JPH05294642A - 光学ガラス素子の成形用金型及び光学ガラス素子の製造方法 - Google Patents
光学ガラス素子の成形用金型及び光学ガラス素子の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高温度でもガラスに対して化学的に不活性であ
り、ガラスの成形面となる部分が充分硬く、擦傷等の損
傷を受けにくく、高温での成形により成形面が塑性変形
や粒成長を起こさず、繰り返し成形が行えるように耐熱
衝撃性が優れ、超精密加工が行えるように加工性に優れ
ている光学ガラス素子の製造。 【構成】金型母材１１のプレス面に窒化膜、炭化膜ある
いはほう化膜と白金族合金膜とを交互に積層した多層膜
１２を形成して光学ガラス素子のプレス成形用金型を作
製し、この金型を用いて高融点のガラスをプレス成形す
る。窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と白金族合金膜と
を交互に積層することによって、窒化膜、炭化膜あるい
はほう化膜の優れた耐熱性と白金族合金膜のガラスに対
する非反応性を兼ね備えた金型を提供し、高融点ガラス
を繰り返しプレス成形し、高精度の光学ガラス素子を作
製することを可能とした。
り、ガラスの成形面となる部分が充分硬く、擦傷等の損
傷を受けにくく、高温での成形により成形面が塑性変形
や粒成長を起こさず、繰り返し成形が行えるように耐熱
衝撃性が優れ、超精密加工が行えるように加工性に優れ
ている光学ガラス素子の製造。 【構成】金型母材１１のプレス面に窒化膜、炭化膜ある
いはほう化膜と白金族合金膜とを交互に積層した多層膜
１２を形成して光学ガラス素子のプレス成形用金型を作
製し、この金型を用いて高融点のガラスをプレス成形す
る。窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と白金族合金膜と
を交互に積層することによって、窒化膜、炭化膜あるい
はほう化膜の優れた耐熱性と白金族合金膜のガラスに対
する非反応性を兼ね備えた金型を提供し、高融点ガラス
を繰り返しプレス成形し、高精度の光学ガラス素子を作
製することを可能とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高精度な形状を有する光
学ガラス素子を製造するための光学ガラス素子の製造方
法と、そのために必要な成形用金型に関するものであ
る。
学ガラス素子を製造するための光学ガラス素子の製造方
法と、そのために必要な成形用金型に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】高精度の光学ガラス素子を、加圧成形し
て製造する場合良好な像形成品質が要求される。このた
め金型材料としては高温度でもガラスに対して化学的に
不活性であり、また、ガラスの成形面となる部分が、充
分硬く、擦傷等の損傷を受けにくく、高温での成形によ
り成形面が塑性変形や粒成長を起こさず、繰り返し成形
が行えるように耐熱衝撃性が優れ、さらに、超精密加工
が行えるように加工性に優れていることが必要である。
従来知られている金型材料としては、ＳｉＣまたはＳｉ
3Ｎ4が報告されている（特開昭５２−４５６１３号公報
参照）。
て製造する場合良好な像形成品質が要求される。このた
め金型材料としては高温度でもガラスに対して化学的に
不活性であり、また、ガラスの成形面となる部分が、充
分硬く、擦傷等の損傷を受けにくく、高温での成形によ
り成形面が塑性変形や粒成長を起こさず、繰り返し成形
が行えるように耐熱衝撃性が優れ、さらに、超精密加工
が行えるように加工性に優れていることが必要である。
従来知られている金型材料としては、ＳｉＣまたはＳｉ
3Ｎ4が報告されている（特開昭５２−４５６１３号公報
参照）。
【０００３】また、最近では超硬合金母材上に白金族合
金薄膜をコーティングした金型も提案されている（特開
昭６０−２４６２３０）。
金薄膜をコーティングした金型も提案されている（特開
昭６０−２４６２３０）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、そのよ
うなＳｉＣまたはＳｉ3Ｎ4を金型材料に用いた場合、こ
れらの材料は極めて硬度が高いために、所望の形状の成
形用金型に加工すること自体が非常に困難であり、さら
に、これらの材料はいずれも高温でガラスとの反応性に
富んでいるので、繰り返しプレス成形を行なうと、ガラ
スが金型に付着し、高精度な光学ガラス素子が成形でき
なくなるという課題が存在する。
うなＳｉＣまたはＳｉ3Ｎ4を金型材料に用いた場合、こ
れらの材料は極めて硬度が高いために、所望の形状の成
形用金型に加工すること自体が非常に困難であり、さら
