JPH09159852A - 薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法 - Google Patents
薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法Info
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- JPH09159852A JPH09159852A JP31552695A JP31552695A JPH09159852A JP H09159852 A JPH09159852 A JP H09159852A JP 31552695 A JP31552695 A JP 31552695A JP 31552695 A JP31552695 A JP 31552695A JP H09159852 A JPH09159852 A JP H09159852A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄膜フィルタを導波路の溝に挿入固定する時
の作業性を良くし、薄膜フィルタの反りを解消し、薄膜
フィルタを溝に接着する際の薄膜フィルタの位置ずれを
防止できる薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその
方法を提供する。 【解決手段】 導波路に形成した溝に薄膜フィルタを挿
入固定するための挿入固定治具において、Si 基板をエ
ッチング加工してSi 基板の底面10aまで貫通したフ
ィルタ挿入穴11を形成し、そのフィルタ挿入穴11に
薄膜フィルタを斜めに起立させて支持する傾斜面12を
形成したことを特徴とする。上記フィルタ挿入穴11は
上記傾斜面12が形成されたフィルタ挿入部13と、そ
のフィルタ挿入部13の対向する側に上記溝への挿入後
の薄膜フィルタの両側を保持するフィルタ固定部14と
から成る。
の作業性を良くし、薄膜フィルタの反りを解消し、薄膜
フィルタを溝に接着する際の薄膜フィルタの位置ずれを
防止できる薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその
方法を提供する。 【解決手段】 導波路に形成した溝に薄膜フィルタを挿
入固定するための挿入固定治具において、Si 基板をエ
ッチング加工してSi 基板の底面10aまで貫通したフ
ィルタ挿入穴11を形成し、そのフィルタ挿入穴11に
薄膜フィルタを斜めに起立させて支持する傾斜面12を
形成したことを特徴とする。上記フィルタ挿入穴11は
上記傾斜面12が形成されたフィルタ挿入部13と、そ
のフィルタ挿入部13の対向する側に上記溝への挿入後
の薄膜フィルタの両側を保持するフィルタ固定部14と
から成る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は薄膜フィルタを導波
路に形成した溝へ挿入固定するための挿入固定治具及び
その方法に係り、特にSi 基板をエッチング加工した挿
入固定治具及びその治具を用いて薄膜フィルタを挿入す
る方法に関するものである。
路に形成した溝へ挿入固定するための挿入固定治具及び
その方法に係り、特にSi 基板をエッチング加工した挿
入固定治具及びその治具を用いて薄膜フィルタを挿入す
る方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】導波路のコアに薄膜フィルタを取付ける
場合、薄膜フィルタが導波路のコアを横断するように溝
を形成し、その溝に薄膜フィルタを挿入するようにして
いる。
場合、薄膜フィルタが導波路のコアを横断するように溝
を形成し、その溝に薄膜フィルタを挿入するようにして
いる。
【0003】従来の薄膜フィルタの溝への挿入固定方法
としては、ピンセット等で薄膜フィルタを挾み、導波路
に形成した溝へ直接薄膜フィルタを挿入固定するものが
ある。
としては、ピンセット等で薄膜フィルタを挾み、導波路
に形成した溝へ直接薄膜フィルタを挿入固定するものが
ある。
【0004】図6に従来の薄膜フィルタの溝への挿入固
定方法を示す。導波路50表面から俯角αで作製された
導波路50上の溝52に薄膜フィルタ51を挿入固定す
る場合、薄膜フィルタ51をピンセット等で取り扱い、
溝52に挿入後、接着剤53でモールド固定を行なう。
