JPH0887711A - Magnetic head and its production - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To obtain a magnetic head with which good reproducing characteristics are obtainable by improving the core efficiency of a magnetic head without such intricate production stages that change magnetic anisotropy at every one layer of magnetic metallic films. CONSTITUTION: This magnetic head is obtd. by butting a pair of the magnetic core half bodies 1, 2 simultaneously laminated with the magnetic metallic films 3, 4 consisting of crystalline or fine crystalline materials against each other, joining and integrating these half bodies and forming a magnetic gap between the butt surfaces. The magnetic head is so formed that the directions F of the axes of easy magnetization of the magnetic metallic films 3, 4 of the respective magnetic core half bodies 1, 2 are symmetrical with each other with the butt surfaces described above as a center and incline to part from each other toward the sliding surface (direction) S of magnetic recording media and that the angles θ1, θ2. of inclination are respectively 20 to 70 deg. with the butt surfaces which are the magnetic gap forming surfaces. Further, θ1, θ2=30 to 50 deg. are more preferable in terms of an improvement in reproducing characteristics.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダー（ＶＴＲ）やデジタルオーディオテープレコー
ダー（Ｒ−ＤＡＴ）等の高密度記録可能な磁気記録再生
装置に搭載して好適な磁気ヘッド及びその製造方法に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is suitable for mounting on a magnetic recording / reproducing apparatus capable of high density recording such as a video tape recorder (VTR) or a digital audio tape recorder (R-DAT), and its manufacture. It is about the method.

【０００２】[0002]

【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダーやデジ
タルオーディオテープレコーダー等の磁気記録再生装置
においては、高画質化等を目的として情報信号の短波長
記録化が進められており、これに対応して磁性粉に強磁
性金属粉末を用いた、いわゆるメタルテープや、ベース
フィルム上に強磁性金属材料を直接被着した蒸着テープ
等の高い抗磁力記録媒体が使用されるようになってきて
いる。2. Description of the Related Art For example, in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder or a digital audio tape recorder, a shorter wavelength recording of an information signal has been promoted for the purpose of improving the image quality and the like. A high coercive force recording medium such as a so-called metal tape using a ferromagnetic metal powder as a powder or a vapor deposition tape in which a ferromagnetic metal material is directly deposited on a base film has been used.

【０００３】一方、これに対処すべく磁気ヘッドの分野
においても研究が進められており、コア材料に金属磁性
材料を用いるとともに狭トラック化を図った磁気ヘッド
が開発されている。On the other hand, research has been conducted in the field of magnetic heads to deal with this, and magnetic heads using a magnetic metal material as a core material and achieving a narrow track have been developed.

【０００４】このような磁気ヘッドの代表的なものとし
て、高透磁率かつ高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を
非磁性材料等よりなる基板で挟み込んでなる磁気コア半
体を突き合わせ、ガラス融着により接合一体化した、い
わゆるラミネートタイプの磁気ヘッドが知られている。As a typical example of such a magnetic head, magnetic core halves made by sandwiching a metal magnetic film having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density with substrates made of a nonmagnetic material or the like are butted against each other and fused by glass. There is known a so-called laminate type magnetic head which is joined and integrated by.

【０００５】このようなラミネートタイプの磁気ヘッド
は、高い飽和磁束密度を有するアモルファス合金やセン
ダスト等の金属磁性材料よりなる薄膜が主コア材として
設けられてなるもので、上記金属磁性膜を制御すること
で簡単に狭トラック化が図られること、構造的に疑似ギ
ャップが発生しないこと、さらに、上記ガラス融着等に
より簡単に製造できること等種々の利点を有する。Such a laminated type magnetic head has a thin film made of a metal magnetic material such as an amorphous alloy or sendust having a high saturation magnetic flux density as a main core material, and controls the metal magnetic film. Therefore, there are various advantages such that the track can be easily narrowed, a pseudo gap is not structurally generated, and the glass can be easily manufactured by the above-mentioned glass fusion or the like.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、昨今におい
ては、磁気ヘッドのコア効率を向上させ良好な再生特性
が得られる磁気ヘッドの開発が一層活発化しているが、
このような磁気ヘッドには、次のような問題を有してい
る。By the way, in recent years, the development of magnetic heads that improve the core efficiency of magnetic heads and obtain good reproduction characteristics has become more active.
Such a magnetic head has the following problems.

【０００７】すなわち、上記のような磁気ヘッドの再生
特性は、それに用いられる積層された金属磁性膜の磁気
特性、特に磁気ヘッドの磁路に対して垂直な方向の特性
に大きく依存すると従来一般に考えられている。したが
って、金属磁性膜としては、磁気的に等方的なものや磁
化容易軸の方向が磁気ヘッドの磁路に対して磁気コアの
どの部分でも垂直に近いもので、かつ、磁化異方性を制
御し易い材料が理想的である。That is, it is generally considered that the reproducing characteristic of the magnetic head as described above largely depends on the magnetic characteristic of the laminated metal magnetic film used therein, particularly the characteristic in the direction perpendicular to the magnetic path of the magnetic head. Has been. Therefore, the metal magnetic film is magnetically isotropic, the direction of the easy axis of magnetization is almost perpendicular to the magnetic path of the magnetic head in any part of the magnetic core, and the magnetic anisotropy is Materials that are easy to control are ideal.

【０００８】このような点からは、磁気ヘッドの金属磁
性膜として、磁気異方性が小さく、かつ、膜形成後に磁
気異方性を制御し易いアモルファス膜が磁気特性の観点
からは有利であり、一部ＶＴＲ用磁気ヘッドとして既に
実用化されてはいる。From this point of view, an amorphous film, which has a small magnetic anisotropy and is easy to control the magnetic anisotropy after the film is formed, is advantageous as the metal magnetic film of the magnetic head from the viewpoint of magnetic characteristics. Some have already been put to practical use as magnetic heads for VTRs.

【０００９】しかしながら、アモルファス膜自体は耐熱
性が低く、従来から広く使用されている上記ガラス融着
により接合して製造するには不向きである。このため、
これを解決すべく、材料に様々な添加物を加えてアモル
ファス膜の耐熱性を向上させることや、低温金属接合等
の新しい製造工程上の検討が試みられている。However, the amorphous film itself has low heat resistance and is not suitable for manufacturing by joining by the above-mentioned glass fusion bonding which has been widely used. For this reason,
In order to solve this, attempts have been made to improve the heat resistance of the amorphous film by adding various additives to the material and to study new manufacturing processes such as low temperature metal bonding.

【００１０】しかし、添加物を加えた場合、アモルファ
ス膜の飽和磁束密度が低下し、高密度磁気記録に用いら
れる高い抗磁力を有する磁気記録媒体に対する記録特性
が低下したり、低温熱拡散を用いた製造工程では基板の
平面度等に高度な加工精度が要求されたりする等の問題
を有する。However, when the additive is added, the saturation magnetic flux density of the amorphous film is lowered, the recording characteristics for a magnetic recording medium having a high coercive force used for high density magnetic recording are lowered, and low temperature thermal diffusion is used. In the conventional manufacturing process, there is a problem that a high degree of processing accuracy is required for the flatness of the substrate.

【００１１】他方、磁気ヘッドの主コアとなる金属磁性
膜としてＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金（センダスト）、Ｆｅ
−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系合金といった結晶質材料や、Ｆｅ
−Ｔａ−Ｎ，Ｆｅ−Ａｌ−Ｎ等の微結晶材料では、高い
飽和磁束密度を有し、かつ、耐熱性に優れるため、従来
から広く使用されているガラス融着による接合に優れる
利点を有する。On the other hand, Fe--Al--Si type alloy (sendust), Fe and
-Ru-Ga-Si alloys and other crystalline materials, Fe
Microcrystalline materials such as -Ta-N and Fe-Al-N have a high saturation magnetic flux density and excellent heat resistance, and thus have an advantage of being widely used for bonding by glass fusion. .