に、これらの材料はいずれも高温でガラスとの反応性に
富んでいるので、繰り返しプレス成形を行なうと、ガラ
スが金型に付着し、高精度な光学ガラス素子が成形でき
なくなるという課題が存在する。
【０００５】また、超硬合金母材上に白金族合金薄膜を
コーティングした金型は加工性に優れ、低融点ガラスで
あれば繰り返しプレス成形を行なっても高精度の光学ガ
ラス素子を成形できるが、高融点ガラスをプレス成形す
ると粒成長により面荒れが生じ、高精度な光学ガラス素
子が成形できなくなるという課題があった。
コーティングした金型は加工性に優れ、低融点ガラスで
あれば繰り返しプレス成形を行なっても高精度の光学ガ
ラス素子を成形できるが、高融点ガラスをプレス成形す
ると粒成長により面荒れが生じ、高精度な光学ガラス素
子が成形できなくなるという課題があった。
【０００６】本発明は、このような従来の高融点の光学
ガラス素子の製造方法の課題を考慮し、高温度でもガラ
スに対して化学的に不活性であり、また、ガラスの成形
面となる部分が、充分硬く、擦傷等の損傷を受けにく
く、高温での成形により成形面が塑性変形や粒成長を起
こさず、繰り返し成形が行えるように耐熱衝撃性が優
れ、さらに、超精密加工が行えるように加工性に優れて
いる光学ガラス素子の成形用金型を提供することを目的
とするものである。
ガラス素子の製造方法の課題を考慮し、高温度でもガラ
スに対して化学的に不活性であり、また、ガラスの成形
面となる部分が、充分硬く、擦傷等の損傷を受けにく
く、高温での成形により成形面が塑性変形や粒成長を起
こさず、繰り返し成形が行えるように耐熱衝撃性が優
れ、さらに、超精密加工が行えるように加工性に優れて
いる光学ガラス素子の成形用金型を提供することを目的
とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、光学ガラス素
子の形状に高精度に加工した、タングステンカーバイド
（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、チタンカーバイド
（ＴｉＣ）あるいはチタンナイトライド（ＴｉＮ）を主
成分とするサーメットまたはＷＣ焼結体からなる母材の
成形面に、窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と白金族合
金膜とを交互に積層した多層膜が形成されている光学ガ
ラス素子の成形用金型である。
子の形状に高精度に加工した、タングステンカーバイド
（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、チタンカーバイド
（ＴｉＣ）あるいはチタンナイトライド（ＴｉＮ）を主
成分とするサーメットまたはＷＣ焼結体からなる母材の
成形面に、窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と白金族合
金膜とを交互に積層した多層膜が形成されている光学ガ
ラス素子の成形用金型である。
【０００８】また、本発明は、光学ガラス素子の形状に
高精度に加工したＷＣを主成分とする超硬合金、ＴｉＣ
あるいはＴｉＮを主成分とするサーメットまたはＷＣ焼
結体からなる母材の成形面に、窒化膜、炭化膜あるいは
ほう化膜と、白金族合金膜とを交互に積層した多層膜を
形成してなる上下一対の成形用金型の間に、成型対象の
ガラス塊を設置し、そのガラスの軟化点以上に加熱した
後、加圧成形して光学ガラス素子を製造する光学ガラス
素子の製造方法である。
高精度に加工したＷＣを主成分とする超硬合金、ＴｉＣ
あるいはＴｉＮを主成分とするサーメットまたはＷＣ焼
結体からなる母材の成形面に、窒化膜、炭化膜あるいは
ほう化膜と、白金族合金膜とを交互に積層した多層膜を
形成してなる上下一対の成形用金型の間に、成型対象の
ガラス塊を設置し、そのガラスの軟化点以上に加熱した
後、加圧成形して光学ガラス素子を製造する光学ガラス
素子の製造方法である。
【０００９】
【作用】本発明では、耐熱性に優れた窒化物、炭化物あ
るいはほう化物と、溶融ガラスとの反応性の乏しい白金
族合金とを交互に積層した多層膜を金型表面に形成する
ことによって、窒化物、炭化物あるいはほう化物の欠点
であるガラスとの反応性を改善し、さらに、白金族合金
の欠点である耐熱性を著しく向上させ、両方の利点を兼
ね備えた金型を製造出来る。従って、本発明の金型を用
いることによって、従来成形が困難であった、ＢＫ−
７、ＳＫ系、Ｌａ系等の高融点光学ガラスをプレス成形
できるようになる。
るいはほう化物と、溶融ガラスとの反応性の乏しい白金
族合金とを交互に積層した多層膜を金型表面に形成する
ことによって、窒化物、炭化物あるいはほう化物の欠点
であるガラスとの反応性を改善し、さらに、白金族合金
