JPH09210015A - Gas pressure-operated actuator - Google Patents
Gas pressure-operated actuatorInfo
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- JPH09210015A JPH09210015A JP4076796A JP4076796A JPH09210015A JP H09210015 A JPH09210015 A JP H09210015A JP 4076796 A JP4076796 A JP 4076796A JP 4076796 A JP4076796 A JP 4076796A JP H09210015 A JPH09210015 A JP H09210015A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はガス圧作動アクチュ
エータに関する。特に、空気等のガス圧で作動し、任意
の位置でロック状態に固定することができるガス圧作動
アクチュエータに関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a gas pressure actuated actuator. In particular, the present invention relates to a gas pressure actuated actuator that operates by gas pressure such as air and can be locked in a locked state at any position.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその問題点】従来の空気圧作動アクチュ
エータは、例えばピストンを隔てた、シリンダ内の一方
の空気室内を大気に開放したり、他方の空気室内に圧縮
空気を導入したりすることにより、ピストンを作動さ
せ、あるいはピストンを元の方向へ復帰させるようにし
ている。2. Description of the Related Art A conventional pneumatically actuated actuator is constructed, for example, by opening one air chamber in a cylinder separated by a piston to the atmosphere or introducing compressed air into the other air chamber. , The piston is operated or the piston is returned to the original direction.
【０００３】しかしながら、シリンダ内に導入される空
気は圧縮性流体であるため、ピストンの停止時において
も、ピストン軸などを介してピストンに大きな負荷荷重
や外力が加わると、空気室内部の空気が圧縮されてピス
トンが移動する。このため負荷荷重や外力の大きさが変
動するとピストンが動き、任意の位置でピストンを強い
支持力でもって停止させることができなかった。However, since the air introduced into the cylinder is a compressible fluid, when a large load load or external force is applied to the piston via the piston shaft even when the piston is stopped, the air inside the air chamber is changed. It is compressed and the piston moves. For this reason, the piston moves when the applied load or the magnitude of the external force fluctuates, and the piston cannot be stopped at a desired position with a strong supporting force.
【０００４】従って、ピストンを確実に固定する必要が
ある場合には、ピストン軸などを機械的に圧締して動か
ないようにするためのロック装置を設ける必要がある。
しかし、従来のロック装置は、チャック部などでピスト
ン軸などを機械的に掴んで摩擦力によりロックしたり、
ピストン軸を離して開放したりしているので、その機械
的構造が複雑かつ精密となり、コストが高くついてい
た。Therefore, when it is necessary to securely fix the piston, it is necessary to provide a lock device for mechanically clamping the piston shaft and the like to prevent the piston shaft from moving.
However, the conventional locking device mechanically grasps the piston shaft etc. with the chuck part etc. and locks it by frictional force,
Since the piston shaft is separated and opened, its mechanical structure becomes complicated and precise, and the cost is high.
【０００５】また、空気圧作動アクチュエータでは、移
動しているピストンを瞬時に停止させることが困難であ
ったので、駆動したピストンを精密な位置で停止させる
ことができなかった。機械的なロック装置を用いても、
移動中のピストンを精密に位置決め停止させることは困
難であった。In the pneumatic actuator, it is difficult to stop the moving piston instantaneously, so that the driven piston cannot be stopped at a precise position. Even with a mechanical locking device,
It was difficult to precisely position and stop the moving piston.
【０００６】このため、所望位置で精密にピストンを停
止させる必要がある場合には、シリンダ内の両端位置で
ピストンを停止（当て止め）させるしかなく、ピストン
の精密なストロークを実現するには、ストロークの設計
値に応じて、シリンダの長さを決定し、その都度最適な
長さのシリンダを製作する必要があった。Therefore, when it is necessary to precisely stop the piston at a desired position, the piston must be stopped (stopped) at both end positions in the cylinder, and in order to realize a precise stroke of the piston, It was necessary to determine the length of the cylinder according to the design value of the stroke and manufacture the cylinder of the optimum length each time.
【０００７】油圧作動アクチュエータは、非圧縮性流体
であるオイルを使用しているので、シリンダ内の両端以
外の任意の位置でも、ピストンを停止させるとピストン
に外力や負荷が加わってもピストンが動かず、確実にピ
ストンを停止させることができる。Since the hydraulically actuated actuator uses oil which is an incompressible fluid, when the piston is stopped at any position other than both ends in the cylinder, the piston moves even if an external force or load is applied to the piston. The piston can be stopped without fail.
【０００８】しかしながら、油圧作動アクチュエータで
は、使用にあたっては、高圧ポンプや配管等の設備が必
要となり、設備コストが高くつくので、簡易な用途には
向いていなかった。さらに、空気圧作動アクチュエータ
のように、ピストン軸等の動作にクッション性を持たせ
ることができないので、壊れ易いワークなどにも用いる
ことができなかった。However, the hydraulically actuated actuator requires facilities such as a high-pressure pump and piping for use, and the facility cost is high, so that it is not suitable for simple applications. Further, unlike the pneumatic actuator, the operation of the piston shaft or the like cannot be provided with cushioning properties, so that it cannot be used for a fragile work or the like.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】本発明は叙上の従来例
の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、簡単な構造により任意の停止位置でピストン等
の作動部を確実かつ精密に停止させることができるガス
圧作動アクチュエータを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the drawbacks of the above-mentioned conventional examples, and its object is to provide an operating portion such as a piston at an arbitrary stop position with a simple structure. It is an object of the present invention to provide a gas pressure actuated actuator that can be stopped reliably and precisely.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のガス圧
作動アクチュエータは、ガス容器内に納められた作動部
をガス圧によって作動させるアクチュエータ本体と、当
該アクチュエータ本体の作動部をロックするためのロッ
ク装置とを有するガス圧作動アクチュエータであって、
前記ロック装置は、前記アクチュエータ本体のガス容器
と一体又は別体に形成された流体容器と、当該流体容器
内に摺動自在に納められたパーティションと、当該パー
ティションと前記アクチュエータ本体の作動部とを連動
させるための機構と、液状流体を充填され、当該パーテ
ィションで仕切られた当該流体容器内の２室間において
液状流体の通過を可能にするバイパス部と、当該バイパ
ス部を開閉する手段と、からなることを特徴としてい
る。According to another aspect of the present invention, there is provided a gas pressure actuated actuator for locking an actuator body for actuating an actuating portion housed in a gas container by gas pressure and an actuating portion of the actuator body. A gas pressure actuated actuator having a locking device of
The locking device includes a fluid container formed integrally with or separately from the gas container of the actuator body, a partition slidably accommodated in the fluid container, the partition and an operating portion of the actuator body. From a mechanism for interlocking, a bypass portion that is filled with the liquid fluid and that allows passage of the liquid fluid between two chambers in the fluid container that are partitioned by the partition, and a means that opens and closes the bypass portion. It is characterized by becoming.
