JPH09141879A - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドの製造方法Info
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- JPH09141879A JPH09141879A JP30930095A JP30930095A JPH09141879A JP H09141879 A JPH09141879 A JP H09141879A JP 30930095 A JP30930095 A JP 30930095A JP 30930095 A JP30930095 A JP 30930095A JP H09141879 A JPH09141879 A JP H09141879A
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- Japan
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- substrate
- top plate
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェットプリンタヘッドの製造工程に
おける基板と天板とを接着するときに、接着剤が毛細管
現象により基板に形成した溝内に入り込むことを防止す
る。 【解決手段】 基板2に形成した溝8の密度が4本/m
m以上の高密度のインクジェットプリンタヘッド1を製
造するとき、粘度が2000cps以上の高粘度の接着
剤17を転写部材16に薄く均一に塗布し、この転写部
材16における接着剤17を塗布した面を基板2の接着
面又は天板の接着面に当接させてその接着剤17を接着
面に転写し、転写した接着剤17を介して基板2と天板
とを接合させて接着する。接着剤17を介して基板2と
天板とを接合させたとき、接着剤17が高粘度であるた
め、毛細管現象による溝8内への接着剤17の入り込み
が起こらない。
おける基板と天板とを接着するときに、接着剤が毛細管
現象により基板に形成した溝内に入り込むことを防止す
る。 【解決手段】 基板2に形成した溝8の密度が4本/m
m以上の高密度のインクジェットプリンタヘッド1を製
造するとき、粘度が2000cps以上の高粘度の接着
剤17を転写部材16に薄く均一に塗布し、この転写部
材16における接着剤17を塗布した面を基板2の接着
面又は天板の接着面に当接させてその接着剤17を接着
面に転写し、転写した接着剤17を介して基板2と天板
とを接合させて接着する。接着剤17を介して基板2と
天板とを接合させたとき、接着剤17が高粘度であるた
め、毛細管現象による溝8内への接着剤17の入り込み
が起こらない。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、オンデマンド方式
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、インク供給部に接続して並設した
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
【0003】このようなインクジェットプリンタヘッド
の製造方法としては、少なくとも一部を圧電部材で形成
した基板に多数の溝を溝加工し、この基板に天板を接着
剤で接着する方法が知られている。しかし、溝が非常に
微細であるため、基板と天板とを接着する接着剤が溝内
に入り込んで溝を目詰まりさせ、インク滴の吐出性能を
低下させるという欠点がある。
の製造方法としては、少なくとも一部を圧電部材で形成
した基板に多数の溝を溝加工し、この基板に天板を接着
剤で接着する方法が知られている。しかし、溝が非常に
微細であるため、基板と天板とを接着する接着剤が溝内
に入り込んで溝を目詰まりさせ、インク滴の吐出性能を
低下させるという欠点がある。
【0004】このような欠点を解決したインクジェット
プリンタヘッドの製造方法としては、特公昭60−52
951号公報に開示されたように、低粘度接着剤を平面
板上にゴムローラで均一に展延させ、溝を形成した基板
を平面板上に展延させた接着剤に押し付けてその接着剤
を基板に転写し、転写した接着剤を介して基板と天板と
を接合させて接着したものがある。
プリンタヘッドの製造方法としては、特公昭60−52
951号公報に開示されたように、低粘度接着剤を平面
板上にゴムローラで均一に展延させ、溝を形成した基板
を平面板上に展延させた接着剤に押し付けてその接着剤
を基板に転写し、転写した接着剤を介して基板と天板と
を接合させて接着したものがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】特公昭60−5295
1号公報に記載された製造方法では、平面板上にゴムロ
ーラで接着剤を薄く均一に展延させるために低粘度の接
着剤を用いている。このため、基板と天板とを接合した
ときに、接着剤が毛細管現象により溝内に入り込み、溝
を目詰まりさせるという欠点がある。特に、溝の密度が
4本/mm以上である高解像度のインクジェットプリン
タヘッドを製造する場合には、接着剤による溝の目詰ま
りが発生しやすい。
1号公報に記載された製造方法では、平面板上にゴムロ
ーラで接着剤を薄く均一に展延させるために低粘度の接
着剤を用いている。このため、基板と天板とを接合した
