JPH09175862A - Piezoelectric ceramic composition - Google Patents
Piezoelectric ceramic compositionInfo
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- JPH09175862A JPH09175862A JP7340120A JP34012095A JPH09175862A JP H09175862 A JPH09175862 A JP H09175862A JP 7340120 A JP7340120 A JP 7340120A JP 34012095 A JP34012095 A JP 34012095A JP H09175862 A JPH09175862 A JP H09175862A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電磁器組成物に
係わり、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネ
ータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電アクチュエータお
よび加速度センサ，ノッキングセンサ，ＡＥセンサ等の
圧電センサ等に適する圧電磁器組成物に関するもので、
特にセルラー用のセラミックフィルタとして最適な圧電
磁器組成物に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric ceramic composition, for example, a ceramic filter, a ceramic resonator, an ultrasonic transducer, a piezoelectric buzzer, a piezoelectric ignition unit, an ultrasonic motor, a piezoelectric fan, a piezoelectric actuator and an acceleration sensor. , A piezoelectric ceramic composition suitable for piezoelectric sensors such as knocking sensors and AE sensors,
In particular, the present invention relates to a piezoelectric ceramic composition which is optimal as a ceramic filter for cellular use.
【０００２】[0002]
【従来技術】従来から、圧電磁器組成物を利用した製品
としては、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾ
ネータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニ
ット，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電ア
クチュエータ等がある。2. Description of the Related Art Conventionally, products utilizing piezoelectric ceramic compositions include, for example, ceramic filters, ceramic resonators, ultrasonic transducers, piezoelectric buzzers, piezoelectric ignition units, ultrasonic motors, piezoelectric fans, piezoelectric sensors, and piezoelectric actuators. Etc.
【０００３】ここで、セラミックフィルタ，セラミック
レゾネータ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉ
Ｏ3 を主成分とした磁器組成物が利用されており、これ
にＮｂ2 Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐｂ( Ｎｂ
2/3 Ｍｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ( Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 等
の複合ペロブスカイト酸化物を添加したり置換すること
により圧電特性の向上が図られている。Here, elements such as a ceramic filter and a ceramic resonator include PbZrO 3 -PbTi
A porcelain composition containing O 3 as a main component is used, and a metal oxide such as Nb 2 O 5 or MnO 2 , Pb (Nb
Piezoelectric properties have been improved by adding or replacing composite perovskite oxides such as 2/3 Mg 1/3 ) O 3 and Pb (Nb 2/3 Mn 1/3 ) O 3 .
【０００４】このような圧電磁器組成物としては、電気
機械結合係数が大きく圧電性に優れた材料として、例え
ば、Ｐｂ( Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂＴｉＯ3 系の磁器組成物が開示されている。As such a piezoelectric ceramic composition, as a material having a large electromechanical coupling coefficient and excellent piezoelectricity, for example, Pb (Nb 2/3 Co 1/3 ) O 3 -PbZrO 3 -P
A bTiO 3 -based porcelain composition is disclosed.
【０００５】一方、近年では、セラミックフィルタ，セ
ラミックレゾネータのような圧電部品においても基板等
の表面に実装可能なように種々の条件に対応できること
が要求されており、このような圧電部品においては、部
品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実装された
部品が３００℃程度の高温に曝されるために部品として
組み込まれる圧電素子にも耐熱性が要求されている。On the other hand, in recent years, piezoelectric components such as ceramic filters and ceramic resonators have been required to be able to cope with various conditions so that they can be mounted on the surface of a substrate or the like. When a component is reflow-soldered to a substrate, the component mounted on the substrate is exposed to a high temperature of about 300 ° C., so that a piezoelectric element incorporated as a component is also required to have heat resistance.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
例えば上記したＰｂ( Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺ
ｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物は、耐熱性が低く
リフロー半田付け前後の圧電特性や共振周波数の変化が
大きく、実用上の問題となっていた。However, the conventional Pb (Nb 2/3 Co 1/3 ) O 3 -PbZ described above, for example, is used.
The rO 3 -PbTiO 3 -based porcelain composition has low heat resistance and has large changes in piezoelectric characteristics and resonance frequency before and after reflow soldering, which has been a practical problem.
【０００７】また、共振周波数の温度係数（Ｔ．Ｃ．ｆ
ｒ）も５０ｐｐｍ／℃以上と大きいため、環境変化の激
しい車両搭載用通信装置などのフィルター等に用いた場
合、素子の特性変化によって安定した送受信ができなく
なるという問題があった。The temperature coefficient of the resonance frequency (TCf
Since r) is as large as 50 ppm / ° C. or more, there is a problem that stable transmission and reception cannot be performed due to a change in element characteristics when the filter is used for a filter of a vehicle-mounted communication device or the like in which environmental changes are drastic.
【０００８】さらに、上記した組成物では機械的品質係
数Ｑｍが３００以上と高く、フラットな群遅延特性が要
求される例えばセルラー用フィルタの材料には適さない
という問題があった。Further, the above-mentioned composition has a problem that the mechanical quality factor Qm is as high as 300 or more, which is not suitable for a material for a cellular filter, for example, which requires a flat group delay characteristic.
【０００９】さらにまた、上記した組成物では１３００
℃以上で焼成する必要があるため、組成物中の鉛の蒸発
が増加し、かつ、焼成位置による鉛蒸発量の不均質が生
じることにより、電気機械結合係数Ｋｐのバラツキが大
きくなり、均質な特性を有する圧電磁器が得られにく
く、フィルターに組み込んだ場合には再調製等が必要と
なるという問題があった。Furthermore, in the above composition, 1300
C. or more, the evaporation of lead in the composition increases, and the unevenness of the amount of lead evaporation depending on the sintering position occurs. There is a problem that it is difficult to obtain a piezoelectric ceramic having characteristics, and when it is incorporated in a filter, it needs to be re-prepared.
