JPH09123359A - グリーンシート用離型フイルム - Google Patents
グリーンシート用離型フイルムInfo
- Publication number
- JPH09123359A JPH09123359A JP30690795A JP30690795A JPH09123359A JP H09123359 A JPH09123359 A JP H09123359A JP 30690795 A JP30690795 A JP 30690795A JP 30690795 A JP30690795 A JP 30690795A JP H09123359 A JPH09123359 A JP H09123359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- polyester
- green sheet
- particle
- average particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】グリーンシート多層積層法によるセラミック基
板を作成する際のスルーホール打ち抜き時にバリ等の発
生が無く打ち抜き性の良好なグリーンシート用離型フイ
ルムを提供する。 【解決手段】平均粒径0.05〜1μmの粒子を2〜2
5重量%含有する二軸配向されたポリエステルフイルム
の少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて成
る。
板を作成する際のスルーホール打ち抜き時にバリ等の発
生が無く打ち抜き性の良好なグリーンシート用離型フイ
ルムを提供する。 【解決手段】平均粒径0.05〜1μmの粒子を2〜2
5重量%含有する二軸配向されたポリエステルフイルム
の少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて成
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、グリーンシート用
離型フイルムに関するものであり、詳しくは、グリーン
シートの多層積層法によりセラミック基板を作成する際
のスルーホール打ち抜き時にバリ等の発生が無く打ち抜
き性の改良されたグリーンシート用離型フイルムに関す
る。
離型フイルムに関するものであり、詳しくは、グリーン
シートの多層積層法によりセラミック基板を作成する際
のスルーホール打ち抜き時にバリ等の発生が無く打ち抜
き性の改良されたグリーンシート用離型フイルムに関す
る。
【0002】グリーンシートの多層積層法は、通常、微
粉砕されたセラミック原料に解膠剤、結合剤、可塑剤、
溶媒等を加えた泥漿を移動している離型フイルム上に流
し、乾燥させてグリーンシートを作成する工程と、グリ
ーンシートの断裁、スルーホール打ち抜き、穴埋め、導
体印刷、乾燥、フイルム剥離、ラミネート、外形成形、
焼成などの工程とから成る。
粉砕されたセラミック原料に解膠剤、結合剤、可塑剤、
溶媒等を加えた泥漿を移動している離型フイルム上に流
し、乾燥させてグリーンシートを作成する工程と、グリ
ーンシートの断裁、スルーホール打ち抜き、穴埋め、導
体印刷、乾燥、フイルム剥離、ラミネート、外形成形、
焼成などの工程とから成る。
【0003】
【従来の技術】半導体集積回路の製造分野においては、
その高密度化に伴い、ファインパターン化、多層化が要
求されている。多層化にはスルーホールが必要であり、
また、高密度化には、一層のファインパターン化と共に
スルーホールの狭小化が必要である。
その高密度化に伴い、ファインパターン化、多層化が要
求されている。多層化にはスルーホールが必要であり、
また、高密度化には、一層のファインパターン化と共に
スルーホールの狭小化が必要である。
【0004】ところで、スルーホールは、導電性塗料が
充填されて積層間の導通回路とされるが、離型フイルム
としてポリエステルフイルムを使用した場合、スルーホ
ール打ち抜き時にバリが発生して良好なスルーホールが
得られないと言う問題がある。すなわち、バリの発生
は、特に、狭いスルーホールの場合、導電性塗料の充填
に支障を来たし、不良率を高める原因となる。また、発
生したバリにより、グリーンシートが破損してスルーホ
ールの穴の大きさが変化すると言う問題もある。
充填されて積層間の導通回路とされるが、離型フイルム
としてポリエステルフイルムを使用した場合、スルーホ
ール打ち抜き時にバリが発生して良好なスルーホールが
得られないと言う問題がある。すなわち、バリの発生
は、特に、狭いスルーホールの場合、導電性塗料の充填
に支障を来たし、不良率を高める原因となる。また、発
生したバリにより、グリーンシートが破損してスルーホ
ールの穴の大きさが変化すると言う問題もある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記実情に
鑑みなされたものであり、その目的は、グリーンシート
多層積層法によるセラミック基板を作成する際のスルー
ホール打ち抜き時にバリ等の発生が無く打ち抜き性の良
好なグリーンシート用離型フイルムを提供することにあ
る。
鑑みなされたものであり、その目的は、グリーンシート
多層積層法によるセラミック基板を作成する際のスルー
ホール打ち抜き時にバリ等の発生が無く打ち抜き性の良
好なグリーンシート用離型フイルムを提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、鋭意検討
を重ねた結果、ポリエステルフイルムにある特定の粒子
を特定量含有させることにより、上記の目的を容易に達
成し得るとの知見を得た。本発明は、斯かる知見に基づ
き完成されたものであり、その要旨は、平均粒径0.0
5〜1μmの粒子を2〜25重量%含有する二軸配向さ
