JPH09170964A - レンズ偏心測定装置 - Google Patents
レンズ偏心測定装置Info
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- JPH09170964A JPH09170964A JP33140395A JP33140395A JPH09170964A JP H09170964 A JPH09170964 A JP H09170964A JP 33140395 A JP33140395 A JP 33140395A JP 33140395 A JP33140395 A JP 33140395A JP H09170964 A JPH09170964 A JP H09170964A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、内部に移動レンズ部を有するレン
ズ系においてもそのレンズ系の偏心量を測定することが
可能なレンズ偏心測定装置を提供する。 【解決手段】 光源4と、この光源4からの光束の収束
度を可変可能な光学系3と、前記光束を被検レンズ系5
に投射し反射した光束の光像位置を検出する光像位置検
出器2と、この光像位置検出器2が検出した光像位置を
表示する表示器1とを有するレンズ偏心測定装置であっ
て、被検レンズ系5中のレンズ移動量を検出するレンズ
移動検出器7と、このレンズ移動検出器7の出力により
前記光学系3の収束度を変化させる光束制御器6とを具
備するものである。
ズ系においてもそのレンズ系の偏心量を測定することが
可能なレンズ偏心測定装置を提供する。 【解決手段】 光源4と、この光源4からの光束の収束
度を可変可能な光学系3と、前記光束を被検レンズ系5
に投射し反射した光束の光像位置を検出する光像位置検
出器2と、この光像位置検出器2が検出した光像位置を
表示する表示器1とを有するレンズ偏心測定装置であっ
て、被検レンズ系5中のレンズ移動量を検出するレンズ
移動検出器7と、このレンズ移動検出器7の出力により
前記光学系3の収束度を変化させる光束制御器6とを具
備するものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術の分野】本発明は、例えば内部に移
動レンズ部を有するズームレンズ等の偏心を測定するレ
ンズ偏心測定装置に関する。
動レンズ部を有するズームレンズ等の偏心を測定するレ
ンズ偏心測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種のレンズ偏心測定装置として、例
えば特開平4−289426号公報に開示されているも
の知られており、図4を参照して同公報のレンズ偏心測
定装置について概説する。
えば特開平4−289426号公報に開示されているも
の知られており、図4を参照して同公報のレンズ偏心測
定装置について概説する。
【0003】このレンズ偏心測定装置は、被測定レンズ
105の偏心を測定するレンズ偏心測定器100を備え
ている。このレンズ偏心測定器100は、ランダム偏光
レーザを発振するレーザ発振器101と、ビームスプリ
ッタ102と、第1結像レンズ103と、第2結像レン
ズ104と、第3結像レンズ108と、2次元点像位置
検出センサ109とを具備している。
105の偏心を測定するレンズ偏心測定器100を備え
ている。このレンズ偏心測定器100は、ランダム偏光
レーザを発振するレーザ発振器101と、ビームスプリ
ッタ102と、第1結像レンズ103と、第2結像レン
ズ104と、第3結像レンズ108と、2次元点像位置
検出センサ109とを具備している。
【0004】前記レーザ発振器101から出射する平行
ビーム状のレーザ光の光軸は、被測定レンズ105の基
準軸106に一致しており、ビームスプリッタ102、
第1結像レンズ103及び第2結像レンズ104は、こ
の光軸上に配置される。前記レーザ発振器101から出
射するレーザ光は、ビームスプリッタ102を通過し、
第1結像レンズ103によって収束され、点光源状の照
準光源107となる。照準光源107から発せられる光
は、第2結像レンズ104によって収束され、被測定レ
ンズ105に入射する。
ビーム状のレーザ光の光軸は、被測定レンズ105の基
準軸106に一致しており、ビームスプリッタ102、
第1結像レンズ103及び第2結像レンズ104は、こ
の光軸上に配置される。前記レーザ発振器101から出
射するレーザ光は、ビームスプリッタ102を通過し、
第1結像レンズ103によって収束され、点光源状の照
準光源107となる。照準光源107から発せられる光
