JPH09169427A - 浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置 - Google Patents
浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置Info
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- JPH09169427A JPH09169427A JP35051295A JP35051295A JPH09169427A JP H09169427 A JPH09169427 A JP H09169427A JP 35051295 A JP35051295 A JP 35051295A JP 35051295 A JP35051295 A JP 35051295A JP H09169427 A JPH09169427 A JP H09169427A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板など、比較的大きな可撓性を有す
る物体を取り扱う場合に、塵埃の付着及び損傷を極力抑
えながら撓みを防止することに寄与する浮揚装置と、基
板搬送装置とを提供すること。 【解決手段】 振動体11が発する音波に基づく疑似定
在波の節のエネルギーによって浮揚力を与える。従っ
て、ガラス基板3等を例えば搬送する場合に、このガラ
ス基板等の端部のみにベルトを接触させて支えるように
し、以て、塵埃の付着及び損傷を極力抑え、ガラス基板
等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることにより撓
みをほぼ0として曲り癖等の発生を防止する。
る物体を取り扱う場合に、塵埃の付着及び損傷を極力抑
えながら撓みを防止することに寄与する浮揚装置と、基
板搬送装置とを提供すること。 【解決手段】 振動体11が発する音波に基づく疑似定
在波の節のエネルギーによって浮揚力を与える。従っ
て、ガラス基板3等を例えば搬送する場合に、このガラ
ス基板等の端部のみにベルトを接触させて支えるように
し、以て、塵埃の付着及び損傷を極力抑え、ガラス基板
等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることにより撓
みをほぼ0として曲り癖等の発生を防止する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体に対して超音
波に基づく浮揚力を与える浮揚装置と、該装置を具備し
て基板の搬送を行なう基板搬送装置とに関する。
波に基づく浮揚力を与える浮揚装置と、該装置を具備し
て基板の搬送を行なう基板搬送装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイなどとして利用される
ガラス基板は、特にその主たる面に対して塵埃(par
ticle)が付着すること、および微細にても傷が発
生することを可能な限り避けねばならない。従って、ガ
ラス基板を搬送する際には注意を要する。
ガラス基板は、特にその主たる面に対して塵埃(par
ticle)が付着すること、および微細にても傷が発
生することを可能な限り避けねばならない。従って、ガ
ラス基板を搬送する際には注意を要する。
【0003】従来、ガラス基板を1枚ずつ搬送する、い
わゆる枚葉方式の搬送用手段の一例として、図13及び
図14に示すローラコンベアがある。
わゆる枚葉方式の搬送用手段の一例として、図13及び
図14に示すローラコンベアがある。
【0004】図示のように、このローラコンベアは、複
数の駆動ローラ1及び従動ローラ2と、該各ローラに掛
け回されてガラス基板3の両端部下面が接触する無端状
の細いベルト4と、駆動ローラ1を回転駆動する図示し
ない駆動手段とを有している。
数の駆動ローラ1及び従動ローラ2と、該各ローラに掛
け回されてガラス基板3の両端部下面が接触する無端状
の細いベルト4と、駆動ローラ1を回転駆動する図示し
ない駆動手段とを有している。
【0005】すなわち、駆動ローラ1が回転駆動される
ことによってベルト4が駆走され、ガラス基板3の搬送
(矢印Aにて示す)が行われるものである。
ことによってベルト4が駆走され、ガラス基板3の搬送
(矢印Aにて示す)が行われるものである。
【0006】かかる構成の搬送手段では、ガラス基板3
には細いベルト4が接触するだけであり、しかもガラス
基板3の中央部分を避けて端部に接触することから、塵
埃の付着および損傷の問題は軽減される。
には細いベルト4が接触するだけであり、しかもガラス
基板3の中央部分を避けて端部に接触することから、塵
埃の付着および損傷の問題は軽減される。
【0007】一方、製造ラインでは、上述のような搬送
の他に、ガラス基板を一時的にある箇所に定置しておく
ことが行なわれ、その場合も、上記の問題を回避するた
めに搬送の際と同様にして、ガラス基板3をその両端部
にて支持手段としての定置台上に載置することが行なわ
れる。
の他に、ガラス基板を一時的にある箇所に定置しておく
ことが行なわれ、その場合も、上記の問題を回避するた
めに搬送の際と同様にして、ガラス基板3をその両端部
にて支持手段としての定置台上に載置することが行なわ
れる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術においては、次のような問題を擁している。
来技術においては、次のような問題を擁している。
【0009】つまり、近年、テレビやビデオ、パソコン
等への液晶ディスプレイの応用に伴い、ガラス基板の需
要が増加し、その形状も大型化している。ガラス基板は
非常に薄いものであるゆえ、上述のように両端部で支持
された状態では自重によって撓み、特に大型の基板では
撓み量はかなり大きくなる。
等への液晶ディスプレイの応用に伴い、ガラス基板の需
要が増加し、その形状も大型化している。ガラス基板は
非常に薄いものであるゆえ、上述のように両端部で支持
された状態では自重によって撓み、特に大型の基板では
撓み量はかなり大きくなる。
【0010】撓み量があまり大きいと、ガラス基板が塑
性変形、すなわち曲がり癖を生じ、それに伴う内部歪に
基づく静的応力によって甚しい場合は破壊してしまう恐
れがある。
性変形、すなわち曲がり癖を生じ、それに伴う内部歪に
基づく静的応力によって甚しい場合は破壊してしまう恐
れがある。
【0011】ここで、ガラス基板に関して、実際に撓み
量の測定を行なった結果について説明しておく。測定の
条件は下記のようである。
量の測定を行なった結果について説明しておく。測定の
条件は下記のようである。
【0012】まず、供試体として用意したガラス基板
は、長さ、幅及び厚さが各々650mm、550mmお
よび0.7mmのものである。このガラス基板を、図1
5に示すように2つの支持ブロック6間に載架し、自重
による撓み量Bを測定した。但し、両支持ブロック6の
位置を適宜変化させ、ガラス基板3の向きを変えてその
長さ方向及び幅方向の夫々について測定した。すなわ
ち、図15において、記号Aは、ガラス基板3の長さ又
は幅寸法を示す。
は、長さ、幅及び厚さが各々650mm、550mmお
よび0.7mmのものである。このガラス基板を、図1
5に示すように2つの支持ブロック6間に載架し、自重
による撓み量Bを測定した。但し、両支持ブロック6の
位置を適宜変化させ、ガラス基板3の向きを変えてその
長さ方向及び幅方向の夫々について測定した。すなわ
ち、図15において、記号Aは、ガラス基板3の長さ又
は幅寸法を示す。
