JPH09123359A - グリーンシート用離型フイルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】グリーンシート多層積層法によるセラミック基
板を作成する際のスルーホール打ち抜き時にバリ等の発
生が無く打ち抜き性の良好なグリーンシート用離型フイ
ルムを提供する。 【解決手段】平均粒径０．０５〜１μｍの粒子を２〜２
５重量％含有する二軸配向されたポリエステルフイルム
の少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて成
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、グリーンシート用
離型フイルムに関するものであり、詳しくは、グリーン
シートの多層積層法によりセラミック基板を作成する際
のスルーホール打ち抜き時にバリ等の発生が無く打ち抜
き性の改良されたグリーンシート用離型フイルムに関す
る。

【０００２】グリーンシートの多層積層法は、通常、微
粉砕されたセラミック原料に解膠剤、結合剤、可塑剤、
溶媒等を加えた泥漿を移動している離型フイルム上に流
し、乾燥させてグリーンシートを作成する工程と、グリ
ーンシートの断裁、スルーホール打ち抜き、穴埋め、導
体印刷、乾燥、フイルム剥離、ラミネート、外形成形、
焼成などの工程とから成る。

【０００３】

【従来の技術】半導体集積回路の製造分野においては、
その高密度化に伴い、ファインパターン化、多層化が要
求されている。多層化にはスルーホールが必要であり、
また、高密度化には、一層のファインパターン化と共に
スルーホールの狭小化が必要である。

【０００４】ところで、スルーホールは、導電性塗料が
充填されて積層間の導通回路とされるが、離型フイルム
としてポリエステルフイルムを使用した場合、スルーホ
ール打ち抜き時にバリが発生して良好なスルーホールが
得られないと言う問題がある。すなわち、バリの発生
は、特に、狭いスルーホールの場合、導電性塗料の充填
に支障を来たし、不良率を高める原因となる。また、発
生したバリにより、グリーンシートが破損してスルーホ
ールの穴の大きさが変化すると言う問題もある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記実情に
鑑みなされたものであり、その目的は、グリーンシート
多層積層法によるセラミック基板を作成する際のスルー
ホール打ち抜き時にバリ等の発生が無く打ち抜き性の良
好なグリーンシート用離型フイルムを提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、鋭意検討
を重ねた結果、ポリエステルフイルムにある特定の粒子
を特定量含有させることにより、上記の目的を容易に達
成し得るとの知見を得た。本発明は、斯かる知見に基づ
き完成されたものであり、その要旨は、平均粒径０．０
５〜１μｍの粒子を２〜２５重量％含有する二軸配向さ
れたポリエステルフイルムの少なくとも片面に硬化シリ
コーン樹脂塗膜を設けて成ることを特徴とするグリーン
シート用離型フイルムに存する。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明で使用するポリエステルは、芳香族ジカルボン酸
と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られる。芳香族
ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタ
レンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールと
しては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、
１，４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。
代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタ
レート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレン
ジカルボキシレート（ＰＥＮ）等が例示される。

【０００８】上記のポリエステルは共重合体であっても
よい。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分として
は、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、２，６−
ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オ
キシカルボン酸（例えば、Ｐ−オキシ安息香酸など）の
一種または二種以上が挙げられ、共重合ポリエステルの
グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレ
ングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオー
ル、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチ
ルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。

【０００９】本発明において、ポリエステルに含有され
る粒子としては、例えば、二酸化チタン、炭酸カルシウ
ム、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、カオリン、タル
ク、ゼオライト、フッ化リチウム、硫酸バリウム、カー
ボンブラック、特公昭５９−５２１６号公報に記載され
ている様な耐熱性高分子微粉体などが挙げられる。これ
らの粒子は、単独で使用する他、２種以上を併用しても
よい。