は、第2結像レンズ104によって収束され、被測定レ
ンズ105に入射する。
【0005】このようにして、レーザ発振器101、ビ
ームスプリッタ102、第1結像レンズ103及び第2
結像レンズ104により、照準光源107の光を被測定
レンズ105に向けて投影する投光光学系が構成され
る。
ームスプリッタ102、第1結像レンズ103及び第2
結像レンズ104により、照準光源107の光を被測定
レンズ105に向けて投影する投光光学系が構成され
る。
【0006】前記被測定レンズ105内の特定の被測定
面においてオートコリメーション状態で反射した光は、
第2結像レンズ104及び第1結像レンズ103を通
り、ビームスプリッタ102において反射され、第3結
像レンズ108により収束されて2次元点像位置検出セ
ンサ109上に入射する。この結果、照準光源107の
点像が2次元点像位置検出センサ109上に結像する。
面においてオートコリメーション状態で反射した光は、
第2結像レンズ104及び第1結像レンズ103を通
り、ビームスプリッタ102において反射され、第3結
像レンズ108により収束されて2次元点像位置検出セ
ンサ109上に入射する。この結果、照準光源107の
点像が2次元点像位置検出センサ109上に結像する。
【0007】2次元点像位置検出センサ109は、図示
しない信号処理回路に接続されており、この信号処理回
路は照準光源107の点像の位置に応じて2次元点像位
置検出センサ109から出力される信号を基にして、被
測定レンズ105の偏心量を検出する。
しない信号処理回路に接続されており、この信号処理回
路は照準光源107の点像の位置に応じて2次元点像位
置検出センサ109から出力される信号を基にして、被
測定レンズ105の偏心量を検出する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術においては、投光光学系の投光光束をあらか
じめ計算で求め設定するため、ズームレンズ等にみられ
るような内部に移動レンズ部を有するレンズの偏心量を
測定することが困難であるという課題がある。
た従来技術においては、投光光学系の投光光束をあらか
じめ計算で求め設定するため、ズームレンズ等にみられ
るような内部に移動レンズ部を有するレンズの偏心量を
測定することが困難であるという課題がある。
【0009】本発明は、上記課題を解決し、内部に移動
レンズ部を有するレンズ系においてそのレンズ系の偏心
量を測定することが可能なレンズ偏心測定装置を提供す
ることを目的とするものである。
レンズ部を有するレンズ系においてそのレンズ系の偏心
量を測定することが可能なレンズ偏心測定装置を提供す
ることを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
光源と、この光源からの光束の収束度を可変可能な光学
系と、前記光束を被検レンズ系に投射し反射した光束の
光像位置を検出する光像位置検出手段と、この光像位置
検出手段が検出した光像位置を表示する表示手段とを有
するレンズ偏心測定装置であって、被検レンズ系中のレ
ンズ移動量を検出するレンズ移動検出手段と、このレン
ズ移動検出手段の出力により前記光学系の収束度を変化
させる制御手段とを具備したことを特徴とするものであ
る。
光源と、この光源からの光束の収束度を可変可能な光学
系と、前記光束を被検レンズ系に投射し反射した光束の
光像位置を検出する光像位置検出手段と、この光像位置
検出手段が検出した光像位置を表示する表示手段とを有
するレンズ偏心測定装置であって、被検レンズ系中のレ
ンズ移動量を検出するレンズ移動検出手段と、このレン
ズ移動検出手段の出力により前記光学系の収束度を変化
させる制御手段とを具備したことを特徴とするものであ
る。
【0011】請求項2記載の発明は、光源と、この光源
からの光束の収束度を可変可能な光学系と、この光束を
被検レンズ系に投射し反射した光束の光像位置を検出す
る光像位置検出手段と、この光像位置検出手段が検出し
た光像位置を表示する表示手段とを有するレンズ偏心測
定装置であって、被検レンズ系中のレンズ移動量を検出
するレンズ移動検出手段と、前記レンズ移動検出手段が
検出した被検レンズ系のレンズ移動量と、前記光像位置
検出手段が検出した前記光像位置とを取り込んで前記表
示手段に表示させるとともに、前記レンズ移動検出手段
の出力により前記光学系の収束度を変化させる制御手段
とを具備したことを特徴とするものである。
からの光束の収束度を可変可能な光学系と、この光束を
被検レンズ系に投射し反射した光束の光像位置を検出す
