JPH09166783A - Method and device to form orienting film of liquid crystal display element - Google Patents
Method and device to form orienting film of liquid crystal display elementInfo
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- JPH09166783A JPH09166783A JP27573995A JP27573995A JPH09166783A JP H09166783 A JPH09166783 A JP H09166783A JP 27573995 A JP27573995 A JP 27573995A JP 27573995 A JP27573995 A JP 27573995A JP H09166783 A JPH09166783 A JP H09166783A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示素子の配向
膜形成方法及び装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for forming an alignment film for a liquid crystal display device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、薄型軽量、低消費電力という大き
な利点をもつ液晶表示素子は、日本語ワードプロセッサ
やデスクトップパーソナルコンピュータ等のパーソナル
ＯＡ機器の表示装置として積極的に用いられている。液
晶表示素子（以下ＬＣＤともいう）のほとんどは、捩れ
ネマティック液晶を用いており、表示方式としては、こ
の中でも旋光モードと複屈折モードとの２つの方式に大
別できる。2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal display elements, which have the great advantages of thinness, light weight, and low power consumption, have been actively used as display devices for personal OA equipment such as Japanese word processors and desktop personal computers. Most of liquid crystal display elements (hereinafter, also referred to as LCDs) use twisted nematic liquid crystal, and the display method can be roughly classified into two methods of an optical rotation mode and a birefringence mode.
【０００３】旋光モードのＬＣＤは、例えば９０度捩れ
た分子配列をもつツイステッドネマティック（ＴＮ）形
液晶であり、原理的に白黒表示で、高いコントラスト比
と良好な階調表示性を示す。また応答速度が速い（数十
ミリ秒）ことから、時計や電卓、単純マトリクス駆動
や、スイッチング素子を各画素毎に具備したアクティブ
マトリクス駆動で、また、カラーフィルタと組み合わせ
たフルカラーの表示の液晶テレビなど（ＴＦＴ（Thin F
ilm Transistor）−ＬＣＤやＭＩＭ（Metal Insulator
Metal ）−ＬＣＤ）に応用されている。The LCD of the optical rotation mode is, for example, a twisted nematic (TN) type liquid crystal having a molecular arrangement twisted by 90 degrees, and in principle, displays in black and white, and exhibits a high contrast ratio and a good gradation display property. In addition, since the response speed is fast (several tens of milliseconds), it is a liquid crystal television with a clock, a calculator, a simple matrix drive, an active matrix drive equipped with a switching element for each pixel, and a full-color display combined with a color filter. Etc. (TFT (Thin F
ilm Transistor-LCD and MIM (Metal Insulator)
Metal) -LCD).
【０００４】一方、複屈折モードの表示方式のＬＣＤ
は、一般に９０度以上捩れた分子配列をもつスーパーツ
イスト（ＳＴ）形液晶で、急唆な電気光学特性をもつた
め、各画素ごとにスイッチング素子（薄膜トランジスタ
やダイオード）がなくても単純なマトリクス状の電極構
造でも時分割駆動により容易に大容量表示が得られる。
これらの液晶表示素子の表示を均一に行うためには基板
表面全面に液晶分子を均一に配向させることが必要であ
る。On the other hand, a birefringence mode display type LCD
Is a super-twist (ST) type liquid crystal having a molecular arrangement twisted by 90 degrees or more, and has abrupt electro-optical characteristics. Therefore, each pixel does not have a switching element (thin film transistor or diode) and has a simple matrix shape. Even with this electrode structure, a large capacity display can be easily obtained by time-division driving.
In order to uniformly display these liquid crystal display elements, it is necessary to uniformly align liquid crystal molecules on the entire surface of the substrate.
【０００５】液晶表示素子は、２枚の基板の電極の間に
液晶組成物を挟持し、２枚の基板の電極から液晶組成物
に電圧を印加し表示を行うものであり、電圧を印加した
時に均一な表示を行うためには、液晶分子にプレチルト
角（液晶分子の分子軸と配向膜表面とのなす角）を予め
与えることが必要である。このように、配向膜はプレチ
ルト角を与えることも重要な役割として担っている。The liquid crystal display element is a device for sandwiching a liquid crystal composition between electrodes of two substrates and applying a voltage from the electrodes of the two substrates to the liquid crystal composition for display. At times, in order to perform uniform display, it is necessary to give a pretilt angle (angle between the molecular axis of the liquid crystal molecule and the surface of the alignment film) to the liquid crystal molecule in advance. Thus, the alignment film also plays an important role in giving a pretilt angle.
【０００６】従来、これらの液晶表示素子の配向膜の形
成は、電極等が形成された基板上に例えばポリイトミド
等の有機高分子化合物からなる薄膜をオフセット印刷に
より形成した後、布などで軽く摩擦すること（ラビング
処理）によって行うのが一般的である。Conventionally, the alignment films of these liquid crystal display devices are formed by forming a thin film of an organic polymer compound such as polyitimide on a substrate having electrodes and the like by offset printing and then gently rubbing it with a cloth or the like. It is generally performed by doing (rubbing process).
【０００７】オフセット印刷によって配向膜を形成する
方法は、図８に示すように、まずアニロックスローラ５
２上にノズル５０を介して配向膜材料、例えばポリイミ
ドを滴下し、ドクターローラ５１をアニロックスローラ
５２に押付けることによって上記滴下されたポリイミド
の厚さが均一となるように伸ばす。そしてこの均一とな
るように伸ばされたポリイミド膜を、版胴５３上に設け
られた印刷版５４上に転写し、印刷版５４上に転写され
たポリイミド膜を基板２０の表面に更に転写し、配向膜
２２を形成する。A method for forming an alignment film by offset printing is, as shown in FIG.
An alignment film material, for example, polyimide is dropped onto the nozzle 2 through the nozzle 50, and the doctor roller 51 is pressed against the anilox roller 52 to stretch the dropped polyimide so that the thickness of the polyimide becomes uniform. Then, this uniformly stretched polyimide film is transferred onto a printing plate 54 provided on the plate cylinder 53, and the polyimide film transferred onto the printing plate 54 is further transferred onto the surface of the substrate 20, The alignment film 22 is formed.
