JPH085707A - 半導体テスト装置 - Google Patents
半導体テスト装置Info
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- JPH085707A JPH085707A JP6138681A JP13868194A JPH085707A JP H085707 A JPH085707 A JP H085707A JP 6138681 A JP6138681 A JP 6138681A JP 13868194 A JP13868194 A JP 13868194A JP H085707 A JPH085707 A JP H085707A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を
提供する。 【構成】 出力電圧値を測定したデータを、出力端子番
号順に測定データ格納用ＲＡＭ２に格納し、一階調の出
力データがそろうと、一階調分の出力データで最大値、
最小値、平均値を算出する。そして、最大値、最小値、
平均値を最大値格納部４、最小値格納部５、平均値格納
部６に格納し、基準値との比較をする。そして、最大
値、最小値、平均値を算出するのと並行して、別の階調
の出力電圧を測定し、測定データ格納用ＲＡＭ２へ測定
データを格納することができるので、テスト時間を短縮
することができる。
提供する。 【構成】 出力電圧値を測定したデータを、出力端子番
号順に測定データ格納用ＲＡＭ２に格納し、一階調の出
力データがそろうと、一階調分の出力データで最大値、
最小値、平均値を算出する。そして、最大値、最小値、
平均値を最大値格納部４、最小値格納部５、平均値格納
部６に格納し、基準値との比較をする。そして、最大
値、最小値、平均値を算出するのと並行して、別の階調
の出力電圧を測定し、測定データ格納用ＲＡＭ２へ測定
データを格納することができるので、テスト時間を短縮
することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶駆動用半導体装置
等の出力電圧値の測定・比較を高速に行う半導体テスト
装置に関するものである。
等の出力電圧値の測定・比較を高速に行う半導体テスト
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶ディスプレイはＣＲＴに換わ
る映像表示装置として注目を浴びてきている。そして、
小型かつ軽量であるため、携帯用情報機器を中心に今後
大きな市場が見込まれている。
る映像表示装置として注目を浴びてきている。そして、
小型かつ軽量であるため、携帯用情報機器を中心に今後
大きな市場が見込まれている。
【０００３】この液晶ディスプレイの分野においてはＴ
ＦＴ（薄膜トランジスタ）タイプを中心に、今後はフル
カラー化、低コスト化への急激な技術革新が進むと考え
られる。この鍵を握るのが液晶駆動用半導体装置であ
り、フルカラー化のための高精度化・８ビット対応、低
コスト化のための多端子化が進んでいる。
ＦＴ（薄膜トランジスタ）タイプを中心に、今後はフル
カラー化、低コスト化への急激な技術革新が進むと考え
られる。この鍵を握るのが液晶駆動用半導体装置であ
り、フルカラー化のための高精度化・８ビット対応、低
コスト化のための多端子化が進んでいる。
【０００４】これらの液晶駆動用半導体装置を生産する
にあたって、出荷前に必ず、出力電圧値が製品規格に満
たしているかどうかのテストが行われている。
にあたって、出荷前に必ず、出力電圧値が製品規格に満
たしているかどうかのテストが行われている。
【０００５】以下、従来の半導体テスト装置について図
２を参照しながら説明する。１はディジタイザで、液晶
駆動用半導体装置（図示せず）の出力電圧値を、ディジ
タル信号で読み取るものである。ディジタイザ１は、半
導体テスト装置に一つまたは複数個あり、通常１６ビッ
トから１８ビット分解能をもっている。２は、ディジタ
イザ１が読み取ったディジタル信号のデータを格納する
測定データ格納用ＲＡＭである。３はディジタルシグナ
ルプロセッサ（以下、ＤＳＰという）で、測定データ格
納用ＲＡＭ２からデータを取り出し、最大値、最小値、
平均値の演算を行うものである。
２を参照しながら説明する。１はディジタイザで、液晶
駆動用半導体装置（図示せず）の出力電圧値を、ディジ
タル信号で読み取るものである。ディジタイザ１は、半
導体テスト装置に一つまたは複数個あり、通常１６ビッ
トから１８ビット分解能をもっている。２は、ディジタ
イザ１が読み取ったディジタル信号のデータを格納する
測定データ格納用ＲＡＭである。３はディジタルシグナ
ルプロセッサ（以下、ＤＳＰという）で、測定データ格
納用ＲＡＭ２からデータを取り出し、最大値、最小値、
平均値の演算を行うものである。
【０００６】以上のように構成された従来の半導体テス
ト装置の動作について、以下説明する。
ト装置の動作について、以下説明する。
【０００７】まず、ディジタイザ１が、液晶駆動用半導
体装置（図示せず）の出力電圧値をディジタル信号で読
み取った測定結果を、測定データ格納用ＲＡＭ２へ、測
定順に順次書き込む。
体装置（図示せず）の出力電圧値をディジタル信号で読
み取った測定結果を、測定データ格納用ＲＡＭ２へ、測
定順に順次書き込む。
