JPH09144756A - Controller for magnetic bearing - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To always conduct stable signal extraction even if a sudden change in rotational speed occurs by measuring the rotational angle of a rotor by a rotary encoder, and reading the data of sinewave and cosinewave corresponding to the rotational angle from a table. SOLUTION: The waveform data of sinewave and cosinewave are first stored in memories 5a, 5b. A rotary encoder 4 reads the angular data of a rotating disc 8 engraved on the disc fitted on a rotor with a pickup 7 to out put a digital value corresponding to the rotational angle. When the address designation of the waveform data is made so that one turn of the rotary encoder 4 may meet one cycle of the sinewave and cosinewave, the data of the sinewave sin Ωt and the cosinewave cos Ωt are obtained according to the rotational angle of the rotor, where Ω = rotational speed of rotor. The waveform is determined by the absolute rotational angle of the rotor, therefore, it is possible to always maintain synchronism.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気軸受で支持され
た磁気浮上形ロータの制御装置に係り、特に、不釣り合
いによる振動振幅を減少させ、安定に危険速度通過する
のに好適な磁気軸受制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic levitation type rotor supported by a magnetic bearing, and more particularly to a magnetic bearing control suitable for reducing vibration amplitude due to imbalance and stably passing a critical speed. Regarding the device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】磁気軸受は、ロータを電磁力により空中
支持するものである。一般の磁気軸受では電磁石が互い
に対向する方向に吸引力を発生し、ロータに力を及ぼ
す。ラジアルセンサがロータの径方向の変位を測定し、
その出力の差がセンサ回路により求められ、ロータの変
位信号Ｘとして出力される。安定化補償回路が、変位信
号Ｘに応じてロータを安定に浮上させるために必要なラ
ジアル軸受の電流値を計算する。この計算値に応じて、
パワーアンプが電流を電磁石に供給する。電磁石は供給
された電流に応じて電磁力を発生させ、ロータを二つの
電磁石の中間（Ｘ＝０）に位置するように制御する。2. Description of the Related Art A magnetic bearing supports a rotor in the air by an electromagnetic force. In a general magnetic bearing, electromagnets generate an attractive force in a direction in which they face each other and exert a force on a rotor. A radial sensor measures the radial displacement of the rotor,
The difference between the outputs is obtained by the sensor circuit and output as the rotor displacement signal X. The stabilization compensating circuit calculates the current value of the radial bearing required to stably levitate the rotor according to the displacement signal X. Depending on this calculated value,
The power amplifier supplies current to the electromagnet. The electromagnet generates an electromagnetic force according to the supplied current, and controls the rotor so as to be positioned in the middle (X = 0) of the two electromagnets.

【０００３】安定化補償回路には、一般にＰＩＤ制御
（比例＋積分＋微分制御）が使われている。比例制御Ｐ
は磁気軸受の軸受剛性を生み出し、微分制御Ｄは位相進
みによって減衰を生み出すものである。また、積分制御
Ｉは静的な外力（自重等）に対して、それを打ち消すよ
うに働き、ロータ変位の定常偏差を零にする効果があ
る。Generally, PID control (proportional + integral + derivative control) is used in the stabilization compensating circuit. Proportional control P
Produces the bearing rigidity of the magnetic bearing, and the differential control D produces the damping by the phase lead. Further, the integral control I works to cancel static external force (self-weight, etc.) and has an effect of making the steady deviation of the rotor displacement zero.

【０００４】なお、この種の磁気軸受の基本技術に関連
するものは、文献「ACTIVE MAGNETICBEARINGS (1994 vdf
Hochschulverlag AG an der ETH Zurich)」が詳しい。Incidentally, the one related to the basic technology of this type of magnetic bearing is described in the document "ACTIVE MAGNETIC BEARINGS (1994 vdf
Hochschulverlag AG an der ETH Zurich) "is detailed.