ときに、接着剤が毛細管現象により溝内に入り込み、溝
を目詰まりさせるという欠点がある。特に、溝の密度が
4本/mm以上である高解像度のインクジェットプリン
タヘッドを製造する場合には、接着剤による溝の目詰ま
りが発生しやすい。
【0006】そこで請求項1記載の発明は、基板と天板
とを接着剤で接着するときに、基板に形成した溝内に接
着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりすることを防止
できるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供
する。
とを接着剤で接着するときに、基板に形成した溝内に接
着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりすることを防止
できるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供
する。
【0007】請求項2記載の発明は、基板及び天板とノ
ズル板とを接着剤で接着するときに、基板に形成した溝
内に接着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりすること
を防止できるインクジェットプリンタヘッドの製造方法
を提供する。
ズル板とを接着剤で接着するときに、基板に形成した溝
内に接着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりすること
を防止できるインクジェットプリンタヘッドの製造方法
を提供する。
【0008】請求項3記載の発明は、転写部材への接着
剤の塗布及び転写部材から基板等の接着面への接着剤の
転写を良好に行なえるインクジェットプリンタヘッドの
製造方法を提供する。
剤の塗布及び転写部材から基板等の接着面への接着剤の
転写を良好に行なえるインクジェットプリンタヘッドの
製造方法を提供する。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
板厚方向に分極させた少なくとも1枚の圧電部材を含む
基板と、この基板に交互に形成した少なくとも一部が前
記圧電部材からなる多数の側壁とこれらの側壁間に位置
する4本/mm以上の溝と、前記側壁に設けた電極と、
前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズル
板とを前記基板に接着して形成した多数の圧力室とを有
するインクジェットプリンタヘッドの製造方法におい
て、粘度が2000cps以上の高粘度の接着剤を転写
部材に薄く均一に塗布し、この転写部材における接着剤
を塗布した面を前記基板と前記天板とを接着するそれぞ
れの接着面のいずれか一方に当接させてこの接着剤を接
着面に転写し、転写した接着剤を介して前記基板と前記
天板とを接合させて接着したので、接着剤が2000c
ps以上の高粘度であるため、この接着剤を介して基板
と天板とを接合させたときに接着剤が毛細管現象で溝内
に入り込むことを防止できる。
板厚方向に分極させた少なくとも1枚の圧電部材を含む
基板と、この基板に交互に形成した少なくとも一部が前
記圧電部材からなる多数の側壁とこれらの側壁間に位置
する4本/mm以上の溝と、前記側壁に設けた電極と、
前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を覆うノズル
板とを前記基板に接着して形成した多数の圧力室とを有
するインクジェットプリンタヘッドの製造方法におい
て、粘度が2000cps以上の高粘度の接着剤を転写
部材に薄く均一に塗布し、この転写部材における接着剤
を塗布した面を前記基板と前記天板とを接着するそれぞ
れの接着面のいずれか一方に当接させてこの接着剤を接
着面に転写し、転写した接着剤を介して前記基板と前記
天板とを接合させて接着したので、接着剤が2000c
ps以上の高粘度であるため、この接着剤を介して基板
と天板とを接合させたときに接着剤が毛細管現象で溝内
に入り込むことを防止できる。
【0010】請求項2記載の発明は、板厚方向に分極さ
せた少なくとも1枚の圧電部材を含む基板と、この基板
に交互に形成した少なくとも一部が前記圧電部材からな
る多数の側壁とこれらの側壁間に位置する4本/mm以
上の溝と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の上部を覆
う天板と前記溝の正面部を覆うノズル板とを前記基板に
接着して形成した多数の圧力室とを有するインクジェッ
トプリンタヘッドの製造方法において、粘度が2000
cps以上の高粘度の接着剤を転写部材に薄く均一に塗
布し、この転写部材における接着剤を塗布した面を前記
基板と前記天板とを接着した部材における前記ノズル板
との接着面に当接させてこの接着剤を接着面に転写し、
転写した接着剤を介して前記基板及び前記天板と前記ノ
ズル板とを接合させて接着したので、接着剤が2000
cps以上の高粘度であるため、この接着剤を介して基
板及び天板とノズル板とを接合させたときに接着剤が毛
細管現象で溝内に入り込むということを防止できる。
せた少なくとも1枚の圧電部材を含む基板と、この基板
に交互に形成した少なくとも一部が前記圧電部材からな
る多数の側壁とこれらの側壁間に位置する4本/mm以
上の溝と、前記側壁に設けた電極と、前記溝の上部を覆
