JPH0914860A - 熱処理用セッター - Google Patents
熱処理用セッターInfo
- Publication number
- JPH0914860A JPH0914860A JP7180686A JP18068695A JPH0914860A JP H0914860 A JPH0914860 A JP H0914860A JP 7180686 A JP7180686 A JP 7180686A JP 18068695 A JP18068695 A JP 18068695A JP H0914860 A JPH0914860 A JP H0914860A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- setter
- tin
- sialon
- weight
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属製品、セラミック製品等の熱処理用セッ
ターおいて、熱衝撃性及び強度の高いセッター素材を提
供する。 【構成】 金属製品、セラミック製品等の熱処理用セッ
ターにおいて、その構成成分がSIALON−BN−T
iN質である材料を作製する。SIALONは化学式
Si6-zAlzOzN8-z におけるZ値が2.0〜4.0
である。BNは0.5〜50重量%である。TiNは
1.0〜30重量%である。 【効果】 本発明のSIALON−BN−TiNの熱処
理用セッターは耐熱衝撃性及び耐変形性はすべて従来の
アルミナ質とジルコニア質のセッターより良いため、熱
処理用セッターの寿命延長が可能になる。
ターおいて、熱衝撃性及び強度の高いセッター素材を提
供する。 【構成】 金属製品、セラミック製品等の熱処理用セッ
ターにおいて、その構成成分がSIALON−BN−T
iN質である材料を作製する。SIALONは化学式
Si6-zAlzOzN8-z におけるZ値が2.0〜4.0
である。BNは0.5〜50重量%である。TiNは
1.0〜30重量%である。 【効果】 本発明のSIALON−BN−TiNの熱処
理用セッターは耐熱衝撃性及び耐変形性はすべて従来の
アルミナ質とジルコニア質のセッターより良いため、熱
処理用セッターの寿命延長が可能になる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は金属製品、セラミック製
品等の熱処理用セッターに関する。
品等の熱処理用セッターに関する。
【0002】
【従来の技術】金属製品、セラミック製品等の熱処理に
おいてセッターが必要であり、セッターは熱衝撃性及び
強度が高く、繰り返し使用しても変形が小さいことが望
まれる。従来、熱処理用セッターの素材としてはアルミ
ナ質及びジルコニア質が用いられているが、使用条件に
よっては問題を生じていた。アルミナ質とした場合は加
熱・冷却の繰り返しで簡単に割れる。またジルコニア質
とした場合はアルミナ質より耐熱衝撃性は良いが変形が
大きいため短寿命になる。
おいてセッターが必要であり、セッターは熱衝撃性及び
強度が高く、繰り返し使用しても変形が小さいことが望
まれる。従来、熱処理用セッターの素材としてはアルミ
ナ質及びジルコニア質が用いられているが、使用条件に
よっては問題を生じていた。アルミナ質とした場合は加
熱・冷却の繰り返しで簡単に割れる。またジルコニア質
とした場合はアルミナ質より耐熱衝撃性は良いが変形が
大きいため短寿命になる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】金属製品、セラミック
製品等の熱処理用セッターにおいて、熱衝撃性及び強度
の高いセッター素材を提供する。
製品等の熱処理用セッターにおいて、熱衝撃性及び強度
の高いセッター素材を提供する。
【0004】
【課題を解決するための手段】金属製品、セラミック製
品等の熱処理用セッターにおいて、その構成成分がSI
ALON−BN−TiN質である材料で作製する。SI
ALONは化学式 Si6-zAlzOzN8-z におけるZ値
が2.0〜4.0である。BNは0.5〜50重量%で
ある。TiNは1.0〜30重量%である。
品等の熱処理用セッターにおいて、その構成成分がSI
ALON−BN−TiN質である材料で作製する。SI
ALONは化学式 Si6-zAlzOzN8-z におけるZ値
が2.0〜4.0である。BNは0.5〜50重量%で
ある。TiNは1.0〜30重量%である。
