JPH09193009A - 両面研磨機 - Google Patents
両面研磨機Info
- Publication number
- JPH09193009A JPH09193009A JP794796A JP794796A JPH09193009A JP H09193009 A JPH09193009 A JP H09193009A JP 794796 A JP794796 A JP 794796A JP 794796 A JP794796 A JP 794796A JP H09193009 A JPH09193009 A JP H09193009A
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- Japan
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- gear
- carrier
- polishing machine
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- double
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリアの運動がスムースになると共に、キ
ャリア自体の耐久性を向上させることができること。 【解決手段】 エクスターナルギヤと、インターナルギ
ヤと、遊星歯車に相当するキャリア20とからなる遊星
歯車装置の歯車構成を備え、キャリア20にはワークが
保持される透孔が設けられ、キャリア20に保持された
ワークを上下から挟むと共にワークに対して相対的に移
動して研磨する上下の研磨定盤を備える両面研磨機にお
いて、エクスターナルギヤおよびインターナルギヤに
は、歯車の歯に相当する複数の円柱状のピン17が円形
線上に等間隔に立設され、ピン17列に歯合するキャリ
ア20の歯車の歯形がトロコイド系曲線に設けられてい
る。
ャリア自体の耐久性を向上させることができること。 【解決手段】 エクスターナルギヤと、インターナルギ
ヤと、遊星歯車に相当するキャリア20とからなる遊星
歯車装置の歯車構成を備え、キャリア20にはワークが
保持される透孔が設けられ、キャリア20に保持された
ワークを上下から挟むと共にワークに対して相対的に移
動して研磨する上下の研磨定盤を備える両面研磨機にお
いて、エクスターナルギヤおよびインターナルギヤに
は、歯車の歯に相当する複数の円柱状のピン17が円形
線上に等間隔に立設され、ピン17列に歯合するキャリ
ア20の歯車の歯形がトロコイド系曲線に設けられてい
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は両面研磨機に関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】両面研磨機としては、従来から、太陽ギ
ヤである外歯車(以下、「エクスターナルギヤ」とい
う)と内歯車(以下、「インターナルギヤ」という)を
異なる角速度で回転することによって、加工材料(以
下、「ワーク」という)を担持した遊星歯車に相当する
キャリアを自転させるとともに公転させ、そのキャリア
の上下に配された上下の研磨定盤(以下、単に「定盤」
という)が、ワークを上下から挟むと共にワークに対し
て相対的に移動して研磨する両面研磨機、いわゆる4ウ
ェイ駆動方式の両面研磨機が知られている。両面研磨機
には、ラッピング装置(ラップ盤)またはポリッシング
装置がある。この両面研磨機は精度が高く、両面を同時
に研磨できるため加工時間が短くて済み、半導体チップ
の素材となるシリコンウェーハ等の薄物研磨加工に適し
ている。従来、この両面研磨機は、図4に示すように、
太陽ギア(図4ではインターナルギア50のみを示して
いる)およびキャリア52の歯車の歯形は、インボリュ
ート曲線に形成されている。すなわち、インボリュート
歯車になっている。
ヤである外歯車(以下、「エクスターナルギヤ」とい
う)と内歯車(以下、「インターナルギヤ」という)を
異なる角速度で回転することによって、加工材料(以
下、「ワーク」という)を担持した遊星歯車に相当する
キャリアを自転させるとともに公転させ、そのキャリア
の上下に配された上下の研磨定盤(以下、単に「定盤」
という)が、ワークを上下から挟むと共にワークに対し
て相対的に移動して研磨する両面研磨機、いわゆる4ウ
ェイ駆動方式の両面研磨機が知られている。両面研磨機
には、ラッピング装置(ラップ盤)またはポリッシング
装置がある。この両面研磨機は精度が高く、両面を同時
に研磨できるため加工時間が短くて済み、半導体チップ
の素材となるシリコンウェーハ等の薄物研磨加工に適し
ている。従来、この両面研磨機は、図4に示すように、
太陽ギア(図4ではインターナルギア50のみを示して
いる)およびキャリア52の歯車の歯形は、インボリュ
ート曲線に形成されている。すなわち、インボリュート