【００１１】請求項２に記載のガス圧作動アクチュエー
タは、ガス容器内に納められた作動部をガス圧によって
作動させるアクチュエータ本体と、当該アクチュエータ
本体の作動部をロックするためのロック装置とを有する
ガス圧作動アクチュエータであって、前記ロック装置
は、前記アクチュエータ本体のガス容器と一体又は別体
に形成された流体容器と、当該流体容器内に回転自在に
納められたパーティションと、当該パーティションと前
記アクチュエータ本体の作動部とを連動させるための機
構と、液状流体を充填され、当該パーティションで仕切
られた当該流体容器内の２室間において液状流体の通過
を可能にするバイパス部と、当該バイパス部を開閉する
手段と、からなることを特徴としている。A gas pressure actuated actuator according to a second aspect of the present invention includes an actuator body for actuating an actuating portion housed in a gas container by gas pressure, and a lock device for locking the actuating portion of the actuator body. A gas pressure actuated actuator, wherein the locking device includes a fluid container formed integrally with or separately from a gas container of the actuator body, a partition rotatably housed in the fluid container, the partition and the partition. A mechanism for interlocking with the operating portion of the actuator body, a bypass portion filled with a liquid fluid, which allows passage of the liquid fluid between two chambers in the fluid container partitioned by the partition, and the bypass portion. And a means for opening and closing.
【００１２】請求項３に記載の実施態様は、請求項１又
は２記載ガス圧作動アクチュエータにおいて、前記ガス
容器内における前記作動部の位置を検出する手段と、当
該位置検出手段からの検出信号に応じて前記バイパス部
の開閉手段を作動させる制御手段を備えたことを特徴と
している。According to a third aspect of the present invention, in the gas pressure actuated actuator according to the first or second aspect, the means for detecting the position of the operating portion in the gas container and the detection signal from the position detecting means are used. A control means for actuating the opening / closing means of the bypass portion is accordingly provided.
【００１３】請求項４に記載の実施態様は、請求項１又
は２記載のガス圧作動アクチュエータにおいて、前記流
体容器内における前記パーティションの位置を検出する
手段と、当該位置検出手段からの検出信号に応じて前記
バイパス部の開閉手段を作動させる制御手段を備えたこ
とを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, in the gas pressure actuated actuator according to the first or second aspect, the means for detecting the position of the partition in the fluid container and the detection signal from the position detecting means are used. A control means for actuating the opening / closing means of the bypass portion is accordingly provided.
【００１４】[0014]
【作用】本発明のガス圧作動アクチュエータに用いられ
ているロック装置にあっては、パーティションで仕切ら
れた流体容器内の２室間に、液状流体の通過を可能にす
るバイパス部が設けられているので、バイパス部の開閉
手段が開いている場合には、パーティションを動かそう
とする力が加わると、流体容器内の液状流体がバイパス
部を通ってパーティションの一方の室と他方の室との間
で流通し、パーティションは流体容器内で摺動（請求項
１の場合）もしくは回転（請求項２の場合）する。従っ
て、アクチュエータ本体に作動部を動かすためのガス圧
が加わると、連動機構を介して連結されたパーティショ
ンと共に作動部が作動する。In the lock device used in the gas pressure actuated actuator of the present invention, the bypass portion for allowing the passage of the liquid fluid is provided between the two chambers in the fluid container partitioned by the partition. Therefore, when the opening / closing means of the bypass section is open, when a force to move the partition is applied, the liquid fluid in the fluid container passes between the bypass section and the one chamber of the partition and the other chamber of the partition. And the partition slides (in the case of claim 1) or rotates (in the case of claim 2) in the fluid container. Therefore, when a gas pressure for moving the actuating portion is applied to the actuator body, the actuating portion operates together with the partition connected through the interlocking mechanism.
【００１５】これに対し、バイパス部の開閉手段を閉じ
た場合には、バイパス部を通って液状流体がパーティシ
ョンの一方の室から他方の室へ流通できず、しかも液状
流体は非圧縮性であるため、パーティションが強い支持
力でロック状態に固定される。従って、連動機構を介し
てパーティションと連結されているアクチュエータ本体
の作動部も確実にロックされる。On the other hand, when the opening / closing means of the bypass portion is closed, the liquid fluid cannot flow from one chamber of the partition to the other chamber through the bypass portion, and the liquid fluid is incompressible. Therefore, the partition is fixed in a locked state with a strong supporting force. Therefore, the operating portion of the actuator body, which is connected to the partition through the interlocking mechanism, is also reliably locked.
【００１６】また、請求項３又は４に記載のガス圧作動
アクチュエータにあっては、作動部もしくはパーティシ
ョンの位置を検出する位置検出手段を備えているので、
位置検出手段が作動部もしくはパーティションが所定位
置に達したことを検出した時、バイパス部の開閉手段を
作動させることにより、作動部又はパーティションを精
密に停止させてロックすることができる。Further, in the gas pressure actuated actuator according to the third or fourth aspect, since the gas pressure actuated actuator is provided with the position detecting means for detecting the position of the operating portion or the partition,
When the position detecting means detects that the actuating part or partition has reached a predetermined position, the actuating part or partition can be precisely stopped and locked by actuating the opening / closing means of the bypass part.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】本発明のガス圧作動アクチュエー
タに用いるガス種としては特に限定されるものではない
が、一般に空気圧が用いられているので、以下において
は空気圧作動アクチュエータの場合について説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The gas species used in the gas pressure actuated actuator of the present invention is not particularly limited, but since air pressure is generally used, the case of an air pressure actuated actuator will be described below.
【００１８】図１は本発明の一実施形態による直動型の
空気圧作動アクチュエータ１の構造を示す断面図であ
る。この空気圧作動アクチュエータ１は、直動型のアク
チュエータ本体２と直動型のロック装置３とを直列に設
置したものである。FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a direct-acting pneumatic actuator 1 according to an embodiment of the present invention. The pneumatically-operated actuator 1 has a direct-acting type actuator body 2 and a direct-acting type locking device 3 installed in series.
【００１９】アクチュエータ本体２においては、シリン
ダ（ガス容器）４内にピストン５が摺動自在に納められ
ており、ピストン５の外周面はシリンダ４の内面に密着
して接している。ピストン軸６の一端はロッド連結具７
によってピストン５に固定されており、他端はシリンダ
４の上面を摺動自在に貫通して外部に突出している。ピ
ストン軸６の、シリンダ４から突出している部分は出力
軸となっており、負荷を駆動したり、支持したりするた
めの部材に接続される。In the actuator body 2, a piston 5 is slidably accommodated in a cylinder (gas container) 4, and the outer peripheral surface of the piston 5 is in close contact with the inner surface of the cylinder 4. One end of the piston shaft 6 has a rod connector 7
Is fixed to the piston 5 by the other end, and the other end slidably penetrates the upper surface of the cylinder 4 and projects to the outside. A portion of the piston shaft 6 protruding from the cylinder 4 serves as an output shaft and is connected to a member for driving and supporting a load.
