JPH09152329A - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
- Publication number
- JPH09152329A JPH09152329A JP8029770A JP2977096A JPH09152329A JP H09152329 A JPH09152329 A JP H09152329A JP 8029770 A JP8029770 A JP 8029770A JP 2977096 A JP2977096 A JP 2977096A JP H09152329 A JPH09152329 A JP H09152329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- moving means
- direction moving
- measuring device
- flatness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 平面度測定データの信頼度を高めて、平
面度測定時間を短縮させることができ、陰極線管用電子
銃の平面度測定にも使用可能な平面度測定装置を提供す
る。 【解決手段】 Z軸方向に形成されてスライダ12のZ
軸方向移動を可能にするZ方向移動手段と、このZ方向
移動手段の下側に配設されてスライダ32のX方向移動
を可能にするX方向移動手段と、このX方向移動手段に
対して直交する方向に配設されてスライダ48のY方向
移動を可能にするY方向移動手段とを有する。Z方向移
動手段には変位計測手段24が設けられていると共に、
X方向移動またはY方向移動可能なスライダ32、48
に測定対象物を載置可能である。
面度測定時間を短縮させることができ、陰極線管用電子
銃の平面度測定にも使用可能な平面度測定装置を提供す
る。 【解決手段】 Z軸方向に形成されてスライダ12のZ
軸方向移動を可能にするZ方向移動手段と、このZ方向
移動手段の下側に配設されてスライダ32のX方向移動
を可能にするX方向移動手段と、このX方向移動手段に
対して直交する方向に配設されてスライダ48のY方向
移動を可能にするY方向移動手段とを有する。Z方向移
動手段には変位計測手段24が設けられていると共に、
X方向移動またはY方向移動可能なスライダ32、48
に測定対象物を載置可能である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は平面度測定装置に関
し、詳しくは、陰極線管用電子銃電極などの平面度を測
定するために用いられ、平面度測定データの信頼度を高
めて平面度測定時間を短縮させることができる平面度測
定装置に関する。
し、詳しくは、陰極線管用電子銃電極などの平面度を測
定するために用いられ、平面度測定データの信頼度を高
めて平面度測定時間を短縮させることができる平面度測
定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】陰極線管の電子銃は、複数個の電極が同
一線上に配置されて陰極から出る熱電子をビーム化し
て、画像を再現するに要求される最適のフォーカスにな
るようにする機能を有する。このような電子銃の電極
は、電子ビームが通過する開口が設けられているコップ
状の構造からなるが、電子ビームが通過する開口が形成
されている部位の平面度が低ければ、結局、電子ビーム
の進行軌道が変化させられるので、電極の平面度はこの
点から極めて重要である。特に、メインフォーカスレン
ズ系を形成する主電極は、平面度が非常に高くなければ
ビームのフォーカスを最適化できない。従って、電子銃
の電極は制作された後に平面度測定工程を通じて表面の
平面度が測定され、製品の品質管理がなされている。
一線上に配置されて陰極から出る熱電子をビーム化し
て、画像を再現するに要求される最適のフォーカスにな
るようにする機能を有する。このような電子銃の電極
は、電子ビームが通過する開口が設けられているコップ
状の構造からなるが、電子ビームが通過する開口が形成
されている部位の平面度が低ければ、結局、電子ビーム
の進行軌道が変化させられるので、電極の平面度はこの
点から極めて重要である。特に、メインフォーカスレン
ズ系を形成する主電極は、平面度が非常に高くなければ
ビームのフォーカスを最適化できない。従って、電子銃
の電極は制作された後に平面度測定工程を通じて表面の
平面度が測定され、製品の品質管理がなされている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
平面度測定方式は、電極を治具上に載せた状態でデジマ
ティックインディケータ(digimatic indicator)を用い
て、作業者が多数個のポイントを選定し、このインディ
ケータを電極表面に接させた状態で測定するものであ
り、種々の問題点がある。例えば、平面度の測定は1つ
の表面から多数個の位置を測定しなければならないの
