JPH0916959A - Manufacture of magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To manufacture the magnetic recording medium which can display sufficient electromagnetic conversion characteristics. CONSTITUTION: When a metallic magnetic thin film is formed by vacuum deposition on one main surface of a nonmagnetic base 6, the degree of vacuum in a filming chamber 1 during the vacuum deposition is controlled to 3×10<-2> -5×10<-2> Pa. Consequently, when the metallic magnetic thin film is formed while the degree of vacuum is properly controlled, variation of cupping in a plus (+) direction due to storage can be suppressed to obtain the magnetic recording medium which comes into excellent contact with a magnetic head.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、いわゆる金属磁性薄膜
型の磁気記録媒体の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に、酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等
の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、
ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等
の有機結合剤中に分散させた磁性塗料を塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a powdery magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder has been coated on a nonmagnetic support by a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer,
A coating type magnetic recording medium prepared by coating and drying a magnetic coating material dispersed in an organic binder such as polyester resin, urethane resin or polyurethane resin is widely used.

【０００３】これに対して、高密度磁気記録への要求の
高まりと共に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ
−Ｏ等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段
（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティン
グ法等）によってポリエステルフィルムやポリアミド、
ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案され
注目を集めている。On the other hand, with the growing demand for high-density magnetic recording, Co-Ni alloys, Co-Cr alloys,
-O or the like, a metal magnetic material is subjected to plating or vacuum thin film forming means (vacuum vapor deposition method, sputtering method, ion plating method, etc.) to form a polyester film or polyamide,
A so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium directly attached on a non-magnetic support such as a polyimide film has been proposed and attracted attention.

【０００４】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできるた
め、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、
磁性層中に非磁性材である結合剤を混入する必要が無い
ため、磁性材料の充填密度を高めることができることな
ど、数々の利点を有している。This metal magnetic thin film type magnetic recording medium is excellent not only in coercive force and squareness ratio but also in electromagnetic conversion characteristics at short wavelengths, and the magnetic layer can be made extremely thin, so that recording demagnetization and reproduction are possible. The thickness loss at the time is extremely small,
Since there is no need to mix a binder, which is a non-magnetic material, in the magnetic layer, there are various advantages such that the packing density of the magnetic material can be increased.

【０００５】さらに、この種の磁気記録媒体の電磁変換
特性を向上させ、より大きな出力を得ることが出来るよ
うにするために、該磁気記録媒体の磁性層を形成する場
合、磁性層を斜めに蒸着するいわゆる斜方蒸着が提案さ
れ実用化されている。Further, in order to improve the electromagnetic conversion characteristics of this kind of magnetic recording medium and to obtain a larger output, when forming the magnetic layer of the magnetic recording medium, the magnetic layer is obliquely formed. So-called oblique vapor deposition for vapor deposition has been proposed and put to practical use.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな金属磁性薄膜型の磁気記録媒体、特に、金属磁性薄
膜がポリエステルフィルムやポリアミド、ポリイミドフ
ィルム等の可撓性の非磁性支持体上に成膜されてなる磁
気テープにおいては、幅方向への反りが発生することが
ある。The metal magnetic thin film type magnetic recording medium as described above, in particular, the metal magnetic thin film is formed on a flexible non-magnetic support such as a polyester film, polyamide or polyimide film. In a magnetic tape having a film, warpage in the width direction may occur.

【０００７】この反りは、カッピングと呼ばれ、金属磁
性薄膜が形成された面とは反対側に向かって曲がる場合
をプラス（＋）、金属磁性薄膜が形成された面側に向か
って曲がる場合をマイナス（−）として表される。ま
た、このカッピングの量は、幅方向中央部から、最も高
さが変位した位置までの高さとして表される。This warp is called cupping, and it is plus (+) when it bends toward the side opposite to the surface on which the metal magnetic thin film is formed, and when it bends toward the surface where the metal magnetic thin film is formed on it. Expressed as a minus (-). The amount of cupping is expressed as the height from the center in the width direction to the position where the height is most displaced.

