JPH09109400A - 噴射ノズルの製造方法 - Google Patents
噴射ノズルの製造方法Info
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- JPH09109400A JPH09109400A JP7273998A JP27399895A JPH09109400A JP H09109400 A JPH09109400 A JP H09109400A JP 7273998 A JP7273998 A JP 7273998A JP 27399895 A JP27399895 A JP 27399895A JP H09109400 A JPH09109400 A JP H09109400A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 噴射ノズルの製造方法に関し、疎水性の被膜
を得る為にフッ素系樹脂を用いるのであるが、親水性部
分と疎水性部分との画然とした境界が得られるように
し、また、磨耗に対する耐性が充分であるようにしよう
とする。 【解決手段】 噴射ノズル１１Ａをもつノズル板１１の
表面にレジスト膜１２を形成して一部を噴射ノズル１１
Ａ内に入り込ませ、ノズル板１１の裏面から噴射ノズル
１１Ａを介してレジスト膜１２の露光を行ってから現像
して少なくとも一部が噴射ノズル１１Ａ内に在るレジス
ト膜１２を残して他を除去し、フッ素系樹脂の微細粒子
を懸濁した無電解ニッケル鍍金液を用いてノズル板１１
に無電解鍍金を行って噴射ノズル１１Ａ内以外に疎水性
である第二の鍍金膜１５を形成してからレジスト膜１２
を完全に除去する。
を得る為にフッ素系樹脂を用いるのであるが、親水性部
分と疎水性部分との画然とした境界が得られるように
し、また、磨耗に対する耐性が充分であるようにしよう
とする。 【解決手段】 噴射ノズル１１Ａをもつノズル板１１の
表面にレジスト膜１２を形成して一部を噴射ノズル１１
Ａ内に入り込ませ、ノズル板１１の裏面から噴射ノズル
１１Ａを介してレジスト膜１２の露光を行ってから現像
して少なくとも一部が噴射ノズル１１Ａ内に在るレジス
ト膜１２を残して他を除去し、フッ素系樹脂の微細粒子
を懸濁した無電解ニッケル鍍金液を用いてノズル板１１
に無電解鍍金を行って噴射ノズル１１Ａ内以外に疎水性
である第二の鍍金膜１５を形成してからレジスト膜１２
を完全に除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばインク・ジ
ェット印刷機に於ける噴射ノズルを製造する際に適用し
て好適な方法に関する。
ェット印刷機に於ける噴射ノズルを製造する際に適用し
て好適な方法に関する。
【０００２】一般に、液体を噴射するノズルには多くの
用途があり、そして、その用途に応じて様々な構成のも
のが必要である。
用途があり、そして、その用途に応じて様々な構成のも
のが必要である。
【０００３】例えば、インク・ジェット印刷機は、イン
クを高速で噴射させて印刷を行うものであり、色素媒体
の消費に無駄がなく、経済性が高く、また、環境汚染が
少ない印刷方式として評価されている。
クを高速で噴射させて印刷を行うものであり、色素媒体
の消費に無駄がなく、経済性が高く、また、環境汚染が
少ない印刷方式として評価されている。
【０００４】通常、印刷の品質には、色素の色相や明度
に厳しい条件が課せられるが、インク・ジェット印刷で
は、インク粒子に於ける径の均一性や幾何学的位置精度
にも厳しい条件が課せられている。
に厳しい条件が課せられるが、インク・ジェット印刷で
は、インク粒子に於ける径の均一性や幾何学的位置精度
にも厳しい条件が課せられている。
【０００５】このインク・ジェット印刷独特の条件を満
足するには、インクの噴射ノズルに依存するところが大
きいので、それについて種々な面からの改善が必要であ
り、本発明に依れば、その一手段が提供される。
足するには、インクの噴射ノズルに依存するところが大
きいので、それについて種々な面からの改善が必要であ
り、本発明に依れば、その一手段が提供される。
【０００６】
【従来の技術】図５はインク・ジェット印刷機に用いら
れているインク・ジェット・ヘッドを表す要部切断斜面
図である。
れているインク・ジェット・ヘッドを表す要部切断斜面
図である。
【０００７】図に於いて、１はノズル板、１Ａはインク
噴射ノズル、２は鍍金膜、３は裏面板、４は圧電素子、
５はインク供給管、６は圧力室をそれぞれ示している。
尚、図の圧力室６には未だインクが充填されていない。
噴射ノズル、２は鍍金膜、３は裏面板、４は圧電素子、
５はインク供給管、６は圧力室をそれぞれ示している。
尚、図の圧力室６には未だインクが充填されていない。
【０００８】図示のインク・ジェット・ヘッドでは、圧
電素子４の変位を利用し、インク供給管５からインクを
圧力室６内に吸引したり、インク噴射ノズル１Ａからイ
ンクを噴射するようになっている。
電素子４の変位を利用し、インク供給管５からインクを
圧力室６内に吸引したり、インク噴射ノズル１Ａからイ
ンクを噴射するようになっている。
【０００９】インク・ジェット印刷機では、インクの噴
射ノズル１Ａと紙との間に距離を置くことで、乾いてい
ないインクが擦られて、印刷に乱れを生ずることがない
ようにしている。