【００１０】本発明において、粒子の平均粒径は、０．
０５μｍ〜１μｍ、好ましくは、０．０５μｍ〜０．７
μｍ、更に好ましくは、０．０５μｍ〜０．５μｍの範
囲から選択する必要がある。平均粒径が０．０５μｍ未
満の場合は、粒子が凝集して粗大粒子となり易い。そし
て、その結果、製膜後のフイルム表面状態が悪化するた
め、その後の工程でグリーンシートを作成する際に、グ
リーンシートの表面状態も悪化し、良好なグリーンシー
トが得られない。また、平均粒径が１μｍを超える場合
は、フイルムの表面粗度が高くなり、その結果、集積回
路の高密度化に要求される良好な表面状態のグリーンシ
ートが得られない。

【００１１】本発明において、ポリエステル中の粒子の
含有量は、２〜２５重量％、好ましくは２〜２０重量
％、更に好ましくは５〜１５重量％から選択する必要が
ある。粒子の含有量が２重量％未満の場合は、得られる
フイルムの引張破断伸度が高く、その結果、スルーホー
ル打ち抜き時にバリの発生が多くなり良好なスルーホー
ルが得られない。また、粒子の含有量が２５重量％を超
える場合は、フイルム製膜時に破断が多発してフイルム
の生産性が悪化する。

【００１２】上記の粒子は、ポリエステルを製造する任
意の段階において添加することが出来るが、エステル化
の段階またはエステル交換反応終了後重縮合反応開始前
の段階でエチレングリコール等に分散させたスラリーと
して添加するのが好ましい。また、ベント付混練押出機
を使用し、エチレングリコール又は水などに分散させた
粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方
法、または、混練押出機を使用し、乾燥させた粒子とポ
リエステル原料とをブレンドする方法なども採用し得
る。

【００１３】本発明における二軸配向ポリエステルフイ
ルムは、次の様な従来公知の方法に従って製造すること
が出来る。先ず、溶融押出機の口金からポリエステルを
回転冷却ドラムの上にシート状に押し出して冷却固化す
ることにより未延伸シートを得、次いで、得られた未延
伸フイルムを二軸方向に延伸して配向させる。

【００１４】上記の製造方法においては、未延伸シート
と回転冷却ドラムとの密着性を高めてシートの平面性を
向上させるため、静電印加密着法または液体塗布密着法
が好ましく採用される。静電印加密着法は、通常、シー
トの上面側にシートの流れ方向と直行する方向に線状電
極を張架し、当該線状電極に約５〜１０ｋＶの直流電圧
を印加してシートに静電荷を付与する方法である。ま
た、液体塗布密着法は、回転冷却ドラム表面の全体また
は一部（例えばシート両端部と接触する部分のみ）に液
体を均一に塗布する方法である。本発明においては必要
に応じ両者を併用してもよい。

【００１５】上記の製造方法において、未延伸シートの
延伸は、例えば、次の様に行うことが出来る。先ず、ロ
ール又はテンター方式の延伸機により一方向に延伸を行
う。延伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０
〜１１０℃であり、延伸倍率は、通常２．５〜７倍、好
ましくは３．０〜６倍である。次いで、１段目の延伸方
向と直交する方向に延伸を行う。延伸温度は、通常７０
〜１２０℃、好ましくは８０〜１１５℃であり、延伸倍
率は、通常３．０〜７倍、好ましくは３．５〜６倍であ
る。そして、引き続き、１７０〜２５０℃の温度で緊張
下または３０％以内の弛緩下で熱処理を行って二軸配向
フイルムを得る。

【００１６】上記の延伸工程においては、フイルム表面
を処理する、所謂インラインコーティングを行うことが
出来る。例えば、１段目の延伸が終了して２段目の延伸
前に、帯電防止性、滑り性、接着性などの改良、２次加
工性改良などの目的により、水溶性または水系エマルジ
ョン、水系スラリー等のコーティング処理を施すことが
出来る。

