JPH09159615A - 光透過性板材の欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光透過性板材の被検査領域全面に対して能率
的に欠陥検査が行え、特に大面積の光透過性板材に対す
る欠陥検査が簡単かつ正確に行えるようにする。 【解決手段】 板材支持手段３は、光透過性板材６の被
検査領域を含む裏面に当接して板材６を支持する支持部
材３０、３２を有する。撮像手段２２、２４は、板材６
の表面側に配置され板材６の被検査領域を撮像する。照
明手段は、板材６の裏面側に配置される。一時退避手段
３０ａは、板材６のうち支持部材３０の当接個所の表面
を撮像手段２２、２４で撮像する際に、当接個所の支持
部材３０を撮像位置から一時的に退避させて別の個所で
前記板材６を支持させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスプレイ用パ
ネルなどの光透過性板材の欠陥検査装置および欠陥検査
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）
装置や液晶表示装置などの大型のディスプレイ装置に用
いられるガラスや透明樹脂からなるディスプレイ用パネ
ルは、大面積の板面に微細な電極構造や表示セルが多数
配置されている。このようなディスプレイ用パネルの製
造工程で、ディスプレイ用パネルの欠陥を検査するため
に光学的な検査装置が用いられる。具体的には、パネル
の裏面側から光を当てた状態で表面側から観察する。裏
面から表面へと透過する光によって欠陥の存在が明確に
なり、微細な欠陥であっても容易に発見できる。肉眼で
は見えない微細な欠陥を検知するには、パネルの表面を
ＴＶカメラで撮像して、その撮影画像を拡大表示しなが
ら目視で検査を行う。

【０００３】上記のようなディスプレイ用パネルの光学
的な欠陥検査を機械的に行う装置が提案されている。デ
ィスプレイ用パネルを保持し、背面側から照明を当てた
状態で、表面側を１台もしくは複数台の撮像カメラで走
査しながら検査を行う。欠陥が発見されれば、その位置
を記憶もしくは記録しておいて、検査後に欠陥を修復し
たり、製品の良否を判定する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ディスプレイ用パネル
が小面積のものであれば、パネルの外周縁を支持するだ
けでもパネルを安定して保持しておける。パネルの外周
縁を支持しているだけであれば、パネルの全面に照明を
当てた状態でパネルの任意の位置を撮像することができ
る。パネルの支持構造が照明や撮像の邪魔になることは
少ない。

【０００５】ところが、ディスプレイ用パネルが大面積
である場合、具体的には例えば２０インチサイズを超え
るようなものの場合、パネルの外周縁を支持するだけで
はパネルを安定して保持しておくことができない。パネ
ルの外周縁を支持していても、パネルの中央部分が湾曲
したり反ったりしてしまう。撮像する際に、パネルが厚
み方向に湾曲したり反ったりしていると、カメラの焦点
がずれてしまって、微細な欠陥を明確に捉えることがで
きなくなる。

【０００６】そのため、大面積のディスプレイ用パネル
では、パネルの外周縁だけでなく中央部分も支持してパ
ネルが湾曲したり反ったりしないようにしておく必要が
ある。しかし、パネルの中央部分を支持していると、そ
のための支持部材が照明および撮像の邪魔になってしま
い、支持部材の当接個所では欠陥の検査が出来なくな
る。

【０００７】上記のような問題は、ディスプレイ用パネ
ルに限らず各種の装置機器に用いられる大面積の光透過
性板材に対して前記のような光学的な欠陥検査を行う場
合にも発生する。本発明の課題は、光透過性板材の被検
査領域全面に対して能率的に欠陥検査が行え、特に大面
積の光透過性板材に対する欠陥検査が簡単かつ正確に行
えるようにすることである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

−請求項１の発明− 本発明のうち、請求項１に係る光透過性板材の欠陥検査
装置は、光透過性板材の裏面から光を当てた状態で表面
から撮像して前記板材の欠陥を検査する装置であって、
板材支持手段と撮像手段と照明手段と一時退避手段とを
備える。板材支持手段は、板材の被検査領域を含む裏面
に当接して板材を支持する支持部材を有する。撮像手段
は、板材の表面側に配置され板材の被検査領域を撮像す
る。照明手段は、板材の裏面側に配置される。一時退避
手段は、板材のうち支持部材の当接個所の表面を撮像手
段で撮像する際に、当接個所の支持部材を撮像位置から
一時的に退避させて別の個所で前記板材を支持させる。

