JPH0885212A - インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法Info
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- JPH0885212A JPH0885212A JP6222900A JP22290094A JPH0885212A JP H0885212 A JPH0885212 A JP H0885212A JP 6222900 A JP6222900 A JP 6222900A JP 22290094 A JP22290094 A JP 22290094A JP H0885212 A JPH0885212 A JP H0885212A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 剛性があり、しかも、小径、高精度のノズル
を有するノズルプレートを提供する。 【構成】 穴３があけられている金属プレート１と、樹
脂フィルム２とを接合し、該樹脂フィルム２の前記金属
プレート１の穴３に対応する位置に、該金属プレート１
側よりエキシマレーザにてノズル４が形成する。金属プ
レートを有するので剛性があり、ノズルを樹脂にて形成
するので、エキシマレーザにて小径、高精度にすること
ができる。
を有するノズルプレートを提供する。 【構成】 穴３があけられている金属プレート１と、樹
脂フィルム２とを接合し、該樹脂フィルム２の前記金属
プレート１の穴３に対応する位置に、該金属プレート１
側よりエキシマレーザにてノズル４が形成する。金属プ
レートを有するので剛性があり、ノズルを樹脂にて形成
するので、エキシマレーザにて小径、高精度にすること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種記録装置、特に、
カラー記録装置等に使用して好適なインクジェットヘッ
ドのノズルプレート及びその製造方法に関する。
カラー記録装置等に使用して好適なインクジェットヘッ
ドのノズルプレート及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ノンインパクト記録方式の１つであるイ
ンクジェット記録方式は、加圧液室内のインクを急激に
加圧して記録液吐出口（ノズル）からインク滴を記録紙
に向けて噴射させ、記録紙上に印写させるものであり、
インク加圧手段として発熱抵抗体を利用するもの、圧電
素子を利用するものなど、種々の方式のものが提案され
ている。しかも、このインクジェット記録方式は、記録
時の騒音が発生しないこと、また、原理的にプロセスが
非常にシンプルであること等のため、極めて有力な記録
方式とされている。
ンクジェット記録方式は、加圧液室内のインクを急激に
加圧して記録液吐出口（ノズル）からインク滴を記録紙
に向けて噴射させ、記録紙上に印写させるものであり、
インク加圧手段として発熱抵抗体を利用するもの、圧電
素子を利用するものなど、種々の方式のものが提案され
ている。しかも、このインクジェット記録方式は、記録
時の騒音が発生しないこと、また、原理的にプロセスが
非常にシンプルであること等のため、極めて有力な記録
方式とされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のごときインクジ
ェット記録方式を含む各記録装置は、年々高解像化へと
移行しており、それにより、インクジェット記録装置に
おいては、ノズル穴の小径化・高精度化が要求されてい
る。ノズル加工方法としては、エキシマレーザによる加
工が提案されており、このエキシマレーザは樹脂に対す
る加工として、上述のごときノズル穴の小径化、高精度
化に対応できる。但し、樹脂のノズルプレートでは、エ
ッジシュート方式には対応できても、サイドシュート方
式への対応は剛性不足のために困難である。なお、サイ
ドシュート方式の特徴は、同一平面内に複数列のノズル
を配置できることであり、高解像対応として有利な方式
である。
ェット記録方式を含む各記録装置は、年々高解像化へと
移行しており、それにより、インクジェット記録装置に
おいては、ノズル穴の小径化・高精度化が要求されてい
る。ノズル加工方法としては、エキシマレーザによる加
工が提案されており、このエキシマレーザは樹脂に対す
る加工として、上述のごときノズル穴の小径化、高精度
化に対応できる。但し、樹脂のノズルプレートでは、エ
ッジシュート方式には対応できても、サイドシュート方
式への対応は剛性不足のために困難である。なお、サイ
ドシュート方式の特徴は、同一平面内に複数列のノズル
を配置できることであり、高解像対応として有利な方式
