(図6A参
照)内に存在するかどうかに関する判定を行う。画素が
遷移ゾーン117a、117b内に存在する場合は、干
渉縞整合アルゴリズム213aはフローチャート・ブロ
ック233に示されるように、最も濃い干渉縞113’
に沿う画素値及び連続する画素値を処理するために、図
21及び図22の遷移ゾーン・アルゴリズム213bへ
移る。画素が遷移ゾーン117a、117b内に存在し
ない場合は、干渉縞整合アルゴリズム213aはゾーン
116a乃至116dのうちの1つに当座の画素値が有
るかどうかを判定する。
ゴリズム213aはフローチャート・ブロック232に
示されるように、画素が現在ゾーン116a乃至116
d内或いは遷移ゾーン117a、117b(図6A参
照)内に存在するかどうかに関する判定を行う。画素が
遷移ゾーン117a、117b内に存在する場合は、干
渉縞整合アルゴリズム213aはフローチャート・ブロ
ック233に示されるように、最も濃い干渉縞113’
に沿う画素値及び連続する画素値を処理するために、図
21及び図22の遷移ゾーン・アルゴリズム213bへ
移る。画素が遷移ゾーン117a、117b内に存在し
ない場合は、干渉縞整合アルゴリズム213aはゾーン
116a乃至116dのうちの1つに当座の画素値が有
るかどうかを判定する。
【0126】この場合、干渉縞整合アルゴリズム213
aはフローチャート・ブロック234に従い、トレース
113a’、113b’の何らかの不連続を捜すように
試みる。この目的のため、干渉縞整合アルゴリズム21
3aはトレース113a’、113b’の双方に沿う、
ゾーン116a乃至116d内の隣接画素同士の間の間
隔を測定する。
aはフローチャート・ブロック234に従い、トレース
113a’、113b’の何らかの不連続を捜すように
試みる。この目的のため、干渉縞整合アルゴリズム21
3aはトレース113a’、113b’の双方に沿う、
ゾーン116a乃至116d内の隣接画素同士の間の間
隔を測定する。
【0127】次に、フローチャート・ブロック235に
示されるように、最少の不連続性を有するラインに基づ
いて最確ラインが画定され且つ計算される。
示されるように、最少の不連続性を有するラインに基づ
いて最確ラインが画定され且つ計算される。
【0128】フローチャート・ブロック236に従い、
上記最確ライン上の当座の画素が好ましい干渉縞間隔、
即ち、好適な実施例では約300nmの倍数だけ変位され
ているかどうかに関する判定が為される。最確ライン上
の画素が好ましい干渉縞間隔の倍数である位置に無い場
合は、フローチャート・ブロック237に示されるよう
に、その画素値はノイズであるとして棄却され、その干
渉縞整合アルゴリズム213aは外に処理されるべき画
素値が残っていれば別の画素値を検索する。しかし、そ
の画素値が好ましい干渉縞間隔の倍数である位置に有る
場合は、フローチャート・ブロック238に従い、その
画素値の垂直位置が最確ラインに一致するようにj個の
干渉縞間隔だけ上下にシフトされる。別の方法として
は、所定の位置における画素のグレー・スケール値が、
±j個の干渉縞分離れている別の画素の位置に割り付け
られる。なお、jは計算された上記不整合倍数である。
その後、干渉縞整合アルゴリズム213aは外に処理さ
れるべき画素値が残っていれば別の画素値を検索する。
i個の画素値が全て処理された後、干渉縞整合アルゴリ
ズム213aは図16及び図17のデータ分析アルゴリ
ズム126へ戻る。
上記最確ライン上の当座の画素が好ましい干渉縞間隔、
即ち、好適な実施例では約300nmの倍数だけ変位され
ているかどうかに関する判定が為される。最確ライン上
の画素が好ましい干渉縞間隔の倍数である位置に無い場
合は、フローチャート・ブロック237に示されるよう
に、その画素値はノイズであるとして棄却され、その干
渉縞整合アルゴリズム213aは外に処理されるべき画
素値が残っていれば別の画素値を検索する。しかし、そ
の画素値が好ましい干渉縞間隔の倍数である位置に有る
場合は、フローチャート・ブロック238に従い、その
画素値の垂直位置が最確ラインに一致するようにj個の
干渉縞間隔だけ上下にシフトされる。別の方法として
は、所定の位置における画素のグレー・スケール値が、
±j個の干渉縞分離れている別の画素の位置に割り付け
られる。なお、jは計算された上記不整合倍数である。
その後、干渉縞整合アルゴリズム213aは外に処理さ
れるべき画素値が残っていれば別の画素値を検索する。
i個の画素値が全て処理された後、干渉縞整合アルゴリ
ズム213aは図16及び図17のデータ分析アルゴリ
ズム126へ戻る。
【0129】4.遷移ゾーン・アルゴリズム:遷移ゾー
ン・アルゴリズム213bは図21及び図22に示され
ている。通常、遷移ゾーン・アルゴリズム213bは、
ゾーン116a乃至116dより多くのノイズを包含す
る可能性がある遷移ゾーン117a、117b内でのト
レース113a’、113b’の不連続性を順応させ
る。
ン・アルゴリズム213bは図21及び図22に示され
ている。通常、遷移ゾーン・アルゴリズム213bは、
ゾーン116a乃至116dより多くのノイズを包含す
る可能性がある遷移ゾーン117a、117b内でのト
レース113a’、113b’の不連続性を順応させ
る。
【0130】最初、フローチャート・ブロック241に
示されるように、116a内の最も濃い干渉縞113’