【０００９】〔光透過性板材〕本発明の欠陥検査装置に
適用される光透過性板材は、前記したＰＤＰ装置におい
てガラス板材料に多数の電極が設けられたディスプレイ
用パネル、液晶表示装置において液晶およびその駆動電
極などがガラス板の間に配置されたディスプレイ用パネ
ルなどがある。

【００１０】光透過性板材は、完全な光透過性体すなわ
ち透明体であってもよいし、光学的な検査が可能な程度
に光透過性を有する半透明体であってもよいし、板材の
一部が光透過性を有し残りの部分が非透過性であっても
構わない。光透過性板材は矩形状あるいは角の丸い矩形
状をなすのが普通であるが、矩形以外の多角形、楕円
形、円形その他の形状であっても構わない。光透過性板
材は、平面板であってもよいし、湾曲した曲面板であっ
てもよい。光透過性板材となるディスプレイ用パネルの
寸法形状は限定されないが、本発明は、２０インチサイ
ズあるいはそれ以上の大面積のパネルに適用するのが好
ましい。

【００１１】光透過性板材としては、上記以外にも各種
の電子機器や光学装置などで用いられるガラス板材や透
明合成樹脂板材も用いられる。光透過性板材で検査する
欠陥は、電極の形状不良や断線、パネル素材中の気泡や
傷など、光学的に検査可能な欠陥であれば検査の目的に
合わせて任意の欠陥が検査できる。

【００１２】光透過性板材は、通常、その中央部分に検
査が必要な被検査領域が設定され、外周縁部分は検査の
不要な場合が多い。但し、被検査領域が外周縁部分に設
定され、中央部分の一部が被検査領域から外れる場合も
ある。 〔板材支持手段〕板材支持手段は、前記板材を撮像手段
による検査が可能な姿勢で保持しておければよく、具体
的な支持機構については、通常の機械装置における板材
料の支持構造を組み合わせて構成できる。板材支持手段
は、板材を単に機械的に支えるもののほか、真空吸着力
や空気力、静電気、電磁気などを利用して支持するもの
であってもよい。板材支持手段は、板材を支持した状態
で移動あるいは搬送可能なものであってもよい。例え
ば、板材を欠陥検査装置の前工程から検査位置へと運び
込んだり、検査位置から後工程へと送り出したりするこ
とができる。板材支持手段は、支持した板材を、検査装
置内で撮像手段に対して姿勢や位置を調整する機構を備
えていることができる。

【００１３】板材支持部材は、金属、合成樹脂などの構
造材料からなり、桟状、枠状、格子状など板材を支持す
るのに適した形状を有している。板材支持部材は、板材
を垂直状態、水平状態および傾斜状態の何れの状態で支
持するものでもよい。板材を垂直に近い傾斜状態にし
て、その裏面に支持部材を当接させて支持すれば、欠陥
検査装置の設置スペースが削減でき、板材の自重による
歪みを軽減でき、板材の取扱い作業性も良くなるなどの
利点がある。

【００１４】板材支持部材のうち板材との当接面に真空
吸着口を設けておいて、板材を支持部材に吸着保持すれ
ば、板材を確実に位置決め保持できる。板材を傾斜状態
で支持する場合、板材との当接面に圧力空気の吹き出し
口を設けておけば、板材に圧力空気を吹き付けて支持部
材から少し浮かした状態で支持することができる。板材
が板材支持部材から浮いた状態であれば板材に対して板
材支持部材を移動させ易くなる。