で、インディケータを作業者が直接に使用する方式は、
測定時間が非常に長くかかるという問題点がある。しか
も、平面度の測定が作業者の手作業により行われるの
で、測定データにバラツキが生じる余地があり、測定結
果の信頼度が低くなるという問題点もある。
平面度測定方式は、電極を治具上に載せた状態でデジマ
ティックインディケータ(digimatic indicator)を用い
て、作業者が多数個のポイントを選定し、このインディ
ケータを電極表面に接させた状態で測定するものであ
り、種々の問題点がある。例えば、平面度の測定は1つ
の表面から多数個の位置を測定しなければならないの
で、インディケータを作業者が直接に使用する方式は、
測定時間が非常に長くかかるという問題点がある。しか
も、平面度の測定が作業者の手作業により行われるの
で、測定データにバラツキが生じる余地があり、測定結
果の信頼度が低くなるという問題点もある。
【0004】本発明は、上記した従来技術の有する問題
点を解消するため案出されたものであって、その目的
は、多数個の対象物、例えば電極をテーブル上に配置し
て、このテーブルを上下左右に移動させながらレーザー
ビームセンサーにより平面度を測定することにより、測
定データの正確性と信頼性を図り、測定時間を短縮させ
得ると共に、ISO規準に合う平面度管理をすることは
もちろん、データベース自動化、E−CIM SYST
EMに役立てる陰極線管用電子銃の平面度測定にも使用
可能な平面度測定装置を提供することにある。
点を解消するため案出されたものであって、その目的
は、多数個の対象物、例えば電極をテーブル上に配置し
て、このテーブルを上下左右に移動させながらレーザー
ビームセンサーにより平面度を測定することにより、測
定データの正確性と信頼性を図り、測定時間を短縮させ
得ると共に、ISO規準に合う平面度管理をすることは
もちろん、データベース自動化、E−CIM SYST
EMに役立てる陰極線管用電子銃の平面度測定にも使用
可能な平面度測定装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項記載
の発明により達成される。即ち、本発明の平面度測定装
置の特徴構成は、Z軸方向に形成されてスライダのZ軸
方向移動を可能にするZ方向移動手段と、このZ方向移
動手段の下側に配設されてスライダのX方向移動を可能
にするX方向移動手段と、このX方向移動手段に対して
直交する方向に配設されてスライダのY方向移動を可能
にするY方向移動手段とを有し、前記Z方向移動手段に
は変位計測手段が設けられていると共に、X方向移動ま
たはY方向移動可能なスライダに測定対象物を載置可能
である点にある。このようになっていると、Z方向移動
手段をセッティングした状態で、X方向移動手段および
Y方向移動手段を駆動させながら治具上に載せているす
べての測定対象物の平面度を自動的に測定することが可
能になり、作業者が直接に測定を行う必要がないので、
測定データの信頼度を高めることができる。しかも、治
具上で複数個の測定対象物の平面度測定が順次行えるの
で、平面度測定に要する時間を最小限にすることができ
て、測定時間の短縮を図ることが可能となる。尚、測定
対象物はX方向移動またはY方向移動可能なスライダ上
に、直接または間接(治具などを介して)に載置可能と
なっている。又、X,Y,Z方向移動手段が作業台上に
設けられていると、水平を出し易く、測定作業がし易く
なって好ましい。
の発明により達成される。即ち、本発明の平面度測定装
置の特徴構成は、Z軸方向に形成されてスライダのZ軸
方向移動を可能にするZ方向移動手段と、このZ方向移
動手段の下側に配設されてスライダのX方向移動を可能
にするX方向移動手段と、このX方向移動手段に対して
直交する方向に配設されてスライダのY方向移動を可能
にするY方向移動手段とを有し、前記Z方向移動手段に
は変位計測手段が設けられていると共に、X方向移動ま
たはY方向移動可能なスライダに測定対象物を載置可能
である点にある。このようになっていると、Z方向移動
手段をセッティングした状態で、X方向移動手段および
Y方向移動手段を駆動させながら治具上に載せているす
べての測定対象物の平面度を自動的に測定することが可
能になり、作業者が直接に測定を行う必要がないので、
測定データの信頼度を高めることができる。しかも、治
具上で複数個の測定対象物の平面度測定が順次行えるの
で、平面度測定に要する時間を最小限にすることができ
て、測定時間の短縮を図ることが可能となる。尚、測定
対象物はX方向移動またはY方向移動可能なスライダ上
に、直接または間接(治具などを介して)に載置可能と
なっている。又、X,Y,Z方向移動手段が作業台上に
設けられていると、水平を出し易く、測定作業がし易く
なって好ましい。
【0006】前記Z方向移動手段は、フレームと、この
フレームの上側に設けられる駆動手段と、この駆動手段
の回転力により回転する親ねじとを含み、この親ねじに
