JPH0861364A - Direct operated rolling guide unit - Google Patents
Direct operated rolling guide unitInfo
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- JPH0861364A JPH0861364A JP6218292A JP21829294A JPH0861364A JP H0861364 A JPH0861364 A JP H0861364A JP 6218292 A JP6218292 A JP 6218292A JP 21829294 A JP21829294 A JP 21829294A JP H0861364 A JPH0861364 A JP H0861364A
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- rolling
- guide unit
- rail
- linear motion
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/37—Loose spacing bodies
- F16C33/3713—Loose spacing bodies with other rolling elements serving as spacing bodies, e.g. the spacing bodies are in rolling contact with the load carrying rolling elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
- F16C29/0635—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
- F16C29/0638—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
- F16C29/064—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with two rows of balls, one on each side of the rail
-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/32—Balls
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、半導体組立装置等の
各種組立装置、搬送装置、工作機械、各種精密加工装
置、試験装置等の摺動部に適用されるものであって、軌
道溝を備えたレールと該レールに跨架され且つ軌道溝を
備えたスライダとが両軌道溝間を転走する多数の転動体
を介して相対的に摺動可能に構成された直動転がり案内
ユニットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is applied to sliding parts of various assembling devices such as semiconductor assembling devices, conveying devices, machine tools, various precision machining devices, and testing devices. The present invention relates to a linear motion rolling guide unit in which a rail provided with the rail and a slider provided with a raceway groove and straddling the rail are relatively slidable through a large number of rolling elements rolling between the raceway grooves. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】直動転がり案内ユニットは、比較的大重
量の装置を載置し、比較的長い距離にわたって高精度の
往復直線運動を案内するものであり、従来、例えば図７
に示すような直動転がり案内ユニットが提案されてい
る。2. Description of the Related Art A linear motion rolling guide unit mounts a relatively heavy device and guides a highly accurate reciprocating linear motion over a relatively long distance.
A linear motion rolling guide unit such as that shown in FIG.
【０００３】図７は従来の直動転がり案内ユニットの一
例を示す斜視図である。図７に示すように、直動転がり
案内ユニットは、ベッド２０に２列に平行にトラックレ
ール（以下、レールという）２，２を固定し、各レール
２，２に複数のスライダ１を跨架し、該スライダ１にス
ライドテーブル４を固定し、スライドテーブル４に載置
した諸装置を矢印Ｇ方向に前後進させるものである。該
直動転がり案内ユニットでは、レール２の長手方向両側
壁面２１に軌道溝５を形成し、該レール２上をスライダ
１が跨がって摺動可能に取付けられている。スライダ１
は、レール２に対して相対摺動可能であり且つ各軌道溝
５に対向する位置に軌道溝を形成したケーシング３、対
向する軌道溝間に嵌合して相対移動可能な多数のボール
等の転動体、及びケーシング３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取り付けたエンドキャップ６を有してい
る。なお、レール２に形成した軌道溝５を構成する部
材、ケーシング３の軌道溝を構成する部材は、軸受鋼、
浸炭鋼、ステンレス鋼等の鋼鉄材料で製作されている。
転動体としては鋼製ボールが使用されている。FIG. 7 is a perspective view showing an example of a conventional linear motion rolling guide unit. As shown in FIG. 7, in the linear motion rolling guide unit, track rails (hereinafter referred to as rails) 2 and 2 are fixed to a bed 20 in parallel with two rows, and a plurality of sliders 1 are straddled on each rail 2 and 2. Then, the slide table 4 is fixed to the slider 1, and the various devices mounted on the slide table 4 are moved back and forth in the direction of arrow G. In the linear motion rolling guide unit, track grooves 5 are formed on both side wall surfaces 21 of the rail 2 in the longitudinal direction, and a slider 1 is slidably mounted on the rail 2 so as to extend over the rail 2. Slider 1
Is a casing 3 that is relatively slidable with respect to the rail 2 and has a raceway groove formed at a position facing each raceway groove 5, and a large number of balls that are fitted between the opposite raceway grooves and are relatively movable. The rolling elements and the end caps 6 attached to both ends of the casing 3 in the sliding direction, that is, the longitudinal direction are provided. The members forming the raceway groove 5 formed in the rail 2 and the members forming the raceway groove of the casing 3 are bearing steel,
Manufactured from steel materials such as carburized steel and stainless steel.
Steel balls are used as rolling elements.
【０００４】スライダ１は、レール２に跨がった状態に
載置され、レール２の軌道溝５に沿って循環する複数の
ボールから成る転動体の介在で自在にレール２上を摺動
するものである。即ち、レール２の軌道溝５を走行する
負荷域のボールは、エンドキャップ６内に形成された方
向転換路に導かれ、更にケーシング３の上方で軌道溝と
平行に形成されたリターン通路孔に移動し、多数の転動
体は無限循環路内を無限循環するものである。このよう
に、スライダ１に形成された軌道溝とレール２の軌道溝
５との間に位置する負荷された転動体の転動により、レ
ール２とスライダ１とが摺動自在に相対運動することが
できる。The slider 1 is placed in a state of straddling the rail 2, and freely slides on the rail 2 by the interposition of rolling elements made up of a plurality of balls circulating along the track groove 5 of the rail 2. It is a thing. That is, the balls in the load region traveling in the track groove 5 of the rail 2 are guided to the direction change path formed in the end cap 6 and further into the return passage hole formed above the casing 3 in parallel with the track groove. Many rolling elements that move and endlessly circulate in the infinite circulation path. In this way, the rolling motion of the loaded rolling element located between the raceway groove formed in the slider 1 and the raceway groove 5 of the rail 2 allows the rail 2 and the slider 1 to slidably move relative to each other. You can
【０００５】ところで、直動転がり案内ユニットの普及
が進むにつれて、最近では直動転がり案内ユニットはよ
り高速な直線運動を行う部分に使用されるようになり、
高速耐久性の向上は勿論のこと、高速化に伴う騒音の増
大が問題視されるようになり、直動転がり案内ユニット
にも静粛さが要求されるようになってきた。By the way, with the spread of the linear motion rolling guide unit, recently, the linear motion rolling guide unit has come to be used for a portion which performs a linear movement at a higher speed.
