JPH09106067A - Automatic pericle pasting device - Google Patents
Automatic pericle pasting deviceInfo
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- JPH09106067A JPH09106067A JP28804495A JP28804495A JPH09106067A JP H09106067 A JPH09106067 A JP H09106067A JP 28804495 A JP28804495 A JP 28804495A JP 28804495 A JP28804495 A JP 28804495A JP H09106067 A JPH09106067 A JP H09106067A
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- pellicle
- protective sheet
- sensitive adhesive
- pressure
- adhesive protective
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は自動ペリクル貼付装
置に関し、特にフレームに貼付されている粘着剤保護シ
ートを剥離する際に適用して好適である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic pellicle sticking device, and is particularly suitable for application when peeling an adhesive protective sheet stuck to a frame.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、防塵膜（以下、ペリクルとする）
付きフレームをフオトマスクやレチクルに自動的に貼り
付ける際、自動ペリクル貼付装置を用いる。この自動ペ
リクル貼付装置では、前記のペリクル付フレームをフオ
トマスクやレチクルに貼付する処理の前工程として、当
該フレームに貼付されている粘着剤保護シートを剥離す
る処理工程がある。2. Description of the Related Art Conventionally, a dustproof film (hereinafter referred to as a pellicle)
When the attached frame is automatically attached to the photomask or reticle, an automatic pellicle attaching device is used. In this automatic pellicle sticking apparatus, there is a processing step of peeling off the pressure-sensitive adhesive protective sheet stuck to the frame as a pre-step of the step of sticking the pellicle-attached frame to the photomask or reticle.
【０００３】まず、ペリクル付フレームの全体構成を図
７に示す。ペリクル付フレーム１は、ペリクル膜２、ペ
リクル枠３、粘着剤４及び粘着剤保護シート（以下、保
護シートとする）５で構成されている。このペリクル付
フレーム１をフオトマスクやレチクルに貼付するために
は、ペリクル付フレーム１の保護シート５を剥がして粘
着剤４をむき出しにする必要がある。このため、保護シ
ート５の所定端部５′をロボツトフインガーにつかませ
て剥がすようになされている。First, FIG. 7 shows the overall structure of a frame with a pellicle. The frame 1 with a pellicle includes a pellicle film 2, a pellicle frame 3, an adhesive 4, and an adhesive protective sheet (hereinafter referred to as a protective sheet) 5. In order to attach the frame 1 with pellicle to a photomask or reticle, it is necessary to peel off the protective sheet 5 of the frame 1 with pellicle to expose the adhesive 4. Therefore, the predetermined end 5'of the protective sheet 5 is gripped by the robot finger and peeled off.
【０００４】次に、ロボツトフインガーの構成を図８
（Ａ）及び（Ｂ）に示す。ロボツトフインガー６は、２
つの部材を所定の一点Ｐで支持し、当該点Ｐを支点とし
た鋏形状でなつている。２つの部材のうち一方は駆動部
材７と連動自在に接続された可動部材８であり、先端部
分に突起部９が配設されている。他方の部材は固定され
ている固定部材１０であり、可動部材８と対応する先端
部分に、突起部９との嵌合穴１１を設けている。駆動部
材７は、駆動制御手段（図示せず）によつて駆動制御さ
れ、図中の矢印Ａ方向に駆動する。このとき可動部材８
は、支点Ｐを軸として駆動部材７と連動することによ
り、ロボツトフインガー６の先端部分が開閉する。Next, the structure of the robot finger is shown in FIG.
Shown in (A) and (B). Robot Finger Swinger 6 is 2
The two members are supported at a predetermined point P, and are formed in scissors shape with the point P as a fulcrum. One of the two members is a movable member 8 that is connected to the driving member 7 in a freely interlockable manner, and has a protruding portion 9 disposed at the tip portion. The other member is a fixed member 10 that is fixed, and a fitting hole 11 for fitting with the protrusion 9 is provided at the tip portion corresponding to the movable member 8. The drive member 7 is drive-controlled by drive control means (not shown) and is driven in the direction of arrow A in the figure. At this time, the movable member 8
Operates in conjunction with the drive member 7 about the fulcrum P, so that the tip portion of the robot finger 6 opens and closes.