【００１２】しかしながら、これら結晶質材料や微結晶
材料は、一般的には大きな磁気異方性を持つことに加
え、薄膜形成後に磁気異方性を制御することが困難であ
る。したがって、これらセンダスト等の材料を用いた金
属磁性膜を一層毎に磁気異方性を変化させて金属磁性膜
全体としては等方的な磁気特性が得られる様にする試み
も一部では行われている。However, these crystalline materials and microcrystalline materials generally have a large magnetic anisotropy, and it is difficult to control the magnetic anisotropy after forming a thin film. Therefore, some attempts have been made to change the magnetic anisotropy of each metal magnetic film using such a material as sendust so that isotropic magnetic characteristics can be obtained as the whole metal magnetic film. ing.

【００１３】しかし、このような製造方法では、磁気コ
アを種々の方向に変化させるなど金属磁性膜の形成工程
が煩雑になるという問題を有する。このため、磁化容易
軸の方向がギャップデプス方向に対して平行になるよう
に薄膜の形成を行ってはいるが、再生出力の点で不十分
である。However, such a manufacturing method has a problem that the step of forming the metal magnetic film becomes complicated by changing the magnetic core in various directions. Therefore, although the thin film is formed so that the direction of the easy axis of magnetization is parallel to the gap depth direction, it is insufficient in terms of reproduction output.

【００１４】そこで、本発明は、結晶質あるいは微結晶
質からなる金属磁性膜を積層してなる一対の磁気コア半
体同士を突き合わせて接合一体化し、その突き合わせ面
間に磁気ギャップを形成してなる磁気ヘッド及び磁気ヘ
ッドの製造方法において、金属磁性膜を一層毎に磁気異
方性を変化させるような煩雑な製造工程を伴わず、しか
も、磁気ヘッドのコア効率を向上させ良好な再生特性が
得られる磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることを目的とするものである。Therefore, according to the present invention, a pair of magnetic core halves formed by laminating metallic magnetic films made of crystalline or microcrystalline material are butted and joined together to form a magnetic gap between the butted surfaces. In the magnetic head and the method for manufacturing a magnetic head, the magnetic head is improved in core efficiency and does not require a complicated manufacturing process such as changing the magnetic anisotropy layer by layer of the metal magnetic film. It is an object of the present invention to provide an obtained magnetic head and a method of manufacturing the magnetic head.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するために、高飽和磁束密度を有し、かつ、ガラ
ス融着に優れる結晶質及び微結晶質からなる金属磁性膜
を積層してなる磁気ヘッドにおいて、金属磁性膜を一層
毎に磁気異方性を変化させるような煩雑な製造工程を伴
わず、しかも、磁気ヘッドのコア効率を向上させ良好な
再生特性が得られる磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方
法を鋭意研究の結果、発明するに到った。In order to achieve the above object, the inventors of the present invention have provided a metallic magnetic film of crystalline or microcrystalline having a high saturation magnetic flux density and excellent in glass fusion. In a stacked magnetic head, a magnetic head that improves the magnetic head core efficiency and obtains good reproducing characteristics without the complicated manufacturing process of changing the magnetic anisotropy layer by layer of the metal magnetic film As a result of intensive research on a method of manufacturing a head and a magnetic head, the present invention has been invented.

【００１６】すなわち、本発明に係る磁気ヘッドは、結
晶質あるいは微結晶質からなる金属磁性膜を積層してな
る一対の磁気コア半体同士を突き合わせて接合一体化
し、その突き合わせ面間に磁気ギャップを形成してなる
磁気ヘッドに適用されるものである。このような結晶質
あるいは微結晶質からなる金属磁性膜は、高い飽和磁束
密度を有し、かつ、耐熱性に優れるため、従来から広く
使用されているガラス融着による接合に優れる利点を活
かすためである。That is, in the magnetic head according to the present invention, a pair of magnetic core halves formed by laminating metallic magnetic films made of crystalline or microcrystalline material are butted and joined together to form a magnetic gap between the butted surfaces. It is applied to a magnetic head formed by forming. Such a crystalline or microcrystalline metal magnetic film has a high saturation magnetic flux density and excellent heat resistance, so that it is possible to take advantage of the excellent bonding by glass fusion that has been widely used in the past. Is.

【００１７】そして、本発明は、各磁気コア半体におけ
る金属磁性膜の磁化容易軸の方向が、前記突き合わせ面
を中心に互いに対称で且つ磁気記録媒体摺動面に向かっ
て互いに離間するように傾斜し、その傾斜角度が磁気ギ
ャップ形成面である上記突き合わせ面に対してそれぞれ
２０°〜７０°であることを特徴とする。Further, according to the present invention, the directions of easy axes of magnetization of the metal magnetic films in the respective magnetic core halves are symmetrical with respect to the abutting surface and are separated from each other toward the sliding surface of the magnetic recording medium. It is characterized in that it is inclined, and its inclination angle is 20 ° to 70 ° with respect to the abutting surface that is the magnetic gap forming surface.

【００１８】傾斜角度が、２０°〜７０°であるとき、
再生出力の向上が見られたが、３０°〜５０°であると
き、さらなる再生特性の向上が見られた。When the inclination angle is 20 ° to 70 °,
Although the reproduction output was improved, when the angle was 30 ° to 50 °, the reproduction characteristic was further improved.

【００１９】さらに、上記金属磁性膜を絶縁層を介して
複数層積層することを特徴とする。Further, the invention is characterized in that a plurality of the metal magnetic films are laminated with an insulating layer interposed therebetween.

【００２０】他方、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
は、結晶質あるいは微結晶質からなる金属磁性膜を積層
してなる一対の磁気コア半体同士を突き合わせて接合一
体化し、その突き合わせ面間に磁気ギャップを形成して
なる磁気ヘッドの製造方法において、上記金属時成膜を
その磁化異方性を所定の方向に制御しながら第１の基板
上に少なくとも二箇所以上に同時に積層する工程と、上
記金属磁性膜上に第２の基板を重ね合わせて接合するこ
とにより、接合基板を形成する工程と、この接合基板を
切断して一対の磁気コア半体ブロックを作成する工程
と、上記一対の磁気コア半体ブロックの一方の磁気コア
半体ブロックを１８０°反転させ、これら一対の磁気コ
ア半体ブロックを突き合わせて、上記各磁気コア半体に
おける金属磁性膜の磁化容易軸の方向が上記突き合わせ
面を中心に互いに対称となるように接合一体化する工程
とを備えたことを特徴とする。On the other hand, in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, a pair of magnetic core halves formed by laminating metallic magnetic films made of crystalline or microcrystalline are butt-joined and integrated with each other, and the butt surfaces are joined together. A method of manufacturing a magnetic head in which a magnetic gap is formed on the first substrate, the step of simultaneously laminating the above-mentioned metal film formation on at least two or more locations on the first substrate while controlling the magnetization anisotropy in a predetermined direction. A step of forming a bonded substrate by stacking and bonding a second substrate on the metal magnetic film, and a step of cutting the bonded substrate to form a pair of magnetic core half blocks; One magnetic core half block of one of the magnetic core half blocks is inverted by 180 °, and the pair of magnetic core half blocks are abutted to each other to form the metal magnetic film of each magnetic core half body. Of the direction of the easy axis, characterized in that a step of integrally bonding to be symmetrical to each other about the said abutment surface.

