JPH09115191A

JPH09115191A - 光学的情報記録媒体及びその製造方法

Info

Publication number: JPH09115191A
Application number: JP7292013A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Kondo; 哲也近藤
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1995-10-13
Filing date: 1995-10-13
Publication date: 1997-05-02

Abstract

(57)【要約】【課題】精度と生産性に優れた多層構造の光ディスク
とその製造方法を提供する。【解決手段】放射線硬化樹脂２２を挟んで基板４とス
タンパ２１とを重ね合わせた後、基板４とスタンパ２１
とを高速回転させる（同図（Ｂ））。すると、同図に示
すように、中央部分に塗布した放射線硬化樹脂２２が回
転の遠心力により外周部へ広がり、更に、同図（Ｃ）に
示すように余剰の放射線硬化樹脂２２が基板４とスタン
パ２１の端面から外側へ振り切られて除去される。高速
回転の遠心力による水平方向の均一な外向力により、均
一な膜厚で気泡の混入がない透明樹脂層を短時間の製造
工程で形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学的情報記録媒
体及びその製造方法に係り、特に、光透過性材料から成
る基板上に放射線硬化樹脂層を有し、この放射線硬化樹
脂層に凹凸形状を形成して情報記録面とする光学的情報
記録媒体及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光学的に読取り可能な情報が
記録され、レーザ光スポットを用いて記録された情報を
読み出させる光学的情報記録媒体があり、特に、近年に
おいては、コンパクトディスク（以下、ＣＤと記載す
る）や、ＣＤ−ＲＯＭをはじめとする光ディスクの普及
がめざましいものとなっている。上記ＣＤ−ＲＯＭは、
コンピュータ用のみならず、最近は多機能ゲーム用ＣＤ
−ＲＯＭも登場し、コンピュータ、ゲーム共磁気ディス
ク（フロッピーディスク）やＲＯＭカートリッジからＣ
Ｄへの乗り換えが進んでいる。

【０００３】また、ＣＤよりも小さなピットをトラック
ピッチを詰めて記録することで情報を高密度に記録した
高密度型光ディスクも提案されており、映画以外にマル
チメディアへの利用もささやかれている。更に、上記Ｃ
Ｄが基板上のある一面にのみ信号が記録されている単層
の情報記録面を有しているのに対し、基板上に放射線硬
化樹脂より成る透明樹脂層を積層することで基板の厚さ
方向に複数の情報記録面を有する多層構造の光ディスク
が提案されている。

【０００４】以下、図１を用いて上記多層構造の光ディ
スクについて説明する。図１は、多層構造の光ディスク
の構造を示す図である。なお、同図は光ディスクのトラ
ック方向の断面図の一部を示している。また、説明を簡
単にするため、以下に説明する多層構造の光ディスクに
ついては、情報記録面を２面有するものについて説明す
る。

【０００５】同図に示すように、従来の多層構造の光デ
ィスク（以下、単に光ディスクと記載する）１は、光透
過性基板４上に、第１の反射層５、透明樹脂層６、第２
の反射層７、保護膜８がこの順に積層されて構成されて
いる。上記基板４上には情報に応じた凹凸ピット４Ａが
形成され、また上記透明樹脂層６上には情報に応じた凹
凸ピット４Ｂが形成されている。即ち、上記光ディスク
１は、基板４の厚さ方向に２面の情報記録層を有してお
り、上記光透過性基板４のピット４Ａ形成面が第１の情
報記録面２であり、上記透明樹脂層６のピット４Ｂ形成
面が第２の情報記録面３である。

【０００６】また、第１の情報記録面２と第２の情報記
録面３との間に形成される第１の反射層５は、第２の情
報記録面３への光の入射や反射が行えるようある程度の
光透過率を有する材料で構成される。なお、以下、この
第１の反射層５を半透明反射層５と記載し、第２の反射
層７を反射層７と記載する。そして、３面以上の情報記
録面を形成する場合には、上記透明樹脂層６上の反射層
７上に第２の透明樹脂層を形成し、この第２の透明樹脂
層上にピットを形成して第３の情報記録面とし、更に第
４の情報記録面以降も同様に構成される。