う天板と前記溝の正面部を覆うノズル板とを前記基板に
接着して形成した多数の圧力室とを有するインクジェッ
トプリンタヘッドの製造方法において、粘度が2000
cps以上の高粘度の接着剤を転写部材に薄く均一に塗
布し、この転写部材における接着剤を塗布した面を前記
基板と前記天板とを接着した部材における前記ノズル板
との接着面に当接させてこの接着剤を接着面に転写し、
転写した接着剤を介して前記基板及び前記天板と前記ノ
ズル板とを接合させて接着したので、接着剤が2000
cps以上の高粘度であるため、この接着剤を介して基
板及び天板とノズル板とを接合させたときに接着剤が毛
細管現象で溝内に入り込むということを防止できる。
【0011】請求項3記載の発明は、請求項1又は2記
載の発明において、転写部材をオレフィン系樹脂部材と
したので、この転写部材への接着剤の塗布を薄く均一に
行なえるとともに基板や天板の接着面への接着剤の転写
を良好に行なえる。
載の発明において、転写部材をオレフィン系樹脂部材と
したので、この転写部材への接着剤の塗布を薄く均一に
行なえるとともに基板や天板の接着面への接着剤の転写
を良好に行なえる。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図1
ないし図5に基づいて説明する。インクジェットプリン
タヘッド1は図1に示すように、基板2に対して天板3
とノズル板4とを接着することにより形成している。
ないし図5に基づいて説明する。インクジェットプリン
タヘッド1は図1に示すように、基板2に対して天板3
とノズル板4とを接着することにより形成している。
【0013】前記基板2は、底板5と2枚の圧電部材
6,7とを接着して三層構造に形成する。前記底板5
は、剛性が高く熱変形の少ないセラミックスやガラスを
材料として形成し、その板厚寸法を0.5〜5mmとす
る。前記圧電部材6,7は、板厚方向に分極したものを
その分極方向が逆向きとなるように接着する。
6,7とを接着して三層構造に形成する。前記底板5
は、剛性が高く熱変形の少ないセラミックスやガラスを
材料として形成し、その板厚寸法を0.5〜5mmとす
る。前記圧電部材6,7は、板厚方向に分極したものを
その分極方向が逆向きとなるように接着する。
【0014】前記基板2に対して溝加工を施すことによ
り、圧電部材7の上面から圧電部材6の内部に達する互
いに平行な多数の溝8とこれらの溝8を隔てる多数の側
壁9とを交互に形成する。この溝加工は、ICウエハの
切断等に用いるダイシングソーのダイヤモンドホイール
等を用いて行ない、これらの溝8を、基板2の前面側に
おいて開口し、奥側を閉塞した形状に形成する。溝8の
寸法はインクジェットプリンタヘッドの仕様により決定
するが、例えば、深さ寸法を0.2〜1mm、幅寸法を
20〜200μm、長さ寸法を5〜50mmに形成す
る。
り、圧電部材7の上面から圧電部材6の内部に達する互
いに平行な多数の溝8とこれらの溝8を隔てる多数の側
壁9とを交互に形成する。この溝加工は、ICウエハの
切断等に用いるダイシングソーのダイヤモンドホイール
等を用いて行ない、これらの溝8を、基板2の前面側に
おいて開口し、奥側を閉塞した形状に形成する。溝8の
寸法はインクジェットプリンタヘッドの仕様により決定
するが、例えば、深さ寸法を0.2〜1mm、幅寸法を
20〜200μm、長さ寸法を5〜50mmに形成す
る。
【0015】つぎに、前記溝8と前記側壁9とを形成し
た前記基板2に対して無電解メッキ処理を施すことによ
り、側壁9の側面に電極10を形成し、及び、前記圧電
部材7の上面にこれらの電極10と連続する配線パター
ン11を形成する。さらに、この基板2を用いてインク
ジェットプリンタヘッド1を完成させたときに、電極1
0がインクと接触することを防止するために、電極10
の上に絶縁膜12を被覆する。
た前記基板2に対して無電解メッキ処理を施すことによ
り、側壁9の側面に電極10を形成し、及び、前記圧電
部材7の上面にこれらの電極10と連続する配線パター
ン11を形成する。さらに、この基板2を用いてインク
ジェットプリンタヘッド1を完成させたときに、電極1
0がインクと接触することを防止するために、電極10
の上に絶縁膜12を被覆する。
【0016】このようにして溝8や側壁9、及び、電極
10や絶縁膜12を形成した基板2に対し、溝8の上部
を覆うように前記天板3を接着し、及び、溝8の正面部
を覆うように前記ノズル板4を接着し、各溝8をこれら
の天板3とノズル板4とで囲むことにより多数の圧力室
13を形成する。前記ノズル板4には、各圧力室13に
連通する多数のインク吐出口14を形成し、前記天板3
の下面には、各圧力室13に連通するとともにこれらの
圧力室13にインクを供給するためのインク供給管(図
示せず)を接続するインク供給路15を形成する。
10や絶縁膜12を形成した基板2に対し、溝8の上部
を覆うように前記天板3を接着し、及び、溝8の正面部
を覆うように前記ノズル板4を接着し、各溝8をこれら
の天板3とノズル板4とで囲むことにより多数の圧力室
13を形成する。前記ノズル板4には、各圧力室13に
連通する多数のインク吐出口14を形成し、前記天板3
の下面には、各圧力室13に連通するとともにこれらの
圧力室13にインクを供給するためのインク供給管(図
示せず)を接続するインク供給路15を形成する。