である。
【０００４】また、最近では、記録装置のカラー化が急
速に進行しており、これに対応するためには、活性剤等
を添加したインクを使用すると、紙への浸透が早く、各
色間の境界にじみのないカラー画像を得ることができる
ので有利である。しかしながら、活性剤等を添加したイ
ンクは低表面張力でありノズルの表面処理として撥水処
理を採用するのは不適である。また、活性剤が撥水処理
面に付着して、経時的に撥水性能を低下させることも確
認した。従って、ノズル面を親水性にした方が経時的に
安定した特性が得られる。しかし、ノズル間距離が狭く
なると、ノズル表面でのメニスカスの相互干渉が生じ、
安定した噴射特性が得られないという問題がある。
速に進行しており、これに対応するためには、活性剤等
を添加したインクを使用すると、紙への浸透が早く、各
色間の境界にじみのないカラー画像を得ることができる
ので有利である。しかしながら、活性剤等を添加したイ
ンクは低表面張力でありノズルの表面処理として撥水処
理を採用するのは不適である。また、活性剤が撥水処理
面に付着して、経時的に撥水性能を低下させることも確
認した。従って、ノズル面を親水性にした方が経時的に
安定した特性が得られる。しかし、ノズル間距離が狭く
なると、ノズル表面でのメニスカスの相互干渉が生じ、
安定した噴射特性が得られないという問題がある。
【０００５】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたものであり、特に、剛性のあるノズルプレートの製
作を可能とするとともに、サイドシュート方式のインク
ジェット記録装置におけるヘッドの組立性、噴射特性を
満足できる小径、高精度ノズルを有するノズルプレート
を提供することを目的としてなされたものである。
れたものであり、特に、剛性のあるノズルプレートの製
作を可能とするとともに、サイドシュート方式のインク
ジェット記録装置におけるヘッドの組立性、噴射特性を
満足できる小径、高精度ノズルを有するノズルプレート
を提供することを目的としてなされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、（１）穴あきの金属プレートと樹脂フィ
ルムとを接合してなり、前記樹脂フィルムの前記金属プ
レートの穴に対応する位置に、該金属プレート側よりエ
キシマレーザにてノズルが形成されていること、更に
は、（２）前記樹脂フィルムが光硬化性樹脂であるこ
と、更には、（３）前記金属プレートがＮｉ電鋳である
こと、更には、（４）前記樹脂フィルムの前記ノズル表
面側におけるノズル孔周辺が凸状に形成されているこ
と、更には、（５）前記樹脂フィルム表面の、少なくと
も前記ノズル孔のまわりに金属薄膜が形成されているこ
と、或いは、（６）穴あきの金属プレートと樹脂フィル
ムを接合し、前記金属プレート側より、前記樹脂フィル
ムの前記金属プレートの穴部に相当する位置に、エキシ
マレーザにてノズルを形成すること、更には、（７）前
記エキシマレーザのマスクとして金属プレートを使用す
ること、更には、（８）前記樹脂フィルムのノズル表面
側をエキシマレーザにより粗にすること、更には、
（９）前記樹脂フィルムのノズル側表面にフォトリソ技
術により凹凸パターンニングを行うことを特徴としたも
のである。
決するために、（１）穴あきの金属プレートと樹脂フィ
ルムとを接合してなり、前記樹脂フィルムの前記金属プ
レートの穴に対応する位置に、該金属プレート側よりエ
キシマレーザにてノズルが形成されていること、更に
は、（２）前記樹脂フィルムが光硬化性樹脂であるこ
と、更には、（３）前記金属プレートがＮｉ電鋳である
こと、更には、（４）前記樹脂フィルムの前記ノズル表
面側におけるノズル孔周辺が凸状に形成されているこ
と、更には、（５）前記樹脂フィルム表面の、少なくと
も前記ノズル孔のまわりに金属薄膜が形成されているこ
と、或いは、（６）穴あきの金属プレートと樹脂フィル
ムを接合し、前記金属プレート側より、前記樹脂フィル
ムの前記金属プレートの穴部に相当する位置に、エキシ
マレーザにてノズルを形成すること、更には、（７）前
記エキシマレーザのマスクとして金属プレートを使用す
ること、更には、（８）前記樹脂フィルムのノズル表面
側をエキシマレーザにより粗にすること、更には、
（９）前記樹脂フィルムのノズル側表面にフォトリソ技
術により凹凸パターンニングを行うことを特徴としたも
のである。
【０００７】
【作用】穴あき金属プレートと樹脂フィルムを接合し、
該樹脂フィルムの前記穴あき部に相当する部分に、前記
金属プレート側よりエキシマレーザによりノズルを形成
し、もって、剛性があり、しかも、小径、高精度のノズ
