JPH09153215A - Production of magnetic recording medium and its producing device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production method and device of a magnetic recording medium that a back coating layer can be easily formed on a nonmagnetic supporting body with enough lubricating property and that the working efficiency is high. SOLUTION: In this production method of a recording medium, a magnetic layer is formed on a nonmagnetic supporting body 5, while a back coating layer is formed on the opposite surface to the surface where the magnetic layer is formed. In this method, the back coating layer is formed by plasma CVD method and a lubricant is supplied during the film forming by plasma CVD method. The producing device for this production method is equipped with a film forming means to form the back coating layer by plasma CVD method and a lubricant supplying means 18 to supply a lubricant while the film is formed by plasma CVD. Plurality of plasma CVD devices and lubricant supplying means may be alternately disposed in the device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の製
造方法及び製造装置に関するものであり、特にバックコ
ート層の形成方法の改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a magnetic recording medium, and more particularly to an improvement in a method for forming a back coat layer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、酸化
物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の粉末磁性材料を塩
化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、ポリエステル樹脂、
ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機結合剤中に分
散せしめた磁性塗料を非磁性支持体上に塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a powder magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder is used as a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, a polyester resin,
2. Description of the Related Art A coating type magnetic recording medium prepared by coating a magnetic coating material dispersed in an organic binder such as urethane resin or polyurethane resin on a non-magnetic support and drying it is widely used.

【０００３】また、ビデオテープレコーダー（ＶＴＲ）
等の分野においては、高画質化を図るために、高密度磁
気記録化が一層強く要求されており、これに対応する磁
気記録媒体として、Ｃｏ−Ｎｉ系合金、Ｃｏ−Ｃｒ系合
金、Ｃｏ−Ｏ系等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜
形成技術（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレ
ーティング法等）によってポリエステルフィルムやポリ
アミド、ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に磁性
層として直接被着した、いわゆる強磁性金属薄膜塗布型
の磁気記録媒体が提案され注目を集めている。A video tape recorder (VTR)
In the fields such as the above, there is a strong demand for high density magnetic recording in order to achieve high image quality, and as a magnetic recording medium corresponding to this, Co--Ni based alloys, Co--Cr based alloys, Co-- O-based metallic magnetic material is directly coated as a magnetic layer on a non-magnetic support such as a polyester film, polyamide or polyimide film by plating or vacuum thin film forming technology (vacuum evaporation method, sputtering method, ion plating method, etc.). A so-called ferromagnetic metal thin film coating type magnetic recording medium has been proposed and attracted attention.

【０００４】この強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体は、
保磁力や角形比及び短波長領域における電磁変換特性に
優れるばかりでなく、磁性層の薄膜化が可能であるため
に記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいことや、
磁性層中に非磁性材料である結合剤等を混入する必要が
ないために磁性材料の充填密度を高くできる等、数々の
利点を有している。This ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium is
Not only is it excellent in coercive force, squareness ratio, and electromagnetic conversion characteristics in the short wavelength region, but also because the magnetic layer can be made thin, recording demagnetization and thickness loss during reproduction are extremely small, and
Since there is no need to mix a binder or the like, which is a non-magnetic material, in the magnetic layer, there are various advantages such that the packing density of the magnetic material can be increased.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気記録媒
体の分野においては、磁性層とは反対側の面の特性を積
極的にコントロールするために、バックコート層が形成
されている。このバックコート層は、（１）磁気記録媒
体の表面の電気抵抗を下げて、磁気記録媒体の帯電によ
るトラブルを防ぐこと、（２）磁気記録媒体のいわゆる
早送り、巻戻し時の巻き乱れを防ぎ長期保存、輸送時の
巻き不良発生を防止すること、（３）非磁性支持体であ
るベースフィルムの表面の耐久性を上げ、使用中の傷つ
き発生を防いでドロップアウトを抑えること、（４）磁
気記録媒体間の摩擦を小さくすること等のために成膜さ
れるものである。By the way, in the field of magnetic recording media, a back coat layer is formed in order to positively control the characteristics of the surface opposite to the magnetic layer. This back coat layer (1) lowers the electric resistance of the surface of the magnetic recording medium to prevent problems due to charging of the magnetic recording medium, and (2) prevents so-called fast-forwarding of the magnetic recording medium and disturbance of winding during rewinding. To prevent winding defects during long-term storage and transportation, (3) To increase the durability of the surface of the base film, which is a non-magnetic support, to prevent scratches during use, and to prevent dropouts. (4) The film is formed to reduce friction between magnetic recording media.

【０００６】従来、このバックコート層は、塗布型磁気
記録媒体、強磁性金属薄膜型磁気記録媒体のいずれにお
いても、非磁性顔料や結合剤等を含むバックコート塗料
を塗布することにより形成している。Conventionally, this back coat layer is formed by applying a back coat paint containing a non-magnetic pigment, a binder and the like on both the coating type magnetic recording medium and the ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium. There is.

【０００７】この場合、バックコート層に含まれる非磁
性顔料、結合剤としては、次のものがいずれも使用でき
る。例えば、非磁性顔料としては、代表的なものとして
カーボンが挙げられる。この他に、必要に応じて、ヘマ
タイト、雲母、シリカゲル、炭酸カルシウム等を併用し
ている。また、結合剤としては、塩化ビニル−酢酸ビニ
ル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−ビニルアルコー
ル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−マレイン酸共重
合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニ
ル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−
アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−塩化
ビニリデン共重合体、メタクリル酸エステル−スチレン
共重合体、さらにはこれらの混合物等が挙げられる。In this case, the following can be used as the non-magnetic pigment and the binder contained in the back coat layer. For example, carbon is a typical nonmagnetic pigment. In addition to these, hematite, mica, silica gel, calcium carbonate and the like are used in combination as needed. Further, as the binder, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate-vinyl alcohol copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate-maleic acid copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, chloride Vinyl-acrylonitrile copolymer, acrylic ester-
Examples thereof include an acrylonitrile copolymer, an acrylic acid ester-vinylidene chloride copolymer, a methacrylic acid ester-styrene copolymer, and a mixture thereof.