【0013】また、図16において記号Cにて示す量、
すなわち、ガラス基板3が撓んでいるときにこのガラス
基板3の端部上縁が支持ブロック6の上面から離れる量
も、併せて測定した。
すなわち、ガラス基板3が撓んでいるときにこのガラス
基板3の端部上縁が支持ブロック6の上面から離れる量
も、併せて測定した。
【0014】測定結果は、次表のようになった。
【0015】
【表1】
【0016】上述のように、撓みは基板の大型化でまず
問題となる点である。因に、撓み量はその支持スパン
(上記A寸法)の4乗に比例するので、基板の寸法を少
し大きくしただけでも大きく変化する。
問題となる点である。因に、撓み量はその支持スパン
(上記A寸法)の4乗に比例するので、基板の寸法を少
し大きくしただけでも大きく変化する。
【0017】上記の点から、基板の撓みを抑える一つの
手法として、図17及び図18に示す構成が一般的に採
用されている。
手法として、図17及び図18に示す構成が一般的に採
用されている。
【0018】図示のように、駆動ローラ1、従動ローラ
2、ベルト4等からなるローラコンベアを、ガラス基板
3の両端部のみならず中央部にも配設するものである。
この構成によれば、最大撓み量を例えば0.1mm以下
とすることができる。
2、ベルト4等からなるローラコンベアを、ガラス基板
3の両端部のみならず中央部にも配設するものである。
この構成によれば、最大撓み量を例えば0.1mm以下
とすることができる。
【0019】ところが、この構成では、ベルト4の本数
が多く、しかも、ガラス基板3の両端部だけでなく中央
部分にも接触することから、塵埃の付着及び損傷の機会
がそれだけ増加して歩留りの低下につながるという不都
合がある。
が多く、しかも、ガラス基板3の両端部だけでなく中央
部分にも接触することから、塵埃の付着及び損傷の機会
がそれだけ増加して歩留りの低下につながるという不都
合がある。
【0020】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みてな
されたものであり、その主目的とするところは、例えば
ガラス基板など、比較的大きな可撓性を有する物体を取
り扱う場合に、この物体に対する塵埃の付着及び損傷を
極力抑えながら撓み量をほぼ0とすることに寄与する浮
揚装置と、該浮揚装置を具備してガラス基板等の基板の
搬送を行なう基板搬送装置とを提供することである。
されたものであり、その主目的とするところは、例えば
ガラス基板など、比較的大きな可撓性を有する物体を取
り扱う場合に、この物体に対する塵埃の付着及び損傷を
極力抑えながら撓み量をほぼ0とすることに寄与する浮
揚装置と、該浮揚装置を具備してガラス基板等の基板の
搬送を行なう基板搬送装置とを提供することである。
【0021】また、本発明は、上記に加えて更に他の効
果をも併せ奏し得る基板搬送装置を提供することも目的
とする。
果をも併せ奏し得る基板搬送装置を提供することも目的
とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】上記主目的達成のため
に、本発明による浮揚装置は、振動体と、該振動体を励
振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波
に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって物体に浮
揚力を与えるように構成されている。また、上記可撓性
物体を所定の箇所に定置する際に用いられる本発明に係
る浮揚装置は、同主目的達成のため、該物体を支持する
支持手段と、振動体と、該振動体を励振する超音波励振
手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在
波の節のエネルギーによって前記物体に浮揚力を与えて
該物体の撓みを防止するように構成されている。また、
本発明による基板搬送装置においては、同主目的の達成
のために、基板を搬送する搬送手段と、振動体と、該振
動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発
する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって
前記基板に浮揚力を与えて該基板の撓みを防止するよう
に構成されている。
に、本発明による浮揚装置は、振動体と、該振動体を励
振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波
に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって物体に浮
揚力を与えるように構成されている。また、上記可撓性
物体を所定の箇所に定置する際に用いられる本発明に係
る浮揚装置は、同主目的達成のため、該物体を支持する
支持手段と、振動体と、該振動体を励振する超音波励振
手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在
波の節のエネルギーによって前記物体に浮揚力を与えて
該物体の撓みを防止するように構成されている。また、
本発明による基板搬送装置においては、同主目的の達成
のために、基板を搬送する搬送手段と、振動体と、該振
動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発
する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって
前記基板に浮揚力を与えて該基板の撓みを防止するよう
に構成されている。
【0023】
【発明の実施の形態】本発明は、薄板状にして比較的大
きな可撓性を有するガラス基板をある箇所に定置したり
搬送する場合、このガラス基板に対する塵埃の付着およ
び損傷を極力抑えながら撓みを防止するために実施され
る。
きな可撓性を有するガラス基板をある箇所に定置したり
搬送する場合、このガラス基板に対する塵埃の付着およ
び損傷を極力抑えながら撓みを防止するために実施され
る。
【0024】
【実施例】次に、本発明の実施例について、添付図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【0025】なお、以下に各種の実施例として説明する
各基板搬送装置(浮揚装置を含む)に関して、前述した
従来の装置と同様な構成部分については同じ参照符合を
付して示している。
各基板搬送装置(浮揚装置を含む)に関して、前述した
従来の装置と同様な構成部分については同じ参照符合を
付して示している。
【0026】また、これらの基板搬送装置において、搬
送の対象とされる基板は矩形状のガラス基板であり、こ
のガラス基板を示す参照符合として、前述の従来例の説
明におけると同様に3を使用する。
送の対象とされる基板は矩形状のガラス基板であり、こ
のガラス基板を示す参照符合として、前述の従来例の説
明におけると同様に3を使用する。
【0027】図1及び図2に、本発明の第1実施例とし
ての基板搬送装置(浮揚装置を含む)を示す。
ての基板搬送装置(浮揚装置を含む)を示す。
【0028】当該基板搬送装置は、ガラス基板3を担持
して搬送する搬送手段と、このガラス基板3の撓みを防
止するために該ガラス基板3に浮揚力を与える手段とを
備えている。
して搬送する搬送手段と、このガラス基板3の撓みを防
止するために該ガラス基板3に浮揚力を与える手段とを
備えている。
【0029】上記搬送手段は、複数の駆動ローラ1及び
従動ローラ2と、無端状にしてこれら各ローラに掛け回
されてガラス基板3の外周部、具体的には両側端部の下