【0017】ここで、前記基板2と前記天板3との接着
工程を図2に基づいて説明する。転写部材である可撓性
を有するPET(ポリエチレンテレフタレート)フィル
ム16の一方の面に接着剤17を薄く均一に塗布する。
接着剤17としては、高粘度の接着剤、例えば、粘度が
約80000cpsである住友スリーエム社製の二液性
常温硬化型のDP−460(商品名)を使用し、この高
粘度の接着剤17に溶剤として同重量のトルエンを混合
して希釈化し、粘度が数十〜百数十cpsの混合液とす
る。この混合液をPETフィルム16上にスピンコー
ト、ロールコート、ディップ等のコーティング法で塗布
し、塗布後にしばらく乾燥させてトルエンを揮発させ、
PETフィルム16上に高粘度に戻した接着剤を残留さ
せる。スピンコートの場合には、回転数を1000〜5
000rpmとすることにより、接着剤17を1〜20
μmの厚さに塗布することができる。
工程を図2に基づいて説明する。転写部材である可撓性
を有するPET(ポリエチレンテレフタレート)フィル
ム16の一方の面に接着剤17を薄く均一に塗布する。
接着剤17としては、高粘度の接着剤、例えば、粘度が
約80000cpsである住友スリーエム社製の二液性
常温硬化型のDP−460(商品名)を使用し、この高
粘度の接着剤17に溶剤として同重量のトルエンを混合
して希釈化し、粘度が数十〜百数十cpsの混合液とす
る。この混合液をPETフィルム16上にスピンコー
ト、ロールコート、ディップ等のコーティング法で塗布
し、塗布後にしばらく乾燥させてトルエンを揮発させ、
PETフィルム16上に高粘度に戻した接着剤を残留さ
せる。スピンコートの場合には、回転数を1000〜5
000rpmとすることにより、接着剤17を1〜20
μmの厚さに塗布することができる。
【0018】PETフィルム16に接着剤17を塗布し
た後、このPETフィルム16における接着剤17を塗
布した面を基板2における天板3との接着面に当接さ
せ、PETフィルム16の上から弾性材ローラ18を押
し当てて1〜数回転動させ、接着剤17を基板2の接着
面に転写する。
た後、このPETフィルム16における接着剤17を塗
布した面を基板2における天板3との接着面に当接さ
せ、PETフィルム16の上から弾性材ローラ18を押
し当てて1〜数回転動させ、接着剤17を基板2の接着
面に転写する。
【0019】このようにして接着剤17を転写した基板
2の接着面に天板3を接合し、加圧した状態で一定時間
保持して接着剤17を硬化させることにより基板2と天
板3とを接着する。接着剤17として常温硬化型のDP
−460を使用した場合にはそのまま放置してもよい
が、65℃のオーブン内に入れて2時間以上放置すれば
完全に硬化させることができる。
2の接着面に天板3を接合し、加圧した状態で一定時間
保持して接着剤17を硬化させることにより基板2と天
板3とを接着する。接着剤17として常温硬化型のDP
−460を使用した場合にはそのまま放置してもよい
が、65℃のオーブン内に入れて2時間以上放置すれば
完全に硬化させることができる。
【0020】ここで、基板2と天板3とを接着する際
に、溝8が接着剤17で塞がれないようにすることが必
要であり、使用する接着剤17を選定するために行なっ
た実験結果を表1〜表3に基づいて説明する。この実験
では、溝8の密度を4本/mm、8本/mm、12本/
mmとした3種類の基板2を製作し、溝8の幅と側壁9
の幅との寸法比を1:1とし、溝8の深さ寸法を幅寸法
の3倍とした。基板2の接着面への接着剤17の転写
は、接着剤17を塗布したPETフィルム16を基板2
の接着面に当接させ、その上から弾性材ローラ18を押
し当てて転動させることにより行なった。PETフィル
ム16上に塗布した接着剤17の厚さを、5μm,10
μm,15μmの3種類とした。基板2の接着面に接着
剤17を転写した後、ガラス製の天板3を接合させて接
着し、接着剤17の硬化後に接着剤17による溝8の詰
まり具合を観察した。
に、溝8が接着剤17で塞がれないようにすることが必
要であり、使用する接着剤17を選定するために行なっ
た実験結果を表1〜表3に基づいて説明する。この実験
では、溝8の密度を4本/mm、8本/mm、12本/
mmとした3種類の基板2を製作し、溝8の幅と側壁9
の幅との寸法比を1:1とし、溝8の深さ寸法を幅寸法
の3倍とした。基板2の接着面への接着剤17の転写
は、接着剤17を塗布したPETフィルム16を基板2
の接着面に当接させ、その上から弾性材ローラ18を押
し当てて転動させることにより行なった。PETフィル
ム16上に塗布した接着剤17の厚さを、5μm,10
μm,15μmの3種類とした。基板2の接着面に接着
剤17を転写した後、ガラス製の天板3を接合させて接
着し、接着剤17の硬化後に接着剤17による溝8の詰
まり具合を観察した。
【0021】
【表1】
【0022】
【表2】
【0023】
【表3】
【0024】各表中の評価基準は、以下のことを意味す
る。 ○:接着剤による目詰まりが溝断面積の10%未満で良
好であり、図5(a)に示した状態である。 △:接着剤による目詰まりが溝断面積の10%以上30
%未満で使用は可能であり、図5(b)に示した状態で
ある。 ×:接着剤による目詰まりが溝断面積の30%以上で使
用不可能であり、図5(c)に示した状態である。 △*,×*:目詰まりが接着剤の量が多いために生じた