【０００８】しかしながら、塗布によるいわゆる湿式の
製造工程では、有機溶剤が多量に使用されるために、環
境面への影響が心配されている。However, in the so-called wet manufacturing process by coating, since a large amount of organic solvent is used, there is a concern that it may affect the environment.

【０００９】また、特に、強磁性金属薄膜型の磁気記録
媒体の製造においては、蒸着等の真空薄膜形成技術を用
いて磁性層（強磁性金属薄膜）が形成されているにもか
かわらず、バックコート層は、塗布によるいわゆる湿式
の製造工程（「ウエットプロセス」とも呼ばれる。）で
作製する必要があることから、製造工程に塗布型の製造
工程と真空薄膜形成技術の製造工程が混在することとな
って、装置的な無駄が多かった。In particular, in the manufacture of a magnetic recording medium of a ferromagnetic metal thin film type, the magnetic layer (ferromagnetic metal thin film) is formed by using a vacuum thin film forming technique such as vapor deposition, even though the back layer is formed. Since the coat layer needs to be manufactured by a so-called wet manufacturing process (also called “wet process”) by coating, the manufacturing process may include a coating-type manufacturing process and a vacuum thin film forming technology manufacturing process. So, there was a lot of wasted equipment.

【００１０】他方、近年の小型化されたテープカセット
の所定容積内において、長時間の記録再生を可能とする
磁気テープの薄膜化の中で、磁気テープの機械的強度の
低下を少なくすることが必要とされている。On the other hand, it is possible to reduce the decrease in mechanical strength of the magnetic tape in the thinning of the magnetic tape which enables recording and reproduction for a long time within a predetermined volume of a downsized tape cassette. is necessary.

【００１１】しかしながら、従来の塗布型の製造方法で
は、バックコート層を充分に薄く製造することができ
ず、磁気テープの厚みにおけるバックコート層の厚みが
占める割合が高くなって、機械的強度を低下させる要因
となっている。However, in the conventional coating type manufacturing method, the back coat layer cannot be manufactured sufficiently thin, and the ratio of the thickness of the back coat layer to the thickness of the magnetic tape becomes high, so that the mechanical strength is increased. It is a factor that lowers the price.

【００１２】また、従来のバックコート層は、充分な潤
滑性を有していると必ずしも言えるものではなかった。Further, the conventional back coat layer cannot always be said to have sufficient lubricity.

【００１３】そこで、本発明は、非磁性支持体にバック
コート層を形成するに際して、その形成が容易で、しか
も得られるバックコート層の厚さを薄くし磁気テープ全
体の機械的強度の低下を抑えることが可能であるととも
に、充分な潤滑性が得られ、作業効率の高い磁気記録媒
体の製造方法及び製造装置を提供することを目的とす
る。Therefore, according to the present invention, when the backcoat layer is formed on the non-magnetic support, it is easy to form the backcoat layer and the thickness of the obtained backcoat layer is reduced to reduce the mechanical strength of the entire magnetic tape. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method and a manufacturing apparatus of a magnetic recording medium which can be suppressed and which has sufficient lubricity and has high work efficiency.

【００１４】さらに本発明は、磁性層を蒸着等による真
空薄膜形成技術によって作製する場合に、磁性層の製造
装置とバックコート製造装置が兼用でき、装置の有効利
用を図ることが可能な磁気記録媒体の製造方法及び製造
装置を提供することを目的とする。Further, according to the present invention, when the magnetic layer is manufactured by a vacuum thin film forming technique such as vapor deposition, the magnetic layer manufacturing apparatus and the back coat manufacturing apparatus can be combined, and the magnetic recording can be effectively used. An object of the present invention is to provide a medium manufacturing method and a medium manufacturing apparatus.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するために鋭意研究した結果、非磁性支持体上に
磁性層が形成されるとともに、磁性層形成面とは反対側
の面にバックコート層が形成される磁気記録媒体の製造
方法において、バックコート層を真空薄膜形成技術によ
って薄膜形成することが作業効率の向上を図るうえで好
ましく、しかも、この成膜の際に潤滑剤を供給すること
により、上述した（１）〜（４）の要求を満たす潤滑性
の高い磁気記録媒体が製造されることを見い出した。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies for achieving the above object, the inventors of the present invention have found that a magnetic layer is formed on a non-magnetic support and the magnetic layer is formed on the side opposite to the magnetic layer forming surface. In the method of manufacturing a magnetic recording medium in which the back coat layer is formed on the surface, it is preferable to form the back coat layer into a thin film by a vacuum thin film forming technique in order to improve work efficiency, and further, to lubricate during this film formation. It has been found that by supplying the agent, a magnetic recording medium having high lubricity which satisfies the above-mentioned requirements (1) to (4) can be manufactured.

【００１６】そこで、本発明に係る磁気記録媒体の製造
方法は、非磁性支持体上に磁性層が形成されるととも
に、磁性層形成面とは反対側の面にバックコート層が形
成される磁気記録媒体の製造方法において、バックコー
ト層をプラズマＣＶＤによって成膜するとともに、この
プラズマＣＶＤによる成膜の際に潤滑剤を供給すること
を特徴とする。Therefore, in the method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention, the magnetic layer is formed on the non-magnetic support, and the back coat layer is formed on the surface opposite to the surface on which the magnetic layer is formed. The method of manufacturing a recording medium is characterized in that the back coat layer is formed by plasma CVD and that a lubricant is supplied during the film formation by plasma CVD.

【００１７】一方、本発明の磁気記録媒体の製造装置
は、非磁性支持体上に磁性層が形成されるとともに、磁
性層形成面とは反対側の面にバックコート層が形成され
る磁気記録媒体の製造装置において、プラズマＣＶＤに
よりバックコート層を成膜する成膜手段と、プラズマＣ
ＶＤによる成膜の際に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段
を有することを特徴とする。On the other hand, in the magnetic recording medium manufacturing apparatus of the present invention, a magnetic layer is formed on a non-magnetic support, and a back coat layer is formed on the surface opposite to the surface on which the magnetic layer is formed. In a medium manufacturing apparatus, a film forming means for forming a back coat layer by plasma CVD, and a plasma C
It is characterized in that it has a lubricant supply means for supplying a lubricant during film formation by VD.