の右端画素位置119a(図6A参照)が確認される。
更に、ゾーン116aと116bとの間の遷移ゾーン1
17a中の点が、この遷移ゾーン117aを横切る最確
パスを判定するために検査される。この最確パスが判定
される場合は、遷移ゾーン117a内の隣接点間の許容
できる不連続性はゾーン116a乃至116d内の隣接
点間の許容できる不連続性より大きい(図20中のブロ
ック234参照)。
示されるように、116a内の最も濃い干渉縞113’
の右端画素位置119a(図6A参照)が確認される。
更に、ゾーン116aと116bとの間の遷移ゾーン1
17a中の点が、この遷移ゾーン117aを横切る最確
パスを判定するために検査される。この最確パスが判定
される場合は、遷移ゾーン117a内の隣接点間の許容
できる不連続性はゾーン116a乃至116d内の隣接
点間の許容できる不連続性より大きい(図20中のブロ
ック234参照)。
【0131】フローチャート・ブロック242に従い、
ゾーン116d内のトレース113a’がゾーン116
aと116bとの間の最確パスに沿って開始しているか
どうかに関する判定が為される。トレース113a’が
その最確パスに沿って開始していない場合は、ゾーン1
16b内のトレース113a’の開始点がフローチャー
ト・ブロック243に記述されているように、計算され
たエラーに基づいてi個の干渉縞間隔分だけシフトされ
る。
ゾーン116d内のトレース113a’がゾーン116
aと116bとの間の最確パスに沿って開始しているか
どうかに関する判定が為される。トレース113a’が
その最確パスに沿って開始していない場合は、ゾーン1
16b内のトレース113a’の開始点がフローチャー
ト・ブロック243に記述されているように、計算され
たエラーに基づいてi個の干渉縞間隔分だけシフトされ
る。
【0132】フローチャート・ブロック243に記述さ
れているようなシフトの後、或いはゾーン116b内の
トレース113a’が上記最確パスに沿って開始してい
るときは、フローチャート・ブロック244に記述され
ているように、遷移ゾーン・アルゴリズム213bが遷
移ゾーン117aの分析を終了し、遷移ゾーン117b
の分析を開始する。この事に関しては、遷移ゾーン・ア
ルゴリズム213bがゾーン116d内のトレース11
3b’の左端画素位置119b(図7参照)を確認す
る。さらに、遷移ゾーン・アルゴリズム213bは左端
画素位置119bとゾーン116c内のトレース113
b’に開始点との間の最確パスを判定するために遷移ゾ
ーン117b内の画素位置を検査する。この最確パスが
判定される場合は、遷移ゾーン117b内の隣接点間の
許容できる不連続性はゾーン116a乃至116d内の
隣接点間の許容できる不連続性より大きい。
れているようなシフトの後、或いはゾーン116b内の
トレース113a’が上記最確パスに沿って開始してい
るときは、フローチャート・ブロック244に記述され
ているように、遷移ゾーン・アルゴリズム213bが遷
移ゾーン117aの分析を終了し、遷移ゾーン117b
の分析を開始する。この事に関しては、遷移ゾーン・ア
ルゴリズム213bがゾーン116d内のトレース11
3b’の左端画素位置119b(図7参照)を確認す
る。さらに、遷移ゾーン・アルゴリズム213bは左端
画素位置119bとゾーン116c内のトレース113
b’に開始点との間の最確パスを判定するために遷移ゾ
ーン117b内の画素位置を検査する。この最確パスが
判定される場合は、遷移ゾーン117b内の隣接点間の
許容できる不連続性はゾーン116a乃至116d内の
隣接点間の許容できる不連続性より大きい。
【0133】次に、フローチャート・ブロック245に
従い、ゾーン116c内のトレース113b’がゾーン
116dと116cとの間の最確パスに沿って開始して
いるかどうかに関する判定が為される。トレース113
b’がその最確パスに沿って開始していない場合は、ゾ
ーン116c内のトレース113b’の開始点がフロー
チャート・ブロック246に記述されているように、計
算されたエラーに基づいてi個の干渉縞間隔分だけシフ
トされる。
従い、ゾーン116c内のトレース113b’がゾーン
116dと116cとの間の最確パスに沿って開始して
いるかどうかに関する判定が為される。トレース113
b’がその最確パスに沿って開始していない場合は、ゾ
ーン116c内のトレース113b’の開始点がフロー
チャート・ブロック246に記述されているように、計
算されたエラーに基づいてi個の干渉縞間隔分だけシフ
トされる。
【0134】フローチャート・ブロック246に記述さ
れているようなシフトの後、或いはトレース113b’
が上記最確パスに沿って開始しているときは、フローチ
ャート・ブロック247に従い、遷移ゾーン・アルゴリ
ズム213bがシフトされた画素の比率が所定の許容範
囲より小さいかどうかを判定する。この分析では、遷移
ゾーン・アルゴリズム213bがフローチャート・ブロ
ック243及び246でシフトされた画素の双方を検討
する。上記判定の答えが否定応答である場合は、遷移ゾ
ーン・アルゴリズム213bはフローチャート・ブロッ
ク248に記述されているように、画質不足を示すメッ
セージが出力装置93(図5参照)へ送出されるように
する。しかし、上記判定の答えが肯定応答である場合
は、上記整合が許容し得るものである結論が得られ、遷