【０００８】金属磁性薄膜としてコバルト（Ｃｏ）を主
体とした合金薄膜が成膜されてなる磁気テープにおいて
は、該合金薄膜の成膜時や、バックコート層の形成時に
熱が加えられることによりカッピングが生じる。そし
て、磁気テープの完成時におけるカッピングがマイナス
（−）方向であっても、この磁気テープを保存しておく
と、時間の経過とともに、カッピングがプラス（＋）方
向へ変化していく。In a magnetic tape in which an alloy thin film mainly composed of cobalt (Co) is formed as a metal magnetic thin film, heat is applied during the formation of the alloy thin film or the formation of the back coat layer to cause cupping. Occurs. Even if the cupping at the time of completion of the magnetic tape is in the minus (-) direction, if this magnetic tape is stored, the cupping will change in the plus (+) direction as time passes.

【０００９】磁気テープに対する書き込み／読み出しを
行うに際しては、このカッピングが磁気ヘッドとの当た
り具合に影響を与え、プラス（＋）方向のカッピングの
量が大きくなるほど磁気ヘッドとの当たりが悪くなる。
このため、上述したような磁気テープにおいては、保存
によって磁気ヘッドとの当たりが劣化し、その結果、磁
気ヘッドとの接触が一部で弱くなり、十分な電磁変換特
性を発揮できなくなってしまう。When writing / reading to / from a magnetic tape, this cupping affects the degree of contact with the magnetic head, and the greater the amount of cupping in the plus (+) direction, the worse the contact with the magnetic head.
For this reason, in the above-described magnetic tape, the contact with the magnetic head is deteriorated by storage, and as a result, the contact with the magnetic head is weakened at some parts, and sufficient electromagnetic conversion characteristics cannot be exhibited.

【００１０】そこで、本発明はかかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、保存によるプラス（＋）方向
のカッピングが抑制されることにより、摩耗が抑制さ
れ、十分な電磁変換特性を発揮できる磁気記録媒体を製
造する方法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and suppresses the cupping in the plus (+) direction due to storage, thereby suppressing wear and exhibiting sufficient electromagnetic conversion characteristics. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a magnetic recording medium that can be used.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体の製造方法は、上述の目的を達成するために提案され
たものであり、非磁性支持体上の一主面に、真空蒸着法
により金属磁性薄膜を成膜するに際し、蒸着中の成膜室
内の真空度を適正に制御することによって、保存による
プラス（＋）方向へのカッピングの変化を抑制するもの
である。A method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention has been proposed in order to achieve the above-mentioned object, and a vacuum deposition method is provided on one main surface of a non-magnetic support. By appropriately controlling the degree of vacuum in the deposition chamber during vapor deposition when depositing the metal magnetic thin film, the change in cupping in the plus (+) direction due to storage is suppressed.

【００１２】プラス（＋）方向へのカッピングの変化を
抑制するには、蒸着中の成膜室内の真空度が低い方がよ
いが、低すぎると成膜レートが劣化することから、３×
１０^-2〜５×１０^-2Ｐａの範囲に制御して好適である。In order to suppress the change of the cupping in the plus (+) direction, it is preferable that the degree of vacuum in the film forming chamber during the vapor deposition is low, but if it is too low, the film forming rate will be deteriorated.
It is preferable to control in the range of 10 ^{−2 to} 5 × 10 ⁻² Pa.

【００１３】成膜室内の真空度が３×１０^-2Ｐａ未満で
あると、完成時における磁気記録媒体のカッピングがマ
イナス（−）方向であっても、保存によりカッピングが
プラス（＋）方向へ急激に変化し、数十日程度の保存で
プラス（＋）の量となってしまう。成膜室内の真空度を
低くすると、プラス（＋）方向へのカッピングの変化を
抑制する効果は高まるが、成膜レートが劣化し、金属磁
性材料を加熱蒸発させるために電子銃のパワーを大きく
する必要が生じてくる。そして、成膜室内の真空度を５
×１０^-2Ｐａより大きくすると、成膜レートが著しく劣
化し、電子銃のパワーが不足してしまう。If the degree of vacuum in the film forming chamber is less than 3 × 10 ^-2 Pa, even if the cupping of the magnetic recording medium at the time of completion is in the minus (-) direction, the cupping will be in the plus (+) direction due to storage. It changes abruptly and becomes a positive (+) amount after storage for several tens of days. If the degree of vacuum in the film forming chamber is lowered, the effect of suppressing the change in cupping in the positive (+) direction is increased, but the film forming rate deteriorates, and the power of the electron gun is increased to heat and evaporate the metallic magnetic material. It becomes necessary to do it. Then, the degree of vacuum in the film forming chamber is set to 5
If it is larger than × 10 ^-2 Pa, the film forming rate will be significantly deteriorated and the power of the electron gun will be insufficient.