はナット部材が螺合されていて、このナット部材はスラ
イダに固定されるようになっていると好ましい。このよ
うになっていると、1つの位置から次の位置への移動が
確実になされ、しかも平面度測定位置を特定の複数箇所
に自動設定することが可能となって好ましい。前記フレ
ームには、スライダの直線移動のためのガイドレールが
形成され、このガイドレールにすべり金が設けられてい
ると、スライダの移動に際してふらつくことがないので
都合がよい。前記スライダにはポケットが形成されてい
て、このポケットに複数個の玉軸受が収納されている
と、スライダの移動を滑らかに行うことができて好まし
い。
フレームの上側に設けられる駆動手段と、この駆動手段
の回転力により回転する親ねじとを含み、この親ねじに
はナット部材が螺合されていて、このナット部材はスラ
イダに固定されるようになっていると好ましい。このよ
うになっていると、1つの位置から次の位置への移動が
確実になされ、しかも平面度測定位置を特定の複数箇所
に自動設定することが可能となって好ましい。前記フレ
ームには、スライダの直線移動のためのガイドレールが
形成され、このガイドレールにすべり金が設けられてい
ると、スライダの移動に際してふらつくことがないので
都合がよい。前記スライダにはポケットが形成されてい
て、このポケットに複数個の玉軸受が収納されている
と、スライダの移動を滑らかに行うことができて好まし
い。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明によ
る平面度測定装置の斜視図を示す。この装置は、ボール
キャスター2が下側に設けられて移動可能な作業台4
と、この作業台4上に垂直方向に立上がって設けられる
Z方向移動手段と、このZ方向移動手段の下側に設けら
れるX方向移動手段およびY方向移動手段とを備える。
作業台の下のボールキャスター2はなくてもよいが、あ
れば移動が容易となって便利である。前記Z方向移動手
段は、前記作業台4の一側に固定設置されたフレーム6
と、このフレーム6の上側面に設けられて正逆両方向に
回転可能な駆動手段たるモータ8と、このモータの駆動
軸に連結されて回転駆動力を伝達される親ねじ10とを
有する。この親ねじ10にスライダ12が結合されてい
て、この親ねじの回転方向に応じてスライダ12は上
昇、または、下降できるように構成されている。
を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明によ
る平面度測定装置の斜視図を示す。この装置は、ボール
キャスター2が下側に設けられて移動可能な作業台4
と、この作業台4上に垂直方向に立上がって設けられる
Z方向移動手段と、このZ方向移動手段の下側に設けら
れるX方向移動手段およびY方向移動手段とを備える。
作業台の下のボールキャスター2はなくてもよいが、あ
れば移動が容易となって便利である。前記Z方向移動手
段は、前記作業台4の一側に固定設置されたフレーム6
と、このフレーム6の上側面に設けられて正逆両方向に
回転可能な駆動手段たるモータ8と、このモータの駆動
軸に連結されて回転駆動力を伝達される親ねじ10とを
有する。この親ねじ10にスライダ12が結合されてい
て、この親ねじの回転方向に応じてスライダ12は上
昇、または、下降できるように構成されている。
【0008】前記フレーム6の上端部および下端部に
は、それぞれブラケット14、16が一体に形成されて
いて、上部ブラケット14はモータ8を支持できるよう
になっており、下部ブラケット16は親ねじ10の下端
部を支持できるようになっている。前記スライダ12に
は、親ねじ10と螺合されるナット部材18が設けられ
ている。更に、このスライダ12にすべり金22が取り
付けられていて、フレーム6の表面の左右側にそれぞれ
突設されたガイドレール20に係合するようになってい
る。このすべり金22が固定突設されたガイドレール2
0に沿って摺動することにより、スライダ12が上下移
動する間、左右に揺れることを防止している。このスラ
イダ12には、変位計測手段である可視光半導体式変位
計測器24が設けられてスライダとともに昇降できるよ
うになっている。この可視光半導体式変位計測器24と
しては、公知の半導体レーザービームセンサー(KEY
ENCE2320)が使用され得る。
は、それぞれブラケット14、16が一体に形成されて
いて、上部ブラケット14はモータ8を支持できるよう
になっており、下部ブラケット16は親ねじ10の下端
部を支持できるようになっている。前記スライダ12に
は、親ねじ10と螺合されるナット部材18が設けられ
ている。更に、このスライダ12にすべり金22が取り
付けられていて、フレーム6の表面の左右側にそれぞれ
突設されたガイドレール20に係合するようになってい
る。このすべり金22が固定突設されたガイドレール2
0に沿って摺動することにより、スライダ12が上下移
動する間、左右に揺れることを防止している。このスラ
イダ12には、変位計測手段である可視光半導体式変位