の欠点である耐熱性を著しく向上させ、両方の利点を兼
ね備えた金型を製造出来る。従って、本発明の金型を用
いることによって、従来成形が困難であった、ＢＫ−
７、ＳＫ系、Ｌａ系等の高融点光学ガラスをプレス成形
できるようになる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１１】先ず、本発明の光学ガラス素子の製造方法
の一実施例に付いて説明する。まず、直径２０mm、厚さ
６mmのＴｉＮを主成分とするサーメットを、曲率半径が
それぞれ４６mm及び２００mmの凹面形状のプレス面を有
する上下の型からなる一対の光学ガラスレンズのプレス
成形用型に加工した。これらの型のプレス面を超微細な
ダイヤモンド砥粒を用いて鏡面に研磨した。次に、この
鏡面状に研磨したプレス面にスパッタリング法によって
多層膜を形成した。この多層膜はＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合
金をそれぞれ３００Åずつ交互に積層し、全体の膜厚を
約１μｍとした。
の一実施例に付いて説明する。まず、直径２０mm、厚さ
６mmのＴｉＮを主成分とするサーメットを、曲率半径が
それぞれ４６mm及び２００mmの凹面形状のプレス面を有
する上下の型からなる一対の光学ガラスレンズのプレス
成形用型に加工した。これらの型のプレス面を超微細な
ダイヤモンド砥粒を用いて鏡面に研磨した。次に、この
鏡面状に研磨したプレス面にスパッタリング法によって
多層膜を形成した。この多層膜はＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合
金をそれぞれ３００Åずつ交互に積層し、全体の膜厚を
約１μｍとした。
【００１２】図１は、このようにして作製した金型の片
方の断面図である。ＴｉＮを主成分とするサーメットを
レンズの反転形状に精密に加工した母材１１の表面に、
ＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合金をそれぞれ３００Åずつ交互に
積層した多層膜１２が形成されている。
方の断面図である。ＴｉＮを主成分とするサーメットを
レンズの反転形状に精密に加工した母材１１の表面に、
ＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合金をそれぞれ３００Åずつ交互に
積層した多層膜１２が形成されている。
【００１３】このような上下型を図２に示したプレス成
形機にセットする。図２に於て、上型用固定ブロック２
１は、上型２３を固定するためのブロックであり、その
中に上型用加熱ヒーター２２が埋設されている。下型用
固定ブロック２７は、下型２５を固定するためのブロッ
クであり、その中に下型用加熱ヒーター２６が埋設され
ている。その上型２３内には、上型用熱電対２８が、ま
た、下型２５内には下型用熱電対２９が埋設されてい
る。そして、上型２３と下型２５の間には、加工しよう
とするガラス塊２４が挟まれている。なお、２１０はプ
ランジャー、２１１は位置決めセンサー、２１２はスト
ッパー、２１３は覆いである。
形機にセットする。図２に於て、上型用固定ブロック２
１は、上型２３を固定するためのブロックであり、その
中に上型用加熱ヒーター２２が埋設されている。下型用
固定ブロック２７は、下型２５を固定するためのブロッ
クであり、その中に下型用加熱ヒーター２６が埋設され
ている。その上型２３内には、上型用熱電対２８が、ま
た、下型２５内には下型用熱電対２９が埋設されてい
る。そして、上型２３と下型２５の間には、加工しよう
とするガラス塊２４が挟まれている。なお、２１０はプ
ランジャー、２１１は位置決めセンサー、２１２はスト
ッパー、２１３は覆いである。
【００１４】このようなプレス成形機を用いて成形す
る。すなわち、半径１０ｍｍの球面形状に加工したＳＫ
−１４ガラス塊２４を下型２５の上に置き、その上に上
型２３を置いて、そのまま７００℃まで昇温し、窒素雰
囲気で約４０Ｋｇ／ｃｍ2のプレス圧により２分間圧力
を保持し、その後、そのままの状態で６００℃まで冷却
して、成形された光学ガラス素子を取り出して、光学ガ
ラス素子のプレス成形工程を完了する。
る。すなわち、半径１０ｍｍの球面形状に加工したＳＫ
−１４ガラス塊２４を下型２５の上に置き、その上に上
型２３を置いて、そのまま７００℃まで昇温し、窒素雰
囲気で約４０Ｋｇ／ｃｍ2のプレス圧により２分間圧力
を保持し、その後、そのままの状態で６００℃まで冷却
して、成形された光学ガラス素子を取り出して、光学ガ
ラス素子のプレス成形工程を完了する。
【００１５】以上の工程を繰り返して、１０，０００回
目のプレス終了時に上下の金型２３及び２５を成形機よ
り取り外して、プレス面の状態を光学顕微鏡により観察