Not only the improvement of high-speed durability but also the increase of noise accompanying speeding up has become a problem, and quietness is also required for the linear motion rolling guide unit.
【０００６】直動転がり案内ユニットの騒音発生要因と
しては以下のようなものが考えられる。即ち、直動転が
り案内ユニットでの騒音は、（１）転動体がリターン通
路孔からレールへ戻る際にレールと衝突するとき、
（２）転動体がレールからエンドキャップへすくわれる
際にエンドキャップと衝突するとき、（３）転動体同士
が衝突するとき、（４）転動体が軌道溝及びリターン通
路孔と接触するとき、及び（５）その他潤滑剤の作用を
受けるとき等に起因して発生すると考えられる。The following factors can be considered as factors of noise generation of the linear motion rolling guide unit. That is, the noise in the linear motion rolling guide unit is (1) when the rolling element collides with the rail when returning from the return passage hole to the rail,
(2) When the rolling elements collide with the end cap when scooped from the rail, (3) When the rolling elements collide with each other, (4) When the rolling elements contact the raceway groove and the return passage hole, And (5) It is considered to occur due to other factors such as when the lubricant acts.
【０００７】そこで、直動転がり案内ユニットにおいて
スライダの走行時に発生する騒音を低減する手段とし
て、直動転がり案内ユニットを構成する全ての部品を合
成樹脂で製作することが考えられる。しかしながら、全
ての部品を合成樹脂製としたものは、どうしても負荷容
量が小さくなってしまうので、用途は特殊な場合に限ら
れ、例えば、水分、酸、アルカリなどの雰囲気で耐食性
を要求されるような特殊な用途に限られることになり、
比較的大重量の装置を載置して高速状態で使用する環境
下での使用には耐えられない。このような使用環境の下
では、直動転がり案内ユニットに使用される材料は、従
来同様、軸受鋼、浸炭鋼、ステンレス鋼等の軸受用鋼が
適切であると考えられる。Therefore, as a means for reducing the noise generated when the slider travels in the linear motion rolling guide unit, it is conceivable to manufacture all the parts constituting the linear motion rolling guide unit with synthetic resin. However, if all parts are made of synthetic resin, the load capacity will inevitably become small, so the application is limited to special cases, for example, corrosion resistance is required in the atmosphere of moisture, acid, alkali etc. Will be limited to special applications,
It cannot withstand use in an environment where a relatively heavy device is placed and used at high speed. Under such a use environment, bearing steel such as bearing steel, carburized steel, and stainless steel is considered to be suitable as the material used for the linear motion rolling guide unit.
【０００８】上記使用環境の下で、高速耐久性及び低騒
音の要求に応えるべく開発された直動転がり案内ユニッ
トとして、従来、特開平５−１４９３３５号公報に開示
されたものがある。該直動転がり案内ユニットは、転動
体として鋼製ボールの代わりにセラミックスボールを用
いたものである。セラミックスボールの密度は鋼製ボー
ルの密度に比べて約４０％であって質量が小さいから、
衝突のエネルギーは小さくなり、相互の干渉音が小さく
なり、鋼製ボールだけを組み込んだものよりも騒音を低
減することができる。また、セラミックスボールは質量
が小さいので、セラミックスボールに作用する遠心力や
慣性力は鋼製ボールに作用するそれらよりも小さく、こ
のためエンドキャップの方向転換路の摩耗は鋼製ボール
を組み込んだものに比べて低減され、また発熱も少ない
ので耐熱性が向上し、高速耐久性が向上する。A linear motion rolling guide unit developed to meet the requirements of high-speed durability and low noise under the above-mentioned use environment is conventionally disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-149335. The linear motion rolling guide unit uses ceramic balls as rolling elements instead of steel balls. The density of ceramic balls is about 40%, which is smaller than the density of steel balls.
The energy of collision is small, mutual interference noise is small, and noise can be reduced as compared with the case where only steel balls are incorporated. Also, since the ceramic balls have a small mass, the centrifugal force and inertial force that act on the ceramic balls are smaller than those that act on the steel balls, so the wear of the end cap turning path is the result of incorporating the steel balls. The heat resistance is improved and the high-speed durability is improved because the amount of heat generated is less than that of the above.
【０００９】上記のとおりセラミックスボールは高速耐
久性と低騒音に関して優れた効果を発揮することがわか
っているが、現状ではセラミックスボールは高価である
ことから、できるだけセラミックスボールの使用を抑え
て上記効果を得ることが要求されている。上記公報に
は、この要求に応えるものとして更に、セラミックスボ
ールの間に鋼製ボールを点在させた直動転がり案内ユニ
ットが記載されている。セラミックスボールの間に鋼製
ボールを点在させた場合には、セラミックスボールの数
を減らすことができるので、コストを下げることができ
るうえ、転動体として鋼製ボールだけを使用していた従
来のものに比べて、かなり良好な騒音低減効果が得られ
る。As described above, it has been known that the ceramic balls exert excellent effects on high-speed durability and low noise, but at present, since the ceramic balls are expensive, the use of the ceramic balls should be suppressed as much as possible to achieve the above effects. Is required to get. In order to meet this demand, the above-mentioned publication further describes a linear motion rolling guide unit in which steel balls are scattered between ceramic balls. When steel balls are scattered between the ceramic balls, the number of ceramic balls can be reduced, so that the cost can be reduced, and only steel balls are used as rolling elements. It is possible to obtain a considerably better noise reduction effect than that of the one.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セラミ
ックスボールの間に鋼製ボールを点在させた上記直動転
がり案内ユニットは、セラミックスボールだけを使用し
たものに比べると、金属同士の摺動状態を避けることが
できないうえ、転動体全体としての軽量化及び剛性は若
干低下するので、高速運動のレスポンスが十分とはいえ
ず、高速耐久性や騒音低減効果もやや劣ることになる。
そこで、最近ではコストを抑えつつ高速耐久性及び低騒
音の要求に如何にして応えるかということが課題となっ
ている。However, the above-described linear motion rolling guide unit in which steel balls are scattered between ceramic balls has a sliding state between metals as compared with a case where only ceramic balls are used. In addition to being unavoidable, the weight and rigidity of the rolling element as a whole are slightly reduced, so the response of high-speed motion is not sufficient, and the high-speed durability and noise reduction effect are slightly inferior.
