JPH0914470A - Metal diaphragm valve with locking mechanism - Google Patents
Metal diaphragm valve with locking mechanismInfo
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- JPH0914470A JPH0914470A JP16507995A JP16507995A JPH0914470A JP H0914470 A JPH0914470 A JP H0914470A JP 16507995 A JP16507995 A JP 16507995A JP 16507995 A JP16507995 A JP 16507995A JP H0914470 A JPH0914470 A JP H0914470A
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- valve
- receiving member
- lock pin
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- Preventing Unauthorised Actuation Of Valves (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ハンドルの90度回転に
より弁の開閉を行うメタルダイヤフラム弁に関し、特に
全閉または全開位置をロックできるようにしたロック機
構付メタルダイヤフラム弁に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal diaphragm valve for opening and closing a valve by rotating a handle by 90 degrees, and more particularly to a metal diaphragm valve with a lock mechanism capable of locking a fully closed or fully opened position.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体製造装置などの分野におい
て特公平４−54104号などで開示されたメタルダイヤフ
ラム弁は良く知られている。このメタルダイヤフラム弁
の開閉操作は、弁棒上端に取付けたハンドルを回すこと
によりねじ螺合によって弁棒を降下させメタルダイヤフ
ラムを弁座に押し付け閉弁となし、ハンドルを逆回転す
ることによって弁棒を上昇させ、弁棒に追従してダイヤ
フラムを自己復帰させて開弁とするものであった。しか
しながら、このものではハンドルの回転は数回転に及ぶ
ため完全に締め切るにはどこまで締めて良いのかはっき
りしないという問題があった。2. Description of the Related Art Conventionally, the metal diaphragm valve disclosed in Japanese Patent Publication No. 54104/1992 is well known in the field of semiconductor manufacturing equipment. To open and close this metal diaphragm valve, turn the handle attached to the upper end of the valve rod to lower the valve rod by screwing and push the metal diaphragm against the valve seat to close the valve, and rotate the handle backward to rotate the valve rod. Was lifted, and the diaphragm was self-returned following the valve rod to open the valve. However, with this type, there is a problem in that it is not clear how far the handle should be turned to completely shut it off because the handle rotates several times.
【０００３】このような問題を解決するものとして図４
に示すメタルダイヤフラム弁VOがある。このものは弁棒
91とダイヤフラム94を押し付ける弁体92を別体となし、
両者の間に皿ばね93を介在させたものである。他方ハン
ドル90は直線状で90度回転でストッパー96とハウジング
側の規制面97が利くようになっている。従って、図示の
ようにハンドルが流路に対して平行状態でバルブは全開
を示しており、ここからハンドルを流路に対して直角方
向に90度回転することにより弁棒91が下降する。これと
共にストッパー96が利いて皿ばね93を圧縮し、皿ばねの
一定圧力により弁体92を介しダイヤフラム94を弁座95に
押し付け全閉状態に締め切るというものであった。As a solution to such a problem, FIG.
There is a metal diaphragm valve VO shown in. This one is a stem
The valve body 92 that presses 91 and the diaphragm 94 is separate,
A disc spring 93 is interposed between the two. On the other hand, the handle 90 is linear and rotates 90 degrees so that the stopper 96 and the restriction surface 97 on the housing side are effective. Therefore, as shown in the figure, the valve is fully opened with the handle parallel to the flow path, and the valve rod 91 is lowered by rotating the handle 90 degrees in the direction perpendicular to the flow path. Along with this, the stopper 96 works to compress the disc spring 93, and the diaphragm 94 is pressed against the valve seat 95 via the valve body 92 by the constant pressure of the disc spring, and the diaphragm 94 is completely closed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記90
度開閉型ダイヤフラム弁VOはストッパー面97とストッパ
ーピン96との当接だけによりハンドルの90度回転を制御
して全開、全閉状態を保持するだけであった。しかもこ
のダイヤフラム弁は全開または全閉での使用に限られる
にもかかわらず僅かな力でハンドルが回転するものであ
ったから、例えば人や物質が誤まってハンドルに触れた
だけで弁が逆方向に動いて開いたり閉まったりして事故
発生の原因になる恐れがあった。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above 90
The degree opening / closing diaphragm valve VO controls the 90 degree rotation of the handle only by contacting the stopper face 97 and the stopper pin 96, and only keeps the fully open and fully closed state. Moreover, even though this diaphragm valve is used only when it is fully opened or fully closed, the handle rotates with a slight force.For example, if a person or a substance accidentally touches the handle, the valve will rotate in the opposite direction. There was a risk of accidents occurring by moving to open and close.