【０００５】通常、ロボツトフインガー６は、図８
（Ｂ）に示すように先端が閉じた状態であり、剥離処理
の際、保護シート５をつかむ前に、図８（Ａ）に示した
ように先端が開いた状態となる。また、実際に保護シー
ト５を剥離する際は図９に示すように、自動ペリクル貼
付装置内の所定位置にセツトされたペリクル１に貼付さ
れた保護シート５の所定端部５′をロボツトフインガー
６の先端部分が挟み、当該ロボツトフインガー６が弧を
描くように矢印Ｂ方向に移動することで保護シート５を
剥がす。Normally, the robot finger 6 is shown in FIG.
As shown in FIG. 8B, the tip is closed, and the tip is opened as shown in FIG. 8A before the protective sheet 5 is gripped during the peeling process. Further, when the protective sheet 5 is actually peeled off, as shown in FIG. 9, a predetermined end portion 5'of the protective sheet 5 attached to the pellicle 1 set at a predetermined position in the automatic pellicle attaching apparatus is attached to the robot finger. The protective finger 5 is peeled off by pinching the tip portion of 6 and moving the robot finger 6 in the direction of arrow B so as to draw an arc.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のペリ
クル１においては、粘着剤４と保護シート５が完全に固
着してしまわないように離型剤が塗布されている。とこ
ろが、離型剤の種類がメーカによつて異なるため、保護
シート５を剥離するために必要とする剥離力の大きさに
かなりのバラツキが生じる欠点があつた。このため、剥
離の処理最中に保護シート５がロボツトフインガー６か
ら外れてしまう問題があつた。By the way, in the above-mentioned pellicle 1, a release agent is applied so that the adhesive 4 and the protective sheet 5 are not completely fixed. However, since the type of release agent differs depending on the manufacturer, there is a drawback that the magnitude of the peeling force required for peeling the protective sheet 5 varies considerably. Therefore, there is a problem that the protective sheet 5 comes off from the robot finger 6 during the peeling process.
【０００７】また、上述の場合、図８及び図９の矢印Ａ
方向の力を大きくすれば対応し得るが、保護シート５が
ロボツトフインガー６から外れる力はすべり力となるた
め、Ａ方向の力を大きくするだけでは対応し得ない問題
があつた。また、保護シート５を剥がす時に最も力を要
するのは、ロボツトフインガー６が図８に示すＢ方向に
始動するときであり、保護シート５が粘着剤４からはが
れ始めであつた。In the above case, the arrow A in FIG. 8 and FIG.
Although it is possible to deal with the problem by increasing the force in the direction, the force for the protective sheet 5 to come off the robot finger 6 becomes a sliding force, and therefore there is a problem that it cannot be dealt with only by increasing the force in the A direction. Further, the most force is required when the protective sheet 5 is peeled off when the robot finger 6 starts in the direction B shown in FIG. 8, and the protective sheet 5 begins to peel off from the adhesive 4.
【０００８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、必要とする剥離力の大きさにかかわらず粘着剤保護
シートを容易に剥離し得る自動ペリクル貼付装置を提案
しようとするものである。The present invention has been made in consideration of the above points, and is intended to propose an automatic pellicle sticking device capable of easily peeling the pressure-sensitive adhesive protective sheet regardless of the required peeling force. is there.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、凸部が先端部分に配設され、ペリ
クルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離する際
に、該粘着剤保護シートの所定端部に穿設された穴に凸
部を係止させて剥離する剥離手段を備えるようにする。In order to solve such a problem, in the present invention, a convex portion is provided at the tip portion, and when the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle is peeled off, the pressure-sensitive adhesive is protected. The sheet is provided with a peeling unit that locks the convex portion in a hole formed in a predetermined end portion of the sheet to peel the sheet.
【００１０】また本発明においては、粘着剤保護シート
の所定端部をつかみ、該粘着剤保護シートの面内方向と
ほぼ同一方向に移動した後、該粘着剤保護シートの面内
方向と交差する方向に移動してペリクルに貼付されてい
る粘着剤保護シートを剥離する剥離手段を備えるように
する。Further, in the present invention, after grasping a predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protective sheet and moving in the same direction as the in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protective sheet, it intersects with the in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protective sheet. A peeling unit that moves in the direction and peels the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle is provided.
【００１１】さらに本発明においては、ペリクル付フレ
ームを固定する固定手段と、ペリクルに貼付されている
粘着剤保護シートを剥離する剥離手段と、剥離手段の先
端部分と粘着剤保護シートの所定端部との係止状態を検
出する検出手段とを備えるようにする。Further, in the present invention, a fixing means for fixing the frame with the pellicle, a peeling means for peeling off the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle, a tip portion of the peeling means and a predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protective sheet. And a detection means for detecting the locked state of the.
