JPH09169427A

JPH09169427A - 浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置

Info

Publication number: JPH09169427A
Application number: JP35051295A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Hashimoto; 芳樹橋本
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1995-12-22
Filing date: 1995-12-22
Publication date: 1997-06-30

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス基板など、比較的大きな可撓性を有す
る物体を取り扱う場合に、塵埃の付着及び損傷を極力抑
えながら撓みを防止することに寄与する浮揚装置と、基
板搬送装置とを提供すること。【解決手段】振動体１１が発する音波に基づく疑似定
在波の節のエネルギーによって浮揚力を与える。従っ
て、ガラス基板３等を例えば搬送する場合に、このガラ
ス基板等の端部のみにベルトを接触させて支えるように
し、以て、塵埃の付着及び損傷を極力抑え、ガラス基板
等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることにより撓
みをほぼ０として曲り癖等の発生を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物体に対して超音
波に基づく浮揚力を与える浮揚装置と、該装置を具備し
て基板の搬送を行なう基板搬送装置とに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイなどとして利用される
ガラス基板は、特にその主たる面に対して塵埃（ｐａｒ
ｔｉｃｌｅ）が付着すること、および微細にても傷が発
生することを可能な限り避けねばならない。従って、ガ
ラス基板を搬送する際には注意を要する。

【０００３】従来、ガラス基板を１枚ずつ搬送する、い
わゆる枚葉方式の搬送用手段の一例として、図１３及び
図１４に示すローラコンベアがある。

【０００４】図示のように、このローラコンベアは、複
数の駆動ローラ１及び従動ローラ２と、該各ローラに掛
け回されてガラス基板３の両端部下面が接触する無端状
の細いベルト４と、駆動ローラ１を回転駆動する図示し
ない駆動手段とを有している。

【０００５】すなわち、駆動ローラ１が回転駆動される
ことによってベルト４が駆走され、ガラス基板３の搬送
（矢印Ａにて示す）が行われるものである。

【０００６】かかる構成の搬送手段では、ガラス基板３
には細いベルト４が接触するだけであり、しかもガラス
基板３の中央部分を避けて端部に接触することから、塵
埃の付着および損傷の問題は軽減される。

【０００７】一方、製造ラインでは、上述のような搬送
の他に、ガラス基板を一時的にある箇所に定置しておく
ことが行なわれ、その場合も、上記の問題を回避するた
めに搬送の際と同様にして、ガラス基板３をその両端部
にて支持手段としての定置台上に載置することが行なわ
れる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術においては、次のような問題を擁している。

【０００９】つまり、近年、テレビやビデオ、パソコン
等への液晶ディスプレイの応用に伴い、ガラス基板の需
要が増加し、その形状も大型化している。ガラス基板は
非常に薄いものであるゆえ、上述のように両端部で支持
された状態では自重によって撓み、特に大型の基板では
撓み量はかなり大きくなる。

【００１０】撓み量があまり大きいと、ガラス基板が塑
性変形、すなわち曲がり癖を生じ、それに伴う内部歪に
基づく静的応力によって甚しい場合は破壊してしまう恐
れがある。

【００１１】ここで、ガラス基板に関して、実際に撓み
量の測定を行なった結果について説明しておく。測定の
条件は下記のようである。

【００１２】まず、供試体として用意したガラス基板
は、長さ、幅及び厚さが各々６５０ｍｍ、５５０ｍｍお
よび０．７ｍｍのものである。このガラス基板を、図１
５に示すように２つの支持ブロック６間に載架し、自重
による撓み量Ｂを測定した。但し、両支持ブロック６の
位置を適宜変化させ、ガラス基板３の向きを変えてその
長さ方向及び幅方向の夫々について測定した。すなわ
ち、図１５において、記号Ａは、ガラス基板３の長さ又
は幅寸法を示す。

【００１３】また、図１６において記号Ｃにて示す量、
すなわち、ガラス基板３が撓んでいるときにこのガラス
基板３の端部上縁が支持ブロック６の上面から離れる量
も、併せて測定した。

