JPH085680B2 - 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 - Google Patents
光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光学機器に使用されるレンズ，プリズム等
の高精度光学ガラス素子を超精密ガラス成形法により形
成する光学ガラス素子成形用型の作製方法および光学ガ
ラス素子の製造方法に関するものである。
の高精度光学ガラス素子を超精密ガラス成形法により形
成する光学ガラス素子成形用型の作製方法および光学ガ
ラス素子の製造方法に関するものである。
従来の技術 近年、高精度光学レンズ、特に非球面ガラスレンズ等
の製造法として、光学研磨法を用いず、研磨工程なしの
一発成形により、形成する試みが多くなされ、具現化さ
れつつある。その成形法の一つとして、ガラス素材を変
形可能な温度、例えば、軟化点近傍の温度に加熱し、押
圧成形等の手段を用いて成形する方法がある。これらの
成形で用いられる光学ガラス素子成形用型には非常に高
精度な面形状、品質が要求されている。この成形用型に
は高温度のもとでガラスに対して化学的に不活性である
こと、型のガラスプレス面が十分硬く擦傷等の損傷を受
けにくいこと、また高温度でのプレスで型が塑性変形を
起こさないこと、耐熱性，耐熱衝撃性に優れているこ
と、さらに型の加工性がよく、精密加工が可能なこと等
が必要である。この目的を達成するために、例えばシリ
コンカーバイド，シリコンナイトライドを用いたプレス
成形用型（特開昭52−45613号公報）やタングステンカ
ーバイド、サーメット、ジルコニアを母材とし、この母
材上に貴金属合金膜を形成して構成したプレス成形用型
等が提案されており、種々の検討が行われている。
の製造法として、光学研磨法を用いず、研磨工程なしの
一発成形により、形成する試みが多くなされ、具現化さ
れつつある。その成形法の一つとして、ガラス素材を変
形可能な温度、例えば、軟化点近傍の温度に加熱し、押
圧成形等の手段を用いて成形する方法がある。これらの
成形で用いられる光学ガラス素子成形用型には非常に高
精度な面形状、品質が要求されている。この成形用型に
は高温度のもとでガラスに対して化学的に不活性である
こと、型のガラスプレス面が十分硬く擦傷等の損傷を受
けにくいこと、また高温度でのプレスで型が塑性変形を
起こさないこと、耐熱性，耐熱衝撃性に優れているこ
と、さらに型の加工性がよく、精密加工が可能なこと等
が必要である。この目的を達成するために、例えばシリ
コンカーバイド，シリコンナイトライドを用いたプレス
成形用型（特開昭52−45613号公報）やタングステンカ
ーバイド、サーメット、ジルコニアを母材とし、この母
材上に貴金属合金膜を形成して構成したプレス成形用型
等が提案されており、種々の検討が行われている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら前述したような成形用型、例えばシリコ
ンカーバイド、シリコンナイトライド、タングステンカ
ーバイト、ジルコニア、サーメットおよび貴金属合金膜
を所望の面形状に仕上げるにはダイヤモンド砥石による
研削加工を用いて仕上げることになる。しかし、前記の
ような構成の成形型では材料の硬度は極めて硬いためダ
イヤモンド砥石の摩耗が激しく高精度な加工が困難で、
要求精度を満たすのに非常に長い時間を要する。例え
ば、大口径の成形型の加工の場合摩耗量を確認しながら
加工しなければ精度を満たさない。さらに一個の砥石で
の成形型加工面数が少ない。また、小口径の場合では曲
率半径が極めて小さいと加工可能なダイヤモンド砥石が
ない。このように加工制限により作成できる金型形状の
範囲が狭いうえ加工時間等が長く成形型は非常に高価な
ものとなっていた。加工性のみを考慮した材料を用いれ
ば加工時間は短縮され、形状精度の良い型ができるが型
寿命が短いという問題が生じる。さらに充分な面形状を
加工するのが困難なため前記の成形型で成形された光学
ガラス素子の性能は充分なものでなかった。
ンカーバイド、シリコンナイトライド、タングステンカ
ーバイト、ジルコニア、サーメットおよび貴金属合金膜
を所望の面形状に仕上げるにはダイヤモンド砥石による