る光像位置検出手段と、この光像位置検出手段が検出し
た光像位置を表示する表示手段とを有するレンズ偏心測
定装置であって、被検レンズ系中のレンズ移動量を検出
するレンズ移動検出手段と、前記レンズ移動検出手段が
検出した被検レンズ系のレンズ移動量と、前記光像位置
検出手段が検出した前記光像位置とを取り込んで前記表
示手段に表示させるとともに、前記レンズ移動検出手段
の出力により前記光学系の収束度を変化させる制御手段
とを具備したことを特徴とするものである。
【0012】図1は、本発明の請求項1記載のレンズ偏
心測定装置を説明するための概念図である。図1におい
て、光源4から出射した光束は、光学系3により被検レ
ンズ系5に投光され、被検レンズ系5から反射した光束
を光学系3で光像位置検出器2上に集光させて光像とし
その位置を検出することにより、被検レンズ系5の偏心
を測定する。被検レンズ系5が例えば図1において矢印
方向に移動する場合、そのレンズ移動量に伴い光学系3
から出射される光束の収束度を変化させる必要があるた
め、被検レンズ系5の移動量をレンズ移動検出器7で検
出し、検出結果に基づき制御手段である光束制御器6に
より光学系3の収束度の制御を行う。そして、このとき
の被検レンズ系5の偏心量に基づく光像の振れを表示手
段である表示器1で表示し、この振れにより被検レンズ
系5の偏心量を測定する。
心測定装置を説明するための概念図である。図1におい
て、光源4から出射した光束は、光学系3により被検レ
ンズ系5に投光され、被検レンズ系5から反射した光束
を光学系3で光像位置検出器2上に集光させて光像とし
その位置を検出することにより、被検レンズ系5の偏心
を測定する。被検レンズ系5が例えば図1において矢印
方向に移動する場合、そのレンズ移動量に伴い光学系3
から出射される光束の収束度を変化させる必要があるた
め、被検レンズ系5の移動量をレンズ移動検出器7で検
出し、検出結果に基づき制御手段である光束制御器6に
より光学系3の収束度の制御を行う。そして、このとき
の被検レンズ系5の偏心量に基づく光像の振れを表示手
段である表示器1で表示し、この振れにより被検レンズ
系5の偏心量を測定する。
【0013】請求項2記載のレンズ偏心測定装置では、
上述したレンズ移動検出器7の出力を表示器1の入力と
することにより、被検レンズ系5の移動量に対応した偏
心量を表示できる。これにより、被検レンズ系5の移動
に伴う偏心量の動きを測定できる。
上述したレンズ移動検出器7の出力を表示器1の入力と
することにより、被検レンズ系5の移動量に対応した偏
心量を表示できる。これにより、被検レンズ系5の移動
に伴う偏心量の動きを測定できる。
【0014】
【実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を詳細に説
明する。
明する。
【0015】[実施の形態1]図2に本発明の実施の形
態1のレンズ偏心測定装置を示す。図2に示すレンズ偏
心測定装置は、光源であるレーザーダイオード13と、
このレーザーダイオード13からレンズ12を経て入射
してくる光束の収束度を変化させて被検レンズ系5に投
射するとともに、被検レンズ系5からの反射光束を収束
して射出する収束度を可変に構成した光学系30と、被
検レンズ系に投射されて反射し、光学系30から射出す
る光束の光像位置を検出する光像位置検出手段であるポ
ジションセンサ20と、このポジションセンサ20によ
り検出した光束の光像位置を表示する表示手段であるオ
シロスコープ8と、前記被検レンズ系5を移動させるモ
ータ駆動装置17及びモータ18と、このモータ18に
連結され、前記モータ18の回転に応じた被検レンズ系
5の移動量を検出するレンズ移動検出手段としてのロー
タリーエンコーダ19とを有している。
態1のレンズ偏心測定装置を示す。図2に示すレンズ偏
心測定装置は、光源であるレーザーダイオード13と、
このレーザーダイオード13からレンズ12を経て入射
してくる光束の収束度を変化させて被検レンズ系5に投
射するとともに、被検レンズ系5からの反射光束を収束
して射出する収束度を可変に構成した光学系30と、被
検レンズ系に投射されて反射し、光学系30から射出す
る光束の光像位置を検出する光像位置検出手段であるポ
ジションセンサ20と、このポジションセンサ20によ
り検出した光束の光像位置を表示する表示手段であるオ
シロスコープ8と、前記被検レンズ系5を移動させるモ
ータ駆動装置17及びモータ18と、このモータ18に
連結され、前記モータ18の回転に応じた被検レンズ系
5の移動量を検出するレンズ移動検出手段としてのロー