計測器24が設けられてスライダとともに昇降できるよ
うになっている。この可視光半導体式変位計測器24と
しては、公知の半導体レーザービームセンサー(KEY
ENCE2320)が使用され得る。
【0009】さらに、前記X方向移動手段は、図2に示
すように、駆動手段たる回転駆動モータ26と、このモ
ータの駆動軸に連結されて正逆方向に回転する親ねじ2
8とを有する。この親ねじ28にはナット部材30が結
合されていて、回転方向に応じて左右に移動できるよう
になっている。ナット部材30は、スライダ32に固定
されて実質的に親ねじ28の回転力によりスライダ32
を移動させ得る。前記X方向移動手段のスライダ32が
直線移動できるようにするため、前記作業台4にはガイ
ドレール34が設けられており、このガイドレール34
にはZ方向移動手段のすべり金と同様な構成により、す
べり金が形成されている。そして、ガイドレール34と
隣接して玉軸受36が、スライダ32の底面に接する状
態にポケット38に収納されることによって、このスラ
イダの移動を円滑にする。もっとも、玉軸受の玉に代え
てコロを使用するローラ軸受でもよい。
すように、駆動手段たる回転駆動モータ26と、このモ
ータの駆動軸に連結されて正逆方向に回転する親ねじ2
8とを有する。この親ねじ28にはナット部材30が結
合されていて、回転方向に応じて左右に移動できるよう
になっている。ナット部材30は、スライダ32に固定
されて実質的に親ねじ28の回転力によりスライダ32
を移動させ得る。前記X方向移動手段のスライダ32が
直線移動できるようにするため、前記作業台4にはガイ
ドレール34が設けられており、このガイドレール34
にはZ方向移動手段のすべり金と同様な構成により、す
べり金が形成されている。そして、ガイドレール34と
隣接して玉軸受36が、スライダ32の底面に接する状
態にポケット38に収納されることによって、このスラ
イダの移動を円滑にする。もっとも、玉軸受の玉に代え
てコロを使用するローラ軸受でもよい。
【0010】一方、前記Y方向移動手段は、図1、3に
示すように、前記スライダ32の上側にガイドレール4
0が前記ガイドレール34と直交する方向に形成されて
いる。さらに、駆動手段たる回転駆動モータ42の駆動
軸に連結された親ねじ44が回転可能に設けられてい
る。この親ねじ44にもナット部材46が螺着されてい
て、親ねじ44の回転方向に応じてナット部材46は前
後に移動でき、このナット部材46はスライダ48の底
面に固定されて、実質的にこの親ねじの回転によりスラ
イダ48が移動できるようになっている。スライダ48
の底面にもすべり金50が設けられていて、前記ガイド
レール40に沿って移動できるように構成されている。
さらに、前記スライダ32の上面にもポケット52が形
成されて玉軸受54を収納しており、この玉軸受54は
スライダ48の底面に接して、スライダ48の移動の際
に円滑な移動を可能にする。前記スライダ48の上面
は、平面度測定をしようとする電極が置かれるように実
質的に平面を形成している。
示すように、前記スライダ32の上側にガイドレール4
0が前記ガイドレール34と直交する方向に形成されて
いる。さらに、駆動手段たる回転駆動モータ42の駆動
軸に連結された親ねじ44が回転可能に設けられてい
る。この親ねじ44にもナット部材46が螺着されてい
て、親ねじ44の回転方向に応じてナット部材46は前
後に移動でき、このナット部材46はスライダ48の底
面に固定されて、実質的にこの親ねじの回転によりスラ
イダ48が移動できるようになっている。スライダ48
の底面にもすべり金50が設けられていて、前記ガイド
レール40に沿って移動できるように構成されている。
さらに、前記スライダ32の上面にもポケット52が形
成されて玉軸受54を収納しており、この玉軸受54は
スライダ48の底面に接して、スライダ48の移動の際
に円滑な移動を可能にする。前記スライダ48の上面
は、平面度測定をしようとする電極が置かれるように実
質的に平面を形成している。
【0011】このような電子銃電極の平面度測定装置
は、まず一連の製造工程を経て制作された電極を治具上
に固定された状態で、図1に示すように、Y方向移動手
段のスライダ48の表面に載せる。図4に示すように、
治具J上に載せられる電極G10、G11、G12、G
13、G14は、これら複数個が載せられて、同一平面
上で次に説明する方法により、電極の平面度測定が行わ
れる。すなわち、Z軸上の回転駆動モータ8を駆動させ
てスライダ12を下側に移動させながら、変位計測器2
4から照射される電子ビームBのフォーカスが、電極表
面において最適の状態をなす瞬間にZ方向移動手段の駆
動を中断する(図2参照)。このような状態で、図4に
示すように、1つの電極G10における8つのポイント
ごとに、レーザービームBを照射して距離計測を行える
ように、X方向移動手段およびY方向移動手段を駆動し
て、スライダ48を前後および左右に移動できるように