Therefore, recently, how to meet the demands for high speed durability and low noise while suppressing the cost has become an issue.
【００１１】そこで、この発明の目的は、上記課題を解
決することであり、多数の転動体のうちセラミックスで
製作した転動体の数をできるだけ減らしてコスト低減を
図り、残りの転動体を鋼よりも軽くて低価格の材料で製
作し、転動体全体の軽量化を図ることによってレールの
軌道溝とケーシングの軌道溝とで構成される軌道を高速
移動する時の転動体の慣性力を小さくし、応答性を向上
させ、転動体がエンドキャップ内を方向転換する時に方
向転換路部分の摩耗を低減させ、高速耐久性と低騒音の
要求を満たす安価な直動転がり案内ユニットを提供する
ことである。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems. Among the many rolling elements, the number of rolling elements made of ceramics is reduced as much as possible to reduce the cost, and the remaining rolling elements are made of steel. It is also made of a light and low-priced material, and the weight of the rolling element is reduced as a whole to reduce the inertial force of the rolling element when moving at high speed on the raceway consisting of the rail raceway groove and the casing raceway groove. By providing an inexpensive linear motion rolling guide unit that improves responsiveness and reduces wear of the direction change path part when the rolling element changes direction in the end cap, and meets the requirements of high speed durability and low noise. is there.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、長手方向両側面に軌道溝を備えた長尺状の
レール、該レールに跨架され且つ前記軌道溝に対向する
軌道溝を備えたケーシングを持つスライダ、及び対向し
た前記両軌道溝間で構成される軌道を転走する多数の転
動体を有し、前記転動体が無限循環する直動転がり案内
ユニットにおいて、前記転動体をセラミックスから成る
転動体と吸振材から成る転動体とから構成したことを特
徴とする直動転がり案内ユニットに関する。In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. That is,
The present invention relates to a long rail having track grooves on both sides in the longitudinal direction, a slider having a casing provided with track grooves straddling the rail and facing the track groove, and both track grooves facing each other. In a linear motion rolling guide unit having a large number of rolling elements rolling on an orbit formed between the rolling elements, the rolling element is composed of a rolling element made of ceramics and a rolling element made of a vibration absorbing material. The present invention relates to a linear motion rolling guide unit characterized by being configured.
【００１３】また、この直動転がり案内ユニットにおい
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作され、前記セラ
ミックスとして窒化ケイ素が使用され、前記吸振材とし
てウレタンゴムが使用されている。In this linear motion rolling guide unit, the members forming the track groove of the rail and the track groove of the casing are made of steel material, silicon nitride is used as the ceramics, and the vibration absorbing material is used. Urethane rubber is used as.
【００１４】また、この直動転がり案内ユニットにおい
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作され、前記セラ
ミックスから成る転動体の間に前記吸振材から成る転動
体を点在させたものである。更に、前記セラミックスで
製作した転動体と前記吸振材で製作した転動体との配列
の仕方としては、負荷容量、摺動の滑らかさを考慮する
と、前記セラミックスで製作した転動体と前記吸振材で
製作した転動体を交互に配列したものが好ましいが、コ
ストを重視するのであれば、前記セラミックスで製作し
た転動体の間に２個以上の前記吸振材で製作した転動体
を配列することも可能であり、コストを多少犠牲にして
もよいのであれば、前記セラミックスで製作した転動体
を前記吸振材で製作した転動体よりも多く配列してもよ
い。In this linear motion rolling guide unit, the members forming the raceway groove of the rail and the raceway groove of the casing are made of steel material, and the vibration absorbing material is provided between the rolling elements made of the ceramics. The rolling elements are made of dots. Further, regarding the arrangement of the rolling elements made of the ceramics and the rolling elements made of the vibration absorbing material, considering the load capacity and the smoothness of sliding, the rolling elements made of the ceramics and the vibration absorbing material are It is preferable to arrange the manufactured rolling elements alternately, but if cost is important, it is possible to arrange two or more rolling elements made of the vibration absorbing material between the rolling elements made of the ceramics. If the cost may be sacrificed to some extent, more rolling elements made of the ceramic may be arranged than rolling elements made of the vibration absorbing material.
【００１５】[0015]
【作用】この発明による直動転がり案内ユニットは、上
記のように構成されており、次のような作用をする。即
ち、この直動転がり案内ユニットにおいては、転動体は
セラミックス特に窒化ケイ素で製作した転動体と吸振材
特にウレタンゴムで製作した転動体とからなるので、該
転動体は鋼製の転動体に比べて軽量化し、慣性力が低減
し、高速運動に対する応答性が向上する。また、前記転
動体の慣性力が低減することで、前記転動体がエンドキ
ャップに形成した方向転換路を通って方向転換する時
に、該方向転換路部分の摩耗を低減することができる。
また、セラミックスで製作した転動体及び吸振材で製作
した転動体はどちらも質量が小さいので、相互の干渉音
が小さくなり、鋼製の転動体を組み込んだ従来の直動転
がり案内ユニットに比べて騒音が低減する。The linear motion rolling guide unit according to the present invention is constructed as described above and has the following actions. That is, in this linear motion rolling guide unit, the rolling elements are composed of rolling elements made of ceramics, especially silicon nitride, and rolling elements made of vibration absorbing material, especially urethane rubber. The weight is reduced, the inertial force is reduced, and the response to high-speed motion is improved. Further, by reducing the inertial force of the rolling element, it is possible to reduce wear of the direction changing path portion when the rolling element changes direction through the direction changing path formed in the end cap.