タリーエンコーダ19とを有している。
【0016】前記光学系30は、ビームスプリッタ10
と、このビームスプリッタ10よりも被検レンズ系5側
に配置したレンズ11と、このビームスプリッタ10よ
りもポジションセンサ20側に配置したレンズ9とを具
備し、レンズ11にボールネジを介して連結したステー
ジ14をレンズ駆動モータ15により駆動することで、
このレンズ11を図1に示す矢印方向に移動し、光学系
30の光の収束度を変えるようにしている。
と、このビームスプリッタ10よりも被検レンズ系5側
に配置したレンズ11と、このビームスプリッタ10よ
りもポジションセンサ20側に配置したレンズ9とを具
備し、レンズ11にボールネジを介して連結したステー
ジ14をレンズ駆動モータ15により駆動することで、
このレンズ11を図1に示す矢印方向に移動し、光学系
30の光の収束度を変えるようにしている。
【0017】前記レンズ12、ビームスプリッタ10、
レンズ11は、光源であるレーザーダイオード13から
射出される光束を被検レンズ系5に投射するよう配置す
る。また、レンズ11は、被検レンズ系5に対向して配
置する。また、レンズ9は、被検レンズ系5からの反射
光をポジションセンサ20上に投影出来る位置、即ち、
通常ポジションセンサ20とビームスプリッタ10の間
に配置する。ポジションセンサ20は、半導体プロセス
により製造した位置センサである。オシロスコープ8
は、内部メモリを有するストレージ型のオシロスコープ
で構成し、ポジションセンサ20の出力データを表示す
るようになっている。
レンズ11は、光源であるレーザーダイオード13から
射出される光束を被検レンズ系5に投射するよう配置す
る。また、レンズ11は、被検レンズ系5に対向して配
置する。また、レンズ9は、被検レンズ系5からの反射
光をポジションセンサ20上に投影出来る位置、即ち、
通常ポジションセンサ20とビームスプリッタ10の間
に配置する。ポジションセンサ20は、半導体プロセス
により製造した位置センサである。オシロスコープ8
は、内部メモリを有するストレージ型のオシロスコープ
で構成し、ポジションセンサ20の出力データを表示す
るようになっている。
【0018】前記被検レンズ系5は、内部に移動レンズ
を持つ例えばカメラレンズ等のレンズである。前記モー
タ18により、被検レンズ系5を移動させる図示しない
移動機構に連結し、また、モータ18の原動軸の一端に
ロータリーエンコーダ19を配置している。
を持つ例えばカメラレンズ等のレンズである。前記モー
タ18により、被検レンズ系5を移動させる図示しない
移動機構に連結し、また、モータ18の原動軸の一端に
ロータリーエンコーダ19を配置している。
【0019】さらに、前記ロータリーエンコーダ19か
らの出力は、制御手段としてのコンピュータ16に入力
され位置演算処理されて、その演算処理結果によりモー
タ15を駆動するようになっている。
らの出力は、制御手段としてのコンピュータ16に入力
され位置演算処理されて、その演算処理結果によりモー
タ15を駆動するようになっている。
【0020】次に、上述したレンズ偏心測定装置の動作
を説明する。前記レーザーダイオード13から出射した
光束は、レンズ12に入射し光束が拡大されてビームス
プリッタ10に入射する。ビームスプリッタ10は、こ
の入射した光束と、後述する被検レンズ系5からの反射
光束とを分離する機能を持ち、レーザーダイオード13
からの光束は、ビームスプリッタ10で反射されてレン
ズ11に入射する。そして、レンズ11により収束され
た光束は、被検レンズ系5の測定面5aに入射する。
を説明する。前記レーザーダイオード13から出射した
光束は、レンズ12に入射し光束が拡大されてビームス
プリッタ10に入射する。ビームスプリッタ10は、こ
の入射した光束と、後述する被検レンズ系5からの反射
光束とを分離する機能を持ち、レーザーダイオード13
からの光束は、ビームスプリッタ10で反射されてレン
ズ11に入射する。そして、レンズ11により収束され
た光束は、被検レンズ系5の測定面5aに入射する。
【0021】このとき、レンズ11を前記移動モータ1
5、ステージ14により被検レンズ系5の測定面5aに
対し垂直に光束が入射するよう移動させることにより、
測定面5aからの反射光が入射時の光路を逆行するオー
トコリメーションの関係にさせることができる。
5、ステージ14により被検レンズ系5の測定面5aに
対し垂直に光束が入射するよう移動させることにより、
測定面5aからの反射光が入射時の光路を逆行するオー
トコリメーションの関係にさせることができる。