れたポリエステルフイルムの少なくとも片面に硬化シリ
コーン樹脂塗膜を設けて成ることを特徴とするグリーン
シート用離型フイルムに存する。
を重ねた結果、ポリエステルフイルムにある特定の粒子
を特定量含有させることにより、上記の目的を容易に達
成し得るとの知見を得た。本発明は、斯かる知見に基づ
き完成されたものであり、その要旨は、平均粒径0.0
5〜1μmの粒子を2〜25重量%含有する二軸配向さ
れたポリエステルフイルムの少なくとも片面に硬化シリ
コーン樹脂塗膜を設けて成ることを特徴とするグリーン
シート用離型フイルムに存する。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明で使用するポリエステルは、芳香族ジカルボン酸
と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られる。芳香族
ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6−ナフタ
レンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールと
しては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、
1,4−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。
代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタ
レート(PET)、ポリエチレン−2,6−ナフタレン
ジカルボキシレート(PEN)等が例示される。
本発明で使用するポリエステルは、芳香族ジカルボン酸
と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られる。芳香族
ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6−ナフタ
レンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールと
しては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、
1,4−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。
代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタ
レート(PET)、ポリエチレン−2,6−ナフタレン
ジカルボキシレート(PEN)等が例示される。
【0008】上記のポリエステルは共重合体であっても
よい。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分として
は、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6−
ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オ
キシカルボン酸(例えば、P−オキシ安息香酸など)の
一種または二種以上が挙げられ、共重合ポリエステルの
グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレ
ングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオー
ル、1,4−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチ
ルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
よい。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分として
は、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6−
ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オ
キシカルボン酸(例えば、P−オキシ安息香酸など)の
一種または二種以上が挙げられ、共重合ポリエステルの
グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレ
ングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオー
ル、1,4−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチ
ルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
【0009】本発明において、ポリエステルに含有され
る粒子としては、例えば、二酸化チタン、炭酸カルシウ
ム、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、カオリン、タル
ク、ゼオライト、フッ化リチウム、硫酸バリウム、カー
ボンブラック、特公昭59−5216号公報に記載され
ている様な耐熱性高分子微粉体などが挙げられる。これ
らの粒子は、単独で使用する他、2種以上を併用しても
よい。
る粒子としては、例えば、二酸化チタン、炭酸カルシウ
ム、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素、カオリン、タル
ク、ゼオライト、フッ化リチウム、硫酸バリウム、カー
ボンブラック、特公昭59−5216号公報に記載され
ている様な耐熱性高分子微粉体などが挙げられる。これ
らの粒子は、単独で使用する他、2種以上を併用しても
よい。