Also, since both rolling elements made of ceramics and rolling elements made of vibration absorbing material have a small mass, mutual interference noise is reduced, and compared to the conventional linear motion rolling guide unit incorporating steel rolling elements. Noise is reduced.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、図面を参照して、この発明による直動
転がり案内ユニットの実施例を説明する。図１はこの発
明による直動転がり案内ユニットの一実施例の概略を示
す一部破断の斜視図、図２は図１の直動転がり案内ユニ
ットに組み込んだエンドキャップを示す正面図、及び図
３は転動体がレールの軌道溝とケーシングの軌道溝とで
形成される軌道で転動する状態を示す概略断面図であ
る。図１、図２及び図３では、図７の部品と同一の目的
のものには同一の符号を付している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a linear motion rolling guide unit according to the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a partially broken perspective view showing an outline of an embodiment of a linear motion rolling guide unit according to the present invention, FIG. 2 is a front view showing an end cap incorporated in the linear motion rolling guide unit of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a rolling element rolls on a track formed by a track groove of a rail and a track groove of a casing. 1, FIG. 2 and FIG. 3, the same parts as those of FIG. 7 are designated by the same reference numerals.
【００１７】図１に示す直動転がり案内ユニットは、図
７に示すように、ベッド上に２列のレール２を平行に固
定し、各レール２に複数のスライダ１を跨架し、該スラ
イダ１にスライドテーブル４を固定し、スライドテーブ
ル４に載置した諸装置を前後進させるために適用される
ものである。該直動転がり案内ユニットでは、レール２
の長手方向両側壁面２１に軌道溝５を形成し、該レール
２上をスライダ１が跨がって摺動可能に取付けられてい
る。スライダ１はケーシング３、及び該ケーシング３の
長手方向両端に固定したエンドキャップ６を有する。ケ
ーシング３及びエンドキャップ６の各下面には、レール
２が挿通されケーシング３とエンドキャップ６とがレー
ル２上を摺動するレール挿通凹部１０が各々形成されて
いる。In the linear motion rolling guide unit shown in FIG. 1, as shown in FIG. 7, two rows of rails 2 are fixed in parallel on a bed, and a plurality of sliders 1 are straddled on each rail 2, It is applied to fix the slide table 4 to the position 1 and to move the various devices mounted on the slide table 4 forward and backward. In the linear motion rolling guide unit, the rail 2
A track groove 5 is formed on both side wall surfaces 21 in the longitudinal direction, and a slider 1 is mounted slidably on the rail 2. The slider 1 has a casing 3 and end caps 6 fixed to both ends of the casing 3 in the longitudinal direction. A rail insertion recess 10 is formed on each of the lower surfaces of the casing 3 and the end cap 6 so that the rail 2 is inserted and the casing 3 and the end cap 6 slide on the rail 2.
【００１８】スライダ１は、レール２に対して相対摺動
可能であり且つ各軌道溝５に対向する位置に軌道溝９を
形成したケーシング３、対向する軌道溝５，９間に嵌合
して相対移動可能な多数のボールから成る転動体７、レ
ール２とケーシング３との間のシールを達成する下面シ
ール部材８、及びケーシング３の摺動方向即ち長手方向
両端にそれぞれ取付けたエンドキャップ６を有してい
る。更に、ケーシング３から転動体７が脱落するのを防
止するため、保持バンド１８が多数の転動体７を囲むよ
うにケーシング３に取り付けられている。The slider 1 is slidable relative to the rail 2 and is fitted between a casing 3 having a raceway groove 9 formed at a position facing each raceway groove 5 and the opposite raceway grooves 5 and 9. A rolling element 7 composed of a large number of relatively movable balls, a lower surface sealing member 8 for achieving a seal between the rail 2 and the casing 3, and end caps 6 attached to both ends of the casing 3 in the sliding direction, that is, the longitudinal direction. Have Further, in order to prevent the rolling elements 7 from falling out of the casing 3, a holding band 18 is attached to the casing 3 so as to surround the many rolling elements 7.
【００１９】エンドキャップ６は、図２に示すように、
レール２とスライダ１との間のシールを達成する側面シ
ール部材１７（図１参照）が取り付けられると共に、レ
ール２とスライダ１間の摺動面に潤滑剤を供給するため
グリースニップル２２（図１参照）が取り付けられてい
る。エンドキャップ６は、ケーシング３の端面に穿孔し
た複数の取付孔３１にねじ等を貫通させてケーシング３
の両端面に取り付けられる。その際、側面シール部材１
７もエンドキャップ６と一緒にケーシング３に取り付け
られる。また、エンドキャップ６には、その下面にレー
ル２を跨いで挿通するレール挿通凹部２８が形成され、
転動体７がレール２からすくわれるすくい凸部１９、及
び転動体７の循環のため転動体７を方向転換させる方向
転換路１１が両側に形成されている。The end cap 6 is, as shown in FIG.
A side seal member 17 (see FIG. 1) that achieves a seal between the rail 2 and the slider 1 is attached, and a grease nipple 22 (FIG. 1) is provided to supply a lubricant to the sliding surface between the rail 2 and the slider 1. Installed). The end cap 6 has a plurality of mounting holes 31 formed in the end surface of the casing 3 with screws or the like penetrating the casing 3.