ルを有するノズルプレートの提供を可能とする。
該樹脂フィルムの前記穴あき部に相当する部分に、前記
金属プレート側よりエキシマレーザによりノズルを形成
し、もって、剛性があり、しかも、小径、高精度のノズ
ルを有するノズルプレートの提供を可能とする。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明によるノズルプレートの一実
施例（請求項１，６）を説明するための図で、図１
（ａ）は斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ線断
面図で、図中、１０は本発明によるノズルプレートで、
該ノズルプレート１０は金属プレート１、樹脂フィルム
２、金属プレート１にあけられた穴３、樹脂フィルム２
に形成されたノズル４等から成っている。而して、本発
明においては、ノズルプレート１０は、図１（ｂ）に示
すように、予め穴３があけられた金属プレート１と樹脂
フィルム２とが接合され、金属プレート１の穴あき部を
通して樹脂フィルム２にエキシマレーザによりノズル４
を形成したものである。なお、金属プレート１の穴あけ
加工手段としては、プレス、エッチング、レーザ等があ
るが、この穴あけ加工は、それ程精度を必要としない。
施例（請求項１，６）を説明するための図で、図１
（ａ）は斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ線断
面図で、図中、１０は本発明によるノズルプレートで、
該ノズルプレート１０は金属プレート１、樹脂フィルム
２、金属プレート１にあけられた穴３、樹脂フィルム２
に形成されたノズル４等から成っている。而して、本発
明においては、ノズルプレート１０は、図１（ｂ）に示
すように、予め穴３があけられた金属プレート１と樹脂
フィルム２とが接合され、金属プレート１の穴あき部を
通して樹脂フィルム２にエキシマレーザによりノズル４
を形成したものである。なお、金属プレート１の穴あけ
加工手段としては、プレス、エッチング、レーザ等があ
るが、この穴あけ加工は、それ程精度を必要としない。
【０００９】上述のように、本発明によると、樹脂フィ
ルムに金属プレートを接合するようにしたので、剛性の
あるノズルプレートを得ることができ、サイドシュート
方式のインクジェット記録装置にも適用可能であり、し
かも、樹脂フィルムにエキシマレーザによってノズルを
形成するようにしたので、小径、高精度のノズルを有す
るノズルプレートを提供することができる。
ルムに金属プレートを接合するようにしたので、剛性の
あるノズルプレートを得ることができ、サイドシュート
方式のインクジェット記録装置にも適用可能であり、し
かも、樹脂フィルムにエキシマレーザによってノズルを
形成するようにしたので、小径、高精度のノズルを有す
るノズルプレートを提供することができる。
【００１０】また、樹脂フィルム２として、ＤＦＲ（光
硬化性樹脂）を用いると（請求項２）、金属と樹脂との
接合に接着剤を使用する必要がなくなり、接着剤が穴部
３へはみ出す等の不具合がなくなる。
硬化性樹脂）を用いると（請求項２）、金属と樹脂との
接合に接着剤を使用する必要がなくなり、接着剤が穴部
３へはみ出す等の不具合がなくなる。
【００１１】図２は、本発明の他の実施例（請求項３）
を説明するための要部断面図で、この実施例は、金属プ
レートとして、Ｎｉ電鋳プレート１１を用い（Ｎｉ電鋳
は従来より知られている工法にて加工可能）、このＮｉ
電鋳プレート１１にＤＦＲ（光硬化性樹脂）１２をラミ
ネートし、露光、加熱工程で接合し、接合後、エキシマ
レーザにてＤＦＲ１２にノズル１４を穴加工するもので
ある。なお、露光工程後、現像、リンス工程を付加して
外形形状を形成してもよいし、エキシマレーザではみ出
したＤＦＲを除去してもよい。
を説明するための要部断面図で、この実施例は、金属プ
レートとして、Ｎｉ電鋳プレート１１を用い（Ｎｉ電鋳
は従来より知られている工法にて加工可能）、このＮｉ
電鋳プレート１１にＤＦＲ（光硬化性樹脂）１２をラミ
ネートし、露光、加熱工程で接合し、接合後、エキシマ
レーザにてＤＦＲ１２にノズル１４を穴加工するもので
ある。なお、露光工程後、現像、リンス工程を付加して
外形形状を形成してもよいし、エキシマレーザではみ出
したＤＦＲを除去してもよい。
【００１２】上述のように、金属プレートをＮｉ電鋳と
することにより、該Ｎｉ電鋳のノズル側の穴径を、ノズ
ルの穴径に近い径及び精度で製作可能となり、Ｎｉ電鋳
１１と樹脂１２の接合部の段差を最小限にして整合性を
よくすることができ、気泡排出性が向上する。
することにより、該Ｎｉ電鋳のノズル側の穴径を、ノズ