【００２０】シリンダ４の上面及び下面にはそれぞれ空
気出入口８，８が設けられており、各空気出入口８，８
はホースやチューブを介してエア回路（図示せず）に接
続されている。シリンダ４内には２つの空気出入口８，
８を通して圧縮空気が満たされており、ピストン５の上
側及び下側の空気室９，９が一定の空気圧に保たれてい
る場合には、これらの空気圧とピストン５に軸方向に加
えられる負荷荷重が釣り合ってピストン５が静止する。
一方、空気出入口８，８と接続されている電磁バルブス
イッチ１０の動作により、いずれかの空気室９が大気圧
に開放されると、ピストン５は大気圧側の空気室９へ移
動する。また、電磁バルブスイッチ１０の動作により、
大気圧に開放された空気室９が再び圧縮空気に満たされ
て一定の空気圧となり、負荷荷重と釣り合えばピストン
５が停止する。このとき、動いているピストン５の慣性
力と空気の圧縮性流体としての性質のため、電磁バルブ
スイッチ１０が動作してから、ピストン５に加わる力が
バランスするまでの応答には多少の時間が掛かる。Air inlets and outlets 8 and 8 are provided on the upper surface and the lower surface of the cylinder 4, respectively.
Is connected to an air circuit (not shown) via a hose or a tube. In the cylinder 4, two air inlets and outlets 8,
8 is filled with compressed air, and the upper and lower air chambers 9, 9 of the piston 5 are maintained at a constant air pressure, these air pressures and the load applied to the piston 5 in the axial direction. And the piston 5 comes to rest.
On the other hand, when one of the air chambers 9 is opened to the atmospheric pressure by the operation of the electromagnetic valve switch 10 connected to the air inlets / outlets 8, 8, the piston 5 moves to the air chamber 9 on the atmospheric pressure side. Also, by the operation of the electromagnetic valve switch 10,
The air chamber 9 opened to the atmospheric pressure is filled with compressed air again to have a constant air pressure, and the piston 5 stops when the load is balanced. At this time, due to the inertial force of the moving piston 5 and the property of the air as a compressible fluid, it takes some time for the response from the operation of the electromagnetic valve switch 10 to the balance of the force applied to the piston 5. Hang up.
【００２１】シリンダ４の外面には軸方向と平行にガイ
ドレール１１が配設されており、ガイドレール１１の上
端部及び下端部はシリンダ４の外周面上部及び下部に固
定されている。ガイドレール１１には、ピストン５の位
置を検出するための位置検出手段が取り付けられてい
る。この実施形態においては、位置検出手段は、ガイド
レール１１に取り付けられた複数個の磁気センサ１２に
よって構成されており、ピストン５の外周面のガイドレ
ール１１と対向する箇所にはマグネット１３が埋め込ま
れている。各磁気センサ１２はガイドレール１１に固定
されていてもよいが、ガイドレール１１に沿った任意の
位置へ移動させてそこで固定できるようにし、ピストン
検出位置を変更できるようにしてあってもよい。しかし
て、ピストン５がいずれかの磁気センサ１２と対向する
位置に達すると、磁気センサ１２がマグネット１３の磁
気を検知することによってピストン５が当該位置にある
ことを検出する。各磁気センサ１２の検知信号はケーブ
ル１４を通して制御部２２へ送信される。Guide rails 11 are provided on the outer surface of the cylinder 4 in parallel with the axial direction, and the upper and lower ends of the guide rail 11 are fixed to the upper and lower outer peripheral surfaces of the cylinder 4. Position detecting means for detecting the position of the piston 5 is attached to the guide rail 11. In this embodiment, the position detecting means is composed of a plurality of magnetic sensors 12 attached to the guide rail 11, and a magnet 13 is embedded in a portion of the outer peripheral surface of the piston 5 facing the guide rail 11. ing. Although each magnetic sensor 12 may be fixed to the guide rail 11, it may be moved to any position along the guide rail 11 so that it can be fixed there, and the piston detection position can be changed. Then, when the piston 5 reaches a position facing any of the magnetic sensors 12, the magnetic sensor 12 detects the magnetism of the magnet 13 to detect that the piston 5 is at the position. The detection signal of each magnetic sensor 12 is transmitted to the control unit 22 through the cable 14.
【００２２】ロック装置３においては、円筒状をした流
体容器１５内に円板状をしたパーティション１６が摺動
自在に納められており、パーティション１６の外周面は
流体容器１５の内面に密着して接している。パーティシ
ョン１６は、流体容器１５の上面及び下面を摺動自在に
貫通している連結用ロッド１７に固定されており、連結
用ロッド１７はアクチュエータ本体２のシリンダ４下面
を貫通してロッド連結具７によりピストン５と連結され
ている。このようにしてパーティション１６は連結用ロ
ッド１７を介してピストン５と連結されているため、ア
クチュエータ本体２のピストン５とロック装置３のパー
ティション１６は共に連動してシリンダ４及び流体容器
１５内をそれぞれ摺動自在となっている。In the lock device 3, a disk-shaped partition 16 is slidably housed in a cylindrical fluid container 15, and the outer peripheral surface of the partition 16 is in close contact with the inner surface of the fluid container 15. Touching. The partition 16 is fixed to a connecting rod 17 that slidably penetrates the upper surface and the lower surface of the fluid container 15, and the connecting rod 17 penetrates the lower surface of the cylinder 4 of the actuator body 2 and the rod connecting member 7 Is connected to the piston 5. In this way, since the partition 16 is connected to the piston 5 via the connecting rod 17, the piston 5 of the actuator body 2 and the partition 16 of the lock device 3 are interlocked with each other to move the inside of the cylinder 4 and the fluid container 15, respectively. It is slidable.
【００２３】流体容器１５内はパーティション１６によ
って２つの流体室１８，１８に仕切られており、各流体
室１８，１８内にはオイルのような非圧縮性の液状流体
が満たされている。両流体室１８，１８どうしは、流体
容器１５の外部に配管されたバイパス管１９を通じて互
いに連通しており、液状流体はバイパス管１９を通じて
両流体室１８，１８間を双方向に流通可能となってい
る。さらに、バイパス管１９には、電磁開閉弁等からな
る開閉バルブ２０が設けられており、開閉バルブ２０は
ケーブル２１によって制御部２２と接続されており、制
御部２２によって開閉制御されるようになっている。The inside of the fluid container 15 is partitioned into two fluid chambers 18, 18 by a partition 16, and each fluid chamber 18, 18 is filled with an incompressible liquid fluid such as oil. The two fluid chambers 18, 18 are in communication with each other through a bypass pipe 19 provided outside the fluid container 15, and the liquid fluid can flow bidirectionally between the fluid chambers 18, 18 through the bypass pipe 19. ing. Further, the bypass pipe 19 is provided with an opening / closing valve 20 such as an electromagnetic opening / closing valve, and the opening / closing valve 20 is connected to a control unit 22 by a cable 21 and is controlled to be opened / closed by the control unit 22. ing.