歯車になっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インボ
リュート歯車の歯形によれば、集中応力がかかり易い形
状であるため、特に研磨されるシリコンウェーハ等のワ
ークよりも薄板に形成されたキャリア52の耐久性を低
下させている。また、その歯形によれば、太陽ギアとキ
ャリア52との擦り合わせ部の滑らかさが充分ではな
く、キャリア52の回転はスムースさに欠けるという課
題がある。
リュート歯車の歯形によれば、集中応力がかかり易い形
状であるため、特に研磨されるシリコンウェーハ等のワ
ークよりも薄板に形成されたキャリア52の耐久性を低
下させている。また、その歯形によれば、太陽ギアとキ
ャリア52との擦り合わせ部の滑らかさが充分ではな
く、キャリア52の回転はスムースさに欠けるという課
題がある。
【0004】そこで、本発明の目的は、キャリアの運動
がスムースになると共に、キャリア自体の耐久性を向上
させることができる両面研磨機を提供することにある。
がスムースになると共に、キャリア自体の耐久性を向上
させることができる両面研磨機を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するに次の構成を備える。すなわち、本発明は、エク
スターナルギヤと、インターナルギヤと、遊星歯車に相
当するキャリアとからなる遊星歯車装置の歯車構成を備
え、前記キャリアにはワークが保持される透孔が設けら
れ、該キャリアに保持されたワークを上下から挟むと共
にワークに対して相対的に移動して研磨する上下の研磨
定盤を備える両面研磨機において、エクスターナルギヤ
およびインターナルギヤには、歯車の歯に相当する複数
の円柱状のピンが円形線上に等間隔に立設され、前記ピ
ン列に歯合する前記キャリアの歯車の歯形がトロコイド
系曲線に設けられていることを特徴とする。
成するに次の構成を備える。すなわち、本発明は、エク
スターナルギヤと、インターナルギヤと、遊星歯車に相
当するキャリアとからなる遊星歯車装置の歯車構成を備
え、前記キャリアにはワークが保持される透孔が設けら
れ、該キャリアに保持されたワークを上下から挟むと共
にワークに対して相対的に移動して研磨する上下の研磨
定盤を備える両面研磨機において、エクスターナルギヤ
およびインターナルギヤには、歯車の歯に相当する複数
の円柱状のピンが円形線上に等間隔に立設され、前記ピ
ン列に歯合する前記キャリアの歯車の歯形がトロコイド
系曲線に設けられていることを特徴とする。
【0006】また、前記各ピンが軸線を中心に回転可能
に立設されていることで、キャリアをよりスムースに回
転できる。
に立設されていることで、キャリアをよりスムースに回
転できる。
【0007】また、前記キャリアの歯車の歯形が、外サ
イクロイド曲線と内サイクロイド曲線を交互に連続する
ことによって形成されるトロコイド系曲線であること
で、歯形が滑らかな曲線に形成されているので、キャリ
アの回転がよりスムースになると共に、キャリア自体の
耐久性を向上できる。
イクロイド曲線と内サイクロイド曲線を交互に連続する
ことによって形成されるトロコイド系曲線であること
で、歯形が滑らかな曲線に形成されているので、キャリ
アの回転がよりスムースになると共に、キャリア自体の
耐久性を向上できる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる好適な実施
例を添付図面と共に詳細に説明する。図1は本発明によ
る両面研磨機のインターナルギア18とキャリア20と
が歯合した状態の一実施例を示す平面図であり、図2は
本発明による両面研磨機のエクスターナルギヤ16と、
インターナルギヤ18と、遊星歯車に相当するキャリア
20とからなる遊星歯車装置の歯車構成を示す平面図で
ある。また、図3は図1および図2にかかる歯車構成を
備えるラップ盤の全体機構を示す模式的断面図である。
例を添付図面と共に詳細に説明する。図1は本発明によ
る両面研磨機のインターナルギア18とキャリア20と
が歯合した状態の一実施例を示す平面図であり、図2は
本発明による両面研磨機のエクスターナルギヤ16と、
インターナルギヤ18と、遊星歯車に相当するキャリア
20とからなる遊星歯車装置の歯車構成を示す平面図で
ある。また、図3は図1および図2にかかる歯車構成を
備えるラップ盤の全体機構を示す模式的断面図である。
【0009】図3に示すように、キャリア20にはワー
ク21が保持される透孔(一個または複数)が設けられ
ている。12は上定盤であり、14は下定盤である。こ
の上下の定盤12、14は、キャリア20の透孔内に保
持されたワーク21を上下から挟むと共にワーク21に
対して相対的に移動してそのワーク21の両面を研磨す
る。
ク21が保持される透孔(一個または複数)が設けられ
ている。12は上定盤であり、14は下定盤である。こ
