JPH09145639A - 表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】筋状欠陥以外のものを筋状欠陥として誤検出す
ることのない、また、継続している筋状欠陥が途中で途
切れたり、曲がったりしていても筋状欠陥を複数の欠陥
として誤検出することのない表面検査装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】矢印Ａ方向に走行する被検査材１表面の被
検査領域１７からの反射光２ａを受光して被検査領域１
７の二次元画像を表す二次元画像データを生成する二次
元撮像器３と、二次元撮像器３で得られた二次元画像デ
ータに基づき欠陥を検出して欠陥検出結果を出力する欠
陥検出手段４とを備えた表面検査装置１００において、
欠陥検出手段４から出力される欠陥検出結果を、複数の
被検査領域分記憶する記憶手段９と、記憶手段９に記憶
された複数の被検査領域分の欠陥検出結果に基づいて被
検査領域１７内の欠陥を評価する欠陥評価手段１０とを
備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、鋼板、アルミニウ
ム板、紙などの表面に発生する筋状の欠陥を検出する表
面欠陥検査方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】自動車、家電などの分野に用いられる表
面処理鋼板を製造するための溶融亜鉛めっき工程及びそ
の前工程において、鋼板の走行方向に延びる筋状の欠陥
が発生することがある。これは製品品質にとって致命的
な欠陥となるので、オンライン工程で、走行する鋼板の
欠陥をいち早く検出し、欠陥が検出され次第、操業条件
を変更するなど必要な処置を施すことにより、それ以上
の欠陥の発生を防止することが重要な課題となる。

【０００３】このような走行方向に延びる筋状の欠陥が
発生するのは表面処理鋼板だけではなく、他の鋼板、ア
ルミニウム板、紙などにおいても見られるが、自動車に
用いられる溶融亜鉛めっき鋼板の色調欠陥の場合は、欠
陥部と健全部との色調の差が極めて小さいため、欠陥の
有無の検出及び欠陥レベルの判定が特に難しい。また、
これらの筋状欠陥のうちには、途切れたり曲がったりし
ていて従来の装置では別の欠陥として判定されるものも
あるが、目視により詳細に検査すると、継続して発生し
ている筋状欠陥と判断されるものが多い。

【０００４】従来から、このような走行方向に延びる筋
状の欠陥を検出する有効な方法として、二次元撮像装置
を用いて被検査材表面の所定の被検査領域を撮像し、得
られた二次元画像について、筋状欠陥の延びる方向に画
像信号強度を積分し、欠陥部と健全部の濃度差を強調し
て欠陥を検出し易くするという方法がある。欠陥が連続
的に検出された場合は警報を発するように構成されてい
ることが多い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の筋状欠
陥の検出方法は、被検査領域を撮像した一枚の二次元画
像毎に欠陥検出が行われるため、走行方向に画像信号強
度を積分する際、被検査材の地合の変化やランダムノイ
ズなどが、しばしば欠陥として誤検出され警報が発せら
れるという問題がある。また、欠陥が途中で僅かに途切
れていたり、欠陥が多少でも曲がっていたりすると、実
際は連続した一本の筋状欠陥であるにも拘らず、それぞ
れ異なる欠陥として検出されるという問題もある。

【０００６】本発明は、上記の事情に鑑み、筋状欠陥の
みを的確に筋状欠陥として検出することができ、また、
継続している筋状欠陥が、途中で途切れたり曲がったり
していても１つの欠陥として検出することができる表面
検査装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の表面検査装置は、所定の走行方向に走行する被検
査材表面の所定の被検査領域からの反射光を受光して該
被検査領域の二次元画像を表す二次元画像データを生成
する二次元撮像器と、二次元撮像器で得られた二次元画
像データに基づき欠陥を検出して欠陥検出結果を出力す
る欠陥検出手段とを備えた表面検査装置において、上記
欠陥検出手段から出力される欠陥検出結果を、複数の被
検査領域分記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶された
複数の被検査領域分の欠陥検出結果に基づいて上記被検
査領域内の欠陥を評価する欠陥評価手段とを備えたこと
を特徴とする。