【０００５】ところで、ロータの振動のほとんどは不釣
り合い振動によるものであるので、回転数同期成分に着
目した振動制御回路を使用することが効果的である。そ
こでは、ロータの変位信号から回転数成分のみを取り出
して、不釣り合い振動に対してのみ特別な制御則を働か
せる。回転数成分の抽出には中心周波数を回転数に追従
するようにした帯域通過フィルタを用いる。このような
機能をもつフィルタの中では、ＰＬＬ方式で回転パルス
に追従するフィルタ（トラッキングフィルタ）が追従精
度に優れ、良く使用される。ラジアル方向の変位を
（Ｘ，Ｙ）とすると、トラッキングフィルタはその回転
数同期成分（Ｘn，Ｙn）を得るものである。この回転数
同期成分に対し、Ｆx＝Ａ(Ｘn・cosα−Ｙn・sinα)，
Ｆy＝Ａ(Ｘn・sinα＋Ｙn・cosα）で求められる(Ｆx，
Ｆy）をラジアル磁気軸受の制御電流に加算すること
で、不釣り合い振動を抑制することができる。ここで、
Ａは制御ゲインで、αは制御の方向を決定する定数であ
る。α＝０とするならば、制御はばね剛性を増加させる
ように働き、α＝９０度とすると、ダンピングを増加さ
せるように働く。By the way, most of the vibration of the rotor is due to unbalanced vibration, so it is effective to use a vibration control circuit focusing on the rotational speed synchronization component. There, only the rotational speed component is extracted from the displacement signal of the rotor, and a special control law is applied only to unbalanced vibration. A bandpass filter whose center frequency follows the rotation speed is used to extract the rotation speed component. Among filters having such a function, a filter (tracking filter) that follows a rotation pulse by a PLL method has excellent follow-up accuracy and is often used. Assuming that the displacement in the radial direction is (X, Y), the tracking filter obtains the rotational speed synchronization component (Xn, Yn). For this rotational speed synchronization component, Fx = A (Xn · cosα−Yn · sinα),
Fy = A (Xn · sinα + Yn · cosα) (Fx,
By adding Fy) to the control current of the radial magnetic bearing, unbalanced vibration can be suppressed. here,
A is a control gain, and α is a constant that determines the control direction. If α = 0, the control acts to increase spring stiffness, and if α = 90 degrees, the control acts to increase damping.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ＰＬＬの追従精度はロ
ータの回転数が一定でほとんど変化しない場合には非常
に良いが、回転数が急激に変化する場合は十分とは言え
ない。例えば、回転機の昇速が非常に速い場合、あるい
は異常時に回転機をシャットダウンさせる場合に、この
ような精度の劣化が問題となってくる。The tracking accuracy of the PLL is very good when the rotational speed of the rotor is constant and hardly changes, but it is not sufficient when the rotational speed changes rapidly. For example, when the speed of rotation of the rotating machine is very fast, or when the rotating machine is shut down when an abnormality occurs, such deterioration of accuracy becomes a problem.

【０００７】本発明の目的はロータの回転数が急激に変
化しても、回転数に完全に同期した制御則を働かすこと
ができる制御装置を提供するにある。An object of the present invention is to provide a control device capable of operating a control law completely synchronized with the rotational speed even if the rotational speed of the rotor changes abruptly.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】従来のＰＬＬによるトラ
ッキングフィルタの動作原理を簡単に説明する。ここで
のトラッキングフィルタは大きく分けると、ＰＬＬ回路
とフィルタ回路から構成されている。ＰＬＬ回路は内蔵
された発振器の発振信号とロータが一回転するごとに発
生する回転パルス信号を比較し、発振信号の周波数と位
相を回転パルスに同期するように調整する回路である。
ＰＬＬ回路の発振信号は矩形波，正弦波が一般的であ
る。トラッキングフィルタに用いるＰＬＬ回路は回転パ
ルスとの比較に用いるこの発振信号の他にフィルタ回路
用に正弦波と余弦波を別に発振する。この正弦波と余弦
波ももちろん回転パルスと同期したものになる。フィル
タ回路はＰＬＬ回路から得た正弦波と余弦波を使い、フ
ーリエ変換の原理で、入力信号からロータの回転数に同
期した成分だけを抽出し、出力する。The principle of operation of a conventional tracking filter using a PLL will be briefly described. The tracking filter here is roughly divided into a PLL circuit and a filter circuit. The PLL circuit is a circuit that compares an oscillation signal of a built-in oscillator with a rotation pulse signal generated each time the rotor makes one rotation, and adjusts the frequency and phase of the oscillation signal so as to synchronize with the rotation pulse.
The oscillation signal of the PLL circuit is generally a rectangular wave or a sine wave. The PLL circuit used for the tracking filter separately oscillates a sine wave and a cosine wave for the filter circuit in addition to this oscillation signal used for comparison with the rotation pulse. Of course, the sine wave and the cosine wave are also synchronized with the rotation pulse. The filter circuit uses the sine wave and the cosine wave obtained from the PLL circuit, and extracts only the component synchronized with the rotation speed of the rotor from the input signal by the principle of Fourier transform and outputs it.