射ノズル１Ａと紙との間に距離を置くことで、乾いてい
ないインクが擦られて、印刷に乱れを生ずることがない
ようにしている。
【００１０】従って、噴射ノズル１Ａに於ける噴射方向
の僅かな誤差や噴射速度の誤差がインクの紙面到達位置
を狂わせ、印刷品質を損ねる。
の僅かな誤差や噴射速度の誤差がインクの紙面到達位置
を狂わせ、印刷品質を損ねる。
【００１１】インクの噴射方向に誤差を発生させる原因
の一つは、噴射ノズル１Ａに於ける軸の角度誤差である
が、それは現在の機械工作技術に依れば、満足できる精
度を達成することができる。
の一つは、噴射ノズル１Ａに於ける軸の角度誤差である
が、それは現在の機械工作技術に依れば、満足できる精
度を達成することができる。
【００１２】然しながら、噴射ノズル１Ａの表面側先端
では、インクの表面張力に依る引き戻しの力が作用し、
そして、その引き戻しの力の変動が問題となる。
では、インクの表面張力に依る引き戻しの力が作用し、
そして、その引き戻しの力の変動が問題となる。
【００１３】図６は噴射ノズル近傍に於けるインクの表
面張力について説明する為のインク・ジェット・ヘッド
を表す要部切断斜面図であり、図５に於いて用いた記号
と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものと
する。
面張力について説明する為のインク・ジェット・ヘッド
を表す要部切断斜面図であり、図５に於いて用いた記号
と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものと
する。
【００１４】図に於いて、７は圧力室６内に充填されて
いるインク、Ｒはインク７が引き込まれて生じた凹面に
於ける曲率、θはインクの濡れ角を示している。
いるインク、Ｒはインク７が引き込まれて生じた凹面に
於ける曲率、θはインクの濡れ角を示している。
【００１５】インク・ジェット・ヘッドでは、インク７
の噴射直後に次に噴射するインク７を供給タンクから吸
引することが必要であり、その際に生成される負圧は、
噴射ノズル１Ａに在るインク７の表面張力に依って担持
される。
の噴射直後に次に噴射するインク７を供給タンクから吸
引することが必要であり、その際に生成される負圧は、
噴射ノズル１Ａに在るインク７の表面張力に依って担持
される。
【００１６】図６について説明したように、インク７の
凹面に於ける曲率をＲ、インク７の濡れ角をθ、インク
７の表面張力をγとした場合、負圧Ｐは、 Ｐ≒２γｃｏｓθ／Ｒ で表される。
凹面に於ける曲率をＲ、インク７の濡れ角をθ、インク
７の表面張力をγとした場合、負圧Ｐは、 Ｐ≒２γｃｏｓθ／Ｒ で表される。
【００１７】ここで、濡れ角θは、インク７と接触して
いる噴射ノズル１Ａの面が濡れ性が良好な親水性であれ
ばゼロであって、その時、前記式からすれば、負圧Ｐは
最大となる。
いる噴射ノズル１Ａの面が濡れ性が良好な親水性であれ
ばゼロであって、その時、前記式からすれば、負圧Ｐは
最大となる。
【００１８】前記したところから、噴射ノズル１Ａの内
面は親水性であることが望ましく、そのようになってい
れば、インク７の表面張力に依る引き戻しの力が変動
し、インク７の噴射方向に乱れを生ずるなどの現象は少
なくなる。
面は親水性であることが望ましく、そのようになってい
れば、インク７の表面張力に依る引き戻しの力が変動
し、インク７の噴射方向に乱れを生ずるなどの現象は少
なくなる。
【００１９】さて、インク・ジェット・ヘッドに於ける
インク７の噴射方向が乱される原因は、前記した噴射ノ
ズル１Ａに於けるインク７の表面張力に依る引き戻しの
力の変動のみではない。
インク７の噴射方向が乱される原因は、前記した噴射ノ
ズル１Ａに於けるインク７の表面張力に依る引き戻しの
力の変動のみではない。
【００２０】図７はインクの噴射方向の乱れを解説する
為のインク・ジェット・ヘッドを表す要部切断側面図で
あり、図５及び図６に於いて用いた記号と同記号は同部
分を表すか或いは同じ意味を持つものとする。
為のインク・ジェット・ヘッドを表す要部切断側面図で
あり、図５及び図６に於いて用いた記号と同記号は同部
分を表すか或いは同じ意味を持つものとする。
【００２１】図に於いて、７Ａは噴射されようとしてい
るインク粒、８は紙粉繊維、Ｐ1 は正規の噴射方向、Ｐ
2 は乱れた噴射方向をそれぞれ示している。
るインク粒、８は紙粉繊維、Ｐ1 は正規の噴射方向、Ｐ
2 は乱れた噴射方向をそれぞれ示している。
【００２２】噴射ノズル１Ａの表面には、印刷される紙
の微細な屑などが被着する機会が多く、図示されている
ように、紙粉繊維８が被着した場合、インク７に於ける
表面張力が作用する液面が拡大され、その脇方向への力
に依って、インク７の噴射方向が矢印Ｐ2 に見られるよ
うに傾くことが問題になる。
の微細な屑などが被着する機会が多く、図示されている
ように、紙粉繊維８が被着した場合、インク７に於ける
表面張力が作用する液面が拡大され、その脇方向への力
に依って、インク７の噴射方向が矢印Ｐ2 に見られるよ
うに傾くことが問題になる。
【００２３】これを防ぐ手段としては、ノズル板１の表
面を疎水性とすることで、インク７が噴射ノズル１Ａの
側方に存在できない状態にすると効果的であることが知
られている。
面を疎水性とすることで、インク７が噴射ノズル１Ａの