【００１８】また、上記プラズマＣＶＤと潤滑剤供給手
段とを交互に複数配置してなることを特徴とする。Further, it is characterized in that a plurality of the plasma CVD and the lubricant supplying means are alternately arranged.

【００１９】本発明が対象とする磁気記録媒体におい
て、磁性層は、磁性粉を結合剤中に分散してなる磁性塗
料を塗布した塗布型であってもよいし、強磁性金属材料
を蒸着法等により直接成膜した強磁性金属薄膜型であっ
てもよい。In the magnetic recording medium targeted by the present invention, the magnetic layer may be a coating type in which a magnetic coating material in which magnetic powder is dispersed in a binder is applied, or a ferromagnetic metal material is deposited by vapor deposition. It may be a ferromagnetic metal thin film type formed directly by a method such as.

【００２０】ここで、塗布型の磁気記録媒体の場合、磁
性粉や結合剤としては、従来公知のものが何れも使用で
きる。Here, in the case of the coating type magnetic recording medium, as the magnetic powder and the binder, any conventionally known one can be used.

【００２１】また、強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体の
場合、磁性層である強磁性金属薄膜は、強磁性金属材料
を被着することにより形成されるものであるが、該強磁
性金属材料は、通常の蒸着テ−プに使用されるものであ
れば如何なるものであってもよい。例示すれば、Ｆｅ，
Ｃｏ，Ｎｉなどの強磁性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎ
ｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ
−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−Ｂｉ，Ｍｎ−Ａｌ，Ｆｅ−
Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃ
ｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合
金があげられる。強磁性金属薄膜からなる磁性層は、こ
れらの単層膜であってもよいし多層膜であってもよい。
さらに多層膜の場合には、各層間の付着力向上、並びに
抗磁力の制御等のため、中間層を設けてもよい。また、
磁性層表面近傍が耐蝕性改善等のために酸化物となって
いてもよい。In the case of a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, the ferromagnetic metal thin film as the magnetic layer is formed by depositing a ferromagnetic metal material. May be any as long as it is used for a normal vapor deposition tape. For example, Fe,
Ferromagnetic metals such as Co and Ni, Fe-Co, Co-N
i, Fe-Co-Ni, Fe-Cu, Co-Cu, Co
-Au, Co-Pt, Mn-Bi, Mn-Al, Fe-
Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, C
Examples include ferromagnetic alloys such as o-Ni-Cr and Fe-Co-Ni-Cr. The magnetic layer made of a ferromagnetic metal thin film may be a single layer film or a multilayer film of these.
Further, in the case of a multilayer film, an intermediate layer may be provided in order to improve the adhesive force between the layers and control the coercive force. Also,
The vicinity of the surface of the magnetic layer may be an oxide to improve the corrosion resistance.

【００２２】強磁性金属薄膜の形成手段としては、真空
下で強磁性金属材料を加熱蒸発させ非磁性支持体上に沈
着させる真空蒸着法や、強磁性金属材料の蒸発を放電中
で行うイオンプレーティング法、アルゴンを主成分とす
る雰囲気中でグロー放電を越こし生じたアルゴンイオン
でターゲット表面の原子をたたき出すスパッタ法等、い
わゆるＰＶＤ技術や、高周波プラズマＣＶＤ、キャン対
向プラズマＣＶＤ、プラズマ照射ＣＶＤ、ＥＣＲプラズ
マＣＶＤ、トーチ型プラズマＣＶＤ、アークジェットＣ
ＤＶなどのＣＶＤ法によればよい。As means for forming the ferromagnetic metal thin film, a vacuum evaporation method of heating and evaporating a ferromagnetic metal material under vacuum to deposit it on a non-magnetic support, or an ion plating method of evaporating the ferromagnetic metal material in a discharge. Or a so-called PVD technique such as a sputtering method in which atoms on the target surface are knocked out by argon ions generated through a glow discharge in an atmosphere containing argon as a main component, high frequency plasma CVD, can-facing plasma CVD, plasma irradiation CVD, ECR plasma CVD, torch plasma CVD, arc jet C
A CVD method such as DV may be used.

【００２３】また、上記非磁性支持体としては、通常こ
の種の磁気記録媒体の非磁性支持体として用いられるも
のであれば何れも使用可能であり、例示すれば、ポリエ
ステル類，ポリアミド類，ポリオレフィン類，ビニル系
樹脂，ポリイミド類，ポリアミド類，ポリカーボネート
等が挙げられる。As the non-magnetic support, any of those usually used as a non-magnetic support for this type of magnetic recording medium can be used. For example, polyesters, polyamides and polyolefins can be used. Examples thereof include vinyl resins, polyimides, polyamides and polycarbonates.

【００２４】他方、非磁性支持体のバック面には、バッ
クコート層が成膜されるが、この材料としては、カーボ
ン（いわゆるダイヤモンドカーボンや、ダイヤモンドラ
イクカーボンも含む），ＳｉＯ₂，Ａｌ₂Ｏ₃等が挙げら
れる。On the other hand, a back coat layer is formed on the back surface of the non-magnetic support, and this material includes carbon (including so-called diamond carbon and diamond-like carbon), SiO ₂ , Al ₂ O. ₃ etc.

【００２５】そして、バックコート層を形成するための
方法としては、高周波プラズマＣＶＤであることが好ま
しい。しかし、例えば、キャン対向プラズマＣＶＤ、プ
ラズマ照射ＣＶＤ、ＥＣＲプラズマＣＶＤ、トーチ型プ
ラズマＣＶＤ等も適用可能である。As a method for forming the back coat layer, high frequency plasma CVD is preferable. However, for example, can facing plasma CVD, plasma irradiation CVD, ECR plasma CVD, torch plasma CVD, etc. are also applicable.

【００２６】さらに、バックコート層の成膜の際に取り
込まれる潤滑剤としては、パーフルオロエーテルや、チ
オ亜リン酸トリエチル等が挙げられるが、通常の潤滑剤
として使用されるものであれば、これらに限定されるも
のではない。Further, examples of the lubricant incorporated during the film formation of the back coat layer include perfluoroether and triethyl thiophosphite. However, as long as they are used as ordinary lubricants, It is not limited to these.