【０００７】上記各情報記録面に記録された情報を読み
出すための再生用レーザ光は、上記基板４の下側から入
射される。ここで、上記光ディスク１における各情報記
録面の間隔は数十ミクロンと狭いが、再生装置の光ピッ
クアップはその間隔を正しく認識して、所望の情報記録
面に焦点を結ぶことで、各情報記録面の情報が読み出さ
れるようになっている。以上のように光ディスクの構造
を基板４の厚さ方向に２面以上の情報記録面を設けて多
層構造とすることで、従来の単層構造の光ディスクより
も大量の情報を記録することが可能になるのである。

【０００８】次に、以上のような構成の光ディスク１の
従来の製造方法を図６を用いて説明する。なお、説明の
簡略化のために２層ディスクとして説明する。まず、同
図（Ａ）に示すように、第１の情報記録面のピット４Ａ
の逆パターンを有するスタンパ（図示せず）により、例
えば射出成形によってピット４Ａを表面に有する光ディ
スク基板４を成形する。次に、同図（Ｂ）に示すよう
に、基板４のピット４Ａが形成された表面に半透明反射
層５をスパッタリング、イオンプレーティング、ＣＶ
Ｄ、真空蒸着法、スピンコートなどの成膜方法によって
形成する。なお、この半透明反射層５は前述のようにあ
る程度の光透過率を有する反射層である。

【０００９】次に、上記半透明反射層５の上に上記第２
の情報記録面３を形成する。第２の情報記録面３は従来
より周知の２Ｐ工法により形成する。即ち、同図（Ｃ）
に示すように、第２の情報記録面３のピット４Ｂの逆パ
ターンの凹凸形状２１Ａを有するスタンパ２１を用意
し、上記基板４の半透明反射層５上に紫外線硬化樹脂２
２を滴下し、続いてスタンパ２１の信号面を紫外線硬化
樹脂２２が滴下された基板４上に押圧して紫外線硬化樹
脂２２を均一な厚みに延ばす。このスタンパ２１の押圧
時、同図（Ｄ）に示すように、基板４の外周部からオー
バーフローした樹脂はノズル２３で吸い取る。そして、
同図（Ｅ）に示すように、基板４側から紫外線（放射
線）を照射して上記紫外線硬化樹脂２２を硬化させてス
タンパ２１を剥離すると、同図（Ｆ）に示すように第２
の情報記録面３となるピット４Ｂが形成された光ディス
ク基板が得られる。最後に第２の情報記録面３上に、ア
ルミニウムや金等をスパッタリングや真空蒸着等の真空
成膜で成膜することによって、反射層７を形成し、更に
この反射層７上に保護膜８を形成し、保護膜８上にレー
ベル（図示せず）を印刷することにより、同図（Ｇ）に
示すような多層構造の光ディスクが完成する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な多層構造の光ディスクは再生原理上の制約により、各
情報記録面の間隔を非常に厳密に管理する必要がある。
例えば４０μｍの透明樹脂層の膜厚に対し、±３μｍく
らいの膜厚変動しか許容されない。しかし上述の２Ｐ工
法では装置の精度を向上させても±５μｍくらいにする
のが限度である。更に、上記２Ｐ工法は、生産性が悪
く、第２の情報記録面以降の情報記録面の成形に１面当
たり２分くらい要してしまう。成形速度を上げることは
押圧を大きくする、或いは樹脂滴下量を多くすることで
可能であるが、膜厚の精度が下がったり、気泡を巻き込
んで欠陥を生じたり、オーバーフローの吸い取りが不充
分となる等の問題が生じる。即ち、従来より知られてい
る製造方法を用いて上述のような多層構造の光ディスク
を製造しようとすると、精度と生産性に二律背反の問題
が生じてしまうのである。

【００１１】また、上述のような製造方法の場合、半透
明反射層５の材料としてシリコン酸化膜（ＳｉＯｘ）、
シリコン酸化膜系合金、シリコン窒化膜（ＳｉＮｘ）、
シリコン窒化膜系合金等を用いるのが一般的であるが、
これらの材料は紫外線硬化樹脂からなる透明樹脂層６と
の密着力が悪く、環境負荷テスト時にクラックが入った
り、甚だしき場合には剥離してしまったりするという問
題もあった。樹脂に接着力を持たせるため特殊な官能基
を導入することは容易であるが、半透明反射層５に接着
力を持つように設計すると、スタンパ（材質ニッケル）
に対しても接着力が発生し、剥離が困難になるという欠
点が新たに発生してしまう。また、半透明反射層５には
接着し、ニッケルには接着しないような理想的な樹脂は
設計が非常に困難で、現実的には存在していない。