【００１５】板材支持部材には、板材の被検査領域から
外れる外縁部に当接する外縁支持部材と、板材の被検査
領域を横断して当接する桟状支持部材とを有することが
できる。外縁支持部材は、被検査領域から外れる外縁部
を支持するので、自由な形状および構造が採用でき、支
持部材の重量支持や位置決めを主に負担することができ
る。桟状支持部材は、板材のうち外縁支持部材だけでは
支持できない個所を補助的に支持する。重量支持や位置
決めの役割が少なければ、その形状を小さくでき、被検
査領域に対する照明を遮る範囲も少なくなり、移動させ
るのも容易になる。板材を垂直もしくは垂直に近い傾斜
状態で支持する場合、桟状支持部材は、板材を垂直方向
に横断して配置されてもよいし、水平方向に横断して配
置されてもよい。

【００１６】〔撮像手段〕撮像手段は、目的とする検査
に必要な検査画像が得られれば、ＴＶカメラ、ＣＣＤカ
メラ、スチールカメラなどの通常の光学撮像装置が用い
られる。撮像倍率や撮像精度は、検査目的に合わせて適
宜に設定される。可視光で撮像するもののほか、赤外線
や紫外線その他の非可視光を利用して撮像するものでも
よい。

【００１７】撮像手段は、１台のカメラで板材の被検査
領域全体を走査して撮像するものであってもよいし、複
数台のカメラで被検査領域を分割して撮像することもで
きる。例えば、多数のカメラを１列に並べておき、この
カメラ列を平行移動させて被検査領域の全面を撮像する
ことができる。撮像手段を走査したり移動させたりする
には、モータやコンベア機構、油空圧シリンダ機構、電
磁アクチュエータなどの各種の駆動機構が用いられる。

【００１８】〔照明手段〕照明手段は、検査に必要な画
像を撮像手段で得るのに必要な照明を被検査領域に当て
ることができれば、通常の蛍光灯や白熱灯などからなる
撮像用の照明ランプが使用され、照明の強さや光成分な
どは検査目的に合わせて選択される。照明手段は、少な
くとも板材の裏面側に配置して板材を透過する光が撮像
手段に到達するように配置されている必要がある。撮像
に必要であれば、板材の表面側にも照明手段を設けてお
くことができる。

【００１９】照明手段は、被検査領域の全体を常に照明
するように配置されてあってもよいし、撮像手段による
撮像個所だけを照明するように配置されてあってもよ
い。撮像手段が走査移動させられるものの場合、照明手
段も撮像手段とともに走査移動させるようにすることも
できる。 〔一時退避手段〕一時退避手段は、前記した支持部材が
当接している個所の板材を表面から撮像する際に、当該
個所を照明するのに邪魔になる支持部材を邪魔にならな
い位置に一時的に退避させておくとともに、支持部材が
退避した状態でも、支持部材で板材の別の位置を支持し
て、支持部材による板材の支持が損なわれないようにす
る。

【００２０】一時退避する支持部材は、被検査領域の裏
面に当接する個所の支持部材であり、被検査領域から外
れる個所の支持部材は一時退避させる必要はない。支持
部材を板材に沿って平行移動させれば、前記した一時退
避と一時退避した個所での板材の支持が容易である。支
持部材を板材から離れる方向に移動させてもよい。支持
部材を移動させるには、ギア機構やカム機構、リンク機
構、シリンダ機構などの各種機械的作動機構を組み合わ
せればよい。

【００２１】〔マーキング手段〕本発明の欠陥検査装置
で発見された欠陥の位置を板材に表示するマーキング手
段を備えておくことができる。マーキング手段は、イン
キやペイントを塗布したり吹き付けたりして、板材に記
号や文字を記入するものが採用できる。マーキング手段
は、不使用時には板材の裏面から離れた位置に配置して
支持部材や照明手段の邪魔にならないようにしておき、
使用時のみに板材に近接する位置に近づくように、進退
可能になっている。マーキング手段を欠陥の位置に移動
させるためにモータやアクチュエータなどからなる駆動
機構を備えておくことができる。

【００２２】−請求項３の発明− 本発明のうち、請求項３に係る光透過性板材の欠陥検査
装置は、基本的には前記発明と同様の構成を備えてお
り、板材支持手段と撮像手段と照明手段とを備える。撮
像手段および板材支持手段は、前記と同様である。但
し、一時退避手段を備える必要はない。