【０００８】そして、測定データ格納用ＲＡＭ２へ書き
込みが全て完了すると、ＤＳＰ３に測定データ格納用Ｒ
ＡＭ２の中から必要なデータを取り出し、最大値、最小
値、平均値の演算を行う。そして、ＤＳＰ３により各階
調レベルごとに全出力端子の出力電圧値の最大値、最小
値を演算して、基準値との比較を行い、半導体装置の出
力電圧のばらつきが規格内におさまっているかの判定を
行う。また、ＤＳＰ３により各階調レベルごとの全出力
端子の出力電圧値の平均値を演算し、理想直線との比較
を行い出力電圧階調レベルの直線性が規格内におさまっ
ているかの判定を行う。なお、ＤＳＰが算出した値が規
格を満たしていない場合は、不良品として取り除かれ
る。
込みが全て完了すると、ＤＳＰ３に測定データ格納用Ｒ
ＡＭ２の中から必要なデータを取り出し、最大値、最小
値、平均値の演算を行う。そして、ＤＳＰ３により各階
調レベルごとに全出力端子の出力電圧値の最大値、最小
値を演算して、基準値との比較を行い、半導体装置の出
力電圧のばらつきが規格内におさまっているかの判定を
行う。また、ＤＳＰ３により各階調レベルごとの全出力
端子の出力電圧値の平均値を演算し、理想直線との比較
を行い出力電圧階調レベルの直線性が規格内におさまっ
ているかの判定を行う。なお、ＤＳＰが算出した値が規
格を満たしていない場合は、不良品として取り除かれ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】最近では、液晶駆動用
半導体装置がたとえば２５６階調、２４０出力端子とい
うように、高階調化・多端子化するにつれて、総テスト
時間に占める演算時間の比率が大きくなってきた。そこ
で、テスト時間の短縮が即、半導体装置のコスト低下に
つながるようになってきた。そこで、テスト時間を短縮
できる手法が求められるようになってきた。
半導体装置がたとえば２５６階調、２４０出力端子とい
うように、高階調化・多端子化するにつれて、総テスト
時間に占める演算時間の比率が大きくなってきた。そこ
で、テスト時間の短縮が即、半導体装置のコスト低下に
つながるようになってきた。そこで、テスト時間を短縮
できる手法が求められるようになってきた。
【００１０】本発明は上記従来課題を解決するもので、
テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を提供するこ
とを目的とする。
テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、出力電圧値を測定した測定データを一定の
基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測
定データ格納部に格納された測定データのうち一階調分
の測定データの最大値を格納する最大値格納部または、
前記一階調分の測定データの最小値を格納する最小値格
納部または、前記一階調分の測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有するものである。
するために、出力電圧値を測定した測定データを一定の
基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測
定データ格納部に格納された測定データのうち一階調分
の測定データの最大値を格納する最大値格納部または、
前記一階調分の測定データの最小値を格納する最小値格
納部または、前記一階調分の測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有するものである。
【００１２】また、本発明は上記目的を達成するため
に、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従
った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ
格納部に格納された測定データのうち一階調分の測定デ
ータの平均値を格納する平均値格納部または、一階調分
の測定データの分散σ、２σ、３σを格納する分散格納
部を有するものである。
に、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従
った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ
格納部に格納された測定データのうち一階調分の測定デ
ータの平均値を格納する平均値格納部または、一階調分
の測定データの分散σ、２σ、３σを格納する分散格納
部を有するものである。
【００１３】さらに、本発明は上記目的を達成するため
に、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従
った順に格納する測定データ格納用ＲＡＭと、前記測定
データ格納用ＲＡＭに格納された測定データのうち同一
の出力端子から出力された測定データの最大値を格納す
る最大値格納部と、前記同一の出力端子から出力された
測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記同
一の出力端子から出力された測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有するものである。