【０００８】また、電極等が形成された基板表面に例え
ばポリイミド等の高分子化合物を直接に散布することに
よって配向膜を形成する方法も考えられている（特開昭
５４−２１８６２号公報、特開昭６３−１０６７２７号
公報参照）。Further, a method of forming an alignment film by directly spraying a high molecular compound such as polyimide on the surface of a substrate on which electrodes and the like are formed has been considered (Japanese Patent Laid-Open No. 54-21862). (See Japanese Laid-Open Patent Publication No. 63-106727).
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】オフセット印刷によっ
て配向膜を形成する方法は、印刷版５４上に平坦化され
た配向膜材料の膜を基板表面に転写することにより配向
膜を形成するため、膜厚の均一性は一般的に良い。しか
し、図９に示すように印刷版５４の表面に異物６０が付
着している場合には、印刷版５４上に転写された配向膜
材料２２は平坦化されず（図９（ａ）参照）、これによ
り印刷版５４から基板２０の表面に転写された配向膜２
２には膜厚の薄い箇所が発生するという問題がある。ま
た、この方法はドクタローラ５１とアニロックスローラ
５２に配向膜材料を塗布する必要があるため、配向膜材
料の使用効率が低いという問題がある。In the method of forming an alignment film by offset printing, the alignment film is formed by transferring the film of the alignment film material flattened on the printing plate 54 to the substrate surface. Thickness uniformity is generally good. However, when the foreign matter 60 adheres to the surface of the printing plate 54 as shown in FIG. 9, the alignment film material 22 transferred onto the printing plate 54 is not flattened (see FIG. 9A). The alignment film 2 thus transferred from the printing plate 54 to the surface of the substrate 20.
No. 2 has a problem that a thin film portion is generated. Further, this method has a problem that the use efficiency of the alignment film material is low because it is necessary to apply the alignment film material to the doctor roller 51 and the anilox roller 52.
【００１０】一方、配向膜材料を基板表面に散布するこ
とによって配向膜を形成する方法は、配向膜材料の使用
効率はかなり良いが、配向膜材料の液滴が均一に噴射さ
れず、膜厚の薄い箇所が発生する場合がある。On the other hand, in the method of forming the alignment film by spraying the alignment film material on the substrate surface, the use efficiency of the alignment film material is quite good, but the droplets of the alignment film material are not uniformly ejected and the film thickness is reduced. May occur in thin areas.
【００１１】このように膜厚の薄い箇所が発生した場
合、液晶表示素子の表示性能が悪くなり、歩留りを低下
させるという問題を引起こす。When such a portion having a small film thickness occurs, the display performance of the liquid crystal display element deteriorates, which causes a problem of lowering the yield.
【００１２】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
であって、表示性能の低下を可及的に防止することので
きる液晶表示素子の配向膜形成方法及び装置を提供する
ことを目的とする。The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and an object thereof is to provide a method and apparatus for forming an alignment film of a liquid crystal display element, which can prevent deterioration of display performance as much as possible. To do.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明による液晶表示素
子の配向膜形成方法の第１の態様は、透明電極が形成さ
れた透明基板上に配向膜材料を塗布することによって配
向膜を成膜する工程と、塗布された前記配向膜の膜厚を
計測する工程と、計測された前記膜厚が所定値未満の場
合に、インクジェットノズルを用いて配向膜材料を塗布
することにより前記配向膜の膜厚が所定値未満の箇所を
補修する工程と、を備えていることを特徴とする。A first aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention is to form an alignment film by applying an alignment film material on a transparent substrate having a transparent electrode formed thereon. And the step of measuring the film thickness of the applied alignment film, and when the measured film thickness is less than a predetermined value, by applying an alignment film material using an inkjet nozzle And a step of repairing a portion where the film thickness is less than a predetermined value.
【００１４】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第２の態様は第１の態様の形成方法において、
前記配向膜材料を塗布することによって成膜する工程は
インクジェットノズルを用いて行うことを特徴とする。A second aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention is the method of forming the alignment film according to the first aspect.
The step of forming a film by applying the alignment film material is performed using an inkjet nozzle.
【００１５】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第３の態様は、第１又は第２の態様の形成方法
において、前記配向膜の膜厚を計測する工程は干渉計を
用いて行うことを特徴とする。A third aspect of the method for forming an alignment film for a liquid crystal display device according to the present invention is the method for forming an alignment film according to the first or second aspect, wherein the step of measuring the film thickness of the alignment film uses an interferometer. It is characterized by performing.
【００１６】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第４の態様は、第１乃至第３の態様のいずれか
の形成方法において、前記補修する工程の後に乾燥処理
を行って前記配向膜の溶媒を除去する工程を備えている
ことを特徴とする。A fourth aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention is the method for forming an alignment film according to any one of the first to third aspects, wherein after the repairing step, a drying process is performed to perform the alignment. The method is characterized by comprising a step of removing the solvent of the film.
【００１７】本発明による液晶表示素子の配向膜形成装
置の第１の態様は、透明電極が形成された透明基板上に
配向膜材料を塗布する手段と、塗布された配向膜材料の
膜厚を計測する手段と、前記計測する手段の出力に基づ
いて前記計測された膜厚が所定値未満となっている箇所
を検出する手段と、前記検出する手段の検出出力に基づ
いて前記膜厚が所定値未満となっている箇所にインクジ
ェットノズルを用いて配向膜材料を塗布することにより
配向膜の膜厚を補修する手段と、を備えていることを特
徴とする。A first aspect of the alignment film forming apparatus for a liquid crystal display element according to the present invention is to set a means for applying an alignment film material on a transparent substrate on which a transparent electrode is formed, and a film thickness of the applied alignment film material. A means for measuring, a means for detecting a portion where the measured film thickness is less than a predetermined value based on the output of the measuring means, and a predetermined film thickness based on the detection output of the detecting means. Means for repairing the film thickness of the alignment film by applying the alignment film material using an inkjet nozzle to a portion having a value less than the value.
【００１８】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成装置の第２の態様は第１の態様の形成装置において、
前記配向膜材料を塗布する手段はインクジェットノズル
を有していることを特徴とする。A second aspect of the alignment film forming apparatus for a liquid crystal display element according to the present invention is the forming apparatus of the first aspect, wherein
The means for applying the alignment film material has an inkjet nozzle.
【００１９】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成装置の第３の態様は、第１又は第２の態様の形成装置
において、前記膜厚を計測する手段は干渉計であること
を特徴とする。A third aspect of the alignment film forming apparatus for a liquid crystal display element according to the present invention is characterized in that, in the forming apparatus of the first or second aspect, the means for measuring the film thickness is an interferometer. To do.
