JPH09184930A - Noncontact type optical probe and its manufacture, and recording and reproducing device or scanning type proximity field microscope using the probe - Google Patents
Noncontact type optical probe and its manufacture, and recording and reproducing device or scanning type proximity field microscope using the probeInfo
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- JPH09184930A JPH09184930A JP8000807A JP80796A JPH09184930A JP H09184930 A JPH09184930 A JP H09184930A JP 8000807 A JP8000807 A JP 8000807A JP 80796 A JP80796 A JP 80796A JP H09184930 A JPH09184930 A JP H09184930A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、高密度光記録再生
装置、および走査型近接場顕微鏡に関し好適な非接触式
光プローブに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-density optical recording / reproducing device and a non-contact optical probe suitable for a scanning near-field microscope.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、生物学や半導体デバイス開発など
広い分野において、非接触、非破壊の高分解能顕微鏡の
重要性が高まっている。従来使用されてきた光学顕微鏡
は、非接触、非破壊という面では優れた特性を持ってい
たが、決増光学系を用いるという原理上、回折限界によ
る分解能の制限のため使用範囲が限られてきた。2. Description of the Related Art In recent years, non-contact, non-destructive, high-resolution microscopes have become increasingly important in a wide range of fields such as biology and semiconductor device development. Conventionally used optical microscopes have excellent characteristics in terms of non-contact and non-destructive, but the range of use has been limited due to the limitation of resolution due to the diffraction limit due to the principle of using an increasing optical system. It was
【０００３】これらの問題を解決し、しかも試料の光学
的な性質が高い分解能で得られる技術に走査型近接場顕
微鏡がある。この走査型近接場顕微鏡としては、特開昭
５９−１２１３１０号の公報で詳しく説明されている。
この走査型近接場顕微鏡の基本原理は、非測定物を照射
すべく光源から放射された照明光の波長よりも小さい開
口によって被測定物の表面を走査し、試料表面の表面形
状、試料表面の光学的特性等を測定するもので、開口を
被測定物から開口径よりも短い距離において走査するこ
とから、走査型近接場顕微鏡と呼ばれている。A scanning near-field microscope is a technique for solving these problems and obtaining the optical properties of the sample with high resolution. This scanning near-field microscope is described in detail in Japanese Patent Laid-Open No. 59-121310.
The basic principle of this scanning near-field microscope is to scan the surface of the object to be measured with an aperture smaller than the wavelength of the illumination light emitted from the light source to irradiate the object to be measured, and to measure the surface shape of the sample surface and the sample surface. It is used to measure optical characteristics and the like, and is called a scanning near-field microscope because the aperture is scanned from the measured object at a distance shorter than the aperture diameter.
【０００４】波動の理論からすれば、通常の光学顕微鏡
の分解能はλ／２程度で制約されるため可視光領域では
２００〜３００ｎｍが限度とされている。しかし、上述
のような波長より小さい微小な開口に光を導くと、通常
の光の用に自由空間を広がることはできないが、開口付
近にしみだす光電場が存在する。この光電場は消滅波
（エバネッセント波）と呼ばれるもので、これで測定表
面を照射することで高分解能な光学的測定を可能として
いる。According to the theory of waves, the resolution of an ordinary optical microscope is limited to about λ / 2, so that the visible light region is limited to 200 to 300 nm. However, if light is guided to a minute aperture smaller than the wavelength as described above, a free space cannot be spread for ordinary light, but there is a photoelectric field oozing near the aperture. This photoelectric field is called an annihilation wave (evanescent wave), and irradiates the measurement surface with this, which enables high-resolution optical measurement.
【０００５】図３は、このような走査型近接場顕微鏡の
従来例を示すものである。これを概略説明すると、図示
されていない除振装置上に設けられた基台３１が設けら
れており、基台３１上に設けられたステージ３３は、図
示されていない駆動装置によってＸ，Ｙ方向にそれぞれ
独立に移動制御されるようなっている。また、このステ
ージ３３上には、被測定物３４が載置できるようになっ
ている。また、基台３１には支柱３２が備えられてお
り、この支柱３２の先端アーム部３５に垂直調節装置３
６が設けられている。この垂直調節装置３６には、光源
およびプローブ３８が取り付けられている。このプロー
ブには微小な開口３７が設けられており、試料表面に微
小な開口３７からの光電場を照射する。そして、試料表
面で反射した光をセンサー３９で受光する。センサー３
９に入射した光は光ファイバー３９１によって光検出器
３９２に導かれ、電気信号に変換される。FIG. 3 shows a conventional example of such a scanning near field microscope. To briefly explain this, a base 31 provided on a vibration isolation device (not shown) is provided, and a stage 33 provided on the base 31 is driven by a drive device (not shown) in the X and Y directions. The movement is controlled independently of each other. An object to be measured 34 can be placed on the stage 33. Further, the base 31 is provided with a column 32, and the vertical adjustment device 3 is attached to a tip arm portion 35 of the column 32.
6 are provided. A light source and a probe 38 are attached to the vertical adjustment device 36. This probe is provided with a minute opening 37, and the surface of the sample is irradiated with a photoelectric field from the minute opening 37. Then, the light reflected by the sample surface is received by the sensor 39. Sensor 3
The light incident on 9 is guided to the photodetector 392 by the optical fiber 391 and converted into an electric signal.
【０００６】この様な装置で試料表面上の各点における
この光強度を測定し、これを表示装置等で再構成すれ
ば、試料表面の光学的な状態を高い分解能で得ることが
できる。一方、前述のような走査型近接場顕微鏡を応用
して、光記録媒体上へ高密度情報記録再生を行う提案
が、米国特許明細書第４，６８４，２０６号でなされて
いる。By measuring the light intensity at each point on the sample surface with such an apparatus and reconstructing it with a display device or the like, the optical state of the sample surface can be obtained with high resolution. On the other hand, U.S. Pat. No. 4,684,206 proposes recording and reproducing high density information on an optical recording medium by applying the scanning near field microscope as described above.
【０００７】図４は、上述の走査型近接場顕微鏡を応用
した光記録媒体情報記録再生装置の一例を示した図であ
る。図３で示したような微小な開口３７を有したプロー
ブが光記録媒体４１上につるされている。この光記録媒
体４１は従来の光記録媒体と同様に円盤状の形状を有し
ており、図示されていない回転駆動手段によって回転可
能とされている。そして、光源およびプローブ３８はア
ーム４２に取り付けられており、このアーム４２は矢印
４３の向きに移動可能となっている。微小な開口３７と
光記録媒体４１との距離は、光源の発する光の波長より
も近い位置に制御されている。FIG. 4 is a diagram showing an example of an optical recording medium information recording / reproducing apparatus to which the above-mentioned scanning near field microscope is applied. A probe having a minute opening 37 as shown in FIG. 3 is suspended on the optical recording medium 41. The optical recording medium 41 has a disk shape like the conventional optical recording medium, and can be rotated by a rotation driving means (not shown). The light source and the probe 38 are attached to the arm 42, and the arm 42 is movable in the direction of arrow 43. The distance between the minute opening 37 and the optical recording medium 41 is controlled to a position closer than the wavelength of the light emitted from the light source.
