JPH09194824A - 水溶性ラップ液組成物 - Google Patents
水溶性ラップ液組成物Info
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- JPH09194824A JPH09194824A JP2192796A JP2192796A JPH09194824A JP H09194824 A JPH09194824 A JP H09194824A JP 2192796 A JP2192796 A JP 2192796A JP 2192796 A JP2192796 A JP 2192796A JP H09194824 A JPH09194824 A JP H09194824A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 砥粒の配合安定性に優れ、流動性が良好な
水溶性ラップ液組成物。 【解決手段】数平均分子量１，０００〜２００，０００
のアニオン性高分子化合物を含有する水溶性ラップ液組
成物。
水溶性ラップ液組成物。 【解決手段】数平均分子量１，０００〜２００，０００
のアニオン性高分子化合物を含有する水溶性ラップ液組
成物。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン、セラミ
ックス、水晶などの脆性材料をワイヤソー、ブレードソ
ーなどで切断または研磨するときに使用する水溶性ラッ
プ液組成物に関する。
ックス、水晶などの脆性材料をワイヤソー、ブレードソ
ーなどで切断または研磨するときに使用する水溶性ラッ
プ液組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】砥粒を使用してシリコン、セラミック
ス、水晶などの脆性材料をワイヤソー、ブレードソーな
どで切断または研磨するためのラップ液は、使用される
砥粒を液中に長時間安定に分散させることが必要であ
る。砥粒の分散が不安定であると、ラップ液中の砥粒が
沈降、不均一偏在し、加工精度を維持することが困難と
なり、加工能率が著しく低下する。このため、鉱油にグ
リースあるいは油脂などを含有させたものが使用されて
いる（例えば、特開昭５３−６７１９１号公報および特
開昭５６−１４５９６８号公報）。しかし、鉱油を使用
したものは、水に不溶なため加工後に被加工物を灯油等
の有機溶剤などで洗浄し、さらに界面活性剤を含有した
洗剤および水で洗浄しなければならず、工程が長くなる
という問題があった。そこで、水溶性の加工液として、
グリコール類に水および有機ベントナイトを含有させた
ものなどが提案されている（特開昭６２−２９７０６２
号公報）。
ス、水晶などの脆性材料をワイヤソー、ブレードソーな
どで切断または研磨するためのラップ液は、使用される
砥粒を液中に長時間安定に分散させることが必要であ
る。砥粒の分散が不安定であると、ラップ液中の砥粒が
沈降、不均一偏在し、加工精度を維持することが困難と
なり、加工能率が著しく低下する。このため、鉱油にグ
リースあるいは油脂などを含有させたものが使用されて
いる（例えば、特開昭５３−６７１９１号公報および特
開昭５６−１４５９６８号公報）。しかし、鉱油を使用
したものは、水に不溶なため加工後に被加工物を灯油等
の有機溶剤などで洗浄し、さらに界面活性剤を含有した
洗剤および水で洗浄しなければならず、工程が長くなる
という問題があった。そこで、水溶性の加工液として、
グリコール類に水および有機ベントナイトを含有させた
ものなどが提案されている（特開昭６２−２９７０６２
号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グリコ
ール類などを使用したラップ液を用いる方法では、炭化
珪素、ダイヤモンド、酸化アルミニウム等の砥粒の凝集
がおこり、ラップ液の粘度の上昇、流動性の悪化等で加
工性能が悪くなるという問題があった。本発明は、砥粒
の配合安定性に優れ、流動性が良好な水溶性ラップ液組
成物を提供するものである。
ール類などを使用したラップ液を用いる方法では、炭化
珪素、ダイヤモンド、酸化アルミニウム等の砥粒の凝集
がおこり、ラップ液の粘度の上昇、流動性の悪化等で加
工性能が悪くなるという問題があった。本発明は、砥粒
の配合安定性に優れ、流動性が良好な水溶性ラップ液組
成物を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
について鋭意研究した結果、本発明に到達した。すなわ
ち、本発明は、数平均分子量が１，０００〜２００，０
００のアニオン性高分子化合物（Ａ）を含有する水溶性
ラップ液組成物である。
について鋭意研究した結果、本発明に到達した。すなわ