【０００８】ここで、上記表面検査装置を、上記欠陥検
出手段から新たな欠陥検出結果が出力された際に、その
欠陥検出結果を上記記憶手段に記憶されている複数の被
検査領域分の欠陥検出結果のうちの最も早期に記憶され
た欠陥検出結果と比較する欠陥検出結果比較手段と、上
記欠陥検出結果比較手段により比較された双方の欠陥検
出結果が互いに異なる欠陥検出結果である場合、新たな
欠陥検出結果を、上記記憶手段に記憶されている最も早
期に記憶された欠陥検出結果と入れ替える記憶入替え手
段とを備えたものとしてもよい。

【０００９】なお、上記の欠陥検出結果には、欠陥の有
無以外に、欠陥の種類、欠陥のレベル、欠陥の発生位置
などが含まれていてもよい。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明の表面検査装置の一実施形態
の概略の構成図である。図１に示すように、この表面検
査装置１００には、矢印Ａ方向に走行する被検査材であ
る溶融亜鉛めっき鋼板１を照射する蛍光灯２と、溶融亜
鉛めっき鋼板１表面の被検査領域１７からの反射光２ａ
を受光して被検査領域１７の二次元画像を表す二次元画
像データを生成するＣＣＤカメラ３と、ＣＣＤカメラ３
で得られた二次元画像データを画像処理して欠陥を検出
する欠陥検出手段４と、欠陥検出結果を、複数の被検査
領域分記憶する記憶手段９と、記憶手段９に記憶された
複数の被検査領域分の欠陥検出結果に基づいて被検査領
域１７内の欠陥を評価する欠陥評価手段１０と、欠陥が
検出されたことを記録する欠陥発生記録装置１１と、欠
陥が検出された時に警報を発する警報装置１４とが備え
られている。

【００１１】ＣＣＤカメラ３の画素数は縦４３２画素、
横５１２画素であり、撮像視野、即ち被検査領域１７の
サイズは、被検査材の走行方向Ａに２００ｍｍ、幅方向
Ｂに２５０ｍｍである。また、撮像間隔は、被検査材の
走行速度が１２０ｍ／分の時、３００ｍｍである。欠陥
検出手段４には、ＣＣＤカメラ３で得られた二次元画像
データを走行方向Ａに積分処理する積分処理回路５と、
ＣＣＤカメラ３で得られた二次元画像データを平均値処
理する平均値処理回路６と、積分処理回路５で得られた
積分データと平均値処理回路６で得られた平均値データ
とに基づいて照明むらによる画像データの歪みを補正す
る歪み補正回路７と、歪み補正回路７により補正された
データをしきい値処理して欠陥を検出するしきい値処理
回路８とが備えられている。

【００１２】さらに、この表面検査装置１００には、欠
陥検出結果比較手段１２と、記憶入替え手段１３とが備
えられている。欠陥検出結果比較手段１２及び記憶入替
え手段１３については後述する。以上のように構成され
た表面検査装置１００による欠陥検出の動作について説
明する。

【００１３】図２は、ＣＣＤカメラによって撮像され
た、白筋と呼ばれる筋状欠陥の含まれた二次元画像を示
す図である。図２に示すように、被検査領域１７の二次
元画像には走行方向Ａに延びる筋状欠陥２０が含まれて
いる。また、この二次元画像は幅方向Ｂの照明むらによ
り画像全体の色調が歪んでおり、幅方向Ｂの中央部寄り
は明るく、幅方向Ｂの両端部寄りは暗く見える。