する。このような方式によって1つの電極に対する平面
度測定を完了すると、別の電極G11の平面度を同一方
法により測定するため、X方向移動手段およびY方向移
動手段を駆動する。以下、矢印にしたがい順次これを繰
り返すことにより、自動的にスライダ48上の各電極の
平面度測定を完了することができる。これらの操作を、
CPUを用いることにより、所定の測定プログラムに従
って制御してもよい。また、測定結果を、外部の記録手
段を用いて記録するように構成することも可能である。
は、まず一連の製造工程を経て制作された電極を治具上
に固定された状態で、図1に示すように、Y方向移動手
段のスライダ48の表面に載せる。図4に示すように、
治具J上に載せられる電極G10、G11、G12、G
13、G14は、これら複数個が載せられて、同一平面
上で次に説明する方法により、電極の平面度測定が行わ
れる。すなわち、Z軸上の回転駆動モータ8を駆動させ
てスライダ12を下側に移動させながら、変位計測器2
4から照射される電子ビームBのフォーカスが、電極表
面において最適の状態をなす瞬間にZ方向移動手段の駆
動を中断する(図2参照)。このような状態で、図4に
示すように、1つの電極G10における8つのポイント
ごとに、レーザービームBを照射して距離計測を行える
ように、X方向移動手段およびY方向移動手段を駆動し
て、スライダ48を前後および左右に移動できるように
する。このような方式によって1つの電極に対する平面
度測定を完了すると、別の電極G11の平面度を同一方
法により測定するため、X方向移動手段およびY方向移
動手段を駆動する。以下、矢印にしたがい順次これを繰
り返すことにより、自動的にスライダ48上の各電極の
平面度測定を完了することができる。これらの操作を、
CPUを用いることにより、所定の測定プログラムに従
って制御してもよい。また、測定結果を、外部の記録手
段を用いて記録するように構成することも可能である。
【0012】上記実施形態では、Z方向移動手段の直下
にY方向移動手段のスライダ48を配置したが、Y方向
移動手段の代わりにX方向移動手段を配置して、測定対
象物をX方向移動手段のスライダ32に載置する構成と
してもよい。この場合、測定対象物をスライダ上に直接
載置するようにしてもよいし、図示したように、治具を
介してその上に載置してもよい。また、本発明の平面度
測定装置は、その測定対象物として陰極線管用電子銃電
極に限定されるものではなく、平面度を測定する必要の
ある対象物に広く適用できるものである。変位計測器に
ついても、図示した形式に限定されるものではなく、各
種のものを使用でき、例えば、試料の直上からビームを
照射することに代えて斜め方向からビームを照射し、こ
れをビームの反射位置に配した検出器に受光させて、よ
り広い面積からの情報を受けるようにしてもよい。又、
ビームを走査させるようにして、所定の面積からの情報
を得る方法でもよい。
にY方向移動手段のスライダ48を配置したが、Y方向
移動手段の代わりにX方向移動手段を配置して、測定対
象物をX方向移動手段のスライダ32に載置する構成と
してもよい。この場合、測定対象物をスライダ上に直接
載置するようにしてもよいし、図示したように、治具を
介してその上に載置してもよい。また、本発明の平面度
測定装置は、その測定対象物として陰極線管用電子銃電
極に限定されるものではなく、平面度を測定する必要の
ある対象物に広く適用できるものである。変位計測器に
ついても、図示した形式に限定されるものではなく、各
種のものを使用でき、例えば、試料の直上からビームを
照射することに代えて斜め方向からビームを照射し、こ
れをビームの反射位置に配した検出器に受光させて、よ
り広い面積からの情報を受けるようにしてもよい。又、
ビームを走査させるようにして、所定の面積からの情報
を得る方法でもよい。
【0013】
【発明の効果】以上に述べたように、Z方向移動手段を
セッティングした状態で、X方向移動手段およびY方向
移動手段を駆動させながら治具上に載せているすべての
電極の表面の平面度を測定できる。このような方法は、
作業者が直接に測定を行う必要がないので、測定データ
の信頼度を高めることができ、しかも、治具上で複数個
の電極の平面度測定が行われるので、平面度測定に従う
時間を短縮させ得る。
セッティングした状態で、X方向移動手段およびY方向
移動手段を駆動させながら治具上に載せているすべての
電極の表面の平面度を測定できる。このような方法は、
作業者が直接に測定を行う必要がないので、測定データ
の信頼度を高めることができ、しかも、治具上で複数個
の電極の平面度測定が行われるので、平面度測定に従う
時間を短縮させ得る。
【図1】平面度測定装置の斜視図
【図2】平面度測定装置のX方向側断面図
【図3】平面度測定装置のY方向側断面図
【図4】平面度測定装置に載せられる電極の配列状態を
説明する図
説明する図