【０００８】光記録媒体４１が回転する一方、開口３７
が光記録媒体の直径方向に移動可能であるため、光記録
媒体４１上の所望の一点に微小な開口３７を位置付ける
ことが可能であり、このときに光源を発光させれば、光
記録を行うことができる。ところで、上述の走査型近接
場顕微鏡の分解能、及びこれを応用した光記録再生装置
の記録単位の大きさは、微小な開口３７の直径にほぼ等
しいことが知られており、走査型近接場顕微鏡の分解
能、光記録再生装置の記録密度を高めるためには、微小
な開口３７の直径を小さくすることが必要である。While the optical recording medium 41 rotates, the opening 37
Is movable in the diameter direction of the optical recording medium, it is possible to position the minute opening 37 at a desired point on the optical recording medium 41. At this time, if the light source is caused to emit light, optical recording is performed. be able to. By the way, it is known that the resolution of the scanning near-field microscope and the size of the recording unit of the optical recording / reproducing apparatus to which the scanning near-field microscope is applied are substantially equal to the diameter of the minute opening 37. In order to increase the resolution and the recording density of the optical recording / reproducing apparatus, it is necessary to reduce the diameter of the minute opening 37.
【０００９】ところで、従来の微小な開口を有したプロ
ーブの例を図５に示す。この図５に示したプローブは、
ピラミッド型の透明な結晶５１の下端には所望の開口半
径と同程度またはそれよりも小さい曲率半径ｒｃを持つ
切子面により形成される鋭い先端を持っており、結晶５
１の表面には光源からの光に対し十分不透明となる厚さ
を持つ金属被膜５２が成膜されている。By the way, an example of a conventional probe having a minute opening is shown in FIG. The probe shown in FIG. 5 is
At the lower end of the pyramid-shaped transparent crystal 51, there is a sharp tip formed by a facet having a radius of curvature rc that is approximately the same as or smaller than the desired opening radius.
A metal coating 52 having a thickness that is sufficiently opaque to the light from the light source is formed on the surface of 1.
【００１０】このプローブの先端部の形成法としては、
最初に所望の形状を有した結晶５１の金属被膜５２を被
覆し、結晶の先端部に被覆された金属被膜５２を除去
し、所望の分解能程度の領域にわたって結晶５１を露呈
する。このとき結晶５１のうち露呈した部分及びその周
辺の金属被膜のごく薄い部分が微小な開口３７となる。
また、この様な透明な結晶５１の代わりに先端をテーパ
ー状に加工した光ファイバーが用いられることもある。The method of forming the tip of this probe is as follows:
First, the metal coating 52 of the crystal 51 having a desired shape is coated, the metal coating 52 coated on the tip of the crystal is removed, and the crystal 51 is exposed over a region having a desired resolution. At this time, the exposed portion of the crystal 51 and the very thin portion of the metal coating on the periphery thereof form the minute opening 37.
Further, instead of such a transparent crystal 51, an optical fiber having a tapered tip may be used.
【００１１】また、他の一例として、図６に示すように
先端を細くした中空のガラス管（マイクロピペット）６
１を用いるようなものもある（米国特許明細書第４，９
１７，４６２号）。そして、遮光のための金属被覆６２
を成膜してある。この様に中空のガラス管を用いたこと
により開口３７を形成する工程が必要なくなるという長
所がある。As another example, as shown in FIG. 6, a hollow glass tube (micropipette) 6 having a thin tip is used.
1 is also used (US Pat. No. 4,9,9).
17, 462). And a metal coating 62 for shading
Is formed. By using the hollow glass tube in this manner, there is an advantage that the step of forming the opening 37 is not necessary.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】ところが、以上の２つ
の手法による開口には以下のような問題点がある。ま
ず、透明な結晶を用いてプローブを製作する場合、微小
な開口部を形成する際に、鋭い先端が形成された結晶体
に微小な開口部を設ける方法が確立されていない。However, the apertures formed by the above two methods have the following problems. First, in the case of manufacturing a probe using a transparent crystal, when forming a minute opening, a method of providing the minute opening in a crystal body having a sharp tip has not been established.
【００１３】たとえば、結晶体の先端部において被覆さ
れた金属被膜を除去する方法として、イオン切削により
その先端部の一部を切り落とす方法や、先端部をガラス
板などに衝突させてや先端部の一部を結晶体と共に除去
する方法が提案されているが、この手法ではプローブ先
端部の開口径を制御することは大変困難であるうえ、開
口径の小さいものが得られにくいという問題点がある。For example, as a method for removing the metal film coated on the tip of the crystal, a method of cutting off a part of the tip by ion cutting, or a method of colliding the tip with a glass plate or the like Although a method of removing a part together with the crystal has been proposed, this method has a problem that it is very difficult to control the opening diameter of the probe tip and it is difficult to obtain a small opening diameter. .
【００１４】また一方、マイクロピペットを用いてプロ
ーブを形成されたものは、マイクロピペット内部は中空
であるため、光はほとんどが屈折率の高いマイクロピペ
ットを形成しているガラスに伝搬してしまう。マイクロ
ピペットの外周を覆っている金属被膜は反射率１００％
を有していないため、金属被膜に光が反射する度に光が
減衰してしまう。On the other hand, in the case where the probe is formed by using the micropipette, most of the light propagates to the glass forming the micropipette having a high refractive index because the inside of the micropipette is hollow. The metal coating covering the outer circumference of the micropipette has a reflectance of 100%
Since it does not have, the light is attenuated each time the light is reflected by the metal film.
【００１５】特に開口部付近はガラスピペットの径がだ
んだんと小さくなる形状を有しているため、光の金属被
膜による反射回数が多くなるため、開口部に到達する光
はかなり減衰された状態になる。よって、開口部に到達
する光強度が僅かになってしまうため、開口部からの光
電場を用いた物理的作用を利用する装置とって、その強
度不十分になってしまう。In particular, since the diameter of the glass pipette is gradually reduced in the vicinity of the opening, the number of reflections of light by the metal coating increases, so that the light reaching the opening is considerably attenuated. Become. Therefore, the light intensity reaching the opening becomes small, and the intensity becomes insufficient for a device that uses a physical action using the photoelectric field from the opening.