の上下の定盤12、14は、キャリア20の透孔内に保
持されたワーク21を上下から挟むと共にワーク21に
対して相対的に移動してそのワーク21の両面を研磨す
る。
【0010】図1に示すように、エクスターナルギヤ1
6およびインターナルギヤ18には、歯車の歯に相当す
る複数の円柱状のピン17が円形線上に等間隔に、且つ
各ピン17が軸線を中心に回転可能に立設されている。
これにより、キャリア20が自転しながら公転する動作
の抵抗を最小限に抑えて、キャリア20をよりスムース
に回転させることができる。
6およびインターナルギヤ18には、歯車の歯に相当す
る複数の円柱状のピン17が円形線上に等間隔に、且つ
各ピン17が軸線を中心に回転可能に立設されている。
これにより、キャリア20が自転しながら公転する動作
の抵抗を最小限に抑えて、キャリア20をよりスムース
に回転させることができる。
【0011】また、ピン17の列に歯合するキャリア2
0の歯車の歯形がトロコイド系曲線に設けられている。
本実施例では、キャリア20の歯車の歯形が、外サイク
ロイド曲線と内サイクロイド曲線を交互に連続すること
によって形成されるトロコイド系曲線である。このよう
に歯車の歯形にトロコイド曲線を用いることで、歯形は
滑らかな曲線に形成されるので、キャリア20の回転が
よりスムースになると共に、キャリア20自体の耐久性
を向上できる。
0の歯車の歯形がトロコイド系曲線に設けられている。
本実施例では、キャリア20の歯車の歯形が、外サイク
ロイド曲線と内サイクロイド曲線を交互に連続すること
によって形成されるトロコイド系曲線である。このよう
に歯車の歯形にトロコイド曲線を用いることで、歯形は
滑らかな曲線に形成されるので、キャリア20の回転が
よりスムースになると共に、キャリア20自体の耐久性
を向上できる。
【0012】また、ピン17の円周面にキャリア20の
トロコイド系曲線からなる滑らかな歯形の曲線が接触す
るため、接触部同士がこじったりすることなく、キャリ
ア20からの汚染(粉塵または金属イオン化した微細粒
子等の発生による汚染)が少なくなる。また、キャリ2
0の歯形がなだらかな曲線からなる形状であり、形状的
な安全性が向上する。
トロコイド系曲線からなる滑らかな歯形の曲線が接触す
るため、接触部同士がこじったりすることなく、キャリ
ア20からの汚染(粉塵または金属イオン化した微細粒
子等の発生による汚染)が少なくなる。また、キャリ2
0の歯形がなだらかな曲線からなる形状であり、形状的
な安全性が向上する。
【0013】上記のトロコイド系曲線、およびサイクロ
イド曲線は、以下のように定義される曲線である。トコ
ロイドとは、円が定直線上を転がるときに、円に対して
固定した点が描く平面曲線である。図で定直線をx軸
に、それに垂直にy軸をとり、円の半径をa、定点と円
の中心との距離をkとすれば、θをパラメータとして x=aθ+ksinθ、y=a+kcosθ で表される。k<aならば曲線は特異点をもたないが、
k=aならば尖点、k>aならば二重点をもつ。k=a
の場合はサイクロイドである。サイクロイドとは、定直
線上を転がる円の円周上の定点が描く平面曲線のことを
いう。トコロイドの一種である。また、、定曲線Aにそ
って他の曲線Bが転がるとき、B上の定点が描く曲線を
ルーレットという。Bが円でAが直線なら、上述したサ
イクロイドである。Aも円でA、Bが外接する場合の曲
線を外サイクロイド、内接する場合の曲線を内サイクロ
イドという。直交座標x、yで表せば、外サイクロイド
はシータをパラメータとして、 x=(a+b)cosθ+bcos((a+b)θ/
b)、 y=(a+b)sinθ+bsin((a+b)θ/
b) d、bを−bにかえれば内サイクロイドの式になる。
イド曲線は、以下のように定義される曲線である。トコ
ロイドとは、円が定直線上を転がるときに、円に対して
固定した点が描く平面曲線である。図で定直線をx軸
に、それに垂直にy軸をとり、円の半径をa、定点と円
の中心との距離をkとすれば、θをパラメータとして x=aθ+ksinθ、y=a+kcosθ で表される。k<aならば曲線は特異点をもたないが、
k=aならば尖点、k>aならば二重点をもつ。k=a
の場合はサイクロイドである。サイクロイドとは、定直
線上を転がる円の円周上の定点が描く平面曲線のことを
いう。トコロイドの一種である。また、、定曲線Aにそ
って他の曲線Bが転がるとき、B上の定点が描く曲線を
ルーレットという。Bが円でAが直線なら、上述したサ
イクロイドである。Aも円でA、Bが外接する場合の曲
線を外サイクロイド、内接する場合の曲線を内サイクロ
イドという。直交座標x、yで表せば、外サイクロイド
はシータをパラメータとして、 x=(a+b)cosθ+bcos((a+b)θ/
b)、 y=(a+b)sinθ+bsin((a+b)θ/
b) d、bを−bにかえれば内サイクロイドの式になる。