【００１４】測定結果は、次表のようになった。

【００１５】

【表１】

【００１６】上述のように、撓みは基板の大型化でまず
問題となる点である。因に、撓み量はその支持スパン
（上記Ａ寸法）の４乗に比例するので、基板の寸法を少
し大きくしただけでも大きく変化する。

【００１７】上記の点から、基板の撓みを抑える一つの
手法として、図１７及び図１８に示す構成が一般的に採
用されている。

【００１８】図示のように、駆動ローラ１、従動ローラ
２、ベルト４等からなるローラコンベアを、ガラス基板
３の両端部のみならず中央部にも配設するものである。
この構成によれば、最大撓み量を例えば０．１ｍｍ以下
とすることができる。

【００１９】ところが、この構成では、ベルト４の本数
が多く、しかも、ガラス基板３の両端部だけでなく中央
部分にも接触することから、塵埃の付着及び損傷の機会
がそれだけ増加して歩留りの低下につながるという不都
合がある。

【００２０】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みてな
されたものであり、その主目的とするところは、例えば
ガラス基板など、比較的大きな可撓性を有する物体を取
り扱う場合に、この物体に対する塵埃の付着及び損傷を
極力抑えながら撓み量をほぼ０とすることに寄与する浮
揚装置と、該浮揚装置を具備してガラス基板等の基板の
搬送を行なう基板搬送装置とを提供することである。

【００２１】また、本発明は、上記に加えて更に他の効
果をも併せ奏し得る基板搬送装置を提供することも目的
とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記主目的達成のため
に、本発明による浮揚装置は、振動体と、該振動体を励
振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波
に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって物体に浮
揚力を与えるように構成されている。また、上記可撓性
物体を所定の箇所に定置する際に用いられる本発明に係
る浮揚装置は、同主目的達成のため、該物体を支持する
支持手段と、振動体と、該振動体を励振する超音波励振
手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在
波の節のエネルギーによって前記物体に浮揚力を与えて
該物体の撓みを防止するように構成されている。また、
本発明による基板搬送装置においては、同主目的の達成
のために、基板を搬送する搬送手段と、振動体と、該振
動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発
する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって
前記基板に浮揚力を与えて該基板の撓みを防止するよう
に構成されている。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明は、薄板状にして比較的大
きな可撓性を有するガラス基板をある箇所に定置したり
搬送する場合、このガラス基板に対する塵埃の付着およ
び損傷を極力抑えながら撓みを防止するために実施され
る。

【００２４】

【実施例】次に、本発明の実施例について、添付図面を
参照しながら説明する。

【００２５】なお、以下に各種の実施例として説明する
各基板搬送装置（浮揚装置を含む）に関して、前述した
従来の装置と同様な構成部分については同じ参照符合を
付して示している。

【００２６】また、これらの基板搬送装置において、搬
送の対象とされる基板は矩形状のガラス基板であり、こ
のガラス基板を示す参照符合として、前述の従来例の説
明におけると同様に３を使用する。

【００２７】図１及び図２に、本発明の第１実施例とし
ての基板搬送装置（浮揚装置を含む）を示す。

【００２８】当該基板搬送装置は、ガラス基板３を担持
して搬送する搬送手段と、このガラス基板３の撓みを防
止するために該ガラス基板３に浮揚力を与える手段とを
備えている。

【００２９】上記搬送手段は、複数の駆動ローラ１及び
従動ローラ２と、無端状にしてこれら各ローラに掛け回
されてガラス基板３の外周部、具体的には両側端部の下
面が接触するベルト４と、駆動ローラ１を回転駆動する
駆動手段（図示せず）とからなる。

【００３０】また、上記ガラス基板３に浮揚力を与える
手段は、振動体１１と、超音波振動発生部１２と、発振
器１３（図２に図示）とを有している。該超音波振動発
生部１２及び発振器１３は、該振動体１１を励振する超
音波励振手段を構成する。

【００３１】また、該超音波励振手段と振動体１１と
を、浮揚装置と総称する。

【００３２】上記振動体１１は、ジュラルミン等を素材
として矩形板状に、且つ、その外径寸法がガラス基板３
の外径寸法よりも小であるように形成されている。そし
て、前述の搬送手段によって搬送されるガラス基板３の
下方に配置されている。