ルの穴径に近い径及び精度で製作可能となり、Ｎｉ電鋳
１１と樹脂１２の接合部の段差を最小限にして整合性を
よくすることができ、気泡排出性が向上する。
【００１３】図３は、図２に示した実施例の改良例を説
明するための要部断面図で、この実施例は、Ｎｉ電鋳１
１の穴１３の樹脂フィルム１２に近接側の形状を、樹脂
フィルム１２のノズル１４の穴形状と整合性を持たせる
ようにしたもので、この整合性を持たせるようにした部
分のＮｉ電鋳の厚さｔを薄くすることにより（１０μｍ
以下が良）、高精度なノズル加工を可能としたものであ
る。ただし、この場合、ｔの厚さが小さいため、そのま
まノズルとして使用すると、メニスカス振動時に気泡を
吸込みやすく、安定性に欠ける。
明するための要部断面図で、この実施例は、Ｎｉ電鋳１
１の穴１３の樹脂フィルム１２に近接側の形状を、樹脂
フィルム１２のノズル１４の穴形状と整合性を持たせる
ようにしたもので、この整合性を持たせるようにした部
分のＮｉ電鋳の厚さｔを薄くすることにより（１０μｍ
以下が良）、高精度なノズル加工を可能としたものであ
る。ただし、この場合、ｔの厚さが小さいため、そのま
まノズルとして使用すると、メニスカス振動時に気泡を
吸込みやすく、安定性に欠ける。
【００１４】なお、２段階Ｎｉ電鋳法は、例えば、特公
昭５８−１３３５５号公報において提案されているが、
上記の厚さｔを薄くすることにより、高精度の穴形成が
可能となり、エキシマレーザのマスクとして使用するこ
とができ（請求項７）、剛性も維持できる。
昭５８−１３３５５号公報において提案されているが、
上記の厚さｔを薄くすることにより、高精度の穴形成が
可能となり、エキシマレーザのマスクとして使用するこ
とができ（請求項７）、剛性も維持できる。
【００１５】図４は、本発明の他の実施例（請求項４）
を説明するための要部断面図で、この実施例は、上述の
ごとくして金属プレート１或いはＮｉ電鋳１１の上に樹
脂フィルム２又は１２を接合した後、前記樹脂フィルム
２又は１２のノズル４又は１４の近傍を、例えば、エキ
シマレーザ、或いは、従来より周知のフォトリソ技術を
用いて、凸形状２３に形成したもので、これにより、多
数のノズルプレートを同時に製作可能とするとともに、
ノズル周辺を凸形状にすることにより、ノズル間のメニ
スカスの相互干渉を防止するようにしたものである。
を説明するための要部断面図で、この実施例は、上述の
ごとくして金属プレート１或いはＮｉ電鋳１１の上に樹
脂フィルム２又は１２を接合した後、前記樹脂フィルム
２又は１２のノズル４又は１４の近傍を、例えば、エキ
シマレーザ、或いは、従来より周知のフォトリソ技術を
用いて、凸形状２３に形成したもので、これにより、多
数のノズルプレートを同時に製作可能とするとともに、
ノズル周辺を凸形状にすることにより、ノズル間のメニ
スカスの相互干渉を防止するようにしたものである。
【００１６】上述のごとくして、ノズルの近辺を凸形状
にした後に、図４に示すように、樹脂フィルム側からエ
キシマレーザを、例えば、数パルス照射してノズル表面
を粗にすると、ノズル穴周辺の親水性を向上させること
ができる（請求項８）。
にした後に、図４に示すように、樹脂フィルム側からエ
キシマレーザを、例えば、数パルス照射してノズル表面
を粗にすると、ノズル穴周辺の親水性を向上させること
ができる（請求項８）。
【００１７】図５は、本発明の他の実施例（請求項９）
を説明するための要部平面図で、この実施例は、前述の
ごとくして凸形状２３にしたノズル部のまわりにフォト
リソ技術又はエキシマレーザを用いて１又は複数の凹部
２４を形成し、凹ノズル表面からオーバフローしたイン
ク等を該凹部２４に落して所望の位置に集め、ノズルに
対向して配設した（通常、本体側の印写位置以外の部分
に配置される）インク吸収体やキャブプレートに吸着
し、吸引ポンプ等により強制除去できるようにしたもの
である。
を説明するための要部平面図で、この実施例は、前述の
ごとくして凸形状２３にしたノズル部のまわりにフォト
リソ技術又はエキシマレーザを用いて１又は複数の凹部
２４を形成し、凹ノズル表面からオーバフローしたイン
ク等を該凹部２４に落して所望の位置に集め、ノズルに
対向して配設した（通常、本体側の印写位置以外の部分
に配置される）インク吸収体やキャブプレートに吸着
し、吸引ポンプ等により強制除去できるようにしたもの
である。
【００１８】最後に、上述のごとくして形成したノズル
プレートの樹脂フィルム側表面に、無電解メッキ、スパ
ッタリング、蒸着、更には、それらの後に電解メッキす
る等して、金属薄膜を形成すると（請求項５）、親水性
を向上させ、もって、メニスカスの相互干渉による噴射
