JPH0856078A - Manufacture of ceramic green sheet with film and processing - Google Patents
Manufacture of ceramic green sheet with film and processingInfo
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- JPH0856078A JPH0856078A JP6188151A JP18815194A JPH0856078A JP H0856078 A JPH0856078 A JP H0856078A JP 6188151 A JP6188151 A JP 6188151A JP 18815194 A JP18815194 A JP 18815194A JP H0856078 A JPH0856078 A JP H0856078A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、積層コンデンサ，積層
インダクタ，多層基板等の各種積層型電子部品に使用さ
れるフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法
及びその加工装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a ceramic green sheet with a film used in various laminated electronic parts such as a laminated capacitor, a laminated inductor, a multilayer substrate and the like, and a processing apparatus therefor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】積層型電子部品の層材料として用いられ
るセラミックグリーンシート（以下、単にグリーンシー
トと言う）は、部品製造過程での取扱いを容易にするた
めＰＥＴ等のフィルム上に形成される場合が多い。2. Description of the Related Art A ceramic green sheet (hereinafter, simply referred to as a green sheet) used as a layer material for a laminated electronic component is formed on a film such as PET for easy handling in the component manufacturing process. There are many.
【０００３】このフィルム付きのグリーンシートは、セ
ラミック粉末と水，溶剤等の溶媒と有機バインダーとを
適宜割合で混合し調製したセラミックスラリーを、長さ
方向に走行する帯状フィルム上にドクターブレードやロ
ールコータ等によって連続塗工し、これを乾燥させる方
法により製造されている。This green sheet with a film is prepared by mixing a ceramic powder, water, a solvent such as a solvent, and an organic binder in an appropriate ratio, and preparing a ceramic slurry on a strip-shaped film running in the length direction by a doctor blade or a roll. It is manufactured by a method of continuously coating with a coater or the like and drying this.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の製造方法では、図４に示すように塗工，乾燥後のグ
リーンシートＳの幅方向両端部分の厚みｔ１が他の部分
の厚みｔ２よりも大きくなる問題が発生し易く、特にセ
ラミックスラリーが水溶性バインダーを含む場合にその
差は顕著なものとなる。However, in the above-described conventional manufacturing method, as shown in FIG. 4, the thickness t1 of the widthwise end portions of the green sheet S after coating and drying is larger than the thickness t2 of other portions. The problem of increasing the size is likely to occur, and the difference becomes remarkable especially when the ceramic slurry contains a water-soluble binder.
【０００５】この問題は、塗工されたセラミックスラリ
ーにおける幅方向両端部分の表面張力と他の部分の表面
張力とに差が生じることが原因となっており、スラリー
塗工を前提とする当該方法では基本的に回避することが
できない。This problem is caused by the difference in the surface tension between the widthwise end portions of the coated ceramic slurry and the surface tension of the other portions, and the method based on the slurry coating is used. So basically it cannot be avoided.
【０００６】グリーンシートＳに生じる上記のような厚
みのばらつきは、部品製造過程で該シートＳをフィルム
Ｆから剥離、又は該シートＳからフィルムＦから剥離す
る際にシート変形や破損を生じる原因となることに加
え、積層型電子部品に積層不良や寸法不良等を招来す
る。The above-mentioned variation in thickness occurring in the green sheet S is a cause of sheet deformation or damage when the sheet S is peeled from the film F or the sheet S is peeled from the film F in the process of manufacturing a component. In addition to this, stacking defects and dimensional defects are caused in the multilayer electronic component.
【０００７】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、均一厚みのセラミックグ
リーンシートを得ることができる製造方法及びその加工
装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a manufacturing method and a processing apparatus therefor capable of obtaining a ceramic green sheet having a uniform thickness.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、長さ方向に走行する帯状フィル
ムの一面にセラミックスラリーを連続塗工するフィルム
付きセラミックグリーンシートの製造方法において、塗
工後のセラミックグリーンクシートの幅方向両端部にシ
ート端から所定距離をおいてシート厚に相当する深さの
切り込み線を平行に形成する工程と、セラミックグリー
ンシートの切り込み線外側部分を帯状フィルムから剥離
して除去する工程とを具備したことを特徴としている。To achieve the above object, the invention of claim 1 provides a method for producing a ceramic green sheet with a film, wherein a ceramic slurry is continuously applied to one surface of a strip-shaped film running in the length direction. , A step of forming a score line parallel to the widthwise ends of the coated ceramic green sheet at a predetermined distance from the sheet edge and having a depth corresponding to the sheet thickness, and a portion of the ceramic green sheet outside the score line in a strip shape. And a step of peeling and removing from the film.