【００２７】本発明によれば、非磁性支持体上に強磁性
金属薄膜が真空薄膜形成技術により形成される磁気記録
媒体において、プラズマＣＶＤによってバックコート層
が成膜されるので、従来の塗布型とは異なり、不良率の
発生が極めて低く、薄膜のバックコート層が作業効率良
く形成される。According to the present invention, in the magnetic recording medium in which the ferromagnetic metal thin film is formed on the non-magnetic support by the vacuum thin film forming technique, the back coat layer is formed by plasma CVD, so that the conventional coating type is used. Unlike the above, the occurrence of defective rate is extremely low, and a thin back coat layer is formed with good working efficiency.

【００２８】また、本発明によれば、プラズマＣＶＤに
よる成膜の際に潤滑剤がガス化してバックコート層に充
分にしみ出て取り込まれることとなる。すなわち、バッ
クコート層の表面側の活性低下しないうちに潤滑剤が供
給されて、密着性等を高めることができる。したがっ
て、潤滑剤が塗布される従来の塗布型とは異なり、潤滑
性の高い磁気記録媒体を効率良く製造される。Further, according to the present invention, the lubricant is gasified and sufficiently exudes and is taken into the back coat layer during the film formation by the plasma CVD. That is, the lubricant can be supplied before the activity of the surface side of the back coat layer is reduced, and the adhesion can be improved. Therefore, unlike a conventional coating type in which a lubricant is applied, a magnetic recording medium having high lubricity can be efficiently manufactured.

【００２９】[0029]

【発明の実施の形態】以下、具体的な本発明の実施の形
態について説明するが、本発明はこの実施例に限定され
るものではない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Specific embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these embodiments.

【００３０】１．磁気記録媒体の製造装置の一例 本製造装置は、同一真空槽内で磁性層（強磁性金属薄
膜）とバックコート層を成膜するものであり、真空槽や
冷却キャン、走行系等を共用しているために、装置を有
効利用することができる。[0030] 1. Example of manufacturing apparatus for magnetic recording medium This manufacturing apparatus deposits a magnetic layer (ferromagnetic metal thin film) and a back coat layer in the same vacuum chamber, and shares the vacuum chamber, cooling can, running system, etc. Therefore, the device can be effectively used.

【００３１】この製造装置は、図１に示すように、頭部
と底部にそれぞれ設けられた排気口１から排気されて内
部が真空状態となされた真空室２内に、図中の時計回り
方向に定速回転する送りロール３と、やはり図中の時計
回り方向に定速回転する巻取りロール４とが設けられ、
これら送りロール３から巻取りロール４にテープ状の非
磁性支持体５が順次走行するようになされている。As shown in FIG. 1, this manufacturing apparatus has a vacuum chamber 2 in which a vacuum state is created by exhausting air from exhaust ports 1 provided at a head portion and a bottom portion, respectively, in a clockwise direction in the drawing. Is provided with a feed roll 3 that rotates at a constant speed and a winding roll 4 that also rotates at a constant speed in the clockwise direction in the drawing,
A tape-shaped nonmagnetic support 5 is sequentially run from the feed roll 3 to the winding roll 4.

【００３２】これら送りロール３から巻取りロール４に
上記非磁性支持体５が走行する中途部には、各ロール
３，４の径よりも大径となされた冷却キャン６が設けら
れている。この冷却キャン６は、非磁性支持体５を図中
下方に引き出すように設けられ、図中の時計回り方向に
定速回転する構成とされる。尚、上記送りロール３、巻
取りロール４、及び、冷却キャン６は、それぞれ非磁性
支持体５の幅と略同じ長さからなる円筒状をなすもので
あり、また、冷却キャン６には、内部に図示しない冷却
装置が設けられ、上記非磁性支持体５の温度上昇による
変形等を抑制し得るようになされている。A cooling can 6 having a diameter larger than the diameter of each of the rolls 3 and 4 is provided in the middle of the traveling of the non-magnetic support 5 from the feed roll 3 to the winding roll 4. The cooling can 6 is provided so as to draw the non-magnetic support member 5 downward in the drawing, and is configured to rotate at a constant speed in the clockwise direction in the drawing. The feed roll 3, the take-up roll 4, and the cooling can 6 each have a cylindrical shape having a length substantially equal to the width of the non-magnetic support 5, and the cooling can 6 includes A cooling device (not shown) is provided inside so that deformation of the non-magnetic support 5 due to a temperature rise can be suppressed.

【００３３】したがって、非磁性支持体５は、送りロー
ル３から順次送り出され、さらに上記冷却キャン６の周
面を通過し、巻取りロール４に巻取られていくようにな
されている。尚、上記送りロール３と記冷却キャン６と
の間及び該冷却キャン６と上記巻取りロール４との問に
はそれぞれガイドロール７、８が配設され、上記送りロ
ール３から冷却キャン６及び該冷却キャン６から券取り
ロール４にわたって走行する非磁性支持体５に所定のテ
ンションをかけ、該非磁性支持体５が円滑に走行するよ
うになされている。Therefore, the non-magnetic support member 5 is sequentially fed from the feed roll 3, passes through the peripheral surface of the cooling can 6, and is wound up by the winding roll 4. Guide rolls 7 and 8 are provided between the feed roll 3 and the cooling can 6 and between the cooling can 6 and the take-up roll 4, respectively. A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 5 that runs from the cooling can 6 to the ticket-picking roll 4, so that the non-magnetic support 5 runs smoothly.

【００３４】また、上記真空室２内には、上記冷却キャ
ン６の下方にルツボ９が設けられ、このルツボ９内に金
属磁性材料１０が充填されている。このルツボ９は、冷
却キャン６の中心軸方向の長さと略同一の幅を有してな
る。A crucible 9 is provided in the vacuum chamber 2 below the cooling can 6, and a metal magnetic material 10 is filled in the crucible 9. The crucible 9 has a width substantially the same as the length of the cooling can 6 in the central axis direction.