【０００９】以上の説明から分かるように、フィルタに
使用する正弦波と余弦波はＰＬＬ回路に依存しているの
でＰＬＬ回路が回転パルスに追従する性能がすなわち、
トラッキングフィルタとしての追従性能になっている。
ロータの回転数が急激に変化する場合は、ＰＬＬ回路が
すぐには追従できないので、過渡的ではあるが正常なフ
ィルタ動作ができなくなる。As can be seen from the above description, since the sine wave and the cosine wave used for the filter depend on the PLL circuit, the ability of the PLL circuit to follow the rotation pulse is as follows:
It has tracking performance as a tracking filter.
When the number of revolutions of the rotor changes rapidly, the PLL circuit cannot immediately follow, so that normal but normal filter operation cannot be performed.

【００１０】本発明ではＰＬＬ回路に依存しないトラッ
キングフィルタとするためにロータにロータリエンコー
ダを取り付け、ロータの回転角を測定できるようにす
る。ＰＬＬ回路の代わりに正弦波と余弦波のテーブルを
用意する。テーブルにはロータの一回転が正弦波と余弦
波の一周期分の波形に対応するように各角度毎のデータ
を格納する。ロータリエンコーダによってロータの回転
角をリアルタイムで測定し、テーブルからその回転角に
対応する正弦波と余弦波のデータを読み出す。フィルタ
回路はテーブルから読み出された正弦波と余弦波のデー
タに基づいて、フーリエ変換の原理で信号抽出する（こ
の部分は従来と同じ）。In the present invention, a rotary encoder is attached to the rotor so that the tracking filter does not depend on the PLL circuit, and the rotation angle of the rotor can be measured. A table of sine wave and cosine wave is prepared instead of the PLL circuit. The table stores data for each angle so that one rotation of the rotor corresponds to a waveform of one cycle of a sine wave and a cosine wave. The rotation angle of the rotor is measured in real time by the rotary encoder, and the sine wave and cosine wave data corresponding to the rotation angle is read from the table. The filter circuit extracts a signal by the principle of Fourier transform based on the sine wave and cosine wave data read from the table (this part is the same as the conventional one).

【００１１】ロータがどんな回転数であってもロータの
回転数に同期した正弦波と余弦波が即時に得られるの
で、急激な回転数変化が生じても常に安定した信号抽出
が可能となる。Since a sine wave and a cosine wave synchronized with the rotation speed of the rotor can be immediately obtained regardless of the rotation speed of the rotor, stable signal extraction can be always performed even if a sudden change in the rotation speed occurs.

【００１２】[0012]

【発明の実施の形態】本発明の一実施例を説明する。図
１は実施例のトラッキングフィルタ装置を説明するブロ
ック図であり、図２は回転角度に対応した正弦波波形，
余弦波波形を読み出す装置である。図３は本実施例が対
象とする磁気軸受搭載の回転機器であり、ラジアル軸受
を２式，スラスト軸受を１式搭載している。それぞれの
ラジアル軸受には径方向のロータ１の変位（Ｘl，Ｙ
l），（Ｘr，Ｘr）を測定するラジアルセンサが設けら
れている。同様にスラスト軸受に対しても軸方向のロー
タ１の変位Ｚを測定するスラストセンサが設けられてい
る。また、軸端にはロータ１の回転角θを測定するロー
タリエンコーダが設けられている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a block diagram illustrating a tracking filter device of an embodiment, and FIG. 2 is a sine wave waveform corresponding to a rotation angle,
This is a device for reading the cosine waveform. FIG. 3 shows a rotary device equipped with magnetic bearings, which is a target of the present embodiment, in which two sets of radial bearings and one set of thrust bearings are installed. The radial displacement of the rotor 1 (Xl, Y
Radial sensors for measuring l) and (Xr, Xr) are provided. Similarly, the thrust bearing is also provided with a thrust sensor that measures the axial displacement Z of the rotor 1. A rotary encoder for measuring the rotation angle θ of the rotor 1 is provided at the shaft end.