【００１７】上記の延伸においては、一方向の延伸を２
段階以上で行う方法を採用することも出来る。その場
合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲とな
る様に行うのが好ましい。また、前記の未延伸シートを
面積倍率が１０〜４０倍になる様に同時二軸延伸を行う
ことも可能である。更に、必要に応じて熱処理を行う前
または後に再度縦および／または横方向に延伸してもよ
い。

【００１８】本発明において、二軸配向されたポリエス
テルフイルムのγ軸方向およびβ軸方向の引張破断伸度
の和が１００％〜２５０％であることが好ましい。引張
破断伸度の和の好ましい範囲は１００％〜２３０％、更
に好ましい範囲は１００％〜２００％である。上記の値
が１００％未満の場合は、フイルムが脆くなり、その結
果、スルーホール打ち抜き時にフイルムが破れ易くな
る。また、上記の値が２５０％を超える場合は、スルー
ホール打ち抜く時にバリが発生し易くなる。なお、γ軸
方向とβ軸方向の引張破断伸度の差の絶対値は、０％〜
６０％であるのが好ましい、上記の値の好ましい範囲は
０〜５０％、更に好ましい範囲は０〜４０％である。

【００１９】本発明において、ポリエステルフイルムの
厚さは、フイルムとして製膜できる厚さであれば特に制
限はないが、通常５μｍ〜５００μｍ、好ましくは１０
μｍ〜３００μｍ、更に好ましくは２０μｍ〜２００μ
ｍとされる。

【００２０】本発明のグリーンシート用離型フイルム
は、上記の様な二軸配向ポリエステルフイルムの少なく
とも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて成る。硬化
シリコーン樹脂塗膜は、フイルムに離型特性を付与する
機能を有し、硬化性シリコーン樹脂を含有する塗液をフ
イルムにコーティングして乾燥、硬化させることにより
形成される。

【００２１】硬化型シリコーン樹脂としては、例えば、
縮合反応型、付加反応型、紫外線硬化型、電子線硬化型
などのシリコーン樹脂が好適に使用される。シリコーン
樹脂塗料のコーティング方法としては、リバースロール
コート法、グラビアロールコート法、エアーナイフコー
ト法などの公知の方法を採用することが出来る。塗布さ
れたシリコーン樹脂塗料は、例えば、加熱処理により硬
化させて硬化皮膜とされる。加熱温度は、通常５０〜１
５０℃、好ましくは８０〜１３０℃とされ、加熱時間
は、通常２分以内、好ましくは１分以内とされる。

【００２２】硬化型シリコーン樹脂塗料の塗布量は、通
常１〜２５ｇ／ｍ² 、好ましくは２〜２０ｇ／ｍ² とさ
れ、シリコーン樹脂塗膜の厚さは、通常０．０５〜１μ
ｍ、好ましくは０．１〜０．５μｍとされる。塗膜の厚
さが０．０５μｍ未満の場合は、離型性能が低下し、ま
た、塗布厚みが１μｍを超える場合は、塗膜の硬化が不
充分となり、離型性能の経時的変化が起こる。

【００２３】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例
に限定されるものではない。なお、実施例および比較例
中「部」とあるのは「重量部」を示す。また、本発明で
使用した測定法は次の通りである。

【００２４】（１）スルーホール打ち抜き性：穴あけパ
ンチ（（株）ライオン事務器製「２ＨＯＬＥ ＰＵＮＣ
Ｈ Ｎｏ．３５」）を使用し、試料フイルムを打ち抜
き、打ち抜かれた部分を（株）キーエンス製デジタルマ
イクロスコープ「ＶＨ−６２００」にて２００倍で観察
し下記の３段階で評価した。上記の「ＶＨ−６２００」
は、顕微鏡に類似する測定装置であり、焦点深度が一般
の顕微鏡より深く凹凸の大きい表面の観察に好適に使用
され、「ＶＨ−６２００」による観察は、モニター画面
に写った像を確認することによって行う。