【００２４】流体容器１５内の液状流体は、バイパス管
１９を通じてのみ両流体室１８，１８間を流通すること
ができるので、開閉バルブ２０を開閉制御することによ
り流体の移動を許可し、あるいは禁止することができ
る。開閉バルブ２０が開かれている場合には、パーティ
ション１６が上下方向に移動すると、その移動量に応じ
て上下の流体室１８，１８間で液状流体の移動が生じる
ので、パーティション１６の移動は妨げられない。これ
に対し、開閉バルブ２０を閉じると、液状流体が両流体
室１８，１８間での移動を阻止されるので、液状流体の
非圧縮性によりパーティション１６は移動することが不
可能となり、ロック状態になる。このとき開閉バルブ２
０が閉じられてからパーティション１６が停止するまで
の応答時間は、アクチュエータ本体２のピストン停止時
の応答時間に較べて短い。Since the liquid fluid in the fluid container 15 can flow between the fluid chambers 18 and 18 only through the bypass pipe 19, the opening / closing valve 20 is controlled to open or close to permit or prohibit the movement of the fluid. can do. When the opening / closing valve 20 is opened, when the partition 16 moves in the vertical direction, liquid fluid moves between the upper and lower fluid chambers 18 in accordance with the amount of movement of the partition 16. Therefore, the movement of the partition 16 is hindered. I can't. On the other hand, when the opening / closing valve 20 is closed, the liquid fluid is prevented from moving between the fluid chambers 18, 18, so that the partition 16 cannot move due to the incompressibility of the liquid fluid, and the partition 16 is in the locked state. become. Opening valve 2 at this time
The response time from when 0 is closed to when the partition 16 is stopped is shorter than the response time when the piston of the actuator body 2 is stopped.
【００２５】しかして、この空気圧作動アクチュエータ
にあっては、アクチュエータ本体２のピストン５とロッ
ク装置３のパーティション１６とは、連結用ロッド１７
を介して連結されており、相互に力学的に作用し合いな
がら、それぞれシリンダ４又は流体容器１５内を連動し
て動くことになる。よって、アクチュエータ本体２のピ
ストン５が静止した状態で、ロック装置３の開閉バルブ
２０を閉じている場合には、パーティション１６が固定
されてロック状態となっているので、パーティション１
６と連動するピストン５もロック状態に保たれ、確実か
つ強固に固定される。つまり、ピストン軸６を通して大
きな負荷荷重や外力がピストン５に加わったり、負荷荷
重や外力が変動したりしても、ピストン５は大きな力で
支持されてその静止位置に固定される。ピストン５及び
パーティション１６を通して開閉バルブ２０に加わる力
が、開閉バルブ２０の強度の許容範囲にある限り、ピス
トン５のロック状態は損われることはない。In this pneumatic actuator, however, the piston 5 of the actuator body 2 and the partition 16 of the lock device 3 are connected to each other by a connecting rod 17
Are connected via the respective cylinders, and they move in a linked manner in the cylinder 4 or the fluid container 15 while mechanically acting on each other. Therefore, when the piston 5 of the actuator body 2 is stationary and the opening / closing valve 20 of the lock device 3 is closed, the partition 16 is fixed and in the locked state.
The piston 5 interlocking with 6 is also kept in a locked state, and is securely and firmly fixed. That is, even if a large load or external force is applied to the piston 5 through the piston shaft 6 or the load or external force fluctuates, the piston 5 is supported with a large force and is fixed at its stationary position. As long as the force applied to the opening / closing valve 20 through the piston 5 and the partition 16 is within the allowable range of the strength of the opening / closing valve 20, the locked state of the piston 5 is not damaged.
【００２６】また、ロック装置３の開閉バルブ２０が開
かれていてパーティション１６がロックされていない状
態で、アクチュエータ本体２内の一方の空気室９を大気
開放し、ピストン５を大気開放側へ動かすと、連動して
ロック装置３のパーティション１６も流体容器１５内を
移動する。その移動中においてロック装置３の開閉バル
ブ２０を閉じると、非圧縮性の液状流体がバイパス管１
９内を通過できなくなるので、ロック装置３のパーティ
ション１６が瞬時にロックされ、ピストン５も瞬時に停
止する。従って、アクチュエータ本体２の空気出入口
８，８に接続された電磁バルブスイッチ１０の操作によ
りピストン５を停止させるよりも早く、瞬間的にピスト
ン５を停止させることができる。すなわち、ロック装置
３は、静止したピストン５をロック状態に保持する機能
だけでなく、アクチュエータ本体２のピストン５を瞬間
的に応答よく停止させるための高速応答性のブレーキと
しての機能も果たし、開閉バルブ２０はそのためのスイ
ッチとしての役目を果たす。Further, in a state where the opening / closing valve 20 of the lock device 3 is opened and the partition 16 is not locked, one air chamber 9 in the actuator body 2 is opened to the atmosphere and the piston 5 is moved to the atmosphere open side. The partition 16 of the lock device 3 also moves in the fluid container 15 in conjunction with the above. If the opening / closing valve 20 of the lock device 3 is closed during the movement, the incompressible liquid fluid is removed from the bypass pipe 1.
Since it becomes impossible to pass through the inside of the lock device 9, the partition 16 of the lock device 3 is instantaneously locked, and the piston 5 is also instantaneously stopped. Therefore, the piston 5 can be stopped momentarily earlier than the piston 5 is stopped by operating the electromagnetic valve switch 10 connected to the air inlet / outlet ports 8 of the actuator body 2. That is, the lock device 3 not only has a function of holding the stationary piston 5 in a locked state, but also has a function as a high-speed responsive brake for instantaneously and responsively stopping the piston 5 of the actuator body 2. The valve 20 serves as a switch therefor.
【００２７】さらに、この空気圧作動アクチュエータ１
においては、磁気センサ１２によって設定されているピ
ストン検出位置で精密にピストン５を停止させることが
できる。すなわち、開閉バルブ２０が開いている状態
で、空気圧によってピストン５が駆動されているとき、
ピストン５が所定の検出位置に達して磁気センサ１２が
ピストン５を検出すると、磁気センサ１２は制御部２２
へ検出信号を送信する。検出信号を受信した制御部２２
は応答して直ちに開閉バルブ２０を閉じ、パーティショ
ン１６及びピストン５を瞬時に停止させる。従って、磁
気センサ１２によって設定されているピストン検出位置
にピストン５を瞬時に停止させることができるので、ピ
ストン５を所定位置（例えば、ストロークの両端位置）
に精密に停止させることができる。また、ピストン５を
停止させた後は、制御部２２が開閉バルブ２０を開くた
めの信号を送信しない限り、開閉バルブ２０は閉じたま
まに保持され、ピストン５はその位置に確実にロックさ
れる。Further, the pneumatically operated actuator 1
In the above, the piston 5 can be accurately stopped at the piston detection position set by the magnetic sensor 12. That is, when the opening / closing valve 20 is open and the piston 5 is driven by air pressure,
When the piston 5 reaches a predetermined detection position and the magnetic sensor 12 detects the piston 5, the magnetic sensor 12 causes the control unit 22 to operate.
Send a detection signal to. Control unit 22 that has received the detection signal
Responds by immediately closing the opening / closing valve 20 and instantaneously stopping the partition 16 and the piston 5. Therefore, the piston 5 can be instantaneously stopped at the piston detection position set by the magnetic sensor 12, so that the piston 5 is moved to a predetermined position (for example, both end positions of the stroke).
Can be stopped precisely. Further, after the piston 5 is stopped, the open / close valve 20 is kept closed and the piston 5 is securely locked in that position unless the control unit 22 sends a signal for opening the open / close valve 20. .