【００２０】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成装置の第４の態様は、第１乃至第３の態様のいずれか
の形成装置において、前記補修された配向膜の溶媒を乾
燥処理することによって除去する手段を更に備えている
ことを特徴とする。A fourth aspect of the alignment film forming apparatus for a liquid crystal display element according to the present invention is that the solvent of the repaired alignment film is dried in the forming apparatus according to any one of the first to third aspects. It is characterized by further comprising means for removing by.
【００２１】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第５の態様は、インクジェットノズルを清浄化
する工程と、透明電極が形成された透明基板上に前記イ
ンクジェットノズルを用いて配向膜材料の溶液を噴射塗
布し、前記溶液の膜を前記基板上に形成する工程と、を
備えていることを特徴とする。A fifth aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention is a step of cleaning an inkjet nozzle, and an alignment film material using the inkjet nozzle on a transparent substrate on which a transparent electrode is formed. And spray forming the solution to form a film of the solution on the substrate.
【００２２】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第６の態様は、第５の態様の形成方法におい
て、前記清浄化する工程は、前記配向膜材料の溶液の溶
媒を用いることを特徴とする。According to a sixth aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention, in the method of forming the fifth aspect, the cleaning step uses a solvent of a solution of the alignment film material. Characterize.
【００２３】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第７の態様は、第１または第２の態様の形成方
法において、前記配向膜材料を塗布する前に前記インク
ジェットノズルを清浄化することを特徴とする。A seventh aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention is the method for forming an alignment film of the first or second aspect, wherein the ink jet nozzle is cleaned before applying the alignment film material. It is characterized by
【００２４】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第８の態様は、透明電極が形成された透明基板
上以外の場所でインクジェットノズルを用いて配向膜材
料の溶液を噴射する工程と、前記インクジェットノズル
を用いて前記透明基板上に前記配向膜材料の溶液を噴射
塗布することにより前記溶液の膜を前記基板上に形成す
る工程と、を備えていることを特徴とする。The eighth aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention is to eject a solution of the alignment film material using an ink jet nozzle at a place other than on the transparent substrate on which the transparent electrode is formed. Forming a film of the solution on the substrate by spray-coating the solution of the alignment film material on the transparent substrate using the inkjet nozzle.
【００２５】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第９の態様は、透明電極が形成された透明基板
上にインクジェットノズルを用いて配向膜材料を塗布す
ることによって配向膜を形成する液晶表示素子の配向膜
形成方法において、少なくとも２個のインクジェットノ
ズルを用意し、１個のインクジェットノズルによって配
向膜の形成された前記透明基板の枚数が所定値に達した
場合に、他のインクジェットノズルに交換することを特
徴とする。A ninth aspect of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention is to form an alignment film by applying an alignment film material using an ink jet nozzle on a transparent substrate having a transparent electrode formed thereon. In the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device, at least two inkjet nozzles are prepared, and when the number of the transparent substrates on which the alignment film is formed by one inkjet nozzle reaches a predetermined value, another inkjet nozzle It is characterized by replacing with.
【００２６】[0026]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１乃至図
７を参照して説明する。図１は本発明による液晶表示素
子の配向膜形成方法の第１の実施の形態の形成工程を示
すフローチャート、図２はこの実施の形態の形成方法を
実施する装置の一具体例の構成図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a flow chart showing a forming process of a first embodiment of a method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram of a specific example of an apparatus for carrying out the forming method of this embodiment. is there.
【００２７】まず、透明電極が形成されたガラス基板２
０を中性洗剤を用いて洗浄後、１２０℃で２０分間乾燥
させる。この乾燥させたガラス基板２０の表面に、配向
膜材料、例えばＡＬ−１０５１（商品名（日本合成ゴム
社製））の２．０重量％溶液を噴射塗布することによっ
て配向膜を形成する（図１のステップＦ１参照）。この
溶液の塗布は３０孔のピエゾ式インクジェットノズルを
用い、配向膜材料の供給量が０．０５ｍｌ／ｍｉｎ、塗
布時間５秒（基板２０のサイズが１０．４インチの場
合）の条件下で行う。First, the glass substrate 2 on which the transparent electrode is formed
After washing 0 with a neutral detergent, it is dried at 120 ° C. for 20 minutes. An alignment film is formed on the surface of the dried glass substrate 20 by spray-applying a 2.0 wt% solution of an alignment film material, for example, AL-1051 (trade name (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.)) (FIG. 1 step F1). The application of this solution is performed using a piezo-type inkjet nozzle having 30 holes, under the conditions that the supply amount of the alignment film material is 0.05 ml / min and the application time is 5 seconds (when the size of the substrate 20 is 10.4 inches). .
【００２８】次に配向膜が形成された基板２０を図２に
示すようにゲージングピン６によって押圧することによ
りステージ２上に固定する。この固定は、基板２０上の
四隅に形成されている合わせマーク２５をＣＣＤカメラ
４で撮影し、このＣＣＤカメラ４の映像信号に基づいて
行う。Next, the substrate 20 on which the alignment film is formed is fixed on the stage 2 by pressing it with the gauging pins 6 as shown in FIG. This fixing is performed based on the image signals of the CCD camera 4 by photographing the alignment marks 25 formed at the four corners of the substrate 20 with the CCD camera 4.
【００２９】基板２０が固定されたステージ２はレール
１７ａ、１７ｂ上を、図示しない駆動装置によって図面
上で右から左に移動させられる。そして、ステージ２上
の基板２０の先端が干渉膜厚計測装置８に到達すると、
基板２０上に形成された配向膜の膜厚が干渉膜厚計測装
置８によって測定される（図１のステップＦ２参照）。The stage 2 to which the substrate 20 is fixed is moved on the rails 17a and 17b from right to left in the drawing by a driving device (not shown). When the tip of the substrate 20 on the stage 2 reaches the interference film thickness measuring device 8,
The film thickness of the alignment film formed on the substrate 20 is measured by the interference film thickness measuring device 8 (see step F2 in FIG. 1).