【0022】光学系30を逆行した光束は、レンズ11
と、ビームスプリッタ10を透過しレンズ9で集光さ
れ、ポジションセンサ2で受光され光像となる。ポジシ
ョンセンサ20は、光像の位置を検出する機能を持ち、
被検レンズ系5の測定面5aが光軸から偏心していた場
合の光像の位置を求め被検レンズ系5の光軸からのずれ
を検出する。カメラレンズ等のレンズ移動部を有する被
検レンズ系5を測定する場合、前記被検レンズ系5の測
定面5aが光軸上で移動する為、この測定面5aの移動
に伴いレンズ11もまた移動させ前記オートコリメーシ
ョンの関係を保つ。
と、ビームスプリッタ10を透過しレンズ9で集光さ
れ、ポジションセンサ2で受光され光像となる。ポジシ
ョンセンサ20は、光像の位置を検出する機能を持ち、
被検レンズ系5の測定面5aが光軸から偏心していた場
合の光像の位置を求め被検レンズ系5の光軸からのずれ
を検出する。カメラレンズ等のレンズ移動部を有する被
検レンズ系5を測定する場合、前記被検レンズ系5の測
定面5aが光軸上で移動する為、この測定面5aの移動
に伴いレンズ11もまた移動させ前記オートコリメーシ
ョンの関係を保つ。
【0023】この為、前記モータ駆動装置17でモータ
18を回転駆動すると同時にロータリーエンコーダ19
でモータ18の回転数を検出(計数)し、前記測定面5
aの移動距離を測定するとともに、この測定結果に基づ
いてコンピュータ16により幾何光学的に光線追跡を行
い、上述したオートコリメーションの状態になるよう前
記測定面5aの移動値を算出し、モータ15、ステージ
14を介してレンズ11の位置を制御する。前記測定面
5aの移動に伴いオシロスコープ8は、被検レンズ系5
の可動部の移動誤差に起因する偏心量を表示する。
18を回転駆動すると同時にロータリーエンコーダ19
でモータ18の回転数を検出(計数)し、前記測定面5
aの移動距離を測定するとともに、この測定結果に基づ
いてコンピュータ16により幾何光学的に光線追跡を行
い、上述したオートコリメーションの状態になるよう前
記測定面5aの移動値を算出し、モータ15、ステージ
14を介してレンズ11の位置を制御する。前記測定面
5aの移動に伴いオシロスコープ8は、被検レンズ系5
の可動部の移動誤差に起因する偏心量を表示する。
【0024】本実施の形態1によれば、ポジションセン
サ20を使用することにより、リアルタイムに被検レン
ズ系5の偏心量を検出でき、被検レンズ系5の移動に伴
う偏心量を正確に測定できる。
サ20を使用することにより、リアルタイムに被検レン
ズ系5の偏心量を検出でき、被検レンズ系5の移動に伴
う偏心量を正確に測定できる。
【0025】[実施の形態2]図3に本発明の実施の形
態2のレンズ偏心測定装置を示す。尚、実施の形態2の
レンズ偏心測定装置において、実施の形態1のレンズ偏
心測定装置と同一の機能を有する要素には同一の符号を
付して示す。
態2のレンズ偏心測定装置を示す。尚、実施の形態2の
レンズ偏心測定装置において、実施の形態1のレンズ偏
心測定装置と同一の機能を有する要素には同一の符号を
付して示す。
【0026】実施の形態2のレンズ偏心測定装置は、C
CDカメラ等で構成した光像位置検出手段である撮像カ
メラ21を、光学系30のレンズ9の結像位置に配置す
るとともに、コンピュータ22は、表示手段であるCR
Tディスプレイ23に接続し、さらに、撮像カメラ21
の撮像信号をフレームメモリ24を介してコンピュータ
22に取り込むようにしたことが特徴である。その他の
構成要素は、第1実施の形態と同様であるので説明を省
略する。
CDカメラ等で構成した光像位置検出手段である撮像カ
メラ21を、光学系30のレンズ9の結像位置に配置す
るとともに、コンピュータ22は、表示手段であるCR
Tディスプレイ23に接続し、さらに、撮像カメラ21
の撮像信号をフレームメモリ24を介してコンピュータ
22に取り込むようにしたことが特徴である。その他の
構成要素は、第1実施の形態と同様であるので説明を省
略する。
【0027】実施の形態1の場合と同様に、レーザダイ
オード13から射出された光束は、レンズ12、ビーム
スプリッタ10、レンズ11を介して被検レンズ系5に
投射され、その反射光束は撮像カメラ21上で集光し光
像となる。
オード13から射出された光束は、レンズ12、ビーム
スプリッタ10、レンズ11を介して被検レンズ系5に
投射され、その反射光束は撮像カメラ21上で集光し光
像となる。
【0028】コンピュータ22は、撮像カメラ21上で
の光像の位置を検出するために、フレームメモリ24で