【0005】SIALON−BNにTiNを添加する事
により強度及び耐摩耗性が大きく上がれる事になり、耐
スポーリング性に影響はほとんどない。金属Tiは添加
材としてSIALON−BNの構造に含まれることにな
り、放電加工も出来る様になりますので複雑な加工は簡
単及び安くなる。
により強度及び耐摩耗性が大きく上がれる事になり、耐
スポーリング性に影響はほとんどない。金属Tiは添加
材としてSIALON−BNの構造に含まれることにな
り、放電加工も出来る様になりますので複雑な加工は簡
単及び安くなる。
【0006】
【作用】SIALON−BN−TiN質を金属製品、セ
ラミック製品等の熱処理にセッターの素材として使用す
る。
ラミック製品等の熱処理にセッターの素材として使用す
る。
【0007】本発明による熱処理用セッターを詳細に説
明する。構成成分はSIALON−BN−TiN質であ
り、SIALONはβ’型でその化学式 Si6-zAlz
OzN8-z におけるZ値が2.0〜4.0及びBN含有
量は重量比で0.5〜50重量%及びTiN含有量は重
量比で1.0〜30%である。
明する。構成成分はSIALON−BN−TiN質であ
り、SIALONはβ’型でその化学式 Si6-zAlz
OzN8-z におけるZ値が2.0〜4.0及びBN含有
量は重量比で0.5〜50重量%及びTiN含有量は重
量比で1.0〜30%である。
【0008】製造方法は、原料調整→成形→乾燥及び脱
脂→加工→燒結である、出発原料は焼成を経て最終的に
上記構成成分となるように調合する。すなわち、常圧燒
結を用いるときにはSi3N4、AlN、Al2O3の各粉
末を上記Z値が2.0〜4.0になるよう調合し、燒結
助材、バインダー及びBN粉末及びTiN粉末を所定量
添加したものをアセトン等非水溶媒と共にトロミルにて
12〜24時間混合し、噴霧造粒して成形に供する。
脂→加工→燒結である、出発原料は焼成を経て最終的に
上記構成成分となるように調合する。すなわち、常圧燒
結を用いるときにはSi3N4、AlN、Al2O3の各粉
末を上記Z値が2.0〜4.0になるよう調合し、燒結
助材、バインダー及びBN粉末及びTiN粉末を所定量
添加したものをアセトン等非水溶媒と共にトロミルにて
12〜24時間混合し、噴霧造粒して成形に供する。
【0009】また、反応燒結による時には、Si、A
l、Al2O3の各粉末を上記Z値が窒化反応後に2.0
〜4.0になるよう調合し、バインダー及びBN粉末及
びTiN粉末を所定量添加したものをアセトン等非水溶
媒と共にトロミルにて12〜24時間混合し、噴霧造粒
して成形に供する。
l、Al2O3の各粉末を上記Z値が窒化反応後に2.0
〜4.0になるよう調合し、バインダー及びBN粉末及
びTiN粉末を所定量添加したものをアセトン等非水溶
媒と共にトロミルにて12〜24時間混合し、噴霧造粒
して成形に供する。
【0010】ここでZ値を2.0〜4.0としたのは、
2.0未満であるとAl2O3の固溶量が少ないためSi
3N4そのものの性質に近くなり、耐蝕性、耐酸化性に不
足を生ずるためであり、一方Zが4.0を超えると耐蝕
性等は向上するものの、耐熱衝撃性と強度の低下を来す
からである。またBN量を0.5〜50重量%とした
が、50%を超えるとBNがSIALONの生成及び燒
結を阻害する傾向が強すぎ、強度の低下が著しく、実用
上問題となり易いからであるTiNは1.0〜30重量
%にしたが、1.0%より少ないと強度の上昇効果が得
られない、30%を超えると強度は大きく上がるが耐熱
衝撃性と酸化性は悪くなりますので実用上に問題があ
る。
2.0未満であるとAl2O3の固溶量が少ないためSi
3N4そのものの性質に近くなり、耐蝕性、耐酸化性に不
足を生ずるためであり、一方Zが4.0を超えると耐蝕
性等は向上するものの、耐熱衝撃性と強度の低下を来す
からである。またBN量を0.5〜50重量%とした
が、50%を超えるとBNがSIALONの生成及び燒
結を阻害する傾向が強すぎ、強度の低下が著しく、実用
上問題となり易いからであるTiNは1.0〜30重量
%にしたが、1.0%より少ないと強度の上昇効果が得
られない、30%を超えると強度は大きく上がるが耐熱
衝撃性と酸化性は悪くなりますので実用上に問題があ
る。
【0011】成形には通常単軸成形法または静水圧成形
法が用いられるが、場合によっては原料を造粒せずにス
リップキャスティングすることも可能である。成形体は
乾燥及びバインダー類の揮散除去(脱脂)後、加工を経