【００２１】また、上記各磁気コア半体における金属磁
性膜の磁化容易軸の方向が磁気記録媒体摺動面に向かっ
て互いに離間するように傾斜し、その傾斜角度が磁気ギ
ャップ形成面である上記突き合わせ面に対してそれぞれ
２０°〜７０°となるように磁化異方性を所定の方向に
制御することを特徴とする。Further, the directions of the easy axes of the metal magnetic films in the magnetic core halves are inclined so as to be separated from each other toward the sliding surface of the magnetic recording medium, and the inclination angle is the magnetic gap forming surface. It is characterized in that the magnetization anisotropy is controlled in a predetermined direction so that each is 20 ° to 70 ° with respect to the abutting surface.

【００２２】また、上記傾斜角度が３０°〜５０°であ
ることを特徴とする。The inclination angle is 30 ° to 50 °.

【００２３】さらに、上記金属磁性膜を絶縁層を介して
複数層積層することを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that a plurality of the metal magnetic films are laminated with an insulating layer interposed therebetween.

【００２４】[0024]

【作用】従来、磁化容易軸の方向は磁気ギャップのデプ
ス方向と垂直とするような場合が良いとされていた。し
かしながら、本発明に係る磁気ヘッドは、一対の磁気コ
ア半体の金属磁性膜の磁化容易軸の方向を上記のような
角度に傾斜させてなることにより、磁化容易軸の方向は
磁気ギャップのデプス方向と垂直とするような場合は勿
論、磁化容易軸の方向を磁気ギャップのデプス方向と平
行とするような場合に比較しても、磁気ヘッドのコア効
率が向上し、良好な再生特性が得られる。It has been conventionally believed that the direction of the easy axis of magnetization should be perpendicular to the depth direction of the magnetic gap. However, in the magnetic head according to the present invention, the direction of the easy axis of magnetization of the metal magnetic films of the pair of magnetic core halves is inclined at the angle as described above, so that the direction of the easy axis of magnetization is the depth of the magnetic gap. The magnetic head core efficiency is improved and good reproduction characteristics are obtained even when compared with the case where the direction of the easy axis is parallel to the depth direction of the magnetic gap, as well as the case where the direction is perpendicular to the direction. To be

【００２５】また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
は、結晶質あるいは微結晶質からなる金属磁性膜とする
ものであるから、従来から広く使用されているガラス融
着により磁気コア半体同士を接合一体化させることがで
きる。In the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, since the magnetic metal film is made of crystalline or microcrystalline material, the magnetic core halves are bonded to each other by glass fusion which has been widely used in the past. Can be joined and integrated.

【００２６】そして、接合基板を切断した一対の磁気コ
ア半体ブロックを得て、この切断された一方の磁気コア
半体ブロックを１８０°反転させることにより、磁気コ
ア半体の突き合わせ面に対して磁化容易軸の方向の角度
を対称にさせることができる。Then, a pair of magnetic core half blocks obtained by cutting the bonded substrate is obtained, and one of the cut magnetic core half blocks is inverted by 180 °, so that the abutting surface of the magnetic core half bodies is reversed. The angle in the direction of the easy axis of magnetization can be made symmetrical.

【００２７】[0027]

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail below with reference to the drawings.

【００２８】作製される磁気ヘッドの構成 本実施例が対象とされる磁気ヘッドは、図１及び図２に
示すように、金属磁性膜３が膜厚方向より一対の基板１
１，１２により挟み込まれてなる磁気コア半体１と、同
様に金属磁性膜４が膜厚方向より一対の基板１３，１４
により挟み込まれてなる磁気コア半体２が、上記金属磁
性膜３，４を突き合わせるようにして接合一体化された
ものである。そして、上記金属磁性膜３，４の突き合わ
せ面間には、磁気ギャップｇ₁ （フロントギャップ）
と、磁気ギャップｇ₂ （バックギャップ）が形成され、
該金属磁性膜３，４により閉磁路が構成されている。 Structure of Magnetic Head to be Produced As shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic head targeted for the present embodiment has a pair of substrates 1 each having a metal magnetic film 3 in the thickness direction.
The magnetic core half body 1 sandwiched between the pair of substrates 13 and 14 and the metallic magnetic film 4 are arranged in the thickness direction.
The magnetic core half body 2 sandwiched by is joined and integrated so that the metal magnetic films 3 and 4 are butted. A magnetic gap g ₁ (front gap) is provided between the abutting surfaces of the metal magnetic films 3 and 4.
And a magnetic gap g ₂ (back gap) is formed,
The metal magnetic films 3 and 4 form a closed magnetic circuit.

【００２９】ここで、上記金属磁性膜３，４は、高周波
帯域での渦電流損失を回避するため、絶縁膜を介して交
互に何層にも積層されている。Here, the metal magnetic films 3 and 4 are alternately laminated in multiple layers via an insulating film in order to avoid eddy current loss in a high frequency band.

【００３０】上記金属磁性膜３、４の強磁性材料として
は、従来より公知の結晶質あるいは微結晶質のものが使
用できる。結晶質あるいは微結晶質のものは、高飽和磁
束密度を有し、かつ、ガラス融着に優れる利点を有する
からである。As the ferromagnetic material of the metal magnetic films 3 and 4, conventionally known crystalline or microcrystalline materials can be used. This is because the crystalline or microcrystalline material has a high saturation magnetic flux density and has an advantage of being excellent in glass fusion.

【００３１】例示するならば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金
（センダスト）、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｏ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ
系合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ系合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ系
合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇｅ系合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ系合
金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金、Ｆｅ−−Ｃｏ−Ｓ
ｉ−Ａｌ系合金等が挙げられる。また、耐蝕性や耐摩耗
性等の一層の向上を図るために、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｚ
ｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｒｈ，Ｉｒ，
Ｒｅ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｈｆ，Ｖ等の少なくとも一種
を添加したものであってもよい。また、酸素含有センダ
スト，窒素含有センダスト、酸素含有Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ
−Ｒｕ系合金、窒素含有Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金
等の結晶質磁性膜でも良い。さらには、Ｆｅ系微結晶
膜、Ｃｏ系微結晶膜を用いてもよい。For example, Fe--Al--Si alloys (sendust), Fe--Si--Co alloys, Fe--Ni.
-Based alloys, Fe-Al-Ge-based alloys, Fe-Ga-Ge-based alloys, Fe-Si-Ge-based alloys, Fe-Si-Ga-based alloys, Fe-Si-Ga-Ru-based alloys, Fe--Co- S
An i-Al-based alloy and the like can be mentioned. Further, in order to further improve corrosion resistance and wear resistance, Ti, Cr, Mn, Z
r, Nb, Mo, Ta, W, Ru, Os, Rh, Ir,
At least one of Re, Ni, Pd, Pt, Hf, V and the like may be added. Also, oxygen-containing sendust, nitrogen-containing sendust, oxygen-containing Fe-Si-Ga
A crystalline magnetic film such as a -Ru alloy or a nitrogen-containing Fe-Si-Ga-Ru alloy may be used. Further, an Fe-based microcrystalline film or a Co-based microcrystalline film may be used.

【００３２】また、上記基板１１、１２、１３、１４に
は、フェライト材の他、非磁性フェライト、酸化ジルコ
ニウム系セラミック、結晶化ガラス、非磁性酸化鉄系セ
ラミック、ＢａＴｉＯ₃ ，Ｋ₂ ＴｉＯ₃ 等のチタン酸系
セラミック等が用いられる。In addition to the ferrite material, non-magnetic ferrite, zirconium oxide-based ceramics, crystallized glass, non-magnetic iron oxide-based ceramics, BaTiO ₃ , K ₂ TiO _3, etc. are used for the substrates 11, 12, 13 and 14. The titanic acid-based ceramics of

【００３３】上記磁気ヘッドにおいては、基板１１，１
２，１３，１４を用いていることから、磁気ギャップの
トラック幅Ｔｗは、上記金属磁性膜３，４の膜厚によっ
て決定される。In the above magnetic head, the substrates 11, 1
Since the tracks 2, 13, 14 are used, the track width Tw of the magnetic gap is determined by the film thickness of the metal magnetic films 3, 4.