ものであり、接着剤が毛細管現象で溝内に入り込んだ生
じたものではなく、図5(d)に示した状態である。
る。 ○:接着剤による目詰まりが溝断面積の10%未満で良
好であり、図5(a)に示した状態である。 △:接着剤による目詰まりが溝断面積の10%以上30
%未満で使用は可能であり、図5(b)に示した状態で
ある。 ×:接着剤による目詰まりが溝断面積の30%以上で使
用不可能であり、図5(c)に示した状態である。 △*,×*:目詰まりが接着剤の量が多いために生じた
ものであり、接着剤が毛細管現象で溝内に入り込んだ生
じたものではなく、図5(d)に示した状態である。
【0025】以上の実験結果によれば、接着剤17の粘
度を2000cps以上にすれば、溝8内への毛細管現
象による接着剤17の入り込みを防止できることが判明
した。例外として、粘度が2000cpsの一液性エポ
キシ樹脂の結果が悪かったが、これは、熱硬化時に粘度
が下がり、最低粘度が約1000cpsとなるためであ
る。同様に、他の一液性エポキシ樹脂も熱硬化時には粘
度が下がるが、最低粘度が2000cps以上であった
ために良好な結果が得られた。
度を2000cps以上にすれば、溝8内への毛細管現
象による接着剤17の入り込みを防止できることが判明
した。例外として、粘度が2000cpsの一液性エポ
キシ樹脂の結果が悪かったが、これは、熱硬化時に粘度
が下がり、最低粘度が約1000cpsとなるためであ
る。同様に、他の一液性エポキシ樹脂も熱硬化時には粘
度が下がるが、最低粘度が2000cps以上であった
ために良好な結果が得られた。
【0026】このような実験結果から、上述したDP−
460は使用する接着剤17として適しているが、二液
型であるために短時間で接着作業を行なわなければなら
ないという制限があり、また、油性インクを用いた場合
には耐溶剤性が劣る。そこで、接着作業時間の制約を受
けず、耐溶剤性に優れた接着剤17としては、一液加熱
硬化型の接着剤、例えば、粘度が25000cpsであ
る田岡化学工業製のAH3041W(商品名)を使用で
きる。このAH3041Wを使用する場合には、重量比
30%のトルエンで混合することにより粘度を数十〜数
百cpsとしてPETフィルム16に塗布し、乾燥させ
てトルエンを揮発させた後に基板2の接着面に転写す
る。
460は使用する接着剤17として適しているが、二液
型であるために短時間で接着作業を行なわなければなら
ないという制限があり、また、油性インクを用いた場合
には耐溶剤性が劣る。そこで、接着作業時間の制約を受
けず、耐溶剤性に優れた接着剤17としては、一液加熱
硬化型の接着剤、例えば、粘度が25000cpsであ
る田岡化学工業製のAH3041W(商品名)を使用で
きる。このAH3041Wを使用する場合には、重量比
30%のトルエンで混合することにより粘度を数十〜数
百cpsとしてPETフィルム16に塗布し、乾燥させ
てトルエンを揮発させた後に基板2の接着面に転写す
る。
【0027】基板2と天板3とを接着した後は、これら
の基板2と天板3とをダイシングソーのダイヤモンドホ
イール等で切断することによりノズル板4を接着する接
着面を形成する。ノズル板4は、電鋳法、エッチング
法、レーザ加工法等により形成することができ、導電体
で形成した場合には電極10に対する絶縁膜を成膜す
る。インク吐出口14は、口径を20〜100μmと
し、その形状を流体抵抗を考慮して図4に示すように先
端部に向かうにつれて次第に縮径するテーパ状に形成す
る。
の基板2と天板3とをダイシングソーのダイヤモンドホ
イール等で切断することによりノズル板4を接着する接
着面を形成する。ノズル板4は、電鋳法、エッチング
法、レーザ加工法等により形成することができ、導電体
で形成した場合には電極10に対する絶縁膜を成膜す
る。インク吐出口14は、口径を20〜100μmと
し、その形状を流体抵抗を考慮して図4に示すように先
端部に向かうにつれて次第に縮径するテーパ状に形成す
る。
【0028】基板2及び天板3を切断して形成した接着
面へのノズル板4の接着は、上述したように接着剤17
を塗布したPETフィルム16を用いて接着面へ接着剤
17を転写し、この接着剤17を介して基板2及び天板
3とノズル板4とを接合させて接着する。なお、この接
着面には反りが生じていないため、PETフィルム16
に代えて硬質の平面板に接着剤17を塗布し、この平面
板に接着面を押し当てて接着剤17を転写してもよい。
面へのノズル板4の接着は、上述したように接着剤17
を塗布したPETフィルム16を用いて接着面へ接着剤
17を転写し、この接着剤17を介して基板2及び天板
3とノズル板4とを接合させて接着する。なお、この接
着面には反りが生じていないため、PETフィルム16
に代えて硬質の平面板に接着剤17を塗布し、この平面
板に接着面を押し当てて接着剤17を転写してもよい。
【0029】このノズル板4の接着に際しても、上記表
1〜表3に示した実験と同じ条件で実験を行なったとこ
ろ、粘度が2000cps以上の高粘度の接着剤17を
使用すれば、基板2及び天板3に対してノズル板4を接
合させたとき、溝8内への毛細管現象による接着剤の入
り込みを防止できることが判明した。
1〜表3に示した実験と同じ条件で実験を行なったとこ
ろ、粘度が2000cps以上の高粘度の接着剤17を
使用すれば、基板2及び天板3に対してノズル板4を接