It is attached to both ends of. At that time, the side seal member 1
7 is also attached to the casing 3 together with the end cap 6. Further, the end cap 6 has a rail insertion recess 28 formed on the lower surface thereof so as to extend over the rail 2 and be inserted.
A rake convex portion 19 where the rolling element 7 is scooped from the rail 2 and a direction changing path 11 which changes the direction of the rolling element 7 for circulation of the rolling element 7 are formed on both sides.
【００２０】この直動転がり案内ユニットは、特に、次
の点に特徴を有するものである。即ち、この直動転がり
案内ユニットは、レール２の両側面に形成した軌道溝５
とスライダ１を構成するケーシング３に形成した軌道溝
９とで形成される軌道、及びエンドキャップ６に形成し
た方向転換路１１を循環して転動する多数の転動体７
を、セラミックス、特に、窒化ケイ素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）で
製作した転動体７Ａと、吸振材、特にウレタンゴムで製
作した転動体７Ｂとから構成した点に特徴を有するもの
である。なお、レール２に形成した軌道溝５を構成する
部材、及びケーシング３の軌道溝９を構成する部材は、
軸受鋼、浸炭鋼、ステンレス鋼等の鋼鉄材料で製作され
ている。この構成によって、セラミックスと金属材料と
の摺動状態又は吸振材と金属材料との摺動状態になり、
金属同士の摺動状態を避けることができ、摺動特性を向
上できることは勿論のこと、転動体７を軽量に構成する
ことができる。The linear motion rolling guide unit is particularly characterized by the following points. That is, this linear motion rolling guide unit is provided with the raceway groove 5 formed on both side surfaces of the rail 2.
And a large number of rolling elements 7 that circulate and roll in a raceway formed by a raceway groove 9 formed in the casing 3 that constitutes the slider 1 and a direction change path 11 formed in the end cap 6.
Is characterized by comprising rolling elements 7A made of ceramics, especially silicon nitride (Si 3 N 4 ) and rolling elements 7B made of vibration absorbing material, especially urethane rubber. The member forming the track groove 5 formed on the rail 2 and the member forming the track groove 9 of the casing 3 are
Made of steel materials such as bearing steel, carburized steel and stainless steel. With this configuration, the sliding state between the ceramics and the metal material or the sliding state between the vibration absorbing material and the metal material,
The sliding state between metals can be avoided, the sliding characteristics can be improved, and the rolling element 7 can be configured to be lightweight.
【００２１】即ち、この直動転がり案内ユニットにおい
て、転動体７を窒化ケイ素で製作すると、転動体７の重
量を鋼鉄材料で製作した場合に比較して４０％程度に軽
量に構成することができる。従って、転動体７の軽量化
によって転動しながら高速運動する転動体７の慣性力を
大幅に低減でき、スライダ１の摺動特性、高速運動のレ
スポンスを向上することができると共に、高速運動領域
での温度上昇を低減できる。更に、転動体７がエンドキ
ャップ６の方向転換路１１を通って方向転換する時に、
転動体７が軽量で慣性力が小さいから、方向転換路１１
の壁面部分の摩耗を低減することができる。従って、半
導体組立装置等にこの直動転がり案内ユニットを適用し
た場合には、組立能率を大幅に向上でき、スムースな摺
動運動を確保して組立精度を向上できる。That is, in this linear motion rolling guide unit, if the rolling elements 7 are made of silicon nitride, the weight of the rolling elements 7 can be reduced by about 40% compared with the case where the rolling elements 7 are made of a steel material. . Therefore, by reducing the weight of the rolling element 7, the inertial force of the rolling element 7 that moves at high speed while rolling can be significantly reduced, the sliding characteristics of the slider 1 and the response of high speed movement can be improved, and the high speed movement region can be improved. The temperature rise can be reduced. Furthermore, when the rolling element 7 changes direction through the direction changing path 11 of the end cap 6,
Since the rolling element 7 is lightweight and has a small inertial force, the direction change path 11
It is possible to reduce the wear of the wall surface portion of the. Therefore, when this linear motion rolling guide unit is applied to a semiconductor assembling apparatus or the like, the assembling efficiency can be greatly improved, a smooth sliding motion can be secured, and the assembling accuracy can be improved.
【００２２】なお、セラミックスとしては、窒化ケイ素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）のように窒化系セラミックスが好適であ
るが、それ以外に、例えば、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）
系、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）系のセラミックスでもよ
い。また、吸振材としては、ウレタンゴムを使用するこ
とが好ましいが、それ以外に、例えば、耐摩耗性・耐油
性などがあるゴムやナイロン樹脂、ポリアセテート樹脂
などの樹脂でもよい。As the ceramics, nitride ceramics such as silicon nitride (Si 3 N 4 ) are suitable, but other than that, for example, alumina (Al 2 O 3 )
And zirconia (ZrO 2 ) ceramics may be used. Further, although it is preferable to use urethane rubber as the vibration absorbing material, other than that, for example, rubber having abrasion resistance and oil resistance or a resin such as nylon resin or polyacetate resin may be used.
【００２３】この直動転がり案内ユニットは、組み込ま
れる転動体７をセラミックスで製作した転動体７Ａの間
に吸振材で製作した転動体７Ｂを点在させたものであ
る。この場合には、図４に示すように、窒化ケイ素で製
作したセラミックスボール７Ａとウレタンゴムで製作し
たウレタンボール７Ｂとを交互に配列することが好まし
いが、コストの低減を重視するのであれば、セラミック
スボールとセラミックスボールとの間に２個以上のウレ
タンボールを組み入れるように配列してもよい。或いは
コストを多少犠牲にしてもよいのであれば、セラミック
スボールをウレタンボールよりも多く配列してもよい。
このように、セラミックボール中にウレタンボールを点
在させることによって、その際にセラミックボールの数
とウレタンボールの数の割合を適宜選定することによっ
て、転動体７の所望の軽量化及び剛性を確保して、直動
転がり案内ユニットを安価に製作することができる。In this linear motion rolling guide unit, the rolling elements 7 to be incorporated are interspersed with rolling elements 7B made of a vibration absorbing material between rolling elements 7A made of ceramics. In this case, as shown in FIG. 4, it is preferable to alternately arrange the ceramic balls 7A made of silicon nitride and the urethane balls 7B made of urethane rubber, but if importance is placed on cost reduction, You may arrange so that two or more urethane balls may be incorporated between the ceramic balls. Alternatively, if the cost may be sacrificed to some extent, more ceramic balls may be arranged than urethane balls.
