JPH09199576A - Adjuster of pencil interval in pencil holder for holding pencils in semiconductor fabrication system - Google Patents
Adjuster of pencil interval in pencil holder for holding pencils in semiconductor fabrication systemInfo
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- JPH09199576A JPH09199576A JP2062996A JP2062996A JPH09199576A JP H09199576 A JPH09199576 A JP H09199576A JP 2062996 A JP2062996 A JP 2062996A JP 2062996 A JP2062996 A JP 2062996A JP H09199576 A JPH09199576 A JP H09199576A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
複数枚ペンシル保持用のペンシルホルダーにおけるペン
シル間隔の調整装置の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a device for adjusting pencil intervals in a pencil holder for holding a plurality of pencils in a semiconductor manufacturing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の半導体の単結晶を材料ウェーハの
上に形成する半導体製造装置は、図４のような構成とな
っていた。同図において、１は半導体製造装置であって
無塵室を形成しており、２は移載装置であるロボット
で、このロボット２のアーム３の先端に設けられるフィ
ンガとも呼ばれるウェーハ移載用のペンシル４によっ
て、材料であるウェーハ５をキャリアステージ６からボ
ート７の内部に支柱に設けられるウェーハ収納用の溝又
は棚８に移載・装填し、ウェーハ５の装填を完了したボ
ート７は図示しない昇降手段によって上昇して、その材
料ウェーハ５を反応装置９に収納し、所要の熱処理を行
うようになっている。また、１０はこの半導体製造装置
の制御装置、１１はその操作盤で、これらは無塵室外に
置かれている。なお、図４に示すボート７の内部の支柱
には複数個（通常１００〜１５０個）のウェーハ収納用
の溝又は棚８が設けられ、また、キャリアステージ６の
カセット（ここでは図示せず）内には、ウェーハ５が通
常は２５段に積層して収納される溝又は棚が形成されて
いる。従って、ウェーハ５をロボット２のアーム３の先
端に設けられたペンシル４により上記のように移載する
ときは、複数枚（この例では５枚）を一括して移載する
ようにしていた。ここで、従来のような５個のペンシル
４が一体固定型のものの縦断正面図を図５に示す。４ａ
1〜４ａ5は夫々５枚の各ペンシルで、これらのペンシル
４ａ1〜４ａ5はペンシルホルダー１３ａを構成するペン
シル固定部１３ａ1〜１３ａ5の各先端部にねじ１４ａ1
及び１４ａ2等で固着されている。なお、１３ｂはペン
シル保持部、３はロボットのアームである。2. Description of the Related Art A conventional semiconductor manufacturing apparatus for forming a semiconductor single crystal on a material wafer has a structure as shown in FIG. In the figure, reference numeral 1 is a semiconductor manufacturing apparatus that forms a dust-free chamber, and 2 is a robot that is a transfer apparatus, which is also used as a finger for transferring a wafer, which is provided at the tip of an arm 3 of the robot 2. The wafer 5 as a material is transferred and loaded from the carrier stage 6 to the wafer storage groove or shelf 8 provided on the support column inside the boat 7 by the pencil 4, and the boat 7 that has completed the loading of the wafer 5 is not shown. The material wafer 5 is raised by the elevating means and is housed in the reactor 9 to perform the required heat treatment. Further, 10 is a control device of this semiconductor manufacturing apparatus, 11 is its operation panel, which are placed outside the dust-free chamber. The boat 7 shown in FIG. 4 is provided with a plurality of (usually 100 to 150) grooves or shelves 8 for accommodating wafers on the column, and a cassette (not shown here) for the carrier stage 6. Grooves or shelves in which the wafers 5 are normally stacked and stored in 25 stages are formed therein. Therefore, when the wafer 5 is transferred by the pencil 4 provided at the tip of the arm 3 of the robot 2 as described above, a plurality of wafers (five in this example) are transferred at once. Here, FIG. 5 shows a vertical cross-sectional front view of a conventional one in which five pencils 4 are integrally fixed. 4a
1 to 4A 5 in each of five each pencil, screws 14a 1 to the tip of the pencil fixing portion 13a 1 ～13A 5 these pencil 4a 1 to 4A 5 is constituting the pencil holder 13a
And 14a 2 and the like. Incidentally, 13b is a pencil holder, and 3 is a robot arm.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の半導
体製造装置の５枚のペンシル保持用のペンシルホルダー
とそのペンシル固定部は上記のように構成されていたの
で、次のような問題点があった。 （１）ウェーハ移載用ペンシルのピッチが固定されてい
たので、例えば、ウェーハ設置ピッチが６．３５ｍｍの
カセット内のウェーハをウェーハ設置ピッチが５．００
ｍｍのボートに載せる場合には、このような間隔のペン
シルホルダーと取り替えて行う必要があり、作業が煩雑
であった。 （２）そこで、複数枚ペンシルの上下移動機構によって
上下動し、可変ピッチとする方法が特開平４−１６７５
３８号公報に示すように提案されているが、この方法は
複数枚ペンシルの上下動にガイドやレールを必要とする
ため、構造が複雑となる欠点があり簡単な構成のものが
望まれていた。本発明は従来のものの上記課題（問題
点）を解決するようにした半導体製造装置の複数枚ペン
シル保持用のペンシルホルダーにおけるペンシル間隔の
調整装置を提供することを目的とする。By the way, since the five pencil holders for holding the pencil and the pencil fixing portion of the conventional semiconductor manufacturing apparatus are constructed as described above, there are the following problems. It was (1) Since the pitch of the wafer transfer pencil is fixed, for example, a wafer in a cassette having a wafer installation pitch of 6.35 mm has a wafer installation pitch of 5.00.