【００１２】凸部が先端部分に配設された剥離手段によ
つてペリクルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離
する際に、該粘着剤保護シートの所定端部に穿設された
穴に剥離手段の凸部を係止させて剥離することにより、
粘着剤保護シートが外れることなく容易に剥離し得る。When the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle is peeled off by the peeling means provided with the convex portion at the tip portion thereof, the pressure-sensitive adhesive protective sheet is formed in the hole formed at the predetermined end of the pressure-sensitive adhesive protective sheet. By locking the convex part of the peeling means and peeling,
The pressure-sensitive adhesive protective sheet can be easily peeled off without coming off.
【００１３】また、剥離手段によつて粘着剤保護シート
の所定端部をつかみ、該粘着剤保護シートの面内方向と
ほぼ同一方向に移動し、この後、該粘着剤保護シートの
面内方向とほぼ直交方向に移動してペリクルに貼付され
ている粘着剤保護シートを剥離することにより、必要と
する剥離力の大きさにかかわらず粘着剤保護シートを容
易に剥離し得る。Further, a predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protection sheet is grasped by the peeling means and moved in the same direction as the in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protection sheet, and thereafter, in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protection sheet. By moving in a direction substantially orthogonal to and peeling off the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle, the pressure-sensitive adhesive protective sheet can be easily peeled off regardless of the required peeling force.
【００１４】さらに固定手段によつてペリクル付フレー
ムを固定し、該ペリクルに貼付されている粘着剤保護シ
ートを剥離手段で剥離する際、検出手段によつて剥離手
段の先端部分と粘着剤保護シートの所定端部との係止状
態を検出することにより、粘着剤保護シートが外れるこ
となく容易に剥離し得る。Further, when the frame with a pellicle is fixed by the fixing means and the adhesive protective sheet attached to the pellicle is peeled by the peeling means, the tip portion of the peeling means and the adhesive protective sheet are detected by the detecting means. By detecting the locked state with the predetermined end of the adhesive protective sheet, the pressure-sensitive adhesive protective sheet can be easily peeled without coming off.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１６】図１において、本発明の一実施例における
自動ペリクル貼付装置２０の全体構成を示す。自動ペリ
クル貼付装置２０は、２つの搬送ロボツト２１及び２２
とケースストツク部２３、ケース開閉部２４、組立部２
５、基板ストツク部２６、基板アライメント部２７とで
構成されている。搬送ロボツト２１及び基板搬送ロボツ
ト２２は、それぞれロボツトハンド２１ａ及び２２ａを
有し、駆動回路（図示せず）によつてロボツトハンド２
１ａ、２２ａが水平方向に回動されると共に、垂直方向
に上下動される。搬送ロボツト２１は、ペリクル付フレ
ーム２８を入れた防塵ケース（以下、ペリクルケースと
する）を収納しているケースストツク部２３からロボツ
トハンド２１ａでペリクルケースを取り出し、ケースス
トツク部２３に隣接するケース開閉部２４へと搬送す
る。FIG. 1 shows the overall construction of an automatic pellicle sticking apparatus 20 according to an embodiment of the present invention. The automatic pellicle pasting device 20 has two transport robots 21 and 22.
And case stock part 23, case opening / closing part 24, assembly part 2
5, a substrate stock portion 26, and a substrate alignment portion 27. The transfer robot 21 and the substrate transfer robot 22 have robot hands 21a and 22a, respectively, and the robot hand 2 is driven by a drive circuit (not shown).
1a and 22a are rotated in the horizontal direction and moved vertically in the vertical direction. The transport robot 21 takes out the pellicle case with the robot hand 21a from the case stock portion 23 that houses the dustproof case (hereinafter referred to as the pellicle case) containing the frame 28 with the pellicle, and the case opening / closing portion 24 adjacent to the case stock portion 23. Carry to.
【００１７】このケース開閉部２４には、ペリクルケー
スの蓋を開閉する蓋吸着手段（図示せず）が設けられて
おり、搬送ロボツト２１のロボツトハンド２１ａに載置
された状態で蓋の開閉が行われる。搬送ロボツト２１
は、蓋が開いた後のペリクルケースのトレーと当該トレ
ー上に載置されているペリクル付フレーム２８を組立部
２５に搬送し、組立部２５の所定位置にペリクル付フレ
ームのみをセツトするようになされている。The case opening / closing section 24 is provided with a lid suction means (not shown) for opening / closing the lid of the pellicle case, and the lid opening / closing is performed while being placed on the robot hand 21a of the transport robot 21. Done. Transport robot 21
Conveys the tray of the pellicle case after the lid is opened and the pellicle-equipped frame 28 placed on the tray to the assembling unit 25, and sets only the pellicle-equipped frame at a predetermined position of the assembling unit 25. Has been done.