【００２３】本発明では、支持部材のうち、被検査領域
の裏面に当接する個所の支持部材が光透過性を有する。
光透過性を有する支持部材の材料としては、ガラス、透
明樹脂などが用いられる。支持部材は全体が光透過性材
料で構成されていてもよいし、被検査領域を照明するの
に邪魔にならない個所は光透過性のない材料で構成され
ていてもよい。

【００２４】−請求項４の発明− 本発明のうち、請求項４に係る光透過性板材の欠陥検査
装置は、基本的には前記発明と同様の構成を備えてお
り、板材支持手段と撮像手段と照明手段とを備える。撮
像手段および板材支持手段は、前記と同様である。但
し、一時退避手段を備える必要はない。

【００２５】本発明では、照明手段が、板材の裏面側で
支持部材の背後に配置される広域照明部と板材の裏面側
で支持部材の側方に配置され板材のうち支持部材の当接
個所を照明する局部照明部とを有する。広域照明部は、
前記した照明手段と同様の照明ランプが用いられる。広
域照明部による照明は、板材のうち支持部材が当接して
いる個所では板材を十分に照明することができない。

【００２６】局部照明部は、広域照明部で照明できない
個所の板材を照明する。局部照明部の照明は、支持部材
の側方から支持部材が当接している個所の板材に向けて
照明される。局部照明部としては、比較的小さな照明ラ
ンプを用いたり、光ファイバなどの導光部材で別置され
た照明ランプの光を支持部材が当接している個所の板材
に向けて照射したりすることができる。

【００２７】−請求項８の発明− 本発明のうち、請求項８に係る光透過性板材の欠陥検査
方法は、前記請求項１の発明に係る欠陥検査装置を用い
て、光透過性板材の欠陥を検査する。

【００２８】

【発明の実施の形態】図１および図２に示す欠陥検査装
置は、ＰＤＰ用のディスプレイパネルとなる矩形状の光
透過性板材６の欠陥検査を行う装置であり、直方体状の
装置本体１内に、検査ヘッド部２、板材支持部３が配置
され、装置本体１の上部には装置内の換気や空気浄化を
行うヘパフィルタ装置４、４を備える。装置本体１とは
別に制御ラック５を有する。

【００２９】制御ラック５には、欠陥検査装置の作動を
制御する制御回路や制御用マイクロコンピュータ、制御
命令を入力する操作盤などの制御機器が収容されてい
る。制御ラック５には、検査カメラ用モニタ５０および
観察カメラ用モニタ５２を備えている。装置本体１は、
前面の開口部分から板材支持部３に矩形状の光透過性板
材６を挿入配置して検査を行う。板材６は、矩形の長辺
を水平方向にして板面を立て、上辺が鉛直方向に対して
装置奥側に少し傾いた傾斜状態で配置される。

【００３０】〔検査ヘッド部〕検査ヘッド部２は、フレ
ーム部２０とフレーム部に支持された検査用カメラ２２
および観察用カメラ２４を有し、フレーム部２０の全体
が板材６の板面に沿って水平方向に往復移動する。検査
用カメラ２２は上下方向に沿って１２台が並べて置か
れ、板材６の上端から下端までを複数の検査用カメラ２
２で同時に撮像して検査できるようになっている。各検
査用カメラ２２は傾斜して配置された板材６の板面に対
して一定の距離をあけて近接して配置されており、検査
用カメラ２２の列が下から上へと奥側に向けて傾斜して
いる。観察用カメラ２４は、フレーム部２０に対して、
板材６の板面に沿う上下方向に移動自在に支持されてお
り、検査者が目視で観察したい個所に観察用カメラ２４
を移動させて、欠陥等の詳細な状況を観察することがで
きる。

【００３１】検査用カメラ２２で撮像された画像の情報
は制御ラック５で処理されて、画像中に欠陥画像が存在
するか否かを判断され、欠陥画像が存在すれば、その情
報が記憶される。また、後述するマーキング装置の作動
を制御することもできる。したがって、検査用カメラ２
２は、上記のような欠陥画像の電気的な判定が行える分
解能や画像精度を有するものが用いられる。