方向の異常等を防止することができる。
プレートの樹脂フィルム側表面に、無電解メッキ、スパ
ッタリング、蒸着、更には、それらの後に電解メッキす
る等して、金属薄膜を形成すると（請求項５）、親水性
を向上させ、もって、メニスカスの相互干渉による噴射
方向の異常等を防止することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によると、以下のような効果がある。 請求項１，６に対応する効果：剛性のあるノズルプレー
トが製作可能であり、サイドシュート方式のヘッド組立
性、噴射特性を満足できる小径、高精度のノズルを有す
るノズルプレートを提供できる。 請求項２に対応する効果：樹脂フィルムをＤＦＲとする
ことにより、金属と樹脂の接合に接着剤を使用する必要
がなくなり、接着剤のはみ出し等の不具合がなくなる。 請求項３に対応する効果：金属プレートをＮｉ電鋳とす
ることにより、ノズル側穴径をノズル穴径に近い径およ
び精度で製作可能となり、Ｎｉ電鋳と樹脂フィルムの接
合部の段差を最小限にすることができ、気泡排出性が向
上する。 請求項４に対応する効果：ノズル周辺を凸形状にしたの
で、ノズル間のメニスカスの相互干渉を防止することが
できる。 請求項５に対応する効果：樹脂フィルムのノズル側表面
に金属薄膜を形成したので、親水性を向上し、印写品質
を向上させることができる。 請求項７に対応する効果：Ｎｉ電鋳のノズル穴に近い部
分を、樹脂フィルムにノズル穴を形成する際のエキシマ
レーザに対するマスクとして使用することができるの
で、高精度のノズル穴を形成することができ、しかも、
ノズルプレートの剛性も維持できる。 請求項８に対応する効果：ノズル表面を粗にしたので、
親水性を向上させることができる。 請求項９に対応する効果：ノズルの周辺に１又は複数の
溝を形成し、この溝内にノズルより溢れたインクを集め
て除去するようにしたので、ノズル周辺をインクで汚す
ようなことがなく、高品質の印写を行うことができる。
によると、以下のような効果がある。 請求項１，６に対応する効果：剛性のあるノズルプレー
トが製作可能であり、サイドシュート方式のヘッド組立
性、噴射特性を満足できる小径、高精度のノズルを有す
るノズルプレートを提供できる。 請求項２に対応する効果：樹脂フィルムをＤＦＲとする
ことにより、金属と樹脂の接合に接着剤を使用する必要
がなくなり、接着剤のはみ出し等の不具合がなくなる。 請求項３に対応する効果：金属プレートをＮｉ電鋳とす
ることにより、ノズル側穴径をノズル穴径に近い径およ
び精度で製作可能となり、Ｎｉ電鋳と樹脂フィルムの接
合部の段差を最小限にすることができ、気泡排出性が向
上する。 請求項４に対応する効果：ノズル周辺を凸形状にしたの
で、ノズル間のメニスカスの相互干渉を防止することが
できる。 請求項５に対応する効果：樹脂フィルムのノズル側表面
に金属薄膜を形成したので、親水性を向上し、印写品質
を向上させることができる。 請求項７に対応する効果：Ｎｉ電鋳のノズル穴に近い部
分を、樹脂フィルムにノズル穴を形成する際のエキシマ
レーザに対するマスクとして使用することができるの
で、高精度のノズル穴を形成することができ、しかも、
ノズルプレートの剛性も維持できる。 請求項８に対応する効果：ノズル表面を粗にしたので、
親水性を向上させることができる。 請求項９に対応する効果：ノズルの周辺に１又は複数の
溝を形成し、この溝内にノズルより溢れたインクを集め
て除去するようにしたので、ノズル周辺をインクで汚す
ようなことがなく、高品質の印写を行うことができる。
【図１】 本発明によるノズルプレートの一実施例を説
明するための斜視図及び要部断面図である。
明するための斜視図及び要部断面図である。
【図２】 本発明の他の実施例を説明するための要部断
面図である。
面図である。
【図３】 本発明の更に他の実施例を説明するための要
部断面図である。
部断面図である。
【図４】 本発明の更に他の実施例を説明するための要
部断面図である。
部断面図である。
【図５】 本発明の更に他の実施例を説明するための要
部平面図である。
部平面図である。
１…金属プレート、２…樹脂フィルム、３…穴、４…ノ
ズル、１１…Ｎｉ電鋳、１２…樹脂フィルム、１４…ノ
ズル、２３…凸状部、２４…凹溝。
ズル、１１…Ｎｉ電鋳、１２…樹脂フィルム、１４…ノ
ズル、２３…凸状部、２４…凹溝。
Claims (9)
- 【請求項１】 穴あきの金属プレートと樹脂フィルムと
を接合してなり、前記樹脂フィルムの前記金属プレート
の穴に対応する位置に、該金属プレート側よりエキシマ
レーザにてノズルが形成されていることを特徴とするイ