側方に存在できない状態にすると効果的であることが知
られている。
【００２４】前記したところから明らかな通り、噴射ノ
ズル１Ａの内面は親水性にすることが望ましく、そし
て、表面は疎水性にすることが望ましく、しかも、親水
性と疎水性との境界は、可能な限り狭く、且つ、明確で
あることが必要である。
ズル１Ａの内面は親水性にすることが望ましく、そし
て、表面は疎水性にすることが望ましく、しかも、親水
性と疎水性との境界は、可能な限り狭く、且つ、明確で
あることが必要である。
【００２５】従来、前記目的を達成する為、親水性であ
るノズル板１の表面に疎水性を発揮する代表とされてい
るフッ素系樹脂を塗布することが行われている。
るノズル板１の表面に疎水性を発揮する代表とされてい
るフッ素系樹脂を塗布することが行われている。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】疎水性を得る為、従
来、実施されているフッ素系樹脂の塗布は、一部が噴射
ノズル内面に侵入したり、必要領域からはみ出すなどす
るので、その塗布は困難である。
来、実施されているフッ素系樹脂の塗布は、一部が噴射
ノズル内面に侵入したり、必要領域からはみ出すなどす
るので、その塗布は困難である。
【００２７】また、インク・ジェット印刷機では、噴射
ノズルの表面に付着する紙粉やインクの残渣物を拭き取
る為、自動清浄機構を備えることが普通であって、その
拭き取り時にフッ素系樹脂が容易に磨耗する旨の欠点が
ある。因みに、フッ素系樹脂は、摩擦係数は小さいので
あるが磨耗し易い。
ノズルの表面に付着する紙粉やインクの残渣物を拭き取
る為、自動清浄機構を備えることが普通であって、その
拭き取り時にフッ素系樹脂が容易に磨耗する旨の欠点が
ある。因みに、フッ素系樹脂は、摩擦係数は小さいので
あるが磨耗し易い。
【００２８】本発明は、疎水性の被膜を得る為にフッ素
系樹脂を用いるのであるが、親水性部分と疎水性部分と
の画然とした境界が得られるようにし、また、磨耗に対
する耐性が充分であるようにしようとする。
系樹脂を用いるのであるが、親水性部分と疎水性部分と
の画然とした境界が得られるようにし、また、磨耗に対
する耐性が充分であるようにしようとする。
【００２９】
【課題を解決するための手段】フッ素系樹脂からなる疎
水性被膜の耐磨耗性を向上する技術として、フッ素系樹
脂の微細粒子を懸濁させた無電解ニッケル鍍金液を用い
る疎水性表面形成技術が知られている。
水性被膜の耐磨耗性を向上する技術として、フッ素系樹
脂の微細粒子を懸濁させた無電解ニッケル鍍金液を用い
る疎水性表面形成技術が知られている。
【００３０】この技術を適用した場合、本来は親水性で
あるニッケル鍍金膜表面を疎水性であるフッ素系樹脂の
微細粒子に依る濡れ性の低い面にすることが可能であ
り、通常、表面粗度が粗い場合、濡れ難いものは更に濡
れ難くなることが知られ、フッ素系樹脂による微細な凹
凸との相乗効果で濡れ角θは著しく大きくなる。
あるニッケル鍍金膜表面を疎水性であるフッ素系樹脂の
微細粒子に依る濡れ性の低い面にすることが可能であ
り、通常、表面粗度が粗い場合、濡れ難いものは更に濡
れ難くなることが知られ、フッ素系樹脂による微細な凹
凸との相乗効果で濡れ角θは著しく大きくなる。
【００３１】ところで、前記したフッ素系樹脂の微粒子
を懸濁した無電解ニッケル鍍金液を用いて鍍金を行う場
合であっても、それに依る鍍金膜は、ノズル板表面のみ
に止め、噴射ノズル内には鍍金膜が形成されないように
する必要がある。
を懸濁した無電解ニッケル鍍金液を用いて鍍金を行う場
合であっても、それに依る鍍金膜は、ノズル板表面のみ
に止め、噴射ノズル内には鍍金膜が形成されないように
する必要がある。
【００３２】本発明に依る噴射ノズルの製造方法に於い
ては、 （１）噴射ノズル（例えば噴射ノズル１１Ａ）をもつノ
ズル板（例えばステンレスからなるノズル板１１）の表
面に感光性レジスト膜（例えばレジスト膜１２）を形成
して一部を前記噴射ノズル内に入り込ませる工程と、前
記ノズル板の裏面から前記噴射ノズルを介して前記感光
性レジスト膜の露光を行ってから現像して少なくとも一
部が前記噴射ノズル内に在る前記感光性レジスト膜を残
して他を除去する工程と、疎水性を示す無電解鍍金液
（例えばフッ素系樹脂の微細粒子を懸濁した無電解ニッ
ケル鍍金液）を用いて前記ノズル板の表面に無電解鍍金
を行って前記噴射ノズル内以外に疎水性の鍍金膜（例え
ば疎水性である第二の鍍金膜１５）を形成してから前記
感光性レジスト膜を完全に除去する工程とが含まれてな
ることを特徴とするか、或いは、
ては、 （１）噴射ノズル（例えば噴射ノズル１１Ａ）をもつノ
ズル板（例えばステンレスからなるノズル板１１）の表
面に感光性レジスト膜（例えばレジスト膜１２）を形成
して一部を前記噴射ノズル内に入り込ませる工程と、前
記ノズル板の裏面から前記噴射ノズルを介して前記感光
性レジスト膜の露光を行ってから現像して少なくとも一
部が前記噴射ノズル内に在る前記感光性レジスト膜を残
して他を除去する工程と、疎水性を示す無電解鍍金液
（例えばフッ素系樹脂の微細粒子を懸濁した無電解ニッ
ケル鍍金液）を用いて前記ノズル板の表面に無電解鍍金
を行って前記噴射ノズル内以外に疎水性の鍍金膜（例え
ば疎水性である第二の鍍金膜１５）を形成してから前記
感光性レジスト膜を完全に除去する工程とが含まれてな