In the case of mounting on a boat of mm, it is necessary to replace the pencil holders with such intervals, and the work is complicated. (2) Therefore, there is a method of moving up and down by a vertical movement mechanism of a plurality of pencils to obtain a variable pitch.
Although it has been proposed as shown in Japanese Patent Publication No. 38, the method requires guides and rails for vertical movement of a plurality of pencils, and therefore has a drawback that the structure is complicated and a simple structure has been desired. . SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a device for adjusting a pencil interval in a pencil holder for holding a plurality of pencils of a semiconductor manufacturing apparatus, which solves the above-mentioned problems (problems) of the conventional one.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造装置
の複数枚ペンシル保持用のペンシルホルダーにおけるペ
ンシル間隔の調整装置は、上記課題を解決するために、
半導体製造装置における複数枚ペンシル保持用のペンシ
ルホルダーにおいて、上記複数枚ペンシル保持用のペン
シルホルダーに設けられるペンシル固定部の中央のペン
シル固定部は固定し、そのペンシル固定部と上下対称と
なる最外側の１組のペンシル固定部及びこの最外側のペ
ンシル固定部よりは内側の各組のペンシル固定部を各１
対のボールねじによって夫々連結し、これらのボールね
じを駆動することにより、これらのペンシル固定部をペ
ンシルと共に上下対称に平行移動することにより、ペン
シル間隔を調整するように構成した。この場合、上記各
ボールねじは、中央から上下逆向きのねじを１本のシャ
フト上に形成したものを用い、上記ボールねじの中央か
ら上下対称に連結された１組のペンシル固定部がボール
ねじを回転させることにより、各ペンシル固定部に設け
られたペンシルと共に上下対称に平行移動するのが望ま
しい。また、上記最外側の１組のペンシル固定部とこの
最外側のペンシル固定部よりも内側の各組のペンシル固
定部は、任意の厚さを持ち上下に重ねた場合、重なり合
わない凹凸部を形成することにより、各ペンシル固定部
により保持されるペンシル間隔を所定の小間隔とするこ
とができる。さらに、上記各組のペンシル固定部により
保持されるペンシルを所定の大間隔に規制する断面コ字
状のストッパ部材と、上記所定の大間隔となったとき、
これを検出して各ペンシル固定部の上下方向の移動を停
止させるセンサとを備えることが望ましい。このように
すれば、ガイドやレール等の他の機構を必要とせず中央
から上下逆向きのねじを１本のシャフト上に形成した各
対のボールねじによって、最外側の１組及びこれらの内
側に配置される各組のペンシル固定部を夫々連結し、各
ボールねじを回転させることにより、上下１対になった
ペンシル固定部の間隔位置を定ピッチに調整できるよう
にしたので、従来考えられていた複数枚ペンシルの上下
移動機構より簡単な構造となる。この場合、各組のペン
シル固定部は上下相互に重ねた場合、重なり合わない凹
凸部を持つように形成することにより、ペンシル相互間
を所定の小間隔、即ち小ピッチを相互に重ね合うことに
よってなされる。また、最外側とこれより内側に配置さ
れる各組の上下方向へのペンシル固定部に最大移動距離
を規制する断面コ字状のストッパ部材とセンサとにより
夫々のペンシルの所定の大間隔、即ち大ピッチを容易に
定められる。従って、機械的に簡単に各ペンシル間のピ
ッチを大ピッチと小ピッチの２つのピッチへの切り替え
を容易に行うことができるので、異なったピッチを持つ
カセットとボート間のウェーハの移載を適切に行うこと
ができる。In order to solve the above-mentioned problems, a device for adjusting a pencil interval in a pencil holder for holding a plurality of pencils of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention provides:
In a pencil holder for holding a plurality of pencils in a semiconductor manufacturing apparatus, a central pencil fixing portion of a pencil fixing portion provided in the pencil holder for holding a plurality of pencils is fixed, and the outermost side of the pencil fixing portion is vertically symmetrical with the pencil fixing portion. One set of pencil fixing parts and one set of pencil fixing parts inside each of the outermost pencil fixing parts
The pair of ball screws are connected to each other, and by driving these ball screws, the pencil fixing portions are moved in parallel with each other in a vertically symmetrical manner, so that the pencil interval is adjusted. In this case, each of the ball screws is formed by screwing screws upside down from the center on one shaft, and one set of pencil fixing parts connected symmetrically from the center of the ball screw has a ball screw. It is desirable to rotate in parallel with the pencils provided in each pencil fixing part in a vertically symmetrical manner. Further, the outermost pencil fixing portion and each pair of pencil fixing portions on the inner side of the outermost pencil fixing portion have an uneven portion which does not overlap with each other when they have an arbitrary thickness and are vertically stacked. By forming it, the pencil interval held by each pencil fixing part can be set to a predetermined small interval. Furthermore, a stopper member having a U-shaped cross section that regulates the pencils held by the pencil fixing portions of each set to a predetermined large interval, and the predetermined large interval,