【００１０】本発明の圧電磁器組成物は、耐熱性，共振
周波数の温度特性に優れ、かつ高い電気機械結合係数と
低い機械的品質係数を有する圧電磁器組成物を提供する
とともに、焼結後の圧電磁器組成物の電気機械結合係数
Ｋｐのバラツキを小さくすることを目的とする。The piezoelectric ceramic composition of the present invention provides a piezoelectric ceramic composition having excellent heat resistance, temperature characteristics of resonance frequency, high electromechanical coupling coefficient and low mechanical quality coefficient, An object of the present invention is to reduce the variation of the electromechanical coupling coefficient Kp of the piezoelectric ceramic composition.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明者等は、Ｃａ，Ｓ
ｒ，Ｂａのうちの少なくとも一種、Ｎｄ，Ｇｄ，Ｌａ，
Ｐｒ，Ｓｍのうちの少なくとも一種、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔ
ｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、ＣｒおよびＣｏを含む複合ペロブスカ
イト型化合物であって、一定の組成を有するものは、耐
熱性，共振周波数の温度特性に優れ、かつ高い電気機械
結合係数Ｋｐを有するとともに、フラットな群遅延特性
が要求される、例えばセルラー用のセラミックフィルタ
として最適となる機械的品質係数Ｑｍの低い圧電磁器組
成物が得られ、且つ、ＳｉＯ2 を添加する事により、圧
電磁器組成物の電気機械結合係数Ｋｐのバラツキを小さ
くできることを知見し、本発明に至った。The inventors of the present invention have found that Ca, S
at least one of r, Ba, Nd, Gd, La,
At least one of Pr and Sm, Pb, Zr, T
A compound perovskite type compound containing i, Nb, Yb, Cr and Co, which has a constant composition, is excellent in heat resistance and temperature characteristics of resonance frequency, has a high electromechanical coupling coefficient Kp, and is flat. a group delay characteristic is required, for example, lower piezoelectric ceramic composition of the mechanical quality factor Qm for the optimization as a ceramic filter for cellular is obtained, and, by the addition of SiO 2, an electrical piezoelectric ceramic composition The inventors have found that the variation of the mechanical coupling coefficient Kp can be reduced, and have reached the present invention.
【００１２】即ち、本発明の圧電磁器組成物は、金属成
分としてＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうちの少なくとも一種、Ｎ
ｄ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｐｒ，Ｓｍのうちの少なくとも一種、
Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、ＣｒおよびＣｏを含む
複合ペロブスカイト型化合物であって、これらの金属元
素のモル比による組成式を（Ｐｂ1-x-y Ａx Ｂy ）
a［｛( Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 ）b （Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ）c
（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）1-b- c ｝1-d Ｎｂd ］e （Ｔｉf
Ｚｒ1-f ）1-e Ｏ3 と表わした時、前記ｘ，ｙ，ａ，
ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆの値が、０＜ｘ、０＜ｙ、０＜ｘ＋
ｙ≦０．１２、０．９７０≦ａ≦１．０３０、０．１０
０≦ｂ≦０．７００、０．１００≦ｃ≦０．７００、０
≦ｄ≦０．１７０、０．０３０≦ｅ≦０．２００、０．
４８０≦ｆ≦０．６００（ここで、Ａ：Ｃａ，Ｓｒ，Ｂ
ａのうちの少なくとも一種、Ｂ：Ｎｄ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｐ
ｒ，Ｓｍのうちの少なくとも一種）を満足するととも
に、ＳｉをＳｉＯ2 換算で０．０１〜０．１０重量％含
有するものである。That is, the piezoelectric ceramic composition of the present invention comprises at least one of Ca, Sr and Ba as a metal component, N.
at least one of d, Gd, La, Pr, Sm,
Pb, Zr, Ti, Nb, Yb, a composite perovskite compound containing Cr and Co, the composition formula by molar ratio of the metal elements (Pb 1-xy A x B y)
a [{(Nb 1/2 Yb 1/2 ) b (Nb 1/2 Cr 1/2 ) c
(Nb 2/3 Co 1/3 ) 1-b- c } 1-d Nb d ] e (Ti f
Zr 1-f ) 1-e O 3 represents the above x, y, a,
When the values of b, c, d, e, and f are 0 <x, 0 <y, and 0 <x +
y ≦ 0.12, 0.970 ≦ a ≦ 1.030, 0.10.
0 ≦ b ≦ 0.700, 0.100 ≦ c ≦ 0.700, 0
≦ d ≦ 0.170, 0.030 ≦ e ≦ 0.200, 0.
480 ≦ f ≦ 0.600 (where A: Ca, Sr, B
at least one of a, B: Nd, Gd, La, P
At least one of r and Sm) is satisfied, and Si is contained in an amount of 0.01 to 0.10% by weight in terms of SiO 2 .
【００１３】[0013]
【作用】本発明の圧電磁器組成物では、Ｐｂ−Ｚｒ−Ｔ
ｉ（ＰＺＴ）系のＺｒおよびＴｉの一部を、（Ｎｂ1/2
Ｙｂ1/2 ）、（Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ）、（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/
3 ）、Ｎｂで置換することにより、耐熱性に優れ、高い
電気機械結合係数Ｋｐを有し、かつ低い機械的品質係数
Ｑｍを示す材料を得ることが可能となる。本発明では、
特にＮｂ1/2 Ｃｒ1/2 、Ｎｂで置換することにより、機
械的品質係数Ｑｍを低くでき、フラットな群遅延特性を
達成でき、セルラー用のセラミックフィルターとして最
適とすることができる。According to the piezoelectric ceramic composition of the present invention, Pb-Zr-T
Some of the i (PZT) -based Zr and Ti are converted to (Nb 1/2
Yb 1/2 ), (Nb 1/2 Cr 1/2 ), (Nb 2/3 Co 1 /
3 ) By substituting with Nb, it becomes possible to obtain a material having excellent heat resistance, a high electromechanical coupling coefficient Kp, and a low mechanical quality coefficient Qm. In the present invention,
In particular, by substituting with Nb 1/2 Cr 1/2 and Nb, the mechanical quality factor Qm can be reduced, a flat group delay characteristic can be achieved, and the ceramic filter can be optimized as a cellular ceramic filter.