【００２８】なお、図１ではアクチュエータ本体２のシ
リンダ４とロック装置３の流体容器１５とは別体に形成
されているが、一体に形成されていても差し支えない。In FIG. 1, the cylinder 4 of the actuator body 2 and the fluid container 15 of the lock device 3 are formed separately, but they may be formed integrally.
【００２９】図２は本発明の別な実施形態による直動型
の空気圧作動アクチュエータ２３の構造を示す断面図で
ある。直動型のアクチュエータ本体２と直動型のロック
装置３とは、いずれも図１の実施形態において説明した
ものと同様な構造を有している。FIG. 2 is a sectional view showing the structure of a direct-acting pneumatic actuator 23 according to another embodiment of the present invention. Both the direct-acting actuator body 2 and the direct-acting locking device 3 have the same structure as that described in the embodiment of FIG.
【００３０】この空気圧作動アクチュエータ２３では、
アクチュエータ本体２とロック装置３が、ピストン５の
移動方向とパーティション１６の移動方向が平行となる
ように並列に設置されており、アクチュエータ本体２の
ピストン軸６とロック装置３の連結用ロッド１７とが、
板状や棒状などの適宜形状をしたロッド連結具２４によ
って一体に剛結合して連結されている。従って、アクチ
ュエータ本体２のピストン５とロック装置３のパーティ
ション１６とが剛結合されていて互いに連動するように
なっている。In this pneumatic actuator 23,
The actuator body 2 and the lock device 3 are installed in parallel so that the moving direction of the piston 5 and the moving direction of the partition 16 are parallel to each other, and the piston shaft 6 of the actuator body 2 and the connecting rod 17 of the lock device 3 are connected to each other. But,
They are integrally rigidly connected and connected by a rod connecting member 24 having an appropriate shape such as a plate shape or a rod shape. Therefore, the piston 5 of the actuator body 2 and the partition 16 of the lock device 3 are rigidly coupled and interlocked with each other.
【００３１】この空気圧作動アクチュエータ２３の動作
は図１の空気圧作動アクチュエータ１と同じであるか
ら、その説明は省略する。The operation of the pneumatically operated actuator 23 is the same as that of the pneumatically operated actuator 1 shown in FIG.
【００３２】図３は本発明のさらに別な実施形態による
回転出力型の空気圧作動アクチュエータ２５の構造を示
す断面図である。この空気圧作動アクチュエータ２５で
も、直動型のアクチュエータ本体２と直動型のロック装
置３が、ピストン５の移動方向とパーティション１６の
移動方向とが平行となるように並列に設置されている
が、ピストン５とパーティション１６とを連動させるた
めの機構が図１又は図２の空気圧作動アクチュエータ
１，２３とは異なっている。FIG. 3 is a sectional view showing the structure of a rotary output type pneumatic actuator 25 according to still another embodiment of the present invention. Also in this pneumatic actuator 25, the linear actuator body 2 and the linear locking device 3 are installed in parallel so that the moving direction of the piston 5 and the moving direction of the partition 16 are parallel to each other. The mechanism for interlocking the piston 5 and the partition 16 is different from the pneumatic actuators 1 and 23 of FIG. 1 or 2.
【００３３】アクチュエータ本体２のピストン５の外周
面の一部には、その移動方向に沿ってラック２６が埋め
込まれており、ロック装置３のパーティション１６の外
周面の一部にも、その移動方向に沿ってラック２７が埋
め込まれている。アクチュエータ本体２のシリンダ４と
ロック装置３の流体容器１５には互いに対向させて窓２
８，２９がそれぞれ開口されており、各窓２８，２９か
らはそれぞれのラック２６，２７の一部がのぞいてい
る。各窓２８，２９からのぞいているラック２６，２７
は、回転自在に支持された出力軸３０に取り付けられた
ピニオンギア３１に両側から噛み合っている。A rack 26 is embedded in a part of the outer peripheral surface of the piston 5 of the actuator body 2 along the moving direction thereof, and also in a part of the outer peripheral surface of the partition 16 of the lock device 3 in the moving direction thereof. A rack 27 is embedded along the rack. The cylinder 4 of the actuator body 2 and the fluid container 15 of the locking device 3 are made to face each other and the window 2
8 and 29 are respectively opened, and a part of the racks 26 and 27 can be seen through the windows 28 and 29. Racks 26 and 27 looking through the windows 28 and 29
Engages from both sides with a pinion gear 31 attached to an output shaft 30 rotatably supported.
【００３４】しかして、アクチュエータ本体２のピスト
ン５とロック装置３のパーティション１６とは、ラック
２６，２７及びピニオンギア３１を介して互いに連動す
るように結合されており、空気圧によってピストン５が
移動すると、連動してパーティション１６は逆方向へ移
動する。また、ピニオンギア３１を取り付けられている
出力軸３０は、空気圧によってピストン５が移動する
と、それに伴って回転し、空気圧作動アクチュエータ２
５の出力を回転出力として外部へ伝える。However, the piston 5 of the actuator body 2 and the partition 16 of the lock device 3 are connected to each other through the racks 26 and 27 and the pinion gear 31 so as to interlock with each other. , The partition 16 moves in the opposite direction. Further, the output shaft 30 to which the pinion gear 31 is attached rotates when the piston 5 moves due to air pressure, and the output shaft 30 rotates, and the pneumatic operation actuator 2
The output of 5 is transmitted to the outside as a rotation output.
【００３５】この空気圧作動アクチュエータ２５の動作
も、上記の出力が回転出力である点などを除いて図１の
空気圧作動アクチュエータ１とほぼ同じであるから、説
明を省略する。The operation of the pneumatically operated actuator 25 is substantially the same as that of the pneumatically operated actuator 1 of FIG. 1 except that the above-mentioned output is a rotational output, and therefore its explanation is omitted.
【００３６】図４は本発明のさらに別な実施形態による
回転出力型の空気圧作動アクチュエータ３２の構造を示
す一部破断した斜視図であって、回転型のアクチュエー
タ本体３３と回転型のロック装置３４とを並列に設置し
たものである。この回転型のアクチュエータ本体３３の
内部構造の平面図を図５（ａ）に示し、回転型のロック
装置３４の内部構造を図５（ｂ）に示す。FIG. 4 is a partially cutaway perspective view showing the structure of a rotary output type pneumatic actuator 32 according to still another embodiment of the present invention. The rotary actuator main body 33 and the rotary lock device 34 are shown. And are installed in parallel. A plan view of the internal structure of the rotary actuator main body 33 is shown in FIG. 5A, and the internal structure of the rotary lock device 34 is shown in FIG. 5B.