【００３５】一方、上記真空室２の側壁部には、上記ル
ツボ９内に充填された金属磁性材料１０を加熱蒸発させ
るための電子銃１１が取り付けられる。この電子銃１１
は、当該電子銃１１より放出される電子線Ｘが上記ルツ
ボ９内の金属磁性材料１０に照射されるような位置に配
設される。そして、この電子線Ｘの照射によって溶融・
蒸発した金属磁性材料１０が上記冷却キャン６の周面を
定速走行する非磁性支持体５上に磁性層として被着形成
されるようになっている。On the other hand, an electron gun 11 for heating and evaporating the metallic magnetic material 10 filled in the crucible 9 is attached to the side wall of the vacuum chamber 2. This electron gun 11
Is arranged at a position such that the electron beam X emitted from the electron gun 11 irradiates the metallic magnetic material 10 in the crucible 9. Then, the irradiation with the electron beam X causes melting /
The evaporated metal magnetic material 10 is deposited and formed as a magnetic layer on the non-magnetic support 5 that runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 6.

【００３６】また、上記冷却キャン６とルツボ９との間
であって冷却キャン６の近傍には、シャッタ１２が配設
されている。このシャッタ１２は、上記冷却キャン６の
周面を定速走行する非磁性支持体５の所定領域を覆う形
で形成され、このシャッタ１２により上記蒸発せしめら
れた金属磁性材料１０が上記非磁性支持体５に対して所
定の角度範囲で斜めに蒸着されるようになっている。更
に、このような蒸着に際し、上記真空室２の側壁部を貫
通して設けられる酸素ガス導入口１４を介して非磁性支
持体５の表面に酸素ガスが供給され、磁気特性、耐久性
及び耐候性の向上が図られている。A shutter 12 is provided between the cooling can 6 and the crucible 9 and near the cooling can 6. The shutter 12 is formed so as to cover a predetermined region of the non-magnetic support 5 that runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 6, and the metal magnetic material 10 evaporated by the shutter 12 is supported by the non-magnetic support. It is adapted to be obliquely deposited on the body 5 within a predetermined angle range. Further, during such vapor deposition, oxygen gas is supplied to the surface of the non-magnetic support 5 through an oxygen gas inlet 14 provided penetrating the side wall of the vacuum chamber 2 to provide magnetic properties, durability and weather resistance. The sexuality is being improved.

【００３７】真空室２内には、図２に示すように、冷却
キャン６の斜め下方に冷却キャン６と略々平行となるよ
うにバックコート層を成膜する成膜手段であるキャン対
向型ＲＦ（高周波）プラズマＣＶＤ装置２０が配されて
いる。このＲＦプラズマＣＶＤ装置２０は、対向電極を
有しており、ＲＦ電源１６によりバイアス電圧が印加で
きる構造となっている。In the vacuum chamber 2, as shown in FIG. 2, a can facing type which is a film forming means for forming a back coat layer obliquely below the cooling can 6 so as to be substantially parallel to the cooling can 6. An RF (radio frequency) plasma CVD apparatus 20 is arranged. The RF plasma CVD apparatus 20 has a counter electrode and has a structure in which a bias voltage can be applied by the RF power supply 16.

【００３８】なお、本例では、ＲＦプラズマＣＶＤ装置
２０は、いわゆるホローアノード型とされており、電極
２０ａ、２０ｂが箱型（ホロー状）をなし、上記冷却キ
ャン６と内面を対向するように配置されてなる方がアノ
ード電極２０ａとされ、絶縁材を介してこのアノード電
極２０ａを取り囲むかたちで配置されてなる方がカソー
ド電極２０ｂとされている。In this example, the RF plasma CVD apparatus 20 is of a so-called hollow anode type, and the electrodes 20a and 20b have a box shape (hollow shape) so that the inner surface faces the cooling can 6. The one arranged is the anode electrode 20a, and the one arranged so as to surround the anode electrode 20a via the insulating material is the cathode electrode 20b.

【００３９】ホローアノード型のＲＦプラズマＣＶＤ装
置では、アノード電極が窪みを有する形状（ホロー型）
をなし、このアノード電極にコンデンサを介して交流電
圧が印加される。このような電極構成とすることによ
り、アノード電極上に大きなバイアス電圧が発生し、成
膜レートが向上されるので、得られる膜の硬度が高くな
る。In the hollow anode type RF plasma CVD apparatus, the anode electrode has a hollow shape (hollow type).
And an AC voltage is applied to this anode electrode via a capacitor. With such an electrode structure, a large bias voltage is generated on the anode electrode and the film formation rate is improved, so that the hardness of the obtained film is increased.

【００４０】このように、本装置は、非磁性支持体５上
に強磁性金属薄膜からなる磁性層が真空薄膜形成技術に
より形成される製造工程に使用される装置でバックコー
ト層も形成されるようになされている。As described above, the present apparatus is an apparatus used in the manufacturing process in which the magnetic layer made of the ferromagnetic metal thin film is formed on the non-magnetic support 5 by the vacuum thin film forming technique, and the back coat layer is also formed. It is done like this.

【００４１】さらに、上記キャン対向型ＲＦ（高周波）
プラズマＣＶＤ装置２０に隣接して、潤滑剤供給手段で
ある潤滑剤供給槽１８が設けられている。この潤滑剤供
給槽１８は、非磁性支持体５であるベースフィルムの表
面の活性が低下しないうちに潤滑剤を供給し、高い密着
性を持たせるために配置されるものである。Further, the can-opposed RF (high frequency)
A lubricant supply tank 18, which is a lubricant supply means, is provided adjacent to the plasma CVD apparatus 20. The lubricant supply tank 18 is arranged so as to supply a lubricant before the activity of the surface of the base film, which is the non-magnetic support 5, is reduced, and to provide high adhesion.

【００４２】また、潤滑剤供給槽１８の後方には、図２
に示すように、液体供給装置１９が設けられいる。この
液体供給装置１９は、この装置内で潤滑剤が気化され、
一定量ずつ真空室２内に送られるようになされている。Further, in the rear of the lubricant supply tank 18, FIG.
A liquid supply device 19 is provided as shown in FIG. In the liquid supply device 19, the lubricant is vaporized in the device,
It is designed to be sent into the vacuum chamber 2 in a fixed amount.