【００１２】そこで、本発明は上記の点に着目してなさ
れたものであり、精度と生産性、そして信頼性に優れた
多層構造の光ディスクとその製造方法を提供することを
目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するための手段として、「光透過性材料から成る基板
上に放射線硬化樹脂層を積層して成り、前記放射線硬化
樹脂層上に案内溝又はピットによる凹凸形状を形成して
情報を記録するための情報記録面とした光学的情報記録
媒体の製造方法において、前記放射線硬化樹脂層の凹凸
形状を形成するためのスタンパの表面又は前記基板上に
放射線硬化樹脂を滴下する工程と、この滴下した放射線
硬化樹脂を挟んで前記基板と前記スタンパとを対向して
重ね合わせる工程と、前記基板と前記スタンパとを重ね
合わせた状態で高速回転させる工程と、放射線を照射し
て前記放射線硬化樹脂を硬化させる工程とをこの順に有
することを特徴とする光学的情報記録媒体の製造方法」
を提供しようとするものである。

【００１４】また、本発明は、上記目的を達成するため
の手段として、「光透過性材料から成る基板上に半透明
反射層、放射線硬化樹脂層を順次積層して成り、前記放
射線硬化樹脂層上に案内溝又はピットによる凹凸形状を
形成して情報を記録するための情報記録面とした光学的
情報記録媒体において、前記半透明反射層と放射線硬化
樹脂層との間にプライマー膜を形成したことを特徴とす
る光学的情報記録媒体」を提供しようとするものであ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施例を説明する。なお、以下の説明では、図１で
示した２面の情報記録面を有する多層構造の光ディスク
１を製造する場合について説明するものとする。図２
は、本発明の光学的情報記録媒体の製造方法の第１の実
施例を説明するための図である。射出成形などの成形方
法によって表面にピット４Ａが刻まれたディスク基板４
を用意し、この基板４のピット形成表面に半透明反射層
５をスパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティン
グ、ＣＶＤ、スピンコート法などによって成膜し（光透
過性材料から成る基板）、基板４の半透明反射層５の表
面または上記スタンパ２１のいずれか、あるいは両表面
に放射線硬化樹脂を塗布し、スタンパ２１と半透明反射
層５とを重ね合わせる工程（同図（Ａ））までは、上記
従来の多層構造の光ディスクの製造方法と同じである
が、本実施例では、以下の工程が異なる。

【００１６】即ち、同図（Ｂ）に示すように、放射線硬
化樹脂２２を挟んで基板４とスタンパ２１とを重ね合わ
せた後、基板４とスタンパ２１とを同図中一点鎖線で示
す中心線を中心に水平方向に高速回転させる。すると、
同図に示すように、中央部分に塗布した放射線硬化樹脂
２２が回転の遠心力により外周部へ広がり、更に、同図
（Ｃ）に示すように余剰の放射線硬化樹脂２２が基板４
とスタンパ２１の端面から外側へ振り切られて除去され
る。即ち、従来は、スタンパ２１の押圧力や押圧時間で
透明樹脂層６の膜厚を制御し、また、押圧の際の余剰の
放射線硬化樹脂２２はノズルで吸い取っていたが、本実
施例では、高速回転による遠心力により透明樹脂層６の
膜厚が均一に制御されると共に余剰な放射線硬化樹脂２
２が除去されるのである。

【００１７】そして、余剰な放射線硬化樹脂２２を取り
除いた後、重ね合わせた基板４及びスタンパ２１の回転
を減じまたは停止し、同図（Ｄ）に示すように基板４側
から放射線を照射して放射線硬化樹脂２２を硬化させて
から、スタンパ２１を剥離すると表面にピット４Ｂが形
成された透明樹脂層６を形成することができる（同図
（Ｅ））。そして、最後に反射層７や保護膜８を順次成
膜して、同図（Ｆ）に示すような二層ディスクを作製す
ることができる。