面が接触するベルト4と、駆動ローラ1を回転駆動する
駆動手段(図示せず)とからなる。
従動ローラ2と、無端状にしてこれら各ローラに掛け回
されてガラス基板3の外周部、具体的には両側端部の下
面が接触するベルト4と、駆動ローラ1を回転駆動する
駆動手段(図示せず)とからなる。
【0030】また、上記ガラス基板3に浮揚力を与える
手段は、振動体11と、超音波振動発生部12と、発振
器13(図2に図示)とを有している。該超音波振動発
生部12及び発振器13は、該振動体11を励振する超
音波励振手段を構成する。
手段は、振動体11と、超音波振動発生部12と、発振
器13(図2に図示)とを有している。該超音波振動発
生部12及び発振器13は、該振動体11を励振する超
音波励振手段を構成する。
【0031】また、該超音波励振手段と振動体11と
を、浮揚装置と総称する。
を、浮揚装置と総称する。
【0032】上記振動体11は、ジュラルミン等を素材
として矩形板状に、且つ、その外径寸法がガラス基板3
の外径寸法よりも小であるように形成されている。そし
て、前述の搬送手段によって搬送されるガラス基板3の
下方に配置されている。
として矩形板状に、且つ、その外径寸法がガラス基板3
の外径寸法よりも小であるように形成されている。そし
て、前述の搬送手段によって搬送されるガラス基板3の
下方に配置されている。
【0033】一方、上記超音波振動発生部12は、上記
振動体11と皿ねじ15(図1に図示)等によって結合
されるホーン16を有している。このホーン16は、そ
の材質としてジュラルミン等が選定される。図2に示す
ように、該ホーン16の上記振動体11に対する結合側
とは反対側、すなわち下端側には、振動子18が結合さ
れている。この振動子18の電極18aと発振器13と
が接続ケーブル20によって接続されており、振動子1
8は該発振器13によって駆動されて超音波振動を発生
する。
振動体11と皿ねじ15(図1に図示)等によって結合
されるホーン16を有している。このホーン16は、そ
の材質としてジュラルミン等が選定される。図2に示す
ように、該ホーン16の上記振動体11に対する結合側
とは反対側、すなわち下端側には、振動子18が結合さ
れている。この振動子18の電極18aと発振器13と
が接続ケーブル20によって接続されており、振動子1
8は該発振器13によって駆動されて超音波振動を発生
する。
【0034】なお、図2において、振動子18及びホー
ン16による超音波振動の振動方向を矢印Uにて示して
いる。このように、振動子18、従ってホーン16は縦
振動を行う。
ン16による超音波振動の振動方向を矢印Uにて示して
いる。このように、振動子18、従ってホーン16は縦
振動を行う。
【0035】上記ホーン16にはそのノーダルポイント
部にフランジ部16aが形成されており、該ホーン16
の下半部分と上記振動子18を収容するケース22に対
して該フランジ部16aが、ボルト(図示せず)によっ
て、且つパッキン23を介して締結されている。
部にフランジ部16aが形成されており、該ホーン16
の下半部分と上記振動子18を収容するケース22に対
して該フランジ部16aが、ボルト(図示せず)によっ
て、且つパッキン23を介して締結されている。
【0036】図1及び図2に示すように、上記振動体1
1及び該振動体11を振動させるための超音波振動発生
部12は、ガラス基板3が搬送されるべき方向において
往復動自在な可動台25上に搭載されている。この可動
台25は、図示しない駆動手段によって、上記搬送手段
(ベルト4等からなる)によるガラス基板3の搬送と同
期して移動せしめられる。
1及び該振動体11を振動させるための超音波振動発生
部12は、ガラス基板3が搬送されるべき方向において
往復動自在な可動台25上に搭載されている。この可動
台25は、図示しない駆動手段によって、上記搬送手段
(ベルト4等からなる)によるガラス基板3の搬送と同
期して移動せしめられる。
【0037】続いて、上記した構成の基板搬送装置の動
作を説明する。
作を説明する。
【0038】まず、図2に示す発振器13が予め作動せ
しめられ、振動体11が励振される。振動体11は、ホ
ーン16を通じて伝達される縦振動(矢印Uで示してい
る)に基づいて、記号Sで示すように撓み振動を行う。
このため、振動体11の長さL(図1参照)及び幅B
(同)は、ホーン16から伝達される振動に基づく撓み
振動の共振長に設定されている。具体的には、ホーン1
6を通じて19.5KHzの振動が加えられ、振動体1
1は10〜30μmp- pの振幅を以て振動する。
しめられ、振動体11が励振される。振動体11は、ホ
ーン16を通じて伝達される縦振動(矢印Uで示してい
る)に基づいて、記号Sで示すように撓み振動を行う。
このため、振動体11の長さL(図1参照)及び幅B
(同)は、ホーン16から伝達される振動に基づく撓み
振動の共振長に設定されている。具体的には、ホーン1
6を通じて19.5KHzの振動が加えられ、振動体1
1は10〜30μmp- pの振幅を以て振動する。
【0039】すなわち、振動体11の振動の節はその長
さ方向、幅方向において夫々所定の間隔で現れ、格子状
の振動モードにて振動する。
さ方向、幅方向において夫々所定の間隔で現れ、格子状
の振動モードにて振動する。
【0040】なお、振動体11の各寸法、共振周波数及
びその振幅並びに振動モードの形態については、適宜設
定することができる。
びその振幅並びに振動モードの形態については、適宜設
定することができる。
【0041】上記のように振動体11が振動を続けてい
る状態で、搬送されるべきガラス基板3が、その両側端
部が左右のベルト4上に乗るように水平に載置される。
すると、このガラス基板3は、振動体11が発する音波
に基づく疑似定在波(後述)の節のエネルギーによって
その中央部分に浮揚力を与えられる。よって、図3にお
いて二点鎖線にて示す如き自重による撓みはほとんど生
ぜず、同図で実線で示すようにほぼ完全に水平な状態に
維持される。
る状態で、搬送されるべきガラス基板3が、その両側端
部が左右のベルト4上に乗るように水平に載置される。
すると、このガラス基板3は、振動体11が発する音波
に基づく疑似定在波(後述)の節のエネルギーによって
その中央部分に浮揚力を与えられる。よって、図3にお
いて二点鎖線にて示す如き自重による撓みはほとんど生
ぜず、同図で実線で示すようにほぼ完全に水平な状態に
維持される。
【0042】この状態で駆動ローラ1が回転駆動される
ことによってベルト4が駆送され、ガラス基板3の搬送
(図1で矢印Aにて示す)が行われる。ガラス基板3の
搬送に同期して可動台25が同じ方向に同じ速度にて移
動する(図1で矢印Dにて示している)ので、ガラス基
板3は常に一定の浮揚力を受けることができ、撓みは防
止される。
ことによってベルト4が駆送され、ガラス基板3の搬送
(図1で矢印Aにて示す)が行われる。ガラス基板3の
搬送に同期して可動台25が同じ方向に同じ速度にて移
動する(図1で矢印Dにて示している)ので、ガラス基
板3は常に一定の浮揚力を受けることができ、撓みは防
止される。
【0043】上述のように、当該基板搬送装置において
は、ガラス基板3の端部のみにベルト4を接触させて支
えるようにし、以て、該ガラス基板3に対する塵埃の付
着及び損傷を極力抑える一方、ガラス基板3の中央部分
に対して上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ0と
して曲り癖等の発生を防止している。
は、ガラス基板3の端部のみにベルト4を接触させて支
えるようにし、以て、該ガラス基板3に対する塵埃の付
