JPH0895021A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH0895021A JPH0895021A JP22847994A JP22847994A JPH0895021A JP H0895021 A JPH0895021 A JP H0895021A JP 22847994 A JP22847994 A JP 22847994A JP 22847994 A JP22847994 A JP 22847994A JP H0895021 A JPH0895021 A JP H0895021A
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- JP
- Japan
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- color filter
- black matrix
- photomask
- colored layer
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】独立したブラックマトリクス形成プロセスを省
略し、かつ平滑性、液晶表示特性にすぐれたカラーフィ
ルターを得る。 【構成】各色の透明着色層の形成時に着色層を重ね合わ
せることによりブラックマトリクス層を形成するカラー
フィルターの製造方法において、ハーフトーンのマスク
部を有するフォトマスクを用いて３色重ねのブラックマ
トリクス層を形成する。
略し、かつ平滑性、液晶表示特性にすぐれたカラーフィ
ルターを得る。 【構成】各色の透明着色層の形成時に着色層を重ね合わ
せることによりブラックマトリクス層を形成するカラー
フィルターの製造方法において、ハーフトーンのマスク
部を有するフォトマスクを用いて３色重ねのブラックマ
トリクス層を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関する。
内蔵されるカラーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶ディスプレイ用カラーフィル
ターにおけるブラックマトリクス層の形成プロセスは、
金属クロムもしくは金属クロムと酸化クロムの積層膜を
蒸着しこれをパターンエッチングするという方法によ
り、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各色の透明着色層の
形成プロセスとは別に行うことが知られている。この方
法はパターン精度にすぐれ、0.2〜0.3μｍ程度の薄い膜
厚でも遮光性が大きいという利点がある一方、高価で製
造コストが高く不利であった。
ターにおけるブラックマトリクス層の形成プロセスは、
金属クロムもしくは金属クロムと酸化クロムの積層膜を
蒸着しこれをパターンエッチングするという方法によ
り、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各色の透明着色層の
形成プロセスとは別に行うことが知られている。この方
法はパターン精度にすぐれ、0.2〜0.3μｍ程度の薄い膜
厚でも遮光性が大きいという利点がある一方、高価で製
造コストが高く不利であった。
【０００３】また、各色の透明着色層の形成時に着色層
を重ね合わせることによりブラックマトリクス層を形成
するという手法があるが、これに関しては、図２の如く
重ね合わせ部の膜厚が極端に厚くなり、突出する形とな
るため、平坦なカラーフィルターが得られず、液晶ディ
スプレイの表示特性に悪影響を与える、あるいはクロム
系のブラックマトリクス層と比べて遮光膜として充分な
光学濃度が得られないという問題があった。
を重ね合わせることによりブラックマトリクス層を形成
するという手法があるが、これに関しては、図２の如く
重ね合わせ部の膜厚が極端に厚くなり、突出する形とな
るため、平坦なカラーフィルターが得られず、液晶ディ
スプレイの表示特性に悪影響を与える、あるいはクロム
系のブラックマトリクス層と比べて遮光膜として充分な
光学濃度が得られないという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
に、着色層の重ね合わせ部が厚くなり突出するため平坦
なカラーフィルターが得られず、液晶表示特性に悪影響
を与えるという問題点を解消するカラーフィルターの製
造方法を提供することを目的とする。
に、着色層の重ね合わせ部が厚くなり突出するため平坦
なカラーフィルターが得られず、液晶表示特性に悪影響
を与えるという問題点を解消するカラーフィルターの製
造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、透
明着色層の各色の形成時に着色層を重ね合わせることに
よりブラックマトリクス層を形成するカラーフィルター
の製造方法において、カラーフィルターの遮光部にハー
フトーンのマスク部を有するフォトマスクを用いて、フ
ィルター着色層の形成と同時に３色重ねのブラックマト
リクス層を形成することを特徴とする液晶ディスプレイ
用カラーフィルターの製造方法である。具体的には、図
３の如く、ハーフマスク部を有するフォトマスクを用い
て３色重ねのブラックマトリクスを形成することによ
り、独立したブラックマトリクス形成プロセスを省略
し、かつ平滑性、液晶表示特性に優れたカラーフィルタ
ーを得る液晶ディスプレイ用カラーフィルターの製造方
法である。
明着色層の各色の形成時に着色層を重ね合わせることに
よりブラックマトリクス層を形成するカラーフィルター
の製造方法において、カラーフィルターの遮光部にハー
フトーンのマスク部を有するフォトマスクを用いて、フ
ィルター着色層の形成と同時に３色重ねのブラックマト
リクス層を形成することを特徴とする液晶ディスプレイ
用カラーフィルターの製造方法である。具体的には、図
３の如く、ハーフマスク部を有するフォトマスクを用い
て３色重ねのブラックマトリクスを形成することによ
り、独立したブラックマトリクス形成プロセスを省略
し、かつ平滑性、液晶表示特性に優れたカラーフィルタ
ーを得る液晶ディスプレイ用カラーフィルターの製造方
法である。
【０００６】
【作用】本発明の方法によれば、着色層の重ね合わせ部
の突出がなく平滑で、液晶表示特性にすぐれたカラーフ
ィルターを得ることができる。
の突出がなく平滑で、液晶表示特性にすぐれたカラーフ
ィルターを得ることができる。
【０００７】
【実施例】本発明では、液晶ディスプレイ用カラーフィ
ルターの製造工程のうち露光工程において、図１および
図３のように、着色層６のパターンとなる部分ａは透明
の開口部２であり、ブラックマトリクスとなる部分ｂは