【００３７】アクチュエータ本体３３においては、円筒
状をしたガス容器３５内を隔壁３６によって扇形に仕切
ってベーン収納部３７が形成されており、ベーン収納部
３７内にはベーン（作動部）３８が回転自在に納められ
ている。ベーン３８は、その基部のシャフト部３９を中
心として回転できるようになっており、ベーン３８の先
端面とシャフト部３９はベーン収納部３７の内壁面に密
着して接している。ベーン３８のシャフト部３９に固定
された連結用シャフト４０は、ガス容器３５の下面を貫
通して外部に突出している。この連結用シャフト４０
は、空気圧作動アクチュエータ３２の回転出力を出力す
るための出力軸となっている。In the actuator body 33, a vane storage portion 37 is formed by partitioning a cylindrical gas container 35 into a fan shape by a partition wall 36, and a vane (operating portion) 38 is rotated in the vane storage portion 37. It is stored freely. The vane 38 is rotatable about a shaft portion 39 at the base thereof, and the tip end surface of the vane 38 and the shaft portion 39 are in close contact with the inner wall surface of the vane housing portion 37. The connecting shaft 40 fixed to the shaft portion 39 of the vane 38 penetrates the lower surface of the gas container 35 and projects to the outside. This connecting shaft 40
Is an output shaft for outputting the rotation output of the pneumatic actuator 32.
【００３８】隔壁３６には、両側部にそれぞれ空気出入
口８，８が設けられており、各空気出入口８，８はホー
スやチューブを介してエア回路（図示せず）に接続され
ている。ベーン収納部３７内においてベーン３８で仕切
られた２つの空気室９，９内には、各空気出入口８，８
を通して圧縮空気が満たされている。しかして、空気出
入口８，８と接続されている電磁バルブスイッチ１０の
動作により各空気室９，９の空気圧を制御することによ
りベーン３８をいずれかの向きに回転させることがで
き、その回転出力は連結用シャフト４０から出力され
る。The partition wall 36 is provided with air inlets / outlets 8, 8 on both sides thereof, and each air inlet / outlet 8, 8 is connected to an air circuit (not shown) via a hose or a tube. In the two air chambers 9 and 9 partitioned by the vanes 38 in the vane storage 37, the air inlets and outlets 8 and 8 are provided.
Compressed air is filled through. Then, the vane 38 can be rotated in either direction by controlling the air pressure in each air chamber 9, 9 by the operation of the electromagnetic valve switch 10 connected to the air inlet / outlet 8, 8 and the rotation output thereof. Is output from the connecting shaft 40.
【００３９】ガス容器３５の周囲近傍にはガイドレール
４１が配設されており、ガイドレール４１には、ベーン
３８の先端部に埋め込まれたマグネット１３によってベ
ーン３８の位置を検出するための磁気センサ（位置検出
手段）１２が取り付けられている。しかして、磁気セン
サ１２がマグネット１３の磁気を検知することによって
ベーン３８が当該検出位置に達したことを検出すると、
各磁気センサ１２の検知信号はケーブル１４を通して制
御部２２へ送信される。A guide rail 41 is arranged near the periphery of the gas container 35, and a magnetic sensor for detecting the position of the vane 38 is provided on the guide rail 41 by the magnet 13 embedded in the tip of the vane 38. (Position detecting means) 12 is attached. Then, when the magnetic sensor 12 detects the magnetism of the magnet 13 to detect that the vane 38 has reached the detection position,
The detection signal of each magnetic sensor 12 is transmitted to the control unit 22 through the cable 14.
【００４０】ロック装置３４においては、円筒状をした
流体容器１５内を隔壁４２によって扇形に仕切ってパー
ティション収納部４３が形成されており、パーティショ
ン収納部４３内にはパーティション１６が回転自在に納
められている。パーティション１６も、その基部のシャ
フト部４４を中心として回転できるようになっており、
パーティション１６の先端面とシャフト部４４はパーテ
ィション収納部４３の内壁面に密着して接している。パ
ーティション１６のシャフト部４４に固定された連結用
シャフト４５は、流体容器１５の下面を貫通して外部に
突出している。アクチュエータ本体３３の連結用シャフ
ト４０とロック装置３４の連結用シャフト４５とは、各
連結用シャフト４０，４５に設けられたプーリー４６と
プーリー４７間に掛け回されたベルト４８を介して連結
されている。しかして、パーティション１６は連結用シ
ャフト４０，４５、プーリー４６，４７及びベルト４８
を介してベーン３８と連動するように構成されている。In the lock device 34, the partition container 43 is formed by partitioning the inside of the cylindrical fluid container 15 into a fan shape by the partition wall 42, and the partition 16 is rotatably housed in the partition container 43. ing. The partition 16 can also rotate about the shaft portion 44 of the base thereof,
The tip end surface of the partition 16 and the shaft portion 44 are in close contact with the inner wall surface of the partition storage portion 43. The connecting shaft 45 fixed to the shaft portion 44 of the partition 16 penetrates the lower surface of the fluid container 15 and projects to the outside. The connecting shaft 40 of the actuator body 33 and the connecting shaft 45 of the lock device 34 are connected via a pulley 46 provided on each connecting shaft 40, 45 and a belt 48 wound around the pulley 47. There is. Therefore, the partition 16 includes the connecting shafts 40 and 45, the pulleys 46 and 47, and the belt 48.
It is configured to interlock with the vane 38 via.
【００４１】流体容器１５のパーティション収納部４３
内はパーティション１６によって２つの流体室１８，１
８に仕切られており、各流体室１８，１８内にはオイル
のような非圧縮性の液状流体が満たされている。両流体
室１８，１８どうしは、隔壁４２に接続されたバイパス
管１９を通じて互いに連通しており、液状流体はバイパ
ス管１９を通じて両流体室１８，１８間を双方向に流通
可能となっている。さらに、バイパス管１９には、電磁
開閉弁等からなる開閉バルブ２０が設けられており、開
閉バルブ２０はケーブル２１によって制御部２２と接続
されており、制御部２２によって開閉制御されるように
なっている。Partition storage section 43 of the fluid container 15
The interior is divided into two fluid chambers 18 and 1 by the partition 16.
The fluid chambers 18, 18 are filled with an incompressible liquid fluid such as oil. The fluid chambers 18, 18 communicate with each other through a bypass pipe 19 connected to the partition wall 42, and the liquid fluid can flow bidirectionally between the fluid chambers 18, 18 through the bypass pipe 19. Further, the bypass pipe 19 is provided with an opening / closing valve 20 such as an electromagnetic opening / closing valve, and the opening / closing valve 20 is connected to a control unit 22 by a cable 21 and is controlled to be opened / closed by the control unit 22. ing.
【００４２】流体室１８，１８内の液状流体は、バイパ
ス管１９を通じて流体室１８，１８間を流通することが
できるので、開閉バルブ２０が開かれている場合には、
パーティション１６が回転すると、その回転量に応じて
流体室１８，１８間に液状流体の移動が生じる。これに
対し、開閉バルブ２０が閉じられると、液状流体が流体
室１８，１８間での移動を阻止されるので、液状流体の
非圧縮性によりパーティション１６は移動することが不
可能となり、ロック状態になる。Since the liquid fluid in the fluid chambers 18, 18 can flow between the fluid chambers 18, 18 through the bypass pipe 19, when the opening / closing valve 20 is opened,
When the partition 16 rotates, the liquid fluid moves between the fluid chambers 18, 18 according to the amount of rotation. On the other hand, when the opening / closing valve 20 is closed, the liquid fluid is prevented from moving between the fluid chambers 18 and 18, so that the partition 16 cannot move due to the incompressibility of the liquid fluid, and the partition state is locked. become.