し、同時に、その時の表面粗さ（ｒｍｓ値、Å）を測定
して、それぞれの型精度を評価した。比較実験として、
従来使用されていたＳｉＣ焼結体の金型およびＷＣを主
成分とする超硬合金母材にＰｔ−Ｉｒ合金膜を形成した
金型を作製し、同様に１０，０００回プレス成形を行い
型精度を評価した。
目のプレス終了時に上下の金型２３及び２５を成形機よ
り取り外して、プレス面の状態を光学顕微鏡により観察
し、同時に、その時の表面粗さ（ｒｍｓ値、Å）を測定
して、それぞれの型精度を評価した。比較実験として、
従来使用されていたＳｉＣ焼結体の金型およびＷＣを主
成分とする超硬合金母材にＰｔ−Ｉｒ合金膜を形成した
金型を作製し、同様に１０，０００回プレス成形を行い
型精度を評価した。
【００１６】プレス試験の結果を表１に示す。
【００１７】
【表１】 試料Ｎｏ．２のＳｉＣ焼結体で作製した従来の金型は数
回のプレス成形によって、上下両方の金型ともに、表面
にガラスが付着しそれ以上ガラスをプレスすることがで
きなくなった。
回のプレス成形によって、上下両方の金型ともに、表面
にガラスが付着しそれ以上ガラスをプレスすることがで
きなくなった。
【００１８】試料Ｎｏ．３のＷＣ母材のＰｔ−Ｉｒ合金
膜を形成した従来の金型では、プレス成形回数が増すに
従い、表面粗さが徐々に大きくなり、１０，０００回の
プレス後には上型が５７．９Å、下型が６８．１Åとな
り、プレス前に比べてかなり表面が荒れてしまうことが
わかる。これらの表面を顕微鏡によって観察すると、粒
成長が認められ、耐熱性が良くないことがわかる。
膜を形成した従来の金型では、プレス成形回数が増すに
従い、表面粗さが徐々に大きくなり、１０，０００回の
プレス後には上型が５７．９Å、下型が６８．１Åとな
り、プレス前に比べてかなり表面が荒れてしまうことが
わかる。これらの表面を顕微鏡によって観察すると、粒
成長が認められ、耐熱性が良くないことがわかる。
【００１９】以上のように、従来のガラスのプレス成形
に使用されていた金型ではＳＫ−１４ガラスのような高
融点ガラスを、繰り返し高精度にプレス成形することが
できなかった。
に使用されていた金型ではＳＫ−１４ガラスのような高
融点ガラスを、繰り返し高精度にプレス成形することが
できなかった。
【００２０】これらの金型に比べて、試料Ｎｏ．１の本
発明の金型はＳＫ−１４ガラスを繰り返しプレス成形し
ても、表面状態はまったく変化せず、１００００回プレ
ス後も、表面粗さの変化は認められなかった。すなわ
ち、ＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合金をそれぞれ３００Åずつ交
互に積層することによって、ＴｉＮの欠点である、ガラ
スとの反応性を抑制し、Ｐｔ−Ｉｒ合金の欠点である、
耐熱性を向上させることができた。
発明の金型はＳＫ−１４ガラスを繰り返しプレス成形し
ても、表面状態はまったく変化せず、１００００回プレ
ス後も、表面粗さの変化は認められなかった。すなわ
ち、ＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合金をそれぞれ３００Åずつ交
互に積層することによって、ＴｉＮの欠点である、ガラ
スとの反応性を抑制し、Ｐｔ−Ｉｒ合金の欠点である、
耐熱性を向上させることができた。
【００２１】このように、本発明の金型を用いることに
よってＳＫ−１４ガラスのような高融点ガラスでも非常
に精度良く、繰り返しプレス成形することができるよう
になった。
よってＳＫ−１４ガラスのような高融点ガラスでも非常
に精度良く、繰り返しプレス成形することができるよう
になった。
【００２２】なお、本発明を説明するために、実施例に
於て、プレス成形用金型の母材として、ＴｉＮを主成分
とするサーメットを用いたが、タングステンカーバイド
（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、チタンカーバイド
（ＴｉＣ）あるいはチタンナイトライド（ＴｉＮ）を主
成分とするサーメットまたはＷＣ焼結体を母材に用いて
も全く同様の結果が得られた。
於て、プレス成形用金型の母材として、ＴｉＮを主成分
とするサーメットを用いたが、タングステンカーバイド
（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、チタンカーバイド
（ＴｉＣ）あるいはチタンナイトライド（ＴｉＮ）を主
成分とするサーメットまたはＷＣ焼結体を母材に用いて
も全く同様の結果が得られた。
【００２３】また、多層膜にはＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合金
をそれぞれ３００Åずつ交互に積層した膜を示したが、
