JPH09179043A - 位置合せ光学系の可変減光方法 - Google Patents
位置合せ光学系の可変減光方法Info
- Publication number
- JPH09179043A JPH09179043A JP35093695A JP35093695A JPH09179043A JP H09179043 A JPH09179043 A JP H09179043A JP 35093695 A JP35093695 A JP 35093695A JP 35093695 A JP35093695 A JP 35093695A JP H09179043 A JPH09179043 A JP H09179043A
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- JP
- Japan
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- substrates
- polarizing plate
- light
- ccd camera
- substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ２種類の基板のうち一方の基板の反射率が大
きいとき、一方の基板の反射光を簡易な方法により連続
的に減光する。 【解決手段】 光源61の照明光ＬT をランダム偏光光と
し、光源61と両基板１，２の間に挿入され、偏光角が回
転可能な第１の偏光板67と、両基板とＣＣＤカメラ65の
間に挿入され、偏光角が一定方向に設定された第２の偏
光板68とを設け、両基板１，２の一方の反射率が大きく
て、その反射光によりＣＣＤカメラ65の画像信号が飽和
するとき、第１の偏光板67の偏光角の回転により照明光
ＬT の偏光角を調整して、第２の偏光板68を透過する反
射光を適切に減光する。 【効果】 ＣＣＤカメラ65の飽和が防止されて、両基板
１，２の位置合せが正確になされる。
きいとき、一方の基板の反射光を簡易な方法により連続
的に減光する。 【解決手段】 光源61の照明光ＬT をランダム偏光光と
し、光源61と両基板１，２の間に挿入され、偏光角が回
転可能な第１の偏光板67と、両基板とＣＣＤカメラ65の
間に挿入され、偏光角が一定方向に設定された第２の偏
光板68とを設け、両基板１，２の一方の反射率が大きく
て、その反射光によりＣＣＤカメラ65の画像信号が飽和
するとき、第１の偏光板67の偏光角の回転により照明光
ＬT の偏光角を調整して、第２の偏光板68を透過する反
射光を適切に減光する。 【効果】 ＣＣＤカメラ65の飽和が防止されて、両基板
１，２の位置合せが正確になされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、重ね合わされた
２種類の基板に対する位置合せ光学系の照明光を、連続
的に減光する可変減光方法に関する。
２種類の基板に対する位置合せ光学系の照明光を、連続
的に減光する可変減光方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この発明が対象とする２種類の基板の例
として、ＬＣＤ（液晶パネル）の構成要素のカラーフィ
ルタ（基板）とＴＦＴ基板を説明する。図２はカラーフ
ィルタ基板１とＴＦＴ基板２を示し、(a) において、基
板１は方形のガラス基板の表面に多数の微小なカラー画
素がマトリックス状に配列され、その周辺の対向する２
隅には位置合せマーク（以下単にマーク）ＭC1とＭC2が
配置されている。基板２は、ガラス基板の表面に、各カ
ラー画素に対応するＴＦＴ素子が配列され、その周辺の
２隅には、上記のマークＭC1，ＭC2に対応するマークＭ
T1，ＭT2が配置されている。両マークＭC,ＭT は、例え
ば図示のように正方形とし、Ｍｃに比較してＭT は小さ
くされている。これらの両基板１，２は、(b) に示すよ
うに、微小なギャップＧをなして重ね合わして位置合せ
した後、シール剤Ｓにより４辺を固定し、ギャップＧに
ＬＣ（液晶）を注入してカラー液晶パネルに使用され
る。
として、ＬＣＤ（液晶パネル）の構成要素のカラーフィ
ルタ（基板）とＴＦＴ基板を説明する。図２はカラーフ
ィルタ基板１とＴＦＴ基板２を示し、(a) において、基
板１は方形のガラス基板の表面に多数の微小なカラー画
素がマトリックス状に配列され、その周辺の対向する２
隅には位置合せマーク（以下単にマーク）ＭC1とＭC2が
配置されている。基板２は、ガラス基板の表面に、各カ
ラー画素に対応するＴＦＴ素子が配列され、その周辺の
２隅には、上記のマークＭC1，ＭC2に対応するマークＭ
T1，ＭT2が配置されている。両マークＭC,ＭT は、例え