に、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従
った順に格納する測定データ格納用ＲＡＭと、前記測定
データ格納用ＲＡＭに格納された測定データのうち同一
の出力端子から出力された測定データの最大値を格納す
る最大値格納部と、前記同一の出力端子から出力された
測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記同
一の出力端子から出力された測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有するものである。
【００１４】
【作用】本発明は上記した構成により、出力電圧値を測
定した測定データを一定の基準に従った順に測定データ
格納部に格納し、一階調ごとまたは、一つの出力端子か
らの出力ごとに最大値、最小値、平均値等を算出し、最
大値格納部、最小値格納部、平均値格納部等に格納でき
る。したがって、測定データ格納部に一階調または、一
つの出力端子からの出力分の測定データが格納された時
点で、最大値、最小値、平均値等を算出、基準値との比
較をすることができる。そして、最大値、最小値、平均
値等を算出するのと並行して、別の階調または、別の出
力端子からの出力電圧を測定することができる。
定した測定データを一定の基準に従った順に測定データ
格納部に格納し、一階調ごとまたは、一つの出力端子か
らの出力ごとに最大値、最小値、平均値等を算出し、最
大値格納部、最小値格納部、平均値格納部等に格納でき
る。したがって、測定データ格納部に一階調または、一
つの出力端子からの出力分の測定データが格納された時
点で、最大値、最小値、平均値等を算出、基準値との比
較をすることができる。そして、最大値、最小値、平均
値等を算出するのと並行して、別の階調または、別の出
力端子からの出力電圧を測定することができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図１を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１６】図１は、本発明の半導体テスト装置の構成
を示す図である。図１において、２は、ディジタイザ
（図示せず）等で読み取ったディジタル信号の出力電圧
値を格納する測定データ格納用ＲＡＭで、横方向を出力
端子順、縦方向を出力電圧階調レベル順に設定されてい
る。４はデータ格納用ＲＡＭ２の横方向のデータにおけ
る最大値を取り込む最大値格納部、５はデータ格納用Ｒ
ＡＭ２の横方向のデータにおける最小値を取り込む最小
値格納部、６はデータ格納用ＲＡＭ２の横方向のデータ
における平均値を取り込む平均値格納部である。
を示す図である。図１において、２は、ディジタイザ
（図示せず）等で読み取ったディジタル信号の出力電圧
値を格納する測定データ格納用ＲＡＭで、横方向を出力
端子順、縦方向を出力電圧階調レベル順に設定されてい
る。４はデータ格納用ＲＡＭ２の横方向のデータにおけ
る最大値を取り込む最大値格納部、５はデータ格納用Ｒ
ＡＭ２の横方向のデータにおける最小値を取り込む最小
値格納部、６はデータ格納用ＲＡＭ２の横方向のデータ
における平均値を取り込む平均値格納部である。
【００１７】以上のように構成された本発明の一実施例
について、以下その動作を説明する。
について、以下その動作を説明する。
【００１８】図１の測定データ格納用ＲＡＭ２は、横方
向に出力端子１から出力端子２４０まで順番に、また縦
方向に階調レベル１から階調レベル２５６まで順番に格
納されるものとする。
向に出力端子１から出力端子２４０まで順番に、また縦
方向に階調レベル１から階調レベル２５６まで順番に格
納されるものとする。
【００１９】まず、ディジタイザ（図示せず）で一階調
ごとに測定した測定データは測定データ格納用ＲＡＭ２
の横方向に順に出力端子１から出力端子２４０まで格納
される。そして、一つの階調の測定データ格納用ＲＡＭ
への格納が完了すると同時に、演算器（図示せず）で最
大値、最小値、平均値を計算し、最大値格納部４、最小
値格納部５、平均値格納部６にそれぞれの値を格納す
る。また、演算器（図示せず）で最大値、最小値、平均
値を計算している間や、最大値格納部４、最小値格納部
５、平均値格納部６にそれぞれの値を格納している間
に、次の階調の測定データが測定データ格納用ＲＡＭ２
に書き込まれる。
ごとに測定した測定データは測定データ格納用ＲＡＭ２
の横方向に順に出力端子１から出力端子２４０まで格納
される。そして、一つの階調の測定データ格納用ＲＡＭ
への格納が完了すると同時に、演算器（図示せず）で最
大値、最小値、平均値を計算し、最大値格納部４、最小
値格納部５、平均値格納部６にそれぞれの値を格納す
る。また、演算器（図示せず）で最大値、最小値、平均
値を計算している間や、最大値格納部４、最小値格納部
５、平均値格納部６にそれぞれの値を格納している間
に、次の階調の測定データが測定データ格納用ＲＡＭ２
に書き込まれる。
【００２０】この様な動作を繰り返し、階調レベル１か
ら階調レベル２５６まで全てについて、出力端子１から
出力端子２４０までの測定データが、測定データ格納用
ＲＡＭ２に格納されると同時に、それぞれの階調レベル
の最大値、最小値、平均値がそれぞれ、最大値格納部
４、最小値格納部５、平均値格納部６に格納される。