【００１４】本発明は、非磁性材料よりなる非磁性支持
体上に磁性層として金属磁性薄膜が設けられてなる磁気
記録媒体を製造するに際して適用されるものであるが、
特に、可撓性の非磁性支持体が所定の幅に裁断されてな
る磁気テープを製造するに際して適用されて好適であ
る。The present invention is applied when manufacturing a magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film is provided as a magnetic layer on a non-magnetic support made of a non-magnetic material.
In particular, it is suitable to be applied when manufacturing a magnetic tape in which a flexible non-magnetic support is cut into a predetermined width.

【００１５】非磁性支持体としては、ポリエステル類、
ポリオレフィン類、セルロース類、ビニル類、ポリイミ
ド類、ポリカーボネート類に代表されるような高分子材
料によって形成される高分子基板や、アルミニウム合
金、チタン合金からなる金属基板、アルミガラス等のセ
ラミックス基板、ガラス基板等が挙げられ、その形状も
何等限定されないが、磁気テープに適用する場合には、
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナ
フタレートフィルム、アラミドフィルム等を用いて好適
である。また、これらのフィルムには、表面粗度を制御
するためにフィラーが内添されていてもよいし、表面に
表面粗度を制御するための層が形成されていてもよい。As the non-magnetic support, polyesters,
Polymer substrates formed of polymer materials typified by polyolefins, celluloses, vinyls, polyimides, polycarbonates, metal substrates made of aluminum alloys and titanium alloys, ceramic substrates such as aluminum glass, and glass A substrate or the like can be mentioned, and its shape is not limited at all, but when applied to a magnetic tape,
A polyethylene terephthalate film, a polyethylene naphthalate film, an aramid film or the like is preferably used. In addition, a filler may be internally added to these films to control the surface roughness, or a layer for controlling the surface roughness may be formed on the surface.

【００１６】非磁性支持体上には、強磁性金属材料を直
接被着することにより金属磁性薄膜が磁性層として形成
されるが、この金属磁性材料としては、通常使用される
ものであれば如何なるものであってもよい。例示すれ
ば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉなどの強磁性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，
Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃ
ｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−Ｂｉ，Ｍｎ−Ａ
ｌ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等
の強磁性合金があげられる。また、これらの単層膜であ
ってもよいし多層膜であってもよい。A metallic magnetic thin film is formed as a magnetic layer by directly depositing a ferromagnetic metallic material on a non-magnetic support, and any metallic magnetic material can be used as this metallic magnetic material. It may be one. For example, ferromagnetic metals such as Fe, Co and Ni, Fe-Co,
Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Cu, Co-C
u, Co-Au, Co-Pt, Mn-Bi, Mn-A
1, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co
Examples include ferromagnetic alloys such as -Cr, Co-Ni-Cr, and Fe-Co-Ni-Cr. Further, these may be a single layer film or a multilayer film.

【００１７】そして、上述のような強磁性金属材料を成
膜するに際して、成膜室内の真空度を一定に保持するた
めに導入される気体としては、使用する強磁性金属材料
との反応性が低いものであればよく、その種類を問わな
い。When a film of the above-mentioned ferromagnetic metal material is formed, the gas introduced to keep the degree of vacuum in the film formation chamber constant has a reactivity with the ferromagnetic metal material used. It may be of any type, as long as it is low.