【００３２】観察用カメラ２４は、検査者が目視で検査
を行うときに用いられる。また、検査用カメラ２２で欠
陥あるいは欠陥と疑わしい画像が検出されたときに、確
認のために検査者が目視で観察するために用いられる。
したがって、観察用カメラ２４は、人間の目視による観
察が可能な程度の分解能および精度を有している。観察
用カメラ２４には、ズーム機構などの倍率変更機構を備
えておくことができる。

【００３３】図５に示すように、検査用カメラ２２の左
右には直管状の照明ランプ７０、７０が配置されてい
る。照明ランプ７０は板材６の板面に沿って上下方向に
配置されている。照明ランプ７０、７０は、検査用カメ
ラ２２および観察用カメラ２４の撮像位置を板材６の表
側から照明する。板材６を挟んで、検査用カメラ２２と
対向する位置にも照明ランプ７２が配置されている。照
明ランプ７２は、板材６を裏面から照明し、照明ランプ
７２の光が板材６を透過して検査用カメラ２２に捉えら
れる。

【００３４】照明ランプ７２の側方にはマーキング装置
８を備えている。マーキング装置８は、先端に有するマ
ーキングペン８０が板材６に向かって進退し、板材６に
マーキングを行う。マーキング装置８は上下方向に移動
自在に支持されており、検査ヘッド部２の全体が水平移
動することと合わせて、板材６の任意の位置にマーキン
グを施すことができる。マーキング装置８の作動は、制
御用ラック５の制御回路によって制御される。例えば、
検査用カメラ２２で欠陥が発見された位置にマーキング
装置８を移動させて欠陥位置にマーキングを施す。

【００３５】〔板材支持部〕図３に示すように、板材支
持部３には、水平方向に延びる下縁支持部材３２および
２本の桟状支持部材３０、３０を有する。図６にも示す
ように、下縁支持部材３２は、板材６の下端外縁に沿っ
て延びる。下縁支持部材３２は板材６の背面に当接する
とともに、板材６の下端外縁のうち下端面および側端面
に当接する複数の支持凸部３５を有する。板材６は、下
縁支持部材３２に載せられた状態で支持される。下縁支
持部材３２の一端は支点３３で回動自在に装置本体１に
取り付けられている。下縁支持部材３２の他端はアクチ
ュエータ３４に連結されていて、前記支点３３を中心に
して他端側が上下方向に揺動し、下縁支持部材３２の軸
方向が傾斜する。この支持部材３２の傾きによって、板
材６の姿勢を検査に適した姿勢に調整することができ
る。

【００３６】桟状支持部材３０、３０は、板材６を水平
方向に横断するように配置されている。一方の桟状支持
部材３０は板材６のほぼ中心を横断し、他方の桟状支持
部材３０は板材６の上辺近くを横断する。何れの桟状支
持部材３０も、板材６のうち欠陥検査が行われる領域す
なわち被検査領域を横断している。図２に示すように、
板材６は上下の桟状支持部材３０、３０にもたれかかる
ように配置されているので、板材６の背面が桟状支持部
材３０、３０に当接されて支持される。

【００３７】上下一対の桟状支持部材３０、３０は両端
を連結板３１、３１で一体連結されている。連結板３
１、３１は図示しないアクチュエータにより、板材６の
板面に沿う上下方向に移動し、桟状支持部材３０、３０
を上下に平行移動させる。下縁支持部材３２および桟状
支持部材３０の板材６と当接する面には、長さ方向すな
わち水平方向に沿う長溝３６が断続的に設けられてい
る。図４に詳しく示すように、各々の長溝３６の底部に
はそれぞれ、真空吸着口３７および空気吹き出し口３８
が配置されている。真空吸着口３７は図示しない真空吸
着装置に連結され、空気吹き出し口３８は図示しない空
気圧縮装置に連結されている。真空吸着口３７から真空
吸引すれば、板材６を支持部材３０、３２に引き付けて
吸着保持することができる。板材６を支持部材３０、３
２に吸着保持しておけば、板材６を検査位置に正確に固
定しておけ、板材６のぶれによる検査精度の低下などの
問題が防止できる。空気吹き出し口３８から圧力空気を
吹き出せば、板材６を支持部材３０、３２の表面から離
すことができる。圧力空気の圧力を加減すれば、板材６
を支持部材３０、３２からわずかに浮き上がった状態で
保持することも可能である。板材６を桟状支持部材３０
から離した状態で桟状支持部材３０を移動させれば、板
材６の裏面を桟状支持部材３０で擦ることなく、桟状支
持部材３０をスムーズに移動させることができる。