【００３３】一方、上記超音波振動発生部１２は、上記
振動体１１と皿ねじ１５（図１に図示）等によって結合
されるホーン１６を有している。このホーン１６は、そ
の材質としてジュラルミン等が選定される。図２に示す
ように、該ホーン１６の上記振動体１１に対する結合側
とは反対側、すなわち下端側には、振動子１８が結合さ
れている。この振動子１８の電極１８ａと発振器１３と
が接続ケーブル２０によって接続されており、振動子１
８は該発振器１３によって駆動されて超音波振動を発生
する。

【００３４】なお、図２において、振動子１８及びホー
ン１６による超音波振動の振動方向を矢印Ｕにて示して
いる。このように、振動子１８、従ってホーン１６は縦
振動を行う。

【００３５】上記ホーン１６にはそのノーダルポイント
部にフランジ部１６ａが形成されており、該ホーン１６
の下半部分と上記振動子１８を収容するケース２２に対
して該フランジ部１６ａが、ボルト（図示せず）によっ
て、且つパッキン２３を介して締結されている。

【００３６】図１及び図２に示すように、上記振動体１
１及び該振動体１１を振動させるための超音波振動発生
部１２は、ガラス基板３が搬送されるべき方向において
往復動自在な可動台２５上に搭載されている。この可動
台２５は、図示しない駆動手段によって、上記搬送手段
（ベルト４等からなる）によるガラス基板３の搬送と同
期して移動せしめられる。

【００３７】続いて、上記した構成の基板搬送装置の動
作を説明する。

【００３８】まず、図２に示す発振器１３が予め作動せ
しめられ、振動体１１が励振される。振動体１１は、ホ
ーン１６を通じて伝達される縦振動（矢印Ｕで示してい
る）に基づいて、記号Ｓで示すように撓み振動を行う。
このため、振動体１１の長さＬ（図１参照）及び幅Ｂ
（同）は、ホーン１６から伝達される振動に基づく撓み
振動の共振長に設定されている。具体的には、ホーン１
６を通じて１９．５ＫＨｚの振動が加えられ、振動体１
１は１０〜３０μｍｐ_- ｐの振幅を以て振動する。

【００３９】すなわち、振動体１１の振動の節はその長
さ方向、幅方向において夫々所定の間隔で現れ、格子状
の振動モードにて振動する。

【００４０】なお、振動体１１の各寸法、共振周波数及
びその振幅並びに振動モードの形態については、適宜設
定することができる。

【００４１】上記のように振動体１１が振動を続けてい
る状態で、搬送されるべきガラス基板３が、その両側端
部が左右のベルト４上に乗るように水平に載置される。
すると、このガラス基板３は、振動体１１が発する音波
に基づく疑似定在波（後述）の節のエネルギーによって
その中央部分に浮揚力を与えられる。よって、図３にお
いて二点鎖線にて示す如き自重による撓みはほとんど生
ぜず、同図で実線で示すようにほぼ完全に水平な状態に
維持される。

【００４２】この状態で駆動ローラ１が回転駆動される
ことによってベルト４が駆送され、ガラス基板３の搬送
（図１で矢印Ａにて示す）が行われる。ガラス基板３の
搬送に同期して可動台２５が同じ方向に同じ速度にて移
動する（図１で矢印Ｄにて示している）ので、ガラス基
板３は常に一定の浮揚力を受けることができ、撓みは防
止される。

【００４３】上述のように、当該基板搬送装置において
は、ガラス基板３の端部のみにベルト４を接触させて支
えるようにし、以て、該ガラス基板３に対する塵埃の付
着及び損傷を極力抑える一方、ガラス基板３の中央部分
に対して上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ０と
して曲り癖等の発生を防止している。

【００４４】このように撓みの防止が超音波を用いて非
接触で行われ、ベルト４との接触は最小限に止められる
ので、歩留りが向上する。

【００４５】また、上記疑似定在波の節は、振動体１１
の表面からは最低でも１／４波長分離れて位置し、この
節の位置がすなわちガラス基板３の存在位置となること
から、ガラス基板３と振動体１１との距離は比較的大き
く保たれ、両者が接触する恐れがない。