【００３０】この干渉膜厚計測装置８はステージ２の進
行方向と直交する位置に、形成すべき液晶表示素子の画
素ピッチ（例えば１００μｍ）にほぼ等しい間隔で一列
に配置された複数個の膜厚計測素子８ａを有している。
そして膜厚の測定は図３（ａ）に示すように、ステージ
２上に固定された基板２０の表面に形成された配向膜２
２に膜厚計測素子８ａから光を照射する。そして配向膜
２２の表面からの反射光と、配向膜２２と基板２０との
界面からの反射光との干渉を観測することによって配向
膜２２の膜厚の計測が行われる。なお、基板２０の移動
方向の測定ピッチは画素ピッチにほぼ等しくなるように
して行う。The interference film thickness measuring device 8 has a plurality of film thicknesses arranged in a line at a position orthogonal to the traveling direction of the stage 2 and at a distance substantially equal to the pixel pitch (for example, 100 μm) of the liquid crystal display element to be formed. It has a measuring element 8a.
Then, as shown in FIG. 3A, the film thickness is measured by the alignment film 2 formed on the surface of the substrate 20 fixed on the stage 2.
2 is irradiated with light from the film thickness measuring element 8a. Then, the film thickness of the alignment film 22 is measured by observing the interference between the light reflected from the surface of the alignment film 22 and the light reflected from the interface between the alignment film 22 and the substrate 20. The measurement pitch in the moving direction of the substrate 20 is set to be substantially equal to the pixel pitch.
【００３１】この計測結果は図示しないコンピュータに
送られ、計測された膜厚が所定値未満となる箇所がある
かどうか判定される（図１のステップＦ３参照）。膜厚
が所定値未満となる箇所がある場合には膜厚不良位置が
上記コンピュータによって計算され（図１のステップＦ
４参照）、この計算結果はインクジェットノズル駆動部
１０に送られる。This measurement result is sent to a computer (not shown), and it is determined whether there is a portion where the measured film thickness is less than a predetermined value (see step F3 in FIG. 1). When there is a portion where the film thickness is less than the predetermined value, the position where the film thickness is defective is calculated by the computer (step F in FIG. 1).
4), the calculation result is sent to the inkjet nozzle drive unit 10.
【００３２】インクジェットノズル駆動部１０は上記計
算結果に基づいてインクジェットノズル９を、膜厚不良
と判定された箇所上に移動する。なおノズル９はステー
ジ２の進行方向と直交する方向に移動可能なように構成
されている。The ink jet nozzle drive unit 10 moves the ink jet nozzle 9 to a position determined to be defective in film thickness based on the above calculation result. The nozzle 9 is configured to be movable in a direction orthogonal to the traveling direction of the stage 2.
【００３３】そして、インクジェットノズル９が配向膜
材料を基板２０上の膜厚不良箇所に噴射することにより
（図３（ｂ）参照）、膜厚が不良と判定された箇所を補
修する（図１のステップＦ５参照）。Then, the ink jet nozzle 9 sprays the alignment film material to the defective film thickness portion on the substrate 20 (see FIG. 3B) to repair the defective film thickness portion (FIG. 1). (See step F5 in step 1).
【００３４】補修された基板２０は干渉膜厚計測装置１
２に送られ、膜厚が再測定される（図１のステップＦ６
参照）。なお、干渉膜厚計測装置１２は干渉膜厚計測装
置８と同一の構成となっている。そしてこの測定結果
は、上記図示しないコンピュータに送られ、測定された
膜厚が所定値未満となる箇所があるかどうか判定される
（図１のステップＦ７参照）。The repaired substrate 20 is an interference film thickness measuring device 1
2 and the film thickness is measured again (step F6 in FIG. 1).
reference). The interference film thickness measuring device 12 has the same configuration as the interference film thickness measuring device 8. Then, the measurement result is sent to the computer (not shown), and it is determined whether there is a portion where the measured film thickness is less than a predetermined value (see step F7 in FIG. 1).
【００３５】膜厚が所定値未満となる箇所がある場合に
は基板２０はステージ２から取外され回収される（図１
のステップＦ９参照）。膜厚が所定値未満となる箇所が
ない場合には膜厚が厚過ぎる箇所があるかどうかが上記
コンピュータにおいて判定され（図１のステップＦ８参
照）、厚過ぎる箇所がある場合にはステップＦ９に進み
回収される。膜厚が所定の範囲にある場合にはステップ
Ｆ１０に進む。When there is a portion where the film thickness is less than the predetermined value, the substrate 20 is removed from the stage 2 and collected (FIG. 1).
(See step F9 of). When there is no portion where the film thickness is less than the predetermined value, it is determined by the computer whether there is a portion where the film thickness is too thick (see step F8 in FIG. 1). When there is a portion where the film thickness is too thick, the procedure goes to step F9. Go forward and be collected. If the film thickness is within the predetermined range, the process proceeds to step F10.
【００３６】なお、ステップＦ３、すなわち、干渉膜厚
計測装置８において計測された膜厚が所定値以上の場合
には、ステップＦ８に進み上述の工程が行われる。この
場合、基板２０はインクジェットノズル駆動部１０、干
渉膜厚計測装置１２を単に通過するのみとなる。In step F3, that is, when the film thickness measured by the interference film thickness measuring device 8 is equal to or larger than a predetermined value, the process proceeds to step F8 and the above-mentioned steps are performed. In this case, the substrate 20 simply passes through the inkjet nozzle drive unit 10 and the interference film thickness measuring device 12.
【００３７】ステップＦ１０においては、基板２０上に
形成された配向膜２２内の溶媒（例えばγ−ブチルラク
トン）を除去する。この溶媒の除去は１００℃で１５秒
間の乾燥処理を行った後に、１８０℃で３０分間の加熱
焼成処理を行うことによって達成される。In step F10, the solvent (eg, .gamma.-butyl lactone) in the alignment film 22 formed on the substrate 20 is removed. The removal of the solvent is achieved by performing a drying treatment at 100 ° C. for 15 seconds and then performing a heating and firing treatment at 180 ° C. for 30 minutes.
【００３８】本実施の形態の形成方法を用いて配向膜を
形成した液晶表示素子の構成断面図を図４に示す。この
液晶表示素子はまず、ＴＦＴ３２、透明電極３３が形成
されたガラス基板３１ａ上に本実施の形態の製造方法に
よって配向膜３８ａが形成される。また遮光膜３４およ
び着色層３５が形成されたガラス基板３１ｂ上にオーバ
コート層３６が形成され、このオーバーコート層３６上
に透明電極３７が形成される。続いて透明電極３７が形
成されたガラス基板３１ｂ上に本実施の形態の形成方法
にって配向膜３８ｂを形成する。FIG. 4 shows a sectional view of the structure of a liquid crystal display element in which an alignment film is formed by using the forming method of this embodiment. In this liquid crystal display element, first, an alignment film 38a is formed on the glass substrate 31a on which the TFT 32 and the transparent electrode 33 are formed by the manufacturing method of the present embodiment. Further, the overcoat layer 36 is formed on the glass substrate 31b on which the light shielding film 34 and the coloring layer 35 are formed, and the transparent electrode 37 is formed on the overcoat layer 36. Then, the alignment film 38b is formed on the glass substrate 31b on which the transparent electrode 37 is formed by the forming method of the present embodiment.