【０００９】請求項２の発明は、帯状フィルムの一面に
セラミックスラリーを塗工して形成されたフィルム付き
セラミックグリーンシートの加工装置であって、セラミ
ックグリーンクシートの幅方向両端部にシート端から所
定距離をおいてシート厚に相当する深さの切り込み線を
平行に形成する切断手段と、セラミックグリーンシート
の切り込み線外側部分を帯状フィルムから剥離する剥離
手段とを具備したことを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a processing device for a ceramic green sheet with a film, which is formed by coating a ceramic slurry on one surface of a strip-shaped film. It is characterized in that it is provided with cutting means for forming parallel cut lines having a depth corresponding to the sheet thickness at a distance, and peeling means for peeling the outside cut line of the ceramic green sheet from the strip film.
【００１０】請求項３の発明は、請求項２記載の加工装
置において、切断手段が、シート幅方向に所定間隔をお
いて配置されその刃先をセラミックグリーンシートを通
じて帯状フィルムに接する１対の切断刃から成ることを
特徴としている。According to a third aspect of the present invention, in the processing apparatus according to the second aspect, the cutting means has a pair of cutting blades which are arranged at predetermined intervals in the sheet width direction and whose cutting edges are in contact with the strip-shaped film through the ceramic green sheets. It is characterized by consisting of.
【００１１】請求項４の発明は、請求項２又は３記載の
加工装置において、剥離手段が、シート幅方向に所定間
隔をおいて配置されその上端を帯状フィルムのシート形
成面に接する１対のプレートとから成ることを特徴とし
ている。According to a fourth aspect of the present invention, in the processing apparatus according to the second or third aspect, the pair of peeling means are arranged at a predetermined interval in the sheet width direction, and their upper ends are in contact with the sheet forming surface of the strip film. It is characterized by consisting of a plate.
【００１２】請求項５の発明は、請求項２乃至４の何れ
か１項記載の加工装置において、剥離手段が、シート幅
方向に所定間隔をおいて配置されその周面を粘着力又は
吸着力をもってセラミックグリーンシートに接する１対
のローラとから成ることを特徴とする請求項２乃至４の
何れか１項記載のフィルム付きセラミックグリーンシー
トの加工装置。According to a fifth aspect of the present invention, in the processing apparatus according to any one of the second to fourth aspects, the peeling means are arranged at a predetermined interval in the sheet width direction, and the peripheral surface thereof has an adhesive force or a suction force. 5. The apparatus for processing a film-attached ceramic green sheet according to claim 2, further comprising a pair of rollers contacting the ceramic green sheet.
【００１３】請求項６の発明は、請求項２乃至５の何れ
か１項記載の加工装置において、セラミックグリーンシ
ートの剥離部分を吸引する吸引手段を具備したことを特
徴としている。The invention of claim 6 is characterized in that, in the processing apparatus of any one of claims 2 to 5, there is provided a suction means for sucking a peeled portion of the ceramic green sheet.
【００１４】[0014]
【作用】請求項１の発明に係る製造方法では、長さ方向
に走行する帯状フィルムの一面にセラミックスラリーを
連続塗工して形成されたセラミックグリーンシートは、
幅方向両端部にシート端から所定距離をおいてシート厚
に相当する深さの切り込み線を平行に形成され、そして
切り込み線外側部分を帯状フィルムから剥離して除去さ
れる。In the manufacturing method according to the first aspect of the invention, the ceramic green sheet formed by continuously coating the ceramic slurry on one surface of the strip-shaped film traveling in the length direction is
A notch line having a depth corresponding to the sheet thickness is formed in parallel at both end portions in the width direction at a predetermined distance from the sheet end, and an outer portion of the notch line is peeled and removed from the strip film.
【００１５】請求項２の発明に係る加工装置では、帯状
フィルムの一面に形成されたセラミックグリーンシート
は、切断手段によってその幅方向両端部にシート端から
所定距離をおいてシート厚に相当する深さの切り込み線
を平行に形成され、そして剥離手段によってその切り込
み線外側部分を帯状フィルムから剥離される。In the processing apparatus according to the second aspect of the invention, the ceramic green sheet formed on one surface of the strip-shaped film has a depth corresponding to the sheet thickness at both ends in the width direction by the cutting means at a predetermined distance from the sheet end. The score lines are formed in parallel, and the outer portion of the score lines is peeled from the strip film by peeling means.
【００１６】請求項３の発明に係る加工装置では、その
刃先をセラミックグリーンシートを通じて帯状フィルム
に接する一対の切断刃により、セラミックグリーンシー
トの幅方向両端部にシート厚に相当する深さの切り込み
線が平行に形成される。他の作用は請求項２の発明と同
様である。In the processing apparatus according to the third aspect of the present invention, a pair of cutting blades whose blade edges are in contact with the strip-shaped film through the ceramic green sheet is provided with a cutting line having a depth corresponding to the sheet thickness at both widthwise ends of the ceramic green sheet. Are formed in parallel. Other functions are similar to those of the invention of claim 2.