【0014】次に図3に基づいて、本発明が適用される
一般的なラップ盤の全体機構について以下に説明してお
く。なお、本発明は、ラップ盤に適用されるだけでな
く、ポリッシング装置に好適に応用できるのは勿論であ
る。上述したように、12は上定盤、14は下定盤、1
6はエクスターナルギヤ、18はインターナルギヤであ
る。20はキャリアであり、このキャリア20に穿設さ
れた透孔内に加工物21が担持され、エクスターナルギ
ヤ16とインターナルギヤ18と噛み合って回転する。
一般的なラップ盤の全体機構について以下に説明してお
く。なお、本発明は、ラップ盤に適用されるだけでな
く、ポリッシング装置に好適に応用できるのは勿論であ
る。上述したように、12は上定盤、14は下定盤、1
6はエクスターナルギヤ、18はインターナルギヤであ
る。20はキャリアであり、このキャリア20に穿設さ
れた透孔内に加工物21が担持され、エクスターナルギ
ヤ16とインターナルギヤ18と噛み合って回転する。
【0015】上定盤12は上定盤回し金に12aに連結
し、この上定盤回し金12aからシャフト12bが垂下
し、このシャフト12bの先端にギヤ12cが設けられ
ている。そして、ギヤ12cはアイドルギヤ12dを介
してギヤ12eに歯合している。このギヤ12eは、ス
ピンドル26と一体に回転すべく、スピンドル26に固
定されている。下定盤14は、ギヤ14aを介してスピ
ンドル26上に固定されたギヤ14bを介して歯合して
いる。エクスターナルギヤ16は、ギヤ16aを介して
スピンドル26上に遊嵌している伝達ギヤ16bに歯合
している。インターナルギヤ18は、ギヤ18aを介し
てスピンドル26上に遊嵌している伝達ギヤ18bに歯
合している。スピンドル26は可変減速機32に連結さ
れている。可変減速機32は、モータ34とベルト36
を介して連結されており、モータ34によって駆動され
るスピンドル26の回転数、回転時間などを制御するも
のである。
し、この上定盤回し金12aからシャフト12bが垂下
し、このシャフト12bの先端にギヤ12cが設けられ
ている。そして、ギヤ12cはアイドルギヤ12dを介
してギヤ12eに歯合している。このギヤ12eは、ス
ピンドル26と一体に回転すべく、スピンドル26に固
定されている。下定盤14は、ギヤ14aを介してスピ
ンドル26上に固定されたギヤ14bを介して歯合して
いる。エクスターナルギヤ16は、ギヤ16aを介して
スピンドル26上に遊嵌している伝達ギヤ16bに歯合
している。インターナルギヤ18は、ギヤ18aを介し
てスピンドル26上に遊嵌している伝達ギヤ18bに歯
合している。スピンドル26は可変減速機32に連結さ
れている。可変減速機32は、モータ34とベルト36
を介して連結されており、モータ34によって駆動され
るスピンドル26の回転数、回転時間などを制御するも
のである。
【0016】この遊星歯車装置の動作は、例えば、エク
スターナルギヤ16の角速度に比べてインターナルギヤ
18の角速度の方が大きくなるようにギヤ16aと伝達
ギヤ16bの回転比、およびギヤ18aと伝達ギヤ18
bの回転比がそれぞれ設定されている場合、エクスター
ナルギヤ16とインターナルギヤ18との間に歯合した
キャリア20は、インターナルギヤ18の回転方向と同
一方向(反時計方向)に公転し、且つ時計方向に自転す
る。また、下定盤14も同じく反時計方向に回転する
が、上定盤12はアイドルギヤ12dが介在するので時
計方向に回転する。なお、キャリア20の回転方向はエ
クスターナルギヤ16とインターナルギヤ18の角速度
の設定によって変更できる。
スターナルギヤ16の角速度に比べてインターナルギヤ
18の角速度の方が大きくなるようにギヤ16aと伝達
ギヤ16bの回転比、およびギヤ18aと伝達ギヤ18
bの回転比がそれぞれ設定されている場合、エクスター
ナルギヤ16とインターナルギヤ18との間に歯合した
キャリア20は、インターナルギヤ18の回転方向と同
一方向(反時計方向)に公転し、且つ時計方向に自転す
る。また、下定盤14も同じく反時計方向に回転する
が、上定盤12はアイドルギヤ12dが介在するので時
計方向に回転する。なお、キャリア20の回転方向はエ
クスターナルギヤ16とインターナルギヤ18の角速度
の設定によって変更できる。
【0017】また、一つの駆動源(モータ34)によっ
て回転するように形成されたが、これに限らず、4つの
回転系(上定盤12、下定盤14、エクスターナルギヤ
16、インターナルギヤ18)を別々に回転させるよう
にしてもよいのは勿論である。以上、本発明につき好適
な実施例を挙げて種々説明してきたが、本発明はこの実
施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しな
い範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論のことであ