【００１８】以上のように、従来方法がスタンパ２１を
基板面に対して垂直に押しつけていたのに対し、本実施
例では、基板４とスタンパ２１をその中心に対して共に
高速回転させる。ここで、透明樹脂層６の膜厚は、従来
法がスタンパ２１を押しつける圧力、押しつける時間、
樹脂粘度に大きく依存していたのに対し、本実施例では
高速回転の回転数、樹脂粘度に大きく依存する。即ち、
本実施例ではスタンパ２１と基板とを押しつける圧力や
押しつける時間は共にほとんどゼロであるため、圧力む
らや押しつけ時間の誤差による膜厚ばらつきの要因がな
いのである。また、本実施例による方法では、遠心力に
よる水平方向の均一な外向力が、放射線硬化樹脂２２の
膜厚を均一に減じさせるので、均一な膜厚が得やすい。
更に、基板４とスタンパ２１とを重ね合わせるときに発
生する気泡は、高速回転により、内周から外周へ、そし
てディスクの外側へと排出されるので粘度が適正であれ
ば気泡欠陥の問題も発生しない。更に、従来法に比べて
処理時間が短く、１面あたり３０秒から１分程度で作る
ことができる。

【００１９】また、樹脂の余剰分はスピンアウトされる
ので、端面に溜まる樹脂量が上述の従来の製造方法に比
べて大幅に軽減できる。つまり吸い取り等の端面処理は
ずっと簡単でよくなる。また、高速回転後の端面処理
は、基板４と同じ外径のスタンパ２１を用いた場合に必
要であるが、各種径のスタンパ２１を用いて実験を試み
たところ、端面処理を一切不要にすることも可能である
ことが分かった。それはスタンパ２１の外径を、基板４
の外径と同じか、もしくは僅かに小さくした場合であ
る。このようなスタンパ２１を用いた場合には樹脂が端
面で溜まることがないため、放射線硬化樹脂の硬化時に
バリが発生せず、滑らかな端面を持つディスクを得るこ
とができる。したがって、このようなスタンパを用いれ
ば、光ディスクの生産性が著しく向上できる。更に、上
述したような高速回転による放射線硬化樹脂の振り切り
は、平坦な基板上に透明樹脂層を直接積層し、この透明
樹脂層表面にピットや案内溝による凹凸形状を形成する
場合でも使用可能である。即ち、平坦な基板上に透明樹
脂層を積層して透明樹脂層表面を第１の情報記録面とし
た多層構造の光ディスクや単層構造の光ディスクの製造
方法としても使用可能である。

【００２０】ところで、本発明に使用する放射線硬化樹
脂２１は、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂など、放射
線によって硬化するものであれば良いが、本発明の製造
方法で効果を充分に発揮するためには樹脂粘度というも
のが重要になる。次に、この樹脂粘度について図３を用
いて説明する。図３は、本発明の光学的情報記録媒体の
製造方法で使用する放射線硬化樹脂の樹脂粘度を説明す
るための図である。具体的には、上述した本発明の製造
方法において種々の粘度の放射線硬化樹脂を用いた場
合、形成される透明樹脂層６の膜厚が高速回転の回転数
に応じてどのように変化するのかを示している。上述の
多層構造の光ディスクは信号再生上、透明樹脂層６の厚
みが３５〜５０μｍ程度が良いとされているが、同図に
よれば、放射線硬化樹脂の粘度と樹脂振り切りのための
回転数が、比較的広い範囲から選ぶことができることを
示している。一方、形成された放射線硬化樹脂６の膜厚
分布に着目すると、樹脂粘度と回転数の範囲はある程度
限定される。例えば、形成される透明樹脂層６の厚みが
約４０μｍとなるような条件下での膜厚分布を調べると
以下の表１のようになる。

【００２１】

【表１】

【００２２】上述のように透明樹脂層６の膜厚分布は再
生信号の出力変動につながるので、±３μｍ以下に抑え
る必要がある。このような観点で適切な樹脂粘度と回転
数を上記表１から判断すると、樹脂粘度８０〜１１００
ｃＰ、回転数７５０〜１５００ｒｐｍの範囲が適当であ
ることが分かる。ここで、形成された透明樹脂層６の膜
厚分布が樹脂粘度や回転数の条件によって変わる理由は
明らかになっていないが、樹脂のレオロジーや高速回転
時の基板の定常的振動が関係しているものと思われる。

【００２３】一方、信頼性の問題であるが、これは基板
４に表面処理を行うことで解決をはかるべく、鋭意検討
を行ったところ、適切なプライマー処理を行うことで解
決できることが判明した。以下、この光ディスクの信頼
性向上に関する本発明の第２の実施例について説明す
る。図４は、本発明の光学的情報記録媒体の一実施例の
構造を示す図である。同図に示すように、光ディスク１
０は、上記光ディスク１の半透明反射層５と透明樹脂層
６との間にカップリング剤をダイレクトに、またはカッ
プリング剤を含む樹脂を薄膜状に形成したプライマー膜
９を有する構造になっている。