【0010】本発明において、粒子の平均粒径は、0.
05μm〜1μm、好ましくは、0.05μm〜0.7
μm、更に好ましくは、0.05μm〜0.5μmの範
囲から選択する必要がある。平均粒径が0.05μm未
満の場合は、粒子が凝集して粗大粒子となり易い。そし
て、その結果、製膜後のフイルム表面状態が悪化するた
め、その後の工程でグリーンシートを作成する際に、グ
リーンシートの表面状態も悪化し、良好なグリーンシー
トが得られない。また、平均粒径が1μmを超える場合
は、フイルムの表面粗度が高くなり、その結果、集積回
路の高密度化に要求される良好な表面状態のグリーンシ
ートが得られない。
05μm〜1μm、好ましくは、0.05μm〜0.7
μm、更に好ましくは、0.05μm〜0.5μmの範
囲から選択する必要がある。平均粒径が0.05μm未
満の場合は、粒子が凝集して粗大粒子となり易い。そし
て、その結果、製膜後のフイルム表面状態が悪化するた
め、その後の工程でグリーンシートを作成する際に、グ
リーンシートの表面状態も悪化し、良好なグリーンシー
トが得られない。また、平均粒径が1μmを超える場合
は、フイルムの表面粗度が高くなり、その結果、集積回
路の高密度化に要求される良好な表面状態のグリーンシ
ートが得られない。
【0011】本発明において、ポリエステル中の粒子の
含有量は、2〜25重量%、好ましくは2〜20重量
%、更に好ましくは5〜15重量%から選択する必要が
ある。粒子の含有量が2重量%未満の場合は、得られる
フイルムの引張破断伸度が高く、その結果、スルーホー
ル打ち抜き時にバリの発生が多くなり良好なスルーホー
ルが得られない。また、粒子の含有量が25重量%を超
える場合は、フイルム製膜時に破断が多発してフイルム
の生産性が悪化する。
含有量は、2〜25重量%、好ましくは2〜20重量
%、更に好ましくは5〜15重量%から選択する必要が
ある。粒子の含有量が2重量%未満の場合は、得られる
フイルムの引張破断伸度が高く、その結果、スルーホー
ル打ち抜き時にバリの発生が多くなり良好なスルーホー
ルが得られない。また、粒子の含有量が25重量%を超
える場合は、フイルム製膜時に破断が多発してフイルム
の生産性が悪化する。
【0012】上記の粒子は、ポリエステルを製造する任
意の段階において添加することが出来るが、エステル化
の段階またはエステル交換反応終了後重縮合反応開始前
の段階でエチレングリコール等に分散させたスラリーと
して添加するのが好ましい。また、ベント付混練押出機
を使用し、エチレングリコール又は水などに分散させた
粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方
法、または、混練押出機を使用し、乾燥させた粒子とポ
リエステル原料とをブレンドする方法なども採用し得
る。
意の段階において添加することが出来るが、エステル化
の段階またはエステル交換反応終了後重縮合反応開始前
の段階でエチレングリコール等に分散させたスラリーと
して添加するのが好ましい。また、ベント付混練押出機
を使用し、エチレングリコール又は水などに分散させた
粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方
法、または、混練押出機を使用し、乾燥させた粒子とポ
リエステル原料とをブレンドする方法なども採用し得
る。
【0013】本発明における二軸配向ポリエステルフイ
ルムは、次の様な従来公知の方法に従って製造すること
が出来る。先ず、溶融押出機の口金からポリエステルを
回転冷却ドラムの上にシート状に押し出して冷却固化す
ることにより未延伸シートを得、次いで、得られた未延
伸フイルムを二軸方向に延伸して配向させる。
ルムは、次の様な従来公知の方法に従って製造すること
が出来る。先ず、溶融押出機の口金からポリエステルを
回転冷却ドラムの上にシート状に押し出して冷却固化す
ることにより未延伸シートを得、次いで、得られた未延
伸フイルムを二軸方向に延伸して配向させる。
【0014】上記の製造方法においては、未延伸シート
と回転冷却ドラムとの密着性を高めてシートの平面性を
向上させるため、静電印加密着法または液体塗布密着法
が好ましく採用される。静電印加密着法は、通常、シー
トの上面側にシートの流れ方向と直行する方向に線状電
極を張架し、当該線状電極に約5〜10kVの直流電圧
を印加してシートに静電荷を付与する方法である。ま
た、液体塗布密着法は、回転冷却ドラム表面の全体また
は一部(例えばシート両端部と接触する部分のみ)に液
体を均一に塗布する方法である。本発明においては必要
に応じ両者を併用してもよい。
と回転冷却ドラムとの密着性を高めてシートの平面性を
向上させるため、静電印加密着法または液体塗布密着法
が好ましく採用される。静電印加密着法は、通常、シー
トの上面側にシートの流れ方向と直行する方向に線状電
極を張架し、当該線状電極に約5〜10kVの直流電圧
を印加してシートに静電荷を付与する方法である。ま
た、液体塗布密着法は、回転冷却ドラム表面の全体また
は一部(例えばシート両端部と接触する部分のみ)に液
体を均一に塗布する方法である。本発明においては必要
に応じ両者を併用してもよい。
【0015】上記の製造方法において、未延伸シートの
延伸は、例えば、次の様に行うことが出来る。先ず、ロ
ール又はテンター方式の延伸機により一方向に延伸を行
う。延伸温度は、通常70〜120℃、好ましくは80
〜110℃であり、延伸倍率は、通常2.5〜7倍、好
ましくは3.0〜6倍である。次いで、1段目の延伸方
向と直交する方向に延伸を行う。延伸温度は、通常70
〜120℃、好ましくは80〜115℃であり、延伸倍
率は、通常3.0〜7倍、好ましくは3.5〜6倍であ
る。そして、引き続き、170〜250℃の温度で緊張
