JPH09199639A - 半導体装置およびその成形方法 - Google Patents
半導体装置およびその成形方法Info
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- JPH09199639A JPH09199639A JP8004700A JP470096A JPH09199639A JP H09199639 A JPH09199639 A JP H09199639A JP 8004700 A JP8004700 A JP 8004700A JP 470096 A JP470096 A JP 470096A JP H09199639 A JPH09199639 A JP H09199639A
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- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の実装設備で実装が行え、安定した樹脂
成形が行えるとともにさらなる薄形化が可能になる。 【解決手段】 ダイパッド３の表面上にチップ４を固定
し、その全体を樹脂１で被覆してパッケージを形成した
半導体装置であって、ダイパッド３の裏面が外部に露出
した。このように、ダイパッド３の裏面が外部に露出し
ているので、ダイパッド３の裏面の樹脂１の厚み分、薄
形化を図ることができ、また放熱性に優れている。さら
に実装中に内部に発生した蒸気に対しても外へ逃げ易
く、内部に溜まった水分の気化膨張によるパッケージク
ラックを引き起こすことがない。また、外形においても
従来のものとでは厚み以外変わるところはないので、従
来の実装設備で実装が行える。
成形が行えるとともにさらなる薄形化が可能になる。 【解決手段】 ダイパッド３の表面上にチップ４を固定
し、その全体を樹脂１で被覆してパッケージを形成した
半導体装置であって、ダイパッド３の裏面が外部に露出
した。このように、ダイパッド３の裏面が外部に露出し
ているので、ダイパッド３の裏面の樹脂１の厚み分、薄
形化を図ることができ、また放熱性に優れている。さら
に実装中に内部に発生した蒸気に対しても外へ逃げ易
く、内部に溜まった水分の気化膨張によるパッケージク
ラックを引き起こすことがない。また、外形においても
従来のものとでは厚み以外変わるところはないので、従
来の実装設備で実装が行える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、特に薄形化、軽
量化および高放熱性を必要とする半導体装置およびその
成形方法に関するものである。
量化および高放熱性を必要とする半導体装置およびその
成形方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、エポキシ樹脂の成形による半導体
装置の構造は、その中心部にダイパッドおよびチップを
置き、その全体をエポキシ樹脂で覆っているものが一般
的である。また、近年の半導体装置の薄形化への要望を
満たすためチップ、リードフレーム、或いはそれらを覆
う樹脂の厚みそのものの薄肉化を図ってきた。
装置の構造は、その中心部にダイパッドおよびチップを
置き、その全体をエポキシ樹脂で覆っているものが一般
的である。また、近年の半導体装置の薄形化への要望を
満たすためチップ、リードフレーム、或いはそれらを覆
う樹脂の厚みそのものの薄肉化を図ってきた。
【０００３】また、通常、ＱＦＰ（ｑｕａｄ ｆｌａｔ
ｐａｃｋａｇｅ）といわれる半導体装置の成形は、特
定の形を彫り込んだ金型を搭載したプレス機を使用し、
ワイヤーボンドが終了した製品を上下から挟み込み熱を
かけペレット状に固められた樹脂を溶融しながら流し込
む方法が取られている。このとき溶融した樹脂の注入の
仕方としては、チップとチップを乗せているダイパッド
をチップ上とダイパッド下で均等に覆っていくようにす
ることが理想的であり、そういう流れになるように設備
においては金型温度、樹脂注入速度、金型においてはゲ
ート口の大きさ、角度を調整するといった対応を取って
いる。
ｐａｃｋａｇｅ）といわれる半導体装置の成形は、特
定の形を彫り込んだ金型を搭載したプレス機を使用し、
ワイヤーボンドが終了した製品を上下から挟み込み熱を
かけペレット状に固められた樹脂を溶融しながら流し込