【００４６】なお、浮揚力の発生については、例えば圧
搾空気をガラス基板３の下方から吹き付けることによっ
てもなし得るが、この方法では圧搾空気をガラス基板３
に向けて噴射する装置に加えて、空気を圧縮して供給し
続けるための圧縮機等、附帯設備を必要とし、コストの
増大を招来する。本発明のように超音波振動を利用する
ものでは、超音波を発する装置さえ設ければ、その他は
電力消費の問題だけで済む。

【００４７】ここで、疑似定在波の節のエネルギーを用
いた浮揚現象に関して実験的に検討した結果について説
明する。

【００４８】＜疑似低在波の節を用いた浮揚現象＞たわ
み振動板から放射される音波は、波数整合を満足する方
射角θ方向のみに伝播する。この音波は振動板の上方に
とりつけた反射板との間に見かけの定在波音場を形成す
る。これは疑似定在波と呼ばれその波長は下記の式
（１）の関係を満たしている。今回はこの疑似定在波の
節のエネルギーを面で受けることで底の平らな物質の浮
揚を確認した。

【００４９】図４において λ_q ：疑似定在波長 λ_a ：空中の波長 θ：放射角であり、λ_q とλ_a は以下の式を満たす。 λ_q ＝λ_a ／ｓｉｎθ ・・・（１）

【００５０】＜浮揚力の測定＞疑似定在波の形成する音
場が与える浮揚力を図５に示す装置により測定した。浮
揚物体はアルミニウム製の直方体（１０２＊７０＊１５
ｍｍ）であり十分重く、電子天秤に吊るされている。

【００５１】浮揚力は振動子のｏｎ時とｏｆｆ時の秤の
示す値の差としている。振動板上には縞たわみモードが
励振されている。この振動のパラメータは以下に示す通
りである。共振周波数ｆ＝１７．０［ｋＨｚ］放射角 θ＝５４°［ｄｅｇ．］縞モード間隔ｄ＝１６．５［ｍｍ］空中の波長 λ_a ＝２０．０［ｍｍ］疑似定在波長 λ_q ＝２４．５［ｍｍ］

【００５２】なお、図６に示すように浮揚物体の周囲を
アルミ板で一周囲んだ場合についても測定を行い囲みの
ない場合と比較している。

【００５３】

【表２】

【００５４】＜実験結果＞最初に、振動板−浮揚物体間
の距離を変化させたときの浮揚力の変化を調べた。振動
板の振幅は８μｍで一定である。結果を図７に示す。図
７で縦軸は浮揚物体の底面積で割った値をプロットして
いる。

【００５５】振動板−浮揚物体間の距離が０に近いとこ
ろで得られている大きな浮揚力は、本願出願人によって
提案された特開平７−２４４１５５号公報等において開
示された、超音波の放射圧に基づく浮揚現象によるもの
である。振動板からの距離が１０−２０ｍｍ間に一つの
ピークがあり、疑似定在波の節に相当するものである。

【００５６】ピーク値は、囲みがある場合の方が囲みが
無い場合に比べて２倍以上となっている。振動板から離
れたところでは、囲みの有無により浮揚力の大きさにか
なりの違いが見られる。囲みがある場合は疑似定在波の
半波長間隔にピークが現れる。しかし、囲みが無い場合
は２波長目以後の節の位置をグラフから読み取ることも
難しくなっている。これは、放射された音波が物体に届
かず発散している事を示している。

【００５７】１０μｍほどの振幅では長方形サイズのフ
ロッピーディスク（０．００５３ｇｆ／ｃｍ² ）の切れ
はしが浮揚することを確認している。

【００５８】図８は浮揚物体を振動板から疑似定在波の
半波長のところに固定し、振動板の振幅を変化させたと
きの浮揚力の値を示したものである。このグラフでは浮
揚力が振幅の２乗に比例していることがわかる。