移ゾーン・アルゴリズム213bは図16のデータ分析
アルゴリズム126へ戻る。
れているようなシフトの後、或いはトレース113b’
が上記最確パスに沿って開始しているときは、フローチ
ャート・ブロック247に従い、遷移ゾーン・アルゴリ
ズム213bがシフトされた画素の比率が所定の許容範
囲より小さいかどうかを判定する。この分析では、遷移
ゾーン・アルゴリズム213bがフローチャート・ブロ
ック243及び246でシフトされた画素の双方を検討
する。上記判定の答えが否定応答である場合は、遷移ゾ
ーン・アルゴリズム213bはフローチャート・ブロッ
ク248に記述されているように、画質不足を示すメッ
セージが出力装置93(図5参照)へ送出されるように
する。しかし、上記判定の答えが肯定応答である場合
は、上記整合が許容し得るものである結論が得られ、遷
移ゾーン・アルゴリズム213bは図16のデータ分析
アルゴリズム126へ戻る。
【0135】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の検査装置
及び方法は多くの効果が得られる。その幾つかを以下、
例として記述する。
及び方法は多くの効果が得られる。その幾つかを以下、
例として記述する。
【0136】本発明の検査装置及び方法の一つの効果と
して、本検査装置及び方法は2面間の隔たり即ち不連続
性を判定することができる。特に、光ファイバ終端装置
内、例えば、双円錐終端装置またはフェルール終端装置
内の包囲型終端プラグに対する光ファイバの陥入/突出
の幅を判定するために本検査装置及び方法を使用するこ
とができる。但し、双円錐終端装置やフェルール終端装
置に限定されるものではない。
して、本検査装置及び方法は2面間の隔たり即ち不連続
性を判定することができる。特に、光ファイバ終端装置
内、例えば、双円錐終端装置またはフェルール終端装置
内の包囲型終端プラグに対する光ファイバの陥入/突出
の幅を判定するために本検査装置及び方法を使用するこ
とができる。但し、双円錐終端装置やフェルール終端装
置に限定されるものではない。
【0137】本発明の検査装置及び方法のもう一つの効
果として、本検査装置及び方法は完全に自動化されてお
り、隔たり即ち陥入/突出に対応する特定の数値を、好
ましくはディスプレィ上に表示して、本システム及び別
のシステム、例えば、製品取扱い装置または製品追跡装
置の何れか一方或いは双方のユーザに提供することがで
きる。ユーザはディスプレィから何ら視認評価を為す必
要は無く、且つ、何ら手動計算を為す必要もない。
果として、本検査装置及び方法は完全に自動化されてお
り、隔たり即ち陥入/突出に対応する特定の数値を、好
ましくはディスプレィ上に表示して、本システム及び別
のシステム、例えば、製品取扱い装置または製品追跡装
置の何れか一方或いは双方のユーザに提供することがで
きる。ユーザはディスプレィから何ら視認評価を為す必
要は無く、且つ、何ら手動計算を為す必要もない。
【0138】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は光ファイバの陥入/突出
を包囲型終端プラグに関して正確に測定することができ
る。好適な実施例では、約+500ナノメータ(nm)か
ら−500nmの間の陥入/突出を測定することが可能で
ある。150nm以下の陥入/突出を持つサンプルに関し
ては、測定精度は約±10nmであり、約150nm以上の
陥入/突出を持サンプルに関しては、測定精度は約±2
0nmである。
として、本検査装置及び方法は光ファイバの陥入/突出
を包囲型終端プラグに関して正確に測定することができ
る。好適な実施例では、約+500ナノメータ(nm)か
ら−500nmの間の陥入/突出を測定することが可能で
ある。150nm以下の陥入/突出を持つサンプルに関し
ては、測定精度は約±10nmであり、約150nm以上の
陥入/突出を持サンプルに関しては、測定精度は約±2
0nmである。
【0139】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は安価に信頼性があり、且
つ、人による判定、解釈及び評価に勝る反復性を特徴と
する。
として、本検査装置及び方法は安価に信頼性があり、且
つ、人による判定、解釈及び評価に勝る反復性を特徴と
する。
【0140】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は陥入/突出の測定を従来
のシステム及び技術に比して極めて短時間で完全に実行
することができる。好適な実施例では、測定が従来の技
術では数分であったのに比して、約5秒以下で完全に実
行することができる。
として、本検査装置及び方法は陥入/突出の測定を従来
のシステム及び技術に比して極めて短時間で完全に実行
することができる。好適な実施例では、測定が従来の技
術では数分であったのに比して、約5秒以下で完全に実
行することができる。
【0141】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は多数のノイズ・フィルタ
・アルゴリズムが実行される結果、ノイズに対して強靱
である。ノイズの原因としては、終端プラグと光ファイ
バの何れか一方或いは双方に付着した汚れ、塵、接着剤
(例えば、エポキシ)或いは他の異物が有り得る。