下または30%以内の弛緩下で熱処理を行って二軸配向
フイルムを得る。
延伸は、例えば、次の様に行うことが出来る。先ず、ロ
ール又はテンター方式の延伸機により一方向に延伸を行
う。延伸温度は、通常70〜120℃、好ましくは80
〜110℃であり、延伸倍率は、通常2.5〜7倍、好
ましくは3.0〜6倍である。次いで、1段目の延伸方
向と直交する方向に延伸を行う。延伸温度は、通常70
〜120℃、好ましくは80〜115℃であり、延伸倍
率は、通常3.0〜7倍、好ましくは3.5〜6倍であ
る。そして、引き続き、170〜250℃の温度で緊張
下または30%以内の弛緩下で熱処理を行って二軸配向
フイルムを得る。
【0016】上記の延伸工程においては、フイルム表面
を処理する、所謂インラインコーティングを行うことが
出来る。例えば、1段目の延伸が終了して2段目の延伸
前に、帯電防止性、滑り性、接着性などの改良、2次加
工性改良などの目的により、水溶性または水系エマルジ
ョン、水系スラリー等のコーティング処理を施すことが
出来る。
を処理する、所謂インラインコーティングを行うことが
出来る。例えば、1段目の延伸が終了して2段目の延伸
前に、帯電防止性、滑り性、接着性などの改良、2次加
工性改良などの目的により、水溶性または水系エマルジ
ョン、水系スラリー等のコーティング処理を施すことが
出来る。
【0017】上記の延伸においては、一方向の延伸を2
段階以上で行う方法を採用することも出来る。その場
合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲とな
る様に行うのが好ましい。また、前記の未延伸シートを
面積倍率が10〜40倍になる様に同時二軸延伸を行う
ことも可能である。更に、必要に応じて熱処理を行う前
または後に再度縦および/または横方向に延伸してもよ
い。
段階以上で行う方法を採用することも出来る。その場
合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲とな
る様に行うのが好ましい。また、前記の未延伸シートを
面積倍率が10〜40倍になる様に同時二軸延伸を行う
ことも可能である。更に、必要に応じて熱処理を行う前
または後に再度縦および/または横方向に延伸してもよ
い。
【0018】本発明において、二軸配向されたポリエス
テルフイルムのγ軸方向およびβ軸方向の引張破断伸度
の和が100%〜250%であることが好ましい。引張
破断伸度の和の好ましい範囲は100%〜230%、更
に好ましい範囲は100%〜200%である。上記の値
が100%未満の場合は、フイルムが脆くなり、その結
果、スルーホール打ち抜き時にフイルムが破れ易くな
る。また、上記の値が250%を超える場合は、スルー
ホール打ち抜く時にバリが発生し易くなる。なお、γ軸
方向とβ軸方向の引張破断伸度の差の絶対値は、0%〜
60%であるのが好ましい、上記の値の好ましい範囲は
0〜50%、更に好ましい範囲は0〜40%である。
テルフイルムのγ軸方向およびβ軸方向の引張破断伸度
の和が100%〜250%であることが好ましい。引張
破断伸度の和の好ましい範囲は100%〜230%、更
に好ましい範囲は100%〜200%である。上記の値
が100%未満の場合は、フイルムが脆くなり、その結
果、スルーホール打ち抜き時にフイルムが破れ易くな
る。また、上記の値が250%を超える場合は、スルー
ホール打ち抜く時にバリが発生し易くなる。なお、γ軸
方向とβ軸方向の引張破断伸度の差の絶対値は、0%〜
60%であるのが好ましい、上記の値の好ましい範囲は
0〜50%、更に好ましい範囲は0〜40%である。
【0019】本発明において、ポリエステルフイルムの
厚さは、フイルムとして製膜できる厚さであれば特に制
限はないが、通常5μm〜500μm、好ましくは10
μm〜300μm、更に好ましくは20μm〜200μ
mとされる。
厚さは、フイルムとして製膜できる厚さであれば特に制
限はないが、通常5μm〜500μm、好ましくは10
μm〜300μm、更に好ましくは20μm〜200μ
mとされる。
【0020】本発明のグリーンシート用離型フイルム
は、上記の様な二軸配向ポリエステルフイルムの少なく
とも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて成る。硬化
シリコーン樹脂塗膜は、フイルムに離型特性を付与する
機能を有し、硬化性シリコーン樹脂を含有する塗液をフ
イルムにコーティングして乾燥、硬化させることにより
形成される。
は、上記の様な二軸配向ポリエステルフイルムの少なく
とも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて成る。硬化
シリコーン樹脂塗膜は、フイルムに離型特性を付与する
機能を有し、硬化性シリコーン樹脂を含有する塗液をフ
イルムにコーティングして乾燥、硬化させることにより
形成される。
【0021】硬化型シリコーン樹脂としては、例えば、
縮合反応型、付加反応型、紫外線硬化型、電子線硬化型
などのシリコーン樹脂が好適に使用される。シリコーン
樹脂塗料のコーティング方法としては、リバースロール
コート法、グラビアロールコート法、エアーナイフコー
ト法などの公知の方法を採用することが出来る。塗布さ
れたシリコーン樹脂塗料は、例えば、加熱処理により硬
化させて硬化皮膜とされる。加熱温度は、通常50〜1
50℃、好ましくは80〜130℃とされ、加熱時間
は、通常2分以内、好ましくは1分以内とされる。
縮合反応型、付加反応型、紫外線硬化型、電子線硬化型
などのシリコーン樹脂が好適に使用される。シリコーン
樹脂塗料のコーティング方法としては、リバースロール
コート法、グラビアロールコート法、エアーナイフコー
ト法などの公知の方法を採用することが出来る。塗布さ