【００１８】また、基板搬送ロボツト２２は、基板を収
納している基板ストツク部２６から基板を取り出し、基
板アライメント部２７へ搬送するようになされている。
このとき、基板搬送ロボツト２２のロボツトハンド２２
ａは、基板の位置決め後、当該基板を組立部２５へ搬送
するようになされている。The substrate transfer robot 22 is adapted to take out the substrate from the substrate stock part 26 which accommodates the substrate and transfer it to the substrate alignment part 27.
At this time, the robot hand 22 of the substrate transfer robot 22
After the positioning of the board, a is configured to convey the board to the assembly unit 25.
【００１９】ここで、図６との対応部分に同一符号を付
した図２において、本発明の一実施例によるペリクル付
フレーム２８の全体構成を示す。ペリクル付フレーム２
８は、ペリクル膜２、ペリクル枠３、粘着剤４及び粘着
剤保護シート２９で構成されている。粘着剤保護シート
２９にはつかみ代２９′が設けられており、当該つかみ
代２９′の中央部分にはロボツトハンド２２ａの先端に
設けられたロボツトフインガー３１によつて係止される
丸穴３０が穿設されている。Here, FIG. 2 in which parts corresponding to those in FIG. 6 are assigned the same reference numerals shows the overall structure of the frame 28 with a pellicle according to an embodiment of the present invention. Frame 2 with pellicle
Reference numeral 8 includes a pellicle film 2, a pellicle frame 3, an adhesive 4, and an adhesive protective sheet 29. The pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 is provided with a gripping allowance 29 ', and a circular hole 30 that is locked by a robot finger 31 provided at the tip of the robot hand 22a at the center of the gripping allowance 29'. Has been drilled.
【００２０】また本発明のロボツトフインガー３１の構
成を、図７（Ａ）及び（Ｂ）との対応部分に同一符号を
付して図３（Ａ）及び（Ｂ）に示す。ロボツトフインガ
ー３１は、２つの部材を所定の一点Ｐで支持し、当該所
定点Ｐを支点とした鋏形状である。２つの部材のうち一
方は駆動部材７と連動自在に接続された可動部材３２で
あり、先端部分に２段凸部形状の突起部３３が配設され
ている。他方の部材は固定されている固定部材１０であ
り、可動部材３２と対応する先端部分に、突起部３３の
先端凸部３３ａとの嵌合穴３４を設けている。駆動部材
７は、駆動制御手段３５によつて、図中の矢印Ａ方向の
いずれにも駆動し得る。このとき可動部材３２は駆動部
材７と連動するため、ロボツトフインガー３１の先端部
分が開閉する。The structure of the robot finger 31 of the present invention is shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B) with the same symbols as those in FIGS. 7 (A) and 7 (B). The robot finger 31 supports two members at a predetermined point P, and has a scissor shape with the predetermined point P as a fulcrum. One of the two members is a movable member 32 that is connected to the drive member 7 in a freely interlockable manner, and has a two-step convex portion-shaped protruding portion 33 disposed at the tip portion. The other member is the fixed member 10 that is fixed, and a fitting hole 34 for fitting the tip convex portion 33a of the projection 33 is provided at the tip portion corresponding to the movable member 32. The drive member 7 can be driven by the drive control means 35 in either direction of arrow A in the figure. At this time, since the movable member 32 is interlocked with the drive member 7, the tip portion of the robot finger 31 is opened and closed.
【００２１】可動部材３２に配設された突起部３３の先
端凸部３３ａは、先述した粘着剤保護シート２９のつか
み代２９′に穿設された丸穴３０と係止するようになさ
れている。ちなみに、このロボツトフインガー３１は自
動ペリクル貼付装置２０内の搬送ロボツト２１に配設さ
れたロボツトアーム２１ａの先端に設けられており、ま
た物体検出センサ３６を有している。この物体検出セン
サ３６は、剥離処理の際に先端凸部３３ａ、丸穴３０及
び嵌合穴３４の係止状態を検出するものである。The tip projection 33a of the projection 33 provided on the movable member 32 is adapted to engage with the round hole 30 formed in the gripping margin 29 'of the pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 described above. . By the way, the robot finger 31 is provided at the tip of a robot arm 21a provided in the carrying robot 21 in the automatic pellicle attaching apparatus 20, and has an object detection sensor 36. The object detection sensor 36 detects the locked state of the tip projection 33a, the round hole 30, and the fitting hole 34 during the peeling process.