として、本検査装置及び方法は多数のノイズ・フィルタ
・アルゴリズムが実行される結果、ノイズに対して強靱
である。ノイズの原因としては、終端プラグと光ファイ
バの何れか一方或いは双方に付着した汚れ、塵、接着剤
(例えば、エポキシ)或いは他の異物が有り得る。
【0142】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は商用光ファイバ製造装置
において光ファイバ終端装置の品質管理を確保するため
の検査治具として使用することができる。
として、本検査装置及び方法は商用光ファイバ製造装置
において光ファイバ終端装置の品質管理を確保するため
の検査治具として使用することができる。
【0143】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は2面間の隔たりを判定す
るために使用される他の従来の装置及び方法のコストの
数分の1で実行することがきる。
として、本検査装置及び方法は2面間の隔たりを判定す
るために使用される他の従来の装置及び方法のコストの
数分の1で実行することがきる。
【0144】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は非接触検査であり、且
つ、非破壊検査である。
として、本検査装置及び方法は非接触検査であり、且
つ、非破壊検査である。
【0145】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は柔軟であり、ユーザ・コ
ンフィギュラブルであり、且つ、ユーザ・フレンドリで
ある。事実、本検査装置を用いて、ユーザはそれぞれ彼
に種々の情報を提供してくれる幾つかの動作診断モード
のうちの一つを選択することできる。
として、本検査装置及び方法は柔軟であり、ユーザ・コ
ンフィギュラブルであり、且つ、ユーザ・フレンドリで
ある。事実、本検査装置を用いて、ユーザはそれぞれ彼
に種々の情報を提供してくれる幾つかの動作診断モード
のうちの一つを選択することできる。
【0146】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、光ファイバ終端装置の陥入/突出が光をその光
ファイバを通して本検査装置に向けて照射することを必
要とせずに測定することができる。好適な実施例でにお
いて測定を行うために使用される光は干渉計によって供
給される白色光である。
として、光ファイバ終端装置の陥入/突出が光をその光
ファイバを通して本検査装置に向けて照射することを必
要とせずに測定することができる。好適な実施例でにお
いて測定を行うために使用される光は干渉計によって供
給される白色光である。
【0147】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、終端プラグの長手方向軸に対する干渉計の角度
Φを変更することができ、正確な校正及びその成果が達
成される。
として、終端プラグの長手方向軸に対する干渉計の角度
Φを変更することができ、正確な校正及びその成果が達
成される。
【0148】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、光ファイバのみならず終端プラグの球面状端面
の曲率半径を変化させることができ、正確な校正及びそ
の成果が達成される。
として、光ファイバのみならず終端プラグの球面状端面
の曲率半径を変化させることができ、正確な校正及びそ
の成果が達成される。
【0149】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は、新規な2段階自動合焦
アルゴリズムを使用して光ファイバ端面を表示画像の中
心に位置させ、且つ干渉縞パターンをその光ファイバの
コア端面に重ねて位置させる。この2段階自動合焦アル
ゴリズムは計算量が最少限であり、高速且つ極めて高精
度である特徴がある。
として、本検査装置及び方法は、新規な2段階自動合焦
アルゴリズムを使用して光ファイバ端面を表示画像の中
心に位置させ、且つ干渉縞パターンをその光ファイバの
コア端面に重ねて位置させる。この2段階自動合焦アル
ゴリズムは計算量が最少限であり、高速且つ極めて高精
度である特徴がある。
【0150】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は、新規な自己校正アルゴ
リズムを使用して終端プラグの長手方向軸に対する干渉
計の角度の変化及び光ファイバ或いは終端プラグの曲率
半径の変化を追求する。
として、本検査装置及び方法は、新規な自己校正アルゴ
リズムを使用して終端プラグの長手方向軸に対する干渉
計の角度の変化及び光ファイバ或いは終端プラグの曲率
半径の変化を追求する。
【0151】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は、多数の表示フィールド
を使用する新規なゾーン生成アルゴリズムを使用する。
フィールドを使用することによって全画像を処理する必
要性が無くなり、速度が最適化される。更に、フィール
ドを使用することによってノイズの悪影響が最小化され
る。
として、本検査装置及び方法は、多数の表示フィールド
を使用する新規なゾーン生成アルゴリズムを使用する。
フィールドを使用することによって全画像を処理する必
要性が無くなり、速度が最適化される。更に、フィール