着及び損傷を極力抑える一方、ガラス基板3の中央部分
に対して上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ0と
して曲り癖等の発生を防止している。
【0044】このように撓みの防止が超音波を用いて非
接触で行われ、ベルト4との接触は最小限に止められる
ので、歩留りが向上する。
接触で行われ、ベルト4との接触は最小限に止められる
ので、歩留りが向上する。
【0045】また、上記疑似定在波の節は、振動体11
の表面からは最低でも1/4波長分離れて位置し、この
節の位置がすなわちガラス基板3の存在位置となること
から、ガラス基板3と振動体11との距離は比較的大き
く保たれ、両者が接触する恐れがない。
の表面からは最低でも1/4波長分離れて位置し、この
節の位置がすなわちガラス基板3の存在位置となること
から、ガラス基板3と振動体11との距離は比較的大き
く保たれ、両者が接触する恐れがない。
【0046】なお、浮揚力の発生については、例えば圧
搾空気をガラス基板3の下方から吹き付けることによっ
てもなし得るが、この方法では圧搾空気をガラス基板3
に向けて噴射する装置に加えて、空気を圧縮して供給し
続けるための圧縮機等、附帯設備を必要とし、コストの
増大を招来する。本発明のように超音波振動を利用する
ものでは、超音波を発する装置さえ設ければ、その他は
電力消費の問題だけで済む。
搾空気をガラス基板3の下方から吹き付けることによっ
てもなし得るが、この方法では圧搾空気をガラス基板3
に向けて噴射する装置に加えて、空気を圧縮して供給し
続けるための圧縮機等、附帯設備を必要とし、コストの
増大を招来する。本発明のように超音波振動を利用する
ものでは、超音波を発する装置さえ設ければ、その他は
電力消費の問題だけで済む。
【0047】ここで、疑似定在波の節のエネルギーを用
いた浮揚現象に関して実験的に検討した結果について説
明する。
いた浮揚現象に関して実験的に検討した結果について説
明する。
【0048】<疑似低在波の節を用いた浮揚現象>たわ
み振動板から放射される音波は、波数整合を満足する方
射角θ方向のみに伝播する。この音波は振動板の上方に
とりつけた反射板との間に見かけの定在波音場を形成す
る。これは疑似定在波と呼ばれその波長は下記の式
(1)の関係を満たしている。今回はこの疑似定在波の
節のエネルギーを面で受けることで底の平らな物質の浮
揚を確認した。
み振動板から放射される音波は、波数整合を満足する方
射角θ方向のみに伝播する。この音波は振動板の上方に
とりつけた反射板との間に見かけの定在波音場を形成す
る。これは疑似定在波と呼ばれその波長は下記の式
(1)の関係を満たしている。今回はこの疑似定在波の
節のエネルギーを面で受けることで底の平らな物質の浮
揚を確認した。
【0049】図4において λq :疑似定在波長 λa :空中の波長 θ:放射角 であり、λq とλa は以下の式を満たす。 λq =λa /sinθ ・・・(1)
【0050】<浮揚力の測定>疑似定在波の形成する音
場が与える浮揚力を図5に示す装置により測定した。浮
揚物体はアルミニウム製の直方体(102*70*15
mm)であり十分重く、電子天秤に吊るされている。
場が与える浮揚力を図5に示す装置により測定した。浮
揚物体はアルミニウム製の直方体(102*70*15
mm)であり十分重く、電子天秤に吊るされている。
【0051】浮揚力は振動子のon時とoff時の秤の
示す値の差としている。振動板上には縞たわみモードが
励振されている。この振動のパラメータは以下に示す通
りである。 共振周波数 f=17.0[kHz] 放射角 θ=54°[deg.] 縞モード間隔 d=16.5[mm] 空中の波長 λa =20.0[mm] 疑似定在波長 λq =24.5[mm]
示す値の差としている。振動板上には縞たわみモードが
励振されている。この振動のパラメータは以下に示す通
りである。 共振周波数 f=17.0[kHz] 放射角 θ=54°[deg.] 縞モード間隔 d=16.5[mm] 空中の波長 λa =20.0[mm] 疑似定在波長 λq =24.5[mm]
【0052】なお、図6に示すように浮揚物体の周囲を
アルミ板で一周囲んだ場合についても測定を行い囲みの
ない場合と比較している。
アルミ板で一周囲んだ場合についても測定を行い囲みの
ない場合と比較している。
【0053】
【表2】
【0054】<実験結果>最初に、振動板−浮揚物体間
の距離を変化させたときの浮揚力の変化を調べた。振動
板の振幅は8μmで一定である。結果を図7に示す。図
7で縦軸は浮揚物体の底面積で割った値をプロットして
いる。
の距離を変化させたときの浮揚力の変化を調べた。振動
板の振幅は8μmで一定である。結果を図7に示す。図
7で縦軸は浮揚物体の底面積で割った値をプロットして
いる。
【0055】振動板−浮揚物体間の距離が0に近いとこ
ろで得られている大きな浮揚力は、本願出願人によって
提案された特開平7−244155号公報等において開
示された、超音波の放射圧に基づく浮揚現象によるもの
である。振動板からの距離が10−20mm間に一つの
ピークがあり、疑似定在波の節に相当するものである。
ろで得られている大きな浮揚力は、本願出願人によって
提案された特開平7−244155号公報等において開
示された、超音波の放射圧に基づく浮揚現象によるもの
である。振動板からの距離が10−20mm間に一つの
ピークがあり、疑似定在波の節に相当するものである。
【0056】ピーク値は、囲みがある場合の方が囲みが
無い場合に比べて2倍以上となっている。振動板から離
れたところでは、囲みの有無により浮揚力の大きさにか
なりの違いが見られる。囲みがある場合は疑似定在波の
半波長間隔にピークが現れる。しかし、囲みが無い場合
は2波長目以後の節の位置をグラフから読み取ることも
難しくなっている。これは、放射された音波が物体に届
かず発散している事を示している。
無い場合に比べて2倍以上となっている。振動板から離
れたところでは、囲みの有無により浮揚力の大きさにか
なりの違いが見られる。囲みがある場合は疑似定在波の
半波長間隔にピークが現れる。しかし、囲みが無い場合
は2波長目以後の節の位置をグラフから読み取ることも
難しくなっている。これは、放射された音波が物体に届
かず発散している事を示している。
【0057】10μmほどの振幅では長方形サイズのフ
ロッピーディスク(0.0053gf/cm2 )の切れ
はしが浮揚することを確認している。
ロッピーディスク(0.0053gf/cm2 )の切れ
はしが浮揚することを確認している。
【0058】図8は浮揚物体を振動板から疑似定在波の
半波長のところに固定し、振動板の振幅を変化させたと
きの浮揚力の値を示したものである。このグラフでは浮
揚力が振幅の2乗に比例していることがわかる。
半波長のところに固定し、振動板の振幅を変化させたと
きの浮揚力の値を示したものである。このグラフでは浮
揚力が振幅の2乗に比例していることがわかる。
【0059】また、図9に振動子の入力パワーと浮揚力
の関係を示す。この場合は比例関係となっている。振動
子の変換効率を100%と仮定し、放射圧は物体全面の
エネルギー密度に比例するものとして入力パワーを振動
板の面積で割ったものを物体前面のエネルギー密度と考
えると図9の結果は妥当である。
の関係を示す。この場合は比例関係となっている。振動
子の変換効率を100%と仮定し、放射圧は物体全面の
エネルギー密度に比例するものとして入力パワーを振動
板の面積で割ったものを物体前面のエネルギー密度と考
えると図9の結果は妥当である。