ち、本発明は、数平均分子量が１，０００〜２００，０
００のアニオン性高分子化合物（Ａ）を含有する水溶性
ラップ液組成物である。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明における水溶性ラップ液と
は、上記組成物を水で溶解させた液に、炭化珪素、ダイ
ヤモンド、酸化アルミニウム等の砥粒を配合したもので
ある。
は、上記組成物を水で溶解させた液に、炭化珪素、ダイ
ヤモンド、酸化アルミニウム等の砥粒を配合したもので
ある。
【０００６】本発明の（Ａ）としては、ポリカルボン酸
塩、ポリスチレンスルホン酸塩、ナフタレンスルホン酸
塩ホルマリン縮合物、ポリビニルスルホン酸塩、ポリア
ルキレングリコール硫酸エステル塩、ポリビニルアルコ
ールリン酸エステル塩、メラミンスルホン酸塩、リグニ
ンスルホン酸塩などがあげられ、好ましいものはポリカ
ルボン酸塩、ポリスチレンスルホン酸塩、ナフタレンス
ルホン酸塩ホルマリン縮合物である。
塩、ポリスチレンスルホン酸塩、ナフタレンスルホン酸
塩ホルマリン縮合物、ポリビニルスルホン酸塩、ポリア
ルキレングリコール硫酸エステル塩、ポリビニルアルコ
ールリン酸エステル塩、メラミンスルホン酸塩、リグニ
ンスルホン酸塩などがあげられ、好ましいものはポリカ
ルボン酸塩、ポリスチレンスルホン酸塩、ナフタレンス
ルホン酸塩ホルマリン縮合物である。
【０００７】（Ａ）の具体例としては、ポリアクリル酸
ナトリウム、ポリアクリル酸のアンモニウム塩、ポリア
クリル酸のモノエタノールアミン塩、ポリスチレンスル
ホン酸ナトリウム、ポリスチレンスルホン酸のアンモニ
ウム塩、ポリスチレンスルホン酸のモノエタノールアミ
ン塩、ナフタレンスルホン酸ナトリウムホルマリン縮合
物などが挙げられるが、これに限定されるものではな
い。
ナトリウム、ポリアクリル酸のアンモニウム塩、ポリア
クリル酸のモノエタノールアミン塩、ポリスチレンスル
ホン酸ナトリウム、ポリスチレンスルホン酸のアンモニ
ウム塩、ポリスチレンスルホン酸のモノエタノールアミ
ン塩、ナフタレンスルホン酸ナトリウムホルマリン縮合
物などが挙げられるが、これに限定されるものではな
い。
【０００８】（Ａ）の数平均分子量は、１，０００〜２
００，０００で、好ましくは２，０００〜１００，００
０である。数平均分子量が１，０００未満ではラップ液
中の砥粒が凝集し、配合安定性が悪くなり、２００，０
００を超えるとラップ液の粘度が上昇し、流動性が悪く
なる。
００，０００で、好ましくは２，０００〜１００，００
０である。数平均分子量が１，０００未満ではラップ液
中の砥粒が凝集し、配合安定性が悪くなり、２００，０
００を超えるとラップ液の粘度が上昇し、流動性が悪く
なる。
【０００９】（Ｂ）としては、例えばキサンタンガム、
メチルセルローズ、エチルセルローズ、カルボキシルメ
チルセルローズ、ポリアクリルアミドなどが挙げられる
が、これに限定されるものではない。
メチルセルローズ、エチルセルローズ、カルボキシルメ
チルセルローズ、ポリアクリルアミドなどが挙げられる
が、これに限定されるものではない。
【００１０】（Ａ）：（Ｂ）の重量比率は、１００：０
〜１：５０で好ましくは１００：０〜１：２０である。
１：５０を超えると、ラップ液の粘度が上昇し、流動性
が悪くなる。
〜１：５０で好ましくは１００：０〜１：２０である。
１：５０を超えると、ラップ液の粘度が上昇し、流動性
が悪くなる。
【００１１】（Ｃ）としては、炭素数６〜６０の高級脂
肪酸とアミン類、ナトリウム、カリウムなどのアルカリ
金属類との塩があげられる。高級脂肪酸としては、例え
ばカプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン
酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノー
ル酸、アラキン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ドデカ
ン二酸、炭素数３６のダイマー酸、炭素数５４のトリマ
ー酸などが挙げられるが、これに限定されるものではな
い。アミン類としては、例えばモノエタノールアミン、
ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モルホリ
ンなどが挙げられるが、これに限定されるものではな
い。
肪酸とアミン類、ナトリウム、カリウムなどのアルカリ
金属類との塩があげられる。高級脂肪酸としては、例え
ばカプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン
酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノー
ル酸、アラキン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ドデカ
ン二酸、炭素数３６のダイマー酸、炭素数５４のトリマ
ー酸などが挙げられるが、これに限定されるものではな
い。アミン類としては、例えばモノエタノールアミン、
ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モルホリ
ンなどが挙げられるが、これに限定されるものではな
い。
【００１２】（Ａ）：（Ｃ）の重量比率は、１００：０
〜１：２００で、好ましくは１００：０〜１：１００で
ある。１：２００を超えると、ラップ液の粘度が上昇
し、流動性が悪くなる。
〜１：２００で、好ましくは１００：０〜１：１００で
ある。１：２００を超えると、ラップ液の粘度が上昇
し、流動性が悪くなる。
【００１３】（Ｄ）は、水中で高度に水和し、コロイド
状分散液を形成し、砥粒の沈降を防止するために使用す
る。（Ｄ）の代表例としては、Ｖａｎｄｅｒｂｉｌｔ社
製のＶＥＥＧＵＭシリーズが挙げられる。
状分散液を形成し、砥粒の沈降を防止するために使用す
る。（Ｄ）の代表例としては、Ｖａｎｄｅｒｂｉｌｔ社
製のＶＥＥＧＵＭシリーズが挙げられる。
【００１４】（Ａ）：（Ｄ）の重量比率は、１００：０
〜１：２００で、好ましくは１００：０〜１：１００で
ある。１：２００を超えると、ラップ液の粘度が上昇
し、流動性が悪くなる。
〜１：２００で、好ましくは１００：０〜１：１００で
ある。１：２００を超えると、ラップ液の粘度が上昇
し、流動性が悪くなる。
【００１５】本発明の組成物において、必要に応じてそ
の他の成分を更に添加することできる。例えば水溶性有
機溶剤として、メタノール、エタノール、プロパノー
ル、イソプロピルアルコール等のアルコール類、アセト
ン、メチルエチルケトン等のケトン類、メチルカルビト
ール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエ
チレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチ
ルエーテル等のグリコールエーテル類等を適宜添加する
ことができる。
の他の成分を更に添加することできる。例えば水溶性有
機溶剤として、メタノール、エタノール、プロパノー
ル、イソプロピルアルコール等のアルコール類、アセト
ン、メチルエチルケトン等のケトン類、メチルカルビト
ール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエ
チレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチ
ルエーテル等のグリコールエーテル類等を適宜添加する
ことができる。
【００１６】ラップ液は、通常（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
および（Ｄ）の１〜５０重量％水溶液３０〜６０重量％
と砥粒７０〜３０重量％の液として使用される。
および（Ｄ）の１〜５０重量％水溶液３０〜６０重量％
と砥粒７０〜３０重量％の液として使用される。
【００１７】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明はこれに限定されるものではない。尚、実施
例中の部は重量部を示す。
が、本発明はこれに限定されるものではない。尚、実施
例中の部は重量部を示す。
【００１８】実施例１ ポリアクリル酸ナトリウム（数平均分子量８，０００）
１．０重量部および水溶性増粘剤（キサンタンガム：商
品名ＫＥＬＺＡＮ；米国・ケルコ社製）０．１重量部を
水９８．９重量部に溶解させた液に、砥粒（シナノラン
ダムＧＰ＃２０００：信濃電気精錬（株）製）１７０重
量部を配合してラップ液を作成した。 実施例２ ナフタレンスルホン酸ナトリウムホルマリン縮合物（数
平均分子量３，０００）１．０重量部および実施例１と
同じ水溶性増粘剤０．１重量部を水９８．９重量部に溶
解させた液に、実施例１と同じ砥粒１７０重量部を配合
してラップ液を作成した。 実施例３ ポリアクリル酸ナトリウム（数平均分子量８，０００）
１．０重量部、実施例１と同じ水溶性増粘剤０．１重量
部およびカプリル酸のトリエタノールアミンアミン塩
３．０重量部を水９５．９重量部に溶解させた液に、実
施例１と同じ砥粒を配合してラップ液を作成した。
１．０重量部および水溶性増粘剤（キサンタンガム：商
品名ＫＥＬＺＡＮ；米国・ケルコ社製）０．１重量部を
水９８．９重量部に溶解させた液に、砥粒（シナノラン
ダムＧＰ＃２０００：信濃電気精錬（株）製）１７０重