【００１７】請求項４の発明に係る加工装置では、その
上端を帯状フィルムのシート形成面に接する１対のプレ
ートにより、セラミックグリーンシートの切り込み線外
側部分が持ち上げられ帯状フィルムから剥離される。他
の作用は請求項２，３の発明と同様である。In the processing apparatus according to the fourth aspect of the present invention, the outer side of the cut line of the ceramic green sheet is lifted and separated from the strip-shaped film by the pair of plates whose upper ends are in contact with the sheet forming surface of the strip-shaped film. Other functions are similar to those of the inventions of claims 2 and 3.
【００１８】請求項５の発明に係る加工装置では、その
周面を粘着力又は吸着力をもってセラミックグリーンシ
ートに接する１対のローラにより、セラミックグリーン
シートの切り込み線外側部分が引き込まれて帯状フィル
ムから剥離される。他の作用は請求項２乃至４の発明と
同様である。In the processing apparatus according to the fifth aspect of the present invention, the outer side of the cut line of the ceramic green sheet is pulled in by the pair of rollers contacting the peripheral surface of the ceramic green sheet with an adhesive force or an attractive force, so that the strip-shaped film is removed. It is peeled off. Other functions are the same as the inventions of claims 2 to 4.
【００１９】請求項６の発明に係る加工装置では、セラ
ミックグリーンシートの剥離部分が吸引手段に吸い込ま
れて回収される。他の作用は請求項２乃至５の発明と同
様である。In the processing apparatus according to the sixth aspect of the invention, the peeled portion of the ceramic green sheet is sucked by the suction means and collected. Other functions are similar to those of the inventions of claims 2 to 5.
【００２０】[0020]
【実施例】図１乃至図３には本発明の第１実施例を示し
てある。1 to 3, there is shown a first embodiment of the present invention.
【００２１】塗工装置１は、ドクターブレードやロール
コータ等を備えた塗工機２と、電熱ヒータ等の熱源を有
する乾燥炉３とから構成されている。The coating apparatus 1 is composed of a coating machine 2 equipped with a doctor blade, a roll coater and the like, and a drying oven 3 having a heat source such as an electric heater.
【００２２】ＰＥＴ等の帯状フィルムＦは同装置１内を
塗工機２から乾燥炉３に向かって供給される。一定速度
で走行する帯状フィルムＦの上面には、塗工機２を通過
する過程でセラミックスラリーが所定厚且つ幅で塗工さ
れ、該塗工スラリーは乾燥炉３を通過する過程で乾燥さ
れ半固形状のグリーンシートＳとなる。上記のセラミッ
クスラリーは従来と同様、セラミック粉末と水，溶剤等
の溶媒と有機バインダーとを適宜割合で混合して調製さ
れている。A strip-shaped film F of PET or the like is supplied from the coating machine 2 to the drying furnace 3 in the same apparatus 1. On the upper surface of the strip-shaped film F traveling at a constant speed, a ceramic slurry having a predetermined thickness and a width is applied while passing through the coating machine 2, and the coating slurry is dried while passing through the drying furnace 3. It becomes a solid green sheet S. The above-mentioned ceramic slurry is prepared by mixing ceramic powder, water, a solvent such as a solvent, and an organic binder in an appropriate ratio as in the conventional case.
【００２３】加工装置１１は、ドラム１２と、１対の切
断刃１３ｂを有する切断具１３と、ドラム１４と、１対
のプレート１５とから構成されている。The processing device 11 comprises a drum 12, a cutting tool 13 having a pair of cutting blades 13b, a drum 14, and a pair of plates 15.
【００２４】ドラム１２は、帯状フィルムＦよりも長さ
が大きな円筒形状を成し、その中心部に軸杆１２ａを備
えている。このドラム１２は、図示省略のブラケット等
に軸杆１２ａを回動自在に支持され、塗工装置１の出口
側に横向き状態で配置されている。The drum 12 has a cylindrical shape having a length larger than that of the strip film F, and has a shaft rod 12a at the center thereof. The drum 12 is rotatably supported on a shaft rod 12a by a bracket or the like (not shown), and is disposed laterally on the outlet side of the coating apparatus 1.
【００２５】切断具１３は、上記ドラム１２の中心線と
平行なシャフト１３ａと、シャフト１３ａの両端部に配
置された同一径の切断刃１３ｂと、両切断刃１３ｂをシ
ャフト１３ａ上の所定位置に固定するための固定部材１
３ｃ、例えばシャフト１３ａのネジ部との協働で切断刃
１３ｂを固定するダブルナットやボルト操作による縮径
にでシャフト１３ａに固着されるＣリング等を備えてい
る。この切断具１３は、図示省略のブラケット等にシャ
フト１３ａを回動自在に支持され、両切断刃１３ｂの刃
先をフィルム厚に相当する距離をおいて上記ドラム１２
の周面に対向している。ちなみに各切断刃１３ｂの位置
は固定部材１３ｃを緩めることでシャフト１３ａ上の任
意位置に変更することができる。The cutting tool 13 includes a shaft 13a parallel to the center line of the drum 12, a cutting blade 13b having the same diameter arranged at both ends of the shaft 13a, and both cutting blades 13b at predetermined positions on the shaft 13a. Fixing member 1 for fixing
3c, for example, a double nut that fixes the cutting blade 13b in cooperation with the threaded portion of the shaft 13a, a C ring that is fixed to the shaft 13a when the diameter is reduced by a bolt operation, and the like. The cutting tool 13 has a shaft 13a rotatably supported by a bracket (not shown) or the like, and the cutting edges of both cutting blades 13b are separated by a distance corresponding to the film thickness.