【０００５】従って、本発明は人や物等がハンドルに触
れてもハンドルが動かないように全開、全閉状態を保持
するロック機構を備えたメタルダイヤフラム弁を提供す
ることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a metal diaphragm valve having a lock mechanism which keeps a fully opened and fully closed state so that the handle does not move when a person or an object touches the handle.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、流入流路と流
出流路を有しいずれかの流路端に弁座を設けた弁箱と、
前記弁座に対向配置しその周縁を挾着したメタルダイヤ
フラムと、ハウジング内で前記メタルダイヤフラムを押
圧する弁体と、ハウジング内に挿通螺合され回転して昇
降する弁棒と、この弁棒と前記弁体との間に介在したば
ね部材と、前記弁棒に取付けたハンドルとを有するメタ
ルダイアフラム弁において、前記弁棒の上端に下面に回
転規制用突起部を有するハンドル受け部材を固定し、こ
のハンドル受け部材の上面とハンドル内面との間にスプ
リングを装入すると共にハンドル内に前記ハンドル受け
部材を上下動可能に装着し、ハンドル受け部材の下動を
阻止すると共にハンドルの回転を規制するロックピンと
このロックピンに対向する位置にストッパーピンをそれ
ぞれ設け、前記ハウジングの上端部には前記ロックピン
が解除されたときの移動通路となる円環状の凹溝と、そ
の上部に半円環状のつば部を設け、このつば部には前記
ハンドル受け部材の回転規制用突出部と当接する規制端
面及び前記ロックピンが開弁及び閉弁時に嵌合する切欠
き溝を所定角度だけ隔ててて２カ所設け、前記ハンドル
を前記スプリングに抗して押し回したとき前記ロックピ
ンと一方の切欠き溝の嵌合が解除され、所定角度回した
とき前記ハンドル受け部材の回転規制用突出部と前記ハ
ウジング上端の規制端面が当接し回転が規制されると共
にロックピンと他方の切欠き溝が嵌合してロックするよ
うにしたロック機構付きメタルダイヤフラム弁である。According to the present invention, there is provided a valve box having an inflow passage and an outflow passage and provided with a valve seat at either end of the passage,
A metal diaphragm disposed opposite to the valve seat and sandwiching the periphery thereof, a valve body for pressing the metal diaphragm in the housing, a valve rod screwed through the housing to rotate and move up and down, and the valve rod. In a metal diaphragm valve having a spring member interposed between the valve body and a handle attached to the valve rod, a handle receiving member having a rotation restricting protrusion on the lower surface is fixed to the upper end of the valve rod, A spring is inserted between the upper surface of the handle receiving member and the inner surface of the handle, and the handle receiving member is mounted in the handle so as to be movable up and down to prevent downward movement of the handle receiving member and regulate rotation of the handle. When a lock pin and a stopper pin are provided at a position facing the lock pin and the lock pin is released at the upper end of the housing, An annular groove that serves as a moving passage and a semi-annular collar portion are provided on the upper portion of the groove. The regulating end surface that abuts against the rotation regulating protrusion of the handle receiving member and the lock pin are opened. And two notch grooves to be fitted at the time of valve closing are provided at a predetermined angle, and when the handle is pushed and rotated against the spring, the lock pin and one notch groove are disengaged from each other. With a locking mechanism that locks the rotation restricting protrusion of the handle receiving member and the restricting end surface of the upper end of the housing in contact with each other when the handle is rotated to restrict rotation, and the lock pin and the other notch groove fit together. It is a metal diaphragm valve.
【０００７】[0007]
【作用】まず、通常ハンドル受けはスプリングに押され
ているがロックピン及びストッパーによって下方への動
きが止められているから逆にハンドルは浮き上った状態
にある。またハンドル受けの下面突起部はハウジング側
の円環状つば部以外の切り欠いた部分に収まっている。
ここで初期状態ではつば部の一方の規制端面とハンドル
受け側の一方の規制突起面とが当接して回転規制状態に
あり、このときロックピンはつば部にある一方の切欠き
溝に嵌まって正逆回転がロックされた状態にある。First of all, the handle is normally pushed by the spring, but the downward movement is stopped by the lock pin and the stopper, so that the handle is raised. Further, the lower surface protrusion of the handle receiver is accommodated in a cutout portion other than the annular collar portion on the housing side.