【００３８】〔欠陥検査の動作〕欠陥検査を行うディス
プレイ用パネルなどの光透過性板材６を、検査装置１の
板材支持部３に装着する。図３に示すように、板材６の
下端が下縁支持部材３２の支持凸部３５で位置決めされ
て支持される。下縁支持部材３２の傾斜角度を調節して
板材６の姿勢を調整する。板材６の姿勢が決まれば、各
支持部材３０、３２の真空吸着口３７から真空吸引し
て、板材６を各支持部材３０、３２に固定する。図６に
示すように、板材６は３本の支持部材３０、３２で全面
を均等に支持しているので、板材６が湾曲したり歪んだ
りすることが防げる。また、板材６はほぼ垂直に近い傾
斜状態で各支持部材３０、３２に支持されているので、
板材６の自重による湾曲や反りは生じにくい。

【００３９】板材６の表面および裏面を照明手段７０、
７２で照明した状態で、複数台の検査用カメラ２２で板
材６の上下方向を同時に検査する。検査ヘッド部２を水
平方向に移動させながら検査用カメラ２２による検査を
行えば、板材６の全面に対する欠陥検査が行われる。観
察用カメラ２４は、板材６の必要な位置に移動させて検
査者がモニタ５２を確認して検査を行う。

【００４０】検査用カメラ２２および観察用カメラ２４
は、桟状支持部材３０が裏面に当接している個所の板材
６に対しても検査を行う。図６の二点鎖線で示す位置に
桟状支持部材３０があると、桟状支持部材３０が当接し
ている個所の板材６には照明ランプ７２の光は当たら
ず、カメラ２４の撮像画像では欠陥を捉えることが困難
である。

【００４１】そこで、桟状支持部材３０の真空吸着口３
７による板材６の固定を解除し、空気吹き出し口３８か
ら圧力空気を吹き出して板材６を桟状支持部材３０の表
面から少し浮かす。この状態で、桟状支持部材３０を上
下方向に少し移動させ、移動した位置で再び真空吸着口
３７から真空吸着して板材６を固定し、カメラ２４の位
置から桟状支持部材３０が一時的に退避させる。この状
態では、撮像位置の板材６には裏面側の照明ランプ７２
からの光が十分に当たり、透過光による欠陥の検査が良
好に行える。

【００４２】桟状支持部材３０が移動した位置に対して
板材６の検査を行う際には、桟状支持部材３０を再び元
の位置に戻せばよい。検査用カメラ２２で発見されたり
観察用カメラ２４で確認された欠陥の情報は、制御ラッ
ク５内の記憶装置に記憶しておいて、その位置にマーキ
ング装置８を移動させ欠陥位置にマーキングを施しても
よいし、記憶された欠陥情報を、欠陥の改修装置に送っ
たり、製品の良否判定に利用したりすることができる。

【００４３】〔別の実施形態１〕図７に示す欠陥検査装
置は、基本的な構造は前記した実施形態と同じである。
この実施形態では、桟状支持部材１３０が光透過性を有
する透明樹脂で作製されている。上下の桟状支持部材１
３０、１３０を連結する連結部材３１については光透過
性のない金属などが用いられている。桟状支持部材１３
０には、前記実施形態と同様の長溝３６や真空吸着口３
７、空気吹き出し口３８が設けられている。

【００４４】上記のような桟状支持部材１３０を用いれ
ば、桟状支持部材１３０がカメラ２４の撮像位置で板材
６の裏面に当接していても、照明ランプ７２の光は透明
な桟状支持部材１３０を通過して板材６に当たり、板材
６を透過してカメラ２４で捉えることができる。したが
って、桟状支持部材１３０を退避することなく、検査を
続行することができる。