【００１３】ロータ１の径方向の変位信号を例にして、
トラッキングフィルタが回転数に同期した前向き振動成
分を抽出する動作を説明する。径方向の変位信号は（Ｘ
l，Ｙl），（Ｘr，Ｙr）の２対であるが、説明は片方の
対のみとし、以下、簡単のため径方向の変位信号を
（Ｘ，Ｙ）と書く。Taking the radial displacement signal of the rotor 1 as an example,
The operation of the tracking filter for extracting the forward vibration component synchronized with the rotation speed will be described. The radial displacement signal is (X
There are two pairs of (l, Yl) and (Xr, Yr), but the explanation will be given for only one pair, and the displacement signal in the radial direction will be referred to as (X, Y) for simplicity below.

【００１４】まず、図２に示すように、メモリ５ａ，５
ｂに正弦波と余弦波の波形データを格納しておく。ロー
タリエンコーダ４はロータ１に取り付けられた回転円盤
８に刻まれた円盤の角度情報をピックアップ７によって
読み取り、回転角度θに対応したディジタル値を出力す
る。ロータリエンコーダ４の一回転が正弦波と余弦波の
一周期に対応するように波形データのアドレス指定をす
るようにすると、ロータ１の回転角度θに応じて正弦波
と余弦波のデータが得られることになる。このようにし
て得た正弦波sinΩｔ(＝sinθ）および、余弦波cosΩｔ
(＝cosθ）のデータを次にフィルタ回路で使用する。こ
こで、Ωはロータ１の回転速度である。従来は、ＰＬＬ
回路を使い、回転パルスに同期した正弦波と余弦波を得
ていた。結果的には同じ信号を得ることになるが、ＰＬ
Ｌがロータ１の回転数の変化についていけない場合は、
過渡的に同期性が崩れる。本実施例はロータ１の回転数
が如何に変化しようともロータ１の絶対的回転角度で波
形を決めているので、同期性は常に保たれることにな
る。First, as shown in FIG. 2, memories 5a, 5
Waveform data of a sine wave and a cosine wave are stored in b. The rotary encoder 4 reads the angle information of the disk engraved on the rotary disk 8 attached to the rotor 1 with the pickup 7, and outputs a digital value corresponding to the rotation angle θ. When the waveform data is addressed so that one rotation of the rotary encoder 4 corresponds to one cycle of the sine wave and the cosine wave, data of the sine wave and the cosine wave are obtained according to the rotation angle θ of the rotor 1. It will be. The sine wave sinΩt (= sin θ) and the cosine wave cosΩt thus obtained
The data of (= cos θ) is then used in the filter circuit. Here, Ω is the rotation speed of the rotor 1. Conventionally, PLL
A circuit was used to obtain a sine wave and a cosine wave synchronized with the rotation pulse. As a result, the same signal is obtained, but PL
When L cannot keep up with the change in the rotation speed of the rotor 1,
The synchronism is lost transiently. In this embodiment, the waveform is determined by the absolute rotation angle of the rotor 1 no matter how the rotation speed of the rotor 1 changes, so that the synchronism is always maintained.

【００１５】フィルタ回路ではまず図１に示すように、
変位信号（Ｘ，Ｙ）と、正弦波，余弦波（cosΩｔ，−s
inΩｔ）とのベクトル演算を行う。式で表すと、以下の
ようになる。In the filter circuit, as shown in FIG.
Displacement signal (X, Y), sine wave, cosine wave (cosΩt, −s
vector calculation with inΩt). It is expressed as follows.

【００１６】[0016]

【数１】 Ａ＝Ｘ・cosΩｔ＋Ｙ・sinΩｔ Ｂ＝Ｙ・cosΩｔ−Ｘ・sinΩｔ …（数１） そして、演算した結果（Ａ，Ｂ）をローパスフィルタ６
に通し、直流成分(Ａo，Ｂo ）のみを取り出す。この直
流成分は変位信号に含まれる前向き回転同期成分の振幅
値になっている。さらにこの直流成分に正弦波，余弦波
（cosΩｔ， sinΩｔ)をベクトル演算すると、結果と
して変位信号から前向き回転同期成分のみが抽出された
信号となる。## EQU1 ## A = X.cos.OMEGA.t + Y.sin.OMEGA.T B = Y.cos.OMEGA.t-X.sin.OMEGA.t (Equation 1) Then, the calculated result (A, B) is calculated by the low-pass filter 6
, And take out only the DC component (Ao, Bo). This DC component is the amplitude value of the forward rotation synchronization component included in the displacement signal. Further, when a sine wave and a cosine wave (cosΩt, sinΩt) are vector-calculated on this DC component, the result is a signal in which only the forward rotation synchronization component is extracted from the displacement signal.