【００１４】また、Ｐｂの一部をＣａ, Ｓｒ, Ｂａのう
ちの少なくとも一種と、Ｎｄ, Ｇｄ, Ｌａ, Ｐｒ, Ｓｍ
のうちの少なくとも一種とで置換することにより、共振
周波数の温度係数を小さくすることができるととも、機
械的品質係数Ｑｍを低減することが可能となる。Further, part of Pb is at least one of Ca, Sr, and Ba, and Nd, Gd, La, Pr, Sm.
By substituting at least one of them, the temperature coefficient of the resonance frequency can be reduced and the mechanical quality coefficient Qm can be reduced.
【００１５】さらに、ＳｉＯ2 を添加することにより、
焼成時にＳｉＯ2 とＰｂＯの化合物の液相が形成され、
この液相による焼結で焼成温度が下がり、これにより、
鉛の蒸発量を低減するとともに均質とし、電気機械結合
係数のバラツキを小さくできる。よって、均質な特性を
有する素子を供給することができる。Further, by adding SiO 2 ,
A liquid phase of a compound of SiO 2 and PbO is formed during firing,
This liquid phase sintering lowers the firing temperature,
The amount of lead evaporated can be reduced and the amount of lead can be made uniform, and variations in the electromechanical coupling coefficient can be reduced. Therefore, an element having uniform characteristics can be supplied.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】本発明の圧電磁器組成物は、金属
元素のモル比による組成式を（Ｐｂ1-x-y Ａx Ｂy ）a
［｛( Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 ）b （Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ）
c （Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）1-b-c ｝1-d Ｎｂd ］e （Ｔｉ
f Ｚｒ1-f ）1-e Ｏ3 と表わした時、前記ｘ，ｙ，ａ，
ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆの値が、０＜ｘ、０＜ｙ、０＜ｘ＋
ｙ≦０．１２、０．９７０≦ａ≦１．０３０、０．１０
０≦ｂ≦０．７００、０．１００≦ｃ≦０．７００、０
≦ｄ≦０．１７０、０．０３０≦ｅ≦０．２００、０．
４８０≦ｆ≦０．６００であり、ＳｉをＳｉＯ2 換算で
０．０１〜０．１０重量％含有するものである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The piezoelectric ceramic composition of the present invention has a composition formula (Pb 1-xy A x B y ) a based on the molar ratio of metal elements.
[｛(Nb 1/2 Yb 1/2 ) b (Nb 1/2 Cr 1/2 )
c (Nb 2/3 Co 1/3 ) 1-bc } 1-d Nb d ] e (Ti
f Zr 1-f ) 1-e O 3 , where x, y, a,
When the values of b, c, d, e, and f are 0 <x, 0 <y, and 0 <x +
y ≦ 0.12, 0.970 ≦ a ≦ 1.030, 0.10.
0 ≦ b ≦ 0.700, 0.100 ≦ c ≦ 0.700, 0
≦ d ≦ 0.170, 0.030 ≦ e ≦ 0.200, 0.
It is 480 ≦ f ≦ 0.600 and contains Si in an amount of 0.01 to 0.10% by weight in terms of SiO 2 .
【００１７】ここで、ｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ
の値を上記の範囲に設定した理由について説明する。Ｐ
ｂの一部をＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうちの少なくとも一種で
置換したのは、共振周波数の温度係数を制御できるから
であり、これらのうちでもＳｒが最適である。また、Ｐ
ｂの一部をＮｄ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｐｒ，Ｓｍのうちの少な
くとも一種で置換したのは、共振周波数の温度特性の制
御と機械的品質係数Ｑｍの低減を同時に行うことができ
るからであり、これらのうちでもＬａが最適である。Here, x, y, a, b, c, d, e, f
The reason for setting the value in the above range will be described. P
Part of b is replaced with at least one of Ca, Sr, and Ba because the temperature coefficient of the resonance frequency can be controlled, and of these, Sr is most suitable. Also, P
The reason why a part of b is replaced with at least one of Nd, Gd, La, Pr and Sm is that the temperature characteristic of the resonance frequency can be controlled and the mechanical quality factor Qm can be reduced at the same time. Of these, La is the most suitable.
【００１８】そして、Ｐｂの他元素による置換量の合計
をｘ＋ｙ≦０．１２としたのは、ｘ＋ｙが０．１２より
も大きい場合には耐熱性が低下し易いからである。本発
明においては、耐熱性という点からｘは０．０２５〜
０．０６、ｙは０．００５〜０．０２、ｘ＋ｙは０．０
３〜０．０８が望ましい。The reason why the total amount of substitution of Pb by another element is x + y ≦ 0.12 is that when x + y is larger than 0.12. In the present invention, x is from 0.025 to from the viewpoint of heat resistance.
0.06, y is 0.005 to 0.02, x + y is 0.0
3-0.08 is desirable.
【００１９】（Ｐｂ1-x-y Ａx Ｂy ）量のａを０．９７
０≦ａ≦１．０３０としたのは、ａが０．９７０未満の
場合や１．０３０よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下するからである。（Ｐｂ1-x-y Ａx Ｂy ）
量は０．９８０≦ａ≦１．０１０であることが特に望ま
しい。[0019] The (Pb 1-xy A x B y) of a 0.97
The reason why 0 ≦ a ≦ 1.030 is set is that the electromechanical coupling coefficient Kp decreases when a is less than 0.970 or greater than 1.030. (Pb 1-xy A x B y)
It is particularly desirable that the amount be 0.980 ≦ a ≦ 1.010.
【００２０】また、( Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 ) 量のｂを０．
１００≦ｂ≦０．７００としたのは、ｂが０．１０未満
では電気機械結合係数Ｋｐが低下し、ｂが０．７００よ
りも大きい場合には耐熱性が低下するからである。( Ｎ
ｂ1/2 Ｙｂ1/2 ) 量は０．１５０≦ｂ≦０．３００であ
ることが特に望ましい。Further, the quantity (b) of (Nb 1/2 Yb 1/2 ) is set to 0.1.