【００１６】以上のように、本発明の目的は、光の波長
に比べ微小な開口部を有した近接場顕微鏡用プローブま
たは光記録再生用ヘッドにおいて、強い光強度を有した
プローブまたはヘッドを提供することにある。As described above, the object of the present invention is to provide a probe for a near-field microscope or an optical recording / reproducing head having a small opening as compared with the wavelength of light and having a high light intensity. To do.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第１の形態では、一端が非常に微小な開口
径を有し、光を透過する物質で形成された中空の管と、
中空の管の外面に形成され、中空の管の内部を伝搬する
光を内面で反射させる反射膜と、中空の管の内部に有
し、その光が透過し中空の管を形成する物質よりも高い
屈折率を有する物質で形成された導波路部とを備えた。In order to solve the above-mentioned problems, in the first embodiment of the present invention, a hollow tube having a very small opening diameter at one end and formed of a substance that transmits light is used. When,
A reflective film that is formed on the outer surface of the hollow tube and that reflects the light that propagates inside the hollow tube on the inner surface, and that is inside the hollow tube that allows the light to pass therethrough rather than forming a hollow tube. And a waveguide section formed of a material having a high refractive index.
【００１８】また、本発明の第２の形態では、開口径
は、使用光源が発する波長よりも小さい開口径であるこ
ととした。本発明の第３の形態では、中空の管を形成し
光を透過する物質は、ガラス素材であることとした。ま
た、本発明の第４の形態では、導波路部は液体状の物質
を硬化させて形成したこととした。In the second embodiment of the present invention, the aperture diameter is smaller than the wavelength emitted by the light source used. In the third aspect of the present invention, the material forming the hollow tube and transmitting light is a glass material. Further, in the fourth aspect of the present invention, the waveguide portion is formed by curing a liquid substance.
【００１９】また、本発明の第５の形態では、導波路部
は、イマージョンオイルまたはエポキシ系接着剤で形成
されていることとした。また、本発明の第６の形態で
は、反射膜は、金属材料で形成されていることとした。
本発明での第７の形態では、一端が非常に微小な開口径
を有し光を透過する物質で形成された中空の管の一端
を、光を透過し中空の管を形成する物質よりも高い屈折
率を有し経時的に硬化する液体状の透明の導波路部形成
物質に浸し、導波路部形成物質を毛細管現象により一端
から前記中空の管の内部に導入し、中空の管の内部に導
入された導波路部形成物質を硬化させて非接触式光プロ
ーブを製造することとした。Further, in the fifth aspect of the present invention, the waveguide portion is formed of immersion oil or an epoxy adhesive. Further, in the sixth aspect of the present invention, the reflective film is made of a metal material.
According to the seventh aspect of the present invention, one end of a hollow tube formed of a substance that has a very small opening diameter and has a very small opening diameter is used as compared with a substance that transmits a light and forms a hollow tube. By immersing in a liquid transparent waveguide-forming substance that has a high refractive index and hardens over time, the waveguide-forming substance is introduced into the hollow tube from one end by capillary action, and the inside of the hollow tube The non-contact type optical probe is manufactured by curing the material for forming the waveguide portion introduced in the above.
【００２０】更に本発明の第８の形態では、先の本発明
の第７の形態について、導波路部形成物質は、イマージ
ョンオイルまたはエポキシ系接着剤であることとした。
本発明の第９の形態では、光源と、一端が非常に微小な
開口径を有し、光が透過する物質で形成された中空の管
と、中空の管の外面に形成されその中空の管の内部を伝
搬する光を内面で反射させる反射膜と、中空の管の内部
に有し、光が透過し中空の管を形成する物質よりも高い
屈折率を有する物質で形成された導波路部とを備え、他
端の開口部から光源の光を入射して、一端から記録媒体
へ記録または読みとりのための光電場を照射する非接触
式光プローブと、一端から記録媒体へ光電場が照射さ
れ、記録媒体から放射された光を受光して電気信号に変
換する光検出部とを備えたこととした。Further, in the eighth aspect of the present invention, in the seventh aspect of the present invention, the waveguide portion forming material is immersion oil or an epoxy adhesive.
According to a ninth aspect of the present invention, a light source, a hollow tube having a very small opening diameter at one end and formed of a substance that allows light to pass through, and a hollow tube formed on the outer surface of the hollow tube. A reflection film for reflecting the light propagating inside the inner surface of the inner surface of the hollow tube, and a waveguide portion formed of a material having a higher refractive index than the material forming the hollow tube inside the hollow tube. And a non-contact optical probe that irradiates light from a light source through the opening at the other end and irradiates a recording medium with a photoelectric field for recording or reading from one end, and the photoelectric field irradiates the recording medium from one end. And a light detection unit that receives the light emitted from the recording medium and converts the light into an electric signal.
【００２１】また、本発明の第１０の形態では、本発明
の第９の形態に更に、導波路部は、粘性の高い液体状の
物質を硬化させて形成したこととした。また、本発明の
第１１の形態では、本発明の第１０の形態に、更に導波
路部は、イマージョンオイルまたはエポキシ系接着剤で
形成されていることとした。また、本発明の第１２の形
態では、先の本発明の第９の形態に更に、非接触式光プ
ローブを複数個有したこととした。Further, in the tenth aspect of the present invention, in addition to the ninth aspect of the present invention, the waveguide portion is formed by curing a liquid substance having high viscosity. In addition, in the eleventh aspect of the present invention, in addition to the tenth aspect of the present invention, the waveguide section is made of immersion oil or an epoxy adhesive. In addition, in the twelfth aspect of the present invention, the non-contact type optical probe is further provided in the ninth aspect of the present invention.
【００２２】また、本発明の第１３の形態では、先の本
発明の第９の形態で更に、非接触式光プローブを支持
し、前記プローブを駆動することのできる駆動手段を備
えたこととした。また、本発明の第１４の形態では、光
源と、一端が非常に微小な開口径を有し、光が透過する
物質で形成された中空の管と、その中空の管の外面に形
成され、その中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射
させる反射膜と、中空の管の内部に有し、光が透過し中
空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で
形成された導波路部とを備え、他端の開口部から光源の
光を入射して、一端から被測定物に光電場を照射する非
接触式光プローブと、一端から被測定物へ光電場が照射
され、被測定物から放射された光を受光して電気信号に
変換する光検出部と、非接触式光プローブと被測定物と
を相対的に走査する走査手段とを備えたこととした。Further, in a thirteenth aspect of the present invention, the ninth aspect of the present invention further comprises a driving means for supporting the non-contact type optical probe and capable of driving the probe. did. Further, in a fourteenth aspect of the present invention, a light source, a hollow tube having a very small opening diameter at one end and formed of a substance that transmits light, and a hollow tube formed on the outer surface of the hollow tube, It is made of a reflective film that reflects the light propagating inside the hollow tube on its inner surface, and a substance that has a higher refractive index than the substance that transmits light and forms the hollow tube inside the hollow tube. A non-contact optical probe that irradiates light from a light source through the opening at the other end and irradiates the DUT with a photoelectric field from one end, and the photoelectric field irradiates the DUT from one end. In addition, a photodetector for receiving light emitted from the object to be measured and converting it into an electric signal, and a scanning means for relatively scanning the non-contact optical probe and the object to be measured are provided.