ら階調レベル２５６まで全てについて、出力端子１から
出力端子２４０までの測定データが、測定データ格納用
ＲＡＭ２に格納されると同時に、それぞれの階調レベル
の最大値、最小値、平均値がそれぞれ、最大値格納部
４、最小値格納部５、平均値格納部６に格納される。
【００２１】そして、最大値格納部４、最小値格納部
５、平均値格納部６に格納された最大値、最小値、平均
値と基準値との比較を行い、半導体装置の出力電圧のば
らつきが規格内におさまっているかの判定を行う。
５、平均値格納部６に格納された最大値、最小値、平均
値と基準値との比較を行い、半導体装置の出力電圧のば
らつきが規格内におさまっているかの判定を行う。
【００２２】このように本発明の第１の実施例によれ
ば、最大値、最小値、平均値などのそれぞれに専用の格
納部を設けることにより、一階調分の測定データが測定
データ格納用ＲＡＭ２に格納された時点で、最大値、最
小値、平均値を算出し、比較判定を行っているので、算
出・比較判定を行うのと並行して、次の一階調分のデー
タの測定を行うことができる。したがって、半導体テス
ト装置のテスト時間を短縮することができる。
ば、最大値、最小値、平均値などのそれぞれに専用の格
納部を設けることにより、一階調分の測定データが測定
データ格納用ＲＡＭ２に格納された時点で、最大値、最
小値、平均値を算出し、比較判定を行っているので、算
出・比較判定を行うのと並行して、次の一階調分のデー
タの測定を行うことができる。したがって、半導体テス
ト装置のテスト時間を短縮することができる。
【００２３】また、本発明は、半導体装置の良品／不良
品の判定に用いられるのが一般的であるので、一つ目の
階調を比較判定した時点で、不良品と判定された場合、
判定の終わっていない階調のデータ測定を新たに行う必
要がなくなり、半導体テスト装置のテスト時間に占める
時間を大幅に短縮することができる。
品の判定に用いられるのが一般的であるので、一つ目の
階調を比較判定した時点で、不良品と判定された場合、
判定の終わっていない階調のデータ測定を新たに行う必
要がなくなり、半導体テスト装置のテスト時間に占める
時間を大幅に短縮することができる。
【００２４】次に、別の用途に本発明を採用した第２の
実施例について説明する。本実施例では、上記して説明
した第１の実施例で、最大値、最小値、平均値を格納で
きる最大値格納部４、最小値格納部５、平均値格納部６
を備えているのに対し、出力端子方向の測定データの平
均値に対する最大隔たり値の演算結果を格納する最大隔
たり値格納部や、出力端子方向の測定データが正規分布
しているとして分散σ、２σ、３σの演算結果を格納す
る分散格納部を備えている。
実施例について説明する。本実施例では、上記して説明
した第１の実施例で、最大値、最小値、平均値を格納で
きる最大値格納部４、最小値格納部５、平均値格納部６
を備えているのに対し、出力端子方向の測定データの平
均値に対する最大隔たり値の演算結果を格納する最大隔
たり値格納部や、出力端子方向の測定データが正規分布
しているとして分散σ、２σ、３σの演算結果を格納す
る分散格納部を備えている。
【００２５】このように最大隔たり値および分散σ、２
σ、３σの演算結果を格納する最大隔たり値格納部、お
よび分散格納部を備えることで、別の用途に使用するこ
とも可能になる。
σ、３σの演算結果を格納する最大隔たり値格納部、お
よび分散格納部を備えることで、別の用途に使用するこ
とも可能になる。
【００２６】なお、本実施例では、一階調分をまとめ
て、測定データの測定データ格納用ＲＡＭ２への書き込
み、および最大値等の演算を行っていたが、出力端子番
号ごとに最大値等を求めても、同様の効果が得られるの
は明らかである。
て、測定データの測定データ格納用ＲＡＭ２への書き込
み、および最大値等の演算を行っていたが、出力端子番
号ごとに最大値等を求めても、同様の効果が得られるの
は明らかである。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、測定データ格納部に一
階調または、一つの出力端子からの出力分の測定データ
が格納された時点で、最大値、最小値、平均値等を算出
・比較判定することができ、かつ、最大値、最小値、平
均値等を算出・比較判定するのと並行して、別の階調ま
たは、別の出力端子からの出力電圧を測定することがで
きるので、半導体テスト装置によるテスト時間を短縮す
ることができる。
階調または、一つの出力端子からの出力分の測定データ
が格納された時点で、最大値、最小値、平均値等を算出
・比較判定することができ、かつ、最大値、最小値、平
均値等を算出・比較判定するのと並行して、別の階調ま
たは、別の出力端子からの出力電圧を測定することがで
きるので、半導体テスト装置によるテスト時間を短縮す
ることができる。
【００２８】また、全ての出力電圧の測定が完了する前
に、ある一階調または、ある一つの出力端子からの出力
分の測定データの最大値、最小値、平均値等の値が規格
を満たしていないと判定された場合、全出力電圧を測定
する必要がなくなり、テスト時間をかなり短縮すること
ができる。
に、ある一階調または、ある一つの出力端子からの出力
分の測定データの最大値、最小値、平均値等の値が規格
を満たしていないと判定された場合、全出力電圧を測定