【００１８】さらに、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、
あるいは多層膜の場合には、各層間の付着力向上、並び
に抗磁力の制御等のため、下地層または、中間層を設け
てもよい。また、例えば磁性層表面近傍が耐蝕性改善等
のために酸化物となっていてもよい。Further, between the non-magnetic support and the metal magnetic thin film,
Alternatively, in the case of a multilayer film, an underlayer or an intermediate layer may be provided in order to improve the adhesive force between the layers and control the coercive force. Further, for example, the vicinity of the surface of the magnetic layer may be made of an oxide for improving corrosion resistance and the like.

【００１９】また、上記非磁性支持体上に形成された金
属磁性薄膜上には保護膜層が形成されていても良いがこ
の材料としては、通常の金属磁性薄膜用の保護膜として
一般に使用されるものであれば如何なるものであっても
よい。例示すれば、カーボンの他、ＣｒＯ₂ 、Ａｌ₂ Ｏ
₃ 、ＢＮ、Ｃｏ酸化物、ＭｇＯ、ＳｉＯ₂ 、Ｓｉ₃ Ｏ
₄ 、ＳｉＮ_x 、ＳｉＣ、ＳｉＮ_x −ＳｉＯ₂ 、ＺｒＯ
₂ 、ＴｉＯ₂ 、ＴｉＣ等があげられる。これらの単層膜
であってもよいし多層膜、あるいは複合膜であってもよ
い。A protective film layer may be formed on the metallic magnetic thin film formed on the non-magnetic support, but this material is generally used as a protective film for ordinary metallic magnetic thin films. Anything may be used as long as it is one. For example, in addition to carbon, CrO ₂ , Al ₂ O
₃ , BN, Co oxide, MgO, SiO ₂ , Si ₃ O
₄ , SiN _x , SiC, SiN _x -SiO ₂ , ZrO
₂ , TiO ₂ , TiC, etc. may be mentioned. These may be a single layer film, a multilayer film, or a composite film.

【００２０】もちろん、磁気記録媒体の構成はこれに限
定されるものではなく、必要に応じて非磁性支持体上に
下塗層が形成されたり、非磁性支持体における金属磁性
薄膜が成膜された面とは反対側の主面にバックコート層
を設けたり、金属磁性薄膜または保護膜表面に潤滑剤や
防錆剤等よりなるトップコート層を形成したりしてもよ
い。Of course, the structure of the magnetic recording medium is not limited to this, and an undercoat layer may be formed on the non-magnetic support or a metal magnetic thin film may be formed on the non-magnetic support, if necessary. A back coat layer may be provided on the main surface opposite to the upper surface, or a top coat layer made of a lubricant, a rust preventive or the like may be formed on the surface of the metal magnetic thin film or the protective film.

【００２１】[0021]

【作用】本発明を適用して、蒸着中の成膜室内の真空度
を適正に制御すると、保存によるプラス（＋）方向への
カッピングの変化が抑制された磁気記録媒体を得ること
ができる。When the present invention is applied to properly control the degree of vacuum in the film forming chamber during vapor deposition, it is possible to obtain a magnetic recording medium in which changes in cupping in the plus (+) direction due to storage are suppressed.

【００２２】[0022]

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
するが、本発明がこの実施例に限定されるものではない
ことはいうまでもない。EXAMPLES Hereinafter, specific examples of the present invention will be described, but it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.

【００２３】先ず、本実施例において金属磁性薄膜を形
成するために使用した真空蒸着装置の構成について説明
する。First, the structure of the vacuum vapor deposition apparatus used for forming the metal magnetic thin film in this embodiment will be described.

【００２４】図１に示されるように、この真空蒸着装置
においては、真空ポンプ３に接続された排気口２から排
気されて内部が減圧可能となされた成膜室１内に、図中
ａ方向に定速回転する送りロール４と、図中ｂ方向に定
速回転する巻取りロール５とが設けられ、これら送りロ
ール４から巻取りロール５にテープ状の非磁性支持体６
が順次走行するようになされている。As shown in FIG. 1, in this vacuum vapor deposition apparatus, a film forming chamber 1 is evacuated from an exhaust port 2 connected to a vacuum pump 3 so that the inside pressure can be reduced. A feed roll 4 that rotates at a constant speed and a winding roll 5 that rotates at a constant speed in the direction b in the figure are provided on the tape roll.
Are designed to run sequentially.