【００２３】また、更に本発明の第１５の形態では、本
発明の第１４の形態での開口径について、使用光源が発
する波長よりも小さい開口系であることとした。また、
更に本発明の第１６の形態では、本発明の第１４の形態
での中空の管をする光が透過する物質について、ガラス
素材であることとした。また、更に本発明の第１７の形
態では、導波路部について、液体状の物質を硬化させて
形成したこととした。Furthermore, in the fifteenth aspect of the present invention, the aperture diameter in the fourteenth aspect of the present invention is smaller than the wavelength emitted by the light source used. Also,
Further, in the sixteenth aspect of the present invention, the substance that allows light to pass through the hollow tube in the fourteenth aspect of the present invention is a glass material. Further, in the seventeenth aspect of the present invention, the waveguide section is formed by curing a liquid substance.
【００２４】また、更に本発明の第１８の形態では、導
波路部については、イマージョンオイルまたはエポキシ
系接着剤で形成されていることとした。また、更に本発
明の第１９の形態では、反射膜は、金属物質で形成され
ていることとした。Further, in the eighteenth aspect of the present invention, the waveguide portion is made of immersion oil or an epoxy adhesive. Further, in the nineteenth aspect of the present invention, the reflective film is made of a metal substance.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態例を挙げ
て更に詳しく本発明を説明する。しかし、本発明はここ
で説明する実施の形態に限られるものではない。最初に
図１を用いて本発明の実施の第１の形態を説明する。と
ころで、この図１は、本発明の実施の第１の形態の非接
触式光プローブを示した図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in more detail with reference to the embodiments of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments described here. First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. By the way, FIG. 1 is a diagram showing a non-contact optical probe according to a first embodiment of the present invention.
【００２６】このプローブは、ガラスで出来た中空のマ
イクロピペット１に外側を光の反射率が高い物質である
金属で被覆し、金属被覆２を形成している。この金属被
覆２は、スパッタリング法または真空蒸着法によりマイ
クロピペット１を被覆している。また、被覆する箇所と
しては、マイクロピペット１の外側の表面と、マイクロ
ピペット１の開口部７側の端面にも金属被覆２を施して
いる。この様に開口部のマイクロピペット１の端面に金
属被覆を施すことで、このプローブを用いた近接場光学
顕微鏡に用いた場合、この顕微鏡の横分解能を高くする
ことが出来る。また、マイクロピペット１の開口部７は
光源として使用する波長よりもその直径が小さい形状を
有している。In this probe, a hollow micropipette 1 made of glass is coated on the outside with a metal having a high light reflectance to form a metal coating 2. The metal coating 2 covers the micropipette 1 by a sputtering method or a vacuum deposition method. Further, as a covering portion, the outer surface of the micropipette 1 and the end surface on the opening 7 side of the micropipette 1 are also covered with the metal coating 2. By thus applying the metal coating to the end surface of the micropipette 1 at the opening, the lateral resolution of this microscope can be increased when used in a near-field optical microscope using this probe. Further, the opening 7 of the micropipette 1 has a shape whose diameter is smaller than the wavelength used as the light source.
【００２７】また、本発明の実施の第１の形態では、こ
のマイクロピペット１の内部に、屈折率が少なくとも空
気より大きい透明な物質を充填して、中心導波路３を形
成している。特に本発明の実施の第１の形態では、マイ
クロピペット１を構成しているガラスよりも屈折率の大
きい物質であるエポキシ系接着剤（屈折率：１．６以
上）を充填した。また、他の物質として屈折率１．５〜
１．６のエマージョンオイルなどを充填することでも良
い。In the first embodiment of the present invention, the central waveguide 3 is formed by filling the inside of the micropipette 1 with a transparent substance having a refractive index at least larger than that of air. In particular, in the first embodiment of the present invention, an epoxy adhesive (refractive index: 1.6 or more), which is a substance having a refractive index larger than that of the glass forming the micropipette 1, is filled. Also, as another substance, the refractive index is 1.5 to
It may be filled with 1.6 immersion oil or the like.
【００２８】この様に一端の開口部７が使用光源が発す
る波長よりも小さい開口径を有したマイクロピペット１
を用い、その外側に金属被覆２を施して、マイクロピペ
ット１の内部には、中心導波路３としてエポキシ系接着
剤を充填したプローブを製作した。従来用いていた中空
のマイクロピペットを用いたプローブでは、マイクロピ
ペット１のガラスの部分の屈折率が一番高いため、開口
部７の反対側の端から入射した光はほとんどマイクロピ
ペット１のガラス部中を伝搬してしまった。そのため、
その光は全てが開口部へ到達することができず、開口部
近傍の端面に被覆されている金属被膜２によって再び光
源の方向へ逆戻りする光が発生し、効率よく光を開口部
に到達させることができなかった。As described above, the micropipette 1 whose opening 7 at one end has an opening diameter smaller than the wavelength emitted by the light source used
Was used, a metal coating 2 was applied to the outside thereof, and a probe in which an epoxy adhesive was filled as the central waveguide 3 inside the micropipette 1 was manufactured. In the conventional probe using the hollow micropipette, the glass portion of the micropipette 1 has the highest refractive index, so that most of the light incident from the opposite end of the opening 7 is in the glass portion of the micropipette 1. It has propagated inside. for that reason,
All of the light cannot reach the opening, and the metal film 2 coated on the end face near the opening generates light that returns to the direction of the light source again, so that the light can efficiently reach the opening. I couldn't.
【００２９】しかしながら、上記のようにマイクロピペ
ット１の内部に空気よりも高い屈折率を有する透明な物
質を封入することで、光電場のほとんどを中心導波路３
中にとじこめることができるようになったので、効率良
く光源からの光を開口部に到達させることが出来た。よ
って、この本発明の実施の第１の形態でのプローブを用
いることで、開口部から発生する光電場（エバネッセン
ト波）の強度を強くすることが出来た。However, by enclosing a transparent substance having a refractive index higher than that of air in the inside of the micropipette 1 as described above, most of the optical field is converted into the central waveguide 3.
Since it can be confined inside, the light from the light source can efficiently reach the opening. Therefore, by using the probe according to the first embodiment of the present invention, the intensity of the photoelectric field (evanescent wave) generated from the opening can be increased.