一旦ビデオ信号をデジタル信号に変換し画像信号として
記憶させる。前記コンピュータ22は、フレームメモリ
24に記憶した画像信号から集光位置を判断するために
2値化処理し、その後、集光した光像の重心を求める。
さらに、コンピュータ22は、実施の形態1の場合と同
様に、ロータリーエンコーダ19の出力である被検レン
ズ系5の移動距離信号を取り込み、モータ15を制御す
るとともに、前記重心から求めた集光位置を縦軸に、前
記移動距離信号を横軸にとり、これらをディスプレー2
3の画面に表示する。この他の作用は、実施の形態1の
の場合と同様である。
の光像の位置を検出するために、フレームメモリ24で
一旦ビデオ信号をデジタル信号に変換し画像信号として
記憶させる。前記コンピュータ22は、フレームメモリ
24に記憶した画像信号から集光位置を判断するために
2値化処理し、その後、集光した光像の重心を求める。
さらに、コンピュータ22は、実施の形態1の場合と同
様に、ロータリーエンコーダ19の出力である被検レン
ズ系5の移動距離信号を取り込み、モータ15を制御す
るとともに、前記重心から求めた集光位置を縦軸に、前
記移動距離信号を横軸にとり、これらをディスプレー2
3の画面に表示する。この他の作用は、実施の形態1の
の場合と同様である。
【0029】光像の偏心量と被検レンズ系5の移動レン
ズ部の移動距離とを、ディスプレー23に対応させ表示
できるため、移動レンズ部の移動精度による偏心の動き
を正確に測定できる。
ズ部の移動距離とを、ディスプレー23に対応させ表示
できるため、移動レンズ部の移動精度による偏心の動き
を正確に測定できる。
【0030】[実施の形態3]本発明の実施の形態3の
構成は、図示しないが実施の形態2におけるロータリー
エンコーダ19を削除し、撮像カメラ21の位置を光像
の集光位置に対しディフォーカスさせた位置に配置した
ものである。他の構成は、実施の形態3と同様である。
構成は、図示しないが実施の形態2におけるロータリー
エンコーダ19を削除し、撮像カメラ21の位置を光像
の集光位置に対しディフォーカスさせた位置に配置した
ものである。他の構成は、実施の形態3と同様である。
【0031】実施の形態3の作用としては、被検レンズ
系5のレンズ移動に対応させるべく撮像カメラ21上の
集光度をコンピュータ22で画像処理し、常時前記オー
トコリメーション関係になるようにレンズ11を制御す
るものである。
系5のレンズ移動に対応させるべく撮像カメラ21上の
集光度をコンピュータ22で画像処理し、常時前記オー
トコリメーション関係になるようにレンズ11を制御す
るものである。
【0032】撮像カメラ21上の集光度は、被検レンズ
系5の測定面5aが移動しオートコリメーション関係が
くずれることにより変化する。集光度の検出は、フレー
ムメモリ24により撮像カメラ21からの画像信号を取
り込んだ後、2値化処理し、画像信号における光像デー
タの直径又は周囲長を計測することにより得られる。
系5の測定面5aが移動しオートコリメーション関係が
くずれることにより変化する。集光度の検出は、フレー
ムメモリ24により撮像カメラ21からの画像信号を取
り込んだ後、2値化処理し、画像信号における光像デー
タの直径又は周囲長を計測することにより得られる。
【0033】また、通常の集光位置に撮像カメラ21を
置いたのでは、被検レンズ系5の可動部がどちらの方向
に動いたか分からないため、ある程度前後にデフォーカ
スさせる状態に撮像カメラ21を配置する。
置いたのでは、被検レンズ系5の可動部がどちらの方向
に動いたか分からないため、ある程度前後にデフォーカ
スさせる状態に撮像カメラ21を配置する。
【0034】光像のスポット径を常時予め定めた値にな
るようにコンピュータ22でレンズ11の移動をフィー
ドバック制御することにより、被検レンズ系5の測定面
5aが移動しても撮像カメラ21上のスポット径はいつ
も一定となり、従って、前記オートコリメーション関係
を保つことができる。他の作用は、実施の形態2と同様
である。
るようにコンピュータ22でレンズ11の移動をフィー
ドバック制御することにより、被検レンズ系5の測定面
5aが移動しても撮像カメラ21上のスポット径はいつ
も一定となり、従って、前記オートコリメーション関係
を保つことができる。他の作用は、実施の形態2と同様
である。
【0035】実施の形態3によれば、ロータリーエンコ
ーダ19を使用しないため、撮像カメラ21の本体に光
学系30を付けたままレンズ移動に伴う偏心量を測定で
きる。
ーダ19を使用しないため、撮像カメラ21の本体に光