【００３４】また、上記磁気ヘッドにおいては、一方の
磁気コア半体２の対向面に、その一端によりフロントギ
ャップｇ₁ のデプス（深さ）ｄを規制するとともに、図
示しないコイルを巻装するための巻線溝８が設けられて
いる。なお、この巻線溝８と対向する反対側の各側面に
は、コイルの巻装状態を良好なものとなすための巻線ガ
イド溝１８，１９が設けられている。また、磁気記録媒
体摺動面には、磁気記録媒体との当たりを確保するため
の段差１６，１７が設けられている。この磁気ヘッド
は、上記磁気コア半体１，２同士を融着ガラス２０によ
って接合一体化されている。In the above magnetic head, the depth (depth) d of the front gap g ₁ is regulated by the one end on the facing surface of the one magnetic core half body 2 and the coil (not shown) is wound. Winding groove 8 is provided. It should be noted that winding guide grooves 18 and 19 are provided on each of the opposite side surfaces facing the winding groove 8 so that the winding state of the coil is good. Further, steps 16 and 17 are provided on the sliding surface of the magnetic recording medium to ensure contact with the magnetic recording medium. In this magnetic head, the magnetic core halves 1 and 2 are joined and integrated by a fused glass 20.

【００３５】そして、上記各金属磁性膜３，４の磁化容
易軸の方向Ｆを、図２に示すように、一対の磁気コア半
体の突き合わせ面を中心に互いに対称で且つ磁気記録媒
体摺動面に向かって互いに離間するように傾斜し、その
傾斜角度しーたが磁気ギャップ形成面である上記突き合
わせ面に対してそれぞれ２０°〜７０°とされている。
すなわち、上記各磁気コア半体１，２の金属磁性膜３，
４の磁化容易軸の方向Ｆは、フロントギャップｇ₁ のデ
プスｄ方向に対して一方のリーディング側となる磁気コ
ア半体１では磁気記録媒体摺動方向Ｓと逆方向側となる
ように変化させてなり、また、他方のトレーリング側と
なる磁気コア半体２では磁気記録媒体摺動方向側Ｓに変
化させてなる。Then, as shown in FIG. 2, the direction F of the easy axis of magnetization of each of the metal magnetic films 3 and 4 is symmetrical with respect to the abutting surface of the pair of magnetic core halves and slides on the magnetic recording medium. The surfaces are inclined so as to be separated from each other toward the surfaces, and the inclination angle is 20 ° to 70 ° with respect to the abutting surface that is the magnetic gap forming surface.
That is, the metal magnetic films 3 of the magnetic core halves 1 and 2 are
The direction F of the easy axis of magnetization 4 is changed so as to be opposite to the sliding direction S of the magnetic recording medium in the magnetic core half body 1 which is one leading side with respect to the depth d direction of the front gap g _1. The magnetic core half 2 on the other trailing side is changed to the magnetic recording medium sliding direction side S.

【００３６】磁気ヘッドの製造方法 先ず、図３に示すように、磁性晶フェライト材よりなる
基板２１（第１の基板）と、これを重ね合わせる基板２
２（第２の基板）を用意する。そして、上記一方の基板
２１の主面に鏡面加工を施す。 Manufacturing Method of Magnetic Head First, as shown in FIG. 3, a substrate 21 (first substrate) made of a magnetic crystal ferrite material and a substrate 2 on which the substrate 21 is laminated.
2 (second substrate) is prepared. Then, the main surface of the one substrate 21 is mirror-finished.

【００３７】本実施例では、上記基板２１として、磁性
フェライト材の単結晶あるいは多結晶、これらの接合
材、又は、非磁性フェライト，ＢａＴｉＯ₃ ，Ｋ₂ Ｔｉ
Ｏ₃ ，結晶化ガラス等の非磁性の基板２１が挙げられ
る。In the present embodiment, the substrate 21 is a single crystal or polycrystal of magnetic ferrite material, a bonding material thereof, or nonmagnetic ferrite, BaTiO ₃ , K ₂ Ti.
A non-magnetic substrate 21 such as O ₃ or crystallized glass can be used.

【００３８】また、本実施例に用いた上記単結晶フェラ
イトの結晶面の指数を図３に示す。すなわち、フェライ
ト結晶の切り出しの結晶方位を摺動方向において（１０
０）面が現れるようにした。但し、上記結晶面の指数と
は異なる単結晶フェライト、あるいは、接合基板等を用
いてもよい。The index of the crystal plane of the single crystal ferrite used in this example is shown in FIG. That is, the crystal orientation of the ferrite crystal cut out in the sliding direction is (10
0) faces are made to appear. However, a single crystal ferrite having a different crystal plane index or a bonded substrate may be used.

【００３９】次に、図４乃至図５に示すように、上記基
板２１に絶縁膜２６を介して、結晶質あるいは微結晶質
からなる金属磁性膜２５を所定の方向に磁化異方性を制
御して成膜する。このような結晶質あるいは微結晶質か
らなる金属磁性膜は、高い飽和磁束密度を有し、かつ、
耐熱性に優れるため、従来から広く使用されているガラ
ス融着による接合に優れる利点を活かすためである。Next, as shown in FIGS. 4 to 5, the magnetic anisotropy is controlled in a predetermined direction on the metal magnetic film 25 made of crystalline or microcrystalline through the insulating film 26 on the substrate 21. Then, a film is formed. A metal magnetic film made of such a crystalline or microcrystalline material has a high saturation magnetic flux density, and
This is because it is excellent in heat resistance, and the advantage that is excellent in joining by glass fusion, which has been widely used in the past, is utilized.

【００４０】ここで、本実施例においては、上記基板２
１上に、ＳｉＯ₂ 膜２４を形成し、このＳｉＯ₂ 膜２４
上にマスクスパッタ処理を用いて必要最小限の面積に金
属磁性膜２５を形成する。Here, in this embodiment, the substrate 2 is used.
On 1, to form a SiO ₂ film 24, the SiO ₂ film 24
A metal magnetic film 25 is formed on the minimum necessary area by using a mask sputtering process.

【００４１】まず、上記基板２１に金属磁性膜２５を成
膜する前提として、基板２１との付着力向上のための下
地層として５０ｎｍ厚のＳｉＯ₂ 膜２４が成膜した。こ
こで、成膜される下地層としては、上記ＳｉＯ₂ 膜２４
の他、Ｔａ₂ Ｏ₅ 等の酸化物膜、Ｓｉ₃ Ｎ₄ 等の窒化物
膜、あるいは、Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔ等の金属膜及び
それらの合金膜、あるいは、それらを組み合わせた積層
膜を用いても良い。First, on the premise of forming the metal magnetic film 25 on the substrate 21, a SiO ₂ film 24 having a thickness of 50 nm was formed as a base layer for improving the adhesion to the substrate 21. Here, the SiO ₂ film 24 is used as a base layer to be formed.
In addition, an oxide film of Ta ₂ O ₅ or the like, a nitride film of Si ₃ N ₄ or the like, a metal film of Cr, Al, Si, Pt or the like and an alloy film thereof, or a laminated film combining them. May be used.