It is desirable to include a sensor that detects this and stops the vertical movement of each pencil fixing portion. In this way, the outermost one set and the inner side thereof are formed by the ball screws of each pair in which the screws which are turned upside down from the center are formed on one shaft without using any other mechanism such as a guide or a rail. It is possible to adjust the distance between the pair of upper and lower pencil fixing portions to a fixed pitch by connecting the respective pencil fixing portions of each pair and rotating each ball screw. The structure is simpler than the vertical movement mechanism of multiple pencils. In this case, when the pencil fixing portions of each set are stacked on top of each other, the pencil fixing portions are formed to have uneven portions that do not overlap each other, so that the pencils are overlapped with each other at a predetermined small interval, that is, a small pitch. It Further, a predetermined large distance between the respective pencils by a stopper member having a U-shaped cross section and a sensor for restricting the maximum moving distance in the vertical pencil fixing portion of each set arranged on the outermost side and the inner side thereof, that is, Large pitch can be easily determined. Therefore, the pitch between the pencils can be easily and mechanically switched between the large pitch and the small pitch, so that the wafer transfer between the cassette and the boat having different pitches can be appropriately performed. Can be done.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、図１乃至図３に示す一実施
の形態により本発明を具体的に説明する。図１は本発明
の可変ピッチ可能なペンシルホルダーの概略構成図を示
すもので、同図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々最外側の１組の
ペンシル固定部のみを抽出して示した縦断正面図で、同
図（Ａ）はペンシル固定部が密着してペンシル相互間が
小ピッチとなる場合を、同図（Ｂ）はペンシル固定部が
広げられてペンシル相互間が大ピッチとなる場合を示
す。同図（Ｃ）及び（Ｄ）は最外側の内側に配置される
１組のペンシル固定部のみを抽出して示した縦断正面図
で、同図（Ｃ）はペンシル固定部が密着してペンシル相
互間が小ピッチとなる場合を、同図（Ｄ）はペンシル固
定部が広げられてペンシル相互間が大ピッチとなる場合
を示す。同図（Ａ）乃至（Ｄ）において、従来例と同等
の構成については図５と同一の符号を付し、その説明を
省略する。本実施の形態では５枚ペンシルの場合で説明
するが他の枚数の場合でも適用可能である。２０ａ1及
び２０ａ5は夫々最外側の１組のペンシル固定部、２０
ａ2及び２０ａ4は夫々ペンシル固定部２０ａ1、２０ａ5
の内側に配置される１組のペンシル固定部、また図示し
ないが、これらのペンシル固定部２０ａ2、２０ａ4の中
間にはペンシル固定部２０ａ3が固定されるように配置
される。なお、図２及び図５に示すように各ペンシル４
ａ1〜４ａ5がねじ等によって各ペンシル固定部２０ａ1
〜２０ａ5に対して連結されているものとする。２１ａ1
及び２１ａ2は夫々最外側の１組のペンシル固定部２０
ａ1、２０ａ5に対して直交するようにねじ込むことで連
結された１対のボールねじである。また、２１ｂ1及び
２１ｂ2は夫々これらのペンシル固定部２０ａ1、２０ａ
5よりも内側に配置される１組のペンシル固定部２０
ａ2、２０ａ4に対して直交するようにねじ込むことで連
結された１対のボールねじである。なお、各ボールねじ
２１ａ1、２１ａ2、２１ｂ1，２１ｂ2は、図２にボール
ねじ２１ａ1の場合を示すように夫々中央から上下逆向
きのねじを形成している。２２ａ1及び２２ａ2は夫々断
面コ字状の第１のストッパ部材で、これらのストッパ部
材２２ａ1、２２ａ2は最外側のペンシル固定部２０ａ1
及び２０ａ5が大ピッチになった場合には、その上下移
動を各上壁、下壁の各内面で規制するストッパとしての
機能を有する。同様に、２２ｂ1及び２２ｂ2は夫々内側
に配置される１組のペンシル固定部２０ａ2、２０ａ4に
対する第２のストッパ部材で、これは断面コ字状に形成
され、これらのストッパ部材２２ｂ1、２２ｂ2も１組の
ペンシル固定部２０ａ2及び２０ａ4が大ピッチになる場
合の上下動を規制するストッパとしての機能を有する。
２６ａ及び２６ｂは夫々触覚センサで、図示のように各
ストッパ部材２２ａ1、２２ａ2及び２２ｂ1、２２ｂ2の
上壁の内面と同じ高さのペンシル固定部の対向位置に配
置される。なお、第１のストッパ部材２２ａ1及び２２
ａ2は夫々最外側のペンシル固定部２０ａ1及び２０ａ5
の上下位置を規制するほか、左右の位置を規制するもの
で、ボールねじ２１ａ1、２１ａ2の回転に伴いペンシル
固定部２０ａ1が上方へ移動し、一方、ペンシル固定部
２０ａ5は下方へ移動し、これらのペンシル固定部２０
ａ1、２０ａ5が夫々第１のストッパ部材２２ａ1、２２
ａ2の上壁、下壁の各内面に接触した場合に、各ペンシ
ル４ａ1、４ａ5の間隔が大ピッチとなるように第１のス
トッパ部材２２ａ1、２２ａ2の各上壁、下壁の内面間の
高さを設定しておくものとする。一方、触覚センサ２６
ａもペンシル固定部２０ａ1がストッパ部材２２ａ1の上
壁内面に接触したときには、その検出出力により最外側
の１組のペンシル固定部２０ａ1及び２０ａ5に連結され
るボールねじ２１ａ1及び２１ａ2を夫々駆動するモータ
への通電を断つ信号をモータ制御手段（図示せず）に付
与するものとする。また、最外側の内側に配置される１
組のペンシル固定部２０ａ2及び２０ａ4についても、最
外側の１組のペンシル固定部２０ａ1及び２０ａ5と同様
の制御をするものとする。即ち、図１（Ｃ）、（Ｄ）に
示すように、第２のストッパ部材２２ｂ1及び２２ｂ2の