む方法が取られている。このとき溶融した樹脂の注入の
仕方としては、チップとチップを乗せているダイパッド
をチップ上とダイパッド下で均等に覆っていくようにす
ることが理想的であり、そういう流れになるように設備
においては金型温度、樹脂注入速度、金型においてはゲ
ート口の大きさ、角度を調整するといった対応を取って
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、それら
材料の薄肉化は強度の確保或いは成形性の安定化という
面において困難となり、さらなる薄形化を図るために
は、現在開発が進んでいるテープキャリアパッケージ或
いはチップサイズパッケージ等への展開が必要となって
くる。しかしそれらの方法を用いる場合、半導体装置自
体の構造が変わり実装方法も変えていく必要があること
から、すぐに扱えないという問題点もある。
材料の薄肉化は強度の確保或いは成形性の安定化という
面において困難となり、さらなる薄形化を図るために
は、現在開発が進んでいるテープキャリアパッケージ或
いはチップサイズパッケージ等への展開が必要となって
くる。しかしそれらの方法を用いる場合、半導体装置自
体の構造が変わり実装方法も変えていく必要があること
から、すぐに扱えないという問題点もある。
【０００５】また、成形する場合も、パッケージが薄く
なり、チップ上およびダイパッド下の樹脂が流れ込む空
間が薄くなるにしたがってスムーズな樹脂の流れが損な
われ、それにともなってチップ上とダイパッド下の樹脂
の注入の仕方が不均等になると、ダイパッドが上に或い
は下にシフトする。特に薄いパッケージの場合、パッケ
ージ表面にワイヤーが露出したり、切れるというような
不具合が起こる。
なり、チップ上およびダイパッド下の樹脂が流れ込む空
間が薄くなるにしたがってスムーズな樹脂の流れが損な
われ、それにともなってチップ上とダイパッド下の樹脂
の注入の仕方が不均等になると、ダイパッドが上に或い
は下にシフトする。特に薄いパッケージの場合、パッケ
ージ表面にワイヤーが露出したり、切れるというような
不具合が起こる。
【０００６】さらに、半導体装置の薄形化にともない耐
クラック性が問題視されている中、一般的に報告されて
いる、ダイパッド裏面と樹脂との界面に溜まった水分や
チップ裏面とダイパッドとの界面にある水分が実装中の
加熱により気化膨張しパッケージクラックを引き起こす
ことがある。したがって、この発明の目的は、従来の実
装設備で実装が行え、安定した樹脂成形が行えるととも
にさらなる薄形化が可能になる半導体装置およびその成
形方法を提供することである。
クラック性が問題視されている中、一般的に報告されて
いる、ダイパッド裏面と樹脂との界面に溜まった水分や
チップ裏面とダイパッドとの界面にある水分が実装中の
加熱により気化膨張しパッケージクラックを引き起こす
ことがある。したがって、この発明の目的は、従来の実
装設備で実装が行え、安定した樹脂成形が行えるととも
にさらなる薄形化が可能になる半導体装置およびその成
形方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の半導体装
置は、ダイパッドの表面上にチップを固定し、その全体
を樹脂で被覆した半導体装置であって、ダイパッドの裏
面が外部に露出したことを特徴とするものである。この
ように、ダイパッドの裏面が外部に露出しているので、
ダイパッドの裏面の樹脂の厚み分、薄形化を図ることが
できる。また、外形においても従来のものとでは厚み以
外変わるところはないので、実装についても従来の技術
を持って実施できる。また、ダイパッド裏面が露出して
いることから、放熱性に優れている。さらに、本構造は
ダイパッド裏面とエポキシ樹脂との界面が存在しないた
め、ダイパッド裏面と樹脂との界面に水分が溜まらず、
この水分の気化膨張によるパッケージクラックを引き起
こすことがない。また、ダイパッド裏面が露出している
ことから、チップ裏面とダイパッドとの界面にある水分
が実装中の加熱により気化しても、気化した蒸気はダイ
パッド側面をたどり、即外部に逃がすことができ、パッ
ケージクラックには至らない。これらのことより耐クラ
ック性においても優れた半導体装置といえる。
置は、ダイパッドの表面上にチップを固定し、その全体
を樹脂で被覆した半導体装置であって、ダイパッドの裏