【００２２】図４は物体検出センサ３６と駆動制御手段
３５の詳細を説明する図である。駆動制御手段３５はレ
バー（回転部材）４２と真空装置４１とバネ３９、４０
とを有する。真空装置４１は真空吸引によりレバー４２
を矢印Ｃ方向に引つ張る。真空装置４１の真空吸引を切
るレバー４１はバネ４０により引つ張られて、ピン４３
を回転中心として矢印Ｂ方向へ駆動する。これによりレ
バー４２の先端に位置する鋼球３８が駆動部材７を図中
の矢印Ａの方向に移動し、ロボツトフインガ３１の先端
部分が開閉する。物体検出センサ３６は回転部材４２の
位置を検出することにより丸穴３０と嵌合穴３４の結合
（嵌合）状態を検出する。FIG. 4 is a diagram for explaining the details of the object detection sensor 36 and the drive control means 35. The drive control means 35 includes a lever (rotating member) 42, a vacuum device 41, springs 39 and 40.
And The vacuum device 41 uses a lever 42 by vacuum suction.
Is pulled in the direction of arrow C. The lever 41 that cuts off the vacuum suction of the vacuum device 41 is stretched by the spring 40, and the pin 43
Is driven in the direction of arrow B with respect to. As a result, the steel ball 38 located at the tip of the lever 42 moves the drive member 7 in the direction of arrow A in the figure, and the tip portion of the robot finger 31 opens and closes. The object detection sensor 36 detects the position of the rotating member 42 to detect the combined (fitted) state of the round hole 30 and the fitting hole 34.
【００２３】図３（Ａ）はロボツトフインガー３１の先
端部分が開いている状態を示し、図３（Ｂ）は粘着剤保
護シート２９を挟んでいる状態を示している。また、ロ
ボツトフインガー３１が粘着剤保護シート２９を挟まず
閉じているとき、ロボツトフインガー３１の先端凸部３
３ａは、全体が固定部材１０に設けられている嵌合穴３
４に挿入され、突起部３３の先端凸部３３ａとの段差面
Ｄと、固定部材１０の嵌合穴３４の周辺とが密着するよ
うになされている。FIG. 3 (A) shows a state in which the tip portion of the robot finger 31 is open, and FIG. 3 (B) shows a state in which the pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 is sandwiched. Further, when the robot finger 31 is closed without sandwiching the adhesive protective sheet 29, the tip protrusion 3 of the robot finger 31 is closed.
3a is a fitting hole 3 provided in the fixing member 10 as a whole.
4, the stepped surface D of the protrusion 33 with the tip convex portion 33a and the periphery of the fitting hole 34 of the fixing member 10 are in close contact with each other.
【００２４】以上の構成において、自動ペリクル貼付装
置２０に配設された搬送ロボツト２１は、ロボツトハン
ド２１ａによつてケースストツク部２３からペリクルケ
ースを取り出し、ケース開閉部２４へと搬送する。当該
ペリクルケースはロボツトハンド２１ａに載置された状
態のまま、ケース開閉部２４に配設されている蓋吸着手
段によつてペリクルケースの蓋が開けられる。このと
き、ロボツトハンド２１には、ペリクルケースのトレー
上に載置されているペリクルのみが載置されている。こ
れを組立部２５に搬送し、所定位置にペリクルのみをセ
ツトする。In the above structure, the transport robot 21 provided in the automatic pellicle sticking device 20 takes out the pellicle case from the case stock portion 23 by the robot hand 21a and transports it to the case opening / closing portion 24. With the pellicle case being placed on the robot hand 21a, the lid of the pellicle case is opened by the lid suction means provided in the case opening / closing part 24. At this time, only the pellicle mounted on the tray of the pellicle case is mounted on the robot hand 21. This is conveyed to the assembly unit 25, and only the pellicle is set at a predetermined position.