【００２４】即ち、上記半透明反射層５は、一般的には
シリコン酸化膜（ＳｉＯｘ）、シリコン酸化膜系合金、
シリコン窒化膜（ＳｉＮｘ）、シリコン窒化膜系合金等
で構成され、上記透明樹脂層６は紫外線硬化樹脂等の樹
脂で構成されるというように、半透明反射層５と透明樹
脂層６とが異なる材料で構成されるため密着性が悪く、
環境負荷テスト時に透明樹脂層６にクラックが入った
り、透明樹脂層６が剥離してしまったりした。そこで、
上記光ディスク１０では、異なる材料間の密着性を高め
るようなプライマー膜９を半透明反射層５と透明樹脂層
６との間に形成して、透明樹脂層６の密着性を改善して
いる。また、このようなプライマー膜９を設ければ、透
明樹脂層６を構成する樹脂自体には接着力はそれほど必
要とせず、接着力の低い樹脂を使用することも可能であ
る。したがって、このように接着力の低い樹脂を用いて
透明樹脂層６を形成すれば、形成の際にスタンパとの密
着性が小さくなるので、スタンパの剥離が容易になると
いう利点もある。

【００２５】また、上記プライマー膜９のカップリング
剤は、具体的にはシランカップリング剤、チタネートカ
ップリング剤、アルミネートカップリング剤から選ば
れ、硬化性樹脂は紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂、熱
硬化樹脂などから選ばれる。プライマー膜９の膜厚は単
分子（数オングストローム）〜数μｍの範囲が適当であ
る。プライマー膜９の塗布方法は、ベーパー塗布法やス
ピンコート法により行う。

【００２６】上記ベーパー塗布法によりプライマー膜９
を形成する方法としては、例えば図５に示すように、半
透明反射層５を形成した基板４を、カップリング剤３１
がいれられた密閉容器３２内に半透明反射層５が下側に
なるようにカップリング剤３１から距離を隔てて水平に
保持する。そして、所定時間放置するとカップリング剤
３１の蒸気が半透明反射層５表面に被着される。このよ
うにしてプライマー膜９を形成する。一方、上記スピン
コート法を用いる場合は、カップリング剤そのものまた
はカップリング剤を含む樹脂を、回転させた半透明反射
層付きの基板４上に滴下し、所定の厚さに塗布し、必要
に応じて硬化させて形成する。

【００２７】そして、このように半透明反射層５の上に
プライマー膜９を形成した後に、例えば、上述の第１の
実施例で説明した光ディスクの製造方法（図２参照）を
用いて、プライマー膜９上にピットや案内溝による凹凸
形状を有する上記透明樹脂層６を形成する。

【００２８】なお、上記プライマー膜９は、シリコン酸
化膜、シリコン酸化膜系合金、シリコン窒化膜（ＳｉＮ
ｘ）、シリコン窒化膜系合金等と放射線樹脂との間の密
着性を高めるために設けているが、単層ディスクのよう
に基板４と透明樹脂層６とを直接密着させる場合の密着
性を高めるために設けても良い。

【００２９】次に、具体的な実施例により本発明を更に
詳述する。＜実施例１＞最短ピット長０．４５１μｍ、トラックピ
ッチ０．８４μｍで形成されたスタンパを２枚用意し
た。１枚めのスタンパ（射出成形用）は内径を３５．６
ｍｍ、外径を１２８ｍｍとし、２枚めのスタンパ（２Ｐ
成形用）は内径を３０ｍｍ、外径を１２０ｍｍに加工し
た。１枚めのスタンパを用いポリカーボネートの射出成
形で１．２ｍｍ厚の基板４を製作した。続いてこれにシ
リコン酸化膜（ＳｉＯｘ）からなる半透明反射層５（膜
厚５００オングストローム）をスパッタリングで成膜し
た。

【００３０】次に、直径３００ｍｍ、高さ５０ｍｍのフ
タ付き密閉容器を用意し、図５に示すようにシランカッ
プリング剤ＯＡＰ（東京応化工業（株）製）を約１ｃｍ
の深さに満たしておく。なお、上記シランカップリング
剤ＯＡＰの構造式を以下の構造式１に示す。

【００３１】

【化１】

【００３２】そして、シランカップリング剤ＯＡＰの液
面から３ｃｍの空間を隔てて半透明反射層５が下になる
ようにして基板４を放置し、ＯＡＰの蒸気に５分間暴露
した。この処理によって半透明反射層５の表面にはプラ
イマー膜９が単分子層被着した。