In the initial state, one of the regulating end surfaces of the collar portion and one of the regulating projection surfaces of the handle receiving side are in contact with each other to be in a rotation regulation state, and at this time, the lock pin is fitted in one notch groove in the collar portion. Forward / reverse rotation is locked.
【０００８】この状態からハンドルをスプリングに抗し
て押し下げると、ロックピンと一方の切欠き溝の嵌合が
解除されロックピンは円環状の凹溝内に位置し回転が可
能となる。ここからハンドルを押しながら回すと90度回
転したところでハウジング側の他方の規制端面とハンド
ル受け側の他方の規制突起面が当接して動きが止まる。
このときの90度回転によって弁棒は降下し皿ばね部材を
押圧するから、この皿ばねの力は弁体を押してダイヤフ
ラムを一定圧力で弁座に押し付けるように作用し閉弁状
態となる。一方このときロックピンの上部には他方の切
欠き溝が位置しているからハンドルの押し下げを解除す
ると（手を離すと）スプリングによりハンドルが浮き上
がり、同時にロックピンが他方の切欠き溝に嵌入して閉
弁状態にロックされる。When the handle is pushed down against the spring from this state, the engagement between the lock pin and the one notch groove is released, and the lock pin is positioned in the annular concave groove and can rotate. When the handle is pushed and rotated from here, when it rotates 90 degrees, the other regulating end surface on the housing side abuts on the other regulating projection surface on the handle receiving side and the movement stops.
The 90 degree rotation at this time lowers the valve rod and presses the disc spring member, so that the force of the disc spring acts to push the valve body to press the diaphragm against the valve seat with a constant pressure, and the valve is closed. On the other hand, at this time, since the other notch groove is located above the lock pin, when the handle is pushed down (the hand is released), the spring lifts the handle, and at the same time, the lock pin fits into the other notch groove. Locked in the closed state.
【０００９】再び開弁状態にするにはハンドルを押し下
げ、ロックピンと他方の切欠き溝の嵌合を解除した上で
先程とは逆方向にハンドルを90度回転する。以下は上記
と同様で一方の端面と一方の突起が当接することによっ
てハンドルが衝止し、手を離すことによってロックピン
と一方の切欠き溝の係合がなされ開弁状態にロックされ
る。In order to open the valve again, the handle is pushed down, the lock pin and the other notch groove are disengaged, and then the handle is rotated 90 degrees in the opposite direction. The following is similar to the above, and the handle is stopped by the contact between the one end face and the one protrusion, and the lock pin and the one notch groove are engaged by releasing the hand, and the valve is locked in the open state.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明によるロック機構付きメタルダイ
ヤフラム弁の縦断面図で閉弁状態を示している。図２は
図１の横断面図である。但し下部の弁箱部分等は省略し
ている。図３は図２のＡ−Ａ断面矢視図である。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a metal diaphragm valve with a lock mechanism according to the present invention, showing a closed state. FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. However, the lower valve box part etc. are omitted. 3 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【００１１】図中１は、逆Ｌ字状の流入流路２、他方に
Ｌ字状の流出流路３を有する弁箱で、流入流路２の上端
開口部には合成樹脂製の弁座シート４がカシメ手段によ
って取付けられている。この弁座シート４に対向して上
方に若干膨出した部分球殻状のメタルダイヤフラム５が
設けられており、このダイヤフラム５の周縁は弁箱１の
開口凹部40上の微小突起と下部外周にフランジ部65を有
するハウジング６の下端面の間で挾み、弁箱１に形成し
た外周おねじ66にナット10をねじ込むことによってハウ
ジング６と弁箱１の開口凹部40との間にダイヤフラム５
を密封挾着している。ハウジング６内にはハウジング側
の内周に形成しためねじと螺合して上下に昇降する弁棒
７と、この弁棒下部の凹穴72に摺動可能に嵌合し、ダイ
ヤフラム５を弁座シート４側に押圧する弁体８と、この
弁体８と弁棒７との間に介在させた複数枚の皿ばね９を
備えている。従って、弁棒７が回転して下降すると弁棒
７は皿ばね９を圧縮し、弁体８を介してダイヤフラム５
を弁座シート４に直接押し付けて閉弁とする。In the figure, reference numeral 1 denotes a valve box having an inverted L-shaped inflow passage 2 and an L-shaped outflow passage 3 on the other side. A synthetic resin valve seat is provided at an upper end opening of the inflow passage 2. The seat 4 is attached by crimping means. A partially spherical shell-shaped metal diaphragm 5 which is slightly bulged upward is provided facing the valve seat 4 and the peripheral edge of the diaphragm 5 is formed on the minute projections on the opening recess 40 of the valve box 1 and on the lower outer periphery. The diaphragm 5 is sandwiched between the lower end surface of the housing 6 having the flange portion 65, and the nut 10 is screwed into the outer peripheral male screw 66 formed on the valve box 1 so that the diaphragm 5 is provided between the housing 6 and the opening recess 40 of the valve box 1.