Facing the circumference. Incidentally, the position of each cutting blade 13b can be changed to an arbitrary position on the shaft 13a by loosening the fixing member 13c.
【００２６】ドラム１４は、上記ドラム１２より小径で
且つ帯状フィルムＦよりも長さが大きな円筒形状を成
し、その中心部に軸杆１４ａを有している。このドラム
１４は、図示省略のブラケット等に軸杆１４ａを回動自
在に支持され、上記ドラム１２の下方位置に横向き状態
で平行に配置されている。The drum 14 has a cylindrical shape having a diameter smaller than that of the drum 12 and a length longer than that of the belt-shaped film F, and has a shaft rod 14a at the center thereof. The drum 14 is rotatably supported by a shaft rod 14a by a bracket or the like (not shown), and is arranged below the drum 12 in parallel in a lateral direction.
【００２７】両プレート１５は、垂線に対し鋭角的に傾
斜し上端を先鋭に加工された剥離部１５ａと、該剥離部
１５ａの下端から外側に向けて鋭角的に傾斜した案内部
１５ｂとを一体に備えている。この剥離用プレート１５
は、図示省略のブラケット等に上記切断刃１３ｂと同一
間隔をおいてその一部を固定支持され、剥離部１５ａの
上端をフィルム厚に相当する距離をおいて上記ドラム１
４の周面に対向している。ちなみに各プレート１５の位
置はブラケットに対する固定を解除することで幅方向の
任意に変更することができる。Both plates 15 are integrally formed with a peeling portion 15a which is inclined at an acute angle with respect to the perpendicular and whose upper end is sharply processed, and a guide portion 15b which is inclined at an acute angle from the lower end of the peeling portion 15a toward the outside. Be prepared for. This peeling plate 15
Is partially supported by a bracket or the like (not shown) at the same interval as the cutting blade 13b, and the upper end of the peeling portion 15a is separated by a distance corresponding to the film thickness.
It faces the peripheral surface of No. 4. Incidentally, the position of each plate 15 can be arbitrarily changed in the width direction by releasing the fixing to the bracket.
【００２８】グリーンシート形成後の帯状フィルムＦは
ドラム１２の周面にその下面を支持されながら該ドラム
１２と切断刃１３ｂとの間に送り込まれる。帯状フィル
ムＦ上のグリーンシートＳは切断刃１３ｂを通過する際
に、その幅方向両端部にシート端から所定距離Ａをおい
てシート厚に相当する深さの切り込み線Ｌを平行に形成
される。The strip-shaped film F after the formation of the green sheet is fed between the drum 12 and the cutting blade 13b while the lower surface thereof is supported by the peripheral surface of the drum 12. When the green sheet S on the strip-shaped film F passes through the cutting blade 13b, a score line L having a depth corresponding to the sheet thickness is formed in parallel at both ends in the width direction thereof with a predetermined distance A from the sheet end. .
【００２９】切り込み線形成後のグリーンシートＳは帯
状フィルムＦと共にそのまま下方に移動し、ドラム１４
とプレート１５との間に送り込まれる。帯状フィルムＦ
上のグリーンシートＳはプレート１５の剥離部１５ａを
通過する際に、切り込み線Ｌの外側部分を該剥離部１５
ａの傾斜に従って持ち上げられて帯状フィルムＦから剥
離される。剥離された部分Ｓａは剥離部１５ａから案内
部１５ｂに移行して該案内部１５ｂの傾斜に従って外側
に案内され、その下方に配置された回収容器１６（図１
参照）内に収容される。After the score line is formed, the green sheet S moves downward as it is together with the belt-shaped film F, and the drum 14
Between the plate and the plate 15. Strip film F
When the upper green sheet S passes through the peeling portion 15a of the plate 15, the outer portion of the cut line L is removed from the peeling portion 15a.
It is lifted according to the inclination of a and peeled from the strip film F. The peeled portion Sa moves from the peeling portion 15a to the guide portion 15b, is guided outward according to the inclination of the guide portion 15b, and is disposed below the recovery container 16 (see FIG. 1).
(See reference).