【００３０】次に、本発明の実施の第１の形態であるプ
ローブを製造する実施の形態を本発明の実施の第２の形
態として説明する。本発明の実施の第２の形態であるプ
ローブの製造方法は、以下に示す手順で製作した。最初
に、プローブを形成するマイクロピペットを製作するた
めに、パイレックスガラスや石英ガラスなどで出来た中
空のガラス管の一部を加熱し、軸方向に引っ張る。この
方法は、通常のマイクロピペットの作製法であるが、中
空のガラス管の一部に加熱するときの加熱温度および軸
方向に引っ張るときの力を調節して、開口部が所望の微
小の開口径を備えているマイクロピペットを得ることが
できる。Next, an embodiment for manufacturing the probe which is the first embodiment of the present invention will be described as a second embodiment of the present invention. The probe manufacturing method according to the second embodiment of the present invention was manufactured by the following procedure. First, in order to manufacture a micropipette that forms a probe, a hollow glass tube made of Pyrex glass, quartz glass, or the like is heated and pulled in the axial direction. This method is a normal method for producing a micropipette, but the heating temperature for heating a part of a hollow glass tube and the force for pulling in the axial direction are adjusted so that the opening has a desired minute opening. A micropipette with a bore can be obtained.
【００３１】マイクロピペットが完成したら、次に真空
蒸着装置に作製したマイクロピペットを載置して、マイ
クロピペットの外周を金属被覆するための工程に入る。
この工程では、被覆する金属素材を蒸発源に載置し、こ
の金属素材を溶融・蒸発させて、マイクロピペットの外
周に金属被覆を形成した。この時、蒸発した金属素材が
マイクロピペットの開口部を塞がないようにするため、
蒸発した金属が飛散して行く方向に対して、マイクロピ
ペットの軸方向がほぼ直交するように配置した、更にマ
イクロピペットの微小な開口径を有した開口部側を蒸発
源に近くなるように設置するとマイクロピペットの微小
な開口径を有する開口部がふさがり難くなる。After the micropipette is completed, the prepared micropipette is placed on the vacuum vapor deposition apparatus, and the process for metallizing the outer periphery of the micropipette is started.
In this step, the metal material to be coated was placed on the evaporation source, and this metal material was melted and evaporated to form a metal coating on the outer periphery of the micropipette. At this time, in order to prevent the evaporated metal material from blocking the opening of the micropipette,
Arranged so that the axial direction of the micropipette is substantially orthogonal to the direction in which the evaporated metal is scattered, and the opening side of the micropipette, which has a minute opening diameter, is installed close to the evaporation source. Then, it becomes difficult to close the opening of the micropipette having a small opening diameter.
【００３２】金属被覆されたマイクロピペットが完成し
たら、次に中心導波路を形成する行程を行う。微小な開
口径を有する開口部を充填液に浸す。そして、充填液を
マイクロピペットの中空の内部に導入する導入方法は、
毛細管現象を利用して導入する。このマイクロピペット
は微小な開口径を有する開口部を持っているため、この
毛細管現象が発生しやすい。従って、微小な開口径を有
する開口部を充填液に浸すことによって、簡単にマイク
ロピペットの中空の内部に導入することができる。After the metal-coated micropipette is completed, the step of forming the central waveguide is performed next. An opening having a minute opening diameter is immersed in the filling liquid. And the introduction method of introducing the filling liquid into the hollow inside of the micropipette is
It is introduced by utilizing the capillary phenomenon. Since this micropipette has an opening having a minute opening diameter, this capillary phenomenon is likely to occur. Therefore, by immersing the opening having a minute opening diameter in the filling liquid, it can be easily introduced into the hollow inside of the micropipette.
【００３３】ところで、この充填液については、光源の
発する光の波長域に置いて透明な物質であれば、多少な
りとも効果はあるが、本発明の実施の第２の形態では、
マイクロピペットの材質よりも大きい屈折率を有するエ
ポキシ系接着剤（屈折率が１．５以上）を用いた。ま
た、このプローブの使用中に充填液が開口部からしみ出
すのを防ぐため、充填液としては何らかの方法で硬化で
きる物質が好ましく、その点で本発明の実施の第２の形
態では、エポキシ系接着剤を用いた。また、他に挙げら
れる充填液としては、光を照射することによって硬化す
る物質、加熱することで硬化する物質、または液だれが
起きにくいイマージョンオイルなどを用いることでも構
わない。By the way, the filling liquid is somewhat effective as long as it is a transparent substance in the wavelength range of the light emitted from the light source, but in the second embodiment of the present invention,
An epoxy adhesive (refractive index of 1.5 or more) having a refractive index higher than that of the material of the micropipette was used. In order to prevent the filling liquid from seeping through the opening during use of the probe, the filling liquid is preferably a substance that can be cured by any method. In that respect, in the second embodiment of the present invention, the epoxy-based material is used. An adhesive was used. In addition, as the other filling liquid, a substance that is cured by irradiation with light, a substance that is cured by heating, or an immersion oil that does not easily drip may be used.
【００３４】また、充填液として用いたエポキシ系接着
剤が大きい粘性を持っていて毛細管現象が起こりにくい
場合があるときは、マイクロピペット及び充填液を摂氏
５０〜７０度に加熱し、粘性を小さくして作業を行えば
良い。次に、用いた充填液が硬化可能な場合は、所定の
方法で中心導波路に導入された充填液を硬化する工程を
行う。When the epoxy adhesive used as the filling liquid has a large viscosity and the capillary phenomenon is unlikely to occur, the micropipette and the filling liquid are heated to 50 to 70 degrees Celsius to reduce the viscosity. And then work. Next, when the used filling liquid is curable, a step of curing the filling liquid introduced into the central waveguide by a predetermined method is performed.
【００３５】本発明の実施の第２の形態では、摂氏８０
〜１００度の温度で加熱して硬化を行う。この様にし
て、このプローブを使用中に液だれの発生を阻止するこ
とができた。以上の本発明の実施の第２形態で製作され
たプローブ及び本発明の実施の第１の形態のプローブで
は、開口部から発生する光電場の強度大きくすることが
できた。In the second embodiment of the present invention, the temperature is 80 degrees Celsius.
Curing is performed by heating at a temperature of -100 degrees. In this way it was possible to prevent dripping during use of this probe. In the probe manufactured according to the second embodiment of the present invention and the probe according to the first embodiment of the present invention, the intensity of the photoelectric field generated from the opening can be increased.
【００３６】以上のプローブでは、微小な開口径を有す
る開口部とは反対側から光を導入した場合、一端に微小
な開口径を有した開口部を有した中空のマイクロピペッ
トを金属被覆しただけのプローブに比べ、更に屈折率
１．６の透明なエポキシ系接着剤を充填し加熱硬化させ
たプローブは、強い光電場を発生させることができた。
従って、このプローブを走査型近接場顕微鏡のプローブ
として用いることで、Ｓ／Ｎ比の高い走査型近接場顕微
鏡が得られるようになった。In the above probe, when light is introduced from the side opposite to the opening having a minute opening diameter, a hollow micropipette having an opening having a minute opening diameter is simply metal-coated at one end. Compared with the probe No. 1, the probe filled with a transparent epoxy adhesive having a refractive index of 1.6 and cured by heating was able to generate a strong photoelectric field.