Are sealed and attached. A valve rod 7 which is formed in the inner circumference of the housing 6 and which is screwed with a screw to move up and down by screwing, is slidably fitted in a recessed hole 72 in the lower portion of the valve rod, and the diaphragm 5 is closed. The seat 8 includes a valve body 8 that is pressed toward the seat 4 and a plurality of disc springs 9 that are interposed between the valve body 8 and the valve rod 7. Therefore, when the valve rod 7 rotates and descends, the valve rod 7 compresses the disc spring 9 and, via the valve body 8, the diaphragm 5
Is pressed directly against the valve seat 4 to close the valve.
【００１２】このときの皿ばね９の発生力は大きくかつ
一定に保持されるから長期的なシール性も良好である。
一方弁棒７が逆回転して上昇すると皿ばね９の圧縮力は
解除され、これと共にダイヤフラム５の自己復元力によ
って弁体８は押し上げられ開弁状態となる。尚、このメ
タルダイヤフラム弁は半導体製造装置などの反応ガスや
プロセスガス制御の開閉弁として用いられるから弁箱等
はSUS316L,ダイヤフラム５はCo基合金やNi−Co合金等か
らなり流入流路などの接ガス面は電解研磨を施してい
る。At this time, the generated force of the disc spring 9 is large and kept constant, so that the long-term sealing property is also good.
On the other hand, when the valve rod 7 rotates in the reverse direction and rises, the compressive force of the disc spring 9 is released, and at the same time, the valve body 8 is pushed up by the self-restoring force of the diaphragm 5 to open the valve. Since this metal diaphragm valve is used as an on-off valve for controlling reaction gas or process gas in semiconductor manufacturing equipment, the valve box is made of SUS316L, and the diaphragm 5 is made of Co-based alloy or Ni-Co alloy, etc. The gas contact surface is electropolished.
【００１３】以上のメタルダイヤフラム弁において、弁
棒７の上端にはハンドル受け11をセレーション加工71な
どによって一体的に固定し、このハンドル受け11の上面
にスプリング30を介してハンドル側に装入し、図２に示
すようにハンドル20の横側面から対向して打込んだロッ
クピン21とストッパーピン22によってハンドル受け11の
下動を受け止め、結局ハンドル受け11に対してハンドル
20は上下動可能に取付けられている。ハンドル受け11と
ハンドル20は棒状あるいは細長い菱形状などとして流れ
方向が示せるようにしているが、ハンドル20とハンドル
受け11は上述のように上下に摺動し押し回し操作するの
で、この摺動がスムーズに行われかつ耐久性が必要とな
る。その為ハンドル受け11の左右両側にドライベアリン
グ51を設け、この中に摺動案内の作用をなす平行ピン50
をそれぞれに貫入して安定化を計っている。In the above metal diaphragm valve, the handle receiver 11 is integrally fixed to the upper end of the valve rod 7 by serration processing 71 or the like, and the handle receiver 11 is loaded on the handle side via the spring 30. 2, as shown in FIG. 2, the lock pin 21 and the stopper pin 22 which are driven from the lateral side of the handle 20 to face each other receive the downward movement of the handle receiver 11, and eventually the handle receiver 11 receives the handle.