【００３９】このようにして形成された配向膜３８ａ、
３８ｂにラビング処理を施し、液晶分子が９０度捩れる
ように配向膜３８ａ、３８ｂ同士を内側にしてスペーサ
４０を介してガラス基板３１ａ、３１ｂを対向配置す
る。そしてシール剤３９により周囲をシールし、液晶組
成物４１を封入する。なお液晶組成物としてはＺＬＩ−
１１３２（E.Merck 社製）を用いた。ガラス基板３１
ａ、３１ｂの外側の表面には偏光板４２ａ、４２ｂが貼
着され、更に偏光板４２ａの外側にはバックライト４５
が設けられている。またガラス基板３１ａ上には外部電
源との接続を取るためのＴＡＢ（Tape Automated Bondi
ng）配線４４が設けられている。The alignment film 38a thus formed,
Rubbing treatment is performed on 38b, and the glass substrates 31a and 31b are arranged to face each other with the alignment films 38a and 38b inside with the spacer 40 interposed therebetween so that the liquid crystal molecules are twisted by 90 degrees. Then, the periphery is sealed with the sealing agent 39, and the liquid crystal composition 41 is enclosed. As a liquid crystal composition, ZLI-
1132 (manufactured by E. Merck) was used. Glass substrate 31
Polarizing plates 42a and 42b are attached to the outer surfaces of a and 31b, and a backlight 45 is provided on the outer side of the polarizing plates 42a.
Is provided. Further, on the glass substrate 31a, a TAB (Tape Automated Bondi) for connecting to an external power source is provided.
ng) The wiring 44 is provided.
【００４０】このようにして構成された液晶表示素子の
液晶のプレチルト角は約１．５度であった。そしてプレ
チルトの方向はラビング方向に従う方向であった。また
液晶の配向を調べたところ、９０度捩れた均一な配向が
実現されていることが確認された。The pretilt angle of the liquid crystal of the liquid crystal display element thus constructed was about 1.5 degrees. The pretilt direction was the direction following the rubbing direction. Moreover, when the orientation of the liquid crystal was examined, it was confirmed that a uniform orientation twisted by 90 degrees was realized.
【００４１】また上記液晶表示素子を駆動してその表示
性能を検証したところ、液晶配向膜の膜厚の異常に起因
するような表示不良のない、良好な表示が得られた。Further, when the liquid crystal display device was driven and the display performance thereof was verified, a good display without a display defect due to an abnormal thickness of the liquid crystal alignment film was obtained.
【００４２】また、配向膜の形成にインクジェット方式
を用いているため、配向膜材料の使用効率は約７０％程
度と高く、配向膜材料の供給系に残留したもの以外は全
て有効に成膜に用いられていることが分かった。Further, since the ink jet system is used for forming the alignment film, the use efficiency of the alignment film material is as high as about 70%, and all the films except those remaining in the alignment film material supply system can be effectively formed. It turned out to be used.
【００４３】なお、参考までに本実施の形態の形成方法
において、配向膜の補修工程を行わないで配向膜を形成
した場合には、膜厚が均一でないものが１〜２％の割合
で出現した。なお、本実施の形態の形成方法を用いた場
合は膜厚が均一でないものの出現率はほぼ零％であっ
た。For reference, in the forming method according to the present embodiment, when the alignment film is formed without performing the alignment film repairing step, a film having an uneven film thickness appears at a rate of 1 to 2%. did. In the case of using the forming method of the present embodiment, the appearance rate was almost 0% although the film thickness was not uniform.
【００４４】なお、本実施の形態の形成方法において
は、配向膜の膜厚測定に干渉計を用いたが他の方式の膜
厚計測装置を用いても良い。例えば、配向膜が形成され
た基板に斜め方向から光を照射し、配向膜の表面をＣＣ
Ｄカメラで撮影し、このＣＣＤカメラの出力信号に基づ
いて配向膜の膜厚を求めても良い。In the forming method of this embodiment, an interferometer is used to measure the film thickness of the alignment film, but a film thickness measuring device of another method may be used. For example, the substrate on which the alignment film is formed is irradiated with light from an oblique direction to CC the surface of the alignment film.
It is also possible to take an image with a D camera and obtain the film thickness of the alignment film based on the output signal of this CCD camera.
【００４５】また、本実施の形態の形成方法において
は、配向膜の補修は、配向膜の乾燥前に行ったが、乾燥
後に行っても良い。なお乾燥前に補修を行ったほうが補
修後の配向膜の平坦性が良好となる。Further, in the forming method of the present embodiment, the alignment film is repaired before the alignment film is dried, but may be repaired after the alignment film is dried. Note that the flatness of the alignment film after repair is better when repairing is performed before drying.
【００４６】また本実施の形態の形成方法においては、
図１に示すステップＦ１における配向膜の形成はインク
ジェット方式を用いたが、他の方式、例えばオフセット
印刷方式を用いても良い。ただし、オフセット印刷方式
を用いた場合は配向膜材料の使用効率は１０％程度とな
り、インクジェット方式を用いた場合に比べて使用効率
はかなり悪くなる。Further, in the forming method of the present embodiment,
Although the inkjet method is used to form the alignment film in step F1 shown in FIG. 1, another method such as an offset printing method may be used. However, when the offset printing method is used, the use efficiency of the alignment film material is about 10%, which is considerably lower than the case where the inkjet method is used.