【００３３】続いて外径１２０ｍｍの平坦なターンテー
ブルを有するスピナーを用意し、２枚めのスタンパをこ
のターンテーブルに対しフラットになるよう取り付け
た。一方、２官能アクリレートＲ６８４（日本化薬
（株）製）を９７部、光重合開始剤としてＤａｒｏｃｕ
ｒ１１７３（メルクジャパン（株）製）３部から成る紫
外線硬化樹脂組成物を用意した。この紫外線硬化樹脂組
成物は２３℃において、粘度が１４６ｃＰであった。な
お、上記アクリレートＲ６８４の構造式を以下の構造式
２に、上記Ｄａｒｏｃｕｒ１１７３の構造式を以下の構
造式３に示す。

【００３４】

【化２】

【００３５】

【化３】

【００３６】次に、ターンテーブルを３０ｒｐｍで回転
させながら、この紫外線硬化樹脂組成物をスタンパ表面
上に直径８０ｍｍの位置に５秒間かけて滴下し、樹脂を
リング状に塗布した。次に、プライマー膜９を形成した
基板４をプライマー膜９と回転しているリング状樹脂が
対向するように落とし、ただちに回転数を１０００ｒｐ
ｍに上げて１５秒間保持した。この高速回転によって余
剰な紫外線硬化樹脂と、紫外線硬化樹脂中に混入した気
泡とが併せてスピンアウトした。続いて、ターンテーブ
ルの回転を１００ｒｐｍに減じ、紫外線を大気中で１０
秒間照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させた。そして、ス
タンパから基板を剥離すると、透明樹脂層６を有する基
板が得られた。この得られた基板には気泡がなく、また
外周部のバリもなかった。また、形成した透明樹脂層６
の膜厚を測定したところ、３８μｍ±２μｍと均一であ
った。一方、剥離後のスタンパの方も外周部のバリはな
く、そのまま再使用ができる表面状態であった。

【００３７】最後に透明樹脂層表面に第２の反射層７と
してアルミニウムをスパッタリングで７００オングスト
ローム成膜した。そして保護膜８としてＳＤ−１７００
（大日本インキ製）をスピンコートで１０μｍ成膜し、
図１に示す二層ディスク１を完成させた。

【００３８】この光ディスクをレーザー波長６３５ｎ
ｍ、対物レンズ開口数ＮＡ０．５２を有するディスク評
価機にて再生評価した。ピックアップのフォーカス位置
を変えて、各情報記録面２，３の信号を別々に観察する
ことができた。このとき両情報記録面２，３の相互干渉
は見いだせず、両情報記録面２，３ともアイパターンは
きれいに開いており、安定した再生が可能であった。イ
コライザー通過後の再生ジッターは第１の情報記録面２
が７．５％、第２の情報記録面３が６．８％で、充分実
用になるレベルであった。また、５５℃、９５％ＲＨ、
２００時間の環境負荷試験で、ジッターはそれぞれ０．
６％と０．５％増加したが、透明樹脂層６のウキや膜剥
がれなどの問題は発生せず、信頼性の確認ができた。

【００３９】＜実施例２＞半透明反射層５（膜厚５００
オングストローム）をスパッタリングで成膜するところ
までは実施例１と同様に作製した。次に、シランカップ
リング剤Ａ−１７４（日本ユニカー（株）製）５部、２
官能アクリレートＨＤＤＡ（日本化薬（株）製）９２
部、光重合開始剤Ｄａｒｏｃｕｒ１１７３（メルクジャ
パン（株）製）３部から成るプライマー液を用意した。
なお、上記Ａ−１７４の構造式を以下の構造式４に、上
記ＨＤＤＡの構造式を以下の構造式５に示す。

【００４０】

【化４】

【００４１】

【化５】

【００４２】スピナーを用いて上記プライマー溶液を半
透明反射層５に滴下し、２０００ｒｐｍの高速回転で振
り切りを行った。続いて回転を１００ｒｐｍに減じ、紫
外線を大気中で１０秒間照射、硬化させプライマー膜９
を形成した（膜厚約１μｍ）。引き続きスピナーの回転
を３０ｒｐｍに下げ、２官能アクリレートＲ５５１（日
本化薬（株）製）９７部、光重合開始剤Ｄａｒｏｃｕｒ
１１７３（メルクジャパン（株）製）３部から成る紫外
線硬化樹脂組成物（２３℃における樹脂粘度が１１００
ｃＰ）を５秒間かけて直径７０ｍｍの位置にリング状に
塗布し、スピナーを停止させた。なお、上記Ｒ５５１の
構造式を以下の構造式６に示す。