20 is mounted so that it can move up and down. The handle receiver 11 and the handle receiver 20 are rod-shaped or elongated rhombus-shaped so that the flow direction can be shown.However, since the handle 20 and the handle receiver 11 are slid up and down and pushed and operated as described above, this sliding movement It needs to be smooth and durable. For this reason, dry bearings 51 are provided on both the left and right sides of the handle receiver 11, and the parallel pins 50 that function as sliding guides are installed in the dry bearings 51.
We are trying to stabilize each of them.
【００１４】ハンドル受け11の下面には三角状の突起部
12（図３参照）が形成されており、突起部12の両端面12
ａ，12ｂは下記するハウジング側の回転規制端面62ａ，
62ｂと当接するようになっている。尚、本例の弁は90度
回転規制をなすため突起部12の両端面間は90度の角度と
なるように直角三角形状とし、この部分はハウジング側
の半円環状のつば部61以外の切欠き部64部分に収まるよ
うにしている。また突起部12のほぼ中央部を割るように
して上記ストッパーピン22が打込まれている。一方、ハ
ウジング６の上端部には円環状の凹溝60と、その上部に
半円環状のつば部61が形成されており、このつば部61は
180°にわたって設けられ残りは凹溝60に連続した切欠
いた部分64となっている。またつば部61の両端面は三角
突起部12の端面12ａ，12ｂと当接する回転規制面62ａ，
62ｂとなっており、つば部自身には上記ロックピン21が
嵌まる一方の切欠き凹溝63ａと、この凹溝63ａから90度
隔てた位置に他方の切欠き凹溝63ｂが形成されている。A triangular protrusion is provided on the lower surface of the handle receiver 11.
12 (see FIG. 3) are formed, and both end surfaces 12 of the protrusion 12 are formed.
a and 12b are rotation limiting end faces 62a on the housing side, which will be described below.
It comes in contact with 62b. Since the valve of this example regulates 90-degree rotation, it has a right-angled triangle shape so that the angle between the two end faces of the protrusion 12 is 90 degrees, and this portion is different from the semi-annular collar portion 61 on the housing side. It fits in the notch 64. Further, the stopper pin 22 is driven so as to break almost the central portion of the protrusion 12. On the other hand, an annular groove 60 is formed in the upper end portion of the housing 6, and a semi-annular collar portion 61 is formed in the upper portion thereof.
It is provided over 180 ° and the rest is a notched portion 64 continuous with the concave groove 60. Further, both end surfaces of the flange portion 61 are in contact with the end surfaces 12a and 12b of the triangular protrusion portion 12 and the rotation regulating surfaces 62a,
62b, one notch groove 63a into which the lock pin 21 is fitted, and the other notch groove 63b at a position 90 degrees apart from the groove 63a are formed on the collar portion itself. .
【００１５】次にこのロック機構付きメタルダイヤフラ
ム弁Ｖの作動について説明する。まず通常の開弁あるい
は閉弁状態ではハンドル20は図２の右側点線で示すよう
に浮き上がった状態にあり、従ってこのときロックピン
21は一方の切欠き溝63ａに嵌ってハンドル20の回転はロ
ック状態にある。同時に回転規制突起の一方の端面12ａ
とつば部61の一方の規制端面62ａは当接して開弁状態に
規制されている。この状態からハンドル20をスプリング
30に抗して押し下げると、ロックピン21と一方の切欠き
溝63ａの嵌合が解除されロックピン21は円環状の凹溝60
内に位置し（図２の状態）回転が可能となる。ここから
ハンドル20を押しながら右方向に回すと90度回転したと
ころでハウジング側の他方の規制端面62ｂに対してハン
ドル受け側の他方の規制突起面12ｂが当接して動きが止
まる。このとき弁の方では90度回転によって弁棒７が降
下し皿ばね９を押圧するから、この皿ばね９の力は弁体
８を押してダイヤフラム５を一定圧力で弁座４に押し付
けて閉弁となる。一方このときロックピン21の上部には
他方の切欠き溝63ｂが位置しているからハンドル20から
手を離すとスプリング30によりハンドル20が浮き上が
り、同時にロックピン21が他方の切欠き溝63ｂに嵌入し
て閉弁状態にロックされる。再び開弁状態にするにはハ
ンドル20を押し下げ、ロックピン21と他方の切欠き溝63
ｂの嵌合を解除した上で先程とは逆方向にハンドルを90
度回転させる。すると一方の端面62ａと一方の突起12ａ
が当接することによってハンドル20が衝止し、手を離す
ことによってロックピン21と一方の切欠き溝63ａの嵌合
がなされ開弁状態にロックされる。Next, the operation of the metal diaphragm valve V with the lock mechanism will be described. First, when the valve is normally opened or closed, the handle 20 is in a lifted state as shown by the dotted line on the right side of FIG.