定方法を示す。導波路50表面から俯角αで作製された
導波路50上の溝52に薄膜フィルタ51を挿入固定す
る場合、薄膜フィルタ51をピンセット等で取り扱い、
溝52に挿入後、接着剤53でモールド固定を行なう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法においては、薄膜フィルタ51を溝52
へ挿入するための位置決めに時間がかかり作業性に問題
がある。薄膜フィルタ51が反り等を持っている場合、
溝52への挿入が困難となる。また、薄膜フィルタ51
を溝52へ挿入後、接着剤の使用時に薄膜フィルタ51
が所定の固定位置からずれる問題がある。
うな従来の方法においては、薄膜フィルタ51を溝52
へ挿入するための位置決めに時間がかかり作業性に問題
がある。薄膜フィルタ51が反り等を持っている場合、
溝52への挿入が困難となる。また、薄膜フィルタ51
を溝52へ挿入後、接着剤の使用時に薄膜フィルタ51
が所定の固定位置からずれる問題がある。
【0006】本発明の目的は、前記した従来技術の欠点
を解消し、薄膜フィルタを溝に挿入固定する時の作業性
を良くし、薄膜フィルタの反りを解消し、薄膜フィルタ
を溝に接着する際の薄膜フィルタの位置ずれを防止でき
る薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法を提
供することにある。
を解消し、薄膜フィルタを溝に挿入固定する時の作業性
を良くし、薄膜フィルタの反りを解消し、薄膜フィルタ
を溝に接着する際の薄膜フィルタの位置ずれを防止でき
る薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法を提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項1の発明は、導波路に形成した溝に薄膜フィルタ
を挿入固定するための挿入固定治具において、Si 基板
をエッチング加工してSi 基板の底面まで貫通したフィ
ルタ挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィル
タを斜めに起立させて支持する傾斜面を形成したもので
ある。
請求項1の発明は、導波路に形成した溝に薄膜フィルタ
を挿入固定するための挿入固定治具において、Si 基板
をエッチング加工してSi 基板の底面まで貫通したフィ
ルタ挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィル
タを斜めに起立させて支持する傾斜面を形成したもので
ある。
【0008】請求項2の発明は、上記フィルタ挿入穴は
上記傾斜面が形成されたフィルタ挿入部と、そのフィル
タ挿入部の対向する側に上記溝への挿入後の薄膜フィル
タの両側を保持するフィルタ固定部とから成り、導波路
と薄膜フィルタを接着固定するための接着剤が挿入固定
治具に触れないようにフィルタ固定部のSi基板の裏面
に逃溝を形成したものである。
上記傾斜面が形成されたフィルタ挿入部と、そのフィル
タ挿入部の対向する側に上記溝への挿入後の薄膜フィル
タの両側を保持するフィルタ固定部とから成り、導波路
と薄膜フィルタを接着固定するための接着剤が挿入固定
治具に触れないようにフィルタ固定部のSi基板の裏面
に逃溝を形成したものである。
【0009】請求項3の発明は、上記フィルタ固定部の
幅は薄膜フィルタの幅と同等又は数μm広く形成される
ものである。
幅は薄膜フィルタの幅と同等又は数μm広く形成される
ものである。
【0010】請求項4の発明は、導波路に形成した溝に
薄膜フィルタを挿入固定する方法において、Si 基板を
エッチング加工してSi 基板の底面まで貫通したフィル
タ挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィルタ
を斜めに起立させて支持する傾斜面を形成した治具を形
成し、その治具に薄膜フィルタを保持し、導波路上を移
動させて薄膜フィルタを溝に挿入する方法である。
薄膜フィルタを挿入固定する方法において、Si 基板を
エッチング加工してSi 基板の底面まで貫通したフィル
タ挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィルタ
を斜めに起立させて支持する傾斜面を形成した治具を形
成し、その治具に薄膜フィルタを保持し、導波路上を移