6 フレーム 8、26、42 駆動手段 10、28、44 親ねじ 12、32、48 スライダ 18、30、46 ナット部材 20、34、40 ガイドレール 22、50 すべり金 24 変位計測手段 36、54 玉軸受 38、52 ポケット
Claims (6)
- 【請求項1】 Z軸方向に形成されてスライダのZ軸方
向移動を可能にするZ方向移動手段と、このZ方向移動
手段の下側に配設されてスライダのX方向移動を可能に
するX方向移動手段と、このX方向移動手段に対して直
交する方向に配設されてスライダのY方向移動を可能に
するY方向移動手段とを有し、前記Z方向移動手段には
変位計測手段が設けられていると共に、X方向移動また
はY方向移動可能なスライダに測定対象物を載置可能で
ある平面度測定装置。 - 【請求項2】 前記Z方向移動手段は、フレームと、こ
のフレームの上側に設けられる駆動手段と、この駆動手
段の回転力により回転する親ねじとを含み、この親ねじ
にはナット部材が螺合されていて、このナット部材は前
記スライダに固定されている請求項1に記載の平面度測
定装置。 - 【請求項3】 前記フレームには、スライダの直線移動
のためのガイドレールが形成されていて、このガイドレ
ールにすべり金が係合するようになっている請求項2に
記載の平面度測定装置。 - 【請求項4】 前記X方向移動手段は、駆動手段と、こ
の駆動手段の回転を伝達されて回転する親ねじと、この
親ねじに螺合されるナット部材とを含み、このナット部
材はスライダの底面に設けられている請求項1〜3のい
ずれか1項に記載の平面度測定装置。 - 【請求項5】 前記スライダにはポケットが形成されて
いて、このポケットに複数個の玉軸受が収納されている
請求項4に記載の平面度測定装置。 - 【請求項6】 前記Y方向手段は、駆動手段と、この駆
動手段の回転を伝達されて回転する親ねじと、この親ね
じに螺合されるナット部材とを含み、このナット部材は
スライダの底面に設けられている請求項1〜5のいずれ
か1項に記載の平面度測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1995-43579 | 1995-11-24 | ||
KR1019950043579A KR970030026A (ko) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 음극선관용 전자총 전극의 평면도 측정장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09152329A true JPH09152329A (ja) | 1997-06-10 |
Family
ID=19435631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8029770A Pending JPH09152329A (ja) | 1995-11-24 | 1996-02-19 | 平面度測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09152329A (ja) |
KR (1) | KR970030026A (ja) |
CN (1) | CN1151518A (ja) |
DE (1) | DE19607513A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101386519B1 (ko) * | 2012-08-31 | 2014-04-17 | 주식회사 럭키산업 | 칫솔 홀 깊이 측정장치 |
CN106272286A (zh) * | 2016-10-11 | 2017-01-04 | 南宁钛银科技有限公司 | 万向工作台 |
CN109596024A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-04-09 | 重庆程顺汽车配件制造有限公司 | 一种用于汽车零部件的检测装置 |
CN110040445A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-07-23 | 中信国安建工集团有限公司 | 一种生产混凝土施工模板支架的传送设备及其使用方法 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19818341B4 (de) * | 1998-04-23 | 2008-06-26 | Schneider Gmbh & Co. Kg | Interferometer zum Vermessen asphärischer Linsen |
CN102642127B (zh) * | 2011-12-15 | 2014-06-25 | 上海卫星装备研究所 | 一种单机倒吊的装配工装 |
CN102672695B (zh) * | 2011-12-25 | 2018-12-25 | 河南科技大学 | 一种精密工作台 |