【００５９】また、図９に振動子の入力パワーと浮揚力
の関係を示す。この場合は比例関係となっている。振動
子の変換効率を１００％と仮定し、放射圧は物体全面の
エネルギー密度に比例するものとして入力パワーを振動
板の面積で割ったものを物体前面のエネルギー密度と考
えると図９の結果は妥当である。

【００６０】＜実験のまとめ＞たわみ振動板のつくる疑
似定在波の節において底の平らなものの浮揚を確認し
た。また、その音場での浮揚力の分布を測定した。浮揚
力は振動板から放射する音波をうまく利用することでよ
り大きな浮揚力を得ることができることを確認した。浮
揚力と入力電力が比例関係にあることを確認した。

【００６１】次に、本発明の第２実施例としての基板搬
送装置について、図１０に基づいて説明する。但し、後
述する第３実施例の基板搬送装置及び第４実施例として
の浮揚装置についても同様であるが、この第２実施例の
基板搬送装置は以下に説明する部分以外は図１及び図２
に示した第１実施例としての基板搬送装置と同様に構成
されており、装置全体としての説明は重複する故に省略
し、要部のみの説明に留める。

【００６２】図示のように、この基板搬送装置において
は、振動体１１が長尺となされ、搬送手段（ベルト４等
からなる）によるガラス基板３の搬送経路の略全域にわ
たって延在している。

【００６３】すなわち、この振動体１１は移動せず、上
記搬送手段によって搬送されるガラス基板３に対して、
その広範な振動領域を以て浮揚力を与えるものである。

【００６４】これに対し、前述した第１実施例としての
基板搬送装置においては、振動体１１は短く形成され、
可動台２５に搭載されて該可動台２５の移動によってガ
ラス基板３の搬送に追随する。

【００６５】上述した第２実施例の基板搬送装置では、
該可動台２５及びその駆動手段は必要とせず、構成が簡
単であり、コストの低減が図り易い。

【００６６】なお、上記第１実施例の基板搬送装置にお
いては、振動体１１が短く、振動領域が狭いが故に、超
音波振動発生部１２からの振動がその振動領域全体に有
効に伝達し、振動体１１の全面にわたってほぼ均等な浮
揚力が生じ得る。第２実施例の基板搬送装置のように振
動体１１が長いと、その長手方向の端に向うにつれて振
動エネルギーが減衰することは避けられず、全面にわた
ってほぼ均一な浮揚力を得ることは容易ではない。

【００６７】続いて、本発明の第３実施例としての基板
搬送装置を、図１１に基づいて説明する。

【００６８】図示のように、当該基板搬送装置において
は、上記第１実施例におけると同様の短い振動体１１
が、ガラス基板３の搬送経路に沿って等間隔で複数並設
されている。そして、これら振動体１１の各々に対し
て、超音波振動発生部１２が個別に設けられている。

【００６９】この構成では、上記搬送手段（ベルト４等
からなる）によって搬送されるガラス基板３は、並設さ
れた各振動体１１間を渡るようにして移動し、浮揚力を
受ける。

【００７０】なお、この構成においては、ガラス基板３
に与えられる浮揚力は、ガラス基板３が各振動体１１の
各々の真上に位置するときに最大となり、隣り合う振動
体１１同士の中間点を通過するときに最小となる。この
最小の浮揚力を受ける場合においても、ガラス基板３の
撓み量が許容値（曲り癖等を生じない大きさ）内に収ま
るように浮揚力が設定される。

【００７１】上記した第３実施例のものにおいては、振
動体１１及び超音波振動発生部１２を共に複数要するこ
とから、コスト面に関しては必ずしも有利とは言えな
い。しかしながら、その反面、ガラス基板３の位置に拘
らず常に所要の浮揚力が得られるという利点がある。

【００７２】また、第３実施例のものでは各振動体１１
は固定状態である故、第１実施例のもののように１枚の
ガラス基板３を搬送したら直ちに可動台２５を搬送前の
元の位置に復帰せしめるということもなく、待ち時間を
つくらずに次々とガラス基板を連続的に搬送することが
でき、能率的である。この能率の点については、同じく
振動体１１が固定状態である第２実施例の基板搬送装置
に関しても同様である。