【0060】<実験のまとめ>たわみ振動板のつくる疑
似定在波の節において底の平らなものの浮揚を確認し
た。また、その音場での浮揚力の分布を測定した。浮揚
力は振動板から放射する音波をうまく利用することでよ
り大きな浮揚力を得ることができることを確認した。浮
揚力と入力電力が比例関係にあることを確認した。
似定在波の節において底の平らなものの浮揚を確認し
た。また、その音場での浮揚力の分布を測定した。浮揚
力は振動板から放射する音波をうまく利用することでよ
り大きな浮揚力を得ることができることを確認した。浮
揚力と入力電力が比例関係にあることを確認した。
【0061】次に、本発明の第2実施例としての基板搬
送装置について、図10に基づいて説明する。但し、後
述する第3実施例の基板搬送装置及び第4実施例として
の浮揚装置についても同様であるが、この第2実施例の
基板搬送装置は以下に説明する部分以外は図1及び図2
に示した第1実施例としての基板搬送装置と同様に構成
されており、装置全体としての説明は重複する故に省略
し、要部のみの説明に留める。
送装置について、図10に基づいて説明する。但し、後
述する第3実施例の基板搬送装置及び第4実施例として
の浮揚装置についても同様であるが、この第2実施例の
基板搬送装置は以下に説明する部分以外は図1及び図2
に示した第1実施例としての基板搬送装置と同様に構成
されており、装置全体としての説明は重複する故に省略
し、要部のみの説明に留める。
【0062】図示のように、この基板搬送装置において
は、振動体11が長尺となされ、搬送手段(ベルト4等
からなる)によるガラス基板3の搬送経路の略全域にわ
たって延在している。
は、振動体11が長尺となされ、搬送手段(ベルト4等
からなる)によるガラス基板3の搬送経路の略全域にわ
たって延在している。
【0063】すなわち、この振動体11は移動せず、上
記搬送手段によって搬送されるガラス基板3に対して、
その広範な振動領域を以て浮揚力を与えるものである。
記搬送手段によって搬送されるガラス基板3に対して、
その広範な振動領域を以て浮揚力を与えるものである。
【0064】これに対し、前述した第1実施例としての
基板搬送装置においては、振動体11は短く形成され、
可動台25に搭載されて該可動台25の移動によってガ
ラス基板3の搬送に追随する。
基板搬送装置においては、振動体11は短く形成され、
可動台25に搭載されて該可動台25の移動によってガ
ラス基板3の搬送に追随する。
【0065】上述した第2実施例の基板搬送装置では、
該可動台25及びその駆動手段は必要とせず、構成が簡
単であり、コストの低減が図り易い。
該可動台25及びその駆動手段は必要とせず、構成が簡
単であり、コストの低減が図り易い。
【0066】なお、上記第1実施例の基板搬送装置にお
いては、振動体11が短く、振動領域が狭いが故に、超
音波振動発生部12からの振動がその振動領域全体に有
効に伝達し、振動体11の全面にわたってほぼ均等な浮
揚力が生じ得る。第2実施例の基板搬送装置のように振
動体11が長いと、その長手方向の端に向うにつれて振
動エネルギーが減衰することは避けられず、全面にわた
ってほぼ均一な浮揚力を得ることは容易ではない。
いては、振動体11が短く、振動領域が狭いが故に、超
音波振動発生部12からの振動がその振動領域全体に有
効に伝達し、振動体11の全面にわたってほぼ均等な浮
揚力が生じ得る。第2実施例の基板搬送装置のように振
動体11が長いと、その長手方向の端に向うにつれて振
動エネルギーが減衰することは避けられず、全面にわた
ってほぼ均一な浮揚力を得ることは容易ではない。
【0067】続いて、本発明の第3実施例としての基板
搬送装置を、図11に基づいて説明する。
搬送装置を、図11に基づいて説明する。
【0068】図示のように、当該基板搬送装置において
は、上記第1実施例におけると同様の短い振動体11
が、ガラス基板3の搬送経路に沿って等間隔で複数並設
されている。そして、これら振動体11の各々に対し
て、超音波振動発生部12が個別に設けられている。
は、上記第1実施例におけると同様の短い振動体11
が、ガラス基板3の搬送経路に沿って等間隔で複数並設
されている。そして、これら振動体11の各々に対し
て、超音波振動発生部12が個別に設けられている。
【0069】この構成では、上記搬送手段(ベルト4等
からなる)によって搬送されるガラス基板3は、並設さ
れた各振動体11間を渡るようにして移動し、浮揚力を
受ける。
からなる)によって搬送されるガラス基板3は、並設さ
れた各振動体11間を渡るようにして移動し、浮揚力を
受ける。
【0070】なお、この構成においては、ガラス基板3
に与えられる浮揚力は、ガラス基板3が各振動体11の
各々の真上に位置するときに最大となり、隣り合う振動
体11同士の中間点を通過するときに最小となる。この
最小の浮揚力を受ける場合においても、ガラス基板3の
撓み量が許容値(曲り癖等を生じない大きさ)内に収ま
るように浮揚力が設定される。
に与えられる浮揚力は、ガラス基板3が各振動体11の
各々の真上に位置するときに最大となり、隣り合う振動
体11同士の中間点を通過するときに最小となる。この
最小の浮揚力を受ける場合においても、ガラス基板3の
撓み量が許容値(曲り癖等を生じない大きさ)内に収ま
るように浮揚力が設定される。
【0071】上記した第3実施例のものにおいては、振
動体11及び超音波振動発生部12を共に複数要するこ
とから、コスト面に関しては必ずしも有利とは言えな
い。しかしながら、その反面、ガラス基板3の位置に拘
らず常に所要の浮揚力が得られるという利点がある。
動体11及び超音波振動発生部12を共に複数要するこ
とから、コスト面に関しては必ずしも有利とは言えな
い。しかしながら、その反面、ガラス基板3の位置に拘
らず常に所要の浮揚力が得られるという利点がある。
【0072】また、第3実施例のものでは各振動体11
は固定状態である故、第1実施例のもののように1枚の
ガラス基板3を搬送したら直ちに可動台25を搬送前の
元の位置に復帰せしめるということもなく、待ち時間を
つくらずに次々とガラス基板を連続的に搬送することが
でき、能率的である。この能率の点については、同じく
振動体11が固定状態である第2実施例の基板搬送装置
に関しても同様である。
は固定状態である故、第1実施例のもののように1枚の
ガラス基板3を搬送したら直ちに可動台25を搬送前の
元の位置に復帰せしめるということもなく、待ち時間を
つくらずに次々とガラス基板を連続的に搬送することが
でき、能率的である。この能率の点については、同じく
振動体11が固定状態である第2実施例の基板搬送装置
に関しても同様である。
【0073】ところで、製造ラインでは、上述のような
搬送の他に、ガラス基板3を一時的にある箇所に定置し
ておくことが行われ、その場合も、ガラス基板に対する
塵埃の付着及び損傷の問題を回避するために、上記搬送
の際と同様にして、ガラス基板3をその外周部、具体的
には両側端部にて定置台上に載置することが行われる。
搬送の他に、ガラス基板3を一時的にある箇所に定置し
ておくことが行われ、その場合も、ガラス基板に対する
塵埃の付着及び損傷の問題を回避するために、上記搬送
の際と同様にして、ガラス基板3をその外周部、具体的
には両側端部にて定置台上に載置することが行われる。
【0074】図12は、このようにガラス基板を支持す
る支持手段としての定置台と、ガラス基板の撓みを防止
するために該ガラス基板に浮揚力を与える手段とからな
る浮揚装置を示すものである。
る支持手段としての定置台と、ガラス基板の撓みを防止
するために該ガラス基板に浮揚力を与える手段とからな