量部を配合してラップ液を作成した。 実施例２ ナフタレンスルホン酸ナトリウムホルマリン縮合物（数
平均分子量３，０００）１．０重量部および実施例１と
同じ水溶性増粘剤０．１重量部を水９８．９重量部に溶
解させた液に、実施例１と同じ砥粒１７０重量部を配合
してラップ液を作成した。 実施例３ ポリアクリル酸ナトリウム（数平均分子量８，０００）
１．０重量部、実施例１と同じ水溶性増粘剤０．１重量
部およびカプリル酸のトリエタノールアミンアミン塩
３．０重量部を水９５．９重量部に溶解させた液に、実
施例１と同じ砥粒を配合してラップ液を作成した。
【００１９】比較例１ エチレングリコール１００重量部に実施例１と同じ砥粒
１７０重量部を配合してラップ液を作成した。 比較例２ エチルカルビトール１０重量部、プロピレングリコール
２０重量部、水７０重量部、水溶性増粘剤（ＫＥＬＺＡ
Ｎ；米国・ケルコ社製）０．２重量部を混合した液に実
施例１と同じ砥粒を配合してラップ液を作成した。
１７０重量部を配合してラップ液を作成した。 比較例２ エチルカルビトール１０重量部、プロピレングリコール
２０重量部、水７０重量部、水溶性増粘剤（ＫＥＬＺＡ
Ｎ；米国・ケルコ社製）０．２重量部を混合した液に実
施例１と同じ砥粒を配合してラップ液を作成した。
【００２０】＜配合安定性試験＞ラップ液を１００ｍｌ
のメスシリンダーに１００ｍｌ採取し、２５℃の恒温槽
中に２４時間静置させ、上層に分離した液層の高さを測
定して配合安定性を評価した。その結果を表１に示す。
のメスシリンダーに１００ｍｌ採取し、２５℃の恒温槽
中に２４時間静置させ、上層に分離した液層の高さを測
定して配合安定性を評価した。その結果を表１に示す。
【００２１】＜ラップ液の粘度＞Ｂ型回転粘度計（東京
計器製）を用い、ローターＮｏ．２を用いて、２５℃に
おける粘度を測定した。その結果を表１に示す。
計器製）を用い、ローターＮｏ．２を用いて、２５℃に
おける粘度を測定した。その結果を表１に示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【発明の効果】本発明の水溶性ラップ液組成物は、従来
使用されてきた油性のラップ液と同等の配合安定性を有
している。また、水溶性であるため洗浄が容易であり、
加工後の工程短縮が可能となる。
使用されてきた油性のラップ液と同等の配合安定性を有
している。また、水溶性であるため洗浄が容易であり、
加工後の工程短縮が可能となる。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｚ
Claims (4)
- 【請求項１】 数平均分子量が１，０００〜２００，０
００のアニオン性高分子化合物（Ａ）を含むことを特徴
とする水溶性ラップ液組成物。 - 【請求項２】 （Ａ）が、ポリカルボン酸塩、ポリスチ
レンスルホン酸塩およびナフタレンスルホン酸塩ホルマ
リン縮合物からなる群から選ばれる１種以上である請求
項１記載の水溶性ラップ液組成物。 - 【請求項３】 さらに、水溶性増粘剤（Ｂ）、脂肪酸塩
（Ｃ）およびケイ酸アルミニウムマグネシウム（Ｄ）か
らなる群より選ばれる１種以上を含有する請求項１また
は２記載の水溶性ラップ液組成物。 - 【請求項４】（Ａ）：（Ｂ）の重量比率が１００：０〜
１：５０、（Ａ）：（Ｃ）の重量比率が１００：０〜
１：２００、（Ａ）：（Ｄ）の重量比率が１００：０〜
１：５０である請求項３記載の水溶性ラップ液組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2192796A JPH09194824A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 水溶性ラップ液組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2192796A JPH09194824A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 水溶性ラップ液組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09194824A true JPH09194824A (ja) | 1997-07-29 |
Family