れたシリコーン樹脂塗料は、例えば、加熱処理により硬
化させて硬化皮膜とされる。加熱温度は、通常50〜1
50℃、好ましくは80〜130℃とされ、加熱時間
は、通常2分以内、好ましくは1分以内とされる。
【0022】硬化型シリコーン樹脂塗料の塗布量は、通
常1〜25g/m2 、好ましくは2〜20g/m2 とさ
れ、シリコーン樹脂塗膜の厚さは、通常0.05〜1μ
m、好ましくは0.1〜0.5μmとされる。塗膜の厚
さが0.05μm未満の場合は、離型性能が低下し、ま
た、塗布厚みが1μmを超える場合は、塗膜の硬化が不
充分となり、離型性能の経時的変化が起こる。
常1〜25g/m2 、好ましくは2〜20g/m2 とさ
れ、シリコーン樹脂塗膜の厚さは、通常0.05〜1μ
m、好ましくは0.1〜0.5μmとされる。塗膜の厚
さが0.05μm未満の場合は、離型性能が低下し、ま
た、塗布厚みが1μmを超える場合は、塗膜の硬化が不
充分となり、離型性能の経時的変化が起こる。
【0023】
【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例
に限定されるものではない。なお、実施例および比較例
中「部」とあるのは「重量部」を示す。また、本発明で
使用した測定法は次の通りである。
するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例
に限定されるものではない。なお、実施例および比較例
中「部」とあるのは「重量部」を示す。また、本発明で
使用した測定法は次の通りである。
【0024】(1)スルーホール打ち抜き性:穴あけパ
ンチ((株)ライオン事務器製「2HOLE PUNC
H No.35」)を使用し、試料フイルムを打ち抜
き、打ち抜かれた部分を(株)キーエンス製デジタルマ
イクロスコープ「VH−6200」にて200倍で観察
し下記の3段階で評価した。上記の「VH−6200」
は、顕微鏡に類似する測定装置であり、焦点深度が一般
の顕微鏡より深く凹凸の大きい表面の観察に好適に使用
され、「VH−6200」による観察は、モニター画面
に写った像を確認することによって行う。
ンチ((株)ライオン事務器製「2HOLE PUNC
H No.35」)を使用し、試料フイルムを打ち抜
き、打ち抜かれた部分を(株)キーエンス製デジタルマ
イクロスコープ「VH−6200」にて200倍で観察
し下記の3段階で評価した。上記の「VH−6200」
は、顕微鏡に類似する測定装置であり、焦点深度が一般
の顕微鏡より深く凹凸の大きい表面の観察に好適に使用
され、「VH−6200」による観察は、モニター画面
に写った像を確認することによって行う。
【0025】
【表1】 ○:バリが殆ど観察されない。 △:バリが若干観察される(実用上問題のないレベル)。 ×:バリが多く観察される(実用上問題のレベル)。
【0026】(2)試料フイルムのγ軸及びβ軸の決
定:シート状試料の一定距離間を超音波パルスが伝播す
るのに要する時間を測定する装置として知られている、
野村商事(株)製「SONIC SHEET TEST
ER SST−250型」を使用し、ターンテーブル上
に試料フイルムを乗せ、面方向の伝播速度を回転させな
がら測定した。測定結果から伝播速度が最大値を示す方
向をγ軸とし、それと直交する方向をβ軸とした。
定:シート状試料の一定距離間を超音波パルスが伝播す
るのに要する時間を測定する装置として知られている、
野村商事(株)製「SONIC SHEET TEST
ER SST−250型」を使用し、ターンテーブル上
に試料フイルムを乗せ、面方向の伝播速度を回転させな
がら測定した。測定結果から伝播速度が最大値を示す方
向をγ軸とし、それと直交する方向をβ軸とした。
【0027】(3)引張破断伸度:引張試験機((株)
インテスコ製「インテスコモデル2001型」)を使用
し、温度23度C、湿度50%RHに調節された室内に
おいて、チャック間距離50mm,幅10mmの試料フ
イルムを500mm/min.の速度で引張り、応力−
ひずみ曲線より下記式にて引張破断伸度を求めた。式
中、Lは破断時のチャック間距離、L0 はチャック間距
離を表す。
インテスコ製「インテスコモデル2001型」)を使用
し、温度23度C、湿度50%RHに調節された室内に
おいて、チャック間距離50mm,幅10mmの試料フ
イルムを500mm/min.の速度で引張り、応力−
ひずみ曲線より下記式にて引張破断伸度を求めた。式
中、Lは破断時のチャック間距離、L0 はチャック間距
離を表す。
【0028】
【数1】 引張破断伸度(%)=[(L−L0 )/L0 ]×100
【0029】(4)剥離力試験:離型フイルムの硬化シ
リコーン樹脂塗布面に両面粘着テープ(日東電工社製
「No.502」)を貼り、ゴムローラーを使用して4
50g/cmの線圧で圧着した後に50mm幅に切り出
して剥離力測定用試料とした。圧着してから1時間放置
後、インストロン型引張試験機により、180度方向に
引張速度300mm/min.で粘着テープを剥し、そ
の応力の平均値をその試料の剥離力とした。そして、上
記の試験を10回繰り返して行い、10回の相加平均を
以て剥離力とした。なお、試験雰囲気は、23℃、50
%RHの標準状態である。
リコーン樹脂塗布面に両面粘着テープ(日東電工社製
「No.502」)を貼り、ゴムローラーを使用して4
50g/cmの線圧で圧着した後に50mm幅に切り出
して剥離力測定用試料とした。圧着してから1時間放置
後、インストロン型引張試験機により、180度方向に
引張速度300mm/min.で粘着テープを剥し、そ
の応力の平均値をその試料の剥離力とした。そして、上
記の試験を10回繰り返して行い、10回の相加平均を
以て剥離力とした。なお、試験雰囲気は、23℃、50