合させたとき、溝8内への毛細管現象による接着剤の入
り込みを防止できることが判明した。
【0030】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド1では、圧力室13内にインクを供
給した状態で配線パターン11を介して電極10へ電圧
を印加すると、図3に示すように、圧電部材6,7で形
成した側壁9が圧力室13の容積を大きくする方向へシ
ェアモード変形し、やがて、側壁9が急激に初期位置に
復帰する。そして、側壁9が急激に初期位置に復帰した
際に、圧力室13内のインクを加圧することによりその
インクの一部がインク吐出口14からインク滴として吐
出する。このインク滴の吐出時には、クロストークを防
止するため、偶数番目の圧力室13と奇数番目の圧力室
13とを交互に加圧する。インク吐出口14は図4に示
すように、先端部に向かうにつれて次第に縮径するテー
パ状に形成してあるため、インク滴をインク吐出口14
から効率良く吐出させることができる。
ットプリンタヘッド1では、圧力室13内にインクを供
給した状態で配線パターン11を介して電極10へ電圧
を印加すると、図3に示すように、圧電部材6,7で形
成した側壁9が圧力室13の容積を大きくする方向へシ
ェアモード変形し、やがて、側壁9が急激に初期位置に
復帰する。そして、側壁9が急激に初期位置に復帰した
際に、圧力室13内のインクを加圧することによりその
インクの一部がインク吐出口14からインク滴として吐
出する。このインク滴の吐出時には、クロストークを防
止するため、偶数番目の圧力室13と奇数番目の圧力室
13とを交互に加圧する。インク吐出口14は図4に示
すように、先端部に向かうにつれて次第に縮径するテー
パ状に形成してあるため、インク滴をインク吐出口14
から効率良く吐出させることができる。
【0031】ここで、基板2は底板5と2枚の圧電部材
6,7とを積層させて接着することにより形成している
ため、各部材5,6,7の材質の違いや厚さの違いが原
因となる反りを生じ、この反りは、基板2のサイズを大
きくすることに伴って大きくなる。このような反りが生
じている基板2の接着面に接着剤17を転写するため
に、接着剤17を塗布したPETフィルム16を接着面
に当接させ、その上から弾性材ローラ18を押し当てて
1〜数回転動させるという方法をとるため、接着剤17
を塗布したPETフィルム16が基板2の反りに応じて
撓み、基板2の接着面に対する接着剤17の転写を転写
ムラを生じることなく行なえる。特に、PETフィルム
16の上から弾性材ローラ18を押し当てて転動させる
ことにより、基板2が大型になるとともに反りが大きく
なった場合でも接着剤17の転写を良好に行なえる。こ
のようにして基板2の接着面への接着剤17の転写を転
写ムラを生ずることなく均一に行なえるため、基板2と
天板3との接着を確実に行なえる。
6,7とを積層させて接着することにより形成している
ため、各部材5,6,7の材質の違いや厚さの違いが原
因となる反りを生じ、この反りは、基板2のサイズを大
きくすることに伴って大きくなる。このような反りが生
じている基板2の接着面に接着剤17を転写するため
に、接着剤17を塗布したPETフィルム16を接着面
に当接させ、その上から弾性材ローラ18を押し当てて
1〜数回転動させるという方法をとるため、接着剤17
を塗布したPETフィルム16が基板2の反りに応じて
撓み、基板2の接着面に対する接着剤17の転写を転写
ムラを生じることなく行なえる。特に、PETフィルム
16の上から弾性材ローラ18を押し当てて転動させる
ことにより、基板2が大型になるとともに反りが大きく
なった場合でも接着剤17の転写を良好に行なえる。こ
のようにして基板2の接着面への接着剤17の転写を転
写ムラを生ずることなく均一に行なえるため、基板2と
天板3との接着を確実に行なえる。
【0032】基板2と天板3との接着、及び、これらの
基板2と天板3とに対するノズル板4の接着において
は、粘度が2000cps以上である高粘度の接着剤1
7を用いるため、接着する部材を接着剤17を介して接
合させたときに、その接着剤17が溝8内に毛細管現象
で入り込むということが起こらず、入り込んだ接着剤1
7によって溝8が目詰まりすることを防止できる。
基板2と天板3とに対するノズル板4の接着において
は、粘度が2000cps以上である高粘度の接着剤1
7を用いるため、接着する部材を接着剤17を介して接
合させたときに、その接着剤17が溝8内に毛細管現象
で入り込むということが起こらず、入り込んだ接着剤1
7によって溝8が目詰まりすることを防止できる。
【0033】接着剤17を基板2等の接着面に転写する
にあたり、PETフィルム16を用いたのは以下の理由
による。転写効率だけを考慮すれば、接着剤17が付着
しにくいフッ素樹脂等のほうがよいが、例えば、テフロ
ンフィルムに接着剤17を塗布しようとすると、接着剤
17が玉状になって均一に塗布することができない。一
方、塗布厚の均一性だけを考慮すれば、親接着剤性のあ
る材料、例えば、ポリイミドフィルムを用いればよい
が、その場合には基板2の接着面への転写効率が悪くな
り、転写ムラの原因になる。そこで、PETやPP(ポ
リプロピレン)やPE(ポリエチレン)等のオレフィン
系樹脂フィルムを用いることにより、塗布厚の均一性と
転写効率とがともに良好になる。
にあたり、PETフィルム16を用いたのは以下の理由