【００４５】但し、この場合、桟状支持部材１３０の材
料として、透明性が十分に高い材料を用いる必要がある
点で、任意の材料が使用できる前記実施形態の桟状支持
部材３０に比べて制約がある。透明な桟状支持部材１３
０の材料自体に何らかの欠陥があると、桟状支持部材１
３０の欠陥と板材６の欠陥であると誤判定する可能性が
あるが、予め桟状支持部材１３０に有する欠陥を検査し
ておいて、板材６の検査結果から桟状支持部材１３０の
欠陥を除外することで、ある程度は対応することができ
る。

【００４６】〔別の実施形態２〕図８に示す欠陥検査装
置は、基本的な構造は前記した実施形態と同じである。
この実施形態では、板材６の裏面側から照明する手段と
して、照明ランプ７２のほかに、光ファイバ照明具７４
を有する。照明ランプ７２は、桟状支持部材３０の背後
で少し離れた位置に配置されている。照明ランプ７２の
光は板材６の広い範囲を一様に照明するが、桟状支持部
材３０で遮られるので、桟状支持部材３０が当接してい
る個所の板材６には光は当たらない。

【００４７】光ファイバ照明具７４は、桟状支持部材３
０の上下側方に配置され、光ファイバ照明具７４の先端
が惨状支持部材３０の先端面と板材６との境界付近を斜
め外側から内側を向いている。光ファイバ照明具７４に
は図示しない光源が連結されており、光ファイバ照明具
７４の先端から光が照射される。光ファイバ照明具７４
の先端から照射された光は光ファイバ照明具７４の先端
が向いている方向に直線的に進み、板材６に斜め方向か
ら入射する。したがって、板材６のうち桟状支持部材３
０が当接している個所の内側部分にも光が透過し、板材
６の表面から出た光がカメラ２４で捉えられることにな
る。その結果、板材６のうち桟状支持部材３０が当接し
ている個所についても光を透過させて目的とする欠陥検
査を行うことができる。

【００４８】上記実施形態では桟状支持部材３０の一時
退避が不要である。但し、板材６のうち桟状支持部材３
０の当接個所では、光ファイバ照明具７４による斜め側
方からの光で照明するので、照明ランプ７２による照明
とは条件が違ってくる可能性がある。図示した実施形態
では、桟状支持部材３０とは別個に光ファイバ照明具７
４を取り付けているが、光ファイバ照明具７４を桟状支
持部材３０と一体化させておいたり、桟状支持部材３０
の内部に光ファイバ照明具７４を埋め込んでおくことも
できる。

【００４９】

【発明の効果】本発明の欠陥検査装置および欠陥検査方
法によれば、光透過性板材を確実に支持しながら、光透
過性板材の被検査領域全面に対して能率的に欠陥検査が
行える。大面積の光透過性板材であっても、板材に反り
や歪みを生じさせることなく安定した状態で支持して、
目的とする光学的な欠陥検査を確実に実施することがで
きる。

【００５０】特に、請求項１の発明では、板材支持部材
の一時退避手段を備えることで、前記した作用効果を達
成できる。請求項３の発明では、光透過性を有する支持
部材を用いることで、前記した作用効果を達成できる。
請求項４の発明では、照明手段に広域照明部と局部照明
部とを有することで、前記した作用効果を達成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を表す欠陥検査装置の斜視図

【図２】一部切欠側面図

【図３】支持手段の正面図

【図４】支持手段の要部拡大正面図

【図５】上方から見た各機構の配置構造図

【図６】光透過性板材の支持状態を表す要部の一部断面
側面図

【図７】別の実施形態を表す要部の一部断面側面図

【図８】別の実施形態を表す要部の一部断面側面図

【符号の説明】

１ 検査装置本体 ２ 検査ヘッド部 ２２ 検査用カメラ ２４ 観察用カメラ ３ 板材支持部 ３０ 桟状支持部材 ３２ 下縁支持部材 ３７ 真空吸引口 ３８ 空気吹き出し口 ５ 制御ラック ６ 光透過性板材 ７０、７２ 照明ランプ ７４ 光ファイバ照明具 ８ マーキング装置