【００７３】ところで、製造ラインでは、上述のような
搬送の他に、ガラス基板３を一時的にある箇所に定置し
ておくことが行われ、その場合も、ガラス基板に対する
塵埃の付着及び損傷の問題を回避するために、上記搬送
の際と同様にして、ガラス基板３をその外周部、具体的
には両側端部にて定置台上に載置することが行われる。

【００７４】図１２は、このようにガラス基板を支持す
る支持手段としての定置台と、ガラス基板の撓みを防止
するために該ガラス基板に浮揚力を与える手段とからな
る浮揚装置を示すものである。

【００７５】図示のように、ガラス基板３はその両側端
部にて、定置台の円柱状（角柱状等でも可）担持部３１
上に水平に載置される。この担持部３１によって支えら
れたガラス基板３の下方には、前述した第１実施例及び
第３実施例の装置が備えると同様の、振動体１１及び超
音波振動発生部１２が配設されている。

【００７６】すなわち、上記ガラス基板３は、振動体１
１が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーに
よってその中央部分に浮揚力を与えられる。故に、自重
による撓みは生ぜず、ほぼ完全に水平な状態に保たれ
る。

【００７７】上述のように、当該浮揚装置においては、
ガラス基板３の端部のみに定置台を接触させて支えるよ
うにし、以て、該ガラス基板３に対する塵埃の付着及び
損傷を極力抑える一方、ガラス基板３の中央部分に対し
て上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ０として曲
り癖等の発生を防止している。

【００７８】このように、撓みの防止が超音波を用いて
非接触で行われ、上記定置台との接触は最小限に止めら
れるので、歩留りが向上する。

【００７９】また、前述した搬送の場合と同様に、上記
疑似定在波の節の位置、すなわちガラス基板３の存在位
置は、振動体１１の表面から十分に離れるので、ガラス
基板３と振動体１１が接触する恐れはない。

【００８０】更に、前述と同様に、当該浮揚装置では、
圧搾空気の噴射によって浮揚力を与えるものに比して、
コスト面等において有利である。

【００８１】なお、前述した各実施例においては扱う基
板はガラス基板であるが、本発明は、他の基板、例えば
シリコンウェーハ等を扱う装置にも適用可能である。

【００８２】また、本発明は、このような各種基板以外
でも、塵埃の付着と傷の発生を防がねばならず、且つ、
厚みが薄いか柔らかい材質であるが故に比較的大きな可
撓性を有する物体を扱う場合に有用である。

【００８３】更に、上記各実施例では、振動体１１の形
状が矩形板状となされているが、振動体の形状は、浮揚
力を与える対象物の形状に応じて適宜変化させてもよい
ことは勿論である。

【００８４】また、前述の第１実施例乃至第３実施例の
基板搬送装置がガラス基板３の搬送用として備える搬送
手段はローラコンベアであるが、他の種々の構成の搬送
手段に代えてもよい。これと同様に、第４実施例の浮揚
装置において、ガラス基板３を支持する支持手段として
設けられた定置台に関しても、本実施例の形態のものに
限らず、種々の構造のものが使用可能である。

【００８５】加えて、上記各実施例では、超音波に基づ
く浮揚力を、物体の撓みを防止する目的で利用されてい
るが、この他の目的のために用いてもよい。

【００８６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による浮揚
装置及び基板搬送装置においては、振動体が発する音波
に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって浮揚力を
与えるようになされている。従って、比較的大きな可撓
性を有するガラス基板等を所定の箇所に定置したり搬送
する場合に、このガラス基板等の端部のみに定置台やベ
ルトを接触させて支えるようにし、以て、該ガラス基板
等に対する塵埃の付着及び損傷を極力抑える一方、ガラ
ス基板等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることに
より撓みをほぼ０として曲り癖等の発生を防止すること
ができる。このように、撓みの防止が超音波を用いて非
接触で行われ、ベルト等の接触は最小限に止められるの
で、歩留りが向上する。また、上記疑似定在波の節は、
振動体の表面からは最低でも１／４派長分離れて位置
し、この節の位置がすなわちガラス基板等の存在位置と
なることから、該ガラス基板等と振動体との距離は比較
的大きく保たれ、両者が接触する恐れがない。なお、浮
揚力の発生については、例えば圧搾空気をガラス基板等
の下方から吹き付けることによってもなし得るが、この
方法では圧搾空気を噴射する装置に加えて、空気を圧縮
して供給し続けるための圧縮機等、附帯設備を必要と
し、コストの増大を招来する。本発明のように超音波振
動を利用するものでは、超音波を発生する装置さえ設け
れば、その他は電力消費の問題だけで済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第１実施例としての基板搬送
装置の要部の斜視図である。