【００４２】その後、上記ＳｉＯ₂ 膜２４上にマスクス
パッタを用いて金属磁性膜２５を形成する。この金属磁
性膜２５の厚さは、高周波特性向上のために一層当たり
の２〜５μｍとし、目的とするトラック幅Ｔｗの１〜３
倍程度の膜厚となる様に絶縁膜２６を介して数層積層す
る必要がある。なお、この絶縁膜２６に関しては、０．
１〜０．３μｍ厚のＳｉＯ_2,Ｔａ₂ Ｏ₅ 等の酸化物膜、
Ｓｉ₃ Ｏ₄ 等の窒化物膜等を用いれば良い。本実施例で
は、トラック幅Ｔｗを５μｍとするために１層当たりの
金属磁性膜２５の厚さを３μｍとし、絶縁膜２６として
の０．２μｍ厚のＳｉＯ_2,膜２４を介して三層重ね合わ
せた。Then, a metal magnetic film 25 is formed on the SiO ₂ film 24 by mask sputtering. The thickness of the metal magnetic film 25 is set to 2 to 5 μm per layer in order to improve high frequency characteristics, and the target track width Tw is 1 to 3 μm.
It is necessary to stack several layers with the insulating film 26 interposed so that the film thickness is doubled. Regarding the insulating film 26,
An oxide film such as SiO _2, Ta ₂ O ₅ having a thickness of 1 to 0.3 μm,
A nitride film such as Si ₃ O ₄ may be used. In this embodiment, the thickness of the metal magnetic film 25 per layer is set to 3 μm in order to set the track width Tw to 5 μm, and three layers are stacked with the SiO ₂ film 24 of 0.2 μm thickness as the insulating film 26 interposed therebetween. I matched it.

【００４３】本実施例においては、一枚の第１の基板２
１上の少なく２箇所に上記のような金属磁性膜２５ａ・
２５ｂを同時に成膜する。このような成膜の仕方によ
り、一枚の基板２１から、後述するような対称な磁化容
易軸方向Ｆとなる金属磁性膜２５ａ・２５ｂを得ること
ができる。In this embodiment, one first substrate 2 is used.
The above-mentioned metal magnetic film 25a
25b is formed at the same time. By such a film forming method, it is possible to obtain the metal magnetic films 25a and 25b having the symmetrical easy magnetization axis direction F as described later from the single substrate 21.

【００４４】すなわち、本実施例では、上記金属磁性膜
２５を被着する際に磁化異方性を制御するが、図２に示
すような対称な角度は、上記一枚の基板２１上に一定方
向に磁界を印加等した後、後の工程で一方の磁気コア半
体ブロック３１を１８０°回転させることで得ることが
できる。なお、このように付与される磁化容易軸の方向
Ｆは、以後、本実施例に係る製造工程を説明する図１０
乃至図１２において、符号Ｆの方向を示しながら説明す
ることとする。That is, in the present embodiment, the magnetization anisotropy is controlled when the metal magnetic film 25 is deposited, but the symmetrical angle as shown in FIG. 2 is constant on the one substrate 21. After applying a magnetic field in the direction, it can be obtained by rotating one magnetic core half block 31 by 180 ° in a later step. It should be noted that the direction F of the easy axis of magnetization thus imparted will be described below with reference to FIG. 10 illustrating the manufacturing process according to the present embodiment.
12 to 12, the description will be given while showing the direction of the symbol F.

【００４５】次いで、図５及び図６に示すように、上記
金属磁性膜２５の表面と重ね合わせ側のフェライト基板
２２の表面にもスパッタリングを用いて０．１〜０．５
μｍ厚の低融点ガラス膜２７を形成する。このガラス膜
２７は、上記基板２１の金属磁性膜２５上の表面か、あ
るいは、金属磁性膜２５を形成していない重ね合わせ側
の基板２２の表面かの少なくとも一方の表面に形成して
も良い。なお、本実施例では、スパッタリングによって
形成されたガラス膜２７を用いたが、スピンコーティン
グ等によって塗布されたフリットガラスを用いてもよ
い。Next, as shown in FIGS. 5 and 6, the surface of the metal magnetic film 25 and the surface of the ferrite substrate 22 on the superposition side are also sputtered to 0.1 to 0.5.
A low melting point glass film 27 having a thickness of μm is formed. The glass film 27 may be formed on at least one of the surface of the metal magnetic film 25 of the substrate 21 and the surface of the substrate 22 on the stacking side where the metal magnetic film 25 is not formed. . Although the glass film 27 formed by sputtering is used in this embodiment, frit glass applied by spin coating or the like may be used.

【００４６】また、このガラス膜２７の成膜に際して
は、上記上記基板２１の金属磁性膜２５、あるいは、重
ね合わせ側の基板２２のフェライトと、上記低融点ガラ
ス膜２７との反応防止を目的として、ＳｉＯ_2,Ｔａ₂ Ｏ
₅ 等の酸化物膜、Ｓｉ₃ Ｏ₄ 等の窒化物膜、Ｃｒ，Ａ
ｌ，Ｓｉ，Ｐｔ等の金属膜、あるいは、これらの合金膜
又は、上記を組み合わせた積層膜としても良い。本実施
例では、０．１μｍ厚のＣｒ膜２８を金属磁性膜２５上
と重ね合わせ側の基板２２の表面にスパッタリングを用
いて形成した後に、０．２μｍ厚のＰｂ系のガラス膜２
７をやはりスパッタリングを用いて形成した。When the glass film 27 is formed, the reaction between the low-melting glass film 27 and the metal magnetic film 25 of the substrate 21 or the ferrite of the superposing substrate 22 is prevented. , SiO _2, Ta ₂ O
₅ etc. oxide film, Si ₃ O ₄ etc. nitride film, Cr, A
A metal film of l, Si, Pt, or the like, an alloy film thereof, or a laminated film obtained by combining the above may be used. In this embodiment, a Cr film 28 having a thickness of 0.1 μm is formed on the surface of the substrate 22 on the metal magnetic film 25 and the superposition side by sputtering, and then a glass film 2 of Pb-based glass 2 having a thickness of 0.2 μm is formed.
7 was also formed using sputtering.

【００４７】以上のようにして、金属磁性膜２５が積層
された基板２１に重ね合わせ側の基板２２を圧着しなが
ら５００〜７００°Ｃに加熱接合して、図７及び図８に
示すように、接合基板３０を作製する。なお、図８は、
図７の接合基板３０の拡大断面図である。As described above, the substrate 21 on which the metal magnetic film 25 is laminated is heat-bonded at 500 to 700 ° C. while pressure-bonding the substrate 22 on the superposition side, and as shown in FIGS. Then, the bonded substrate 30 is prepared. In addition, in FIG.
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the bonded substrate 30 of FIG. 7.

【００４８】次いで、上記接合基板３０を目的とするア
ジマス角と同角度で切り出す。すなわち、図９に示すよ
うに、上記接合基板３０のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ
線から、図１０に示すように、所定の大きさからなる一
対の磁気コア半体ブロック３１，３１を得る。Next, the bonded substrate 30 is cut out at the same angle as the desired azimuth angle. That is, as shown in FIG. 9, the AA line, the BB line, and the C-C line of the bonding substrate 30 described above.
From the line, as shown in FIG. 10, a pair of magnetic core half blocks 31, 31 having a predetermined size are obtained.

【００４９】ここで、本実施例では、各金属磁性膜２５
ａ・２５ｂの磁化容易軸に対して２０°〜７０°傾斜す
る方向に切断して一対の磁気コア半体ブロック３１，３
１を得る。Here, in this embodiment, each metal magnetic film 25 is formed.
a pair of magnetic core half blocks 31, 3 by cutting in a direction inclined at 20 ° to 70 ° with respect to the easy axis of a · 25b
Get one.

【００５０】次いで、同図１０に示すように、上記一対
の磁気コア半体ブロック３１，３１の不要な部分を平面
研削盤を用いて除去する。すなわち、上記一対の磁気コ
ア半体ブロック３１，３１の上記切り出し方向に沿って
絶縁膜２６を介して成膜した金属磁性膜２５が現れるま
で基板２１の不要な部分を平面研削盤を用いて除去す
る。すなわち、上記基板の（１００）面が研削すること
となる。そして、その後、巻線溝８とガラス溝１５等を
形成する。Then, as shown in FIG. 10, unnecessary portions of the pair of magnetic core half blocks 31, 31 are removed by using a surface grinder. That is, unnecessary portions of the substrate 21 are removed using a surface grinder until the metal magnetic film 25 formed via the insulating film 26 along the cutting direction of the pair of magnetic core half blocks 31 and 31 appears. To do. That is, the (100) surface of the substrate is ground. Then, thereafter, the winding groove 8 and the glass groove 15 are formed.