【００４３】ここで、上記潤滑剤供給槽１８は、カーボ
ンによるバックコート層形成直後に配置したものに限ら
ず、潤滑剤のしみ出しによって高い潤滑効果が得られる
ように、図３に示すように、バックコート層形成直前に
配置されるようにしても良く、また、図４に示すよう
に、キャン対向型ＲＦプラズマＣＶＤ装置２０と潤滑剤
供給槽１８とを交互に複数設けることにより、バックコ
ート層形成中に配置されるようにしても良い。Here, the lubricant supply tank 18 is not limited to the one arranged immediately after the formation of the back coat layer of carbon, and as shown in FIG. 3, so that a high lubrication effect can be obtained by the exudation of the lubricant. Alternatively, the back coat layer may be arranged immediately before the formation of the back coat layer. Alternatively, as shown in FIG. 4, a plurality of can facing RF plasma CVD devices 20 and a plurality of lubricant supply tanks 18 are alternately provided to form the back coat layer. It may be arranged during layer formation.

【００４４】上記装置においては、非磁性支持体５上に
金属磁性材料１０を蒸着し、磁性層である強磁性金属薄
膜を成膜した後、非磁性支持体５を掛け替えて、冷却キ
ャン６に巻回したときに前記強磁性金属薄膜が成膜され
た面とは反対側の面が外方に臨むようになし、液体供給
装置１９より気化された潤滑剤を供給しながらＲＦプラ
ズマＣＶＤ装置２０によりバックコート層を形成する。
勿論、成膜順序はこれに限定されるものではなく、バッ
クコート層を形成した後に、磁性層を反対側の面に成膜
するようにしてもよい。In the above apparatus, the metal magnetic material 10 is vapor-deposited on the non-magnetic support 5 to form a ferromagnetic metal thin film which is a magnetic layer, and then the non-magnetic support 5 is replaced to form a cooling can 6. The surface opposite to the surface on which the ferromagnetic metal thin film is formed is made to face outward when wound, and the RF plasma CVD apparatus 20 while supplying the vaporized lubricant from the liquid supply apparatus 19. To form a back coat layer.
Of course, the film forming order is not limited to this, and the magnetic layer may be formed on the opposite surface after forming the back coat layer.

【００４５】２．磁気記録媒体の製造装置の他の例 本例の製造装置は、磁性層の形成、保護膜の形成、バッ
クコート層の形成を連続的に行うものである。[0045] 2. Another Example of Manufacturing Apparatus for Magnetic Recording Medium The manufacturing apparatus of this example continuously forms a magnetic layer, a protective film, and a back coat layer.

【００４６】この製造装置は、図５に示すように、真空
槽３０内に２つの冷却キャン３１、３２を設置してなる
もので、一方の冷却キャン３１と対向して、強磁性金属
材料を蒸着するためのルツボ３３及び電子銃３４、さら
には保護膜を成膜するためのＣＶＤ反応管３５が配置さ
れている。また、他方の冷却キャン３２と対向して、バ
ックコート層を成膜するためのＣＶＤ反応管３６が配置
されている。このＣＶＤ反応管３６は、先の製造装置と
同様、潤滑剤の供給手段を有する。As shown in FIG. 5, this manufacturing apparatus has two cooling cans 31 and 32 installed in a vacuum chamber 30. One cooling can 31 is opposed to the other cooling can 31, and a ferromagnetic metal material is used. A crucible 33 and an electron gun 34 for vapor deposition, and a CVD reaction tube 35 for forming a protective film are arranged. Further, a CVD reaction tube 36 for forming a back coat layer is arranged opposite to the other cooling can 32. This CVD reaction tube 36 has a means for supplying a lubricant, as in the above manufacturing apparatus.

【００４７】真空槽３０には、真空ポンプ等の排気機構
３７が設けられており、また巻き出しロール３８、巻き
取りロール３９、ガイドロール４０等からなる非磁性支
持体４１の走行系や、各種仕切板が設けられている。仕
切板としては、巻き出しロール３８や巻き取りロール３
９と成膜系との間を遮蔽する仕切板４２や、一方の冷却
キャン３１付近において蒸着系（ルツボ３３）とＣＶＤ
系（ＣＶＤ反応管３５）とを分離するための仕切板４３
である。The vacuum chamber 30 is provided with an evacuation mechanism 37 such as a vacuum pump, a traveling system of a non-magnetic support 41 composed of an unwinding roll 38, a winding roll 39, a guide roll 40, and the like. A partition plate is provided. As the partition plate, the unwinding roll 38 and the winding roll 3 are used.
The partition plate 42 for shielding between the film 9 and the film forming system, and the vapor deposition system (crucible 33) and the CVD in the vicinity of one cooling can 31.
Partition plate 43 for separating the system (CVD reaction tube 35)
It is.

【００４８】上記製造装置においては、巻き出しロール
３８から供給される非磁性支持体４１は、先ず、冷却キ
ャン３１に表面が外方に臨むように巻き付けられ、走行
される。In the above-described manufacturing apparatus, the non-magnetic support 41 supplied from the unwinding roll 38 is first wound around the cooling can 31 so that the surface thereof faces the outside, and is run.

【００４９】そして、ルツボ３３及び電子銃３４によっ
て、強磁性金属薄膜が磁性層として形成され、さらに、
その上にＣＶＤ反応管３５によって例えばカーボン保護
膜が成膜される。Then, a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer by the crucible 33 and the electron gun 34.
A carbon protective film, for example, is formed thereon by the CVD reaction tube 35.

【００５０】次いで、非磁性支持体４１は、第２の冷却
キャン３２に巻き付けられ、走行する。このとき、冷却
キャン３２に対する巻き付け面が反転され、裏面が外方
に臨むように巻き付けられる。Next, the non-magnetic support 41 is wound around the second cooling can 32 and runs. At this time, the winding surface for the cooling can 32 is reversed, and the winding surface is wound so that the back surface faces the outside.

【００５１】この冷却キャン３２においては、非磁性支
持体４１の磁性層や保護膜が形成された面とは反対側の
面に、ＣＶＤ反応管３６によってバックコート層が成膜
され、巻き取りロール３９に巻き取られる。In this cooling can 32, a back coat layer is formed by the CVD reaction tube 36 on the surface of the non-magnetic support 41 opposite to the surface on which the magnetic layer and the protective film are formed, and the winding roll is wound. It is wound up by 39.