Therefore, by using this probe as a probe for a scanning near-field microscope, a scanning near-field microscope with a high S / N ratio can be obtained.
【００３７】この様にＳ／Ｎ比の高い走査型近接場顕微
鏡を用いることで、観測点１点当たりの観測短縮をさせ
ることができ、高速で試料表面を観察することができる
ようになった。次に、上記本発明の実施の第１の形態お
よび本発明の実施の第２の形態で作製されたプローブを
用いた光記録再生装置を本発明の実施の第３の形態とし
て説明する。By using the scanning near-field microscope having a high S / N ratio as described above, the observation per observation point can be shortened, and the sample surface can be observed at high speed. . Next, an optical recording / reproducing apparatus using the probe manufactured in the first embodiment of the present invention and the second embodiment of the present invention will be described as a third embodiment of the present invention.
【００３８】本発明の実施の第３の形態である光記録再
生装置を図２に示す。この光記録再生装置は、Ｌ字型の
形状を有した支持台２１に固定された図示していないモ
ーターによりターンテーブル２２を回転している。この
ターンテーブル２２は光記録媒体２３を載置できるよう
になっており、このターンテーブル２２が回転すること
により光記録媒体２３も回転することができる。また、
この支持台２１には、図２に示すようにプローブ２７を
支持するＸ軸アーム２５が固定されている。このＸ軸ア
ーム２５は、光記録媒体２３の直径方向に伸縮すること
ができる。このＸ軸アーム２５を駆動することでプロー
ブを光記録媒体２３の任意の場所に移動することが出来
る。FIG. 2 shows an optical recording / reproducing apparatus according to the third embodiment of the present invention. In this optical recording / reproducing apparatus, a turntable 22 is rotated by a motor (not shown) fixed to a support 21 having an L-shape. An optical recording medium 23 can be placed on the turntable 22, and when the turntable 22 rotates, the optical recording medium 23 can also rotate. Also,
An X-axis arm 25 that supports the probe 27 is fixed to the support base 21 as shown in FIG. The X-axis arm 25 can expand and contract in the diameter direction of the optical recording medium 23. By driving the X-axis arm 25, the probe can be moved to an arbitrary position on the optical recording medium 23.
【００３９】ところで、このＸ軸アームには、プローブ
２７を支持しかつプローブ２７の光記録媒体２３に対し
て垂直方向に駆動するための垂直調節機構２６が固定さ
れている。この垂直調節機構２６を駆動することによっ
て、プローブの先端と光記録媒体との距離を調節するこ
とができる。また、この垂直調整機構２６には、受光素
子支持部材２９が固定されており、この受光素子支持部
材２９にはフォトディテクター２８が固定されている。
また、このフォトディテクター２８の入射面には図示さ
れていない光学系が備えられており、この光学系も垂直
調整機構２６に固定されている。またプローブ２７につ
いては、本発明の実施の第１の形態の比接触式プローブ
を用いた。このプローブは、微小な開口径を有した開口
部を光記録媒体２３側になるように固定されている。ま
た、その開口部とは他端側には光ファイバーが接続され
ている。この光ファイバーは発光手段２４に接続されて
いる。この発光手段２４は、半導体レーザーと光変調器
から構成され、発光手段制御手段２３０によって駆動・
制御されている。By the way, a vertical adjusting mechanism 26 for supporting the probe 27 and driving the probe 27 in the vertical direction with respect to the optical recording medium 23 is fixed to the X-axis arm. By driving the vertical adjustment mechanism 26, the distance between the tip of the probe and the optical recording medium can be adjusted. A light receiving element support member 29 is fixed to the vertical adjusting mechanism 26, and a photo detector 28 is fixed to the light receiving element support member 29.
An optical system (not shown) is provided on the incident surface of the photodetector 28, and this optical system is also fixed to the vertical adjustment mechanism 26. As the probe 27, the specific contact probe of the first embodiment of the present invention was used. This probe is fixed so that the opening having a minute opening diameter is on the optical recording medium 23 side. An optical fiber is connected to the other end of the opening. This optical fiber is connected to the light emitting means 24. The light emitting means 24 is composed of a semiconductor laser and an optical modulator, and is driven by the light emitting means control means 230.
Is controlled.
【００４０】ところで、光記録媒体から放出された光
は、フォトディテクター２８で受光されて電気信号に変
えられ、コンパレーター（比較器）２３１に入力され
る。このコンパレーター２３１でフォトディテクター２
８からの信号を２値化し、デジタル信号に変換して制御
手段２３３に入力される。また、Ｘ軸アーム２５および
垂直調整機構の制御は駆動制御手段２３２によって制御
されている。また、駆動制御手段２３２から制御手段２
３３へは、プローブの光記録媒体に対する現在位置を示
す信号を出力する。そして、制御手段ではコンパレータ
ー２３１から出力された光記録媒体２３２から放出され
た光に関する信号によって、光記録媒体に記録された信
号が入力され、また駆動制御手段２３２からの位置に関
する信号と共に、光記録媒体に記録された信号を読み出
しバッハァ２３４に出力する。The light emitted from the optical recording medium is received by the photodetector 28, converted into an electric signal, and input to the comparator (comparator) 231. With this comparator 231, the photo detector 2
The signal from 8 is binarized, converted into a digital signal and input to the control means 233. The drive control means 232 controls the X-axis arm 25 and the vertical adjustment mechanism. In addition, from the drive control means 232 to the control means 2
A signal indicating the current position of the probe with respect to the optical recording medium is output to 33. Then, in the control means, the signal recorded in the optical recording medium is input by the signal related to the light emitted from the optical recording medium 232 output from the comparator 231, and the signal related to the position is output from the drive control means 232 together with the optical signal. The signal recorded on the recording medium is read out and output to the buffer 234.
【００４１】また、光記録媒体に記録時は、図示されて
いない入力手段で記録したい情報が制御手段２３３に入
力される。そして、制御手段２３３からは駆動制御手段
２３２へ所望の記録される光記録媒体の位置に関する信
号が出力され、また制御手段２３３から発光手段制御手
段２３０でプローブ２８へ入射される光の変調が行われ
る。そしてプローブ２８の位置に応じて、微小な開口径
を有する開口部から変調された光電場が発生し、光記録
媒体に記録される。Further, at the time of recording on the optical recording medium, the information to be recorded is inputted to the control means 233 by an input means (not shown). Then, the control means 233 outputs a signal relating to the position of the desired optical recording medium to be recorded to the drive control means 232, and the light emission means control means 230 from the control means 233 modulates the light incident on the probe 28. Be seen. Then, depending on the position of the probe 28, a modulated photoelectric field is generated from the opening having a minute opening diameter, and is recorded on the optical recording medium.