ドを使用することによってノイズの悪影響が最小化され
る。
【0152】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は、干渉計によって生成さ
れた干渉縞をトレースするとき、極めて高い精度を確保
する新規な干渉縞トレース・アルゴリズムを使用する。
として、本検査装置及び方法は、干渉計によって生成さ
れた干渉縞をトレースするとき、極めて高い精度を確保
する新規な干渉縞トレース・アルゴリズムを使用する。
【0153】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は、光ファイバと終端装置
の包囲型終端プラグとの間の分界領域におけるノイズを
消去するのに役立つ新規な遷移ゾーン・アルゴリズムを
使用する。
として、本検査装置及び方法は、光ファイバと終端装置
の包囲型終端プラグとの間の分界領域におけるノイズを
消去するのに役立つ新規な遷移ゾーン・アルゴリズムを
使用する。
【0154】本発明の検査装置及び方法の更に別の効果
として、本検査装置及び方法は、隔たりd(陥入/突
出)を計算するために使用される干渉縞中の不連続性を
充足する新規な干渉縞整合アルゴリズム及び新規な遷移
ゾーン・アルゴリズムを使用し、その結果得られた曲線
当て嵌め及び隔たり計算が最適化される。
として、本検査装置及び方法は、隔たりd(陥入/突
出)を計算するために使用される干渉縞中の不連続性を
充足する新規な干渉縞整合アルゴリズム及び新規な遷移
ゾーン・アルゴリズムを使用し、その結果得られた曲線
当て嵌め及び隔たり計算が最適化される。
【0155】なお、特許請求の範囲に記載した参照符号
は発明の理解を容易にするためのものであり、特許請求
の範囲を制限するように理解されるべきものではない。
は発明の理解を容易にするためのものであり、特許請求
の範囲を制限するように理解されるべきものではない。
【図1】Aは、終端装置がフェルール型カプラによって
結合されている従来のフェルール型コネクタを示す斜斜
視図、Bは従来の光ファイバの断面図、CはAのフェル
ール型コネクタの線1C’-1C’に於ける断面図、D
はAのフェルール型コネクタの線1D’-1D’に於け
る断面図である。
結合されている従来のフェルール型コネクタを示す斜斜
視図、Bは従来の光ファイバの断面図、CはAのフェル
ール型コネクタの線1C’-1C’に於ける断面図、D
はAのフェルール型コネクタの線1D’-1D’に於け
る断面図である。
【図2】図1のフェルール型コネクタの線1EF’-1
EF’に於ける断面図である。
EF’に於ける断面図である。
【図3】図1のフェルール型コネクタの線1EF’-1
EF’に於けるフェルール型コネクタの部分的拡大図で
ある。
EF’に於けるフェルール型コネクタの部分的拡大図で
ある。
【図4】第1の面(例えば、終端プラグの端面)と第2
の面(例えば、光ファイバ端面)との間の隔たりd(陥
入/突出)の測定を示すグラフである。
の面(例えば、光ファイバ端面)との間の隔たりd(陥
入/突出)の測定を示すグラフである。
【図5】本発明の自動検査システムを示す模式図。
【図6】図5のディスプレィによって生成された種々の
表示画像のを示す図である。
表示画像のを示す図である。
【図7】図5の機械視覚システムの検査制御アルゴリズ
ムの構成及び機能を示すフロー・チャートである。
ムの構成及び機能を示すフロー・チャートである。
【図8】図7の検査制御アルゴリズムの中のトリガ・ア
ルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャートであ
る。
ルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャートであ
る。
【図9】図7の検査制御アルゴリズムの中のしきい値/
コントラスト検査アルゴリズムの構成及び機能を示すフ
ロー・チャートである。
コントラスト検査アルゴリズムの構成及び機能を示すフ
ロー・チャートである。
【図10】図7の検査制御アルゴリズムの中の粗自動合
焦アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャート
である。
焦アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャート
である。
【図11】図7の検査制御アルゴリズムの中の精密自動
合焦アルゴリズムの構成及び機能の前段部分を示すフロ
ー・チャートである。
合焦アルゴリズムの構成及び機能の前段部分を示すフロ
ー・チャートである。
【図12】図7の検査制御アルゴリズムの中の精密自動
合焦アルゴリズムの構成及び機能の中間部分を示すフロ
ー・チャートである。
合焦アルゴリズムの構成及び機能の中間部分を示すフロ
ー・チャートである。
【図13】図7の検査制御アルゴリズムの中の精密自動
合焦アルゴリズムの構成及び機能の後段部分を示すフロ
ー・チャートである。
合焦アルゴリズムの構成及び機能の後段部分を示すフロ
ー・チャートである。
【図14】図7の検査制御アルゴリズムの中の自己校正
アルゴリズムの構成及び機能の前半部分を示すフロー・
チャートである。
アルゴリズムの構成及び機能の前半部分を示すフロー・
チャートである。
【図15】図7の検査制御アルゴリズムの中の自己校正
アルゴリズムの構成及び機能の後半部分を示すフロー・