【００５１】次いで、図１１に示すように、トラック幅
規制溝３３を機械加工により形成する。Next, as shown in FIG. 11, a track width regulating groove 33 is formed by machining.

【００５２】ここで、同図１１に示すように、スパッタ
リング等を用いて融着ガラス２０との反応を防止する防
止膜２９を形成しても良い。この反応防止膜２９として
は、厚み０．０５μｍ以上のＳｉＯ₂ ，Ｔａ₂ Ｏ₅ 等の
酸化物膜Ｓｉ₃ Ｎ₄ 等の窒化物膜、Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ，
Ｐｔ等の金属膜及びそれらの合金膜、あるいは、それら
を組み合わせた積層膜を用いれば良い。本実施例では、
トラック幅規制溝３３を形成した後、０．２μｍ厚のＣ
ｒからなる反応防止膜２９をスパッタリングを用いて形
成した。Here, as shown in FIG. 11, a prevention film 29 for preventing the reaction with the fused glass 20 may be formed by using sputtering or the like. As the reaction preventing film 29, an oxide film such as SiO ₂ , Ta ₂ O ₅ or the like having a thickness of 0.05 μm or more, a nitride film such as Si ₃ N ₄ or the like, Cr, Al, Si,
A metal film of Pt or the like, an alloy film thereof, or a laminated film combining them may be used. In this embodiment,
After forming the track width regulation groove 33, a C having a thickness of 0.2 μm is formed.
The reaction preventive film 29 made of r was formed by sputtering.

【００５３】次いで、同図１１に示すように、ポリッシ
ング等を用いてフロントギャップｇ₁ 面に鏡面加工を施
した後、ギャップ膜を形成し、図１２に示すように、一
対の磁気コア半体ブロック３１，３１同士をガラスを流
し込みながら融着ガラス２０によりギャップ接合を行
う。Next, as shown in FIG. 11, the front gap g ₁ surface is mirror-finished by polishing or the like, and then a gap film is formed. As shown in FIG. 12, a pair of magnetic core halves is formed. Gap bonding is performed by the fused glass 20 while pouring glass between the blocks 31 and 31.

【００５４】ここで、本実施例では、上記切断された一
方の磁気コア半体ブロック３１を１８０°回転させる。
この回転により、磁気コアの突き合わせ面を中心に互い
に対称な磁化容易軸の方向Ｆのヘッドチップを得ること
ができる。しかも、この磁化容易軸の方向Ｆの対称性
は、上述の一枚の基板２１（第１の基板）から作成した
ものであるから、完全な対称性を得ることができる。Here, in this embodiment, one of the cut magnetic core half blocks 31 is rotated by 180 °.
By this rotation, it is possible to obtain the head chip in the direction F of the easy axis of magnetization which is symmetrical with respect to the abutting surface of the magnetic core. Moreover, since the symmetry in the direction F of the easy axis of magnetization is created from the one substrate 21 (first substrate) described above, perfect symmetry can be obtained.

【００５５】次いで、巻線溝８の加工、当たり幅加工等
を行った後に目的とするチップ厚に切断する。その後、
磁気記録媒体摺動面に磁気記録媒体との当たりを確保す
るための段差１６，１７の形成や、この切断されたヘッ
ドチップに対して磁気記録媒体摺動面となる部分を円筒
研磨するとともに、巻線溝８にコイルを確実に巻装する
ための巻線ガイド溝１８，１９を切削加工等する。以上
によって、磁気ヘッドが図１及び図２に示すように完成
する。実験結果 そして、図２に示すように、上記各金属磁性膜３，４の
磁化容易軸の方向Ｆのθ１，θ２を、０°から９０°に
揃えて変化させた磁気ヘッドを多数製造した。そして、
磁気ヘッドのコア効率を向上させ良好な再生特性を得る
上で好ましい角度θ１，θ２を検討した。Next, after the winding groove 8 is processed, the contact width is processed, etc., the chip is cut into a target chip thickness. afterwards,
The steps 16 and 17 for ensuring contact with the magnetic recording medium are formed on the sliding surface of the magnetic recording medium, and the portion of the cut head chip which becomes the sliding surface of the magnetic recording medium is cylindrically polished. The winding guide grooves 18, 19 for surely winding the coil in the winding groove 8 are cut. By the above, the magnetic head is completed as shown in FIGS. Experimental Results Then, as shown in FIG. 2, a large number of magnetic heads were manufactured in which the directions of θ1 and θ2 of the easy magnetic axes F of the metal magnetic films 3 and 4 were changed from 0 ° to 90 °. And
The preferable angles θ1 and θ2 were examined in order to improve the core efficiency of the magnetic head and obtain good reproduction characteristics.

【００５６】ここで、再生出力の測定は、固定ヘッド方
式の電磁変換特性測定装置を用い、相対速度１０ｍ／ｓ
で行った。また、磁気テープには、市販の８ミリビデオ
カメラ用の磁気テープを用いた。その結果を示したもの
が図１３である。Here, the reproduction output is measured by using a fixed head type electromagnetic conversion characteristic measuring device and a relative speed of 10 m / s.
I went there. As the magnetic tape, a commercially available magnetic tape for 8 mm video camera was used. FIG. 13 shows the result.

【００５７】また、上記角度θ１，θ２は、図２に示し
た通り、磁化容易軸の方向Ｆでリーディング側の一方の
磁気コア１では磁気記録媒体摺動方向Ｓと逆方向側に開
く角度をθ１とし、トレーリング側の他方の磁気コア２
では磁気記録媒体摺動方向Ｓと同方向側に開く角度θ２
とした。なお、θ１，θ２＝０°の時の再生出力を０ｄ
Ｂとした。Further, as shown in FIG. 2, the angles .theta.1 and .theta.2 are the angles which open in the direction F of the easy axis of magnetization in the magnetic core 1 on the leading side in the direction opposite to the sliding direction S of the magnetic recording medium. θ1 and the other magnetic core 2 on the trailing side
Then, the angle θ2 that opens in the same direction as the magnetic recording medium sliding direction S
And The reproduction output when θ1 and θ2 = 0 ° is 0d.
It was set to B.

【００５８】上記図１３から明らかなように、全体とし
て、金属磁性膜２５の磁化容易軸の方向Ｆを磁気ギャッ
プのデプス方向に対して変化させると、大きな再生特性
が得られることがわかる。そして、θ１，θ２＝２０°
〜７０°のときに、θ１，θ２＝０°のときよりも大き
な再生特性が得られることがわかる。特に、θ１，θ２
＝３０°〜５０°のときに、約２ｄＢもの良好な再生特
性が得られ良ることが明らかである。As is clear from FIG. 13, when the direction F of the easy axis of magnetization of the metal magnetic film 25 is changed with respect to the depth direction of the magnetic gap, a large reproducing characteristic can be obtained as a whole. And θ1, θ2 = 20 °
It can be seen that a reproduction characteristic larger than that in the case of θ1 and θ2 = 0 ° can be obtained at ˜70 °. Especially, θ1 and θ2
It is clear that when = 30 ° to 50 °, good reproduction characteristics of about 2 dB are obtained.