研削加工を用いて仕上げることになる。しかし、前記の
ような構成の成形型では材料の硬度は極めて硬いためダ
イヤモンド砥石の摩耗が激しく高精度な加工が困難で、
要求精度を満たすのに非常に長い時間を要する。例え
ば、大口径の成形型の加工の場合摩耗量を確認しながら
加工しなければ精度を満たさない。さらに一個の砥石で
の成形型加工面数が少ない。また、小口径の場合では曲
率半径が極めて小さいと加工可能なダイヤモンド砥石が
ない。このように加工制限により作成できる金型形状の
範囲が狭いうえ加工時間等が長く成形型は非常に高価な
ものとなっていた。加工性のみを考慮した材料を用いれ
ば加工時間は短縮され、形状精度の良い型ができるが型
寿命が短いという問題が生じる。さらに充分な面形状を
加工するのが困難なため前記の成形型で成形された光学
ガラス素子の性能は充分なものでなかった。
課題を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するため、成形用型の母材
として、炭化タングステンを主成分とした超硬合金、ま
たは炭化チタン、窒化チタン、炭化クロムまたはアルミ
ナを主成分とするサーメットを用い、研削によりこれら
母材を所望する形状に近い状態に加工した後、前記母材
上に研削，切削加工性に優れ、高融点で化学的に安定な
ニッケル金属、ニッケル−リンを主成分とする合金また
は、ニッケル−ホウ素を主成分とする合金を中間層とし
て形成し、所望する形状に切削加工もしくは研削加工に
よって精密に加工した後、該中間層上に保護膜として、
金属窒化物、金属硼化物、金属炭化物、イリジウム−タ
ングステン合金、ルテニウム−タングステン合金、イリ
ジウム−タンタル合金、イリジウム−レニウム合金、あ
るいはルテニウム−レニウム合金膜を形成して光学ガラ
ス素子成形用型を作製する手段を用いるものである。
として、炭化タングステンを主成分とした超硬合金、ま
たは炭化チタン、窒化チタン、炭化クロムまたはアルミ
ナを主成分とするサーメットを用い、研削によりこれら
母材を所望する形状に近い状態に加工した後、前記母材
上に研削，切削加工性に優れ、高融点で化学的に安定な
ニッケル金属、ニッケル−リンを主成分とする合金また
は、ニッケル−ホウ素を主成分とする合金を中間層とし
て形成し、所望する形状に切削加工もしくは研削加工に
よって精密に加工した後、該中間層上に保護膜として、
金属窒化物、金属硼化物、金属炭化物、イリジウム−タ
ングステン合金、ルテニウム−タングステン合金、イリ
ジウム−タンタル合金、イリジウム−レニウム合金、あ
るいはルテニウム−レニウム合金膜を形成して光学ガラ
ス素子成形用型を作製する手段を用いるものである。
作用 本発明は上述した手段により、研削，切削加工性に優
れた中間層を備えたため、高精度な面形状を容易に得る
ことが可能となった。また、極めて硬い材質を加工する
必要がないため、タイヤモンドバイトや砥石の摩耗がほ
とんどなく、ダイヤモンドバイト，砥石の寿命も長くな
り大口径の成形型を一つのバイト及び砥石で数多く作成
できるようになった。また、ダイヤモンドバイトによる
切削加工が可能になったため小曲率半径の成形型の加工
もでき加工範囲も広がった。さらに、母材，保護膜は、
面品質，耐熱，耐衝撃性が優れた材質を用いていること
から、良好な加工性と成形型寿命を兼ね備えた成形型が
容易に作成でき、その型でプレス成形すると高精度な面
形状を有した安価な光学ガラス素子を得ることが可能と
なった。
れた中間層を備えたため、高精度な面形状を容易に得る
ことが可能となった。また、極めて硬い材質を加工する
必要がないため、タイヤモンドバイトや砥石の摩耗がほ
とんどなく、ダイヤモンドバイト，砥石の寿命も長くな
り大口径の成形型を一つのバイト及び砥石で数多く作成
できるようになった。また、ダイヤモンドバイトによる
切削加工が可能になったため小曲率半径の成形型の加工
もでき加工範囲も広がった。さらに、母材，保護膜は、
面品質，耐熱，耐衝撃性が優れた材質を用いていること
から、良好な加工性と成形型寿命を兼ね備えた成形型が
容易に作成でき、その型でプレス成形すると高精度な面
形状を有した安価な光学ガラス素子を得ることが可能と
なった。
実施例 以下本発明の一実施例の光学ガラス素子成形用型の作
製方法及び光学ガラス素子の製造方法について図面，表
を参照しながら説明する。