【００４２】ところで、光記録媒体の記録再生時には常
に制御手段２３３によって図示されていないターンテー
ブルを駆動するモーターを制御している。以上のような
光記録再生装置では、使用したプローブの分解能が非常
に高いため高密度で記録再生を行うことが出来、かつ強
い強度を発するため、光記録媒体へ必要な記録するため
の光量および光記録媒体から読みとるための光量が非常
に短時間で稼ぐことが出来、非常に短時間で記録再生が
可能となった。By the way, at the time of recording / reproducing of the optical recording medium, the control means 233 always controls the motor for driving the turntable (not shown). In the above optical recording / reproducing apparatus, since the resolution of the probe used is very high, recording / reproducing can be performed at a high density, and strong intensity is emitted. Therefore, the amount of light necessary for recording on the optical recording medium and The amount of light for reading from the optical recording medium can be earned in a very short time, and recording and reproduction can be performed in a very short time.
【００４３】[0043]
【発明の効果】本発明では、以上に説明した様に、高屈
折率物質を内部に封入したことで、開口径の大小によら
ず高い強度を発生する非接触式プローブができた。この
様に強度が大きくなるため、このプローブによる分解能
を向上することが出来、かつこのプローブを用いた装置
の作業時間を短縮することが出来た。特に、光記録再生
装置に用いることで非常に高分解能でかつ読み込みまた
は書き込み時間を短縮することができる。As described above, according to the present invention, by encapsulating the high refractive index substance inside, a non-contact type probe capable of generating high strength regardless of the size of the opening diameter can be obtained. Since the strength is increased in this way, the resolution by this probe can be improved and the working time of the apparatus using this probe can be shortened. In particular, by using it in an optical recording / reproducing apparatus, the reading or writing time can be shortened with a very high resolution.
【図１】：本発明の実施の第１形態の非接触式プローブ
を示した図である。FIG. 1 is a diagram showing a non-contact type probe according to a first embodiment of the present invention.
【図２】：本発明の実施の第３の形態の光記録再生装置
を示した図である。FIG. 2 is a diagram showing an optical recording / reproducing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図３】：従来の非接触式光プローブを用いた走査型近
接場顕微鏡の概略図である。FIG. 3 is a schematic view of a scanning near-field microscope using a conventional non-contact optical probe.
【図４】：従来の非接触式光プローブを用いた光記録再
生装置を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing an optical recording / reproducing apparatus using a conventional non-contact optical probe.
【図５】：従来の非接触式光プローブを示した図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing a conventional non-contact type optical probe.
【図６】：従来の非接触式光プローブを示した図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a conventional non-contact optical probe.
１ マイクロピペット ２ 金属被膜 ３ 中心導波路 ７ 開口部 ２１ 支持台 ２２ ターンテーブル ２７ 非接触式光プローブ ２８ 受光手段 ２４ 発光手段 ２５ Ｘ軸アーム ２６ 垂直調整機構 ２３０ 発光手段制御手段 ２３１ コンパレーター ２３２ 駆動装置制御手段 ２３３ 制御手段 ２３６ 垂直調整機構 ３１ 基台 ３２ 支柱 ３３ ステージ ３４ 被測定物 ３５ 先端アーム部 ３６ 垂直調整機構 ３７ 開口 ３８ プローブ ３９ センサー ３９１ 光ファイバー ３９２ 光検出器 ４１ 光記憶媒体 ４２ アーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Micropipette 2 Metal coating 3 Central waveguide 7 Opening 21 Support stand 22 Turntable 27 Non-contact optical probe 28 Light receiving means 24 Light emitting means 25 X-axis arm 26 Vertical adjustment mechanism 230 Light emitting means controlling means 231 Comparator 232 Driving device Control means 233 Control means 236 Vertical adjustment mechanism 31 Base 32 Strut 33 Stage 34 Object to be measured 35 Tip arm portion 36 Vertical adjustment mechanism 37 Opening 38 Probe 39 Sensor 391 Optical fiber 392 Photodetector 41 Optical storage medium 42 Arm
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１１Ｂ 7/22 Ｇ１１Ｂ 7/22 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location G11B 7/22 G11B 7/22
Claims (18)
透過する物質で形成された中空の管と、 前記中空の管の外面に形成され、前記中空の管の内部を
伝搬する光を内面で反射する反射膜と、 前記中空の管の内部に有し、光が透過し前記中空の管を
形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形成され
た導波路部とを備えたことを特徴とする非接触式光プロ
ーブ1. A hollow tube having a very small opening diameter at one end and formed of a substance that transmits light, and a hollow tube formed on an outer surface of the hollow tube and propagating inside the hollow tube. A reflection film that reflects light on the inner surface; and a waveguide section that is formed inside the hollow tube and that is formed of a substance that transmits light and has a higher refractive index than the substance that forms the hollow tube. Non-contact type optical probe characterized by
りも小さい開口系であることを特徴とする請求項１記載
の非接触式光プローブ2. The non-contact type optical probe according to claim 1, wherein the aperture diameter is an aperture system smaller than the wavelength emitted by the light source used.
は、ガラス素材であることを特徴とする請求項１記載の
非接触式光プローブ3. The non-contact type optical probe according to claim 1, wherein the substance forming the hollow tube and transmitting light is a glass material.
せて形成したことを特徴とする請求項１、２または３記
載の非接触式プローブ4. The non-contact probe according to claim 1, wherein the waveguide portion is formed by curing a liquid substance.
たはエポキシ系接着剤で形成されていることを特徴とす
る請求項４記載の非接触式光プローブ5. The non-contact type optical probe according to claim 4, wherein the waveguide portion is formed of immersion oil or an epoxy adhesive.
ることを特徴とする請求項１記載の非接触式光プローブ6. The non-contact type optical probe according to claim 1, wherein the reflective film is made of a metal material.
過する物質で形成された中空の管の前記一端を、光が透
過し前記中空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有
し経時的に硬化する液体状の透明の導波路部形成物質に
浸し、 前記導波路部形成物質を毛細管現象により前記一端から
前記中空の管の内部に導入し、 前記中空の管の内部に導入された前記導波路部形成物質
を硬化させて非接触式光プローブを製造することを特徴
とする非接触式光プローブの製造方法7. A refractive index higher than that of a substance that transmits light to form the hollow tube through the one end of a hollow tube formed of a substance that has a very small opening diameter and transmits light. Is immersed in a liquid transparent waveguide portion forming substance that hardens with time, and the waveguide portion forming substance is introduced into the inside of the hollow tube from the one end by a capillary phenomenon, and the inside of the hollow tube A method for producing a non-contact type optical probe, characterized in that the non-contact type optical probe is produced by curing the material for forming a waveguide portion introduced into
オイルまたはエポキシ系接着剤であることを特徴とする
請求項７記載の非接触式光プローブの製造方法8. The method for manufacturing a non-contact optical probe according to claim 7, wherein the material for forming the waveguide portion is an immersion oil or an epoxy adhesive.