面が外部に露出したことを特徴とするものである。この
ように、ダイパッドの裏面が外部に露出しているので、
ダイパッドの裏面の樹脂の厚み分、薄形化を図ることが
できる。また、外形においても従来のものとでは厚み以
外変わるところはないので、実装についても従来の技術
を持って実施できる。また、ダイパッド裏面が露出して
いることから、放熱性に優れている。さらに、本構造は
ダイパッド裏面とエポキシ樹脂との界面が存在しないた
め、ダイパッド裏面と樹脂との界面に水分が溜まらず、
この水分の気化膨張によるパッケージクラックを引き起
こすことがない。また、ダイパッド裏面が露出している
ことから、チップ裏面とダイパッドとの界面にある水分
が実装中の加熱により気化しても、気化した蒸気はダイ
パッド側面をたどり、即外部に逃がすことができ、パッ
ケージクラックには至らない。これらのことより耐クラ
ック性においても優れた半導体装置といえる。
【０００８】請求項２記載の半導体装置の成形方法は、
ダイパッドの表面上にチップを固定しこのチップとリー
ドをワイヤで接続する工程と、分割可能な金型の対向面
に形成されたキャビティにチップおよびダイパッドを配
置した状態でリードをキャビティの外周部で保持する工
程と、チップの上方に流れるように樹脂をキャビティ内
に注入する工程とを含むものである。
ダイパッドの表面上にチップを固定しこのチップとリー
ドをワイヤで接続する工程と、分割可能な金型の対向面
に形成されたキャビティにチップおよびダイパッドを配
置した状態でリードをキャビティの外周部で保持する工
程と、チップの上方に流れるように樹脂をキャビティ内
に注入する工程とを含むものである。
【０００９】このように、樹脂がチップの上方に流れる
ようにキャビティ内に樹脂を注入すると、その樹脂の圧
力によりチップを固定したダイパッドは下に沈み金型に
当接してその姿勢が規制される。このため、樹脂注入に
おいてダイパッドが上下にシフトすることがなく、ワイ
ヤに対しても負担が小さくなる。特に薄形のパッケージ
の場合でもワイヤがパッケージ表面に露出したり切れる
というようなことがなく、安定した成形が行える。ま
た、成形後のパッケージは、ダイパッド裏面が外部に露
出し、請求項１と同様の効果が得られる。
ようにキャビティ内に樹脂を注入すると、その樹脂の圧
力によりチップを固定したダイパッドは下に沈み金型に
当接してその姿勢が規制される。このため、樹脂注入に
おいてダイパッドが上下にシフトすることがなく、ワイ
ヤに対しても負担が小さくなる。特に薄形のパッケージ
の場合でもワイヤがパッケージ表面に露出したり切れる
というようなことがなく、安定した成形が行える。ま
た、成形後のパッケージは、ダイパッド裏面が外部に露
出し、請求項１と同様の効果が得られる。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態の半導体装
置およびその成形方法を図１ないし図４に基づいて説明
する。この半導体装置は、ダイパッド３の表面上に接着
剤でチップ４を固定し、ダイパッド３の裏面を除いてそ
の全体をエポキシ樹脂１で被覆している。また、チップ
４とリード５はワイヤ２で接続されている。
置およびその成形方法を図１ないし図４に基づいて説明
する。この半導体装置は、ダイパッド３の表面上に接着
剤でチップ４を固定し、ダイパッド３の裏面を除いてそ
の全体をエポキシ樹脂１で被覆している。また、チップ
４とリード５はワイヤ２で接続されている。
【００１１】リード５は樹脂成形されたパッケージ側面
から一列に、半導体装置の裏面から一定の距離ｔを置い
たところから外側に向けて突出している。また、ダイパ
ッド３とリード５との間には一定の段差ｈを設け、リー
ド５が落ちないように樹脂１で確実に固定されている。
ワイヤ２は金、アルミニウム或いは銅等からなり、この
ワイヤ２を介してチップ４上の回路から発信される信号
がリード５に送られる。また、ダイパッド３の裏面はパ
ッケージの裏面と面一になり外部に露出している。
から一列に、半導体装置の裏面から一定の距離ｔを置い
たところから外側に向けて突出している。また、ダイパ
ッド３とリード５との間には一定の段差ｈを設け、リー
ド５が落ちないように樹脂１で確実に固定されている。
ワイヤ２は金、アルミニウム或いは銅等からなり、この
ワイヤ２を介してチップ４上の回路から発信される信号