【００１４】このような二次元画像を表す二次元画像デ
ータが、欠陥検出手段４に入力され、先ず、積分処理回
路５（図１参照）によって走行方向に積分処理される。
図３は、図２に示した二次元画像のデータを走行方向に
積分処理した後のプロフィールを示す図である。図３に
示すように、走行方向Ａに積分処理されたプロフィール
１５には、筋状欠陥２０（図２参照）に相当する幅方向
位置にピーク部２１が現れている。

【００１５】一方、二次元撮像器によって撮像された被
検査領域の二次元画像は、平均値処理回路６（図１参
照）にも入力され、平均値処理回路６により、二次元画
像を表す二次元画像データ全体の平均値が算出される。
次に、積分処理回路５で得られた積分データと平均値処
理回路６で得られた平均値データとが歪み補正回路７
（図１参照）に入力され、歪み補正回路７において、照
明むらによる画像データの歪みが補正され、補正データ
が生成される。

【００１６】図４は、照明むらによる画像データの歪み
が補正された後の、補正データのプロフィールを示す図
である。図４に示すように、補正データのプロフィール
１６は、二次元画像（図２参照）から照明むら成分が除
去され、ピーク部２２の部分を除く健全部はほぼフラッ
トな形状を示している。

【００１７】次に、補正データはしきい値処理回路８に
入力される。しきい値処理回路８では、補正データのう
ちのピーク部２２（図４参照）と健全部との濃度差が所
定のしきい値を越えているか否かにより欠陥の有無が判
定される。欠陥の有無が判定されると、当該被検査領域
１７（図１及び図２参照）の欠陥検出結果を表すフラグ
が、記憶手段９に出力される。このフラグは、欠陥が検
出された時は’欠陥あり’を表し、欠陥が検出されなか
った時は’欠陥なし’を表すものである。

【００１８】図５は、走行する被検査材から撮像された
複数の被検査領域の画像、及びそれら各被検査領域の欠
陥検出結果を表すフラグを模式的に示す図である。図５
の左側部分には、被検査材１から撮像された被検査領域
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，・・・，１７ｉの各画像が示
されており、さらに、被検査領域１７ａ，１７ｂ，１７
ｃに跨ってやや曲がりながら走行方向Ａに延びた筋状欠
陥２３ａと、被検査領域１７ｆ及び１７ｇに跨って走行
方向Ａに延びた筋状欠陥２３ｂと、被検査領域１７ｆ，
１７ｇ，１７ｈ，１７ｉに跨って走行方向Ａに延びた筋
状欠陥２３ｃとが示されている。

【００１９】図５の右側部分には、左側部分に示された
９枚の各画像の欠陥検出結果を表す９つのフラグ１８
ａ，１８ｂ，１８ｃ，・・・，１８ｉが、それぞれ対応
する位置に示されている。白抜きのフラグは’欠陥な
し’を表し、二重斜線の施されたフラグは’欠陥あり’
を表している。例えば、フラグ１８ａは、対応する被検
査領域１７ａの画像内の筋状欠陥２３ａがやや曲がって
延びているため、積分処理回路５（図１参照）における
走行方向Ａへの積分処理により十分な高さのピーク部が
得られず、’欠陥なし’のフラグとして示されている。
フラグ１８ｂ，１８ｃは、対応する被検査領域１７ｂ，
１７ｃの画像内の欠陥２３ａが走行方向Ａにまっすぐに
延びているため、’欠陥あり’のフラグとして示されて
いる。また、フラグ１８ｆは、対応する被検査領域１７
ｆの画像内の欠陥２３ｂと欠陥２３ｃとがそれぞれ途切
れているため、’欠陥なし’のフラグとして示されてい
る。

【００２０】記憶手段９には、画像１０枚分のフラグが
フラグ列として記憶されている。欠陥評価手段１０は、
記憶手段９に記憶されたフラグ列の中に、’欠陥あり’
のフラグが５つ以上含まれるに至った時に、当該被検査
材に筋状欠陥が発生したと判定し、その判定結果を欠陥
発生記録装置１１に記録すると同時に、警報装置１４に
信号を送る。