ば図示のように正方形とし、Ｍｃに比較してＭT は小さ
くされている。これらの両基板１，２は、(b) に示すよ
うに、微小なギャップＧをなして重ね合わして位置合せ
した後、シール剤Ｓにより４辺を固定し、ギャップＧに
ＬＣ（液晶）を注入してカラー液晶パネルに使用され
る。
【０００３】図３は両基板１，２に対する重ね合わせ装
置１０の構成を示し、以下その動作を説明する。図３に
おいて、ＴＦＴ基板２は、下ステージ４の上面に、その
４隅に設けた位置決め具41a 〜41d により位置決めされ
て吸着され、またカラーフィルタ基板１は、上ステージ
５の下面に上記と同様に位置決めされて吸着される。両
基板１，２の４辺にシール剤Ｓを塗布し、上ステージ５
を下降して基板１を基板２に重ね合わせて仮固定する。
この仮固定では、対応する両マークＭC とＭT は、付図
(イ) のように、故意にＸ方向に微小距離Δｘだけ離間し
た状態とされる。上ステージ５の２隅には丸孔51a,51b
が穿孔され、それぞれの上部には２組の位置合せ光学系
６（Ａ),６（Ｂ) が設けられる。
置１０の構成を示し、以下その動作を説明する。図３に
おいて、ＴＦＴ基板２は、下ステージ４の上面に、その
４隅に設けた位置決め具41a 〜41d により位置決めされ
て吸着され、またカラーフィルタ基板１は、上ステージ
５の下面に上記と同様に位置決めされて吸着される。両
基板１，２の４辺にシール剤Ｓを塗布し、上ステージ５
を下降して基板１を基板２に重ね合わせて仮固定する。
この仮固定では、対応する両マークＭC とＭT は、付図
(イ) のように、故意にＸ方向に微小距離Δｘだけ離間し
た状態とされる。上ステージ５の２隅には丸孔51a,51b
が穿孔され、それぞれの上部には２組の位置合せ光学系
６（Ａ),６（Ｂ) が設けられる。
【０００４】図４は、両位置合せ光学系６（Ａ),（Ｂ)
の構成を示す。光源61よりの照明光ＬT は、照明レンズ
系62によりコリメートされてハーフミラー63により反射
され、丸孔51a,51b を通して、マーク（ＭC1，ＭT1）
と、マーク（ＭC2，ＭT2）とを照明し、それぞれの映像
を対物レンズ64により拡大してＣＣＤカメラ65により撮
像し、それぞれの画像信号を出力する。再び図３におい
て、位置合せ光学系６（Ａ) のＣＣＤカメラ65の画像信
号は、画像処理部７の画像処理回路71により処理され
て、(イ) に示す、ＭC1の中心ＯのＸＹ座標（ｘ1,ｙ1)
と、ＭT1の中心Ｏ’のＸＹ座標（ｘ1', ｙ1') とが算出
され、位置合せ光学系６（Ｂ) の画像信号も同様処理さ
れて、ＭC2の中心ＯのＸＹ座標（ｘ2,ｙ2)と、ＭT1の中
心Ｏ’のＸＹ座標（ｘ2', ｙ2') とが算出される。これ
ら４組のＸＹ座標値は、制御回路72に渡され、これが出
力する制御信号により移動機構３を動作させて基板２を
ＸまたはＹ移動し、またはθ回転して、マークＭC1とＭ
T1、およびマークＭC2とＭT2とが、それぞれ位置合せさ
れ、これが終了するとシール剤Ｓにより両基板１と２は
本固定される。
の構成を示す。光源61よりの照明光ＬT は、照明レンズ
系62によりコリメートされてハーフミラー63により反射
され、丸孔51a,51b を通して、マーク（ＭC1，ＭT1）
と、マーク（ＭC2，ＭT2）とを照明し、それぞれの映像
を対物レンズ64により拡大してＣＣＤカメラ65により撮
像し、それぞれの画像信号を出力する。再び図３におい
て、位置合せ光学系６（Ａ) のＣＣＤカメラ65の画像信
号は、画像処理部７の画像処理回路71により処理され
て、(イ) に示す、ＭC1の中心ＯのＸＹ座標（ｘ1,ｙ1)
と、ＭT1の中心Ｏ’のＸＹ座標（ｘ1', ｙ1') とが算出
され、位置合せ光学系６（Ｂ) の画像信号も同様処理さ
れて、ＭC2の中心ＯのＸＹ座標（ｘ2,ｙ2)と、ＭT1の中
心Ｏ’のＸＹ座標（ｘ2', ｙ2') とが算出される。これ
ら４組のＸＹ座標値は、制御回路72に渡され、これが出
力する制御信号により移動機構３を動作させて基板２を
ＸまたはＹ移動し、またはθ回転して、マークＭC1とＭ
T1、およびマークＭC2とＭT2とが、それぞれ位置合せさ
れ、これが終了するとシール剤Ｓにより両基板１と２は
本固定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の両基板
１，２の表面の反射率には大差がある場合がある。当初
においては、両マークＭC,ＭT はともにＩＴＯ（酸化イ
ンジゥム・錫）を素材とし、これをガラス基板の表面に
蒸着したもので、両者の反射率は同一であったが、最近
では、マークＭT の素材にアルミニゥムまたはクロムな
どの金属が使用され、さらにその上に保護膜がコーティ
ングされているため、ＴＦＴ基板１は反射率が大きく、