【００２５】これら送りロール４から巻取りロール５に
向かって非磁性支持体６が走行する中途部には、上記各
ロール４，５の径よりも大径となされた冷却キャン７が
設けられている。この冷却キャン７は、上記非磁性支持
体６を図中側方に引き出すように設けられ、図中ｃ方向
に定速回転する構成とされる。A cooling can 7 having a diameter larger than that of each of the rolls 4 and 5 is provided in the middle of the non-magnetic support 6 running from the feed roll 4 toward the take-up roll 5. There is. The cooling can 7 is provided so as to pull out the non-magnetic support 6 laterally in the drawing, and is configured to rotate at a constant speed in the direction c in the drawing.

【００２６】なお、送りロール４、巻取りロール５およ
び冷却キャン７は、それぞれ非磁性支持体６の幅と略同
じ長さからなる円筒状をなすものである。また、冷却キ
ャン７には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、非
磁性支持体６の温度上昇による変形等を抑制し得るよう
になされている。The feed roll 4, the take-up roll 5, and the cooling can 7 each have a cylindrical shape having a length substantially the same as the width of the nonmagnetic support 6. Further, the cooling can 7 is provided with a cooling device (not shown) inside so that deformation of the non-magnetic support 6 due to a temperature rise can be suppressed.

【００２７】したがって、この真空蒸着装置の成膜室１
内では、非磁性支持体６が、送りロール４から順次送り
出され、さらに上記冷却キャン７の周面を通過し、巻取
りロール５に巻取られるようになされている。Therefore, the film forming chamber 1 of this vacuum vapor deposition apparatus
In the inside, the non-magnetic support 6 is sequentially fed out from the feed roll 4, passes through the peripheral surface of the cooling can 7, and is wound up by the winding roll 5.

【００２８】また、成膜室１内には、冷却キャン７の下
方に、該冷却キャン７の幅と略同一の幅を有するルツボ
８が設けられ、このルツボ８内に金属磁性材料９が充填
されている。A crucible 8 having a width substantially the same as the width of the cooling can 7 is provided in the film forming chamber 1 below the cooling can 7, and the crucible 8 is filled with the metal magnetic material 9. Has been done.

【００２９】一方、成膜室１の側壁部には、上記ルツボ
８内に充填された金属磁性材料９を加熱蒸発させるため
の電子銃１０が取り付けられる。この電子銃１０は、当
該電子銃１０より放出される電子線Ｘが上記ルツボ８内
の金属磁性材料９に照射されるような位置に配設され
る。そして、この電子銃１０によって蒸発した金属磁性
材料９が上記冷却キャン７の周面を定速走行する非磁性
支持体６上に磁性層として被着形成されるようになって
いる。On the other hand, an electron gun 10 for heating and evaporating the metallic magnetic material 9 filled in the crucible 8 is attached to the side wall of the film forming chamber 1. The electron gun 10 is arranged at a position such that the electron beam X emitted from the electron gun 10 irradiates the metallic magnetic material 9 in the crucible 8. The metallic magnetic material 9 evaporated by the electron gun 10 is deposited and formed as a magnetic layer on the non-magnetic support 6 that runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 7.

【００３０】また、冷却キャン７とルツボ８との間であ
って該冷却キャン７の近傍には、シャッタ１１が、上記
冷却キャン７の周面を定速走行する非磁性支持体６の所
定領域を覆う形で配設されている。このシャッタ１１に
より、蒸発せしめられた金属磁性材料９が非磁性支持体
６に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるようにな
る。Further, between the cooling can 7 and the crucible 8 and in the vicinity of the cooling can 7, a shutter 11 is provided in a predetermined region of the non-magnetic support 6 which runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 7. Is arranged so as to cover. The shutter 11 allows the evaporated metal magnetic material 9 to be obliquely deposited on the non-magnetic support 6 within a predetermined angle range.