て燒結する。常圧燒結の場合は、窒素雰囲気下で165
0〜1800℃、保持時間は5〜10時間が望ましく、
高温であるほど保持時間は短くすべきである。反応燒結
の場合は窒素雰囲気下1400〜1600℃で行い、保
持時間は形状にもよるが5〜10時間が望ましい。
法が用いられるが、場合によっては原料を造粒せずにス
リップキャスティングすることも可能である。成形体は
乾燥及びバインダー類の揮散除去(脱脂)後、加工を経
て燒結する。常圧燒結の場合は、窒素雰囲気下で165
0〜1800℃、保持時間は5〜10時間が望ましく、
高温であるほど保持時間は短くすべきである。反応燒結
の場合は窒素雰囲気下1400〜1600℃で行い、保
持時間は形状にもよるが5〜10時間が望ましい。
【0012】
【実施例】次に実施例より説明する。SIALON−B
N−TiN質として、BN量を30重量%及びTiN量
を15重量%、SIALONの化学式 Si6-zAlzOz
N8-z におけるZ値を計算上1.0〜5.0まで変化さ
せた試験体と、SIALONのZ値を3.0及びTiN
量を15重量%とし、BN量を0〜60重量%まで変化
させた試験体と、SIALONのZ値を3.0及びBN
量を30重量%とし、TiN量を0〜40重量%まで変
化させた試験体を作製した。次はJIS R 1601
に基づいて試験サンプルを作製した。試験サンプルを5
00℃〜1000℃まで変化させた温度に加熱し、10
分保持してから水に急冷した。それからJIS R 1
601に基づいて曲げ強度を測定した。曲げ強度が急に
下がる温度を熱衝撃値(△T)として測定した。結果を
表1〜表3に示す。
N−TiN質として、BN量を30重量%及びTiN量
を15重量%、SIALONの化学式 Si6-zAlzOz
N8-z におけるZ値を計算上1.0〜5.0まで変化さ
せた試験体と、SIALONのZ値を3.0及びTiN
量を15重量%とし、BN量を0〜60重量%まで変化
させた試験体と、SIALONのZ値を3.0及びBN
量を30重量%とし、TiN量を0〜40重量%まで変
化させた試験体を作製した。次はJIS R 1601
に基づいて試験サンプルを作製した。試験サンプルを5
00℃〜1000℃まで変化させた温度に加熱し、10
分保持してから水に急冷した。それからJIS R 1
601に基づいて曲げ強度を測定した。曲げ強度が急に
下がる温度を熱衝撃値(△T)として測定した。結果を
表1〜表3に示す。
【0013】
【表1】
【0014】
【表2】
【0015】
【表3】
【0016】次にSIALON−BN−TiN質(Z=
3.0、BN=30重量%、TiN=15重量%)にて
100X250X10mmの試験体を作製し、中点に5
kgの重りをのせた。試験体を2点で固定して(スパン
=200mm)1200℃に上げた電気炉に30分間保
持してから出して保冷する操作を最大10回繰り返す。
比較材質としてアルミナ質とジルコニア質の各試験体に
同様の試験を行なった。その結果を表4に示す。
3.0、BN=30重量%、TiN=15重量%)にて
100X250X10mmの試験体を作製し、中点に5
kgの重りをのせた。試験体を2点で固定して(スパン
=200mm)1200℃に上げた電気炉に30分間保
持してから出して保冷する操作を最大10回繰り返す。
比較材質としてアルミナ質とジルコニア質の各試験体に
同様の試験を行なった。その結果を表4に示す。
【0017】
【表4】
【0018】
【発明の効果】上記実施例の結果の様に本発明のSIA
LON−BN−TiNの熱処理用セッターは耐熱衝撃性
及び耐変形性はすべて従来のアルミナ質とジルコニア質
のセッターより良いため、熱処理用セッターの寿命延長
が可能に成る。
LON−BN−TiNの熱処理用セッターは耐熱衝撃性
及び耐変形性はすべて従来のアルミナ質とジルコニア質
のセッターより良いため、熱処理用セッターの寿命延長
が可能に成る。
Claims (4)
- 【請求項1】 金属製品、セラミック製品等の熱処理用
セッター及び棚板において、その構成成分がSIALO
N−BN−TiN質であることを特徴とする熱処理用セ
ッター。 - 【請求項2】 前記SIALONは化学式 Si6-zAl
zOzN8-z におけるZ値が2.0〜4.0であることを
特徴とすとる請求項1に記載の熱処理用セッター。 - 【請求項3】 前記BNは0.5〜50重量%であるこ
とを特徴とする請求項1、2に記載の熱処理用セッタ
ー。 - 【請求項4】 前記TiNは1.0〜30重量%である