学系30を付けたままレンズ移動に伴う偏心量を測定で
きる。
【0036】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、収束度が
可変可能な被検レンズ系においてもレンズ偏心量を測定
できるレンズ偏心測定装置を提供することができる。
可変可能な被検レンズ系においてもレンズ偏心量を測定
できるレンズ偏心測定装置を提供することができる。
【0037】請求項2記載の発明によれば、被検レンズ
系の移動量と、被検レンズ系の移動による収束度の変化
に伴う偏心量を対応させて表示することで、レンズ偏心
量を正確に測定できるレンズ偏心測定装置を提供するこ
とができる。
系の移動量と、被検レンズ系の移動による収束度の変化
に伴う偏心量を対応させて表示することで、レンズ偏心
量を正確に測定できるレンズ偏心測定装置を提供するこ
とができる。
【図1】本発明のレンズ偏心測定装置の構成を示す概念
図である。
図である。
【図2】本発明のレンズ偏心測定装置の実施の形態1の
構成を示す光学配置図である。
構成を示す光学配置図である。
【図3】本発明のレンズ偏心測定装置の実施の形態2の
構成を示す光学配置図である。
構成を示す光学配置図である。
【図4】従来のレンズ偏心測定器を示す光学配置図であ
る。
る。
1 表示器 2 光像位置検出器 3 光学系 4 光源 5 被検レンズ系 6 光学制御器 7 レンズ 8 オッツシロスコープ 9 レンズ 10 ビームスプリッタ 11 レンズ 12 レンズ 13 レーザダイオード 14 ステージ 15 モータ 16 コンピュータ 17 モータ駆動装置 18 モータ 19 ローターリエンコーダ 24 フレームメモリ
Claims (2)
- 【請求項1】 光源と、この光源からの光束の収束度を
可変可能な光学系と、前記光束を被検レンズ系に投射し
反射した光束の光像位置を検出する光像位置検出手段
と、この光像位置検出手段が検出した光像位置を表示す
る表示手段とを有するレンズ偏心測定装置であって、 被検レンズ系中のレンズ移動量を検出するレンズ移動検
出手段と、 このレンズ移動検出手段の出力により前記光学系の収束
度を変化させる制御手段と、 を具備したことを特徴とするレンズ偏心測定装置。 - 【請求項2】 光源と、この光源からの光束の収束度を
可変可能な光学系と、この光束を被検レンズ系に投射し
反射した光束の光像位置を検出する光像位置検出手段
と、この光像位置検出手段が検出した光像位置を表示す
る表示手段とを有するレンズ偏心測定装置であって、 被検レンズ系中のレンズ移動量を検出するレンズ移動検
出手段と、 前記レンズ移動検出手段が検出した被検レンズ系のレン
ズ移動量と、前記光像位置検出手段が検出した前記光像
位置とを取り込んで前記表示手段に表示させるととも
に、前記レンズ移動検出手段の出力により前記光学系の
収束度を変化させる制御手段と、 を具備したことを特徴とするレンズ偏心測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33140395A JPH09170964A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | レンズ偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33140395A JPH09170964A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | レンズ偏心測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09170964A true JPH09170964A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=18243306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33140395A Withdrawn JPH09170964A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | レンズ偏心測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09170964A (ja) |
-
1995
- 1995-12-20 JP JP33140395A patent/JPH09170964A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030304 |