これがＣＣＤカメラ66に入射してマークＭT の画像信号
が飽和するので、その座標値の算出が困難となる。そこ
で画像信号の飽和を防止するために、従来は図４に示す
ように、照明レンズ系62とハーフミラー63の間に減光フ
ィルタ66を挿入して照明光ＬT を減光し、画像信号の飽
和が防止されている。しかし基板１の反射率は、マーク
ＭT の素材金属や保護膜の素材の種類に依存して大幅に
変化するので、減光フィルタ66には減光量が段階的に異
なる数個を用意して、基板１の反射率に適するものを差
し替えて使用する方法がとられている。しかしながら、
この方法では減光フィルタ66の差し替えは面倒であり、
また段階的な減光量では中間の微小な光量調整ができな
いなど、欠点がある。この発明は、簡易な手段により、
反射率の大きい基板の反射光を連続的に減光して、ＣＣ
Ｄカメラの画像信号の飽和を防止することを課題とす
る。
１，２の表面の反射率には大差がある場合がある。当初
においては、両マークＭC,ＭT はともにＩＴＯ（酸化イ
ンジゥム・錫）を素材とし、これをガラス基板の表面に
蒸着したもので、両者の反射率は同一であったが、最近
では、マークＭT の素材にアルミニゥムまたはクロムな
どの金属が使用され、さらにその上に保護膜がコーティ
ングされているため、ＴＦＴ基板１は反射率が大きく、
これがＣＣＤカメラ66に入射してマークＭT の画像信号
が飽和するので、その座標値の算出が困難となる。そこ
で画像信号の飽和を防止するために、従来は図４に示す
ように、照明レンズ系62とハーフミラー63の間に減光フ
ィルタ66を挿入して照明光ＬT を減光し、画像信号の飽
和が防止されている。しかし基板１の反射率は、マーク
ＭT の素材金属や保護膜の素材の種類に依存して大幅に
変化するので、減光フィルタ66には減光量が段階的に異
なる数個を用意して、基板１の反射率に適するものを差
し替えて使用する方法がとられている。しかしながら、
この方法では減光フィルタ66の差し替えは面倒であり、
また段階的な減光量では中間の微小な光量調整ができな
いなど、欠点がある。この発明は、簡易な手段により、
反射率の大きい基板の反射光を連続的に減光して、ＣＣ
Ｄカメラの画像信号の飽和を防止することを課題とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決した位置合せ光学系の可変減光方法であって、光
源の照明光をランダム偏光光とし、光源と両基板の間に
挿入され、偏光角が回転可能な第１の偏光板と、両基板
とＣＣＤカメラの間に挿入され、偏光角が一定方向に設
定された第２の偏光板とを設ける。両基板の一方の反射
率が大きくて、その反射光によりＣＣＤカメラの画像信
号が飽和するとき、第１の偏光板の偏光角の回転により
照明光の偏光角を調整し、第２の偏光板を透過するこの
反射光を減光して、画像信号の飽和を防止するものであ
る。
を解決した位置合せ光学系の可変減光方法であって、光
源の照明光をランダム偏光光とし、光源と両基板の間に
挿入され、偏光角が回転可能な第１の偏光板と、両基板
とＣＣＤカメラの間に挿入され、偏光角が一定方向に設
定された第２の偏光板とを設ける。両基板の一方の反射
率が大きくて、その反射光によりＣＣＤカメラの画像信
号が飽和するとき、第１の偏光板の偏光角の回転により
照明光の偏光角を調整し、第２の偏光板を透過するこの
反射光を減光して、画像信号の飽和を防止するものであ
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】上記の可変減光方法においては、
光源と両基板の間に挿入された第１の偏光板は偏光角が
回転可能とするので、ランダム偏光の照明光の偏光角を
連続的に変化することができる。これに対して、両基板
とＣＣＤカメラの間に挿入された第２の偏光板は、偏光
角が一定方向に設定されているので、第１の偏光板の偏
光角を回転することにより、これを透過して反射率の大
きい基板により反射された反射光が、第２の偏光板を透
過すると、その透過光量は、第１と第２の偏光板の偏光
角の差異に応じて連続的に減光して、ＣＣＤカメラの画
像信号の飽和が防止される。
光源と両基板の間に挿入された第１の偏光板は偏光角が
回転可能とするので、ランダム偏光の照明光の偏光角を
連続的に変化することができる。これに対して、両基板
とＣＣＤカメラの間に挿入された第２の偏光板は、偏光
角が一定方向に設定されているので、第１の偏光板の偏
光角を回転することにより、これを透過して反射率の大
きい基板により反射された反射光が、第２の偏光板を透
過すると、その透過光量は、第１と第２の偏光板の偏光
角の差異に応じて連続的に減光して、ＣＣＤカメラの画
像信号の飽和が防止される。
【０００８】
【実施例】図１は、この発明の可変減光方法を適用した