【００３１】さらに、成膜室１の側壁部にはガス導入口
１２が設けられ、成膜室１内に所望のガスを所望の流量
にて供給できるようになされている実施例１ ここで、実際に、以上のような構成を有する真空蒸着装
置を用い、成膜室１内の真空度を制御しながら金属磁性
薄膜を成膜し、磁気テープを製造した。Furthermore, the side wall portion of the deposition chamber 1 is provided with a gas inlet 12, the desired gas desired here Example 1 that made be in so that it can supply at a flow rate into the film forming chamber 1, Actually, a magnetic tape was manufactured by forming a metal magnetic thin film by controlling the degree of vacuum in the film forming chamber 1 by using the vacuum vapor deposition apparatus having the above-mentioned configuration.

【００３２】具体的には、先ず、上述した真空蒸着装置
に、厚さ１０μｍポリエチレンテレフタレートフィルム
よりなる非磁性支持体６を走行させ、下記の条件にて金
属磁性薄膜を１８０ｎｍなる厚さに成膜した。Specifically, first, the non-magnetic support 6 made of a polyethylene terephthalate film having a thickness of 10 μm is run in the above vacuum vapor deposition apparatus, and a metal magnetic thin film is formed to a thickness of 180 nm under the following conditions. did.

【００３３】蒸着条件 インゴット ： Ｃｏ₈0−Ｎｉ₂0 入射角 ： ５０〜９０° 蒸着時真空度 ： ３×１０^-2Ｐａ なお、真空度は、成膜室１内を排気すると同時に、酸素
ガスの流量を調整することによって、上述の値に制御し
た。Deposition conditions Ingot: Co ₈₀ -Ni ₂ 0 Incident angle: 50 to 90 ° Degree of vacuum during deposition: 3 × 10 ^-2 Pa Note that the degree of vacuum is such that the inside of the film forming chamber 1 is exhausted and oxygen gas It was controlled to the above value by adjusting the flow rate of.

【００３４】その後、８ミリ幅に裁断して磁気テープを
得た。これを実施例１のサンプルテープとする。Then, it was cut into a width of 8 mm to obtain a magnetic tape. This is a sample tape of Example 1.

【００３５】比較例１ 蒸着時の真空度を１×１０^-2Ｐａとして金属磁性薄膜の
成膜を行った以外は、実施例１と同様にして磁気テープ
を製造した。これを比較例１のサンプルテープとする。 Comparative Example 1 A magnetic tape was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the metal magnetic thin film was formed at a vacuum degree of 1 × 10 ⁻² Pa during vapor deposition. This is designated as the sample tape of Comparative Example 1.

【００３６】比較例２ 蒸着時の真空度を９×１０^-3Ｐａとして金属磁性薄膜の
成膜を行った以外は、実施例１と同様にして磁気テープ
を製造した。これを比較例２のサンプルテープとする。 Comparative Example 2 A magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the metal magnetic thin film was formed at a vacuum degree of 9 × 10 ⁻³ Pa during vapor deposition. This is designated as a sample tape of Comparative Example 2.

【００３７】特性の評価 実施例１、比較例１、比較例２のサンプルテープについ
て、保存によるカッピングの経時変化を調べた。 Evaluation of Characteristics With respect to the sample tapes of Example 1, Comparative Example 1 and Comparative Example 2, changes with time of cupping due to storage were examined.

【００３８】具体的には、各サンプルテープを製造後、
温度２５℃、相対湿度６０％ＲＨの環境下にて１０００
日間保存し、その間、カッピング量を数回にわたって測
定した。なお、カッピング量は、金属磁性薄膜が形成さ
れた面とは反対側に向かって曲がる場合をプラス
（＋）、金属磁性薄膜が形成された面側に向かって曲が
る場合をマイナス（−）とし、幅方向中央部から最も高
さが変位した位置までの高さとして表す。Specifically, after manufacturing each sample tape,
1000 in an environment of temperature 25 ° C and relative humidity 60% RH
It was stored for a day, during which the cupping amount was measured several times. The amount of cupping is plus (+) when bending toward the side opposite to the surface on which the metal magnetic thin film is formed, and minus (-) when bending toward the surface on which the metal magnetic thin film is formed, It is expressed as the height from the center in the width direction to the position where the height is most displaced.