【００２１】警報装置１４は、欠陥評価手段１０からの
信号を受けると警報を発する。ところで、本実施形態に
おいて、記憶手段９に画像１０枚分のフラグを記憶して
おき、欠陥評価手段１０がそれらのフラグに基づいて被
検査領域内の欠陥を評価しているのは、次の理由に基づ
くものである。本発明者らは、この表面検査装置を開発
するにあたり、特に検出の困難な溶融亜鉛めっき鋼板の
筋状欠陥の検出方法に着目し、熟練した検査員による筋
状欠陥の目視判定の基準について詳細な調査を行った。
その結果、検査員は、鋼板の走行速度が８０ｍ／分の場
合は欠陥が４秒以上継続して観察された時、鋼板の走行
速度が９０ｍ／分の場合は欠陥が３．５秒以上継続して
観察された時、鋼板の走行速度が１００ｍ／分の場合は
欠陥が３秒以上継続して観察された時、即ち、欠陥の長
さが約５ｍ以上に達した時に筋状欠陥が発生したと判定
し、それ以外の時には、筋状欠陥が発生したとは判定し
ていないことがわかった。

【００２２】また、それまで継続していた筋状欠陥が一
旦途切れた後また継続している場合は、その途切れた部
分の長さが３００ｍｍ以上に亘っている場合は、途切れ
た前後の欠陥はそれぞれ別の欠陥であると判定し、途切
れた長さが３００ｍｍ未満の場合には、途切れた前後の
欠陥は継続する一本の筋状欠陥と判定していることがわ
かった。

【００２３】また、走行方向に延びる欠陥であっても、
走行方向に対して２度以上の傾きが１００ｍｍ以上継続
する場合は、その欠陥は筋状欠陥ではないと判断してい
ることもわかった。以上のことから、検出の困難な溶融
亜鉛めっき鋼板の筋状欠陥を検出するには、被検査領域
の画像１枚だけでの判定では不十分であり、複数枚の画
像により継続的な判定を行う必要のあることがわかる。

【００２４】次に、欠陥が継続して発生している場合、
長さ３００ｍｍ以下の欠陥の途切れの発生頻度を調べた
ところ、約１０％であった。また、走行方向に対し２度
以上の傾きをもった欠陥が１００ｍｍ以下の長さで発生
する頻度を調べたところ、約１０％であった。このよう
な、欠陥の途切れや曲がりを含む画像を、以上説明した
欠陥検出方法で検出すると、欠陥の途切れや曲がりのた
めに、積分処理回路５における走行方向への積分処理
後、欠陥部の信号強度が十分に高められず、欠陥として
検出することができない。従って、欠陥が継続して発生
している場合の約２０％は欠陥が検出されない可能性が
ある。

【００２５】また、欠陥が発生していない時に、ランダ
ムノイズや鋼板表面の地合の変化により、欠陥が発生し
たと誤検出される頻度について調べたところ、約３０％
あった。これらの結果から、連続する複数枚の画像のう
ち３０％以上の画像に’欠陥あり’のフラグが立ってい
る場合は、欠陥が発生している確率が高いということが
判る。また、連続する複数枚の画像のフラグから欠陥の
発生を判定するための’欠陥あり’のフラグ数のしきい
値は８０％以下に設定しないと欠陥発生時に見逃しが生
じる確率が高くなることがわかった。

【００２６】これらの知見に基づき、本実施形態では、
欠陥の継続の有無を判定する最低の長さを約５ｍ、被検
査領域の走行方向長さを２００ｍｍ、鋼板の走行速度が
１２０ｍｐｍの時の撮像間隔を走行方向に３００ｍｍと
すると、連続的に判定する画像枚数は１０枚となる。そ
して、欠陥評価手段１０は、連続する１０枚の画像のう
ち５枚以上に’欠陥あり’のフラグがあった場合、継続
した欠陥が発生したと判定し、警報装置１４に警報発生
信号を送ることとしている。