による。転写効率だけを考慮すれば、接着剤17が付着
しにくいフッ素樹脂等のほうがよいが、例えば、テフロ
ンフィルムに接着剤17を塗布しようとすると、接着剤
17が玉状になって均一に塗布することができない。一
方、塗布厚の均一性だけを考慮すれば、親接着剤性のあ
る材料、例えば、ポリイミドフィルムを用いればよい
が、その場合には基板2の接着面への転写効率が悪くな
り、転写ムラの原因になる。そこで、PETやPP(ポ
リプロピレン)やPE(ポリエチレン)等のオレフィン
系樹脂フィルムを用いることにより、塗布厚の均一性と
転写効率とがともに良好になる。
【0034】なお、本実施の形態では、高粘度の接着剤
17をPETフィルム16に塗布するためにトルエン等
の溶剤で希釈した場合を例に挙げて説明したが、希釈せ
ずにスクリーン印刷法で印刷してもよい。このスクリー
ン印刷法を用いれば、10〜30μmの厚さに塗布する
ことができる。
17をPETフィルム16に塗布するためにトルエン等
の溶剤で希釈した場合を例に挙げて説明したが、希釈せ
ずにスクリーン印刷法で印刷してもよい。このスクリー
ン印刷法を用いれば、10〜30μmの厚さに塗布する
ことができる。
【0035】また、本実施の形態では、基板2における
天板3との接着面に接着剤17を転写するためにPET
フィルム16と弾性材ローラ18とを使用した場合を例
に挙げて説明したが、反りが問題とならならい場合であ
れば、PETフィルム16に代えて硬質の平面板に接着
剤17を塗布し、この平面板を接着面に押し当てて接着
剤17を転写してもよい。
天板3との接着面に接着剤17を転写するためにPET
フィルム16と弾性材ローラ18とを使用した場合を例
に挙げて説明したが、反りが問題とならならい場合であ
れば、PETフィルム16に代えて硬質の平面板に接着
剤17を塗布し、この平面板を接着面に押し当てて接着
剤17を転写してもよい。
【0036】また、本実施の形態では、基板2における
天板3との接着面に接着剤17を転写する場合を例に挙
げて説明したが、天板3における基板2との接着面に接
着剤17を転写し、この接着剤17を介して基板2と天
板3とを接着してもよい。
天板3との接着面に接着剤17を転写する場合を例に挙
げて説明したが、天板3における基板2との接着面に接
着剤17を転写し、この接着剤17を介して基板2と天
板3とを接着してもよい。
【0037】つぎに、本発明の第二の実施の形態を図6
に基づいて説明する。前述した実施の形態と同一部分は
同一符号を付けて異なる部分について説明する。本実施
の形態のインクジェットプリンタヘッド1aは、2枚の
圧電部材6a,7aを積層して接着することにより基板
2aを形成したものである。このようにすれば、基板2
aを同一材料の部材のみを接着して形成するため、基板
2aの反りを低減させることができる。
に基づいて説明する。前述した実施の形態と同一部分は
同一符号を付けて異なる部分について説明する。本実施
の形態のインクジェットプリンタヘッド1aは、2枚の
圧電部材6a,7aを積層して接着することにより基板
2aを形成したものである。このようにすれば、基板2
aを同一材料の部材のみを接着して形成するため、基板
2aの反りを低減させることができる。
【0038】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、基板と天
板とを接着剤で接着するときに、基板に形成した溝内に
接着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりすることを防
止できる。
板とを接着剤で接着するときに、基板に形成した溝内に
接着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりすることを防
止できる。
【0039】請求項2記載の発明によれば、基板及び天
板とノズル板とを接着剤で接着するときに、基板に形成
した溝内に接着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりす
ることを防止できる。
板とノズル板とを接着剤で接着するときに、基板に形成
した溝内に接着剤が毛細管現象で入り込んで目詰まりす
ることを防止できる。
【0040】請求項3記載の発明によれば、転写部材へ
の接着剤の塗布及び転写部材から基板等の接着面への接
着剤の転写を良好に行なえる。
の接着剤の塗布及び転写部材から基板等の接着面への接
着剤の転写を良好に行なえる。
【図1】本発明の第一の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
リンタヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
【図2】基板の接着面への接着剤の転写工程を示す正面
図である。
図である。
【図3】圧電部材のシェアモード変形状態を示す縦断正
面図である。
面図である。
【図4】インク吐出口の形状を示す縦断側面図である。
【図5】接着剤の種類による溝の目詰まり状態を示す説
明図である。
明図である。
【図6】本発明の第二の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを示す縦断正面図である。
リンタヘッドを示す縦断正面図である。