Thus, by scattering urethane balls in the ceramic balls and appropriately selecting the ratio of the number of ceramic balls and the number of urethane balls at that time, the desired weight reduction and rigidity of the rolling element 7 are secured. Then, the linear motion rolling guide unit can be manufactured at low cost.
【００２４】この直動転がり案内ユニットは、上記のよ
うに構成され、スライダ１をレール２に跨がった状態で
載置し、レール２の軌道溝５に沿って循環する複数の転
動体７の介在で自在に摺動するものである。レール２の
軌道溝５を走行する負荷域の転動体７は、図２又は図３
に示すように、エンドキャップ６内に形成された方向転
換路１１に導かれ、次いで、ケーシング３の軌道溝９と
平行に上部に形成されたリターン通路孔１３に移動し、
多数の転動体７は無限循環路内を無限循環するものであ
る。このように、スライダ１に形成された軌道溝９とレ
ール２の軌道溝５との間に位置する負荷された転動体７
の転動により、レール２とスライダ１とが摺動自在に相
対運動することができる。This linear motion rolling guide unit is constructed as described above, and mounts the slider 1 in a state of straddling the rail 2 and circulates along the track groove 5 of the rail 2 for a plurality of rolling elements 7. It slides freely with the intervention of. The rolling element 7 in the load region that travels in the raceway groove 5 of the rail 2 is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the guide is guided to the direction change passage 11 formed in the end cap 6, and then moved to the return passage hole 13 formed in the upper portion in parallel with the raceway groove 9 of the casing 3,
A large number of rolling elements 7 are infinitely circulating in the infinite circulation path. Thus, the loaded rolling element 7 located between the raceway groove 9 formed in the slider 1 and the raceway groove 5 of the rail 2
By the rolling of the rail 2, the rail 2 and the slider 1 can slidably move relative to each other.
【００２５】次に、この直動転がり案内ユニットの性能
試験について説明する。まず最初に耐久試験の内容につ
いて説明する。試料としては、図４に示すように、窒化
ケイ素で製作した３４個のセラミックスボール７Ａとウ
レタンゴムで製作した３４個のウレタンボール７Ｂを鋼
鉄材料で製作したスライダ１に交互に組み込んだ直動転
がり案内ユニットを４セット用意した。試験条件として
は、クランク式寿命試験機を使用し、負荷として５１６
ｋｇｆの下向荷重をかけて、ストローク長さ２７０ｍ
ｍ、速度は最高速度６４．０ｍ／ｍｉｎ、平均速度３
２．８ｍ／ｍｉｎとし、速度パターンは図５に示すとお
りである。グリースは試験前に一回給脂した。ケーシン
グ３の温度測定方法は、図６に示すようにＫ熱電対を使
ってケーシング３及びエンドキャップ６の方向転換路１
１の外面位置の温度を測定した。また、試験方法として
は、クランク式寿命試験機を使用して、寿命に至るまで
の時間測定を行う方法を採った。耐久試験の結果は表１
に示すとおりである。Next, a performance test of this linear motion rolling guide unit will be described. First, the contents of the durability test will be described. As a sample, as shown in FIG. 4, 34 ceramic balls 7A made of silicon nitride and 34 urethane balls 7B made of urethane rubber were alternately assembled in a slider 1 made of a steel material to directly roll. We prepared 4 sets of guide units. As a test condition, a crank type life tester is used and a load of 516
Stroke length of 270m with downward load of kgf
m, speed is maximum speed 64.0m / min, average speed 3
The speed pattern is as shown in FIG. 5 at 2.8 m / min. The grease was applied once before the test. As shown in FIG. 6, the temperature measurement method of the casing 3 is performed by using a K thermocouple to change the direction of the direction change path 1 between the casing 3 and the end cap 6.
The temperature at the outer surface position of 1 was measured. As the test method, a crank type life tester was used to measure the time to reach the end of life. The results of the durability test are shown in Table 1.
As shown in.
【表１】 [Table 1]
【００２６】上記表１からもわかるように、試験試料は
いずれも計算寿命を満足しており、転動体として鋼製ボ
ールだけを使用したものと同様に計算寿命を満足するも
ので、同等に評価できるものである。なお、寿命に至っ
た直動転がり案内ユニットを観察したところ、ケーシン
グ３又はレール２に、フレーキング、圧痕等の損傷が発
生していたが、セラミックスボール７Ａには損傷は見当
たらなかった。また、試験試料は転動体として鋼製ボー
ルだけを使用したものと比較してケーシング端部の摩耗
量が少なかった。このことは、転動体がケーシング端部
へ衝突するときのエネルギーを考えると、当然の結果で
ある。即ち、セラミックスボール（Ｓｉ3 Ｎ4 ）の比重
は３．２、鋼製ボール（ＳＵＪ２）の比重は７．８であ
って、セラミックスボールは鋼製ボールの約４０％の重
さであるから、転動体７がエンドキャップ６からケーシ
ング３の負荷領域へ移る際に、転動体７がケーシング端
部へ衝突するときのエネルギーは小さい。従って、セラ
ミックスボール７Ａを使用した場合、ケーシング端部の
摩耗量が少ないものと考えられる。As can be seen from Table 1 above, all the test samples satisfied the calculated life, and the test life satisfied the same as the case where only the steel balls were used as the rolling elements, and they were evaluated equally. It is possible. Observation of the linear motion rolling guide unit that reached the end of its life showed that the casing 3 or the rail 2 had damage such as flaking and dents, but no damage was found on the ceramic balls 7A. In addition, the test sample showed less wear on the casing end as compared with the case where only steel balls were used as rolling elements. This is a natural result when considering the energy when the rolling elements collide with the casing end. That is, the specific gravity of the ceramic balls (Si 3 N 4 ) is 3.2, the specific gravity of the steel balls (SUJ2) is 7.8, and the ceramic balls are about 40% of the weight of the steel balls. When the rolling element 7 moves from the end cap 6 to the load region of the casing 3, the energy when the rolling element 7 collides with the casing end is small. Therefore, when the ceramic balls 7A are used, it is considered that the amount of wear of the casing end portion is small.