【図２】図２は、図１に示した基板搬送装置の要部の、
一部断面を含む正面図である。

【図３】図３は、図１及び図２に示した基板搬送装置に
おいて、ガラス基板の撓みが防止される状況を示す、一
部断面を含む要部の正面図である。

【図４】図４は、たわみ振動板から実際に放射される音
波と疑似定在波との関係を説明するための図である。

【図５】図５は、疑似定在波の形成する音場が与える浮
揚力を測定するための測定装置を示す正面図である。

【図６】図６は、浮揚物体をアルミ板で囲んだ状態を示
す概略斜視図である。

【図７】図７は、振動板と浮揚物体間の距離を変化させ
たときの浮揚力の変化を調べた結果を示すグラフであ
る。

【図８】図８は、浮揚物体を振動板から疑似定在波の半
波長のところに固定し、振動板の振幅を変化させたとき
の浮揚力の値を示すグラフである。

【図９】図９は、振動子の入力パワーと浮揚力の関係を
示すグラフである。

【図１０】図１０は、本発明の第２実施例としての基板
搬送装置の要部の斜視図である。

【図１１】図１１は、本発明の第３実施例としての基板
搬送装置の要部の斜視図である。

【図１２】図１２は、本発明の第４実施例としての浮揚
装置の要部の斜視図である。

【図１３】図１３は、第１の従来例としてのローラコン
ベアによってガラス基板が搬送されている状態を示す、
搬送方向に直角な縦断面図である。

【図１４】図１４は、図１３に示したローラコンベアの
要部とガラス基板を示す斜視図である。

【図１５】図１５は、ガラス基板の撓み量を測定してい
る状況を示す、一部断面を含む正面図である。

【図１６】図１６は、図１５における部分Ｅの拡大図で
ある。

【図１７】図１７は、第２の従来例としてのローラコン
ベアによってガラス基板が搬送されている状態を示す、
搬送方向に直角な縦断面図である。

【図１８】図１８は、図１７に示したローラコンベアの
要部とガラス基板を示す斜視図である。

【符号の説明】

１駆動ローラ２従動ローラ３ガラス基板４ベルト１１振動体１２超音波振動発生部１３発振器１６ホーン１８振動子２０接続ケーブル２２ケース２５可動台３１（定置台の）担持部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動体と、該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネル
ギーによって浮揚力を与えることを特徴とする浮揚装
置。
【請求項２】物体を支持する支持手段と、振動体と、該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネル
ギーによって前記物体に浮揚力を与えて該物体の撓みを
防止することを特徴とする浮揚装置。
【請求項３】前記物体は基板であり、前記支持手段は
該基板を略水平にして外周部を支持することを特徴とす
る請求項２記載の浮揚装置。
【請求項４】基板を搬送する搬送手段と、振動体と、該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネル
ギーによって前記基板に浮揚力を与えて該基板の撓みを
防止することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】前記搬送手段は前記基板を略水平にして
外周部を支持して搬送することを特徴とする請求項４記
載の基板搬送装置。
【請求項６】前記振動体は、前記搬送手段による基板
の搬送と同期して移動することを特徴とする請求項４又
は請求項５記載の基板搬送装置。
【請求項７】前記振動体が長尺にして前記基板の搬送
経路の略全域にわたって延在することを特徴とする請求
項４又は請求項５記載の基板搬送装置。
【請求項８】前記振動体は、前記基板の搬送経路に沿
って複数並設されていることを特徴とする請求項４又は
請求項５記載の基板搬送装置。