位置合せ光学系６の一実施例の構成を示す。図１におい
て、位置合せ光学系６は、図４における減光フィルタ66
の代わりに、第１の偏光板67を挿入し、また対物レンズ
64とＣＣＤカメラ65の間に、第２の偏光板68を挿入す
る。第１の偏光板67は、適当なホルダー671 に収容し、
ハンドル672 により矢印Ｃのように回転して偏光角を連
続的に変化できる構造とする。第２の偏光板68は、偏光
角を一定方向に設定する。
位置合せ光学系６の一実施例の構成を示す。図１におい
て、位置合せ光学系６は、図４における減光フィルタ66
の代わりに、第１の偏光板67を挿入し、また対物レンズ
64とＣＣＤカメラ65の間に、第２の偏光板68を挿入す
る。第１の偏光板67は、適当なホルダー671 に収容し、
ハンドル672 により矢印Ｃのように回転して偏光角を連
続的に変化できる構造とする。第２の偏光板68は、偏光
角を一定方向に設定する。
【０００９】以上の構成により、光源61の照明光ＬT は
ランダム偏光とし、これが照明レンズ系62を経て第１の
偏光板67により、その偏光角に相当する偏光成分が選択
され、ハーフミラー63により反射されて両基板１，２を
照明し、それぞれの反射光は対物レンズ64を経て第２の
偏光板68により、両偏光板67,68 の偏光角の差異に応じ
て連続的に減光されてＣＣＤカメラに入力する。いま基
板２の反射率が大きいときは、ハンドル671 により第１
の偏光板67の偏光角を回転して、第２の偏光板68の減光
量を調整することにより、ＣＣＤカメラ65のマークＭT
の画像信号は飽和が防止される。これにより、画像処理
回路71による両マークＭC,ＭT の中心Ｏ，Ｏ’の座標値
が正しく算出され、移動機構３によるこれらの位置合せ
が正確になされる。
ランダム偏光とし、これが照明レンズ系62を経て第１の
偏光板67により、その偏光角に相当する偏光成分が選択
され、ハーフミラー63により反射されて両基板１，２を
照明し、それぞれの反射光は対物レンズ64を経て第２の
偏光板68により、両偏光板67,68 の偏光角の差異に応じ
て連続的に減光されてＣＣＤカメラに入力する。いま基
板２の反射率が大きいときは、ハンドル671 により第１
の偏光板67の偏光角を回転して、第２の偏光板68の減光
量を調整することにより、ＣＣＤカメラ65のマークＭT
の画像信号は飽和が防止される。これにより、画像処理
回路71による両マークＭC,ＭT の中心Ｏ，Ｏ’の座標値
が正しく算出され、移動機構３によるこれらの位置合せ
が正確になされる。
【００１０】上記の実施例は、カラーフィルタ基板１と
ＴＦＴ基板２を対象としたが、これ以外の任意の、反射
率に大差がある２種類の基板の位置合せに適用できるこ
は勿論である。
ＴＦＴ基板２を対象としたが、これ以外の任意の、反射
率に大差がある２種類の基板の位置合せに適用できるこ
は勿論である。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による可
変減光方法は、単に第１の偏光板を回転することによ
り、反射率の大きい基板の反射光が第２の偏光板を透過
するとき、その透過光量が適切に減光されてＣＣＤカメ
ラの画像信号の飽和が防止されるもので、これにより両
基板の位置合せマークの座標値が正しく算出されて、正
確に位置合せできる効果には大きいものがある。
変減光方法は、単に第１の偏光板を回転することによ
り、反射率の大きい基板の反射光が第２の偏光板を透過
するとき、その透過光量が適切に減光されてＣＣＤカメ
ラの画像信号の飽和が防止されるもので、これにより両
基板の位置合せマークの座標値が正しく算出されて、正
確に位置合せできる効果には大きいものがある。
【図１】 図１は、この発明を適用したＬＣＤパネルに
おけるカラーフィルタとＴＦＴ基板の位置合せ光学系の
一実施例の構成図である。
おけるカラーフィルタとＴＦＴ基板の位置合せ光学系の
一実施例の構成図である。
【図２】 図２は、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板の
説明図で、(a) は両基板の構成を示す平面図、(b) は両
基板を重ね合わせた断面図である。
説明図で、(a) は両基板の構成を示す平面図、(b) は両
基板を重ね合わせた断面図である。
【図３】 図３は、両基板の重ね合わせ装置の構成図で
ある。
ある。
【図４】 図４は、従来のＬＣＤパネルにおけるカラー
フィルタとＴＦＴ基板の位置合せ光学系の構成図であ
る。
フィルタとＴＦＴ基板の位置合せ光学系の構成図であ
る。
１…カラーフィルタ基板、２…ＴＦＴ基板、３…移動機
構、４…下ステージ、５…上ステージ、51a,51b …丸
孔、６，６（Ａ),６（Ｂ）…位置合せ光学系、61…光