%RHの標準状態である。
【0030】製造例1(ポリエステルA) ジメチルテレフタレート100部、エチレングリコール
60部および酢酸マグネシウム・4水塩0.09部を反
応器に採り、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、
エステル交換反応を行い、反応開始から4時間を要して
230℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了し
た。次いで、平均粒径(d50)1.54μmのシリカ粒
子を0.1部含有するエチレングリコールスラリーを反
応系に添加し、更に、エチルアシッドフォスフェート
0.04部、酸化ゲルマニウム0.01部を添加した
後、100分で温度を280℃、圧力を15mmHgに
達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に0.3m
mHgとした。4時間後、系内を常圧に戻し、ポリエス
テルAを得た。ポリエステルAのシリカ粒子の含有量は
0.1重量%であった。
60部および酢酸マグネシウム・4水塩0.09部を反
応器に採り、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、
エステル交換反応を行い、反応開始から4時間を要して
230℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了し
た。次いで、平均粒径(d50)1.54μmのシリカ粒
子を0.1部含有するエチレングリコールスラリーを反
応系に添加し、更に、エチルアシッドフォスフェート
0.04部、酸化ゲルマニウム0.01部を添加した
後、100分で温度を280℃、圧力を15mmHgに
達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に0.3m
mHgとした。4時間後、系内を常圧に戻し、ポリエス
テルAを得た。ポリエステルAのシリカ粒子の含有量は
0.1重量%であった。
【0031】製造例2(ポリエステルB) 製造例1において、平均粒径(d50)1.54μmのシ
リカ粒子を0.1部含有するエチレングリコールスラリ
ーを反応系に添加しなかった以外は、製造例1と同様に
してポリエステルBを得た。
リカ粒子を0.1部含有するエチレングリコールスラリ
ーを反応系に添加しなかった以外は、製造例1と同様に
してポリエステルBを得た。
【0032】製造例3(ポリエステルC) 製造例1において、平均粒径(d50)1.54μmのシ
リカ粒子を0.1部含有するエチレングリコールスラリ
ーの代わりに、平均粒径0.27μmの酸化チタン粒子
を0.3部含有するエチレングリコールスラリーを使用
した以外は、製造例1と同様にしてポリエステルCを得
た。ポリエステルCの酸化チタン粒子の含有量は0.3
重量%であった。
リカ粒子を0.1部含有するエチレングリコールスラリ
ーの代わりに、平均粒径0.27μmの酸化チタン粒子
を0.3部含有するエチレングリコールスラリーを使用
した以外は、製造例1と同様にしてポリエステルCを得
た。ポリエステルCの酸化チタン粒子の含有量は0.3
重量%であった。
【0033】製造例4(ポリエステルD) 製造例2において製造したポリエステルBを70部と平
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子30部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルDを得た。ポリエステルDの酸化チタン粒子の含有
量は30重量%であった。
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子30部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルDを得た。ポリエステルDの酸化チタン粒子の含有
量は30重量%であった。
【0034】製造例5(ポリエステルE) 製造例2において製造したポリエステルBを85部と平
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子15部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルEを得た。ポリエステルEの酸化チタン粒子の含有
量は15重量%であった。
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子15部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルEを得た。ポリエステルEの酸化チタン粒子の含有
量は15重量%であった。
【0035】製造例6(ポリエステルF) 製造例2において製造したポリエステルBを90部と平
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子10部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルFを得た。ポリエステルFの酸化チタン粒子の含有
量は10重量%であった。
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子10部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルFを得た。ポリエステルFの酸化チタン粒子の含有
量は10重量%であった。
【0036】製造例7(ポリエステルG) 製造例2において製造したポリエステルBを93部と平
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子7部をドライブレ
ンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエステ
ルGを得た。ポリエステルGの酸化チタン粒子の含有量
は7重量%であった。
均粒径0.27μmの酸化チタン粒子7部をドライブレ
ンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエステ
ルGを得た。ポリエステルGの酸化チタン粒子の含有量
は7重量%であった。
【0037】製造例8(ポリエステルH) 製造例2において製造したポリエステルBを95部と平
均粒径0.5μmの炭酸カルシウム粒子5部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルHを得た。ポリエステルHの炭酸カルシウム粒子の
含有量は5重量%であった。
均粒径0.5μmの炭酸カルシウム粒子5部をドライブ
レンドし、二軸混練押出機を使用して押出し、ポリエス
テルHを得た。ポリエステルHの炭酸カルシウム粒子の
含有量は5重量%であった。
【0038】実施例1 ポリエステルEを180℃で4時間不活性ガス雰囲気中
で乾燥し、溶融押出機により290℃で押出し、静電印
加密着法を採用して表面温度を40℃に設定した回転冷
却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次い
で、得られたシートを85℃で3.5倍縦方向に延伸し
た。次いで、フイルムをテンターに導き100℃で3.
7倍横方向に延伸した後、230℃にて熱固定を行い、
厚さが75μmのフイルムを得た。
で乾燥し、溶融押出機により290℃で押出し、静電印
加密着法を採用して表面温度を40℃に設定した回転冷
却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次い
で、得られたシートを85℃で3.5倍縦方向に延伸し
た。次いで、フイルムをテンターに導き100℃で3.
7倍横方向に延伸した後、230℃にて熱固定を行い、
厚さが75μmのフイルムを得た。
【0039】次いで、ポリエステルフイルムの片面に硬
化性シリコーン樹脂(信越化学工業(株)社製「KS7
23A」)100部、硬化剤(信越化学工業(株)社製
「KS723B」)5部、触媒(信越化学工業(株)社
製「PS−3」)3部、メチルエチルケトン/トルエン
混合溶媒2000部から成る塗布液をマイヤーバーにて
塗布し、130℃で15秒熱処理を行い、塗布厚みが
0.1μmの硬化シリコーン樹脂皮膜を形成した離型フ
イルムを得た。得られたフイルムの評価結果を表2に示
す。
化性シリコーン樹脂(信越化学工業(株)社製「KS7
23A」)100部、硬化剤(信越化学工業(株)社製
「KS723B」)5部、触媒(信越化学工業(株)社
製「PS−3」)3部、メチルエチルケトン/トルエン
混合溶媒2000部から成る塗布液をマイヤーバーにて
塗布し、130℃で15秒熱処理を行い、塗布厚みが
0.1μmの硬化シリコーン樹脂皮膜を形成した離型フ
イルムを得た。得られたフイルムの評価結果を表2に示
す。
【0040】実施例2 実施例1と同様の方法により、ポリエステルFを使用し
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
【0041】実施例3 実施例1と同様の方法により、ポリエステルGを使用し
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
【0042】実施例4 実施例1と同様の方法により、ポリエステルHを使用し
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
【0043】比較例1 実施例1と同様の方法により、ポリエステルCを使用し
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
【0044】比較例2 実施例1と同様の方法により、ポリエステルAを使用し
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
て厚さ75μmの離型フイルムを得た。得られたフイル
ムの評価結果を表2に示す。
【0045】比較例3 実施例1と同様の方法により、ポリエステルDを使用し
て厚さ75μmのフイルムを得るべく製膜を行った所、
テンター内で破断が頻発し、所望のフイルムを得ること
が出来なかった。
て厚さ75μmのフイルムを得るべく製膜を行った所、
テンター内で破断が頻発し、所望のフイルムを得ること
が出来なかった。
【0046】
【表2】 ──────────────────────────────────── 実施例 1 2 3 4 1 2 3 ポリエステル種類 E F G H C A Dスルーホール 打ち抜き性 ○ ○ △ ○ × × − 引張破断伸度(%) γ軸方向 80 85 95 85 130 130 − β軸方向 110 125 135 125 150 150 − γ+β 190 210 230 210 280 280 − 剥離力試験(g/50mm) 50 50 50 50 50 50 − 総合評価 ○ ○ ○ ○ × × × ────────────────────────────────────
【0047】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、スルーホ
ール打ち抜き時にバリ等の発生が無いグリーンシート用
離型フイルムが提供され、本発明の離型フイルムは、グ
リーンシートの多層積層法により、セラミック基板を作
成する際に好適に使用することが出来る。
ール打ち抜き時にバリ等の発生が無いグリーンシート用
離型フイルムが提供され、本発明の離型フイルムは、グ