The reason 100 ≦ b ≦ 0.700 is that the electromechanical coupling coefficient Kp decreases when b is less than 0.10, and the heat resistance decreases when b is greater than 0.700. (N
It is particularly desirable that the amount of b 1/2 Yb 1/2 ) is 0.150 ≦ b ≦ 0.300.
【００２１】また( Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ) 量のｃを０．１
００≦ｃ≦０．７００としたのはｃが０．１００未満の
場合は耐熱性が低下し、０．７００より大きい場合には
機械的品質係数Ｑｍが大きくなるからである。( Ｎｂ
1/2 Ｃｒ1/2 ) 量は、機械的品質係数Ｑｍの低減という
点から０．１５０≦ｃ≦０．５５０であることが特に望
ましい。The amount of (Nb 1/2 Cr 1/2 ) c is 0.1
00 ≦ c ≦ 0.700 is because when c is less than 0.100, the heat resistance decreases, and when c is greater than 0.700, the mechanical quality factor Qm increases. (Nb
It is particularly desirable that the amount of 1/2 Cr 1/2 ) be 0.150 ≦ c ≦ 0.550 from the viewpoint of reducing the mechanical quality factor Qm.
【００２２】本願発明者等は、金属成分として少なくと
もＰｂ，Ｚｒ ,Ｔｉ，Ｎｂ，Ｙｂ，Ｃｏを含む複合ペロ
ブスカイト型化合物で、これにＣｒ2 Ｏ3 粉末を添加し
た系について先に出願している（特願平５−３２９２５
２号）が、この系ではＣｒ2Ｏ3 粉末を添加することに
より、電気機械結合係数Ｋｐを高めているのである。The inventors of the present application have previously applied for a system in which Cr 2 O 3 powder is added to a complex perovskite type compound containing at least Pb, Zr, Ti, Nb, Yb and Co as metal components. (Japanese Patent Application No. 5-32925)
No. 2), in this system, the electromechanical coupling coefficient Kp is increased by adding a Cr 2 O 3 powder.
【００２３】一方、本願では、( Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ) と
いう形で置換されるように秤量しているため、先の出願
よりもさらに電気機械結合係数Ｋｐが高くなり、高い選
択性が要求されるＡＭラジオ等のフィルターに最適なの
である。On the other hand, in the present application, since the weight is measured so as to be replaced in the form of (Nb 1/2 Cr 1/2 ), the electromechanical coupling coefficient Kp is higher than that of the previous application, and the selectivity is high. It is most suitable for a filter such as an AM radio which requires the above.
【００２４】さらに、Ｎｂ量のｄを０≦ｄ≦０．１７０
としたのは、Ｎｂ含有量を増加することにより機械的品
質係数Ｑｍが小さくなるが、ｄが０．１７より大きい場
合には、電気機械結合係数Ｋｐが急激に低下するからで
ある。Ｎｂ量は０．０５０≦ｄ≦０．１５０であること
が特に望ましい。Further, d of Nb amount is set to 0 ≦ d ≦ 0.170.
The reason is that the mechanical quality factor Qm is reduced by increasing the Nb content, but the electromechanical coupling factor Kp is rapidly reduced when d is larger than 0.17. It is particularly desirable that the amount of Nb is 0.050 ≦ d ≦ 0.150.
【００２５】［｛( Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 ）b （Ｎｂ1/2 Ｃ
ｒ1/2 ）c （Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）1- b-c ｝1-d Ｎｂd ］
の（Ｔｉf Ｚｒ1-f ) への置換量ｅを０．０３≦ｅ≦
０．２としたのは、ｅが０．０３未満では耐熱性の向上
が見られず、０．２よりも大きいと電気機械結合係数Ｋ
ｐが急激に低下するからである。［｛( Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/
2 ）b （Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ）c （Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）
1-b-c ｝1-d Ｎｂd ］量は０．０５≦ｅ≦０．１である
ことが特に望ましい。[｛(Nb 1/2 Yb 1/2 ) b (Nb 1/2 C
r 1/2 ) c (Nb 2/3 Co 1/3 ) 1- bc ｝ 1-d Nb d ]
Of the substitution of (Ti f Zr 1-f ) with 0.03 ≦ e ≦
When e is less than 0.03, no improvement in heat resistance is observed, and when e is greater than 0.2, the electromechanical coupling coefficient K
This is because p decreases sharply. [｛(Nb 1/2 Yb 1 /
2 ) b (Nb 1/2 Cr 1/2 ) c (Nb 2/3 Co 1/3 )
It is particularly desirable that the amount of 1-bc { 1-d Nb d ] is 0.05 ≦ e ≦ 0.1.
【００２６】ＴｉのＺｒへの置換量ｆを０．４８≦ｆ≦
０．６としたのは、ｆが０．４８未満の場合には耐熱性
の向上が見られず、ｆが０．６よりも大きい場合には電
気機械結合係数Ｋｐが低下するからである。ＴｉのＺｒ
への置換量は０．４９≦ｆ≦０．５３であることが特に
望ましい。The replacement amount f of Ti with Zr is 0.48 ≦ f ≦
The reason for setting to 0.6 is that when f is less than 0.48, no improvement in heat resistance is observed, and when f is larger than 0.6, the electromechanical coupling coefficient Kp decreases. Zr of Ti
It is particularly desirable that the substitution amount to be 0.49 ≦ f ≦ 0.53.
【００２７】ＳｉをＳｉＯ2 換算で０．０１≦ｇ≦０．
１重量％添加したのは、添加量ｇが０．０１重量％より
も少ない場合には低温焼成化が困難であり、電気機械結
合係数Ｋｐのバラツキの低減効果が見られず、０．１重
量％よりも多い場合には、共振周波数の温度係数が大き
くなるためである。Ｓｉは、低温焼成化および電気機械
結合係数Ｋｐのバラツキの低減および高い電気機械結合
係数Ｋｐを得るためという観点から、ＳｉＯ2 換算で
０．０２≦ｇ≦０．０５が特に望ましい。Si in terms of SiO 2 is 0.01 ≦ g ≦ 0.