【００４７】次に本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第２の実施の形態を図５を参照して説明する。
この実施の形態の形成方法は、図５に示すようにライン
型のインクジェットノズル７を用いて、配向膜材料の溶
液１１を基板上に噴射塗布して基板上に上記溶液１１の
膜を基板上に形成する前に、上記インクジェットノズル
７を清浄化するものである。この清浄化はインクジェッ
トノズル７を塗布ポジション（上記溶液を塗布する位
置）から洗浄ポジションに移動させて上記溶液の溶媒が
染み込んだ無塵布１３でインクジェットノズル７を拭う
ことによって行われる。この清浄化を行った後にインク
ジェットノズル７を塗布ポジションに戻し、インクジェ
ットノズル７の供給口７ａから配向膜材料の溶液１１を
注入してこの溶液１１を基板（図示せず）に噴射塗布
し、基板上に上記溶液１１の膜を形成する。続いて上記
膜が形成された基板を１００℃で１５秒間乾燥させた
後、１８０℃で３０分間加熱することにより上記膜中の
溶媒を除去し、基板上に配向膜を形成する。Next, a second embodiment of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to FIG.
In the forming method of this embodiment, as shown in FIG. 5, a line type ink jet nozzle 7 is used to spray a solution 11 of an alignment film material onto a substrate to form a film of the solution 11 on the substrate. The above-mentioned ink jet nozzle 7 is cleaned before the formation. This cleaning is performed by moving the inkjet nozzle 7 from the application position (position for applying the solution) to the cleaning position and wiping the inkjet nozzle 7 with a dust-free cloth 13 soaked with the solvent of the solution. After performing this cleaning, the inkjet nozzle 7 is returned to the coating position, the solution 11 of the alignment film material is injected from the supply port 7a of the inkjet nozzle 7, and the solution 11 is spray-coated on the substrate (not shown). A film of the solution 11 is formed on top. Subsequently, the substrate having the film formed thereon is dried at 100 ° C. for 15 seconds, and then heated at 180 ° C. for 30 minutes to remove the solvent in the film to form an alignment film on the substrate.
【００４８】この第２の実施の形態の形成方法において
は噴射塗布する前にインクジェットノズル７を配向膜材
料の溶媒を用いて清浄化するため、インクジェットノズ
ルの目詰まりによる塗布不良を防止することが可能とな
り、均一な膜厚の配向膜を得ることができ、これにより
表示性能の低下を防止することができる。In the forming method of the second embodiment, since the ink jet nozzle 7 is cleaned by using the solvent of the alignment film material before spray coating, it is possible to prevent coating failure due to clogging of the ink jet nozzle. This makes it possible to obtain an alignment film having a uniform film thickness, which can prevent deterioration of display performance.
【００４９】なお、上記第２の実施の形態の形成方法に
おいては、単一のインクジェットノズルが一列に配置さ
れたライン型インクジェットノズルを用いたが単一のイ
ンクジェットノズルを用いても良いことは云うまでもな
い。In the forming method of the second embodiment, the line type ink jet nozzle in which the single ink jet nozzles are arranged in a line is used, but it can be said that the single ink jet nozzle may be used. There is no end.
【００５０】なお、第２の実施の形態の形成方法におい
ては、インクジェットノズルの清浄化する工程は、１枚
の基板毎に行ったが、複数枚の基板に配向膜材料の溶液
を噴射塗布した後に行っても良い。In the forming method of the second embodiment, the step of cleaning the ink jet nozzle was carried out for each substrate, but a plurality of substrates were spray-coated with the solution of the alignment film material. You may go later.
【００５１】また、上記清浄化する工程は、図１に示す
第１の実施の形態の形成方法において、ステップＦ１お
よびステップＦ５のうちの少なくとも一方のステップを
行う前に用いることも可能である。The cleaning step can be used before performing at least one of step F1 and step F5 in the forming method of the first embodiment shown in FIG.
【００５２】次に本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第３の実施の形態を図６を参照して説明する。
この実施の形態の形成方法は、図６に示すようにライン
型のインクジェットノズル７を用いて配向膜材料の溶液
を基板上に噴射塗布して基板上に上記溶液の膜を基板上
に形成する前に、捨て打ち工程を行うものである。この
捨て打ち工程はインクジェットノズル７を塗布ポジショ
ンから捨て打ちポジションに移動させ、配向膜材料の溶
液の捨て打ちを行うものである。そしてこの捨て打ち行
った後にインクジェットノズル７を塗布ポジションに戻
し、インクジェットノズル７の供給口７ａから配向膜材
料の溶液１１を注入してこの溶液１１を基板（図示せ
ず）に噴射塗布し、上記基板上に上記溶液１１の膜を形
成する。続いて上記膜が形成された基板を１００℃で１
５秒間乾燥させた後、１８０℃で３０分間加熱すること
により、上記膜中の溶媒を除去し、基板上に配向膜を形
成する。Next, a third embodiment of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to FIG.
In the forming method according to this embodiment, as shown in FIG. 6, a solution of an alignment film material is spray-coated on a substrate using a line type inkjet nozzle 7 to form a film of the solution on the substrate. Before that, the discarding step is performed. In this discarding step, the inkjet nozzle 7 is moved from the coating position to the discarding position to discard the solution of the alignment film material. Then, after this discarding, the inkjet nozzle 7 is returned to the coating position, the solution 11 of the alignment film material is injected from the supply port 7a of the inkjet nozzle 7, and the solution 11 is spray-coated on the substrate (not shown). A film of the solution 11 is formed on the substrate. Then, the substrate on which the above film was formed was heated at 100 ° C.
After drying for 5 seconds, the solvent in the film is removed by heating at 180 ° C. for 30 minutes to form an alignment film on the substrate.
【００５３】この第３の実施の形態の形成方法も第２の
実施の形態の形成方法と同様の効果を有することは云う
までもない。It goes without saying that the forming method of the third embodiment has the same effect as the forming method of the second embodiment.
【００５４】なお、上記第３の実施の形態の形成方法に
おいては、ライン型インクジェットノズルを用いたが、
単一のインクジェットノズルを用いても良いことは云う
までもない。Although the line type ink jet nozzle is used in the forming method of the third embodiment,
It goes without saying that a single inkjet nozzle may be used.
【００５５】また上記第３の実施の形態の形成方法のよ
うに噴射塗布する前に捨て打ちを行う工程は、図１に示
す第１の実施の形態の形成方法において、ステップＦ１
およびステップＦ５のうちの少なくとも一方のステップ
を行う前に実施しても良い。Further, the step of performing the discarding before the spray coating as in the forming method of the third embodiment is the step F1 in the forming method of the first embodiment shown in FIG.
Alternatively, it may be performed before performing at least one of step F5.