【００５２】上述の製造装置においては、磁性層からバ
ックコート層までをインラインで連続形成できる。ただ
し、この場合、蒸着系とＣＶＤ系で成膜速度が異なり、
非磁性支持体４１の走行速度の制御が難しいので、先に
図４に示したように、ＣＶＤ反応管や潤滑剤供給手段を
複数配列し、膜厚を制御することが好ましい。In the above manufacturing apparatus, the magnetic layer to the back coat layer can be continuously formed in-line. However, in this case, the deposition rate differs between the vapor deposition system and the CVD system,
Since it is difficult to control the traveling speed of the non-magnetic support 41, it is preferable to arrange a plurality of CVD reaction tubes and lubricant supply means to control the film thickness, as shown in FIG.

【００５３】３．磁気記録媒体の製造 このような構成を有する製造装置を用いて、バックコー
ト層が成膜された磁気記録媒体を作製した。なお、非磁
性支持体５上に強磁性金属薄膜からなる磁性層が真空薄
膜形成技術により形成される製造工程は、従来と同様で
ある。[0053] 3. Manufacture of Magnetic Recording Medium Using the manufacturing apparatus having such a structure, a magnetic recording medium having a back coat layer formed thereon was manufactured. The manufacturing process in which the magnetic layer made of a ferromagnetic metal thin film is formed on the non-magnetic support 5 by the vacuum thin film forming technique is the same as the conventional process.

【００５４】すなわち、強磁性金属薄膜の成膜は、蒸着
等の真空薄膜形成技術で使用した金属は、Ｃｏ−Ｎｉの
合金、成膜時に酸素を導入することで磁気記録媒体とし
て適当な磁性体になるようにした。That is, a ferromagnetic metal thin film is formed by using a metal used in a vacuum thin film forming technique such as vapor deposition as a Co--Ni alloy, and by introducing oxygen during the film formation, a magnetic material suitable as a magnetic recording medium. I tried to become.

【００５５】この強磁性金属薄膜の成膜した後、パーフ
ルオロポリエーテル系の潤滑剤を供給しながらバックコ
ート層を形成した。この潤滑剤としては、前記パーフル
オロポリエーテル系に限らず、チオ亜リン酸トリエチル
等、多数の液体の潤滑剤から任意のものを選択して使用
することができる。このようにして、気化された潤滑剤
は、上述したようにしてバックコート層に付着される。
すなわち、表面の活性が低下しないうちに潤滑剤を供給
することができ、密着性を高めることができる。After forming this ferromagnetic metal thin film, a back coat layer was formed while supplying a perfluoropolyether lubricant. The lubricant is not limited to the above-mentioned perfluoropolyether type, and any one of many liquid lubricants such as triethyl thiophosphite can be selected and used. In this way, the vaporized lubricant is attached to the backcoat layer as described above.
That is, the lubricant can be supplied before the surface activity is lowered, and the adhesion can be improved.

【００５６】バックコート層の形成に際しては、図３に
示すように、バックコート層の形成直前に潤滑剤供給槽
１８を配置されるようにしたり、また、図４に示すよう
に、キャン対向型ＲＦプラズマＣＶＤ装置２０と潤滑剤
供給槽１８とを交互に複数設けることにより、潤滑剤の
しみ出しによる高い潤滑効果が得られるようになる。In forming the back coat layer, as shown in FIG. 3, the lubricant supply tank 18 may be arranged immediately before the formation of the back coat layer, or as shown in FIG. By alternately providing a plurality of RF plasma CVD devices 20 and a plurality of lubricant supply tanks 18, it is possible to obtain a high lubrication effect due to the seepage of the lubricant.

【００５７】本例では、下塗り層が形成された非磁性支
持体５上に、図１乃至図４に示すような装置を用いて、
酸素雰囲気中でＣｏ−Ｎｉ系合金を斜めに蒸着し、強磁
性金属薄膜を磁性層として被着形成した後、バックコー
ト層を図３に示すような装置を用いて成膜した。その作
製条件は以下のとおりである。In this example, an apparatus as shown in FIGS. 1 to 4 was used on the non-magnetic support 5 having an undercoat layer formed thereon.
A Co—Ni alloy was obliquely vapor-deposited in an oxygen atmosphere, a ferromagnetic metal thin film was deposited as a magnetic layer, and then a back coat layer was formed using an apparatus as shown in FIG. The manufacturing conditions are as follows.

【００５８】原料ガス：トルエン ＲＦパワー：１．０ＫＷ セルフバイアス電圧：２００Ｖから１０００Ｖ 真空度：８Ｐａ 基板：ポリエンエチレンテレフタレート（ＰＥＴ） また、上記バックコート層形成と同時に液体供給装置１
９にてパーフルオロポリエーテル系潤滑剤（１％トルエ
ン溶液）を供給して、ＣＤＶ膜形成直後のカーボンの膜
からなるバックコート層を晒したが、このとき、潤滑剤
供給装置内の圧力を１０Ｐａ程度になるように供給量を
調節した。Raw material gas: Toluene RF power: 1.0 kW Self-bias voltage: 200 V to 1000 V Vacuum degree: 8 Pa Substrate: Polyene ethylene terephthalate (PET) Further, at the same time when the back coat layer is formed, the liquid supply apparatus 1 is formed.
At 9, the perfluoropolyether-based lubricant (1% toluene solution) was supplied to expose the backcoat layer consisting of the carbon film immediately after the CDV film formation. At this time, the pressure in the lubricant supply device was adjusted. The supply amount was adjusted to be about 10 Pa.

【００５９】得られた磁気記録媒体におけるバックコー
ト層（カーボン層）の厚さは１５ｎｍであり、動摩擦係
数は０．２２であった。したがって、本発明によって低
い動摩擦係数が得られることが確認された。The thickness of the back coat layer (carbon layer) in the obtained magnetic recording medium was 15 nm, and the dynamic friction coefficient was 0.22. Therefore, it was confirmed that a low dynamic friction coefficient can be obtained by the present invention.

【００６０】なお、動摩擦係数を測定するに際しては、
以下の条件の動摩擦係数測定器（フリクションテスタ）
を使用した。When measuring the dynamic friction coefficient,
Dynamic friction coefficient measuring device (friction tester) under the following conditions
It was used.