動させて薄膜フィルタを溝に挿入する方法である。
【0011】本発明は、Si 基板をエッチング加工し薄
膜フィルタを溝へ挿入する部分と接着固定を行なう部分
を作製した挿入固定治具を用い、この挿入固定治具によ
って薄膜フィルタの溝への挿入の作業性を良くし、薄膜
フィルタの反りの解消を図る。また、薄膜フィルタを接
着剤で固定するときの位置ずれを解消できるものであ
る。
膜フィルタを溝へ挿入する部分と接着固定を行なう部分
を作製した挿入固定治具を用い、この挿入固定治具によ
って薄膜フィルタの溝への挿入の作業性を良くし、薄膜
フィルタの反りの解消を図る。また、薄膜フィルタを接
着剤で固定するときの位置ずれを解消できるものであ
る。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の好適実施の形態を添付図
面に基づいて詳述する。
面に基づいて詳述する。
【0013】図1に薄膜フィルタを溝へ挿入固定する挿
入固定治具の構造を示す。
入固定治具の構造を示す。
【0014】挿入固定治具10には直方体のSi 基板が
用いられ、そのSi 基板の中央部にSi 基板の底面10
aまで貫通したフィルタ挿入穴11が形成されている。
挿入固定治具10はそのフィルタ挿入穴11に傾斜面1
2を形成したフィルタ挿入部13と、そのフィルタ挿入
部13の対向する側に幅Wを持たせて形成したフィルタ
固定部14とから主に構成される。フィルタ挿入部13
の傾斜面12の傾斜角は図3(a)に示すように挿入固
定治具10の底面10aに対して仰角βが底面10aか
ら溝33への俯角αよりも小さくなるように形成されて
いる。また、フィルタ固定部14の幅Wは挿入する薄膜
フィルタ3の幅より数μm広く形成されている。
用いられ、そのSi 基板の中央部にSi 基板の底面10
aまで貫通したフィルタ挿入穴11が形成されている。
挿入固定治具10はそのフィルタ挿入穴11に傾斜面1
2を形成したフィルタ挿入部13と、そのフィルタ挿入
部13の対向する側に幅Wを持たせて形成したフィルタ
固定部14とから主に構成される。フィルタ挿入部13
の傾斜面12の傾斜角は図3(a)に示すように挿入固
定治具10の底面10aに対して仰角βが底面10aか
ら溝33への俯角αよりも小さくなるように形成されて
いる。また、フィルタ固定部14の幅Wは挿入する薄膜
フィルタ3の幅より数μm広く形成されている。
【0015】更に、図1(b)に示すようにフィルタ固
定部14の底面10aには薄膜フィルタを接着固定時に
挿入固定治具10と薄膜フィルタが接着されないように
底面10aから高さtまでエッチングされた逃溝15が
形成されている。
定部14の底面10aには薄膜フィルタを接着固定時に
挿入固定治具10と薄膜フィルタが接着されないように
底面10aから高さtまでエッチングされた逃溝15が
形成されている。
【0016】図2に挿入固定治具10の作製方法を示
す。Si 基板21の(111)面をエッチング加工し、
フィルタ挿入部及びフィルタ固定部となるフィルタ挿入
穴11を作製する。次に裏面をエッチング加工しフィル
タ固定部の逃溝15を作製することにより、図1に示し
た挿入固定治具10ができる。
す。Si 基板21の(111)面をエッチング加工し、
フィルタ挿入部及びフィルタ固定部となるフィルタ挿入
穴11を作製する。次に裏面をエッチング加工しフィル
タ固定部の逃溝15を作製することにより、図1に示し
た挿入固定治具10ができる。
【0017】図3、図4に薄膜フィルタ3の挿入固定方
法を示す。導波路38にダイシング等で作製された溝3
3に薄膜フィルタ3を挿入固定する場合、先ず、図3
(a)に示すように挿入固定治具10のフィルタ挿入部
13の傾斜面12の底辺31bと溝33のエッジ33a
を揃える。ここで、挿入する溝33の角度αはフィルタ
挿入部13の角度βより大きく90度以下とする。
法を示す。導波路38にダイシング等で作製された溝3
3に薄膜フィルタ3を挿入固定する場合、先ず、図3
(a)に示すように挿入固定治具10のフィルタ挿入部
13の傾斜面12の底辺31bと溝33のエッジ33a
を揃える。ここで、挿入する溝33の角度αはフィルタ
挿入部13の角度βより大きく90度以下とする。
【0018】次に、図3(b)に示すように薄膜フィル
タ3をフィルタ挿入部13の傾斜面12に載せ薄膜フィ
ルタ3の端面3aを溝33に引っ掛けるように置く。こ