ることを特徴とするか、或いは、
【００３３】（２）前記（１）に於いて、噴射ノズルに
依って画定された感光性レジスト膜中を光が進行する際
に噴射ノズルの中心方向に曲げられ、感光された部分即
ち現像されて残る部分が表面に向かって僅かに傾斜した
截頭円錐形をなすことを特徴とするか、或いは、
依って画定された感光性レジスト膜中を光が進行する際
に噴射ノズルの中心方向に曲げられ、感光された部分即
ち現像されて残る部分が表面に向かって僅かに傾斜した
截頭円錐形をなすことを特徴とするか、或いは、
【００３４】（３）前記（１）又は（２）に於いて、ノ
ズル板は導電性及び親水性をもつ材料（例えばステンレ
ス）で構成されてなることを特徴とするか、或いは、
ズル板は導電性及び親水性をもつ材料（例えばステンレ
ス）で構成されてなることを特徴とするか、或いは、
【００３５】（４）前記（１）又は（２）に於いて、ノ
ズル板は疎水性の材料（例えば樹脂）に予め親水性処理
が施されたものであることを特徴とするか、或いは、
ズル板は疎水性の材料（例えば樹脂）に予め親水性処理
が施されたものであることを特徴とするか、或いは、
【００３６】（５）前記（１）又は（２）に於いて、親
水性を示す無電解鍍金液を用いてノズル板の表面に無電
解鍍金を行って親水性の鍍金膜（例えば親水性である第
一の鍍金膜１４）を形成し、次いで、疎水性を示す無電
解鍍金液を用いて無電解鍍金を行って噴射ノズル内以外
に疎水性の鍍金膜（例えば疎水性である第二の鍍金膜１
５）を形成する工程が含まれてなることを特徴とする
か、或いは、
水性を示す無電解鍍金液を用いてノズル板の表面に無電
解鍍金を行って親水性の鍍金膜（例えば親水性である第
一の鍍金膜１４）を形成し、次いで、疎水性を示す無電
解鍍金液を用いて無電解鍍金を行って噴射ノズル内以外
に疎水性の鍍金膜（例えば疎水性である第二の鍍金膜１
５）を形成する工程が含まれてなることを特徴とする
か、或いは、
【００３７】（６）前記（１）乃至（５）の何れかに於
いて、疎水性を示す無電解鍍金液が疎水性を示す物質の
微細粒子（例えばフッ素系樹脂の微細粒子）を含むもの
であることを特徴とする。
いて、疎水性を示す無電解鍍金液が疎水性を示す物質の
微細粒子（例えばフッ素系樹脂の微細粒子）を含むもの
であることを特徴とする。
【００３８】前記のように加工されたノズル板を用いた
インク・ジェット・ヘッドなどの液体噴射部材では、噴
射ノズル内では良好な親水性が維持され、濡れ角θは
零、若しくは、それに近いので、負圧Ｐを最大、或い
は、それに近い値にすることができ、しかも、噴射ノズ
ルの外側は充分な疎水性になっているので、インクなど
の液体が側方に展延するなどの虞は皆無であり、その結
果、一定量のインクなどの液体を方向性良く噴射するこ
とができる。
インク・ジェット・ヘッドなどの液体噴射部材では、噴
射ノズル内では良好な親水性が維持され、濡れ角θは
零、若しくは、それに近いので、負圧Ｐを最大、或い
は、それに近い値にすることができ、しかも、噴射ノズ
ルの外側は充分な疎水性になっているので、インクなど
の液体が側方に展延するなどの虞は皆無であり、その結
果、一定量のインクなどの液体を方向性良く噴射するこ
とができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】図１乃至図３は本発明に於ける一
実施の形態を説明する為の工程要所に於けるノズル板を
表す要部切断側面図であって、以下、これ等の図を参照
しつつ説明する。
実施の形態を説明する為の工程要所に於けるノズル板を
表す要部切断側面図であって、以下、これ等の図を参照
しつつ説明する。
【００４０】図１（Ａ）参照 １−（１） 適切な技法を適用することに依って、ノズル板１１にイ
ンク噴射ノズル１１Ａを形成する。この場合に適用する
技法は、機械的な穿孔技術、エッチング技術など数多く
存在する。
ンク噴射ノズル１１Ａを形成する。この場合に適用する
技法は、機械的な穿孔技術、エッチング技術など数多く
存在する。
【００４１】図１（Ｂ）参照 １−（２） リソグラフィ技術に於けるレジスト・プロセスを適用す
ることに依って、ノズル板１１の表面側にレジスト膜１
２を形成する。この場合、レジスト膜１２の一部は、噴
射ノズル１１Ａ内に僅かに入り込む状態となる。
ることに依って、ノズル板１１の表面側にレジスト膜１
２を形成する。この場合、レジスト膜１２の一部は、噴
射ノズル１１Ａ内に僅かに入り込む状態となる。
【００４２】図２（Ａ）参照 ２−（１） ノズル板１１の裏面側から光を照射すると、ノズル板１
１がマスクの役割を果たすから、噴射ノズル１１Ａ内に
現れているレジスト膜１２の部分のみが感光し、その光
反応は、噴射ノズル１１Ａの内側から外側に向かって進
行する。
１がマスクの役割を果たすから、噴射ノズル１１Ａ内に
現れているレジスト膜１２の部分のみが感光し、その光
反応は、噴射ノズル１１Ａの内側から外側に向かって進
行する。
【００４３】この場合、露光は、噴射ノズル１１Ａの内
側から外側に向かって面積が絞られて、側面から見た場
合、截頭円錐形のようなテーパになる。
側から外側に向かって面積が絞られて、側面から見た場
合、截頭円錐形のようなテーパになる。
【００４４】図２（Ｂ）参照 ２−（２） レジスト膜１２の現像を行って、未露光部分を除去す