CN102706315A (zh) * | 2012-03-20 | 2012-10-03 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 平台台面的平面度测量装置及测量方法 |
CN103162646A (zh) * | 2013-02-26 | 2013-06-19 | 吴江市博众精工科技有限公司 | 一种平面度高精度测量装置 |
CN103307962B (zh) * | 2013-06-28 | 2016-01-20 | 中国地质大学(武汉) | 平面度自动测量机 |
CN104634288A (zh) * | 2013-11-06 | 2015-05-20 | 中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司 | 压气机转子检测设备 |
CN103983192A (zh) * | 2014-06-03 | 2014-08-13 | 齐鲁工业大学 | 一种零件质量缺陷检测仪及利用该检测仪进行检测的方法 |
CN104359401A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-02-18 | 江南大学 | 硬盘磁头驱动器位置精度测量装置 |
CN104567685A (zh) * | 2015-01-23 | 2015-04-29 | 北京中拓机械集团有限责任公司 | 半导体晶片的检测装置 |
CN105115472A (zh) * | 2015-09-29 | 2015-12-02 | 苏州飞拓精密模具有限公司 | 一种自动化平面度检测设备 |
CN105444724A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-03-30 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 高精度平面度在线测量装置及测量方法 |
CN105500145A (zh) * | 2016-01-05 | 2016-04-20 | 江苏贝特管件有限公司 | 面向柱形或球形零件的加工*** |
CN105728548B (zh) * | 2016-04-20 | 2017-11-28 | 温州同岸机电配件股份有限公司 | 一种用于对汽车启动机壳体冲孔的自动化设备 |
CN105855302A (zh) * | 2016-05-18 | 2016-08-17 | 海盐中达金属电子材料有限公司 | 一种活动的轧机测厚装置 |
CN105890522A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-08-24 | 昆山杰士德精密工业有限公司 | 3d相机检测设备 |
CN106166712A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-11-30 | 中南大学 | 在线磨削与检测一体化*** |
CN106152979A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-11-23 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种平面度检测装置 |
CN106996731B (zh) * | 2017-05-09 | 2023-05-30 | 镇江成泰自动化技术有限公司 | 电池极耳错位检测装置 |
CN107421492A (zh) * | 2017-08-02 | 2017-12-01 | 合肥光聚财建筑装饰工程有限公司 | 一种装饰板材平整度检测用支撑调节器具及其调节方法 |
CN107621240A (zh) * | 2017-10-25 | 2018-01-23 | 无锡市计量测试院 | 一种叶轮平面测量装置 |
CN108871196A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-23 | 国网江苏省电力有限公司泰州供电分公司 | 一种电网结构冰棱检测装置 |
CN109539982A (zh) * | 2018-11-23 | 2019-03-29 | 苏州凯斯通机电科技有限公司 | 基于多点均值式高精准相对应平面尺寸度检测方法 |
CN110220483A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-09-10 | 江苏省百斯特检测技术有限公司 | 一种三轴平面度检测***及其检测方法 |
CN111982266B (zh) * | 2020-06-24 | 2022-06-28 | 北京航空航天大学 | 一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法 |
CN111923152B (zh) * | 2020-08-13 | 2021-04-09 | 扬州工业职业技术学院 | 一种板材平整度测量刨磨一体化工装 |
-
1995