がリード５に送られる。また、ダイパッド３の裏面はパ
ッケージの裏面と面一になり外部に露出している。
【００１２】つぎに、この半導体装置の成形方法につい
て説明する。この成形に使用される金型Ａは分割可能な
上型１２と下型１３とからなり、対向面にキャビティ１
４が形成される。このキャビティ１４の外周部１５はリ
ード５を保持できるような形状にしてある。また、樹脂
１をキャビティ１４内に注入するためのランナ７および
ゲート口８が設けてある。また、封止成形後のダイパッ
ド３とリード５との間には、上記のように一定の段差ｈ
が設けられる構造にしておく。
て説明する。この成形に使用される金型Ａは分割可能な
上型１２と下型１３とからなり、対向面にキャビティ１
４が形成される。このキャビティ１４の外周部１５はリ
ード５を保持できるような形状にしてある。また、樹脂
１をキャビティ１４内に注入するためのランナ７および
ゲート口８が設けてある。また、封止成形後のダイパッ
ド３とリード５との間には、上記のように一定の段差ｈ
が設けられる構造にしておく。
【００１３】そして、図２に示すように、ダイパッド３
の表面上にチップ４が接着剤で固定され、チップ４とリ
ード５がワイヤ２で繋がれ状態のワイヤボンド済みのリ
ードフレームを金型Ａに装着する。この場合、ダイパッ
ド３が下型１３から浮いた状態でキャビティ１４の中央
に配置されるように、ワイヤ２で繋がれたリード５の一
端をキャビティ１４内に突出させてリード５の他端を外
周部１５にて保持する。この際、ダイパッド３の裏面が
できるだけ下型１３に接近するように設定しておく。つ
ぎに、図３に示すように、ゲート口８からキャビティ１
４内に樹脂１を注入する。この際、従来と同様にペレッ
ト状に固められた樹脂１を溶融しながら流し込む。矢印
Ｃは樹脂１の流動方向を示している。樹脂１を注入する
際は、ゲート口８の角度或いは注入速度の調整により樹
脂１がチップ４の上方に流れるようにし、その上からの
樹脂１の圧力で利用しダイパッド３が沈むようにする。
このように、必ず注入中の樹脂１が上方に流れるように
設定しておけば、チップ４を乗せたダイパッド３は下に
沈むしかなく、下は金型Ａの下型１３で規制されるため
安定した成形が得られる。
の表面上にチップ４が接着剤で固定され、チップ４とリ
ード５がワイヤ２で繋がれ状態のワイヤボンド済みのリ
ードフレームを金型Ａに装着する。この場合、ダイパッ
ド３が下型１３から浮いた状態でキャビティ１４の中央
に配置されるように、ワイヤ２で繋がれたリード５の一
端をキャビティ１４内に突出させてリード５の他端を外
周部１５にて保持する。この際、ダイパッド３の裏面が
できるだけ下型１３に接近するように設定しておく。つ
ぎに、図３に示すように、ゲート口８からキャビティ１
４内に樹脂１を注入する。この際、従来と同様にペレッ
ト状に固められた樹脂１を溶融しながら流し込む。矢印
Ｃは樹脂１の流動方向を示している。樹脂１を注入する
際は、ゲート口８の角度或いは注入速度の調整により樹
脂１がチップ４の上方に流れるようにし、その上からの
樹脂１の圧力で利用しダイパッド３が沈むようにする。
このように、必ず注入中の樹脂１が上方に流れるように
設定しておけば、チップ４を乗せたダイパッド３は下に
沈むしかなく、下は金型Ａの下型１３で規制されるため
安定した成形が得られる。
【００１４】さらに成形後、図３に示すように露出した
ダイパッド３の裏面に樹脂ばり１０がある場合は、ウオ
ータージェット等のばり取りを実施することで、きれい
にすることができる。以上の工程により、図１に示すよ
うなダイパッド３の裏面が外部に露出した半導体装置を
得ることができる。この実施の形態によれば、ダイパッ
ド３の裏面が外部に露出しているので、ダイパッド３の
裏面の樹脂１の厚み分、薄形化を図ることができる。ま
た、外形においても従来のものとでは厚み以外変わると
ころはないので、実装についても従来の技術を持って実
施できる。また、ダイパッド３の裏面が露出しているこ
とから、放熱性に優れている。さらに、本構造はダイパ
ッド３の裏面とエポキシ樹脂１との界面が存在しないた
め、ダイパッド３の裏面と樹脂１との界面に水分が溜ま
らず、この水分の気化膨張によるパッケージクラックを
引き起こすことがない。また、ダイパッド３の裏面が露
出していることから、チップ４の裏面とダイパッド３と