1,1a インクジェットプリンタヘッド 2,2a 基板 6,7,6a,7a 圧電部材 8 溝 9 側壁 10 電極 13 圧力室 16 転写部材 17 接着剤
Claims (3)
- 【請求項1】 板厚方向に分極させた少なくとも1枚の
圧電部材を含む基板と、この基板に交互に形成した少な
くとも一部が前記圧電部材からなる多数の側壁とこれら
の側壁間に位置する4本/mm以上の溝と、前記側壁に
設けた電極と、前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面
部を覆うノズル板とを前記基板に接着して形成した多数
の圧力室とを有するインクジェットプリンタヘッドの製
造方法において、粘度が2000cps以上の高粘度の
接着剤を転写部材に薄く均一に塗布し、この転写部材に
おける接着剤を塗布した面を前記基板と前記天板とを接
着するそれぞれの接着面のいずれか一方に当接させてこ
の接着剤を接着面に転写し、転写した接着剤を介して前
記基板と前記天板とを接合させて接着したことを特徴と
するインクジェットプリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項2】 板厚方向に分極させた少なくとも1枚の
圧電部材を含む基板と、この基板に交互に形成した少な
くとも一部が前記圧電部材からなる多数の側壁とこれら
の側壁間に位置する4本/mm以上の溝と、前記側壁に
設けた電極と、前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面
部を覆うノズル板とを前記基板に接着して形成した多数
の圧力室とを有するインクジェットプリンタヘッドの製
造方法において、粘度が2000cps以上の高粘度の
接着剤を転写部材に薄く均一に塗布し、この転写部材に
おける接着剤を塗布した面を前記基板と前記天板とを接
着した部材における前記ノズル板との接着面に当接させ
てこの接着剤を接着面に転写し、転写した接着剤を介し
て前記基板及び前記天板と前記ノズル板とを接合させて
接着したことを特徴とするインクジェットプリンタヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項3】 転写部材をオレフィン系樹脂部材とした
ことを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェット
プリンタヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30930095A JPH09141879A (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30930095A JPH09141879A (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09141879A true JPH09141879A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17991352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30930095A Pending JPH09141879A (ja) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09141879A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001191525A (ja) * | 2000-01-17 | 2001-07-17 | Toshiba Tec Corp | 液滴噴射装置 |
JP2008279614A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
JP2012516246A (ja) * | 2009-01-28 | 2012-07-19 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 接合微小電気機械アセンブリ |
-
1995
- 1995-11-28 JP JP30930095A patent/JPH09141879A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001191525A (ja) * | 2000-01-17 | 2001-07-17 | Toshiba Tec Corp | 液滴噴射装置 |
JP2008279614A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
JP2012516246A (ja) * | 2009-01-28 | 2012-07-19 | フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド | 接合微小電気機械アセンブリ |
US8979247B2 (en) | 2009-01-28 | 2015-03-17 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Bonded microelectromechanical assemblies |
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