る。
て回転するように形成されたが、これに限らず、4つの
回転系(上定盤12、下定盤14、エクスターナルギヤ
16、インターナルギヤ18)を別々に回転させるよう
にしてもよいのは勿論である。以上、本発明につき好適
な実施例を挙げて種々説明してきたが、本発明はこの実
施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しな
い範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論のことであ
る。
【0018】
【発明の効果】本発明の両面研磨機によれば、エクスタ
ーナルギヤおよびインターナルギヤには、複数の円柱状
のピンが円形線上に等間隔に立設され、そのピン列に歯
合するキャリアの歯車の歯形がトロコイド系曲線に設け
られているため、キャリアの運動がスムースになると共
に、キャリア自体の耐久性が向上するという著効を奏す
る。
ーナルギヤおよびインターナルギヤには、複数の円柱状
のピンが円形線上に等間隔に立設され、そのピン列に歯
合するキャリアの歯車の歯形がトロコイド系曲線に設け
られているため、キャリアの運動がスムースになると共
に、キャリア自体の耐久性が向上するという著効を奏す
る。
【図1】本発明にかかる両面研磨機の一実施例の要部を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図2】本発明にかかる両面研磨機の遊星歯車装置の歯
車構成の一例を説明する平面図である。
車構成の一例を説明する平面図である。
【図3】本発明にかかる両面研磨機の全体構成の一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図4】従来技術を説明する平面図である。
【符号の説明】 12 上定盤 14 下定盤 16 エクスターナルギア 17 ピン 18 インターナルギア 20 キャリア 21 ワーク
Claims (3)
- 【請求項1】 エクスターナルギヤと、インターナルギ
ヤと、遊星歯車に相当するキャリアとからなる遊星歯車
装置の歯車構成を備え、前記キャリアにはワークが保持
される透孔が設けられ、該キャリアに保持されたワーク
を上下から挟むと共にワークに対して相対的に移動して
研磨する上下の研磨定盤を備える両面研磨機において、 エクスターナルギヤおよびインターナルギヤには、歯車
の歯に相当する複数の円柱状のピンが円形線上に等間隔
に立設され、 前記ピン列に歯合する前記キャリアの歯車の歯形がトロ
コイド系曲線に設けられていることを特徴とする両面研
磨機。 - 【請求項2】 前記各ピンが軸線を中心に回転可能に立
設されていることを特徴とする請求項1記載の両面研磨
機。 - 【請求項3】 前記キャリアの歯車の歯形が、外サイク
ロイド曲線と内サイクロイド曲線を交互に連続すること
によって形成されるトロコイド系曲線であることを特徴
とする請求項1または2記載の両面研磨機のキャリア駆
動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP794796A JPH09193009A (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 両面研磨機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP794796A JPH09193009A (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 両面研磨機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09193009A true JPH09193009A (ja) | 1997-07-29 |
Family
ID=11679699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP794796A Pending JPH09193009A (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 両面研磨機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09193009A (ja) |
-
1996
- 1996-01-22 JP JP794796A patent/JPH09193009A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040809 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041124 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050426 |