チャートである。
アルゴリズムの構成及び機能の後半部分を示すフロー・
チャートである。
【図16】図7の検査制御アルゴリズムの中のデータ分
析アルゴリズムの構成及び機能の前半部分を示すフロー
・チャートである。
析アルゴリズムの構成及び機能の前半部分を示すフロー
・チャートである。
【図17】図7の検査制御アルゴリズムの中のデータ分
析アルゴリズムの構成及び機能の後半部分を示すフロー
・チャートである。
析アルゴリズムの構成及び機能の後半部分を示すフロー
・チャートである。
【図18】図16のデータ分析アルゴリズムの中のゾー
ン生成アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャ
ートである。
ン生成アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャ
ートである。
【図19】図16のデータ分析アルゴリズムの中の干渉
縞トレース・アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー
・チャートである。
縞トレース・アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー
・チャートである。
【図20】図16のデータ分析アルゴリズムの中の干渉
縞整合アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャ
ートである。
縞整合アルゴリズムの構成及び機能を示すフロー・チャ
ートである。
【図21】図16のデータ分析アルゴリズムの中の遷移
ゾーン・アルゴリズムの構成及び機能の前半部分を示す
フロー・チャートである。
ゾーン・アルゴリズムの構成及び機能の前半部分を示す
フロー・チャートである。
【図22】図16のデータ分析アルゴリズムの中の遷移
ゾーン・アルゴリズムの構成及び機能の後半部分を示す
フロー・チャートである。
ゾーン・アルゴリズムの構成及び機能の後半部分を示す
フロー・チャートである。
21 光ファイバ・コネクタ 22 光ファイバ・ケーブル 24 光ファイバ・ケーブル 25 ファイバ・コア 25’ コア端面 26 光ファイバ 26’ 光ファイバ端面 27 クラッド 28 被覆 31 チューブ 33 補強部材 35 外被 36 プラグ 36’ プラグ端面 37 終端部 38 長手軸 39 端面 41 通路 42 コネクタ・ボディ 43 定位ピン 44 圧縮スプリング 45 筒状ハウジング 46 小径部 47 開口部 48 カラー 49 抑えワッシャ 51 大径部 55 軸方向スロット 57 周方向スロット 58 掛け留め突起 59 円錐状部分 60 カプラ 62 筒状部材 64 端部 66 端部 67 スロット 68 中央部 71 ナット 73 組立てピン 75 スリーブ 79 終端部端面 81 円形曲線 82 ターゲット 90 自動検査装置 91 測定装置 92 機械視覚システム 93 出力装置(ディスプレイ) 94 入力装置 96 対物レンズ 97 焦点調節機構(圧電素子) 98 干渉計 98a 光源 98b 光反射装置 99 ビデオ・アダプタ 101 ビデオ・カメラ 102 圧電制御信号 103 アナログ電圧信号 106 入力情報 111 画像 111a 画像 111b 画像 111c 画像 112 干渉縞パターン 113 干渉縞113’ 最も濃い干渉縞 113” 隣接干渉縞 113a’ トレース 113b’ トレース 116a ゾーン 116b ゾーン 116c ゾーン 116d ゾーン 117a 遷移ゾーン 117b 遷移ゾーン 118a 画素位置 118b 画素位置 119a 右端画素位置 119b 左端画素位置
Claims (19)
- 【請求項1】 第1表面と前記第1表面に包囲される第
2表面との間の不連続を測定する検査システムのノイズ
の悪影響を最小にし、検査速度を最適化するゾーン解析
方法において、 (a)前記画像と前記表面の上に重ね合わされる干渉縞
を有する前記表面の画像を捕獲するステップと、 (b)前記第1表面上に前記画像の第1ゾーンを、前記
第2表面上に前記画像の第2ゾーンとおよび前記干渉縞
を規定するステップと、 (c)前記第1ゾーン内の前記干渉縞に第1式を、前記
第2ゾーン内の前記干渉縞に第2式を数学的に当てはめ
るステップと、 (d)前記第1式と第2式に基づいて、前記第1表面と
第2表面との間の前記不連続を決定するステップとから
なることを特徴とする検査システムのノイズの影響を最
小化し検査速度を最適化するゾーン解析方法。 - 【請求項2】 前記不連続は、周囲材料のカーブに対
し、光ファイバの凹みに対応することを特徴とする請求
項1の方法。 - 【請求項3】 前記不連続は、周囲材料のカーブに対
し、光ファイバの突出に対応することを特徴とする請求
項1の方法。 - 【請求項4】 前記干渉縞は、白色光により生成された
干渉縞の最も暗い縞であることを特徴とする請求項1の
方法。 - 【請求項5】 前記(a)のステップは、 (1)前記表面を、前記表面に直交する軸に対し傾斜し
て配置した干渉計に露出するステップと、 (2)前記干渉計に接続されたカメラと機械監視システ
ムでもって前記画像を捕獲するステップとを含むことを
特徴とする請求項1の方法。 - 【請求項6】 前記(a)のステップは、干渉計を前記