の界面にある水分が実装中の加熱により気化しても、気
化した蒸気はダイパッド３の側面をたどり、即外部に逃
がすことができ、パッケージクラックには至らない。こ
れらのことより耐クラック性においても優れた半導体装
置といえる。
ダイパッド３の裏面に樹脂ばり１０がある場合は、ウオ
ータージェット等のばり取りを実施することで、きれい
にすることができる。以上の工程により、図１に示すよ
うなダイパッド３の裏面が外部に露出した半導体装置を
得ることができる。この実施の形態によれば、ダイパッ
ド３の裏面が外部に露出しているので、ダイパッド３の
裏面の樹脂１の厚み分、薄形化を図ることができる。ま
た、外形においても従来のものとでは厚み以外変わると
ころはないので、実装についても従来の技術を持って実
施できる。また、ダイパッド３の裏面が露出しているこ
とから、放熱性に優れている。さらに、本構造はダイパ
ッド３の裏面とエポキシ樹脂１との界面が存在しないた
め、ダイパッド３の裏面と樹脂１との界面に水分が溜ま
らず、この水分の気化膨張によるパッケージクラックを
引き起こすことがない。また、ダイパッド３の裏面が露
出していることから、チップ４の裏面とダイパッド３と
の界面にある水分が実装中の加熱により気化しても、気
化した蒸気はダイパッド３の側面をたどり、即外部に逃
がすことができ、パッケージクラックには至らない。こ
れらのことより耐クラック性においても優れた半導体装
置といえる。
【００１５】また、樹脂１がチップ４の上方に流れるよ
うにキャビティ１４内に樹脂１を注入すると、その樹脂
１の圧力によりチップ４を固定したダイパッド３は下に
沈み金型Ａに当接してその姿勢が規制される。このた
め、樹脂１の注入においてダイパッド３が上下にシフト
することがなく、ワイヤ２に対しても負担が小さくな
る。特に薄形のパッケージの場合でもワイヤ２がパッケ
ージ表面に露出したり切れるというようなことがなく、
安定した成形が行える。
うにキャビティ１４内に樹脂１を注入すると、その樹脂
１の圧力によりチップ４を固定したダイパッド３は下に
沈み金型Ａに当接してその姿勢が規制される。このた
め、樹脂１の注入においてダイパッド３が上下にシフト
することがなく、ワイヤ２に対しても負担が小さくな
る。特に薄形のパッケージの場合でもワイヤ２がパッケ
ージ表面に露出したり切れるというようなことがなく、
安定した成形が行える。
【００１６】なお、ダイパッド３を金型Ａの下型１３に
接した状態で樹脂成形を行ってもよい。
接した状態で樹脂成形を行ってもよい。
【００１７】
【発明の効果】請求項１記載の半導体装置によれば、ダ
イパッドの裏面が外部に露出しているので、ダイパッド
の裏面の樹脂の厚み分、薄形化を図ることができる。ま
た、外形においても従来のものとでは厚み以外変わると
ころはないので、実装についても従来の技術を持って実
施できる。また、ダイパッド裏面が露出していることか
ら、放熱性に優れている。さらに、本構造はダイパッド
裏面とエポキシ樹脂との界面が存在しないため、ダイパ
ッド裏面と樹脂との界面に水分が溜まらず、この水分の
気化膨張によるパッケージクラックを引き起こすことが
ない。また、ダイパッド裏面が露出していることから、
チップ裏面とダイパッドとの界面にある水分が実装中の
加熱により気化しても、気化した蒸気はダイパッド側面
をたどり、即外部に逃がすことができ、パッケージクラ
ックには至らない。これらのことより耐クラック性にお
いても優れた半導体装置といえる。
イパッドの裏面が外部に露出しているので、ダイパッド
の裏面の樹脂の厚み分、薄形化を図ることができる。ま
た、外形においても従来のものとでは厚み以外変わると
ころはないので、実装についても従来の技術を持って実
施できる。また、ダイパッド裏面が露出していることか
ら、放熱性に優れている。さらに、本構造はダイパッド
裏面とエポキシ樹脂との界面が存在しないため、ダイパ
ッド裏面と樹脂との界面に水分が溜まらず、この水分の
気化膨張によるパッケージクラックを引き起こすことが
ない。また、ダイパッド裏面が露出していることから、
チップ裏面とダイパッドとの界面にある水分が実装中の
加熱により気化しても、気化した蒸気はダイパッド側面
をたどり、即外部に逃がすことができ、パッケージクラ
ックには至らない。これらのことより耐クラック性にお
いても優れた半導体装置といえる。
【００１８】請求項２記載の半導体装置の成形方法によ