各上壁、下壁の内面間の高さは、第１のストッパ部材２
２ａ1及び２２ａ2の各上壁、下壁の内面間の高さの１／
２となっているものとする。また、図２に一例を示すよ
うに、各ボールねじ２１ａ1、２１ａ2、２１ｂ1、２１
ｂ2は各別のカップリングを介して各別のモータにより
時計方向及び反時計方向に回転可能に構成されているも
のとする。図２には最外側の１組のペンシル固定部２０
ａ1及び２０ａ5と、これに連結されるボールねじ２１ａ
1の関係を示す拡大縦断正面図である。同図において、
図１及び図５と同等の構成については同一の符号を付
し、その説明を省略する。２３はモータ、２４は減速機
で、これらの軸は図示のようにボールねじ２１ａ1の上
方の軸に直結されるように設けられている。２５はベア
リングで、ボールねじ２１ａ1の下側に設けられる。な
お、ボールねじ２１ａ1は同図に示すように、その長さ
方向の中間から上下逆方向となるねじが形成されてお
り、一方、ペンシル固定部２０ａ1、２０ａ5の中央部に
はねじ孔が形成され、ボールねじ２１ａ1と各ねじで嵌
合連結されており、ボールねじ２１ａ1を、例えば時計
方向に回転すればペンシル固定部２０ａ1がペンシル４
ａ1と一体に上方向に移動し、一方、ペンシル固定部２
０ａ5はペンシル４ａ5と一体に下方向に移動するように
なっている。このボールねじとペンシル固定部の関係
は、図示しないボールねじ２１ａ2についても同様であ
る。また、内側の１組のペンシル固定部２０ａ2及び２
０ａ4とボールねじ２１ｂ1、２１ｂ2の関係も図２と同
様の構成になっている。前述したように、ペンシル固定
部２０ａ3は固定されているので、ボールねじ２１ａ1、
２１ａ2、２１ｂ1、２１ｂ2を夫々時計方向又は反時計
方向に回転すことによって、ペンシル固定部２０ａ2と
２０ａ4及び２０ａ1と２０ａ5は中央のペンシル固定部
２０ａ3に対し上下対称の状態で夫々等ピッチで上下方
向に平行移動されるようになっている。次に、最外側の
一方（上方）のペンシル固定部２０ａ1とその内側配置
の一方（上方）のペンシル固定部２０ａ2の平面図を図
３に示す。即ち、図３（Ａ）はペンシル固定部２０ａ1
の拡大平面図、同図（Ｂ）はペンシル固定部２０ａ2の
拡大平面図、同図（Ｃ）は各ペンシル固定部２０ａ1、
２０ａ2を重ねた状態を示す平面図である。１組のペン
シル固定部２０ａ1は同図（Ａ）に示すように胴部に凹
部ｔ1、ｔ2を有するように形成し、一方、内側のペンシ
ル固定部２０ａ2は同図（Ｂ）に示すように凹部ｔ1、ｔ
2の位置で重ねたとき重ならないで突出する凸部ｔ3、ｔ
4を有するように形成する。従って、各ペンシル固定部
２０ａ1及び２０ａ2を図３（Ｃ）に示すように重ねて配
置したとき、相互に重ならないような部分Ａ1、Ａ2、Ｂ
1、Ｂ2にボールねじ２２ａ1と２２ａ2及び２２ｂ1と２
２ｂ2が対になって直交方向にねじ込まれる。図示しな
いが、最外側の他方（下方）のペンシル固定部２０ａ5
とその内側のペンシル固定部２０ａ4についても、夫々
上記のペンシル固定部２０ａ1及び２０ａ2と同形状に構
成されて、上下対称位置で夫々のボールねじ２１ａ2、
２１ｂ2とのねじ込みも行われるようになっている。上
記構成において、例えばカセット内の棚の間隔が大ピッ
チ相当の６．３５ｍｍで小ピッチ相当の５．００ｍｍの
間隔のボートにウェーハを移載する場合、各ペンシル固
定部２０ａ1〜２０ａ5が密着した場合の厚さを小ピッチ
の５．００ｍｍに仕上げておくことで、各ペンシル４ａ
1〜４ａ5の間隔がこの小ピッチでの等間隔になり、カセ
ット側からボート側へとウェーハを移動させることがで
き、一方、第１のストッパ部材２１ａ1及び２１ａ2の上
壁、下壁間の内面の高さを各ペンシル間のピッチを６．
３５ｍｍとするような長さＬに設定し、一方、第２のス
トッパ部材２２ｂ1及び２２ｂ2の内面高さをＬ／２とす
ることにより、中央のペンシル固定部２０ａ3を中心
に、１組及び内側の１組のペンシル固定部２０ａ1と２
０ａ5及び２０ａ2と２０ａ4を各専属のボールねじの回
転によって、各ピッチを大ピッチの６．３５ｍｍの等間
隔に広げることにより、ウェーハのボートからカセット
への移載を行うことができる。なお、前述のように大ピ
ッチとなるときのボールねじの回転を停止させるため
に、触覚センサ２６ａ及び２６ｂが設けられており、こ
の接触センサ２６ａ及び２６ｂに各ペンシル固定部２０
ａ1及び２０ａ2の上面が接触した場合には、各ボールね
じ２１ａ1、２１ａ2、２１ｂ1、２１ｂ2駆動用の各モー
タの電源を切り、必要なら制動力も付与して、その駆動
を停止するようにしている。従って、各対になった第１
のストッパ部材及び第２のストッパ部材によって、中間
のペンシル固定部を除く各ペンシル固定部を広げた場合
には各ペンシル大ピッチが定まり、各ペンシル固定部の
密着した場合には各ペンシルの小ピッチが定まるように
なっている。このような構造にすることにより、ボール
ねじを時計方向又は反時計方向に回転させることによ
り、他にガイドやレールを併用することなく各ペンシル
固定部を等間隔で所定のピッチへと上下移動させること
ができる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to one embodiment shown in FIGS. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a variable pitch pencil holder according to the present invention. FIGS. 1A and 1B are vertical sectional front views showing only one outermost pencil fixing portion. In the figure, (A) shows a case where the pencil fixing parts are in close contact with each other and the pencils have a small pitch, and (B) shows a case where the pencil fixing parts are widened and the pencils have a large pitch. Show. (C) and (D) are vertical front views showing only one set of pencil fixing parts arranged on the outermost inside, and in (C), the pencil fixing parts are in close contact with each other. FIG. 6D shows the case where the pitch between the pencils is small and the case where the pencil fixing portions are widened so that the pitch between the pencils is large. 5A to 5D, the same components as those in the conventional example are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 5, and the description thereof will be omitted. In the present embodiment, the case of a five-sheet pencil will be described, but the present invention can be applied to other sheets. 20a 1 and 20a 5 are a pair of outermost pencil fixing parts,
a 2 and 20a 4 are pencil fixing portions 20a 1 and 20a 5 respectively.
A pair of pencil fixing portion disposed in the inside, also not shown, these pencil fixing portion 20a 2, 20a Pencil fixing portion 20a 3 in the middle of the 4 is arranged to be fixed. As shown in FIGS. 2 and 5, each pencil 4