1% by weight was added because when the addition amount g was less than 0.01% by weight, it was difficult to perform low-temperature firing, and the effect of reducing the variation in the electromechanical coupling coefficient Kp was not observed. This is because the temperature coefficient of the resonance frequency becomes large when it is more than%. Si is particularly preferably 0.02 ≦ g ≦ 0.05 in terms of SiO 2 from the viewpoints of low-temperature firing, reduction of variation in electromechanical coupling coefficient Kp, and obtaining high electromechanical coupling coefficient Kp.
【００２８】本発明の圧電磁器組成物は、金属元素のモ
ル比による組成式を（Ｐｂ1-x-y Ａx Ｂy ）a ［｛( Ｎ
ｂ1/2 Ｙｂ1/2 ）b （Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ）c （Ｎｂ2/3
Ｃｏ1/3 ）1-b-c ｝1-d Ｎｂd ］e （Ｔｉf Ｚｒ1-f ）
1-e Ｏ3 と表わした時、前記ｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃ，ｄ，
ｅ，ｆの値が、０．０２５≦ｘ≦０．０６、０．００５
≦ｙ≦０．０２、０．０３≦ｘ＋ｙ≦０．０８、０．９
８０≦ａ≦１．０１０、０．１５０≦ｂ≦０．３００、
０．１５０≦ｃ≦０．５５０、０．０５０≦ｄ≦０．１
５０、０．０５≦ｅ≦０．１、０．４９≦ｆ≦０．５３
であり、ＳｉをＳｉＯ2 換算で０．０２〜０．０５重量
％含有することが望ましい。The piezoelectric ceramic composition of the present invention, the composition formula by molar ratio of the metal elements (Pb 1-xy A x B y) a [{(N
b 1/2 Yb 1/2 ) b (Nb 1/2 Cr 1/2 ) c (Nb 2/3
Co 1/3 ) 1-bc ｝ 1-d Nb d ] e (Ti f Zr 1-f )
When expressed as 1-eO 3 , the x, y, a, b, c, d,
When the values of e and f are 0.025 ≦ x ≦ 0.06, 0.005
≦ y ≦ 0.02, 0.03 ≦ x + y ≦ 0.08, 0.9
80 ≦ a ≦ 1.010, 0.150 ≦ b ≦ 0.300,
0.150 ≦ c ≦ 0.550, 0.050 ≦ d ≦ 0.1
50, 0.05 ≦ e ≦ 0.1, 0.49 ≦ f ≦ 0.53
Therefore, it is desirable to contain Si in an amount of 0.02 to 0.05% by weight in terms of SiO 2 .
【００２９】そして、本発明の圧電磁器は、例えば、原
料としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 ，ＴｉＯ2 ，Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｙ
ｂ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 、ＣｏＯ、ＳｒＣＯ3 、Ｌａ2 Ｏ
3 の各原料粉末を、Ｐｂ−Ｚｒ−Ｔｉ（ＰＺＴ）系のＺ
ｒおよびＴｉの一部を、Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 、Ｎｂ1/2 Ｃ
ｒ1/2 、Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 、Ｎｂで置換するように、ま
た、Ｐｂの一部をＳｒとＬａで置換するように、所定量
秤量し、ボールミル等で１０〜２４時間湿式混合し、次
いで、この混合物を脱水、乾燥した後、５００〜１１０
０℃で１〜３時間仮焼し、当該仮焼物にＳｉＯ2 を添加
したものを再びボールミル等で粉砕し、この粉砕物に有
機バインダーを混合し、造粒後、所定圧力で成形して成
形体を作製し、これらを大気中において１２００〜１２
８０℃で０．５〜４．０時間焼成することにより得られ
る。The piezoelectric ceramic according to the present invention is, for example, composed of PbO, ZrO 2 , TiO 2 , Nb 2 O 5 , Y as raw materials.
b 2 O 3 , Cr 2 O 3 , CoO, SrCO 3 , La 2 O
3 was converted to Pb-Zr-Ti (PZT) -based Z
r and part of Ti are converted to Nb 1/2 Yb 1/2 , Nb 1/2 C
Weigh a predetermined amount so as to replace r 1/2 , Nb 2/3 Co 1/3 , and Nb, and replace part of Pb with Sr and La, and wet it with a ball mill for 10 to 24 hours. After mixing and then dehydrating and drying this mixture, 500 to 110
It is calcined at 0 ° C. for 1 to 3 hours, and the calcined product added with SiO 2 is crushed again by a ball mill or the like, and the crushed product is mixed with an organic binder, and then granulated and molded at a predetermined pressure to mold. Create a body and put them in the atmosphere at 1200-12
It is obtained by firing at 80 ° C. for 0.5 to 4.0 hours.
【００３０】本発明においては、Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎ
ｂ，Ｃｒ，Ｙｂ，Ｃｏ，Ｓｒを含む原料粉末、およびＣ
ａ，Ｓｒ，Ｂａのうちの少なくとも一種を含む原料粉
末、並びにＮｄ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｐｒ，Ｓｍのうちの少な
くとも一種を含む原料粉末は、それぞれの金属元素を含
有する酸化物，炭酸塩，酢酸塩等の無機化合物、もしく
は有機金属等の有機化合物のいずれであっても、焼成に
より酸化物となるものであれば良い。In the present invention, Pb, Zr, Ti, N
Raw material powder containing b, Cr, Yb, Co, Sr, and C
The raw material powder containing at least one of a, Sr, and Ba, and the raw material powder containing at least one of Nd, Gd, La, Pr, and Sm are oxides, carbonates, and acetic acid containing respective metal elements. Whether it is an inorganic compound such as a salt or an organic compound such as an organic metal, any compound can be used as long as it becomes an oxide by firing.