【００２５】この後、所定位置にセツトされたペリクル
２８に貼付されている粘着剤保護シート２９の剥離処理
に移る。まず、ロボツトフインガー３１は、駆動制御手
段３５からの制御信号によつて駆動部材７が矢印Ａ方向
（紙面に対して右）に駆動し、これと共に可動部材３２
が連動する。このため可動部材３２の先端部分は固定さ
れている固定部材１０に対して上方に動くため、ロボツ
トフインガー３１の先端部分が開く。After that, the adhesive protective sheet 29 attached to the pellicle 28 set at a predetermined position is peeled off. First, in the robot finger 31, the drive member 7 is driven in the direction of arrow A (right with respect to the paper surface) by a control signal from the drive control means 35, and the movable member 32 is also driven.
Are linked. Therefore, the tip portion of the movable member 32 moves upward with respect to the fixed member 10 that is fixed, so that the tip portion of the robot finger 31 opens.
【００２６】この後、駆動制御手段３５によつて駆動部
材７が矢印Ａ方向（紙面に対して左）に駆動し、可動部
材３２が連動する。このとき、可動部材３２の先端部分
は固定部材１０に向かつて動く。このときロボツトフイ
ンガー３１は、粘着剤保護シート２９のつかみ代２９′
に穿設された丸穴３０に、２段凸部形状の突起部３３の
先端凸部３３ａを挿入する。Thereafter, the drive member 7 is driven by the drive control means 35 in the direction of arrow A (left with respect to the paper surface), and the movable member 32 is interlocked. At this time, the tip portion of the movable member 32 moves toward the fixed member 10. At this time, the robot finger 31 holds the grip 29 ′ of the pressure-sensitive adhesive protection sheet 29.
The tip convex portion 33a of the projecting portion 33 having a two-step convex portion is inserted into the round hole 30 formed in the.
【００２７】このとき物体検出センサ３６は、可動部材
３２の先端部分の面から固定部材１０までの間隔Ｅにお
いて、所定間隔（すなわち粘着剤保護シート２９の厚み
と突起部３３の先端凸部３３ａを除いたものとの和）が
保たれているか否かを検出する。ここで所定間隔が保た
れている場合、先端凸部３３ａと丸穴３０が対応位置に
配されており、ロボツトフインガー３１は粘着剤保護シ
ート２９を挟んでいることがわかる。物体検出センサ３
６は、この結果から駆動制御手段３５を介して、ロボツ
トフインガー３１を駆動させる。このとき図５に示すよ
うに、ロボツトフインガー３１全体が、ペリクル２８の
粘着剤保護シート２９を挟んだ状態を保持して図中の矢
印Ｃ方向に数〔mm〕移動する。このとき粘着剤保護シー
ト２９は、一番剥離力のかかる部分がふくれて粘着剤４
から剥がれる。この後、ロボツトフインガー３１全体が
矢印Ｂ方向すなわち軌跡が弧となるように移動すること
により、粘着剤保護シート２９は抵抗なく容易に剥がさ
れる。At this time, the object detection sensor 36 has a predetermined distance (that is, the thickness of the pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 and the projection 33a at the tip of the projection 33) at the distance E from the surface of the tip of the movable member 32 to the fixed member 10. It is detected whether or not the sum) is maintained. Here, when the predetermined interval is maintained, it can be seen that the tip convex portion 33a and the round hole 30 are arranged at corresponding positions, and the robot finger 31 sandwiches the adhesive protective sheet 29. Object detection sensor 3
From this result, 6 drives the robot finger 31 via the drive control means 35. At this time, as shown in FIG. 5, the entire robot finger 31 moves in the direction of arrow C in the figure by several mm while maintaining the state in which the adhesive protective sheet 29 of the pellicle 28 is sandwiched. At this time, the pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 swells at the portion where the peeling force is most applied, and
It comes off. After that, the entire robot finger 31 moves in the direction of arrow B, that is, so that the locus becomes an arc, so that the pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 can be easily peeled off without resistance.
【００２８】以上の構成によれば、ペリクル２８に貼付
されている粘着剤保護シート２９のつかみ代２９′に丸
穴３０を穿設し、ロボツトフインガー３１の先端部分に
２段凸部形状の突起部３３を配設し、該突起部３３の先
端凸部３３ａを丸穴３０に挿入して係止し、粘着剤保護
シート２９の面内方向にロボツトフインガー３１を前進
駆動させた後、弧を描くように駆動させることにより、
必要とする剥離力の大きさにかかわらず、抵抗なく容易
に粘着剤保護シート２９を剥離することができる。According to the above construction, a round hole 30 is bored in the gripping margin 29 'of the pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 attached to the pellicle 28, and a two-step convex portion is formed at the tip of the robot finger 31. After disposing the protrusion 33, inserting and locking the tip protrusion 33a of the protrusion 33 into the round hole 30, and driving the robot finger 31 forward in the in-plane direction of the adhesive protective sheet 29, By driving in an arc,
The pressure-sensitive adhesive protective sheet 29 can be easily peeled off without resistance regardless of the required peeling force.