【００４３】

【化６】

【００４４】続いて、内径を２５ｍｍ、外径を１１９ｍ
ｍに加工した２枚めのスタンパを平坦に取り付けた外径
１１９ｍｍのターンテーブルを有するスピナーを用意し
た。そして２枚目のスタンパ表面と上記基板上に塗布し
たリング状の樹脂面とが対向するように重ね合わせ、直
ちに１５００ｒｐｍの高速回転を３０秒行った。これに
よって余剰な紫外線硬化樹脂と混入した気泡が併せてス
ピンアウトした。そして最後に５０００ｒｐｍの超高速
回転を１秒間行い、回転を停止させた。続いてこの一組
を窒素雰囲気に置き、紫外線を５秒間照射し、紫外線硬
化樹脂を硬化させた。そして、スタンパから基板を剥離
すると、ピット４Ｂが形成された透明樹脂層６を有する
基板４が得られた。そして、この形成された透明樹脂層
６を観察したところ、気泡がなく、また外周部のバリも
なかった。更に、透明樹脂層６の膜厚を測定したとこ
ろ、４０μｍ±３μｍと均一であった。一方、剥離後の
スタンパの方も外周部のバリはなく、そのまま再使用が
できる表面状態であった。最後に実施例１と同様に、反
射層７、保護膜８を成膜し、光ディスク１を完成させ
た。

【００４５】なお、１５００ｒｐｍの高速回転の後に５
０００ｒｐｍの超高速回転を加えた理由としては、粘度
の高い樹脂は外周端部に樹脂が表面張力で盛り上がりや
すくなるためである。この表面張力による外周端部の盛
り上がりは、放射線硬化樹脂の硬化後にバリになる程の
量ではないが、スタンパの剥離時に離型力が余分に必要
となってしまう。そこで、４０００〜１００００ｒｐｍ
の超高速回転をごく短時間加えて、端部盛り上がり樹脂
の振り切りを完全に行ったのである。また紫外線硬化を
窒素雰囲気で行った理由は、空気中の酸素を遮断して、
硬化速度を速めるためであるが、窒素に限らず、アルゴ
ン、二酸化炭素等でも同様の効果がえられる。

【００４６】以上のように作製した光ディスクを、実施
例１と同様にレーザー波長６３５ｎｍ、対物レンズ開口
数ＮＡ０．５２を有するディスク評価機にて再生評価し
たところ、実施例１と同様に安定して再生できた。ま
た、イコライザー通過後の再生ジッターは第１の情報記
録面２が７．７％、第２の情報記録面３が７．１％で、
充分実用になるレベルであった。また５５℃、９５％Ｒ
Ｈ、２００時間の環境負荷試験で、ジッターはそれぞれ
０．８％、０．７％増加したが、透明樹脂層６のウキや
膜剥がれなどの問題は発生せず、信頼性の確認ができ
た。

【００４７】以上、２つの実施例について説明したが、
本発明はこれら２例に限定されるものではない。例えば
上記実施例１，２では透明樹脂層６を形成する放射線硬
化樹脂として紫外線硬化樹脂を用いたが、その組成物は
感応性不飽和樹脂と光重合開始剤に限定されるものでは
なく、重合促進剤、離形剤、黄変防止剤等の少量の添加
物を加えてもよい。また先述したように、電子線硬化樹
脂などでもよい。またプライマー膜９として塗布する樹
脂も紫外線硬化樹脂に限定されるものではなく、電子線
硬化樹脂や熱硬化性樹脂などが使用でき、必要に応じて
溶剤等で希釈して使用することもできる。またカップリ
ング材はシランカップリング剤以外に、チタネートカッ
プリング剤、アルミネートカップリング剤なども用いる
ことができる。更にプライマー膜９の塗布後、必要なら
ばベーキングを行って密着力を高めてもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明の光学的情報
記録媒体の製造方法によれば、光透過性材料から成る基
板上に放射線硬化樹脂層を積層して成り、放射線硬化樹
脂層上に案内溝又はピットによる凹凸形状を形成して情
報を記録するための情報記録面とした光学的情報記録媒
体の製造方法において、放射線硬化樹脂を挟んで基板と
スタンパとを対向して重ね合わせ後に、基板とスタンパ
とを重ね合わせた状態で高速回転させるので、均一な膜
厚で気泡の混入がない放射線硬化樹脂層を短時間の製造
工程で形成することができる。