【００２５】

【表１】 ○：バリが殆ど観察されない。 △：バリが若干観察される（実用上問題のないレベル）。 ×：バリが多く観察される（実用上問題のレベル）。

【００２６】（２）試料フイルムのγ軸及びβ軸の決
定：シート状試料の一定距離間を超音波パルスが伝播す
るのに要する時間を測定する装置として知られている、
野村商事（株）製「ＳＯＮＩＣ ＳＨＥＥＴ ＴＥＳＴ
ＥＲ ＳＳＴ−２５０型」を使用し、ターンテーブル上
に試料フイルムを乗せ、面方向の伝播速度を回転させな
がら測定した。測定結果から伝播速度が最大値を示す方
向をγ軸とし、それと直交する方向をβ軸とした。

【００２７】（３）引張破断伸度：引張試験機（（株）
インテスコ製「インテスコモデル２００１型」）を使用
し、温度２３度Ｃ、湿度５０％ＲＨに調節された室内に
おいて、チャック間距離５０ｍｍ，幅１０ｍｍの試料フ
イルムを５００ｍｍ／ｍｉｎ．の速度で引張り、応力−
ひずみ曲線より下記式にて引張破断伸度を求めた。式
中、Ｌは破断時のチャック間距離、Ｌ₀ はチャック間距
離を表す。

【００２８】

【数１】 引張破断伸度（％）＝［（Ｌ−Ｌ₀ ）／Ｌ₀ ］×１００

【００２９】（４）剥離力試験：離型フイルムの硬化シ
リコーン樹脂塗布面に両面粘着テープ（日東電工社製
「Ｎｏ．５０２」）を貼り、ゴムローラーを使用して４
５０ｇ／ｃｍの線圧で圧着した後に５０ｍｍ幅に切り出
して剥離力測定用試料とした。圧着してから１時間放置
後、インストロン型引張試験機により、１８０度方向に
引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ．で粘着テープを剥し、そ
の応力の平均値をその試料の剥離力とした。そして、上
記の試験を１０回繰り返して行い、１０回の相加平均を
以て剥離力とした。なお、試験雰囲気は、２３℃、５０
％ＲＨの標準状態である。

【００３０】製造例１（ポリエステルＡ） ジメチルテレフタレート１００部、エチレングリコール
６０部および酢酸マグネシウム・４水塩０．０９部を反
応器に採り、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、
エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して
２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了し
た。次いで、平均粒径（ｄ₅₀）１．５４μｍのシリカ粒
子を０．１部含有するエチレングリコールスラリーを反
応系に添加し、更に、エチルアシッドフォスフェート
０．０４部、酸化ゲルマニウム０．０１部を添加した
後、１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇに
達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に０．３ｍ
ｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻し、ポリエス
テルＡを得た。ポリエステルＡのシリカ粒子の含有量は
０．１重量％であった。

【００３１】製造例２（ポリエステルＢ） 製造例１において、平均粒径（ｄ₅₀）１．５４μｍのシ
リカ粒子を０．１部含有するエチレングリコールスラリ
ーを反応系に添加しなかった以外は、製造例１と同様に
してポリエステルＢを得た。

【００３２】製造例３（ポリエステルＣ） 製造例１において、平均粒径（ｄ₅₀）１．５４μｍのシ
リカ粒子を０．１部含有するエチレングリコールスラリ
ーの代わりに、平均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子
を０．３部含有するエチレングリコールスラリーを使用
した以外は、製造例１と同様にしてポリエステルＣを得
た。ポリエステルＣの酸化チタン粒子の含有量は０．３
重量％であった。

【００３３】製造例４（ポリエステルＤ） 製造例２において製造したポリエステルＢを７０部と平
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子３０部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルＤを得た。ポリエステルＤの酸化チタン粒子の含有
量は３０重量％であった。

【００３４】製造例５（ポリエステルＥ） 製造例２において製造したポリエステルＢを８５部と平
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子１５部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルＥを得た。ポリエステルＥの酸化チタン粒子の含有
量は１５重量％であった。