- 1995-11-24 KR KR1019950043579A patent/KR970030026A/ko not_active Application Discontinuation
-
1996
- 1996-02-19 JP JP8029770A patent/JPH09152329A/ja active Pending
- 1996-02-28 DE DE19607513A patent/DE19607513A1/de not_active Withdrawn
- 1996-03-06 CN CN96104233A patent/CN1151518A/zh active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101386519B1 (ko) * | 2012-08-31 | 2014-04-17 | 주식회사 럭키산업 | 칫솔 홀 깊이 측정장치 |
CN106272286A (zh) * | 2016-10-11 | 2017-01-04 | 南宁钛银科技有限公司 | 万向工作台 |
CN109596024A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-04-09 | 重庆程顺汽车配件制造有限公司 | 一种用于汽车零部件的检测装置 |
CN110040445A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-07-23 | 中信国安建工集团有限公司 | 一种生产混凝土施工模板支架的传送设备及其使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1151518A (zh) | 1997-06-11 |
DE19607513A1 (de) | 1997-05-28 |
KR970030026A (ko) | 1997-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH09152329A (ja) | 平面度測定装置 | |
JP3467063B2 (ja) | 座標測定装置 | |
US5528505A (en) | Position-marking method for a machine that measures in three dimensions, and apparatus for implementing the method | |
US4934064A (en) | Alignment method in a wafer prober | |
JP2000508070A (ja) | ウエハ状物体の中心とオリエンテーションを決定する方法および装置 | |
WO2019140778A1 (zh) | 一种三维重构***及三维重构方法 | |
JP2000340639A (ja) | ディスク状素子のアライメント装置及びアライメント方法 | |
JP2006224285A (ja) | ステージ装置及びガントリ型ステージ装置及びステージ装置の制御方法 | |
WO1999049275A1 (en) | Overhead scanning profiler | |
JP3524385B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
CN201653364U (zh) | 晶圆固定框检测装置 | |
CN216013195U (zh) | 一种柱面缺陷检测装置 | |
JPH06137825A (ja) | ワークのバンプ検査方法およびその装置 | |
JP3116261B2 (ja) | プローブ装置 | |
JP2001304827A (ja) | 断面形状測定装置および断面形状測定方法 | |
JP2000164626A (ja) | 部品のボンディング方法および装置 | |
JPH10305319A (ja) | 折曲げ加工機における折曲げ角度測定方法およびその装置ならびにその角度測定装置を用いた折曲げ加工方法およびこの加工方法を用いた折曲げ加工機ならびに角度測定用精度チェックブロック | |
JP2975434B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JPH1123256A (ja) | 真円度測定機 | |
JPH11344330A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2980509B2 (ja) | 真直度測定装置 | |
JP2560462B2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
JPH07120232A (ja) | 非接触型三次元形状測定装置 | |
JPH07139929A (ja) | 傾斜角位置決め装置 | |
EP0296252A1 (en) | Optical measuring instrument |