【００１７】[0017]

【数２】 Ｘn＝Ａo・cosΩｔ−Ｂo・sinΩｔ Ｙn＝Ｂo・cosΩｔ＋Ａo・sinΩｔ …（数２） 上述は、回転同期成分のうちの前向き成分の抽出を説明
する例であるが、以下に示すように同じような原理で後
ろ向き成分の抽出を行うことができる。[Formula 2] Xn = Ao · cosΩt−Bo · sinΩt Yn = Bo · cosΩt + Ao · sinΩt (Equation 2) The above is an example for explaining the extraction of the forward component of the rotation synchronization component. The backward component can be extracted by the same principle.

【００１８】[0018]

【数３】 Ａ＝Ｘ・cosΩｔ−Ｙ・sinΩｔ Ｂ＝Ｙ・cosΩｔ＋Ｘ・sinΩｔ …（数３） 次に、ローパスフィルタ６によって（Ａ，Ｂ）の直流成
分（Ａo，Ｂo）のみを取り出し、[Equation 3] A = X · cosΩt−Y · sinΩt B = Y · cosΩt + X · sinΩt (Equation 3) Next, the low-pass filter 6 extracts only the DC component (Ao, Bo) of (A, B),

【００１９】[0019]

【数４】 Ｘn＝Ａo・cosΩｔ＋Ｂo・sinΩｔ Ｙn＝Ｂo・cosΩｔ−Ａo・sinΩｔ …（数４） によって、後ろ向き回転同期成分を得る。## EQU4 ## Xn = Ao.cos.OMEGA.t + Bo.sin.OMEGA.t Yn = Bo.cos.OMEGA.t-Ao.sin.OMEGA.t (Equation 4) A backward rotation synchronization component is obtained.

【００２０】また、スラスト方向の振動のように前向き
と後ろ向きを区別する必要のない場合には（スラスト方
向は回転振動でないので）、前向きと後ろ向きとを区別
しない回転同期成分の抽出が可能である。スラスト方向
の変位信号をＺとすると、When it is not necessary to distinguish the forward direction from the backward direction like the vibration in the thrust direction (since the thrust direction is not rotational vibration), it is possible to extract the rotation synchronizing component without distinguishing the forward direction from the backward direction. . Let Z be the displacement signal in the thrust direction,

【００２１】[0021]

【数５】 Ａ＝Ｚ・cosΩｔ Ｂ＝Ｚ・sinΩｔ …（数５） ローパスフィルタ６によって（Ａ，Ｂ）の直流成分（Ａ
o，Ｂo）のみを取り出し、[Equation 5] A = Z · cosΩt B = Z · sinΩt (Equation 5) The DC component (A, B) of
o, Bo) only,

【００２２】[0022]

【数６】 Ｚn＝２・(Ａo・cosΩｔ＋Ｂo・sinΩｔ） …（数６） によって、前向きと後ろ向きとを両方含む回転同期成分
を得る。[Equation 6] Zn = 2 · (Ao · cosΩt + Bo · sinΩt) (Equation 6) A rotation synchronization component including both forward and backward directions is obtained.

【００２３】ロータ１の回転角をロータリエンコーダ４
で測定し、正弦波と余弦波を得るならば、本実施例はフ
ィードフォワード加振による不釣り合い振動の抑制制御
にも応用することができる。これはロータ１に働く不釣
り合い力に対し、それとは反対の方向に磁気軸受によっ
て力を与えれば、振動を零化することができるという原
理である。回転数に同期した正弦波sinΩｔと余弦波cos
Ωｔを用いれば、図４に示すようにこれらの合成によっ
て任意のゲインと位相を持った正弦波加振力（Ｆx，Ｆ
y）を得ることができるので、不釣り合いの方向と大き
さに応じて調整をすれば、振動を抑制することができ
る。式で示すと以下のようになる。The rotation angle of the rotor 1 is determined by the rotary encoder 4
If the sine wave and the cosine wave are obtained by measuring in the above, the present embodiment can be applied to the control of suppressing unbalanced vibration by feedforward vibration. This is a principle that the vibration can be reduced to zero by applying a force to the unbalanced force acting on the rotor 1 in the direction opposite to the unbalanced force by the magnetic bearing. Sine wave sinΩt and cosine wave cos synchronized with the rotation speed
If Ωt is used, a sine wave excitation force (Fx, F) having an arbitrary gain and phase is obtained by combining these as shown in FIG.
Since y) can be obtained, vibration can be suppressed by making adjustments according to the direction and size of the imbalance. The expression is as follows.