【００４３】しかして、この空気圧作動アクチュエータ
３２にあっても、ベーン３８が静止している状態で開閉
バルブ２０が閉じられると、パーティション１６及びベ
ーン３８が回転不能にロックされる。また、ベーン３８
の回転中に開閉バルブ２０を閉じると、ベーン３８がパ
ーティション１６と共に瞬時に停止され、高速ブレーキ
が掛かる。さらに、磁気センサ１２によってベーン３８
を検出した瞬間に制御部２２によって開閉バルブ２０を
閉じるように制御することにより、ベーン３８を瞬時に
して精密に位置決め停止させることができる。However, even with this pneumatic actuator 32, when the opening / closing valve 20 is closed while the vane 38 is stationary, the partition 16 and the vane 38 are locked so that they cannot rotate. Also, the vane 38
If the on-off valve 20 is closed during the rotation of the vane 38, the vane 38 is instantaneously stopped together with the partition 16 and the high speed brake is applied. In addition, the magnetic sensor 12 causes the vanes 38 to
By controlling the opening / closing valve 20 to be closed by the control unit 22 at the moment of detecting, the vane 38 can be instantly and precisely positioned and stopped.
【００４４】図６は本発明のさらに別な実施形態による
回転出力型の空気圧作動アクチュエータ５０の構造を示
す一部破断した斜視図である。この空気圧作動アクチュ
エータ５０は、図５（ａ）に示したような回転型のアク
チュエータ本体３３と図５（ｂ）に示したような回転型
のロック装置３４とを上下に重ねて直列に設置したもの
である。上下に設置されたアクチュエータ本体３３のベ
ーン３８のシャフト部３９とロック装置３４のパーティ
ション１６のシャフト部４４とは、両シャフト部３９，
４４間に挿入して両シャフト部３９，４４に固定された
スペーサ状のシャフト連結具５１によって一体に連結さ
れており、シャフト連結具５１を介してベーン３８とパ
ーティション１６とが連動するようにしている。FIG. 6 is a partially cutaway perspective view showing the structure of a rotary output type pneumatic actuator 50 according to still another embodiment of the present invention. In this pneumatic actuator 50, a rotary actuator body 33 as shown in FIG. 5A and a rotary lock device 34 as shown in FIG. 5B are vertically stacked and installed in series. It is a thing. The shaft portion 39 of the vane 38 of the actuator main body 33 and the shaft portion 44 of the partition 16 of the lock device 34, which are installed above and below, respectively,
The shafts 39 and 44 are inserted into the shaft 44 and fixed to the shaft portions 39 and 44, and are integrally connected to each other. The vanes 38 and the partition 16 are interlocked via the shaft connector 51. There is.
【００４５】この空気圧作動アクチュエータ５０も、図
４に示した空気圧作動アクチュエータ３２と同様な動作
をするので、動作の説明は省略する。Since the pneumatic actuator 50 also operates in the same manner as the pneumatic actuator 32 shown in FIG. 4, the description of the operation is omitted.
【００４６】なお、上記実施形態では、いずれも直動型
のアクチュエータ本体と直動型のロック装置とを組合わ
せ、回転型のアクチュエータ本体と回転型のロック装置
とを組合わせているが、直動型のアクチュエータ本体と
回転型のロック装置とを組合わせたり、回転型のアクチ
ュエータ本体と直動型のロック装置とを組合わせてもよ
い。その場合でも、例えばラック、ピニオンギア機構な
どを用いてアクチュエータ本体の作動部（ピストン、ベ
ーン）とロック装置のパーティションとを連動するよう
にできる。In each of the above embodiments, the direct-acting actuator body and the direct-acting lock device are combined, and the rotary actuator body and the rotary lock device are combined. A dynamic actuator body and a rotary lock device may be combined, or a rotary actuator body and a direct drive lock device may be combined. Even in that case, for example, a rack, a pinion gear mechanism or the like can be used to interlock the operating portion (piston, vane) of the actuator body and the partition of the lock device.
【００４７】また、図示例では、いずれも位置検出手段
によってアクチュエータ本体のピストン又はベーンの位
置を検出するようにしているが、位置検出手段をロック
装置側に設け、ロック装置のパーティションの位置を検
出するようにしてもよい（図示せず）。ロック装置のパ
ーティションとアクチュエータ本体のピストン又はベー
ンとは連動しているから、パーティションの位置を検出
することによってピストン又はベーンの位置を知ること
ができる。In each of the illustrated examples, the position detecting means detects the position of the piston or the vane of the actuator body, but the position detecting means is provided on the lock device side to detect the position of the partition of the lock device. It may be performed (not shown). Since the partition of the locking device and the piston or vane of the actuator body are interlocked, the position of the piston or vane can be known by detecting the position of the partition.
【００４８】[0048]
【発明の効果】本発明のガス圧作動アクチュエータにあ
っては、ロック装置の液状流体圧によってアクチュエー
タ本体の作動部を強い力で固定することができ、アクチ
ュエータ本体に大きな負荷荷重が加わったり、負荷荷重
が変動したりする場合にも任意の位置で作動部を停止さ
せて確実にロックすることができる。In the gas pressure actuated actuator of the present invention, the actuating portion of the actuator body can be fixed with a strong force by the liquid fluid pressure of the lock device, and a large load is applied to the actuator body, or a load is applied. Even when the load fluctuates, the operating portion can be stopped at any position and can be reliably locked.
【００４９】また、アクチュエータ本体の、駆動された
作動部を停止させる場合にも、液状流体を用いたロック
装置を用いて作動部に制動を加えることにより、アクチ
ュエータ本体単独で作動部を停止させる場合に比較して
瞬間的に作動部を停止させることができる。従って、作
動部を停止させる際の停止位置誤差が小さくなり、作動
部を精密に位置決め停止させることができる。When the actuated portion of the actuator body that is driven is stopped, the actuating portion is stopped by the actuator body alone by applying a braking force to the actuating portion using a lock device using a liquid fluid. It is possible to stop the operating part momentarily as compared with. Therefore, the stop position error at the time of stopping the operating portion becomes small, and the operating portion can be precisely positioned and stopped.
【００５０】また、作動部の位置を検出するための位置
検出手段を備えたガス圧作動アクチュエータにあって
は、作動部が目標位置に達したことを位置検出手段によ
り検出すると同時にロック装置により作動部を停止させ
ることができる。このとき本発明のガス圧作動アクチュ
エータでは、作動部を精密に停止させることができるの
で、目的とする位置に作動部を自動的に精密に位置決め
することができる。Further, in the gas pressure actuated actuator provided with the position detecting means for detecting the position of the operating portion, the position detecting means detects that the operating portion has reached the target position, and at the same time, it is activated by the lock device. The department can be stopped. At this time, in the gas pressure actuated actuator of the present invention, the actuating portion can be stopped precisely, so that the actuating portion can be automatically and precisely positioned at a target position.