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【手続補正書】

【提出日】平成８年２月７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【図５】

【図１】

【図２】

【図４】

【図６】

【図７】

【図８】

フロントページの続き (72)発明者 二村 高広 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光透過性板材の裏面から光を当てた状態
   で表面から撮像して前記板材の欠陥を検査する装置であ
   って、 前記板材の被検査領域を含む裏面に当接して前記板材を
   支持する支持部材を有する板材支持手段と、 前記板材の表面側に配置され前記板材の被検査領域を撮
   像する撮像手段と、 前記板材の裏面側に配置される照明手段と、 前記板材のうち支持部材の当接個所の表面を前記撮像手
   段で撮像する際に、前記当接個所の支持部材を撮像位置
   から一時的に退避させて別の個所で前記板材を支持させ
   る支持部材の一時退避手段とを備える光透過性板材の欠
   陥検査装置。
2. 【請求項２】 前記一時退避手段が、前記支持部材を前
   記板材に沿って平行移動させる平行駆動手段を有する請
   求項１に記載の光透過性板材の欠陥検査装置。
3. 【請求項３】 光透過性板材の裏面から光を当てた状態
   で表面から撮像して前記板材の欠陥を検査する装置であ
   って、 前記板材の被検査領域を含む裏面に当接して前記板材を
   支持する支持部材を有し、前記被検査領域の裏面に当接
   する個所の前記支持部材が光透過性を有する板材支持手
   段と、 前記板材の表面側に配置され前記板材の被検査領域を撮
   像する撮像手段と、 前記板材の裏面側に配置される照明手段とを備える光透
   過性板材の欠陥検査装置。
4. 【請求項４】 光透過性板材の裏面から光を当てた状態
   で表面から撮像して前記板材の欠陥を検査する装置であ
   って、 前記板材の被検査領域を含む裏面に当接して前記板材を
   支持する支持部材を有する板材支持手段と、 前記板材の表面側に配置され前記板材の被検査領域を撮
   像する撮像手段と、 前記板材の裏面側で前記支持部材の背後に配置される広
   域照明部と前記板材の裏面側で前記支持部材の側方に配
   置され前記板材のうち前記支持部材の当接個所を照明す
   る局部照明部とを有する照明手段とを備える光透過性板
   材の欠陥検査装置。
5. 【請求項５】 前記支持部材が、前記板材の前記被検査
   領域から外れる外縁部に当接する外縁支持部材と、前記
   板材の前記被検査領域を横断して当接する桟状支持部材
   とを有する請求項１〜４の何れかに記載の光透過性板材
   の欠陥検査装置。
6. 【請求項６】前記支持手段が、前記板材を垂直に近い傾
   斜状態で裏面に前記支持部材を当接させて支持し、 前記支持部材が、前記板材との当接面に、前記板材を真
   空吸着する吸着手段と前記板材に向けて圧力空気を吹き
   出す空気吹き出し手段とを有する請求項１〜５の何れか
   に記載の光透過性板材の欠陥検査装置。
7. 【請求項７】 前記板材の裏面側に、前記板材の裏面に
   向かって進退可能で前記板材の欠陥個所にマーキングを
   施すマーキング手段を備える請求項１〜６の何れかに記
   載の光透過性板材の欠陥検査装置。
8. 【請求項８】 光透過性板材の裏面から光を当てた状態
   で表面から撮像して前記板材の欠陥を検査する方法であ
   って、 前記板材の被検査領域を含む裏面に当接して前記板材を
   支持する支持部材で前記板材を支持する工程と、 前記板材の裏面側に配置される照明手段で前記板材を照
   明し、前記板材の表面側に配置され前記板材の被検査領
   域を撮像する撮像手段で前記板材を撮像する工程と、 前記板材のうち支持部材の当接個所の表面を前記撮像手
   段で撮像する際に、前記当接個所の支持部材を撮像位置
   から一時的に退避させて別の個所で前記板材を支持させ
   る一時退避工程とを含む光透過性板材の欠陥検査方法。