【００２７】次に音響試験について説明する。音響特性
の比較試験を行うために用意した試料は、（Ａ）鋼鉄材
料で製作したスライダにセラミックスボールとウレタン
ボールとを交互に組み込んだ直動転がり案内ユニット
（本願発明）、（Ｂ）鋼鉄材料で製作したスライダにセ
ラミックスボールだけを組み込んだ直動転がり案内ユニ
ット、（Ｃ）鋼鉄材料で製作したスライダにセラミック
スボールと鋼製ボールとを交互に組み込んだ直動転がり
案内ユニット、（Ｄ）鋼鉄材料で製作したスライダに鋼
製ボールだけを組み込んだ直動転がり案内ユニット、の
４つである。なお、これら４つの直動転がり案内ユニッ
トは、転動体の材質を除き、同一の構成を備えている。Next, the acoustic test will be described. The samples prepared for the acoustic characteristic comparison test are (A) a linear motion rolling guide unit (invention of the present application) in which ceramic balls and urethane balls are alternately incorporated in a slider made of a steel material, and (B) a steel material. Linear motion rolling guide unit in which only ceramic balls are incorporated into the slider manufactured in (1), (C) Linear motion rolling guide unit in which ceramic balls and steel balls are alternately incorporated into the slider, (D) Steel material These are the linear motion rolling guide unit in which only steel balls are incorporated into the slider manufactured in. The four linear motion rolling guide units have the same configuration except for the material of the rolling elements.
【００２８】音響測定の結果、上記（Ａ）から（Ｄ）に
ついて、騒音低減効果が大きかった順に並べると、
（Ａ）＞（Ｃ）＞（Ｄ）であった。また、（Ａ）は
（Ｂ）とほぼ同程度の騒音低減効果が確認された。従っ
て、セラミックスボール７Ａとウレタンボール７Ｂとを
交互に配列した直動転がり案内ユニットは、高価なセラ
ミックスボールの数を減らすことができると共に、十分
な騒音低減効果が得られる。As a result of the acoustic measurement, the items (A) to (D) are arranged in the descending order of the noise reduction effect.
(A)>(C)> (D). Further, it was confirmed that (A) has substantially the same noise reduction effect as (B). Therefore, the linear motion rolling guide unit in which the ceramic balls 7A and the urethane balls 7B are alternately arranged can reduce the number of expensive ceramic balls and can sufficiently reduce noise.
【００２９】以上、上記実施例では、直動転がり案内ユ
ニットに組み込む転動体としてボールを使用したものに
ついて説明したが、転動体としてころを組み込んだ直動
転がり案内ユニットにも適用できることは勿論である。In the above embodiment, the balls are used as the rolling elements incorporated in the linear motion rolling guide unit. However, it is needless to say that the present invention can be applied to a linear motion rolling guide unit incorporating rollers as the rolling elements. .
【００３０】[0030]
【発明の効果】この発明による直動転がり案内ユニット
は、上記のように構成されており、次のような効果を有
する。即ち、この直動転がり案内ユニットは、レールの
両側面に形成した軌道溝と該軌道溝に対向するスライダ
に設けた軌道溝とで構成される軌道を転動する多数の転
動体を、セラミックスで製作した転動体とウレタンゴム
等の吸振材で製作した転動体とで構成したので、前記転
動体が全体として軽量化することでスライダ自体の重量
が軽減され、高速運動即ち前記スライダの前記レール上
での高速直線移動に伴って高速移動する前記スライダの
慣性力が小さくなり、前記スライダの高速運動の応答性
が向上する。従って、この直動転がり案内ユニットを半
導体組立装置等に適用した場合には、組立能率及び組立
精度を向上させることができる。また、前記スライダの
良好な摺動特性を確保することができる。The linear motion rolling guide unit according to the present invention is constructed as described above and has the following effects. That is, in this linear motion rolling guide unit, a large number of rolling elements made of ceramic are used to roll a track formed of track grooves formed on both side surfaces of a rail and track grooves provided on a slider facing the track grooves. Since it is composed of the rolling element produced and the rolling element made of vibration absorbing material such as urethane rubber, the weight of the slider itself is reduced by reducing the weight of the rolling element as a whole, and high-speed movement, that is, on the rail of the slider. The inertial force of the slider that moves at high speed in accordance with the high-speed linear movement is reduced, and the responsiveness of the high-speed movement of the slider is improved. Therefore, when the linear motion rolling guide unit is applied to a semiconductor assembling apparatus or the like, the assembling efficiency and assembling accuracy can be improved. Further, it is possible to secure good sliding characteristics of the slider.