Reference numeral 21 is fitted in one notch groove 63a and the rotation of the handle 20 is in a locked state. At the same time, one end face 12a of the rotation regulating protrusion
One regulating end surface 62a of the brim portion 61 abuts and is regulated in the valve open state. From this state, spring the handle 20
When the lock pin 21 is pushed down against 30, the fitting of the lock pin 21 and the one notch groove 63a is released, and the lock pin 21 becomes an annular groove 60.
It is located inside (state of FIG. 2) and can rotate. When the handle 20 is pushed to the right and rotated 90 degrees from here, the other regulating end face 62b on the housing side comes in contact with the other regulating projection face 12b on the handle receiving side and stops moving. At this time, in the valve, the valve rod 7 is lowered by 90 degrees and presses the disc spring 9, so that the force of the disc spring 9 pushes the valve body 8 to press the diaphragm 5 against the valve seat 4 at a constant pressure to close the valve. Becomes On the other hand, at this time, since the other notch groove 63b is located above the lock pin 21, when the hand is released from the handle 20, the handle 20 is lifted by the spring 30, and at the same time, the lock pin 21 is fitted into the other notch groove 63b. Then, the valve is closed and locked. To open the valve again, push down the handle 20 to lock the lock pin 21 and the other notch 63
After releasing the mating of b, move the handle 90
Rotate degrees. Then, one end face 62a and one protrusion 12a
Is abutted against the handle 20, the handle 20 is stopped, and when the hand is released, the lock pin 21 and one notch groove 63a are fitted to each other to lock the valve in the open state.
【００１６】[0016]
【発明の効果】本発明によれば、ハンドルを押し回すこ
とによって閉弁または開弁位置の規制がなされ、この際
手を離すことによってこの位置がロックされる。よって
人や物等が誤ってハンドルに触れても閉弁または開弁状
態を確実に保持でき、安全性、信頼性が向上した。According to the present invention, the valve closing or opening position is regulated by pushing and turning the handle, and the position is locked by releasing the hand. Therefore, even if a person or an object touches the handle by mistake, the closed or opened state can be reliably maintained, and safety and reliability are improved.
【図１】 本発明のロック機構付きメタルダイヤフラム
弁の一実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of a metal diaphragm valve with a lock mechanism according to the present invention.
【図２】 図１の上部横断面図である。2 is a top cross-sectional view of FIG. 1. FIG.
【図３】 図２のＡ−Ａ断面矢視図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
【図４】 従来のメタルダイヤフラム弁の一例を示す縦
断面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing an example of a conventional metal diaphragm valve.