こで、薄膜フィルタ3が反っている場合、B方向から薄
膜フィルタ3を押すことにより薄膜フィルタ3の端面3
aの反りを解消し、溝33に引っ掛けるように置くこと
ができる。
タ3をフィルタ挿入部13の傾斜面12に載せ薄膜フィ
ルタ3の端面3aを溝33に引っ掛けるように置く。こ
こで、薄膜フィルタ3が反っている場合、B方向から薄
膜フィルタ3を押すことにより薄膜フィルタ3の端面3
aの反りを解消し、溝33に引っ掛けるように置くこと
ができる。
【0019】次に、図4(a)に示すように薄膜フィル
タ3をC方向から押し、フィルタ挿入部13の傾斜面1
2から離し、溝33へ挿入する。
タ3をC方向から押し、フィルタ挿入部13の傾斜面1
2から離し、溝33へ挿入する。
【0020】その後、図4(b)に示すように挿入固定
治具10を薄膜フィルタ3の位置にフィルタ固定部14
が来るまでD方向にずらす。ここで、薄膜フィルタ3
の、導波路38上の溝33の長手方向における位置合わ
せは挿入固定治具10を溝33の長手方向に沿って移動
させることにより行なう。そして、接着剤37でモール
ド固定を行なう。モールド固定を行なう際、薄膜フィル
タ3が導波路38の溝33の接着固定位置からずれるの
を防ぐため、フィルタ固定部14のエッジ36aからエ
ッジ36bまでの幅Wは薄膜フィルタ3の幅より数μm
だけ広いものとする。
治具10を薄膜フィルタ3の位置にフィルタ固定部14
が来るまでD方向にずらす。ここで、薄膜フィルタ3
の、導波路38上の溝33の長手方向における位置合わ
せは挿入固定治具10を溝33の長手方向に沿って移動
させることにより行なう。そして、接着剤37でモール
ド固定を行なう。モールド固定を行なう際、薄膜フィル
タ3が導波路38の溝33の接着固定位置からずれるの
を防ぐため、フィルタ固定部14のエッジ36aからエ
ッジ36bまでの幅Wは薄膜フィルタ3の幅より数μm
だけ広いものとする。
【0021】また、挿入固定治具10と薄膜フィルタ3
及び導波路38が同時に接着されないようフィルタ固定
部14と導波路38の接触面は深さtだけ逃溝15をエ
ッチング加工されている。この逃溝15により、薄膜フ
ィルタ3はフィルタ固定部14のエッジ36a、36b
の位置36cのみで固定位置決めされるため、薄膜フィ
ルタ3と導波路38は接着剤37により接着されるが、
挿入固定用治具10は接着固定されない。
及び導波路38が同時に接着されないようフィルタ固定
部14と導波路38の接触面は深さtだけ逃溝15をエ
ッチング加工されている。この逃溝15により、薄膜フ
ィルタ3はフィルタ固定部14のエッジ36a、36b
の位置36cのみで固定位置決めされるため、薄膜フィ
ルタ3と導波路38は接着剤37により接着されるが、
挿入固定用治具10は接着固定されない。
【0022】そして、薄膜フィルタ3を導波路38の溝
33に接着固定後、挿入固定用治具10を取り外すこと
により薄膜フィルタ3の溝33への挿入固定が完了す
る。
33に接着固定後、挿入固定用治具10を取り外すこと
により薄膜フィルタ3の溝33への挿入固定が完了す
る。
【0023】
【実施例】図5に挿入固定用治具の実施例を示す。挿入
固定用治具41に薄膜フィルタの挿入固定部42、43
を2つ形成した例である。これにより、導波路40のコ
ア44及びコア45を横断する溝46に薄膜フィルタを
挿入する場合、同時に2つの薄膜フィルタを挿入固定で
きるため挿入固定時間が短縮される。
固定用治具41に薄膜フィルタの挿入固定部42、43
を2つ形成した例である。これにより、導波路40のコ
ア44及びコア45を横断する溝46に薄膜フィルタを
挿入する場合、同時に2つの薄膜フィルタを挿入固定で
きるため挿入固定時間が短縮される。
【0024】図5は薄膜フィルタの挿入箇所が2箇所の
場合の例であるが、挿入固定部は3箇所以上あってもよ
い。
場合の例であるが、挿入固定部は3箇所以上あってもよ
い。
【図1】本発明の薄膜フィルタを溝へ挿入固定する挿入
固定治具の構造を示す図である。
固定治具の構造を示す図である。
【図2】挿入固定治具の作製方法を示す図である。
【図3】薄膜フィルタの挿入固定方法を示す図である。
【図4】薄膜フィルタの挿入固定方法を示す図である。
【図5】挿入固定用治具の実施例を示す図である。
【図6】従来の薄膜フィルタの挿入固定方法を示す図で
ある。
ある。