【００２７】図６は、溶融亜鉛めっき鋼板に発生する筋
状欠陥を、本実施形態による検査結果と従来法による検
査結果とを比較して示した図である。図６の上段部分に
は、矢印Ａ方向に走行する溶融亜鉛めっき鋼板１上に、
走行方向Ａに延びる３本の欠陥２４ａ，２４ｂ，２４ｃ
（実際は１本の筋状欠陥である）が示されており、図６
の中段部分には、溶融亜鉛めっき鋼板１上の１７個所の
被検査領域１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，・・・，１７ｑか
ら撮像された１７枚の各画像についての欠陥検出結果を
表すフラグ１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，・・・，１８ｑが
示されており、さらに図６の下段部分には、上記の各１
８ａ，１８ｂ，１８ｃ，・・・，１８ｑのうち、連続す
る１０個のフラグの中に’欠陥あり’のフラグが５個以
上含まれているか否かを判定した判定結果１９ａ，１９
ｂ，１９ｃ，・・・１９ｑが示されている。

【００２８】従来の、１枚の画像による判定では、図６
に示される１７個の各フラグ１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，
・・・，１８ｑに相当する欠陥検出結果により、それぞ
れの被検査領域１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，・・・，１７
ｑ内の欠陥が直接評価される。従って、実際は１本の筋
状欠陥が継続して発生しているにも拘らず、３つの短い
欠陥２４ａ，２４ｂ，２４ｃは別の欠陥として検出さ
れ、筋状欠陥とは判定されないということが起こる。

【００２９】それに対して、本実施形態による連続する
フラグ１０個に基づく判定方法では、例えば、連続する
１０個のフラグ１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，・・・，１８
ｊの中に’欠陥なし’のフラグ１８ａ，１８ｆ，１８ｇ
が含まれていても、これら連続する１０個のフラグの中
に含まれている’欠陥あり’のフラグは７個存在するの
で判定結果１９ａは’欠陥あり’ということになり、さ
らに、フラグ１８ｂから始まる１０個のフラグによる判
定結果１９ｂも’欠陥あり’という結果となり、さらに
その次の判定結果１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，・・・も’
欠陥あり’という結果が続き、筋状欠陥の発生を見逃さ
ないことがわかる。

【００３０】次に、同一被検査材について、本実施形態
による欠陥判定結果と熟練した検査員による目視判定結
果とを比較したところ、４ｍ継続する欠陥に対して本実
施形態では筋状欠陥とは判定せず、熟練した検査員と同
様の判定結果を示している。これは、前述のように、本
実施形態では、従来の目視判定の基準にならって５ｍ以
上欠陥が継続している場合のみ筋状欠陥と判定している
ためである。

【００３１】また、継続した欠陥が途中で３００ｍｍ以
上に亘って途切れている場合、本実施形態の判定結果
は、熟練した検査員と同様、その途切れの前後はそれぞ
れ別の欠陥であると判定している。また、継続した欠陥
の一部に、走行方向に対し２度傾いた欠陥が１３０ｍｍ
継続しているものに対する本実施形態の判定結果は、熟
練した検査員の判定結果と同様、その部分を筋状欠陥と
はみなしていない。

【００３２】また、筋状欠陥が発生していない被検査材
に対して、従来法による１枚の画像での判定を行うと、
筋状欠陥以外のノイズを誤検出して警報が鳴ることがし
ばしばであったのに対し、本実施形態による判定では、
誤検出は全く発生せず警報は鳴らない。次に、本実施形
態における、欠陥検出結果比較手段１２（図１参照）及
び記憶入替え手段１３について説明する。