れば、樹脂がチップの上方に流れるようにキャビティ内
に樹脂を注入すると、その樹脂の圧力によりチップを固
定したダイパッドは下に沈み金型に当接してその姿勢が
規制される。このため、樹脂注入においてダイパッドが
上下にシフトすることがなく、ワイヤに対しても負担が
小さくなる。特に薄形のパッケージの場合でもワイヤが
パッケージ表面に露出したり切れるというようなことが
なく、安定した成形が行える。また、成形後のパッケー
ジは、ダイパッド裏面がパッケージの外部に露出し、請
求項１と同様の効果が得られる。
れば、樹脂がチップの上方に流れるようにキャビティ内
に樹脂を注入すると、その樹脂の圧力によりチップを固
定したダイパッドは下に沈み金型に当接してその姿勢が
規制される。このため、樹脂注入においてダイパッドが
上下にシフトすることがなく、ワイヤに対しても負担が
小さくなる。特に薄形のパッケージの場合でもワイヤが
パッケージ表面に露出したり切れるというようなことが
なく、安定した成形が行える。また、成形後のパッケー
ジは、ダイパッド裏面がパッケージの外部に露出し、請
求項１と同様の効果が得られる。
【図１】この発明の実施の形態の半導体装置の断面側面
図である。
図である。
【図２】ワイヤーボンド済み製品を金型に設置した状態
の説明図である。
の説明図である。
【図３】ワイヤーボンド済み製品を金型に設置した後、
樹脂を注入している状態の説明図である。
樹脂を注入している状態の説明図である。
【図４】封止済み製品をダイパッドが露出している側か
ら見た平面図である。
ら見た平面図である。
１ 樹脂 ２ ワイヤ ３ ダイパッド ４ チップ ５ リード ７ ランナ ８ ゲート口 １０ 薄ばり １２ 上型 １３ 下型 １４ キャビティ １５ 外周部 Ａ 金型
Claims (2)
- 【請求項１】 ダイパッドの表面上にチップを固定し、
その全体を樹脂で被覆した半導体装置であって、前記ダ
イパッドの裏面が外部に露出したことを特徴とする半導
体装置。 - 【請求項２】 ダイパッドの表面上にチップを固定しこ
のチップとリードをワイヤで接続する工程と、分割可能
な金型の対向面に形成されたキャビティに前記チップお
よびダイパッドを配置した状態で前記リードを前記キャ
ビティの外周部で保持する工程と、前記チップの上方に
流れるように樹脂を前記キャビティ内に注入する工程と
を含む半導体装置の成形方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP470096A JP3023303B2 (ja) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | 半導体装置の成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP470096A JP3023303B2 (ja) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | 半導体装置の成形方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09199639A true JPH09199639A (ja) | 1997-07-31 |
| JP3023303B2 JP3023303B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=11591168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP470096A Expired - Fee Related JP3023303B2 (ja) | 1996-01-16 | 1996-01-16 | 半導体装置の成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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1996
- 1996-01-16 JP JP470096A patent/JP3023303B2/ja not_active Expired - Fee Related
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