【００３１】また、本発明の圧電磁器では、（Ｐｂ
1-x-y Ａx Ｂy ）a ［｛( Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 ）b （Ｎｂ
1/2 Ｃｒ1/2 ）c （Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）1-b-c ｝1-d Ｎ
ｂd ］e（Ｔｉf Ｚｒ1-f ）1-e Ｏ3 からなる正方晶の
ペロブスカイト型結晶相が析出しており、その他に菱面
体晶のペロブスカイト型結晶相が析出しても良い。In the piezoelectric ceramic according to the present invention, (Pb
1-xy A x B y) a [{(Nb 1/2 Yb 1/2) b (Nb
1/2 Cr 1/2 ) c (Nb 2/3 Co 1/3 ) 1-bc ｝ 1-d N
b d] e (Ti f Zr 1-f) has 1-e O 3 consisting tetragonal perovskite crystal phase precipitates, Other rhombohedral perovskite type crystal phase may be precipitated.
【００３２】さらにまた、本発明の圧電磁器組成物で
は、平均結晶粒径が２〜５μｍのペロブスカイト型結晶
粒子が存在する。さらに本発明の圧電磁器組成物では、
Ａｌ2Ｏ3 が不可避不純物として０．５重量％以下存在
することもある。さらに、本発明の圧電磁器組成物で
は、不可避不純物として、粉砕ボールからのＺｒや、そ
の他希土類元素酸化物原料中に存在するＹ，Ｄｙ，Ｈ
ｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｌｕや、その他の元素中に存在するＦ
ｅ，Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｂａが０．０５重量％以下であれ
ば存在しても良い。Furthermore, in the piezoelectric ceramic composition of the present invention, perovskite-type crystal grains having an average crystal grain size of 2 to 5 μm are present. Further, in the piezoelectric ceramic composition of the present invention,
Al 2 O 3 may be present as unavoidable impurities in an amount of 0.5 wt% or less. Further, in the piezoelectric ceramic composition of the present invention, as an unavoidable impurity, Zr from the crushed balls and Y, Dy, H existing in the other rare earth element oxide raw materials are present.
F present in o, Er, Tm, Lu, and other elements
If e, Na, K, Ca, and Ba are 0.05 wt% or less, they may be present.
【００３３】そして、本発明の圧電磁器組成物は、例え
ば、図１に示すようなラダー型フィルターの圧電磁器と
して用いられる。図１において、符号１は入力、符号２
は出力、符号３，４は圧電磁器である。本発明の圧電磁
器組成物は、特に、符号３で示される第２共振子の圧電
磁器として用いることが最適である。The piezoelectric ceramic composition of the present invention is used, for example, as a piezoelectric ceramic for a ladder filter as shown in FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an input, and reference numeral 2
Is an output, and symbols 3 and 4 are piezoelectric ceramics. The piezoelectric ceramic composition of the present invention is most preferably used as a piezoelectric ceramic of the second resonator indicated by reference numeral 3.
【００３４】[0034]
実施例１ 原料粉末としてＰｂＯ，ＺｒＯ2 ，ＴｉＯ2 ，Ｎｂ2 Ｏ
5 ，Ｙｂ2 Ｏ3 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ，ＣｏＯ，ＣａＣＯ3 ，Ｓ
ｒＣＯ3 ，ＢａＣＯ3 ，Ｎｄ2 Ｏ3 ，Ｇｄ2 Ｏ3 ，Ｌａ
2 Ｏ3 ，Ｐｒ2 Ｏ3 ，Ｓｍ2 Ｏ3 の各原料粉末を、表
１，２に示すようにＰＺＴ系のＺｒとＴｉの一部をＮｂ
1/2 Ｙｂ1/2 、Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 、Ｎｂ2/ 3 Ｃｏ1/3 、
Ｎｂで置換するように、またＰｂの一部をＣａ，Ｓｒ，
Ｂａのうちの少なくとも一種と、Ｎｄ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｐ
ｒ，Ｓｍのうちの少なくとも一種で置換するように所定
量秤量し、ＺｒＯ2 ボールを用いたボールミルで１２時
間湿式混合し、次いで、この混合物を脱水、乾燥した
後、９００℃で３時間仮焼し、この後、当該仮焼物にＳ
ｉＯ2 を添加したものを再びボールミルで粉砕した。Example 1 PbO, ZrO 2 , TiO 2 , Nb 2 O as raw material powders
5, Yb 2 O 3, Cr 2 O 3, CoO, CaCO 3, S
rCO 3 , BaCO 3 , Nd 2 O 3 , Gd 2 O 3 , La
As shown in Tables 1 and 2, each of the raw material powders of 2 O 3 , Pr 2 O 3 and Sm 2 O 3
1/2 Yb 1/2, Nb 1/2 Cr 1/2 , Nb 2/3 Co 1/3,
In order to replace it with Nb, part of Pb should be Ca, Sr,
At least one of Ba and Nd, Gd, La, P
R and Sm are weighed in a predetermined amount so as to be replaced with at least one of them, wet mixed with a ball mill using ZrO 2 balls for 12 hours, then, this mixture is dehydrated and dried, and then calcined at 900 ° C. for 3 hours. After that, S is added to the calcined product.
The material to which iO 2 was added was pulverized with a ball mill again.
【００３５】その後、この粉砕物に有機バインダー（Ｐ
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中で１２８０℃で２
時間の条件で焼成した。Thereafter, an organic binder (P
VA) was mixed and granulated. 1.5 t /
It was press-formed at a pressure of cm 2 into a disk having a size of 23 mm in diameter and 2 mm in thickness. Furthermore, these compacts are
It is sealed in a container made of O, etc.
It was fired under the condition of time.
【００３６】[0036]
【表１】 [Table 1]
【００３７】[0037]
【表２】 [Table 2]
【００３８】得られた焼結体を研磨して、直径２０ｍｍ
厚み０．５ｍｍの円板を形成した。The obtained sintered body is polished to a diameter of 20 mm.
A disk having a thickness of 0.5 mm was formed.
【００３９】この円板の両主面にＡｇペーストを焼付け
ることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオイル中
で３ｋＶ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分極処理
した後、電気機械結合係数Ｋｐ，耐熱性，および温度特
性を評価した。Electrodes were formed by baking Ag paste on both main surfaces of the disc, and applying a DC voltage of 3 kV / mm in silicon oil at 80 ° C. for 30 minutes to perform polarization treatment. The coefficient Kp, heat resistance, and temperature characteristics were evaluated.