表面に対するずれ量を調整することにより前記画像内の
所望の位置に前記干渉縞を移動するステップを含むこと
を特徴とする請求項1の方法。 - 【請求項7】 前記(b)のステップは、 (1)前記画像内の前記第2表面の中心の位置と、前記
画像内の前記第2表面の直径とを得るステップと、 (2)前記位置と前記直径でもって前記ゾーンが前記画
像内に配置されているか否かを決定するステップとをさ
らに有することを特徴とする請求項1の方法。 - 【請求項8】 前記(b)のステップは、 (1)前記画像内の前記第2表面の中心の位置と、前記
画像内の前記第2表面の直径とを得るステップと、 (2)前記位置と前記直径と前記各ゾーンに対応する所
定のサイズに基づいて前記ゾーンの二つの対向するコー
ナの位置を計算するステップと、 (3)前記コーナの位置に基づいて前記ゾーンを規定す
るステップとを有することを特徴とする請求項1の方
法。 - 【請求項9】 前記第1式と第2式は円を表す式であ
り、前記(d)のステップは、前記第2表面を表す前記
画像上の所定位置にある前記第1円と第2円とに対応す
る位置を減算することにより、前記不連続を得るステッ
プを含むことを特徴とする請求項1の方法。 - 【請求項10】 第1表面と前記第1表面に包囲される
第2表面との間の不連続を測定する検査システムのノイ
ズの悪影響を最小にし、検査速度を最適化するゾーン解
析方法において、 (a)前記画像と前記表面の上に重ね合わされる干渉縞
を有する前記表面の画像を捕獲するステップと、 (b)解析用に前記画像内のゾーンを分離し、ノイズに
特徴づけられる領域を廃棄するステップと、前記(b)
ステップは、 (1)前記第1表面上で前記画像内の第1領域と第4領
域と、前記第2表面上の対向側の前記干渉縞を規定する
ステップと、 (2)前記第2表面上に、第2ゾーンと第3ゾーンとお
よび前記第2表面上の中心の対向側上に前記干渉縞を規
定するステップと を含み、 (c)第1式を前記第1ゾーンと第4ゾーンの前記干渉
縞に数学的に当てはめるステップと、 (d)第2式を前記第2ゾーンと第3ゾーンの前記干渉
縞に数学的に当てはめるステップと、 (e)前記第1式と第2式に基づいて、前記第1表面と
第2表面との間の前記不連続を決定するステップとから
なることを特徴とする検査システムのノイズの影響を最
小化し検査速度を最適化するゾーン解析方法。 - 【請求項11】 第1表面と前記第1表面に包囲される
第2表面との間の不連続を測定する検査システムのノイ
ズの悪影響を最小にし検査速度を最適化するゾーン解析
システムにおいて、 (a)前記画像と前記表面の上に重ね合わされる干渉縞
を有する前記表面の画像を捕獲する第1手段と、 (b)前記第1表面上に前記画像の第1ゾーンを前記第
2表面上に前記画像の第2表面とおよび前記干渉縞を規
定する第2手段と、 (c)前記第1ゾーン内の前記干渉縞に第1式を、前記
第2ゾーン内の前記干渉縞に第2式を数学的に当てはめ
る第3手段と、 (d)前記第1式と第2式に基づいて、前記第1表面と
第2表面との間の前記不連続を決定する第4手段とから
なることを特徴とする検査システムのノイズの影響を最
小化し検査速度を最適化するゾーン解析方法。 - 【請求項12】 第1表面と前記第1表面に包囲される
第2表面との間の不連続を測定する検査システムのノイ
ズの悪影響を最小にし検査速度を最適化するゾーン解析
システムにおいて、 (a)前記表面が前記干渉計に露出されたときに、干渉
縞が前記干渉計により捕獲された画像の上に重ね合わさ
れるように、前記表面が測定される対象物に対し直交す
る軸に傾けて配置される干渉計と、 (b)前記干渉計に接続され、前記画像を符号化するカ
メラと、 (c)前記カメラに接続され、前記画像を受信する機械
監視システムと、 からなり、前記(c)の機械監視シ
ステムは、 (1)前記第1と第2の表面上に前記画像内のそれぞれ
前記第1と第2のゾーンと前記干渉縞とを規定する第1
手段と、 (2)第1と第2の式をそれぞれ前記第1と第2のゾー
ン内の前記干渉縞に数学的に当てはめる第2手段と、 (3)前記第1と第2の式に基づいて、前記第1表面と
第2表面との間の不連続を決定する第3手段とを有する
ことを特徴とする検査システムのノイズの影響を最小化
し検査速度を最適化するゾーン解析方法。 - 【請求項13】 前記不連続は、周囲材料のカーブに対
し、光ファイバの凹みに対応することを特徴とする請求
項12のシステム。 - 【請求項14】 前記不連続は、周囲材料のカーブに対
し、光ファイバの突出に対応することを特徴とする請求
項12のシステム。 - 【請求項15】 前記干渉縞は、白色光により生成され
た干渉縞の最も暗い縞であることを特徴とする請求項1
2のシステム。 - 【請求項16】 前記機械監視手段により制御される焦
点調整手段をさらに有し、前記焦点調整手段は、前記干
渉計と前記表面との位置を相対的に調整することにより
前記画像内の所望の位置に前記干渉縞を移動させる手段
であることを特徴とする請求項12のシステム。 - 【請求項17】 前記第2手段は、 (i)前記画像内の前記第2表面の中心の位置と、前記
画像内の前記第2表面の直径とを得る手段と、 (ii)前記位置と前記直径でもって前記ゾーンが前記
画像内に配置されているか否かを決定する手段とをさら
に有することを特徴とする請求項12のシステム。 - 【請求項18】 前記第2手段は、 (i)前記画像内の前記第2表面の中心の位置と、前記