る浮揚装置を示すものである。
【0075】図示のように、ガラス基板3はその両側端
部にて、定置台の円柱状(角柱状等でも可)担持部31
上に水平に載置される。この担持部31によって支えら
れたガラス基板3の下方には、前述した第1実施例及び
第3実施例の装置が備えると同様の、振動体11及び超
音波振動発生部12が配設されている。
部にて、定置台の円柱状(角柱状等でも可)担持部31
上に水平に載置される。この担持部31によって支えら
れたガラス基板3の下方には、前述した第1実施例及び
第3実施例の装置が備えると同様の、振動体11及び超
音波振動発生部12が配設されている。
【0076】すなわち、上記ガラス基板3は、振動体1
1が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーに
よってその中央部分に浮揚力を与えられる。故に、自重
による撓みは生ぜず、ほぼ完全に水平な状態に保たれ
る。
1が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーに
よってその中央部分に浮揚力を与えられる。故に、自重
による撓みは生ぜず、ほぼ完全に水平な状態に保たれ
る。
【0077】上述のように、当該浮揚装置においては、
ガラス基板3の端部のみに定置台を接触させて支えるよ
うにし、以て、該ガラス基板3に対する塵埃の付着及び
損傷を極力抑える一方、ガラス基板3の中央部分に対し
て上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ0として曲
り癖等の発生を防止している。
ガラス基板3の端部のみに定置台を接触させて支えるよ
うにし、以て、該ガラス基板3に対する塵埃の付着及び
損傷を極力抑える一方、ガラス基板3の中央部分に対し
て上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ0として曲
り癖等の発生を防止している。
【0078】このように、撓みの防止が超音波を用いて
非接触で行われ、上記定置台との接触は最小限に止めら
れるので、歩留りが向上する。
非接触で行われ、上記定置台との接触は最小限に止めら
れるので、歩留りが向上する。
【0079】また、前述した搬送の場合と同様に、上記
疑似定在波の節の位置、すなわちガラス基板3の存在位
置は、振動体11の表面から十分に離れるので、ガラス
基板3と振動体11が接触する恐れはない。
疑似定在波の節の位置、すなわちガラス基板3の存在位
置は、振動体11の表面から十分に離れるので、ガラス
基板3と振動体11が接触する恐れはない。
【0080】更に、前述と同様に、当該浮揚装置では、
圧搾空気の噴射によって浮揚力を与えるものに比して、
コスト面等において有利である。
圧搾空気の噴射によって浮揚力を与えるものに比して、
コスト面等において有利である。
【0081】なお、前述した各実施例においては扱う基
板はガラス基板であるが、本発明は、他の基板、例えば
シリコンウェーハ等を扱う装置にも適用可能である。
板はガラス基板であるが、本発明は、他の基板、例えば
シリコンウェーハ等を扱う装置にも適用可能である。
【0082】また、本発明は、このような各種基板以外
でも、塵埃の付着と傷の発生を防がねばならず、且つ、
厚みが薄いか柔らかい材質であるが故に比較的大きな可
撓性を有する物体を扱う場合に有用である。
でも、塵埃の付着と傷の発生を防がねばならず、且つ、
厚みが薄いか柔らかい材質であるが故に比較的大きな可
撓性を有する物体を扱う場合に有用である。
【0083】更に、上記各実施例では、振動体11の形
状が矩形板状となされているが、振動体の形状は、浮揚
力を与える対象物の形状に応じて適宜変化させてもよい
ことは勿論である。
状が矩形板状となされているが、振動体の形状は、浮揚
力を与える対象物の形状に応じて適宜変化させてもよい
ことは勿論である。
【0084】また、前述の第1実施例乃至第3実施例の
基板搬送装置がガラス基板3の搬送用として備える搬送
手段はローラコンベアであるが、他の種々の構成の搬送
手段に代えてもよい。これと同様に、第4実施例の浮揚
装置において、ガラス基板3を支持する支持手段として
設けられた定置台に関しても、本実施例の形態のものに
限らず、種々の構造のものが使用可能である。
基板搬送装置がガラス基板3の搬送用として備える搬送
手段はローラコンベアであるが、他の種々の構成の搬送
手段に代えてもよい。これと同様に、第4実施例の浮揚
装置において、ガラス基板3を支持する支持手段として
設けられた定置台に関しても、本実施例の形態のものに
限らず、種々の構造のものが使用可能である。
【0085】加えて、上記各実施例では、超音波に基づ
く浮揚力を、物体の撓みを防止する目的で利用されてい
るが、この他の目的のために用いてもよい。
く浮揚力を、物体の撓みを防止する目的で利用されてい
るが、この他の目的のために用いてもよい。
【0086】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による浮揚
装置及び基板搬送装置においては、振動体が発する音波
に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって浮揚力を
与えるようになされている。従って、比較的大きな可撓
性を有するガラス基板等を所定の箇所に定置したり搬送
する場合に、このガラス基板等の端部のみに定置台やベ
ルトを接触させて支えるようにし、以て、該ガラス基板
等に対する塵埃の付着及び損傷を極力抑える一方、ガラ
ス基板等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることに
より撓みをほぼ0として曲り癖等の発生を防止すること
ができる。このように、撓みの防止が超音波を用いて非
接触で行われ、ベルト等の接触は最小限に止められるの
で、歩留りが向上する。また、上記疑似定在波の節は、
振動体の表面からは最低でも1/4派長分離れて位置
し、この節の位置がすなわちガラス基板等の存在位置と
なることから、該ガラス基板等と振動体との距離は比較
的大きく保たれ、両者が接触する恐れがない。なお、浮
揚力の発生については、例えば圧搾空気をガラス基板等
の下方から吹き付けることによってもなし得るが、この
方法では圧搾空気を噴射する装置に加えて、空気を圧縮
して供給し続けるための圧縮機等、附帯設備を必要と
し、コストの増大を招来する。本発明のように超音波振
動を利用するものでは、超音波を発生する装置さえ設け
れば、その他は電力消費の問題だけで済む。
装置及び基板搬送装置においては、振動体が発する音波
に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって浮揚力を
与えるようになされている。従って、比較的大きな可撓
性を有するガラス基板等を所定の箇所に定置したり搬送
する場合に、このガラス基板等の端部のみに定置台やベ
ルトを接触させて支えるようにし、以て、該ガラス基板
等に対する塵埃の付着及び損傷を極力抑える一方、ガラ
ス基板等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることに
より撓みをほぼ0として曲り癖等の発生を防止すること
ができる。このように、撓みの防止が超音波を用いて非
接触で行われ、ベルト等の接触は最小限に止められるの
で、歩留りが向上する。また、上記疑似定在波の節は、
振動体の表面からは最低でも1/4派長分離れて位置
し、この節の位置がすなわちガラス基板等の存在位置と
なることから、該ガラス基板等と振動体との距離は比較