源、62…照明レンズ系、63…ハーフミラー、64…対物レ
ンズ、65…ＣＣＤカメラ、66…減光フィルタ、67…第１
の偏光板、671 …ホルダー、672 …ハンドル、68…第２
の偏光板、ＭC,ＭT …位置合せマーク、Ｓ…シール剤、
ＬT …照明光。
構、４…下ステージ、５…上ステージ、51a,51b …丸
孔、６，６（Ａ),６（Ｂ）…位置合せ光学系、61…光
源、62…照明レンズ系、63…ハーフミラー、64…対物レ
ンズ、65…ＣＣＤカメラ、66…減光フィルタ、67…第１
の偏光板、671 …ホルダー、672 …ハンドル、68…第２
の偏光板、ＭC,ＭT …位置合せマーク、Ｓ…シール剤、
ＬT …照明光。
Claims (1)
- 【請求項１】２種類の基板を重ね合わせ、該両基板にそ
れぞれ設けられ、互いに微小距離離隔した位置合せマー
クに対して、光源よりの照明光を照射して、ＣＣＤカメ
ラにより撮像する位置合せ光学系において、上記照明光
をランダム偏光光とし、該光源と両基板の間に挿入さ
れ、偏光角が回転可能な第１の偏光板と、該両基板と該
ＣＣＤカメラの間に挿入され、偏光角が一定方向に設定
された第２の偏光板とを設け、該両基板の一方の反射率
が大きくて、その反射光により該ＣＣＤカメラの画像信
号が飽和するとき、該第１の偏光板の偏光角の回転によ
り上記照明光の偏光角を調整して、該第２の偏光板を透
過する該反射光の光量を低減し、該画像信号の飽和を防
止することを特徴とする、位置合せ光学系の可変減光方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35093695A JPH09179043A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 位置合せ光学系の可変減光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35093695A JPH09179043A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 位置合せ光学系の可変減光方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09179043A true JPH09179043A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18413924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35093695A Pending JPH09179043A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 位置合せ光学系の可変減光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09179043A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001100699A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Canon Inc | 投射型表示装置とその応用システム |
| JP2005534048A (ja) * | 2002-06-11 | 2005-11-10 | リフレクティヴィティー， インク． | 超小型電子機械装置をウェハ基板上に堆積、切り離し、及びパッケージングする方法 |
| WO2018003578A1 (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アライメント装置 |
-
1995
- 1995-12-25 JP JP35093695A patent/JPH09179043A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001100699A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Canon Inc | 投射型表示装置とその応用システム |
| JP2005534048A (ja) * | 2002-06-11 | 2005-11-10 | リフレクティヴィティー， インク． | 超小型電子機械装置をウェハ基板上に堆積、切り離し、及びパッケージングする方法 |
| WO2018003578A1 (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アライメント装置 |
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