【００３９】図２に測定結果を示す。なお、図２におけ
る横軸は、製造後の日数を示すが、その目盛りの間隔
は、日数の対数をとった値に対応させている。The measurement results are shown in FIG. The horizontal axis in FIG. 2 indicates the number of days after manufacturing, and the interval of the scale corresponds to the value obtained by taking the logarithm of the number of days.

【００４０】図２に示されるように、各サンプルテープ
とも、製造直後は、マイナス（−）のカッピング値を有
しているが、比較例１および比較例２のサンプルテープ
においては、日数とともにカッピングが急激にプラス
（＋）方向に変化し、５０日から１００日間保存する
と、プラス（＋）の量となってしまう。これに対して、
実施例１のサンプルテープにおいては１０００日間保存
しても、カッピングがプラス（＋）の量となっていない
ことがわかる。As shown in FIG. 2, each of the sample tapes has a negative (-) capping value immediately after the production, but the sample tapes of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 are capped together with the number of days. Changes sharply in the plus (+) direction, and when it is stored for 50 to 100 days, the amount becomes plus (+). On the contrary,
It can be seen that the sample tape of Example 1 does not have a positive (+) amount of cupping even after being stored for 1000 days.

【００４１】これより、真空度を３×１０^-2Ｐａ以上と
して金属磁性薄膜の成膜を行うことにより、長期間保存
しても、磁気ヘッドとの当たり特性に優れた磁気記録媒
体となることがわかる。但し、生産性を考慮すると、真
空度を５×１０^-2Ｐａより大きくすることは現実的でな
い。Thus, by forming a metal magnetic thin film at a vacuum degree of 3 × 10 ^-2 Pa or higher, a magnetic recording medium having excellent contact characteristics with a magnetic head can be obtained even after long-term storage. I understand. However, considering productivity, it is not realistic to set the degree of vacuum higher than 5 × 10 ^-2 Pa.

【００４２】[0042]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、真空
度を適正に制御しながら金属磁性薄膜の成膜を行うと、
保存によるプラス（＋）方向へのカッピングの変化を抑
制することができ、磁気ヘッドとの当たり特性に優れた
磁気記録媒体となる。As is apparent from the above description, when the metal magnetic thin film is formed while the vacuum degree is properly controlled,
A change in cupping in the positive (+) direction due to storage can be suppressed, and a magnetic recording medium having excellent contact characteristics with the magnetic head can be obtained.

【００４３】したがって、本発明を適用すると、十分な
電磁変換特性を発揮できる磁気記録媒体を製造すること
が可能となる。Therefore, by applying the present invention, it becomes possible to manufacture a magnetic recording medium which can exhibit sufficient electromagnetic conversion characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】真空蒸着装置の一構成例を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of a vacuum vapor deposition device.

【図２】保存日数とカッピングとの関係を示す特性図で
ある。FIG. 2 is a characteristic diagram showing the relationship between the number of storage days and cupping.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 成膜室 ６ 非磁性支持体 ７ 冷却キャン ９ 金属磁性材料 １０ 電子銃 １２ ガス供給口 1 film forming chamber 6 non-magnetic support 7 cooling can 9 metal magnetic material 10 electron gun 12 gas supply port

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 非磁性支持体上の一主面に、真空蒸着法
により金属磁性薄膜を成膜するに際し、 蒸着中の成膜室内の真空度を３×１０^-2〜５×１０^-2Ｐ
ａに制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。1. When forming a metal magnetic thin film on one main surface of a non-magnetic support by a vacuum deposition method, the degree of vacuum in the deposition chamber during the deposition is 3 × 10 ^{−2 to} 5 × 10 ^−2. P
A method for manufacturing a magnetic recording medium, wherein the magnetic recording medium is controlled to a.