形成された中空の管と、前記中空の管の外面に形成さ
れ、前記中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射させ
る反射膜と、前記中空の管の内部で、光が透過し前記中
空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で
形成された導波路部とを備え、他端の開口部から光源の
光を入射して、前記一端から記録媒体へ記録または読み
とりのための光電場を照射する非接触式光プローブと、 前記一端から前記記録媒体へ前記光電場が照射され、前
記記録媒体から放射された光を受光して電気信号に変換
する光検出部とを備えたことを特徴とする光記録再生装
置9. A light source, a hollow tube having a very small opening diameter at one end and formed of a substance that transmits light, and an inside of the hollow tube formed on an outer surface of the hollow tube. A reflection film for reflecting the light propagating on the inner surface, and a waveguide portion formed of a substance having a higher refractive index than the substance that transmits light and forms the hollow pipe inside the hollow pipe. A non-contact optical probe, which includes light from a light source through an opening at the other end and irradiates a recording medium with a photoelectric field for recording or reading from the one end; and the photoelectric field from the one end to the recording medium. Optical recording / reproducing device, which is provided with a photodetector for receiving light emitted from the recording medium and converting it into an electric signal.
させて形成したことを特徴とする請求項９記載の光記録
再生装置10. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 9, wherein the waveguide portion is formed by curing a liquid substance.
またはエポキシ系接着剤で形成されていることを特徴と
する請求項１０記載の光記録再生装置11. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 10, wherein the waveguide portion is formed of immersion oil or an epoxy adhesive.
記プローブを駆動することのできる駆動手段を備えたこ
とを特徴とする請求項９記載の光記録再生装置12. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 9, further comprising drive means for supporting the non-contact type optical probe and capable of driving the probe.
形成された中空の管と、前記中空の管の外面に形成さ
れ、前記中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射させ
る反射膜と、前記中空の管の内部で光が透過し前記中空
の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形
成された導波路部とを備え、他端の開口部から光源の光
を入射して、前記一端から被測定物に光電場を照射する
非接触式光プローブと、 前記一端から前記被測定物へ前記光電場が照射され、前
記被測定物から放射された光を受光して電気信号に変換
する光検出部と、 前記非接触式光プローブと前記被測定物とを相対的に走
査する走査手段とを備えたことを特徴とする走査型近接
場顕微鏡13. A light source, a hollow tube having a very small opening diameter at one end and formed of a substance that transmits light, and an inside of the hollow tube formed on an outer surface of the hollow tube. A reflection film that reflects light propagating through the inner surface of the hollow tube, and a waveguide section formed of a substance having a higher refractive index than the substance that transmits the light inside the hollow tube and forms the hollow tube. , A non-contact type optical probe that irradiates light from a light source through an opening at the other end and irradiates a measured electric field from the one end with the photoelectric field, and the photoelectric field is irradiated from the one end to the measured object, and A light detector for receiving light emitted from the object to be measured and converting it into an electric signal; and a scanning means for relatively scanning the non-contact optical probe and the object to be measured. Scanning near-field microscope
よりも小さい開口系であることを特徴とする請求項１３
記載の走査型近接場顕微鏡14. The aperture system according to claim 13, wherein the aperture diameter is smaller than the wavelength emitted by the light source used.
Scanning near-field microscope described
質は、ガラス素材であることを特徴とする請求項１３記
載の走査型近接場顕微鏡15. The scanning near-field microscope according to claim 13, wherein the substance forming the hollow tube and transmitting light is a glass material.
させて形成したことを特徴とする請求項１３、１４また
は１５記載の走査型近接場顕微鏡16. The scanning near-field microscope according to claim 13, 14 or 15, wherein the waveguide portion is formed by curing a liquid substance.
またはエポキシ系接着剤で形成されていることを特徴と
する請求項１６記載の走査型近接場顕微鏡17. The scanning near field microscope according to claim 16, wherein the waveguide portion is formed of immersion oil or an epoxy adhesive.
いることを特徴とする請求項１３記載の走査型近接場顕
微鏡18. The scanning near field microscope according to claim 13, wherein the reflective film is made of a metal material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8000807A JPH09184930A (en) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | Noncontact type optical probe and its manufacture, and recording and reproducing device or scanning type proximity field microscope using the probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8000807A JPH09184930A (en) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | Noncontact type optical probe and its manufacture, and recording and reproducing device or scanning type proximity field microscope using the probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09184930A true JPH09184930A (en) | 1997-07-15 |
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ID=11483962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8000807A Pending JPH09184930A (en) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | Noncontact type optical probe and its manufacture, and recording and reproducing device or scanning type proximity field microscope using the probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09184930A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000072076A1 (en) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Brugger Juergen | Probe tip that is transparent to light and method for producing the same |
| US6331047B1 (en) | 1998-06-05 | 2001-12-18 | Seiko Instruments Inc. | Ink recording head and ink injecting method using ink recording head |
| JP2002532733A (en) * | 1998-12-06 | 2002-10-02 | アーロン・ルイス | Optical fiber and unique micropipette with lens formed with aperture in sub-wavelength range |
| US6600856B1 (en) * | 1998-12-06 | 2003-07-29 | Nanoptics, Ltd. | Lensed optical fibers and unique micropipettes with subwavelength apertures |
| US6930975B2 (en) | 2002-06-27 | 2005-08-16 | Fujitsu Limited | Optical irradiation head and information recording/reproducing device |
| WO2005112014A1 (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Fujitsu Limited | Light projecting head, information storage device, light projection head designing device, and light projection head designing program |
-
1996
- 1996-01-08 JP JP8000807A patent/JPH09184930A/en active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6331047B1 (en) | 1998-06-05 | 2001-12-18 | Seiko Instruments Inc. | Ink recording head and ink injecting method using ink recording head |
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| US6600856B1 (en) * | 1998-12-06 | 2003-07-29 | Nanoptics, Ltd. | Lensed optical fibers and unique micropipettes with subwavelength apertures |
| JP4778616B2 (en) * | 1998-12-06 | 2011-09-21 | アーロン・ルイス | Optical fiber and unique micropipette with lens with subwavelength aperture |
| WO2000072076A1 (en) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Brugger Juergen | Probe tip that is transparent to light and method for producing the same |
| DE19923444C2 (en) * | 1999-05-21 | 2003-01-02 | J Brugger | Process for the production of a light-transparent probe tip |
| US6930975B2 (en) | 2002-06-27 | 2005-08-16 | Fujitsu Limited | Optical irradiation head and information recording/reproducing device |
| WO2005112014A1 (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Fujitsu Limited | Light projecting head, information storage device, light projection head designing device, and light projection head designing program |
| US7304916B2 (en) | 2004-05-14 | 2007-12-04 | Fujitsu Limited | Optical head, information storage apparatus, optical head design apparatus, and optical head design program storage medium |
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