【００６１】ガイドピン 接触角：９０ラップ 加重：１０ｇ重 また、上記潤滑剤を供給しながらバックコート層を形成
した磁気記録媒体（潤滑剤有り）と潤滑剤を供給しない
でバックコート層を形成した磁気記録媒体（潤滑剤無
し）について、走行回数による動摩擦係数の変化を調べ
た。結果を図６に示す。Guide pin contact angle: 90 laps Weight: 10 g weight Further, the magnetic recording medium (with a lubricant) on which the back coat layer was formed while supplying the above lubricant and the back coat layer was formed without supplying the lubricant. With respect to the magnetic recording medium (without lubricant), changes in the dynamic friction coefficient depending on the number of times of running were examined. FIG. 6 shows the results.

【００６２】その結果、潤滑剤有りの場合、初期の動摩
擦係数が低いばかりでなく、走行を繰り返しても、ほと
んど動摩擦係数の上昇は見られなかった。As a result, in the case of using the lubricant, not only the initial coefficient of dynamic friction was low, but also the coefficient of dynamic friction hardly increased even after repeated running.

【００６３】これに対して、潤滑剤無しの場合には、初
期の動摩擦係数が高く、また走行を繰り返すと動摩擦係
数の上昇が見られ、走行回数が６０回を越えたあたりで
実用限界を越えてしまった。On the other hand, in the case of no lubricant, the initial coefficient of dynamic friction was high, and the coefficient of dynamic friction increased with repeated running, exceeding the practical limit when the number of running times exceeded 60 times. I got it.

【００６４】[0064]

【発明の効果】上述したように、本発明にかかる磁気記
録媒体の製造方法においては、プラズマＣＶＤによって
バックコート層が成膜されるので、従来の塗布型とは異
なり、不良率の発生が極めて低く、薄膜のバックコート
層が作業効率良く形成される。As described above, in the method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention, since the back coat layer is formed by plasma CVD, unlike the conventional coating type, a defective rate is extremely generated. A low and thin backcoat layer is formed with good working efficiency.

【００６５】また、本発明によれば、プラズマＣＶＤに
よる成膜の際に潤滑剤がガス化してバックコート層に取
り込まれることとなる。したがって、潤滑剤が塗布され
る従来の塗布型のバックコート層とは異なり、バックコ
ート層の非磁性支持体に対する密着性がよく、しかも潤
滑性の高い磁気記録媒体が製造される。Further, according to the present invention, the lubricant is gasified and taken into the back coat layer during the film formation by plasma CVD. Therefore, unlike a conventional coating type back coat layer coated with a lubricant, a magnetic recording medium having good adhesion to the non-magnetic support of the back coat layer and high lubricity can be manufactured.

【００６６】そして、本発明の製造方法及び製造装置に
よれば、従来の塗布型とは異なり、有機溶剤を使用しな
いために、環境への影響の心配がない。According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the present invention, unlike the conventional coating type, since no organic solvent is used, there is no fear of affecting the environment.

【００６７】さらに、強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体
の場合には、磁性層の製造装置とバックコート製造装置
が兼用でき、装置の有効利用を図ることが可能である。Further, in the case of a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, both the magnetic layer manufacturing apparatus and the back coat manufacturing apparatus can be used, and the apparatus can be effectively used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】磁気記録媒体の製造装置の一例を示す模式図で
ある。FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【図２】上記装置を一部拡大して示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a part of the above device in an enlarged manner.

【図３】上記装置におけるプラズマＣＶＤ装置と潤滑剤
供給手段の他の配置例を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic view showing another arrangement example of the plasma CVD apparatus and the lubricant supply means in the above apparatus.

【図４】上記装置におけるプラズマＣＶＤ装置と潤滑剤
供給手段のさらに他の配置例の例を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic view showing an example of still another arrangement example of the plasma CVD apparatus and the lubricant supply means in the above apparatus.

【図５】磁気記録媒体の製造装置の他の例を示す模式図
である。FIG. 5 is a schematic view showing another example of a magnetic recording medium manufacturing apparatus.

【図６】潤滑剤の有無による動摩擦係数の変化の違いを
示す特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram showing a difference in change in dynamic friction coefficient depending on the presence or absence of a lubricant.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

５ 非磁性支持体 １８ 潤滑剤供給手段（潤滑剤供給槽） １９ 液体供給装置 ２０ 成膜手段（高周波プラズマＣＶＤ装置） 5 Non-Magnetic Support 18 Lubricant Supply Means (Lubricant Supply Tank) 19 Liquid Supply Device 20 Film Forming Means (High Frequency Plasma CVD Device)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 非磁性支持体上に磁性層が形成されると
ともに、磁性層形成面とは反対側の面にバックコート層
が形成される磁気記録媒体の製造方法において、 バックコート層をプラズマＣＶＤによって成膜するとと
もに、このプラズマＣＶＤによる成膜の際に潤滑剤を供
給することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。1. A method for manufacturing a magnetic recording medium, wherein a magnetic layer is formed on a non-magnetic support and a back coat layer is formed on a surface opposite to a surface on which the magnetic layer is formed. A method of manufacturing a magnetic recording medium, which comprises forming a film by CVD and supplying a lubricant during the film formation by plasma CVD. 【請求項２】 非磁性支持体上に磁性層が形成されると
ともに、磁性層形成面とは反対側の面にバックコート層
が形成される磁気記録媒体の製造装置において、 プラズマＣＶＤによりバックコート層を成膜する成膜手
段と、 プラズマＣＶＤによる成膜の際に潤滑剤を供給する潤滑
剤供給手段を有することを特徴とする磁気記録媒体の製
造装置。2. A magnetic recording medium manufacturing apparatus in which a magnetic layer is formed on a non-magnetic support and a back coat layer is formed on a surface opposite to a surface on which a magnetic layer is formed. An apparatus for producing a magnetic recording medium, comprising: a film forming means for forming a layer and a lubricant supplying means for supplying a lubricant during film formation by plasma CVD. 【請求項３】 プラズマＣＶＤと潤滑剤供給手段とを交
互に複数配置してなることを特徴とする請求項２記載の
磁気記録媒体の製造装置。3. A magnetic recording medium manufacturing apparatus according to claim 2, wherein a plurality of plasma CVD and lubricant supplying means are alternately arranged.