a 1 to 4 a 5 are fixed to each pencil fixing portion 20 a 1 by screws or the like.
It is assumed to be coupled to the through 20a 5. 21a 1
And 21a 2 are a pair of outermost pencil fixing parts 20 respectively.
It is a pair of ball screws connected by being screwed so as to be orthogonal to a 1 and 20a 5 . Further, 21b 1 and 21b 2 are the pencil fixing portions 20a 1 and 20a, respectively.
A pair of pencil fixing parts 20 arranged inside 5
It is a pair of ball screws connected by being screwed so as to be orthogonal to a 2 and 20a 4 . Each ball screw 21a 1, 21a 2, 21b 1 , 21b 2 forms a upside down screws respectively from the center as shown in the case of the ball screw 21a 1 in FIG. 22a 1 and 22a 2 are first stopper members each having a U-shaped cross section, and these stopper members 22a 1 and 22a 2 are the outermost pencil fixing portions 20a 1
When 20a 5 and 20a 5 have a large pitch, they have a function as a stopper that regulates the vertical movement of each of the inner walls of the upper wall and the lower wall. Similarly, 22b 1 and 22b 2 are second stopper members for the pair of pencil fixing portions 20a 2 and 20a 4 arranged inside, respectively, which are formed in a U-shaped cross section, and these stopper members 22b 1 , 22b 2 also have a function as a stopper that regulates vertical movement when a pair of pencil fixing portions 20a 2 and 20a 4 has a large pitch.
26a and 26b at each touch sensor, are disposed on opposite positions of the pencil fixing portion of the same height as the stopper member 22a 1, 22a 2 and 22b 1, upper wall of the inner surface of 22b 2 as shown. The first stopper members 22a 1 and 22a
a 2 is the outermost pencil fixing portions 20a 1 and 20a 5 respectively.
In addition to restricting the vertical position of the pencil, the left and right positions are restricted. As the ball screws 21a 1 and 21a 2 rotate, the pencil fixing part 20a 1 moves upward, while the pencil fixing part 20a 5 moves downward. Then, these pencil fixing parts 20
a 1 and 20a 5 are first stopper members 22a 1 and 22a, respectively.
The upper and lower walls of the first stopper members 22a 1 and 22a 2 are arranged so that the intervals between the pencils 4a 1 and 4a 5 become a large pitch when they contact the inner surfaces of the upper and lower walls of a 2. The height between the inner surfaces of shall be set. On the other hand, the tactile sensor 26
Also, when the pencil fixing portion 20a 1 comes into contact with the inner surface of the upper wall of the stopper member 22a 1 , the ball screw 21a 1 and 21a 2 connected to the outermost pair of pencil fixing portions 20a 1 and 20a 5 is detected by the detection output. Signals for cutting off the power supply to the motors for driving the motors are given to the motor control means (not shown). In addition, it is arranged inside the outermost one
The same set of pencil fixing portions 20a 2 and 20a 4 is controlled as the outermost set of pencil fixing portions 20a 1 and 20a 5 . That is, as shown in FIGS. 1C and 1D, the height between the inner surfaces of the upper and lower walls of the second stopper members 22b 1 and 22b 2 is determined by the first stopper member 2
1 / the height between the inner surfaces of the upper and lower walls of 2a 1 and 22a 2
It is assumed to be 2. Further, as shown in FIG. 2 as an example, each of the ball screws 21a 1 , 21a 2 , 21b 1 , 21
It is assumed that b 2 is configured to be rotatable clockwise and counterclockwise by separate motors via separate couplings. FIG. 2 shows a pair of outermost pencil fixing portions 20.