【００５６】なお、第３の実施の形態の形成方法におい
ては、インクジェットノズルの捨て打ち工程は１枚の基
板毎に行ったが、複数枚の基板に配向膜材料の溶液を噴
射塗布した後に行っても良い。In addition, in the forming method of the third embodiment, the discarding step of the ink jet nozzle is carried out for each substrate, but it is carried out after spraying the solution of the alignment film material onto the plurality of substrates. May be.
【００５７】また第２および第３の実施の形態の形成方
法の清浄化工程と捨て打ち工程を組み合せて行っても良
い。The cleaning process and the discarding process of the forming methods of the second and third embodiments may be combined.
【００５８】次に本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第４の実施の形態を図７を参照して説明する。
この実施の形態の形成方法は、図７に示すように配向膜
材料の溶液を噴射塗布するインクジェットノズル７1 、
７2 を複数個備え、１個のインクジェットノズル７1 を
用いて所定枚数の基板２０に噴射塗布した後は、他のイ
ンクジェットノズル７2 を用いて上記溶液を基板２０に
噴射塗布し、上記溶液の膜を形成するものである。なお
インクジェットノズルの交換は例えば基板２０のサイズ
が１０．４インチの場合は２００枚の塗布が終了した後
に行う。なお、交換されたインクジェットノズル７1 は
目詰まりの有無が点検され、必要ならば第２の実施の形
態の清浄化工程が行われる。Next, a fourth embodiment of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 7, the forming method of this embodiment is performed by an inkjet nozzle 7 1 for spraying and applying a solution of an alignment film material,
7 2 includes a plurality of, after the spraying and applying to the substrate 20 a predetermined number by using one ink jet nozzle 71, the solution was injected coated on the substrate 20 by using the other ink jet nozzles 7 2, the solution To form a film. The ink jet nozzle is replaced after the application of 200 sheets is completed, for example, when the size of the substrate 20 is 10.4 inches. The replaced inkjet nozzle 7 1 is inspected for clogging, and if necessary, the cleaning process of the second embodiment is performed.
【００５９】この第４の実施の形態の形成方法によれ
ば、所定枚数の基板２０に噴射塗布したインクジェット
ノズルは他のインクジェットノズル７2 に交換されるた
め、インクジェットノズルの目詰まりが発生するのを可
及的に防止することが可能となり、均一な膜厚の配向膜
を得ることができ、これにより表示性能の低下を可及的
に防止することができる。[0059] According to the formation method of the fourth embodiment, since the ink jet nozzles spraying and applying to the substrate 20 of the predetermined number to be replaced with another ink jet nozzles 7 2, clogging of the inkjet nozzle is generated Can be prevented as much as possible, and an alignment film having a uniform film thickness can be obtained, whereby deterioration of display performance can be prevented as much as possible.
【００６０】なお、第４の実施の形態の形成方法におい
て、インクジェットノズルの交換はインクジェットノズ
ルの目詰まりを検出した時点で行っても良い。In the forming method of the fourth embodiment, the ink jet nozzle may be replaced when the clogging of the ink jet nozzle is detected.
【００６１】[0061]
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、膜厚
を均一にすることが可能となり、表示性能の低下を可及
的に防止することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to make the film thickness uniform and prevent the deterioration of display performance as much as possible.
【図１】本発明による液晶表示素子の配向膜形成方法の
第１の実施の形態の工程を示すフローチャート。FIG. 1 is a flowchart showing steps of a first embodiment of a method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention.
【図２】本発明による液晶表示素子の配向膜形成方法の
第１の実施の形態を実現する装置の一具体例の構成を示
す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of a specific example of an apparatus that realizes the first embodiment of the method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention.
【図３】図２に示す装置の動作を説明する説明図。FIG. 3 is an explanatory view explaining the operation of the apparatus shown in FIG.
【図４】図１に示す実施の形態の形成方法を用いて配向
膜が形成された液晶表示素子の構成断面図。FIG. 4 is a sectional view showing the configuration of a liquid crystal display element in which an alignment film is formed by using the forming method of the embodiment shown in FIG.
【図５】本発明による液晶表示素子の配向膜形成方法の
第２の実施の形態を説明する説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating a second embodiment of a method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention.
【図６】本発明による液晶表示素子の配向膜形成方法の
第３の実施の形態を説明する説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a third embodiment of a method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention.
【図７】本発明による液晶表示素子の配向膜形成方法の
第４の実施の形態を説明する説明図。FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a fourth embodiment of a method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to the present invention.
【図８】オフセット印刷方式による配向膜の形成を説明
する説明図。FIG. 8 is an explanatory diagram illustrating formation of an alignment film by an offset printing method.
【図９】オフセット印刷方式の問題点を説明する説明
図。FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating a problem of the offset printing method.
２ ステージ ４ ＣＣＤカメラ ６ ゲージングピン ７ ライン型インクジェットノズル ７ａ 供給口 ８ 干渉膜厚計測装置 ８ａ 干渉膜厚計測素子 ９ インクジェットノズル １０ インクジェットノズル駆動部 １１ 配向膜材料の溶液 １２ 干渉膜厚計測装置 １３ 溶媒が染み込んだ無塵布 １７ａ、１７ｂ レール ２０ 基板 ２２ 配向膜 ２５ 合わせマーク ３１ａ、３１ｂ ガラス基板 ３２ ＴＦＴ ３３ 透明電極 ３４ 遮光膜 ３５ 着色層 ３６ オーバーコート層 ３７ 透明電極 ３８ａ、３８ｂ 配向膜 ３９ シール剤 ４０ スペーサ ４１ 液晶組成物 ４２ａ、４２ｂ 偏光板 ４４ ＴＡＢ配線 ４５ バックライト ５０ ノズル ５１ ドクタローラ ５２ アニロックスローラ ５３ 版胴 ５４ 印刷版 ６０ 異物 2 stage 4 CCD camera 6 gauging pin 7 line type inkjet nozzle 7a supply port 8 interference film thickness measurement device 8a interference film thickness measurement element 9 inkjet nozzle 10 inkjet nozzle drive unit 11 solution of alignment film material 12 interference film thickness measurement device 13 solvent Dust-free cloth 17a, 17b Rail 20 Substrate 22 Alignment film 25 Alignment marks 31a, 31b Glass substrate 32 TFT 33 Transparent electrode 34 Light-shielding film 35 Coloring layer 36 Overcoat layer 37 Transparent electrodes 38a, 38b Alignment film 39 Sealant 40 Spacer 41 Liquid crystal composition 42a, 42b Polarizing plate 44 TAB wiring 45 Backlight 50 Nozzle 51 Doctor roller 52 Anilox roller 53 Plate cylinder 54 Printing plate 60 Foreign matter
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 誠 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 秋 吉 宗 治 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝横浜事業所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Makoto Hasegawa 8 Shinsita-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Incorporated company Toshiba Yokohama Works (72) Inventor Muneharu Aki 8 Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama, Kanagawa Stock Company Toshiba Yokohama Office
Claims (13)
材料を塗布することによって配向膜を成膜する工程と、 塗布された前記配向膜の膜厚を計測する工程と、 計測された前記膜厚が所定値未満の場合に、インクジェ
ットノズルを用いて配向膜材料を塗布することにより前
記配向膜の膜厚が所定値未満の箇所を補修する工程と、 を備えていることを特徴とする液晶表示素子の配向膜形
成方法。1. A step of forming an alignment film by applying an alignment film material on a transparent substrate having a transparent electrode formed thereon, and a step of measuring a film thickness of the applied alignment film. When the film thickness is less than a predetermined value, a step of repairing a portion where the film thickness of the alignment film is less than the predetermined value by applying an alignment film material using an inkjet nozzle is provided. A method for forming an alignment film of a liquid crystal display device.