【００３０】帯状フィルムＦ上に形成されたグリーンシ
ートＳは上記のようにしてその両端部を寸法Ａだけ除去
され、切断刃１３ｂの対向間隔に相当する幅Ｗのシート
Ｓ′となる。加工後のグリーンシートＳ′は帯状フィル
ムＦと共に図示省略のロールに巻取られ、部品製造ライ
ンに搬送される。The green sheet S formed on the strip-shaped film F has its both ends removed by the size A as described above, and becomes a sheet S'having a width W corresponding to the facing interval of the cutting blades 13b. The processed green sheet S ′ is wound together with the belt-shaped film F on a roll (not shown) and conveyed to the component manufacturing line.
【００３１】このように本実施例によれば、塗工，乾燥
後のグリーンシートＳの幅方向両端部に肉厚部分が存す
る場合でも、該肉厚部分を除去して均一厚みのグリーン
シートＳ′を得ることができる。As described above, according to this embodiment, even if there is a thick portion at both ends in the width direction of the coated and dried green sheet S, the thick portion is removed and the green sheet S having a uniform thickness is removed. 'Can be obtained.
【００３２】また、切り込み線Ｌの深さをシート厚に対
応させてあるので、切断過程で帯状フィルムＦに損傷を
与えることがない。Further, since the depth of the cut line L corresponds to the sheet thickness, the strip film F is not damaged during the cutting process.
【００３３】更に、グリーンシートＳの移動に伴って両
切断刃１３ｂが回転するようにしてあるので、切断過程
でシートＳにかかる負荷を軽減してしわや破れ等の発生
を未然に防止できる。Furthermore, since both cutting blades 13b are rotated as the green sheet S moves, the load applied to the sheet S in the cutting process can be reduced and wrinkles and tears can be prevented.
【００３４】更にまた、剥離部分Ｓａの寸法が変化した
場合やシート両側で剥離部分Ｓａの寸法が異なる場合や
必要とするシート幅が変更された場合等でも、切断刃１
３ｂ位置を調整することでこれに追従できる。Furthermore, even when the size of the peeled portion Sa is changed, the size of the peeled portion Sa is different on both sides of the sheet, or the required sheet width is changed, etc., the cutting blade 1
This can be followed by adjusting the 3b position.
【００３５】図５には本発明の第２実施例を示してあ
る。FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention.
【００３６】本実施例は、回収容器１６の代わりに吸引
管１７を用いたもので、他の構成は第１実施例と同じで
あるため同一符号を用いその説明を省略する。In this embodiment, a suction tube 17 is used instead of the recovery container 16, and since the other construction is the same as that of the first embodiment, the same reference numerals are used and the description thereof is omitted.
【００３７】切り込み線形成後のグリーンシートＳは帯
状フィルムＦと共にそのまま下方に移動してドラム１４
とプレート１５との間に送り込まれ、プレート１５の剥
離部１５ａを通過する際に、切り込み線Ｌの外側部分を
該剥離部１５ａの傾斜に従って持ち上げられて帯状フィ
ルムＦから剥離される。剥離された部分Ｓａは剥離部１
５ａから案内部１５ｂに移行して該案内部１５ｂの傾斜
に従って外側に案内され、各々の下端に吸引口１７ａを
対向配置された吸引管１７内に吸い込まれて回収され
る。The green sheet S on which the score lines have been formed is moved downward together with the belt-shaped film F to the drum 14
And the plate 15, and when passing through the peeling portion 15a of the plate 15, the outer portion of the cut line L is lifted according to the inclination of the peeling portion 15a and peeled from the strip film F. The peeled portion Sa is the peeled portion 1
It moves from 5a to the guide portion 15b and is guided outward according to the inclination of the guide portion 15b, and is sucked into the suction pipes 17 having the suction ports 17a at the lower ends thereof facing each other and collected.
【００３８】本実施例ではグリーンシートＳの剥離部分
Ｓａを吸引管１７内に吸い込んで回収するようにしてあ
るので、吸い込み力によって剥離処理を効率化できる共
に、回収をスムーズに行える利点がある。また、プレー
ト１５から案内部１５ｂを除外しても剥離部分Ｓａの回
収を的確に行える利点がある。In this embodiment, since the peeled portion Sa of the green sheet S is sucked into the suction pipe 17 to be collected, there is an advantage that the peeling process can be made efficient by the suction force and the collection can be smoothly carried out. Further, even if the guide portion 15b is excluded from the plate 15, there is an advantage that the peeled portion Sa can be recovered accurately.
【００３９】図６及び図７には本発明の第３実施例を示
してある。FIG. 6 and FIG. 7 show a third embodiment of the present invention.
【００４０】本実施例は、上記プレート１５の代わりに
１対のローラ１８とプレート１９を用いた加工装置１
１′を採用したもので、他の構成は第１実施例と同じで
あるため同一符号を用いその説明を省略する。In this embodiment, a processing apparatus 1 using a pair of rollers 18 and a plate 19 instead of the plate 15 is used.