ID=12068708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2192796A Pending JPH09194824A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 水溶性ラップ液組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09194824A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001017006A1 (fr) * | 1999-08-26 | 2001-03-08 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Compose de polissage chimiomecanique et procede de polissage |
| JP2001085373A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Hitachi Chem Co Ltd | Ｃｍｐ研磨液 |
| JP2003507566A (ja) * | 1999-08-24 | 2003-02-25 | ロデール ホールディングス インコーポレイテッド | 絶縁体及び金属のｃｍｐ用組成物及びそれに関する方法 |
| JP2006295050A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの切削方法および切削装置 |
| JP2006303051A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研削方法および研削装置 |
| JP2007118180A (ja) * | 1997-12-18 | 2007-05-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤、スラリー及び研磨方法 |
| JP2008155368A (ja) * | 1999-06-23 | 2008-07-10 | Jsr Corp | 研磨用組成物、および研磨方法 |
-
1996
- 1996-01-12 JP JP2192796A patent/JPH09194824A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007118180A (ja) * | 1997-12-18 | 2007-05-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤、スラリー及び研磨方法 |
| JP2008155368A (ja) * | 1999-06-23 | 2008-07-10 | Jsr Corp | 研磨用組成物、および研磨方法 |
| JP2003507566A (ja) * | 1999-08-24 | 2003-02-25 | ロデール ホールディングス インコーポレイテッド | 絶縁体及び金属のｃｍｐ用組成物及びそれに関する方法 |
| JP4832690B2 (ja) * | 1999-08-24 | 2011-12-07 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド | 絶縁体及び金属のｃｍｐ用組成物及びそれに関する方法 |
| WO2001017006A1 (fr) * | 1999-08-26 | 2001-03-08 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Compose de polissage chimiomecanique et procede de polissage |
| US7232529B1 (en) | 1999-08-26 | 2007-06-19 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Polishing compound for chemimechanical polishing and polishing method |
| JP2001085373A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Hitachi Chem Co Ltd | Ｃｍｐ研磨液 |
| JP2006295050A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの切削方法および切削装置 |
| JP4594786B2 (ja) * | 2005-04-14 | 2010-12-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2006303051A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研削方法および研削装置 |
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