【００３１】また、この直動転がり案内ユニットにおい
て、前記レールの前記軌道溝と前記ケーシングの前記軌
道溝とを構成する部材を鋼鉄材料で製作し、また、前記
転動体を構成するセラミックスを窒化ケイ素で製作した
ので、窒化ケイ素は軸受鋼に比較して比重が４０％程度
軽く、前記転動体を大幅に軽量にできる。また、セラミ
ックスで製作した転動体の間に吸振材で製作した転動体
を点在させたので、高価な窒化ケイ素から製作した転動
体の使用を少なくすることができ、前記転動体の上記効
果を所望な程度にまで確保しつつ安価に製作できる。特
に、吸振材で製作した転動体はそれ自体が吸音効果を有
するので、セラミックスで製作した転動体の間に鋼製の
転動体を点在させた場合に比べて、大きな騒音低減効果
を得ることができる。In this linear motion rolling guide unit, the members forming the track groove of the rail and the track groove of the casing are made of a steel material, and the ceramic forming the rolling element is made of silicon nitride. Since silicon nitride has a specific gravity of about 40% lighter than that of bearing steel, the rolling element can be made significantly lighter. Further, since the rolling elements made of the vibration absorbing material are scattered between the rolling elements made of ceramics, it is possible to reduce the use of the rolling elements made of expensive silicon nitride, and to achieve the above effects of the rolling elements. It can be manufactured at low cost while ensuring the desired degree. In particular, rolling elements made of vibration-absorbing material itself have a sound absorbing effect, so a large noise reduction effect can be obtained compared to the case where steel rolling elements are scattered between rolling elements made of ceramics. You can
【００３２】また、この直動転がり案内ユニットにおけ
る転動体はセラミックスで製作されているので、耐食
性、耐熱性、耐衝撃性を備えており、このため、この直
動転がり案内ユニットの寿命は、鋼製の転動体を備えて
いた従来の直動転がり案内ユニットに比べて向上する。Further, since the rolling elements in this linear motion rolling guide unit are made of ceramics, they have corrosion resistance, heat resistance and impact resistance. Therefore, the life of this linear motion rolling guide unit is steel. This is an improvement over the conventional linear motion rolling guide unit having a rolling element made of steel.
【図１】この発明による直動転がり案内ユニットを示す
一部破断の斜視図である。FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing a linear motion rolling guide unit according to the present invention.
【図２】図１の直動転がり案内ユニットのエンドキャッ
プを示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing an end cap of the linear motion rolling guide unit of FIG.
【図３】この発明による直動転がり案内ユニットにおけ
る転動体の一実施例を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of rolling elements in the linear motion rolling guide unit according to the present invention.
【図４】図１の直動転がり案内ユニットのスライダを下
面から見た平面図である。FIG. 4 is a plan view of the slider of the linear motion rolling guide unit of FIG. 1 seen from the lower surface.
【図５】耐久試験における速度パターンを示すグラフで
ある。FIG. 5 is a graph showing a speed pattern in a durability test.
【図６】スライダの温度を測定する方法を示す図であっ
て図１の直動転がり案内ユニットの正面図である。6 is a front view of the linear motion rolling guide unit of FIG. 1, showing a method for measuring the temperature of a slider.
【図７】従来の直動転がり案内ユニットの一例を示す斜
視図である。FIG. 7 is a perspective view showing an example of a conventional linear motion rolling guide unit.
１ スライダ ２ レール ３ ケーシング ５，９ 軌道溝 ６ エンドキャップ ７ 転動体 ７Ａ セラミックスボール（セラミックスから成る転動
体） ７Ｂ ウレタンボール（吸振材から成る転動体）1 slider 2 rail 3 casing 5, 9 raceway groove 6 end cap 7 rolling element 7A ceramics ball (rolling element made of ceramics) 7B urethane ball (rolling element made of vibration absorbing material)
Claims (4)
のレール、該レールに跨架され且つ前記軌道溝に対向す
る軌道溝を備えたケーシングを持つスライダ、及び対向
した前記両軌道溝間で構成される軌道を転走する多数の
転動体を有し、前記転動体が無限循環する直動転がり案
内ユニットにおいて、前記転動体をセラミックスから成
る転動体と吸振材から成る転動体とから構成したことを
特徴とする直動転がり案内ユニット。1. A long rail having track grooves on both side surfaces in a longitudinal direction, a slider having a casing provided with track grooves straddling the rail and facing the track groove, and both tracks facing each other. In a linear motion rolling guide unit having a large number of rolling elements rolling on an orbit formed between grooves, the rolling elements being a rolling element made of ceramics and a rolling element made of a vibration absorbing material. A linear motion rolling guide unit characterized by being composed of.
グの前記軌道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作さ
れ、前記セラミックスとして窒化ケイ素が使用され、前
記吸振材としてウレタンゴムが使用されていることを特
徴とする請求項１に記載の直動転がり案内ユニット。2. A member forming the raceway groove of the rail and the raceway groove of the casing is made of a steel material, silicon nitride is used as the ceramics, and urethane rubber is used as the vibration absorbing material. The linear motion rolling guide unit according to claim 1, wherein:
グの前記軌道溝とを構成する部材は鋼鉄材料で製作さ
れ、前記セラミックスから成る転動体の間に前記吸振材
から成る転動体を点在させたことを特徴とする請求項１
に記載の直動転がり案内ユニット。3. A member forming the raceway groove of the rail and the raceway groove of the casing is made of a steel material, and rolling elements made of the vibration absorbing material are scattered between rolling elements made of the ceramics. Claim 1 characterized by the above.
Linear motion rolling guide unit described in.
吸振材から成る転動体を交互に順次配列したことを特徴
とする請求項３に記載の直動転がり案内ユニット。4. The linear motion rolling guide unit according to claim 3, wherein the rolling elements made of the ceramics and the rolling elements made of the vibration absorbing material are alternately arranged in sequence.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6218292A JPH0861364A (en) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | Direct operated rolling guide unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6218292A JPH0861364A (en) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | Direct operated rolling guide unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861364A true JPH0861364A (en) | 1996-03-08 |
Family
ID=16717554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6218292A Pending JPH0861364A (en) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | Direct operated rolling guide unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
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