的大きく保たれ、両者が接触する恐れがない。なお、浮
揚力の発生については、例えば圧搾空気をガラス基板等
の下方から吹き付けることによってもなし得るが、この
方法では圧搾空気を噴射する装置に加えて、空気を圧縮
して供給し続けるための圧縮機等、附帯設備を必要と
し、コストの増大を招来する。本発明のように超音波振
動を利用するものでは、超音波を発生する装置さえ設け
れば、その他は電力消費の問題だけで済む。
【図1】図1は、本発明の第1実施例としての基板搬送
装置の要部の斜視図である。
装置の要部の斜視図である。
【図2】図2は、図1に示した基板搬送装置の要部の、
一部断面を含む正面図である。
一部断面を含む正面図である。
【図3】図3は、図1及び図2に示した基板搬送装置に
おいて、ガラス基板の撓みが防止される状況を示す、一
部断面を含む要部の正面図である。
おいて、ガラス基板の撓みが防止される状況を示す、一
部断面を含む要部の正面図である。
【図4】図4は、たわみ振動板から実際に放射される音
波と疑似定在波との関係を説明するための図である。
波と疑似定在波との関係を説明するための図である。
【図5】図5は、疑似定在波の形成する音場が与える浮
揚力を測定するための測定装置を示す正面図である。
揚力を測定するための測定装置を示す正面図である。
【図6】図6は、浮揚物体をアルミ板で囲んだ状態を示
す概略斜視図である。
す概略斜視図である。
【図7】図7は、振動板と浮揚物体間の距離を変化させ
たときの浮揚力の変化を調べた結果を示すグラフであ
る。
たときの浮揚力の変化を調べた結果を示すグラフであ
る。
【図8】図8は、浮揚物体を振動板から疑似定在波の半
波長のところに固定し、振動板の振幅を変化させたとき
の浮揚力の値を示すグラフである。
波長のところに固定し、振動板の振幅を変化させたとき
の浮揚力の値を示すグラフである。
【図9】図9は、振動子の入力パワーと浮揚力の関係を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図10】図10は、本発明の第2実施例としての基板
搬送装置の要部の斜視図である。
搬送装置の要部の斜視図である。
【図11】図11は、本発明の第3実施例としての基板
搬送装置の要部の斜視図である。
搬送装置の要部の斜視図である。
【図12】図12は、本発明の第4実施例としての浮揚
装置の要部の斜視図である。
装置の要部の斜視図である。
【図13】図13は、第1の従来例としてのローラコン
ベアによってガラス基板が搬送されている状態を示す、
搬送方向に直角な縦断面図である。
ベアによってガラス基板が搬送されている状態を示す、
搬送方向に直角な縦断面図である。
【図14】図14は、図13に示したローラコンベアの
要部とガラス基板を示す斜視図である。
要部とガラス基板を示す斜視図である。
【図15】図15は、ガラス基板の撓み量を測定してい
る状況を示す、一部断面を含む正面図である。
る状況を示す、一部断面を含む正面図である。
【図16】図16は、図15における部分Eの拡大図で
ある。
ある。
【図17】図17は、第2の従来例としてのローラコン
ベアによってガラス基板が搬送されている状態を示す、
搬送方向に直角な縦断面図である。
ベアによってガラス基板が搬送されている状態を示す、
搬送方向に直角な縦断面図である。
【図18】図18は、図17に示したローラコンベアの
要部とガラス基板を示す斜視図である。
要部とガラス基板を示す斜視図である。
1 駆動ローラ 2 従動ローラ 3 ガラス基板 4 ベルト 11 振動体 12 超音波振動発生部 13 発振器 16 ホーン 18 振動子 20 接続ケーブル 22 ケース 25 可動台 31 (定置台の)担持部
Claims (8)
- 【請求項1】 振動体と、 該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、 該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネル
ギーによって浮揚力を与えることを特徴とする浮揚装
置。 - 【請求項2】 物体を支持する支持手段と、 振動体と、 該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、 該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネル
ギーによって前記物体に浮揚力を与えて該物体の撓みを
防止することを特徴とする浮揚装置。 - 【請求項3】 前記物体は基板であり、前記支持手段は
該基板を略水平にして外周部を支持することを特徴とす
る請求項2記載の浮揚装置。 - 【請求項4】 基板を搬送する搬送手段と、 振動体と、 該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、 該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネル
ギーによって前記基板に浮揚力を与えて該基板の撓みを
防止することを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項5】 前記搬送手段は前記基板を略水平にして
外周部を支持して搬送することを特徴とする請求項4記
載の基板搬送装置。 - 【請求項6】 前記振動体は、前記搬送手段による基板
の搬送と同期して移動することを特徴とする請求項4又
は請求項5記載の基板搬送装置。 - 【請求項7】 前記振動体が長尺にして前記基板の搬送
経路の略全域にわたって延在することを特徴とする請求
項4又は請求項5記載の基板搬送装置。 - 【請求項8】 前記振動体は、前記基板の搬送経路に沿
って複数並設されていることを特徴とする請求項4又は
請求項5記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35051295A JPH09169427A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置 |
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JP35051295A JPH09169427A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置 |
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JP35051295A Pending JPH09169427A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置 |
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003128228A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-05-08 | Toyota Industries Corp | 物体浮揚装置、物体搬送装置及び荷取り装置 |
US6575669B2 (en) | 2000-10-25 | 2003-06-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Method for transferring levitated objects |
US6637585B2 (en) | 2000-11-07 | 2003-10-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Apparatus for levitating and transporting object |