【００２９】なお上述の実施例においては、ロボツトフ
インガー３１によつて粘着剤保護シート２９を挟んだ
後、この状態を保持して図５中の矢印Ｃ方向に数〔mm〕
移動させ、軌跡が弧となるように移動させる剥離方法に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、例えば図６に
示すように、ロボツトフインガー３１によつて粘着剤保
護シート２９を挟んだ後に、軌跡が弧となるようにロボ
ツトフインガー３１を移動させて剥離するようにしても
良い。In the above-mentioned embodiment, after the adhesive protective sheet 29 is sandwiched by the robot fingers 31, this state is held and a few mm in the direction of arrow C in FIG.
Although the peeling method of moving and moving so that the locus becomes an arc has been described, the present invention is not limited to this, for example, as shown in FIG. 6, the adhesive protective sheet 29 is sandwiched by the robot fingers 31. After that, the robot finger 31 may be moved and separated so that the locus becomes an arc.
【００３０】[0030]
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ペリクル
に貼付されている粘着剤保護シートを剥離する際、凸部
が先端部分に配設された剥離手段によつて該粘着剤保護
シートの所定端部に穿設された穴に剥離手段の凸部を係
止させて剥離することにより、粘着剤保護シートが外れ
ることなく容易に剥離し得る。また、剥離手段によつて
粘着剤保護シートの所定端部をつかみ、該粘着剤保護シ
ートの面内方向とほぼ同一方向に移動し、この後、該粘
着剤保護シートの面内方向とほぼ直交方向に移動してペ
リクルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離するこ
とにより、必要とする剥離力の大きさにかかわらず粘着
剤保護シートを容易に剥離し得る自動ペリクル貼付装置
を実現できる。さらに固定手段によつてペリクル付フレ
ームを固定し、該ペリクルに貼付されている粘着剤保護
シートを剥離手段で剥離する際、検出手段によつて剥離
手段の先端部分と粘着剤保護シートの所定端部との係止
状態を検出することにより、粘着剤保護シートが外れる
ことなく容易に剥離し得る自動ペリクル貼付装置を実現
できる。As described above, according to the present invention, when the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle is peeled off, the pressure-sensitive adhesive protective sheet is provided by the peeling means having the convex portion provided at the tip portion. The adhesive protection sheet can be easily peeled without coming off by engaging the convex portion of the peeling means with the hole formed at the predetermined end portion and peeling it. In addition, a predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protective sheet is grasped by a peeling means and moved in substantially the same direction as the in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protective sheet, and thereafter, substantially orthogonal to the in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protective sheet. By moving in the direction and peeling off the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle, it is possible to realize an automatic pellicle sticking device capable of easily peeling off the pressure-sensitive adhesive protective sheet regardless of the required peeling force. Further, when the frame with the pellicle is fixed by the fixing means and the pressure-sensitive adhesive protective sheet attached to the pellicle is peeled by the peeling means, the tip portion of the peeling means and the predetermined end of the pressure-sensitive adhesive protective sheet are detected by the detecting means. It is possible to realize an automatic pellicle sticking apparatus that can easily peel off the adhesive protective sheet without coming off by detecting the locked state with the section.
【図１】自動ペクリル貼付装置の全体構成を示す略線図
である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall configuration of an automatic pecryl attachment device.
【図２】本発明のペクリルの全体構成を示す略線的斜視
図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing the overall configuration of the pecryl of the present invention.
【図３】本発明のロボツトフインガーを示す略線的断面
図である。FIG. 3 is a schematic sectional view showing a robot finger of the present invention.
【図４】本発明の物体検出センサ及び駆動制御手段の説
明に供する略線図である。FIG. 4 is a schematic diagram for explaining an object detection sensor and drive control means of the present invention.
【図５】本発明の一実施例における剥離方法の説明に供
する略線的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining a peeling method in one embodiment of the present invention.
【図６】他の剥離方法の説明に供する略線的断面図であ
る。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining another peeling method.
【図７】従来のペクリルの全体構成を示す略線的斜視図
である。FIG. 7 is a schematic perspective view showing an overall configuration of a conventional pecryl.
【図８】従来のロボツトフインガーを示す略線的断面図
である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a conventional robot finger.