する必要がなくなり、テスト時間をかなり短縮すること
ができる。
【００２９】また、このようなテスト時間の短縮により
テストコストを下げることにもつながる。
テストコストを下げることにもつながる。
【図１】本発明の一実施例の半導体テスト装置の構成図
【図２】従来の半導体テスト装置の構成図
１ ディジタイザ ２ 測定データ格納用ＲＡＭ ３ ＤＳＰ ４ 最大値格納部 ５ 最小値格納部 ６ 平均値格納部
Claims (7)
- 【請求項１】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの最大値を算出する演算部と、前記
最大値を格納する最大値格納部とを有する半導体テスト
装置。 - 【請求項２】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの最小値を算出する演算部と、前記
最小値を格納する最小値格納部とを有する半導体テスト
装置。 - 【請求項３】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの平均値を算出する演算部と、前記
平均値を格納する平均値格納部とを有する半導体テスト
装置。 - 【請求項４】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの最大値を格納する最大値格納部
と、前記一階調分の測定データの最小値を格納する最小
値格納部と、前記一階調分の測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有する半導体テスト装置。 - 【請求項５】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの平均値を算出する演算部と、前記
平均値を格納する平均値格納部と、前記平均値格納部に
格納されている平均値に対する最大隔たり値を算出する
演算部と、前記最大隔たり値を格納する最大隔たり値格
納部とを有する半導体テスト装置。 - 【請求項６】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの分散σ、２σ、３σを算出する演
算部と、前記分散σ、２σ、３σを格納する分散格納部
を有する半導体テスト装置。 - 【請求項７】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち同
一の出力端子から出力された測定データの最大値を格納
する最大値格納部と、前記同一の出力端子から出力され
た測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記
同一の出力端子から出力された測定データの平均値を格
納する平均値格納部とを有する半導体テスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6138681A JPH085707A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 半導体テスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6138681A JPH085707A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 半導体テスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085707A true JPH085707A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15227624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6138681A Pending JPH085707A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 半導体テスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085707A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350510A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Advantest Corp | 半導体試験装置 |
| JP2002350498A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Advantest Corp | 半導体試験装置の並列処理方法及び半導体試験装置 |
| CN109883467A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 技嘉科技股份有限公司 | 多输入自调节检测器及多输入自调节检测方法 |
-
1994
- 1994-06-21 JP JP6138681A patent/JPH085707A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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