製方法及び光学ガラス素子の製造方法について図面，表
を参照しながら説明する。
先ず最初に中間層として用いる材料の加工性の実験を
行った。実験では各種材料を直径8mm、曲率半径7.5mmの
凹形状に仕上げることとした。材料によって前記のよう
な大きさの物が得られないのでそれらは母材に超硬合金
を用い所望の形状に近い形状にした後、母材上に材料を
形成し加工を行うこととした。加工方法としては、ダイ
ヤモンドバイトを用いた切削加工とダイヤモンド砥石を
用いた研削加工を各種材料で行い、評価方法は干渉計を
用いて表面形状の測定を行いその加工精度により加工性
を確認した。実験結果を表１に示す。
行った。実験では各種材料を直径8mm、曲率半径7.5mmの
凹形状に仕上げることとした。材料によって前記のよう
な大きさの物が得られないのでそれらは母材に超硬合金
を用い所望の形状に近い形状にした後、母材上に材料を
形成し加工を行うこととした。加工方法としては、ダイ
ヤモンドバイトを用いた切削加工とダイヤモンド砥石を
用いた研削加工を各種材料で行い、評価方法は干渉計を
用いて表面形状の測定を行いその加工精度により加工性
を確認した。実験結果を表１に示す。
実験結果よりニッケル、ニッケル−リン合金、ニッケ
ル−ホウ素合金は切削が可能で且つ加工精度も良好なも
のが得られた。その他の材料は切削加工は極めて硬度が
硬いためダイヤモンドバイトの摩耗が瞬時にして起こり
加工不可能であった。また、研削加工でも同様に摩耗が
生じており、非常に多くの時間を要する。加工後の面形
状も充分なものではない。
ル−ホウ素合金は切削が可能で且つ加工精度も良好なも
のが得られた。その他の材料は切削加工は極めて硬度が
硬いためダイヤモンドバイトの摩耗が瞬時にして起こり
加工不可能であった。また、研削加工でも同様に摩耗が
生じており、非常に多くの時間を要する。加工後の面形
状も充分なものではない。
次に母材に超硬合金を用い、その上にニッケルを形成
した型表面を連続して切削加工した場合の表面形状と、
超硬合金上にイリジウム−タングステン合金を形成した
後連続して研削加工を行った場合の表面形状の推移を確
認する実験を行った。作成した型の形状は直径42mm,曲
率半径18.3mmの凹形状になるように母材を予め近い形状
に加工を施してから行った。結果を表２に示す。
した型表面を連続して切削加工した場合の表面形状と、
超硬合金上にイリジウム−タングステン合金を形成した
後連続して研削加工を行った場合の表面形状の推移を確
認する実験を行った。作成した型の形状は直径42mm,曲
率半径18.3mmの凹形状になるように母材を予め近い形状
に加工を施してから行った。結果を表２に示す。
ニッケル表面を加工した場合、高精度に面形状を得る
事ができる上、ダイヤモンド砥石の摩耗がなく、多くの
成形面を作成できることが分かる。一方、イリジウム−
タングステン合金膜の加工では１個目の型こそ精度を満
たしているが、加工数が増す事に精度が悪くなり、５個
目には加工ができなくなってしまった。
事ができる上、ダイヤモンド砥石の摩耗がなく、多くの
成形面を作成できることが分かる。一方、イリジウム−
タングステン合金膜の加工では１個目の型こそ精度を満
たしているが、加工数が増す事に精度が悪くなり、５個
目には加工ができなくなってしまった。
表1,表２からも分かるように本発明で中間層として用
いるニッケル、ニッケル−リン合金、ニッケル−ホウ素
合金は加工性がよく、ダイヤモンドバイトの摩耗がなく
寿命が長いことが実験より確認できた。また、加工時間
も他の材料と比較して大幅に短縮できる。上記材質であ
れば、大口径の型も一つのダイヤモンドバイトで多数の
成形型面を高精度で加工できる。また、切削加工では研
削加工に比べダイヤモンドバイトの加工先端半径が小さ
くでき、曲率半径の小さな面を有する型の加工もでき加
工範囲が大きく広がる。ここでは記載しなかったがニッ
ケル、ニッケル−リン合金、ニッケル−ホウ素合金と同
様以上の加工性と高融点で化学的に安定なニッケル−リ
ンを主成分とする合金、ニッケル−ホウ素を主成分とす
る合金を用いても問題はない。
いるニッケル、ニッケル−リン合金、ニッケル−ホウ素
合金は加工性がよく、ダイヤモンドバイトの摩耗がなく
寿命が長いことが実験より確認できた。また、加工時間