【００３３】ＣＣＤカメラ３から新たな画像データが欠
陥検出手段４に入力され、欠陥検出手段４から新たな欠
陥検出結果が欠陥検出結果比較手段１２に出力される
と、欠陥検出結果比較手段１２は、その欠陥検出結果を
記憶手段９に記憶されている複数の被検査領域分の欠陥
検出結果のうちの最も早期に記憶された欠陥検出結果と
比較する。比較の結果、双方の欠陥検出結果が互いに異
なる欠陥検出結果である場合は、記憶入替え手段１３
は、新たな欠陥検出結果を記憶手段９に記憶されている
最も早期に記憶された欠陥検出結果と入れ替える。

【００３４】なお、実際に、前述の溶融亜鉛めっき鋼板
の筋状欠陥の欠陥判定テストの際、上記の欠陥検出結果
比較手段１２及び記憶入替え手段１３を用いない場合及
び用いた場合の二通りの処理方式による処理時間の比較
を行った。第１の処理方式は、欠陥検出結果比較手段１
２及び記憶入替え手段１３を用いずに、欠陥検出手段４
から新たな欠陥検出結果が出力される度に記憶手段９に
記憶し、毎回新たな画像１０枚分の欠陥検出結果に基づ
いて欠陥を評価する方式である。

【００３５】第２の処理方式は、欠陥検出手段４から新
たな欠陥検出結果が出力された際にその欠陥検出結果を
記憶手段９に記憶されている画像１０枚分の欠陥検出結
果のうちの最も早期に記憶された欠陥検出結果と比較
し、双方の欠陥検出結果が互いに異なる欠陥検出結果で
ある場合のみ新たな欠陥検出結果を最も早期に記憶され
た欠陥検出結果と入れ替える方式である。

【００３６】上記の二通りの処理方式による処理時間を
比較した結果、第２の処理方式の処理時間は第１の処理
方式の処理時間の約５分の１であった。これは、第１の
処理方式の場合、欠陥検出手段４から新たな欠陥検出結
果が出力される度に、新たな画像１０枚分の欠陥検出結
果の演算処理が実行されるのに対し、第２の処理方式で
は、欠陥検出結果の入替えが行われない時は、記憶手段
９への書込み処理が不要となり、さらに、画像１０枚分
の欠陥検出結果の演算処理が不要となるため、処理時間
が大幅に短縮されるからである。

【００３７】なお、本実施形態では、被検査材である溶
融亜鉛めっき鋼板１（図１参照）を照射するために蛍光
灯２が用いられているが、被検査材を照明する手段は蛍
光灯に限られるものではなく他のいずれの照明手段でも
よく、検査が行われる場所の条件次第では必ずしも特に
照明手段を設ける必要はない。また、本実施形態では、
被検査領域１７からの反射光を受光して二次元画像デー
タを生成するＣＣＤカメラ３が用いられているが、二次
元画像データを生成する手段はＣＣＤカメラに限られる
ものではなく他のいずれの二次元撮像器でもよい。

【００３８】なお、上記の実施形態では、鋼板を被検査
材とした場合についてのみ説明したが、本発明の対象は
鋼板のみに限定されるものではなく、アルミニウム板、
紙などにも本発明を適用することができる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の表面検査
装置は、欠陥検出手段から出力される欠陥検出結果を複
数の被検査領域分記憶する記憶手段を備え、記憶手段に
記憶された複数の被検査領域分の欠陥検出結果に基づい
て被検査領域内の欠陥を評価する方式としたことによ
り、従来のように一つの欠陥検出結果に基づいて被検査
領域内の欠陥を評価する方式のように筋状欠陥以外のラ
ンダムノイズや被検査材の地合の変化などを筋状欠陥と
して誤検出することが防止され、また、継続している筋
状欠陥が途中で途切れたり、曲がったりしていても筋状
欠陥を複数の欠陥として誤検出することが防止される。
従って、本発明の表面検査装置によれば、的確に筋状欠
陥を検出することのできる表面検査装置を得ることがで
きる。