膜する工程はインクジェットノズルを用いて行うことを
特徴とする請求項１記載の液晶表示素子の配向膜形成方
法。2. The method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to claim 1, wherein the step of forming a film by applying the alignment film material is performed by using an inkjet nozzle.
を用いて行うことを特徴とする請求項１または２記載の
液晶表示素子の配向膜形成方法。3. The method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the step of measuring the film thickness of the alignment film is performed by using an interferometer.
前記配向膜の溶媒を除去する工程を備えていることを特
徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の液晶表示素
子の配向膜形成方法。4. The alignment of the liquid crystal display element according to claim 1, further comprising a step of performing a drying treatment after the repairing step to remove a solvent of the alignment film. Film forming method.
材料を塗布する手段と、 塗布された配向膜材料の膜厚を計測する手段と、 前記計測する手段の出力に基づいて前記計測された膜厚
が所定値未満となっている箇所を検出する手段と、 前記検出する手段の検出出力に基づいて前記膜厚が所定
値未満となっている箇所にインクジェットノズルを用い
て配向膜材料を塗布することにより配向膜の膜厚を補修
する手段と、 を備えていることを特徴とする液晶表示素子の配向膜形
成装置。5. A means for applying an alignment film material on a transparent substrate on which a transparent electrode is formed, a means for measuring the film thickness of the applied alignment film material, and the measurement based on the output of the measuring means. Means for detecting a portion where the film thickness is less than a predetermined value, and an alignment film material using an inkjet nozzle at a portion where the film thickness is less than the predetermined value based on the detection output of the detecting means. An alignment film forming apparatus for a liquid crystal display device, comprising: a means for repairing the film thickness of the alignment film by applying.
ェットノズルを有していることを特徴とする請求項５記
載の液晶表示素子の配向膜形成装置。6. The alignment film forming apparatus for a liquid crystal display element according to claim 5, wherein the means for applying the alignment film material has an ink jet nozzle.
とを特徴とする請求項５又は６記載の液晶表示素子の配
向膜形成装置。7. The apparatus for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to claim 5, wherein the means for measuring the film thickness is an interferometer.
によって前記配向膜材料の溶媒を除去する手段を更に備
えていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに
記載の液晶表示素子の配向膜形成装置。8. The liquid crystal display according to claim 5, further comprising means for removing the solvent of the alignment film material by drying the repaired alignment film. Device for forming alignment film of device.
と、 透明電極が形成された透明基板上に前記インクジェット
ノズルを用いて配向膜材料の溶液を噴射塗布し、前記溶
液の膜を前記基板上に形成する工程と、 を備えていることを特徴とする液晶表示素子の配向膜形
成方法。9. A step of cleaning an inkjet nozzle, and spraying a solution of an alignment film material onto the transparent substrate having a transparent electrode formed thereon by using the inkjet nozzle to form a film of the solution on the substrate. A method of forming an alignment film for a liquid crystal display device, comprising:
の溶液の溶媒を用いることを特徴とする請求項９記載の
液晶表示素子の配向膜形成方法。10. The method for forming an alignment film of a liquid crystal display element according to claim 9, wherein a solvent of a solution of the alignment film material is used in the cleaning step.
クジェットノズルを清浄化することを特徴とする請求項
１または２記載の液晶表示素子の配向膜形成方法。11. The method for forming an alignment film of a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the ink jet nozzle is cleaned before applying the alignment film material.
場所でインクジェットノズルを用いて配向膜材料の溶液
を噴射する工程と、 前記インクジェットノズルを用いて前記透明基板上に前
記配向膜材料の溶液を噴射塗布することにより前記溶液
の膜を前記基板上に形成する工程と、を備えていること
を特徴とする液晶表示素子の配向膜形成方法。12. A step of spraying a solution of an alignment film material using an inkjet nozzle at a place other than the transparent substrate on which a transparent electrode is formed, and a step of spraying the alignment film material on the transparent substrate using the inkjet nozzle. And a step of forming a film of the solution on the substrate by spray-coating the solution, the method for forming an alignment film of a liquid crystal display device.
クジェットノズルを用いて配向膜材料を塗布することに
よって配向膜を形成する液晶表示素子の配向膜形成方法
において、 少なくとも２個のインクジェットノズルを用意し、１個
のインクジェットノズルによって配向膜の形成された前
記透明基板の枚数が所定値に達した場合に、他のインク
ジェットノズルに交換することを特徴とする液晶表示素
子の配向膜形成方法。13. A method for forming an alignment film of a liquid crystal display device, comprising forming an alignment film by applying an alignment film material on a transparent substrate having a transparent electrode formed thereon using an inkjet nozzle, wherein at least two inkjet nozzles are provided. A method for forming an alignment film for a liquid crystal display element, which is prepared and is replaced with another ink jet nozzle when the number of the transparent substrates on which the alignment film is formed by one ink jet nozzle reaches a predetermined value.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27573995A JPH09166783A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-24 | Method and device to form orienting film of liquid crystal display element |
Applications Claiming Priority (3)
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| JP7-261596 | 1995-10-09 | ||
| JP27573995A JPH09166783A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-24 | Method and device to form orienting film of liquid crystal display element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Country Status (1)
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