1'is adopted and the other structure is the same as that of the first embodiment, and therefore the same reference numerals are used and the description thereof is omitted.
【００４１】各ローラ１８は、所定長さの円筒形状を成
し、シート剥離部分の引き込みを確実に行うための凹凸
や、粘着テープ等の粘着手段、又は真空吸引孔や磁石等
の吸着手段をその周面に有しており、共通のシャフト１
８ａに切断具１３と同様の固定部材を用いて回動自在に
支持されている。両ローラ１８は、シャフト１８ａを図
示省略のブラケット等に固定支持され、切断具１３の下
方位置に切断刃１３ｂと同一間隔をおいて配置され、且
つその周面をフィルム厚とシート厚の和に相当する距離
をおいてドラム１４の周面に対向している。ちなみに各
ローラ１８の位置は固定部材を緩めることでシャフト１
８ａ上の任意位置に変更することができる。Each roller 18 has a cylindrical shape of a predetermined length, and is provided with irregularities for surely pulling in the sheet peeling portion, an adhesive means such as an adhesive tape, or a suction means such as a vacuum suction hole or a magnet. It has a common shaft 1 on its circumference
8a is rotatably supported by a fixing member similar to the cutting tool 13. The shafts 18a of the both rollers 18 are fixedly supported by a bracket or the like (not shown), and are arranged at the lower position of the cutting tool 13 at the same interval as the cutting blade 13b, and the peripheral surface thereof is made the sum of the film thickness and the sheet thickness. It faces the peripheral surface of the drum 14 with a corresponding distance. By the way, the position of each roller 18 can be adjusted by loosening the fixing member.
It can be changed to any position on 8a.
【００４２】各プレート１９は、ローラ１８に引き込ま
れた剥離部分を該ローラ１８から剥すためのもので、シ
ャフト１８ａ等に固定支持されその下端をローラ１８の
周面に接している。Each plate 19 is for peeling a peeled portion drawn into the roller 18 from the roller 18. The plate 19 is fixedly supported by the shaft 18a and the like, and its lower end is in contact with the peripheral surface of the roller 18.
【００４３】切り込み線形成後のグリーンシートＳは帯
状フィルムＦと共にそのまま下方に移動してドラム１４
とローラ１８との間に送り込まれ、ローラ１８を通過す
る際に、切り込み線Ｌの外側部分を該ローラ１８に引き
込まれて帯状フィルムＦから剥離される。剥離された部
分Ｓａはローラ１８と共に半周し、プレート１９に当接
したところで該ローラ１８から剥されて下方に落下し、
回収容器１５或いは吸引管１６に取り込まれる。The green sheet S after the score lines are formed is moved downward together with the belt-shaped film F to the drum 14
And the roller 18, and when passing through the roller 18, the outer portion of the score line L is drawn into the roller 18 and peeled from the strip film F. The peeled portion Sa makes a half circumference together with the roller 18, and when it comes into contact with the plate 19, it is peeled from the roller 18 and falls downward,
It is taken into the collection container 15 or the suction pipe 16.
【００４４】本実施例ではグリーンシートＳの引き込み
線外側部分を該部分に接するローラ１８で引き込んで剥
離しているので、剥離時に帯状フィルムＦに傷を付ける
虞れがない。また、本実施例で例示した回収用のプレー
ト１９は、剥離用のローラ１８に隣接して別途ローラを
配置することで代用することができる。In this embodiment, since the portion outside the pull-in line of the green sheet S is pulled in and peeled by the roller 18 which is in contact with this portion, there is no risk of scratching the strip film F at the time of peeling. Further, the recovery plate 19 exemplified in this embodiment can be replaced by disposing a separate roller adjacent to the peeling roller 18.
【００４５】以上、各実施例の加工装置１１，１１′に
おける切断刃１３ｂは固定式のものであってもよく、ま
た両切断刃１３ｂをモータによって強制的に回動させる
ようにすればその回転速度及び方向を適宜制御すること
で切断過程でグリーンシートＳに与える影響をより低減
させることが可能である。また、切断，剥離時の受けと
して用いたドラム１２，１４はドラム以外の部材、例え
ば平坦面を有する台板やブロック等で代用することがで
き、また帯状フィルムＦの張力下で切断及び剥離を行う
ようにすればこれらを排除することも可能である。As described above, the cutting blades 13b in the processing apparatuses 11 and 11 'of the respective embodiments may be of a fixed type, and if both cutting blades 13b are forcibly rotated by a motor, the rotation thereof will occur. By appropriately controlling the speed and direction, it is possible to further reduce the influence on the green sheet S in the cutting process. Further, the drums 12 and 14 used as the receivers for cutting and peeling can be replaced by members other than the drum, for example, a base plate or block having a flat surface, and cutting and peeling under the tension of the strip film F. It is also possible to eliminate these if done.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１の発明に
よれば、帯状フィルム上に形成されたセラミックグリー
ンシートの幅方向両端部に肉厚部分が存する場合でも、
該肉厚部分を除去して均一厚みのシートを得ることがで
きる。また、切り込み線の深さをシート厚に対応させて
あるので、切断過程で帯状フィルムに損傷を与えること
がない。As described in detail above, according to the invention of claim 1, even when there are thick portions at both widthwise ends of the ceramic green sheet formed on the strip-shaped film,
The thick portion can be removed to obtain a sheet having a uniform thickness. Further, since the depth of the score line corresponds to the sheet thickness, the strip film is not damaged during the cutting process.