a 1 and 20a 5 and the ball screw 21a connected thereto
FIG. 3 is an enlarged vertical sectional front view showing the relationship of 1 . In the figure,
The same components as those in FIGS. 1 and 5 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Reference numeral 23 is a motor, and 24 is a speed reducer. These shafts are provided so as to be directly connected to the shaft above the ball screw 21a 1 as shown in the drawing. A bearing 25 is provided below the ball screw 21a 1 . As shown in the figure, the ball screw 21a 1 is formed with a screw whose length direction is from the middle to the opposite direction, while the pencil fixing parts 20a 1 and 20a 5 have screw holes at the center. Is formed and is fitted and connected to the ball screw 21a 1 by each screw. When the ball screw 21a 1 is rotated, for example, in the clockwise direction, the pencil fixing portion 20a 1 becomes
a 1 and moves upward, while the pencil fixing part 2
0a 5 moves downward together with the pencil 4a 5 . The relationship between the ball screw and the pencil fixing portion is the same for the ball screw 21a 2 ( not shown). In addition, a pair of inner pencil fixing portions 20a 2 and 2
The relationship between 0a 4 and the ball screws 21b 1 and 21b 2 is also the same as in FIG. As described above, since the pencil fixing portion 20a 3 is fixed, the ball screw 21a 1 ,
By rotating 21a 2 , 21b 1 and 21b 2 respectively clockwise or counterclockwise, the pencil fixing parts 20a 2 and 20a 4 and 20a 1 and 20a 5 are vertically symmetrical with respect to the central pencil fixing part 20a 3. Thus, each of them is translated in the vertical direction at an equal pitch. Next, FIG. 3 shows a plan view of one (upper) outermost pencil fixing portion 20a 1 and one (upper) pencil fixing portion 20a 2 disposed inside thereof. That is, FIG. 3A shows the pencil fixing portion 20a 1
2B is an enlarged plan view of the pencil fixing portion 20a 2 , and FIG. 6C is each pencil fixing portion 20a 1 .
Is a plan view showing a state of repeated 20a 2. The pair of pencil fixing portions 20a 1 is formed so as to have recesses t 1 and t 2 in the body portion as shown in FIG. 7A, while the inner pencil fixing portion 20a 2 is shown in FIG. As shown, the recesses t 1 , t
Projections t 3 and t that do not overlap when stacked at the position 2
4 to have. Therefore, when the pencil fixing portions 20a 1 and 20a 2 are arranged so as to overlap with each other as shown in FIG. 3C, the portions A 1 , A 2 and B which do not overlap each other are provided.
1 , B 2 to ball screws 22a 1 and 22a 2 and 22b 1 and 2
2b 2 are paired and screwed in the orthogonal direction. Although not shown, the other outermost (lower) pencil fixing portion 20a 5
And the pencil fixing portion 20a 4 inside thereof are also configured in the same shape as the above-mentioned pencil fixing portions 20a 1 and 20a 2, respectively, and the ball screws 21a 2 at the vertically symmetrical positions,
21b 2 is also screwed in. In the above configuration, for example, if the distance between the shelves in the cassette is transferred wafers in the boat spacing 5.00mm small pitch corresponding large pitch equivalent 6.35 mm, contact each pencil fixing portions 20a 1 through 20a 5 When the thickness of each pencil 4a is finished by finishing it to a small pitch of 5.00 mm.
The intervals of 1 to 4a 5 are equal intervals at this small pitch, and the wafer can be moved from the cassette side to the boat side, while the upper and lower walls of the first stopper members 21a 1 and 21a 2 are The height of the inner surface between the pencils is 6.
The length L is set to 35 mm, while the height of the inner surfaces of the second stopper members 22b 1 and 22b 2 is set to L / 2, so that one set is centered on the central pencil fixing portion 20a 3. And a pair of inner pencil fixing parts 20a 1 and 2
The wafers can be transferred from the boat to the cassette by rotating 0a 5 and 20a 2 and 20a 4 by the rotation of each exclusive ball screw so as to widen each pitch to a large pitch of 6.35 mm. As described above, tactile sensors 26a and 26b are provided in order to stop the rotation of the ball screw when the pitch is large, and the pencil fixing portions 20 are provided to the contact sensors 26a and 26b.
When the upper surfaces of a 1 and 20a 2 come into contact with each other, the motors for driving the ball screws 21a 1 , 21a 2 , 21b 1 , 21b 2 are turned off, and braking force is applied if necessary to drive them. I'm trying to stop. Therefore, each paired first
By the stopper member and the second stopper member, the large pitch of each pencil is determined when each pencil fixing part except the middle pencil fixing part is widened, and the small pitch of each pencil is fixed when each pencil fixing part is in close contact. Is set. With such a structure, by rotating the ball screw clockwise or counterclockwise, each pencil fixing part is vertically moved to a predetermined pitch at equal intervals without using any other guide or rail. be able to.