リーンシートの多層積層法により、セラミック基板を作
成する際に好適に使用することが出来る。
Claims (2)
- 【請求項1】 平均粒径0.05〜1μmの粒子を2〜
25重量%含有する二軸配向されたポリエステルフイル
ムの少なくとも片面に硬化シリコーン樹脂塗膜を設けて
成ることを特徴とするグリーンシート用離型フイルム。 - 【請求項2】 フイルムのγ軸方向およびβ軸方向の引
張破断伸度の和が100〜250%である請求項1に記
載の離型フイルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30690795A JPH09123359A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | グリーンシート用離型フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30690795A JPH09123359A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | グリーンシート用離型フイルム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09123359A true JPH09123359A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=17962712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30690795A Pending JPH09123359A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | グリーンシート用離型フイルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09123359A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008018473A1 (fr) * | 2006-08-10 | 2008-02-14 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Feuille conductrice |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP30690795A patent/JPH09123359A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008018473A1 (fr) * | 2006-08-10 | 2008-02-14 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Feuille conductrice |
US8440305B2 (en) | 2006-08-10 | 2013-05-14 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Electrically conductive sheet |
JP5210160B2 (ja) * | 2006-08-10 | 2013-06-12 | 電気化学工業株式会社 | 導電性シート |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6380104B2 (ja) | 離型用二軸配向積層ポリエステルフィルム | |
JP6171937B2 (ja) | 離型用二軸配向ポリエステルフィルム | |
JP4151370B2 (ja) | 離型フィルム | |
JP2009215350A (ja) | 離型用ポリエステルフィルム | |
JP7000677B2 (ja) | ポリエステルフィルム | |
JP2006051661A (ja) | 離型フィルム | |
WO2019073737A1 (ja) | フィルム | |
JP3948333B2 (ja) | セラミック離型用ポリエステルフィルム | |
JPH11320524A (ja) | 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム | |
JPH09123359A (ja) | グリーンシート用離型フイルム | |
JP2006051681A (ja) | 離型フィルム | |
JP2004188814A (ja) | 離型フィルム | |
JP5300372B2 (ja) | 剥離性ポリエステルフィルム | |
JP3643441B2 (ja) | 複合化離型フィルム | |
JP7172304B2 (ja) | 熱可塑性樹脂フィルム | |
JPH1044350A (ja) | グリーンシート用離型フィルム | |
JP2008239844A (ja) | 離型用ポリエステルフィルム | |
JP6961928B2 (ja) | ポリエステルフィルム | |
JPH10278203A (ja) | 離型フィルム | |
JPH0788952A (ja) | 二軸配向熱可塑性樹脂フイルム | |
JPH09193325A (ja) | グリーンシート用離型フィルム | |
JP4391858B2 (ja) | グリーンシート成形用離型フィルム | |
JP4306226B2 (ja) | セラミックシート付き離型フィルム | |
JPH1086304A (ja) | 複合化離型フィルム | |
JP2008239843A (ja) | 離型用ポリエステルフィルム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021101 |