も他の材料と比較して大幅に短縮できる。上記材質であ
れば、大口径の型も一つのダイヤモンドバイトで多数の
成形型面を高精度で加工できる。また、切削加工では研
削加工に比べダイヤモンドバイトの加工先端半径が小さ
くでき、曲率半径の小さな面を有する型の加工もでき加
工範囲が大きく広がる。ここでは記載しなかったがニッ
ケル、ニッケル−リン合金、ニッケル−ホウ素合金と同
様以上の加工性と高融点で化学的に安定なニッケル−リ
ンを主成分とする合金、ニッケル−ホウ素を主成分とす
る合金を用いても問題はない。
次に本発明の成形用型の作製方法と光学ガラス素子の
製造方法について説明する。
製造方法について説明する。
第１図は本発明の成形用型の作製方法の工程概略図で
ある。１は母材、２は中間層、３は保護膜である。
ある。１は母材、２は中間層、３は保護膜である。
直径30mm,厚さ6mmの超硬合金、サーメットを曲率半径
14mmおよび20mmの凹面形状の上成形型、下成形型からな
る一対の成形型の母材として研削により粗加工を施し、
最終形状からのズレ量10μｍ以下にした。第１図（ａ）
に示す。次にこれらの母材上にニッケル、ニッケル−リ
ンを主成分とする合金、ニッケル−ホウ素を主成分とす
る合金のいずれかを中間層としてイオンプレーティング
法により厚さ15μｍ形成した。第１図（ｂ）に示す。そ
の後、ダイヤモンドバイトによる切削加工により高精度
に所望の形状に仕上げた。第１図（ｃ）に示す。最後に
前記中間層上に金属窒化物、金属炭化物、金属硼化物ま
たはイリジウム−タングステン合金、ルテニウム−タン
グステン合金、イリジウム−タンタル合金、イリジウム
−レニウム合金、あるいはルテニウム−レニウム合金を
成膜した。第１図（ｄ）に示す。いずれの成形型におい
ても光学ガラス素子に必要な形状精度（RMS0.04λ以
下）を容易に達成した。以上のように切削加工の容易な
中間層を設けることにより、極めて硬い材質を加工する
必要なく、加工時間が大幅に短縮され、かつ高精度の面
形状を有した成形用型が安価に作成できる。言うまでも
ないが、中間層，保護膜の形成方法はスパッタ法や、イ
オンプレーティング法以外の方法で形成しても問題な
い。
14mmおよび20mmの凹面形状の上成形型、下成形型からな
る一対の成形型の母材として研削により粗加工を施し、
最終形状からのズレ量10μｍ以下にした。第１図（ａ）
に示す。次にこれらの母材上にニッケル、ニッケル−リ
ンを主成分とする合金、ニッケル−ホウ素を主成分とす
る合金のいずれかを中間層としてイオンプレーティング
法により厚さ15μｍ形成した。第１図（ｂ）に示す。そ
の後、ダイヤモンドバイトによる切削加工により高精度
に所望の形状に仕上げた。第１図（ｃ）に示す。最後に
前記中間層上に金属窒化物、金属炭化物、金属硼化物ま
たはイリジウム−タングステン合金、ルテニウム−タン
グステン合金、イリジウム−タンタル合金、イリジウム
−レニウム合金、あるいはルテニウム−レニウム合金を
成膜した。第１図（ｄ）に示す。いずれの成形型におい
ても光学ガラス素子に必要な形状精度（RMS0.04λ以
下）を容易に達成した。以上のように切削加工の容易な
中間層を設けることにより、極めて硬い材質を加工する
必要なく、加工時間が大幅に短縮され、かつ高精度の面
形状を有した成形用型が安価に作成できる。言うまでも
ないが、中間層，保護膜の形成方法はスパッタ法や、イ
オンプレーティング法以外の方法で形成しても問題な
い。
これら上下一対の成形型をプレスマシンにセットした
状態を第２図に示す。４は上成形型、５は下成形型、６
は上成形型用加熱ヒータ、７は下成形型用加熱ヒータ、
８は上成形型用加圧機構、９は下成形型用加圧機構、10
は供給ガラス、11はガラス供給用治具、12はプレス成形
された光学ガラス素子の取り出し口、13は供給ガラスの
予備加熱炉、14はチャンバーである。
状態を第２図に示す。４は上成形型、５は下成形型、６
は上成形型用加熱ヒータ、７は下成形型用加熱ヒータ、
８は上成形型用加圧機構、９は下成形型用加圧機構、10
は供給ガラス、11はガラス供給用治具、12はプレス成形
された光学ガラス素子の取り出し口、13は供給ガラスの
予備加熱炉、14はチャンバーである。
プレス実験では酸化鉛（PbO）を70重量％、シリカ（S
iO2）を27重量％、及び残りが微量成分からなる酸化鉛