【００４０】電気機械結合係数Ｋｐは、インピーダンス
メータ（測定周波数１ｋＨｚ、信号電圧１Ｖｒｍｓ）で
測定した共振周波数と***振周波数の値から計算により
求めた。耐熱性は、２５０℃をピークとするリフロー炉
に３回連続して通過させる試験を行った際の、試験前の
共振周波数Ｆｒ0 と試験２４Ｈｒ後の共振周波数Ｆｒ24
の値から、ΔＦｒ＝（Ｆｒ24−Ｆｒ0 ）／Ｆｒ0 ×１０
０の式を用いて算出した変化率ΔＦｒで評価した。ま
た、共振周波数の温度係数Ｔ．Ｃ．ｆｒ（ｐｐｍ／℃）
は、−２０℃から＋８０℃の範囲で測定した共振周波数
の値からＴ．Ｃ．ｆｒ＝（Ｆｒ80−Ｆｒ-20 ）／１００
×１０6 ／Ｆｒ20（ここで、Ｆｒ80，Ｆｒ-20 ，Ｆｒ20
それぞれ＋８０℃、−２０℃、＋２０℃での共振周波数
を示す）の式を用いて算出した結果を表３，４に示す。The electromechanical coupling coefficient Kp was obtained by calculation from the values of the resonance frequency and the antiresonance frequency measured with an impedance meter (measuring frequency 1 kHz, signal voltage 1 Vrms). The heat resistance was determined by measuring the resonance frequency Fr 0 before the test and the resonance frequency Fr 24 after the test 24Hr when conducting a test in which the sample was continuously passed through a reflow furnace having a peak at 250 ° C. three times.
From the value of ΔFr = (Fr 24 −Fr 0 ) / Fr 0 × 10
The evaluation was performed using the rate of change ΔFr calculated using the equation of 0. Further, the temperature coefficient T. C. fr (ppm / ° C)
Is calculated from the value of the resonance frequency measured in the range of −20 ° C. to + 80 ° C. C. fr = (Fr 80 -Fr -20) / 100
× 10 6 / Fr 20 (where Fr 80 , Fr -20 , Fr 20
Tables 3 and 4 show the results calculated using the equations (resonant frequencies at + 80 ° C., −20 ° C., and + 20 ° C., respectively).
【００４１】[0041]
【表３】 [Table 3]
【００４２】[0042]
【表４】 [Table 4]
【００４３】表３，４から、本発明の磁器組成物は電気
機械結合係数Ｋｐが５０％以上と大きく、機械的品質係
数Ｑｍが１５０以下であり、また、耐熱試験による共振
周波数の変化が±０．１０％以下と小さい。また、共振
周波数の温度係数（Ｔ．Ｃ．ｆｒ）もＰｂの一部をＣ
ａ, Ｓｒ, Ｂａのうちの少なくとも一種で置換すること
により、共振周波数の温度特性を制御することができ、
Ｐｂの一部をＮｄ, Ｇｄ, Ｌａ, Ｐｒ, Ｓｍのうちの少
なくとも一種で置換することにより、共振周波数の温度
特性と機械的品質係数Ｑｍの低減を同時に制御できるこ
とが判る。From Tables 3 and 4, the porcelain composition of the present invention has a large electromechanical coupling coefficient Kp of 50% or more, a mechanical quality factor Qm of 150 or less, and a change in resonance frequency due to a heat resistance test of ± 10%. It is as small as 0.10% or less. In addition, the temperature coefficient (TC fr) of the resonance frequency shows that a part of Pb is C
By substituting at least one of a, Sr, and Ba, the temperature characteristic of the resonance frequency can be controlled,
It can be seen that by substituting a part of Pb with at least one of Nd, Gd, La, Pr, and Sm, the temperature characteristic of the resonance frequency and the reduction of the mechanical quality factor Qm can be controlled at the same time.
【００４４】実施例２ 上記実施例１における試料Ｎo.３，Ｎo.１１，Ｎo.３
２，Ｎo.３４の組成の成形体を、実施例１と同様にして
ＭｇＯ等からなる容器内に密閉し、大気中で１２６０
℃，１２８０℃，１３００℃で２時間焼成し、５０個の
試料を作製した。これらを、実施例１と同様にして電気
機械結合係数Ｋｐを測定し、この電気機械結合係数Ｋｐ
の平均値を求めるとともに、バラツキを求めた。電気機
械結合係数Ｋｐのバラツキは、式〔（Σｘ2 −（Σｘ）
2 ／ｎ）／（ｎ−１）〕1/2 により求めた。この結果を
表５に示す。Example 2 Samples No. 3, No. 11, and No. 3 in the above-mentioned Example 1
A molded body having a composition of No. 2, No. 34 was sealed in a container made of MgO or the like in
The sample was fired at 2, 1280 ° C, and 1300 ° C for 2 hours to produce 50 samples. The electromechanical coupling coefficient Kp was measured in the same manner as in Example 1, and the electromechanical coupling coefficient Kp
And the variation was determined. The variation of the electromechanical coupling coefficient Kp is expressed by the formula [(Σx 2 − (Σx)
2 / n) / (n-1)] 1/2 . Table 5 shows the results.
【００４５】[0045]
【表５】 [Table 5]
【００４６】この結果より、ＳｉＯ2 を添加することに
より焼成温度を下げることができ、これに伴い電気機械
結合係数Ｋｐのバラツキが小さくなっていることが判
る。From these results, it is understood that the firing temperature can be lowered by adding SiO 2 and the variation in the electromechanical coupling coefficient Kp is reduced accordingly.
【００４７】尚、実施例１の試料Ｎo.１１の組成でＳｉ
Ｏ2 添加量が０の場合において、焼成温度を上記のよう
に変化させた場合の電気機械結合係数Ｋｐの平均値およ
びバラツキを求め、その結果を比較例として記載した。
この比較例ではＳｉＯ2 ０．０３重量％添加品と比較し
て電気機械結合係数Ｋｐのバラツキが大きいことが判
る。The composition of the sample No. 11 of Example 1 was Si.