【０００６】[0006]
【発明の効果】本発明の半導体製造装置の複数枚ペンシ
ル保持用のペンシルホルダーにおけるペンシル間隔の調
整装置は上記のように構成されるので、次のような優れ
た効果を有する。 （１）ガイドやレールを用いない簡単な構造で、各ペン
シルの間隔（ピッチ）を迅速、的確に変えることができ
る。 （２）中央のペンシル固定部を固定し、その上下対称の
対になったペンシルの両側にストッパ部材を設けるよう
にしたので、そのストッパ部材によって各ペンシルの大
間隔（大ピッチ）が定まり、また機械的な構造で各ペン
シル固定部を保持しているので、繰り返し使用しても位
置に対する誤差がなく、大、小の所定ピッチで各ペンシ
ルを固定することができる。 （３）したがって、異なったピッチを持つカセットとボ
ート間のウェーハの移載にも適切に対応することができ
る。 （４）また、ストッパ部材を代えると共に、触覚センサ
の位置をずらすことにより大ピッチでの固定位置を任意
に定めることができる。Since the device for adjusting the pencil gap in the pencil holder for holding a plurality of pencils of the semiconductor manufacturing apparatus of the present invention is constructed as described above, it has the following excellent effects. (1) With a simple structure that does not use guides or rails, the intervals (pitch) between the pencils can be changed quickly and accurately. (2) Since the central pencil fixing portion is fixed and stopper members are provided on both sides of the vertically symmetrical pair of pencils, the stopper member determines a large interval (large pitch) between the pencils, and Since each pencil fixing part is held by a mechanical structure, there is no error in position even if it is repeatedly used, and each pencil can be fixed at a large and small predetermined pitch. (3) Therefore, it is possible to appropriately cope with the transfer of the wafer between the cassette and the boat having different pitches. (4) Also, the fixed position at a large pitch can be arbitrarily determined by replacing the stopper member and shifting the position of the tactile sensor.
【図１】本発明の可変ピッチ可能なペンシルホルダーの
概略構成図を示すもので、同図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々
最外側の１組のペンシル固定部のみを抽出して示した縦
断正面図で、同図（Ａ）はペンシル固定部が密着してペ
ンシル相互間が小ピッチとなる場合を、同図（Ｂ）はペ
ンシル固定部が広げられてペンシル相互間が大ピッチと
なる場合を示す。同図（Ｃ）及び（Ｄ）は最外側の内側
に配置される１組のペンシル固定部のみを抽出して示し
た縦断正面図で、同図（Ｃ）はペンシル固定部が密着し
てペンシル相互間が小ピッチとなる場合を、同図（Ｄ）
はペンシル固定部が広げられてペンシル相互間が大ピッ
チとなる場合を示す。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a pencil holder capable of variable pitch according to the present invention, and FIGS. 1A and 1B are vertical cross sections showing only one outermost set of pencil fixing parts. In the front view, (A) shows a case where the pencil fixing parts are in close contact with each other and the pencils have a small pitch, and (B) shows a case where the pencil fixing parts are widened and the pencils have a large pitch. Indicates. (C) and (D) are vertical front views showing only one set of pencil fixing parts arranged on the outermost inside, and in (C), the pencil fixing parts are in close contact with each other. In the case of a small pitch between them, the same figure (D)
Shows the case where the pencil fixing part is expanded and the pencils have a large pitch.
【図２】最外側の１組のペンシル固定部とボールねじ２
１ａ1の関係を示す拡大縦断正面図である。[FIG. 2] A pair of outermost pencil fixing portions and a ball screw 2
FIG. 2 is an enlarged vertical front view showing the relationship of 1a 1 .
【図３】同図（Ａ）は最外側のペンシル固定部の拡大平
面図、同図（Ｂ）は内側に配置されるペンシル固定部の
拡大平面図、同図（Ｃ）は同図（Ａ）及び（Ｂ）に示す
各ペンシル固定部を重ねた場合の状態を示す平面図であ
る。FIG. 3A is an enlarged plan view of an outermost pencil fixing portion, FIG. 3B is an enlarged plan view of an inner pencil fixing portion, and FIG. 4] and (B) are plan views showing a state in which the pencil fixing portions shown in FIG.
【図４】本発明及び従来のものが適用される半導体製造
装置の全体構成の概要を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing the outline of the overall configuration of a semiconductor manufacturing apparatus to which the present invention and the conventional one are applied.
【図５】従来のロボットアームのペンシル取付部分を示
した縦断正面図である。FIG. 5 is a vertical sectional front view showing a pencil mounting portion of a conventional robot arm.