系光学ガラスを半径10mmの球形状に加工した硝材７を予
備加熱炉10で加熱した後、550℃に保持された上下の型
４、５の下型５の上におき、窒素ガス雰囲気中で上型４
でプレス圧5kg/mm2をかけ、硝材を変形させる。変形終
了後、上型，下型，硝材を380℃まで冷却する。そし
て、取り出し口12より成形された光学ガラス素子を取り
出し、常温まで冷却する。以上のような成形工程を各材
質の成形型で5000回繰り返した後、型4,5をプレスマシ
ンから取り外し、型表面の形状精度，表面粗さを測定し
型の優劣を評価した。
iO2）を27重量％、及び残りが微量成分からなる酸化鉛
系光学ガラスを半径10mmの球形状に加工した硝材７を予
備加熱炉10で加熱した後、550℃に保持された上下の型
４、５の下型５の上におき、窒素ガス雰囲気中で上型４
でプレス圧5kg/mm2をかけ、硝材を変形させる。変形終
了後、上型，下型，硝材を380℃まで冷却する。そし
て、取り出し口12より成形された光学ガラス素子を取り
出し、常温まで冷却する。以上のような成形工程を各材
質の成形型で5000回繰り返した後、型4,5をプレスマシ
ンから取り外し、型表面の形状精度，表面粗さを測定し
型の優劣を評価した。
母材に超硬合金を用い、中間層としてニッケル、ニッ
ケル−リン合金を形成した後、中間層上に金属窒化物、
金属炭化物、金属硼化物、その他の合金を形成して構成
した成形型のプレス成形後の評価結果を表３に示す。
ケル−リン合金を形成した後、中間層上に金属窒化物、
金属炭化物、金属硼化物、その他の合金を形成して構成
した成形型のプレス成形後の評価結果を表３に示す。
いずれの構成の成形型においても5000回の成形後、型
に表面荒れや形状の変化は見られなかった。母材と中間
層と保護膜の接着性は良好で成形による膜の剥離はなか
った。また、各保護膜ともガラスとの反応も見られな
い。光学ガラス素子成形用型として充分な寿命を持って
いると言える。また、成形された光学ガラス素子の形状
も型形状を良好に転写しており光学ガラス素子性能を充
分に満たしている。実施例では中間層をニッケル、ニッ
ケル−リン合金及びニッケル−ホウ素合金であったがニ
ッケル−リンを主成分とする合金、ニッケル−ホウ素を
主成分とする合金の中間層を設けても問題はない。
に表面荒れや形状の変化は見られなかった。母材と中間
層と保護膜の接着性は良好で成形による膜の剥離はなか
った。また、各保護膜ともガラスとの反応も見られな
い。光学ガラス素子成形用型として充分な寿命を持って
いると言える。また、成形された光学ガラス素子の形状
も型形状を良好に転写しており光学ガラス素子性能を充
分に満たしている。実施例では中間層をニッケル、ニッ
ケル−リン合金及びニッケル−ホウ素合金であったがニ
ッケル−リンを主成分とする合金、ニッケル−ホウ素を
主成分とする合金の中間層を設けても問題はない。
発明の効果 以上のように本発明の光学ガラス素子成形用型の作製
方法は極めて硬い材質である母材，保護膜を加工する必
要なく、加工性の良い中間層を用いる事でダンヤモンド
バイトの加工寿命を延ばす事が可能で、良好な面形状を
備えた型が短時間で容易に作成できる。切削加工が可能
であるため曲率半径の小さな成形型の作製が可能であ
り、ダイヤモンドバイトの摩耗がほとんど生じないので
大口径の成形型の作製も容易で、多種多様の形状を持っ
た成形用型が作成できる。これにより成形される光学ガ
ラス素子の形状や種類も大幅に増加する。さらに高精度
な成形面を備えた本発明の成形型で成形された光学ガラ
ス素子は従来よりも光学性能の向上した安価な光学ガラ
ス素子となる。また、母材及び保護膜には耐熱性，耐衝
撃性など優れた材質を用いたため型寿命も長寿命であ
り、連続した成形にも充分に対応できる。
方法は極めて硬い材質である母材，保護膜を加工する必
要なく、加工性の良い中間層を用いる事でダンヤモンド
バイトの加工寿命を延ばす事が可能で、良好な面形状を
備えた型が短時間で容易に作成できる。切削加工が可能
であるため曲率半径の小さな成形型の作製が可能であ
り、ダイヤモンドバイトの摩耗がほとんど生じないので
大口径の成形型の作製も容易で、多種多様の形状を持っ
た成形用型が作成できる。これにより成形される光学ガ
ラス素子の形状や種類も大幅に増加する。さらに高精度
な成形面を備えた本発明の成形型で成形された光学ガラ