る。 ２−（３） ノズル板１１の裏面側に鍍金されることを防ぐ為に保護
膜１３を形成する。
る。 ２−（３） ノズル板１１の裏面側に鍍金されることを防ぐ為に保護
膜１３を形成する。
【００４５】図３（Ａ）参照 ３−（１） 親水性材料鍍金液を用いた無電解鍍金法を適用すること
に依って、親水性である第一の鍍金膜１４を形成するの
であるが、形成されるのはノズル板１１上のみであっ
て、レジスト膜１２には被着されない。
に依って、親水性である第一の鍍金膜１４を形成するの
であるが、形成されるのはノズル板１１上のみであっ
て、レジスト膜１２には被着されない。
【００４６】３−（２） フッ素系樹脂の微細粒子を懸濁させた親水性材料鍍金液
を用いた無電解鍍金法を適用することに依って、疎水性
である第二の鍍金膜１５を形成する。この場合も、形成
されるのは第一の鍍金膜１４上のみであって、レジスト
膜１２には被着されない。
を用いた無電解鍍金法を適用することに依って、疎水性
である第二の鍍金膜１５を形成する。この場合も、形成
されるのは第一の鍍金膜１４上のみであって、レジスト
膜１２には被着されない。
【００４７】図３（Ｂ）参照 ３−（３） レジスト剥離液中に浸漬してレジスト膜１２を除去する
と、噴射ノズル１１Ａの出口近傍には、親水性である第
一の鍍金膜１４と疎水性である第二の鍍金膜１５とが画
然とした境界を維持して積層された構成が得られる。
尚、この工程で保護膜１３も除去する。
と、噴射ノズル１１Ａの出口近傍には、親水性である第
一の鍍金膜１４と疎水性である第二の鍍金膜１５とが画
然とした境界を維持して積層された構成が得られる。
尚、この工程で保護膜１３も除去する。
【００４８】３−（４） この後、前記したように加工されたノズル板１１を用い
てインク・ジェット・ヘッドを組み立てる。
てインク・ジェット・ヘッドを組み立てる。
【００４９】図４は本発明に於ける他の実施の形態を説
明する為の工程要所に於けるノズル板などを表す要部切
断側面図であって、図１乃至図３に於いて用いた記号と
同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとす
る。
明する為の工程要所に於けるノズル板などを表す要部切
断側面図であって、図１乃至図３に於いて用いた記号と
同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとす
る。
【００５０】図に於いて、１６はドライ・フィルム・レ
ジスト、１７は柔軟体、１８は加圧剛体をそれぞれ示し
ている。
ジスト、１７は柔軟体、１８は加圧剛体をそれぞれ示し
ている。
【００５１】この場合、噴射ノズル１１Ａをもつノズル
板１１上にはドライ・フィルム・レジスト１６が載置さ
れ、柔軟体１７をドライ・フィルム・レジスト１６と対
向させた加圧剛体１８で加圧すると、噴射ノズル１１Ａ
内にドライ・フィルム・レジスト１６の一部が押し込ま
れた状態になる。
板１１上にはドライ・フィルム・レジスト１６が載置さ
れ、柔軟体１７をドライ・フィルム・レジスト１６と対
向させた加圧剛体１８で加圧すると、噴射ノズル１１Ａ
内にドライ・フィルム・レジスト１６の一部が押し込ま
れた状態になる。
【００５２】従って、この後、図２及び図３について説
明した工程と同じ工程を経てインク・ジェット・ヘッド
を完成させることができる。
明した工程と同じ工程を経てインク・ジェット・ヘッド
を完成させることができる。
【００５３】前記実施の形態に於いて、ノズル板１１の
材料として親水性のものを用いた場合には、親水性であ
る第一の鍍金膜１４の形成は省略することができ、ま
た、親水性である第一の鍍金膜１４を形成するのであれ
ば、ノズル板１１の材料としては疎水性のもの、例え
ば、噴射ノズル１１Ａをプレスで形成したり、或いは、
モールドで形成可能な樹脂を選択することができる。
材料として親水性のものを用いた場合には、親水性であ
る第一の鍍金膜１４の形成は省略することができ、ま
た、親水性である第一の鍍金膜１４を形成するのであれ
ば、ノズル板１１の材料としては疎水性のもの、例え
ば、噴射ノズル１１Ａをプレスで形成したり、或いは、
モールドで形成可能な樹脂を選択することができる。
【００５４】前記したように、ノズル板１１に樹脂を用
いる場合、噴射ノズル１１Ａを形成してから、直ちに、
噴射ノズル１１Ａ内を含む領域、或いは、噴射ノズル１
１Ａ内を含む全面に親水性の被膜を形成しておくことも
可能である。
いる場合、噴射ノズル１１Ａを形成してから、直ちに、
噴射ノズル１１Ａ内を含む領域、或いは、噴射ノズル１
１Ａ内を含む全面に親水性の被膜を形成しておくことも
可能である。
【００５５】また、図４について説明したように、ノズ
ル板１１の噴射ノズル１１Ａ内にドライ・フィルム・レ
ジスト１６の一部を挿入するに際し、若干の溶剤を加え
てドライ・フィルム・レジスト１６を膨潤させることで
食い込ませることも可能である。
ル板１１の噴射ノズル１１Ａ内にドライ・フィルム・レ
ジスト１６の一部を挿入するに際し、若干の溶剤を加え
てドライ・フィルム・レジスト１６を膨潤させることで
食い込ませることも可能である。
【００５６】
実施例１ （１） 直径３５〔μｍ〕の噴射ノズル１１Ａが形成さ
れ、厚さが８０〔μｍ〕であるステンレスからなるノズ
ル板１１の表面にドライ・フィルム・レジスト（ＯＲＤ