ハーフトーン（半透明）となったハーフ部３であり、他
の色の着色層６のパターンとなる部分は不透明の遮光部
４であるようなフォトマスク１を用いる。
ルターの製造工程のうち露光工程において、図１および
図３のように、着色層６のパターンとなる部分ａは透明
の開口部２であり、ブラックマトリクスとなる部分ｂは
ハーフトーン（半透明）となったハーフ部３であり、他
の色の着色層６のパターンとなる部分は不透明の遮光部
４であるようなフォトマスク１を用いる。
【０００８】まず、図１（ａ）の如くにガラス基板５上
に感光性着色レジスト６’、例えばフジハント社製、商
品名「CR-2000」を用いて全面に1.0〜2.0μｍの厚さに
スピンコートし、70℃、20分の条件でプレベークを行
う。このレジスト形成面に前記のフォトマスク１を配置
して120mJ／cm2で紫外線露光を行い、図１（ｂ）の如く
上記レジストの専用現像液を用いて現像し、230℃、60
分の条件でポストベークを行う。これを図１（ｃ）、図
１（ｄ）のように繰り返して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）各色のパターンを順に形成する。これにより、各
着色層６の形成と共に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）
３色の重ね合わせによるブラックマトリクス層７をも同
時に形成できる。
に感光性着色レジスト６’、例えばフジハント社製、商
品名「CR-2000」を用いて全面に1.0〜2.0μｍの厚さに
スピンコートし、70℃、20分の条件でプレベークを行
う。このレジスト形成面に前記のフォトマスク１を配置
して120mJ／cm2で紫外線露光を行い、図１（ｂ）の如く
上記レジストの専用現像液を用いて現像し、230℃、60
分の条件でポストベークを行う。これを図１（ｃ）、図
１（ｄ）のように繰り返して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）各色のパターンを順に形成する。これにより、各
着色層６の形成と共に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）
３色の重ね合わせによるブラックマトリクス層７をも同
時に形成できる。
【０００９】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、独立したブ
ラックマトリクス形成プロセスを経ずに、着色層の重な
り部に突起のない、平坦性の良好なカラーフィルターが
得られ、液晶パネル化工程でのセルギャップへの影響が
少ない。したがって、液晶表示装置に組み込んだとき安
定した良好な表示品位が得られる。また、各色露光用の
フォトマスクについても、各色に共通のパターンが使用
できるので、フォトマスク作成のコストダウンが期待で
きる。
ラックマトリクス形成プロセスを経ずに、着色層の重な
り部に突起のない、平坦性の良好なカラーフィルターが
得られ、液晶パネル化工程でのセルギャップへの影響が
少ない。したがって、液晶表示装置に組み込んだとき安
定した良好な表示品位が得られる。また、各色露光用の
フォトマスクについても、各色に共通のパターンが使用
できるので、フォトマスク作成のコストダウンが期待で
きる。
【００１０】
【図１】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のカラーフィルター
の製造方法の一実施例を工程順に示す説明図である。
の製造方法の一実施例を工程順に示す説明図である。
【図２】従来技術によるカラーフィルターの断面の様子
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図３】本発明に用いるフォトマスクの一例を示す説明
図である。
図である。
１ フォトマスク ２ 開口部 ３ ハーフ部 ４ 遮光部 ５ ガラス基板 ６ 着色層 ６’ 感光性着色レジスト ７ ブラックマトリクス層
Claims (1)
- 【請求項１】透明着色層の各色の形成時に着色層を重ね
合わせることによりブラックマトリクス層を形成するカ
ラーフィルターの製造方法において、カラーフィルター
の遮光部にハーフトーンのマスク部を有するフォトマス
クを用いて、フィルター着色層の形成と同時に３色重ね
のブラックマトリクス層を形成することを特徴とする液
晶ディスプレイ用カラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22847994A JPH0895021A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22847994A JPH0895021A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0895021A true JPH0895021A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16877121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22847994A Pending JPH0895021A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0895021A (ja) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000147239A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-26 | Toshiba Corp | 液晶表示装置用カラーフィルタ基板、液晶表示装置、およびそれらの製造方法 |
| JP2001222003A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成方法およびカラーフィルタ |
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| CN113448118A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-09-28 | Tcl华星光电技术有限公司 | 显示面板及电子设备 |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP22847994A patent/JPH0895021A/ja active Pending
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