１…弁箱 ２…流入流路
３…流出流路 ４…弁座シート ５…メタルダイヤフラム
６…ハウジング ７…弁棒 ８…弁体
９…皿ばね 10…ナット 11…ハンドル受け
12…回転規制用突起部 12ａ，12ｂ…規制端面 20…ハンドル
21…ロックピン 22…ストッパーピン 30…スプリング
50…平行ピン 51…ドライベアリング 60…凹溝
61…つば部 62ａ，62ｂ…規制端面 63ａ，63ｂ…切欠き凹溝
64…切欠き部1 ... Valve box 2 ... Inflow channel
3 ... Outflow passage 4 ... Valve seat 5 ... Metal diaphragm
6 ... Housing 7 ... Valve rod 8 ... Valve body
9 ... Disc spring 10 ... Nut 11 ... Handle receiving
12 ... Rotation restriction protrusions 12a, 12b ... Regulation end surface 20 ... Handle
21 ... Lock pin 22 ... Stopper pin 30 ... Spring
50… Parallel pin 51… Dry bearing 60… Concave groove
61 ... Collar portion 62a, 62b ... Regulating end surface 63a, 63b ... Notch groove
64 ... Notch
Claims (2)
路端に弁座を設けた弁箱と、前記弁座に対向配置しその
周縁を挾着したメタルダイヤフラムと、ハウジング内で
前記メタルダイヤフラムを押圧する弁体と、ハウジング
内に挿通螺合され回転して昇降する弁棒と、この弁棒と
前記弁体との間に介在したばね部材と、前記弁棒に取付
けたハンドルとを有するメタルダイアフラム弁におい
て、 前記弁棒の上端に下面に回転規制用突起部を有するハン
ドル受け部材を固定し、このハンドル受け部材の上面と
ハンドル内面との間にスプリングを装入すると共にハン
ドル内に前記ハンドル受け部材を上下動可能に装着し、
ハンドル受け部材の下動を阻止すると共にハンドルの回
転を規制するロックピンとこのロックピンに対向する位
置にストッパーピンをそれぞれ設け、 前記ハウジングの上端部には前記ロックピンが解除され
たときの移動通路となる円環状の凹溝と、その上部に半
円環状のつば部を設け、このつば部には前記ハンドル受
け部材の回転規制用突出部と当接する規制端面及び前記
ロックピンが開弁及び閉弁時に嵌合する切欠き溝を所定
角度だけ隔てて２カ所設け、 前記ハンドルを前記スプリングに抗して押し回したとき
前記ロックピンと一方の切欠き溝の嵌合が解除され、所
定角度回したとき前記ハンドル受け部材の回転規制用突
出部と前記ハウジング上端の規制端面が当接し回転が規
制されると共にロックピンと他方の切欠き溝が嵌合して
ロックするようにしたことを特徴とするロック機構付き
メタルダイヤフラム弁。1. A valve box having an inflow passage and an outflow passage and having a valve seat at either end of the passage, a metal diaphragm disposed opposite to the valve seat and having its peripheral edge sandwiched, and a housing Attached to the valve body, a valve body that presses the metal diaphragm, a valve rod that is screwed into the housing and rotates and moves up and down, a spring member interposed between the valve rod and the valve body, In a metal diaphragm valve having a handle, a handle receiving member having a rotation restricting projection on the lower surface is fixed to the upper end of the valve rod, and a spring is inserted between the upper surface of the handle receiving member and the inner surface of the handle. Mount the handle receiving member in the handle so that it can move up and down,
A lock pin that blocks downward movement of the handle receiving member and restricts rotation of the handle and a stopper pin at a position facing the lock pin are provided respectively, and a movement path when the lock pin is released is provided at an upper end portion of the housing. And a semi-circular collar portion on the upper part of the groove, which has a regulating end surface that abuts against the rotation regulating protrusion of the handle receiving member and the lock pin that opens and closes. Two notched grooves that fit at the time of valve operation are provided at a predetermined angle apart, and when the handle is pushed and rotated against the spring, the lock pin and one notched groove are disengaged and turned by a predetermined angle. At this time, the rotation restricting protrusion of the handle receiving member and the restricting end surface of the upper end of the housing come into contact with each other to restrict the rotation, and the lock pin and the other notch groove are fitted to each other to lock the lock. Metal diaphragm valve with a lock mechanism, characterized in that on the way to.
下動するとき、これらの案内をする案内ピンをハンドル
受け部材の両端にベアリング部材を介してハンドル側に
固設したことを特徴とする請求項１記載のロック機構付
きメタルダイヤフラム弁。2. A guide pin for guiding the handle receiving member when the handle receiving member moves up and down in the handle, is fixed to both ends of the handle receiving member via bearing members on the handle side. The metal diaphragm valve with the lock mechanism described in 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16507995A JPH0914470A (en) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Metal diaphragm valve with locking mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16507995A JPH0914470A (en) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Metal diaphragm valve with locking mechanism |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0914470A true JPH0914470A (en) | 1997-01-14 |
Family
ID=15805477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16507995A Pending JPH0914470A (en) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | Metal diaphragm valve with locking mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0914470A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004242775A (en) * | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Daiichi Shokai Co Ltd | Game machine |
| US9512946B2 (en) | 2012-05-08 | 2016-12-06 | Ihara Science Corporation | Joint |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP16507995A patent/JPH0914470A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004242775A (en) * | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Daiichi Shokai Co Ltd | Game machine |
| US9512946B2 (en) | 2012-05-08 | 2016-12-06 | Ihara Science Corporation | Joint |
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