ＹＬ ＰＲ１１５：東京応化製）１６を温度１２０
〔℃〕で積層する。
れ、厚さが８０〔μｍ〕であるステンレスからなるノズ
ル板１１の表面にドライ・フィルム・レジスト（ＯＲＤ
ＹＬ ＰＲ１１５：東京応化製）１６を温度１２０
〔℃〕で積層する。
【００５７】（２） ノズル板１１の裏面から主波長が
４３２〔ｎｍ〕及び３６５〔ｎｍ〕である紫外線を１５
０〔ｍＪ／ｃｍ2 〕として照射し、ドライ・フィルム・
レジスト１６を選択的に感光させる。
４３２〔ｎｍ〕及び３６５〔ｎｍ〕である紫外線を１５
０〔ｍＪ／ｃｍ2 〕として照射し、ドライ・フィルム・
レジスト１６を選択的に感光させる。
【００５８】（３） 専用現像液を用いてドライ・フィ
ルム・レジスト１６の現像をおこなったところ、噴射ノ
ズル１１Ａを塞いだ状態で截頭円錐形のドライ・フィル
ム・レジスト１６が残った。
ルム・レジスト１６の現像をおこなったところ、噴射ノ
ズル１１Ａを塞いだ状態で截頭円錐形のドライ・フィル
ム・レジスト１６が残った。
【００５９】（４） ノズル板１１の裏面にＰＥＴ（ｐ
ｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔ
ｅ）フィルムからなる保護膜１３を温度１２０〔℃〕で
貼付する。
ｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔ
ｅ）フィルムからなる保護膜１３を温度１２０〔℃〕で
貼付する。
【００６０】（５） フッ素系樹脂の微細粒子を懸濁さ
せた無電解ニッケル鍍金液を用いてノズル板１１の表面
に疎水性の鍍金膜１５を厚さを１０〔μｍ〕〜４０〔μ
ｍ〕の範囲で選択して形成する。尚、ドライ・フィルム
・レジスト１６に鍍金膜が形成されないことは勿論であ
る。
せた無電解ニッケル鍍金液を用いてノズル板１１の表面
に疎水性の鍍金膜１５を厚さを１０〔μｍ〕〜４０〔μ
ｍ〕の範囲で選択して形成する。尚、ドライ・フィルム
・レジスト１６に鍍金膜が形成されないことは勿論であ
る。
【００６１】（６） ＰＥＴからなる保護膜１３を剥離
し、また、剥離液を用いてドライ・フィルム・レジスト
１６の除去を行った。
し、また、剥離液を用いてドライ・フィルム・レジスト
１６の除去を行った。
【００６２】実施例１に依れば、噴射ノズル１１Ａ内を
除き、ノズル板１１の表面に疎水性の鍍金膜１５を形成
することができた。
除き、ノズル板１１の表面に疎水性の鍍金膜１５を形成
することができた。
【００６３】実施例２ （１） 直径３５〔μｍ〕の噴射ノズル１１Ａが形成さ
れ、厚さが８０〔μｍ〕であるステンレスからなるノズ
ル板１１の裏面にＰＥＴフィルムからなる保護膜１３を
温度１２０〔℃〕で貼付する。
れ、厚さが８０〔μｍ〕であるステンレスからなるノズ
ル板１１の裏面にＰＥＴフィルムからなる保護膜１３を
温度１２０〔℃〕で貼付する。
【００６４】（２） ノズル板１１の表面にゴム系フォ
ト・レジスト（ＯＭＲ８３：東京応化製）を塗布してか
ら、温度８５〔℃〕のオーブン内で２５〔分〕間のプリ
・ベーキングを行ってレジスト膜１２を形成する。
ト・レジスト（ＯＭＲ８３：東京応化製）を塗布してか
ら、温度８５〔℃〕のオーブン内で２５〔分〕間のプリ
・ベーキングを行ってレジスト膜１２を形成する。
【００６５】このレジスト膜１２の一部は噴射ノズル１
１Ａ内に入り込み、ＰＥＴフィルムからなる保護膜１３
に達する。
１Ａ内に入り込み、ＰＥＴフィルムからなる保護膜１３
に達する。
【００６６】（３） ノズル板１１の裏面から保護膜１
３を介して主波長が４３２〔ｎｍ〕及び３６５〔ｎｍ〕
である紫外線を４００〔ｍＪ／ｃｍ2 〕として照射し、
レジスト膜１２を選択的に感光させる。
３を介して主波長が４３２〔ｎｍ〕及び３６５〔ｎｍ〕
である紫外線を４００〔ｍＪ／ｃｍ2 〕として照射し、
レジスト膜１２を選択的に感光させる。
【００６７】（４） ＯＭＲ現像液（東京応化製）を用
いてレジスト膜１２の現像を行い、ＯＭＲリンス液（東
京応化製）でリンスしたところ、噴射ノズル１１Ａを塞
いだ状態で截頭円錐形のレジスト１２が残った。
いてレジスト膜１２の現像を行い、ＯＭＲリンス液（東
京応化製）でリンスしたところ、噴射ノズル１１Ａを塞
いだ状態で截頭円錐形のレジスト１２が残った。
【００６８】（５） １４５〔℃〕のオーブン内に於い
て、２５〔分〕間の熱処理を行ってレジスト膜１２を乾
燥させた。
て、２５〔分〕間の熱処理を行ってレジスト膜１２を乾
燥させた。
【００６９】（６） フッ素系樹脂の微細粒子を懸濁さ
せた無電解ニッケル鍍金液を用いてノズル板１１の表面
に疎水性の鍍金膜１５を厚さを１０〔μｍ〕〜４０〔μ
ｍ〕の範囲で選択して形成する。尚、レジスト膜１２に
鍍金膜が形成されないことは勿論である。
せた無電解ニッケル鍍金液を用いてノズル板１１の表面
に疎水性の鍍金膜１５を厚さを１０〔μｍ〕〜４０〔μ
ｍ〕の範囲で選択して形成する。尚、レジスト膜１２に
鍍金膜が形成されないことは勿論である。
【００７０】（７） ＰＥＴからなる保護膜１３を剥離
し、また、剥離液を用いてレジスト膜１２の除去を行っ
た。
し、また、剥離液を用いてレジスト膜１２の除去を行っ
た。
【００７１】実施例２に依れば、噴射ノズル１１Ａ内を
除き、ノズル板１１の表面に疎水性の鍍金膜１５を形成
することができた。