【００４９】また、光透過性材料から成る基板上に半透
明反射層、放射線硬化樹脂層を順次積層して成り、前記
放射線硬化樹脂層上に案内溝又はピットによる凹凸形状
を形成して情報を記録するための情報記録面とした光学
的情報記録媒体において、前記半透明反射層と放射線硬
化樹脂層との間にプライマー膜を形成したので、放射線
硬化樹脂層にクラックが入ったり、或いは放射線硬化樹
脂層が剥離することを防止でき光学的情報記録媒体の信
頼性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明及び従来の光学的情報記録媒体で製造し
た多層構造の光ディスクの構造の一例を示す図である。

【図２】本発明の光学的情報記録媒体の製造方法の第１
の実施例を説明するための図である。

【図３】本発明の光学的情報記録媒体の製造方法で使用
する放射線硬化樹脂の樹脂粘度を説明するための図であ
る。

【図４】本発明の光学的情報記録媒体の一実施例の構造
を示す図である。

【図５】本発明の光学的情報記録媒体の製造方法の第２
の実施例を説明するための図である。

【図６】従来の光学的情報記録媒体の製造方法の一例を
示す図である。

【符号の説明】

１，１０光ディスク（光学的情報記録媒体）２第１の情報記録面３第２の情報記録面４光透過性基板５半透明反射層６透明樹脂層（放射線硬化樹脂層）７反射層９プライマー膜２１スタンパ２２放射線硬化樹脂３１プライマー溶液

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光透過性材料から成る基板上に放射線硬化
樹脂層を積層して成り、前記放射線硬化樹脂層上に案内
溝又はピットによる凹凸形状を形成して情報を記録する
ための情報記録面とした光学的情報記録媒体の製造方法
において、前記放射線硬化樹脂層の凹凸形状を形成するためのスタ
ンパの表面又は前記基板上に放射線硬化樹脂を滴下する
工程と、この滴下した放射線硬化樹脂を挟んで前記基板
と前記スタンパとを対向して重ね合わせる工程と、前記
基板と前記スタンパとを重ね合わせた状態で高速回転さ
せる工程と、放射線を照射して前記放射線硬化樹脂を硬
化させる工程とをこの順に有することを特徴とする光学
的情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】請求項１記載の光学的情報記録媒体の製造
方法において、前記放射線硬化樹脂として粘度が８０〜１１００ｃＰの
ものを使用することを特徴とする光学的情報記録媒体の
製造方法。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載の光学的情報
記録媒体の製造方法において、前記スタンパの外径を、前記基板の外径と同じか、又は
僅かに小さくしたことを特徴とする光学的情報記録媒体
の製造方法。
【請求項４】光透過性材料から成る基板上に半透明反射
層、放射線硬化樹脂層を順次積層して成り、前記放射線
硬化樹脂層上に案内溝又はピットによる凹凸形状を形成
して情報を記録するための情報記録面とした光学的情報
記録媒体において、前記半透明反射層と放射線硬化樹脂層との間にプライマ
ー膜を形成したことを特徴とする光学的情報記録媒体。
【請求項５】請求項４記載の光学的情報記録媒体におい
て、前記プライマー膜は、シランカップリング剤、チタネー
トカップリング剤、アルミネートカップリング剤から選
ばれたカップリング剤もしくはそれを含む樹脂を塗布し
た膜であることを特徴とする光学的情報記録媒体。
【請求項６】光透過性材料から成る基板上に半透明反射
層、プライマー膜、放射線硬化樹脂層が順次積層されて
構成され、前記放射線硬化樹脂層上に案内溝又はピット
による凹凸形状が形成された光学的情報記録媒体の製造
方法であって、前記基板上の半透明反射層上に前記プライマー膜を形成
する工程と、前記放射線硬化樹脂層の凹凸形状を形成す
るためのスタンパの表面又は前記プライマー膜上に放射
線硬化樹脂を滴下する工程と、前記基板と前記スタンパ
とを対向して重ね合わせて前記放射線硬化樹脂を硬化さ
せて前記放射線硬化樹脂層上の凹凸形状を形成する工程
とをこの順に有することを特徴とする光学的情報記録媒
体の製造方法。