【図９】従来の剥離方法の説明に供する略線的断面図で
ある。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining a conventional peeling method.
１、２８……ペリクル、４……粘着剤、５、２９……粘
着剤保護シート、６、３１……ロボツトフインガー、７
……駆動部材、８……可動部材、９……突起部、１０…
…固定部材、１１……嵌合穴、２０……自動ペリクル貼
付装置、２１……搬送ロボツト、２２……基板搬送ロボ
ツト。1, 28 ... Pellicle, 4 ... Adhesive, 5, 29 ... Adhesive protective sheet, 6, 31 ... Robot finger, 7
...... Driving member, 8 …… Movable member, 9 …… Projection part, 10 ・ ・ ・
... fixing member, 11 ... fitting hole, 20 ... automatic pellicle attaching device, 21 ... transport robot, 22 ... substrate transport robot.
Claims (4)
フレームを貼付する自動ペリクル貼付装置において、 凸部が先端部分に配設され、前記ペリクルに貼付されて
いる粘着剤保護シートを剥離する際に、該粘着剤保護シ
ートの所定端部に穿設された穴に前記凸部を係止させて
剥離する剥離手段を具えることを特徴とする自動ペリク
ル貼付装置。1. An automatic pellicle sticking device for sticking a frame with a pellicle for dust-proofing a mask or reticle, wherein a convex portion is provided at a tip portion, and when the pressure-sensitive adhesive protective sheet stuck to the pellicle is peeled off, An automatic pellicle sticking device comprising a peeling means for locking the convex portion in a hole formed at a predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protective sheet and peeling the convex portion.
フレームを貼付する自動ペリクル貼付装置において、 前記ペリクルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離
する際、 前記粘着剤保護シートの所定端部をつかみ、該粘着剤保
護シートの面内方向とほぼ同一方向に移動した後、該粘
着剤保護シートの面内方向と交差する方向に移動する剥
離手段を具えることを特徴とする自動ペリクル貼付装
置。2. An automatic pellicle sticking device for sticking a frame with a pellicle for dust-proofing a mask or reticle, wherein when a pressure-sensitive adhesive protective sheet stuck to the pellicle is peeled off, a predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protective sheet is grasped. An automatic pellicle sticking device comprising a peeling means that moves in a direction substantially the same as the in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protection sheet and then moves in a direction intersecting the in-plane direction of the pressure-sensitive adhesive protection sheet.
は、 前記剥離手段の先端部分に配設された凸部と対応する形
状の穴が穿設されていることを特徴とする請求項２に記
載の自動ペリクル貼付装置。3. A hole having a shape corresponding to a convex portion provided at a tip portion of the peeling means is formed in the predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protective sheet. 2. The automatic pellicle sticking device according to 2.
フレームを貼付する自動ペリクル貼付装置において、 前記ペリクル付フレームを固定する固定手段と、 前記ペリクルに貼付されている粘着剤保護シートを剥離
する剥離手段と、 前記剥離手段の先端部分と前記粘着剤保護シートの所定
端部との係止状態を検出する検出手段とを具えることを
特徴とする自動ペリクル貼付装置。4. An automatic pellicle sticking apparatus for sticking a frame with a pellicle for dust-proofing a mask or reticle, a fixing means for fixing the frame with a pellicle, and a peeling means for peeling an adhesive protective sheet stuck on the pellicle. An automatic pellicle sticking device, comprising: a detection means for detecting a locked state between a tip portion of the peeling means and a predetermined end portion of the pressure-sensitive adhesive protective sheet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28804495A JPH09106067A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | Automatic pericle pasting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28804495A JPH09106067A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | Automatic pericle pasting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09106067A true JPH09106067A (en) | 1997-04-22 |
Family
ID=17725115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28804495A Pending JPH09106067A (en) | 1995-10-09 | 1995-10-09 | Automatic pericle pasting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09106067A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017811A (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Lasertec Corp | Pellicle liner or device for peeling pellicle, peeling method, and method for manufacturing pattern substrate |
-
1995
- 1995-10-09 JP JP28804495A patent/JPH09106067A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017811A (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Lasertec Corp | Pellicle liner or device for peeling pellicle, peeling method, and method for manufacturing pattern substrate |
| JP4677632B2 (en) * | 2005-07-08 | 2011-04-27 | レーザーテック株式会社 | Pellicle liner or pellicle peeling apparatus, peeling method, and pattern substrate manufacturing method |
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