【００５９】他方、磁化容易軸の方向Ｆが２０°未満で
あっても磁気ヘッドの再生出力の向上がみられるが、有
効な再生出力の向上とはならなかった。逆に、磁化容易
軸の方向Ｆが７０°を越えると、以後、再生出力は徐々
に低下する結果となった。On the other hand, although the reproduction output of the magnetic head was improved even when the direction F of the easy axis of magnetization was less than 20 °, the effective reproduction output was not improved. On the contrary, when the direction F of the easy axis of magnetization exceeds 70 °, the reproduction output gradually decreases thereafter.

【００６０】したがって、磁化容易軸の方向Ｆは、θ
１，θ２＝２０°〜７０°のときに大きな再生特性が得
られることがわかる。また、θ１，θ２＝３０°〜５０
°のときの再生特性の向上が顕著であるために、望まし
くはθ１，θ２＝３０°〜５０°であることがわかる。Therefore, the direction F of the easy axis is θ
It can be seen that a large reproduction characteristic is obtained when 1, θ2 = 20 ° to 70 °. Further, θ1, θ2 = 30 ° to 50
It can be seen that θ1 and θ2 are preferably 30 ° to 50 °, because the reproduction characteristic is remarkably improved when the angle is 0 °.

【００６１】このように良好な再生特性が得られたの
は、次の点にあるものと考えられる。一般に、結晶質の
金属磁性膜の磁化異方性と透磁率μとは密接な関係にあ
ることが知られている。すなわち、図１４に示すよう
に、透磁率μは、磁化容易軸の方向Ｆ（Ｅａｓｙ Ａｘ
ｉｓ）よりも磁化困難軸の方向（Ｈａｒｄ Ａｘｉｓ）
の方が高い。本実施例に係る磁気ヘッドおいては、磁化
容易軸の方向Ｆを前記範囲とすることにより、再生出力
に最も影響が大きいフロントデプス近傍での磁束に対し
て金属磁性膜の磁化異方性が最適化されて、その結果、
透磁率μが大きく確保されたものと考えられる。It is considered that the good reproduction characteristics were obtained as follows. It is generally known that the magnetic anisotropy of a crystalline metal magnetic film and the magnetic permeability μ have a close relationship. That is, as shown in FIG. 14, the magnetic permeability μ is the direction F (Easy Ax) of the easy axis of magnetization.
direction of hard axis (Hard Axis)
Is higher. In the magnetic head according to the present embodiment, by setting the direction F of the easy axis of magnetization within the above range, the magnetic anisotropy of the metal magnetic film with respect to the magnetic flux in the vicinity of the front depth, which has the largest influence on the reproduction output. Optimized and as a result,
It is considered that the magnetic permeability μ was largely secured.

【００６２】このように、結晶質あるいは微結晶質から
なる金属磁性膜を積層してなる一対の磁気コア半体同士
を突き合わせて接合一体化し、その突き合わせ面間に磁
気ギャップを形成してなる磁気ヘッドにおいて、上記の
ように磁化容易軸の方向を傾斜させた磁気ヘッドは、磁
化容易軸の方向が磁気ギャップのデプス方向と垂直とす
るような場合は勿論、磁化容易軸の方向を磁気ギャップ
のデプス方向と平行とするような場合に比較しても、磁
気ヘッドのコア効率が向上し、良好な再生特性が得られ
ることとなる。In this way, a pair of magnetic core halves formed by laminating crystalline or microcrystalline metallic magnetic films are butted and joined together, and a magnetic gap is formed between the butted faces. In the magnetic head in which the direction of the easy axis of magnetization is tilted as described above, the direction of the easy axis of magnetization is, of course, not only when the direction of the easy axis of magnetization is perpendicular to the depth direction of the magnetic gap. Even when compared with the case where the magnetic field is parallel to the depth direction, the core efficiency of the magnetic head is improved and good reproduction characteristics can be obtained.

【００６３】[0063]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る磁気ヘッドは、各磁気コア半体における金属磁性
膜の磁化容易軸の方向が、前記突き合わせ面を中心に互
いに対称で且つ磁気記録媒体摺動面に向かって互いに離
間するように傾斜し、その傾斜角度が磁気ギャップ形成
面である上記突き合わせ面に対してそれぞれ２０°〜７
０°であるので、磁化容易軸の方向をギャップのデプス
方向と垂直とするような場合に比較した場合は勿論、磁
化容易軸の方向をギャップデプス方向と平行とするよう
な場合に比較しても、磁気ヘッドの再生出力の向上が可
能となった。As is apparent from the above description, in the magnetic head according to the present invention, the directions of the easy axis of magnetization of the metal magnetic films in the respective magnetic core halves are symmetrical with respect to each other with respect to the abutting surface, and the magnetic axes are magnetic. The recording media are inclined toward the sliding surface of the recording medium so as to be separated from each other, and the inclination angle is 20 ° to 7 ° with respect to the abutting surface that is the magnetic gap forming surface.
Since it is 0 °, compared with the case where the direction of the easy axis of magnetization is perpendicular to the depth direction of the gap, as well as the case where the direction of the easy axis of magnetization is parallel to the direction of the gap depth. Also, it has become possible to improve the reproduction output of the magnetic head.

【００６４】他方、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
は、結晶質あるいは微結晶質からなる金属磁性膜とする
ものであるから、従来から広く使用されているガラス融
着により磁気コア半体同士を接合一体化させることがで
きる。On the other hand, since the magnetic head manufacturing method according to the present invention uses a metallic magnetic film made of crystalline or microcrystalline material, the magnetic core halves are bonded to each other by glass fusion, which has been widely used in the past. Can be joined and integrated.

【００６５】そして、接合基板を金属磁性膜の磁化容易
軸に対して２０°〜７０°傾斜する方向に切断して一対
の磁気コア半体ブロックを得て、この切断された一方の
磁気コア半体ブロックを１８０°反転させることによ
り、磁気コア半体の突き合わせ面に対して各金属磁性膜
の磁化容易軸の方向の角度を対称にさせることができる
等製造工程上の利点を種々有する。Then, the bonded substrate is cut in a direction inclined by 20 ° to 70 ° with respect to the easy axis of magnetization of the metal magnetic film to obtain a pair of magnetic core half blocks, and one of the cut magnetic core half blocks is obtained. By reversing the body block by 180 °, there are various advantages in the manufacturing process such that the angle of the easy axis of magnetization of each metal magnetic film can be made symmetrical with respect to the abutting surface of the magnetic core half body.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a magnetic head according to the present invention.

【図２】上記磁気ヘッドの概略構成を模式的に示す平面
図る。FIG. 2 is a plan view schematically showing the schematic configuration of the magnetic head.

【図３】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、金属磁性膜が形成される基板と重ね合わせ側の
基板を準備する工程を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a process of manufacturing the magnetic head according to the above-mentioned embodiment, and showing a process of preparing a substrate on which a metal magnetic film is formed and a substrate on an overlapping side.

【図４】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、基板に絶縁膜を介して金属磁性膜を成膜する工
程を示す拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a process of manufacturing the magnetic head according to the above-mentioned embodiment, showing a process of forming a metal magnetic film on a substrate via an insulating film.

【図５】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、基板にＣｒ膜とガラス膜を成膜する工程を示す
拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the above-mentioned embodiment and showing a process of forming a Cr film and a glass film on a substrate.

【図６】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、重ね合わせ側の基板にＣｒ膜とガラス膜を成膜
する工程を示す拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a process of manufacturing the magnetic head according to the above-mentioned embodiment and showing a process of forming a Cr film and a glass film on the substrate on the superposition side.

【図７】上記一実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、基板に重ね合わせ側の基板を重ね合わせて接
合基板を製作する工程を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the embodiment, and is a process showing a process of manufacturing the bonded substrate by superposing the substrate on the superposition side.

【図８】図７の拡大断面図である。FIG. 8 is an enlarged sectional view of FIG.