耐熱性のある他の窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と、
ガラスとの反応性の乏しい他の白金族合金膜とを交互に
積層した多層膜を用いても同様の結果が得られた。更
に、その窒化膜の例としては、ＴｉＮ、シリコンナイト
ライド（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミニウムナイトライド（Ａｌ
Ｎ）、タンタルナイトライド（ＴａＮ）、ジルコニウム
ナイトライド（ＺｒＮ）あるいはチタンアルミニウムナ
イトライド（ＴｉＡｌＮ）等が可能である。また、炭化
膜の例としては、ＴｉＣ、シリコンカーバイド（Ｓｉ
Ｃ）、タンタルカーバイド（ＴａＣ）、ジルコニウムカ
ーバイド（ＺｒＣ）あるいはクロムカーバイド（Ｃｒ2
Ｃ3）が可能である。また、ほう化膜の例としては、ジ
ルコニウムボライド（ＺｒＢ2）、ニオビウムボライド
（ＮｂＢ2）あるいはタンタルボライド（ＴａＢ2）等が
可能である。また、白金族合金膜の例としては、白金
（Ｐｔ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、ル
テニウム（Ｒｕ）あるいはオスミウム（Ｏｓ）の中から
少なくとも１種類以上含有する合金膜等が可能である。
をそれぞれ３００Åずつ交互に積層した膜を示したが、
耐熱性のある他の窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と、
ガラスとの反応性の乏しい他の白金族合金膜とを交互に
積層した多層膜を用いても同様の結果が得られた。更
に、その窒化膜の例としては、ＴｉＮ、シリコンナイト
ライド（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミニウムナイトライド（Ａｌ
Ｎ）、タンタルナイトライド（ＴａＮ）、ジルコニウム
ナイトライド（ＺｒＮ）あるいはチタンアルミニウムナ
イトライド（ＴｉＡｌＮ）等が可能である。また、炭化
膜の例としては、ＴｉＣ、シリコンカーバイド（Ｓｉ
Ｃ）、タンタルカーバイド（ＴａＣ）、ジルコニウムカ
ーバイド（ＺｒＣ）あるいはクロムカーバイド（Ｃｒ2
Ｃ3）が可能である。また、ほう化膜の例としては、ジ
ルコニウムボライド（ＺｒＢ2）、ニオビウムボライド
（ＮｂＢ2）あるいはタンタルボライド（ＴａＢ2）等が
可能である。また、白金族合金膜の例としては、白金
（Ｐｔ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、ル
テニウム（Ｒｕ）あるいはオスミウム（Ｏｓ）の中から
少なくとも１種類以上含有する合金膜等が可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたところから明らかなように、
本発明は、光学ガラス素子の形状に高精度に加工した、
ＷＣを主成分とする超硬合金、ＴｉＣあるいはＴｉＮを
主成分とするサーメットまたはＷＣ焼結体からなる母材
の成形面に、窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と白金族
合金膜とを交互に積層した多層膜を形成することによっ
て、耐熱性が良く、ガラスと反応しない光学ガラス素子
のプレス成形用金型を提供出来る。
本発明は、光学ガラス素子の形状に高精度に加工した、
ＷＣを主成分とする超硬合金、ＴｉＣあるいはＴｉＮを
主成分とするサーメットまたはＷＣ焼結体からなる母材
の成形面に、窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と白金族
合金膜とを交互に積層した多層膜を形成することによっ
て、耐熱性が良く、ガラスと反応しない光学ガラス素子
のプレス成形用金型を提供出来る。
【００２５】従って、本発明の金型を用いることによっ
て、ＳＫ−１４のような高融点のガラスも、精度良く繰
り返しプレス成形が可能となる。
て、ＳＫ−１４のような高融点のガラスも、精度良く繰
り返しプレス成形が可能となる。
【図１】本発明の一実施例のプレス成形用金型の概略断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の光学ガラス素子のプレス成形用金型を
組み込んだプレス成形機の概略図である。
組み込んだプレス成形機の概略図である。
１１ ＴｉＮを主成分とするサーメットをレンズの反転
形状に精密に加工した母材 １２ ＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合金をそれぞれ３００Åずつ
交互に積層した多層膜 ２４ ガラス材料
形状に精密に加工した母材 １２ ＴｉＮとＰｔ−Ｉｒ合金をそれぞれ３００Åずつ
交互に積層した多層膜 ２４ ガラス材料