【００２４】[0024]

【数７】 Ｆx＝Ｇ(cosβ・cosΩｔ−sinβ・sinΩｔ） ＝Ｇ・cos(Ωｔ＋β） Ｆy＝Ｇ(sinβ・sinΩｔ＋cosβ・cosΩｔ） ＝Ｇ・sin(Ωｔ＋β） …（数７） ここで、Ｇは加振力の大きさ、βは加振力の位相角であ
る。回転数が急激に変化しても、基準の正弦波と余弦波
はロータ１の絶対的な角度に基づいているので、加振力
も回転数に完全に追従し、精度の良い安定な振動制御が
可能になる。Fx = G (cosβ · cosΩt−sinβ · sinΩt) = G · cos (Ωt + β) Fy = G (sinβ · sinΩt + cosβ · cosΩt) = G · sin (Ωt + β) (Equation 7) where G is The magnitude of the exciting force, β is the phase angle of the exciting force. Even if the rotation speed changes abruptly, the reference sine wave and cosine wave are based on the absolute angle of the rotor 1, so the excitation force also perfectly follows the rotation speed, and accurate and stable vibration control is possible. It will be possible.

【００２５】[0025]

【発明の効果】本発明ではロータの絶対的な回転角度を
測定して、回転数に同期した正弦波と余弦波を得ている
ので、ロータの回転数変化に対し、絶対的な追従性を有
するトラッキングフィルタ回路を構成することができ
る。According to the present invention, since the absolute rotation angle of the rotor is measured and the sine wave and cosine wave synchronized with the rotation speed are obtained, the absolute followability with respect to the change in the rotation speed of the rotor is obtained. It is possible to configure a tracking filter circuit having the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一例を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing an example of the present invention.

【図２】本発明が対象とする磁気軸受搭載のロータ系の
説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram of a rotor system equipped with a magnetic bearing, which is a target of the present invention.

【図３】波形データ格納の説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram of waveform data storage.

【図４】フィードフォワード加振力の合成についての説
明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of composition of a feedforward excitation force.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…ロータ、２…変位センサ、３ａ，３ｂ…電磁石、４
…ロータリエンコーダ、５ａ，５ｂ…波形記憶用メモ
リ、６…ローパスフィルタ、７…ピックアップ、８…回
転円盤。1 ... Rotor, 2 ... Displacement sensor, 3a, 3b ... Electromagnet, 4
... rotary encoder, 5a, 5b ... memory for waveform storage, 6 ... low-pass filter, 7 ... pickup, 8 ... rotating disk.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】電磁石と前記電磁石により空中に支持され
るロータとのギャップ長をロータの変位量として入力
し、該変位量を基準ギャップ長とするための電流指令値
を算出するための指令値算出手段と、該指令値算出手段
より算出された電流指令値を増幅して電磁石のコイルに
供給するためのパワーアンプとを備えた磁気軸受の制御
装置において、 該ロータの回転角を測定する回転角測定手段、および該
回転角測定手段が測定する回転角をアドレス指定値とし
て入力し、該回転角に応じた正弦波と余弦波を出力する
波形記憶手段とから構成したことを特徴とする磁気軸受
の制御装置。1. A command value for inputting a gap length between an electromagnet and a rotor supported in the air by the electromagnet as a displacement amount of the rotor, and calculating a current command value for setting the displacement amount as a reference gap length. In a magnetic bearing control device comprising a calculating means and a power amplifier for amplifying a current command value calculated by the command value calculating means and supplying the current command value to a coil of an electromagnet, a rotation measuring a rotation angle of the rotor. A magnetic field measuring device comprising: an angle measuring means; and a waveform storing means for inputting a rotation angle measured by the rotation angle measuring means as an addressing value and outputting a sine wave and a cosine wave according to the rotation angle. Bearing control device.