画像内の前記第2表面の直径とを得る手段と、 (ii)前記位置と前記直径と前記各ゾーンに対応する
所定のサイズに基づいて前記ゾーンの二つの対向するコ
ーナの位置を計算する手段と、 (iii)前記コーナの位置に基づいて前記ゾーンを規
定する手段とを有することを特徴とする請求項12のシ
ステム。 - 【請求項19】 前記第1式と第2式は円であり、前記
第3手段は、前記第2表面を表す前記画像上の所定位置
にある前記第1円と第2円とに対応する位置を減算する
ことにより、前記不連続を得る手段を含むことを特徴と
する請求項12のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US429988 | 1995-04-27 | ||
US08/429,988 US5636020A (en) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | Zone analysis system and method for optimizing the performance of an inspection system for determining disparity between two surfaces |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8144798A Division JPH08338710A (ja) | 1995-04-27 | 1996-04-30 | 2平面間の不連続を無接触で測定する自動検査システムと方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0921622A true JPH0921622A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=23705590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8172001A Pending JPH0921622A (ja) | 1995-04-27 | 1996-07-02 | 検査システムのノイズの影響を最小化するゾーン解析方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5636020A (ja) |
EP (1) | EP0740130A3 (ja) |
JP (1) | JPH0921622A (ja) |
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US6705767B1 (en) * | 1999-05-25 | 2004-03-16 | Corning Cable Systems Llc | Method and apparatus for analyzing the end face of a multifiber ferrule |
SE518648C2 (sv) * | 2001-02-06 | 2002-11-05 | Ericsson Telefon Ab L M | Förfarande och anordning för behandling av en optisk fiber |
US7356188B2 (en) * | 2001-04-24 | 2008-04-08 | Microsoft Corporation | Recognizer of text-based work |
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US7162073B1 (en) | 2001-11-30 | 2007-01-09 | Cognex Technology And Investment Corporation | Methods and apparatuses for detecting classifying and measuring spot defects in an image of an object |
US6636298B1 (en) | 2001-12-18 | 2003-10-21 | Cognex Technology And Investment Corporation | Method and apparatus for focusing an optical inspection system |
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US6983065B1 (en) | 2001-12-28 | 2006-01-03 | Cognex Technology And Investment Corporation | Method for extracting features from an image using oriented filters |
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- 1996-07-02 JP JP8172001A patent/JPH0921622A/ja active Pending
Also Published As
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