【００４７】請求項２の発明によれば、切断手段と剥離
手段による簡単な装置構成で上記のシート加工処理を的
確且つ安定して行うことができる。According to the second aspect of the present invention, the above-mentioned sheet processing can be performed accurately and stably with a simple device configuration including the cutting means and the peeling means.
【００４８】請求項３の発明によれば、上記の切断処理
を１対の切断刃によって確実に行うことができ、また剥
離部分の寸法が変化した場合やシート両側で剥離部分の
寸法が異なる場合や必要とするシート幅が変更された場
合等でも、切断刃位置を調整することでこれに追従でき
る利点がある。他の効果は請求項２の発明と同様であ
る。According to the third aspect of the present invention, the above-mentioned cutting process can be reliably performed by a pair of cutting blades, and when the size of the peeled portion is changed or when the size of the peeled portion is different on both sides of the sheet. Even if the required sheet width is changed, there is an advantage that it can be followed by adjusting the cutting blade position. Other effects are similar to those of the invention of claim 2.
【００４９】請求項４の発明によれば、セラミックグリ
ーンシートの切り込み線外側部分を各プレートにより持
ち上げて帯状フィルムから剥離しているので、上記の剥
離処理を確実に行える利点がある。他の効果は請求項
２，３の発明と同様である。According to the fourth aspect of the invention, since the portion outside the cut line of the ceramic green sheet is lifted by each plate and peeled from the strip film, there is an advantage that the above-mentioned peeling treatment can be reliably performed. Other effects are similar to those of the inventions of claims 2 and 3.
【００５０】請求項５の発明に係る加工装置では、セラ
ミックグリーンシートの切り込み線外側部分を各ローラ
に引き込んで帯状フィルムから剥離しているので、剥離
時に帯状フィルムＦに傷を付ける虞れがない。他の効果
は請求項２乃至４の発明と同様である。In the processing apparatus according to the fifth aspect of the present invention, since the portion outside the score line of the ceramic green sheet is pulled into each roller and peeled from the strip film, there is no risk of scratching the strip film F at the time of peeling. . Other effects are similar to those of the inventions of claims 2 to 4.
【００５１】請求項６の発明によれば、吸い込み力によ
って剥離処理を効率化できる共に、回収をスムーズに行
える利点がある。他の効果は請求項２乃至５の発明と同
様である。According to the invention of claim 6, there is an advantage that the peeling process can be made efficient by the suction force and the recovery can be smoothly carried out. Other effects are similar to those of the inventions of claims 2 to 5.
【図１】本発明の第１実施例に係る塗工装置及び加工装
置の側面図FIG. 1 is a side view of a coating apparatus and a processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１に示した加工装置の拡大側面図FIG. 2 is an enlarged side view of the processing apparatus shown in FIG.
【図３】図１に示した加工装置の拡大正面図3 is an enlarged front view of the processing apparatus shown in FIG.
【図４】従来シートの断面図FIG. 4 is a sectional view of a conventional seat.
【図５】本発明の第２実施例に係る加工装置の側面図FIG. 5 is a side view of a processing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３実施例に係る加工装置の拡大側面
図FIG. 6 is an enlarged side view of a processing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図７】図６に示した加工装置の部分正面図FIG. 7 is a partial front view of the processing apparatus shown in FIG.
１…塗工装置、２…塗工機、３…乾燥炉、１１，１１′
…加工装置、１３…切断具、１３ｂ…切断刃、１５…プ
レート、１５ａ…剥離部、１５ｂ…案内部、Ｆ…帯状フ
ィルム、Ｓ…塗工，乾燥後のグリーンシート、Ｓａ…シ
ート剥離部分、Ｓ′…剥離，除去後のグリーンシート、
１７…吸引管、１７ａ…吸引口、１８…ローラ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Coating device, 2 ... Coating machine, 3 ... Drying furnace, 11, 11 '
... Processing device, 13 ... Cutting tool, 13b ... Cutting blade, 15 ... Plate, 15a ... Peeling portion, 15b ... Guide portion, F ... Strip film, S ... Coating, dried green sheet, Sa ... Sheet peeling portion, S '... Green sheet after peeling and removal,
17 ... suction tube, 17a ... suction port, 18 ... roller.