除き、ノズル板１１の表面に疎水性の鍍金膜１５を形成
することができた。
【００７２】前記実施の形態では、インク・ジェット・
ヘッドに於ける噴射ノズルを作成する場合について説明
したが、本発明は、これに限られず、所定量の液体を方
向性良く噴射させることが必要な噴射ノズルを必要とす
る分野に広く応用することができる。
ヘッドに於ける噴射ノズルを作成する場合について説明
したが、本発明は、これに限られず、所定量の液体を方
向性良く噴射させることが必要な噴射ノズルを必要とす
る分野に広く応用することができる。
【００７３】
【発明の効果】本発明に依る噴射ノズルの製造方法に於
いては、噴射ノズルをもつノズル板の表面に感光性レジ
スト膜を形成して一部を噴射ノズル内に入り込ませ、ノ
ズル板の裏面から噴射ノズルを介して感光性レジスト膜
の露光を行ってから現像して少なくとも一部が噴射ノズ
ル内に在る感光性レジスト膜を残して他を除去し、疎水
性を示す無電解鍍金液を用いてノズル板の表面に無電解
鍍金を行って噴射ノズル内以外に疎水性の鍍金膜を形成
してから感光性レジスト膜を完全に除去する。
いては、噴射ノズルをもつノズル板の表面に感光性レジ
スト膜を形成して一部を噴射ノズル内に入り込ませ、ノ
ズル板の裏面から噴射ノズルを介して感光性レジスト膜
の露光を行ってから現像して少なくとも一部が噴射ノズ
ル内に在る感光性レジスト膜を残して他を除去し、疎水
性を示す無電解鍍金液を用いてノズル板の表面に無電解
鍍金を行って噴射ノズル内以外に疎水性の鍍金膜を形成
してから感光性レジスト膜を完全に除去する。
【００７４】前記したように加工したノズル板を用いた
インク・ジェット・ヘッドなどの液体噴射部材では、噴
射ノズル内では良好な親水性が維持され、濡れ角θは
零、若しくは、それに近いので、負圧Ｐを最大、或い
は、それに近い値にすることができ、しかも、噴射ノズ
ルの外側は充分な疎水性になっているので、インクなど
の液体が側方に展延するなどの虞は皆無であり、その結
果、インクなどの液体を方向性良く噴射することができ
る。
インク・ジェット・ヘッドなどの液体噴射部材では、噴
射ノズル内では良好な親水性が維持され、濡れ角θは
零、若しくは、それに近いので、負圧Ｐを最大、或い
は、それに近い値にすることができ、しかも、噴射ノズ
ルの外側は充分な疎水性になっているので、インクなど
の液体が側方に展延するなどの虞は皆無であり、その結
果、インクなどの液体を方向性良く噴射することができ
る。
【図１】本発明に於ける一実施の形態を説明する為の工
程要所に於けるノズル板を表す要部切断側面図である。
程要所に於けるノズル板を表す要部切断側面図である。
【図２】本発明に於ける一実施の形態を説明する為の工
程要所に於けるノズル板を表す要部切断側面図である。
程要所に於けるノズル板を表す要部切断側面図である。
【図３】本発明に於ける一実施の形態を説明する為の工
程要所に於けるノズル板を表す要部切断側面図である。
程要所に於けるノズル板を表す要部切断側面図である。
【図４】本発明に於ける他の実施の形態を説明する為の
工程要所に於けるノズル板などを表す要部切断側面図で
ある。
工程要所に於けるノズル板などを表す要部切断側面図で
ある。
【図５】インク・ジェット印刷機に用いられているイン
ク・ジェット・ヘッドを表す要部切断斜面図である。
ク・ジェット・ヘッドを表す要部切断斜面図である。
【図６】噴射ノズル近傍に於けるインクの表面張力につ
いて説明する為のインク・ジェット・ヘッドを表す要部
切断斜面図である。
いて説明する為のインク・ジェット・ヘッドを表す要部
切断斜面図である。
【図７】インクの噴射方向の乱れを解説する為のインク
・ジェット・ヘッドを表す要部切断側面図である。
・ジェット・ヘッドを表す要部切断側面図である。
１１ ノズル板 １１Ａ インク噴射ノズル １２ レジスト膜 １３ 保護膜 １４ 親水性である第一の鍍金膜 １５ 疎水性である第二の鍍金膜 １６ ドライ・フィルム・レジスト １７ 柔軟体 １８ 加圧剛体
Claims (6)
- 【請求項１】噴射ノズルをもつノズル板の表面に感光性
レジスト膜を形成して一部を前記噴射ノズル内に入り込
ませる工程と、 前記ノズル板の裏面から前記噴射ノズルを介して前記感
光性レジスト膜の露光を行ってから現像して少なくとも
一部が前記噴射ノズル内に在る前記感光性レジスト膜を
残して他を除去する工程と、 疎水性を示す無電解鍍金液を用いて前記ノズル板の表面
に無電解鍍金を行って前記噴射ノズル内以外に疎水性の
鍍金膜を形成してから前記感光性レジスト膜を完全に除
去する工程とが含まれてなることを特徴とする噴射ノズ
ルの製造方法。 - 【請求項２】噴射ノズルに依って画定された感光性レジ
スト膜中を光が進行する際に噴射ノズルの中心方向に曲
げられ、感光された部分即ち現像されて残る部分が表面
に向かって僅かに傾斜した截頭円錐形をなすことを特徴
とする請求項１記載の噴射ノズルの製造方法。 - 【請求項３】ノズル板は導電性及び親水性表面をもつ材
料で構成されてなることを特徴とする請求項１又は２記
載の噴射ノズルの製造方法。 - 【請求項４】ノズル板は疎水性の材料に予め親水性処理
が施されたものであることを特徴とする請求項１又は２
記載の噴射ノズルの製造方法。 - 【請求項５】親水性を示す無電解鍍金液を用いてノズル
板の表面に無電解鍍金を行って親水性の鍍金膜を形成