JP2004067371A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Toyota Industries Corp | 物体浮揚装置及び荷取り装置 |
JP2006210393A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板加工装置、基板搬送装置、基板制御方法 |
KR100811661B1 (ko) * | 2007-01-22 | 2008-03-11 | 삼성전자주식회사 | 유리기판 이송장치 |
WO2009110552A1 (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-11 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 | 非接触搬送装置 |
WO2012063550A1 (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-18 | 旭硝子株式会社 | 熱処理装置および熱処理方法 |
WO2013164964A1 (ja) * | 2012-05-02 | 2013-11-07 | 旭硝子株式会社 | 音波浮上装置、音波浮上方法、板ガラス製造装置、及び板ガラス製造方法 |
CN104136349A (zh) * | 2012-02-20 | 2014-11-05 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃板的搬运装置及其搬运方法 |
JP2015211188A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 株式会社春日工作所 | 位置決め装置及び半導体検査装置 |
CN105460486A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-04-06 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 对准辊道装置 |
CN109230533A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-01-18 | 郑州福耀玻璃有限公司 | 一种汽车玻璃不间断烘弯线 |
-
1995
- 1995-12-22 JP JP35051295A patent/JPH09169427A/ja active Pending
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6575669B2 (en) | 2000-10-25 | 2003-06-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Method for transferring levitated objects |
US6637585B2 (en) | 2000-11-07 | 2003-10-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Apparatus for levitating and transporting object |
JP2003128228A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-05-08 | Toyota Industries Corp | 物体浮揚装置、物体搬送装置及び荷取り装置 |
US6779650B2 (en) | 2001-07-27 | 2004-08-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Apparatus for levitating objects and apparatus for transporting objects |
JP2004067371A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Toyota Industries Corp | 物体浮揚装置及び荷取り装置 |
JP2006210393A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板加工装置、基板搬送装置、基板制御方法 |
KR100811661B1 (ko) * | 2007-01-22 | 2008-03-11 | 삼성전자주식회사 | 유리기판 이송장치 |
JP2009208909A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 非接触搬送装置 |
WO2009110552A1 (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-11 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 | 非接触搬送装置 |
US8225924B2 (en) | 2008-03-05 | 2012-07-24 | Institute Of National Colleges Of Technology, Japan | Non-contact conveyance system |
WO2012063550A1 (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-18 | 旭硝子株式会社 | 熱処理装置および熱処理方法 |
CN104136349A (zh) * | 2012-02-20 | 2014-11-05 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃板的搬运装置及其搬运方法 |
US9260246B2 (en) | 2012-02-20 | 2016-02-16 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Glass sheet conveying apparatus and glass sheet conveying method |
WO2013164964A1 (ja) * | 2012-05-02 | 2013-11-07 | 旭硝子株式会社 | 音波浮上装置、音波浮上方法、板ガラス製造装置、及び板ガラス製造方法 |
JP2015211188A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 株式会社春日工作所 | 位置決め装置及び半導体検査装置 |
CN105460486A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-04-06 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 对准辊道装置 |
CN109230533A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-01-18 | 郑州福耀玻璃有限公司 | 一种汽车玻璃不间断烘弯线 |
CN109230533B (zh) * | 2018-09-03 | 2024-03-19 | 郑州福耀玻璃有限公司 | 一种汽车玻璃不间断烘弯线 |
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