【図９】上記一実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、基板に重ね合わせ側の基板を重ね合わせた接
合基板を目的とするアジマス角に切断する工程を示す斜
視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the embodiment, and is a perspective view showing a process of cutting a bonded substrate obtained by superposing the substrate on the superposition side into a desired azimuth angle.

【図１０】上記一実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を
示すもので、一対の磁気コア半体ブロックに巻線溝とガ
ラス溝を施す工程を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a process of manufacturing the magnetic head according to the embodiment, and is a process showing a step of forming a winding groove and a glass groove in a pair of magnetic core half blocks.

【図１１】上記一実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を
示すもので、一対の磁気コア半体ブロックにトラック幅
規制溝と反応膜防止膜を施す工程を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a process of manufacturing the magnetic head according to the example, and is a process showing a process of forming a track width regulating groove and a reaction film preventing film on a pair of magnetic core half blocks.

【図１２】上記一実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を
示すもので、一対の磁気コア半体ブロック同士を突き合
わせ接合一体化する工程を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing a process of manufacturing the magnetic head according to the above-mentioned embodiment, and showing a process of butt-joining and integrating a pair of magnetic core half blocks.

【図１３】上記製造工程により製造された磁気ヘッドの
再生出力の測定結果を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing measurement results of reproduction output of the magnetic head manufactured by the manufacturing process.

【図１４】上記製造工程により製造された磁気ヘッドに
おける金属磁性膜の透磁率μの周波数特性を示す図であ
る。FIG. 14 is a diagram showing frequency characteristics of magnetic permeability μ of the metal magnetic film in the magnetic head manufactured by the above manufacturing process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，２・・・磁気コア半体 ３，４・・・結晶質あるいは微結晶質からなる金属磁性
膜 ８・・・巻線溝 １１，１２，１３，１４・・・基板 ２０・・・融着ガラス ２１・・・基板（第１の基板） ２２・・・重ね合わせ側の基板（第２の基板） ２５，２５ａ，２５ｂ・・・結晶質あるいは微結晶質か
らなる金属磁性膜 ２６・・・絶縁膜 ２７・・・ガラス膜 ２９・・・反応防止膜 ３０・・・接合基板 ３１・・・磁気コア半体ブロック Ｆ・・・磁化容易軸の方向 ｇ₁ ・・・フロントギャップ ｇ₂ ・・・バックギャップ ｄ・・・磁気ギャップのデプス Ｓ・・・磁気記録媒体の摺動方向1, 2 ... Magnetic core half body 3, 4 ... Metallic magnetic film made of crystalline or microcrystalline material 8 ... Winding groove 11, 12, 13, 14 ... Substrate 20 ... Melting Glass-adhering glass 21 ... Substrate (first substrate) 22 ... Laminating side substrate (second substrate) 25, 25a, 25b ... Metal magnetic film made of crystalline or microcrystalline 26 .. insulating film 27 ... glass film 29 ... reaction preventing film 30 ... bonding substrate 31 ... magnetic core half blocks F ... easy magnetization axis direction g ₁ ... front gap g ₂ · ..Back gap d ... Depth of magnetic gap S ... Sliding direction of magnetic recording medium

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小形 誠一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Seiichi Kogata 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 結晶質あるいは微結晶質からなる金属磁
性膜を同時に積層してなる一対の磁気コア半体同士を突
き合わせて接合一体化し、その突き合わせ面間に磁気ギ
ャップを形成してなる磁気ヘッドにおいて、 上記各磁気コア半体における金属磁性膜の磁化容易軸の
方向が、上記突き合わせ面を中心に互いに対称で且つ磁
気記録媒体摺動面に向かって互いに離間するように傾斜
し、その傾斜角度が磁気ギャップ形成面である上記突き
合わせ面に対してそれぞれ２０°〜７０°であることを
特徴とする磁気ヘッド。1. A magnetic head in which a pair of magnetic core halves, which are formed by simultaneously laminating crystalline or microcrystalline metallic magnetic films, are butted and joined together, and a magnetic gap is formed between the butted faces. In, the directions of the easy axis of magnetization of the metal magnetic film in each of the magnetic core halves are inclined so as to be symmetrical with respect to the abutting surface and away from each other toward the magnetic recording medium sliding surface, and the inclination angle thereof Are 20 ° to 70 ° with respect to the abutting surface that is a magnetic gap forming surface, respectively. 【請求項２】 上記傾斜角度が３０°〜５０°であるこ
とを特徴とする請求項請求項１記載の磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein the inclination angle is 30 ° to 50 °. 【請求項３】 上記金属磁性膜が絶縁層を介して複数層
積層されていることを特徴とする請求項１、又は請求項
２記載の磁気ヘッド。3. The magnetic head according to claim 1, wherein the metal magnetic film is laminated in a plurality of layers with an insulating layer interposed therebetween. 【請求項４】 結晶質あるいは微結晶質からなる金属磁
性膜を積層してなる一対の磁気コア半体同士を突き合わ
せて接合一体化し、その突き合わせ面間に磁気ギャップ
を形成してなる磁気ヘッドの製造方法において、 上記金属時成膜をその磁化異方性を所定の方向に制御し
ながら第１の基板上に少なくとも二箇所以上に同時に積
層する工程と、 上記金属磁性膜上に第２の基板を重ね合わせて接合する
ことにより、接合基板を形成する工程と、 この接合基板を切断して一対の磁気コア半体ブロックを
作成する工程と、 上記一対の磁気コア半体ブロックの一方の磁気コア半体
ブロックを１８０°反転させ、これら一対の磁気コア半
体ブロックを突き合わせて、上記各磁気コア半体におけ
る金属磁性膜の磁化容易軸の方向が上記突き合わせ面を
中心に互いに対称となるように接合一体化する工程とを
備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。4. A magnetic head comprising: a pair of magnetic core halves formed by laminating metallic magnetic films of crystalline or microcrystalline layers, but abutting and integrating the magnetic core halves, and forming a magnetic gap between the abutting surfaces. In the manufacturing method, the step of simultaneously laminating the above-mentioned metal film formation at least at two or more locations on the first substrate while controlling the magnetization anisotropy in a predetermined direction; and the second substrate on the metal magnetic film. A step of forming a bonded substrate by superimposing and bonding the two, and a step of cutting the bonded substrate to form a pair of magnetic core half blocks; and a magnetic core of one of the pair of magnetic core half blocks. The half blocks are inverted by 180 °, and the pair of magnetic core half blocks are butted against each other, and the direction of the easy axis of magnetization of the metal magnetic film in each of the magnetic core half bodies is centered on the butted surface. And a step of joining and integrating them so that they are symmetrical to each other. 【請求項５】 上記各磁気コア半体における金属磁性膜
の磁化容易軸の方向が磁気記録媒体摺動面に向かって互
いに離間するように傾斜し、その傾斜角度が磁気ギャッ
プ形成面である上記突き合わせ面に対してそれぞれ２０
°〜７０°となるように磁化異方性を所定の方向に制御
することを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの製造
方法。5. The magnetic axis of the metal magnetic film in each of the magnetic core halves is inclined so that the direction of the easy axis of the magnetic magnetic film is separated from each other toward the sliding surface of the magnetic recording medium, and the inclination angle is the magnetic gap forming surface. 20 for each abutting surface
5. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 4, wherein the magnetic anisotropy is controlled in a predetermined direction so that the angle becomes in the range of .degree. 【請求項６】 上記傾斜角度が３０°〜５０°であるこ
とを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッドの製造方法。6. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 5, wherein the inclination angle is 30 ° to 50 °. 【請求項７】 上記金属磁性膜を絶縁層を介して複数層
積層することを特徴とする請求項４、請求項５、又は請
求項６記載の磁気ヘッドの製造方法。7. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 4, wherein a plurality of the magnetic metal films are laminated with an insulating layer interposed therebetween.