し、次いで、疎水性を示す無電解鍍金液を用いて無電解
鍍金を行って噴射ノズル内以外に疎水性の鍍金膜を形成
する工程が含まれてなることを特徴とする請求項１又は
２記載の噴射ノズルの製造方法。 - 【請求項６】疎水性を示す無電解鍍金液が疎水性を示す
物質の微細粒子を含むものであることを特徴とする請求
項１乃至５の何れか１記載の噴射ノズルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7273998A JPH09109400A (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 噴射ノズルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7273998A JPH09109400A (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 噴射ノズルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09109400A true JPH09109400A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17535530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7273998A Withdrawn JPH09109400A (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 噴射ノズルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09109400A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999015337A1 (fr) * | 1997-09-22 | 1999-04-01 | Cimeo Precision Co., Ltd. | Plaquette perforee de tete a jet d'encre, procede permettant de la produire et tete a jet d'encre obtenue |
| KR100468859B1 (ko) * | 2002-12-05 | 2005-01-29 | 삼성전자주식회사 | 일체형 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 |
| KR100552660B1 (ko) * | 2001-08-09 | 2006-02-20 | 삼성전자주식회사 | 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 |
| US7326524B2 (en) * | 2003-08-11 | 2008-02-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Methods for producing a nozzle plate and nozzle plate |
-
1995
- 1995-10-23 JP JP7273998A patent/JPH09109400A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999015337A1 (fr) * | 1997-09-22 | 1999-04-01 | Cimeo Precision Co., Ltd. | Plaquette perforee de tete a jet d'encre, procede permettant de la produire et tete a jet d'encre obtenue |
| US6511156B1 (en) | 1997-09-22 | 2003-01-28 | Citizen Watch Co., Ltd. | Ink-jet head nozzle plate, its manufacturing method and ink-jet head |
| KR100552660B1 (ko) * | 2001-08-09 | 2006-02-20 | 삼성전자주식회사 | 버블 젯 방식의 잉크 젯 프린트 헤드 |
| KR100468859B1 (ko) * | 2002-12-05 | 2005-01-29 | 삼성전자주식회사 | 일체형 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 |
| US7326524B2 (en) * | 2003-08-11 | 2008-02-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Methods for producing a nozzle plate and nozzle plate |
| CN100430227C (zh) * | 2003-08-11 | 2008-11-05 | 兄弟工业株式会社 | 制造喷嘴板的方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030107 |