3 薄膜フィルタ 10 挿入固定治具 10a 底面 11 フィルタ挿入穴 12 傾斜面 13 フィルタ挿入部 14 フィルタ固定部 15 逃溝 21 Si 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒沢 正昭 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内
Claims (4)
- 【請求項1】 導波路に形成した溝に薄膜フィルタを挿
入固定するための挿入固定治具において、Si 基板をエ
ッチング加工してSi 基板の底面まで貫通したフィルタ
挿入穴を形成し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィルタを
斜めに起立させて支持する傾斜面を形成したことを特徴
とする薄膜フィルタの溝への挿入固定治具。 - 【請求項2】 上記フィルタ挿入穴は上記傾斜面が形成
されたフィルタ挿入部と、そのフィルタ挿入部の対向す
る側に上記溝への挿入後の薄膜フィルタの両側を保持す
るフィルタ固定部とから成り、導波路と薄膜フィルタを
接着固定するための接着剤が挿入固定治具に触れないよ
うにフィルタ固定部のSi基板の裏面に逃溝を形成した
請求項1記載の薄膜フィルタの溝への挿入固定治具。 - 【請求項3】 上記フィルタ固定部の幅は薄膜フィルタ
の幅と同等又は数μm広く形成される請求項2記載の薄
膜フィルタの溝への挿入固定治具。 - 【請求項4】 導波路に形成した溝に薄膜フィルタを挿
入固定する方法において、Si 基板をエッチング加工し
てSi 基板の底面まで貫通したフィルタ挿入穴を形成
し、そのフィルタ挿入穴に薄膜フィルタを斜めに起立さ
せて支持する傾斜面を形成した治具を形成し、その治具
に薄膜フィルタを保持し、導波路上を移動させて薄膜フ
ィルタを溝に挿入することを特徴とする薄膜フィルタの
溝への挿入固定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31552695A JPH09159852A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31552695A JPH09159852A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09159852A true JPH09159852A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18066412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31552695A Pending JPH09159852A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | 薄膜フィルタの溝への挿入固定治具及びその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09159852A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109945359A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-28 | 依米康科技集团股份有限公司 | 集加湿、新风及空气处理一体的节能空调 |
CN113560997A (zh) * | 2021-07-17 | 2021-10-29 | 杭州新涵美家居用品有限公司 | 一种车间除尘*** |
-
1995
- 1995-12-04 JP JP31552695A patent/JPH09159852A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109945359A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-28 | 依米康科技集团股份有限公司 | 集加湿、新风及空气处理一体的节能空调 |
CN113560997A (zh) * | 2021-07-17 | 2021-10-29 | 杭州新涵美家居用品有限公司 | 一种车间除尘*** |
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