ス素子は従来よりも光学性能の向上した安価な光学ガラ
ス素子となる。また、母材及び保護膜には耐熱性，耐衝
撃性など優れた材質を用いたため型寿命も長寿命であ
り、連続した成形にも充分に対応できる。
第１図は本発明の一実施例における光学ガラス素子成形
用型の作製工程を示す概略断面図、第２図は本発明の一
実施例における光学ガラス素子成形用型で成形を行って
いる成形装置の一部を示す概略断面図である。 １……母材、２……中間層、３……保護膜、４……上成
形型、５……下成形型、６……上成形型用加熱ヒータ、
７……下成形型用加熱ヒータ、８……上成形型用加圧機
構、９……下成形型用加圧機構、10……供給ガラス、11
……ガラス供給用治具、12……光学ガラス素子取り出し
口、13……供給ガラス予備加熱炉、14……チャンバー。
用型の作製工程を示す概略断面図、第２図は本発明の一
実施例における光学ガラス素子成形用型で成形を行って
いる成形装置の一部を示す概略断面図である。 １……母材、２……中間層、３……保護膜、４……上成
形型、５……下成形型、６……上成形型用加熱ヒータ、
７……下成形型用加熱ヒータ、８……上成形型用加圧機
構、９……下成形型用加圧機構、10……供給ガラス、11
……ガラス供給用治具、12……光学ガラス素子取り出し
口、13……供給ガラス予備加熱炉、14……チャンバー。
フロントページの続き (72)発明者 青山 隆夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 白藤 芳則 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 井上 芳雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】炭化タングステン（WC）を主成分とする超
硬合金、あるいは窒化チタン（TiN）、炭化チタン（Ti
C）、炭化クロム（Cr2C3）、またはアルミナ（Al2O3）
の何れかを主成分とするサーメットの何れかを母材と
し、前記母材を所望する形状に近似した形状に加工した
後、中間層としてニッケル（Ni）金属、ニッケル（Ni）
−リン（Ｐ）を主成分とする合金、あるいはニッケル
（Ni）−ホウ素（Ｂ）を主成分とする合金の何れかを形
成した後、所望する形状に高精度に加工する工程を経た
後、前記中間層上に保護膜として金属窒化物、金属炭化
物、金属硼化物、イリジウム（Ir）−タングステン
（Ｗ）合金、ルテニウム（Ru）−タングステン（Ｗ）合
金、イリジウム（Ir）−タンタル（Ta）合金、ルテニウ
ム（Ru）−タンタル（Ta）合金、イリジウム（Ir）−レ
ニウム（Re）合金あるいはルテニウム（Ru）−レニウム
（Re）合金の何れかの合金膜を型の形状を崩さないよう
に被膜して作製することを特徴とする光学ガラス素子成
形用型の作製方法。 - 【請求項２】保護膜の窒化物が窒化チタン（TiN）、窒
化ジルコニア（ZrN）、窒化ハフニウム（HfN）、窒化タ
ンタル（TaN）、窒化クロム（CrN）及び窒化ニオブ（Nb
N）の何れかであることを特徴とする請求項（１）記載
の光学ガラス素子成形用型の作製方法。 - 【請求項３】保護膜の炭化物が炭化チタン（TiC）、炭
化ジルコニア（ZrC）、炭化ハフニウム（HfC）、炭化タ
ンタル（TaC）、炭化クロム（CrC）及び炭化ニオブ（Nb
C）の何れかであることを特徴とする請求項（１）記載
の光学ガラス素子成形用型の作製方法。 - 【請求項４】保護膜の硼化物が硼化チタン（TiB2）、硼
化ジルコニア（ZrB2）、硼化ハフニウム（HfB2）、硼化
タンタル（TaB2）、硼化クロム（CrB2）及び硼化ニオブ
（NbB2）の何れかであることを特徴とする請求項（１）
記載の光学ガラス素子成形用型の作製方法。 - 【請求項５】炭化タングステン（WC）を主成分とする超
硬合金、あるいは窒化チタン（TiN）、炭化チタン（Ti
C）、炭化クロム（Cr2C3）、またはアルミナ（Al2O3）
の何れかを主成分とするサーメットの何れかを母材と
し、前記母材を所望する形状に近似した形状に加工した
後、中間層としてニッケル（Ni）金属、ニッケル（Ni）
−リン（Ｐ）を主成分とする合金、あるいはニッケル
（Ni）−ホウ素（Ｂ）を主成分とする合金の何れかを形