Claims (6)
にセラミックスラリーを連続塗工するフィルム付きセラ
ミックグリーンシートの製造方法において、 塗工後のセラミックグリーンクシートの幅方向両端部に
シート端から所定距離をおいてシート厚に相当する深さ
の切り込み線を平行に形成する工程と、 セラミックグリーンシートの切り込み線外側部分を帯状
フィルムから剥離して除去する工程とを具備した、 ことを特徴とするフィルム付きセラミックグリーンシー
トの製造方法。1. A method for producing a ceramic green sheet with a film, wherein a ceramic slurry is continuously coated on one surface of a strip-shaped film running in the length direction, wherein a predetermined width is applied to both ends of the ceramic green sheet after coating in the width direction. The method further comprises a step of forming a score line parallel to each other at a distance corresponding to the sheet thickness, and a step of peeling and removing an outer part of the score line of the ceramic green sheet from the strip film. Manufacturing method of ceramic green sheet with film.
ーを塗工して形成されたフィルム付きセラミックグリー
ンシートの加工装置であって、 セラミックグリーンクシートの幅方向両端部にシート端
から所定距離をおいてシート厚に相当する深さの切り込
み線を平行に形成する切断手段と、 セラミックグリーンシートの切り込み線外側部分を帯状
フィルムから剥離する剥離手段とを具備した、 ことを特徴とするフィルム付きセラミックグリーンシー
トの加工装置2. A device for processing a ceramic green sheet with a film, which is formed by coating a ceramic slurry on one surface of a strip-shaped film, the sheet being provided at both ends in the width direction of the ceramic green sheet with a predetermined distance from the sheet end. A ceramic green sheet with a film, characterized by comprising: a cutting means for forming a score line having a depth corresponding to the thickness in parallel, and a peeling means for peeling an outer part of the score line of the ceramic green sheet from the strip-shaped film. Processing equipment
おいて配置されその刃先をセラミックグリーンシートを
通じて帯状フィルムに接する１対の切断刃から成る、 ことを特徴とする請求項２記載のフィルム付きセラミッ
クグリーンシートの加工装置。3. The film according to claim 2, wherein the cutting means comprises a pair of cutting blades which are arranged at a predetermined interval in the sheet width direction and whose blade edges are in contact with the strip-shaped film through the ceramic green sheet. Processing device for ceramic green sheet with attached.
おいて配置されその上端を帯状フィルムのシート形成面
に接する１対のプレートとから成る、 ことを特徴とする請求項２又は３記載のフィルム付きセ
ラミックグリーンシートの加工装置。4. The peeling means comprises a pair of plates arranged at predetermined intervals in the sheet width direction and having their upper ends in contact with the sheet forming surface of the strip-shaped film. Processing device for ceramic green sheet with film.
おいて配置されその周面を粘着力又は吸着力をもってセ
ラミックグリーンシートに接する１対のローラとから成
る、 ことを特徴とする請求項２乃至４の何れか１項記載のフ
ィルム付きセラミックグリーンシートの加工装置。5. The peeling means comprises a pair of rollers arranged at a predetermined interval in the sheet width direction and contacting the peripheral surface of the ceramic green sheet with an adhesive force or an attractive force. A processing device for a ceramic green sheet with a film according to any one of 2 to 4.
吸引する吸引手段を具備した、 ことを特徴とする請求項２乃至５の何れか１項記載のフ
ィルム付きセラミックグリーンシートの加工装置。6. The processing apparatus for a ceramic green sheet with a film according to claim 2, further comprising suction means for sucking a peeled portion of the ceramic green sheet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6188151A JPH0856078A (en) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | Manufacture of ceramic green sheet with film and processing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6188151A JPH0856078A (en) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | Manufacture of ceramic green sheet with film and processing |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0856078A true JPH0856078A (en) | 1996-02-27 |
Family
ID=16218646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6188151A Pending JPH0856078A (en) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | Manufacture of ceramic green sheet with film and processing |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0856078A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006082176A (en) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Hitachi Maxell Ltd | Method for slitting web, and slitting apparatus |
| JP2010045121A (en) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Sony Chemical & Information Device Corp | Method of manufacturing magnetic sheet |
| KR101287754B1 (en) * | 2011-10-05 | 2013-07-18 | 삼성전기주식회사 | Apparatus for peeling protecting film of substrate, and method for peeling protecting film of substrate |
-
1994
- 1994-08-10 JP JP6188151A patent/JPH0856078A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006082176A (en) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Hitachi Maxell Ltd | Method for slitting web, and slitting apparatus |
| JP2010045121A (en) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Sony Chemical & Information Device Corp | Method of manufacturing magnetic sheet |
| KR101287754B1 (en) * | 2011-10-05 | 2013-07-18 | 삼성전기주식회사 | Apparatus for peeling protecting film of substrate, and method for peeling protecting film of substrate |
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