４ａ1〜４ａ5：ペンシル ２０ａ1、２０ａ5：最外側の１組のペンシル固定部 ２０ａ2、２０ａ4：内側の１組のペンシル固定部 ２０ａ3：中央のペンシル固定部 ２１ａ1、２１ａ2、２１ｂ1、２１ｂ2：ボールねじ ２２ａ1、２２ａ2、２２ｂ1、２２ｂ2：ストッパ部材 ２３：モータ ２４：減速機 ２５：ベアリング ２６ａ、２６ｂ：触覚センサ4a 1 to 4A 5: Pencil 20a 1, 20a 5: 1 pair of pencil fixing portion of the outermost 20a 2, 20a 4: inner pair of pencil fixing portion 20a 3: Central pencil fixing portion 21a 1, 21a 2, 21b 1, 21b 2: ball screw 22a 1, 22a 2, 22b 1 , 22b 2: stopper member 23: motor 24: decelerator 25: bearing 26a, 26b: tactile sensor
Claims (4)
のペンシルホルダーにおいて、 上記複数枚ペンシル保持用のペンシルホルダーに設けら
れるペンシル固定部の中央のペンシル固定部は固定し、
そのペンシル固定部と上下対称となる最外側の１組のペ
ンシル固定部及びこの最外側のペンシル固定部よりは内
側の各組のペンシル固定部を各１対のボールねじによっ
て夫々連結し、これらのボールねじを駆動することによ
り、これらのペンシル固定部をペンシルと共に上下対称
に平行移動することによりペンシル間隔を調整するよう
にしたことを特徴とする半導体製造装置の複数枚ペンシ
ル保持用のペンシルホルダーにおけるペンシル間隔の調
整装置。1. A pencil holder for holding a plurality of pencils in a semiconductor manufacturing apparatus, wherein a central pencil fixing portion of a pencil fixing portion provided in the pencil holder for holding a plurality of pencils is fixed,
One pair of outermost pencil fixing portions which are vertically symmetrical with the pencil fixing portion and each pair of pencil fixing portions inside the outermost pencil fixing portion are connected by a pair of ball screws, respectively. A pencil holder for holding a plurality of pencils in a semiconductor manufacturing apparatus, characterized in that by driving a ball screw, these pencil fixing portions are vertically symmetrically moved in parallel with the pencil to adjust a pencil interval. Pencil spacing adjustment device.
きのねじを１本のシャフト上に形成したものを用い、上
記ボールねじの中央から上下対称に連結された１組のペ
ンシル固定部がボールねじを回転させることにより、各
ペンシル固定部に設けられたペンシルと共に上下対称に
平行移動するようにした請求項１記載の半導体製造装置
の複数枚ペンシル保持用のペンシルホルダーにおけるペ
ンシル間隔の調整装置。2. Each of the ball screws is formed by forming a screw having an upside-down direction from the center on one shaft, and a set of pencil fixing parts connected symmetrically from the center of the ball screw to each other is used. 2. A device for adjusting a pencil interval in a pencil holder for holding a plurality of pencils in a semiconductor manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the ball screw is rotated so as to move in parallel with a pencil provided in each pencil fixing portion. .
の最外側のペンシル固定部よりも内側の各組のペンシル
固定部は、任意の厚さを持ち上下に重ねた場合、重なり
合わない凹凸部を形成することにより、各ペンシル固定
部により保持されるペンシル間隔を所定の小間隔とする
ようにした請求項１記載の半導体製造装置の複数枚ペン
シル保持用のペンシルホルダーにおけるペンシル間隔の
調整装置。3. The outermost pencil fixing portion and each of the pencil fixing portions on the inner side of the outermost pencil fixing portion have an arbitrary thickness and do not overlap each other when they are vertically stacked. The pencil interval in a pencil holder for holding a plurality of pencils of a semiconductor manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the pencil interval held by each pencil fixing part is set to a predetermined small interval by forming the uneven portion. apparatus.
れるペンシルを、所定の大間隔に規制する断面コ字状の
ストッパ部材と、上記所定の大間隔となったとき、これ
を検出して各ペンシル固定部の上下方向の移動を停止さ
せるセンサとを備えた請求項１乃至３のいずれかに記載
の半導体製造装置の複数枚ペンシル保持用のペンシルホ
ルダーにおけるペンシル間隔の調整装置。4. A stopper member having a U-shaped cross section for restricting the pencils held by the pencil fixing portions of each set to a predetermined large interval, and detecting this when the predetermined large interval is reached. 4. A device for adjusting a pencil interval in a pencil holder for holding a plurality of pencils in a semiconductor manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising a sensor for stopping the vertical movement of each pencil fixing part.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062996A JPH09199576A (en) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | Adjuster of pencil interval in pencil holder for holding pencils in semiconductor fabrication system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062996A JPH09199576A (en) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | Adjuster of pencil interval in pencil holder for holding pencils in semiconductor fabrication system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09199576A true JPH09199576A (en) | 1997-07-31 |
Family
ID=12032538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062996A Pending JPH09199576A (en) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | Adjuster of pencil interval in pencil holder for holding pencils in semiconductor fabrication system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09199576A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103802120A (en) * | 2012-11-13 | 2014-05-21 | 旭硝子株式会社 | Hand for conveying substrate and method for conveying substrate |
| JP2020189390A (en) * | 2019-05-24 | 2020-11-26 | 日本電産サンキョー株式会社 | Method of adjusting industrial robot and instrument for measurement |
-
1996
- 1996-01-12 JP JP2062996A patent/JPH09199576A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103802120A (en) * | 2012-11-13 | 2014-05-21 | 旭硝子株式会社 | Hand for conveying substrate and method for conveying substrate |
| CN103802120B (en) * | 2012-11-13 | 2016-04-27 | 旭硝子株式会社 | Substrate manipulator for conveying and substrate carrying method |
| JP2020189390A (en) * | 2019-05-24 | 2020-11-26 | 日本電産サンキョー株式会社 | Method of adjusting industrial robot and instrument for measurement |
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