【００４０】さらに、欠陥検出結果比較手段と記憶入替
え手段とを備えることにより、新たな欠陥検出結果が出
力されても、その欠陥検出結果が記憶手段に記憶されて
いる最も早期に記憶された欠陥検出結果と異なる欠陥検
出結果でない限り、演算処理及び記憶手段への書込み処
理が省略されるので、処理時間を大幅に短縮することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の表面検査装置の一実施形態の概略の構
成図である。

【図２】ＣＣＤカメラによって撮像された、白筋と呼ば
れる筋状欠陥の含まれた二次元画像を示す図である。

【図３】図２に示した二次元画像のデータを走行方向に
積分処理した後のプロフィールを示す図である。

【図４】照明むらによる画像データの歪みが補正された
後の、補正データのプロフィールを示す図である。

【図５】走行する被検査材から撮像された複数の被検査
領域の画像、及びそれら各被検査領域の欠陥検出結果を
表すフラグを模式的に示す図である。

【図６】溶融亜鉛めっき鋼板に発生する筋状欠陥を、本
実施形態による検査結果と従来法による検査結果とを比
較して示した図である。

【符号の説明】

１ 被検査材（溶融亜鉛めっき鋼板） ２ 蛍光灯 ２ａ 反射光 ３ ＣＣＤカメラ ４ 欠陥検出手段 ５ 積分処理回路 ６ 平均値処理回路 ７ 歪み補正回路 ８ しきい値処理回路 ９ 記憶手段 １０ 欠陥評価手段 １１ 欠陥発生記録装置 １２ 欠陥検出結果比較手段 １３ 記憶入替え手段 １４ 警報装置 １５，１６，１７ プロフィール １７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７
ｆ，１７ｇ，１７ｈ，１７ｉ 被検査領域 １８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆ，１
８ｇ，１８ｈ，１８ｉ，１８ｊ，１８ｋ，１８ｌ，１８
ｍ，１８ｎ，１８ｏ，１８ｐ，１８ｑ フラグ１９
ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆ，１９
ｇ，１９ｈ，１９ｉ，１９ｊ，１９ｋ，１９ｌ，１９
ｍ，１９ｎ，１９ｏ，１９ｐ，１９ｑ 判定結果 ２０ 欠陥 ２１，２２ ピーク部 ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ
欠陥 １００ 表面検査装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 洋之 千葉市中央区川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社技術研究所内 (72)発明者 戸村 寧男 千葉市中央区川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社千葉製鉄所内 (72)発明者 永井 政邦 千葉市中央区川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社千葉製鉄所内 (72)発明者 植竹 徹司 東京都千代田区内幸町２丁目２番３号 川 鉄システム開発株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の走行方向に走行する被検査材表面
   の所定の被検査領域からの反射光を受光して該被検査領
   域の二次元画像を表す二次元画像データを生成する二次
   元撮像器と、 該二次元撮像器で得られた二次元画像データに基づき欠
   陥を検出して欠陥検出結果を出力する欠陥検出手段とを
   備えた表面検査装置において、 前記欠陥検出手段から出力される欠陥検出結果を、複数
   の被検査領域分記憶する記憶手段と、 該記憶手段に記憶された複数の被検査領域分の欠陥検出
   結果に基づいて前記被検査領域内の欠陥を評価する欠陥
   評価手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。
2. 【請求項２】 前記欠陥検出手段から新たな欠陥検出結
   果が出力された際に、該欠陥検出結果を前記記憶手段に
   記憶されている複数の被検査領域分の欠陥検出結果のう
   ちの最も早期に記憶された欠陥検出結果と比較する欠陥
   検出結果比較手段と、 前記欠陥検出結果比較手段により比較された双方の欠陥
   検出結果が互いに異なる欠陥検出結果である場合、新た
   な欠陥検出結果を、前記記憶手段に記憶されている最も
   早期に記憶された欠陥検出結果と入れ替える記憶入替え
   手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の表面検
   査装置。