【００５１】しかも、本発明のアクチュエータ本体はガ
ス圧作動であるので、油圧作動に比べて構成が簡略にな
り、またロック装置も流体を利用しているので機械的な
ロック装置に比べて構成が簡略になる。従って、簡単か
つ安価な構成によって、精密位置決めの可能なガス圧作
動アクチュエータを製作することができる。Moreover, since the actuator body of the present invention is operated by gas pressure, the structure is simpler than that by hydraulic operation, and since the locking device also uses fluid, the structure is better than that by mechanical locking device. It becomes simple. Therefore, a gas pressure actuated actuator capable of precise positioning can be manufactured with a simple and inexpensive structure.
【図１】本発明の一実施形態による直動型の空気圧作動
アクチュエータの構造を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a direct-acting pneumatically operated actuator according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の別な実施形態による直動型の空気圧作
動アクチュエータの構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of a linear motion pneumatic actuator according to another embodiment of the present invention.
【図３】本発明のさらに別な実施形態による回転出力型
の空気圧作動アクチュエータの構造を示す断面図であ
る。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of a rotary output type pneumatic actuator according to still another embodiment of the present invention.
【図４】本発明のさらに別な実施形態による回転出力型
の空気圧作動アクチュエータの構造を示す一部破断した
斜視図である。FIG. 4 is a partially cutaway perspective view showing the structure of a rotary output type pneumatic actuator according to still another embodiment of the present invention.
【図５】（ａ）は同上の実施形態におけるアクチュエー
タ本体を示す平面図、（ｂ）はロック装置を示す平面図
である。5A is a plan view showing an actuator body according to the above embodiment, and FIG. 5B is a plan view showing a lock device.
【図６】本発明のさらに別な実施形態による回転出力型
の空気圧作動アクチュエータの構造を示す一部破断した
斜視図である。FIG. 6 is a partially cutaway perspective view showing the structure of a rotary output type pneumatic actuator according to still another embodiment of the present invention.
２ アクチュエータ本体（直動型） ３ ロック装置（直動型） ４ シリンダ ５ ピストン ６ ピストン軸 ９ 空気室 １２ 磁気センサ １３ マグネット １５ 流体容器 １６ パーティション １７ 連結用ロッド １８ 流体室 １９ バイパス管 ２０ 開閉バルブ ２６，２７ ラック ３０ 出力軸 ３１ ピニオンギア ３３ アクチュエータ本体（回転型） ３４ ロック装置（回転型） ３５ ガス容器 ３８ ベーン ４０，４５ 連結用シャフト ４６，４７ プーリー ４８ ベルト 2 Actuator body (direct acting type) 3 Lock device (direct acting type) 4 Cylinder 5 Piston 6 Piston shaft 9 Air chamber 12 Magnetic sensor 13 Magnet 15 Fluid container 16 Partition 17 Connecting rod 18 Fluid chamber 19 Bypass pipe 20 Open / close valve 26 , 27 rack 30 output shaft 31 pinion gear 33 actuator body (rotary type) 34 locking device (rotary type) 35 gas container 38 vane 40, 45 connecting shaft 46, 47 pulley 48 belt
Claims (4)
によって作動させるアクチュエータ本体と、当該アクチ
ュエータ本体の作動部をロックするためのロック装置と
を有するガス圧作動アクチュエータであって、 前記ロック装置は、 前記アクチュエータ本体のガス容器と一体又は別体に形
成された流体容器と、 当該流体容器内に摺動自在に納められたパーティション
と、 当該パーティションと前記アクチュエータ本体の作動部
とを連動させるための機構と、 液状流体を充填され、当該パーティションで仕切られた
当該流体容器内の２室間において液状流体の通過を可能
にするバイパス部と、 当該バイパス部を開閉する手段と、からなることを特徴
とするガス圧作動アクチュエータ。1. A gas pressure actuated actuator having an actuator body for actuating an actuating portion housed in a gas container by gas pressure, and a lock device for locking the actuating portion of the actuator body. The apparatus includes a fluid container formed integrally with or separately from the gas container of the actuator body, a partition slidably accommodated in the fluid container, and the partition and the operating portion of the actuator body. And a means for opening and closing the bypass portion, the bypass portion allowing the passage of the liquid fluid between two chambers in the fluid container filled with the liquid fluid and partitioned by the partition. A gas pressure actuated actuator.
によって作動させるアクチュエータ本体と、当該アクチ
ュエータ本体の作動部をロックするためのロック装置と
を有するガス圧作動アクチュエータであって、 前記ロック装置は、 前記アクチュエータ本体のガス容器と一体又は別体に形
成された流体容器と、 当該流体容器内に回転自在に納められたパーティション
と、 当該パーティションと前記アクチュエータ本体の作動部
とを連動させるための機構と、 液状流体を充填され、当該パーティションで仕切られた
当該流体容器内の２室間において液状流体の通過を可能
にするバイパス部と、 当該バイパス部を開閉する手段と、からなることを特徴
とするガス圧作動アクチュエータ。2. A gas pressure actuated actuator having an actuator body for actuating an actuating portion housed in a gas container by gas pressure, and a lock device for locking the actuating portion of the actuator body. The device includes a fluid container formed integrally with or separately from the gas container of the actuator body, a partition rotatably accommodated in the fluid container, and an interlocking operation of the partition and the operating portion of the actuator body. Mechanism, a bypass section that allows the liquid fluid to pass between two chambers in the fluid container that are filled with the liquid fluid and partitioned by the partition, and a means that opens and closes the bypass section. Characteristic gas pressure actuated actuator.
置を検出する手段と、当該位置検出手段からの検出信号
に応じて前記バイパス部の開閉手段を作動させる制御手
段を備えた、請求項１又は２に記載のガス圧作動アクチ
ュエータ。3. A means for detecting the position of the operating portion in the gas container, and a control means for operating the opening / closing means of the bypass portion in response to a detection signal from the position detecting means. Or the gas pressure actuated actuator according to 2.
ョンの位置を検出する手段と、当該位置検出手段からの
検出信号に応じて前記バイパス部の開閉手段を作動させ
る制御手段を備えた、請求項１又は２に記載のガス圧作
動アクチュエータ。4. A means for detecting the position of the partition in the fluid container, and a control means for activating the opening / closing means of the bypass section in response to a detection signal from the position detecting means. 2. The gas pressure actuated actuator according to 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4076796A JPH09210015A (en) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | Gas pressure-operated actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4076796A JPH09210015A (en) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | Gas pressure-operated actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09210015A true JPH09210015A (en) | 1997-08-12 |
Family
ID=12589787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4076796A Pending JPH09210015A (en) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | Gas pressure-operated actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09210015A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009056228A1 (en) * | 2009-11-28 | 2011-06-01 | Festo Ag & Co. Kg | Fluid actuable linear actuator has set piston, which together with working piston and inner surface of cylinder recess variably limits working volume of working chamber |
| WO2012163249A1 (en) * | 2011-05-27 | 2012-12-06 | Wang Jun | Goods access locking device |
Citations (5)
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| JPS4220765Y1 (en) * | 1964-10-23 | 1967-12-02 | ||
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| JPH0716086U (en) * | 1993-08-25 | 1995-03-17 | 岩井機械工業株式会社 | Valve with leak detector |
-
1996
- 1996-02-02 JP JP4076796A patent/JPH09210015A/en active Pending
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| Date | Code | Title | Description |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980407 |