成した後、所望する形状に高精度に加工する工程を経た
後、前記中間層上に保護膜として金属窒化物、金属炭化
物、金属硼化物、イリジウム（Ir）−タングステン
（Ｗ）合金、ルテニウム（Ru）−タングステン（Ｗ）合
金、イリジウム（Ir）−タンタル（Ta）合金、ルテニウ
ム（Ru）−タンタル（Ta）合金、イリジウム（Ir）−レ
ニウム（Re）合金あるいはルテニウム（Ru）−レニウム
（Re）合金の何れかの合金膜を型の形状を崩さないよう
に被膜して作製した成形用型を用いてプレス成形するこ
とを特徴とする光学ガラス素子の製造方法。 - 【請求項６】保護膜の窒化物が窒化チタン（TiN）、窒
化ジルコニア（ZrN）、窒化ハフニウム（HfN）、窒化タ
ンタル（TaN）、窒化クロム（CrN）及び窒化ニオブ（Nb
N）の何れかである成形用型を用いてプレス成形するこ
とを特徴とする請求項（５）記載の光学ガラス素子の製
造方法。 - 【請求項７】保護膜の炭化物が炭化チタン（TiC）、炭
化ジルコニア（ZrC）、炭化ハフニウム（HfC）、炭化タ
ンタル（TaC）、炭化クロム（CrC）及び炭化ニオブ（Nb
C）の何れかである成形用型を用いてプレス成形するこ
とを特徴とする請求項（５）記載の光学ガラス素子の製
造方法。 - 【請求項８】保護膜の硼化物が硼化チタン（TiB2）、硼
化ジルコニア（ZrB2）、硼化ハフニウム（HfB2）、硼化
タンタル（TaB2）、硼化クロム（CrB2）及び硼化ニオブ
（NbB2）の何れかである成形用型を用いてプレス成形す
ることを特徴とする請求項（５）記載の光学ガラス素子
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18407089A JPH085680B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18407089A JPH085680B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350127A JPH0350127A (ja) | 1991-03-04 |
| JPH085680B2 true JPH085680B2 (ja) | 1996-01-24 |
Family
ID=16146855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18407089A Expired - Fee Related JPH085680B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085680B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0636585B1 (en) * | 1993-07-28 | 1998-11-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Die for press-molding optical elements and methods of manufacturing and using the same |
| US6003336A (en) * | 1993-07-28 | 1999-12-21 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Method of manufacturing a die for press-molding optical elements |
| DE102006059775A1 (de) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Schott Ag | Beschichtung für Formwerkzeuge |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP18407089A patent/JPH085680B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0350127A (ja) | 1991-03-04 |
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