Claims (6)
- 【請求項１】 光学ガラス素子の形状に高精度に加工し
た、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超
硬合金、チタンカーバイド（ＴｉＣ）あるいはチタンナ
イトライド（ＴｉＮ）を主成分とするサーメットまたは
ＷＣ焼結体からなる母材の成形面に、窒化膜、炭化膜あ
るいはほう化膜と白金族合金膜とを交互に積層した多層
膜が形成されていることを特徴とする光学ガラス素子の
成形用金型。 - 【請求項２】 窒化膜が、ＴｉＮ、シリコンナイトライ
ド（Ｓｉ3Ｎ4）、アルミニウムナイトライド（Ａｌ
Ｎ）、タンタルナイトライド（ＴａＮ）、ジルコニウム
ナイトライド（ＺｒＮ）あるいはチタンアルミニウムナ
イトライド（ＴｉＡｌＮ）であることを特徴とする請求
項１記載の光学ガラス素子の成形用金型。 - 【請求項３】 炭化膜が、ＴｉＣ、シリコンカーバイド
（ＳｉＣ）、タンタルカーバイド（ＴａＣ）、ジルコニ
ウムカーバイド（ＺｒＣ）あるいはクロムカーバイド
（Ｃｒ2Ｃ3）であることを特徴とする請求項１記載の光
学ガラス素子の成形用金型。 - 【請求項４】 ほう化膜が、ジルコニウムボライド（Ｚ
ｒＢ2）、ニオビウムボライド（ＮｂＢ2）あるいはタン
タルボライド（ＴａＢ2）であることを特徴とする請求
項１記載の光学ガラス素子の成形用金型。 - 【請求項５】 白金族合金膜が、白金（Ｐｔ）、ロジウ
ム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、ルテニウム（Ｒｕ）
あるいはオスミウム（Ｏｓ）の中の、少なくとも１種類
以上の金属を含有する合金膜であることを特徴とする請
求項１記載の光学ガラス素子の成形用金型。 - 【請求項６】 光学ガラス素子の形状に高精度に加工し
たＷＣを主成分とする超硬合金、ＴｉＣあるいはＴｉＮ
を主成分とするサーメットまたはＷＣ焼結体からなる母
材の成形面に、窒化膜、炭化膜あるいはほう化膜と、白
金族合金膜とを交互に積層した多層膜を形成してなる上
下一対の成形用金型の間に、成型対象のガラス塊を設置
し、そのガラスの軟化点以上に加熱した後、加圧成形し
て光学ガラス素子を製造することを特徴する光学ガラス
素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10117692A JPH05294642A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 光学ガラス素子の成形用金型及び光学ガラス素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10117692A JPH05294642A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 光学ガラス素子の成形用金型及び光学ガラス素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05294642A true JPH05294642A (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=14293697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10117692A Pending JPH05294642A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 光学ガラス素子の成形用金型及び光学ガラス素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05294642A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116179884A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-05-30 | 吉林大学 | 一种真空感应熔炼法制备钛包覆NbB2纳米颗粒增强TiAl合金的方法 |
-
1992
- 1992-04-21 JP JP10117692A patent/JPH05294642A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116179884A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-05-30 | 吉林大学 | 一种真空感应熔炼法制备钛包覆NbB2纳米颗粒增强TiAl合金的方法 |
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