【００３５】製造例６（ポリエステルＦ） 製造例２において製造したポリエステルＢを９０部と平
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子１０部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルＦを得た。ポリエステルＦの酸化チタン粒子の含有
量は１０重量％であった。

【００３６】製造例７（ポリエステルＧ） 製造例２において製造したポリエステルＢを９３部と平
均粒径０．２７μｍの酸化チタン粒子７部をドライブレ
ンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエステ
ルＧを得た。ポリエステルＧの酸化チタン粒子の含有量
は７重量％であった。

【００３７】製造例８（ポリエステルＨ） 製造例２において製造したポリエステルＢを９５部と平
均粒径０．５μｍの炭酸カルシウム粒子５部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルＨを得た。ポリエステルＨの炭酸カルシウム粒子の
含有量は５重量％であった。

【００３８】実施例１ ポリエステルＥを１８０℃で４時間不活性ガス雰囲気中
で乾燥し、溶融押出機により２９０℃で押出し、静電印
加密着法を採用して表面温度を４０℃に設定した回転冷
却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次い
で、得られたシートを８５℃で３．５倍縦方向に延伸し
た。次いで、フイルムをテンターに導き１００℃で３．
７倍横方向に延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、
厚さが７５μｍのフイルムを得た。

【００３９】次いで、ポリエステルフイルムの片面に硬
化性シリコーン樹脂（信越化学工業（株）社製「ＫＳ７
２３Ａ」）１００部、硬化剤（信越化学工業（株）社製
「ＫＳ７２３Ｂ」）５部、触媒（信越化学工業（株）社
製「ＰＳ−３」）３部、メチルエチルケトン／トルエン
混合溶媒２０００部から成る塗布液をマイヤーバーにて
塗布し、１３０℃で１５秒熱処理を行い、塗布厚みが
０．１μｍの硬化シリコーン樹脂皮膜を形成した離型フ
イルムを得た。得られたフイルムの評価結果を表２に示
す。

【００４０】実施例２ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＦを使用し
て厚さ７５μｍの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表２に示す。

【００４１】実施例３ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＧを使用し
て厚さ７５μｍの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表２に示す。

【００４２】実施例４ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＨを使用し
て厚さ７５μｍの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表２に示す。

【００４３】比較例１ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＣを使用し
て厚さ７５μｍの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表２に示す。

【００４４】比較例２ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＡを使用し
て厚さ７５μｍの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表２に示す。

【００４５】比較例３ 実施例１と同様の方法により、ポリエステルＤを使用し
て厚さ７５μｍのフイルムを得るべく製膜を行った所、
テンター内で破断が頻発し、所望のフイルムを得ること
が出来なかった。

【００４６】

【表２】 ──────────────────────────────────── 実施例 １ ２ ３ ４ １ ２ ３ ポリエステル種類 Ｅ Ｆ Ｇ Ｈ Ｃ Ａ Ｄスルーホール 打ち抜き性 ○ ○ △ ○ × × − 引張破断伸度（％） γ軸方向 80 85 95 85 130 130 − β軸方向 110 125 135 125 150 150 − γ＋β 190 210 230 210 280 280 − 剥離力試験(g/50mm) 50 50 50 50 50 50 − 総合評価 ○ ○ ○ ○ × × × ────────────────────────────────────

【００４７】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、スルーホ
ール打ち抜き時にバリ等の発生が無いグリーンシート用
離型フイルムが提供され、本発明の離型フイルムは、グ
リーンシートの多層積層法により、セラミック基板を作
成する際に好適に使用することが出来る。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平均粒径０．０５〜１μｍの粒子を２〜
   ２５重量％含有する二軸配向されたポリエステルフイル
   ムの少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて
   成ることを特徴とするグリーンシート用離型フイルム。
2. 【請求項２】 フイルムのγ軸方向およびβ軸方向の引
   張破断伸度の和が１００〜２５０％である請求項１に記
   載の離型フイルム。