ンクジェットヘッドのノズルプレート。 - 【請求項２】 前記樹脂フィルムが光硬化性樹脂である
ことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド
のノズルプレート。 - 【請求項３】 前記金属プレートがＮｉ電鋳であること
を特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッ
ドのノズルプレート。 - 【請求項４】 前記樹脂フィルムの前記ノズル表面側に
おけるノズル孔周辺が凸状に形成されていることを特徴
とする請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェッ
トヘッドのノズルプレート。 - 【請求項５】 前記樹脂フィルム表面の、少なくとも前
記ノズル孔のまわりに金属薄膜が形成されていることを
特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジ
ェットヘッドのノズルプレート。 - 【請求項６】 穴あきの金属プレートと樹脂フィルムを
接合し、前記金属プレート側より、前記樹脂フィルムの
前記金属プレートの穴部に相当する位置に、エキシマレ
ーザにてノズルを形成することを特徴とするインクジェ
ットヘッドにおけるノズルプレートの製造方法。 - 【請求項７】 前記エキシマレーザのマスクとして金属
プレートを使用することを特徴とする請求項６に記載の
インクジェットヘッドにおけるノズルプレートの製造方
法。 - 【請求項８】 前記樹脂フィルムのノズル表面側をエキ
シマレーザにより粗にすることを特徴とする請求項６又
は７に記載のインクジェットヘッドにおけるノズルプレ
ートの製造方法。 - 【請求項９】 前記樹脂フィルムのノズル側表面にフォ
トリソ技術により凹凸パターンニングを行うことを特徴
とする請求項８に記載のインクジェットヘッドにおける
ノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6222900A JPH0885212A (ja) | 1994-09-19 | 1994-09-19 | インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6222900A JPH0885212A (ja) | 1994-09-19 | 1994-09-19 | インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0885212A true JPH0885212A (ja) | 1996-04-02 |
Family
ID=16789632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6222900A Pending JPH0885212A (ja) | 1994-09-19 | 1994-09-19 | インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0885212A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11277756A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-12 | Seiko Epson Corp | インクジェット印刷装置、印刷ヘッドおよびその製造方法 |
| US6332667B1 (en) | 1997-10-07 | 2001-12-25 | Tokyo Kikai Seisakusho, Ltd. | Orifice member of nozzle for ink-jet printing |
| US6631980B2 (en) | 2000-01-19 | 2003-10-14 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting head |
| US7905578B2 (en) | 2007-03-28 | 2011-03-15 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Liquid ejection head and liquid ejection device |
| JP2016140992A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社東芝 | インクジェットヘッド、及びプリンタ |
Citations (5)
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