ことを特徴とする請求項1、2、3に記載の熱処理用セ
ッター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7180686A JPH0914860A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 熱処理用セッター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7180686A JPH0914860A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 熱処理用セッター |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0914860A true JPH0914860A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=16087539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7180686A Pending JPH0914860A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 熱処理用セッター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0914860A (ja) |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP7180686A patent/JPH0914860A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR940011452B1 (ko) | 개질된 실리콘 질화물 결합을 갖는 실리콘 탄화물 내화성 제품 | |
KR890002888B1 (ko) | 슬라이딩부재 | |
JPH09268072A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
JPH0777986B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体の製法 | |
JPH07118070A (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス焼結体 | |
JPH0914860A (ja) | 熱処理用セッター | |
KR970009988B1 (ko) | 고 내식성 α-사이알론질 소결체 및 그의 제조방법 | |
JPS5950074A (ja) | 連続鋳造用耐火物 | |
JPH0914861A (ja) | 熱処理用セッター | |
JPH0914859A (ja) | 熱処理用セッター | |
JPH0914862A (ja) | 熱処理用セッター | |
JPH08333172A (ja) | 熱処理用セッター | |
JPH08243690A (ja) | ストリップキャスティング用サイドダムプレート | |
JP2573230B2 (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス | |
JPH08164452A (ja) | ストリップキャスティング用サイドダムプレート | |
JP2535480B2 (ja) | 耐クリ―プ性Si−SiC質焼結体 | |
JPH0890170A (ja) | ストリップキャスティング用サイドダムプレート | |
WO1990013525A1 (en) | PROCESS FOR PRODUCING β-SIALON SINTER | |
JPH08243691A (ja) | ストリップキャスティング用サイドダムプレート | |
JPH08243689A (ja) | ストリップキャスティング用サイドダムプレート | |
JPS6247834B2 (ja) | ||
JPH08333167A (ja) | 水平連鋳用ブレークリング | |
US5118646A (en) | Process for improving the strength of sialon | |
JP2001253765A (ja) | マグネシア−アルミナ−チタニア質れんが | |
JPH05238829A (ja) | 窒化けい素セラミックス焼結体 |