When the amount of O 2 added was 0, the average value and variation of the electromechanical coupling coefficient Kp when the firing temperature was changed as described above were determined, and the results are shown as a comparative example.
In this comparative example, it can be seen that the variation of the electromechanical coupling coefficient Kp is larger than that of the product containing 0.02% by weight of SiO 2 .
【００４８】[0048]
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、Ｐ
ｂ−Ｚｒ−Ｔｉ（ＰＺＴ）系のＺｒおよびＴｉの一部
を、（Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 ）、（Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ）、
（Ｎｂ2/3Ｃｏ1/3 ）、Ｎｂで置換し、また、Ｐｂの一
部をＣａ, Ｓｒ, Ｂａのうちの少なくとも一種と、Ｎ
ｄ, Ｇｄ, Ｌａ, Ｐｒ, Ｓｍのうちの少なくとも一種と
で置換するとともに、ＳｉをＳｉＯ2 換算で所定量添加
含有することにより、耐熱性、共振周波数の温度特性に
優れ、且つ高い電気機械結合係数を有し、かつ低い機械
的品質係数Ｑｍを示す材料を得ることができ、さらに磁
器間における電気機械結合係数のバラツキが小さくする
ことができ、温度変化に対し安定な特性を示す表面実装
用圧電部品などの素子、例えば、フィルター，レゾネー
タ等の素子として、特にはセルラー用のセラミックフィ
ルタとして最適な圧電磁器組成物を得ることができる。As described in detail above, according to the present invention, P
A part of Zr and Ti of the b-Zr-Ti (PZT) system is converted to (Nb 1/2 Yb 1/2 ), (Nb 1/2 Cr 1/2 ),
(Nb 2/3 Co 1/3 ), Nb, and part of Pb is at least one of Ca, Sr, and Ba, and
By replacing it with at least one of d, Gd, La, Pr, and Sm, and by adding and adding a predetermined amount of Si in terms of SiO 2 , it has excellent heat resistance and temperature characteristics of resonance frequency, and high electromechanical coupling. For surface mounting, which has a coefficient and can obtain a material with a low mechanical quality factor Qm, can reduce the variation of the electromechanical coupling coefficient between porcelains, and exhibits stable characteristics against temperature changes. It is possible to obtain an optimum piezoelectric ceramic composition as an element such as a piezoelectric component, for example, an element such as a filter or a resonator, particularly as a ceramic filter for cellular.
【図１】本発明の圧電磁器組成物を用いたラダー型フィ
ルターを示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing a ladder-type filter using the piezoelectric ceramic composition of the present invention.
１・・・入力 ２・・・出力 ３，４・・・圧電磁器 1 ... input 2 ... output 3, 4 ... piezoelectric ceramic
Claims (1)
少なくとも一種、Ｎｄ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｐｒ，Ｓｍのうち
の少なくとも一種、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｙｂ、Ｃ
ｒおよびＣｏを含む複合ペロブスカイト型化合物であっ
て、これらの金属元素のモル比による組成式を （Ｐｂ1-x-y Ａx Ｂy ）a ［｛( Ｎｂ1/2 Ｙｂ1/2 ）b
（Ｎｂ1/2 Ｃｒ1/2 ）c（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）1-b-c ｝
1-d Ｎｂd ］e （Ｔｉf Ｚｒ1-f ）1-e Ｏ3 と表わした時、前記ｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆの
値が ０＜ｘ ０＜ｙ ０＜ｘ＋ｙ≦０．１２ ０．９７０≦ａ≦１．０３０ ０．１００≦ｂ≦０．７００ ０．１００≦ｃ≦０．７００ ０ ≦ｄ≦０．１７０ ０．０３０≦ｅ≦０．２００ ０．４８０≦ｆ≦０．６００ Ａ：Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａのうちの少なくとも一種 Ｂ：Ｎｄ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｐｒ，Ｓｍのうちの少なくとも
一種 を満足するとともに、ＳｉをＳｉＯ2 換算で０．０１〜
０．１０重量％含有することを特徴とする圧電磁器組成
物。1. At least one of Ca, Sr and Ba as a metal component, at least one of Nd, Gd, La, Pr and Sm, Pb, Zr, Ti, Nb, Yb and C.
A composite perovskite compounds containing r and Co, the composition formula by molar ratio of the metal elements (Pb 1-xy A x B y) a [{(Nb 1/2 Yb 1/2) b
(Nb 1/2 Cr 1/2 ) c (Nb 2/3 Co 1/3 ) 1-bc ｝
1-d Nb d] e ( Ti f Zr 1-f) when expressed as 1-e O 3, wherein x, y, a, b, c, d, e, the value of f is 0 <x 0 <y 0 <x + y ≦ 0.12 0.970 ≦ a ≦ 1.030 0.100 ≦ b ≦ 0.700 0.100 ≦ c ≦ 0.700 0 ≦ d ≦ 0.170 0.030 ≦ e ≦ 0.200 0.480 ≦ f ≦ 0.600 a: Ca , Sr, at least one of Ba B: Nd, Gd, La , Pr, with satisfying at least one of Sm, the Si in terms of SiO 2 0. 01-
A piezoelectric ceramic composition characterized by containing 0.10% by weight.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7340120A JPH09175862A (en) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Piezoelectric ceramic composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7340120A JPH09175862A (en) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Piezoelectric ceramic composition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09175862A true JPH09175862A (en) | 1997-07-08 |
Family
ID=18333918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7340120A Pending JPH09175862A (en) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | Piezoelectric ceramic composition |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09175862A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016021593A1 (en) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | 株式会社村田製作所 | Dielectric ceramic and laminated ceramic capacitor |
-
1995
- 1995-12-27 JP JP7340120A patent/JPH09175862A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016021593A1 (en) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | 株式会社村田製作所 | Dielectric ceramic and laminated ceramic capacitor |
| JPWO2016021593A1 (en) * | 2014-08-07 | 2017-06-08 | 株式会社村田製作所 | Dielectric ceramic and multilayer ceramic capacitors |
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